KR20210031554A - 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말 제조 방법 및 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말 - Google Patents

고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말 제조 방법 및 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말 Download PDF

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Abstract

본 발명은 상온 취성이 있어 가공이 어려우며, 고융점으로 주조가 불가능한 고융점 소재를 실제 산업에 적용할 수 있도록 균일한 복합체 분말로 제조할 수 있도록 하는 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말 제조 방법 및 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말에 관한 것으로서, 본 발명의 일 실시예는, 고융점 분말 제조용 고융점 금속 실리사이드 복합체를 준비하는 단계; 상기 고융점 금속 실리사이드 복합체 구성 원소들의 기화 방지를 위한 용융 온도에 도달하는 조건을 포함하는 용융 조건을 설정하는 단계; 상기 설정된 용융 조건에 따라 상기 고융점 금속 실리사이드 복합체를 용융시켜 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 용탕을 생성하는 단계; 및 상기 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 용탕을 취출하며 분산 냉각시켜 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말을 제조하는 단계;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말 제조 방법을 제공한다.

Description

고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말 제조 방법 및 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말{High melting point uniform composite powder manufacturing method and the High melting point uniform composite powder}
본 발명은 고온 가스터빈으로 사용되는 소재에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 상온 취성이 있어 가공이 어려우며, 고융점으로 주조가 불가능한 고융점 소재를 실제 산업에 적용할 수 있도록 균일한 복합체 분말로 제조할 수 있도록 하는 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말 제조 방법 및 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말에 관한 것이다.
일반적으로, 항공 우주 및 발전 산업의 경우 에너지 효율을 높이기 위해 더욱 고온에서 사용 가능한 가스터빈 등의 소재가 지속적으로 개발되고 있다.
종래기술의 고온 가스터빈 등의 소재로 사용되는 있는 Ni기 합금은 1,200 ℃까지 사용할 수 있으며, 그 대안으로 개발되고 있는 소재는 고융점 금속과 실리사이드(Silicide)의 복합체를 들 수 있다.
그러나 상술한 종래기술의 고융점 금속과 실리사이드(Silicide)의 복합체는 상온 취성이 있어 가공이 어렵고, 고융점으로 인하여 주조가 거의 불가능해 실제 산업에 적용하기 위해서 분말화 하는 기술이 필수적으로 요구된다.
이에 따라, 대한민국 등록특허 제1370631호는 반응챔버 내부에 불활성기체를 공급하여 불활성 분위기를 조성한 후 RF 플라즈마를 발생시킨 후, 페로-실리콘, 티타늄, 실리콘 혼합 분말을 장입하여 기화시키고 응축시켜 리튬 이차전지 음극 활물질용 페로 티탄 실리사이드 복합 나노 분말을 제조하는 방법을 개시하였다. 또한, 대한민국 등록특허 제1545184호는 실리콘 분말을 분쇄하여 5 ㎛ 이하의 크기로 미세화한 후, 우라늄-몰리브데늄 합금분말과 혼합하여 혼합분말을 생성하고, 혼합물을 800 ~ 900 ℃ 에서 30 분 이내에서 열처리하여 우라늄-몰리브데늄 합금 분말 표면에 실리사이드 코팅층을 형성하는 것에 의해 실리사이드 코팅층이 형성된 우라늄-몰리브데늄 합금분말을 제조하는 방법을 개시한다. 또한, 구형 분말을 제조할 수 있는 기술에서 도가니를 사용하지 않고 복합체 로드(rod)에서 분말을 제조할 수 있는 기술 중 상용 분말 제조에 가장 가까운 방식으로는 EIGA(Electrode induction gas atomization)를 들 수 있다.
그러나 상술한 종래기술들의 경우 상술한 종래기술들의 경우 금속(metal) 기지와 실리사이드의 녹는점 및 포화증기압이 달라 균일한 복합체 분말을 제조하기가 어려운 문제점을 가진다. 일 예로 EIGA의 경우 복합체의 특성상 온도 증가율이 너무 낮을 경우, 금속 기지와 실리사이드의 녹는점 차이로 인하여 상 분리가 발생하는 문제점을 가진다. 또한, 가열 최고 온도가 너무 높을 시, 일부 성분의 휘발로 인하여 성분 불균형이 발생하는 문제점을 가진다.
대한민국 등록특허 제1370631호 대한민국 등록특허 제1545184호
따라서 상술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예는, 고용융점 균일 복합체 분말 제조를 위한 조건으로서, 상의 분리가 일어나지 않는 온도 증가율 및 최고 온도 조건을 수립하여, 상온 취성이 있어 가공이 어려우며, 고융점으로 주조가 불가능한 고융점 소재를 실제 산업에 적용할 수 있도록 균일한 복합체 분말로 제조할 수 있도록 하는 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말 제조 방법 및 상기 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상술한 본 발명의 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예는, 고융점 분말 제조용 고융점 금속 실리사이드 복합체를 준비하는 단계; 상기 고융점 금속 실리사이드 복합체 구성 원소들의 기화 방지를 위한 용융 온도에 도달하는 조건을 포함하는 용융 조건을 설정하는 단계; 상기 설정된 용융 조건에 따라 상기 고융점 금속 실리사이드 복합체를 용융시켜 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 용탕을 생성하는 단계; 및 상기 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 용탕을 취출하며 냉각시켜 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말을 제조하는 단계;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말 제조 방법을 제공한다.
상기 고융점 금속 실리사이드 복합체는, Nb, Cr, Ti, Hf, B 및 Mo 및 이들의 합금으로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 금속의 고융점 금속 실리사이드 복합체인 것을 특징으로 한다.
상기 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체는, Nb 25 wt% 내지 50 wt%, Si가 2 wt% 내지 16wt%, 나머지는 Cr, Ti, Hf, B 또는 Mo 중 하나 이상이 상기 Nb의 함량 이하의 조성을 가지도록 혼합된 후 제조된 것을 특징으로 한다.
상기 균일 금속 실리사이드 복합체는, 금속 실리사이드 20% 내지 35%, Laves상 0% 내지 10% 및 나머지는 Nb 기지로 되는 상분율을 가지는 것을 특징으로 한다.
상기 용융 조건은, 상기 고융점 금속 실리사이드 복합체를 구성하는 구성 원소들의 상 분리가 발생하지 않는 시간 내에 설정된 최고 온도에 도달하는 승온 조건을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 용융 조건은, 상기 고융점 금속 실리사이드 복합체를 구성하는 구성 원소들 중 최고 용융점이 가장 높은 원소의 용융온도 이상의 온도로 유지되는 최고온도 조건을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 용융 조건은, 상기 고융점 금속 실리사이드 복합체를 구성하는 구성 원소들 중 최고 용융점이 최고인 원소의 용융온도 이상의 온도에서 상기 구성 원소들의 기화를 방지하는 압력 이상으로 작업 압력을 유지하는 압력 조건을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 실시예는, Nb 25 wt% 내지 50 wt%, Si가 2 wt% 내지 16wt%, 나머지는 Cr, Ti, Hf, B 또는 Mo 중 하나 이상이 상기 Nb의 함량 이하의 조성을 가지는 금속 기지 상에 실리사이드들이 균일하게 분산된 것을 특징으로 하는 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말을 제공한다.
상기 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말은, 입자의 크기가 40 μm 내지 85 μm인 것을 특징으로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예의 유도가열 가스 아토마이저를 이용한 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말 제조 방법의 처리과정을 나타내는 순서도.
도 2는 용융 공정 중의 성분 금속별 온도에 대한 포화압력 그래프.
도 3은 상 분리 및 성분 불균일로 인하여 불균일하게 제조된 복합체 미세 구조를 나타내는 도면.
도 4는 본 발명의 실시예의 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말 제조 방법에 따라 제조된 복합체의 미세 구조를 나타내는 도면.
이하에서는 첨부한 도면을 참고하여 본 발명을 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 따라서 여기에서 설명하는 실시예로 한정되는 것은 아니다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결(접속, 접촉, 결합)"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 구비할 수 있다는 것을 의미한다.
본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예의 유도가열 가스 아토마이저를 이용한 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말 제조 방법의 처리과정을 나타내는 순서도이다.
도 1과 같이, 본 발명의 일 실시예의 유도가열 가스 아토마이저를 이용한 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말 제조 방법은, 고융점 분말 제조용 고융점 금속 실리사이드 복합체를 준비하는 단계(S10), 상기 고융점 금속 실리사이드 복합체 구성 원소들의 기화 방지를 위한 용융 온도에 도달하는 조건을 포함하는 용융 조건을 설정하는 단계(S20), 상기 설정된 용융 조건에 따라 상기 고융점 금속 실리사이드 복합체를 용융시켜 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 용탕을 생성하는 단계(S30) 및 상기 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 용탕을 냉각시켜 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말을 제조하는 단계(S40)를 포함하여 구성될 수 있다. 본 발명의 실시예의 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말에서 균일은 상기 금속 기지 상에 실리사이드들이 균일하게 분산된 것과, 고융점 금속 실리사이드 복합체 분말의 크기가 설정된 범위 내에서 균일하게 되는 것을 의미할 수 있다.
고융점 분말 제조용 고융점 금속 실리사이드 복합체를 준비하는 단계(S10)에서는 고융점 금속 실리사이드 복합체 잉곳을 준비한다. 이때 금속 실리사이드 복합체는, Nb 25 wt% 내지 50 wt%, Si가 2 wt% 내지 16wt%, 나머지는 Cr, Ti, Hf, B 또는 Mo 중 하나 이상이 상기 Nb의 함량 이하의 조성을 가지도록 혼합된 후 VAR(vacuum arc re-melting) 또는 VIM(vacuum induction melting) 중 어느 하나에 의해 제조될 수 있다. 여기서 상기 금속들의 조성비는 원하는 특성에 따라 서로 가변될 수 있다.
상기 고융점 금속 실리사이드 복합체 구성 원소들의 기화 방지를 위한 용융 온도에 도달하는 조건을 포함하는 용융 조건을 설정하는 단계(S20)는, 고융점 금속 실리사이드 복합체 분말 제조를 위한 승온 조건, 최고 온도 조건 또는 압력 조건 중 하나 이상을 포함하는 용융조건을 설정한다.
이때, 상기 승온 조건은 상기 고융점 금속 실리사이드 복합체를 구성하는 구성 원소들의 상분리가 발생하지 않는 시간 내에 설정된 최고 온도에 도달하는 승온 조건일 수 있다.
상기 최고 온도 조건은 상기 고융점 금속 실리사이드 복합체를 구성하는 구성 원소들 중 용융점이 가장 높은 원소의 용융온도 이상의 온도로 유지되는 최고온도 조건일 수 있다.
그리고 상기 압력 조건은 상기 고융점 금속 실리사이드 복합체를 구성하는 구성 원소들 중 최고 용융점이 최고인 원소의 용융온도 이상의 온도에서 상기 구성 원소들의 기화를 방지하는 압력 이상으로 작업 압력을 유지하는 압력 조건일 수 있다.
일 예로, 상기 고융점 금속 실리사이드 복합체가 최고 용융 온도를 가지는 원소로서 Mo를 포함하는 경우 최고 온도가 2,800 ℃ 이하가 되도록 유지하고, 이때, 압력 조건은 2,800 ℃에서 포화증기압이 0.13atm(약 100 torr)인 Si의 기화 방지를 위해 100 torr 이상의 작업 기압을 유지하는 조건일 수 있다.
즉, 상기 최고 온도는 구성 원소들이 모두 용융될 수 있는 온도에서 선택되어 가변될 수 있으며, 상기 압력 조건은 상기 최고 온도에서 구성 원소성분들이 기화되지 않도록 하는 압력으로 조절될 수 있다.
상기 설정된 용융 조건에 따라 상기 고융점 금속 실리사이드 복합체를 용융시켜 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 용탕을 생성하는 단계(S30)는, 챔버 내부의 유도 가열로 내에 상기 고융점 금속 실리사이드 복합체 잉곳을 장입하고, 챔버 내부를 진공화 및 불활성 기체의 주입에 의해 상기 고융점 금속 실리사이드 복합체를 구성하는 구성 원소들 중 최고 용융점이 최고인 원소의 용융온도 이상의 온도에서 상기 구성 원소들의 기화를 방지하는 압력 이상으로 작업 압력을 유지하면서, 유도 가열하여 용융시켜 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 용탕을 제조한다.
상기 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말을 제조하는 단계(S40)는 가스 아토마이저(GA: gas atomization) 공법을 적용하여, 상기 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 용탕에 고압의 가스를 분사하여 분쇄 냉각시키는 것에 의해 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말을 제조한다.
즉, 상술한 본 발명의 실시예의 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말 제조 방법은 전체적으로 EIGA(Electrode induction gas atomization) 공정에 의해 수행될 수 있다.
상술한 본원 발명에 의해 제조된 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말은, Nb 25 wt% 내지 50 wt%, Si가 2 wt% 내지 16wt%, 나머지는 Cr, Ti, Hf, B 또는 Mo 중 하나 이상이 상기 Nb의 함량 이하의 조성을 가지도록 혼합된 후 VAR(vacuum arc re-melting) 또는 VIM(vacuum induction melting) 중 어느 하나에 의해 제조되는 것에 의해, 금속 실리사이드 20% 내지 35%, Laves상 0% 내지 10% 및 나머지는 Nb 기지로되는 상분율을 형성하는 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 조성비의 범위를 벗어나는 것에 의해 상기 상분율의 범위를 벗어나는 경우, 상온 취성이 높아지거나 고온 크립특성, 성형성, 고온 내산화성 등의 고온 물성이 낮아 진다.
<실험예 1>
상술한 본 발명의 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말 제조 방법을 Nb 실리사이드 잉곳 또는 Mo 실리사이드 잉곳을 이용하여 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말 제조에 적용하는 경우를 예로 들어 설명한다.
Nb 실리사이드 잉곳 또는 Mo 실리사이드 잉곳의 경우 승온 조건은 50 ℃/sec 의 승온 속도로 설정되며, 최고 온도 조건은 2,800 ℃ 이하로 유지하도록 설정되고, 압력 조건은 100 torr 이상으로 유지하도록 설정된다.
이후, 50 ℃/sec 의 승온 속도로 온도를 증가시켜 상기 고융점 금속 실리사이드 복합체들이 1분 이내에 용융되어 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 용탕을 제조한다. 이때, 최고 온도는 2,800 ℃ 이하로 유지하고, 작업 압력은 100 torr 이상으로 유지한다.
이 경우, 상기 승온 조건의 온도 증가 속도가 50 ℃/sec 이하로 되는 경우 금속과 실리사이드 사이의 녹는점 차이로 인해 상 분리가 발생하여 성분 원소들이 균일하게 분산된 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말을 제작할 수 없게 된다. 즉, Nb는 2,477 ℃, Nb 실리사이드는 1,880 ℃, Mo는 2.632 ℃, Mo 실리사이드는 1,950 ℃의 녹는점이 차이를 가지게 되므로, 승온 속도가 늦는 경우 금속과 실리사이드 사이에 상 분리 현상이 발생하게 된다.
또한, 상기 최고 온도가 2,800 ℃ 이상으로 되거나, 2,800 ℃에서 작업 압력이 100 torr로 이하로 되는 경우에는 첨가 원소 중 일부가 휘발 또는 기화되는 것에 의해, 균일한 복합체 분말을 생성할 수 없게 된다. 여기서, 상기 100 torr는 2,800 ℃에서 Si의 포화증기압으로서 작업 기압이 100 torr 이하인 경우 Si의 기화에 의해 금속 기질 내에 실리사이드가 균일하게 분산되지 않게 된다.
이 후 상기 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 용탕을 취출하며 고압 가스를 분사하여 분산 냉각시키는 가스 아토마이저(GA: gas atomization) 공법 등을 적용하여, 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말을 제조한다.
<실험예 2>
본 발명의 실시예의 고융점 균일 금속 실리사이드 분말 제조 방법을 적용하여 Nb, Cr, Ti, Hf, B 및 Mo 및 이들의 합금으로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 금속의 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말을 제조한 후 특성을 특정하였다.
도 2는 용융 공정 중의 성분 금속별 온도에 대한 포화압력 그래프이다.
도 2와 같이, Si, B, Mo를 포함하는 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말 제조를 위한 용융을 수행하는 경우에는 Mo의 용융온도 이상인 2,800 ℃ 이하의 최고 온도를 유지하고, 작업 압력은 100 torr 이상으로 유지하며, 50 ℃/sec 이상의 속도로 온도를 증가시켜 고융점 균일 금속 실리사이드 잉곳을 구성하는 원소들이 1분 이내에 용융되도록 한다.
또한, 본 발명의 다른 실시예는 상기 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말 제조 방법에 의해 제조된 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말을 제공한다.
이때, 상기 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말은, Nb, Cr, Ti, Hf, B 또는 Mo 중 어느 하나의 금속 기지 상에 실리사이드들이 균일하게 분포된 것을 특징으로 한다.
상기 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말은, 입자의 크기가 40 μm 내지 85 μm일 수 있다.
도 3은 상 분리 및 성분 불균일로 인하여 불균일하게 제조된 복합체 미세 구조를 나타내는 도면이다.
상술한 본 발명의 실시예의 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말 제조 방법의 용융 조건 및 분말화 공정을 지키지 않은 상태로, Mo, Cr, Hf, Si, Nb, Ti 금속과 실리사이드를 용융시킨 후 복합체 분말을 제조하였다. 이 경우, 도 3과 같이, 금속 및 실리사이들 사이에서 상 분리가 발생하고, 원소 성분들의 휘발이 발생하게 되어, 불균일한 복합체 미세구조가 형성되어 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말을 제조할 수 없었다.
도 4는 본 발명의 실시예의 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말 제조 방법에 따라 제조된 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말의 미세 구조를 나타내는 도면이다.
도 4의 경우 Nb 실리사이드 잉곳을 2,800 ℃ 이하의 최고 온도를 유지하고, 작업 압력은 100 torr 이상으로 유지하며, 50 ℃/sec 이상의 속도로 온도를 증가시켜 Nb 기지 상에 실리사이드가 균일하게 분산된 고융점 균일 Nb 실리사이드 복합체 분말을 제조하였다. 이 경우, 승온 조건에 의해 1분 이내에 신속히 모든 금속이 용융되므로 Nb 및 실리사이드 사이에서 상 분리가 발생하지 않았다. 또한, 최고 온도를 2,500 내지 2,800 ℃ 이하로 유지함과 동시에 작업 압력을 100 torr 이상으로 유지하는 것에 의해 성분 원소들의 휘발이 방지되었다. 이에 따라, 최종 가스 아토마이저 공정을 수행하여 제조된 고융점 균일 Nb 실리사이드 복합체 분말은 도 4와 같이, Nb와 실리사이드가 균일한 분포를 이루면서, 균일한 크기를 가지는 것을 확인할 수 있었다.
상기에서 설명한 본 발명의 기술적 사상은 바람직한 실시예에서 구체적으로 기술되었으나, 상기한 실시예는 그 설명을 위한 것이며 그 제한을 위한 것이 아님을 주의하여야 한다. 또한, 본 발명의 기술적 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 다양한 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
10: 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말

Claims (9)

  1. 고융점 분말 제조용 고융점 금속 실리사이드 복합체를 준비하는 단계;
    상기 고융점 금속 실리사이드 복합체 구성 원소들의 기화 방지를 위한 용융 온도에 도달하는 조건을 포함하는 용융 조건을 설정하는 단계;
    상기 설정된 용융 조건에 따라 상기 고융점 금속 실리사이드 복합체를 용융시켜 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 용탕을 생성하는 단계; 및
    상기 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 용탕을 취출하며 분산 냉각시켜 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말을 제조하는 단계;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말 제조 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체는,
    Nb, Cr, Ti, Hf, B 및 Mo 및 이들의 합금으로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 금속의 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체인 것을 특징으로 하는 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말 제조 방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체는,
    Nb 25 wt% 내지 50 wt%, Si가 2 wt% 내지 16wt% 및 나머지는 Cr, Ti, Hf, B 또는 Mo 중 하나 이상이 상기 Nb의 함량 이하의 조성을 가지도록 혼합된 후 제조된 것을 특징으로 하는 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말 제조 방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 용융 조건은,
    상기 고융점 금속 실리사이드 복합체를 구성하는 구성 원소들의 상분리가 발생하지 않는 시간 내에 설정된 최고 온도에 도달하는 승온 조건을 포함하는 것을 특징으로 하는 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말 제조 방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 용융 조건은,
    상기 고융점 금속 실리사이드 복합체를 구성하는 구성 원소들 중 최고 용융점이 가장 높은 원소의 용융온도 이상의 온도로 유지되는 최고온도 조건을 포함하는 것을 특징으로 하는 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말 제조 방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 용융 조건은,
    상기 고융점 금속 실리사이드 복합체를 구성하는 구성 원소들 중 최고 용융점이 최고인 원소의 용융온도 이상의 온도에서 상기 구성 원소들의 기화를 방지하는 압력 이상으로 작업 압력을 유지하는 압력 조건을 포함하는 것을 특징으로 하는 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말 제조 방법.
  7. Nb 25 wt% 내지 50 wt%, Si가 2 wt% 내지 16wt%, 나머지는 Cr, Ti, Hf, B 또는 Mo 중 하나 이상이 상기 Nb의 함량 이하의 조성을 가지는 금속 기지 상에 실리사이드들이 균일하게 분산된 것을 특징으로 하는 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말.
  8. 제7항에 있어서,
    입자의 크기가 40 μm 내지 85 μm인 것을 특징으로 하는 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말.
  9. 제7항에 있어서,
    금속 실리사이드 20% 내지 35%, Laves상 0% 내지 10% 및 나머지는 Nb 기지로 되는 상분율을 가지는 것을 특징으로 하는 고융점 균일 금속 실리사이드 복합체 분말.
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