KR20210017446A - Method of controlling a transferring apparatus - Google Patents
Method of controlling a transferring apparatus Download PDFInfo
- Publication number
- KR20210017446A KR20210017446A KR1020190096714A KR20190096714A KR20210017446A KR 20210017446 A KR20210017446 A KR 20210017446A KR 1020190096714 A KR1020190096714 A KR 1020190096714A KR 20190096714 A KR20190096714 A KR 20190096714A KR 20210017446 A KR20210017446 A KR 20210017446A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- transfer device
- control signal
- devices
- relay
- lower transfer
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67733—Overhead conveying
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Description
본 발명은 이송 장치의 제어 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는 본 발명은 복수의 이송 장치들에 제어 신호를 전달할 수 있는 이송 장치의 제어 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for controlling a conveying device. More specifically, the present invention relates to a control method of a transfer device capable of transmitting a control signal to a plurality of transfer devices.
일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들은 연속적으로 배치되어 반도체 기판에 대해 다양한 공정을 수행한다. 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물을 카세트에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치로 제공되거나 상기 카세트를 이용하여 상기 각 반도체 공정 장치로부터 회수될 수 있다. In general, semiconductor processing devices for manufacturing a semiconductor device are continuously arranged to perform various processes on a semiconductor substrate. The object for performing the semiconductor device manufacturing process may be provided to each semiconductor processing apparatus while being accommodated in a cassette, or may be recovered from each semiconductor processing apparatus using the cassette.
상기 카세트는 OHT(Overhead Hoist Transport) 장치에 의해 이송된다. 상기 OHT 장치는 반도체 공정 장치들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 주행 레일, 상기 카세트를 파지하며 상기 주행 레일을 따라 주행하는 복수의 비히클들 및 상기 카세트를 승강시키는 호이스트 모듈을 포함한다. The cassette is transported by an OHT (Overhead Hoist Transport) device. The OHT device includes a traveling rail provided along the ceiling of a semiconductor manufacturing line in which semiconductor processing devices are continuously arranged, a plurality of vehicles gripping the cassette and traveling along the traveling rail, and a hoist module for lifting the cassette. do.
상기 복수의 비히클들 각각을 제어하기 위하여 작업자가 개별적으로 상기 비히클들 각각에 대하여 설정 작업을 수행하고 있다. 이에 따른 설정 작업에 장시간이 소요되고, 작업자의 설정 오류가 발생하는 문제가 있다.In order to control each of the plurality of vehicles, an operator individually performs setting work for each of the vehicles. Accordingly, a long time is required for the setting operation, and there is a problem that a setting error of the operator occurs.
본 발명은 복수의 이송 장치들을 상호 연결시켜 제어 신호를 중계할 수 있는 이송 장치의 제어 방법을 제공한다. The present invention provides a control method of a transfer device capable of relaying a control signal by interconnecting a plurality of transfer devices.
본 발명의 실시예들에 따른 이송 장치의 제어 방법에 있어서, 복수의 이송 장치들 중 어느 하나를 중계 이송 장치로 설정한다. 상기 중계 이송 장치를 이용하여 하위 이송 장치들로 제어 신호를 중계한다. 이후, 상기 제어 신호에 따라 상기 하위 이송 장치들로 대상물을 이송한다. In the control method of a transfer device according to embodiments of the present invention, any one of a plurality of transfer devices is set as a relay transfer device. The control signal is relayed to lower transfer devices using the relay transfer device. Thereafter, the object is transferred to the lower transfer devices according to the control signal.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 중계 이송 장치를 이용하여 하위 이송 장치들로 제어 신호를 중계할 경우, 사물 인터넷 중계 방식을 통하여 수행될 수 있다.In an embodiment of the present invention, when a control signal is relayed to lower transfer devices using the relay transfer device, it may be performed through an Internet of Things relay method.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 대상물 이송하기 전, 상기 제어 신호의 업데이트의 필요성을 판단한다. 상기 업데이트가 필요할 경우, 상기 중계 이송 장치에 포함된 센서를 이용하여 상기 제어 신호를 업데이트한다. 이후, 상기 업데이트된 제어 신호를 상기 하위 이송 장치들에 전달한다.In one embodiment of the present invention, before the object is transferred, the necessity of updating the control signal is determined. When the update is required, the control signal is updated using a sensor included in the relay transfer device. Thereafter, the updated control signal is transmitted to the lower transfer devices.
여기서, 상기 제어 신호를 업데이트 하기 위하여, 상기 이송 장치의 관련 정보는 인접하는 이송 장치들 사이의 거리, 속도 및 경로에 관련된 정보가 이용될 수 있다.Here, in order to update the control signal, information related to a distance, a speed, and a path between adjacent transport devices may be used as the related information of the transport device.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 추가된 하위 이송 장치의 존부를 확인하고, 상기 추가된 하위 이송 장치가 확인될 경우, 상기 추가된 하위 이송 장치에 제어 신호를 전달한다.In one embodiment of the present invention, the presence or absence of the added lower transfer device is checked, and when the added lower transfer device is identified, a control signal is transmitted to the added lower transfer device.
여기서, 상기 하위 이송 장치에 상기 추가된 하위 이송 장치의 존재를 통지할 수 있다.Here, the presence of the added lower transfer device may be notified to the lower transfer device.
본 발명의 실시예들에 따른 이송 장치의 제어 방법에 따르면, 복수의 이송 장치들 중 어느 하나를 중계 이송 장치로 설정하고, 상기 중계 이송 장치를 매개로 나머지 상기 이송 장치들 각각에 대한 제어 신호를 전파할 수 있다. 이로써, 작업자가 상기 이송 장치들 각각에 제어 신호를 설정하는 셋업 작업이 생략될 수 있다. According to the control method of a transfer device according to embodiments of the present invention, one of a plurality of transfer devices is set as a relay transfer device, and a control signal for each of the remaining transfer devices is transmitted via the relay transfer device. Can spread. Accordingly, a setup operation in which an operator sets control signals to each of the transfer devices may be omitted.
이에 따른 작업자의 설정 작업에 필요한 시간이 절감되고, 작업자의 설정 오류가 억제될 수 있다.Accordingly, the time required for the operator's setting work can be reduced, and the operator's setting error can be suppressed.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치의 제어 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 2는 도 1에 도시된 신규 하위 이송 장치에 대한 제어 신호를 전달하는 방법을 설명하기 위한 순서도이다. 1 is a flowchart illustrating a method of controlling a transfer device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a flowchart illustrating a method of transmitting a control signal for the new lower transfer device shown in FIG. 1.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 이송 장치의 제어 방법에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. Hereinafter, a method for controlling a transfer device according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the present invention, various modifications may be made and various forms may be applied, and specific embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to a specific form disclosed, it should be understood to include all changes, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing each drawing, similar reference numerals have been used for similar elements. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are shown to be enlarged compared to the actual size for clarity of the present invention.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. Terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. These terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another component. For example, without departing from the scope of the present invention, a first element may be referred to as a second element, and similarly, a second element may be referred to as a first element.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used in the present application are used only to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In the present application, terms such as "comprise" or "have" are intended to designate the presence of features, numbers, steps, actions, components, parts, or combinations thereof described in the specification, but one or more other features. It is to be understood that the presence or addition of elements or numbers, steps, actions, components, parts, or combinations thereof, does not preclude in advance the possibility of being added.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. Unless otherwise defined, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. Terms as defined in a commonly used dictionary should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related technology, and should not be interpreted as an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in this application. Does not.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치의 제어 방법을 설명하기 위한 순서도이다.1 is a flowchart illustrating a method of controlling a transfer device according to an embodiment of the present invention.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치의 제어 방법에 따르면, 복수의 이송 장치들 중 어느 하나를 중계 이송 장치로 설정한다(S110).Referring to FIG. 1, according to the control method of a transfer device according to an embodiment of the present invention, any one of a plurality of transfer devices is set as a relay transfer device (S110).
상기 이송 장치의 예로는 OHT 장치를 들 수 있다. OHT 장치는 반도체 공정 장치들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 주행 레일(미도시)를 따라 주행하는 복수의 비히클들 및 상기 카세트를 승강시키는 호이스트 모듈(미도시)을 포함한다.An example of the transfer device may be an OHT device. The OHT device includes a plurality of vehicles running along a running rail (not shown) provided along the ceiling of a semiconductor manufacturing line in which semiconductor processing devices are continuously arranged, and a hoist module (not shown) for lifting the cassette.
상기 복수의 이송 장치들은 상기 주행 레일을 따라 상호 일정한 이격 거리를두고 연속적으로 주행할 수 있다.The plurality of transfer devices may be continuously driven at a constant distance from each other along the running rail.
상기 복수의 이송 장치들 중 어느 하나가 중계 이송 장치로 설정될 수 있다. 이때, 상기 중계 이송 장치는 상기 복수의 이송 장치들 중 정렬 상태에 있어서 가운데 배치된 이송 장치에 해당할 수 있다. 이로써, 상기 중계 이송 장치는 인접하는 이송 장치들에 보다 신속하고 정확하게 제어 명령을 중계할 수 있다.Any one of the plurality of transfer devices may be set as a relay transfer device. In this case, the relay transfer device may correspond to a transfer device disposed in the middle of the plurality of transfer devices in an aligned state. Accordingly, the relay transfer device can more quickly and accurately relay a control command to adjacent transfer devices.
상기 이송 장치들 중 상기 중계 이송 장치를 제외한 나머지 이송 장치들이 하위 이송 장치들로 정의될 수 있다.Among the transfer devices, other transfer devices other than the relay transfer device may be defined as lower transfer devices.
이어서, 상기 중계 이송 장치를 이용하여 하위 이송 장치들로 제어 신호를 중계한다(S130).Subsequently, a control signal is relayed to lower transfer devices using the relay transfer device (S130).
이때, 상기 제어 신호를 중계하기 위한 사물 인터넷 방식이 이용될 수 있다. 즉, 이송 장치들 각각은 각종 센서 및 통신기기를 내장함으로써 이송 장치들 사이가 인터넷으로 연결될 수 있다. 따라서, 무선 통신을 이용하여 상기 이송 장치들 사이에 제어 신호들이 전달될 수 있다.In this case, an IoT method for relaying the control signal may be used. That is, each of the transfer devices includes various sensors and communication devices, so that the transfer devices can be connected via the Internet. Thus, control signals can be transferred between the transfer devices using wireless communication.
따라서, 작업자가 상기 중계 이송 장치에 대한 제어 신호를 입력하면, 상기 중계 이송 장치가 하위 이송 장치들 각각에 상기 제어 신호를 전파할 수 있다. 이로써, 상기 이송 장치들 각각에 작업자가 제어 신호를 설정하는 작업이 생략될 수 있다. 결과적으로 설정 작업에 대한 시간이 절감되고, 작업자의 설정 오류를 억제할 수 있다.Accordingly, when an operator inputs a control signal for the relay transfer device, the relay transfer device may propagate the control signal to each of the lower transfer devices. Accordingly, the operation of setting a control signal by an operator to each of the transfer devices may be omitted. As a result, time for setting work can be saved, and setting errors of the operator can be suppressed.
이어서, 상기 제어 신호에 따라 상기 하위 이송 장치들로 대상물을 이송한다(S190). 즉, 상기 중계 이송 장치로부터 전파 받은 제어 신호에 따라 상기 하위 이송 장치가 대상물을 이송할 수 있다. 이때, 상기 중계 이송 장치 또한 해당 제어 신호에 대응하여 대상물을 이송할 수 있다.Subsequently, the object is transferred to the lower transfer devices according to the control signal (S190). That is, the lower transfer device may transfer the object according to the control signal propagated from the relay transfer device. At this time, the relay transfer device may also transfer the object in response to a corresponding control signal.
상기 이송 장치들 각각에 작업자가 제어 신호를 설정하는 작업이 생략됨으로써, 상기 이송 장치들 각각에 대한 설정 작업에 대한 시간이 절감되고, 작업자의 설정 오류가 억제될 수 있다.By omitting the operation of setting the control signal by the operator to each of the transfer devices, time for setting work for each of the transfer devices is reduced, and setting errors by the operator can be suppressed.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 대상물 이송하기 전, 추가적으로 아래의 공정이 수행될 수 있다.In one embodiment of the present invention, before transferring the object, the following process may be additionally performed.
상기 제어 신호의 업데이트의 필요성을 판단할 수 있다(S150). 즉, 이송 장치들 각각에 구비된 센서들은 이송 장치의 동선, 이송 장치들 간의 거리, 작업 상태 등에 관하여 센싱하여 센싱 데이터를 생성할 수 있다. 따라서, 상기 센싱 데이터를 기초로 하여 상기 제어 신호의 업데이트의 필요성을 판정할 수 있다.The necessity of updating the control signal may be determined (S150). That is, sensors provided in each of the transfer devices may generate sensing data by sensing a movement line of the transfer device, a distance between the transfer devices, and a working state. Accordingly, it is possible to determine the necessity of updating the control signal based on the sensing data.
상기 제어 신호에 대한 업데이트가 요구될 경우, 상기 중계 이송 장치에 포함된 센서를 이용하여 상기 제어 신호를 업데이트한다(S160). 이로써, 상기 업데이트된 제어 신호는 이송 장치들의 이송 속도, 이송 경로, 상호 인접하는 이송 장치들 간의 거리 등에 관한 정보에 관련된다.When an update of the control signal is requested, the control signal is updated using a sensor included in the relay transport device (S160). Thereby, the updated control signal is related to information about the conveying speed of the conveying devices, the conveying path, the distance between the conveying devices adjacent to each other.
이후, 상기 업데이트된 제어 신호를 상기 중계 이송 장치가 상기 하위 이송 장치들 각각에 전달한다(S170).Thereafter, the updated control signal is transmitted by the relay transfer device to each of the lower transfer devices (S170).
결과적으로 하위 이송 장치는 업데이트된 제어 신호에 따라 상기 대상물을 이송할 수 있다. As a result, the lower transport device can transport the object according to the updated control signal.
도 2는 도 1에 도시된 신규 하위 이송 장치에 대한 제어 신호를 전달하는 방법을 설명하기 위한 순서도이다. FIG. 2 is a flow chart illustrating a method of transmitting a control signal for the new lower transfer device shown in FIG. 1.
도 1 및 도 2를 참조하면, 추가된 신규 하위 이송 장치의 존부를 확인한다(S210). 이때, 상기 신규 하위 이송 장치의 존부는 인접하는 이송 장치에 구비된 센서를 이용하여 확인될 수 있다.1 and 2, it is checked whether there is a new lower transfer device added (S210). In this case, the presence or absence of the new lower transfer device may be checked using a sensor provided in an adjacent transfer device.
상기 추가된 하위 이송 장치가 확인될 경우, 상기 추가된 하위 이송 장치에 제어 신호를 전달한다(S230). 즉, 상기 추가된 하위 이송 장치에 제어 신호를 전달하기 위하여, 중계 이송 장치가 이용될 수 있다. 이와 다르게, 인접하는 다른 하위 이송 장치가 상기 제어 신호를 추가 이송 장치에 전송할 수 있다.When the added lower transfer device is confirmed, a control signal is transmitted to the added lower transfer device (S230). That is, in order to transmit a control signal to the added lower transfer device, a relay transfer device may be used. Alternatively, another adjacent lower transfer device may transmit the control signal to the additional transfer device.
한편, 상기 하위 이송 장치에 상기 추가된 하위 이송 장치의 존재를 통지할 수 있다(S250).Meanwhile, the presence of the added lower transfer device may be notified to the lower transfer device (S250).
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art will be able to variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention described in the following claims. You will understand that you can.
Claims (6)
상기 중계 이송 장치를 이용하여 하위 이송 장치들로 제어 신호를 중계하는 단계; 및
상기 제어 신호에 따라 상기 하위 이송 장치들로 대상물을 이송하는 단계를 포함하는 이송 장치의 제어 방법.Setting any one of the plurality of transfer devices as a relay transfer device;
Relaying a control signal to lower transfer devices using the relay transfer device; And
And transferring an object to the lower transfer devices according to the control signal.
상기 제어 신호의 업데이트의 필요성을 판단하는 단계;
상기 업데이트가 필요할 경우, 상기 중계 이송 장치에 포함된 센서를 이용하여 상기 제어 신호를 업데이트하는 단계; 및
상기 업데이트된 제어 신호를 상기 하위 이송 장치들에 전달하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치의 제어 방법.The method of claim 1, before transferring the object,
Determining the necessity of updating the control signal;
Updating the control signal using a sensor included in the relay transfer device when the update is required; And
And transmitting the updated control signal to the lower transfer devices.
상기 추가된 하위 이송 장치가 확인될 경우, 상기 추가된 하위 이송 장치에 제어 신호를 전달하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치의 제어 방법.The method of claim 1, further comprising: checking the presence or absence of the added lower transfer device; And
And transmitting a control signal to the added lower transfer device when the added lower transfer device is confirmed.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020190096714A KR102246799B1 (en) | 2019-08-08 | 2019-08-08 | Method of controlling a transferring apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020190096714A KR102246799B1 (en) | 2019-08-08 | 2019-08-08 | Method of controlling a transferring apparatus |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20210017446A true KR20210017446A (en) | 2021-02-17 |
| KR102246799B1 KR102246799B1 (en) | 2021-04-30 |
Family
ID=74732301
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020190096714A KR102246799B1 (en) | 2019-08-08 | 2019-08-08 | Method of controlling a transferring apparatus |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR102246799B1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20230087732A (en) * | 2021-12-10 | 2023-06-19 | 세메스 주식회사 | Transferring apparatus and transferring method |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20110124587A (en) * | 2010-05-11 | 2011-11-17 | 포항공과대학교 산학협력단 | Method and apparatus for simultaneously manipulating multiple moving objects, and recording medium containing computer readable programs performing the same |
| KR20120076411A (en) * | 2010-12-29 | 2012-07-09 | 주식회사 포스코아이씨티 | System and method for controlling a moving cart |
| JP2018194937A (en) * | 2017-05-15 | 2018-12-06 | 株式会社明電舎 | Travel control device and travel control method of unmanned carrier |
| JP2019129453A (en) * | 2018-01-25 | 2019-08-01 | 株式会社Ｉｈｉエアロスペース | Unmanned mobile remote control method and unmanned mobile remote control system |
-
2019
- 2019-08-08 KR KR1020190096714A patent/KR102246799B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20110124587A (en) * | 2010-05-11 | 2011-11-17 | 포항공과대학교 산학협력단 | Method and apparatus for simultaneously manipulating multiple moving objects, and recording medium containing computer readable programs performing the same |
| KR20120076411A (en) * | 2010-12-29 | 2012-07-09 | 주식회사 포스코아이씨티 | System and method for controlling a moving cart |
| JP2018194937A (en) * | 2017-05-15 | 2018-12-06 | 株式会社明電舎 | Travel control device and travel control method of unmanned carrier |
| JP2019129453A (en) * | 2018-01-25 | 2019-08-01 | 株式会社Ｉｈｉエアロスペース | Unmanned mobile remote control method and unmanned mobile remote control system |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20230087732A (en) * | 2021-12-10 | 2023-06-19 | 세메스 주식회사 | Transferring apparatus and transferring method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR102246799B1 (en) | 2021-04-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10479613B2 (en) | Transport system and transport method | |
| JP5267653B2 (en) | Transport system | |
| KR102246799B1 (en) | Method of controlling a transferring apparatus | |
| JP6388887B2 (en) | Wireless communication system to avoid noise interference | |
| US10068788B2 (en) | Communication device and method for controlling communication device | |
| KR100684157B1 (en) | Transportation system | |
| KR101789375B1 (en) | Manufacturing line for semiconductor device and method of manufacturing semiconductor device | |
| US11181906B2 (en) | Transport vehicle system and communication method in transport vehicle system | |
| US11343217B2 (en) | Communication system and communication method | |
| US20150049322A1 (en) | Substrate processing system and method of controlling the same | |
| JP2013201425A (en) | Board work system | |
| KR102221115B1 (en) | Method of controlling a transferring apparatus | |
| JP6095333B2 (en) | Substrate processing line, substrate processing method | |
| US11930417B2 (en) | Travel system and control method of travel system | |
| JP5353222B2 (en) | Traveling vehicle system | |
| KR102534375B1 (en) | Method of searching a route of vehicle | |
| US20210265184A1 (en) | Communication method, transport system, and communication device | |
| KR102330666B1 (en) | Object transport device and method of controlling the same | |
| JP4278460B2 (en) | Control method of work transfer system | |
| CN104460530A (en) | Numerical control device including robot controller | |
| JP4447483B2 (en) | Transport system | |
| KR100603591B1 (en) | Mehtod for transporting wafer cassette from one equipment to the other equipment | |
| WO2020166131A1 (en) | Remote i/o system | |
| JP2000299363A (en) | Optical data transmission system | |
| JP2001284432A (en) | Conveying system for production line |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant |