KR20210003440A - Method of preventing transferring vehicles from colliding with each other - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명의 실시예들은 반송 차량의 충돌 방지 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 주행 레일을 따라 순차적으로 운행하는 반송 차량들 간의 충돌을 방지할 수 있는 반송 차량의 충돌 방지 방법에 관한 것이다.Embodiments of the present invention relate to a method of preventing collision of a conveyance vehicle. More specifically, it relates to a method for preventing a collision of a transport vehicle capable of preventing a collision between transport vehicles sequentially running along a travel rail.
반도체 장치의 제조 공정에서 웨이퍼, 인쇄회로기판, 개별화된 반도체 칩들, 반도체 패키지들과 같은 자재들은 RGV(rail guided vehicle), OHT 장치 등과 같은 무인 운반 시스템을 통해 이송될 수 있다. 특히, 상기 OHT 장치는 클린룸의 천장에 설치된 주행 레일을 따라 이동 가능하게 구성되는 복수의 반송 차량들을 포함할 수 있으며, 상기 반송 차량들로의 전원 공급은 상기 주행 레일을 따라 설치되는 전원 공급 케이블로부터 무선 전력 전송 방식으로 제공될 수 있다.In a semiconductor device manufacturing process, materials such as wafers, printed circuit boards, individualized semiconductor chips, and semiconductor packages can be transported through unmanned transport systems such as rail guided vehicles (RGVs) and OHT devices. In particular, the OHT device may include a plurality of transport vehicles configured to be movable along a travel rail installed on the ceiling of a clean room, and power supply to the transport vehicles is a power supply cable installed along the travel rail. It may be provided in a wireless power transmission method from
하지만, 주행 레일 따라 운행 중인 반송 차량들이 주행 중 전원 공급이 차단될 수 있다. 이 경우, 연속적을 운행 중이 반송 차량들 간의 충돌이 발생할 수 있다. 특히, 후행하는 반송 차량에 전원 공급이 중단될 경우, 상기 반송 차량에 포함된 제동 유닛의 구동이 중단되고, 후행하는 반송 차량은 관성 주행을 할 수 있다. 이로써, 후행하는 반송 차량이 선행하는 반송 차량과 충돌하는 문제가 발생할 수 있다.However, power supply may be cut off while transport vehicles running along the travel rails are driving. In this case, a collision may occur between transport vehicles while driving continuously. Particularly, when power supply to a subsequent transport vehicle is stopped, driving of the braking unit included in the transport vehicle is stopped, and the subsequent transport vehicle may perform inertial driving. As a result, there may be a problem that a subsequent transport vehicle collides with a preceding transport vehicle.
본 발명의 실시예들은 후행하는 반송 차량에 대한 전원 공급이 중단될 경우,후행하는 반송 차량 및 선행하는 반송 차량 간의 충돌을 방지할 수 있는 충돌 방지 방법을 제공하는 것이다.Embodiments of the present invention provide a collision avoidance method capable of preventing a collision between a subsequent transport vehicle and a preceding transport vehicle when power supply to a subsequent transport vehicle is interrupted.
본 발명의 실시예들에 따른 충돌 방지 방법에 있어서, 제1 반송 차량 및 상기 제1 반송 차량을 따라 후행하는 제2 반송 차량을 운행하고, 상기 제2 반송 차량에 전원 공급이 차단되어 상기 제2 반송 차량이 관성 주행할 때, 상기 제1 반송 차량에 포함된 전원 송신부를 이용하여 상기 제2 반송 차량에 포함된 전원 수신부에 보충 전원을 보충적으로 공급한다. 이어서, 상기 보충 전원을 이용하여 상기 제2 반송 차량을 제동한다.In the collision avoidance method according to embodiments of the present invention, a first transport vehicle and a second transport vehicle following the first transport vehicle are operated, and power supply to the second transport vehicle is cut off, so that the second When the transport vehicle is inertial travel, supplementary power is supplied to the power receiver included in the second transport vehicle using a power transmitter included in the first transport vehicle. Then, the second transport vehicle is braked using the supplemental power supply.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 전원 수신부에 보충 전원을 보충적으로 공급하기 위하여, 상기 전원 송신부 및 전원 수신부 사이에 자기 공명 방식으로 충전할 수 있다.In one embodiment of the present invention, in order to supplementarily supply supplementary power to the power receiver, charging may be performed between the power transmitter and the power receiver in a magnetic resonance method.
여기서, 상기 전원 수신부에 보충 전원을 보충적으로 공급하는 공정은 상기 제2 반송 차량을 상기 제1 반송 차량에 일정 거리로 접근할 때부터 수행될 수 있다.Here, the process of supplementally supplying supplementary power to the power receiver may be performed from when the second transport vehicle approaches the first transport vehicle at a predetermined distance.
여기서, 상기 제1 반송 차량에 포함된 전원 송신부는 상시적으로 전자기장을 발생할 수 있다.Here, the power transmission unit included in the first transport vehicle may constantly generate an electromagnetic field.
또한, 상기 전원 송신부는 주행 방향을 따라 상기 제1 반송 차량의 후단에 구비되고, 상기 전원 수신부는 주행 방향을 따라 상기 제2 반송 차량의 선단에 구비될 수 있다.In addition, the power transmitter may be provided at a rear end of the first transport vehicle along a driving direction, and the power receiver may be provided at a front end of the second transport vehicle along a driving direction.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 보충 전원을 이용하여 상기 제2 반송 차량을 제동하는 공정은 상기 보충 전원을 이용하여 상기 제2 반송 차량에 포함된 제동 유닛을 동작시켜 수행될 수 있다.In one embodiment of the present invention, the process of braking the second transport vehicle using the supplemental power may be performed by operating a braking unit included in the second transport vehicle using the supplemental power.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 반송 차량 및 상기 제 2 반송 차량 간의 거리를 측정할 수 있다.In one embodiment of the present invention, it is possible to measure a distance between the first transport vehicle and the second transport vehicle.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 후행하는 제2 반송 차량에 전원 공급이 차단되어 제2 반송 차량이 관성 주행할 때, 선행하는 제1 반송 차량에 포함된 전원 송신부를 이용하여 제2 반송 차량에 포함된 전원 수신부에 보충 전원을 보충적으로 공급할 수 있다. 이로써, 후행하는 제2 반송 차량의 제동 유닛이 상기 보충 전원으로 제2 반송 차량을 제동할 수 있다. 결과적으로 제1 및 제2 반송 차량 간의 충돌이 효과적으로 방지될 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, when the power supply to the subsequent second transport vehicle is cut off and the second transport vehicle is inertial driving, the power transmission unit included in the preceding first transport vehicle 2 Supplementary power can be supplied to the power receiver included in the transport vehicle. Thereby, the braking unit of the second transport vehicle that follows can brake the second transport vehicle with the supplementary power supply. As a result, a collision between the first and second transport vehicles can be effectively prevented.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 충돌 방지 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 2 내지 도 4은 도 1의 충돌 방지 방법을 설명하기 위한 구성도들이다.1 is a flow chart illustrating a collision avoidance method according to an embodiment of the present invention.
2 to 4 are configuration diagrams for explaining the collision avoidance method of FIG. 1.
이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention does not have to be configured as limited to the embodiments described below, and may be embodied in various other forms. The following examples are provided to sufficiently convey the scope of the present invention to those skilled in the art, rather than provided to enable the present invention to be completely completed.
본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.In the embodiments of the present invention, when one element is described as being disposed on or connected to another element, the element may be directly disposed on or connected to the other element, and other elements are interposed therebetween. It could be. Alternatively, if one element is described as being placed or connected directly on another element, there cannot be another element between them. Terms such as first, second, third, etc. may be used to describe various items such as various elements, compositions, regions, layers, and/or parts, but the above items are not limited by these terms. Won't.
본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.The terminology used in the embodiments of the present invention is used only for the purpose of describing specific embodiments, and is not intended to limit the present invention. In addition, unless otherwise limited, all terms including technical and scientific terms have the same meaning that can be understood by those of ordinary skill in the art of the present invention. The terms, such as those defined in conventional dictionaries, will be interpreted as having a meaning consistent with their meaning in the context of the description of the related art and the present invention, and ideally or excessively external intuition unless explicitly limited. It will not be interpreted.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.Embodiments of the invention are described with reference to schematic diagrams of ideal embodiments of the invention. Accordingly, changes from the shapes of the diagrams, for example changes in manufacturing methods and/or tolerances, are those that can be sufficiently anticipated. Accordingly, embodiments of the present invention are not described as limited to specific shapes of regions described as diagrams, but include variations in shapes, and elements described in the drawings are entirely schematic and their shapes Is not intended to describe the exact shape of the elements, nor is it intended to limit the scope of the present invention.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 충돌 방지 방법을 설명하기 위한 순서도이다. 도 2 내지 도 4은 도 1의 충돌 방지 방법을 설명하기 위한 구성도들이다.1 is a flow chart illustrating a collision avoidance method according to an embodiment of the present invention. 2 to 4 are configuration diagrams for explaining the collision avoidance method of FIG. 1.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 충돌 방지 방법은 반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 다양한 형태의 자재들을 운반하기 위한 반송 차량의 동작을 제어하기 위해 사용될 수 있다.Referring to FIGS. 1 and 2, a collision avoidance method according to an exemplary embodiment of the present invention may be used to control an operation of a transport vehicle for transporting various types of materials in a manufacturing process of a semiconductor device or a display device.
상기 반송 차량(100, 200)는 클린룸의 천장에 설치되는 주행 레일(300)을 따라 이동 가능하게 구성된다.The
상기 반송 차량들(100, 200)은 상기 주행 레일(300)을 따라 연장하는 전원 공급 케이블(미도시)로부터 무선 전력 전송 방식으로 필요한 전력을 공급받을 수 있다. 일 예로서, 상기 반송 차량들(100, 200)에는 상기 전원 공급 케이블로부터 자기 유도 방식으로 전력을 공급받을 수 있는 픽업 유닛들(미도시)이 구비될 수 있다.The
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 반송 차량의 충돌 방지 방법을 보다 상세하게 설명한다.Hereinafter, a method for preventing a collision of a transport vehicle according to an embodiment of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.
도 1 및 도 2를 참조하면, 먼저 S110 에서 제1 반송 차량(100) 및 상기 제1 반송 차량(100)을 따라 후행하는 제2 반송 차량(200)을 운행한다. 이때, 제1 반송 차량(100) 및 제2 반송 차량(200)은 상호 일정 거리(do)를 유지하고 있다. 이를 위하여, 상기 제1 및 제2 반송 차량들(100, 120) 간의 거리를 측정할 수 있다. 예를 들면, 광학 센서 또는 초음파 센서 등과 같은 거리 측정 센서가 상기 제1 및 제2 반송 차량들(100, 120) 간의 거리를 측정하여, 상기 거리(do)를 일정하게 유지하도록 할 수 있다.Referring to FIGS. 1 and 2, first, a
도 1 및 도 3을 참조하면, 상기 제2 반송 차량(200)에 전원 공급이 차단되어 상기 제2 반송 차량(200)이 관성 주행할 수 있다. 즉, 상기 제2 반송 차량(200)에 전원 관련한 고장이 발생할 경우, 상기 제2 반송 차량(200)은 별도의 구동원의 공급 없이 상기 주행 레일(300)을 따라 관성력으로 주행할 수 있다. 따라서, 상기 거리 센서가 거리를 측정하더라도, 상기 제2 반송 차량(200)에 포함된 제동 유닛(250)에 공급되는 전력이 차단되어, 상기 제2 반송 차량(200)은 상기 주행 레일(300)을 따라 관성 주행한다.Referring to FIGS. 1 and 3, power supply to the
이때, 상기 제1 반송 차량(100)에 포함된 전원 송신부(130)를 이용하여 상기 제2 반송 차량(200)에 포함된 전원 수신부(210)에 보충 전원을 보충적으로 공급한다(S130). 즉, 선행하는 제1 반송 차량(100)에 구비된 전원 송신부(130)가 상기 제2 반송 차량(200)에 포함된 전원 수신부(210)에 보충적으로 보충 전원을 공급한다. 이 경우, 상기 보충 전력을 공급하는 방식은 비접촉 전력 공급 방식에 해당한다. In this case, supplementary power is supplementally supplied to the
상기 비접촉 전력 공급 방식의 예로는 상기 전원 송신부(130) 및 전원 수신부(210) 사이에 전력을 송수신하는 자기 공명 방식을 들 수 있다.An example of the non-contact power supply method may be a magnetic resonance method in which power is transmitted and received between the
상기 자기 공명 방식은 전원 송신부(130) 및 전원 수신부(210) 사이에 안테나를 이용한 공명 현상을 이용한다. 이때, 상기 전원 송신부(130) 및 전원 수신부(210)에는 집진 코일(미도시) 및 RF 전력원(미도시)을 포함한다. 상기 전원 송신부(130)의 집진 코일에서 자기장이 발생하고, 상기 자기장으로 인하여 코일간 자기 공명 방식으로 전원 수신부(210)의 집진 코일에 유도 전류를 발생시킨다. The magnetic resonance method uses a resonance phenomenon using an antenna between the
상기 자기 공명 방식에 있어서, 수 MHz에서 수십 MHz 대역의 주파수를 사용하여 자기적 공명을 이루어 전력을 전송한다. 상기 자기 공명 방식은 자기 유도 방식보다 먼 거리에서 전력을 전송할 수 있다. In the magnetic resonance method, power is transmitted by performing magnetic resonance using a frequency of several MHz to tens of MHz. The magnetic resonance method can transmit power over a longer distance than the magnetic induction method.
상기 전원 수신부(210)에 보충 전원을 보충적으로 공급하기 위하여, 상기 제2 반송 차량(200)이 상기 제1 반송 차량(100)에 충전 가능 거리(d1)로 접근할 때부터 수행될 수 있다.In order to supplementarily supply supplementary power to the
또한, 자기 공명 방식은 자기 유도 방식보다 더 높은 효율로 전력을 전송할 수 있다.In addition, the magnetic resonance method can transmit power with higher efficiency than the magnetic induction method.
상기 자기 공명 방식에 따르면, 후행하는 제2 반송 차량(200)에 보충 전력을 공급하는 방식으로, 상대적으로 먼 거리 및 높은 효율로 상대적으로 작은 크기의 전력의 공급 방식으로 충분히 이용될 수 있다.According to the magnetic resonance method, supplemental power is supplied to the
한편, 상기 제1 반송 차량(100)에 포함된 전원 송신부(130)는 상시적으로 전자기장을 발생한다.Meanwhile, the
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 전원 송신부(130)는 주행 방향에서 상기 제1 반송 차량(100)의 후단에 구비될 수 있다. 반면에 상기 전원 수신부(210)는 주행 방향에서 상기 제2 반송 차량(200)의 선단에 구비될 수 있다. 이로써, 자기 공명 방식을 통한 보충 전원의 공급이 보다 효과적으로 수행될 수 있다.In one embodiment of the present invention, the
도 1 및 도 4를 참조하면, 상기 보충 전원을 이용하여 제2 반송 차량(200)을 제동한다(S150). 이로써 전원 공급이 중단된 후행하는 제2 반송 차량(200)이 관성 주행에 의한 제1 반송 차량(100)과의 충돌이 방지될 수 있다.1 and 4, the
상기 보충 전원을 이용하여 상기 제2 반송 차량(200)의 운행을 중단시키기 위하여, 상기 보충 전원을 이용하여 상기 제2 반송 차량(200)에 포함된 제동 유닛(250)이 구동할 수 있다. 이로써, 제2 반송 차량(200)에 공급된 주전원이 차단될 경우, 상기 보충 전원을 이용하여 제동 유닛(250)이 구동됨으로써 제2 반송 차량(200)이 제동되어 제1 반송 차량(100)에 충돌되는 것이 방지될 수 있다.In order to stop the operation of the
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to the preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention described in the following claims. You will understand that there is.
100 : 제1 반송 차량
110 : 전력 수신부
130 : 전력 송신부
150 : 제동 유닛
200 : 제2 반송 차량
210 : 전력 수신부
230 : 전력 송신부
250 : 제동 유닛
300 : 주행 레일100: first carrier vehicle 110: power receiver
130: power transmission unit 150: braking unit
200: second carrier vehicle 210: power receiver
230: power transmission unit 250: braking unit
300: running rail
Claims (7)
상기 제2 반송 차량에 전원 공급이 차단되어 상기 제2 반송 차량이 관성 주행할 때, 상기 제1 반송 차량에 포함된 전원 송신부를 이용하여 상기 제2 반송 차량에 포함된 전원 수신부에 보충 전원을 보충적으로 공급하는 단계; 및
상기 보충 전원을 이용하여 상기 제2 반송 차량을 제동하는 단계를 포함하는 반송 차량의 충돌 방지 방법.Driving a first transport vehicle and a second transport vehicle following the first transport vehicle;
When the power supply to the second transport vehicle is cut off and the second transport vehicle runs inertially, supplemental power is supplemented to the power receiver included in the second transport vehicle using a power transmission unit included in the first transport vehicle. Supplying with; And
And braking the second transport vehicle using the supplemental power supply.
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