KR20200132206A - Planarizer for crucible for evaporation source - Google Patents

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KR20200132206A
KR20200132206A KR1020190057340A KR20190057340A KR20200132206A KR 20200132206 A KR20200132206 A KR 20200132206A KR 1020190057340 A KR1020190057340 A KR 1020190057340A KR 20190057340 A KR20190057340 A KR 20190057340A KR 20200132206 A KR20200132206 A KR 20200132206A
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김영범
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Abstract

The present invention relates to a planarizer for a crucible for an evaporation source, and more specifically, to the planarizer for the crucible for the evaporation source, which rotates the crucible to be parallel to the ground so that the evaporation source can be flat. Further, according to the present invention, provided is the planarizer for the crucible for the evaporation source, which includes: a gripping module for holding a plurality of crucibles; and a rotation module that rotates the gripping module, thus rotating the crucible parallel to the ground and applying vibration to the crucible to make the evaporation source flat.

Description

증발원용 도가니 평탄화 장치{Planarizer for crucible for evaporation source}Planarizer for crucible for evaporation source}

본 발명은 증발원용 도가니 평탄화 장치에 관한 것으로, 특히 도가니를 지면을 향하여 평행하도록 회전시킴으로 증발원이 평탄하게 될 수 있도록 한 증발원용 도가니 평탄화 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a crucible flattening apparatus for an evaporation source, and more particularly, to a crucible flattening apparatus for an evaporation source in which the evaporation source can be flattened by rotating the crucible to be parallel to the ground.

증발원용 도가니 안에 분말형태의 유기물질, 금속물질 등의 증발물질을 담아 히터로 가열하면, 증발물질이 증발되어 증발입자가 도가니 상단의 개구부나 노즐을 통해 기판에 분사되면서 박막이 형성된다. When evaporation substances such as powdered organic substances and metal substances are placed in a crucible for an evaporation source and heated with a heater, the evaporated substances are evaporated and the evaporated particles are sprayed onto the substrate through an opening or nozzle at the top of the crucible to form a thin film.

이때 박막의 두께 균일도는 최종 제품의 품질에 매우 중요한 영향을 미치는 요인이 되며, 두께 균일도 향상을 위해 여러 가지 방안이 모색되고 있다.At this time, the thickness uniformity of the thin film becomes a factor that has a very important influence on the quality of the final product, and various methods are being sought to improve the thickness uniformity.

도 1은 종래 기술에 따른 증발원용 도가니를 설명하기 위한 도면이다. 종래 기술에 따른 증발원용 도가니(100)는, 용기 형상을 이루고 있고, 용기 형상의 도가니(100)의 내부에 증발물질(102)이 충전된 상태에서 증착 장치의 히터(103)에 삽입된다.1 is a view for explaining a crucible for an evaporation source according to the prior art. The crucible 100 for an evaporation source according to the prior art has a shape of a container, and is inserted into the heater 103 of the evaporation apparatus while the evaporation material 102 is filled inside the crucible 100 of the container shape.

히터(103)는, 도가니(100)의 외주면에 대향하여 열선(104)이 분포되도록 실린더 형태로 구성되며 실린더 형태의 히터(103)에 증발물질(102)이 충전된 도가니(100)를 삽입하게 된다. The heater 103 is configured in a cylinder shape so that the heating wire 104 is distributed opposite the outer circumferential surface of the crucible 100, and inserts the crucible 100 filled with the evaporation material 102 into the cylinder-shaped heater 103. do.

히터(103)의 열선(104)은 도가니(100)의 외주면 전체가 가열되도록 도가니(100)의 외주면 상에 분포된다.The heating wire 104 of the heater 103 is distributed on the outer peripheral surface of the crucible 100 so that the entire outer peripheral surface of the crucible 100 is heated.

그런데, 도가니(100) 내부에 충전되어 있는 증발물질(102)의 증발은 증발물질(102)의 최상단에서 이루어지는데 증발물질(102)이 평탄화가 되지 않은 경우에 불균일하게 되어 기판에 증착 두께가 위치에 따라 불균일하게 되는 문제가 있었다.However, evaporation of the evaporation material 102 filled in the crucible 100 takes place at the top of the evaporation material 102, but when the evaporation material 102 is not flattened, it becomes non-uniform and the deposition thickness is located on the substrate. There was a problem of becoming non-uniform according to.

공개번호 10-2014-0081567호Publication No. 10-2014-0081567

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 도가니를 지면을 향하여 평행하도록 회전시킴으로 증발원이 평탄하게 될 수 있도록 한 증발원용 도가니 평탄화 장치를 제공하는데 있다.The present invention has been conceived to solve the above problems, and is to provide a crucible flattening apparatus for an evaporation source in which the evaporation source can be flattened by rotating the crucible in parallel to the ground.

본 발명은 다수의 도가니를 파지하는 파지 모듈; 및 상기 파지 모듈을 회전시키는 회전 모듈을 포함하고 있다.The present invention is a holding module for holding a plurality of crucibles; And a rotation module that rotates the gripping module.

또한, 본 발명의 상기 회전 모듈이 파지 모듈을 회전시키면, 도가니가 지면과 수평이 되면서 회전되어 도가니의 안에 구비된 증발원의 공기가 외부로 배출되며, 표면이 평탄화된다.In addition, when the rotating module of the present invention rotates the gripping module, the crucible is rotated while being level with the ground, so that the air from the evaporation source provided in the crucible is discharged to the outside, and the surface is flattened.

또한, 본 발명의 상기 회전 모듈은 파지 모듈을 회전시키면, 도가니에 진동을 발생시킨다.In addition, the rotation module of the present invention generates vibration in the crucible when the gripping module is rotated.

또한, 본 발명의 상기 회전 모듈은 도가니 공급축의 상단 외측에 삽입되어 회전가능한 허브; 상기 허브의 하측에 로드 인출단과 로드 인입단으로 분리되어 구비된 원형고정판; 하기 에어실린더 및 도가니 파지부의 하단에 설치되어 에어실린더 및 도가니 파지부를 지지하면서 회전가능한 회전베이스; 및 상기 회전베이스의 하부에 설치되어 벨트에 의해 전달되는 동력을 회전베이스에 전달하도록 하는 하우징을 포함하며, 상기 파지 모듈은 상기 허브에 에어호스로 연결되어 에어를 공급하는 다수 개의 에어공급부; 상기 원형고정판의 하측에 설치되며, 에어공급부와 에어호스로 연결되어 구동력을 전달하는 다수 개의 에어 실린더; 및 상기 에어실린더의 일측에 구비되어 에어실린더의 구동에 의해 도가니를 파지하는 다수 개의 도가니 파지부를 포함하는 구성을 특징으로 한다.In addition, the rotation module of the present invention is inserted into the outer upper end of the crucible supply shaft, the hub rotatable; A circular fixing plate separated and provided at a lower side of the hub into a rod withdrawal end and a rod withdrawal end; A rotary base installed at the lower end of the following air cylinder and crucible holding unit and rotatable while supporting the air cylinder and crucible holding unit; And a housing installed under the rotation base to transmit power transmitted by the belt to the rotation base, wherein the gripping module includes a plurality of air supply units connected to the hub through an air hose to supply air; A plurality of air cylinders installed under the circular fixing plate and connected by an air supply unit and an air hose to transmit driving force; And a plurality of crucible gripping portions provided on one side of the air cylinder and gripping the crucible by driving the air cylinder.

또한, 본 발명의 상기 원형고정판은 턱을 형성하며 돌출된 로드인출단과, 상기 로드인출단의 일측에 소정을 깊이로 들어가서 형성된 로드인입단으로 구성된 것을 특징으로 한다.In addition, the circular fixing plate of the present invention is characterized in that it is composed of a rod withdrawal end protruding while forming a jaw, and a rod inlet end formed by entering a predetermined depth into one side of the rod withdrawal end.

또한, 본 발명의 상기 에어공급부는 허브와 연결되어 에어를 공급하는 제1 에어공급호스와, 상기 회전베이스상에서 설치되며, 제1 에어공급호스와 연결되는 호스연결부재와, 상기 호스연결부재와 에어실린더사이에 연결되어 에어를 공급하는 제2 에어공급호스 및 제3 에어공급호스와, 상기 호스연결부재의 후면에 바퀴지지부재에 의해 결합된 바퀴로 구성되되 상기 바퀴가 상기 원형고정판의 로드인출단상에 놓여져 있을 때는 제1 에어공급호스를 통해 제2 에어공급호스로 에어가 전달되어 에어실린더의 실린더로드를 밖으로 밀어내고, 상기 바퀴가 상기 원형고정판의 로드인입단상에 놓여져 있을 때는 제1 에어공급호스 및 제3 에어공급호스에 의해 에어실린더의 실린더로드를 안으로 당기는 것을 특징으로 한다.In addition, the air supply unit of the present invention includes a first air supply hose connected to a hub to supply air, a hose connection member installed on the rotating base and connected to the first air supply hose, and the hose connection member and air. It is composed of a second air supply hose and a third air supply hose connected between cylinders to supply air, and a wheel coupled to the rear surface of the hose connection member by a wheel support member, wherein the wheel is on the rod withdrawal end of the circular fixing plate. When it is placed on, air is delivered to the second air supply hose through the first air supply hose to push the cylinder rod of the air cylinder out, and when the wheel is placed on the rod inlet end of the circular fixing plate, the first air supply hose And the cylinder rod of the air cylinder is pulled inward by the third air supply hose.

또한, 본 발명의 상기 도가니 파지부는 회전베이스 상에 고정되며, 일측 중앙에 도가니가 끼워질 수 있도록 반원형 홈이 형성된 도가니 지지베이스와, 상기 도가니 지지베이스의 양단에 고정된 사이드 로드와, 상기 사이드 로드의 외측에 삽입되어 이동가능하며, 일측 중앙에 도가니가 끼워질 수 있도록 반원형 홈이 형성된 도가니 밀착베이스와, 상기 도가니 지지베이스상에 구비되되 연결부재로 도가니 밀착베이스와 결합되어 에어실린더에 의해 도가니 밀착베이스와 일체로 구동되는 이동베이스로 구성된 것을 특징으로 한다.In addition, the crucible gripping part of the present invention is fixed on the rotating base, the crucible support base having a semicircular groove so that the crucible can be fitted in the center of one side, side rods fixed to both ends of the crucible support base, and the side rod The crucible adherence base is inserted and movable on the outside and has a semicircular groove formed in the center of one side of the crucible, and is provided on the crucible support base, but is coupled to the crucible contact base as a connecting member, and is in close contact with the crucible by an air cylinder. It is characterized by consisting of a moving base that is driven integrally with the base.

또한, 본 발명의 상기 회전베이스의 일측에는 이송될 도가니를 받쳐주는 도가니 받침대가 설치되고, 상기 도가니 받침대의 중앙 하측에는 도가니 받침대를 상,하로 구동시키는 받침대 구동부가 설치되고, 상기 도가니 받침대의 양측에는 도가니 받침대가 구동시 가이드를 하는 한쌍의 가이드부가 설치된 것을 특징으로 한다.In addition, a crucible stand for supporting the crucible to be transferred is installed on one side of the rotating base of the present invention, and a pedestal driving unit for driving the crucible stand up and down is installed at the lower center of the crucible stand, and both sides of the crucible stand It is characterized in that a pair of guide portions that guide when the crucible stand is driven are installed.

또한, 본 발명의 상기 가이드부는 도가니 받침대의 일측에 부착되는 가이드 블럭과, 상기 가이드 블럭에 삽입되는 가이드 봉과, 상기 가이드 봉의 상단과 일체되어 가이드 봉을 지지하는 지지대로 구성된 것을 특징으로 한다.In addition, the guide portion of the present invention is characterized in that it is composed of a guide block attached to one side of the crucible stand, a guide rod inserted into the guide block, and a support unit integrally with the upper end of the guide rod to support the guide rod.

본 발명에 따르면, 도가니를 지면을 향하여 평행하도록 회전시킴으로 증발원이 평탄하게 될 수 있도록 한다.According to the present invention, the evaporation source can be made flat by rotating the crucible in parallel toward the ground.

또한, 본 발명에 따르면, 도가니에 진동을 가함으로 증발원이 평탄하게 될 수 있도록 한다.Further, according to the present invention, the evaporation source can be made flat by applying vibration to the crucible.

도 1은 종래 기술에 따른 증발원용 도가니를 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원용 도가니 평탄화 장치의 구성도이다.
도 3은 도 2의 도가니가 지면과 수평을 이루는 과정을 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 도 2의 도가니의 파지 모듈이 신축되는 과정을 설명하기 위한 도면이다.
도 5a는 본 발명에 따른 증발원용 도가니 평탄화 장치의 구성을 도시한 사시도이고, 도 5b는 본 발명의 에어공급부의 바퀴가 로드인출단에 안착된 상태를 도시한 부분 사시도이고, 도 5c는 본 발명의 에어공급부의 바퀴가 로드인입단에 안착된 상태를 도시한 부분 사시도이다.
도 6은 본 발명에 따른 증발원용 도가니 평탄화 장치의 구성을 도시한 평면도이다.
도 7은 본 발명에 따른 증발원용 도가니 평탄화 장치의 구성을 도시한 측면도이다.1 is a view for explaining a crucible for an evaporation source according to the prior art.
2 is a block diagram of an apparatus for flattening a crucible for an evaporation source according to an embodiment of the present invention.
3 is a view for explaining a process in which the crucible of FIG. 2 is level with the ground.
FIG. 4 is a diagram illustrating a process of expanding and contracting the holding module of the crucible of FIG. 2.
Figure 5a is a perspective view showing the configuration of the crucible flattening device for an evaporation source according to the present invention, Figure 5b is a partial perspective view showing a state in which the wheel of the air supply unit of the present invention is seated on the rod withdrawal end, Figure 5c is the present invention It is a partial perspective view showing a state in which the wheel of the air supply unit of is seated at the rod inlet end.
6 is a plan view showing the configuration of a crucible flattening apparatus for an evaporation source according to the present invention.
7 is a side view showing the configuration of a crucible flattening apparatus for an evaporation source according to the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시 예를 상세하게 설명한다. 본 발명의 구성 및 그에 따른 작용 효과는 이하의 상세한 설명을 통해 명확하게 이해될 것이다. 본 발명의 상세한 설명에 앞서, 동일한 구성요소에 대해서는 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 동일한 부호로 표시하며, 공지된 구성에 대해서는 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 구체적인 설명은 생략하기로 함에 유의한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The configuration of the present invention and its effect will be clearly understood through the detailed description below. Note that prior to the detailed description of the present invention, the same components are denoted by the same reference numerals as possible even if they are displayed on different drawings, and a detailed description will be omitted when it is determined that the gist of the present invention may be obscure for known components. do.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원용 도가니 평탄화 장치의 구성도이다.2 is a block diagram of an apparatus for flattening a crucible for an evaporation source according to an embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원용 도가니 평탄화 장치는 다수의 도가니를 파지하는 파지 모듈(1)과 파지 모듈(1)을 회전시키는 회전 모듈(2)를 구비하고 있다.Referring to FIG. 2, the crucible flattening apparatus for an evaporation source according to an embodiment of the present invention includes a gripping module 1 for gripping a plurality of crucibles and a rotation module 2 for rotating the gripping module 1.

이와 같은 구성에서 회전 모듈(2)이 파지 모듈(1)을 회전시키면, 도 3에 도시된 바와 같이, 도가니(3)가 지면과 수평이 될 수 있도록 파지 모듈(1)은 수직이동 기능을 제공하며, 이에 따라 도가니(3)의 안에 구비된 증발원은 공기가 외부로 배출되고, 표면이 평탄화된다.In this configuration, when the rotation module 2 rotates the gripping module 1, the gripping module 1 provides a vertical movement function so that the crucible 3 can be horizontal with the ground, as shown in FIG. 3. Accordingly, the evaporation source provided in the crucible 3 is discharged to the outside and the surface is flattened.

이때, 도 4에 도시된 바와 같이 도가니 파지 모듈(1)의 폭이 증감되어 원하는 크기의 도가니를 파지할 수 있으며, 도가니에 진동을 주어 더욱더 효과적으로 평탄화가 진행되도록 할 수 있다.In this case, as shown in FIG. 4, the width of the crucible holding module 1 is increased or decreased to grip a crucible having a desired size, and a vibration may be applied to the crucible so that flattening can be carried out more effectively.

한편, 도 5a는 본 발명에 따른 증발원용 도가니 평탄화 장치의 구성을 도시한 사시도이고, 도 5b는 본 발명의 에어공급부의 바퀴가 로드인출단에 안착된 상태를 도시한 부분 사시도이고, 도 5c는 본 발명의 에어공급부의 바퀴가 로드인입단에 안착된 상태를 도시한 부분 사시도이고, 도 6은 본 발명에 따른 증발원용 도가니 평탄화 장치의 구성을 도시한 평면도이고, 도 7은 본 발명에 따른 증발원용 도가니 평탄화 장치의 구성을 도시한 측면도이다.On the other hand, Figure 5a is a perspective view showing the configuration of the crucible flattening device for an evaporation source according to the present invention, Figure 5b is a partial perspective view showing a state in which the wheel of the air supply unit of the present invention is seated on the rod withdrawal end, Figure 5c is Partial perspective view showing a state in which the wheel of the air supply unit of the present invention is seated at the rod inlet end, Figure 6 is a plan view showing the configuration of the crucible flattening apparatus for an evaporation source according to the present invention, and Figure 7 is evaporation according to the present invention It is a side view showing the structure of the crucible flattening apparatus for a circle.

도 5a 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 증발원용 도가니 평탄화 장치는 도가니 공급축(100)의 상단 외측에 삽입되어 회전가능한 허브(101)가 구비되고, 상기 허브(101)의 하측에 원형고정판(110)이 고정된다. 5A to 7, the crucible flattening apparatus for an evaporation source according to the present invention includes a hub 101 that is rotatable by being inserted outside the upper end of the crucible supply shaft 100, and the lower side of the hub 101 The circular fixing plate 110 is fixed to.

여기서, 상기 원형고정판(110)은 턱을 형성하며 돌출된 로드인출단(111)과, 상기 로드인출단(111)의 일측에 소정을 깊이로 들어가서 형성된 로드인입단(112)으로 구성된다.Here, the circular fixing plate 110 includes a rod withdrawal end 111 protruding while forming a jaw, and a rod inlet 112 formed by entering a predetermined depth into one side of the rod withdrawal end 111.

상기 허브(101)의 외측에는 에어호스로 연결된 다수 개의 에어공급부(120)가 설치되는데, 이 때, 상기 에어공급부(120)에는 허브(101)와 연결되어 에어를 공급하는 제1 에어공급호스(121)가 구비되고, 상기 회전베이스(140)상에서 설치되며, 제1 에어공급호스(121)와 연결되는 호스연결부재(126)가 구비되고, 상기 호스연결부재(126)와 에어실린더(127)사이에 연결되어 에어를 공급하는 제2 에어공급호스(122) 및 제3 에어공급호스(123)가 구비되고, 상기 호스연결부재(126)의 후면에 바퀴지지부재(125)에 의해 결합된 바퀴(124)가 구비된다.A plurality of air supply units 120 connected by air hoses are installed outside the hub 101, and at this time, a first air supply hose connected to the hub 101 and supplying air to the air supply unit 120 121) is provided, is installed on the rotating base 140, is provided with a hose connecting member 126 connected to the first air supply hose 121, the hose connecting member 126 and the air cylinder 127 A wheel connected between the second air supply hose 122 and the third air supply hose 123 to supply air, and coupled by a wheel support member 125 at the rear of the hose connection member 126 124 is provided.

여기에서, 허브(101), 원형 고정판(110) 및 회전베이스(140)은 회전 모듈에 해당하며, 에어공급부(120)는 파지 모듈에 해당한다.Here, the hub 101, the circular fixing plate 110 and the rotation base 140 correspond to a rotation module, and the air supply unit 120 corresponds to a gripping module.

상기와 같은 구성을 갖는 에어공급부(120)에서, 도 5b와 같이, 상기 바퀴(124)가 상기 원형고정판(110)의 로드인출단(111)상에 놓여져 있을 때는 제1 에어공급호스(121)를 통해 제2 에어공급호스(122)로 에어가 전달되어 에어실린더(127)의 실린더로드(128)를 밖으로 밀어낸다.In the air supply unit 120 having the above configuration, as shown in FIG. 5B, when the wheel 124 is placed on the rod withdrawal end 111 of the circular fixing plate 110, the first air supply hose 121 Air is delivered to the second air supply hose 122 through and pushes the cylinder rod 128 of the air cylinder 127 out.

반면에, 도 5c와 같이, 상기 바퀴(124)가 상기 원형고정판의 로드인입단(112)상에 놓여져 있을 때는 제1 에어공급호스(121) 및 제3 에어공급호스(123)에 의해 에어실린더(127)의 실린더로드(128)를 안으로 당기게 된다.On the other hand, as shown in FIG. 5C, when the wheel 124 is placed on the rod inlet end 112 of the circular fixing plate, the air cylinder is provided by the first air supply hose 121 and the third air supply hose 123. The cylinder rod 128 of 127 is pulled in.

또한, 상기 원형고정판(110)의 하측에는 에어공급부(120)와 에어호스로 연결되어 구동력을 전달하는 다수 개의 에어실린더(127)가 설치되고, 상기 에어실린더(127)의 일측에는 에어실린더(127)의 구동에 의해 도가니(21)를 파지하는 다수개의 도가니 파지부(130)가 설치된다. 여기에서, 도가니 파지부(130)는 파지 모듈에 해당한다.In addition, a plurality of air cylinders 127 that are connected to an air supply unit 120 and an air hose to transmit driving force are installed at the lower side of the circular fixing plate 110, and an air cylinder 127 is provided at one side of the air cylinder 127. ), a plurality of crucible gripping parts 130 for gripping the crucible 21 are installed. Here, the crucible holding unit 130 corresponds to a holding module.

여기서, 상기 도가니 파지부(130)에는 회전베이스(140) 상에 고정되며, 일측 중앙에 도가니(21)가 끼워질 수 있도록 반원형 홈이 형성된 도가니 지지베이스(133)가 구비되고, 상기 도가니 지지베이스(133)의 양단에는 사이드 로드(132)가 고정된다.Here, the crucible holding part 130 is provided with a crucible support base 133 that is fixed on the rotating base 140 and has a semicircular groove formed at the center of one side so that the crucible 21 can be fitted, and the crucible support base Side rods 132 are fixed to both ends of 133.

상기 사이드 로드(132)의 외측에는 이동가능하며, 일측 중앙에 도가니가 끼워질 수 있도록 반원형 홈이 형성된 도가니 밀착베이스(134)가 삽입되고, 상기 도가니 지지베이스(133)상에는 연결부재(131)로 도가니 밀착베이스(134)와 결합되어 에어실린더(127)에 의해 도가니 밀착베이스(134)와 일체로 구동되는 이동베이스(135)가 구비된다.A crucible close contact base 134, which is movable outside of the side rod 132 and has a semicircular groove so that the crucible can be fitted in the center of one side, is inserted, and a connecting member 131 is provided on the crucible support base 133. A moving base 135 is provided that is coupled to the crucible adhesion base 134 and integrally driven with the crucible adhesion base 134 by the air cylinder 127.

한편, 상기 에어실린더(127) 및 도가니 파지부(130)의 하단에는 에어실린더(127) 및 도가니 파지부(130)를 지지하면서 회전가능한 회전베이스(140)가 설치되고, 상기 회전베이스(140)의 하부에는 벨트(144)에 의해 전달되는 동력을 회전베이스(140)에 전달하도록 하는 하우징(142)이 설치된다.Meanwhile, a rotary base 140 that is rotatable while supporting the air cylinder 127 and the crucible holding unit 130 is installed at the lower end of the air cylinder 127 and the crucible holding unit 130, and the rotary base 140 A housing 142 for transmitting the power transmitted by the belt 144 to the rotating base 140 is installed at the lower portion of the belt 144.

그리고, 상기 회전베이스(140)의 일측에는 이송될 도가니(21)를 받쳐주는 도가니 받침대(141)가 설치되고, 상기 도가니 받침대(141)의 중앙 하측에는 도가니 받침대(141)을 상,하로 구동시키는 받침대 구동부(143)가 설치되고, 상기 도가니 받침대(141)의 양측에는 도가니 받침대(141)가 구동시 가이드를 하는 한쌍의 가이드부(150)가 설치된다.In addition, a crucible support 141 that supports the crucible 21 to be transferred is installed on one side of the rotating base 140, and drives the crucible support 141 up and down at the center lower side of the crucible support 141. A pedestal driving unit 143 is installed, and a pair of guide portions 150 for guiding when the crucible pedestal 141 is driven are installed on both sides of the crucible pedestal 141.

상기 가이드부(150)는 도가니 받침대(141)의 일측에 부착되는 가이드 블럭(153)과, 상기 가이드 블럭(153)에 삽입되는 가이드 봉(152)과, 상기 가이드 봉(152)의 상단과 일체되어 가이드 봉(152)을 지지하는 지지대(151)로 구성된다.The guide part 150 is integral with a guide block 153 attached to one side of the crucible stand 141, a guide rod 152 inserted into the guide block 153, and an upper end of the guide rod 152 It is composed of a support 151 for supporting the guide rod 152.

상기와 같은 구성을 갖는 본 발명에 따른 증발원용 도가니 평탄화 장치의 작용을 살펴보면 다음과 같다.Looking at the operation of the crucible flattening apparatus for an evaporation source according to the present invention having the configuration as described above is as follows.

상기 원형고정판(110)에 형성된 로드인출단(111)에 에어공급부(120)의 바퀴(124)가 안착되면 허브(101)에 연결된 제1 에어공급호스(121)를 통해 호스연결부재(126)에 연결된 제2 에어공급호스(122)로 에어가 공급되어 에어실린더(127)가 구동된다.When the wheel 124 of the air supply unit 120 is seated on the rod withdrawal end 111 formed on the circular fixing plate 110, the hose connection member 126 through the first air supply hose 121 connected to the hub 101 Air is supplied to the second air supply hose 122 connected to and the air cylinder 127 is driven.

그러면, 상기 에어실린더(127)의 구동에 의해 실린더 로드(128)는 밖으로 밀려나오며 이동베이스(135)를 연동하여 밀어내고, 이어서 상기 이동베이스(135)가 앞으로 밀리면서 이동베이스(135)와 일체로 결합된 도가니 밀착베이스(134)와 도가니 지지베이스(133)는 서로 벌어진다.Then, by the drive of the air cylinder 127, the cylinder rod 128 is pushed out and interlocked with the moving base 135 to be pushed out, and then the moving base 135 is pushed forward and integrally with the moving base 135. The crucible close contact base 134 and the crucible support base 133 are coupled to each other.

그런 후에, 상기 도가니 받침대(141)상에 구비된 열려진 도가니 파지부(130)안으로 다양한 길이의 도가니(21)를 놓는다.After that, the crucible 21 of various lengths is placed into the open crucible holding portion 130 provided on the crucible support 141.

이 때, 상기 도가니(21)의 길이가 길면 상기 도가니 받칟대(141)의 하부에 구비된 받침대 구동부(143)를 작동시켜 도가니 받침대(141)를 밑으로 내려서 길이를 적당히 조절하고, 반대로 도가니(21)의 길이가 짧으면 받침대 구동부(143)에 의해 상기 도가니 받침대(141)를 위로 올려서 도가니의 길이를 적당히 조절한다.At this time, if the length of the crucible 21 is long, the crucible support 141 is lowered by operating the support driving unit 143 provided in the lower part of the crucible support 141 to adjust the length appropriately, and reverse the crucible ( If the length of 21) is short, the crucible support 141 is lifted upward by the support driving unit 143 to properly adjust the length of the crucible.

상기와 같이 열려진 도가니 파지부(130)에 도가니(21)를 끼운 후에 하우징(142)에 내장된 동력수단에 의해 회전베이스(140)를 회전시키면 상기 회전베이스(140)와 함께 도가니가 삽입된 도가니 파지부(130)도 연동되어 회전된다.After inserting the crucible 21 into the crucible holding part 130 opened as described above, when the rotating base 140 is rotated by the power means built in the housing 142, the crucible is inserted together with the rotating base 140 The gripping part 130 is also interlocked and rotated.

이와 같이, 상기 도가니 파지부(130)가 회전이동되면 호스연결부재(126)에 부설된 바퀴(124)는 로드인출단(111)에서 로드 인입단(112)으로 이동되고, 상기 바퀴(124)가 로드 인입단(112)에 안착이 되면 에어 실린더(127)의 실린더 로드(128)가 안쪽으로 당겨지게 되므로 상기 실린더 로드(128)와 연결된 이동 베이스(135) 및 도가니 밀착베이스(134)가 연동되어 안쪽으로 밀착된다.In this way, when the crucible gripping part 130 is rotated, the wheel 124 attached to the hose connection member 126 is moved from the rod withdrawal end 111 to the rod inlet 112, and the wheel 124 The cylinder rod 128 of the air cylinder 127 is pulled inward when the rod inlet 112 is seated, so the moving base 135 connected to the cylinder rod 128 and the crucible contact base 134 are interlocked. And sticks to the inside.

상기와 같이, 도가니 밀착베이스(134)가 도가니 지지베이스(133)쪽으로 밀착되면서 도가니(21)가 떨어지지 않도록 파지하게 되고, 상기 파지된 도가니(21)는 회전베이스(140)가 회전하게 되면, 지면과 수평하게 되어 안에 채워져 있는 증발원에서 공기가 배출되고, 표면이 평탄화가 된다.As described above, as the crucible close contact base 134 is in close contact with the crucible support base 133, the crucible 21 is gripped so that the crucible 21 does not fall, and when the rotation base 140 rotates, the ground The air is discharged from the evaporation source filled in and the surface is flattened.

이때, 도가니에 진동이 가해지면 그 효과가 배가된다.At this time, when vibration is applied to the crucible, the effect is doubled.

이상의 설명은 본 발명을 예시적으로 설명한 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술적 사상에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변형이 가능할 것이다. 따라서 본 발명의 명세서에 개시된 실시 예들은 본 발명을 한정하는 것이 아니다. 본 발명의 범위는 아래의 특허청구범위에 의해 해석되어야 하며, 그와 균등한 범위 내에 있는 모든 기술도 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석해야 할 것이다.The above description is only illustrative of the present invention, and various modifications may be made without departing from the technical spirit of the present invention by those of ordinary skill in the technical field to which the present invention belongs. Therefore, the embodiments disclosed in the specification of the present invention do not limit the present invention. The scope of the present invention should be interpreted by the following claims, and all technologies within the scope equivalent thereto should be interpreted as being included in the scope of the present invention.

1: 파지 모듈
2: 회전 모듈
3: 도가니1: gripping module
2: rotating module
3: crucible

Claims (9)

다수의 도가니를 파지하는 파지 모듈; 및
상기 파지 모듈을 회전시키는 회전 모듈을 포함하고 있는 증발원용 도가니 평탄화 장치.A gripping module for gripping a plurality of crucibles; And
A crucible flattening apparatus for an evaporation source comprising a rotation module that rotates the holding module. 청구항 1항에 있어서,
상기 회전 모듈이 파지 모듈을 회전시키면, 도가니가 지면과 수평이 되면서 회전되어 도가니의 안에 구비된 증발원의 공기가 외부로 배출되며, 표면이 평탄화되는 증발원용 도가니 평탄화 장치.The method of claim 1,
When the rotating module rotates the gripping module, the crucible is rotated while being horizontal to the ground, so that the air from the evaporation source provided in the crucible is discharged to the outside, and the surface is flattened. 청구항 2항에 있어서,
상기 회전 모듈은 파지 모듈을 회전시키면, 도가니에 진동을 발생시키는 증발원용 도가니 평탄화 장치.The method of claim 2,
The rotating module is a crucible flattening device for an evaporation source generating vibration in the crucible when the holding module is rotated. 청구항 1항에 있어서,
상기 회전 모듈은
도가니 공급축의 상단 외측에 삽입되어 회전가능한 허브;
상기 허브의 하측에 로드 인출단과 로드 인입단으로 분리되어 구비된 원형고정판;
하기 에어실린더 및 도가니 파지부의 하단에 설치되어 에어실린더 및 도가니 파지부를 지지하면서 회전가능한 회전베이스; 및
상기 회전베이스의 하부에 설치되어 벨트에 의해 전달되는 동력을 회전베이스에 전달하도록 하는 하우징을 포함하며,
상기 파지 모듈은
상기 허브에 에어호스로 연결되어 에어를 공급하는 다수 개의 에어공급부;
상기 원형고정판의 하측에 설치되며, 에어공급부와 에어호스로 연결되어 구동력을 전달하는 다수 개의 에어 실린더; 및
상기 에어실린더의 일측에 구비되어 에어실린더의 구동에 의해 도가니를 파지하는 다수 개의 도가니 파지부를 포함하는 구성을 특징으로 하는 증발원용 도가니 평탄화 장치.The method of claim 1,
The rotation module
A hub that is inserted outside the upper end of the crucible supply shaft and rotatable;
A circular fixing plate separated and provided at a lower side of the hub into a rod withdrawal end and a rod withdrawal end;
A rotary base installed at the lower end of the following air cylinder and crucible holding unit and rotatable while supporting the air cylinder and crucible holding unit; And
It includes a housing installed below the rotation base to transmit power transmitted by the belt to the rotation base,
The gripping module is
A plurality of air supply units connected to the hub through an air hose to supply air;
A plurality of air cylinders installed under the circular fixing plate and connected by an air supply unit and an air hose to transmit driving force; And
A crucible flattening apparatus for an evaporation source, comprising a plurality of crucible grips provided on one side of the air cylinder and gripping the crucible by driving the air cylinder. 청구항 4항에 있어서,
상기 원형고정판은 턱을 형성하며 돌출된 로드인출단과, 상기 로드인출단의 일측에 소정을 깊이로 들어가서 형성된 로드인입단으로 구성된 것을 특징으로 하는 증발원용 도가니 평탄화 장치.The method of claim 4,
The circular fixing plate is a crucible flattening device for an evaporation source, characterized in that consisting of a rod withdrawal end protruding while forming a jaw, and a rod inlet end formed by entering a predetermined depth into one side of the rod withdrawal end. 청구항 4항에 있어서,
상기 에어공급부는 허브와 연결되어 에어를 공급하는 제1 에어공급호스와, 상기 회전베이스상에서 설치되며, 제1 에어공급호스와 연결되는 호스연결부재와, 상기 호스연결부재와 에어실린더사이에 연결되어 에어를 공급하는 제2 에어공급호스 및 제3 에어공급호스와, 상기 호스연결부재의 후면에 바퀴지지부재에 의해 결합된 바퀴로 구성되되 상기 바퀴가 상기 원형고정판의 로드인출단상에 놓여져 있을 때는 제1 에어공급호스를 통해 제2 에어공급호스로 에어가 전달되어 에어실린더의 실린더로드를 밖으로 밀어내고, 상기 바퀴가 상기 원형고정판의 로드인입단상에 놓여져 있을 때는 제1 에어공급호스 및 제3 에어공급호스에 의해 에어실린더의 실린더로드를 안으로 당기는 것을 특징으로 하는 증발원용 도가니 평탄화 장치.The method of claim 4,
The air supply unit is connected between the first air supply hose connected to the hub to supply air, the hose connection member installed on the rotating base and connected to the first air supply hose, and the hose connection member and the air cylinder. It is composed of a second air supply hose and a third air supply hose supplying air, and a wheel joined by a wheel support member on the rear surface of the hose connection member, but when the wheel is placed on the rod withdrawal end of the circular fixing plate 1 Air is delivered to the second air supply hose through the air supply hose to push the cylinder rod of the air cylinder out, and when the wheel is placed on the rod inlet end of the circular fixing plate, the first air supply hose and the third air supply A crucible flattening device for an evaporation source, characterized in that the cylinder rod of the air cylinder is pulled inward by a hose. 청구항 4항에 있어서,
상기 도가니 파지부는 회전베이스 상에 고정되며, 일측 중앙에 도가니가 끼워질 수 있도록 반원형 홈이 형성된 도가니 지지베이스와, 상기 도가니 지지베이스의 양단에 고정된 사이드 로드와, 상기 사이드 로드의 외측에 삽입되어 이동가능하며, 일측 중앙에 도가니가 끼워질 수 있도록 반원형 홈이 형성된 도가니 밀착베이스와, 상기 도가니 지지베이스상에 구비되되 연결부재로 도가니 밀착베이스와 결합되어 에어실린더에 의해 도가니 밀착베이스와 일체로 구동되는 이동베이스로 구성된 것을 특징으로 하는 증발원용 도가니 평탄화 장치.The method of claim 4,
The crucible holding part is fixed on the rotating base, and a crucible support base having a semicircular groove so that the crucible can be fitted in the center of one side, side rods fixed to both ends of the crucible support base, and inserted outside of the side rod It is movable and has a crucible close contact base with a semicircular groove in which the crucible can be fitted in the center of one side, and is provided on the crucible support base, but is coupled to the crucible close contact base as a connecting member, and is driven integrally with the crucible contact base by an air cylinder Evaporation source crucible flattening device, characterized in that consisting of a moving base. 청구항 4항에 있어서,
상기 회전베이스의 일측에는 이송될 도가니를 받쳐주는 도가니 받침대가 설치되고, 상기 도가니 받침대의 중앙 하측에는 도가니 받침대를 상,하로 구동시키는 받침대 구동부가 설치되고, 상기 도가니 받침대의 양측에는 도가니 받침대가 구동시 가이드를 하는 한쌍의 가이드부가 설치된 것을 특징으로 하는 증발원용 도가니 평탄화 장치.The method of claim 4,
A crucible support supporting the crucible to be transferred is installed on one side of the rotating base, and a support driving unit for driving the crucible support up and down is installed at the center lower side of the crucible support, and when the crucible support is driven on both sides of the crucible support A crucible flattening device for an evaporation source, characterized in that a pair of guide portions for guiding are installed. 청구항 8항에 있어서,
상기 가이드부는 도가니 받침대의 일측에 부착되는 가이드 블럭과, 상기 가이드 블럭에 삽입되는 가이드 봉과, 상기 가이드 봉의 상단과 일체되어 가이드 봉을 지지하는 지지대로 구성된 것을 특징으로 하는 증발원용 도가니 평탄화 장치.The method of claim 8,
The guide unit is a crucible flattening device for an evaporation source, characterized in that the guide block is attached to one side of the crucible stand, a guide rod inserted into the guide block, and a support unit integrally with the upper end of the guide rod to support the guide rod.
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