KR20210014059A - Gas supply automatic system - Google Patents

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Abstract

Provided is a gas supply automation system. The gas supply automation system comprises: a gas cylinder transfer unit which transfers a cradle storing one or more gas cylinders containing gas inside; a gas cylinder inspection unit which checks the form of gas stored in the gas cylinders transferred from the gas cylinder transfer unit, and inspects whether gas leaks from the gas cylinders; a storage queue which receives the gas cylinders from the gas cylinder inspection unit through a mobile robot, and classifies and stores the transferred gas cylinders in accordance with the form of gas stored in the gas cylinders; and a gas cabinet which receives the gas cylinders from the storage queue through the mobile robot, fastens a gas spray nozzle placed on one side of the transferred gas cylinders with a gas pipe connected to a semiconductor manufacturing process line, and supplies the gas stored in the gas cylinders to the semiconductor manufacturing process line. The gas cabinet includes a gas residual volume detection unit which detects the residual volume of the gas stored in the gas cylinders fastened to the gas pipe. The mobile robot is able to, when the residual volume of the gas detected by the gas residual volume detection unit is equal to or less than a preset gas residual volume, recollects the gas cylinders in the gas cabinet, and then transfers the gas cylinders stored in the storage queue to the gas cabinet. The present invention is able to prevent workers from being exposed to a series of work processes and potential accidents.

Description

가스 공급 자동화 시스템{Gas supply automatic system}Gas supply automatic system

본 발명은 가스 공급 자동화 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a gas supply automation system.

반도체 및 디스플레이 등을 제조하는 공정은 세정용 가스, 에칭용 가스 등 다양한 가스들을 사용한다. 공정에 필요한 가스의 공급은 차량에서 하차된 가스 실린더를 운반하는 것에서 시작된다. 일반적으로 가스 실린더는 작업자가 지게차와 손수레 등을 이용하여 직접 운반하여 각 공정 요소에 공급된다. 이 때 가스 실린더의 무게는 가스 성상별로 상이하지만 대략 120kg 이상이다. 따라서 작업자는 반복적인 중량물 작업으로 인해 근골격계에 영향을 줄 수 있다. Processes for manufacturing semiconductors and displays use various gases such as a cleaning gas and an etching gas. The supply of gas required for the process begins with the delivery of gas cylinders that are unloaded from the vehicle. In general, gas cylinders are directly transported by an operator using a forklift or a handcart and supplied to each process element. At this time, the weight of the gas cylinder varies depending on the gas properties, but is approximately 120 kg or more. Therefore, the operator may affect the musculoskeletal system due to repetitive heavy work.

또한 운반된 가스 실린더는 통상 캐비닛에 보관되고, 가스 실린더의 교체 가 필요한 경우 작업자가 캐비닛으로부터 가스 실린더를 꺼내 공정 설비에 가스 실린더를 체결시킨다. 따라서 작업자는 가스에 노출될 수 있으며, 가스 사고, 폭발 또는 화재의 위험에 놓일 수 있다.In addition, the transported gas cylinder is usually stored in a cabinet, and when replacement of the gas cylinder is required, the operator takes out the gas cylinder from the cabinet and fastens the gas cylinder to the process facility. Thus, workers may be exposed to gas and may be at risk of gas accident, explosion or fire.

본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 가스 실린더의 입고부터 출고까지 모든 과정의 자동화를 통해 사람이 일련의 작업들 사이에 노출되어 위험에 처하지 않는 가스 공급 자동화 시스템을 제공하는 것이다.The technical problem to be solved by the present invention is to provide a gas supply automation system in which a person is exposed between a series of tasks through automation of all processes from storage to delivery of a gas cylinder and is not in danger.

본 발명의 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The technical problems of the present invention are not limited to the technical problems mentioned above, and other technical problems that are not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 가스 공급 자동화 시스템은, 내부에 가스가 저장된 적어도 하나의 가스 실린더들이 저장된 크래들(cradle)을 이송하는 가스 실린더 이송부, 가스 실린더 이송부로부터 이송된 가스 실린더의 내부에 저장된 가스의 성상을 확인하고, 가스 실린더의 가스 누출 여부를 검사하는 가스 실린더 검사부, 가스 실린더 검사부로부터 모바일 로봇에 의해 가스 실린더를 이송받고, 이송된 가스 실린더를 가스 실린더의 내부에 저장된 가스의 성상에 따라 분류하여 저장하는 스토리지 큐, 및 스토리지 큐로부터 모바일 로봇에 의해 가스 실린더를 이송받고, 이송된 가스 실린더의 일측에 배치된 가스 분사 노즐에 반도체 제조 공정 라인과 연결된 가스 배관을 체결하여 반도체 제조 공정 라인에 가스 실린더의 내부에 저장된 가스를 공급하는 가스 캐비닛을 포함하고, 가스 캐비닛은, 가스 배관과 체결된 가스 실린더의 내부에 저장된 가스의 잔여량을 감지하는 가스 잔여량 감지부를 포함하고, 모바일 로봇은, 가스 잔여량 감지부로부터 감지된 가스의 잔여량이 설정 가스 잔여량 이하이면, 모바일 로봇은 가스 캐비닛 내의 가스 실린더를 회수하고 스토리지 큐에 보관된 가스 실린더를 가스 캐비닛으로 이송한다.In the gas supply automation system according to some embodiments of the present invention for achieving the above technical problem, at least one gas cylinder in which gas is stored is transferred from a gas cylinder transfer unit for transferring a stored cradle, and a gas cylinder transfer unit. A gas cylinder inspection unit that checks the properties of the gas stored in the gas cylinder and checks whether gas leaks in the gas cylinder, and the gas cylinder is transferred by a mobile robot from the gas cylinder inspection unit, and the transferred gas cylinder is placed inside the gas cylinder. A storage queue that categorizes and stores the stored gas according to the properties of the stored gas, and a gas cylinder that is transferred by a mobile robot from the storage queue, and a gas pipe connected to the semiconductor manufacturing process line is connected to a gas injection nozzle disposed on one side of the transferred gas cylinder And a gas cabinet for supplying the gas stored in the gas cylinder to the semiconductor manufacturing process line, the gas cabinet including a gas residual amount detector configured to detect a residual amount of gas stored in the gas cylinder connected to the gas pipe, In the mobile robot, when the residual amount of gas detected by the gas residual amount detection unit is less than or equal to the set gas residual amount, the mobile robot recovers the gas cylinder in the gas cabinet and transfers the gas cylinder stored in the storage queue to the gas cabinet.

기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.Details of other embodiments are included in the detailed description and drawings.

도 1은 본 발명의 몇몇 실시예들에 따른 가스 공급 자동화 시스템을 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명의 몇몇 실시예들에 따른 가스 공급 자동화 시스템을 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 도 1 및 도 2의 가스 실린더 이송부를 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 도 1 및 도 2의 가스 실린더 검사부를 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 도 1 및 도 2의 가스 실린더 저장부를 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 도 5의 제2 안착부를 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 도 5의 인식부를 설명하기 위한 도면이다.
도 8은 본 발명의 몇몇 다른 실시예들에 따른 도 1 및 도 2의 가스 실린더 저장부를 설명하기 위한 도면이다.
도 9는 도 1 및 도 2의 가스 실린더 교체부를 설명하기 위한 도면이다.
도 10은 도 9의 주행부를 설명하기 위한 도면이다.
도 11은 도 9의 공용체결장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 12는 도 9의 체결부를 설명하기 위한 도면이다.
도 13은 가스 실린더를 설명하기 위한 도면이다.
도 14는 도 9의 CGA 플러그부를 설명하기 위한 도면이다.
도 15는 도 9의 가스 실린더 교체부의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 16은 도 9의 하부 클램프 모듈을 설명하기 위한 도면이다.
도 17은 도 9의 가스켓 공급 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 18은 도 1 및 도 2의 모바일 로봇과 가스 캐비닛을 설명하기 위한 도면이다.
도 19는 도 18의 A부분의 확대도이다.
도 20은 도 9의 제2 안착부를 설명하기 위한 도면이다.
도 21은 본 발명의 다른 몇몇 실시예들에 따른 가스 공급 자동화 시스템을 설명하기 위한 도면이다.
도 22는 도 21의 가스 캐비닛을 설명하기 위한 도면이다.
도 23은 본 발명의 몇몇 실시예들에 따른 가스 공급 자동화 시스템을 설명하기 위한 순서도이다.1 is a view for explaining a gas supply automation system according to some embodiments of the present invention.
2 is a view for explaining a gas supply automation system according to some embodiments of the present invention.
3 is a view for explaining the gas cylinder transfer unit of FIGS. 1 and 2.
4 is a diagram for describing a gas cylinder inspection unit of FIGS. 1 and 2.
5 is a view for explaining the gas cylinder storage unit of FIGS. 1 and 2.
6 is a view for explaining a second seating portion of FIG. 5.
7 is a diagram illustrating a recognition unit of FIG. 5.
8 is a diagram illustrating a gas cylinder storage unit of FIGS. 1 and 2 according to some other embodiments of the present invention.
9 is a view for explaining the gas cylinder replacement part of FIGS. 1 and 2.
10 is a view for explaining the driving unit of FIG. 9.
11 is a view for explaining the common fastening device of FIG.
12 is a view for explaining the fastening portion of FIG. 9.
13 is a diagram for describing a gas cylinder.
14 is a view for explaining the CGA plug of FIG. 9.
15 is a view for explaining the operation of the gas cylinder replacement unit of FIG. 9.
16 is a view for explaining the lower clamp module of FIG. 9.
17 is a view for explaining the gasket supply device of FIG. 9.
18 is a diagram for describing the mobile robot and the gas cabinet of FIGS. 1 and 2.
19 is an enlarged view of part A of FIG. 18.
20 is a view for explaining the second seating portion of FIG. 9.
21 is a diagram for describing a gas supply automation system according to some other embodiments of the present invention.
22 is a view for explaining the gas cabinet of FIG. 21.
23 is a flow chart illustrating a gas supply automation system according to some embodiments of the present invention.

이하에서 도 1 내지 도 23을 참고하여 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 가스 공급 자동화 시스템에 대하여 설명한다.Hereinafter, a gas supply automation system according to some embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 23.

도 1 및 도 2는 본 발명의 몇몇 실시예들에 따른 가스 공급 자동화 시스템을 설명하기 위한 도면이다. 도 3은 도 1 및 도 2의 가스 실린더 이송부를 설명하기 위한 도면이다. 1 and 2 are views for explaining a gas supply automation system according to some embodiments of the present invention. 3 is a view for explaining the gas cylinder transfer unit of FIGS. 1 and 2.

도 1 내지 도 3을 참고하면, 본 발명의 몇몇 실시예들에 따른 가스 공급 자동화 시스템은 가스 실린더 이송부(100), 가스 실린더 검사부(200), 가스 실린더 저장부(300), 가스 실린더 교체부(400), 적어도 하나의 모바일 로봇(500) 및 제어부(600)를 포함할 수 있다.1 to 3, the gas supply automation system according to some embodiments of the present invention includes a gas cylinder transfer unit 100, a gas cylinder inspection unit 200, a gas cylinder storage unit 300, a gas cylinder replacement unit ( 400), may include at least one mobile robot 500 and a control unit 600.

제어부(600)는 가스 공급 자동화 시스템을 제어할 수 있다. 제어부(600)는 가스 실린더 이송부(100), 가스 실린더 검사부(200), 가스 실린더 저장부(300), 가스 실린더 교체부(400) 및 적어도 하나의 모바일 로봇(500)을 제어할 수 있다.The controller 600 may control the gas supply automation system. The controller 600 may control the gas cylinder transfer unit 100, the gas cylinder inspection unit 200, the gas cylinder storage unit 300, the gas cylinder replacement unit 400, and at least one mobile robot 500.

차량에서 하차된 가스 실린더(20)들은 크래들(cradle, 10)에 저장되어 가스 공급 자동화 시스템에 제공될 수 있다.The gas cylinders 20 unloaded from the vehicle may be stored in a cradle 10 and provided to a gas supply automation system.

가스 실린더 이송부(100)는 이송부(110) 및 이송 로봇(140)을 포함할 수 있다. 가스 실린더 이송부(100)는 가스 실린더(20)를 가스 공급 자동화 시스템의 도어(120)를 통해 내부로 이송할 수 있다. 가스 실린더 이송부(100)와 도어(120)는 제어부(600)의 명령에 따라 작동될 수 있다. The gas cylinder transfer unit 100 may include a transfer unit 110 and a transfer robot 140. The gas cylinder transfer unit 100 may transfer the gas cylinder 20 to the inside through the door 120 of the gas supply automation system. The gas cylinder transfer unit 100 and the door 120 may be operated according to a command of the control unit 600.

크래들(10)은 이송부(110) 상에 적재될 수 있다. 크래들(10)이 이송부(110) 상에 적재되면, 작업자는 제어부(600)에 가스 실린더 입고 정보를 송신할 수 있다. 제어부(600)는 가스 실린더 이송부(100)와 도어(120)를 제어할 수 있다. The cradle 10 may be loaded on the transfer unit 110. When the cradle 10 is loaded on the transfer unit 110, the operator may transmit gas cylinder wearing information to the control unit 600. The control unit 600 may control the gas cylinder transfer unit 100 and the door 120.

이송부(110)는 제1 이송부(112)와 제2 이송부(114)를 포함할 수 있다. 제1 이송부(112)는 제1 방향(D1)으로 연장될 수 있다. 제1 이송부(112)는 크래들(10)을 제1 방향(D1)으로 이동시킬 수 있다. 크래들(10)은 가스 공급 자동화 시스템 내부로 들어올 수 있다.The transfer unit 110 may include a first transfer unit 112 and a second transfer unit 114. The first transfer part 112 may extend in the first direction D1. The first transfer unit 112 may move the cradle 10 in the first direction D1. The cradle 10 may enter the gas supply automation system.

제2 이송부(114)는 제2 방향(D2)으로 연장될 수 있다. 제2 방향(D2)은 제1 방향(D1)과 수직인 방향일 수 있다. 제2 이송부(114)는 크래들(10)을 제2 방향(D2)으로 이동시킬 수 있다. The second transfer part 114 may extend in the second direction D2. The second direction D2 may be a direction perpendicular to the first direction D1. The second transfer unit 114 may move the cradle 10 in the second direction D2.

가이드 레일(130)은 제2 이송부(114)의 측면에 배치될 수 있다. 가이드 레일(130)은 제2 방향(D2)으로 연장될 수 있다. 이송 로봇(140)은 가이드 레일(130)을 따라 제2 방향(D2)으로 이동할 수 있다.The guide rail 130 may be disposed on the side of the second transfer unit 114. The guide rail 130 may extend in the second direction D2. The transfer robot 140 may move in the second direction D2 along the guide rail 130.

이송 로봇(140)은 크래들(10)에 저장된 적어도 하나의 가스 실린더(20)를 가스 실린더(20) 단위로 분리할 수 있다. 즉, 이송 로봇(140)은 가스 실린더(20)를 잡아 가스 실린더 검사부(200)로 이동시킬 수 있다. 이송 로봇(140)은 비전 모듈(vision module, 미도시)을 더 포함할 수 있다. 이송 로봇(140)은 비젼 모듈을 통해 실린더 외부의 잡을 부분을 찾을 수 있다. 또한, 이송 로봇(140)은 비전 모듈을 통해 가스 실린더 검사부(200)까지의 거리를 파악할 수 있다. 따라서, 이송 로봇(140)은 가스 실린더(20)를 가스 실린더 검사부(200)로 보다 정확하게 이동시킬 수 있다.The transfer robot 140 may separate at least one gas cylinder 20 stored in the cradle 10 into units of the gas cylinder 20. That is, the transfer robot 140 may hold the gas cylinder 20 and move it to the gas cylinder inspection unit 200. The transfer robot 140 may further include a vision module (not shown). The transfer robot 140 may find a gripping part outside the cylinder through the vision module. In addition, the transfer robot 140 may determine the distance to the gas cylinder inspection unit 200 through the vision module. Accordingly, the transfer robot 140 can more accurately move the gas cylinder 20 to the gas cylinder inspection unit 200.

한편 공병인 가스 실린더(20)가 출고될 때, 이송 로봇(140)은 가스 실린더(20)를 크래들(10) 단위로 모을 수 있다. 즉, 이송 로봇(140)은 가스 실린더(20)를 집어 크래들(10) 상에 모을 수 있다. 따라서, 가스 실린더(20)는 크래들(10) 단위로 출고될 수 있다.Meanwhile, when the gas cylinder 20, which is an empty bottle, is shipped from the factory, the transfer robot 140 may collect the gas cylinder 20 in a cradle 10 unit. That is, the transfer robot 140 may pick up the gas cylinder 20 and collect it on the cradle 10. Accordingly, the gas cylinder 20 may be shipped in units of the cradle 10.

도 4는 도 1 및 도 2의 가스 실린더 검사부를 설명하기 위한 도면이다. 도 1, 도 2 및 도 4를 참조하면, 가스 실린더 검사부(200)는 작업부(210), 바코드 리더기(230), 제1 그리퍼(220) 및 제1 가스 감지기(240)를 포함할 수 있다. 가스 실린더 검사부(200)는 가스 실린더(20) 내의 가스의 성상과 가스 누출 여부를 검사할 수 있다.4 is a diagram for describing a gas cylinder inspection unit of FIGS. 1 and 2. 1, 2 and 4, the gas cylinder inspection unit 200 may include a working unit 210, a barcode reader 230, a first gripper 220, and a first gas detector 240. . The gas cylinder inspection unit 200 may inspect the properties of the gas in the gas cylinder 20 and whether the gas leaks.

가스 실린더 검사부(200)는 가스 실린더(20)를 인식하여 가스 실린더 검사부(200)의 출입구를 개폐할 수 있다. 이송 로봇(140)은 가스 실린더 검사부(200)에 가스 실린더(20)를 이송할 수 있다. 가스 실린더(20)는 이송 로봇(140)에 의해 작업부(210)에 안착될 수 있다.The gas cylinder inspection unit 200 may recognize the gas cylinder 20 and open and close the entrance of the gas cylinder inspection unit 200. The transfer robot 140 may transfer the gas cylinder 20 to the gas cylinder inspection unit 200. The gas cylinder 20 may be seated on the working unit 210 by the transfer robot 140.

가스 실린더 검사부(200)는 카메라(미도시)를 더 포함할 수 있다. 카메라는 제1 그리퍼(220)에 의해 회전하는 가스 실린더(20)의 외부 형상과 외부에 부착된 바코드(21)의 위치를 파악할 수 있다. 또한, 카메라는 가스 실린더(20)의 밸브 형상을 확인할 수 있다.The gas cylinder inspection unit 200 may further include a camera (not shown). The camera may determine the external shape of the gas cylinder 20 rotated by the first gripper 220 and the location of the barcode 21 attached to the outside. In addition, the camera can check the valve shape of the gas cylinder 20.

바코드 리더기(230)는 가스 실린더(20)에 부착된 바코드(21)를 인식할 수 있다. 제어부(600)는 바코드 리더기(230)로부터 인식된 바코드 데이터를 제공받을 수 있다. 예를 들어, 바코드 데이터는 가스 실린더(20) 내에 저장된 가스의 성상 등과 같은 가스에 대한 정보를 포함할 수 있다. 예를 들어, 제어부(600)는 바코드 리더기(230)로부터 제공받은 가스 실린더(20) 내에 저장된 가스의 성상과 가스 실린더 이송부(100)로부터 제공받은 가스 실린더(20) 내에 저장된 가스의 성상이 일치하는지 판단할 수 있다.The barcode reader 230 may recognize the barcode 21 attached to the gas cylinder 20. The controller 600 may receive barcode data recognized from the barcode reader 230. For example, the barcode data may include information on gas such as properties of the gas stored in the gas cylinder 20. For example, the control unit 600 determines whether the properties of the gas stored in the gas cylinder 20 provided from the barcode reader 230 and the gas properties stored in the gas cylinder 20 provided from the gas cylinder transfer unit 100 match. I can judge.

또한, 제어부(600)는 바코드 리더기(230)로부터 제공받은 가스 실린더(20) 내에 저장된 가스에 대한 정보를 토대로 가스 공급 자동화 시스템 내의 가스 실린더(20)의 재고를 파악할 수 있다.In addition, the control unit 600 may determine the inventory of the gas cylinder 20 in the gas supply automation system based on the information on the gas stored in the gas cylinder 20 provided from the barcode reader 230.

제1 그리퍼(220)는 가스 실린더(20)의 측벽의 적어도 일부를 감쌀 수 있다. 예를 들어, 제1 그리퍼(220)는 집게 형상의 구조를 가질 수 있다. 본 발명은 이에 제한되는 것은 아니며 가스 실린더(20)를 고정할 수 있는 다른 구조를 가질 수 있다. 제1 그리퍼(220)는 바코드 리더기(230)가 가스 실린더(20)의 바코드(21)를 인식할 수 있도록 가스 실린더(20)를 회전시킬 수 있다. 작업부(210)는 제1 그리퍼(220)가 회전하면서 생기는 마찰을 줄일 수 있도록 설계될 수 있다. The first gripper 220 may surround at least a portion of the sidewall of the gas cylinder 20. For example, the first gripper 220 may have a clamp-shaped structure. The present invention is not limited thereto and may have another structure capable of fixing the gas cylinder 20. The first gripper 220 may rotate the gas cylinder 20 so that the barcode reader 230 can recognize the barcode 21 of the gas cylinder 20. The working unit 210 may be designed to reduce friction generated when the first gripper 220 rotates.

제1 가스 감지기(240)는 가스 실린더 검사부(200)의 출입구가 모두 폐쇄된 상태에서 가스 실린더(20)의 가스 누설 여부를 점검할 수 있다. 따라서 가스 실린더 검사부(200)는 가스 실린더(20)의 이송과정에서 발생한 가스 실린더(20)의 이상을 판별할 수 있다.The first gas detector 240 may check whether gas leaks from the gas cylinder 20 in a state in which all entrances and exits of the gas cylinder inspection unit 200 are closed. Accordingly, the gas cylinder inspection unit 200 may determine an abnormality in the gas cylinder 20 generated during the transfer process of the gas cylinder 20.

도 5는 도 1 및 도 2의 가스 실린더 저장부를 설명하기 위한 도면이다. 도 6은 도 5의 제2 안착부를 설명하기 위한 도면이고, 도 7은 도 5의 인식부를 설명하기 위한 도면이다.5 is a view for explaining the gas cylinder storage unit of FIGS. 1 and 2. 6 is a view for explaining the second seating portion of FIG. 5, and FIG. 7 is a view for explaining the recognition unit of FIG. 5.

도 1, 도 2, 도 5 내지 도 7을 참조하면, 가스 실린더 저장부(300)는 적어도 하나의 스토리지 큐(Storage Queue, 310)를 포함할 수 있다. 스토리지 큐(310)는 입출부(311), 제1 안착부(312), 제2 그리퍼(313), 제2 가스 감지기(314) 및 인식부(315)를 포함할 수 있다. 스토리지 큐(310)는 후술할 모바일 로봇(500)에 의해 가스 실린더 검사부(200)로부터 가스 실린더(20)를 제공받을 수 있다.1, 2, and 5 to 7, the gas cylinder storage unit 300 may include at least one storage queue (Storage Queue) 310. The storage queue 310 may include an entry/exit part 311, a first seating part 312, a second gripper 313, a second gas detector 314, and a recognition part 315. The storage queue 310 may receive the gas cylinder 20 from the gas cylinder inspection unit 200 by the mobile robot 500 to be described later.

입출부(311)는 제2 방향(D2)으로 움직일 수 있고, 스토리지 큐(310)가 개폐될 수 있다. 입출부(311)는 가스 실린더(20)가 적재된 모바일 로봇(500)이 스토리지 큐(310)로 이동하면, 개방될 수 있다. 입출부(311)는 슬라이딩 도어일 수 있다.The entry/exit part 311 may move in the second direction D2, and the storage queue 310 may be opened or closed. The entry/exit part 311 may be opened when the mobile robot 500 loaded with the gas cylinder 20 moves to the storage queue 310. The entry/exit part 311 may be a sliding door.

제1 안착부(312)는 스토리지 큐(310)의 하면에 배치될 수 있다. 가스 실린더(20)는 모바일 로봇(500)에 의해 제1 안착부(312)에 안착될 수 있다. 제2 그리퍼(213)는 스토리지 큐(310)의 측벽에 배치될 수 있다. 제2 그리퍼(313)는 제1 안착부(312)에 저장된 가스 실린더(20)의 측면을 감쌀 수 있다. 가스 실린더(20)는 제2 그리퍼(313)에 의해 스토리지 큐(310)에 고정될 수 있다. The first seating portion 312 may be disposed on the lower surface of the storage queue 310. The gas cylinder 20 may be mounted on the first mounting portion 312 by the mobile robot 500. The second gripper 213 may be disposed on a sidewall of the storage queue 310. The second gripper 313 may wrap a side surface of the gas cylinder 20 stored in the first seat 312. The gas cylinder 20 may be fixed to the storage queue 310 by the second gripper 313.

제1 안착부(312)는 제1 안착부 몸체(312_1), 롤러부(312_3) 및 이동부(312_2)를 더 포함할 수 있다. 제1 안착부 몸체(312_1)는 니은(ㄴ)모양을 가질 수 있다. 제1 안착부 몸체(312_1)는 제1 높이를 가지는 부분과 제1 높이보다 높은 제2 높이를 가지는 부분을 포함할 수 있다. 제1 안착부 몸체(312_1)의 제1 높이를 가지는 부분에 롤러부(312_3)와 이동부(312_2)가 배치될 수 있다.The first seating portion 312 may further include a first seating portion body 312_1, a roller portion 312_3, and a moving portion 312_2. The first seating part body 312_1 may have a nieun (b) shape. The first seating part body 312_1 may include a portion having a first height and a portion having a second height higher than the first height. The roller part 312_3 and the moving part 312_2 may be disposed at a portion of the first seating part body 312_1 having a first height.

롤러부(312_3)는 제1 방향(D1)으로 연장되는 복수의 롤러를 포함할 수 있다. 가스 실린더(20)는 롤러부(312_3)에 의해 제1 방향(D1)으로 이동될 수 있다.The roller part 312_3 may include a plurality of rollers extending in the first direction D1. The gas cylinder 20 may be moved in the first direction D1 by the roller part 312_3.

이동부(312_2)는 롤러부(312_3)의 하면에 배치될 수 있다. 이동부(312_2)는 롤러부(312_3)를 제1 방향(D1)으로 이동시킬 수 있다. 가스 실린더(20)는 이동부(312_2)에 의해 제2 방향(D2)으로 이동될 수 있다. 즉, 가스 실린더(20)는 롤러부(312_3)에 의해 제2 방향(D2)으로 정렬될 수 있고 이동부(312_2)에 의해 제1 방향(D1)으로 정렬될 수 있다.The moving part 312_2 may be disposed on the lower surface of the roller part 312_3. The moving part 312_2 may move the roller part 312_3 in the first direction D1. The gas cylinder 20 may be moved in the second direction D2 by the moving part 312_2. That is, the gas cylinder 20 may be aligned in the second direction D2 by the roller part 312_3 and may be aligned in the first direction D1 by the moving part 312_2.

제1 안착부(312)의 밑면이 평평한 바닥인 경우, 가스 실린더(20)가 제2 그리퍼(313)에 의해 제1 안착부(312)에 안착될 때 마찰력에 의해 제2 그리퍼(313)에 의해 고정된 가스 실린더(20)의 상부가 스토리지 큐(310)의 내부로 기울어질 수 있다. 따라서 가스 실린더(20)가 안전하게 스토리지 큐(310)에 저장될 수 없다. When the bottom surface of the first seating portion 312 is a flat bottom, when the gas cylinder 20 is seated on the first seating portion 312 by the second gripper 313, the second gripper 313 is applied by frictional force. The upper portion of the gas cylinder 20 fixed by this may be inclined into the storage queue 310. Therefore, the gas cylinder 20 cannot be safely stored in the storage queue 310.

하지만, 본 발명의 몇몇 실시예들에 따른 제1 안착부(312) 상에 롤러부(312_3)가 배치되기 때문에, 가스 실린더(20)의 상부가 기울어지는 현상을 방지할 수 있어 가스 실린더(20)를 보다 안전하게 제1 안착부(312) 상에 안착시킬 수 있다.However, since the roller part 312_3 is disposed on the first seating part 312 according to some embodiments of the present invention, it is possible to prevent the upper part of the gas cylinder 20 from tilting, and thus the gas cylinder 20 ) Can be more safely seated on the first seating portion (312).

홀딩 감지 센서(미도시)는 제2 그리퍼(313) 상에 배치될 수 있다. 홀딩 감지 센서는 제2 그리퍼(313)가 가스 실린더(20)를 홀딩하고 있는지 여부를 감지할 수 있다. 제어부(600)는 홀딩 감지 센서로부터 제2 그리퍼(313)가 가스 실린더(20)를 홀딩하고 있는지 여부를 제공받을 수 있다. The holding sensor (not shown) may be disposed on the second gripper 313. The holding detection sensor may detect whether the second gripper 313 is holding the gas cylinder 20. The controller 600 may receive from the holding detection sensor whether the second gripper 313 is holding the gas cylinder 20.

제어부(600)는 제2 그리퍼(313)가 가스 실린더(20)를 홀딩하고 있는지 여부에 따라 가스 실린더(20)를 홀딩할 제2 그리퍼(313), 즉 가스 실린더(20)가 안착된 제1 안착부(312)의 위치를 결정할 수 있다. 모바일 로봇(500)은 제어부(600)에 의해 결정된 위치에 가스 실린더(20)를 제공할 수 있다.According to whether the second gripper 313 holds the gas cylinder 20, the control unit 600 controls the second gripper 313 to hold the gas cylinder 20, that is, the first gas cylinder 20 is mounted. The position of the seating part 312 may be determined. The mobile robot 500 may provide the gas cylinder 20 at a position determined by the control unit 600.

제2 가스 감지기(314)는 스토리지 큐(310)가 폐쇄되었을 때, 가스 실린더(20)의 가스 누설 여부를 감지할 수 있다. 제어부(600)는 제2 가스 감지기(314)로부터 감지된 스토리지 큐(310) 내의 가스 실린더(20)의 가스 누설 여부를 제공받을 수 있다.When the storage queue 310 is closed, the second gas detector 314 may detect whether the gas cylinder 20 leaks. The control unit 600 may be provided with whether the gas leak of the gas cylinder 20 in the storage queue 310 detected by the second gas detector 314.

인식부(315)는 스토리지 큐(310)의 측벽에 배치될 수 있다. 인식부(315)는 공압 액츄에이터(316), 바코드 리더기(317) 및 복수의 위치 센서(318)를 포함할 수 있다.The recognition unit 315 may be disposed on a sidewall of the storage queue 310. The recognition unit 315 may include a pneumatic actuator 316, a barcode reader 317, and a plurality of position sensors 318.

공압 액츄에이터(316)는 제어부(600)의 제어에 따라 스토리지 큐(310)의 측벽을 따라 제2 방향(D2)으로 움직일 수 있다. 가스 실린더(20)는 그 내부에 인화성 가스를 저장될 수 있기 때문에, 전기 액츄에이터를 이용할 경우 화재 또는 폭발의 위험성이 있을 수 있다. 하지만, 본 발명은 공압 액츄에이터(316)를 이용하므로 가스 실린더(20) 내부에 저장된 가스의 화재 또는 폭발의 위험성을 방지할 수 있다. The pneumatic actuator 316 may move in the second direction D2 along the sidewall of the storage queue 310 under the control of the controller 600. Since the gas cylinder 20 may store flammable gas therein, there may be a risk of fire or explosion when using an electric actuator. However, in the present invention, since the pneumatic actuator 316 is used, the risk of fire or explosion of the gas stored in the gas cylinder 20 can be prevented.

바코드 리더기(317)는 제어부(600)의 제어에 따라 가스 실린더(20)에 부착된 바코드(21)를 인식할 수 있다. 바코드 리더기(317)는 공압 액츄에이터(316)에 결합되어 공압 액츄에이터(316)에 의해 제2 방향(D2)으로 이동할 수 있다. 공압 액츄에이터(316)는 공압 액츄에이터(316)의 특성 상 바코드 리더기(317)가 설정 위치에 오도록 제어하는데 어려움이 있을 수 있다. 따라서 본 발명의 인식부(315)는 복수의 위치 센서(318)를 더 포함할 수 있다.The barcode reader 317 may recognize the barcode 21 attached to the gas cylinder 20 under the control of the controller 600. The barcode reader 317 is coupled to the pneumatic actuator 316 and can be moved in the second direction D2 by the pneumatic actuator 316. The pneumatic actuator 316 may have difficulty in controlling the barcode reader 317 to come to a set position due to the characteristics of the pneumatic actuator 316. Accordingly, the recognition unit 315 of the present invention may further include a plurality of position sensors 318.

복수의 위치 센서(318)는 공압 액츄에이터(316)를 따라 제2 방향(D2)으로 설정 간격을 두고 배치될 수 있다. 복수의 위치 센서(318)는 가스 실린더(20)가 제1 안착부(312)에 안착되는 경우 가스 실린더(20)의 제2 방향(D2)으로의 양측면에 배치될 수 있다. 즉, 설정 간격은 가스 실린더(20)의 제2 방향(D2)으로의 폭보다 클 수 있다. The plurality of position sensors 318 may be disposed along the pneumatic actuator 316 in the second direction D2 at a set interval. The plurality of position sensors 318 may be disposed on both sides of the gas cylinder 20 in the second direction D2 when the gas cylinder 20 is seated on the first seat 312. That is, the set interval may be larger than the width of the gas cylinder 20 in the second direction D2.

바코드 리더기(317)는 서로 이웃하는 위치 센서(318) 사이의 구간(S)에서 공압 액츄에이터(316)에 의해 제2 방향(D2)으로 이동하면서 가스 실린더(20)에 부착된 바코드(21)를 인식할 수 있다. 즉, 바코드 리더기(317)는 가스 실린더(20)가 안착되는 제1 안착부(312)의 앞에 배치된 위치 센서(318)에서 바코드 인식 동작을 시작하고 가스 실린더(20)가 안착되는 제1 안착부(312)의 뒤에 배치된 위치 센서(318)에서 바코드 인식 동작을 종료할 수 있다. 제어부(600)는 바코드 리더기(317)로부터 인식된 바코드 데이터를 제공받을 수 있다.The barcode reader 317 moves the barcode 21 attached to the gas cylinder 20 while moving in the second direction D2 by the pneumatic actuator 316 in the section S between the neighboring position sensors 318. I can recognize it. That is, the barcode reader 317 starts the barcode recognition operation at the position sensor 318 disposed in front of the first seating portion 312 on which the gas cylinder 20 is seated, and the first seating where the gas cylinder 20 is seated. The barcode recognition operation may be terminated by the position sensor 318 disposed behind the unit 312. The control unit 600 may receive the recognized barcode data from the barcode reader 317.

도 8은 본 발명의 몇몇 다른 실시예들에 따른 도 1 및 도 2의 가스 실린더 저장부를 설명하기 위한 도면이다. 도 5와 다른 점을 중심으로 설명한다.8 is a diagram illustrating a gas cylinder storage unit of FIGS. 1 and 2 according to some other embodiments of the present invention. It will be described focusing on differences from FIG. 5.

도 1, 도 2 및 도 8을 참조하면, 가스 실린더 저장부(300)는 적어도 하나의 스토리지 큐(320)를 포함할 수 있다. 스토리지 큐(320)는 입구부(321), 롤러부(322), 회전 모듈(323), 제2 그리퍼(324), 비전 모듈(325) 및 출구부(326)를 포함할 수 있다. 가스 실린더(20)는 입구부(321)를 통해 스토리지 큐(320) 내부로 제공될 수 있다.1, 2, and 8, the gas cylinder storage unit 300 may include at least one storage queue 320. The storage queue 320 may include an inlet part 321, a roller part 322, a rotation module 323, a second gripper 324, a vision module 325, and an outlet part 326. The gas cylinder 20 may be provided into the storage queue 320 through the inlet 321.

가스 실린더(20)는 롤러부(322) 상에 적재될 수 있다. 비전 모듈(325)은 입구부(321)를 통해 스토리지 큐(320) 내부로 제공된 가스 실린더(20)의 정보를 읽을 수 있다. 예를 들어, 비전 모듈(325)은 가스 실린더(20)에 부착된 바코드(21)를 인식하는 바코드 리더기일 수 있다.The gas cylinder 20 may be loaded on the roller unit 322. The vision module 325 may read information on the gas cylinder 20 provided into the storage queue 320 through the inlet 321. For example, the vision module 325 may be a barcode reader that recognizes the barcode 21 attached to the gas cylinder 20.

회전 모듈(323)을 중심으로 회전 모듈(323)의 측면을 따라 적어도 하나의 제2 그리퍼(324)가 배치될 수 있다. 따라서 적은 공간 내에 더 많은 가스 실린더(20)를 효율적으로 저장할 수 있다. At least one second gripper 324 may be disposed around the rotation module 323 along a side surface of the rotation module 323. Therefore, it is possible to efficiently store more gas cylinders 20 in less space.

제2 그리퍼(324)는 회전 모듈(323)의 외측면을 따라 일정 간격으로 배치될 수 있다. 제2 그리퍼(324)는 가스 실린더(20)의 측면을 감쌀 수 있으며, 가스 실린더(20)를 고정할 수 있다. 가스 실린더(20)가 입구부(321)를 통해 스토리지 큐(320)에 제공되면, 회전 모듈(323)이 회전할 수 있다. 회전 모듈(323)이 회전함에 따라, 제2 그리퍼(324)에 고정된 가스 실린더(20)는 롤러부(322)에 의해 이동될 수 있다. The second grippers 324 may be disposed at regular intervals along the outer surface of the rotation module 323. The second gripper 324 may wrap the side surface of the gas cylinder 20 and may fix the gas cylinder 20. When the gas cylinder 20 is provided to the storage queue 320 through the inlet portion 321, the rotation module 323 may rotate. As the rotation module 323 rotates, the gas cylinder 20 fixed to the second gripper 324 may be moved by the roller unit 322.

출구부(326)는 입구부(321)와 마주보는 스토리지 큐(320)의 측면에 배치될 수 있다. The outlet portion 326 may be disposed on the side of the storage queue 320 facing the inlet portion 321.

스토리지 큐(320)에 저장된 가스 실린더(20)들은 회전 모듈(323)의 회전 방향에 따라 왼쪽 또는 오른쪽으로 이동될 수 있다. 따라서, 가스 실린더(20)는 스토리지 큐(320)에 저장된 순서에 따라 출구부(326)에 배치될 수 있고, 출구부(326)를 통해 가스 실린더 교체부(400)로 제공될 수 있다. 이에 따라 가스 실린더(20)가 적체되지 않고, 유통기한에 따라 스토리지 큐(320)로부터 가스 실린더 교체부(400)로 가스 실린더(20)가 제공될 수 있다. The gas cylinders 20 stored in the storage queue 320 may be moved left or right according to the rotation direction of the rotation module 323. Accordingly, the gas cylinder 20 may be disposed at the outlet portion 326 according to the order stored in the storage queue 320, and may be provided to the gas cylinder replacement portion 400 through the outlet portion 326. Accordingly, the gas cylinder 20 is not accumulated, and the gas cylinder 20 may be provided from the storage queue 320 to the gas cylinder replacement unit 400 according to the expiration date.

도 9는 도 1 및 도 2의 가스 실린더 교체부를 설명하기 위한 도면이다. 9 is a view for explaining the gas cylinder replacement part of FIGS. 1 and 2.

도 1, 도 2 및 도 9를 참조하면, 가스 실린더 교체부(400)는 적어도 하나의 가스 캐비닛(410)을 포함할 수 있다. 가스 실린더(20)내의 가스는 가스 캐비닛(410)을 통해 반도체 공정 라인과 연결된 가스 배관과 연결되어 반도체 공정 라인에 공급될 수 있다.1, 2, and 9, the gas cylinder replacement unit 400 may include at least one gas cabinet 410. The gas in the gas cylinder 20 may be connected to a gas pipe connected to the semiconductor processing line through the gas cabinet 410 and supplied to the semiconductor processing line.

가스 캐비닛(410)은 가스 잔여량 감지부(미도시), 하부 클램프 모듈(423), 상부 클램프 모듈(425), 히팅 자켓(427), 제2 안착부(421), 주행부(430), 공용체결장치(440), 체결부(450) 및 CGA 플러그부(460)를 포함할 수 있다.The gas cabinet 410 includes a gas residual amount detection unit (not shown), a lower clamp module 423, an upper clamp module 425, a heating jacket 427, a second seating unit 421, a driving unit 430, and a common A fastening device 440, a fastening part 450, and a CGA plug part 460 may be included.

가스 잔여량 감지부는 가스 캐비닛(410) 내, 반도체 공정 라인과 연결된 가스 배관과 연결된 가스 실린더(20)에 저장된 가스의 양을 감지할 수 있다. 제어부(600)는 가스 잔여량 감지부로부터 감지된 가스 실린더(20)에 저장된 가스의 잔여량을 제공받을 수 있다. 제어부(600)는 가스의 잔여량이 설정 가스 잔여량 이하인지 판단할 수 있고 모바일 로봇(500)과 가스 캐비닛(410)이 가스 실린더(20)를 교체하도록 제어할 수 있다. 모바일 로봇(500)은 제어부(600)의 제어에 의해 가스 캐비닛(410)으로부터 가스 실린더(20)를 회수할 수 있고, 회수된 가스 실린더(20)에 저장된 가스의 성상에 따라 가스 실린더 저장부(300)로부터 가스 캐비닛(410)으로 가스 실린더(20)를 제공할 수 있다. The gas residual amount detector may detect the amount of gas stored in the gas cabinet 410 and in the gas cylinder 20 connected to the gas pipe connected to the semiconductor process line. The control unit 600 may receive the residual amount of gas stored in the gas cylinder 20 sensed by the gas residual amount detection unit. The controller 600 may determine whether the residual amount of gas is less than or equal to the set residual amount of gas, and may control the mobile robot 500 and the gas cabinet 410 to replace the gas cylinder 20. The mobile robot 500 can recover the gas cylinder 20 from the gas cabinet 410 under the control of the control unit 600, and according to the properties of the gas stored in the recovered gas cylinder 20, the gas cylinder storage unit ( A gas cylinder 20 may be provided from 300 to a gas cabinet 410.

이 때, 제어부(600)는 모바일 로봇(500)의 배터리 또는 모바일 로봇(500)의 위치 등을 고려하여 가장 효율적인 모바일 로봇(500)이 가스 캐비닛(410)으로부터 가스 실린더(20)를 회수하도록 제어할 수 있다. 또한, 가장 효율적인 모바일 로봇(500)이 가스 실린더 저장부(300)로부터 가스 캐비닛(410)으로 가스 실린더(20)를 제공하도록 제어할 수 있다.At this time, the control unit 600 controls the most efficient mobile robot 500 to recover the gas cylinder 20 from the gas cabinet 410 in consideration of the battery of the mobile robot 500 or the location of the mobile robot 500. can do. In addition, the most efficient mobile robot 500 can be controlled to provide the gas cylinder 20 from the gas cylinder storage unit 300 to the gas cabinet 410.

도 10은 도 9의 주행부를 설명하기 위한 도면이다. 도 11은 도 9의 공용체결장치를 설명하기 위한 도면이다. 도 12는 도 9의 체결부를 설명하기 위한 도면이다. 도 13은 가스 실린더를 설명하기 위한 도면이다. 10 is a view for explaining the driving unit of FIG. 9. 11 is a view for explaining the common fastening device of FIG. 12 is a view for explaining the fastening portion of FIG. 9. 13 is a diagram for describing a gas cylinder.

도 1, 도 2 및 도 9 내지 도 12을 참조하면, 제1 가이드 레일(412)은 가스 캐비닛(410)의 상면에 배치될 수 있다. 제1 가이드 레일(412)은 가스 캐비닛(410)의 길이 방향인 제2 방향(D2)을 따라 연장될 수 있다. 제2 가이드 레일(413)은 제1 가이드 레일(412)의 하면에 배치될 수 있다. 제2 가이드 레일(413)은 제1 방향(D1)으로 연장될 수 있다. 제3 가이드 레일(414)은 제2 가이드 레일(413)의 하면에 배치될 수 있다. 제3 가이드 레일(414)은 제3 방향(D3)으로 연장될 수 있다.1, 2 and 9 to 12, the first guide rail 412 may be disposed on the upper surface of the gas cabinet 410. The first guide rail 412 may extend along a second direction D2 that is a length direction of the gas cabinet 410. The second guide rail 413 may be disposed on the lower surface of the first guide rail 412. The second guide rail 413 may extend in the first direction D1. The third guide rail 414 may be disposed on the lower surface of the second guide rail 413. The third guide rail 414 may extend in the third direction D3.

주행부(430)는 제3 가이드 레일(414)에 결합될 수 있다. 주행부(430)는 내부에 제1 액츄에이터(미도시)를 포함할 수 있다. 주행부(430)는 제1 액츄에이터로부터 동력을 얻어 제1 내지 제3 가이드 레일(412, 413, 414)을 따라 제1 내지 제3 방향(D1, D2, D3)으로 이동할 수 있다.The driving unit 430 may be coupled to the third guide rail 414. The driving unit 430 may include a first actuator (not shown) therein. The driving unit 430 may receive power from the first actuator and move in the first to third directions D1, D2, and D3 along the first to third guide rails 412, 413, and 414.

공용체결장치(440)는 주행부(430)에 결합될 수 있다. 공용체결장치(440)는 주행부(430)의 하면에 결합될 수 있다. 공용체결장치(440)는 주행부(430)에 의해 제1 내지 제3 가이드 레일(412, 413, 414)을 따라 제1 내지 제3 방향(D1, D2, D3)으로 이동할 수 있다.The common fastening device 440 may be coupled to the driving unit 430. The common fastening device 440 may be coupled to the lower surface of the driving unit 430. The common fastening device 440 may move in the first to third directions D1, D2, and D3 along the first to third guide rails 412, 413, and 414 by the driving unit 430.

한편, 도 13을 참조하면, 가스 실린더(20)는 밸브 바디(26)와 가스 분사 노즐(24)을 포함할 수 있다. 밸브는 밸브 바디(26)에 연결될 수 있다. 가스 분사 노즐(24)은 밸브 바디(26)로부터 외측으로 돌출될 수 있다. 가스 실린더(20)에 저장된 가스는 가스 분사 노즐(24)을 통해 외부로 공급될 수 있다. 엔드캡(end cap, 미도시)은 가스 분사 노즐(24)에 결합될 수 있다. 예를 들어, 엔드캡은 가스 분사 노즐(24)에 나사 결합될 수 있다.Meanwhile, referring to FIG. 13, the gas cylinder 20 may include a valve body 26 and a gas injection nozzle 24. The valve can be connected to the valve body 26. The gas injection nozzle 24 may protrude outward from the valve body 26. The gas stored in the gas cylinder 20 may be supplied to the outside through the gas injection nozzle 24. An end cap (not shown) may be coupled to the gas injection nozzle 24. For example, the end cap may be screwed to the gas injection nozzle 24.

다시 도 9 내지 도 13을 참조하면, 복수의 체결부(450)는 가스 캐비닛(410)의 측벽 상에 배치될 수 있다. 체결부(450)는 가스 실린더(20)의 가스 분사 노즐(24)의 제2 방향(D2)으로의 측면에 배치될 수 있다. 체결부(450)는 체결부(450)의 외측면으로 돌출된 CGA 홀더부(452)와 엔드캡 홀더부(454)를 포함할 수 있다. CGA 홀더부(452)는 반도체 제조 공정 라인과 연결된 가스 배관과 연결될 수 있다. 엔드캡 홀더부(454)는 가스 실린더(20)의 가스 분사 노즐(24)에 결합된 엔드캡과 결합될 수 있다.Referring back to FIGS. 9 to 13, a plurality of fastening parts 450 may be disposed on a sidewall of the gas cabinet 410. The fastening part 450 may be disposed on a side surface of the gas injection nozzle 24 of the gas cylinder 20 in the second direction D2. The fastening part 450 may include a CGA holder part 452 and an end cap holder part 454 protruding from the outer surface of the fastening part 450. The CGA holder unit 452 may be connected to a gas pipe connected to a semiconductor manufacturing process line. The end cap holder 454 may be coupled to an end cap coupled to the gas injection nozzle 24 of the gas cylinder 20.

체결부(450)의 상면에는 얼라인 마크(456)가 형성될 수 있다. 얼라인 마크(456)는 체결부(450)의 정렬 상태를 나타내는 마크일 수 있다. 예를 들어, 얼라인 마크(456)는 도면에 도시된 바와 같이 내부에 십자 모양을 포함하는 원형 모양일 수 있으나 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니다. An alignment mark 456 may be formed on the upper surface of the fastening part 450. The alignment mark 456 may be a mark indicating an alignment state of the fastening part 450. For example, the alignment mark 456 may have a circular shape including a cross shape inside as shown in the drawing, but the present invention is not limited thereto.

공용체결장치(440)는 비전 센서(442)와 제2 액츄에이터(미도시)를 포함할 수 있다. The common fastening device 440 may include a vision sensor 442 and a second actuator (not shown).

공용체결장치(440)는 주행부(430)에 결합되어 체결부(450)가 위치한 티칭 포인트로 이동될 수 있다. 그 후, 비전 센서(442)는 체결부(450)의 상면에 배치된 얼라인 마크를 감지할 수 있다. 제어부(600)는 비전 센서(442)로부터 감지된 얼라인 마크를 기초로 하여 공용체결장치(440)와 체결부(450)의 제1 방향(D1) 및 제2 방향(D2)의 정렬을 판단할 수 있다 The common fastening device 440 may be coupled to the driving part 430 and moved to a teaching point where the fastening part 450 is located. After that, the vision sensor 442 may detect the alignment mark disposed on the upper surface of the fastening part 450. The controller 600 determines the alignment of the first direction (D1) and the second direction (D2) of the common fastening device 440 and the fastening part 450 based on the alignment mark detected from the vision sensor 442 can do

제어부(600)는 공용체결장치(440)가 체결부(450)와 정렬되도록 주행부(430)를 제어할 수 있다. 공용체결장치(440)는 주행부(430)에 의해 제1 방향(D1) 및 제2 방향(D2)으로 이동하여 체결부(450)와 정렬될 수 있다. 그 후, 정렬된 공용체결장치(440)는 제3 방향(D3)으로 이동하여 체결부(450)와 결합할 수 있다. 즉, 공용체결장치(440)와 체결부(450)의 비정렬(misalign) 정도는 주행부(430)와 공용체결장치(440)에 의해 보상될 수 있다. The control unit 600 may control the driving unit 430 such that the common fastening device 440 is aligned with the fastening unit 450. The common fastening device 440 may move in the first direction D1 and the second direction D2 by the driving part 430 and may be aligned with the fastening part 450. After that, the aligned common fastening device 440 may move in the third direction D3 to be coupled with the fastening part 450. That is, the degree of misalignment between the common fastening device 440 and the fastening part 450 may be compensated for by the driving part 430 and the common fastening device 440.

따라서, 본 발명은 하나의 공용체결장치(440)는 제어부(600)의 제어에 따라 복수의 체결부(450) 중 어느 하나와 결합될 수 있다. Accordingly, in the present invention, one common fastening device 440 may be coupled to any one of a plurality of fastening parts 450 under the control of the controller 600.

또한, 공용체결장치(440)에 결합된 체결부(450)는 가스 실린더(20)와 결합하기 위해 가스 분사 노즐(24)이 위치한 티칭 포인트로 이동될 수 있다. 비전 센서(442)는 가스 분사 노즐(24)의 윤곽을 감지할 수 있다. 제어부(600)는 비전 센서(442_로부터 제공받은 가스 분사 노즐(24)의 윤곽을 기초로 하여 체결부(450)와 가스 분사 노즐(24)의 제1 내지 제3 방향(D1, D2, D3)의 정렬을 판단할 수 있다. In addition, the fastening part 450 coupled to the common fastening device 440 may be moved to a teaching point where the gas injection nozzle 24 is located in order to couple with the gas cylinder 20. The vision sensor 442 may detect the outline of the gas injection nozzle 24. The control unit 600 is based on the outline of the gas injection nozzle 24 provided from the vision sensor 442_, based on the first to third directions (D1, D2, D3) of the fastening part 450 and the gas injection nozzle 24. ) Can be judged.

제어부(600)는 체결부(450)가 가스 분사 노즐(24)과 정렬되도록 주행부(430)를 제어할 수 있다. 체결부(450)는 주행부(430)에 의해 제1 내지 제3 방향(D1, D2, D3)으로 이동하여 체결부(450)와 정렬될 수 있다. 즉, 가스 분사 노즐(24)과 체결부(450)의 비정렬(misalign) 정도는 주행부(430)와 공용체결장치(440)에 의해 보상될 수 있다.The control unit 600 may control the driving unit 430 so that the fastening unit 450 is aligned with the gas injection nozzle 24. The fastening part 450 may be aligned with the fastening part 450 by moving in the first to third directions D1, D2, and D3 by the driving part 430. That is, the degree of misalignment between the gas injection nozzle 24 and the fastening part 450 may be compensated by the driving part 430 and the common fastening device 440.

제2 액츄에이터는 공용체결장치(440)에 결합된 체결부(450)의 CGA 홀더부(452)와 엔드캡 홀더부(454)에 동력을 전달할 수 있다. 제2 액츄에이터는 예를 들어, 모터일 수 있다. CGA 홀더부(452)와 엔드캡 홀더부(454)는 제2 액츄에이터에 의해 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전할 수 있다. The second actuator may transmit power to the CGA holder portion 452 and the end cap holder portion 454 of the fastening portion 450 coupled to the common fastening device 440. The second actuator may be, for example, a motor. The CGA holder portion 452 and the end cap holder portion 454 may be rotated in a clockwise or counterclockwise direction by a second actuator.

따라서 CGA 홀더부(452)는 제2 액츄에이터에 의해 가스 분사 노즐(24)과 결합되거나 분리될 수 있다. 엔드캡 홀더부(454)는 제2 액츄에이터에 의해 가스 분사 노즐(24)에 결합된 엔드캡과 결합되어 가스 분사 노즐(24)로부터 엔드캡을 분리하거나, 엔드캡 홀더부(454)에 결합된 엔드캡을 다시 가스 분사 노즐(24)에 결합시킬 수 있다.Accordingly, the CGA holder unit 452 may be coupled to or separated from the gas injection nozzle 24 by the second actuator. The end cap holder unit 454 is coupled to the end cap coupled to the gas injection nozzle 24 by a second actuator to separate the end cap from the gas injection nozzle 24 or coupled to the end cap holder unit 454. The end cap can be coupled to the gas injection nozzle 24 again.

즉, 가스 캐비닛(410)에 가스 실린더(20)가 안착된 경우, 공용체결장치(440)는 안착된 가스 실린더(20)의 측면에 배치된 체결부(450)에 정렬한 뒤 결합될 수 있다. 가스 실린더(20)의 가스 분사 노즐(24)에 결합된 엔드캡은 공용체결장치(440)에 의해 체결부(450)의 엔드캡 홀더부(454)에 결합되고, 가스 분사 노즐(24)은 체결부(450)의 CGA 홀더부(452)에 연결될 수 있다. 가스 실린더(20)에 저장된 가스가 소진된 경우, 가스 분사 노즐(24)은 공용체결장치(440)에 의해 체결부(450)의 CGA 홀더부(452)로부터 분리되고 엔트캡 홀더부(454)에 결합되어 엔드캡이 다시 결합될 수 있다.That is, when the gas cylinder 20 is seated in the gas cabinet 410, the common fastening device 440 may be coupled after being aligned with the fastening portion 450 disposed on the side of the seated gas cylinder 20. . The end cap coupled to the gas injection nozzle 24 of the gas cylinder 20 is coupled to the end cap holder portion 454 of the fastening portion 450 by a common fastening device 440, and the gas injection nozzle 24 is It may be connected to the CGA holder part 452 of the fastening part 450. When the gas stored in the gas cylinder 20 is exhausted, the gas injection nozzle 24 is separated from the CGA holder part 452 of the fastening part 450 by the common fastening device 440 and the encap holder part 454 And the end cap can be re-engaged.

도 14는 도 9의 CGA 플러그부를 설명하기 위한 도면이다. 14 is a view for explaining the CGA plug of FIG. 9.

도 1, 도 2 및 도 9 내지 도 14를 참조하면, CGA 플러그부(460)는 가스 캐비닛(410)의 측벽에 배치될 수 있다. CGA 플러그부(460)는 가스 실린더(20)의 가스 분사 노즐(24)의 제2 방향(D2)으로의 측면에 배치될 수 있다. 1, 2 and 9 to 14, the CGA plug part 460 may be disposed on a sidewall of the gas cabinet 410. The CGA plug part 460 may be disposed on a side surface of the gas injection nozzle 24 of the gas cylinder 20 in the second direction D2.

체결부(450)의 CGA 홀더부(452)에 연결된 가스 실린더(20)에 저장된 가스의 잔여량이 설정 잔여량 이하인 경우, 가스 실린더(20)는 모바일 로봇(500)에 의해 회수될 수 있다. 가스 실린더(20)가 회수된 경우, 체결부(450)는 CGA 홀더부(452)는 CGA 플러그부(460)에 연결될 수 있다. 모바일 로봇(500)에 의해 새로운 가스 실린더(20)가 가스 캐비닛(410)에 제공된 경우, 공용체결장치(440)는 체결부(450)와 결합하고, CGA 홀더부(452)에 동력을 제공하여 CGA 홀더부(452)로부터 CGA 플러그부(460)를 분리할 수 있다.When the remaining amount of gas stored in the gas cylinder 20 connected to the CGA holder part 452 of the fastening part 450 is less than or equal to the set remaining amount, the gas cylinder 20 may be recovered by the mobile robot 500. When the gas cylinder 20 is recovered, the fastening part 450 may be connected to the CGA holder part 452 to the CGA plug part 460. When a new gas cylinder 20 is provided to the gas cabinet 410 by the mobile robot 500, the common fastening device 440 is coupled with the fastening part 450 and provides power to the CGA holder part 452. The CGA plug part 460 can be separated from the CGA holder part 452.

도 15는 도 9의 가스 실린더 교체부의 동작을 설명하기 위한 도면이다. 도 16은 도 9의 하부 클램프 모듈을 설명하기 위한 도면이다.15 is a view for explaining the operation of the gas cylinder replacement unit of FIG. 9. 16 is a view for explaining the lower clamp module of FIG. 9.

도 1, 도 2 및 도 9 내지 도 16을 참조하면, 하부 클램프 모듈(423)과 상부 클램프 모듈(425)은 가스 캐비닛(410)의 측벽에 배치될 수 있다. 상부 클램프 모듈(425)은 제3 방향(D3)을 기준으로 하부 클램프 모듈(423)보다 상측에 배치될 수 있다.1, 2, and 9 to 16, the lower clamp module 423 and the upper clamp module 425 may be disposed on a sidewall of the gas cabinet 410. The upper clamp module 425 may be disposed above the lower clamp module 423 based on the third direction D3.

하부 클램프 모듈(423)은 가스 실린더(20)의 하측 측면을 클램핑할 수 있다. 상부 클램프 모듈(425)은 가스 실린더(20)의 상측 측면을 클램핑할 수 있다. 하부 클램프 모듈(423)과 상부 클램프 모듈(425)은 동일한 구조를 가질 수 있다. 이하, 하부 클램프 모듈(423)을 기준으로 설명한다.The lower clamp module 423 may clamp the lower side of the gas cylinder 20. The upper clamp module 425 may clamp the upper side of the gas cylinder 20. The lower clamp module 423 and the upper clamp module 425 may have the same structure. Hereinafter, a description will be made based on the lower clamp module 423.

하부 클램프 모듈(423)은 클램프 바디(423_1), 클램프 암(423_2) 및 제3 액츄에이터(423_4)를 포함할 수 있다.The lower clamp module 423 may include a clamp body 423_1, a clamp arm 423_2, and a third actuator 423_4.

클램프 바디(423_1)는 가스 캐비닛(410)의 측벽에 배치될 수 있다. 클램프 바디(423_1)를 기준으로 양측에 클램프 암(423_2)이 배치될 수 있다. The clamp body 423_1 may be disposed on a sidewall of the gas cabinet 410. Clamp arms 423_2 may be disposed on both sides of the clamp body 423_1.

클램프 암(423_2)은 가스 실린더(20)의 측면을 감싸도록 집게 형태일 수 있다. 클램프 암(423_2)은 내측면은 가스 실린더(20)를 감싸도록 둥근 모양일 수 있다. 클램프 암(423_2)은 롤러(423_3)로 구성될 수 있다. The clamp arm 423_2 may be in the form of tongs to surround the side surface of the gas cylinder 20. The clamp arm 423_2 may have a round shape so as to surround the gas cylinder 20 on the inner side. The clamp arm 423_2 may be composed of a roller 423_3.

제3 액츄에이터(423_4)는 클램프 암(423_2)의 하면에 배치될 수 있다. 제3 액츄에이터(423_4)는 롤러(423_3)의 하면에 연결될 수 있다. 제3 액츄에이터(423_4)는 롤러(423_3)로 동력을 제공할 수 있다.The third actuator 423_4 may be disposed on the lower surface of the clamp arm 423_2. The third actuator 423_4 may be connected to a lower surface of the roller 423_3. The third actuator 423_4 may provide power to the roller 423_3.

또한 히팅 자켓(427)은 하부 클램프 모듈(423)과 상부 클램프 모듈(425) 사이에 배치될 수 있다. 히팅 자켓(427)은 가스 실린더(20)의 일부를 감쌀 수 있다. 본 발명은 이에 제한되는 것은 아니며 가스 실린더(20)의 전부를 감쌀 수 있다. 히팅 자켓(427)은 가스 실린더(20) 내의 가스가 액체 상태인 경우, 가스 실린더(20)에 열을 가할 수 있다. 히팅 자켓(427)은 가스 실린더(20)의 온도를 올려줄 수 있고, 이에 따라 가스 배관으로 가스가 원활하게 제공될 수 있다.In addition, the heating jacket 427 may be disposed between the lower clamp module 423 and the upper clamp module 425. The heating jacket 427 may surround a part of the gas cylinder 20. The present invention is not limited thereto, and the entire gas cylinder 20 may be wrapped. The heating jacket 427 may apply heat to the gas cylinder 20 when the gas in the gas cylinder 20 is in a liquid state. The heating jacket 427 may raise the temperature of the gas cylinder 20, and thus gas may be smoothly provided through the gas pipe.

한편, 공용체결장치(440)에 결합된 체결부(450)가 가스 실린더(20)의 가스 분사 노즐(24)과 결합하기 위해 가스 분사 노즐(24)이 위치한 티칭 포인트로 이동하는 경우, 비전 센서(442)는 가스 실린더(20)의 가스 분사 노즐(24)의 윤곽과 가스 실린더(20)의 밸브 바디(26)의 윤곽을 감지할 수 있다.On the other hand, when the fastening part 450 coupled to the common fastening device 440 moves to the teaching point where the gas injection nozzle 24 is located in order to couple with the gas injection nozzle 24 of the gas cylinder 20, the vision sensor 442 may detect the contour of the gas injection nozzle 24 of the gas cylinder 20 and the contour of the valve body 26 of the gas cylinder 20.

제어부(600)는 비전 센서(442)로부터 제공받은 가스 분사 노즐(24)의 윤곽의 중심과 가스 실린더(20)의 밸브 바디(26)의 윤곽의 중심을 비교할 수 있다. 제어부(600)는 가스 분사 노즐(24)의 윤곽의 중심과 가스 실린더(20)의 바디의 윤곽의 중심을 비교하여 가스 실린더(20)의 정렬을 판단할 수 있다. 즉, 제어부(600)는 가스 실린더(20)가 제3 방향(D3)을 기준으로 기울어졌는지 판단할 수 있다. The controller 600 may compare the center of the outline of the gas injection nozzle 24 provided from the vision sensor 442 with the center of the outline of the valve body 26 of the gas cylinder 20. The controller 600 may determine the alignment of the gas cylinder 20 by comparing the center of the outline of the gas injection nozzle 24 with the center of the outline of the body of the gas cylinder 20. That is, the controller 600 may determine whether the gas cylinder 20 is inclined with respect to the third direction D3.

제어부(600)는 가스 실린더(20)가 제3 방향(D3)을 기준으로 기울어지지 않도록 하부 클램프 모듈(423)과 상부 클램프 모듈(425)을 제어할 수 있다. 하부 클램프 모듈(423) 및/또는 상부 클램프 모듈(425)은 롤러(423_3)에 의해 가스 실린더(20)를 제3 방향(D3)으로 정렬할 수 있다. 즉, 가스 실린더(20)의 제3 방향(D3)으로 기울어진 정도는 롤러(423_3)에 의해 보상될 수 있다.The controller 600 may control the lower clamp module 423 and the upper clamp module 425 so that the gas cylinder 20 is not inclined with respect to the third direction D3. The lower clamp module 423 and/or the upper clamp module 425 may align the gas cylinder 20 in the third direction D3 by the rollers 423_3. That is, the degree of inclination of the gas cylinder 20 in the third direction D3 may be compensated by the roller 423_3.

따라서 본 발명의 몇몇 실시예들에 따른 가스 공급 자동화 시스템은, 공용체결장치(440)가 체결부(450)와 정렬된 후 체결부(450)와 결합되고, 가스 실린더(20)가 제3 방향(D3)으로 정렬될 후 가스 분사 노즐(24)과 체결부(450)가 결합되기 때문에, 가스 실린더(20)와 반도체 공정 라인과 연결된 가스 배관이 자동으로 정렬되어 연결될 수 있다. Therefore, in the gas supply automation system according to some embodiments of the present invention, the common fastening device 440 is aligned with the fastening part 450 and then combined with the fastening part 450, and the gas cylinder 20 is in the third direction. Since the gas injection nozzle 24 and the fastening part 450 are coupled after being aligned in (D3), the gas cylinder 20 and the gas pipe connected to the semiconductor process line can be automatically aligned and connected.

도 17은 도 9의 가스켓 공급 장치를 설명하기 위한 도면이다. 17 is a view for explaining the gasket supply device of FIG. 9.

도 1, 도 2 및 도 9 내지 도 16을 참조하면, 가스켓 공급 장치(470)는 가스켓 공급부(472), 가스켓(474) 및 가스켓 박스(476)를 포함할 수 있다.1, 2, and 9 to 16, the gasket supply device 470 may include a gasket supply unit 472, a gasket 474, and a gasket box 476.

가스켓 공급부(472)는 가스 캐비닛(410)의 측면에 배치될 수 있다. 가스켓 공급부(472)는 가스 캐비닛(410)의 제1 방향(D1)의 일측면에 배치될 수 있다. 가스켓 공급부(472)는 제2 방향(D2)으로 돌출될 수 있다. 가스켓 공급부(472)는 내부에 적어도 하나의 가스켓(474)을 보관할 수 있다. The gasket supply unit 472 may be disposed on the side of the gas cabinet 410. The gasket supply unit 472 may be disposed on one side of the gas cabinet 410 in the first direction D1. The gasket supply part 472 may protrude in the second direction D2. The gasket supply unit 472 may store at least one gasket 474 therein.

가스켓 공급부(472)는 내부에 스프링과 같은 탄성체를 더 포함할 수 있다. 가스켓 공급부(472)는 탄성체에 의해 가스켓(474)을 제2 방향(D2)으로 제공할 수 있다. 가스켓 공급부(472)는 가스 캐비닛(410)으로부터 탈부착이 가능할 수 있다. 따라서 가스켓 공급부(472) 내의 가스켓(474)이 모두 소진된 경우 가스켓 공급부(472)는 가스 캐비닛(410)으로부터 탈착되어 가스켓(474)이 충전되고 다시 가스 캐비닛(410)에 부착될 수 있다.The gasket supply unit 472 may further include an elastic body such as a spring therein. The gasket supply unit 472 may provide the gasket 474 in the second direction D2 by an elastic body. The gasket supply unit 472 may be detachable from the gas cabinet 410. Accordingly, when all of the gaskets 474 in the gasket supply unit 472 are exhausted, the gasket supply unit 472 is detached from the gas cabinet 410, the gasket 474 is filled, and may be attached to the gas cabinet 410 again.

가스켓 박스(476)는 가스켓 공급부(472)의 측면에 배치될 수 있다. 가스켓 박스(476)는 사용된 가스켓(474)을 보관할 수 있다. 가스켓 박스(476) 또한 가스 캐비닛(410)으로부터 탈부착이 가능할 수 있다.The gasket box 476 may be disposed on the side of the gasket supply unit 472. The gasket box 476 can store the used gasket 474. The gasket box 476 may also be detachable from the gas cabinet 410.

한편, 도 11 및 도 12를 참조하면, 공용체결장치(440)는 가스켓 이동부(444) 및 가스켓 그리퍼(446)를 더 포함할 수 있다. Meanwhile, referring to FIGS. 11 and 12, the common fastening device 440 may further include a gasket moving part 444 and a gasket gripper 446.

가스켓 이동부(444)는 공용체결장치(440)의 측면에 배치될 수 있다. 가스켓 그리퍼(446)는 가스켓 이동부(444)에 연결될 수 있다. 가스켓 이동부(444)는 공용체결장치(440)의 이동에 따라 가스켓 공급 장치(470) 및 체결부(450)로 이동할 수 있다.The gasket moving part 444 may be disposed on the side of the common fastening device 440. The gasket gripper 446 may be connected to the gasket moving part 444. The gasket moving part 444 may move to the gasket supply device 470 and the fastening part 450 according to the movement of the common fastening device 440.

가스켓 그리퍼(446)는 가스켓(474)을 그립할 수 있고, 제1 방향(D1)과 제3 방향(D3)이 이루는 평면 상에서 회전할 수 있다. 가스켓 그리퍼(446)는 가스켓(474)을 그립하여 CGA 홀더부(452)에 제공할 수 있다. 가스켓 그리퍼(446)는 CGA 홀더부(452)에 결합된 가스켓(474)을 그립하여 CGA 홀더부(452)로부터 가스켓(474)을 제거할 수 있다. 제거된 가스켓(474)은 가스켓 박스(476)에 보관될 수 있다. 가스켓 그리퍼(446)는 공압 액츄에이터, 스텝 모더 또는 서브 모터 등과 같은 액츄에이터에 의해 동력을 제공받을 수 있다. The gasket gripper 446 may grip the gasket 474 and rotate on a plane formed by the first direction D1 and the third direction D3. The gasket gripper 446 may grip the gasket 474 and provide it to the CGA holder unit 452. The gasket gripper 446 may grip the gasket 474 coupled to the CGA holder portion 452 to remove the gasket 474 from the CGA holder portion 452. The removed gasket 474 may be stored in the gasket box 476. The gasket gripper 446 may be powered by an actuator such as a pneumatic actuator, a step moder or a sub motor.

가스켓(474)은 CGA 홀더부(452)에 가스 분사 노즐(24)이 결합될 때, CGA 홀더부(452)와 가스 분사 노즐(24)의 사이에 배치될 수 있다. 가스켓(474)은 예를 들어, 가스 분사 노즐(24)로부터 CGA 홀더부(452)로 제공된 가스가 누수 되는 것을 방지할 수 있다.The gasket 474 may be disposed between the CGA holder unit 452 and the gas injection nozzle 24 when the gas injection nozzle 24 is coupled to the CGA holder unit 452. The gasket 474 may prevent, for example, from leaking a gas supplied from the gas injection nozzle 24 to the CGA holder unit 452.

따라서 가스켓(474)은 제어부(600)의 제어에 의해 자동으로 CGA 홀더부(452)에 제공되거나 자동으로 CGA 홀더부(452)로부터 분리될 수 있다.Accordingly, the gasket 474 may be automatically provided to the CGA holder unit 452 under the control of the controller 600 or may be automatically separated from the CGA holder unit 452.

도 18은 도 1 및 도 2의 모바일 로봇과 가스 캐비닛을 설명하기 위한 도면으로 가스 캐비닛의 일부 구성요소만 나타낸 도면이다. 도 19는 도 18의 A부분의 확대도이다. 도 20은 도 9의 제2 안착부를 설명하기 위한 도면이다.18 is a view for explaining the mobile robot and the gas cabinet of FIGS. 1 and 2, and is a view showing only some components of the gas cabinet. 19 is an enlarged view of part A of FIG. 18. 20 is a view for explaining the second seating portion of FIG. 9.

도 1, 도 2 및 도 9 내지 도 20을 참조하면, 모바일 로봇(500)은 바디부(510), 암부(520) 및 제2 적재 감지 센서(530)를 포함할 수 있다.1, 2, and 9 to 20, the mobile robot 500 may include a body part 510, an arm part 520, and a second loading detection sensor 530.

암부(520)는 바디부(510)의 일면에 배치될 수 있다. 암부(520)는 제3 그리퍼(522), 구동부(523) 및 제3 안착부(524)를 포함할 수 있다. 구동부(523)는 바디부(510)와 제3 그리퍼(522)를 연결할 수 있다. 구동부(523)의 일단은 바디부(510)에 연결될 수 있고, 타단은 제3 그리퍼(522)에 연결될 수 있다.The arm portion 520 may be disposed on one surface of the body portion 510. The arm 520 may include a third gripper 522, a driving part 523, and a third seating part 524. The driving part 523 may connect the body part 510 and the third gripper 522. One end of the driving part 523 may be connected to the body part 510, and the other end may be connected to the third gripper 522.

제3 그리퍼(522)는 가스 실린더(20)의 측면을 감쌀 수 있다. 가스 실린더(20)는 제3 그리퍼(522)에 의해 모바일 로봇(500)에 고정될 수 있다.The third gripper 522 may surround the side of the gas cylinder 20. The gas cylinder 20 may be fixed to the mobile robot 500 by a third gripper 522.

구동부(523)는 제1 내지 제3 방향(D1, D2, D3)으로 이동할 수 있다. 제3 그리퍼(522)에 고정된 가스 실린더(20)는 구동부(523)에 의해 제1 내지 제3 방향(D1, D2, D3)으로 이동될 수 있다. The driving unit 523 may move in the first to third directions D1, D2, and D3. The gas cylinder 20 fixed to the third gripper 522 may be moved in the first to third directions D1, D2, and D3 by the driving part 523.

제1 거리 측정 센서(525)는 구동부(523)의 양측면 각각에 배치될 수 있다. 제1-1 거리 측정 센서(525_1)는 구동부(523)의 일측면에 배치될 수 있고, 제1-2 거리 측정 센서(525_2)는 제1-1 거리 측정 센서(525_1)와 마주보는 면에 배치될 수 있다. The first distance measurement sensor 525 may be disposed on each of both side surfaces of the driving unit 523. The 1-1st distance measurement sensor 525_1 may be disposed on one side of the driving unit 523, and the 1-2nd distance measurement sensor 525_2 is on a surface facing the 1-1st distance measurement sensor 525_1. Can be placed.

제1 거리 측정 센서(525)는 레이저를 이용하여 마주보는 제2 안착부(421)의 제1 면(421_2)을 감지할 수 있다. 제어부(600)는 제1 거리 측정 센서(525)에 의해 감지된 의 제1 면(421_2)을 기초로 하여 모바일 로봇(500)으로부터 제2 안착부(421)까지의 거리를 인식할 수 있다. 또한, 제어부(600)는 제1 거리 측정 센서(525)에 의해 감지된 의 제1 면(421_2)을 기초로 하여 모바일 로봇(500)과 제2 안착부(421)의 기울기 차이를 감지할 수 있다. 즉, 제어부(600)는 모바일 로봇(500)을 기준으로 제2 안착부(421)가 기울어진 각도를 감지할 수 있다. 제1 거리 측정 센서(525)는 예를 들어, LDS 센서일 수 있다. The first distance measurement sensor 525 may detect the first surface 421_2 of the second mounting portion 421 facing each other using a laser. The control unit 600 may recognize a distance from the mobile robot 500 to the second seating unit 421 based on the first surface 421_2 of, detected by the first distance measurement sensor 525. In addition, the control unit 600 may detect a difference in inclination between the mobile robot 500 and the second seating unit 421 based on the first surface 421_2 of, detected by the first distance measurement sensor 525. have. That is, the controller 600 may detect an angle in which the second seating unit 421 is inclined with respect to the mobile robot 500. The first distance measurement sensor 525 may be, for example, an LDS sensor.

따라서 모바일 로봇(500)은 제어부(600)의 제어에 의해 제2 안착부(421)와 정렬될 수 있다.Accordingly, the mobile robot 500 may be aligned with the second seating unit 421 under the control of the controller 600.

제3 안착부(524)는 구동부(523)의 최하면에 배치될 수 있다. 제3 안착부(524)는 구동부(523)의 중앙으로부터 제1 방향(D1)으로 돌출될 수 있다. 제3 안착부(524) 상에 가스 실린더(20)가 안착될 수 있다.The third seating part 524 may be disposed on the lowermost surface of the driving part 523. The third seating part 524 may protrude in the first direction D1 from the center of the driving part 523. The gas cylinder 20 may be seated on the third seating portion 524.

제3 안착부(524)는 제2 거리 측정 센서(526)를 더 포함할 수 있다. 제2 거리 측정 센서(526)는 제3 안착부(524) 상에 배치될 수 있다. 제2 거리 측정 센서(526)는 제2 거리 측정 센서(526)와 마주보는 제2 안착부(421)의 제1 면(421_2)을 감지할 수 있다. 제2 거리 측정 센서(526)는 제1 면(421_2)에 배치된 QR 마크를 감지할 수 있다. 제2 거리 측정 센서(526)는 예를 들어, QR 코드 리더기일 수 있다. 제어부(600)는 제2 거리 측정 센서(526)로부터 감지된 QR 마크를 기초로 하여 모바일 로봇(500)과 제2 안착부(421)의 위치 차이 및/또는 기울어진 각도를 감지할 수 있다.The third seating part 524 may further include a second distance measuring sensor 526. The second distance measurement sensor 526 may be disposed on the third seating part 524. The second distance measurement sensor 526 may detect the first surface 421_2 of the second seating portion 421 facing the second distance measurement sensor 526. The second distance measurement sensor 526 may detect the QR mark disposed on the first surface 421_2. The second distance measurement sensor 526 may be, for example, a QR code reader. The controller 600 may detect a position difference and/or an inclined angle between the mobile robot 500 and the second seating unit 421 based on the QR mark detected by the second distance measuring sensor 526.

따라서 모바일 로봇(500)은 제어부(600)의 제어에 의해 제2 안착부(421)와 정렬될 수 있다. 모바일 로봇(500)은 제1 거리 측정 센서(525) 및/또는 제2 거리 측정 센서(526)에 의해 가스 캐비닛(410)과 정렬될 수 있다. 본 도면에서는 모바일 로봇(500)이 제1 거리 측정 센서(525)와 제2 거리 측정 센서(526)를 포함하는 것으로 도시하였지만, 본 발명은 이에 제한되는 것은 아니다. 즉, 모바일 로봇(500)은 제1 거리 측정 센서(525)와 제2 거리 측정 센서(526)중 적어도 하나를 포함할 수 있다.Accordingly, the mobile robot 500 may be aligned with the second seating unit 421 under the control of the controller 600. The mobile robot 500 may be aligned with the gas cabinet 410 by the first distance measurement sensor 525 and/or the second distance measurement sensor 526. In this drawing, the mobile robot 500 is illustrated as including the first distance measurement sensor 525 and the second distance measurement sensor 526, but the present invention is not limited thereto. That is, the mobile robot 500 may include at least one of the first distance measurement sensor 525 and the second distance measurement sensor 526.

본 발명의 몇몇 실시예들에 따른 모바일 로봇(500)은 암부(520)에 제1 및 제2 거리 측정 센서(525, 526)를 포함하기 때문에, 암부(520)가 가스 실린더(20)를 적재하여, 가스 실린더(20)의 무게로 인해 암부(520)의 위치가 틀어질 경우 제1 및 제2 거리 측정 센서(526)도 함께 위치가 틀어질 수 있다. 따라서 제어부(600)는 보다 정확하게 모바일 로봇(500)과 제2 안착부(421)의 정렬을 보정하고 제어할 수 있다.Since the mobile robot 500 according to some embodiments of the present invention includes the first and second distance measurement sensors 525 and 526 in the arm 520, the arm 520 loads the gas cylinder 20 Thus, when the position of the arm 520 is changed due to the weight of the gas cylinder 20, the first and second distance measuring sensors 526 may also be displaced. Therefore, the control unit 600 may more accurately correct and control the alignment of the mobile robot 500 and the second seating unit 421.

제2 적재 감지 센서(530)는 바디부(510)에 배치될 수 있다. 제2 적재 감지 센서(530)는 암부(520)가 배치된 바디부(510)의 일면의 상부에 배치될 수 있다. 제2 적재 감지 센서(530)는 제2 적재 감지 센서(530)와 마주보는 가스 캐비닛(410) 내의 제2 안착부(421) 상에 가스 실린더(20)가 적재 되어있는지 여부를 감지할 수 있다. The second loading detection sensor 530 may be disposed on the body part 510. The second loading detection sensor 530 may be disposed above one surface of the body portion 510 on which the arm portion 520 is disposed. The second loading detection sensor 530 may detect whether the gas cylinder 20 is loaded on the second seating part 421 in the gas cabinet 410 facing the second loading detection sensor 530. .

가스 캐비닛(410) 내에는 제2 안착부(421), 하부 클램프 모듈(423) 및 상부 클램프 모듈(425)이 배치될 수 있다. 제1 적재 감지 센서(429)는 상부 클램프 모듈(425) 상에 배치될 수 있다. 제1 적재 감지 센서(429)는 제2 안착부(421) 상에 가스 실린더(20)가 적재 되어있는지 여부를 감지할 수 있다. 본 도면에서는 제1 적재 감지 센서(429)가 상부 클램프 모듈(425)에 배치되는 것으로 도시하였지만 본 발명은 이에 제한되는 것은 아니다. 제1 적재 감지 센서(429)는 예를 들어, 제2 안착부(421) 또는 하부 클램프 모듈(423) 상에 배치되어 가스 실린더(20)의 적재 여부를 감지할 수 있다.A second seating portion 421, a lower clamp module 423, and an upper clamp module 425 may be disposed in the gas cabinet 410. The first loading detection sensor 429 may be disposed on the upper clamp module 425. The first loading detection sensor 429 may detect whether the gas cylinder 20 is loaded on the second seating part 421. In this drawing, although the first loading detection sensor 429 is shown to be disposed on the upper clamp module 425, the present invention is not limited thereto. The first loading detection sensor 429 may be disposed on the second mounting portion 421 or the lower clamp module 423 to detect whether the gas cylinder 20 is loaded.

제1 적재 감지 센서(429)는 제2 안착부(421) 상에 가스 실린더(20)가 적재되었는지 여부를 감지할 수 있다. 제어부(600)는 제1 적재 감지 센서(429)의 감지 결과를 기초로 하여 제2 안착부(421) 상에 가스 실린더(20)가 적재되지 않음을 판단할 수 있다. 제어부(600)는 제2 안착부(421) 상에 가스 실린더(20)가 적재되지 않은 경우 모바일 로봇(500)이 가스 실린더(20)를 적재하고 있는지를 판단할 수 있다. 가스 실린더(20)는 가스 실린더(20)가 적재되지 않은 제2 안착부(421)에 제공 되어야하기 때문이다.The first loading detection sensor 429 may detect whether the gas cylinder 20 is loaded on the second seating part 421. The controller 600 may determine that the gas cylinder 20 is not loaded on the second seating part 421 based on the detection result of the first loading detection sensor 429. When the gas cylinder 20 is not loaded on the second seating part 421, the control unit 600 may determine whether the mobile robot 500 is loading the gas cylinder 20. This is because the gas cylinder 20 must be provided to the second seating portion 421 in which the gas cylinder 20 is not loaded.

가스 실린더(20)가 적재된 모바일 로봇(500)은 제어부(600)의 제어에 따라 가스 캐비닛(410)으로 이동할 수 있다. 모바일 로봇(500)은 가스 캐비닛(410) 내 가스 실린더(20)가 제공될 제2 안착부(421)로 이동할 수 있다. 모바일 로봇(500)에 배치된 제2 적재 감지 센서(530)는 제2 안착부(421) 상에 가스 실린더(20)가 적재되었는지 여부를 감지할 수 있다. 제어부(600)는 제2 적재 감지 센서(530)의 감지 결과를 기초로 하여 제2 안착부(421) 상에 가스 실린더(20)가 적재되지 않음을 더 판단할 수 있다. The mobile robot 500 loaded with the gas cylinder 20 may move to the gas cabinet 410 under the control of the controller 600. The mobile robot 500 may move to the second seat 421 in the gas cabinet 410 where the gas cylinder 20 is to be provided. The second loading detection sensor 530 disposed on the mobile robot 500 may detect whether the gas cylinder 20 is loaded on the second seating part 421. The controller 600 may further determine that the gas cylinder 20 is not loaded on the second seating part 421 based on the detection result of the second loading detection sensor 530.

모바일 로봇(500)의 암부(520)는 가스 캐비닛(410) 내의 다른 구성요소와 부딪히지 않도록 제2 안착부(421) 앞에 위치될 수 있다. 제2 안착부(421)는 중앙부에 내부로 만입된 홈을 포함할 수 있다. 모바일 로봇(500)의 제3 안착부(524)는 제2 안착부(421)에 형성된 홈에 안착될 수 있다. The arm portion 520 of the mobile robot 500 may be positioned in front of the second seating portion 421 so as not to collide with other components in the gas cabinet 410. The second seating portion 421 may include a groove recessed into the central portion. The third seating portion 524 of the mobile robot 500 may be seated in a groove formed in the second seating portion 421.

암부(520)가 가스 실린더(20)를 가스 캐비닛(410)으로 제공하면, 하부 클램프 모듈(423)과 상부 클램프 모듈(425)이 가스 실린더(20)를 세미 그립(semi grip)할 수 있다. 하부 클램프 모듈(423)과 상부 클램프 모듈(425)이 가스 실린더(20)를 완전히 그립하면, 모바일 로봇(500)의 암부(520)는 가스 실린더(20)를 가스 캐비닛(410)에 제공할 수 있다.When the arm portion 520 provides the gas cylinder 20 to the gas cabinet 410, the lower clamp module 423 and the upper clamp module 425 may semi-grip the gas cylinder 20. When the lower clamp module 423 and the upper clamp module 425 completely grip the gas cylinder 20, the arm 520 of the mobile robot 500 can provide the gas cylinder 20 to the gas cabinet 410. have.

도 21은 본 발명의 다른 몇몇 실시예들에 따른 가스 공급 자동화 시스템을 설명하기 위한 도면이다. 이하 도 1 및 도 2의 가스 공급 자동화 시스템과 다른 점을 중심으로 설명한다.21 is a diagram for describing a gas supply automation system according to some other embodiments of the present invention. Hereinafter, differences from the gas supply automation system of FIGS. 1 and 2 will be mainly described.

본 발명의 몇몇 다른 실시예에 따른 가스 공급 자동화 시스템은, 제3 방향(D3)으로 적어도 하나의 층을 포함할 수 있다. 적어도 하나의 층은 제1 층(301)과 제2 층(302)을 포함할 수 있다. 제2 층(302)은 예를 들어, 제3 방향(D3)으로 최상위층에 해당할 수 있다. 제1 층(301)은 가연성 가스 외의 가스가 저장된 제1 가스 실린더(20)가 저장될 수 있다. 제2 층(302)은 가연성 가스가 저장된 제2 가스 실린더(22)가 저장될 수 있다. 제2 층(302)은 제2 이송부(115), 제2 이송 로봇(142), 제2 스토리지 큐(330) 및 제4 이송 로봇(502)이 배치될 수 있다.The gas supply automation system according to some other exemplary embodiments of the present invention may include at least one layer in the third direction D3. At least one layer may include a first layer 301 and a second layer 302. The second layer 302 may correspond to the uppermost layer in the third direction D3, for example. The first layer 301 may store a first gas cylinder 20 in which gases other than combustible gases are stored. The second layer 302 may store a second gas cylinder 22 in which combustible gas is stored. The second layer 302 may include a second transfer unit 115, a second transfer robot 142, a second storage queue 330, and a fourth transfer robot 502.

지게차(1)로부터 적어도 하나의 제2 가스 실린더(22)가 저장된 크래들(10)이 제공될 수 있다. 가스 실린더 이송부(100)는 엘리베이터(105)를 더 포함할 수 있다. 크래들(10)은 엘리베이터(105) 내의 컨베이어밸트(107) 상에 적재될 수 있다. 크래들(10)은 엘리베이터(105)에 의해 제3 방향(D3)으로 이동될 수 있고, 제2 층(302)에 제공될 수 있다. A cradle 10 in which at least one second gas cylinder 22 is stored from the forklift 1 may be provided. The gas cylinder transfer unit 100 may further include an elevator 105. The cradle 10 may be loaded on the conveyor belt 107 in the elevator 105. The cradle 10 may be moved in the third direction D3 by the elevator 105 and may be provided on the second floor 302.

크래들(10)은 제2 층(302)에 배치된 제2 이송부(115)에 제공될 수 있다. 제2 층 (302)에 배치된 제3 이송 로봇(142)은 크래들(10)에 저장된 제2 가스 실린더(22)를 제2 가스 실린더(22) 단위로 분리할 수 있다. 제3 이송 로봇(142)은 이송 로봇(140)과 동일한 이송 로봇일 수 있다.The cradle 10 may be provided on the second transfer unit 115 disposed on the second layer 302. The third transfer robot 142 disposed on the second layer 302 may separate the second gas cylinder 22 stored in the cradle 10 into units of the second gas cylinder 22. The third transfer robot 142 may be the same transfer robot as the transfer robot 140.

제2 층 (302)에는 제4 이송 로봇(502)과 제2 스토리지 큐(330)가 배치될 수 있다. 제4 이송 로봇(502)은 제2 가스 실린더(22)를 제2 스토리지 큐(330)에 제공할 수 있다. 제2 가스 실린더(22)는 가연성 가스를 저장하고 있기 때문에, 제4 이송 로봇(502)은 방폭 프레임(도 11의 506)을 더 포함할 수 있다. 이하 도 11을 참고하여 설명한다.A fourth transfer robot 502 and a second storage queue 330 may be disposed on the second layer 302. The fourth transfer robot 502 may provide the second gas cylinder 22 to the second storage queue 330. Since the second gas cylinder 22 stores combustible gas, the fourth transfer robot 502 may further include an explosion-proof frame (506 in FIG. 11 ). It will be described below with reference to FIG. 11.

한편, 가스 실린더 이송부(100)는 가스 실린더 저장부(300)와 가스 실린더 교체부 사이에 배치된 실린더 리프터(165)를 더 포함할 수 있다. 가스 실린더 교체부는 제1 층(301)에 배치될 수 있다. 따라서 제2 가스 실린더(22)는 실린더 리프터(165)를 통해 제1 층(301)의 가스 실린더 교체부에 제공될 수 있다. 또는 제2 가스 실린더(22)는 연결 통로(350)를 통해 다른 건물에 배치된 가스 실린더 교체부로 제공될 수 있다.Meanwhile, the gas cylinder transfer unit 100 may further include a cylinder lifter 165 disposed between the gas cylinder storage unit 300 and the gas cylinder replacement unit. The gas cylinder replacement unit may be disposed on the first layer 301. Accordingly, the second gas cylinder 22 may be provided to the gas cylinder replacement part of the first layer 301 through the cylinder lifter 165. Alternatively, the second gas cylinder 22 may be provided as a gas cylinder replacement part disposed in another building through the connection passage 350.

제2 스토리지 큐(330)에 저장된 제2 가스 실린더(22)는 실린더 리프터(165)를 통해 가스 실린더 교체부(400)에 제공될 수 있다. 실린더 리프터(165)는 제3 방향(D3)으로 제2 가스 실린더(22)를 이동시킬 수 있다. 제2 가스 실린더(22)는 가연성 가스를 포함하고 있기 때문에 방폭 프레임(도 11의 506) 내에 적재되어 실린더 리프터(165)에 제공될 수 있다. The second gas cylinder 22 stored in the second storage queue 330 may be provided to the gas cylinder replacement unit 400 through the cylinder lifter 165. The cylinder lifter 165 may move the second gas cylinder 22 in the third direction D3. Since the second gas cylinder 22 contains combustible gas, it may be loaded in the explosion-proof frame (506 in FIG. 11) and provided to the cylinder lifter 165.

도 22는 도 21의 가스 캐비닛을 설명하기 위한 도면이다.22 is a view for explaining the gas cabinet of FIG. 21.

도 21 및 도 22를 참조하면, 가연성 가스가 저장된 제2 가스 실린더(22)는 방폭 프레임(506) 내에 적재되어, 제1 층(301)에 제공될 수 있다. 방폭 프레임(506)의 일측은 모바일 로봇(500)의 하단과 암부(520)에 연결될 수 있다. 제2 가스 실린더(22)가 적재된 방폭 프레임(506)은 모바일 로봇(500)에 연결되어 가스 캐비닛(410)으로 이송될 수 있다. 모바일 로봇(500)이 방폭 프레임(506)을 가스 캐비닛(410) 앞으로 이송하고 위치를 정렬할 수 있다. 21 and 22, the second gas cylinder 22 in which the combustible gas is stored may be loaded in the explosion-proof frame 506 and provided on the first layer 301. One side of the explosion-proof frame 506 may be connected to the lower end of the mobile robot 500 and the arm 520. The explosion-proof frame 506 on which the second gas cylinder 22 is loaded may be connected to the mobile robot 500 and transferred to the gas cabinet 410. The mobile robot 500 may transfer the explosion-proof frame 506 in front of the gas cabinet 410 and align the position.

도킹부(516)는 방폭 프레임(506)의 타측에 배치될 수 있다. 도킹부(516)는 가스 캐비닛(410)과 도킹될 수 있다. 도킹부(516)와 가스 캐비닛(410)이 도킹되면, 가스 캐비닛(410)의 입출부(431)가 개방될 수 있다. The docking part 516 may be disposed on the other side of the explosion-proof frame 506. The docking part 516 may be docked with the gas cabinet 410. When the docking part 516 and the gas cabinet 410 are docked, the entry/exit part 431 of the gas cabinet 410 may be opened.

방폭 프레임(506)은 제1 텔레스코픽 액츄에이터(512)와 제2 텔레스코픽 액츄에이터(514)를 포함할 수 있다. 제1 텔레스코픽 액츄에이터(512)는 방폭 프레임(506)의 상측에 배치될 수 있다. 제2 텔레스코픽 액츄에이터(514)는 방폭 프레임(506)의 하단에 배치될 수 있다. 가스 캐비닛(410)의 입출부(431)가 개방되면, 제1 텔레스코픽 액츄에이터(512)와 제2 텔레스코픽 액츄에이터(514)는 가스 캐비닛(410) 측으로 이동할 수 있다. The explosion-proof frame 506 may include a first telescopic actuator 512 and a second telescopic actuator 514. The first telescopic actuator 512 may be disposed above the explosion-proof frame 506. The second telescopic actuator 514 may be disposed below the explosion-proof frame 506. When the inlet and outlet portions 431 of the gas cabinet 410 are opened, the first telescopic actuator 512 and the second telescopic actuator 514 may move toward the gas cabinet 410.

제1 텔레스코픽 액츄에이터(512)는 가스 캐비닛(410)과 연결될 수 있다. 제2 텔레스코픽 액츄에이터(514)는 가스 캐비닛(410)의 적재부(433)와 연결될 수 있고, 연결 통로가 형성될 수 있다. 제2 가스 실린더(22)는 연결 통로를 통해 가스 캐비닛(410)으로 이동될 수 있고, 제1 텔레스코픽 액츄에이터(512)에 의해 가이드 되어 쓰러지지 않을 수 있다. 따라서 안전하게 가연성 가스가 저장된 제2 가스 실린더(22)를 자동으로 교체할 수 있다. 또한, 방폭 프레임(506)에 의해 제2 가스 실린더(22)의 가스 누출 또는 폭발로 인한 피해가 감소될 수 있다.The first telescopic actuator 512 may be connected to the gas cabinet 410. The second telescopic actuator 514 may be connected to the loading portion 433 of the gas cabinet 410, and a connection passage may be formed. The second gas cylinder 22 may be moved to the gas cabinet 410 through the connection passage, and may be guided by the first telescopic actuator 512 so as not to fall. Therefore, it is possible to automatically replace the second gas cylinder 22 in which the combustible gas is safely stored. In addition, damage due to gas leakage or explosion of the second gas cylinder 22 may be reduced by the explosion-proof frame 506.

도 23는 본 발명의 몇몇 실시예들에 따른 가스 공급 자동화 시스템을 설명하기 위한 순서도이다.23 is a flow chart illustrating a gas supply automation system according to some embodiments of the present invention.

도 1 내지 도 23을 참조하면, 본 발명의 몇몇 실시예들에 따른 가스 공급 자동화 시스템은, 가스 실린더(20)가 가스 공급 자동화 시스템에 투입될 수 있다(S100). 가스 실린더(20)는 가스 실린더 이송부(100)에 의해 가스 실린더 검사부(200)로 이송될 수 있다.1 to 23, in the gas supply automation system according to some embodiments of the present invention, the gas cylinder 20 may be introduced into the gas supply automation system (S100). The gas cylinder 20 may be transferred to the gas cylinder inspection unit 200 by the gas cylinder transfer unit 100.

이어서, 가스 실린더 검사부(200)는 가스 실린더(20)의 밸브 형상을 확인하고, 가스 실린더(20)의 측면을 그리핑할 수 있다(S110). 가스 실린더 검사부(200)는 가스 실린더(20)의 외부에 부착된 바코드(21)를 통해 가스 실린더(20)의 정보를 읽을 수 있다. 또한 가스 실린더(20)의 가스 누설 여부를 검사할 수 있다(S120).Subsequently, the gas cylinder inspection unit 200 may check the valve shape of the gas cylinder 20 and grip the side surface of the gas cylinder 20 (S110). The gas cylinder inspection unit 200 may read information on the gas cylinder 20 through the barcode 21 attached to the outside of the gas cylinder 20. In addition, it is possible to check whether the gas cylinder 20 leaks (S120).

이어서, 가스 실린더 검사부(200)에서 검사가 완료된 가스 실린더(20)는 모바일 로봇(500)에 로드될 수 있다(S130). 모바일 로봇(500)은 가스 실린더(20)를 스토리지 큐(310)로 이송할 수 있다. 가스 실린더(20)는 스토리지 큐(310)에 저장되어(S140), 가스 실린더(20)는 모바일 로봇(500)에 언로드될 수 있다(S150).Subsequently, the gas cylinder 20 that has been inspected by the gas cylinder inspection unit 200 may be loaded into the mobile robot 500 (S130). The mobile robot 500 may transfer the gas cylinder 20 to the storage queue 310. The gas cylinder 20 is stored in the storage queue 310 (S140), and the gas cylinder 20 may be unloaded to the mobile robot 500 (S150).

이어서, 가스 캐비닛(410) 내에 적재된 가스 실린더(20) 내의 가스가 소진된 경우, 스토리지 큐(310)에 저장된 가스 실린더(20)는 모바일 로봇(500)에 로드될 수 있다(S160). 모바일 로봇(500)은 가스 실린더(20)를 가스 캐비닛(410)에 투입할 수 있다(S170). 가스 실린더(20)는 공용체결장치(440)에 의해 가스 캐비닛(410)에 연결될 수 있다(S170). 가스 실린더(20)의 밸브 셔터(443)가 연결될 수 있다(S190). Subsequently, when the gas in the gas cylinder 20 loaded in the gas cabinet 410 is exhausted, the gas cylinder 20 stored in the storage queue 310 may be loaded into the mobile robot 500 (S160). The mobile robot 500 may put the gas cylinder 20 into the gas cabinet 410 (S170). The gas cylinder 20 may be connected to the gas cabinet 410 by a common fastening device 440 (S170). The valve shutter 443 of the gas cylinder 20 may be connected (S190).

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 제조될 수 있으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.Although the embodiments of the present invention have been described with reference to the accompanying drawings, the present invention is not limited to the above embodiments, but may be manufactured in various different forms, and those skilled in the art to which the present invention pertains. It will be understood that the present invention can be implemented in other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present invention. Therefore, it should be understood that the embodiments described above are illustrative in all respects and not limiting.

20: 가스 실린더 22: 가스 분사 노즐
100: 가스 실린더 이송부 200: 가스 실린더 검사부
300: 가스 실린더 저장부 310, 320: 스토리지 큐
400: 가스 실린더 교체부 410: 가스 캐비닛
500: 모바일 로봇 600: 제어부20: gas cylinder 22: gas injection nozzle
100: gas cylinder transfer unit 200: gas cylinder inspection unit
300: gas cylinder storage unit 310, 320: storage queue
400: gas cylinder replacement unit 410: gas cabinet
500: mobile robot 600: control unit

Claims (10)

내부에 가스가 저장된 적어도 하나의 가스 실린더들이 저장된 크래들(cradle)을 이송하는 가스 실린더 이송부;
상기 가스 실린더 이송부로부터 이송된 상기 가스 실린더의 내부에 저장된 상기 가스의 성상을 확인하고, 상기 가스 실린더의 가스 누출 여부를 검사하는 가스 실린더 검사부;
상기 가스 실린더 검사부로부터 모바일 로봇에 의해 상기 가스 실린더를 이송받고, 상기 이송된 가스 실린더를 상기 가스 실린더의 내부에 저장된 상기 가스의 성상에 따라 분류하여 저장하는 스토리지 큐; 및
상기 스토리지 큐로부터 상기 모바일 로봇에 의해 상기 가스 실린더를 이송받고, 상기 이송된 가스 실린더의 일측에 배치된 가스 분사 노즐에 반도체 제조 공정 라인과 연결된 가스 배관을 체결하여 상기 반도체 제조 공정 라인에 상기 가스 실린더의 내부에 저장된 상기 가스를 공급하는 가스 캐비닛을 포함하고,
상기 가스 캐비닛은,
상기 가스 배관과 체결된 상기 가스 실린더의 내부에 저장된 상기 가스의 잔여량을 감지하는 가스 잔여량 감지부를 포함하고,
상기 모바일 로봇은,
상기 가스 잔여량 감지부로부터 감지된 상기 가스의 잔여량이 설정 가스 잔여량 이하이면, 상기 모바일 로봇은 상기 가스 캐비닛 내의 상기 가스 실린더를 회수하고 상기 스토리지 큐에 보관된 가스 실린더를 상기 가스 캐비닛으로 이송하는 가스 공급 자동화 시스템.A gas cylinder transfer unit for transferring a cradle in which at least one gas cylinder in which gas is stored is stored;
A gas cylinder inspection unit that checks the properties of the gas stored in the gas cylinder transferred from the gas cylinder transfer unit, and checks whether gas leaks from the gas cylinder;
A storage queue that receives the gas cylinder from the gas cylinder inspection unit by a mobile robot, and classifies and stores the transferred gas cylinder according to the properties of the gas stored in the gas cylinder; And
The gas cylinder is transferred from the storage queue by the mobile robot, and a gas pipe connected to the semiconductor manufacturing process line is connected to a gas injection nozzle disposed at one side of the transferred gas cylinder, and the gas cylinder is connected to the semiconductor manufacturing process line. And a gas cabinet for supplying the gas stored in the inside of,
The gas cabinet,
And a gas residual amount detector configured to detect a residual amount of the gas stored in the gas cylinder connected to the gas pipe,
The mobile robot,
When the residual amount of the gas detected by the gas residual amount detection unit is less than or equal to the set gas residual amount, the mobile robot recovers the gas cylinder in the gas cabinet and transfers the gas cylinder stored in the storage queue to the gas cabinet. Automation system. 제 1항에 있어서,
상기 가스 실린더 이송부는,
상기 크래들을 제1 방향으로 이동시켜 상기 가스 공급 자동화 시스템의 내부로 이동시키는 제1 이송부와, 상기 제1 이송부와 연결되어 상기 크래들을 상기 제1 방향과 수직을 이루는 제2 방향으로 이동시키는 제2 이송부와, 상기 제2 방향으로 연장된 가이드 레일 상에 배치되고, 상기 제2 이송부 상의 상기 크래들에 저장된 상기 가스 실린더를 상기 가스 실린더 검사부로 이송하는 이송 로봇을 포함하고,
상기 가스 실린더 검사부는,
상기 가스 실린더 이송부로부터 이송된 상기 가스 실린더가 적재되는 작업부와, 상기 가스 실린더에 부착된 바코드를 인식하여 상기 가스 실린더 내의 가스의 성상을 파악하는 바코드 리더기와, 상기 가스 실린더의 측면을 감싸 상기 가스 실린더를 고정하는 제1 그리퍼와, 상기 작업부 내의 가스 누설을 감지하는 가스 감지기를 포함하는 가스 공급 자동화 시스템.The method of claim 1,
The gas cylinder transfer unit,
A first transfer unit that moves the cradle in a first direction to move the gas supply automation system into the interior of the gas supply automation system, and a second transfer unit that is connected to the first transfer unit and moves the cradle in a second direction perpendicular to the first direction. A transfer unit and a transfer robot disposed on a guide rail extending in the second direction and transferring the gas cylinder stored in the cradle on the second transfer unit to the gas cylinder inspection unit,
The gas cylinder inspection unit,
A working unit in which the gas cylinder transferred from the gas cylinder transfer unit is loaded, a bar code reader that recognizes a bar code attached to the gas cylinder to determine the properties of the gas in the gas cylinder, and wraps the gas cylinder A gas supply automation system including a first gripper for fixing the cylinder and a gas detector for detecting a gas leak in the working unit. 제 1항에 있어서,
상기 스토리지 큐는,
상기 스토리지 큐의 측벽에 배치되고, 상기 가스 실린더의 측면을 감싸 상기 가스 실린더를 고정하는 제2 그리퍼와,
상기 스토리지 큐의 하면에 배치되고, 상기 가스 실린더가 안착되는 제1 안착부와,
상기 가스 실린더에 부착된 바코드를 인식하는 바코드 리더기와,
상기 스토리지 큐의 측벽에 배치되고, 상기 바코드 리더기와 결합되어 상기 바코드 리더기를 상기 스토리지 큐의 연장 방향인 제2 방향으로 이동시키는 공압 액츄에이터와,
상기 공압 액츄에이터를 따라 상기 제2 방향으로 설정 간격을 두고 배치된 복수의 위치 센서를 포함하고,
상기 바코드 리더기는, 상기 복수의 위치 센서 중 서로 인접하는 위치 센서의 사이에서 상기 가스 실린더에 부착된 바코드를 인식하는 가스 공급 자동화 시스템.The method of claim 1,
The storage queue,
A second gripper disposed on a sidewall of the storage queue and surrounding the sidewall of the gas cylinder to fix the gas cylinder,
A first seating portion disposed on the lower surface of the storage queue and on which the gas cylinder is seated,
A barcode reader for recognizing a barcode attached to the gas cylinder,
A pneumatic actuator disposed on a sidewall of the storage queue and coupled with the barcode reader to move the barcode reader in a second direction, which is an extension direction of the storage queue;
It includes a plurality of position sensors disposed at a set interval in the second direction along the pneumatic actuator,
The barcode reader is a gas supply automation system for recognizing a barcode attached to the gas cylinder between position sensors adjacent to each other among the plurality of position sensors. 제 3항에 있어서,
상기 제1 안착부는,
상기 제2 방향과 수직인 제1 방향으로 연장된 복수의 롤러를 포함하는 롤러부와,
상기 롤러부의 하면에 배치되고, 상기 롤러부를 상기 제1 방향으로 이동시키는 이동부를 포함하고,
상기 가스 실린더는 상기 롤러부 상에 안착되고,
상기 롤러부는 상기 가스 실린더를 상기 제2 방향으로 정렬시키고, 상기 이동부는 상기 가스 실린더를 상기 제1 방향으로 정렬시키는 가스 공급 자동화 시스템.The method of claim 3,
The first seating portion,
A roller part including a plurality of rollers extending in a first direction perpendicular to the second direction,
It is disposed on the lower surface of the roller portion, and includes a moving portion for moving the roller portion in the first direction,
The gas cylinder is seated on the roller part,
The roller part aligns the gas cylinder in the second direction, and the moving part aligns the gas cylinder in the first direction. 제 1항에 있어서,
상기 가스 캐비닛은,
상기 가스 캐비닛의 측벽에 배치되고, 상기 가스 실린더의 측면을 클램핑하는 클램프 모듈과,
상기 가스 실린더가 안착되는 제2 안착부와,
상기 가스 캐비닛의 측벽 상, 상기 가스 실린더의 가스 분사 노즐의 측면에 배치되고, 상기 가스 배관에 연결된 CGA 홀더부와, 상기 가스 실린더의 가스 분사 노즐에 결합된 엔드캡과 결합되어 상기 가스 분사 노즐로부터 상기 엔드캡을 분리하거나 상기 가스 분사 노즐에 상기 엔드캡을 결합시키는 엔드캡 홀더부를 포함하는 체결부와,
상기 가스 캐비닛의 측벽 상, 상기 가스 실린더의 가스 분사 노즐의 측면에 배치되고, 상기 제2 안착부에 상기 가스 실린더가 없는 경우 상기 CGA 홀더부와 체결되는 CGA 플러그부와,
상기 가스 캐비닛의 상면에 배치되고 상기 가스 캐비닛의 길이 방향인 제2 방향으로 연장된 제1 가이드 레일과,
상기 제1 가이드 레일의 하면에 배치되고, 상기 제2 방향과 수직인 제1 방향으로 연장된 제2 가이드 레일과,
상기 제2 가이드 레일에 결합되고, 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향과 수직인 제3 방향으로 연장된 제3 가이드 레일과,
상기 제3 가이드 레일에 결합되고, 제1 액츄에이터를 포함하여 상기 제1 내지 제3 가이드 레일을 따라 상기 제1 내지 제3 방향으로 이동하는 주행부와,
상기 주행부에 결합되어 상기 제1 내지 제3 방향으로 이동하고, 상기 체결부와 결합하여 상기 CGA 홀더부 및/또는 상기 엔드캡 홀더부를 회전시키는 제2 액츄에이터를 포함하는 공용체결장치를 포함하는 가스 공급 자동화 시스템.The method of claim 1,
The gas cabinet,
A clamp module disposed on a side wall of the gas cabinet and clamping a side surface of the gas cylinder;
A second seating portion on which the gas cylinder is seated,
On the side wall of the gas cabinet, on the side of the gas injection nozzle of the gas cylinder, the CGA holder part connected to the gas pipe, and the end cap coupled to the gas injection nozzle of the gas cylinder from the gas injection nozzle A fastening part including an end cap holder part separating the end cap or coupling the end cap to the gas injection nozzle,
A CGA plug part disposed on a side wall of the gas cabinet, on a side surface of the gas injection nozzle of the gas cylinder, and fastened to the CGA holder part when the gas cylinder is not present in the second seating part,
A first guide rail disposed on an upper surface of the gas cabinet and extending in a second direction, which is a longitudinal direction of the gas cabinet,
A second guide rail disposed on a lower surface of the first guide rail and extending in a first direction perpendicular to the second direction,
A third guide rail coupled to the second guide rail and extending in a third direction perpendicular to the first direction and the second direction,
A driving unit coupled to the third guide rail and moving in the first to third directions along the first to third guide rails including a first actuator,
Gas comprising a common fastening device including a second actuator coupled to the driving unit to move in the first to third directions, and coupled to the fastening unit to rotate the CGA holder unit and/or the end cap holder unit Supply automation system. 제 5항에 있어서,
상기 공용체결장치는, 상기 가스 실린더의 일측에 배치된 가스분사노즐의 위치를 감지하는 비전 센서를 더 포함하고,
상기 클램프 모듈은, 상기 비전 센서로부터 감지된 상기 가스분사노즐의 위치가 상기 체결부와 정렬되도록 상기 가스 실린더의 측면을 회전시키는 롤러를 더 포함하는 가스 공급 자동화 시스템.The method of claim 5,
The common fastening device further includes a vision sensor for detecting the position of the gas injection nozzle disposed on one side of the gas cylinder,
The clamp module further comprises a roller rotating the side of the gas cylinder so that the position of the gas injection nozzle sensed by the vision sensor is aligned with the fastening part. 제 6항에 있어서,
상기 체결부는, 상기 체결부의 상면에 형성된 얼라인 마크를 더 포함하고,
상기 비전 센서는, 상기 얼라인 마크를 감지하고,
상기 공용체결장치는, 상기 비전 센서로부터 감지된 상기 얼라인 마크를 기초로 하여 상기 체결부와 정렬되도록 이동한 후 상기 체결부와 결합하는 가스 공급 자동화 시스템.The method of claim 6,
The fastening part further includes an alignment mark formed on the upper surface of the fastening part,
The vision sensor detects the alignment mark,
The common fastening device is a gas supply automation system that moves to be aligned with the fastening part based on the alignment mark detected by the vision sensor, and then engages with the fastening part. 제 5항에 있어서,
상기 제2 안착부는, 상기 가스 실린더가 안착될 때 상기 가스 실린더와 마주보는 면에 배치된 QR 코드를 더 포함하고,
상기 모바일 로봇은,
상기 가스 실린더의 측면을 감싸 상기 가스 실린더를 고정하고, 양측면에 각각 상기 제2 안착부까지의 거리를 감지하는 제1 위치 감지 센서를 포함하는 제3 그리퍼와,
상기 가스 실린더가 안착되고 상기 제2 안착부에 배치된 상기 QR 코드를 인식하여 상기 제2 안착부까지의 거리를 감지하는 제2 거리 감지 센서를 포함하는 제3 안착부를 포함하고,
상기 제1 및 제2 거리 감지 센서로부터 감지된 거리를 기초로 하여 상기 제2 안착부에 상기 가스 실린더를 안착하는 가스 공급 자동화 시스템.The method of claim 5,
The second seating portion further includes a QR code disposed on a surface facing the gas cylinder when the gas cylinder is seated,
The mobile robot,
A third gripper including a first position detection sensor that surrounds a side surface of the gas cylinder and fixes the gas cylinder, and senses a distance to the second seating portion on both side surfaces, respectively,
And a third seating unit including a second distance detection sensor on which the gas cylinder is seated and detecting a distance to the second seating portion by recognizing the QR code disposed on the second seating portion,
A gas supply automation system for seating the gas cylinder in the second seating portion based on a distance sensed from the first and second distance detection sensors. 제 8항에 있어서,
상기 제3 안착부는, 상기 제2 안착부에 상기 가스 실린더가 적재 되어있는지 여부를 감지하는 제1 적재 감지 센서를 더 포함하고,
상기 모바일 로봇은,
상기 제2 안착부에 상기 가스 실린더가 적재 되어있는지 여부를 감지하는 제2 적재 감지 센서를 더 포함하고, 상기 제1 및 제2 적재 감지 센서로부터 감지된 상기 제2 안착부에 상기 가스 실린더가 적재 되어있는지 여부에 따라 상기 제2 안착부에 상기 가스 실린더를 안착하는 가스 공급 자동화 시스템.The method of claim 8,
The third seating unit further includes a first loading detection sensor for detecting whether the gas cylinder is mounted on the second seating unit,
The mobile robot,
Further comprising a second loading detection sensor for detecting whether the gas cylinder is loaded on the second seating portion, the gas cylinder is loaded on the second seating portion detected by the first and second loading detection sensors A gas supply automation system for seating the gas cylinder in the second seating portion depending on whether or not. 제 5항에 있어서,
상기 가스 캐비닛은,
상기 가스 캐비닛의 측면에 배치되어 내부에 배치된 스프링에 의해 가스켓을 공급하는 가스켓 공급부와,
상기 가스켓 공급부의 측면에 배치되어 사용된 가스켓이 보관되는 가스켓 박스를 더 포함하고,
상기 공용체결장치는,
상기 공용체결장치의 측면에 배치되고 상기 제2 방향으로 연장된 가스켓 이동부와,
상기 가스켓 이동부에 연결되어 상기 가스켓 공급부로부터 상기 가스켓을 그립하여, 상기 가스 실린더의 가스 분사 노즐 또는 상기 CGA 홀더부에 상기 가스켓을 제공하거나 사용된 가스켓을 제거하는 가스켓 그리퍼를 더 포함하고,
상기 가스켓 이동부는 상기 주행부에 의해 상기 가스켓 박스에 상기 사용된 가스켓을 제공하는 가스 공급 자동화 시스템.The method of claim 5,
The gas cabinet,
A gasket supply unit disposed on the side of the gas cabinet and supplying a gasket by a spring disposed therein,
Further comprising a gasket box disposed on the side of the gasket supply unit to store the used gasket,
The common fastening device,
A gasket moving part disposed on the side of the common fastening device and extending in the second direction,
Further comprising a gasket gripper connected to the gasket moving unit to grip the gasket from the gasket supply unit to provide the gasket to the gas injection nozzle of the gas cylinder or the CGA holder unit or to remove the used gasket,
The gasket moving unit is a gas supply automation system for providing the used gasket to the gasket box by the driving unit.
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