KR20210002033U

KR20210002033U - 정전 척 시스템

Info

Publication number: KR20210002033U
Application number: KR2020200000737U
Authority: KR
Inventors: 치우퐁 후앙
Original assignee: 우순 테크놀로지 컴퍼니, 리미티드
Priority date: 2020-03-03
Filing date: 2020-03-03
Publication date: 2021-09-14
Also published as: KR200494428Y1

Abstract

정전 척 시스템은 정전 흡착 구역을 가진 가요성 정전 척, 정전 흡착 구역 둘레에 위치한 텐션 조정 구역, 및 박막 필름을 체결하도록 정전 척킹력을 발생하는 상기 텐션 조정 구역상에 위치한 하나 이상의 통공으로 이루어진 척 베이스와, 시트 부재를 체결하도록 바다면에 있는 평평 흡착면을 가진 상부 흡입 플랫폼; 및 상기 박막 필름이 상기 시트 부재에 부드럽게 효과적으로 부착되도록 상 상기 가요성 정전 척에 상방 압력을 가하도록 가요성 스톱퍼를 이동하도록 제어하는 가동 머신으로 구성되며, 가요성 정전 척의 라미네이팅 작업 중에, 텐션 조정 구역 상의 통공은 텐션을 조정하고 응력을 분산하도록 사용되고, 크랙와 손상을 방지하고 내구 수명을 연장된다.

Description

정전 척 시스템{ELECTROSTATIC CHUCK SYSTEM}

본 고안은 정전 척 기술에 관한 것이며, 보다 상세히는 정전 흡착 구역, 정전 흡착 구역 둘레에 위치한 텐션 조정 구역, 및 박막 필름을 체결하도록 정전 척킹력을 발생하도록 텐션 조정 구역 상에 위치한 하나 또는 다수의 통공을 가진 정전 척 시스템에 사용되는 가요성 정전 척에 관한 것이다. 가요성 정전 척의 라미네이팅 작업 중에, 텐션 조정 구역 상의 통공은 텐션을 조정하도록 그리고 응력을 분산하도록 사용되어, 크랙킹이나 손상을 방지하고 내구 수명을 연장시킨다.

오늘날 제조 산업은 심각한 노동력 부족에 직면하고 있다. 더욱이, 제조 산업은 환경을 오염하기 쉽다. 부각되는 환경 경각심은 전통적인 공정과 제조 방식에 큰 영향을 미친다. 노동력, 환경 및 다른 요소의 영향으로, 제조 산업은 증가하는 노동자와 작업 비용의 몇 가지 문제점에 직면하고, 노동 집약 작업에서 기술 집약 작업으로 변환하는 압력을 받는다. 증가하는 생산 비용의 압력에 맞서기 위하여, 제조자들은 그들의 공장을 외국으로 이전하고, 외국 노동자를 맞이하고 또는 자동화 기술과 지식 공정 도구를 채택하여, 작업 시스템 및 생산율을 증대시키고 제조 비용을 절감시키고, 인력 소모를 감소시킨다.

평면 패널 디스플레이 기술의 발전으로, 새로운 세대의 디스플레이는 가볍고, 얇고, 플렉스블한 특징 또는 굴곡면을 가지며, 보다 세련된 전자 및 전기 제품을 소비자에게 제공한다. 결과적으로, 액정 패널상의 편광자, 반사방지 필름, 광학 필름, 터치 제어 멤블레인, 또는 가요성 활성 유기 발광 패널(가요성 AMOLED)용 상면과 하면 박막 필름층, 기능성 필름, 패키징 필름, 보호 필름, 지지 멤브레인, 및 많은 여러 멤브레인, 디스플레이 장치의 구성을 위한 필름 및 시트 부재는 더 가볍고 더 얇게 만들어져야 하고, 주름없이 다른 시트 부재에 정확하고 자연스럽게 부착되어야 한다.

도 9는 박막 필름을 시트 부재에 부착하기 위한 종래의 진공 라미네이팅 시스템을 도시한다. 이 종래의 설계에 따르면, 시스템은 진공 챔버(A0)를 한정하는 진공 캐비넷(A), 진공 챔버(A0)에 가동가능하게 배치된 라미네이팅 휠(A1), 진공 챔버(A0)의 상부에 배치된 흡입구역(A2), 공기 누설을 방지하기 위하여 접착제 또는 접착 테이프로 밀봉되고 흡입구역(A2) 둘레에 진공 챔버(A0)의 상부에 한정되는 비흡입구역(A3), 적용되는 필름 부재(B)의 위치결정을 위하여 흡입구역(A2)에 장착된 스크린 플레이트 흡입 플랫폼(A21), 시트 타입 작업물(C1)을 체결하도록 진공 캐비넷(A) 상부로 이격된 상부 흡입 플랫폼(C)으로 구성된다. 이 종래의 설계에 따르면, 시스템은 진공 챔버(A0)를 한정하는 진공 캐비넷(A), 진공 챔버(A0)에 가동가능하게 배치된 라미네이팅 휠(A1), 진공 챔버(A0)의 상부에 배치된 흡입구역(A2), 공기 누설을 방지하기 위하여 접착제 또는 접착 테이프로 밀봉되고 흡입구역(A2) 둘레에 진공 챔버(A0)의 상부에 한정되는 비흡입구역(A3), 적용되는 필름 부재(B)의 위치결정을 위하여 흡입구역(A2)에 장착된 스크린 플레이트 흡입 플랫폼(A21), 시트 타입 작업물(C1)을 체결하도록 진공 캐비넷(A) 상부로 이격된 상부 흡입 플랫폼(C)으로 구성된다. 라미네이팅 작업 동안, 라미네이팅 휠(A1)은 진공 챔버(A0)에서 올려져서 스크린 플레이트 흡입 플랫폼(A21)의 바닥면에 맞닿고 스크린 플레이트 흡입 플랫폼(A21)의 바닥면을 따라 이동되고, 필름 부재(B)를 시트 타입 작업물(C1)의 표면에 라미네이팅한다. 필름 부재(B)는 얇고 매우 플렉스블하여, 스크린 플레이트 흡입 플랫폼(A21)의 네트 마킹은 필름 부재(B)로 전사될 때 필름 부재(B)는 스크린 플레이트 흡입 플랫폼(A21)에 의해서 시트 타입 작업물(C1)에 부착된다. 만약 네트 마킹이 시트 타입 작업물(C1)에 존재한다면 시트 타입 작업물(C1)은 결함이 있게 된다.

도 10은 박막 필름을 시트 부재에 부착하기 위한 종래의 다른 진공 라미네이팅 시스템을 도시한다. 이 종래의 설계에 따르면, 가요성 멤브레인(A01)은 진공 캐비넷(A) 내로 진공 챔버(A0)의 바닥면에 장착된다; 라미네이팅 휠(A1)은 가요성 멤브레인(A01)에 대하여 바닥면에 위치한다; 흡입구역(A2)은 진공 챔버(A0)의 상부면에 대향하여 한정된다; 비흡입구역(A3)은 공기 누설을 방지하기 위하여 접착제 또는 접착 테이프로 밀봉되고 흡입구역(A2) 둘레에 진공 챔버(A0)의 상부에 한정된다; 스크린 플레이트 흡입 플랫폼(A21)은 필름 부재(B)를 유지하기 위하여 흡입구역(A2)에 장착된다; 상부 흡입 플랫폼(C)은 시트 타입 작업물(C1)을 체결하도록 진공 캐비넷(A) 상부에 위치한다. 라미네이팅 휠(A1)이 진공 캐비넷(A) 외부에 위치하기 때문에, 진공 캐비넷(A)의 사이즈는 최소화되어 진공이 진공 챔버(A0)에 빨리 발생될 수 있다. 라미네이팅 작업 동안, 라미네이팅 휠(A1)은 위로 움직여서 가요성 멤브레인(A01) 및 스크린 플레이트 흡입 플랫폼(A21)을 들어올려서, 필름 부재(B)가 시트 타입 작업물(C1)에 라미네이팅되게 한다. 그러나, 라미네이팅 휠(A1)이 가요성 멤브레인(A01)을 들어 올릴 때, 가요성 멤브레인(A01)은 쉽게 파손될 수 있다. 그러므로, 가요성 멤브레인(A01)은 자주 교체되어야 한다. 더욱이, 라미네이팅 작업 동안, 작업자는 진공 캐비넷(A)의 진공 챔버(A0)의 진공 상태를 관찰할 필요가 있다. 더욱이, 이 설계는 스크린 플레이트 흡입 플랫폼(A21)으로부터 필름 부재(B) 또는 시트 타입 작업물(C1)로 네트 마킹의 전사의 불량품 발생 문제를 여전히 해결할 수 없다.

그러므로, 스크린 플레이트 흡입 플랫폼으로부터 필름 부재로 또는 시트형 작업물로 네트 마킹의 전사가 진공 상태에서 시트형 작업물의 표면 상에 필름 부재를 라미네이팅할 때 불량품으로 발생되는 문제점과 종래의 스크린 플레이트 흡입 플랫폼이 특정 사이즈의 라미네이팅 필름에만 적용될 수 있는 문제점을 어떻게 해결할 것인가는 이 분야의 당업자가 연구하여 개량하여야 할 방향인 것이다.

본 고안에 따른 정전 척 시스템의 목적은 박막 필름을 시트 부재 상에 부착하고, 공정 시간을 단축시키고, 불량품이 되는 스크린 플레이트 흡입 플랫폼으로부터 필름 부재 또는 시트 타입 작업물로 네트 마킹의 전사를 방지하고, 생산율을 향상시키는 데 있다.

본 고안에 따른 정전 척 시스템의 일예로서, 척 베이스, 상부 흡입 플랫폼, 및 가동 머신으로 구성된다. 가요성 정전 척은 정전 흡착 구역, 정전 흡착 구역 둘레에 위치한 텐션 조정 구역, 및 텐션 조정 구역 상에 위치한 하나 이상의 통공을 가지며 정전기력을 발생하여 박막 필름을 체결한다. 상부 흡입 플랫폼은 시트 부재를 체결하도록 바닥면에서 평평 흡착면을 가진다. 가동 머신은 가요성 스톱퍼를 이동하도록 제어하여 가요성 정전 척에 상방으로 압력을 가하고 박막 필름이 시트 부재에 자연스럽고 효과적으로 부착된다. 가요성 정전 척의 라미네이팅 작업 시, 텐션 조정 구역 상의 통공은 텐션을 조정하고 응력을 분산시키도록 사용되고, 크랙과 손상을 방지하고 내구 수명을 향상시킨다.

본 고안의 다른 장점 및 특징은 이하의 설명란과 청구범위를 충분히 이해될 것이며, 참조 부호는 구성요소를 표시한다.

본 고안에 따른 정전 척 시스템은 진공 환경하에서 라미네이팅 작업을 수행하게 하여, 가요성 정전 척의 라미네이팅 작업시, 텐션 조정 구역은 텐션을 조정하도록 사용될 수 있어서 응력을 분산시키고, 크랙이나 손상을 방지하고, 전체 내구 수명을 연장시킬 수 있다고, 탁월한 실용성을 가진다.

또한, 본 고안에 따른 정전 척 시스템은 가요성 정전 척의 텐션과 응력 분산 효과가 조정되고, 크랙이나 손상 발생이 용이하지 않고, 전체 내구 수명이 좋아진다.

도 1은 본 고안의 제1 실시예에 따른 정전 척 시스템의 척 베이스의 경사사시도
도 2는 본 고안의 제1 실시예에 따른 척 베이스의 가요성 정전 척의 분해사시도
도 3은 본 고안의 제1 실시예에 따른 정전 척 시스템의 척 베이스의 대략 측면도
도 4는 정전 척의 바닥면의 일측면에 맞닿는 가요성 스톱퍼와 연장된 왕복운동 로드를 도시한 본 고안의 제1 실시예에 따른 대략 실시도
도 5는 정전 척의 바닥면을 따라 리프트 스탠드와 함께 가동되는 가요성 스톱퍼를 도시한 도 4의 대응도
도 6은 정전 척의 바닥면의 다른 측면으로 리프트 스탠드와 함께 가동되는 가요성 스톱퍼를 도시한 도 5의 대응도
도 7은 본 고안의 제2 실시예에 따른 정전 척 시스템의 척 베이스의 경사 상부 사시도
도 8은 본 고안의 제3 실시예에 따른 정전 척 시스템의 척 베이스의 경사 상부 사시도
도 9는 종래 기술에 따른 진공 라미네이팅 시스템의 측면도
도 10은 다른 종래 기술에 따른 진공 라미네이팅 시스템의 측면도

도 1 내지 도 6을 참조하면, 본 고안에 따른 정전 척 시스템이 도시된다. 정전 척 시스템은 척 베이스(1), 상부 흡입 플랫폼(2) 및 가동 머신(3)으로 구성된다.

척 베이스(1)는 중공형 시트(11), 중공형 시트(11)의 상부면에 장착된 가요성 정전 척(12), 및 가요성 정전 척(12) 아래에 중공형 시트(11) 내에 한정된 작업 공간부(10)로 구성된다.

상부 흡입 플랫폼(2)은 바닥면에 위치하고 시트 부재(22)를 체결하기 위한 평평 흡착면(21)으로 구성된다.

가동 머신(3)은 머신 베이스(31), 및 머신 베이스(31)에 대해서 수평적으로 이동가능하고 지지되는 리프트 스탠드(32)로 구성된다. 리프트 스탠드(32)는 공압실린더, 유압실린더 또는 전기 리프트 또는 이들의 결합일 수 있고, 왕복운동 로드(321) 및 왕복운동 로드(321)의 상부 단부에 장착된 가요성 스톱퍼(322)로 구성된다.

설치 시에, 상부 흡입 플랫폼(2)은 척 베이스(1)의 가요성 정전 척(12) 상부에 정렬되고, 척 베이스(1)에 대해서 수직하게 상하로 이동가능할 수 있다. 더욱이, 가동 머신(3)은 가요성 정전 척(12)의 작업 공간부(10)에서 바닥면에 정렬되며, 리프트 스탠드(32)의 작동으로 왕복운동 로드(321)가 수축 또는 인장되어 가요성 스톱퍼(322)가 작업 공간부(10)에서 수직하게 가동되고, 리프트 스탠드(32)가 머신 베이스(31)에서 수평 왕복운동하게 한다. 따라서, 척 베이스(1), 상부 흡입 플랫폼(2) 및 가동 머신(3)은 정전 척 시스템을 형성하도록 조립된다.

상술한 바와같이, 척 베이스(1)의 중공형 시트(11)는 중공 부재이고, 척 베이스(1)의 가요성 정전 척(12)은 중공형 시트(11)의 상부면에 장착된다. 더욱이, 가요성 정전 척(12)은 플라스틱 박막 필름 포장 쿠퍼 포일 서킷의 일종일 수 있으며 정전 척킹력이 발생되어 전기가 유도되었을 때 물체를 클램핑할 수 있다. 가요성 정전 척(12)은 대향하는 상부면과 바닥면에 각각 위치한 2개의 폴리이미드 필름(121, 122), 2개의 폴리이미드 필름(121, 122) 사이에 정렬된 2개의 본딩 접착층(123, 125), 및 2개의 본딩 접착층(123, 125) 사이에 샌드위치되며 전기가 유도되었을 때 가요성 정전 척(12)의 외부면 상에 정전력을 발생하게 하는 쿠퍼 서킷층(124)으로 구성된다. 따라서, 박막 필름(4)이 가요성 정전 척(12)의 표면상에 위치할 때, 주름짐이 없이 부드럽게 유지될 수 있다. 더욱이, 가요성 정전 척(12)의 본딩 접착층(123, 125)은 에폭시 또는 유기 실리콘 접착제일 수 있다.

본 실시예에서, 가요성 정전 척(12)의 4면은 중공형 시트(11)의 상부면에 고정된다. 가요성 정전 척(12)은 정전 흡착 구역(12a)과 그 표면 상에 한정된 텐션 조정 구역(12b)을 가지며, 정전 흡착 구역(12a)은 쿠퍼 서킷층(124)의 중앙 영역에 대응하는 가요성 정전 척(12)의 상부면이 중앙 영역에 위치하고, 텐션 조정 구역(12b)은 정전 흡착 구역(12a) 둘레 4면에 위치한다. 가요성 정전 척(12)은 쿠퍼 서킷층(124) 상부에 텐션 조정 구역(12b) 상에 위치하는 복수개의 통공(120)을 더 가진다. 통공(120)은 중공형 시트(11)와 정전 흡착 구역(12a)의 4개의 대각방향 연결선 상에 형성되는 것이 바람직하다. 상부 흡입 플랫폼(2)은 작동되어 시트 부재(22)가 평평 흡착면(21)에 진공 흡입, 정전기적 인력 또는 흡입컵 흡입에 의해서 체결된다. 시트 부재(22)는 유리 기판, LCD 패널, 터치 패널, 가요성 디스플레이 또는 유기 발광장치 패널일 수 있다.

더욱이, 가동 머신(3)의 머신 베이스(31) 및 리프트 스탠드(32)는 레일과 스라이딩 홈, 도브테일 블록과 도브테일 홈, 또는 풀리와 풀리 트랙 사이에 대응 정렬에 의해서 함께 결합될 수 있고, 리프트 스탠드(32)가 머신 베이스(31)에 대해서 수평적으로 전후로 이동하게 한다. 더욱이, 리프트 스탠드(32)의 왕복운동 로드(321)의 상부 단부에 장착되는 가요성 스톱퍼(322)는 가요성 프라스틱, 고무 또는 실리콘 고무로 이루어진 부드러운 바디 또는 휠일 수 있다.

적용시에, 척 베이스(1)의 가요성 정전 척(12) 상에 박막 필름(4)을 위치시키고, 그런 다음, 상부 흡입 플랫폼(2)의 평평 흡착면(21)의 작동으로 시트 부재(22)를 체결하고, 그런 다음, 가동 머신(3)을 작동하여 박막 필름(4)의 일측면에 대응하는 위치로 척 베이스(1) 하부에서 머신 베이스(31) 상에 수평으로 리프트 스탠드(32)를 가동시키고, 그런 다음, 상부 흡입 플랫폼(2)을 작동하여 가요성 정전 척(12) 상의 박막 필름(4)을 향하여 시트 부재(22)를 낮추고, 그런 다음, 리프트 스탠드(32)를 작동하여 왕복운동 로드(321)를 신장시키고, 가요성 스톱퍼(322)를 가요성 정전 척(12)의 바닥면에 대해서 작업 공간부(10)에서 상방으로 더 밀고, 가요성 정전 척(12)의 일부가 시트 부재(22)의 대응 부분과 박막 필름(4)의 일측면에 대해서 상방으로 돌출되게 하고, 그런 다음, 리프트 스탠드(32)를 제어하여 머신 베이스(31) 상에서 수평방향으로 다른 측면을 향하여 움직이게 하고, 리프트 스탠드(32)의 가요성 스톱퍼(322)가 가요성 정전 척(12)의 바닥면을 따라서 움직이게 하고, 따라서, 박막 필름(4)은 가요성 정전 척(12)에 의해서 시트 부재(22)의 표면에 부착된다.

리프트 스탠드(32)의 가요성 스톱퍼(322)가 가요성 정전 척(12)의 텐션 조정 구역(12b)에 대해서 상승하는 과정 동안, 폴리이미드 필름(121, 122)의 거칠기와 가요성, 폴리이미드 필름(121, 122) 상에서 통공(120)의 사이즈 설계와 배열 밀도의 변경(만약 통공(120)의 수가 적으면, 대응 조정 폴리이미드 필름의 텐션은 더 작게 감소하게 되고; 반대로 통공(120)의 수가 증가하면, 대응 조정 폴리이미드 필름의 텐션은 더 감소하게 된다) 및 박막 필름(4)과 시트 부재(22) 사이의 본딩 갭은 텐션을 조정하고 가요성 정전 척(12)으로부터 응력을 분산하도록 사용되어, 따라서, 가요성 정전 척(12)의 라미네이팅 작동 동안 경험한 변형과 인장응력을 크게 감소시키게 된다. 가요성 스톱퍼(322)의 왕복운동 스러스트 하에서, 크랙이나 손상이 발생되기 힘들고, 전체 내구 수명을 효과적으로 연장시킬 수 있다.

더욱이, 쿠퍼 서킷층(124)은 가요성 정전 척(12)의 중앙 영역에서 정전 흡착 구역(12a) 내부에 위치하고, 전기가 유도될 때 정전기를 발생할 수 있다. 그러므로, 라미네이팅 작업을 수행할 때, 위치한 박막 필름(4)의 사이즈에 따라서 정전 흡착 구역(12a)의 접착 범위를 변경하는 것이 필요하지 않고, 어떤 구조의 사이즈를 변경하는 것이 필요하지 않다. 따라서, 본 발명은 매우 경제적이며 제조시 작업 비용을 감소시킬 수 있고, 일반적인 작동 환경에서 라미네이팅 작동을 수행하게 한다.

본 고안은 진공 머신의 하부 진공 챔버와 상부 진공 챔버에 적용된다면, 하부 진공 챔버와 상부 진공 챔버는 진공을 발생하도록 가요성 정전 척(12)의 통공(120)을 통하여 서로 연결될 수 있어서, 진공 환경하에서 라미네이팅 작업을 수행하게 한다. 가요성 정전 척(12)의 라미네이팅 작업시, 텐션 조정 구역(12b)은 텐션을 조정하도록 사용될 수 있어서 응력을 분산시키고, 크랙이나 손상을 방지하고, 전체 내구 수명을 연장시킬 수 있다. 그러므로, 본 고안은 탁월한 실용성을 가진다.

도 7 및 도 8을 참조하면, 본 고안의 제2 실시예 및 제3 실시예에 따른 정전 척 시스템용 척 베이스가 각각 도시된다. 도 7에 도시한 제2 실시예에서, 가요성 정전 척(12)의 2개의 측면이 중공형 시트(11)의 상부면에 고정되고, 그러나 이 배열은 고정적인 것이 아니다. 텐션 조정 구역(12b)은 정전 흡착 구역(12a)의 일측면에 위치하고, 가요성 스톱퍼(322)는 상승하기 시작한다(측면도에서 좌측 위치처럼). 도 8에 도시한 제3 실시예에서, 텐션 조정 구역(12b)은 정전 흡착 구역(12a)의 반대 측면에 위치한다(측면도에서 우측 위치처럼). 더욱이, 텐션 조정 구역(12b)은 하나 이상의 통공(120)이 제공된다. 통공(120)은 원형 구멍, 긴 구멍(타원형 구멍, 직사각형 구멍 등) 또는 다른 형상일 수 있다. 통공(120) 세팅의 수와 분산도(일렬, 다수 열, 병렬 및 이들의 조합, 밀도 변경 등), 박막 필름(4)과 시트 부재(22) 사이의 본딩 갭과 박막 필름(4)의 사이즈에 따른 통공(120) 사이즈 설계는 변경할 수 있다. 이러한 방식으로, 가요성 정전 척(12)의 텐션과 응력 분산 효과가 조정되고, 크랙이나 손상 발생이 용이하지 않고, 전체 내구 수명이 좋아진다. 본 고안의 설명과 도면을 이용하여 이루어진 단순한 변형과 동일성 구조 변경은 본 고안의 실용신안등록 청구의 범위에 포함된다.

본 고안의 특별한 실시예가 설명을 위하여 상세히 설명되었지만, 여러 가지 변형과 개량은 본 고안의 정신과 범위를 벗어남이 없이 이루어질 수 있다. 따라서, 본 고안은 실용신안등록 청구의 범위를 제외하고, 한정되는 것이 아니다.

1 : 척 베이스 2 : 상부 흡입 플랫폼 3 : 가동 머신
4 : 박막 필름 10 : 작업 공간부 11 : 중공형 시트
12 : 가요성 정전 척 12a : 정전 흡착 구역 12b : 텐션 조정 구역
21 : 평평 흡착면 22 : 시트 부재 31 : 머신 베이스
32 : 리프트 스탠드 120 : 통공 121, 122 : 폴리이미드 필름
123, 125 : 본딩 접착층 124 : 쿠퍼 서킷층
321 : 왕복운동 로드 322 : 가요성 스톱퍼

Claims

정전기력으로 박막 필름을 체결하도록 표면상에 위치한 정전 흡착 구역, 상기 정전 흡착 구역 둘레에 위치한 텐션 조정 구역, 상기 텐션 조정 구역상에 위치한 하나 이상의 통공 및 바닥면에 한정된 작업 공간부로 이루어진 가요성 정전 척으로 이루어진 척 베이스와,
상기 가요성 정전 척을 향하여 마주보도록 바닥면에 위치하고 상기 박막 필름의 라미네이팅을 위하여 시트 부재를 체결하도록 진공 흡입력을 발생시키는 평평 흡착면으로 구성되며, 상기 척 베이스 상부에 위치한 상부 흡입 플랫폼; 및
상기 박막 필름이 상기 시트 부재에 부착되도록 상기 상부 흡입 플랫폼의 상기 평평 흡착면에 대해서 상기 가요성 정전 척에 상방 압력을 가하도록 이동가능한 가요성 스톱퍼로 구성되며, 상기 가요성 정전 척의 상기 작업 공간부 하부에 위치한 가동 머신으로 구성되며,
상기 가요성 스톱퍼는 상기 상부 흡입 플랫폼의 상기 평평 흡착면에 대해서 상기 가요성 정전 척에 상방 압력을 가하도록 이동될 때, 상기 텐션 조정 구역 상에 하나 이상의 통공은 상기 가요성 정전 척의 텐션을 조정하도록 사용되는 것을 특징으로 하는 정전 척 시스템.
제1항에 있어서,
상기 척 베이스는 상기 가요성 정전 척을 지지하기 위한 중공형 시트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정전 척 시스템.
제1항에 있어서,
상기 가요성 정전 척은 전기가 유도되었을 때 물체를 크램핑하도록 전자기 척킹력을 발생하는 플라스틱 박막 필름 포장 쿠퍼 포일 서킷이며, 상기 가요성 정전 척은 대향하는 상부 및 바닥면에 각각 위치한 2개의 폴리이미드 필름, 2개의 폴리이미드 필름 사이에 배열된 2개의 본딩 접착층, 및 상기 2개의 본딩 접착층 사이에 끼워진 쿠퍼 서킷층으로 구성되는 것을 특징으로 하는 정전 척 시스템.
제3항에 있어서,
상기 정전 흡착 구역은 상기 쿠퍼 서킷층의 중앙 영역에 대응하는 가요성 정전 척의 상부면의 중앙 영역에 위치하고, 하나 이상의 통공은 상기 쿠퍼 서킷층 상부에 텐션 조정 구역 상에 위치하는 것을 특징으로 하는 정전 척 시스템.
제1항에 있어서,
상기 텐션 조정 구역은 상기 정전 흡착 구역이 일측에 위치하고, 상기 가요성 스톱퍼는 상부 흡입 플랫폼의 평평 흡착면에 대해서 상기 가요성 정전 척에 상방 압력을 가하도록 시작하고, 하나 이상의 통공은 상기 정전 흡착 구역에 대해서 일측에서 텐션 조정 구역 상에 위치하는 것을 특징으로 하는 정전 척 시스템.
제1항에 있어서,
상기 텐션 조정 구역은 상기 정전 흡착 구역의 양 대향면에 위치하고, 하나 이상의 통공은 텐션 조정 구역 상에 위치하는 것을 특징으로 하는 정전 척 시스템.
제1항에 있어서,
상기 텐션 조정 구역은 상기 정전 흡착 구역 둘레의 4면에 위치하고, 하나 이상의 통공은 텐션 조정 구역 상에 위치하는 것을 특징으로 하는 정전 척 시스템.
제1항에 있어서,
상기 통공은 원형, 타원형 또는 사각형 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 정전 척 시스템.
제1항에 있어서,
상기 시트 부재는 유리 기판, LCD 패널, 터치 패널, 가요성 디스플레이 또는 유기 발광장치 패널 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 정전 척 시스템.
제1항에 있어서,
상기 가동 머신은 머신 베이스 및 상기 머신 베이스에 대해서 수평으로 이동가능하고 지지되는 리프트 스탠드로 구성되며, 상기 리프트 스탠드는 상하로 이동하고 상부면에서 상기 가요성 스톱퍼를 유지하는 왕복운동 로드로 구성되며, 상기 가요성 스톱퍼는 가요성 플라스틱, 러버 또는 실리콘 러버 중 어느 하나로 이루어진 부드러운 바디 또는 휠 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 정전 척 시스템.