KR20210012281A - 연마제품 및 이의 제조방법 - Google Patents

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KR20210012281A
KR20210012281A KR1020190089730A KR20190089730A KR20210012281A KR 20210012281 A KR20210012281 A KR 20210012281A KR 1020190089730 A KR1020190089730 A KR 1020190089730A KR 20190089730 A KR20190089730 A KR 20190089730A KR 20210012281 A KR20210012281 A KR 20210012281A
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polishing
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문덕주
조시형
조성욱
강주호
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엠.씨.케이 (주)
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Abstract

본 발명은 연마제품에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 연마제품의 연마성능과 제품수명이 저하되는 것을 방지할 수 있도록 표면의 특성이 변환된 연마제품 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
연마제품은 기재; 상기 기재의 일면에 부착되고, 표면이 소수성이며, 미세한 패턴이 형성된 연마층; 및 상기 연마층 표면의 적어도 일부에 형성된 친수성 물질을 포함한다. 본 발명에 따른 연마제품 및 이의 제조방법은 연마 시 발생하는 마찰열을 냉각시키고, 연마찌꺼기가 연마제품의 표면에 축적되는 것을 방지함으로써, 연마제품의 연마성능과 제품수명을 향상시키는 효과가 있다.

Description

연마제품 및 이의 제조방법{Abrasive article and method for manufacturing thereof}
본 발명은 연마제품에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 연마제품의 연마성능과 제품수명이 저하되는 것을 방지할 수 있도록 표면의 특성이 변환된 연마제품 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
정밀연마는 피연마체를 수 ㎛ 내지 수십 ㎛ 수준으로 미세(정밀)하게 연마한다. 정밀연마 시 피연마체 또는 연마제품이 마모되면서 발생되는 연마찌꺼기는 수 ㎛ 수준이다. 건식으로 연마할 경우, 연마 중 흄(fume)이나 연마찌꺼기가 쉽게 비산되어 작업자의 건강을 해치고, 피연마체와 연마제품 사이에서 발생하는 마찰열은 피연마체 또는 연마제품을 손상시킬 수 있다. 또한 일반적으로 정밀연마에 사용되는 연마제품은 표면에 미세한 패턴이 형성되어 있는데, 연마 중 발생하는 연마찌꺼기 중 일부가 패턴과 패턴 사이에 축적되어 연마제품의 연마성능과 제품수명을 저하시킨다.
연마제품과 피연마체 사이에 발생하는 마찰열을 낮추고 연마찌꺼기를 배출시키기 위해 연마 시 연마제품과 피연마체 사이에 물을 공급할 수 있으나, 정밀연마는 매우 짧은 시간에 이루어지며 연마제품의 표면에 형성된 패턴이 수십 ㎛에서 수백 ㎛ 수준이기 때문에, 연마제품이 피연마체에 밀착되면 연마제품과 피연마체 사이로 충분한 물이 들어가기 어렵다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 정밀연마 시 피연마체와 연마제품 사이에 발생하는 마찰열을 냉각시키고 연마찌꺼기가 연마제품의 표면에 축적되는 것을 방지할 수 있는 연마제품 및 이의 제조방법을 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 연마제품은 기재; 상기 기재의 일면에 부착되고, 표면이 소수성이며, 미세한 패턴이 형성된 연마층; 및 상기 연마층 표면의 적어도 일부에 형성된 친수성 물질을 포함한다.
본 발명에 따른 연마제품 및 이의 제조방법은 연마 시 발생하는 마찰열을 냉각시키고, 연마찌꺼기가 연마제품의 표면에 축적되는 것을 방지함으로써, 연마제품의 연마성능과 제품수명을 향상시키는 효과가 있다.
본 발명에서 사용하는 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
또한, 본 명세서에서, "~ 상에 또는 ~ 상부에" 라 함은 대상 부분의 위 또는 아래에 위치함을 의미하는 것이며, 반드시 중력 방향을 기준으로 상 측에 위치하는 것을 의미하는 것은 아니다. 또한, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "상에 또는 상부에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 상에 또는 상부에" 접촉하여 있거나 간격을 두고 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다.
또한, 본 명세서에서, 일 구성요소가 다른 구성요소와 "연결된다" 거나 "접속된다" 등으로 언급된 때에는, 상기 일 구성요소가 상기 다른 구성요소와 직접 연결되거나 또는 직접 접속될 수도 있지만, 특별히 반대되는 기재가 존재하지 않는 이상, 중간에 또 다른 구성요소를 매개하여 연결되거나 또는 접속될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
또한, 본 명세서에서, 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
이하에서는, 본 발명의 바람직한 실시예, 장점 및 특징에 대하여 상세히 설명하도록 한다.
본 발명에 따른 연마제품은 기재, 기재의 일면에 형성된 연마층 및 연마층 표면의 형성된 친수성 물질을 포함한다.
기재는 에틸렌비닐아세테이트(EVA), 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA), 폴리아크릴산(PAA), 폴리아미드(PA), 폴리부틸렌테레프탈레이트(PBT), 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리에틸렌(PE), 폴리이미드(PI), 폴리프로필렌(PP), 폴리비닐클로라이드(PVC) 중 적어도 하나로 제작된 플라스틱 필름이다.
연마층은 바인더 내 연마재가 균일하게 분산되어 있는 연마재 복합체이다. 이 때 연마재는 산화 알루미늄(Al2O3), 콜로이달 실리카(Coloidal silica), 용융 실리카(Fused silica), 탄화규소(SiC), 산화지르코늄(Zirconia), 산화세륨(CeO2), 산화철(Fe2O3), 산화크롬(Cr2O3), 탄화붕소(B4C), 유리분말, 다이아몬드 및 입방정 질화붕소(cBN) 중 적어도 하나를 포함한다.
바인더는 연마층의 형태를 유지하기 위한 고분자 수지이며, 열경화성 수지 또는 광경화성 수지가 사용된다. 열경화성 수지는 우레탄 수지, 에폭시 수지, 폴리에스터 수지, 페놀 수지, 요소 수지 및 멜라민 수지 중에서 선택된 적어도 어느 하나가 사용될 수 있고, 광경화성 수지는 광가교형, 광분해형 및 광중합형 중에서 선택된 적어도 어느 하나가 사용될 수 있다. 바람직하게는 페놀 수지를 사용하는 것이 좋은데, 왜냐하면 페놀 수지는 가격이 상대적으로 저렴하면서도 내열성과 내마모도가 우수하고 경화가 용이한 장점이 있기 때문이다.
연마층은 균일하게 배치되어 있는 많은 수의 미세한 연마패턴으로 형성되는데, 연마패턴은 원기둥, 원뿔, 절두 원뿔, 다각기둥, 다각뿔, 절두 다각뿔 등 3차원 형상이다. 연마층은 동일한 형상의 연마패턴으로 형성될 수도 있으며, 서로 다른 형상의 연마패턴으로 형성될 수도 있다.
연마패턴의 너비나 높이는 모두 10 내지 1000 ㎛이며, 바람직하게는 연마패턴의 너비와 높이 중 적어도 하나가 10 내지 300 ㎛이며, 더욱 정밀하게 연마하기 위해서는 너비와 높이 중 적어도 하나는 100 ㎛ 이하인 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면 연마층의 적어도 일부에 친수성(hydrophilic) 물질이 형성된다. 이는 건식연마 시 발생하는 마찰열을 냉각시키고, 연마찌꺼기가 연마층의 표면에 축적되는 것을 방지하면서, 연마찌꺼기를 밖으로 배출시키기 위한 것이다. 보다 구체적으로 설명하면, 습식연마에서는 마찰열의 냉각, 연마성능 향상, 연마찌꺼기 배출 등을 목적으로 연마액을 사용한다. 연마액을 사용하면 별도의 비용이 지출되고, 연마액의 가격이 저렴하지도 않고, 무엇보다 환경오염이 문제가 되기 때문에, 저렴하고 사용도 쉽고 환경오염도 발생하지 않는 물을 사용하는 것이 가장 바람직하다. 본 발명도 물을 이용하여 마찰열을 냉각시키고 연마찌꺼기를 배출시키는데, 정밀연마의 경우 연마층을 구성하는 연마패턴이 수십 ㎛ 내지 수백 ㎛이기 때문에 연마제품이 피연마체에 밀착되면 외부에서 물을 공급한다고 하더라도 연마제품과 피연마체 사이에 충분한 물이 공급되기 어렵다. 더욱이 정밀연마는 매우 짧은 시간으로 진행되기 때문에 연마시간 내에 연마제품과 피연마체 사이에 물이 충분히 들어가기는 어렵다. 따라서 연마 중에 외부에서 물을 공급하는 것보다 연마 전 피연마체의 표면 또는 연마제품의 표면에 물을 공급함으로써, 연마 직전, 즉 연마제품을 운동시키기 직전 피연마체에 밀착시켰을 때 연마제품과 피연마체 사이에 물이 존재하게 하는 것이 바람직하다. 특히 연마층 표면에 물이 접촉되어 있으면 연마 중 발생하는 연마찌꺼기가 연마층의 표면에 붙는 것을 억제시킬 수 있다. 연마층의 표면에 물이 접촉하는 면적이 넓을수록 연마찌꺼기가 붙는 것을 억제시키는 효과가 크며, 연마층의 표면에 물이 접촉하는 면적을 넓히려면 연마층의 표면장력을 높여야 한다. 일반적으로 연마층의 표면은 소수성(hydrophobic)이기 때문에 물이 접촉하는 면적도 적고 물이 배출되는 속도도 빨라서 충분한 효과를 기대하기 어렵다. 따라서 본 발명에서는 연마층의 표면에 친수성 물질을 형성함으로써 연마층 표면의 특성을 변환한다. 연마층의 표면에 친수성 물질을 형성시키면, 연마층의 표면장력을 향상되어, 연마층의 표면에서 물이 접촉하는 면적이 넓어진다. 또한 연마층의 표면에 접촉하는 물의 양도 많아지고, 물이 배출되는 속도도 적절히 조절할 수 있다. 예를 들어, 연마시간이 3초일 때, 연마층과 피연마체 사이의 존재하는 물이 3초보다 빨리 빠져나가면 빠져나간 후 성능저하 및 수명단축을 억제하기 어렵고, 3초 후 연마층과 피연마체 사이에 물이 남아 있으면 연마찌꺼기를 충분히 배출하지 못한 것이기 때문에 남아있는 연마찌꺼기가 성능저하나 수명단축을 유발할 수 있다. 또한 연마층의 표면에 물이 존재하는 물이 연마패턴의 사이사이를 지나면서 연마찌꺼기를 배출시키기 때문에, 연마찌꺼기로 인해 연마제품의 성능저하나 수명단축을 방지할 수 있다. 연마 시 연마장치가 연마제품을 운동시키는데, 예를 들어, 연마제품을 회전시키면 원심력에 의해 물이 밖으로 배출되고, 이때 물은 연마패턴의 사이를 지나가면서 연마찌꺼기를 배출시킨다.
친수성 물질이 연마층의 표면 전체에 형성될 필요는 없다. 왜냐하면 연마시간이 짧기 때문에, 연마시간 동안 마찰열이 높이 올라가지 않도록 유지하면서 연마 시 생성되는 연마찌꺼기를 배출할 수 있는 양의 물이면 충분하다. 또한 물은 한 곳에 고정되는 있는 것이 아니라 연마제품이 운동하면 운동방향에 따라 연마층의 다른 부분으로 이동하기 때문에, 연마 시 연마층 전체에서 발생하는 연마찌꺼기를 배출시킬 수 있다.
연마층의 표면에서 물이 접촉하는 면적이나 접촉하는 물의 양은 연마층의 표면장력과 물이 접촉할 수 있는 연마층 표면의 면적에 비례한다. 여기서 연마층의 표면장력은 친수성 물질의 HLB(Hydrophile-Lipophile Balance, 친수성-친유성 밸런스)를 이용하여 조절이 가능하다. 여기서 HLB는 물과 기름에 대한 친화성 정도를 나타내기 위해 일반적으로 사용되는 값이다. HLB 값은 0부터 20까지 있으며, 0에 가까울수록 친유성(소수성)이 높고, 반대로 20에 가까울수록 친수성이 높다. 반면에 연마층 표면의 면적은 연마패턴의 밀도나 크기에 따라 결정된다. 연마층의 표면장력은 물 접촉각(water contact angle)으로도 표현되는데, 표면장력이 높아지면 물 접촉각이 낮아지고, 표면장력이 낮아지면 물 접촉각은 커진다. 본 발명에 따르면, 연마층 표면의 물 접촉각은 40°이하인 것이 바람직하다. 이를 위해서는 HLB 값이 15이상인 물질을 연마층의 표면에 형성하는 것이 바람직하다. 또한 연마패턴의 한 변의 길이는 100 내지 200 ㎛이고 높이는 50 내지 100 ㎛인 것이 바람직하다. 물 접촉각이 40°초과이면 연마층의 표면에 접촉하는 물의 양이 적어서 연마 시 발생하는 마찰열을 냉각시키거나 연마찌꺼기가 연마층에 붙는 것을 억제하기 어렵다. 연마패턴의 한 변의 길이가 100㎛ 미만이거나 높이가 50㎛ 미만이면, 연마제품을 피연마체에 밀착하였을 때 패턴과 패턴 사이에 존재하는 공간이 작아서 물이 원활히 배출되기 어렵다. 또한 연마패턴의 한 변의 길이가 200㎛ 초과이거나 높이가 100㎛ 초과이면, 피연마체를 정밀하게 연마하기 어렵다.
친수성 물질은 폴리옥시에틸렌 (20) 올레일 에테르(Polyoxyethylene (20) oleyl ether), 폴리에틸렌 글리콜 헥사데실 에테르(Polyethylene glycol hexadecyl ether), 폴리옥시에틸렌 (20) 세틸 에테르(Polyoxyethylene (20) cetyl ether), 폴리옥시에틸렌 (100) 스테아릴 에테르(Polyoxyethylene (100) stearyl ether), 폴리에틸렌 글리콜 옥타데실 에테르(Polyethylene glycol octadecyl ether), 폴리옥시에틸렌 (20) 스테아릴 에테르(Polyoxyethylene (20) stearyl ether), 폴리옥시에틸렌 (40) 노닐페닐 에테르(Polyoxyethylene (40) nonylphenyl ether), 폴리옥시에틸렌 (18) 트리데실 에테르(Polyoxyethylene (18) tridecyl ether), 폴리에틸렌글리콜-20 소르비탄 모노라우레이트(PEG-20 Sorbitan monolaurate), 폴리에틸렌글리콜-20 소르비탄 모노팔미테이트(PEG-20 Sorbitan monopalmitate), 폴리에틸렌글리콜-20 소르비탄 모노올레이트(PEG-20 Sorbitan monooleate), 및 폴리에틸렌글리콜-20 소르비탄 모노스테아레이트((PEG-20 Sorbitan monostearate) 중에서 선택된 적어도 하나를 포함한다.
연마층 상의 친수성 물질은 분무 건조, 액상자기조립단분자막(Liquid Self Assembled Monolayer) 코팅, 산소 대기압 플라즈마(Oxygen Atmospheric Plasma) 처리, 금속산화물 코팅 등의 방법으로 형성될 수 있다.
이하에서는, 본 발명에 따른 연마제품과 종래의 연마제품의 연마성능 및 제품수명을 실험한 결과에 대하여 설명한다.
<실험예>
실험에서 사용된 연마제품을 제조하는 구체적인 방법은 다음과 같다. 여기서 연마제품은 연마층의 표면에 친수성 물질을 형성하기 전의 제품이다.
연마제품의 제작 : 연마성능 비교테스트를 위한 샘플을 제작하기 위해 75㎛ 두께의 폴리에틸렌페레프탈레이트(PET) 필름 기재가 사용되었다. 기재 위에 한 변의 길이가 200㎛이고, 높이가 75㎛인 삼각뿔 형상의 연마패턴으로 구성된 연마층을 몰딩으로 형성하였다. 연마층은 고분자 수지와 연마재를 60:40 중량%로 혼합한 배합수지를 395㎚ 파장의 자외선 LED 램프로 3초간 경화시켜 제작하였다. 여기서 고분자 수지는 분자량 16,000인 3 관능기의 우레탄 아크릴레이트 올리고머 30 중량% 및 분자량 2,200인 4 관능기의 에폭시 아크릴레이트 올리고머 15 중량%, 분자량 226인 2 관능기의 아크릴레이트 모노머 30 중량%, 분자량 298인 3 관능기 아크릴레이트 모노머 22 중량%, 광개시제 I-184와 I-819가 각각 1.5 중량%, 분산제 0.5 phr, 소포제 0.5 phr가 혼합된 것이다. 연마재는 평균입경 3㎛(#4000)의 실리콘 카바이드(SiC, 제조사 : NANKO)를 사용하였다.
친수성 물질 형성 방법 :
(a) HLB 값이 18인 물질을 사용하였다. 폴리옥시에틸렌 (100) 스테아릴 에테르(Polyoxyethylene (100) stearyl ether, 제조사: 시그마알드리치)를 이소프로필알코올에 10 중량% 첨가하여 용액을 제조한 뒤, 스프레이 노즐을 이용하여 상기 연마제품의 표면에 약 2초간 고르게 분사한 뒤, 50℃ 건조기에서 약 10분간 건조시켰다.
(b) HLB 값이 16.7인 물질을 사용하였다. 폴리에틸렌글리콜-20 소르비탄 모노라우레이트(PEG-20 Sorbitan monolaurate, 제조사: 시그마알드리치)를 (a)와 동일한 방법으로 처리하였다.
(c) HLB 값이 15인 물질을 사용하였다. 폴리옥시에틸렌 (20) 스테아릴 에테르(Polyoxyethylene (20) stearyl ether, 제조사: 시그마알드리치)를 (a)와 동일한 방법으로 처리하였다.
(d) HLB 값이 12인 물질을 사용하였다. 폴리옥시에틸렌 (10) 세틸 에테르(Polyoxyethylene (10) cetyl ether, 제조사: 시그마알드리치)를 (a)와 동일한 방법으로 처리하였다.
(e) HLB 값이 10.5인 물질을 사용하였다. 폴리에틸렌글리콜-20 소르비탄 트리스테아레이트(PEG-20 Sorbitan tristearate, 제조사: 시그마알드리치)를 (a)와 동일한 방법으로 처리하였다.
접촉각 측정 : 각 연마제품의 접촉각은 전용 접촉각 측정기(모델명: Pheonix 10, 제조사: 에스이오) 및 초순수(Deionized water)를 사용하여 측정하였다.
연마속도 및 제품수명 비교테스트 : 준비된 연마 샘플들은 직경 30㎜의 원형으로 타발한 뒤, 수직형 에어그라인더에 양면테이프로 부착되었다. 이후 동일한 높이에서 직경 100㎜의 원형 및 두께 2㎜T로 가공된 SS304(Stainless steel 304, 스테인레스 스틸 304) 기판에 분무기로 물을 몇 차례 분무한 후, 약간의 습기가 있는 상태에서 약 3초 간격으로 연마층이 마모될 때까지 반복하여 연마하였다. 연마속도는 연마 전과 후의 SS304 기판의 무게 변화를 측정한 뒤, 다음과 같은 수식으로 산출하였다. [연마속도 = Δw/(πr2dt), 여기서, Δw: 무게 변화량, r: 기판 반지름, d: 기판의 밀도, t: 연마시간]
실험 결과 : HLB 값이 높아질수록 접촉각이 낮아지고 연마속도 및 제품수명이 증가하는 결과를 확인하였다. 특히 HLB 값이 15인 물질을 연마층 표면에 형성하였을 때 접촉각이 31±2으로 크게 낮아졌으며, 연마성능과 제품수명도 크게 높아졌다. HLB 값이 15이상일 때 접촉각 74±1°에서 23°~33° 로 감소하였으며, 연마속도는 대략 4~5배, 제품수명도 대략 3~5배 정도 개선되었다. 반대로 HLB 값이 12나 10.5일 때 접촉각 하락의 폭은 작았으며, 연마성능이나 제품수명도 근소하게 증가할 뿐 크게 개선효과가 있다고 보기에는 어려운 수준인 것을 확인하였다. 표면처리 물질의 HLB 값에 따른 접촉각, 연마속도 및 제품수명의 실험결과를 아래의 표와 같이 정리하였다.
구분 배합수지 표면처리 물질 접촉각(°) 연마속도
(㎛/sec)		 제품수명
(회)
수지 연마재 처리 전 처리 후
1 60 40 처리하지 않음 74±1 - 0.12~0.17 2~3
2 60 40 (a) HLB 값이 18인 물질 74±1 24±1 0.57~0.63 7~10
3 60 40 (b) HLB 값 16.7인 물질 74±1 26±1 0.51~0.58 7~9
4 60 40 (c) HLB 값 15인 물질 74±1 31±2 0.49~0.55 7~8
5 60 40 (d) HLB 값 12인 물질 74±1 62±1 0.16~0.22 3~4
6 60 40 (e) HLB 값 10.5인 물질 74±1 67±2 0.17~0.20 3~4
상기에서 본 발명의 바람직한 실시예가 특정 용어들을 사용하여 설명 및 도시되었지만 그러한 용어는 오로지 본 발명을 명확히 설명하기 위한 것일 뿐이며, 본 발명의 실시예 및 기술된 용어는 다음의 청구범위의 기술적 사상 및 범위로부터 이탈되지 않고서 여러 가지 변경 및 변화가 가해질 수 있는 것은 자명한 일이다. 이와 같이 변형된 실시예들은 본 발명의 사상 및 범위로부터 개별적으로 이해되어져서는 안되며, 본 발명의 청구범위 안에 속한다고 해야 할 것이다.

Claims (7)

  1. 기재;
    상기 기재의 일면에 부착되고, 표면이 소수성이며, 미세한 패턴이 형성된 연마층; 및
    상기 연마층 표면의 적어도 일부에 형성된 친수성 물질;
    을 포함하는 연마제품.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 친수성 물질은 HLB(Hydrophile-Lipophile Balance, 친수성-친유성 밸런스) 값이 15이상인 것
    을 특징으로 하는 연마제품.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 연마층 표면의 물 접촉각(water contact angle)이 40°이하인 것
    을 특징으로 하는 연마제품.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 친수성 물질은 폴리옥시에틸렌 (20) 올레일 에테르(Polyoxyethylene (20) oleyl ether), 폴리에틸렌 글리콜 헥사데실 에테르(Polyethylene glycol hexadecyl ether), 폴리옥시에틸렌 (20) 세틸 에테르(Polyoxyethylene (20) cetyl ether), 폴리옥시에틸렌 (100) 스테아릴 에테르(Polyoxyethylene (100) stearyl ether), 폴리에틸렌 글리콜 옥타데실 에테르(Polyethylene glycol octadecyl ether), 폴리옥시에틸렌 (20) 스테아릴 에테르(Polyoxyethylene (20) stearyl ether), 폴리옥시에틸렌 (40) 노닐페닐 에테르(Polyoxyethylene (40) nonylphenyl ether), 폴리옥시에틸렌 (18) 트리데실 에테르(Polyoxyethylene (18) tridecyl ether), 폴리에틸렌글리콜-20 소르비탄 모노라우레이트(PEG-20 Sorbitan monolaurate), 폴리에틸렌글리콜-20 소르비탄 모노팔미테이트(PEG-20 Sorbitan monopalmitate), 폴리에틸렌글리콜-20 소르비탄 모노올레이트(PEG-20 Sorbitan monooleate), 및 폴리에틸렌글리콜-20 소르비탄 모노스테아레이트((PEG-20 Sorbitan monostearate) 중에서 선택된 적어도 어느 하나를 포함하는 것
    을 특징으로 하는 연마제품.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 연마패턴의 한 변의 길이는 100 내지 200 ㎛이고, 높이는 50 내지 100 ㎛인 것을 특징으로 하는 연마제품.
  6. 기재에 연마층을 형성하는 단계; 및
    상기 연마층 표면의 적어도 일부에 HLB(Hydrophile-Lipophile Balance, 친수성-친유성 밸런스) 값이 15이상인 친수성 물질을 형성하는 단계를 포함하는 것
    을 특징으로 하는 연마제품 제조방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 연마층 표면의 물 접촉각(water contact angle)이 40°이하인 것
    을 특징으로 하는 연마제품 제조방법.
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