KR20210000223A - An integrated input device with one touch button that implements error handling function in semiconductor process equipment - Google Patents

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KR20210000223A KR1020190075270A KR20190075270A KR20210000223A KR 20210000223 A KR20210000223 A KR 20210000223A KR 1020190075270 A KR1020190075270 A KR 1020190075270A KR 20190075270 A KR20190075270 A KR 20190075270A KR 20210000223 A KR20210000223 A KR 20210000223A
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Abstract

The present invention relates to an integrated input device implementing a response function with a one-touch button when an error occurs in semiconductor processing equipment which comprises an equipment connection interface, a keyboard command input unit, and an equipment switch command input unit. Therefore, easy computerized management of the semiconductor processing equipment is enabled.

Description

반도체 공정 장비에서의 오류 발생 시 대응기능을 원터치 버튼으로 구현한 일체형 입력장치{AN INTEGRATED INPUT DEVICE WITH ONE TOUCH BUTTON THAT IMPLEMENTS ERROR HANDLING FUNCTION IN SEMICONDUCTOR PROCESS EQUIPMENT}An integrated input device that implements a one-touch button to respond to errors in semiconductor process equipment {AN INTEGRATED INPUT DEVICE WITH ONE TOUCH BUTTON THAT IMPLEMENTS ERROR HANDLING FUNCTION IN SEMICONDUCTOR PROCESS EQUIPMENT}

본 발명은 일체형 입력장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 반도체 공정 장비에서의 오류 발생 시 대응기능을 원터치 버튼으로 구현한 일체형 입력장치에 관한 것이다.The present invention relates to an integrated input device, and more particularly, to an integrated input device that implements a response function when an error occurs in a semiconductor process equipment with a one-touch button.

일반적으로 반도체 공정 장비는 공정 단계별로 공정을 처리하는 다양한 공정 장비를 포함하고 있으며, 그 공정 단계별로 필요한 장비들이 단독 또는 조합으로 구성되어 있다.
In general, semiconductor processing equipment includes a variety of processing equipment that processes a process step by step, and the necessary equipment for each step is composed of a single or a combination.

이러한 반도체 공정 장비를 구성하는 관련된 장비의 일례로는, 다수개의 웨이퍼가 실장 되는 웨이퍼 운반 장치와, 다관절로 이루어진 로봇 팔이 장착되어 있어서 웨이퍼 운반 장치에 실장된 웨이퍼를 공급받아 웨이퍼 측정과 웨이퍼 클리닝 및 에칭 등의 반도체 작업공정을 수행하는 메인장비와, 웨이퍼 운반 장치가 정확한 위치에 안착될 수 있도록 다수개의 위치지정 블록이 형성된 판 형상의 베이스 부재를 구비한 보조 장비로 구성될 수 있다.
Examples of related equipment constituting such semiconductor processing equipment include a wafer transport device on which a number of wafers are mounted, and a robot arm made of multi-joints is mounted, so that wafers mounted on the wafer transport device are supplied to measure wafers and wafer cleaning. And main equipment for performing semiconductor work processes such as etching, and auxiliary equipment having a plate-shaped base member having a plurality of positioning blocks so that the wafer transporting device can be seated in an accurate position.

이때, 일반적인 반도체 공정 장비는 작업자 또는 자동설비에 의해 다수개의 웨이퍼가 실장된 웨이퍼 운반 장치가 이동되어 보조 장비에 안착되면, 도시치 않은 메인장비의 로봇 팔이 웨이퍼 운반 장치에 실장된 다수개의 웨이퍼를 순서대로 인출하여 웨이퍼 측정과 웨이퍼 클리닝 및 에칭 등의 반도체 작업공정을 수행하는 순서로 동작하였다.
At this time, in general semiconductor processing equipment, when a wafer transport device on which a plurality of wafers are mounted is moved by an operator or an automatic facility and is seated on the auxiliary equipment, a robot arm of the main equipment (not shown) can handle a plurality of wafers mounted on the wafer transport device. They were pulled out in order and operated in the order of performing semiconductor work processes such as wafer measurement, wafer cleaning and etching.

이러한 종래의 둘 이상의 단계별 공정 장비들이 조합 구성되는 반도체 공정 장비의 경우, 각각의 단계별 공정 장비의 제어 및 전산 관리를 적용하기 위해서는 PC의 마우스 및 키보드를 이용하여 해당 전산시스템에 접속하여 전산시스템을 PC 화면에서 찾아야 하고, 키보드와 마우스의 보관의 어려움이 있었으며, 특히, 반도체 공정 장비의 둘 이상의 단계별 공정 장비들 중 어느 하나에 장애로 인한 오류가 발생되는 경우, 작업자는 해당 PC의 마우스와 키보드를 이용하여 오류가 발생된 단계별 공정 장비의 화면을 캡처하고, 이어 그림판을 이용한 파일 형식 선택과 저장될 폴더를 찾아 저장해야 하는 번거로움과 불편함이 따르는 문제가 있었다. 대한민국 등록특허공보 제10-0780385호가 선행기술 문헌으로 개시되고 있다.In the case of conventional semiconductor process equipment in which two or more step-by-step process equipments are combined, in order to control and computerize each step-by-step process equipment, use a PC's mouse and keyboard to access the computer system and connect the computer system to a PC. It had to be found on the screen, and there was difficulty in storing the keyboard and mouse.In particular, when an error due to a failure occurs in any one of the two or more step-by-step process equipment of the semiconductor process equipment, the operator uses the mouse and keyboard of the PC. Accordingly, there was a problem with the hassle and inconvenience of capturing the screen of the step-by-step process equipment in which an error occurred, and then selecting a file format using a paint plate and finding and saving a folder to be saved. Korean Patent Publication No. 10-0780385 is disclosed as a prior art document.

본 발명은 기존에 제안된 방법들의 상기와 같은 문제점들을 해결하기 위해 제안된 것으로서, 공정 단계별 장비들의 조합으로 이루어진 반도체 공정 장비에 연결 접속되는 장비 연결 인터페이스와, 반도체 공정 장비의 조합으로 이루어진 공정 단계별 장비들의 조작 제어를 위한 키보드 명령 입력부와, 반도체 공정 장비의 조합으로 이루어진 공정 단계별 장비들 중 어느 하나에 오류 발생 시 화면 캡처 기능을 수행하고 미리 설정된 특정 폴더에 자동으로 저장되도록 처리하는 오류 처리 명령 입력부를 포함하여 구성함으로써, 반도체 공정 장비에 조합 구성되는 둘 이상의 공정 단계별 장비 중 하나에 장애로 인한 오류 발생 시에 화면 캡처와 미리 설정된 폴더로의 자동 저장이 가능하고, 그에 따른 사용의 편의성 및 효율성이 더욱 향상될 수 있도록 하는, 반도체 공정 장비에서의 오류 발생 시 대응기능을 원터치 버튼으로 구현한 일체형 입력장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
The present invention has been proposed to solve the above problems of the previously proposed methods, an equipment connection interface connected to a semiconductor process equipment consisting of a combination of equipment for each process step, and a process step equipment consisting of a combination of semiconductor process equipment A keyboard command input unit for controlling the operation of the devices and an error processing command input unit that performs a screen capture function when an error occurs in any one of the equipment at each stage of the process consisting of a combination of semiconductor processing equipment and processes it to be automatically saved in a preset specific folder. By including, it is possible to capture a screen and automatically save it to a preset folder when an error occurs due to a failure in one of two or more process stage equipment that is combined with the semiconductor process equipment, and the convenience and efficiency of use accordingly It is an object of the present invention to provide an integrated input device that implements a one-touch button to respond to errors in semiconductor processing equipment that can be improved.

또한, 본 발명은, 오류 처리 명령 입력부의 원터치 캡처 버튼의 구현으로 오류가 발생된 공정 단계별 장비의 화면 캡처 및 자동 저장이 가능하도록 함으로써, 공정 단계별 장비에서 발생되는 오류에 대한 신속한 대처 관리가 가능하도록 할 수 있고, 반도체 공정의 전산화 시 상위 호스트 정보 및 전산시스템에 바로 접속되어 작업시간을 단축할 수 있으며, 그에 따른 반도체 공정 장비의 용이한 전산화 관리가 가능하도록 하는, 반도체 공정 장비에서의 오류 발생 시 대응기능을 원터치 버튼으로 구현한 일체형 입력장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.In addition, the present invention enables a screen capture and automatic storage of equipment for each process step in which an error has occurred by implementing a one-touch capture button of the error processing command input unit, so that rapid response management for errors occurring in the equipment for each process step is possible. When the semiconductor process is computerized, it is directly connected to the upper host information and the computer system to shorten the working time, and accordingly, when an error occurs in the semiconductor process equipment, it enables easy computerized management of the semiconductor process equipment. Its purpose is to provide an integrated input device that implements a corresponding function with a one-touch button.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 따른 반도체 공정 장비에서의 오류 발생 시 대응기능을 원터치 버튼으로 구현한 일체형 입력장치는,In order to achieve the above object, an integrated input device that implements a response function when an error occurs in a semiconductor processing equipment according to a feature of the present invention with a one-touch button,

반도체 공정 장비에서의 오류 발생 시 대응기능을 원터치 버튼으로 구현한 일체형 입력장치로서,This is an integrated input device that implements a one-touch button to respond to errors in semiconductor process equipment.

공정 단계별 장비들의 조합으로 이루어진 반도체 공정 장비에 연결 접속되는 장비 연결 인터페이스;An equipment connection interface connected to and connected to semiconductor processing equipment made of a combination of equipment for each process step;

상기 장비 연결 인터페이스를 매개로 연결 접속되는 반도체 공정 장비의 조합으로 이루어진 공정 단계별 장비들의 조작 제어를 위한 키보드 명령 입력부; 및A keyboard command input unit for controlling operation of equipment for each process step comprising a combination of semiconductor processing equipment connected via the equipment connection interface; And

상기 키보드 명령 입력부와 별도로 구비되며, 상기 장비 연결 인터페이스를 매개로 연결 접속되는 반도체 공정 장비의 조합으로 이루어진 공정 단계별 장비들 중 어느 하나에 오류 발생 시 화면 캡처 기능을 수행하고 미리 설정된 특정 폴더에 자동으로 저장되도록 처리하는 오류 처리 명령 입력부를 포함하는 것을 그 구성상의 특징으로 한다.
It is provided separately from the keyboard command input unit and performs a screen capture function when an error occurs in any one of the equipment for each process step consisting of a combination of semiconductor processing equipment connected and connected via the equipment connection interface, and automatically enters a preset specific folder. It is characterized in that it comprises an error processing instruction input unit for processing to be stored.

바람직하게는, 상기 장비 연결 인터페이스는,Preferably, the equipment connection interface,

상기 반도체 공정 장비에 조합으로 이루어지는 공정 단계별 장비들과 각각 연결 접속되기 위한 복수의 연결 포트가 입력장치 본체의 일면에 형성될 수 있다.
A plurality of connection ports may be formed on one surface of the main body of the input device to be connected to each of the semiconductor processing equipment in combination with equipment for each process step.

더욱 바람직하게는, 상기 장비 연결 인터페이스는,More preferably, the equipment connection interface,

상기 반도체 공정 장비에 조합되는 공정 단계별 장비들과 상기 복수의 연결 포트를 매칭 하여 각각 연결 접속하기 위한 복수의 USB 연결 케이블 단자를 포함할 수 있다.
It may include a plurality of USB connection cable terminals for connecting and connecting each of the plurality of connection ports by matching equipment for each process step combined with the semiconductor processing equipment.

바람직하게는, 상기 오류 처리 명령 입력부는,Preferably, the error processing command input unit,

상기 장비 연결 인터페이스를 매개로 연결 접속되는 반도체 공정 장비의 조합으로 이루어진 공정 단계별 장비들의 오류 발생 시 화면 캡처와 자동 저장 처리를 위한 원터치 캡처 버튼으로 구성될 수 있다.
It may be configured as a one-touch capture button for screen capture and automatic storage processing when an error occurs in equipment at each stage of a process comprising a combination of semiconductor process equipment connected via the equipment connection interface.

더욱 바람직하게는, 상기 오류 처리 명령 입력부는,More preferably, the error processing command input unit,

반도체 공정 장비의 조합으로 이루어진 공정 단계별 장비들에 대한 오류 발생 시의 화면 캡처와 자동 저장을 처리하되, 미리 설정된 장비 담당자에게 오류 발생 메시지를 더 전송할 수 있도록 기능할 수 있다.
It handles screen capture and automatic storage when an error occurs for equipment at each stage of the process, which is a combination of semiconductor process equipment, but it can function to further transmit an error occurrence message to a preset equipment manager.

더욱 바람직하게는, 상기 일체형 입력장치는,More preferably, the integrated input device,

공정 단계별 장비들의 조합으로 이루어지는 반도체 공정 장비의 전산화 단말장치 전용으로 구현될 수 있다.
It can be implemented exclusively for a computerized terminal device of semiconductor processing equipment, which is a combination of equipment for each process step.

더욱 바람직하게는, 상기 일체형 입력장치는,More preferably, the integrated input device,

상기 장비 연결 인터페이스를 매개로 반도체 공정 장비의 공정 단계별 장비들과 연결 접속되고, 반도체 공정 장비에 연결되는 상위 호스트의 전산시스템에 즉시 액세스되어 연동할 수 있다.Through the equipment connection interface, the semiconductor process equipment can be connected to and connected to equipment for each process stage, and the computer system of an upper host connected to the semiconductor process equipment can be immediately accessed and linked.

본 발명에서 제안하고 있는 반도체 공정 장비에서의 오류 발생 시 대응기능을 원터치 버튼으로 구현한 일체형 입력장치에 따르면, 공정 단계별 장비들의 조합으로 이루어진 반도체 공정 장비에 연결 접속되는 장비 연결 인터페이스와, 반도체 공정 장비의 조합으로 이루어진 공정 단계별 장비들의 조작 제어를 위한 키보드 명령 입력부와, 반도체 공정 장비의 조합으로 이루어진 공정 단계별 장비들 중 어느 하나에 오류 발생 시 화면 캡처 기능을 수행하고 미리 설정된 특정 폴더에 자동으로 저장되도록 처리하는 오류 처리 명령 입력부를 포함하여 구성함으로써, 반도체 공정 장비에 조합 구성되는 둘 이상의 공정 단계별 장비 중 하나에 장애로 인한 오류 발생 시에 화면 캡처와 미리 설정된 폴더로의 자동 저장이 가능하고, 그에 따른 사용의 편의성 및 효율성이 더욱 향상될 수 있도록 할 수 있다.
According to an integrated input device that implements a one-touch button to respond to errors in semiconductor processing equipment proposed in the present invention, an equipment connection interface connected to semiconductor processing equipment consisting of a combination of equipment for each process step, and semiconductor processing equipment When an error occurs in one of the keyboard command input unit for operation and control of equipment for each process stage consisting of a combination of and semiconductor process equipment, a screen capture function is performed and automatically saved in a specific folder set in advance. By including an error processing command input unit to process, it is possible to capture a screen and automatically save it to a preset folder when an error occurs due to an error in one of two or more process step equipments combined with the semiconductor processing equipment. Ease of use and efficiency can be further improved.

또한, 본 발명의 반도체 공정 장비에서의 오류 발생 시 대응기능을 원터치 버튼으로 구현한 일체형 입력장치에 따르면, 오류 처리 명령 입력부의 원터치 캡처 버튼의 구현으로 오류가 발생된 공정 단계별 장비의 화면 캡처 및 자동 저장이 가능하도록 함으로써, 공정 단계별 장비에서 발생되는 오류에 대한 신속한 대처 관리가 가능하도록 할 수 있고, 반도체 공정의 전산화 시 상위 호스트 정보 및 전산시스템에 바로 접속되어 작업시간을 단축할 수 있으며, 그에 따른 반도체 공정 장비의 용이한 전산화 관리가 가능하도록 할 수 있다.In addition, according to the integrated input device that implements a one-touch button to respond to errors in the semiconductor processing equipment of the present invention, the screen capture and automatic screen capture of the equipment for each step of the process in which an error occurs due to the implementation of the one-touch capture button of the error processing command input unit By enabling storage, it is possible to quickly respond to and manage errors that occur in equipment at each stage of the process, and when computerizing a semiconductor process, it is possible to shorten work time by being directly connected to the upper host information and computer system. It can enable easy computerized management of semiconductor process equipment.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 공정 장비에서의 오류 발생 시 대응기능을 원터치 버튼으로 구현한 일체형 입력장치와 반도체 공정 장비 간의 전체적인 구성을 기능 블록으로 도시한 도면.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 공정 장비에서의 오류 발생 시 대응기능을 원터치 버튼으로 구현한 일체형 입력장치의 구성을 기능 블록으로 도시한 도면.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 공정 장비에서의 오류 발생 시 대응기능을 원터치 버튼으로 구현한 일체형 입력장치의 장비 연결 인터페이스의 구성을 기능 블록으로 도시한 도면.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 공정 장비에서의 오류 발생 시 대응기능을 원터치 버튼으로 구현한 일체형 입력장치의 일례의 시제품 구성을 도시한 도면.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 공정 장비에서의 오류 발생 시 대응기능을 원터치 버튼으로 구현한 일체형 입력장치가 반도체 공정 장비에 일체화로 적용 구성되는 일례의 구성을 도시한 도면.1 is a diagram showing the overall configuration of a semiconductor processing equipment and an integrated input device that implements a response function when an error occurs in a semiconductor processing equipment according to an embodiment of the present invention with a one-touch button as a functional block.
2 is a diagram showing the configuration of an integrated input device in which a one-touch button responds to an error in the semiconductor processing equipment according to an embodiment of the present invention as a function block.
3 is a diagram showing a configuration of an equipment connection interface of an integrated input device in which a response function in case of an error occurs in a semiconductor processing equipment according to an embodiment of the present invention is implemented with a one-touch button as a functional block.
4 is a diagram showing a prototype configuration of an example of an integrated input device in which a response function in case of an error in a semiconductor processing equipment according to an embodiment of the present invention is implemented with a one-touch button.
5 is a view showing an example configuration in which an integrated input device that implements a one-touch button to respond to an error in the semiconductor processing equipment according to an embodiment of the present invention is integrated and configured to be applied to the semiconductor processing equipment.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 다만, 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용한다.
Hereinafter, preferred embodiments will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those of ordinary skill in the art may easily implement the present invention. However, in describing a preferred embodiment of the present invention in detail, if it is determined that a detailed description of a related known function or configuration may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, the detailed description thereof will be omitted. In addition, the same reference numerals are used throughout the drawings for portions having similar functions and functions.

덧붙여, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 연결 되어 있다고 할 때, 이는 직접적으로 연결 되어 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 간접적으로 연결 되어 있는 경우도 포함한다. 또한, 어떤 구성요소를 포함 한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다.
In addition, throughout the specification, when a part is said to be connected to another part, this includes not only the case that it is directly connected, but also the case that it is indirectly connected with another element interposed therebetween. In addition, the inclusion of certain components means that other components may be further included rather than excluding other components unless specifically stated to the contrary.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 공정 장비에서의 오류 발생 시 대응기능을 원터치 버튼으로 구현한 일체형 입력장치와 반도체 공정 장비 간의 전체적인 구성을 기능 블록으로 도시한 도면이고, 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 공정 장비에서의 오류 발생 시 대응기능을 원터치 버튼으로 구현한 일체형 입력장치의 구성을 기능 블록으로 도시한 도면이며, 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 공정 장비에서의 오류 발생 시 대응기능을 원터치 버튼으로 구현한 일체형 입력장치의 장비 연결 인터페이스의 구성을 기능 블록으로 도시한 도면이고, 도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 공정 장비에서의 오류 발생 시 대응기능을 원터치 버튼으로 구현한 일체형 입력장치의 일례의 시제품 구성을 도시한 도면이며, 도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 공정 장비에서의 오류 발생 시 대응기능을 원터치 버튼으로 구현한 일체형 입력장치가 반도체 공정 장비에 일체화로 적용 구성되는 일례의 구성을 도시한 도면이다. 도 1 내지 도 5에 각각 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 공정 장비에서의 오류 발생 시 대응기능을 원터치 버튼으로 구현한 일체형 입력장치(100)는, 장비 연결 인터페이스(110), 키보드 명령 입력부(120), 및 오류 처리 명령 입력부(130)를 포함하여 구성될 수 있다.
1 is a diagram showing the overall configuration of a semiconductor processing equipment and an integrated input device that implements a one-touch button for a response function when an error occurs in a semiconductor processing equipment according to an embodiment of the present invention as a functional block, and FIG. A diagram showing the configuration of an integrated input device that implements a one-touch button for a response function when an error occurs in a semiconductor processing equipment according to an embodiment of the present invention as a function block, and FIG. 3 is a semiconductor process according to an embodiment of the present invention. A diagram showing the configuration of an equipment connection interface of an integrated input device that implements a response function in case of an error in equipment with a one-touch button as a function block, and FIG. 4 is a diagram showing an error in the semiconductor processing equipment according to an embodiment of the present invention. It is a diagram showing a prototype configuration of an example of an integrated input device that implements a time response function as a one-touch button, and FIG. 5 is a diagram illustrating a response function when an error occurs in the semiconductor processing equipment according to an embodiment of the present invention. It is a diagram showing an example configuration in which the integrated input device is integratedly applied to semiconductor processing equipment. As shown in FIGS. 1 to 5, respectively, the integrated input device 100 implementing a response function when an error occurs in the semiconductor processing equipment according to an embodiment of the present invention with a one-touch button includes an equipment connection interface 110 , A keyboard command input unit 120, and an error processing command input unit 130 may be included.

장비 연결 인터페이스(110)는, 공정 단계별 장비(11)들의 조합으로 이루어진 반도체 공정 장비(10)에 연결 접속하기 위한 인터페이스의 구성이다. 이러한 장비 연결 인터페이스(110)는 도 3 및 도 4에 각각 도시된 바와 같이, 반도체 공정 장비(10)에 조합으로 이루어지는 공정 단계별 장비(11)들과 각각 연결 접속되기 위한 복수의 연결 포트(111)가 입력장치 본체(101)의 일면에 형성될 수 있다.
The equipment connection interface 110 is a configuration of an interface for connecting and connecting to the semiconductor processing equipment 10 made of a combination of equipment 11 for each process step. The equipment connection interface 110 includes a plurality of connection ports 111 for connecting and connecting with the equipment 11 for each step of the process in combination with the semiconductor processing equipment 10, as shown in FIGS. 3 and 4, respectively. May be formed on one surface of the input device main body 101.

또한, 장비 연결 인터페이스(110)는 반도체 공정 장비(10)에 조합되는 공정 단계별 장비(11)들과 상기 복수의 연결 포트(111)를 매칭 하여 각각 연결 접속하기 위한 복수의 USB 연결 케이블 단자(112)를 포함하여 구성될 수 있다. 이러한 장비 연결 인터페이스(110)는 반도체 공정 장비(10)에 조합되는 둘 이상의 공정 단계별 장비(11)에 각각 유선으로 연결 접속될 수 있다. 여기서, 장비 연결 인터페이스(110)의 복수의 연결 포트(111)는 복수의 USB 연결 케이블 단자(112)를 통해 공정 단계별 장비(11)들과 매칭되어 연결 접속되는 것으로 이해될 수 있다.
In addition, the equipment connection interface 110 is a plurality of USB connection cable terminals 112 for connecting and connecting by matching the equipment 11 for each process step combined with the semiconductor processing equipment 10 and the plurality of connection ports 111 ) Can be included. The equipment connection interface 110 may be connected to each of the two or more process step equipment 11 combined with the semiconductor process equipment 10 via wires. Here, it may be understood that the plurality of connection ports 111 of the equipment connection interface 110 are matched to and connected to the equipment 11 for each process step through the plurality of USB connection cable terminals 112.

키보드 명령 입력부(120)는, 장비 연결 인터페이스(110)를 매개로 연결 접속되는 반도체 공정 장비(10)의 조합으로 이루어진 공정 단계별 장비(11)들의 조작 제어를 위한 입력의 구성이다. 이러한 키보드 명령 입력부(120)는 한글 또는 영문의 문자키, 기능키, 방향키, 선택키 등을 포함하는 통상의 키보드 자판과 동일 또는 유사한 형태 및 기능을 갖는 것으로 이해될 수 있다.
The keyboard command input unit 120 is a configuration of input for operation control of the equipment 11 for each process step, which is a combination of semiconductor processing equipment 10 connected via the equipment connection interface 110. The keyboard command input unit 120 may be understood to have the same or similar form and function as a conventional keyboard including Korean or English character keys, function keys, direction keys, and selection keys.

오류 처리 명령 입력부(130)는, 키보드 명령 입력부(120)와 별도로 구비되며, 장비 연결 인터페이스(110)를 매개로 연결 접속되는 반도체 공정 장비(10)의 조합으로 이루어진 공정 단계별 장비(11)들 중 어느 하나에 오류 발생 시 화면 캡처 기능을 수행하고 미리 설정된 특정 폴더에 자동으로 저장되도록 처리하는 입력부의 구성이다. 이러한 오류 처리 명령 입력부(130)는 도 4에 도시된 바와 같이, 장비 연결 인터페이스(110)를 매개로 연결 접속되는 반도체 공정 장비(10)의 조합으로 이루어진 공정 단계별 장비(11)들의 오류 발생 시 화면 캡처와 자동 저장 처리를 위한 원터치 캡처 버튼(131)으로 구성될 수 있다.
The error processing command input unit 130 is provided separately from the keyboard command input unit 120, and is one of the equipment for each step of the process consisting of a combination of the semiconductor processing equipment 10 connected through the equipment connection interface 110. This is the configuration of the input unit that performs a screen capture function when an error occurs in any one and processes it to be automatically saved in a preset specific folder. As shown in FIG. 4, the error processing command input unit 130 is a screen when an error occurs in the equipment 11 for each process step consisting of a combination of semiconductor processing equipment 10 connected via the equipment connection interface 110. It may be configured with a one-touch capture button 131 for capture and automatic saving processing.

또한, 오류 처리 명령 입력부(130)는 반도체 공정 장비(10)의 조합으로 이루어진 공정 단계별 장비(11)들에 대한 오류 발생 시의 화면 캡처와 자동 저장을 처리하되, 미리 설정된 장비 담당자에게 오류 발생 메시지를 더 전송할 수 있도록 기능할 수 있다. 이러한 오류 처리 명령 입력부(130)는 기존의 키보드 사에 구현되는 프린트 스크린 기능, 즉 화면 캡처와 그림판을 이용한 파일 형식 선택과, 폴더 지정 과정들의 불편함 없이, 공정 단계별 장비(11)들에 대해 폴더가 미리 설정되고, 오류 처리 명령 입력부(130)의 원터치 캡처 버튼(131)의 선택 시 장애가 발생한 공정 단계별 장비(11)의 해당 폴더에 캡처된 화면이 자동으로 저장될 수 있도록 할 수 있다.
In addition, the error processing command input unit 130 processes screen capture and automatic storage when an error occurs for the equipment 11 at each stage of the process, which is a combination of the semiconductor processing equipment 10, but sends an error message to the person in charge of the equipment set in advance. Can function to transmit more. This error processing command input unit 130 is a print screen function implemented in an existing keyboard, that is, a file format selection using a screen capture and a paint plate, and folder designation processes are not inconvenient. Is set in advance, and when the one-touch capture button 131 of the error processing command input unit 130 is selected, the screen captured in the corresponding folder of the equipment 11 for each step of the process in which the failure has occurred may be automatically saved.

또한, 일체형 입력장치(100)는 장비 연결 인터페이스(110)와 키보드 명령 입력부(120) 및 오류 처리 명령 입력부(130)를 포함하는 일체형으로, 공정 단계별 장비(11)들의 조합으로 이루어지는 반도체 공정 장비(10)의 전산화 단말장치 전용으로 구현될 수 있다.
In addition, the integrated input device 100 is an integrated type including an equipment connection interface 110, a keyboard command input unit 120, and an error processing command input unit 130, and is a semiconductor processing equipment ( It can be implemented exclusively for the computerized terminal device of 10).

또한, 일체형 입력장치(100)는 장비 연결 인터페이스(110)를 매개로 반도체 공정 장비(10)의 공정 단계별 장비(11)들과 연결 접속되고, 반도체 공정 장비(10)에 연결되는 상위 호스트의 전산시스템에 즉시 액세스되어 연동될 수 있다.
In addition, the integrated input device 100 is connected to the equipment 11 of the semiconductor processing equipment 10 by the process stage through the equipment connection interface 110, and the upper host connected to the semiconductor processing equipment 10 The system can be instantly accessed and linked.

또한, 일체형 입력장치(100)는 도 4에 도시된 바와 같이, 입력장치 본체(101)의 일 측으로 금속 트랙볼 마우스(140)를 일체형으로 더 포함하여 구성할 수 있으며, 12개의 FUNCTION키에 12개의 특정 프로그램을 설정하여 반도체 공정 장비(10)의 액세스 및 특정 기능의 제어가 가능하도록 구현될 수 있다.
In addition, the integrated input device 100 may further include a metal trackball mouse 140 integrally with one side of the input device main body 101 as shown in FIG. 4, and 12 FUNCTION keys A specific program may be set to enable access to the semiconductor process equipment 10 and control of specific functions.

상술한 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 공정 장비에서의 오류 발생 시 대응기능을 원터치 버튼으로 구현한 일체형 입력장치는, 공정 단계별 장비들의 조합으로 이루어진 반도체 공정 장비에 연결 접속되는 장비 연결 인터페이스와, 반도체 공정 장비의 조합으로 이루어진 공정 단계별 장비들의 조작 제어를 위한 키보드 명령 입력부와, 반도체 공정 장비의 조합으로 이루어진 공정 단계별 장비들 중 어느 하나에 오류 발생 시 화면 캡처 기능을 수행하고 미리 설정된 특정 폴더에 자동으로 저장되도록 처리하는 오류 처리 명령 입력부를 포함하여 구성함으로써, 반도체 공정 장비에 조합 구성되는 둘 이상의 공정 단계별 장비 중 하나에 장애로 인한 오류 발생 시에 화면 캡처와 미리 설정된 폴더로의 자동 저장이 가능하고, 그에 따른 사용의 편의성 및 효율성이 더욱 향상될 수 있도록 할 수 있으며, 특히, 오류 처리 명령 입력부의 원터치 캡처 버튼의 구현으로 오류가 발생된 공정 단계별 장비의 화면 캡처 및 자동 저장이 가능하도록 함으로써, 공정 단계별 장비에서 발생되는 오류에 대한 신속한 대처 관리가 가능하도록 할 수 있고, 반도체 공정의 전산화 시 상위 호스트 정보 및 전산시스템에 바로 접속되어 작업시간을 단축할 수 있으며, 그에 따른 반도체 공정 장비의 용이한 전산화 관리가 가능하도록 할 수 있게 된다.
As described above, the integrated input device that implements a one-touch button response function when an error occurs in the semiconductor processing equipment according to an embodiment of the present invention is connected to the semiconductor processing equipment connected to the semiconductor processing equipment consisting of a combination of equipment for each process step. A keyboard command input unit for operation and control of equipment at each process stage consisting of a combination of an interface and semiconductor process equipment, and a screen capture function when an error occurs in any one of the equipment at each process stage consisting of a combination of semiconductor process equipment By including an error handling instruction input unit that processes to be automatically saved in a folder, screen capture and automatic saving to a preset folder when an error occurs due to a failure in one of two or more process stage equipment that is combined with semiconductor process equipment This is possible, and the convenience and efficiency of use can be further improved. In particular, the implementation of a one-touch capture button in the error handling command input unit enables screen capture and automatic saving of equipment in each process step in which an error has occurred. By doing so, it is possible to quickly cope with and manage errors that occur in equipment at each stage of the process, and when the semiconductor process is computerized, it is directly connected to the host information and the computer system to shorten the working time. It is possible to enable easy computerized management.

이상 설명한 본 발명은 본 발명이 속한 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 다양한 변형이나 응용이 가능하며, 본 발명에 따른 기술적 사상의 범위는 아래의 특허청구범위에 의하여 정해져야 할 것이다.The present invention described above can be modified or applied in various ways by those of ordinary skill in the technical field to which the present invention belongs, and the scope of the technical idea according to the present invention should be determined by the following claims.

10: 반도체 공정 장비
11: 공정 단계별 장비
100: 본 발명의 일실시예에 따른 일체형 입력장치
101: 입력장치 본체
110: 장비 연결 인터페이스
111: 복수의 연결 포트
112: 복수의 USB 연결 케이블 단자
120: 키보드 명령 입력부
130: 오류 처리 명령 입력부
131: 원터치 캡처 버튼
140: 금속 트랙볼 마우스10: semiconductor process equipment
11: equipment for each step of the process
100: integrated input device according to an embodiment of the present invention
101: input device main body
110: equipment connection interface
111: multiple connection ports
112: multiple USB connection cable terminals
120: keyboard command input unit
130: error handling command input unit
131: One-touch capture button
140: metal trackball mouse

Claims (7)

반도체 공정 장비에서의 오류 발생 시 대응기능을 원터치 버튼으로 구현한 일체형 입력장치(100)로서,
공정 단계별 장비(11)들의 조합으로 이루어진 반도체 공정 장비(10)에 연결 접속되는 장비 연결 인터페이스(110);
상기 장비 연결 인터페이스(110)를 매개로 연결 접속되는 반도체 공정 장비(10)의 조합으로 이루어진 공정 단계별 장비(11)들의 조작 제어를 위한 키보드 명령 입력부(120); 및
상기 키보드 명령 입력부(120)와 별도로 구비되며, 상기 장비 연결 인터페이스(110)를 매개로 연결 접속되는 반도체 공정 장비(10)의 조합으로 이루어진 공정 단계별 장비(11)들 중 어느 하나에 오류 발생 시 화면 캡처 기능을 수행하고 미리 설정된 특정 폴더에 자동으로 저장되도록 처리하는 오류 처리 명령 입력부(130)를 포함하는 것을 특징으로 하는, 반도체 공정 장비에서의 오류 발생 시 대응기능을 원터치 버튼으로 구현한 일체형 입력장치.As an integrated input device 100 that implements a response function when an error occurs in semiconductor process equipment with a one-touch button,
An equipment connection interface 110 connected to and connected to the semiconductor processing equipment 10 made of a combination of the equipment 11 for each process step;
A keyboard command input unit 120 for operating and controlling the equipment 11 for each step of a process comprising a combination of semiconductor processing equipment 10 connected via the equipment connection interface 110; And
A screen when an error occurs in any one of the process step-by-step equipment 11, which is provided separately from the keyboard command input unit 120 and is formed of a combination of semiconductor processing equipment 10 connected via the equipment connection interface 110 An integrated input device that implements a one-touch button to respond to errors in semiconductor processing equipment, characterized in that it includes an error processing command input unit 130 that performs a capture function and processes to be automatically stored in a preset specific folder . 제1항에 있어서, 상기 장비 연결 인터페이스(110)는,
상기 반도체 공정 장비(10)에 조합으로 이루어지는 공정 단계별 장비(11)들과 각각 연결 접속되기 위한 복수의 연결 포트(111)가 입력장치 본체(101)의 일면에 형성되는 것을 특징으로 하는, 반도체 공정 장비에서의 오류 발생 시 대응기능을 원터치 버튼으로 구현한 일체형 입력장치.The method of claim 1, wherein the equipment connection interface (110),
A semiconductor process, characterized in that a plurality of connection ports 111 are formed on one surface of the main body 101 of the input device to be connected to each of the equipments 11 for each process step formed in combination with the semiconductor process equipment 10 An all-in-one input device that implements a one-touch button to respond to errors in equipment. 제2항에 있어서, 상기 장비 연결 인터페이스(110)는,
상기 반도체 공정 장비(10)에 조합되는 공정 단계별 장비(11)들과 상기 복수의 연결 포트(111)를 매칭 하여 각각 연결 접속하기 위한 복수의 USB 연결 케이블 단자(112)를 포함하는 것을 특징으로 하는, 반도체 공정 장비에서의 오류 발생 시 대응기능을 원터치 버튼으로 구현한 일체형 입력장치.The method of claim 2, wherein the equipment connection interface (110),
It characterized in that it comprises a plurality of USB connection cable terminals (112) for connecting and connecting by matching the process step equipment (11) combined with the semiconductor processing equipment (10) and the plurality of connection ports (111). , All-in-one input device with one-touch button to respond to errors in semiconductor process equipment. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 오류 처리 명령 입력부(130)는,
상기 장비 연결 인터페이스(110)를 매개로 연결 접속되는 반도체 공정 장비(10)의 조합으로 이루어진 공정 단계별 장비(11)들의 오류 발생 시 화면 캡처와 자동 저장 처리를 위한 원터치 캡처 버튼(131)으로 구성되는 것을 특징으로 하는, 반도체 공정 장비에서의 오류 발생 시 대응기능을 원터치 버튼으로 구현한 일체형 입력장치.The method according to any one of claims 1 to 3, wherein the error processing command input unit 130,
Consisting of a one-touch capture button 131 for screen capture and automatic storage processing when an error occurs in the equipment 11 for each process step, which is a combination of semiconductor processing equipment 10 connected via the equipment connection interface 110 An integrated input device that implements a response function when an error occurs in semiconductor processing equipment with a one-touch button. 제4항에 있어서, 상기 오류 처리 명령 입력부(130)는,
반도체 공정 장비(10)의 조합으로 이루어진 공정 단계별 장비(11)들에 대한 오류 발생 시의 화면 캡처와 자동 저장을 처리하되, 미리 설정된 장비 담당자에게 오류 발생 메시지를 더 전송할 수 있도록 기능하는 것을 특징으로 하는, 반도체 공정 장비에서의 오류 발생 시 대응기능을 원터치 버튼으로 구현한 일체형 입력장치.The method of claim 4, wherein the error processing command input unit 130,
It handles screen capture and automatic storage when an error occurs for the equipments 11 at each stage of the process consisting of a combination of semiconductor process equipment 10, but functions to further transmit an error occurrence message to a preset equipment manager. Integrated input device that implements a one-touch button to respond to errors in semiconductor process equipment. 제4항에 있어서, 상기 일체형 입력장치(100)는,
공정 단계별 장비(11)들의 조합으로 이루어지는 반도체 공정 장비(10)의 전산화 단말장치 전용으로 구현되는 것을 특징으로 하는, 반도체 공정 장비에서의 오류 발생 시 대응기능을 원터치 버튼으로 구현한 일체형 입력장치.The method of claim 4, wherein the integrated input device (100),
An integrated input device that implements a response function when an error occurs in the semiconductor process equipment with a one-touch button, characterized in that it is implemented exclusively for the computerized terminal device of the semiconductor process equipment 10 consisting of a combination of the equipments 11 for each process step. 제4항에 있어서, 상기 일체형 입력장치(100)는,
상기 장비 연결 인터페이스(110)를 매개로 반도체 공정 장비(10)의 공정 단계별 장비(11)들과 연결 접속되고, 반도체 공정 장비(10)에 연결되는 상위 호스트의 전산시스템에 즉시 액세스되어 연동하는 것을 특징으로 하는, 반도체 공정 장비에서의 오류 발생 시 대응기능을 원터치 버튼으로 구현한 일체형 입력장치.The method of claim 4, wherein the integrated input device (100),
Through the equipment connection interface 110, it is connected to and connected to the equipments 11 for each step of the semiconductor processing equipment 10, and immediately accesses and interlocks the computer system of the upper host connected to the semiconductor processing equipment 10. An integrated input device that implements a one-touch button to respond to errors in semiconductor processing equipment.
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