KR20200143837A - Liquid drop-discharge apparatus - Google Patents

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KR20200143837A
KR20200143837A KR1020190071405A KR20190071405A KR20200143837A KR 20200143837 A KR20200143837 A KR 20200143837A KR 1020190071405 A KR1020190071405 A KR 1020190071405A KR 20190071405 A KR20190071405 A KR 20190071405A KR 20200143837 A KR20200143837 A KR 20200143837A
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성보람찬
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세메스 주식회사
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Abstract

A droplet ejection device of the present description includes: a storage member for storing droplets; one or more inkjet heads receiving the droplets from a storage member and discharging the droplets onto a substrate; and one or more pump members which have the same number as the number of the inkjet heads and correspond to the inkjet heads by one-to-one to pump the droplets of the inkjet head. According to the present invention, the droplets can be smoothly pumped from the inkjet head.

Description

액적 토출 장치{Liquid drop-discharge apparatus}Liquid drop-discharge apparatus

본 발명은 액적 토출 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판에 액적을 토출하는데 사용될 수 있는 기판 처리 장치에 포함될 수 있는 액적 토출 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a droplet ejection apparatus, and more particularly, to a droplet ejection apparatus that can be included in a substrate processing apparatus that can be used to eject droplets onto a substrate.

일반적으로, 전자회로부품, 또는 플라즈마 디스플레이 패널(PDP) 또는 액정 디스플레이 패널(LCD)과 같은 평판 디스플레이(FPD: Flat Panel Display)를 제조하기 위해서는, 포토레지스트(PR: photoresist)액 또는 구리(Cu), 은(Ag), 알루미늄(Al) 등과 같은 금속 페이스트(paste)를 사용하여 글래스 표면 또는 인쇄회로기판 상에 전극(electrodes) 또는 도트(dots) 등과 같은 일정한 패턴(patterns)을 형성하여야 한다.In general, in order to manufacture an electronic circuit component or a flat panel display (FPD) such as a plasma display panel (PDP) or a liquid crystal display panel (LCD), a photoresist (PR) liquid or copper (Cu) , A metal paste such as silver (Ag), aluminum (Al), or the like, should be used to form certain patterns such as electrodes or dots on the glass surface or on a printed circuit board.

기판에 일정한 패턴을 형성하기 위한 방법으로는 2개의 롤을 이용하여 오프셋 인쇄방식으로 일정한 패턴을 직접 패터닝하는 방식 또는 잉크 액적을 분출하는 방식이 사용될 수 있다. 여기서 잉크 액적을 기판에 토출하는 액적 토출 장치는 일반적인 잉크젯 프린터와 유사한 것으로, 노즐을 사용하여 기판에 일정한 패턴을 직접 패터닝하는 방식을 사용한다.As a method for forming a certain pattern on a substrate, a method of directly patterning a certain pattern by an offset printing method using two rolls or a method of ejecting ink droplets may be used. Here, a droplet ejection apparatus for ejecting ink droplets onto a substrate is similar to a general inkjet printer, and uses a method of directly patterning a predetermined pattern on the substrate using a nozzle.

한편, 종래의 액적 토출 장치는 복수의 잉크젯 헤드를 포함한다. 이러한 종래의 액적 토출 장치는 펌프를 사용하여 잉크젯 헤드의 액적을 저장 탱크로 펌핑하고, 저장 탱크는 액적을 모았다가 다시 잉크젯 헤드로 공급한다.On the other hand, the conventional droplet ejection apparatus includes a plurality of ink jet heads. Such a conventional droplet ejection apparatus pumps droplets from an inkjet head into a storage tank using a pump, and the storage tank collects droplets and supplies them to the inkjet head again.

상기와 같은 과정에서 복수의 잉크젯 헤드로부터 모아진 액적이 하나의 유로를 통하여 펌프로 공급되는 것이 일반적이다. 따라서, 액적이 유로에서 병목 현상이 발생되면서, 복수의 잉크젯 헤드 각각으로부터 펌프로 균일하게 펌핑되기 어려울 수 있다. 그러므로, 액적이 펌프에 의하여 원활하게 펌핑되지 않을 수 있다.In the above process, it is common that droplets collected from a plurality of inkjet heads are supplied to a pump through one flow path. Accordingly, it may be difficult to uniformly pump the droplets from each of the plurality of inkjet heads to the pump as the bottleneck occurs in the flow path. Therefore, droplets may not be pumped smoothly by the pump.

한국공개특허 제2011-0012730호Korean Patent Publication No. 2011-0012730

본 발명의 목적은 액적이 잉크젯 헤드로부터 원활하게 펌핑될 수 있는 액적 토출 장치를 제공하고자 한다.It is an object of the present invention to provide a droplet ejection apparatus in which droplets can be smoothly pumped from an inkjet head.

본 발명의 일 측면에 따른 액적 토출 장치는 액적을 저장하는 저장 부재; 상기 저장 부재로부터 액적을 공급받아서 기판으로 액적을 토출하는 하나 이상의 잉크젯 헤드; 및 상기 잉크젯 헤드의 개수와 동일한 개수이고, 상기 잉크젯 헤드와 일대일 대응되어 상기 잉크젯 헤드의 액적을 펌핑하는 하나 이상의 펌프 부재;를 포함한다.A droplet ejection apparatus according to an aspect of the present invention includes a storage member for storing droplets; One or more inkjet heads receiving droplets from the storage member and discharging droplets onto a substrate; And at least one pump member that is the same number as the number of the inkjet heads and corresponds to the inkjet head one-to-one to pump droplets of the inkjet head.

한편, 상기 잉크젯 헤드와 상기 펌프 부재는 복수개이고, 상기 복수의 펌프 부재가 연통되도록 결합되고, 상기 복수의 잉크젯 헤드로부터 액적을 공급받아서 상기 복수의 펌프 부재로 공급하고, 상기 복수의 펌프 부재로부터 액적을 공급받아서 상기 저장 부재로 공급하는 브라켓 부재를 더 포함할 수 있다.Meanwhile, the inkjet head and the pump member are plural, and the plurality of pump members are coupled to communicate with each other, receive droplets from the plurality of inkjet heads and supply them to the plurality of pump members, and liquid from the plurality of pump members. It may further include a bracket member that receives the enemy and supplies it to the storage member.

한편, 상기 브라켓 부재는, 상기 복수의 펌프 부재가 결합되는 베이스부; 상기 복수의 펌프 부재 각각에 일대일 대응되는 개수로 상기 베이스부의 내부에 형성되고, 상기 복수의 잉크젯 헤드 중 어느 하나의 잉크젯 헤드로부터 공급되는 액적을 상기 복수의 펌프 부재 중 어느 하나의 펌프 부재로 공급하는 공급 유로; 및 상기 베이스부의 내부에 형성되어 상기 복수의 펌프 부재 각각을 통과한 액적이 합쳐져서 배출되는 배출 유로;를 포함할 수 있다.On the other hand, the bracket member, the base portion to which the plurality of pump members are coupled; A number corresponding to each of the plurality of pump members is formed inside the base part, and supplies droplets supplied from any one of the plurality of inkjet heads to any one of the plurality of pump members. Supply flow; And a discharge passage formed in the base part and discharged by combining the liquid droplets passing through each of the plurality of pump members.

한편, 상기 공급 유로에는 상기 복수의 펌프 부재 각각에 연통되어 상기 복수의 펌프 부재로 액적이 공급되는 공급홀이 형성될 수 있다.Meanwhile, in the supply passage, a supply hole may be formed in communication with each of the plurality of pump members to supply droplets to the plurality of pump members.

한편, 상기 배출 유로에는 상기 복수의 펌프 부재 각각에 연통되어 상기 복수의 펌프 부재에 의해 펌핑된 액적을 상기 배출 유로로 배출하는 배출홀이 형성될 수 있다.Meanwhile, in the discharge passage, a discharge hole may be formed in communication with each of the plurality of pump members to discharge droplets pumped by the plurality of pump members to the discharge passage.

한편, 상기 저장 부재와 상기 복수의 잉크젯 헤드를 연결하고, 상기 저장 부재에서 공급되는 액적을 상기 복수의 잉크젯 헤드 각각으로 나눠서 공급하는 분기 부재를 더 포함할 수 있다.Meanwhile, a branch member may further include a branch member that connects the storage member and the plurality of inkjet heads, and divides and supplies droplets supplied from the storage member into each of the plurality of inkjet heads.

한편, 상기 복수의 펌프 부재는 상기 브라켓 부재의 양측 각각에 일정 간격마다 위치될 수 있다.Meanwhile, the plurality of pump members may be positioned at predetermined intervals on each of both sides of the bracket member.

한편, 상기 저장 부재에 설치되어 액적에 포함된 기포를 제거하는 기포 제거 부재를 포함할 수 있다.On the other hand, it may include a bubble removing member installed in the storage member to remove bubbles contained in the droplet.

본 발명의 일 실시예에 따른 액적 토출 장치는 잉크젯 헤드의 개수만큼 펌프 부재를 설치하고, 하나의 잉크젯 헤드에 저장된 액적이 하나의 펌프 부재에 의해 펌핑될 수 있다. 그러므로, 액적이 펌프 부재에 의해 잉크젯 헤드로부터 펌핑되는 과정에서 병목 현상이 발생되는 것을 방지할 수 있다.In the droplet ejection apparatus according to an embodiment of the present invention, as many pump members are installed as the number of inkjet heads, droplets stored in one inkjet head may be pumped by one pump member. Therefore, it is possible to prevent a bottleneck from occurring in a process in which droplets are pumped from the inkjet head by the pump member.

또한, 본 발명에 따른 액적 토출 장치는 브라켓 부재를 포함하고, 브라켓 부재는 액적을 하나의 잉크젯 헤드로부터 하나의 펌프 부재로 이동시키는 공급 유로를 포함한다. 이와 같이, 본 발명에 따른 액적 토출 장치는 펌프 부재 하나가 잉크젯 헤드를 직접 펌핑하도록 이루어짐으로써, 종래의 액적 토출 장치와 비교하여 액적을 잉크젯 헤드와 저장 부재 사이에서 병목없이 더욱 원활하게 순환시킬 수 있다.In addition, the droplet ejection apparatus according to the present invention includes a bracket member, and the bracket member includes a supply passage for moving a droplet from one inkjet head to one pump member. As described above, in the droplet ejection apparatus according to the present invention, since one pump member directly pumps the inkjet head, it is possible to more smoothly circulate droplets without a bottleneck between the inkjet head and the storage member compared to the conventional droplet ejection apparatus. .

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 액적 토출 장치를 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 액적 토출 장치를 도시한 도면이다.
도 3은, 도 2의 액적 토출 장치에서 펌프 부재와 브라켓 부재를 발췌하여 도시한 도면이다.
도 4는 펌프 부재와 브라켓 부재를 Ⅳ-Ⅳ'따라 절단하여 도시한 도면이다.1 is a view showing a droplet discharge device according to an embodiment of the present invention.
2 is a view showing a droplet discharging apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 is a view showing an extract of a pump member and a bracket member from the droplet discharge device of FIG. 2.
4 is a view showing the pump member and the bracket member cut along IV-IV'.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those of ordinary skill in the art may easily implement the present invention. The present invention may be implemented in various different forms and is not limited to the embodiments described herein.

본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.In order to clearly describe the present invention, parts irrelevant to the description have been omitted, and the same reference numerals are assigned to the same or similar components throughout the specification.

또한, 여러 실시예들에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적인 실시예에서만 설명하고, 그 외의 다른 실시예에서는 대표적인 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.In addition, in various embodiments, components having the same configuration will be described only in a representative embodiment by using the same reference numerals, and in other embodiments, only configurations different from the representative embodiment will be described.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우 뿐만 아니라, 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"된 것도 포함한다. 또한, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.Throughout the specification, when a part is said to be "connected" with another part, this includes not only the case of being "directly connected", but also being "indirectly connected" with another member therebetween. In addition, when a part "includes" a certain component, it means that other components may be further included rather than excluding other components unless specifically stated to the contrary.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless otherwise defined, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. Terms as defined in a commonly used dictionary should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related technology, and should not be interpreted as an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in this application. Does not.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 액적 토출 장치(100)는 저장 부재(110), 잉크젯 헤드(120) 및 펌프 부재(130)를 포함한다.Referring to FIG. 1, a droplet ejection apparatus 100 according to an embodiment of the present invention includes a storage member 110, an inkjet head 120, and a pump member 130.

저장 부재(110)는 액적을 저장할 수 있다. 저장 부재(110)는 일례로 액적을 저장하는 저장 탱크일 수 있다. 이러한 저장 탱크는 일반적인 액적 토출 장치에 포함된 것일 수 있으므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.The storage member 110 may store droplets. The storage member 110 may be, for example, a storage tank for storing droplets. Since such a storage tank may be included in a general droplet discharge device, a detailed description thereof will be omitted.

잉크젯 헤드(120)는 저장 부재(110)로부터 액적을 공급받아서 기판으로 액적을 토출할 수 있다. 잉크젯 헤드(120)는 하나 이상일 수 있다.The inkjet head 120 may receive droplets from the storage member 110 and discharge the droplets to the substrate. There may be one or more inkjet heads 120.

잉크젯 헤드(120)는 액적을 토출할 수 있다. 잉크젯 헤드(120)는 노즐(미도시)을 포함할 수 있다. 노즐은 잉크젯 헤드(120)의 저면(노즐면)에 위치되어 액적을 토출할 수 있다. 상기 잉크젯 헤드(120)는 복수의 노즐을 포함할 수 있다. 노즐의 개수는 128개 또는 256개일 수 있다. 상기 노즐들은 일정한 피치의 간격으로 나란하게 배치될 수 있고, ㎍ 단위의 양으로 액적을 토출할 수 있다.The inkjet head 120 may discharge droplets. The inkjet head 120 may include a nozzle (not shown). The nozzle is located on the bottom surface (nozzle surface) of the inkjet head 120 to discharge droplets. The inkjet head 120 may include a plurality of nozzles. The number of nozzles may be 128 or 256. The nozzles may be arranged side by side at regular pitch intervals, and droplets may be discharged in an amount of μg.

한편, 상기 잉크젯 헤드(120)는 일례로 노즐에 대응하는 수만큼의 압전 소자(도시되지 않음)를 포함할 수 있고, 압전 소자의 동작에 의해 상기 노즐을 통하여 액적을 토출할 수 있다. 예를 들어, 상기 노즐이 128개인 경우, 상기 압전 소자 또한 128개일 수 있다. 그리고, 상기 노즐이 256개인 경우, 상기 압전 소자 또한 256개일 수 있다. 그리고 상기 노즐로부터 토출되는 양은 압전 소자들에 인가되는 전압의 제어에 의해 각각 독립적으로 조절될 수 있다.Meanwhile, the inkjet head 120 may include as many piezoelectric elements (not shown) corresponding to nozzles, for example, and may discharge droplets through the nozzle by the operation of the piezoelectric element. For example, when the number of nozzles is 128, the number of piezoelectric elements may also be 128. In addition, when the number of nozzles is 256, the number of piezoelectric elements may also be 256. In addition, the amount discharged from the nozzle may be independently adjusted by controlling a voltage applied to the piezoelectric elements.

펌프 부재(130)는 상기 잉크젯 헤드(120)의 개수와 동일한 개수일 수 있다. 펌프 부재(130)는 상기 잉크젯 헤드(120)와 일대일 대응되어 상기 잉크젯 헤드(120)의 액적을 펌핑할 수 있다. 펌프 부재(130)는 일례로 마이크로 압전 펌프(Micro Piezo pump)일 수 있으나, 이에 한정하지는 않으며, 액적을 펌핑할 수 있는 것이면 어느 것이든 무방할 수 있다.The number of pump members 130 may be the same as the number of the inkjet heads 120. The pump member 130 may correspond to the inkjet head 120 one-to-one to pump droplets of the inkjet head 120. The pump member 130 may be, for example, a micro piezo pump, but is not limited thereto, and any pump member capable of pumping droplets may be used.

이와 같은 펌프 부재(130)와 잉크젯 헤드(120)는 복수개일 수 있다. 예를 들어, 펌프 부재(130)는 3개이고, 잉크젯 헤드(120)도 3개일 수 있다. 또한, 펌프 부재(130)는 4개이고, 잉크젯 헤드(120)도 4개일 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 펌프 부재(130)와 잉크젯 헤드(120)가 4개인 것으로 가정하여 설명하기로 한다.The pump member 130 and the inkjet head 120 may be plural. For example, the number of pump members 130 may be three, and the inkjet head 120 may also be three. In addition, the number of pump members 130 may be four, and the inkjet head 120 may also be four. Hereinafter, for convenience of explanation, it is assumed that the pump member 130 and the inkjet head 120 are four.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 액적 토출 장치(100)는 펌프 부재(130)와 잉크젯 헤드(120)가 튜브 또는 배관 등의 연결 수단에 의해 직접 연결될 수 있다. 즉, 하나의 잉크젯 헤드(120)에 저장된 액적이 하나의 펌프 부재(130)에 의해 펌핑될 수 있으므로, 액적이 펌프 부재(130)에 의해 펌핑되는 과정에서 병목 현상이 발생되는 것을 방지할 수 있다.Meanwhile, in the droplet discharging apparatus 100 according to an exemplary embodiment of the present invention, the pump member 130 and the inkjet head 120 may be directly connected by a connecting means such as a tube or a pipe. That is, since droplets stored in one inkjet head 120 can be pumped by one pump member 130, it is possible to prevent a bottleneck from occurring during the process of pumping the droplets by the pump member 130. .

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 액적 토출 장치(100)는 액적 분기 부재(150)를 더 포함할 수 있다.Meanwhile, the droplet ejection apparatus 100 according to an exemplary embodiment of the present invention may further include a droplet branch member 150.

액적 분기 부재(150)는 상기 저장 부재(110)와 상기 복수의 잉크젯 헤드(120)를 연결할 수 있다. 액적 분기 부재(150)는 상기 저장 부재(110)에서 공급되는 액적을 상기 복수의 잉크젯 헤드(120) 각각으로 나눠서 공급할 수 있다. 즉, 액적 분기 부재(150)는 저장 부재(110)의 액적을 잉크젯 헤드(120)로 안정적으로 공급할 수 있다.The droplet branch member 150 may connect the storage member 110 and the plurality of inkjet heads 120. The droplet branching member 150 may divide and supply the droplets supplied from the storage member 110 into each of the plurality of inkjet heads 120. That is, the droplet branching member 150 may stably supply the droplets of the storage member 110 to the inkjet head 120.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 액적 토출 장치(100)는 기포 제거 부재(160)를 더 포함할 수 있다.Meanwhile, the droplet discharging apparatus 100 according to an embodiment of the present invention may further include a bubble removing member 160.

기포 제거 부재(160)는 상기 저장 부재(110)에 설치되어 액적에 포함된 기포를 제거할 수 있다. 기포 제거 부재(160)는 유체에 포함된 기포를 제거할 수 있는 것이면 어느 것이든 무방할 수 있다.The bubble removing member 160 may be installed on the storage member 110 to remove bubbles included in the droplet. The bubble removing member 160 may be any one capable of removing bubbles included in the fluid.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 액적 토출 장치(200)는 브라켓 부재(140)를 더 포함할 수 있다.2 to 4, the droplet discharging apparatus 200 according to another embodiment of the present invention may further include a bracket member 140.

브라켓 부재(140)는 상기 복수의 펌프 부재(130)가 연통되도록 결합될 수 있다. 브라켓 부재(140)는 상기 복수의 잉크젯 헤드(120)로부터 액적을 공급받아서 상기 복수의 펌프 부재(130)로 공급할 수 있다. 그리고, 브라켓 부재(140)는 상기 복수의 펌프 부재(130)로부터 액적을 공급받아서 상기 저장 부재(110)로 공급할 수 있다.The bracket member 140 may be coupled so that the plurality of pump members 130 communicate. The bracket member 140 may receive droplets from the plurality of inkjet heads 120 and supply them to the plurality of pump members 130. In addition, the bracket member 140 may receive droplets from the plurality of pump members 130 and supply them to the storage member 110.

한편, 상기 복수의 펌프 부재(130)는 상기 브라켓 부재(140)의 양측 각각에 일정 간격마다 위치될 수 있다. 예를 들어, 4개의 펌프 부재(130A, 130B, 130C, 130D) 중에서, 2개의 펌프 부재(130A, 130B)가 브라켓 부재(140)의 좌측에 서로 일정 거리만큼 이격되게 위치되고, 나머지 2개의 펌프 부재(130C, 130D)가 브라켓 부재(140)의 우측에 서로 일정 거리만큼 이격되게 위치될 수 있다.Meanwhile, the plurality of pump members 130 may be positioned at predetermined intervals on each side of the bracket member 140. For example, of the four pump members 130A, 130B, 130C, and 130D, two pump members 130A and 130B are located on the left side of the bracket member 140 to be spaced apart from each other by a predetermined distance, and the remaining two pumps The members 130C and 130D may be located on the right side of the bracket member 140 to be spaced apart from each other by a predetermined distance.

브라켓 부재(140)는 복수의 펌프 부재(130A, 130B, 130C, 130D)를 특정 위치에 서로 안정적으로 위치되도록 할 수 있다. 또한, 펌프 부재(130)가 마이크로 압전 펌프로 구성되어 액적이 유입되는 부분이 미세하게 이루어진 경우, 펌프 부재(130)가 잉크젯 헤드(120)에 직접 연결되지 않고, 브라켓 부재(140)를 거쳐서 간접적으로 연결될 수 있다.The bracket member 140 may allow a plurality of pump members 130A, 130B, 130C, and 130D to be stably positioned with each other at a specific position. In addition, when the pump member 130 is composed of a micro piezoelectric pump and the portion into which the droplet flows is made fine, the pump member 130 is not directly connected to the inkjet head 120, but indirectly through the bracket member 140. Can be connected to.

이를 위한 브라켓 부재(140)는 일례로 베이스부(141), 공급 유로(142) 및 배출 유로(143)를 포함할 수 있다.The bracket member 140 for this may include, for example, a base portion 141, a supply passage 142 and a discharge passage 143.

베이스부(141)에는 상기 복수의 펌프 부재(130)가 결합될 수 있다. 베이스부(141)는 일례로 사각 기둥 형상일 수 있다. 사각 기둥 형상의 베이스부(141) 내부에 후술할 공급 유로(142)와 배출 유로(143)가 형성될 수 있다.The plurality of pump members 130 may be coupled to the base part 141. The base portion 141 may have a rectangular pillar shape, for example. A supply flow path 142 and a discharge flow path 143 to be described later may be formed in the square pillar-shaped base portion 141.

공급 유로(142)는 상기 복수의 펌프 부재(130) 각각에 일대일 대응되는 개수로 상기 베이스부(141)의 내부에 형성될 수 있다. 공급 유로(142)는 베이스부(141)의 길이방향을 따라 형성될 수 있다.The supply passage 142 may be formed in the base portion 141 in a number corresponding to each of the plurality of pump members 130 one-to-one. The supply passage 142 may be formed along the length direction of the base portion 141.

공급 유로(142)는 상기 복수의 잉크젯 헤드(120) 중 어느 하나의 잉크젯 헤드(120)로부터 공급되는 액적을 상기 복수의 펌프 부재(130) 중 어느 하나의 펌프 부재(130)로 공급할 수 있다. 즉, 공급 유로(142)는 하나의 잉크젯 헤드(120)의 액적이 하나의 펌프 부재(130)에 직접적으로 공급되게 할 수 있다.The supply passage 142 may supply droplets supplied from any one of the plurality of inkjet heads 120 to any one of the plurality of pump members 130. That is, the supply passage 142 may allow droplets of one inkjet head 120 to be directly supplied to one pump member 130.

이를 위하여 공급 유로(142)에는 상기 복수의 펌프 부재(130) 각각에 연통되어 상기 복수의 펌프 부재(130)로 액적이 공급되는 공급홀(145)이 형성될 수 있다. 펌프 부재(130A, 130B, 130C, 130D)의 개수가 4개인 경우, 공급 유로(142A, 142B, 142C, 142D)의 개수도 4개이고, 공급홀(145)의 개수도 4개일 수 있다. 4개의 공급 유로(142A, 142B, 142C, 142D) 각각은 4개의 펌프 부재(130A, 130B, 130C, 130D)와 각각 개별적으로 연결될 수 있다. 이때, 4개의 공급 유로(142A, 142B, 142C, 142D)는 4개의 펌프 부재(130A, 130B, 130C, 130D)의 위치를 고려하여 서로 일정 거리만큼 이격되게 위치될 수 있다.To this end, a supply hole 145 through which droplets are supplied to the plurality of pump members 130 by communicating with each of the plurality of pump members 130 may be formed in the supply passage 142. When the number of pump members 130A, 130B, 130C, and 130D is 4, the number of supply flow paths 142A, 142B, 142C, and 142D may be 4, and the number of supply holes 145 may also be 4. Each of the four supply passages 142A, 142B, 142C, and 142D may be individually connected to the four pump members 130A, 130B, 130C, and 130D. In this case, the four supply passages 142A, 142B, 142C, and 142D may be positioned to be spaced apart from each other by a predetermined distance in consideration of the positions of the four pump members 130A, 130B, 130C, and 130D.

그리고, 복수의 공급홀(145) 각각은 브라켓 부재(140)의 베이스부(141)에서 공급 유로(142)와 직교하도록 위치될 수 있고, 펌프 부재(130)와 공급 유로(142)를 연통시킬 수 있다.In addition, each of the plurality of supply holes 145 may be positioned to be orthogonal to the supply flow path 142 in the base portion 141 of the bracket member 140, and communicate the pump member 130 and the supply flow path 142. I can.

더욱 상세하게 설명하면, 4개의 펌프 부재(130A, 130B, 130C, 130D)들 중 펌프 부재(130) 두 개씩 브라켓 부재(140)의 좌측 및 우측 각각에 서로 일정 거리만큼 이격되게 위치된 경우, 복수의 공급홀(145) 중에서 2개의 공급홀(145)은 브라켓 부재(140)의 좌측에 위치된 2개의 펌프 부재(130A, 130B)에 각각 연결될 수 있다. 그리고, 나머지 2개의 공급홀(미도시)은 브라켓 부재(140)의 우측에 위치된 2개의 펌프 부재(130C, 130D)에 각각 연결될 수 있다.In more detail, when two of the pump members 130 are located on the left and right sides of the bracket member 140 by a predetermined distance among the four pump members 130A, 130B, 130C, 130D, a plurality of Of the supply holes 145 of, the two supply holes 145 may be connected to the two pump members 130A and 130B located on the left side of the bracket member 140, respectively. In addition, the remaining two supply holes (not shown) may be connected to the two pump members 130C and 130D positioned on the right side of the bracket member 140, respectively.

한편, 본 발명의 다른 실시예에 따른 액적 토출 장치(200)는 다양한 규격의 펌프 부재(130)를 설치하여 사용할 수 있다. 이유인 즉, 펌프 부재(130)가 마이크로 압전 펌프인 경우 액적이 유입되는 부분(미도시)이 미세하게 이루어질 수 있다.On the other hand, the droplet discharge device 200 according to another embodiment of the present invention may be used by installing a pump member 130 of various standards. That is, when the pump member 130 is a micro piezoelectric pump, a portion (not shown) into which droplets are introduced may be made fine.

브라켓 부재(140)는 공급홀(145)의 내경이 펌프 부재(130)에서 액적이 유입되는 부분과 대응되도록 용이하게 가공될 수 있도록 구성되어 있다. 즉, 공급 유로(142)의 내경이 펌프 부재(130)에서 액적이 유입되는 부분보다 상대적으로 크게 이루어지더라도, 브라켓 부재(140)의 제조 과정에서 공급홀(145)의 내경의 크기를 펌프 부재(130)에서 액적이 유입되는 부분에 맞도록 적절하게 가공할 수 있으므로, 다양한 규격의 펌프 부재(130)가 사용될 수 있다.The bracket member 140 is configured to be easily processed so that the inner diameter of the supply hole 145 corresponds to a portion into which the droplet flows from the pump member 130. That is, even if the inner diameter of the supply passage 142 is made relatively larger than the portion in which the droplet flows from the pump member 130, the size of the inner diameter of the supply hole 145 in the manufacturing process of the bracket member 140 Since it can be appropriately processed to fit the portion in which the droplet is introduced at 130, the pump member 130 of various standards can be used.

배출 유로(143)는 상기 베이스부(141)의 내부에 형성되어 상기 복수의 펌프 부재(130) 각각을 통과한 액적이 합쳐져서 배출될 수 있다. 상기 배출 유로(143)에는 상기 복수의 펌프 부재(130) 각각에 연통되어 액적을 상기 배출 유로(143)로 배출하는 배출홀(144)이 형성될 수 있다.The discharge flow path 143 may be formed inside the base part 141 so that droplets passing through each of the plurality of pump members 130 may be combined and discharged. A discharge hole 144 communicating with each of the plurality of pump members 130 may be formed in the discharge passage 143 to discharge droplets to the discharge passage 143.

액적이 펌프 부재(130)에서 펌핑된 다음, 배출홀(144)을 지나서 하나의 배출 유로(143)에 모아질 수 있다. 배출 유로(143)에서 합쳐진 액적은 저장 부재(110)로 이송될 수 있다.After the droplets are pumped from the pump member 130, they may pass through the discharge hole 144 and be collected in one discharge passage 143. The droplets combined in the discharge passage 143 may be transferred to the storage member 110.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 액적 토출 장치(100)를 포함하는 기판 처리 장치는 상기 액적 토출 장치(100)와 함께 도면에 도시하지는 않았으나 스테이지, 갠트리(gantry), 갠트리 이동 유닛, 잉크젯 헤드 이동 유닛, 제어 유닛, 액적 토출량 측정 유닛, 노즐 검사 유닛, 잉크젯 헤드 세정 유닛 등을 포함할 수도 있다.On the other hand, the substrate processing apparatus including the droplet ejection apparatus 100 according to an embodiment of the present invention is not shown in the drawing together with the droplet ejection apparatus 100, but a stage, a gantry, a gantry moving unit, an inkjet head It may include a moving unit, a control unit, a droplet discharge amount measuring unit, a nozzle inspection unit, an inkjet head cleaning unit, and the like.

상기 스테이지는 인쇄 공정의 수행시 상기 액적의 토출이 이루어지는 기판이 놓이는 부재이다. 상기 갠트리는 상기 스테이지 상부에 배치되도록 구비될 수 있다. 특히, 본 발명의 일 실시예에 따른 액적 토출 장치(100)의 잉크젯 헤드(120)가 상기 갠트리에 장착될 수 있다. 상기 잉크젯 헤드(120)는 상기 갠트리의 일측면을 따라 이동 가능하도록 장착될 수 있다.The stage is a member on which a substrate on which the droplet is discharged is placed when performing a printing process. The gantry may be provided to be disposed on the stage. In particular, the inkjet head 120 of the droplet ejection apparatus 100 according to an embodiment of the present invention may be mounted on the gantry. The inkjet head 120 may be mounted to be movable along one side of the gantry.

상기 갠트리는 상기 잉크젯 헤드(120)의 이동 경로를 제공하는 레일 등과 같은 부재를 포함할 수 있다. 그리고 기판 처리 장치에서는 상기 갠트리에 상기 잉크젯 헤드(120)가 복수개가 나란하게 장착될 수 있다. 예를 들어, R, G, B 각각에 대한 액적들이 기판으로 토출될 수 있도록, 3개의 잉크젯 헤드(120)들이 겐트리에 장착될 수 있다.The gantry may include a member such as a rail providing a moving path of the inkjet head 120. In addition, in the substrate processing apparatus, a plurality of inkjet heads 120 may be mounted side by side on the gantry. For example, three inkjet heads 120 may be mounted on the gantry so that droplets for each of R, G, and B can be discharged to the substrate.

이와 다르게, 기판에 인쇄되는 패턴의 해상도를 높이기 위하여 해상도가 상이한 복수의 잉크젯 헤드(120)들을 배치하거나 복수의 잉크젯 헤드(120)들의 위치를 적절하게 조절하여 배치하는 것도 가능할 수 있다. 이러한 잉크젯 헤드(120)의 배치는 일반적인 기판 처리 장치에 사용되는 것이므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.Alternatively, in order to increase the resolution of the pattern printed on the substrate, a plurality of inkjet heads 120 having different resolutions may be disposed or positions of the plurality of inkjet heads 120 may be appropriately adjusted and disposed. Since the arrangement of the inkjet head 120 is used in a general substrate processing apparatus, a detailed description thereof will be omitted.

전술한 바와 같이 본 발명에 따른 액적 토출 장치(100, 도 1 참조)는 잉크젯 헤드(120)의 개수만큼 펌프 부재(130)를 설치하고, 하나의 잉크젯 헤드(120)에 저장된 액적이 하나의 펌프 부재(130)에 의해 펌핑될 수 있다. 그러므로, 액적이 펌프 부재(130)에 의해 잉크젯 헤드(120)로부터 펌핑되는 과정에서 병목 현상이 발생되는 것을 방지할 수 있다.As described above, in the droplet ejection apparatus 100 (refer to FIG. 1) according to the present invention, the pump members 130 are installed as many as the number of inkjet heads 120, and the droplets stored in one inkjet head 120 are stored in one pump. It can be pumped by member 130. Therefore, it is possible to prevent a bottleneck from occurring while the droplet is pumped from the inkjet head 120 by the pump member 130.

또한, 본 발명에 따른 액적 토출 장치(200, 도 2 참조)는 브라켓 부재(140)를 포함하고, 브라켓 부재(140)는 액적을 하나의 잉크젯 헤드(120)로부터 하나의 펌프 부재(130)로 이동시키는 공급 유로(142)를 포함한다. 이와 같이, 본 발명에 따른 액적 토출 장치(200)는 펌프 부재(130) 하나가 잉크젯 헤드(120)를 직접 펌핑하도록 이루어짐으로써, 종래의 액적 토출 장치와 비교하여 액적을 잉크젯 헤드(120)와 저장 부재(110) 사이에서 병목없이 더욱 원활하게 순환시킬 수 있다.In addition, the droplet ejection apparatus 200 (refer to FIG. 2) according to the present invention includes a bracket member 140, and the bracket member 140 transfers droplets from one inkjet head 120 to one pump member 130. It includes a supply flow path 142 to move. As described above, in the droplet ejection apparatus 200 according to the present invention, one pump member 130 directly pumps the inkjet head 120, thereby storing droplets with the inkjet head 120 compared to the conventional droplet ejection apparatus. It is possible to circulate more smoothly without bottlenecks between the members 110.

이상에서 본 발명의 여러 실시예에 대하여 설명하였으나, 지금까지 참조한 도면과 기재된 발명의 상세한 설명은 단지 본 발명의 예시적인 것으로서, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.Although various embodiments of the present invention have been described above, the drawings referenced so far and the detailed description of the described invention are merely illustrative of the present invention, which are used only for the purpose of describing the present invention, and are limited in meaning or claims. It is not used to limit the scope of the invention described in the range. Therefore, those of ordinary skill in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. Therefore, the true technical protection scope of the present invention should be determined by the technical spirit of the appended claims.

100: 액적 토출 장치 110: 저장 부재
120: 잉크젯 헤드 130: 펌프 부재
140: 브라켓 부재 141: 베이스부
142: 공급 유로 143: 배출 유로
144: 배출홀 145: 공급홀
150: 분기 부재 160: 기포 제거 부재100: droplet discharge device 110: storage member
120: inkjet head 130: pump member
140: bracket member 141: base portion
142: supply flow path 143: discharge flow path
144: discharge hole 145: supply hole
150: branch member 160: bubble removing member

Claims (8)

액적을 저장하는 저장 부재;
상기 저장 부재로부터 액적을 공급받아서 기판으로 액적을 토출하는 하나 이상의 잉크젯 헤드; 및
상기 잉크젯 헤드의 개수와 동일한 개수이고, 상기 잉크젯 헤드와 일대일 대응되어 상기 잉크젯 헤드의 액적을 펌핑하는 하나 이상의 펌프 부재;를 포함하는 액적 토출 장치.A storage member for storing droplets;
One or more inkjet heads receiving droplets from the storage member and discharging droplets onto a substrate; And
And one or more pump members that are the same number as the number of the inkjet heads and correspond to the inkjet heads one-to-one to pump the droplets of the inkjet head. 제1항에 있어서,
상기 잉크젯 헤드와 상기 펌프 부재는 복수개이고,
상기 복수의 펌프 부재가 연통되도록 결합되고, 상기 복수의 잉크젯 헤드로부터 액적을 공급받아서 상기 복수의 펌프 부재로 공급하고, 상기 복수의 펌프 부재로부터 액적을 공급받아서 상기 저장 부재로 공급하는 브라켓 부재를 더 포함하는 액적 토출 장치.The method of claim 1,
The inkjet head and the pump member are plural,
The plurality of pump members are coupled to communicate with each other, and a bracket member receiving droplets from the plurality of inkjet heads and supplying them to the plurality of pump members, and receiving droplets from the plurality of pump members and supplying them to the storage member is further provided. A droplet discharge device comprising. 제2항에 있어서,
상기 브라켓 부재는,
상기 복수의 펌프 부재가 결합되는 베이스부;
상기 복수의 펌프 부재 각각에 일대일 대응되는 개수로 상기 베이스부의 내부에 형성되고, 상기 복수의 잉크젯 헤드 중 어느 하나의 잉크젯 헤드로부터 공급되는 액적을 상기 복수의 펌프 부재 중 어느 하나의 펌프 부재로 공급하는 공급 유로; 및
상기 베이스부의 내부에 형성되어 상기 복수의 펌프 부재 각각을 통과한 액적이 합쳐져서 배출되는 배출 유로;를 포함하는 액적 토출 장치.The method of claim 2,
The bracket member,
A base portion to which the plurality of pump members are coupled;
A number corresponding to each of the plurality of pump members is formed inside the base part, and supplies droplets supplied from any one of the plurality of inkjet heads to any one of the plurality of pump members. Supply flow; And
And a discharge passage formed in the base portion and discharged by combining the liquid droplets passing through each of the plurality of pump members. 제3항에 있어서,
상기 공급 유로에는 상기 복수의 펌프 부재 각각에 연통되어 상기 복수의 펌프 부재로 액적이 공급되는 공급홀이 형성되는 액적 토출 장치.The method of claim 3,
A droplet discharging device in which a supply hole is formed in the supply passage to communicate with each of the plurality of pump members to supply droplets to the plurality of pump members. 제3항에 있어서,
상기 배출 유로에는 상기 복수의 펌프 부재 각각에 연통되어 상기 복수의 펌프 부재에 의해 펌핑된 액적을 상기 배출 유로로 배출하는 배출홀이 형성되는 액적 토출 장치.The method of claim 3,
A droplet discharging device in which a discharge hole communicating with each of the plurality of pump members to discharge the liquid droplets pumped by the plurality of pump members into the discharge passage is formed in the discharge passage. 제2항에 있어서,
상기 저장 부재와 상기 복수의 잉크젯 헤드를 연결하고, 상기 저장 부재에서 공급되는 액적을 상기 복수의 잉크젯 헤드 각각으로 나눠서 공급하는 분기 부재를 더 포함하는 액적 토출 장치.The method of claim 2,
The droplet ejection apparatus further comprises a branch member connecting the storage member and the plurality of inkjet heads, and supplying the droplets supplied from the storage member by dividing into each of the plurality of inkjet heads. 제2항에 있어서,
상기 복수의 펌프 부재는 상기 브라켓 부재의 양측 각각에 일정 간격마다 위치되는 액적 토출 장치.The method of claim 2,
The plurality of pump members are droplet ejection devices positioned at predetermined intervals on each side of the bracket member. 제1항에 있어서,
상기 저장 부재에 설치되어 액적에 포함된 기포를 제거하는 기포 제거 부재를 포함하는 액적 토출 장치.The method of claim 1,
A droplet discharge device comprising a bubble removing member installed in the storage member to remove bubbles contained in the droplet.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230021950A (en) * 2021-08-06 2023-02-14 세메스 주식회사 Apparatus for jetting droplet

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200156828Y1 (en) * 1994-01-24 1999-09-01 손욱 Spacer scattering apparatus for lcd
KR20070101135A (en) * 2006-04-10 2007-10-16 리코 프린팅 시스템즈 가부시키가이샤 Droplet ejection device and droplet ejection method
JP2010228358A (en) * 2009-03-27 2010-10-14 Fujifilm Corp Liquid droplet delivering device
KR20110012730A (en) 2009-07-31 2011-02-09 세메스 주식회사 Head cleaning unit, and chemical liquid discharging apparatus using the same
KR20110059123A (en) * 2009-11-27 2011-06-02 세메스 주식회사 Liquid crystal supplying unit and apparatus of dispensing liquid crystal with the same

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200156828Y1 (en) * 1994-01-24 1999-09-01 손욱 Spacer scattering apparatus for lcd
KR20070101135A (en) * 2006-04-10 2007-10-16 리코 프린팅 시스템즈 가부시키가이샤 Droplet ejection device and droplet ejection method
JP2010228358A (en) * 2009-03-27 2010-10-14 Fujifilm Corp Liquid droplet delivering device
KR20110012730A (en) 2009-07-31 2011-02-09 세메스 주식회사 Head cleaning unit, and chemical liquid discharging apparatus using the same
KR20110059123A (en) * 2009-11-27 2011-06-02 세메스 주식회사 Liquid crystal supplying unit and apparatus of dispensing liquid crystal with the same

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230021950A (en) * 2021-08-06 2023-02-14 세메스 주식회사 Apparatus for jetting droplet

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