KR20200143020A - 기판 홀더 및 이를 포함하는 기판 지지 장치 - Google Patents

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Abstract

기판 홀더 및 이를 포함하는 기판 지지 장치를 개시한다. 일 실시 예에 따른 기판 홀더는 회전축을 중심으로 회전하는 회전부; 상기 회전부의 원주 방향으로의 외면을 감싸도록 상기 회전부에 연결되고, 외면을 통해 기판의 가장자리를 지지하는 지지부; 및 상기 회전부의 외면에 형성되는 제1체결부와, 상기 회전부와 접촉하는 상기 지지부의 접촉면에 형성되고 상기 제1체결부와 체결되는 제2체결부를 포함할 수 있다.

Description

기판 홀더 및 이를 포함하는 기판 지지 장치{SUBSTRATE HOLDER AND SUBASTRATE SUPPORT DEVICE COMPRISING THE SAME}
이하의 설명은 기판 홀더 및 이를 포함하는 기판 지지 장치에 관한 것이다.
웨이퍼 등의 기판에 증착 공정, 사진 공정, 식각 공정 등의 많은 공정을 통해 반도체 소자가 제조된다. 반도체 제조의 공정은 기판 상에 잔류하는 불필요한 박막, 입자 등의 이물질을 제거하는 세정 공정을 요구한다. 특히, 화학 기계적 연마 공정이 수행된 기판은 표면에 많은 이물질이 잔류하므로, 이물질을 잔류하기 위한 복수의 세정 공정이 요구된다.
기판의 세정공정에서, 기판 지지 장치는 기판의 가장자리를 지지하여 기판을 회전시킨다. 회전하는 기판의 표면에는 세정액이 분사되며, 분사된 세정액은 기판의 회전에 따른 원심력을 통해 기판의 표면으로부터 분사된다.
한편, 기판은 기판 홀더에 의해 지지되는데, 기판 홀더는 중심축을 통해 회전하게 되는데, 회전과정에서 설정 위치를 견고하게 유지하면서도, 충격에 따른 기판 손상을 방지하기 위해 기판 홀더는 복수의 재질을 포함하게 된다.
종래에는, 회전축과 연결되는 부위는 높은 경도를 가지는 재질로 형성되고, 기판과 접촉하는 부위는 상대적으로 경도가 낮으면서도 마찰력이 높은 재질로 형성되며, 각 부위가 서로 연결되어 기판 홀더가 구성되었다.
그러나, 재질이 상이한 복수 부품을 연결하는 경우, 회전 과정에서 충격으로 인해 각 부품의 연결 상태가 해제되어 기판의 회전 속도가 불균일해지고, 기판의 세정 효율이 저하되는 문제가 있었다.
전술한 배경기술로서 설명된 내용은 발명자가 본 발명의 도출과정에서 보유하거나 습득한 것으로서, 반드시 본 발명의 출원 전에 일반 공중에 공개된 공지기술이라고 인정하는 것이라고 할 수는 없다.
일 실시 예에 따른 목적은, 지지부 및 회전부의 접촉면적을 증가시킴으로써, 회전 과정에서 지지부 및 회전부가 분리되는 것을 효과적으로 방지하는 기판 홀더 및 이를 포함하는 기판 지지 장치를 제공하는 것이다.
일 실시 예에 따른 목적은 제1체결부 및 제2체결부의 체결을 통해 수평 방향으로의 로킹 기능과, 수직 방향으로의 로킹 기능을 확보하는 기판 홀더 및 이를 포함하는 기판 지지 장치를 제공하는 것이다.
일 실시 예에 따른 기판 홀더는, 회전축을 중심으로 회전하는 회전부; 상기 회전부의 원주 방향으로의 외면을 감싸도록 상기 회전부에 연결되고, 외면을 통해 기판의 가장자리를 지지하는 지지부; 및 상기 회전부의 외면에 형성되는 제1체결부와, 상기 회전부와 접촉하는 상기 지지부의 접촉면에 형성되고 상기 제1체결부와 체결되는 제2체결부를 포함할 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 회전부는 외면이 서로 단차지는 하부부분과 상부부분을 포함하고, 상기 하부부분 및 상부부분 사이에 단차면이 형성될 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 회전축에 나란한 단면을 기준으로, 상기 하부부분 및 상부부분의 외면은 상기 회전축과 평행하고, 상기 단차면은 상기 회전축에 수직할 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 제1체결부는 상기 단차면에 형성되고, 상기 제2체결부는 상기 단차면에 대한 상기 지지부의 접촉부위에 형성될 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 제1체결부는 상기 하부부분 또는 상부부분의 외면에 형성되고, 상기 제1체결부가 형성된 상기 회전부에 대한 상기 지지부의 접촉부위에 형성될 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 제1체결부 및 제2체결부 중 하나는 상기 회전부 및 지지부의 접촉부위에 돌출 형성되는 돌출부재를 포함하고, 나머지 하나는 상기 돌출부재가 수용되도록 상기 접촉부위에 함몰 형성되는 수용홈을 포함할 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 돌출부재는 상기 하부부분 또는 상부부분의 외측면과, 상기 단차면에 각각 형성되고, 상기 수용홈은 상기 각각의 돌출부재가 형성된 상기 회전부의 외면과 접촉하는 상기 지지부의 접촉부위에 각각 형성될 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 회전부 및 지지부의 접촉부위에는 접착제가 도포되고, 상기 수용홈에는 상기 접착제가 수용될 수 있다.
일 측에 있어서, 상부에서 바라본 상태를 기준으로, 상기 돌출부재 및 수용홈은 고리 형상일 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 지지부의 외면에는 상기 기판의 가장자리가 안착되는 안착홈이 형성될 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 회전부는 제1재질을 포함하고, 상기 지지부는 제1재질보다 경도가 낮은 제2재질을 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따른 기판 지지 장치는, 상기 기판 홀더를 복수개 포함하고, 상기 복수개의 기판 홀더는 기판 가장자리의 복수 부위를 각각 지지하고, 동일한 속도로 회전함으로써 상기 기판을 회전시킬 수 있다.
일 실시 예에 따른 기판 홀더 및 이를 포함하는 기판 지지 장치는, 지지부 및 회전부의 접촉면적을 증가시킴으로써, 회전 과정에서 지지부 및 회전부가 분리되는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.
일 실시 예에 따른 기판 홀더 및 이를 포함하는 기판 지지 장치는, 제1체결부 및 제2체결부의 체결을 통해 수평 방향으로의 로킹 기능과, 수직 방향으로의 로킹 기능을 확보할 수 있다.
일 실시예에 따른 기판 홀더 및 이를 포함하는 기판 지지 장치의 효과는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 효과들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 일 실시예를 예시하는 것이며, 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술적 사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니 된다.
도 1은 일 실시 예에 따른 기판 지지 장치의 사시도이다.
도 2는 일 실시 예에 따른 기판 지지 장치의 평면도이다.
도 3은 일 실시 예에 따른 기판 홀더의 사시도이다.
도 4는 일 실시 예에 따른 기판 홀더의 단면도이다.
도 5는 일 실시 예에 따른 기판 홀더의 단면도이다.
도 6은 일 실시 예에 따른 기판 홀더의 단면도이다.
도 7은 일 실시 예에 따른 기판 홀더의 단면도이다.
도 8은 일 실시 예에 다른 기판 홀더의 단면도이다.
이하, 실시 예들을 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 실시 예를 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 실시 예에 대한 이해를 방해한다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
또한, 실시 예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
어느 하나의 실시 예에 포함된 구성요소와, 공통적인 기능을 포함하는 구성요소는, 다른 실시 예에서 동일한 명칭을 사용하여 설명하기로 한다. 반대되는 기재가 없는 이상, 어느 하나의 실시 예에 기재한 설명은 다른 실시 예에도 적용될 수 있으며, 중복되는 범위에서 구체적인 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 일 실시 예에 따른 기판 지지 장치의 사시도이고, 도 2는 일 실시 예에 따른 기판 지지 장치의 평면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 일 실시 예에 따른 기판 지지 장치(1)는 기판(W)의 세정 공정을 위해 기판(W)을 지지할 수 있다. 기판 지지 장치(1)는 기판(W)의 위치를 유지한 상태에서, 기판(W)을 회전시킬 수 있다. 기판 지지 장치(1)에 의해 지지되는 기판(W)의 표면에는, 잔류 이물질을 제거하기 위한 세정액, 약액 등이 공급될 수 있다.
기판 지지 장치(1)에 의해 지지되는 기판(W)은 반도체 기판(W)이 되는 실리콘 웨이퍼(Silicon wafer)일 수 있다. 그러나, 기판(W)의 종류가 이에 한정되는 것은 아니며, 기판(W)은 액정표시장치(liquid crystal display, LCD), 또는 플라즈마 표시 장치(plasma display panel, PFD)와 같은 평판 디스플레이(flat panel display, FPD) 장치용 유리 기판(W)일 수 있다. 기판(W)은 원형의 형태를 가지며 그 크기는 적용 목적에 따라 소형에서 대형까지 다양할 수 있다.
기판 지지 장치(1)는 복수의 기판 홀더(10)를 포함할 수 있다. 각각의 기판 홀더(10)는 기판(W)의 가장자리의 복수 부위를 지지할 수 있다. 도면에서는 기판 지지 장치(1)가 4개의 기판 홀더(10)를 포함하는 것으로 도시되었으나, 기판 지지 장치(1)는 3개 이상의 기판 홀더(10)를 포함할 수 있다.
복수의 기판 홀더(10)는 기판(W) 면에 수직한 축을 중심으로 회전할 수 있다. 이하에서는, 기판 홀더(10)가 회전하는 축을 '회전축'이라 표현하도록 한다. 복수의 기판 홀더(10)는 동일한 속도로 회전할 수 있다. 복수의 기판 홀더(10)가 기판(W)의 가장자리에 접촉한 상태로 회전하게 되면, 기판(W) 및 기판 홀더(10) 사이의 마찰력에 의해 기판(W)이 중심 축을 중심으로 회전하게 된다. 따라서, 기판(W)에 공급된 세정액 또는 약액은 기판(W)의 회전에 따라 기판(W)의 중심으로부터 외측으로 고르게 퍼져나갈 수 있다.
이하에서는, 일 실시 예에 따른 기판 홀더(10)에 대해 설명하도록 한다. 기판 홀더(10)를 설명함에 있어서, 앞서 설명한 기재와 중복되는 기재는 생략하도록 한다.
도 3은 일 실시 예에 따른 기판 홀더(10)의 사시도이고, 도 4는 일 실시 예에 따른 기판 홀더(10)의 단면도이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 일 실시 예에 따른 기판 홀더(10)는 기판(W)의 가장자리를 지지한 상태로 회전 작동할 수 있다. 기판 홀더(10)는 회전부(100), 지지부(110), 제1체결부(121) 및 제2체결부(122)를 포함할 수 있다.
회전부(100)는 회전축을 중심으로 회전할 수 있다. 회전부(100)는 지면에 수직한 축을 중심으로 회전하는 샤프트에 연결되고, 회전 샤프트의 회전에 따라 회전할 수 있다. 샤프트에는 모터(11)가 연결될 수 있다. 회전부(100)는 상부를 관통하는 체결 나사에 의해 샤프트와 일체로 연결될 수 있다.
회전부(100)는 상부에서 바라본 상태에서 원형의 형상을 가질 수 있다. 회전부(100)는 높이 방향을 따라 하부부분(102)과 상부부분(101)으로 구분될 수 있다. 하부부분(102)과 상부부분(101)은 외면이 서로 단차질 수 있다. 따라서, 상부부분(101)과 하부부분(102) 사이에는 단차면(1012)이 형성될 수 있다.
회전부(100)는 도 4와 같이 회전축에 나란한 단면을 기준으로, 하부부분(102) 및 상부부분(101)이 각각 형성하는 외면을 포함할 수 있다. 단면을 기준으로, 하부부분(101)의 외면(1012)과 상부부분(101)의 외면(1011)은 회전축에 평행할 수 있다. 상부부분(101)이 하부부분(102)보다 외면으로 더 돌출된 경우, 단차면(1012)은 상부부분(101)의 하측에 형성될 수 있다. 이 경우, 단차면(1012)은 회전축에 수직한 평면상에 배치될 수 있다.
회전부(100)는 제1재질로 형성될 수 있다. 제1재질은 후술하는 제2재질보다 경도가 높을 수 있다. 제1재질은 회전부(100)가 샤프트에 연결되는 과정에서 고정된 상태로 연결되고, 회전부(100)가 장시간동안 회전 작동하는 경우에도 일정한 연결 상태를 유지할 정도의 경도를 가질 수 있다. 제1재질은 예를 들어, PEEK(Polyether eteher ketone), POM(polyacetal, Polyoxymethylene), PA(폴리아미드), PVC(폴리염화비닐), PP(polypropylene), ABS(Acrylonitrile-butadiene strene Resin), PVDF(폴리프로오린화비닐리덴), UPE(Unsatureated Polyester) 중 적어도 어느 하나의 재질을 포함할 수 있다.
지지부(110)는 회전부(100)의 외면에 연결될 수 있다. 지지부(110)는 회전부(100)가 삽입되는 형태로 회전부(100)에 연결될 수 있다. 예를 들어, 지지부(110)는 회전부(100)의 외면에 대응하는 형상으로 형성되는 삽입구를 포함할 수 있다. 따라서, 지지부(110)의 삽입구에 회전부(100)가 삽입된 상태에서, 지지부(110)는 회전부(100)의 원주 방향으로의 외면을 감쌀 수 있다.
삽입구는 회전부(100)의 외면에 대응하는 형상으로 형성될 수 있다. 도 4와 같은 단면을 기준으로, 삽입구는 회전부(100)의 하부부분(102) 외면에 접촉하는 하부 삽입면(1113)과, 상부부분(101) 외면에 접촉하는 상부 삽입면(1111) 및, 회전부(100)의 단차면(1012)에 접촉하는 단차 삽입면(1112)을 포함할 수 있다.
다시 말하면, 회전부(100)의 상부부분(101) 및 하부부분(102)의 크기가 상이한 경우, 지지부(110)의 삽입구의 형태 역시 회전부(100)의 외면 형상에 대응하여 형성될 수 있다. 이와 같은 구조에 의하면, 회전부(100) 및 지지부(110)가 연결되기 위한 접촉 면적이 증가하기 때문에, 지지부(110)가 회전부(100)에 보다 견고하게 연결될 수 있다.
지지부(110)는 외면을 통해 기판(W)의 가장자리를 지지할 수 있다. 지지부(110)의 외면은 도 4와 같은 단면을 기준으로, 기판(W)의 가장자리가 끼워지도록 내측으로 오목지는 안착홈(112)을 포함할 수 있다. 지지부(110)는 안착홈(112)을 기준으로, 안착홈(112)의 상부에서 외측으로 단차지는 상부외면(114)과, 안착홈(112)의 하부에서 하향 경사지며 직경이 증가하는 하부 경사외면(113)을 포함할 수 있다.
하부 경사외면(113)은 기판(W)이 안착홈(112)에 끼워지는 과정에서, 기판(W)이 하부 경사외면(113)을 따라 안착홈(112)으로 이동할 수 있도록 가이드 하는 역할을 수행할 수 있다. 하부 경사외면(113)에 의해, 기판(W)은 경사를 따라 안착홈(112)에 끼워짐으로서, 기판(W)의 가장자리에 과도한 힘이 가해지는 것을 방지할 수 있다.
지지부(110)는 기판(W)의 가장자리를 지지하여 기판(W)을 회전시키는 기능을 수행할 수 있다. 지지부(110)는 제1재질보다 경도가 낮은 제2재질을 포함할 수 있다. 제2재질은 예를 들어, 기판(W)을 충분히 지지할 정도의 마찰력을 가지는 가요성 재질일 수 있다. 제2재질은 예를 들어, 천연고무(NR), NBR(acrylonitrile-butadiene rubber), 불소고무(FKM), 폴리부타디엔 고무(BR), 우레탄(urethane) 중 어느 하나를 포함하는 재질일 수 있다. 제2재질이 제1재질보다 경도가 낮은 경우, 기판(W)의 지지과정에서 발생하는 충격을 흡수함으로써, 기판(W)이 손상되는 것을 방지하고, 마찰력에 의해 기판(W)의 회전 과정에서 기판(W)이 슬립(slip)되는 것을 방지할 수 있다.
특히, 회전부(100)가 경도가 높은 재1재질로 형성되기 때문에, 지지부(110)는 기판(W)의 지지과정에서 형태가 변형되더라도 회전부(100)와의 결합으로 인해 연결된 상태를 견고하게 유지할 수 있다.
제1체결부(121) 및 제2체결부(122)는 회전부(100) 및 지지부(110)의 연결이 해제되지 않도록, 회전부(100) 및 지지부(110)를 견고하게 체결시킬 수 있다. 제1체결부(121) 및 제2체결부(122)는 회전부(100) 및 지지부(110)에 각각 형성되고, 서로 체결될 수 있다. 제1체결부(121)는 회전부(100)의 외면에 형성되고, 제2체결부(122)는 회전부(100)의 외면과 접촉하는 지지부(110)의 접촉면, 즉, 삽입구의 표면에 형성될 수 있다.
제1체결부(121) 및 제2체결부(122)는 복수개 형성될 수 있다. 예를 들어, 도 4와 같이, 제1체결부(121)는 회전부(100) 상부부분(101)의 외면(1011), 하부부분(101)의 외면(1012) 및, 단차면(1012) 중 적어도 어느 하나에 각각 형성될 수 있다. 에 각각 형성될 수 있다. 이 경우, 제2체결부(122)는 상부 삽입면(1111), 하부 삽입면(1113) 및, 단차 삽입면(1112) 중 어느 하나에 각각 형성되고, 대응되는 위치에 형성된 각각의 제1체결부(121)와 체결될 수 있다.
제1체결부(121) 및 제2체결부(122) 중 하나는 회전부(100) 및 지지부(110)의 접촉 부위에 돌출 형성되는 돌출부재를 포함할 수 있다. 이 경우, 제1체결부(121) 및 제2체결부(122) 중 나머지 하나는 상기 돌출부재가 수용되도록 회전부(100) 및 지지부(110)의 접촉부위에 함몰 형성되는 수용홈을 포함할 수 있다.
예를 들어, 제1체결부(121)는 도 4와 같이 회전부(100)의 표면에 돌출 형성되는 돌출부재를 포함하고, 제2체결부(122)는 지지부(110)의 수용구에 함몰 형성되는 수용홈을 포함할 수 있다. 반면, 이와 달리 제2체결부(122)는 수용구에 돌출 형성되는 돌출부재를 포함하고, 제1체결부(121)는 회전부(100)의 표면에 함몰 형성되는 삽입홈을 포함할 수도 있다. 이하에서는, 설명의 편의를 위해 별도의 설명이 없는 한, 제1체결부(121)가 돌출부재를 포함하고, 제2체결부(122)가 수용홈을 포함하는 경우를 가정하여 설명하도록 한다.
돌출부재는 회전부(100)의 원주 방향 둘레를 따라 이어지도록 형성될 수 있다. 즉, 상부에서 바라본 상태를 기준으로, 돌출부재는 고리 형상을 형성할 수 있다. 다만, 이와 달리 돌출부재는 회전부(100)의 표면에 부분적으로 돌출 형성될 수도 있다. 돌출부재가 회전부(100)의 표면에 부분적으로 복수개가 돌출 형성되는 경우, 지지부(110)에는 각각의 돌출부재에 대응하는 삽입홈이 복수개 형성될 수 있다. 따라서, 돌출부재가 삽입홈에 삽입되어 회전부(100) 및 지지부(110)가 연결되는 경우에, 복수의 돌출부재 및 삽입홈의 연결을 통해 지지부(110)가 회전부(100)에 대해 상대적으로 회전하는 것이 방지될 수 있다.
돌출부재 및 삽입홈은 다양한 형상으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 돌출부재는 도 4와 같이 첨단 형태로 좁아지는 삼각형 단면 형상을 가지고, 삽입홈은 삼각형 단면 형상으로 함몰 형성될 수 있다.
한편, 회전부(100) 및 지지부(110)는 서로의 접촉부위에 도포되는 접착제를 통해 접착 연결될 수 있다. 즉, 접착제의 접착력에 의해서 회전부(100) 및 지지부(110)의 결합력이 향상될 수 있다. 이 경우, 회전부(100) 및 지지부(110)의 접촉부위에 형성되는 수용홈에는 접착제가 수용될 수 있다. 따라서, 회전부(100) 및 지지부(110) 사이의 결합력을 접착제를 통해 향상시키면서도, 접착제가 접촉부위의 바깥으로 새어나오는 것이 방지될 수 있다.
결과적으로, 제1체결부(121) 및 제2체결부(122)는 회전부(100) 및 지지부(110)가 연결된 상태에서, 회전부(100)가 회전하게 되면 회전에 의한 충격으로 인해 지지부(110)가 회전부(100)로부터 이탈하는 문제를 방지할 수 있다.
특히, 제1체결부(121)가 하부부분(102) 또는 상부부분(101)의 외면(1011)에 형성되고, 제2체결부(122)가 상부 삽입면(1111) 또는 하부삽입면에 형성되는 경우, 제1체결부(121) 및 제2체결부(122)는 서로 연결됨으로써, 회전부(100) 및 지지부(110) 사이에 작용하는 수직 방향으로의 힘에 대응하기 때문에, 지지부(110)가 회전부(100)로부터 벗겨지는 현상을 효과적으로 방지할 수 있다.
또한, 제1체결부(121)가 단차면(1012)에 형성되고, 제2체결부(122)가 단차 삽입면(1112)에 형성되는 경우에, 제1체결부(121) 및 제2체결부(122)는 수평 방향으로의 로킹력을 제공하는 동시에, 회전부(100) 및 지지부(110) 사이의 접촉 면적을 증가시킴으로써, 접착제에 의한 접착력을 향상시킬 수 있다.
도 5는 일 실시 예에 따른 기판 홀더(10)의 단면도이고, 도 6은 일 실시 예에 따른 기판 홀더(10)의 단면도이다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 돌출부재 및 삽입홈은 다양한 형태로 형성될 수 있다. 예를 들어, 돌출부재(121')는 도 5와 같이 반구형의 라운드진 형태의 단면 형상을 포함하고, 삽입홈(122')은 이에 대응되는 반구형 단면으로 함몰 형성될 수 있다.
한편, 돌출부재(121'')는 도 6과 같이 사각형 형태의 단면 형상을 가지도록 돌출 형성되고, 삽입홈(121'')은 이에 대응되는 사각형 단면 형상으로 함몰 형성될 수 있다.
도 7은 일 실시 예에 따른 기판 홀더(10)의 단면도이다.
도 7을 참조하면, 기판 홀더(10)는 회전부(100), 지지부(110), 제1체결부(121) 및 제2체결부(122)를 포함할 수 있다.
제1체결부(121)는 회전부(100)의 표면에 함몰 형성되는 수용홈을 포함하고, 제2체결부(122)는 상기 수용홈에 끼움결합 되도록 지지부(110)의 삽입구 표면에 돌출 형성되는 돌출부재를 포함할 수 있다.
이 경우, 제1체결부(121)는 회전부(100)의 상부부분(101), 하부부분(102) 및 단차면(1012)에 각각 형성되는 삽입홈을 포함하고, 제2체결부(122)는 지지부(110)의 상부 삽입면(1111), 하부 삽입면(1113) 및 단차 삽입면(1112)에 각각 형성되는 돌출부재를 포함할 수 있다. 각각의 삽입홈 및 돌출부재는 서로 연결됨으로써, 지지부(110) 및 회전부(100)의 연결 상태를 견고하게 유지할 수 있다.
한편, 도면에서는 복수의 제1체결부(121)가 모두 돌출부재를 포함하고, 복수의 제2체결부(122)가 모두 수용홈을 포함하는 형태로 도시하였으나, 이와 달리 복수의 제1체결부(121)는 돌출부재 및 수용홈을 혼합하여 포함하고, 각각의 제1체결부(121)에 대응되는 제2체결부(122) 역시 수용홈 및 돌출부재를 혼합하여 포함할 수도 있다.
도 8은 일 실시 예에 다른 기판 홀더의 단면도이다.
도 8을 참조하면, 일 실시 예에 따른 기판 홀더(20)는, 회전부(200), 지지부(210), 제1체결부(221) 및 제2체결부(222)를 포함할 수 있다.
회전부(200)는 상부부분(201) 및 하부부분(202)을 포함할 수 있다. 단면을 기준으로, 하부부분의 외면(2021)은 상부부분의 외면(2011)보다 외측으로 더 돌출될 수 있다. 이 경우, 상부부분 및 하부부분의 단차면(2022)은 하부부분의 상면에 형성될 수 있다.
지지부는 회전부의 표면 형상에 대응하는 삽입구를 포함하고, 삽입구의 표면은 접촉하는 회전부의 각 부위에 따라 상부 삽입홈(2111), 하부 삽입홈(2113) 및 단차 삽입홈(2112)을 포함할 수 있다.
이와 같이, 회전부의 각 부위가 표면이 단차지도록 형성되는 경우, 회전부 및 지지부의 연결과정에서, 서로의 접촉면적이 증가함으로써, 접착제가 도포되는 부위가 증가하는 효과를 가져올 수 있다.
이상과 같이 비록 한정된 도면에 의해 실시예들이 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기의 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 구조, 장치 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다.
W: 기판
1: 기판 지지 장치
10: 기판 홀더
100: 회전부
110: 지지부

Claims (12)

  1. 회전축을 중심으로 회전하는 회전부;
    상기 회전부의 원주 방향으로의 외면을 감싸도록 상기 회전부에 연결되고, 외면을 통해 기판의 가장자리를 지지하는 지지부; 및
    상기 회전부의 외면에 형성되는 제1체결부와, 상기 회전부와 접촉하는 상기 지지부의 접촉면에 형성되고 상기 제1체결부와 체결되는 제2체결부를 포함하는, 기판 홀더.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 회전부는 외면이 서로 단차지는 하부부분과 상부부분을 포함하고, 상기 하부부분 및 상부부분 사이에 단차면이 형성되는, 기판 홀더.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 회전축에 나란한 단면을 기준으로,
    상기 하부부분 및 상부부분의 외면은 상기 회전축과 평행하고,
    상기 단차면은 상기 회전축에 수직한, 기판 홀더.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 제1체결부는 상기 단차면에 형성되고, 상기 제2체결부는 상기 단차면에 대한 상기 지지부의 접촉부위에 형성되는, 기판 홀더.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 제1체결부는 상기 하부부분 또는 상부부분의 외면에 형성되고, 상기 제1체결부가 형성된 상기 회전부에 대한 상기 지지부의 접촉부위에 형성되는, 기판 홀더.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 제1체결부 및 제2체결부 중 하나는 상기 회전부 및 지지부의 접촉부위에 돌출 형성되는 돌출부재를 포함하고,
    나머지 하나는 상기 돌출부재가 수용되도록 상기 접촉부위에 함몰 형성되는 수용홈을 포함하는, 기판 홀더.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 돌출부재는 상기 하부부분 또는 상부부분의 외측면과, 상기 단차면에 각각 형성되고,
    상기 수용홈은 상기 각각의 돌출부재가 형성된 상기 회전부의 외면과 접촉하는 상기 지지부의 접촉부위에 각각 형성되는, 기판 홀더.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 회전부 및 지지부의 접촉부위에는 접착제가 도포되고,
    상기 수용홈에는 상기 접착제가 수용되는, 기판 홀더.
  9. 제6항에 있어서,
    상부에서 바라본 상태를 기준으로,
    상기 돌출부재 및 수용홈은 고리 형상인, 기판 홀더.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 지지부의 외면에는 상기 기판의 가장자리가 안착되는 안착홈이 형성되는, 기판 홀더.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 회전부는 제1재질을 포함하고,
    상기 지지부는 제1재질보다 경도가 낮은 제2재질을 포함하는, 기판 홀더.
  12. 제1항 내지 제11항 중 어느 하나의 기판 홀더를 복수개 포함하고,
    상기 복수개의 기판 홀더는 기판 가장자리의 복수 부위를 각각 지지하고, 동일한 속도로 회전함으로써 상기 기판을 회전시키는, 기판 지지 장치.
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