KR20210037494A - METHOD FOR MAKING PCS FIBER BUNDLE INFUSIBLE UNDER VACCUM ATMOSPHERE AND METHOD FOR FABRICATING SiC FIBER USING THE SAME - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a method for making a polycarbosilane (PCS) fiber bundle infusible under a vacuum atmosphere, comprising: a step of creating a vacuum atmosphere in an infusibility chamber loaded with a PCS fiber bundle; and a step of injecting a cross-linking agent gas into the infusibility chamber at a temperature in the range of 150 to 300℃; and a method for manufacturing SiC fiber using the same. According to the present invention, the reaction rate between a cross-linking agent and a PCS fiber is significantly increased through an infusibility process performed on the PCS fiber bundle wound on a bobbin in a vacuum atmosphere. By increasing the flow rate and flow efficiency of the cross-linking agent, the cross-linking agent can effectively penetrate into the PCS fiber, thereby increasing process efficiency and process easiness. In addition, the excellent mechanical properties of the final product, SiC fiber, can also be secured.

Description

진공 분위기하 PCS 섬유 다발 불융화 방법 및 이를 이용한 SiC 섬유 제조방법{METHOD FOR MAKING PCS FIBER BUNDLE INFUSIBLE UNDER VACCUM ATMOSPHERE AND METHOD FOR FABRICATING SiC FIBER USING THE SAME}PCS fiber bundle incompatibility method under vacuum atmosphere and method of manufacturing SiC fiber using the same {METHOD FOR MAKING PCS FIBER BUNDLE INFUSIBLE UNDER VACCUM ATMOSPHERE AND METHOD FOR FABRICATING SiC FIBER USING THE SAME}

본 발명은 PCS 섬유 다발 불융화 방법 및 이를 이용한 SiC 섬유 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 진공 분위기하에서 PCS 섬유를 보빈에 감긴 다발 채로 불융화시켜 가교제와 PCS 섬유의 반응 속도를 현저하게 높이고, 가교제의 유동 속도 및 유동 효율을 높여 가교제가 PCS 섬유에 효과적으로 침투할 수 있도록 하여 공정 효율성 및 공정 용이성을 높일 수 있으며, 최종 생성물인 SiC 섬유의 우수한 기계적 물성도 확보할 수 있는 진공 분위기하 PCS 섬유 다발 불융화 방법 및 이를 이용한 SiC 섬유 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for infusible PCS fiber bundles and a method for manufacturing SiC fibers using the same, and more particularly, in a vacuum atmosphere, the PCS fibers are infused with a bundle wound around a bobbin to remarkably increase the reaction rate of the crosslinking agent and the PCS fibers, PCS fiber bundles in a vacuum atmosphere that can increase the flow rate and flow efficiency of the crosslinking agent so that the crosslinking agent can effectively penetrate into the PCS fiber, thereby increasing process efficiency and ease of process, and securing excellent mechanical properties of the final product, SiC fiber. It relates to an incompatibility method and a method of manufacturing SiC fibers using the same.

탄화규소(SiC)는 대표적인 비산화물계 세라믹 소재로 고온에서의 내열성, 내산화성 및 내화학성이 우수하여, 고온 고압 또는 산성 분위기 등의 극한 환경에서 이용될 수 있는 소재로 그 중요성이 더욱 커지고 있다.Silicon carbide (SiC) is a representative non-oxide-based ceramic material and has excellent heat resistance, oxidation resistance, and chemical resistance at high temperatures, and thus it is increasingly important as a material that can be used in extreme environments such as high temperature, high pressure or acidic atmosphere.

탄화규소는 섬유, 플레이트, 다공체 등의 다양한 형태로 이용될 수 있으며, 특히 섬유상인 경우 섬유의 구조나 형상의 차별화를 통해 촉매 및 촉매 지지체, 고온 단열 소재, 디젤 필터 소재 등으로의 응용이 기대된다. 특히, 고온의 극한 환경용 필터 소재, 예를 들어 고온에서의 산성 가스(acidic gas)의 여과 회수 등 기존의 유기 또는 무기 소재가 접근하기 힘든 극한 환경에 이용될 수 있는 소재로 그 가능성이 매우 크다.Silicon carbide can be used in various forms, such as fibers, plates, and porous bodies, and especially in the case of fibrous materials, it is expected to be applied to catalysts and catalyst supports, high-temperature insulation materials, diesel filter materials, etc. through differentiation of the structure or shape of the fibers. . In particular, it is a material that can be used in extreme environments where existing organic or inorganic materials are difficult to access, such as filter material for high temperature extreme environments, for example, filtration and recovery of acidic gas at high temperature. .

세라믹 소재를 섬유상으로 형성하기 위해서는, 통상적으로 세라믹 소재를 1500℃ 이상으로 가열하여 용융방사하는 방법이 이용된다. 그러나, SiC 소재의 경우 융점이 1800℃ 이상이므로 통상적인 SiC 소재의 가열에 의한 용융방사가 어렵다. 따라서, SiC 섬유는, 열분해를 통해 세라믹으로 전환되는 고분자인 세라믹 전구체 폴리카보실란(polycarbosilane, 'PCS')을 200~300℃로 가열하여 용융시킨 후, 방사하여 섬유 형상을 갖는 PCS 섬유를 제조한 후, 이를 불활성 분위기하에서 1000℃ 이상의 온도에서 열처리하여 열분해를 유도함으로써 제조된다.In order to form a ceramic material into a fibrous shape, a method of melting-spinning the ceramic material by heating it to 1500°C or higher is generally used. However, since the SiC material has a melting point of 1800° C. or higher, it is difficult to melt spinning by heating a conventional SiC material. Therefore, SiC fiber is obtained by heating and melting a ceramic precursor polycarbosilane ('PCS'), a polymer that is converted to ceramic through thermal decomposition, at 200 to 300°C, and then spinning to produce PCS fibers having a fibrous shape. Thereafter, it is prepared by heat treatment at a temperature of 1000° C. or higher in an inert atmosphere to induce thermal decomposition.

그러나, 기본적으로 PCS 섬유는 열가소성 특성을 가지고 있어, 세라믹으로 전환시키기 위하여 열을 가하면, 연화되고 녹아서 섬유 형상을 잃어 버리게 된다. 따라서, 상기와 같이 PCS 섬유의 열분해 과정을 거쳐 제조된 SiC 섬유는 섬유 형상을 제대로 유지하지 못하고 섬유로서의 기능을 발휘하기 어려운 문제가 있다.However, PCS fibers basically have thermoplastic properties, and when heat is applied to convert them into ceramics, they soften and melt and lose their shape. Therefore, the SiC fiber manufactured through the thermal decomposition process of the PCS fiber as described above does not properly maintain the fiber shape and it is difficult to exhibit a function as a fiber.

이러한 문제를 해결하기 위하여 PCS 섬유에 열을 가하더라도 연화되거나 녹지 않도록 PCS 섬유의 특성을 열경화성으로 전환시키는 불융화 공정이 제안되었다. 일반적으로 이용되는 불융화 공정은 대기압(760 torr) 하에서, PCS 섬유와 공기, 산소, 오존, 할로겐 등의 가교제 가스를 접촉시켜 고분자인 PCS 내 기능기들을 가교 반응을 통해 서로 연결하여 안정화시킴으로써 저분자량 모노머 또는 올리고머들이 열에 의해 연화되고 녹거나 휘발되지 않도록 하는 것이다. 불융화 공정에서 PCS 섬유의 불융화 효율을 결정하는 요인은, 가교제 가스와 PCS 섬유의 반응 속도 및 다량의 PCS 섬유 다발의 위치에 따른 가교제 가스의 침투 여부이다.To solve this problem, an incompatibility process for converting the properties of the PCS fiber to thermosetting so that it does not soften or melt even when heat is applied to the PCS fiber has been proposed. The generally used incompatibility process is low molecular weight by contacting PCS fibers with crosslinking agent gases such as air, oxygen, ozone, and halogen under atmospheric pressure (760 torr) to connect and stabilize functional groups in the polymer PCS through a crosslinking reaction. This is to prevent the monomers or oligomers from being softened and melted or volatilized by heat. Factors that determine the infusible efficiency of PCS fibers in the infusible process are the reaction rate of the crosslinking agent gas and the PCS fibers, and whether or not the crosslinking agent gas penetrates according to the location of a large amount of PCS fiber bundles.

그러나, 종래 이용되었던 불융화 공정에 따르면, 가교제 가스와 PCS 섬유의 반응 속도가 충분히 빠르지 않아 불융화에 소요되는 시간이 약 48시간 이상으로 매우 길다.However, according to the conventionally used incompatibility process, the reaction rate between the crosslinking agent gas and the PCS fiber is not fast enough, and the time required for incompatibility is very long, such as about 48 hours or more.

또한, 불융화 공정에 투입되는 PCS 섬유는 PCS를 용융방사하여 섬유하고, 이를 동시에 보빈에 감아 후속 공정에 투입하게 되는데, PCS 섬유가 방사되면서 보빈에 감길 때 섬유간 견고하게 밀착되므로 가교제 가스가 침투되어 PCS 섬유와 반응하기 어려운 점이 있다. 즉, 종래 이용되었던 불융화 공정에 따르면, 보빈에 감긴 PCS 섬유 다발의 위치, 즉 다발의 표면, 중심부 및 바닥부에 따라 가교제 가스의 침투 여부가 달라져 직접 접촉하지 않는 위치에 있는 PCS 섬유에는 가교제 가스가 침투하기 어렵기 때문에 균일한 불융화가 이루어질 수 없다. 따라서, 섬유 전체적으로 균일한 불융화를 이루기 위해서는 보빈에 감긴 PCS 섬유 다발을 보빈으로부터 되풀어서 불융화 공정을 수행한 후, 다시 보빈에 감아야 한다. 이와 같이 섬유를 보빈에 감고 되푸는 과정에서 섬유 손상이 일어날 수 있고 작업성도 저하되며, 결과적으로 최종 생성물인 SiC 섬유의 기계적 강도가 저하될 수 있다.In addition, the PCS fiber that is introduced into the incompatibility process is melt-spun PCS, and it is simultaneously wound on the bobbin and put into the subsequent process.When the PCS fiber is spun and wound around the bobbin, the crosslinking agent gas penetrates as the fibers are firmly adhered to each other. It is difficult to react with the PCS fiber. That is, according to the conventional incompatibility process, the crosslinking agent gas is changed depending on the position of the PCS fiber bundle wound around the bobbin, that is, the penetration of the crosslinking agent gas on the surface, the center and the bottom of the bundle. Because it is difficult to penetrate, uniform incompatibility cannot be achieved. Therefore, in order to achieve uniform incompatibility over the entire fiber, the PCS fiber bundle wound around the bobbin must be repeated from the bobbin to perform the incompatibility process, and then wound on the bobbin again. In this way, in the process of winding and rewinding the fiber on the bobbin, fiber damage may occur and workability may be deteriorated, and as a result, the mechanical strength of the SiC fiber, which is a final product, may be lowered.

이에, 좀더 효과적이고 용이한 방법으로 PCS 섬유를 불융화시켜 불융화 효율을 높임으로써 최종 생성물인 SiC 섬유 제조 효율을 높일 수 있는 방법에 대한 요구가 여전히 존재한다.Accordingly, there is still a need for a method that can increase the efficiency of manufacturing the final product, SiC fiber, by increasing the incompatibility efficiency by infusible PCS fiber in a more effective and easy way.

본 발명의 목적은 PCS 섬유 다발 불융화 방법 및 이를 이용한 SiC 섬유 제조방법을 제공하는 것으로, 특히 진공 분위기하에서 보빈에 감긴 PCS 섬유 다발에 대하여 수행되는 불융화 공정을 통하여 가교제와 PCS 섬유의 반응 속도를 현저하게 높이고, 가교제의 유동 속도 및 유동 효율을 높여 가교제가 PCS 섬유에 효과적으로 침투할 수 있도록 하여 공정 효율성 및 공정 용이성을 높일 수 있으며, 최종 생성물인 SiC 섬유의 우수한 기계적 물성도 확보할 수 있는 진공 분위기하 PCS 섬유 다발 불융화 방법 및 이를 이용한 SiC 섬유 제조방법을 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide a method for infusible PCS fiber bundles and a method for manufacturing SiC fibers using the same. In particular, the reaction rate of a crosslinking agent and PCS fibers is controlled through an incompatibility process performed on a PCS fiber bundle wound around a bobbin in a vacuum atmosphere. A vacuum atmosphere that can significantly increase the flow rate and flow efficiency of the crosslinking agent so that the crosslinking agent can effectively penetrate into the PCS fiber to increase process efficiency and process ease, and also secure excellent mechanical properties of the final product, SiC fiber. It is to provide a method for incompatibility of PCS fiber bundles and a method of manufacturing SiC fibers using the same.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예는 PCS 섬유 다발의 불융화 방법을 제공하며, 상기 방법은 PCS(polycarbosilane) 섬유 다발이 장입된 불융화 챔버 내에 진공 분위기를 조성하는 단계; 및 150~300℃ 범위의 온도에서 가교제 가스를 불융화 챔버 내에 주입하는 단계를 포함할 수 있다.An embodiment of the present invention for solving the above problem provides a method for infusible PCS fiber bundles, the method comprising: creating a vacuum atmosphere in an infusible chamber in which polycarbosilane (PCS) fiber bundles are charged; And injecting a crosslinking agent gas into the infusible chamber at a temperature in the range of 150 to 300°C.

또한, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 다른 일 실시예는 SiC 섬유의 제조방법을 제공하며, 상기 방법은 전술한 실시예의 PCS 섬유 다발의 불융화 방법에 따라 PCS 섬유 다발을 불융화시키는 단계; 및 불융화된 PCS 섬유 다발을 1000~2000℃ 범위의 온도로 열처리하여 열분해시키는 단계를 포함할 수 있다.In addition, another embodiment of the present invention for solving the above problem provides a method of manufacturing a SiC fiber, the method comprising the steps of incombusting the PCS fiber bundle according to the method of incompatibility of the PCS fiber bundle of the above-described embodiment; And thermally decomposing the infused PCS fiber bundle by heat treatment at a temperature in the range of 1000 to 2000°C.

본 발명에 따르면, 기존의 PCS 섬유 불융화 공정에 비하여 가교제 가스와 PCS 섬유와의 반응 속도가 높아져 불융화 완료 시간이 약 48시간에서 약 3시간으로 현저하게 짧아져 PCS 섬유 불융화 과정의 효율성을 높일 수 있으며, 이에 따라 최종 생성물인 SiC 섬유 제조의 공정 효율성을 높일 수 있다.According to the present invention, the reaction rate between the crosslinking agent gas and the PCS fiber is increased compared to the conventional PCS fiber incompatibility process, so that the incompatibility completion time is significantly shortened from about 48 hours to about 3 hours, thereby reducing the efficiency of the PCS fiber incompatibility process. It can be increased, and accordingly, the process efficiency of manufacturing the final product, SiC fiber, can be improved.

또한, 본 발명에 따라 제조된 SiC 섬유는 균일하고 형태가 잘 유지되며, 표면도 매끄러운 우수한 특성을 가질 수 있다.In addition, the SiC fiber produced according to the present invention may have excellent properties that are uniform and well-maintained, and a smooth surface.

또한, 가교제의 유동 속도 및 유동 효율이 증가되어 보빈에 감긴 PCS 섬유 다발 위치에 상관 없이 가교제 가스의 침투가 효과적으로 이루어지므로, PCS 섬유가 감긴 보빈 그대로 불융화 공정에 투입될 수 있어 SiC 섬유 제조 과정 중에 PCS 섬유를 보빈에 감고 되푸는 과정 없이 불융화 공정을 완료하고, 별도의 추가 공정 없이 후속 공정인 열처리 공정을 수행할 수 있다. 따라서, 섬유를 보빈에 감고 되푸는 과정에서 발생하는 섬유의 손상을 최소화하여 기계적 강도가 우수한 SiC 섬유를 제조할 수 있으며, 공정 용이성 및 효율성을 높일 수 있다.In addition, since the flow rate and flow efficiency of the crosslinking agent is increased, the crosslinking agent gas is effectively penetrated regardless of the position of the PCS fiber bundles wound around the bobbin, so that the PCS fiber can be put into the infusible process as it is in the wound bobbin. The infusible process can be completed without the process of winding and rewinding the PCS fiber on the bobbin, and the subsequent heat treatment process can be performed without a separate additional process. Accordingly, it is possible to manufacture SiC fibers having excellent mechanical strength by minimizing damage to the fibers occurring in the process of winding and rewinding the fibers on the bobbin, and improves process ease and efficiency.

도 1은 본 발명의 실시예에 따라 불융화된 PCS 섬유 사진을 나타낸다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따라 불융화된 보빈에 감긴 상태의 PCS 섬유 사진을 나타낸다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따라 제조된 SiC 섬유 다발의 사진을 나타낸다.
도 4는 실시예 및 비교예에 따라 제조된 SiC 섬유의 열중량 그래프를 나타낸다.
도 5(a)는 비교예에 따라 상압하에서 불융화되어 제조된 10종의 SiC 섬유의 인장강도를 나타내며, 도 5(b)는 실시예에 따라 진공하에서 불융화되어 제조된 7종의 SiC 섬유의 인장강도를 나타낸다.
1 shows a picture of a PCS fiber immobilized according to an embodiment of the present invention.
2 shows a photograph of a PCS fiber wound around an infused bobbin according to an embodiment of the present invention.
3 shows a photograph of a SiC fiber bundle prepared according to an embodiment of the present invention.
4 shows a thermogravimetric graph of SiC fibers manufactured according to Examples and Comparative Examples.
5(a) shows the tensile strength of 10 types of SiC fibers manufactured by infusible under normal pressure according to a comparative example, and FIG. Indicates the tensile strength of

이하, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세히 설명하기 위하여, 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하기로 한다. 하기의 설명에서는 구체적인 구성요소 등과 같은 많은 특정사항들이 도시되어 있는데, 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐 이러한 특정 사항들 없이도 본 발명이 실시될 수 있음은 이 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게는 자명하다 할 것이다. 그리고, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings in order to describe in detail enough that a person having ordinary knowledge in the technical field of the present invention can easily implement the technical idea of the present invention. In the following description, there are many specific details such as specific elements, etc., which are provided to help a more general understanding of the present invention, but it is common knowledge in the art that the present invention can be practiced without these specific details. It is self-evident to those who have. Further, in describing the present invention, when it is determined that a detailed description of a related known function or configuration may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, a detailed description thereof will be omitted.

본 발명의 일 실시예에 따른 PCS 섬유 다발의 불융화 방법은 PCS(polycarbosilane) 섬유 다발이 장입된 불융화 챔버 내에 진공 분위기를 조성하는 단계; 및 150~300℃ 범위의 온도에서 가교제 가스를 불융화 챔버 내에 주입하는 단계를 포함할 수 있다.In an embodiment of the present invention, a method of incompatibility of a PCS fiber bundle includes: creating a vacuum atmosphere in an incompatibility chamber into which a polycarbosilane (PCS) fiber bundle is charged; And injecting a crosslinking agent gas into the infusible chamber at a temperature in the range of 150 to 300°C.

PCS 섬유는 PCS를 가열하여 용융시킨 후, 용융된 PCS를 방사하여 섬유상으로 형성함으로써 제조될 수 있다. PCS fibers can be produced by heating and melting PCS, and then spinning the melted PCS to form a fibrous shape.

섬유의 형성은 당업계에 공지된 방법에 의해 이루어질 수 있으며, 예를 들어 용융 방사, 전기 방사 및 멜블론 방사로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 방법에 의해 이루어질 수 있다.The fiber may be formed by a method known in the art, and for example, may be performed by at least one method selected from the group consisting of melt spinning, electrospinning, and mellon spinning.

방사된 PCS 섬유는 보빈에 감긴 다발 상태로 후속 공정에 이용될 수 있다.The spun PCS fibers can be used in a subsequent process as a bundle wound around a bobbin.

본 실시예에 있어서, 보빈에 감긴 상태의 PCS 섬유 다발을 불융화 챔버 내에 장입하고, 불융화 챔버 내에 진공 분위기를 조성할 수 있다.In this embodiment, a bundle of PCS fibers wound around a bobbin may be charged into the infusible chamber, and a vacuum atmosphere may be created in the infusible chamber.

진공 분위기의 진공도는 10 torr 이하일 수 있으며, 바람직하게는 0 torr 초과 10 torr 이하일 수 있다. 진공도가 10 torr를 초과하는 경우에는 불융화를 유도하는 가교제 가스의 움직임이 적어져 PCS 섬유 내로 침투하거나 반응하는 속도가 느려져 불융화 유도가 원하는 만큼 개선되지 않는다.The degree of vacuum in the vacuum atmosphere may be 10 torr or less, preferably more than 0 torr and 10 torr or less. When the degree of vacuum exceeds 10 torr, the movement of the crosslinking agent gas that induces incompatibility decreases, so that the speed of penetration or reaction into the PCS fiber is slowed, and the induction of incompatibility is not improved as desired.

진공 분위기를 조성하는 단계는, ⅰ) 상기 불융화 챔버 내의 공기를 진공 펌프를 이용하여 제거하는 단계, ⅱ) 상기 불융화 챔버 내에 질소를 주입하는 단계, 및 ⅲ) 상기 불융화 챔버 내의 질소를 진공 펌프를 이용하여 제거하는 단계를 포함할 수 있으며, 상기 ⅰ) 단계, ⅱ) 단계 및 ⅲ) 단계로 이루어진 사이클을 2회 이상 반복하여 수행될 수 있다.The steps of creating a vacuum atmosphere include: i) removing air in the infusible chamber using a vacuum pump, ii) injecting nitrogen into the infusible chamber, and iii) vacuuming nitrogen in the infusible chamber. It may include a step of removing using a pump, and the cycle consisting of steps i), ii), and iii) may be repeated two or more times.

이와 같이 불융화 공정이 수행되는 챔버 내에 진공 분위기를 조성함으로써 가교제 가스와 PCS 섬유의 반응 속도, 가교제 가스의 유동 속도 및 유동 효율을 현저하게 증가시켜, 불융화 공정의 효율성을 최대화할 수 있다.By creating a vacuum atmosphere in the chamber in which the infusible process is performed, the reaction rate of the crosslinking agent gas and the PCS fiber, the flow rate and flow efficiency of the crosslinking agent gas are remarkably increased, thereby maximizing the efficiency of the infusible process.

진공 분위기가 조성된 불융화 챔버 내에 가교제 가스를 주입하여 PCS 섬유와의 반응하도록 할 수 있다.A crosslinking agent gas may be injected into the infusible chamber in which a vacuum atmosphere is formed to react with the PCS fiber.

본 실시예에 이용될 수 있는 가교제 가스는 공기, 산소, 오존 및 할로겐 가스로 이루어진 군으로부터 선택되는 일 이상을 포함할 수 있다.The crosslinking agent gas that may be used in the present embodiment may include one or more selected from the group consisting of air, oxygen, ozone, and halogen gas.

할로겐은 불소, 염소, 브롬 및 요오드를 포함할 수 있다.Halogen can include fluorine, chlorine, bromine and iodine.

가교제 가스의 농도는 10 내지 80% 범위일 수 있다. 가교제 가스의 농도가 10% 미만인 경우에는 불융화 속도가 너무 느려 가교제 가스 조성의 의미가 없으며, 80%를 초과하는 경우에는 농도 증가에 의해 더 이상 불융화 속도가 개선되지 않는다.The concentration of the crosslinking agent gas may range from 10 to 80%. When the concentration of the crosslinking agent gas is less than 10%, the incompatibility rate is too slow, so there is no meaning of the composition of the crosslinking agent gas, and when the concentration of the crosslinking agent gas exceeds 80%, the incompatibility rate is no longer improved by increasing the concentration.

가교제 가스는 미리 정해진 진공도를 유지하면서 연속적으로 주입되거나, 또는 일정 시간 간격을 두고 단속적으로 주입될 수 있다.The crosslinking agent gas may be continuously injected while maintaining a predetermined degree of vacuum, or may be intermittently injected at a predetermined time interval.

가교제 가스는 PCS 섬유 다발 내의 섬유 가닥에 침투하여 가교 반응을 일으킴으로써 PCS에 함유된 기능기를 안정화시켜, SiC 섬유 제조를 위한 고온 열처리 과정에서 고분자인 PCS 내 함유된 저분자량 모노머 또는 올리고머가 열에 의해 연화되거나 녹거나 휘발되지 않도록 PCS 섬유를 열경화성 고분자 형태로 전환시킬 수 있다.The crosslinking agent gas penetrates the fiber strands in the PCS fiber bundle and causes a crosslinking reaction to stabilize the functional groups contained in the PCS, so that the low molecular weight monomer or oligomer contained in the high-molecular PCS is softened by heat during the high temperature heat treatment process for the manufacture of SiC fibers. PCS fibers can be converted into thermosetting polymer forms so that they do not become volatile, melt, or volatilize.

가교제 가스 주입시 불융화 챔버는 150~300℃ 범위의 온도로 가열될 수 있다. 가교제 주입시 온도가 150℃ 미만인 경우에는 가교제에 의한 가교 반응이 일어나지 않아 불융화가 진행되지 않으며, 300℃를 초과하는 경우에는 온도 증가에 의해 더 이상의 가교 반응 속도 개선 효과가 없다.When the crosslinking agent gas is injected, the infusible chamber may be heated to a temperature in the range of 150 to 300°C. When the temperature is less than 150°C when the crosslinking agent is injected, the crosslinking reaction by the crosslinking agent does not occur and thus incompatibility does not proceed, and when the temperature exceeds 300°C, there is no effect of improving the crosslinking reaction rate any more due to an increase in temperature.

가교제 가스와 PCS 섬유는 0.2:1 내지 1:1의 중량비로 이용될 수 있다. 가교제 가스와 PCS 섬유의 중량비가 상기 범위 미만인 경우, 가교제 가스에 의한 불융화가 진행되지 않으며, 상기 범위를 초과하는 경우, 가교제 가스에 의한 불융화 속도가 더 이상 개선되지 않는다.The crosslinking agent gas and the PCS fiber may be used in a weight ratio of 0.2:1 to 1:1. When the weight ratio of the crosslinking agent gas and the PCS fiber is less than the above range, incompatibility by the crosslinking agent gas does not proceed, and when it exceeds the above range, the infusible rate by the crosslinking agent gas is no longer improved.

이와 같이, 본 실시예에 따른 PCS 섬유 다발의 불융화 방법은 진공 분위기에서 이루어짐으로써, 가교제 가스와 PCS 섬유의 반응 속도가 빨라져 약 3시간 내에 불융화가 완료될 수 있다. 종래 불융화 방법에 따르면 통상적으로 48시간 이상의 시간이 소요되는 반면, 본 실시예에 따른 PCS 섬유 다발의 불융화 방법은 불융화 공정 시간을 종래 기술에 비하여 현저하게 감소시킬 수 있다.As described above, since the method of incompatibility of the PCS fiber bundle according to the present embodiment is performed in a vacuum atmosphere, the reaction rate between the crosslinking agent gas and the PCS fiber is accelerated, so that the incompatibility may be completed within about 3 hours. While the conventional infusible method typically takes 48 hours or more, the infusible method of the PCS fiber bundle according to the present embodiment can significantly reduce the infusible process time compared to the prior art.

또한, 본 실시예에 따른 PCS 섬유 다발의 불융화 방법에 따르면, 가교제 가스의 유동 속도 및 유동 효율이 높아져, PCS 섬유 다발 내의 섬유 가닥의 위치에 상관 없이 균일하고 효과적으로 섬유 가닥에 침투할 수 있다. 즉, 섬유간 견고하게 밀착되어 가교제 가스가 침투되어 PCS 섬유와 반응하기 어려운 보빈에 감긴 상태의 PCS 섬유 다발의 경우에도, 표면부, 중심부 및 바닥부의 위치에 무관하게 가교제 가스의 침투가 균일하게 이루어질 수 있다.In addition, according to the method of incompatibility of the PCS fiber bundle according to the present embodiment, the flow rate and flow efficiency of the crosslinking agent gas are increased, so that it can uniformly and effectively penetrate the fiber strand regardless of the position of the fiber strand in the PCS fiber bundle. In other words, even in the case of a bundle of PCS fibers wound around a bobbin that is difficult to react with the PCS fiber due to the penetration of the crosslinking agent gas due to tight adhesion between the fibers, the penetration of the crosslinking agent gas is made evenly regardless of the positions of the surface, center and bottom. I can.

따라서, PCS 섬유가 감긴 보빈 그대로 불융화 공정에 투입될 수 있어 SiC 섬유 제조 과정 중에 PCS 섬유를 보빈에 감고 되푸는 과정 없이 불융화 공정을 완료하고, 별도의 추가 공정 없이 후속 공정인 열처리 공정을 수행할 수 있다.Therefore, the PCS fiber can be put into the infusible process as it is in the wound bobbin, thus completing the infusible process without winding and rewinding the PCS fiber on the bobbin during the SiC fiber manufacturing process, and performing the subsequent heat treatment process without any additional process. can do.

이에, 섬유를 보빈에 감고 되푸는 과정에서 발생하는 섬유의 손상을 최소화하여 기계적 강도가 우수한 SiC 섬유를 제조할 수 있으며, 공정 용이성 및 효율성을 높일 수 있다.Accordingly, it is possible to manufacture SiC fibers having excellent mechanical strength by minimizing damage to the fibers occurring in the process of winding and rewinding the fibers on the bobbin, and improves process ease and efficiency.

본 발명의 다른 실시예에 따른 SiC 섬유의 제조방법은 전술한 실시예의 PCS 섬유 다발의 불융화 방법에 따라 PCS 섬유 다발을 불융화시키는 단계; 및 불융화된 PCS 섬유 다발을 1000~2000℃ 범위의 온도로 열처리하여 열분해시키는 단계를 포함할 수 있다.A method of manufacturing a SiC fiber according to another embodiment of the present invention includes the steps of incompatibility of the PCS fiber bundle according to the method of incompatibility of the PCS fiber bundle of the above-described embodiment; And thermally decomposing the infused PCS fiber bundle by heat treatment at a temperature in the range of 1000 to 2000°C.

SiC 섬유를 제조하기 위해서는, 전술한 실시예에 따라 불융화된 PCS 섬유 다발을 1000~2000℃ 범위, 바람직하게 1500~1800℃ 범위의 온도로 열처리하여 열분해시킬 수 있다.In order to manufacture SiC fibers, the PCS fiber bundles infused according to the above-described embodiment may be thermally decomposed by heat treatment at a temperature in the range of 1000 to 2000°C, preferably in the range of 1500 to 1800°C.

일 실시예에서, 열처리는 30분 내지 5시간 동안 이루어질 수 있다.In one embodiment, the heat treatment may be performed for 30 minutes to 5 hours.

또한, 열처리는 불활성 분위기에서 이루어지는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the heat treatment is performed in an inert atmosphere.

이와 같이 고온 열처리를 수행함으로써 유기 고분자인 PCS 섬유가 유무기 전환을 통해 무기물인 SiC 섬유로 형성될 수 있다.By performing the high-temperature heat treatment as described above, PCS fibers, which are organic polymers, can be formed into SiC fibers, which are inorganic materials, through organic-inorganic conversion.

본 실시예의 SiC 섬유 제조방법에 따르면, 출발원료인 PCS 섬유의 불융화 효율이 현저하게 높기 때문에 이로부터 형성된 SiC 섬유의 수율을 크게 증가시킬 수 있으며, 우수한 형태적인 특성을 갖는 SiC 섬유를 제조할 수 있다. 또한, PCS 섬유 불융화 공정을 거칠 때 섬유를 보빈에 감고 되푸는 과정에서 발생하는 섬유의 손상을 최소화할 수 있으므로 최종적으로 생성된 SiC 섬유의 기계적 강도가 우수하다.According to the SiC fiber manufacturing method of this embodiment, since the incompatibility efficiency of the PCS fiber as the starting material is remarkably high, the yield of the SiC fiber formed therefrom can be greatly increased, and SiC fiber having excellent morphological properties can be produced. have. In addition, since it is possible to minimize the damage to the fibers occurring in the process of winding and rewinding the fibers when going through the PCS fiber incompatibility process, the finally produced SiC fiber has excellent mechanical strength.

이하, 본 발명을 실시예에 의하여 더욱 상세하게 설명한다. 그러나 하기 실시예는 본 발명을 예시하는 것일 뿐이며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail by examples. However, the following examples are only illustrative of the present invention, and the scope of the present invention is not limited to the following examples.

[실시예][Example]

1. PCS 섬유 다발의 불융화1. Incompatibility of PCS fiber bundles

PCS는 분자량이 3266이며, 1000℃까지 열처리할 경우 세라믹(SiC) 전환 수율은 61 중량%이며, 연화점이 167℃, 융점이 195℃인 것을 사용하였다. PCS의 용융 방사는 50 ㎛ 직경의 노즐에서 실시하였다. 120℃에서 1시간 동안 진공으로 유지한 후, 220℃에서 약 진공(0.25bar)에서 2시간 유지하여 전체적으로 용융되도록 하였다. 250℃에서 용융된 상태의 PCS를 섬유상으로 회전하는 보빈(속도 400rpm)에 감아 방사하였다.PCS has a molecular weight of 3266, a ceramic (SiC) conversion yield of 61% by weight when heat-treated to 1000°C, a softening point of 167°C, and a melting point of 195°C were used. The melt spinning of the PCS was carried out in a 50 μm diameter nozzle. After holding in a vacuum at 120° C. for 1 hour, it was kept in a vacuum (0.25 bar) at 220° C. for 2 hours to completely melt. The PCS in a melted state at 250° C. was wound around a bobbin rotating in a fibrous shape (speed of 400 rpm) and spun.

보빈에 감긴 상태의 PCS 섬유 다발을 불융화 챔버에 장입하고, 진공도 10 torr 이하로 진공 분위기를 조성하였다. 진공 분위기 조성은, 불융화 챔버 내의 공기를 진공 펌프를 이용하여 제거하고, 불융화 챔버 내에 질소를 주입한 후, 불융화 챔버 내의 질소를 진공 펌프를 이용하여 제거하는 공정을 2~3회 반복하여 수행함으로써 이루어졌다. 이어서, 불융화 챔버를 200~300℃의 온도로 가열하고, 가교제 가스로 산소 가스(농도 %)를 연속적 또는 단속적으로 주입하면서 3시간 동안 유지시켜, 산소 가스가 PCS의 기능기와 반응하여 저분자량 모노머 또는 올리고머 간에 가교 반응이 이루어져 PCS 섬유 다발의 불융화를 완료하였다.A bundle of PCS fibers wound around a bobbin was charged into an infusible chamber, and a vacuum atmosphere was created with a vacuum degree of 10 torr or less. To create a vacuum atmosphere, repeat the process of removing air in the incompatibility chamber using a vacuum pump, injecting nitrogen into the incompatibility chamber, and removing nitrogen in the incompatibility chamber using a vacuum pump 2-3 times. It was done by performing. Subsequently, the infusible chamber is heated to a temperature of 200 to 300°C, and oxygen gas (concentration %) is continuously or intermittently injected as a crosslinking agent gas and maintained for 3 hours, so that the oxygen gas reacts with the functional groups of the PCS, resulting in a low molecular weight monomer. Alternatively, a crosslinking reaction was performed between oligomers to complete the incompatibility of the PCS fiber bundle.

도 1은 본 발명의 실시예에 따라 불융화된 PCS 섬유 사진을 나타낸다. 도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 진공 분위기하 불융화 공정에 의해 가교제 가스가 PCS 섬유 다발 내의 섬유 가닥의 위치에 상관 없이 효과적으로 섬유 가닥에 침투하여 섬유 다발의 표면부, 중심부 및 바닥부 모두 균일하게 노란색으로 변하면서 불융화가 완료되었음을 확인할 수 있다.1 shows a picture of a PCS fiber immobilized according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 1, the crosslinking agent gas effectively penetrates the fiber strands regardless of the position of the fiber strands in the PCS fiber bundle by the infusible process in a vacuum atmosphere according to the present invention, and all of the surface, center, and bottom portions of the fiber bundle are uniform. As it turns yellow, it can be seen that the incompatibility is complete.

도 2는 본 발명의 실시예에 따라 불융화된 보빈에 감긴 상태의 PCS 섬유 사진을 나타낸다. 도 2를 참조하면, PCS 섬유가 방사되면서 보빈에 감길 때 섬유간 견고하게 밀착되므로 가교제 가스가 침투되어 PCS 섬유와 반응하기 어려운 점이 있으나, 본 발명에 따른 진공 분위기하 불융화 공정을 통하여 PCS 섬유 다발이 보빈에 감겨 있는 경우에도 균일하게 노란색으로 변하면서 불융화가 완료되었음을 확인할 수 있다.2 shows a photograph of a PCS fiber wound around an infused bobbin according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 2, when the PCS fibers are spun and wound around the bobbin, there is a point that it is difficult to react with the PCS fibers due to the penetration of the crosslinking agent gas because the fibers are firmly adhered to each other. Even when it is wound around this bobbin, it can be confirmed that the incompatibility is complete while uniformly turning yellow.

2. SiC 섬유 제조2. SiC fiber manufacturing

상기 1에서 불융화된 PCS 섬유를 대기압하, 불활성 분위기에서 최대 1500℃까지 열처리하여 열분해 반응을 유도하면서 SiC 섬유를 제조하였다.The PCS fiber infused in 1 above was heat-treated at a maximum of 1500°C in an inert atmosphere under atmospheric pressure to induce a pyrolysis reaction to prepare a SiC fiber.

도 3은 본 발명의 실시예에 따라 제조된 SiC 섬유 다발의 사진을 나타낸다. 도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 진공 분위기하 불융화 공정을 통하여 불융화 효율이 현저하게 증가되어 단면이 동그랗고 표면이 매끄러운 유연한 SiC 섬유가 제조되었다. SiC 섬유의 직경은 약 10~15 ㎛이다.3 shows a photograph of a SiC fiber bundle prepared according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 3, the infusible efficiency was remarkably increased through the infusible process in a vacuum atmosphere according to the present invention, so that a flexible SiC fiber having a round cross section and a smooth surface was manufactured. The diameter of the SiC fiber is about 10-15 μm.

3. SiC 섬유의 열중량 분석 및 인장강도 분석3. Thermogravimetric analysis and tensile strength analysis of SiC fiber

실시예 및 비교예에 따라 제조된 SiC 섬유의 열중량 및 인장강도를 측정하였다.The thermal weight and tensile strength of SiC fibers prepared according to Examples and Comparative Examples were measured.

도 4는 실시예 및 비교예에 따라 제조된 SiC 섬유의 열중량 그래프를 나타낸다. 비교예 1은 불융화 공정이 대기압하에서 수행된 점이 실시예와 차이가 있으며, 비교예 2는 불융화 공정을 거치지 않은 점이 실시예와 차이가 있다. 즉, 실시예에는 상기 방법에 따라 진공도 10 torr 이하의 진공 분위기에서 불융화 공정을 거쳐 제조된 SiC 섬유를 나타내고, 비교예 1은 대기압(760 torr)하에서 불융화 공정을 거쳐 제조된 SiC 섬유를 나타내고, 비교예 2는 불융화 공정을 거치지 않고 제조된 SiC 섬유를 나타낸다.4 shows a thermogravimetric graph of SiC fibers manufactured according to Examples and Comparative Examples. Comparative Example 1 differs from the Example in that the infusible process was performed under atmospheric pressure, and Comparative Example 2 differs from the Example in that the infusible process was not performed. That is, in Examples, SiC fibers manufactured through an infusible process in a vacuum atmosphere having a vacuum degree of 10 torr or less according to the above method are shown, and Comparative Example 1 shows SiC fibers manufactured through an infusible process under atmospheric pressure (760 torr). , Comparative Example 2 shows a SiC fiber manufactured without going through an infusible process.

도 4를 참조하면, 비교예 2의 불융화되지 않은 PCS 섬유를 열분해하여 제조된 SiC 섬유의 경우 SiC 수율이 52.24 중량%이었고, 비교예 1의 대기압하에서 불융화된 PCS 섬유를 열분해하여 제조된 SiC 섬유의 경우 SiC 수율이 74.44 중량%이었으며, 실시예에 따라 진공도 10 torr 이하의 진공 분위기에서 불융화된 PCS 섬유를 열분해하여 제조된 SiC 섬유의 경우 SiC 수율이 90.61 중량%이었다. 도 4의 결과로부터, 본 발명에 따라 PCS 섬유를 진공도 10 torr 이하의 진공 분위기에서 불융화시킴으로써 불융화 효율이 매우 높아졌고 최종 생성물인 SiC 섬유의 수율을 현저하게 향상시킬 수 있음을 확인할 수 있다.4, in the case of the SiC fiber prepared by pyrolyzing the non-infusible PCS fiber of Comparative Example 2, the SiC yield was 52.24% by weight, and the SiC prepared by pyrolysis of the infusible PCS fiber under atmospheric pressure of Comparative Example 1 In the case of the fiber, the SiC yield was 74.44% by weight, and in the case of the SiC fiber prepared by pyrolyzing the PCS fiber infused in a vacuum atmosphere having a vacuum degree of 10 torr or less according to the Example, the SiC yield was 90.61% by weight. From the results of FIG. 4, it can be seen that the infusible efficiency of the PCS fibers in accordance with the present invention is increased in a vacuum atmosphere with a vacuum degree of 10 torr or less, and the yield of the final product, the SiC fibers, can be remarkably improved.

도 5는 비교예(a) 및 실시예(b)에 따라 제조된 SiC 섬유의 인장강도를 나타낸다. 도 5(a)는 비교예에 따라 상압하에서 불융화되어 제조된 10종의 SiC 섬유의 인장강도를 나타내며, 도 5(b)는 실시예에 따라 진공하에서 불융화되어 제조된 7종의 SiC 섬유의 인장강도를 나타낸다.5 shows the tensile strength of SiC fibers prepared according to Comparative Examples (a) and (b). 5(a) shows the tensile strength of 10 types of SiC fibers manufactured by infusible under normal pressure according to a comparative example, and FIG. 5(b) shows 7 types of SiC fibers manufactured by infusible under vacuum according to an example. Indicates the tensile strength of

도 5를 참조하면, 진공분위기하 불융화 효율이 높아서 상대적으로 진공분위기 불융화처리된 PCS섬유를 열처리(열분해)하여 제조된 SiC섬유의 평균 인장강도가 0.21GPa 높게 나타났다. Referring to FIG. 5, the average tensile strength of SiC fibers prepared by heat treatment (pyrolysis) of PCS fibers subjected to relatively vacuum incompatibility treatment due to high infusible efficiency under vacuum atmosphere was found to be 0.21 GPa high.

상기 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명백할 것이다. The present invention is not limited by the above-described embodiments and the accompanying drawings, and it is common in the technical field to which the present invention pertains that various substitutions, modifications, and changes are possible within the scope of the technical spirit of the present invention. It will be obvious to those who have knowledge.

Claims (10)

PCS(polycarbosilane) 섬유 다발이 장입된 불융화 챔버 내에 진공 분위기를 조성하는 단계; 및
150~300℃ 범위의 온도에서 가교제 가스를 불융화 챔버 내에 주입하는 단계를 포함하는
PCS 섬유 다발의 불융화 방법.
Creating a vacuum atmosphere in the infusible chamber into which the polycarbosilane (PCS) fiber bundles are charged; And
Including the step of injecting a crosslinking agent gas into the incombustibility chamber at a temperature in the range of 150 ~ 300 ℃
Method of incompatibility of PCS fiber bundles.
제1항에 있어서,
상기 불융화 챔버 내의 진공 분위기는 10 torr 이하의 진공도를 갖는
PCS 섬유 다발의 불융화 방법.
The method of claim 1,
The vacuum atmosphere in the incompatibility chamber has a vacuum degree of 10 torr or less.
Method of incompatibility of PCS fiber bundles.
제1항에 있어서,
상기 PCS 섬유 다발은 보빈에 감긴 상태로 불융화 챔버 내에 장입되는
PCS 섬유 다발의 불융화 방법.
The method of claim 1,
The PCS fiber bundle is wound around a bobbin and charged into the incompatibility chamber.
Method of incompatibility of PCS fiber bundles.
제1항에 있어서,
상기 진공 분위기를 조성하는 단계는,
ⅰ) 상기 불융화 챔버 내의 공기를 진공 펌프를 이용하여 제거하는 단계,
ⅱ) 상기 불융화 챔버 내에 질소를 주입하는 단계, 및
ⅲ) 상기 불융화 챔버 내의 질소를 진공 펌프를 이용하여 제거하는 단계를 포함하며,
상기 ⅰ) 단계, ⅱ) 단계 및 ⅲ) 단계로 이루어진 사이클을 2회 이상 반복하여 수행되는
PCS 섬유 다발의 불융화 방법.
The method of claim 1,
The step of creating the vacuum atmosphere,
I) removing air in the incompatibility chamber using a vacuum pump,
Ii) injecting nitrogen into the infusible chamber, and
Iii) removing nitrogen in the infusible chamber using a vacuum pump,
The cycle consisting of steps i), ii), and iii) is repeated two or more times.
Method of incompatibility of PCS fiber bundles.
제1항에 있어서,
상기 가교제 가스는 공기, 산소, 오존 및 할로겐 가스로 이루어진 군으로부터 선택되는 일 이상을 포함하는
PCS 섬유 다발의 불융화 방법.
The method of claim 1,
The crosslinking agent gas comprises at least one selected from the group consisting of air, oxygen, ozone and halogen gas.
Method of incompatibility of PCS fiber bundles.
제1항에 있어서,
상기 가교제 가스는 미리 정해진 진공도를 유지하면서 연속적으로 주입되거나, 또는 일정 시간 간격을 두고 단속적으로 주입되는
PCS 섬유 다발의 불융화 방법.
The method of claim 1,
The crosslinking agent gas is continuously injected while maintaining a predetermined degree of vacuum, or intermittently injected at a predetermined time interval.
Method of incompatibility of PCS fiber bundles.
제1항에 있어서,
상기 가교제 가스는 상기 PCS 섬유 다발 내의 섬유 가닥에 침투하여 가교 반응을 일으킴으로써 PCS에 함유된 기능기를 안정화시키는
PCS 섬유 다발의 불융화 방법.
The method of claim 1,
The crosslinking agent gas penetrates the fiber strands in the PCS fiber bundle and causes a crosslinking reaction to stabilize the functional groups contained in the PCS.
Method of incompatibility of PCS fiber bundles.
제1항에 있어서,
상기 PCS 섬유 다발의 불융화 방법에 의해, 상기 PCS 섬유 다발은 3시간 이하의 시간 내에 불융화되는
PCS 섬유 다발의 불융화 방법.
The method of claim 1,
By the method of incompatibility of the PCS fiber bundle, the PCS fiber bundle is incompatible within a time period of 3 hours or less.
Method of incompatibility of PCS fiber bundles.
제1항 내지 제8항 중 어느 한 항의 PCS 섬유 다발의 불융화 방법에 따라 PCS 섬유 다발을 불융화시키는 단계; 및
불융화된 PCS 섬유 다발을 1000~2000℃ 범위의 온도로 열처리하여 열분해시키는 단계를 포함하는
SiC 섬유의 제조방법.

Incompatibility of the PCS fiber bundle according to any one of claims 1 to 8 according to the method of incompatibility of the PCS fiber bundle; And
Including the step of thermally decomposing the infused PCS fiber bundle by heat treatment at a temperature in the range of 1000 ~ 2000 ℃
SiC fiber manufacturing method.

제9항에 있어서,
상기 열처리는 대기압하, 불활성 분위기에서 이루어지는
SiC 섬유의 제조방법.

The method of claim 9,
The heat treatment is performed under atmospheric pressure and in an inert atmosphere.
SiC fiber manufacturing method.

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