KR20210000638U - 일체형 압력 센서 - Google Patents

일체형 압력 센서 Download PDF

Info

Publication number
KR20210000638U
KR20210000638U KR2020190003726U KR20190003726U KR20210000638U KR 20210000638 U KR20210000638 U KR 20210000638U KR 2020190003726 U KR2020190003726 U KR 2020190003726U KR 20190003726 U KR20190003726 U KR 20190003726U KR 20210000638 U KR20210000638 U KR 20210000638U
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
pressure sensor
sensor body
joint member
bracket
integrally
Prior art date
Application number
KR2020190003726U
Other languages
English (en)
Other versions
KR200493388Y1 (ko
Inventor
박정면
Original Assignee
주식회사 휴인텍
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 휴인텍 filed Critical 주식회사 휴인텍
Priority to KR2020190003726U priority Critical patent/KR200493388Y1/ko
Publication of KR20210000638U publication Critical patent/KR20210000638U/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR200493388Y1 publication Critical patent/KR200493388Y1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/14—Housings
    • G01L19/142—Multiple part housings
    • G01L19/143—Two part housings
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/0061—Electrical connection means
    • G01L19/0084—Electrical connection means to the outside of the housing
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L7/00—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements
    • H01L21/205—

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

본 고안의 실시 예에 따른 일체형 압력 센서는, 피측정 장치로 공급 또는 상기 피측정 장치로부터 배출되는 기체의 압력을 측정하는 압력센서 몸체부; 및 상기 압력센서 몸체부와 연결되는 피팅부를 포함하고, 상기 피팅부는, 제1 조인트 부재; 및 상기 압력센서 몸체부와 연결되는 제2 조인트 부재를 포함하며, 상기 제2 조인트 부재는, 상기 압력센서 몸체부와 일체로 형성되는 것을 특징으로 한다.

Description

일체형 압력 센서{Integral Pressure Sensor}
본 고안은 일체형 압력 센서에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 및 디스플레이용 생산 장비에 적용되는 일체형 압력 센서에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 제조 공정은 증착 공정, 사진 공정, 식각 공정 및 이온주입 공정 등의 일련의 단위 공정으로 이루어진다.
반도체 장치를 제조함에 있어 복잡한 회로의 형성을 위해서는 증착 공정이 필수적이라할 수 있으며, 보통 화학기상증착(CVD; Chemical Vapor Deposition)이 널리 사용되고 있으며, 이는 반응에 의하여 생성되는 피착물질이 웨이퍼 또는 웨이퍼 상에 형성된 박막 상에 적층되거나 패터닝됨으로 피착물의 형성 시 불순물의 개입이 허용되지 않는 매우 중요한 공정이다. 이러한 화학 기상 증착은 적층될 물질 원자들을 포함하는 화학물질과 기타 반응가스들을 소스로 사용하고, 에너지원에 따라 가열이나 플라즈마 또는 자외선을 투입하여 적층될 물질 원자들을 포함하는 화학물질과 반응가스 간의 반응을 유도하고, 적층될 물질원자들이 웨이퍼 상에 증착되어 적층되도록 하는 것을 주요 내용으로 한다.
현재 박막도포에 사용되는 화학기상증착 장치는 정상적인 반응에 필요한 진공을 얻기 위하여 진공 펌프를 사용하고 있으며, 증착 공정에서 요구되는 챔버 내의 기압을 균일하고 정밀하게 유지시켜야만 한다.
도 1은 일반적인 화학기상증착장치의 구성을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 1에 도시한 바와 같이, 화학기상증착장치는 증착 공정의 진행시 필요한 반응 가스를 공급하는 가스 공급부(1)와, 반응 가스를 이용하여 실제 웨이퍼 상에 증착 공정이 이루어지는 챔버(2)와, 웨이퍼의 증착 공정 조건을 만들기 위해 챔버(2) 내부의 압력을 진공으로 만들고, 증착 공정 시 챔버(2) 내부의 압력을 일정하게 유지하도록 펌핑하는 배기부(3)로 구성된다.
여기서, 가스 공급부(1)는 웨이퍼 상에 증착되는 물질을 함유하는 반응가스와 불활성 기체를 챔버(2) 내부로 일정한 유량으로 공급한다. 이때, 반응가스를 사용하여 웨이퍼 표면에 실리콘 질화막을 형성시킨다. 또한, 챔버(2)는 반응가스를 일정한 온도 및 압력에서 웨이퍼 상에 균일한 실리콘 질화막을 형성할 수 있도록 증착 공정 조건에 맞는 분위기를 제공한다. 따라서, 화학기상증착장치는 챔버(2) 내부에서 일정한 온도 및 압력의 증착 조건으로 웨이퍼 상에 박막을 형성할 수 있다.
이때, 배기부(3)는 챔버(2) 내부의 압력을 균일하게 유지하기 위해 다음과 같이 구성되어 있다. 챔버(2)를 저압으로 균일하게 유지하기 위한 자동압력조절밸브(도시하지 않음)와, 챔버(2) 내부의 반응 가스 및 잔류 가스를 펌핑하는 진공펌프(31)와, 진공펌프(31)에 의해 배기되는 반응 가스 및 잔류 가스를 흡수하여 세정 후 가연 배기하는 스크러버(scrubber, 32)와, 상기 진공 펌프(31)으로부터 배기되는 가스들을 스크러버(32)로 공급하는 진공관(부호 도시하지 않음)을 포함하여 이루어진다.
여기서, 스크러버(32)는 관과 연결 시 압력 센서(33)가 형성되는데, 도 2를 참고해보면 이러한 압력 센서(33)는 압력센서 몸체부(331), 피팅부(332) 및 브라켓부(333)을 통해서 스크러버(32) 등의 장비에 진공관 등과 연결될 수 있다.
이때 압력 센서(33)는 압력센서 몸체부(331)와 피팅부(332)를 별도로 생산하여야 했고, 또한 스크러버(32)에 압력센서 몸체부(33)를 고정시키는 브라켓부(333)의 경우에도 별도로 생산하여야 하므로, 작업 공수가 증대되고, 생산 원가가 증대되는 등의 문제가 존재하였다.
게다가 가스류를 취급하는 장비에서 피팅부(332)와 압력센서 몸체부(33)가 서로 개별적으로 생산되어 조립되다보니, 누수의 문제가 지속적으로 발생되어 안전상의 문제도 발생되고 있다.
따라서, 최근에는 이러한 문제점을 해결하기 위해 수많은 연구 및 개발이 진행되고 있는 실정이다.
본 고안은 상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결하고자 창출된 것으로서, 본 고안의 목적은 각종 장비에 체결하기 위한 각종 피팅부 및 브라켓부와 압력 센서를 일체형으로 형성하여 누수를 차단하고 작업 공수 절감 및 생산 원가 절감할 수 있는 일체형 압력 센서를 제공하기 위한 것이다.
본 고안의 실시 예에 따른 일체형 압력 센서는, 피측정 장치로 공급 또는 상기 피측정 장치로부터 배출되는 기체의 압력을 측정하는 압력센서 몸체부; 및 상기 압력센서 몸체부와 연결되는 피팅부를 포함하고, 상기 피팅부는, 제1 조인트 부재; 및 상기 압력센서 몸체부와 연결되는 제2 조인트 부재를 포함하며, 상기 제2 조인트 부재는, 상기 압력센서 몸체부와 일체로 형성되는 것을 특징으로 한다.
구체적으로, 상기 제2 조인트 부재는, 상기 압력센서 몸체부의 상면에서 돌출되도록 일체로 형성될 수 있다.
구체적으로, 상기 제1 조인트 부재는, 중공을 가지는 내부홀에 암나사가 형성되며, 상기 제2 조인트 부재는, 측면에 수나사가 상기 암나사에 대응되도록 형성되어, 상기 암나사와 나사운동을 통해서 상기 제1 조인트 부재의 상기 내부홀에 삽입될 수 있다.
구체적으로, 상기 압력센서 몸체부를 수용하는 수용홀; 및 상기 피측정 장치에 연결되는 브라켓 몸체를 포함하는 브라켓부를 더 포함하고, 상기 브라켓부는, 상기 수용홀과 상기 압력센서 몸체부가 일체로 형성될 수 있다.
구체적으로, 상기 브라켓부는, 상기 수용홀이 복수 개 형성되며, 복수 개의 상기 수용홀 중 일부에만 상기 압력센서 몸체부가 일체로 형성될 수 있다.
구체적으로, 상기 피측정 장치는, 화학기상증착장치에 사용되는 스크러버일 수 있다.
본 고안의 실시 예에 따른 일체형 압력 센서는, 피팅부 및 브라켓부와 압력센서 몸체부가 일체형으로 형성됨에 따라 생산 공정에 대한 작업 공수를 줄일 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 고안의 실시 예에 따른 일체형 압력 센서는, 피팅부가 압력센서 몸체부와 일체형으로 형성됨에 따라 피팅부가 압력센서 몸체부와 연결되는 부분에서 발생될 수 있는 누수 현상을 완전히 차단하는 효과가 있다.
또한, 본 고안의 실시 예에 따른 일체형 압력 센서는, 피팅부 및 브라켓부가 압력센서 몸체부와 일체형으로 형성됨에 따라 각 구성을 별도 구매할 필요가 없어 생산 원가가 절감되는 효과가 있다.
도 1은 종래의 압력 센서가 적용된 시스템의 개념도이다.
도 2는 종래의 압력 센서에 대한 분리도이다.
도 3은 본 고안의 실시 예에 따른 일체형 압력 센서에 대한 분리도이다.
도 4는 본 고안의 실시 예에 따른 일체형 압력 센서에 대한 후방도이다.
본 고안의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관되는 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예로부터 더욱 명백해질 것이다. 본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. 또한, 본 고안을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다.
이하 상세한 설명은 하기 도시되는 도면과 함께 상세히 설명하도록 한다.
도 3은 본 고안의 일체형 압력 센서에 대한 분리도이며, 도 4는 본 고안의 일체형 압력 센서에 대한 후방도이다.
도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 본 고안의 실시 예에 따른 일체형 압력 센서(40)는, 피팅부(41), 압력센서 몸체부(42) 및 브라켓부(43)를 포함한다.
피팅부(41)는, 압력 센서 몸체부(42)와 피측정 장치를 연결시킨다. 여기서 피측정 장치는 반도체 공정의 화학기상증착장치에 사용되는 스크러버(scrubber) 또는 칠러(chiller) 일 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 또한, 본 고안에서는 피팅부(41)가 아닌 압력센서 몸체부(42)가 피측정 장치와 직접 연결될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위해서 피팅부(41)가 피측정 장치와 연결되는 실시 예로 가정하고 설명하도록 한다.
구체적으로 피팅부(41)는 피측정 장치와 연결되는 제1 조인트 부재(411) 및 압력센서 몸체부와 연결되는 제2 조인트 부재(412)를 포함한다. 여기서 제2 조인트 부재(412)는 압력센서 몸체부(42)와 일체로 형성된다.
이를 통해서 본 고안의 실시 예에 따른 일체형 압력 센서(40)는, 피팅부(41)가 압력센서 몸체부(42)와 실질적으로 일체형으로 형성될 수 있게되고 그럼에 따라 피팅부(41)가 압력센서 몸체부(42)와 연결되는 부분에서 발생될 수 있는 누수 현상을 완전히 차단하는 효과가 있다.
특히, 제1 조인트 부재(411)는, 측면(4111), 상면(4112), 하면(4113) 및 내부홀(4114)로 형성될 수 있다.
측면(4111)은, 제1 조인트 부재(411)가 너트(nut)의 형태를 띌 수 있도록 각형의 외형을 가지며, 이러한 각형의 외형을 통해서 제1 조인트 부재(411)가 제2 조인트 부재(412)에 회전운동이 될 수 있도록 한다.
상면(4112)은, 피측정 장치와 연결될 수 있으며, 원형의 형상을 가질 수 있다.
하면(4113)은, 역시 원형의 형상을 가질 수 있으며, 제1 조인트 부재(411)가 제2 조인트 부재(412)에 삽입되어 마지막까지 삽입되는 경우, 후술할 압력센서 몸체부(42)의 상측 부재(421)의 상면(4211)에 맞닿을 수 있다.
내부홀(4114)은 중공을 가지며, 암나사(4114a)가 형성될 수 있다. 여기서 암나사(4114a)는 후술할 제2 조인트 부재(412)의 수나사(4121a)와 나사운동을 수행할 수 있다.
내부홀(4114)은, 중공이 폭과 길이는 제2 조인트 부재(412)에 삽입될 수 있는 대응되는 크기로 형성될 수 있다.
특히, 제2 조인트 부재(412)는, 압력센서 몸체부(42)의 상면, 상세하게는 압력센서 몸체부(42)의 상측 부재(421)의 상면(4211)에서 돌출되도록 일체로 형성될 수 있다. 여기서 제2 조인트 부재(412)는 압력센서 몸체부(42)의 상측 부재(421)의 상면(4211)과 연통가능하도록 일체형으로 형성된다.
이러한 제2 조인트 부재(412)는, 측면(4121), 상면(4122), 내부홀(4123)로 형성될 수 있다.
측면(4121)은, 외면에 수나사(4121a)가 형성되며, 제1 조인트 부재(411)의 암나사(4114a)에 대응되도록 형성될 수 있으며, 암나사(4114a)와의 나사 운동을 통해서 제2 조인트 부재(412)가 제1 조인트 부재(411)의 내부홀(4114)에 삽입되도록 할 수 있다.
측면(4121)은, 길이 방향으로 상측보다 중앙측에 수나가(4121a)가 반경 방향으로 더 크게 형성될 수 있다.
상면(4122)은, 원형의 형태를 가지며, 제1 조인트 부재(411)의 내부홀(4114)로 삽입될 수 있다. 상면(4122)은 제1 조인트 부재(411)의 내부홀(4114)로 삽입되어 제1 조인트 부재(411)의 상측까지 삽입될 수 있다.
내부홀(4123)은, 피측정 장치로 공급 또는 피측정 장치로부터 배출되는 기체가 유동하는 중공을 가질 수 있다.
압력센서 몸체부(42)는, 피측정 장치로 공급 또는 피측정 장치로부터 배출되는 기체의 압력을 측정한다.
압력센서 몸체부(42)는 상측 부재(421)와 하측 부재(422)를 포함할 수 있다.
상측 부재(421)는, 압력센서 몸체부(42)의 상측에 너트의 형상을 가지도록 형성되며, 제2 조인트 부재(412)와 일체형으로 형성될 수 있다.
상측 부재(421)는, 상면(4211), 측면(4212) 및 하면(4213)을 포함할 수 있다.
상면(4211)은, 제2 조인트 부재(412)와 일체형으로 형성되되 연통되도록 형성되며, 제2 조인트 부재(412)의 하면이 연결되도록 형성될 수 있고, 일례로 원판의 형상을 가질 수 있다.
측면(4212)은, 상측 부재(421)가 너트(nut)의 형태를 띌 수 있도록 각형의 외형을 가지며, 이러한 각형의 외형을 통해서 일체형 압력센서(40)가 피측정 장치와 회전운동을 통해 연결될 수 있도록 한다.
하면(4213)은, 상측 부재(421)의 하측에 원판의 형태로 형성될 수 있으며, 하측 부재(422)와 연통가능하도록 형성되되 일체형으로 형성될 수 있다.
하측 부재(422)는, 압력센서 몸체부(42)의 하측에 원통의 형상을 가지도록 형성되며, 상측 부재(421)와 일체형으로 형성되고, 상측 부재(421)의 단면보다 작은 단면을 가지도록 형성될 수 있다. 여기서 하측 부재(422)는 유동하는 기체의 압력을 측정하는 장치와 연결되거나 삽입될 수 있다.
하측 부재(422)는, 상면(4221), 측면(4222) 및 하면(4223)을 포함할 수 있다.
상면(4221)은, 상측 부재(421)와 일체형으로 형성되되 연통되도록 형성되며, 상측 부재(421)의 하면(4213)이 연결되도록 형성될 수 있다. 이때, 상면(4221)은, 단면이 상측 부재(421)의 하면(4213)의 단면보다 작게 형성될 수 있다.
측면(4222)은, 길이 방향으로 긴 원통의 측면과 동일한 형상을 가지도록 형성되며, 매끄러운 형태를 가질 수 있다. 측면(4222)은, 길이 방향으로 길게 형성되며, 피측정 장치가 요구하는 사양에 맞게 길이가 변화할 수 있다.
하면(4223)은, 하측 부재(422)의 하측에 원판의 형태로 형성될 수 있다. 또한 하면(4223)은, 타 장치 또는 진공관 등의 장비와 연결될 수 있도록 수나사 형태의 긴 원통을 말미에 추가로 형성할 수 있다.
브라켓부(43)는, 피측정 장치에 연결되는 브라켓 몸체(431), 압력센서 몸체부(42)를 수용하는 수용홀(432) 및 피측정 장치에 브라켓 몸체(431)를 고정시키는 고정 부재(433)를 포함할 수 있다. 여기서 브라켓부(43)는 수용홀(432)과 압력센서 몸체부(42)와 일체로 형성될 수 있다.
브라켓 몸체(431)는, 직사각형태의 프레임을 가질 수 있으며, 후술할 수용홀(432)을 복수 개 가질 수 있다. 브라켓 몸체(431)는, 후면이 피측정 장치에 부착될 수 있도록 고정 부재(433)가 형성될 수 있다.
수용홀(432)은, 복수 개 형성되어 복수 개의 수용홀(432) 중 일부에만 압력센서 몸체부(42)가 일체로 형성되도록 할 수 있다. 즉, 복수 개의 수용홀(432) 중 일부는 압력센서 몸체부(42)와 일체로 형성되며, 나머지의 수용홀들은 압력센서 몸체부(42)가 착탈되도록 형성될 수 있다.
고정 부재(433)는, 브라켓 몸체(431)의 후면에 형성되며, 일례로 나사 또는 볼트의 결합 기구일 수 있다.
고정 부재(433)는 브라켓 몸체(431)와 피측정 장치를 서로 고정시켜줄 수 있다.
이와 같이, 본 고안의 실시 예에 따른 일체형 압력 센서(40)는, 피팅부(41) 및 브라켓부(43)가 압력센서 몸체부(42)와 일체형으로 형성됨에 따라 생산 공정에 대한 작업 공수를 줄일 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 고안의 실시 예에 따른 일체형 압력 센서(40)는, 피팅부(41)가 압력센서 몸체부(42)와 일체형으로 형성됨에 따라 피팅부(41)가 압력센서 몸체부(42)와 연결되는 부분에서 발생될 수 있는 누수 현상을 완전히 차단하는 효과가 있다.
또한, 본 고안의 실시 예에 따른 일체형 압력 센서(40)는, 피팅부(41) 및 브라켓부(43)가 압력센서 몸체부(42)와 일체형으로 형성됨에 따라 각 구성을 별도 구매할 필요가 없어 생산 원가가 절감되는 효과가 있다.
이상 본 고안을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 고안을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 고안은 이에 한정되지 않으며, 본 고안의 기술적 사상 내에서 당해 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함은 명백하다고 할 것이다.
본 고안의 단순한 변형 내지 변경은 모두 본 고안의 영역에 속하는 것으로 본 고안의 구체적인 보호 범위는 첨부된 실용신안등록청구범위에 의하여 명확해질 것이다.
1: 가스 공급부 2: 챔버
3: 배기부 31: 진공펌프
32: 스크러버 33: 압력센서
331: 압력센서 몸체부 332: 피팅부
333: 브라켓부 40: 일체형 압력센서
41: 피팅부 411: 제1 조인트 부재
4111: 측면 4112: 상면
4113: 하면 4114: 내부홀
4114a: 암나사 412: 제2 조인트 부재
4121: 측면 4121a: 수나사
4122: 상면 4123: 내부홀
42: 압력센서 몸체부 421: 상측 부재
4211: 상면 4212: 측면
4213: 하면 422: 하측 부재
4221: 상면 4222: 측면
4223: 하면 43: 브라켓부
431: 브라켓 몸체 432: 수용홀
433: 고정 부재

Claims (6)

  1. 피측정 장치로 공급 또는 상기 피측정 장치로부터 배출되는 기체의 압력을 측정하는 압력센서 몸체부; 및
    상기 압력센서 몸체부와 연결되는 피팅부를 포함하고,
    상기 피팅부는,
    제1 조인트 부재; 및
    상기 압력센서 몸체부와 연결되는 제2 조인트 부재를 포함하며,
    상기 제2 조인트 부재는,
    상기 압력센서 몸체부와 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 일체형 압력 센서.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 제2 조인트 부재는,
    상기 압력센서 몸체부의 상면에서 돌출되도록 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 일체형 압력 센서.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제1 조인트 부재는, 중공을 가지는 내부홀에 암나사가 형성되며,
    상기 제2 조인트 부재는, 측면에 수나사가 상기 암나사에 대응되도록 형성되어, 상기 암나사와 나사운동을 통해서 상기 제1 조인트 부재의 상기 내부홀에 삽입되는 것을 특징으로 하는 일체형 압력 센서.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 압력센서 몸체부를 수용하는 수용홀; 및 상기 피측정 장치에 연결되는 브라켓 몸체를 포함하는 브라켓부를 더 포함하고,
    상기 브라켓부는,
    상기 수용홀과 상기 압력센서 몸체부가 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 일체형 압력 센서.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 브라켓부는,
    상기 수용홀이 복수 개 형성되며,
    복수 개의 상기 수용홀 중 일부에만 상기 압력센서 몸체부가 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 일체형 압력 센서.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 피측정 장치는,
    화학기상 증착장치에 사용되는 스크러버인 것을 특징으로 하는 일체형 압력 센서.
KR2020190003726U 2019-09-09 2019-09-09 일체형 압력 센서 KR200493388Y1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2020190003726U KR200493388Y1 (ko) 2019-09-09 2019-09-09 일체형 압력 센서

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2020190003726U KR200493388Y1 (ko) 2019-09-09 2019-09-09 일체형 압력 센서

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20210000638U true KR20210000638U (ko) 2021-03-17
KR200493388Y1 KR200493388Y1 (ko) 2021-03-22

Family

ID=75231983

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR2020190003726U KR200493388Y1 (ko) 2019-09-09 2019-09-09 일체형 압력 센서

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR200493388Y1 (ko)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4193434A (en) 1978-08-10 1980-03-18 Illinois Tool Works Inc. Preassembled fastener unit for clamping plastic workpieces
KR200147535Y1 (ko) 1995-12-20 1999-06-15 정몽규 차량 윈드실드 워셔 압력체크 장비연결용 어뎁터
KR100838817B1 (ko) 2007-06-22 2008-06-17 엠에이티 주식회사 폐가스 처리장치
JP4193434B2 (ja) * 2002-07-23 2008-12-10 日産自動車株式会社 パワーステアリング装置の油圧センサー取付構造

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4193434A (en) 1978-08-10 1980-03-18 Illinois Tool Works Inc. Preassembled fastener unit for clamping plastic workpieces
KR200147535Y1 (ko) 1995-12-20 1999-06-15 정몽규 차량 윈드실드 워셔 압력체크 장비연결용 어뎁터
JP4193434B2 (ja) * 2002-07-23 2008-12-10 日産自動車株式会社 パワーステアリング装置の油圧センサー取付構造
KR100838817B1 (ko) 2007-06-22 2008-06-17 엠에이티 주식회사 폐가스 처리장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR200493388Y1 (ko) 2021-03-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI240600B (en) Apparatus and method for use of optical system with a plasma processing system
KR100714985B1 (ko) 액체 유동 제어기와 정밀 분배 장치 및 시스템
US8697578B2 (en) Film formation apparatus and method for using same
US20110135552A1 (en) Methods and apparatus for treating exhaust gas in a processing system
CN105964192A (zh) 气相反应器和气相反应器系统
US9406524B2 (en) Substrate processing method and substrate processing apparatus
KR20070098122A (ko) 반도체 제조설비
US20080035169A1 (en) Cleaning means for large area pecvd devices using a remote plasma source
JP5391190B2 (ja) 処理チャンバの排気ガス流量の制御方法及び処理装置
KR20050039140A (ko) 바라트론 센서
US20200126758A1 (en) Flow through line charge volume
US20150000707A1 (en) Cleaning method and processing apparatus
US20040007186A1 (en) Heat-treating device
US20160107117A1 (en) Corrosion resistant abatement system
KR200493388Y1 (ko) 일체형 압력 센서
KR20070043455A (ko) 배관 연결용 클램프
WO2001020652A1 (fr) Procede et appareil de nettoyage d'un dispositif de depot de couche mince
US11282696B2 (en) Method and device for wet processing integrated circuit substrates using a mixture of chemical steam vapors and chemical gases
EP1357582A1 (en) Heat-treating device
KR20100079218A (ko) 반도체 제조설비의 가스공급라인 연결장치
KR20080086172A (ko) 반도체 제조설비의 밸브 리크 검출방법
KR20070120777A (ko) 유량 조절 유니온
JPH09243419A (ja) 液体試料の吸引装置
KR200182140Y1 (ko) 저압 화학증착 장치의 진공 시스템
KR0181902B1 (ko) 반도체 제조공정의 화학기상증착장치

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
REGI Registration of establishment