KR20210010040A - Transport apparatus - Google Patents

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KR20210010040A
KR20210010040A KR1020190087386A KR20190087386A KR20210010040A KR 20210010040 A KR20210010040 A KR 20210010040A KR 1020190087386 A KR1020190087386 A KR 1020190087386A KR 20190087386 A KR20190087386 A KR 20190087386A KR 20210010040 A KR20210010040 A KR 20210010040A
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Abstract

Disclosed is a transport device capable of preventing a collision between transport vehicles and easily towing a broken transport vehicle. The transport device comprises a first transport vehicle and a second transport vehicle configured to be movable along a travel rail. Each of the first transport vehicle and the second transport vehicle includes a front magnetic bumper and a rear magnetic bumper to prevent a collision with each other by using magnetic force.

Description

이송 장치{Transport apparatus}Transport apparatus

본 발명의 실시예들은 자재 이송을 위한 이송 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 자재 이송을 위해 주행 레일을 따라 이동 가능하게 구성되는 이송 차량을 포함하는 이송 장치에 관한 것이다.Embodiments of the present invention relate to a transfer device for material transfer. More specifically, it relates to a transfer device including a transfer vehicle configured to be movable along a traveling rail for transferring materials in a manufacturing process of a semiconductor device or a display device.

반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 반도체 웨이퍼, 반도체 스트립, 유리 기판, 디스플레이 패널 등과 같은 자재들은 OHT(Overhead Hoist Transport) 장치, RGV(Rail Guided Vehicle) 장치 등과 같은 무인 운반 시스템을 통해 이송될 수 있다. 특히, 상기와 같은 이송 장치들은 클린룸의 천장 또는 바닥에 설치된 주행 레일을 따라 이동 가능하게 구성된 이송 차량을 포함할 수 있으며, 상기 이송 차량의 운행 제어는 OCS(OHT Control Server) 장치와 같은 상위 제어 장치에 의해 제어될 수 있다.In the manufacturing process of a semiconductor device or a display device, materials such as semiconductor wafers, semiconductor strips, glass substrates, and display panels can be transported through an unmanned transport system such as an overhead hoist transport (OTT) device or a rail guided vehicle (RGV) device. . In particular, the transport devices as described above may include a transport vehicle configured to be movable along a traveling rail installed on the ceiling or floor of a clean room, and the operation control of the transport vehicle is a higher level control such as an OCS (OHT Control Server) device. Can be controlled by the device.

예를 들면, 반도체 장치의 제조를 위한 클린룸 내에는 자재 이송을 위한 주행 레일들이 천장 부위에 설치될 수 있으며, 상기 주행 레일들을 따라 복수의 이송 차량들이 이동 가능하게 배치될 수 있다. 상기 이송 차량들의 운행 제어는 상기 OCS 장치에 의해 수행될 수 있으며, 상기 이송 차량들과 상기 OCS 장치는 무선 통신 방식으로 서로 연결될 수 있다.For example, in a clean room for manufacturing a semiconductor device, traveling rails for material transfer may be installed on a ceiling, and a plurality of transfer vehicles may be movably disposed along the traveling rails. Operation control of the transport vehicles may be performed by the OCS device, and the transport vehicles and the OCS device may be connected to each other through a wireless communication method.

한편, 상기 이송 차량이 상기 주행 레일 상에서 이동하는 도중에 이상이 발생되는 경우 상기 이송 차량은 상기 주행 레일 상에서 정지할 수 있다. 이 경우, 후속하는 다른 이송 차량이 상기 정지된 이송 차량을 감지하지 못하는 경우 상기 이송 차량들 사이의 충돌이 발생될 수 있으며 이에 의해 상기 이송 차량들과 상기 이송 차량들에 적재된 자재들이 손상될 수 있다. 일 예로서, 대한민국 등록특허공보 제10-1374665호에는 상기 이송 차량들 사이에서 충돌이 발생되는 경우 충격을 감소시키기 위한 완충 스토퍼를 구비하는 이송 차량이 개시되어 있다. 그러나, 상기 완충 스토퍼를 사용하는 경우라도 물리적인 접촉에 의한 충격을 완전히 해소하지는 못하기 때문에 상기 이송 차량들 사이의 충돌 방지를 위한 새로운 방안이 요구되고 있다.Meanwhile, when an abnormality occurs while the transfer vehicle is moving on the travel rail, the transfer vehicle may stop on the travel rail. In this case, if a subsequent transport vehicle fails to detect the stationary transport vehicle, a collision may occur between the transport vehicles, thereby damaging the transport vehicles and the materials loaded on the transport vehicles. have. As an example, Korean Patent Publication No. 10-1374665 discloses a transfer vehicle having a buffer stopper for reducing an impact when a collision occurs between the transfer vehicles. However, even when the buffer stopper is used, the impact caused by physical contact cannot be completely eliminated, and thus a new method for preventing collision between the transport vehicles is required.

대한민국 등록특허공보 제10-1374665호 (등록일자 2014년 03월 10일)Republic of Korea Patent Publication No. 10-1374665 (Registration Date March 10, 2014)

본 발명의 실시예들은 상술한 바와 같은 문제점들을 해결하기 위한 것으로 이송 차량들 사이의 충돌을 방지하고 이상이 발생된 이송 차량을 용이하게 견인할 수 있는 이송 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.Embodiments of the present invention are intended to solve the above-described problems, and an object thereof is to provide a transport device capable of preventing a collision between transport vehicles and easily towing an abnormal transport vehicle.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따르면, 주행 레일을 따라 이동 가능하게 구성되는 제1 이송 차량 및 제2 이송 차량을 포함하는 이송 장치에 있어서, 상기 제1 이송 차량 및 제2 이송 차량 각각은 자력을 이용하여 서로간의 충돌을 방지하는 전방 자기 범퍼와 후방 자기 범퍼를 구비할 수 있다.According to an aspect of the present invention for achieving the above object, in a transfer device including a first transfer vehicle and a second transfer vehicle configured to be movable along a traveling rail, the first transfer vehicle and the second transfer vehicle Each may have a front magnetic bumper and a rear magnetic bumper to prevent collisions with each other using magnetic force.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 전방 자기 범퍼 및 후방 자기 범퍼 중 어느 하나는 전자석을 포함하고, 상기 전방 자기 범퍼 및 후방 자기 범퍼 중 다른 하나는 영구자석을 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, any one of the front magnetic bumper and the rear magnetic bumper may include an electromagnet, and the other of the front magnetic bumper and the rear magnetic bumper may include a permanent magnet.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 제1 이송 차량 및 제2 이송 차량은 상기 전자석과 상기 영구자석 사이에서 척력이 발생되도록 상기 전자석의 동작을 제어하는 자력 제어부를 각각 더 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the first transfer vehicle and the second transfer vehicle may each further include a magnetic force control unit that controls the operation of the electromagnet so that a repulsive force is generated between the electromagnet and the permanent magnet.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 제1 이송 차량 및 제2 이송 차량은 상기 제1 이송 차량 및 제2 이송 차량 중 어느 하나에 이상이 발생되는 경우 상기 제1 이송 차량 및 제2 이송 차량을 서로 도킹시키기 위해 상기 전자석과 상기 영구자석 사이에서 인력이 발생되도록 상기 전자석의 동작을 제어하는 자력 제어부를 각각 더 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the first transfer vehicle and the second transfer vehicle are the first transfer vehicle and the second transfer vehicle when an abnormality occurs in any one of the first transfer vehicle and the second transfer vehicle. Each may further include a magnetic force control unit for controlling the operation of the electromagnet so that attractive force is generated between the electromagnet and the permanent magnet to dock each other.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따르면, 주행 레일을 따라 이동 가능하게 구성되는 제1 이송 차량 및 상기 제1 이송 차량의 후방에 배치되며 상기 주행 레일을 따라 이동 가능하게 구성되는 제2 이송 차량을 포함하는 이송 장치에 있어서, 상기 제1 이송 차량은 영구자석을 포함하는 후방 자기 범퍼를 포함하고, 상기 제2 이송 차량은 전자석을 포함하는 전방 자기 범퍼 및 상기 제1 이송 차량과의 충돌을 방지하기 위해 상기 영구자석과 전자석 사이에서 척력이 발생되도록 상기 전자석의 동작을 제어하는 자력 제어부를 포함할 수 있다.According to another aspect of the present invention for achieving the above object, a first transport vehicle configured to be movable along a travel rail and a second transport vehicle disposed at the rear of the first transport vehicle and configured to be movable along the travel rail In a transfer device including a transfer vehicle, the first transfer vehicle includes a rear magnetic bumper including a permanent magnet, and the second transfer vehicle collides with a front magnetic bumper including an electromagnet and the first transfer vehicle In order to prevent this, it may include a magnetic force controller for controlling the operation of the electromagnet so that a repulsive force is generated between the permanent magnet and the electromagnet.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 제2 이송 차량은 상기 제1 이송 차량과의 거리를 측정하기 위한 거리 센서를 더 포함하며, 상기 자력 제어부는 상기 제1 이송 차량과의 거리가 기 설정된 거리 이하가 되는 경우 상기 척력이 발생되도록 상기 전자석의 동작을 제어할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the second transfer vehicle further includes a distance sensor for measuring a distance to the first transfer vehicle, and the magnetic force control unit has a preset distance to the first transfer vehicle. When the distance falls below the distance, the operation of the electromagnet may be controlled so that the repulsive force is generated.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 자력 제어부는 상기 제1 이송 차량에 이상이 발생되는 경우 상기 제1 이송 차량과 상기 제2 이송 차량을 서로 도킹시키기 위해 상기 영구자석과 상기 전자석 사이에서 인력이 발생되도록 상기 전자석의 동작을 제어할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, when an abnormality occurs in the first transfer vehicle, the magnetic force control unit is configured to dock the first transfer vehicle and the second transfer vehicle. It is possible to control the operation of the electromagnet so that this occurs.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 제2 이송 차량은 상기 제1 이송 차량과의 도킹 여부를 확인하기 위한 제2 센서를 더 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the second transfer vehicle may further include a second sensor for checking whether the first transfer vehicle is docked with the first transfer vehicle.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 제2 센서는 상기 영구자석에 의해 동작하는 리드 스위치를 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the second sensor may include a reed switch operated by the permanent magnet.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 제1 이송 차량은, 상기 주행 레일을 따라 이동 가능하도록 구성된 주행 모듈과, 상기 주행 모듈과 연결되며 이송 대상물을 픽업하기 위한 호이스트 모듈을 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the first transfer vehicle may include a traveling module configured to be movable along the traveling rail, and a hoist module connected to the traveling module and configured to pick up a transfer object.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 주행 모듈은, 상기 제1 이송 차량의 이동을 위한 동력을 제공하는 구동 유닛과, 구동축을 통해 상기 구동 유닛과 연결되며 상기 주행 레일 상에 배치되는 구동 휠들과, 상기 구동 유닛으로의 전원 공급이 차단되는 경우 상기 구동축의 회전을 방지하기 위한 전자 브레이크를 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the driving module includes a driving unit providing power for movement of the first transport vehicle, and driving wheels connected to the driving unit through a driving shaft and disposed on the driving rail. And, when power supply to the driving unit is cut off, an electronic brake for preventing rotation of the driving shaft may be included.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 제1 이송 차량은 상기 전자 브레이크와 연결된 제1 커넥터를 포함하고, 상기 제2 이송 차량은 상기 제1 이송 차량과 도킹되는 경우 상기 전자 브레이크의 제동 상태가 해제되도록 상기 제1 커넥터를 통해 상기 전자 브레이크에 전원을 인가하기 위한 제2 커넥터를 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, when the first transfer vehicle includes a first connector connected to the electromagnetic brake, and the second transfer vehicle is docked with the first transfer vehicle, the braking state of the electromagnetic brake is A second connector for applying power to the electromagnetic brake through the first connector to be released may be included.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 제2 이송 차량은 상기 제1 이송 차량과 도킹되는 경우 상기 제1 이송 차량에 무선 전력 전송 방식으로 전력을 제공하는 전력 송신부를 포함하고, 상기 제1 이송 차량은 상기 전력 송신부로부터 제공되는 상기 전력을 수신하기 위한 전력 수신부를 포함하며, 상기 수신된 전력을 이용하여 상기 전자 브레이크의 제동 상태를 해제할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, when the second transfer vehicle is docked with the first transfer vehicle, the second transfer vehicle includes a power transmitter that provides power to the first transfer vehicle by a wireless power transmission method, and the first transfer vehicle The vehicle includes a power receiver configured to receive the power provided from the power transmitter, and may release the braking state of the electromagnetic brake using the received power.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 제1 이송 차량과 제2 이송 차량 사이의 충돌은 상기 전방 자기 범퍼와 후방 자기 범퍼 사이의 척력에 의해 충분히 방지될 수 있다. 따라서, 상기 제1 이송 차량과 제2 이송 차량 사이의 충돌에 의한 상기 제1 이송 차량과 제2 이송 차량 그리고 적재된 자재들의 손상이 방지될 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, a collision between the first transport vehicle and the second transport vehicle can be sufficiently prevented by a repulsive force between the front magnetic bumper and the rear magnetic bumper. Accordingly, damage to the first transfer vehicle, the second transfer vehicle and the loaded materials due to a collision between the first transfer vehicle and the second transfer vehicle can be prevented.

또한, 상기 제1 이송 차량에 이상이 발생된 경우 상기 전방 자기 범퍼와 후방 자기 범퍼 사이의 인력에 의해 상기 제1 이송 차량과 제2 이송 차량이 서로 도킹될 수 있으며, 이어서 상기 제1 이송 차량이 상기 제2 이송 차량에 의해 정비 구역으로 견인될 수 있다. 이때, 상기 제1 이송 차량의 주행 모듈이 정지된 제동 상태는 상기 제2 이송 차량으로부터 제공되는 전원에 의해 해제될 수 있으며, 이에 따라 상기 제1 이송 차량의 견인이 용이하게 이루어질 수 있다.In addition, when an abnormality occurs in the first transfer vehicle, the first transfer vehicle and the second transfer vehicle may be docked with each other by an attractive force between the front magnetic bumper and the rear magnetic bumper, and then the first transfer vehicle is It may be towed to the maintenance area by the second transfer vehicle. In this case, the braking state in which the driving module of the first transfer vehicle is stopped may be released by power supplied from the second transfer vehicle, and thus, the traction of the first transfer vehicle can be easily performed.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 제1 이송 차량을 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 제1 이송 차량을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 4 및 도 5는 도 1에 도시된 제1 이송 차량의 후방 자기 범퍼와 제2 이송 차량의 전방 자기 범퍼를 설명하기 위한 개략도들이다.
도 6은 도 1에 도시된 제1 이송 차량과 제2 이송 차량이 서로 도킹한 상태를 설명하기 위한 개략도이다.
도 7은 도 6에 도시된 제1 이송 차량과 제2 이송 차량이 서로 도킹한 상태의 다른 예를 설명하기 위한 개략도이다.1 is a schematic configuration diagram for explaining a transfer device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic side view illustrating the first transfer vehicle shown in FIG. 1.
FIG. 3 is a schematic plan view illustrating the first transfer vehicle shown in FIG. 1.
4 and 5 are schematic views for explaining a rear magnetic bumper of a first transfer vehicle and a front magnetic bumper of a second transfer vehicle shown in FIG. 1.
6 is a schematic diagram for explaining a state in which the first transfer vehicle and the second transfer vehicle shown in FIG. 1 are docked with each other.
FIG. 7 is a schematic diagram illustrating another example of a state in which the first transfer vehicle and the second transfer vehicle shown in FIG. 6 are docked with each other.

이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention does not have to be configured as limited to the embodiments described below, and may be embodied in various other forms. The following examples are provided to sufficiently convey the scope of the present invention to those skilled in the art, rather than provided to enable the present invention to be completely completed.

본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.In the embodiments of the present invention, when one element is described as being disposed on or connected to another element, the element may be directly disposed on or connected to the other element, and other elements are interposed therebetween. It could be. Alternatively, if one element is described as being placed or connected directly on another element, there cannot be another element between them. Terms such as first, second, third, etc. may be used to describe various items such as various elements, compositions, regions, layers, and/or parts, but the above items are not limited by these terms. Won't.

본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.The terminology used in the embodiments of the present invention is used only for the purpose of describing specific embodiments, and is not intended to limit the present invention. In addition, unless otherwise limited, all terms including technical and scientific terms have the same meaning that can be understood by those of ordinary skill in the art of the present invention. The terms, such as those defined in conventional dictionaries, will be interpreted as having a meaning consistent with their meaning in the context of the description of the related art and the present invention, and ideally or excessively external intuition unless explicitly limited. It will not be interpreted.

본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.Embodiments of the invention are described with reference to schematic diagrams of ideal embodiments of the invention. Accordingly, changes from the shapes of the diagrams, for example changes in manufacturing methods and/or tolerances, are those that can be sufficiently anticipated. Accordingly, embodiments of the present invention are not described as limited to specific shapes of regions described as diagrams, but include variations in shapes, and elements described in the drawings are entirely schematic and their shapes Is not intended to describe the exact shape of the elements, nor is it intended to limit the scope of the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이고, 도 2는 도 1에 도시된 제1 이송 차량을 설명하기 위한 개략적인 측면도이며, 도 3은 도 1에 도시된 제1 이송 차량을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.1 is a schematic configuration diagram for explaining a transfer device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a schematic side view for explaining a first transfer vehicle shown in FIG. 1, and FIG. 3 is It is a schematic plan view for explaining the illustrated first transfer vehicle.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치(10)는 반도체 장치의 제조 공정에서 자재(30) 이송을 위해 사용될 수 있다. 상기 이송 장치(10)는 주행 레일(20)을 따라 이동 가능하게 구성된 제1 및 제2 이송 차량들(100, 200)을 포함할 수 있으며, 상기 제1 및 제2 이송 차량들(100, 200)은, 일 예로서, 반도체 기판들이 수납된 풉(FOUP; Front Opening Unified Pod)과 기판 수납 용기를 이송하기 위해 사용될 수 있다.1 to 3, the transfer device 10 according to an embodiment of the present invention may be used to transfer the material 30 in the manufacturing process of a semiconductor device. The transfer device 10 may include first and second transfer vehicles 100 and 200 configured to be movable along the travel rail 20, and the first and second transfer vehicles 100 and 200 ), as an example, may be used to transfer a FOUP (Front Opening Unified Pod) in which semiconductor substrates are accommodated and a substrate storage container.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제2 이송 차량(200)은 상기 제1 이송 차량(100)의 후방에 배치될 수 있으며, 상기 제1 이송 차량(100)과 제2 이송 차량(200)은 자력을 이용하여 서로간의 충돌을 방지하는 전방 자기 범퍼(300)와 후방 자기 범퍼(310)를 각각 구비할 수 있다. 예를 들면, 상기 제1 이송 차량(100)의 후방 자기 범퍼(310)와 상기 제2 이송 차량(200)의 전방 자기 범퍼(300) 사이에서 척력이 발생되도록 상기 전방 자기 범퍼(300)와 후방 자기 범퍼(310)가 구성될 수 있으며 이에 의해 상기 제1 이송 차량(100)과 제2 이송 차량(200) 사이의 충돌이 방지될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the second transfer vehicle 200 may be disposed at the rear of the first transfer vehicle 100, and the first transfer vehicle 100 and the second transfer vehicle 200 A front magnetic bumper 300 and a rear magnetic bumper 310 for preventing collisions with each other using magnetic force may be provided. For example, the front magnetic bumper 300 and the rear magnetic force are generated between the rear magnetic bumper 310 of the first transport vehicle 100 and the front magnetic bumper 300 of the second transport vehicle 200. A magnetic bumper 310 may be configured, whereby a collision between the first transport vehicle 100 and the second transport vehicle 200 may be prevented.

도 4 및 도 5는 도 1에 도시된 제1 이송 차량의 후방 자기 범퍼와 제2 이송 차량의 전방 자기 범퍼를 설명하기 위한 개략도들이다.4 and 5 are schematic diagrams for explaining a rear magnetic bumper of a first transfer vehicle and a front magnetic bumper of a second transfer vehicle shown in FIG. 1.

도 4를 참조하면, 상기 제1 및 제2 이송 차량들(100, 200)의 전방 자기 범퍼들(300)은 전자석(302)을 각각 포함할 수 있으며, 상기 제1 및 제2 이송 차량(100, 200)의 후방 자기 범퍼들(310)은 영구자석(312)을 각각 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 제1 및 제2 이송 차량들(100, 200)은 상기 전자석(302)의 동작을 제어하기 위한 자력 제어부(320)를 각각 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 제2 이송 차량(200)의 자력 제어부(320)는 상기 제1 이송 차량(100)과의 충돌을 방지하기 위하여 상기 제1 이송 차량(100)의 후방 자기 범퍼(310)와 상기 제2 이송 차량(200)의 전방 자기 범퍼(300) 사이에서 척력이 발생되도록 상기 전자석(302)의 동작을 제어할 수 있다.Referring to FIG. 4, the front magnetic bumpers 300 of the first and second transport vehicles 100 and 200 may each include an electromagnet 302, and the first and second transport vehicles 100 The rear magnetic bumpers 310 of 200 may each include a permanent magnet 312. In this case, the first and second transport vehicles 100 and 200 may each include a magnetic force control unit 320 for controlling the operation of the electromagnet 302. For example, the magnetic force control unit 320 of the second transfer vehicle 200 may be provided with the rear magnetic bumper 310 of the first transfer vehicle 100 in order to prevent a collision with the first transfer vehicle 100. The operation of the electromagnet 302 may be controlled so that a repulsive force is generated between the front magnetic bumpers 300 of the second transfer vehicle 200.

도시되지는 않았으나, 상기와 다르게, 상기 제1 및 제2 이송 차량들(100, 200)의 전방 자기 범퍼들(300)은 영구자석을 각각 포함할 수 있으며, 상기 제1 및 제2 이송 차량들(100, 200)의 후방 자기 범퍼들(310)은 전자석을 각각 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 제1 및 제2 이송 차량들(100, 200)의 자력 제어부들(320)은 상기 후방 자기 범퍼들(310)의 전자석 동작을 제어할 수 있다.Although not shown, differently from the above, the front magnetic bumpers 300 of the first and second transport vehicles 100 and 200 may each include a permanent magnet, and the first and second transport vehicles The rear magnetic bumpers 310 of (100, 200) may each include an electromagnet. In this case, the magnetic control units 320 of the first and second transport vehicles 100 and 200 may control the electromagnet operation of the rear magnetic bumpers 310.

도 5를 참조하면, 상기와 다르게, 상기 제1 및 제2 이송 차량들(100, 200)의 전방 자기 범퍼들(300)과 후방 자기 범퍼들(310)은 각각 영구자석(304, 314)을 포함할 수 있다. 특히, 상기 제1 이송 차량(100)과 제2 이송 차량(200) 사이의 충돌을 방지하기 위하여 상기 제1 이송 차량(100)의 후방 자기 범퍼(310)와 상기 제2 이송 차량(200)의 전방 자기 범퍼(300)의 영구자석들(314, 304)은 그들 사이에서 척력이 발생되도록 배치될 수 있다.Referring to FIG. 5, differently from the above, the front magnetic bumpers 300 and the rear magnetic bumpers 310 of the first and second transport vehicles 100 and 200 respectively have permanent magnets 304 and 314. Can include. In particular, in order to prevent a collision between the first transfer vehicle 100 and the second transfer vehicle 200, the rear magnetic bumper 310 of the first transfer vehicle 100 and the second transfer vehicle 200 The permanent magnets 314 and 304 of the front magnetic bumper 300 may be disposed such that a repulsive force is generated therebetween.

다시 도 1 내지 도 3을 참조하면, 상기 제1 이송 차량(100)은, 상기 주행 레일(20)을 따라 이동 가능하도록 구성되는 주행 모듈(330)과, 상기 주행 모듈(330)과 연결되며 상기 자재(30)의 픽업을 위한 호이스트 모듈(350)을 포함할 수 있다. 상기 주행 모듈(330)은 전방 모듈(332)과 후방 모듈(334)을 포함할 수 있으며, 상기 전방 모듈(332)과 후방 모듈(334)은, 상기 제1 이송 차량(100)의 이동을 위한 동력을 제공하는 구동 유닛(336)과, 상기 주행 레일(20) 상에 배치되며 구동축(미도시)을 통해 상기 구동 유닛(336)과 연결되는 구동 휠들(338)과, 상기 구동 유닛(336)으로의 전원 공급이 차단되는 경우 상기 구동축의 회전을 방지하기 위한 전자 브레이크(340)를 각각 포함할 수 있다. 상기와 다르게, 상기 전자 브레이크(340)는 상기 전방 모듈(332) 및 후방 모듈(334) 중 어느 하나에만 장착될 수도 있다.Referring back to FIGS. 1 to 3, the first transfer vehicle 100 is connected to a traveling module 330 configured to be movable along the traveling rail 20 and the traveling module 330, and the It may include a hoist module 350 for the pickup of the material (30). The driving module 330 may include a front module 332 and a rear module 334, and the front module 332 and the rear module 334 are used for moving the first transfer vehicle 100. A drive unit 336 providing power, drive wheels 338 disposed on the traveling rail 20 and connected to the drive unit 336 through a drive shaft (not shown), and the drive unit 336 Each of the electronic brakes 340 for preventing rotation of the drive shaft may be included when the power supply to the motor is cut off. Unlike the above, the electromagnetic brake 340 may be mounted only on one of the front module 332 and the rear module 334.

상기 호이스트 모듈(350)은, 상기 자재(30)의 픽업을 위한 호이스트 유닛(352)과, 상기 호이스트 유닛(352)이 장착되며 상기 주행 모듈(330)과 연결되는 차량 본체(354)를 포함할 수 있다. 상기 차량 본체(354)의 전면 및 후면에는 상기 전방 자기 범퍼(300)와 후방 자기 범퍼(310)가 각각 장착될 수 있다.The hoist module 350 includes a hoist unit 352 for picking up the material 30, and a vehicle body 354 on which the hoist unit 352 is mounted and is connected to the driving module 330. I can. The front magnetic bumper 300 and the rear magnetic bumper 310 may be mounted on the front and rear surfaces of the vehicle body 354, respectively.

도시되지는 않았으나, 상기 제2 이송 차량(200)은 상기 제1 이송 차량(100)과 동일한 구성을 가질 수 있다. 구체적으로, 상기 제2 이송 차량(200)은 주행 모듈(330)과 호이스트 모듈(350)을 포함할 수 있다. 상기 제2 이송 차량(200)의 주행 모듈(330)은 전방 모듈(332)과 후방 모듈(334)을 포함할 수 있으며, 상기 제2 이송 차량(200)의 전방 모듈(332)과 후방 모듈(334)은 각각 구동 유닛(336)과 구동 휠들(338) 및 전자 브레이크(340)를 포함할 수 있다. 또한, 상기 제2 이송 차량(200)의 호이스트 모듈(350)은 호이스트 유닛(352)과 차량 본체(354)를 포함할 수 있으며, 상기 제2 이송 차량(200)의 차량 본체(354)에는 상기 전방 자기 범퍼(300)와 후방 자기 범퍼(310)가 장착될 수 있다.Although not shown, the second transfer vehicle 200 may have the same configuration as the first transfer vehicle 100. Specifically, the second transfer vehicle 200 may include a traveling module 330 and a hoist module 350. The traveling module 330 of the second transfer vehicle 200 may include a front module 332 and a rear module 334, and a front module 332 and a rear module of the second transfer vehicle 200 ( Each of the 334 may include a driving unit 336, driving wheels 338 and an electromagnetic brake 340. In addition, the hoist module 350 of the second transfer vehicle 200 may include a hoist unit 352 and a vehicle body 354, and the vehicle body 354 of the second transfer vehicle 200 includes the The front magnetic bumper 300 and the rear magnetic bumper 310 may be mounted.

한편, 상기 제1 및 제2 이송 차량들(100, 200)이 상기 주행 레일(20) 상에서 이동하는 동안 이상이 발생되는 경우 상기 제1 및 제2 이송 차량들(100, 200)은 상기 주행 레일(20) 상에서 정지될 수 있다. 예를 들면, 상기 제1 이송 차량(100)이 상기 주행 레일(20) 상에서 고장에 의해 정지되는 경우, 상기 제1 이송 차량(100)의 후방 자기 범퍼(310)와 상기 제2 이송 차량(200)의 전방 자기 범퍼(300) 사이의 척력에 의해 상기 제1 및 제2 이송 차량들(100, 200) 사이의 충돌이 방지될 수 있다.Meanwhile, when an abnormality occurs while the first and second transport vehicles 100 and 200 are moving on the travel rail 20, the first and second transport vehicles 100 and 200 are Can be stopped on (20). For example, when the first transfer vehicle 100 is stopped due to a failure on the travel rail 20, the rear magnetic bumper 310 of the first transfer vehicle 100 and the second transfer vehicle 200 A collision between the first and second transport vehicles 100 and 200 may be prevented by the repulsive force between the front magnetic bumpers 300 of ).

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제1 및 제2 이송 차량들(100, 200)은 선행하는 이송 차량과의 거리 측정을 위한 거리 센서(360)를 각각 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 제2 이송 차량(200)은 상기 제1 이송 차량(100)과의 거리를 측정하기 위한 거리 센서(360)를 포함할 수 있으며, 상기 거리 센서(360)는 상기 차량 본체(354)의 전면에 장착될 수 있다. 이 경우, 상기 자력 제어부(320)는 상기 제1 이송 차량(100)과의 거리가 기 설정된 거리 이하가 되는 경우 상기 척력이 발생되도록 상기 전자석(302)의 동작을 제어할 수 있다. 이는 상기 전자석(302)의 동작을 위해 요구되는 소비 전력을 감소시키기 위함이다. 그러나, 상기와 다르게, 상기 자력 제어부(320)는 상기 제2 이송 차량(200)이 상기 주행 레일(20) 상에서 이동하는 동안 상기 척력이 지속적으로 발생되도록 상기 전자석(302)의 동작을 제어할 수도 있다.According to an embodiment of the present invention, the first and second transfer vehicles 100 and 200 may each include a distance sensor 360 for measuring a distance to a preceding transfer vehicle. For example, the second transfer vehicle 200 may include a distance sensor 360 for measuring a distance to the first transfer vehicle 100, and the distance sensor 360 may include the vehicle body ( 354) can be mounted on the front. In this case, the magnetic force controller 320 may control the operation of the electromagnet 302 so that the repulsive force is generated when the distance to the first transfer vehicle 100 is less than a preset distance. This is to reduce power consumption required for the operation of the electromagnet 302. However, differently from the above, the magnetic force controller 320 may control the operation of the electromagnet 302 so that the repulsive force is continuously generated while the second transfer vehicle 200 moves on the travel rail 20. have.

상기와 같이 제1 이송 차량(100)이 상기 주행 레일(20) 상에서 정지된 경우 상기 제1 이송 차량(100)을 정비 구역으로 이동시킬 필요가 있다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제2 이송 차량(200)은 상기 정지된 제1 이송 차량(100)과 도킹할 수 있으며, 이어서 상기 제1 이송 차량(100)을 상기 정비 구역으로 이동시킬 수 있다. 예를 들면, 상기 자력 제어부(320)는 상기 제1 이송 차량(100)에 이상이 발생되는 경우 상기 제1 이송 차량(100)과 제2 이송 차량(200)을 서로 도킹시키기 위해 상기 제1 이송 차량(100)의 후방 자기 범퍼(310)에 장착된 영구자석(312)과 상기 제2 이송 차량(200)의 전방 자기 범퍼(300)에 장착된 전자석(302) 사이에서 인력이 발생되도록 상기 전자석(302)의 동작을 제어할 수 있다.When the first transfer vehicle 100 is stopped on the travel rail 20 as described above, it is necessary to move the first transfer vehicle 100 to a maintenance area. According to an embodiment of the present invention, the second transfer vehicle 200 may dock with the stopped first transfer vehicle 100, and then the first transfer vehicle 100 may be moved to the maintenance area. I can. For example, when an abnormality occurs in the first transfer vehicle 100, the magnetic force control unit 320 may perform the first transfer to dock the first transfer vehicle 100 and the second transfer vehicle 200 to each other. The electromagnet so that attractive force is generated between the permanent magnet 312 mounted on the rear magnetic bumper 310 of the vehicle 100 and the electromagnet 302 mounted on the front magnetic bumper 300 of the second transfer vehicle 200 You can control the operation of 302.

도 6은 도 1에 도시된 제1 이송 차량과 제2 이송 차량이 서로 도킹한 상태를 설명하기 위한 개략도이다.6 is a schematic diagram illustrating a state in which the first transfer vehicle and the second transfer vehicle shown in FIG. 1 are docked with each other.

도 6을 참조하면, 상기 제2 이송 차량(200)은 상기 제1 이송 차량(100)과의 도킹 여부를 확인하기 위한 제2 센서(380)를 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 제2 센서(380)는 상기 제1 이송 차량(100)의 영구자석(312)에 의해 동작하는 리드 스위치를 포함할 수 있으며, 상기 리드 스위치는 상기 제2 이송 차량(200)의 전방 자기 범퍼(300)에 장착될 수 있다. 상기 제1 이송 차량(100)의 후방 자기 범퍼(310)와 상기 제2 이송 차량(200)의 전방 자기 범퍼(300)가 서로 도킹되는 경우 상기 후방 자기 범퍼(310)의 영구자석(312)과 상기 전방 자기 범퍼(300)의 전자석(302)에 의한 자기장이 상기 제1 이송 차량(100)과 제2 이송 차량(200) 사이에 형성될 수 있으며, 상기 자기장에 의해 상기 리드 스위치가 동작될 수 있다. 다른 예로서, 상기 제2 센서(370)는 상기 제2 이송 차량(200)의 전방 자기 범퍼(300)의 전면 부위에 장착될 수 있으며, 누름 스위치 또는 접촉 센서가 상기 제2 센서(370)로서 사용될 수 있다.Referring to FIG. 6, the second transfer vehicle 200 may include a second sensor 380 for checking whether or not the first transfer vehicle 100 is docked. For example, the second sensor 380 may include a reed switch operated by the permanent magnet 312 of the first transfer vehicle 100, and the reed switch is the second transfer vehicle 200 It can be mounted on the front magnetic bumper 300. When the rear magnetic bumper 310 of the first transfer vehicle 100 and the front magnetic bumper 300 of the second transfer vehicle 200 are docked with each other, the permanent magnet 312 of the rear magnetic bumper 310 and A magnetic field by the electromagnet 302 of the front magnetic bumper 300 may be formed between the first transport vehicle 100 and the second transport vehicle 200, and the reed switch may be operated by the magnetic field. have. As another example, the second sensor 370 may be mounted on a front portion of the front magnetic bumper 300 of the second transfer vehicle 200, and a push switch or a contact sensor may be used as the second sensor 370. Can be used.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제1 이송 차량(100)은 상기 전자 브레이크(340)와 연결된 제1 커넥터(380)를 포함할 수 있으며, 상기 제2 이송 차량(200)은 상기 제1 이송 차량(100)과 도킹되는 경우 상기 제1 이송 차량(100)의 전자 브레이크(340)에 전원을 인가하기 위한 제2 커넥터(382)를 포함할 수 있다. 즉, 상기 제1 이송 차량(100)과 제2 이송 차량(200)이 서로 도킹되는 경우 상기 제1 커넥터(380)와 제2 커넥터(382)가 서로 연결될 수 있으며, 상기 제1 및 제2 커넥터들(380, 382)을 통한 전원 제공을 통해 상기 제1 이송 차량(100)의 이동이 가능하도록 상기 제1 이송 차량(100)의 전자 브레이크(340)의 제동 상태가 해제될 수 있다. 예를 들면, 상기 제1 이송 차량(100)의 후방 자기 범퍼(310)에는 소켓 형태의 제1 커넥터(380)가 구비될 수 있으며, 상기 제2 이송 차량(200)의 전방 자기 범퍼(300)에는 플러그 형태의 제2 커넥터(382)가 구비될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the first transfer vehicle 100 may include a first connector 380 connected to the electromagnetic brake 340, and the second transfer vehicle 200 may include the first When docked with the transfer vehicle 100, a second connector 382 for applying power to the electromagnetic brake 340 of the first transfer vehicle 100 may be included. That is, when the first transfer vehicle 100 and the second transfer vehicle 200 are docked to each other, the first connector 380 and the second connector 382 may be connected to each other, and the first and second connectors The braking state of the electronic brake 340 of the first transfer vehicle 100 may be released to enable the movement of the first transfer vehicle 100 by providing power through the spools 380 and 382. For example, a socket-shaped first connector 380 may be provided on the rear magnetic bumper 310 of the first transport vehicle 100, and the front magnetic bumper 300 of the second transport vehicle 200 A second connector 382 in the form of a plug may be provided in the.

도 7은 도 6에 도시된 제1 이송 차량과 제2 이송 차량이 서로 도킹한 상태의 다른 예를 설명하기 위한 개략도이다.FIG. 7 is a schematic diagram illustrating another example of a state in which the first transfer vehicle and the second transfer vehicle shown in FIG. 6 are docked with each other.

도 7을 참조하면, 상기 제2 이송 차량(200)은 무선 전력 전송 방식으로 상기 제1 이송 차량(100)에 전력을 제공할 수도 있다. 예를 들면, 상기 제2 이송 차량(200)에는 무선 전력 전송 방식으로 전력을 제공하는 전력 송신부(390)가 장착될 수 있으며, 상기 제1 이송 차량(100)에는 상기 전력 송신부(390)로부터 제공되는 상기 전력을 수신하기 위한 전력 수신부(392)가 장착될 수 있다. 이 경우, 상기 제1 이송 차량(100)의 전자 브레이크(340)의 제동 상태는 상기 무선 전력 전송 방식으로 제공되는 전력을 이용하여 해제될 수 있으며, 이에 따라 상기 제1 이송 차량(100)의 이동이 가능해질 수 있다.Referring to FIG. 7, the second transfer vehicle 200 may provide power to the first transfer vehicle 100 by a wireless power transmission method. For example, the second transfer vehicle 200 may be equipped with a power transmission unit 390 that provides power by a wireless power transmission method, and the first transfer vehicle 100 is provided from the power transmission unit 390 A power receiver 392 for receiving the power may be mounted. In this case, the braking state of the electronic brake 340 of the first transfer vehicle 100 may be released using power provided by the wireless power transmission method, and accordingly, the movement of the first transfer vehicle 100 This can become possible.

한편, 도 3에 도시된 바와 같이 상기 제1 이송 차량(100)은 전방에 위치되는 제3 이송 차량(미도시)과의 도킹 여부를 확인하기 위한 제2 센서(370)를 구비할 수 있으며, 상기 제3 이송 차량으로의 전원 제공을 위한 제2 커넥터(382)를 구비할 수 있다. 또한, 도시되지는 않았으나, 상기 제2 이송 차량(200)은 후방에 위치되는 제4 이송 차량(미도시)과의 연결을 위한 제1 커넥터(380)를 구비할 수 있다. 추가적으로, 상기 제1 이송 차량(100)은 상기 제3 이송 차량으로의 전력 제공을 위한 전력 송신부(382)를 구비할 수 있으며, 상기 제2 이송 차량(200)은 상기 제4 이송 차량으로부터 제공되는 전력을 수신하기 위한 전력 수신부(380)를 구비할 수 있다.Meanwhile, as shown in FIG. 3, the first transfer vehicle 100 may include a second sensor 370 for checking whether or not docking with a third transfer vehicle (not shown) positioned in front, A second connector 382 for providing power to the third transfer vehicle may be provided. Further, although not shown, the second transfer vehicle 200 may include a first connector 380 for connection with a fourth transfer vehicle (not shown) located at the rear. Additionally, the first transfer vehicle 100 may include a power transmission unit 382 for providing power to the third transfer vehicle, and the second transfer vehicle 200 is provided from the fourth transfer vehicle. A power receiver 380 for receiving power may be provided.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 제1 이송 차량(100)과 제2 이송 차량(200) 사이의 충돌은 상기 전방 자기 범퍼(300)와 후방 자기 범퍼(310) 사이의 척력에 의해 충분히 방지될 수 있다. 따라서, 상기 제1 이송 차량(100)과 제2 이송 차량(200) 사이의 충돌에 의한 상기 제1 이송 차량(100)과 제2 이송 차량(200) 그리고 적재된 자재들(30)의 손상이 방지될 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, the collision between the first transport vehicle 100 and the second transport vehicle 200 is a repulsive force between the front magnetic bumper 300 and the rear magnetic bumper 310 Can be sufficiently prevented by Therefore, damage to the first transfer vehicle 100 and the second transfer vehicle 200 and the loaded materials 30 due to a collision between the first transfer vehicle 100 and the second transfer vehicle 200 Can be prevented.

또한, 상기 제1 이송 차량(100)에 이상이 발생된 경우 상기 전방 자기 범퍼(300)와 후방 자기 범퍼(310) 사이의 인력에 의해 상기 제1 이송 차량(100)과 제2 이송 차량(200)이 서로 도킹될 수 있으며, 이어서 상기 제1 이송 차량(100)이 상기 제2 이송 차량(200)에 의해 정비 구역으로 견인될 수 있다. 이때, 상기 제1 이송 차량(100)의 주행 모듈(330)이 정지된 제동 상태는 상기 제2 이송 차량(200)으로부터 제공되는 전원에 의해 해제될 수 있으며, 이에 따라 상기 제1 이송 차량(100)의 견인이 용이하게 이루어질 수 있다.In addition, when an abnormality occurs in the first transfer vehicle 100, the first transfer vehicle 100 and the second transfer vehicle 200 are caused by the manpower between the front magnetic bumper 300 and the rear magnetic bumper 310. ) Can be docked to each other, and then the first transfer vehicle 100 can be towed by the second transfer vehicle 200 to the maintenance area. At this time, the braking state in which the driving module 330 of the first transfer vehicle 100 is stopped may be released by power supplied from the second transfer vehicle 200, and accordingly, the first transfer vehicle 100 ) Can be easily traction.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to the preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention described in the following claims. You will understand that there is.

10 : 이송 장치 20 : 주행 레일
30 : 자재 100 : 제1 이송 차량
200 : 제2 이송 차량 300 : 전방 자기 범퍼
302 : 전자석 310 : 후방 자기 범퍼
312 : 영구자석 330 : 주행 모듈
332 : 전방 모듈 334 : 후방 모듈
336 : 구동 유닛 338 : 구동 휠
340 : 전자 브레이크 350 : 호이스트 모듈
352 : 호이스트 유닛 354 : 차량 본체
360 : 거리 센서 370 : 제2 센서
380 : 제1 커넥터 382 : 제2 커넥터
390 : 전력 송신부 392 : 전력 수신부10: transfer device 20: travel rail
30: material 100: first transfer vehicle
200: second transfer vehicle 300: front magnetic bumper
302: electromagnet 310: rear magnetic bumper
312: permanent magnet 330: driving module
332: front module 334: rear module
336: drive unit 338: drive wheel
340: electromagnetic brake 350: hoist module
352: hoist unit 354: vehicle body
360: distance sensor 370: second sensor
380: first connector 382: second connector
390: power transmitter 392: power receiver

Claims (13)

주행 레일을 따라 이동 가능하게 구성되는 제1 이송 차량 및 제2 이송 차량을 포함하는 이송 장치에 있어서,
상기 제1 이송 차량 및 제2 이송 차량 각각은 자력을 이용하여 서로간의 충돌을 방지하는 전방 자기 범퍼와 후방 자기 범퍼를 구비하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.In the transfer device comprising a first transfer vehicle and a second transfer vehicle configured to be movable along the travel rail,
Each of the first transfer vehicle and the second transfer vehicle comprises a front magnetic bumper and a rear magnetic bumper that prevent collisions with each other by using magnetic force. 제1항에 있어서, 상기 전방 자기 범퍼 및 후방 자기 범퍼 중 어느 하나는 전자석을 포함하고, 상기 전방 자기 범퍼 및 후방 자기 범퍼 중 다른 하나는 영구자석을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.The conveying apparatus according to claim 1, wherein one of the front magnetic bumper and the rear magnetic bumper includes an electromagnet, and the other of the front magnetic bumper and the rear magnetic bumper includes a permanent magnet. 제2항에 있어서, 상기 제1 이송 차량 및 제2 이송 차량은 상기 전자석과 상기 영구자석 사이에서 척력이 발생되도록 상기 전자석의 동작을 제어하는 자력 제어부를 각각 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.The transfer device of claim 2, wherein each of the first transfer vehicle and the second transfer vehicle further comprises a magnetic force controller configured to control an operation of the electromagnet so that a repulsive force is generated between the electromagnet and the permanent magnet. 제2항에 있어서, 상기 제1 이송 차량 및 제2 이송 차량은 상기 제1 이송 차량 및 제2 이송 차량 중 어느 하나에 이상이 발생되는 경우 상기 제1 이송 차량 및 제2 이송 차량을 서로 도킹시키기 위해 상기 전자석과 상기 영구자석 사이에서 인력이 발생되도록 상기 전자석의 동작을 제어하는 자력 제어부를 각각 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.The method of claim 2, wherein the first transfer vehicle and the second transfer vehicle dock the first transfer vehicle and the second transfer vehicle to each other when an abnormality occurs in any one of the first transfer vehicle and the second transfer vehicle. Each further comprises a magnetic force control unit for controlling the operation of the electromagnet so that attractive force is generated between the electromagnet and the permanent magnet. 주행 레일을 따라 이동 가능하게 구성되는 제1 이송 차량 및 상기 제1 이송 차량의 후방에 배치되며 상기 주행 레일을 따라 이동 가능하게 구성되는 제2 이송 차량을 포함하는 이송 장치에 있어서,
상기 제1 이송 차량은 영구자석을 포함하는 후방 자기 범퍼를 포함하고,
상기 제2 이송 차량은 전자석을 포함하는 전방 자기 범퍼 및 상기 제1 이송 차량과의 충돌을 방지하기 위해 상기 영구자석과 전자석 사이에서 척력이 발생되도록 상기 전자석의 동작을 제어하는 자력 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.In the transfer device comprising a first transfer vehicle configured to be movable along a travel rail and a second transfer vehicle disposed at the rear of the first transfer vehicle and configured to be movable along the travel rail,
The first transfer vehicle includes a rear magnetic bumper including a permanent magnet,
The second transfer vehicle includes a front magnetic bumper including an electromagnet and a magnetic force controller for controlling the operation of the electromagnet so that a repulsive force is generated between the permanent magnet and the electromagnet in order to prevent a collision with the first transfer vehicle. Conveying device characterized by. 제5항에 있어서, 상기 제2 이송 차량은 상기 제1 이송 차량과의 거리를 측정하기 위한 거리 센서를 더 포함하며,
상기 자력 제어부는 상기 제1 이송 차량과의 거리가 기 설정된 거리 이하가 되는 경우 상기 척력이 발생되도록 상기 전자석의 동작을 제어하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.The method of claim 5, wherein the second transfer vehicle further comprises a distance sensor for measuring a distance to the first transfer vehicle,
The magnetic force control unit controls the operation of the electromagnet so that the repulsive force is generated when the distance to the first transport vehicle is less than or equal to a preset distance. 제5항에 있어서, 상기 자력 제어부는 상기 제1 이송 차량에 이상이 발생되는 경우 상기 제1 이송 차량과 상기 제2 이송 차량을 서로 도킹시키기 위해 상기 영구자석과 상기 전자석 사이에서 인력이 발생되도록 상기 전자석의 동작을 제어하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.The method of claim 5, wherein the magnetic force control unit is configured to generate an attractive force between the permanent magnet and the electromagnet to dock the first transfer vehicle and the second transfer vehicle when an abnormality occurs in the first transfer vehicle. Transfer device, characterized in that for controlling the operation of the electromagnet. 제7항에 있어서, 상기 제2 이송 차량은 상기 제1 이송 차량과의 도킹 여부를 확인하기 위한 제2 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.The transfer device of claim 7, wherein the second transfer vehicle further comprises a second sensor to check whether the second transfer vehicle is docked with the first transfer vehicle. 제8항에 있어서, 상기 제2 센서는 상기 영구자석에 의해 동작하는 리드 스위치를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.The transfer device according to claim 8, wherein the second sensor comprises a reed switch operated by the permanent magnet. 제7항에 있어서, 상기 제1 이송 차량은,
상기 주행 레일을 따라 이동 가능하도록 구성된 주행 모듈과,
상기 주행 모듈과 연결되며 이송 대상물을 픽업하기 위한 호이스트 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.The method of claim 7, wherein the first transfer vehicle,
A traveling module configured to be movable along the traveling rail,
And a hoist module connected to the traveling module and configured to pick up a transfer object. 제10항에 있어서, 상기 주행 모듈은,
상기 제1 이송 차량의 이동을 위한 동력을 제공하는 구동 유닛과,
구동축을 통해 상기 구동 유닛과 연결되며 상기 주행 레일 상에 배치되는 구동 휠들과,
상기 구동 유닛으로의 전원 공급이 차단되는 경우 상기 구동축의 회전을 방지하기 위한 전자 브레이크를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.The method of claim 10, wherein the driving module,
A drive unit that provides power for movement of the first transfer vehicle,
Drive wheels connected to the drive unit through a drive shaft and disposed on the traveling rail,
And an electromagnetic brake for preventing rotation of the drive shaft when power supply to the drive unit is cut off. 제11항에 있어서, 상기 제1 이송 차량은 상기 전자 브레이크와 연결된 제1 커넥터를 포함하고,
상기 제2 이송 차량은 상기 제1 이송 차량과 도킹되는 경우 상기 전자 브레이크의 제동 상태가 해제되도록 상기 제1 커넥터를 통해 상기 전자 브레이크에 전원을 인가하기 위한 제2 커넥터를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.The method of claim 11, wherein the first transfer vehicle comprises a first connector connected to the electromagnetic brake,
The second transfer vehicle comprises a second connector for applying power to the electromagnetic brake through the first connector so that the braking state of the electromagnetic brake is released when the second transfer vehicle is docked with the first transfer vehicle. Device. 제11항에 있어서, 상기 제2 이송 차량은 상기 제1 이송 차량과 도킹되는 경우 상기 제1 이송 차량에 무선 전력 전송 방식으로 전력을 제공하는 전력 송신부를 포함하고,
상기 제1 이송 차량은 상기 전력 송신부로부터 제공되는 상기 전력을 수신하기 위한 전력 수신부를 포함하며, 상기 수신된 전력을 이용하여 상기 전자 브레이크의 제동 상태를 해제하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.The method of claim 11, wherein the second transfer vehicle comprises a power transmitter that provides power to the first transfer vehicle by a wireless power transmission method when docked with the first transfer vehicle,
The first transfer vehicle includes a power receiver for receiving the power provided from the power transmitter, and releases a braking state of the electromagnetic brake using the received power.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230075118A (en) * 2021-11-22 2023-05-31 세메스 주식회사 Transferring apparatus

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01117601A (en) * 1987-10-30 1989-05-10 Hitachi Ltd Collision prevention device
JPH05262429A (en) * 1992-03-18 1993-10-12 Fujitsu Ltd Stopping positioning device for conveying device and method thereof
KR101374665B1 (en) 2011-12-20 2014-03-18 주식회사 에스에프에이 Mask supplying system
KR20160108193A (en) * 2015-03-04 2016-09-19 가부시키가이샤 다이후쿠 Article transport facility
KR101808428B1 (en) * 2016-06-10 2017-12-14 서울대학교산학협력단 Autonomous Agricultural Greenhouse transfer cart

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01117601A (en) * 1987-10-30 1989-05-10 Hitachi Ltd Collision prevention device
JPH05262429A (en) * 1992-03-18 1993-10-12 Fujitsu Ltd Stopping positioning device for conveying device and method thereof
KR101374665B1 (en) 2011-12-20 2014-03-18 주식회사 에스에프에이 Mask supplying system
KR20160108193A (en) * 2015-03-04 2016-09-19 가부시키가이샤 다이후쿠 Article transport facility
KR101808428B1 (en) * 2016-06-10 2017-12-14 서울대학교산학협력단 Autonomous Agricultural Greenhouse transfer cart

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230075118A (en) * 2021-11-22 2023-05-31 세메스 주식회사 Transferring apparatus

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