KR20200125787A - Inkjet print device - Google Patents

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KR20200125787A
KR20200125787A KR1020190048170A KR20190048170A KR20200125787A KR 20200125787 A KR20200125787 A KR 20200125787A KR 1020190048170 A KR1020190048170 A KR 1020190048170A KR 20190048170 A KR20190048170 A KR 20190048170A KR 20200125787 A KR20200125787 A KR 20200125787A
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Abstract

Provided is an inkjet print device. The inkjet print device includes: a plurality of nozzles; and a plurality of grooves arranged between each of the nozzles. The plurality of nozzles include a first nozzle and a second nozzle arranged adjacent to each other along a first direction. The plurality of grooves include a print head unit including a first groove arranged between the first nozzle and the second nozzle. Therefore, the inkjet print device can increase production efficiency.

Description

잉크젯 프린트 장치 {Inkjet print device}Inkjet print device {Inkjet print device}

본 발명은 잉크젯 프린트 장치에 관한 것이다. The present invention relates to an inkjet printing apparatus.

잉크젯 프린팅 공정은 격벽에 의해 구획되어 있는 소정 영역에 잉크를 분사하여 각각의 잉크가 착색된 이미지를 구현하는 기술로서, 최근에는 유기 발광 표시 장치(Organic Light Emitting Display, OLED), 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display, LCD) 등과 같은 표시 장치의 제조 공정에 널리 사용되고 있다. 잉크젯 프린팅 공정에 의해 표시 장치의 패턴을 인쇄할 경우, 증착 공정에 비해 적은 양의 재료만으로도 소자를 생산할 수 있고, 제조 공정의 단순화에 따른 비용을 크게 절감할 수 있다. The inkjet printing process is a technology that embodies an image colored with each ink by spraying ink into a predetermined area partitioned by a partition wall. Recently, organic light emitting displays (OLEDs) and liquid crystal displays (Liquid) It is widely used in the manufacturing process of display devices such as Crystal Display and LCD). When a pattern of a display device is printed by an inkjet printing process, a device can be produced with only a small amount of material compared to the deposition process, and costs due to simplification of the manufacturing process can be greatly reduced.

다만, 잉크가 분사되는 노즐에 얼룩이나 부분 막힘 현상이 발생할 경우, 잉크의 직진성이 확보되지 못하여 잉크 탄착 위치의 재현성이 저하될 수 있다. 이 경우, 정확한 형상의 패턴이 인쇄되지 않거나, 잉크 간의 혼색으로 인한 불량이 발생할 수 있다. 또한, 노즐의 얼룩이나 막힘을 제거하기 위한 유지(maintenance) 작업으로 인한 생산성이 저하될 수 있다. However, when a spot or partial clogging occurs in a nozzle from which ink is sprayed, the straightness of the ink may not be ensured, and thus the reproducibility of the ink impact position may be deteriorated. In this case, a pattern having an exact shape may not be printed, or a defect may occur due to a mixture of inks. In addition, productivity may be degraded due to maintenance work to remove stains or clogging of the nozzle.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 잉크 분사 위치의 재현성이 개선된 잉크젯 프린트 장치를 제공하고자 하는 것이다. An object to be solved by the present invention is to provide an inkjet printing apparatus with improved reproducibility of an ink jetting position.

본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems of the present invention are not limited to the problems mentioned above, and other technical problems that are not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기 과제를 해결하기 위한 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 장치는 복수의 노즐 및 각 상기 노즐 사이에 배치된 복수의 홈을 포함하되, 상기 복수의 노즐은 제1 방향을 따라 인접하여 배치된 제1 노즐과 제2 노즐을 포함하고, 상기 복수의 홈은 상기 제1 노즐과 상기 제2 노즐 사이에 배치된 제1 홈을 포함하는 프린트 헤드 유닛을 포함한다. An inkjet printing apparatus according to an embodiment for solving the above problem includes a plurality of nozzles and a plurality of grooves disposed between each of the nozzles, wherein the plurality of nozzles are first nozzles disposed adjacently along a first direction And a second nozzle, wherein the plurality of grooves include a print head unit including a first groove disposed between the first nozzle and the second nozzle.

상기 제1 홈은 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장된 스트라이프 형상을 가질 수 있다. The first groove may have a stripe shape extending in a second direction crossing the first direction.

상기 프린트 헤드 유닛을 상기 제2 방향으로 이동시키는 제1 수평 이동부를 더 포함할 수 있다. It may further include a first horizontal moving unit for moving the print head unit in the second direction.

상기 프린트 헤드 유닛은 베이스 영역을 더 포함하고, 상기 노즐은 상기 베이스 영역을 관통할 수 있다. The print head unit may further include a base region, and the nozzle may pass through the base region.

상기 베이스 영역은 상기 제1 노즐을 포함하는 제1 베이스 영역 및 상기 제2 노즐을 포함하는 제2 베이스 영역을 포함할 수 있다. The base area may include a first base area including the first nozzle and a second base area including the second nozzle.

상기 제1 홈의 상기 제1 방향의 폭은 상기 제1 홈의 상기 제2 방향의 폭보다 작을 수 있다. A width of the first groove in the first direction may be smaller than a width of the first groove in the second direction.

상기 제1 홈의 상기 제1 방향의 폭은 상기 베이스 영역의 상기 제1 방향의 폭보다 작을 수 있다. A width of the first groove in the first direction may be smaller than a width of the base region in the first direction.

상기 노즐과 상기 홈은 상기 제1 방향을 따라 교대로 배열될 수 있다. The nozzles and the grooves may be alternately arranged along the first direction.

상기 복수의 노즐은 상기 제1 노즐로부터 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 인접하여 배치된 제3 노즐을 더 포함하고, 상기 복수의 홈은 상기 제1 노즐과 상기 제3 노즐 사이에 배치된 제2 홈을 더 포함할 수 있다. The plurality of nozzles further include a third nozzle disposed adjacent from the first nozzle along a second direction crossing the first direction, and the plurality of grooves are between the first nozzle and the third nozzle. It may further include the arranged second groove.

상기 프린트 헤드 유닛을 상기 제2 방향으로 이동시키는 제1 수평 이동부를 더 포함할 수 있다. It may further include a first horizontal moving unit for moving the print head unit in the second direction.

상기 제2 홈의 상기 제1 방향의 폭은 상기 제2 홈의 상기 제2 방향의 폭보다 작을 수 있다. A width of the second groove in the first direction may be smaller than a width of the second groove in the second direction.

상기 프린트 헤드 유닛은 베이스 영역을 더 포함하고, 복수의 상기 홈은 상기 베이스 영역의 상면으로부터 함몰될 수 있다. The print head unit may further include a base region, and the plurality of grooves may be depressed from an upper surface of the base region.

상기 베이스 영역은 상기 제1 노즐을 포함하는 제1 베이스 영역, 상기 제2 노즐을 포함하는 제2 베이스 영역, 및 상기 제3 노즐을 포함하는 제3 베이스 영역을 포함할 수 있다. The base area may include a first base area including the first nozzle, a second base area including the second nozzle, and a third base area including the third nozzle.

상기 노즐과 상기 홈은 상기 제1 방향을 따라 교대로 배열될 수 있다. The nozzles and the grooves may be alternately arranged along the first direction.

상기 노즐과 상기 홈은 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 교대로 배열될 수 있다. The nozzles and the grooves may be alternately arranged along a second direction crossing the first direction.

상기 과제를 해결하기 위한 다른 실시예에 따른 잉크젯 프린트 장치는 스테이지 및 상기 스테이지 상부에 위치하는 프린트 헤드 유닛으로서, 복수의 베이스 영역 및 상기 베이스 영역의 상면으로부터 함몰된 복수의 홈을 포함하는 프린트 헤드 유닛을 포함하고, 상기 베이스 영역과 상기 홈은 제1 방향을 따라 교대 배열되고, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장된 스트라이프 형상을 가진다. An inkjet printing apparatus according to another embodiment for solving the above problem is a stage and a print head unit positioned above the stage, the print head unit including a plurality of base regions and a plurality of grooves recessed from an upper surface of the base region Including, the base region and the groove are alternately arranged along a first direction, and have a stripe shape extending in a second direction crossing the first direction.

상기 프린트 헤드 유닛은 프린트 헤드 및 상기 프린트 헤드와 연결되고 잉크를 분사하는 노즐을 더 포함할 수 있다. The print head unit may further include a print head and a nozzle connected to the print head and ejecting ink.

상기 노즐은 복수의 상기 홈 사이에 배치될 수 있다. The nozzle may be disposed between the plurality of grooves.

상기 노즐은 상기 베이스 영역을 두께 방향으로 관통할 수 있다. The nozzle may penetrate the base region in the thickness direction.

상기 홈의 상기 제1 방향의 폭은 상기 베이스 영역의 상기 제1 방향의 폭보다 작을 수 있다. A width of the groove in the first direction may be smaller than a width of the base region in the first direction.

기타 실시예의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.Details of other embodiments are included in the detailed description and drawings.

일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 장치에 의하면 잉크 분사 위치의 재현성이 개선되어 혼색으로 인한 불량을 감소시킬 수 있다. According to the inkjet printing apparatus according to an exemplary embodiment, reproducibility of an ink jetting position is improved, and defects due to color mixing may be reduced.

또한, 프린트 헤드 유닛의 노즐에 얼룩이나 부분 막힘 현상이 발생하여 잉크가 노즐로부터 소정의 각도를 갖고 분사되더라도, 홈으로부터 조성된 기류에 의해 탄착 위치를 교정할 수 있으므로 프린트 헤드 유닛을 지속적으로 사용할 수 있다. 즉, 프린트 헤드 유닛의 클리닝 주기가 길어져 생산 효율이 증가할 수 있다.In addition, even if a spot or partial clogging occurs in the nozzle of the print head unit and ink is ejected from the nozzle at a predetermined angle, the impact position can be corrected by the airflow created from the groove, so that the print head unit can be used continuously. have. That is, the cleaning cycle of the print head unit is lengthened, so that production efficiency can be increased.

실시예들에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.Effects according to the embodiments are not limited by the contents illustrated above, and more various effects are included in the present specification.

도 1은 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 장치의 사시도이다.
도 2는 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 장치의 부분 단면도이다.
도 3은 일 실시예에 따른 프린트 헤드 유닛의 사시도이다.
도 4는 일 실시예에 따른 프린트 헤드 유닛의 저면도이다.
도 5는 도 4의 I-I'선을 따라 자른 단면도이다.
도 6은 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 장치에서 홈에 의해 조성된 기류를 나타낸 부분 단면도이다.
도 7은 다른 실시예에 따른 프린트 헤드 유닛의 사시도이다.
도 8은 다른 실시예에 따른 프린트 헤드 유닛의 저면도이다.
도 9는 도 8의 II-II' 선을 따라 자른 단면도이다.
도 10은 도 8의 III-III' 선을 따라 자른 단면도이다. 1 is a perspective view of an inkjet printing apparatus according to an embodiment.
2 is a partial cross-sectional view of an inkjet printing apparatus according to an exemplary embodiment.
3 is a perspective view of a print head unit according to an embodiment.
4 is a bottom view of a print head unit according to an embodiment.
5 is a cross-sectional view taken along line II' of FIG. 4.
6 is a partial cross-sectional view illustrating an airflow created by a groove in the inkjet printing apparatus according to an exemplary embodiment.
7 is a perspective view of a print head unit according to another embodiment.
8 is a bottom view of a print head unit according to another embodiment.
9 is a cross-sectional view taken along line II-II' of FIG. 8.
10 is a cross-sectional view taken along line III-III' of FIG. 8.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. Advantages and features of the present invention, and a method of achieving them will become apparent with reference to the embodiments described below in detail together with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but will be implemented in various forms different from each other, and only these embodiments make the disclosure of the present invention complete, and common knowledge in the technical field to which the present invention belongs It is provided to completely inform the scope of the invention to those who have it, and the invention is only defined by the scope of the claims.

소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층의 "상(on)"으로 지칭되는 것은 다른 소자 바로 위에 또는 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.When elements or layers are referred to as “on” of another element or layer, it includes all cases where another layer or other element is interposed directly on or in the middle of another element. The same reference numerals refer to the same components throughout the specification.

비록 제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있음은 물론이다.Although the first, second, and the like are used to describe various components, it goes without saying that these components are not limited by these terms. These terms are only used to distinguish one component from another component. Therefore, it goes without saying that the first component mentioned below may be the second component within the technical idea of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참고로 하여 구체적인 실시예들에 대해 설명한다. Hereinafter, specific embodiments will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 장치의 사시도이다. 도 2는 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 장치의 부분 단면도이다. 도 3은 일 실시예에 따른 프린트 헤드 유닛의 사시도이다. 도면에서 제1 방향(D1), 제2 방향(D2) 및 제3 방향(D3)이 정의되어 있다. 제1 방향(D1)과 제2 방향(D2)은 일 평면 상에 위치하며 서로 직교하는 방향이고, 제3 방향(D3)은 제1 방향(D1)과 제2 방향(D2)에 각각 수직한 방향이다. 1 is a perspective view of an inkjet printing apparatus according to an embodiment. 2 is a partial cross-sectional view of an inkjet printing apparatus according to an exemplary embodiment. 3 is a perspective view of a print head unit according to an embodiment. In the drawing, a first direction D1, a second direction D2, and a third direction D3 are defined. The first direction D1 and the second direction D2 are located on one plane and are perpendicular to each other, and the third direction D3 is perpendicular to the first direction D1 and the second direction D2, respectively. Direction.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 장치(1000)는 베이스 프레임(130), 스테이지(150), 스테이지 이동부(160), 프린트 헤드 유닛(700), 및 프린트 헤드 이동부를 포함할 수 있다. 1 to 3, the inkjet printing apparatus 1000 according to an embodiment includes a base frame 130, a stage 150, a stage moving unit 160, a print head unit 700, and a print head moving. May contain wealth.

스테이지(150)는 베이스 프레임(130) 상에 배치될 수 있다. 스테이지(150)는 대상 기판(SUB)이 배치되는 공간을 제공한다. 프린트 공정 진행을 위해 스테이지(150) 상부에 대상 기판(SUB)이 안착될 수 있다. 대상 기판(SUB)의 얼라인을 위해 스테이지(150) 상부에는 기판 얼라이너(미도시)가 설치될 수 있다. 상기 기판 얼라이너는 석영이나 세라믹 물질로 이루어질 수 있고, 정전척 등의 형태로 제공될 수 있지만, 이에 제한되는 것은 아니다. The stage 150 may be disposed on the base frame 130. The stage 150 provides a space in which the target substrate SUB is disposed. The target substrate SUB may be mounted on the stage 150 to proceed with the printing process. A substrate aligner (not shown) may be installed on the stage 150 to align the target substrate SUB. The substrate aligner may be made of a quartz or ceramic material, and may be provided in the form of an electrostatic chuck, but is not limited thereto.

스테이지(150)는 광을 투과시킬 수 있는 투명 또는 반투명 재질, 또는 광을 반사시킬 수 있는 불투명한 재질로 만들어질 수 있다. 스테이지(150)의 전반적인 평면 형상은 대상 기판(SUB)의 평면 형상을 추종할 수 있다. 예를 들어, 대상 기판(SUB)이 직사각형 형상일 경우 스테이지(150)의 전반적인 형상은 직사각형이 되고, 대상 기판(SUB)이 원형일 경우 스테이지(150)의 전반적인 형상은 원형이 될 수 있다. 도면에서는 장변이 제2 방향(D2)으로 배치되고, 단변이 제1 방향(D1)으로 배치된 직사각형 형상의 스테이지(150)가 예시되어 있다. The stage 150 may be made of a transparent or translucent material capable of transmitting light, or an opaque material capable of reflecting light. The overall planar shape of the stage 150 may follow the planar shape of the target substrate SUB. For example, when the target substrate SUB has a rectangular shape, the overall shape of the stage 150 may be a rectangle, and when the target substrate SUB is a circular shape, the overall shape of the stage 150 may be circular. In the drawing, a rectangular stage 150 in which the long side is disposed in the second direction D2 and the short side is disposed in the first direction D1 is illustrated.

스테이지(150)는 스테이지 이동부(160)에 의해 고정되어 있을 수 있다. 스테이지 이동부(160)는 베이스 프레임(130) 상에 설치될 수 있으며, 스테이지 이동부(160)에 의해 스테이지(150)가 이동될 수 있다. 스테이지 이동부(160)는 스테이지(150)를 소정 범위 내에서 가로 또는 세로 방향으로 이동시킬 수 있다. 예를 들어, 스테이지 이동부(160)는 스테이지(150)를 제1 방향(D1)으로 이동시킬 수 있다. 스테이지 이동부(160)가 존재하는 경우, 프린트 헤드 유닛(700)을 제1 방향(D1)으로 이동시키는 제2 수평 이동부(320)는 생략될 수도 있다. 이에 대한 상세한 설명은 후술하기로 한다. The stage 150 may be fixed by the stage moving unit 160. The stage moving unit 160 may be installed on the base frame 130, and the stage 150 may be moved by the stage moving unit 160. The stage moving unit 160 may move the stage 150 in a horizontal or vertical direction within a predetermined range. For example, the stage moving unit 160 may move the stage 150 in the first direction D1. When the stage moving unit 160 is present, the second horizontal moving unit 320 for moving the print head unit 700 in the first direction D1 may be omitted. A detailed description of this will be described later.

프린트 헤드 유닛(700)은 스테이지(150) 상부(제3 방향(D3))에 이격되어 위치할 수 있다. 프린트 헤드 유닛(700)은 대상 기판(SUB)에 잉크(30)를 인쇄하는 역할을 한다. 잉크젯 프린트 장치(1000)는 잉크 카트리지와 같은 잉크(30) 제공부를 더 포함할 수 있고, 잉크(30) 제공부로부터 공급된 잉크(30)는 프린트 헤드 유닛(700)을 통해 대상 기판(SUB) 측으로 분사(토출)될 수 있다. The print head unit 700 may be spaced apart from the top of the stage 150 (the third direction D3). The print head unit 700 serves to print the ink 30 on the target substrate SUB. The inkjet printing apparatus 1000 may further include an ink 30 providing unit such as an ink cartridge, and the ink 30 supplied from the ink 30 providing unit is a target substrate SUB through the print head unit 700. It can be sprayed (discharged) to the side.

잉크(30)는 용액 상태로 제공될 수 있다. 잉크(30)는 예를 들어, 용매 및 용매 내에 포함된 유기물을 포함할 수 있다. 유기물은 용매 내에 분산되어 있을 수 있다. 유기물은 용매가 제거된 후 최종적으로 대상 기판(SUB) 상에 잔류하는 고형 물질일 수 있다. 용매는 상온 또는 열에 의해 기화되거나 휘발되는 물질일 수 있다. 용매는 아세톤, 물, 알코올, 톨루엔 등일 수 있다. 또한, 잉크(30)는 용매 및 용매 내에 복수의 쌍극자를 포함할 수 있다. 복수의 쌍극자는 용매 내애 분산되어 있을 수 있다. 쌍극자는 용매가 제거된 후 최종적으로 대상 기판(SUB) 상에 잔류하는 고형 물질일 수 있다.The ink 30 may be provided in a solution state. The ink 30 may include, for example, a solvent and an organic material contained in the solvent. The organic material may be dispersed in a solvent. The organic material may be a solid material finally remaining on the target substrate SUB after the solvent is removed. The solvent may be a material that is vaporized or volatilized by room temperature or heat. The solvent may be acetone, water, alcohol, toluene, and the like. Further, the ink 30 may include a solvent and a plurality of dipoles in the solvent. A plurality of dipoles may be dispersed in the solvent. The dipole may be a solid material finally remaining on the target substrate SUB after the solvent is removed.

프린트 헤드 유닛(700)은 지지부(310) 상에 거치되어 스테이지(150)로부터 소정 거리 이격될 수 있다. 지지부(310)는 수평 방향으로 연장된 수평 지지부(311) 및 수평 지지부(311)와 연결되고 수직 방향인 제3 방향(D3)으로 연장된 수직 지지부(312)를 포함할 수 있다. 수평 지지부(311)의 연장 방향은 스테이지(150)의 장변 방향인 제2 방향(D2)과 동일할 수 있다. 수직 지지부(312)의 단부는 베이스 프레임(130) 상에 놓일 수 있다. 프린트 헤드 유닛(700)은 지지부(310)의 수평 지지부(311) 상에 거치될 수 있다. The print head unit 700 may be mounted on the support 310 and spaced apart from the stage 150 by a predetermined distance. The support 310 may include a horizontal support 311 extending in a horizontal direction and a vertical support 312 connected to the horizontal support 311 and extending in a third direction D3 which is a vertical direction. The extending direction of the horizontal support part 311 may be the same as the second direction D2 which is the long side direction of the stage 150. An end of the vertical support part 312 may be placed on the base frame 130. The print head unit 700 may be mounted on the horizontal support part 311 of the support part 310.

프린트 헤드 유닛(700)과 스테이지(150)의 이격 거리는 지지부(310)의 높이에 의해 조절될 수 있다. 프린트 헤드 유닛(700)과 스테이지(150)의 이격 거리는 스테이지(150) 상에 대상 기판(SUB)이 배치되었을 때 프린트 헤드 유닛(700)이 대상 기판(SUB)으로부터 어느 정도의 간격을 가져 공정 공간이 확보될 수 있는 범위 내에서 조절될 수 있다. The separation distance between the print head unit 700 and the stage 150 may be adjusted by the height of the support part 310. The separation distance between the print head unit 700 and the stage 150 is that when the target substrate SUB is disposed on the stage 150, the print head unit 700 has a certain distance from the target substrate SUB. It can be adjusted within the range that can be secured.

프린트 헤드 유닛(700)은 프린트 헤드(710), 복수의 노즐(720), 베이스 영역(730) 및 복수의 홈(740)을 포함할 수 있다. The print head unit 700 may include a print head 710, a plurality of nozzles 720, a base region 730, and a plurality of grooves 740.

프린트 헤드(710)는 일 방향을 따라 연장된 형상을 가질 수 있다. 프린트 헤드(710)의 연장 방향은 지지부(310)의 수평 지지부(311) 연장 방향과 동일할 수 있다. 즉, 프린트 헤드(710) 연장 방향은 스테이지(150)의 장변 방향인 제2 방향(D2)일 수 있다. The print head 710 may have a shape extending along one direction. The extension direction of the print head 710 may be the same as the extension direction of the horizontal support part 311 of the support part 310. That is, the extension direction of the print head 710 may be the second direction D2 which is the long side direction of the stage 150.

프린트 헤드(710)는 연장 방향을 따라 형성된 내부관(711)을 포함할 수 있다. 프린트 헤드(710)의 내부관(711)에는 잉크(30)가 공급되고, 공급된 잉크(30)는 내부관(711)을 따라 흘러 복수의 노즐(720)에 공급될 수 있다. The print head 710 may include an inner tube 711 formed along an extension direction. Ink 30 may be supplied to the inner tube 711 of the print head 710, and the supplied ink 30 may flow along the inner tube 711 and may be supplied to the plurality of nozzles 720.

베이스 영역(730)은 프린트 헤드 유닛(700)의 저면을 이룰 수 있다. 즉, 베이스 영역(730)은 프린트 헤드 유닛(700)의 하부에 배치된 스테이지(150)와 대향할 수 있다. 베이스 영역(730)은 평면상 일 방향으로 연장될 수 있다. 예를 들어, 베이스 영역(730)의 연장 방향은 지지부(310)의 수평 지지부(311) 연장 방향과 동일할 수 있다. 즉, 베이스 영역(730)의 연장 방향은 스테이지(150)의 장변 방향인 제2 방향(D2)일 수 있다. 이에 대한 상세한 설명은 후술하기로 한다. 베이스 영역(730)에는 복수의 노즐(720) 및 복수의 홈(740)이 위치할 수 있다.The base area 730 may form the bottom surface of the print head unit 700. That is, the base region 730 may face the stage 150 disposed under the print head unit 700. The base region 730 may extend in one direction on a plane. For example, the extension direction of the base region 730 may be the same as the extension direction of the horizontal support part 311 of the support part 310. That is, the extension direction of the base region 730 may be the second direction D2 which is the long side direction of the stage 150. A detailed description of this will be described later. A plurality of nozzles 720 and a plurality of grooves 740 may be positioned in the base region 730.

복수의 노즐(720)은 잉크(30)가 분사하는 경로를 제공할 수 있다. 복수의 노즐(720)은 베이스 영역(730)을 관통하여 프린트 헤드(710)의 내부관(711)에 연결될 수 있다. 프린트 헤드(710)의 내부관(711)으로부터 공급된 잉크(30)는 복수의 노즐(720)을 통해 분사될 수 있다. 복수의 노즐(720)을 통해 분사된 잉크(30)는 대상 기판(SUB)의 상면으로 공급될 수 있다. 복수의 노즐(720)은 1열 또는 복수열로 배열될 수 있다. 일 실시예에서, 하나의 프린트 헤드 유닛(700)에 포함된 노즐(720)의 수는 128개 내지 1800개일 수 있지만, 이에 제한되는 것은 아니다. 노즐(720)을 통한 잉크(30)의 분사량은 개별 노즐(720)에 인가되는 전압에 따라 조절될 수 있다. 일 실시예에서, 각 노즐(720)의 1회 토출량은 1 내지 50pl(picoliter)일 수 있지만, 이에 제한되는 것은 아니다. The plurality of nozzles 720 may provide a path through which the ink 30 is ejected. The plurality of nozzles 720 may pass through the base region 730 and be connected to the inner tube 711 of the print head 710. The ink 30 supplied from the inner tube 711 of the print head 710 may be sprayed through the plurality of nozzles 720. The ink 30 sprayed through the plurality of nozzles 720 may be supplied to the upper surface of the target substrate SUB. The plurality of nozzles 720 may be arranged in one row or in a plurality of rows. In one embodiment, the number of nozzles 720 included in one print head unit 700 may be 128 to 1800, but is not limited thereto. The injection amount of the ink 30 through the nozzle 720 may be adjusted according to the voltage applied to the individual nozzle 720. In one embodiment, a single discharge amount of each nozzle 720 may be 1 to 50 pl (picoliter), but is not limited thereto.

복수의 홈(740)은 베이스 영역(730)의 상면으로부터 두께 방향(즉, 제3 방향(D3))으로 함몰된 형상일 수 있다. 도면에서는 복수의 홈(740)이 사각형의 단면 형상을 갖는 경우를 예시하였으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 즉, 복수의 홈(740)의 단면 형상은 깊이 방향(즉, 제3 방향(D3))으로 진행할수록 폭이 감소하는 (역)사다리꼴 형상, 삼각형 형상, 또는 폭이 좁은 반구형 형상일 수 있다. The plurality of grooves 740 may have a shape recessed from the top surface of the base region 730 in the thickness direction (ie, the third direction D3). In the drawings, a case in which the plurality of grooves 740 has a rectangular cross-sectional shape is illustrated, but the present invention is not limited thereto. That is, the cross-sectional shape of the plurality of grooves 740 may be a (reverse) trapezoidal shape, a triangular shape, or a narrow hemispherical shape in which the width decreases as the depth direction (that is, the third direction D3).

복수의 홈(740)은 평면상 일 방향으로 연장되고, 일 방향과 교차하는 타 방향으로 상호 이격되어 배열될 수 있다. 예를 들어, 복수의 홈(740)의 연장 "?袖* 지지부(310)의 수평 지지부(311) 연장 방향과 동일할 수 있다. 즉, 복수의 홈(740)은 스테이지(150)의 장변 방향인 제2 방향(D2)으로 연장되고, 제1 방향(D1)으로 상호 이격되어 배열될 수 있다. The plurality of grooves 740 may extend in one direction on a plane, and may be arranged to be spaced apart from each other in another direction crossing one direction. For example, the extension direction of the plurality of grooves 740 may be the same as the extension direction of the horizontal support part 311 of the support part 310. That is, the plurality of grooves 740 extend in the long side direction of the stage 150. The phosphorus may extend in the second direction D2 and may be arranged to be spaced apart from each other in the first direction D1.

이격된 복수의 홈(740) 사이에는 베이스 영역(730)의 상면이 배치될 수 있다. 베이스 영역(730)과 복수의 홈(740)은 평면상 일 방향으로 연장되고, 일 방향과 교차하는 타 방향으로 교대 배열될 수 있다. 예를 들어, 베이스 영역(730)과 복수의 홈(740)의 연장 "?袖* 지지부(310)의 수평 지지부(311) 연장 방향과 동일할 수 있다. 즉, 베이스 영역(730)과 복수의 홈(740)은 스테이지(150)의 장변 방향인 제2 방향(D2)으로 연장되고, 제1 방향(D1)으로 교대 배열될 수 있다. An upper surface of the base region 730 may be disposed between the plurality of spaced grooves 740. The base region 730 and the plurality of grooves 740 extend in one direction on a plane, and may be alternately arranged in another direction crossing one direction. For example, the extension direction of the base region 730 and the plurality of grooves 740 may be the same as the extension direction of the horizontal support part 311 of the support part 310. That is, the base region 730 and the plurality of grooves 740 extend in the same direction. The grooves 740 extend in a second direction D2 that is a long side direction of the stage 150, and may be alternately arranged in the first direction D1.

이격된 복수의 홈(740) 사이의 베이스 영역(730)에는 복수의 노즐(720)이 배치될 수 있다. 복수의 노즐(720)은 베이스 영역(730) 내에서 평면상 일 방향으로 연장되고, 일 방향과 교차하는 타 방향으로 상호 이격되어 배열될 수 있다. 예를 들어, 복수의 노즐(720)의 연장 방향은 지지부(310)의 수평 지지부(311) 연장 방향과 동일할 수 있다. 즉, 복수의 노즐(720)은 스테이지(150)의 장변 방향인 제2 방향(D2)으로 연장되고, 제1 방향(D1)으로 상호 이격되어 배열될 수 있다. 복수의 홈(740)과 복수의 노즐(720)은 평면상 일 방향으로 교대 배열될 수 있다. 예를 들어, 복수의 홈(740)과 복수의 노즐(720)은 스테이지(150)의 단변 방향인 제1 방향(D1)으로 교대 배열될 수 있다. 이에 대한 상세한 설명은 후술하기로 한다. A plurality of nozzles 720 may be disposed in the base region 730 between the plurality of spaced grooves 740. The plurality of nozzles 720 may extend in one direction on a plane within the base region 730 and may be arranged to be spaced apart from each other in another direction crossing one direction. For example, the extension direction of the plurality of nozzles 720 may be the same as the extension direction of the horizontal support part 311 of the support part 310. That is, the plurality of nozzles 720 may extend in the second direction D2, which is a long side direction of the stage 150, and may be arranged to be spaced apart from each other in the first direction D1. The plurality of grooves 740 and the plurality of nozzles 720 may be alternately arranged in one direction on a plane. For example, the plurality of grooves 740 and the plurality of nozzles 720 may be alternately arranged in a first direction D1 that is a short side direction of the stage 150. A detailed description of this will be described later.

한편, 도면에서는 하나의 프린트 헤드 유닛(700)이 예시되어 있지만, 이에 제한되는 것은 아니다. 예를 들어, 대상 기판(SUB)에 복수의 잉크(30)를 제공하는 공정의 경우, 잉크(30)의 종류와 동일한 수의 프린트 헤드 유닛(700)이 배치될 수 있다. Meanwhile, although one print head unit 700 is illustrated in the drawing, it is not limited thereto. For example, in the case of a process of providing a plurality of inks 30 to the target substrate SUB, the same number of print head units 700 as the type of ink 30 may be disposed.

프린트 헤드 유닛(700)은 프린트 헤드 이동부에 의해 수평 또는 수직 방향으로 이동될 수 있다. 프린트 헤드 이동부는 제1 수평 이동부(330), 제2 수평 이동부(320), 및 수직 이동부(340)를 포함할 수 있다. The print head unit 700 may be moved in a horizontal or vertical direction by a print head moving unit. The print head moving unit may include a first horizontal moving unit 330, a second horizontal moving unit 320, and a vertical moving unit 340.

제1 수평 이동부(330)는 수평 지지부(311) 상에 설치되고, 제2 수평 이동부(320)는 베이스 프레임(130) 상에 설치될 수 있다.The first horizontal moving part 330 may be installed on the horizontal support part 311, and the second horizontal moving part 320 may be installed on the base frame 130.

제1 수평 이동부(330)는 프린트 헤드 유닛(700)을 수평 지지부(311) 상에서 제2 방향(D2)으로 이동시키고, 제2 수평 이동부(320)는 수직 지지부(312)를 제1 방향(D1)으로 이동시켜 지지부(310)에 거치된 프린트 헤드 유닛(700)을 제1 방향(D1)으로 이동시킬 수 있다. The first horizontal moving part 330 moves the print head unit 700 on the horizontal support part 311 in the second direction D2, and the second horizontal moving part 320 moves the vertical support part 312 in the first direction. By moving to (D1), the print head unit 700 mounted on the support part 310 may be moved in the first direction D1.

제1 수평 이동부(330)와 제2 수평 이동부(320)에 의한 수평 이동을 통해 대상 기판(SUB)보다 면적이 작은 프린트 헤드 유닛(700)으로도 대상 기판(SUB) 전 영역에 잉크(30)를 분사하여 프린트 공정을 수행할 수 있다. Through the horizontal movement by the first horizontal movement unit 330 and the second horizontal movement unit 320, the print head unit 700 having an area smaller than that of the target substrate SUB is used to cover the entire area of the target substrate SUB. 30) can be sprayed to perform the printing process.

수직 이동부(340)는 수평 지지부(311) 상에서 프린트 헤드 유닛(700)의 위치를 수직 방향으로 승강시켜 프린트 헤드 유닛(700)과 스테이지(150) 간의 간격을 조절할 수 있다. 즉, 수직 이동부(340)에 의해 스테이지(150) 상에 대상 기판(SUB)이 배치되었을 때 프린트 헤드 유닛(700)이 대상 기판(SUB)으로부터 어느 정도의 간격을 가질 수 있도록 공정 공간이 확보될 수 있는 범위 내에서 조절될 수 있다. The vertical moving part 340 may adjust the distance between the print head unit 700 and the stage 150 by raising and lowering the position of the print head unit 700 on the horizontal support part 311 in a vertical direction. That is, when the target substrate SUB is disposed on the stage 150 by the vertical moving part 340, the process space is secured so that the print head unit 700 can have a certain distance from the target substrate SUB. It can be adjusted within the range that can be made.

이하, 프린트 헤드 유닛(700)의 구성에 대해 상세히 설명한다. Hereinafter, the configuration of the print head unit 700 will be described in detail.

도 4는 일 실시예에 따른 프린트 헤드 유닛의 저면도이다. 도 5는 도 4의 I-I'선을 따라 자른 단면도이다. 도 6은 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 장치에서 홈에 의해 조성된 기류를 나타낸 부분 단면도이다. 4 is a bottom view of a print head unit according to an embodiment. 5 is a cross-sectional view taken along line II' of FIG. 4. 6 is a partial cross-sectional view illustrating an airflow created by a groove in the inkjet printing apparatus according to an exemplary embodiment.

도 4 내지 도 6을 참조하면, 복수의 노즐(720)은 제1 노즐(721) 및 제2 노즐(722)을 포함할 수 있다. 제1 노즐(721)과 제2 노즐(722)은 제1 방향(D1)을 따라 인접하여 배치될 수 있다. 제1 노즐(721)과 제2 노즐(722)은 베이스 영역(730)에 배치될 수 있다. 제1 노즐(721)은 제1 베이스 영역(731)에 배치되고, 제2 노즐(722)은 제2 베이스 영역(732)에 배치될 수 있다. 도면에서는 제1 노즐(721)과 제2 노즐(722)은 제1 방향(D1)으로 정렬되어 제1 방향(D1)으로 중첩하는 경우를 예시하였으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 즉, 제1 노즐(721)과 제2 노즐(722)은 제1 방향(D1)으로 부분적으로 중첩하거나, 비중첩할 수도 있다. 제1 노즐(721)의 직경(D721)과 제2 노즐(722)의 직경(D722)은 실질적으로 동일할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 4 to 6, the plurality of nozzles 720 may include a first nozzle 721 and a second nozzle 722. The first nozzle 721 and the second nozzle 722 may be disposed adjacent to each other along the first direction D1. The first nozzle 721 and the second nozzle 722 may be disposed in the base region 730. The first nozzle 721 may be disposed in the first base region 731, and the second nozzle 722 may be disposed in the second base region 732. In the drawing, a case where the first nozzle 721 and the second nozzle 722 are aligned in the first direction D1 and overlap in the first direction D1 is illustrated, but the present invention is not limited thereto. That is, the first nozzle 721 and the second nozzle 722 may partially overlap in the first direction D1 or may not overlap. The diameter D721 of the first nozzle 721 and the diameter D722 of the second nozzle 722 may be substantially the same, but are not limited thereto.

베이스 영역(730)은 제1 베이스 영역(731) 및 제1 베이스 영역(731)을 제외한 제2 베이스 영역(732)을 포함할 수 있다. 제1 베이스 영역(731)은 제1 노즐(721)을 포함하고, 제2 베이스 영역(732)은 제2 노즐(722)을 포함할 수 있다. 제1 노즐(721)은 제3 방향(D3)으로 제1 베이스 영역(731)을 관통하고, 제2 노즐(722)은 제3 방향(D3)으로 제2 베이스 영역(732)을 관통할 수 있다. The base area 730 may include a first base area 731 and a second base area 732 excluding the first base area 731. The first base region 731 may include a first nozzle 721, and the second base region 732 may include a second nozzle 722. The first nozzle 721 may penetrate the first base region 731 in the third direction D3, and the second nozzle 722 may penetrate the second base region 732 in the third direction D3. have.

제1 베이스 영역(731)과 제2 베이스 영역(732)은 평면상 일 방향으로 연장되고, 일 방향과 교차하는 타 방향으로 교대 배열될 수 있다. 예를 들어, 제1 베이스 영역(731)과 제2 베이스 영역(732)의 연장 방향은 지지부(310)의 수평 지지부(311) 연장 방향과 동일할 수 있다. 즉, 베이스 영역(730)과 복수의 홈(740)은 스테이지(150)의 장변 방향인 제2 방향(D2)으로 연장되고, 제1 방향(D1)으로 교대 배열될 수 있다.The first base region 731 and the second base region 732 extend in one direction on a plane and may be alternately arranged in another direction crossing one direction. For example, the extending direction of the first base region 731 and the second base region 732 may be the same as the extending direction of the horizontal support part 311 of the support part 310. That is, the base region 730 and the plurality of grooves 740 extend in the second direction D2, which is the long side direction of the stage 150, and may be alternately arranged in the first direction D1.

제1 베이스 영역(731)의 제1 방향(D1)의 폭(A731)은 제1 베이스 영역(731)의 제2 방향(D2)의 폭보다 작을 수 있다. 또한, 제2 베이스 영역(732)의 제1 방향(D1)의 폭(A732)은 제2 베이스 영역(732)의 제2 방향(D2)의 폭보다 작을 수 있다. The width A731 of the first base area 731 in the first direction D1 may be smaller than the width of the first base area 731 in the second direction D2. Also, the width A732 of the second base area 732 in the first direction D1 may be smaller than the width of the second base area 732 in the second direction D2.

제1 베이스 영역(731)의 제1 방향(D1)의 폭(A731)과 제2 베이스 영역(732)의 제1 방향(D1)의 폭(A732)은 실질적으로 동일할 수 있다. 또한, 제1 베이스 영역(731)의 제2 방향(D2)의 폭과 제2 베이스 영역(732)의 제2 방향(D2)의 폭은 실질적으로 동일할 수 있다. A width A731 of the first base region 731 in the first direction D1 and a width A732 of the second base region 732 in the first direction D1 may be substantially the same. Also, a width of the first base region 731 in the second direction D2 and a width of the second base region 732 in the second direction D2 may be substantially the same.

또한, 제1 베이스 영역(731)의 제2 방향(D2)의 폭 또는 제2 베이스 영역(732)의 제2 방향(D2)의 폭은 프린트 헤드 유닛(700)의 제2 방향(D2) 폭과 실질적으로 동일할 수 있다. 다만, 이에 제한되는 것은 아니다. In addition, the width of the first base region 731 in the second direction D2 or the width of the second base region 732 in the second direction D2 is the width of the print head unit 700 in the second direction D2 May be substantially the same as However, it is not limited thereto.

제1 베이스 영역(731)과 제2 베이스 영역(732) 사이에는 복수의 홈(740)으로서 제1 홈(741)이 배치될 수 있다. 제1 베이스 영역(731)과 제2 베이스 영역(732)은 제1 홈(741)에 의해 구분될 수 있다. 또한, 제1 홈(741)은 제1 베이스 영역(731)과 제2 베이스 영역(732)에 의해 구분될 수 있다. A first groove 741 may be disposed as a plurality of grooves 740 between the first base region 731 and the second base region 732. The first base region 731 and the second base region 732 may be divided by a first groove 741. In addition, the first groove 741 may be divided by a first base region 731 and a second base region 732.

또한, 제1 홈(741)은 제1 노즐(721)과 제2 노즐(722) 사이에 배치될 수 있다. 제1 홈(741)과 제1 노즐(721) 사이에는 제1 베이스 영역(731)의 상면이 배치될 수 있다. 제1 홈(741)과 제2 노즐(722) 사이에는 제2 베이스 영역(732)의 상면이 배치될 수 있다. 제1 노즐(721)과 제1 홈(741) 사이의 평균 거리는 제2 노즐(722)과 제1 홈(741) 사이의 평균 거리와 실질적으로 동일할 수 있다. 즉, 제1 노즐(721)과 제1 홈(741) 사이에 배치된 제1 베이스 영역(731)의 상면의 폭은 제2 노즐(722)과 제1 홈(741) 사이에 배치된 제2 베이스 영역(732)의 상면의 폭과 실질적으로 동일할 수 있다. Further, the first groove 741 may be disposed between the first nozzle 721 and the second nozzle 722. An upper surface of the first base region 731 may be disposed between the first groove 741 and the first nozzle 721. An upper surface of the second base region 732 may be disposed between the first groove 741 and the second nozzle 722. The average distance between the first nozzle 721 and the first groove 741 may be substantially the same as the average distance between the second nozzle 722 and the first groove 741. That is, the width of the upper surface of the first base region 731 disposed between the first nozzle 721 and the first groove 741 is a second nozzle disposed between the second nozzle 722 and the first groove 741. It may be substantially the same as the width of the upper surface of the base region 732.

제1 홈(741)은 제1 면(741a), 제1 면(741a)과 대향하는 제2 면(741b), 제1 면(741a)과 제2 면(741b) 사이에 배치된 제3 면(741c)을 포함할 수 있다. The first groove 741 is a first surface 741a, a second surface 741b facing the first surface 741a, and a third surface disposed between the first surface 741a and the second surface 741b. (741c) may be included.

제1 홈(741)의 제1 면(741a)은 제1 베이스 영역(731)의 상면으로부터 연장된 면일 수 있다. 제1 홈(741)의 제2 면(741b)은 제2 베이스 영역(732)의 상면으로부터 연장된 면일 수 있다. 제1 홈(741)의 제1 면(741a) 및 제1 홈(741)의 제2 면(741b)은 제1 홈(741)의 측벽을 이루고, 제1 홈(741)의 제3 면(741c)은 제1 홈(741)의 저면을 이룰 수 있다. The first surface 741a of the first groove 741 may be a surface extending from the upper surface of the first base region 731. The second surface 741b of the first groove 741 may be a surface extending from the upper surface of the second base region 732. The first surface 741a of the first groove 741 and the second surface 741b of the first groove 741 form a sidewall of the first groove 741, and the third surface of the first groove 741 ( 741c) may form the bottom surface of the first groove 741.

도면에서는 제1 홈(741)의 제1 면(741a) 및 제2 면(741b)이 제3 면(741c)과 수직을 이루는 경우를 예시하였으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 즉, 제1 면(741a) 및 제2 면(741b)은 제3 면(741c)으로부터 소정의 경사각을 가질 수 있다. 예를 들어, 제1 홈(741)은 제3 방향(D3)으로 진행할수록 폭이 감소하는 (역)사다리꼴 형상을 가질 수 있으며, 이 경우 제1 면(741a) 및 제2 면(741b)이 제3 면(741c)과 이루는 각도는 둔각일 수 있다. In the drawings, a case in which the first surface 741a and the second surface 741b of the first groove 741 is perpendicular to the third surface 741c is illustrated, but is not limited thereto. That is, the first surface 741a and the second surface 741b may have a predetermined inclination angle from the third surface 741c. For example, the first groove 741 may have a (reverse) trapezoidal shape whose width decreases as it progresses in the third direction D3. In this case, the first surface 741a and the second surface 741b The angle formed with the third surface 741c may be an obtuse angle.

제1 홈(741)의 제1 방향(D1)의 폭(A741)은 제1 홈(741)의 제2 방향(D2)의 폭보다 작을 수 있다. 제1 홈(741)의 제1 방향(D1)의 폭(A741)은 제1 베이스 영역(731)의 제1 방향(D1)의 폭(A731) 또는 제2 베이스 영역(732)의 제1 방향(D1)의 폭(A732)보다 작을 수 있다. 또한, 제1 홈(741)의 제2 방향(D2)의 폭은 제1 베이스 영역(731)의 제2 방향(D2)의 폭 또는 제2 베이스 영역(732)의 제2 방향(D2)의 폭과 실질적으로 동일할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. The width A741 of the first groove 741 in the first direction D1 may be smaller than the width of the first groove 741 in the second direction D2. The width A741 of the first groove 741 in the first direction D1 is the width A731 of the first base area 731 in the first direction D1 or the first direction of the second base area 732 It may be smaller than the width A732 of (D1). In addition, the width of the first groove 741 in the second direction D2 is in the second direction D2 of the first base region 731 or in the second direction D2 of the second base region 732. It may be substantially the same as the width, but is not limited thereto.

제1 홈(741)은 평면상 일 방향으로 연장되고, 일 방향과 교차하는 타 방향으로 제1 베이스 영역(731) 또는 제2 베이스 영역(732)과 교대 배열될 수 있다. 제1 홈(741)의 연장 방향은 지지부(310)의 수평 지지부(311) 연장 방향과 동일할 수 있다. 즉, 제1 홈(741)은 스테이지(150)의 장변 방향인 제2 방향(D2)으로 연장되고, 제1 방향(D1)으로 제1 베이스 영역(731) 또는 제2 베이스 영역(732)과 교대 배열될 수 있다.The first groove 741 may extend in one direction on a plane, and may be alternately arranged with the first base region 731 or the second base region 732 in another direction crossing one direction. The extending direction of the first groove 741 may be the same as the extending direction of the horizontal support part 311 of the support part 310. That is, the first groove 741 extends in the second direction D2, which is the long side direction of the stage 150, and the first base region 731 or the second base region 732 in the first direction D1. Can be arranged alternately.

제1 홈(741)이 제2 방향(D2)으로 연장되는 경우, 프린트 헤드 유닛(700)이 수평 지지부(311) 상에서 제2 방향(D2)으로 이동함에 따라 프린트 헤드 유닛(700)과 대상 기판(SUB) 사이에 소정의 기류(100)가 조성될 수 있다.When the first groove 741 extends in the second direction D2, as the print head unit 700 moves in the second direction D2 on the horizontal support part 311, the print head unit 700 and the target substrate A predetermined airflow 100 may be formed between (SUB).

도 6에 도시된 바와 같이, 프린트 헤드(710)의 내부관(711)으로부터 공급된 잉크(30)는 복수의 노즐(720)을 통해 분사될 수 있다. 이 경우, 잉크(30)는 복수의 노즐(720)의 중심에 배치된 중심선(D0)을 따라 분사될 수 있다. 한편, 도면에서는 잉크(30)가 중심선(D0)을 따라 분사되는 경우를 예시하였으나, 노즐(720)에 얼룩이나 부분 막힘 현상이 발생하는 경우 잉크(30)는 중심선(D0)으로부터 소정의 각도를 가지고 분사될 수도 있다. 잉크(30)가 중심선(D0)으로부터 소정의 각도를 가지고 분사되더라도, 노즐(720)로부터 분사된 잉크(30)는 대상 기판(SUB)에 탄착될 때까지 복수의 홈(740)에 의해 조성된 기류(100)의 영향을 받아 탄착 위치가 교정될 수 있으므로, 잉크(30)는 대상 기판(SUB)의 중심선(D0) 상에 탄착될 수 있다. As shown in FIG. 6, the ink 30 supplied from the inner tube 711 of the print head 710 may be sprayed through a plurality of nozzles 720. In this case, the ink 30 may be sprayed along a center line D0 disposed at the center of the plurality of nozzles 720. On the other hand, in the drawing, the case where the ink 30 is sprayed along the center line D0 is illustrated, but when a spot or partial clogging occurs in the nozzle 720, the ink 30 moves at a predetermined angle from the center line D0. It can also be sprayed with. Even if the ink 30 is ejected from the center line D0 at a predetermined angle, the ink 30 ejected from the nozzle 720 is formed by the plurality of grooves 740 until it hits the target substrate SUB. Since the impact position may be corrected under the influence of the airflow 100, the ink 30 may be impacted on the center line D0 of the target substrate SUB.

구체적으로, 복수의 홈(740)에 의해 복수의 홈(740)의 중심으로부터 각 노즐(720)의 중심선(D0)을 향하는 기류(100)가 조성될 수 있다. 즉, 기류(100)는 제1 기류(100a)와 제2 기류(100b)로 구분될 수 있다. 제1 기류(100a)는 홈(740)의 중심으로부터 제1 방향(D1)의 일측을 따라 중심선(D0)을 향해 조성될 수 있다. 제2 기류(100b)는 홈(740)의 중심으로부터 제1 방향(D1)의 타측을 따라 중심선(D0)을 향해 조성될 수 있다. 각 중심선(D0)을 따라 분사된 잉크(30)는 제1 기류(100a)에 의해 제1 방향(D1)의 일측을 향해 지속적으로 미는 힘을 받고, 제2 기류(100b)에 의해 제1 방향(D1)의 타측을 향해 지속적으로 미는 힘을 받을 수 있다. 이에 따라, 잉크(30)는 제1 기류(100a)와 제2 기류(100b)에 의해 중심선(D0)을 향해 지속적으로 미는 힘을 받을 수 있으므로, 잉크(30)의 탄착 위치가 교정될 수 있다. Specifically, the airflow 100 toward the center line D0 of each nozzle 720 from the center of the plurality of grooves 740 may be formed by the plurality of grooves 740. That is, the airflow 100 may be divided into a first airflow 100a and a second airflow 100b. The first airflow 100a may be formed from the center of the groove 740 along one side of the first direction D1 toward the center line D0. The second airflow 100b may be formed from the center of the groove 740 along the other side in the first direction D1 toward the center line D0. The ink 30 sprayed along each center line D0 receives a continuous pushing force toward one side of the first direction D1 by the first airflow 100a, and the first direction by the second airflow 100b. (D1) can be continuously pushed toward the other side. Accordingly, since the ink 30 can receive a force continuously pushed toward the center line D0 by the first airflow 100a and the second airflow 100b, the impact position of the ink 30 can be corrected. .

즉, 잉크(30)가 대상 기판(SUB)의 중심선(D0) 상에 탄착될 수 있으므로 잉크(30) 분사 위치의 재현성이 증가할 수 있다. 또한, 정확한 형상의 패턴을 인쇄할 수 있으며, 혼색으로 인한 불량을 감소할 수 있다. 또한, 프린트 헤드 유닛(700)의 노즐(720)에 얼룩이나 부분 막힘 현상이 발생하여 잉크(30)가 노즐(720)로부터 소정의 각도를 갖고 분사되더라도, 홈(740)으로부터 조성된 기류(100)에 의해 탄착 위치를 교정할 수 있으므로 프린트 헤드 유닛(700)을 지속적으로 사용할 수 있다. 이에 따라, 프린트 헤드 유닛(700)의 클리닝 주기가 길어질 수 있으므로 생산 효율이 증가할 수 있다.That is, since the ink 30 may hit the center line D0 of the target substrate SUB, the reproducibility of the injection position of the ink 30 may be increased. In addition, it is possible to print a pattern having an accurate shape, and defects due to color mixing can be reduced. In addition, even if spots or partial clogging occurs in the nozzle 720 of the print head unit 700 and the ink 30 is ejected from the nozzle 720 at a predetermined angle, the air flow 100 formed from the groove 740 ), the impact position can be corrected, so that the print head unit 700 can be used continuously. Accordingly, since the cleaning cycle of the print head unit 700 may be lengthened, production efficiency may be increased.

이하, 다른 실시예들에 대해 설명한다. 이하의 실시예에서 이미 설명한 구성과 동일한 구성에 대해서는 동일한 참조 번호로서 지칭하며, 중복 설명은 생략하거나 간략화하기로 한다.Hereinafter, other embodiments will be described. In the following embodiments, the same components as those previously described are referred to by the same reference numerals, and redundant descriptions will be omitted or simplified.

도 7은 다른 실시예에 따른 프린트 헤드 유닛의 사시도이다. 도 8은 다른 실시예에 따른 프린트 헤드 유닛의 저면도이다. 도 9는 도 8의 II-II' 선을 따라 자른 단면도이다. 도 10은 도 8의 III-III' 선을 따라 자른 단면도이다. 7 is a perspective view of a print head unit according to another embodiment. 8 is a bottom view of a print head unit according to another embodiment. 9 is a cross-sectional view taken along line II-II' of FIG. 8. 10 is a cross-sectional view taken along line III-III' of FIG. 8.

도 7 내지 도 10을 참조하면, 본 실시예에 따른 프린트 헤드 유닛(700')은 복수의 노즐(720')과 복수의 홈(740')이 제1 방향(D1)뿐만 아니라 제2 방향(D2)으로도 교대로 배열된다는 점에서 도 1 내지 도 6의 실시예와 상이하다. 7 to 10, in the print head unit 700 ′ according to the present exemplary embodiment, a plurality of nozzles 720 ′ and a plurality of grooves 740 ′ have not only the first direction D1 but also the second direction ( It is different from the embodiment of FIGS. 1 to 6 in that it is also alternately arranged in D2).

프린트 헤드 유닛(700')은 프린트 헤드 유닛(700')의 저면을 이루는 베이스 영역(730')과 베이스 영역(730')을 관통하는 복수의 노즐(720') 및 베이스 영역(730')의 상면으로부터 함몰된 복수의 홈(740')을 포함할 수 있다. The print head unit 700 ′ includes a base region 730 ′ forming the bottom surface of the print head unit 700 ′ and a plurality of nozzles 720 ′ penetrating the base region 730 ′ and the base region 730 ′. It may include a plurality of grooves 740' depressed from the upper surface.

복수의 노즐(720')은 제1 노즐(721'), 제2 노즐(722') 및 제3 노즐(723)을 포함할 수 있다. 제1 노즐(721'), 제2 노즐(722')은 제1 방향(D1)을 따라 인접하여 배치될 수 있다. 제3 노즐(723)은 제1 노즐(721')로부터 제2 방향(D2)을 따라 인접하여 배치될 수 있다. 제1 노즐(721'), 제2 노즐(722') 및 제3 노즐(723)은 베이스 영역(730')에 배치될 수 있다. 제1 노즐(721')은 제1 베이스 영역(731')에 배치되고, 제2 노즐(722')은 제2 베이스 영역(732')에 배치되고, 제3 노즐(723)은 제3 베이스 영역(733)에 배치될 수 있다. 도면에서는 제1 노즐(721')과 제2 노즐(722')이 제1 방향(D1)으로 정렬되어 제1 방향(D1)으로 중첩하고, 제1 노즐(721')과 제3 노즐(723)이 제2 방향(D2)으로 정렬되어 제2 방향(D2)으로 중첩되는 경우를 예시하였으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 즉, 제1 노즐(721')과 제2 노즐(722')은 제1 방향(D1)으로 부분적으로 중첩하거나, 비중첩할 수도 있다. 또한, 제1 노즐(721')과 제3 노즐(723)이 제2 방향(D2)으로 부분적으로 중첩하거나, 비중첩할 수도 있다. 제1 노즐(721')의 직경(D721'), 제2 노즐(722')의 직경(D722') 또는 제3 노즐(723)의 직경(D723)은 실질적으로 동일할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. The plurality of nozzles 720 ′ may include a first nozzle 721 ′, a second nozzle 722 ′, and a third nozzle 723. The first nozzle 721 ′ and the second nozzle 722 ′ may be disposed adjacent to each other along the first direction D1. The third nozzle 723 may be disposed adjacent to the first nozzle 721 ′ along the second direction D2. The first nozzle 721 ′, the second nozzle 722 ′, and the third nozzle 723 may be disposed in the base region 730 ′. The first nozzle 721' is disposed in the first base area 731', the second nozzle 722' is disposed in the second base area 732', and the third nozzle 723 is disposed in the third base It may be disposed in the region 733. In the drawing, the first nozzle 721 ′ and the second nozzle 722 ′ are aligned in the first direction D1 and overlap in the first direction D1, and the first nozzle 721 ′ and the third nozzle 723 ) Is aligned in the second direction D2 and overlaps in the second direction D2, but is not limited thereto. That is, the first nozzle 721 ′ and the second nozzle 722 ′ may partially overlap in the first direction D1 or may not overlap. In addition, the first nozzle 721 ′ and the third nozzle 723 may partially overlap in the second direction D2 or may not overlap. The diameter D721' of the first nozzle 721', the diameter D722' of the second nozzle 722', or the diameter D723 of the third nozzle 723 may be substantially the same, but are limited thereto. It is not.

베이스 영역(730')은 제1 베이스 영역(731'), 제2 베이스 영역(732') 및 제3 베이스 영역(733)을 포함할 수 있다. 제1 베이스 영역(731')은 제1 노즐(721')을 포함하고, 제2 베이스 영역(732')은 제2 노즐(722')을 포함하고, 제3 베이스 영역(733)은 제3 노즐(723)을 포함할 수 있다. 제1 노즐(721')은 제3 방향(D3)으로 제1 베이스 영역(731')을 관통하고, 제2 노즐(722')은 제3 방향(D3)으로 제2 베이스 영역(732')을 관통하고, 제3 노즐(723)은 제3 방향(D3)으로 제3 베이스 영역(733)을 관통할 수 있다. The base region 730 ′ may include a first base region 731 ′, a second base region 732 ′, and a third base region 733. The first base region 731 ′ includes the first nozzle 721 ′, the second base region 732 ′ includes the second nozzle 722 ′, and the third base region 733 is a third It may include a nozzle 723. The first nozzle 721 ′ penetrates the first base region 731 ′ in the third direction D3, and the second nozzle 722 ′ is the second base region 732 ′ in the third direction D3 And the third nozzle 723 may pass through the third base region 733 in the third direction D3.

제1 베이스 영역(731')과 제2 베이스 영역(732')은 제1 방향(D1)을 따라 교대로 배열되고, 제1 베이스 영역(731')과 제3 베이스 영역(733)은 제2 방향(D2)을 따라 교대로 배열될 수 있다. The first base region 731 ′ and the second base region 732 ′ are alternately arranged along the first direction D1, and the first base region 731 ′ and the third base region 733 It may be arranged alternately along the direction D2.

복수의 홈(740')은 제1 홈(741')과 제2 홈(742)을 포함할 수 있다. 제1 홈(741')은 제1 베이스 영역(731')과 제2 베이스 영역(732') 사이에 배치될 수 있다. 제2 홈(742)은 제1 베이스 영역(731')과 제3 베이스 영역(733) 사이에 배치될 수 있다. The plurality of grooves 740 ′ may include a first groove 741 ′ and a second groove 742. The first groove 741 ′ may be disposed between the first base region 731 ′ and the second base region 732 ′. The second groove 742 may be disposed between the first base region 731 ′ and the third base region 733.

제1 베이스 영역(731')과 제2 베이스 영역(732')은 제1 홈(741')에 의해 구분될 수 있다. 또한, 제1 홈(741')은 제1 베이스 영역(731')과 제2 베이스 영역(732')에 의해 구분될 수 있다. 제1 홈(741')은 제1 노즐(721')과 제2 노즐(722') 사이에 배치될 수 있다. 제1 홈(741')과 제1 노즐(721') 사이에는 제1 베이스 영역(731')의 상면이 배치될 수 있다. 제1 홈(741')과 제2 노즐(722') 사이에는 제2 베이스 영역(732')의 상면이 배치될 수 있다. The first base region 731 ′ and the second base region 732 ′ may be divided by a first groove 741 ′. Further, the first groove 741 ′ may be divided into a first base region 731 ′ and a second base region 732 ′. The first groove 741 ′ may be disposed between the first nozzle 721 ′ and the second nozzle 722 ′. An upper surface of the first base region 731 ′ may be disposed between the first groove 741 ′ and the first nozzle 721 ′. An upper surface of the second base region 732 ′ may be disposed between the first groove 741 ′ and the second nozzle 722 ′.

제1 베이스 영역(731')과 제3 베이스 영역(733)은 제2 홈(742)에 의해 구분될 수 있다. 또한, 제2 홈(742)은 제1 베이스 영역(731')과 제3 베이스 영역(733)에 의해 구분될 수 있다. 제2 홈(742)은 제1 노즐(721')과 제3 노즐(723) 사이에 배치될 수 있다. 제2 홈(742)과 제1 노즐(721') 사이에는 제1 베이스 영역(731')의 상면이 배치될 수 있다. 제2 홈(742)과 제3 노즐(723) 사이에는 제3 베이스 영역(733)의 상면이 배치될 수 있다. The first base region 731 ′ and the third base region 733 may be divided by a second groove 742. In addition, the second groove 742 may be divided into a first base region 731 ′ and a third base region 733. The second groove 742 may be disposed between the first nozzle 721 ′ and the third nozzle 723. An upper surface of the first base region 731 ′ may be disposed between the second groove 742 and the first nozzle 721 ′. An upper surface of the third base region 733 may be disposed between the second groove 742 and the third nozzle 723.

제1 홈(741')의 제1 방향(D1)의 폭(A741')은 제1 홈(741')의 제2 방향(D2)의 폭(B741')보다 작을 수 있다. 제2 홈(742)의 제1 방향(D1)의 폭(A742)은 제2 홈(742)의 제2 방향(D2)의 폭(B742)보다 작을 수 있다. A width A741 ′ of the first groove 741 ′ in the first direction D1 may be smaller than a width B741 ′ of the first groove 741 ′ in the second direction D2. The width A742 of the second groove 742 in the first direction D1 may be smaller than the width B742 of the second groove 742 in the second direction D2.

또한, 제1 홈(741')의 제1 방향(D1)의 폭(A741')은 제2 홈(742)의 제1 방향(D1)의 폭(A742)과 실질적으로 동일할 수 있다. 또한, 제1 홈(741')의 제2 방향(D2)의 폭(B741')은 제2 홈(742)의 제2 방향(D2)의 폭(B742)과 실질적으로 동일할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 제1 홈(741')의 제2 방향(D2)의 폭(B741') 또는 제2 홈(742)의 제2 방향(D2)의 폭(B742)은 제1 내지 제3 노즐(721', 722', 723)의 직경(D721', D722', D723)보다 클 수 있다. In addition, a width A741 ′ of the first groove 741 ′ in the first direction D1 may be substantially the same as a width A742 ′ of the second groove 742 in the first direction D1. In addition, the width B741 ′ of the first groove 741 ′ in the second direction D2 may be substantially the same as the width B742 ′ in the second direction D2 of the second groove 742. It is not limited. The width B741' of the first groove 741' in the second direction D2 or the width B742 of the second groove 742 in the second direction D2 is the first to third nozzles 721', It may be larger than the diameters (D721', D722', D723) of the 722', 723).

제1 홈(741')은 제1 면(741'a), 제1 면(741'a)과 대향하는 제2 면(741'b), 제1 면(741'a)과 제2 면(741'b) 사이에 배치된 제3 면(741'c)을 포함할 수 있다. 제1 홈(741')의 제1 면(741'a)은 제1 베이스 영역(731')의 상면으로부터 연장된 면일 수 있다. 제1 홈(741')의 제2 면(741'b)은 제2 베이스 영역(732')의 상면으로부터 연장된 면일 수 있다. 제1 홈(741')의 제1 면(741'a) 및 제2 면(741'b)은 제1 홈(741')의 측벽을 이루고, 제1 홈(741')의 제3 면(741'c)은 제1 홈(741')의 저면을 이룰 수 있다. 제1 홈(741')의 깊이는 제1 홈(741')의 제3 면(741'c)으로부터 제1 베이스 영역(731')의 상면 또는 제2 베이스 영역(732')의 상면까지의 평균 거리로 정의될 수 있다. The first groove 741' has a first side 741'a, a second side 741'b facing the first side 741'a, and a first side 741'a and a second side ( It may include a third surface 741'c disposed between 741'b). The first surface 741 ′a of the first groove 741 ′ may be a surface extending from the upper surface of the first base region 731 ′. The second surface 741 ′b of the first groove 741 ′ may be a surface extending from the upper surface of the second base region 732 ′. The first surface 741'a and the second surface 741'b of the first groove 741 ′ form a sidewall of the first groove 741 ′, and the third surface ( 741'c) may form the bottom surface of the first groove 741'. The depth of the first groove 741' is from the third surface 741'c of the first groove 741' to the top surface of the first base area 731' or the top surface of the second base area 732'. It can be defined as an average distance.

제2 홈(742)은 제1 측면(742a), 제1 측면(742a)과 대향하는 제2 측면(742b), 제1 측면(742a)과 제2 측면(742b) 사이에 배치된 제1 저면(742c)을 포함할 수 있다. 제2 홈(742)의 제1 측면(742a)은 제1 베이스 영역(731')의 상면으로부터 연장된 면일 수 있다. 제2 홈(742)의 제2 측면(742b)은 제3 베이스 영역(733)의 상면으로부터 연장된 면일 수 있다. 제2 홈(742)의 제1 측면(742a) 및 제2 홈(742)의 제2 측면(742b)은 제2 홈(742)의 측벽을 이루고, 제2 홈(742)의 의 제1 저면(742c)은 제2 홈(742)의 저면을 이룰 수 있다. 제2 홈(742)의 깊이는 제2 홈(742)의 제1 저면(742c)으로부터 제1 베이스 영역(731')의 상면 또는 제3 베이스 영역(733)의 상면까지의 평균 거리로 정의될 수 있다. The second groove 742 includes a first side 742a, a second side 742b facing the first side 742a, and a first bottom surface disposed between the first side 742a and the second side 742b. (742c) may be included. The first side surface 742a of the second groove 742 may be a surface extending from the upper surface of the first base region 731 ′. The second side surface 742b of the second groove 742 may be a surface extending from the upper surface of the third base region 733. The first side 742a of the second groove 742 and the second side 742b of the second groove 742 form a side wall of the second groove 742, and the first bottom surface of the second groove 742 (742c) may form the bottom surface of the second groove 742. The depth of the second groove 742 may be defined as an average distance from the first bottom surface 742c of the second groove 742 to the top surface of the first base area 731' or the top surface of the third base area 733. I can.

제1 홈(741')의 깊이는 제2 홈(742)의 깊이와 실질적으로 동일할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. The depth of the first groove 741 ′ may be substantially the same as the depth of the second groove 742, but is not limited thereto.

도면에서는 제1 홈(741')의 제1 면(741'a) 및 제2 면(741'b)이 제3 면(741'c)과 수직을 이루는 경우를 예시하였으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 즉, 제1 면(741'a) 및 제2 면(741'b)은 제3 면(741'c)으로부터 소정의 경사각을 가질 수 있다. 예를 들어, 제1 홈(741')은 제3 방향(D3)으로 진행할수록 폭이 감소하는 (역)사다리꼴 형상을 가질 수 있으며, 이 경우 제1 면(741'a) 및 제2 면(741'b)이 제3 면(741'c)과 이루는 각도는 둔각일 수 있다. 또한, 제2 홈(742)의 제1 측면(742a) 및 제2 측면(742b)이 제1 저면(742c)과 수직을 이루는 경우를 예시하였으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 즉, 제1 측면(742a) 및 제2 측면(742b)은 제1 저면(742c)으로부터 소정의 경사각을 가질 수 있다. 예를 들어, 제2 홈(742)도 제3 방향(D3)으로 진행할수록 폭이 감소하는 (역)사다리꼴 형상을 가질 수 있으며, 이 경우 제1 측면(742a) 및 제2 측면(742b)이 제1 저면(742c)과 이루는 각도는 둔각일 수 있다.In the drawing, a case in which the first surface 741'a and the second surface 741'b of the first groove 741' is perpendicular to the third surface 741'c is illustrated, but is not limited thereto. . That is, the first surface 741'a and the second surface 741'b may have a predetermined inclination angle from the third surface 741'c. For example, the first groove 741 ′ may have a (reverse) trapezoidal shape whose width decreases as it progresses in the third direction D3. In this case, the first surface 741 ′a and the second surface ( An angle formed by 741'b) with the third surface 741'c may be an obtuse angle. In addition, a case in which the first side surface 742a and the second side surface 742b of the second groove 742 is perpendicular to the first bottom surface 742c is illustrated, but is not limited thereto. That is, the first side 742a and the second side 742b may have a predetermined inclination angle from the first bottom surface 742c. For example, the second groove 742 may also have a (reverse) trapezoidal shape whose width decreases as it progresses in the third direction D3. In this case, the first side 742a and the second side 742b The angle formed with the first bottom surface 742c may be an obtuse angle.

제1 홈(741')의 제1 방향(D1)의 폭(A741')은 제1 홈(741')의 제2 방향(D2)의 폭(B741')보다 작을 수 있다. 제2 홈(742)의 제1 방향(D1)의 폭(A742)은 제2 홈(742)의 제2 방향(D2)의 폭(B742)보다 작을 수 있다. A width A741 ′ of the first groove 741 ′ in the first direction D1 may be smaller than a width B741 ′ of the first groove 741 ′ in the second direction D2. The width A742 of the second groove 742 in the first direction D1 may be smaller than the width B742 of the second groove 742 in the second direction D2.

또한, 제1 홈(741')의 제1 방향(D1)의 폭(A741')은 제2 홈(742)의 제1 방향(D1)의 폭(A742)과 실질적으로 동일할 수 있다. 또한, 제1 홈(741')의 제2 방향(D2)의 폭(B741')은 제2 홈(742)의 제2 방향(D2)의 폭(B742)과 실질적으로 동일할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. In addition, a width A741 ′ of the first groove 741 ′ in the first direction D1 may be substantially the same as a width A742 ′ of the second groove 742 in the first direction D1. In addition, the width B741 ′ of the first groove 741 ′ in the second direction D2 may be substantially the same as the width B742 ′ in the second direction D2 of the second groove 742. It is not limited.

제1 홈(741')의 제2 방향(D2)의 폭(B741') 또는 제2 홈(742)의 제2 방향(D2)의 폭(B742)은 제1 내지 제3 노즐(721', 722', 723)의 직경(D721', D722', D723)보다 클 수 있다. The width B741' of the first groove 741' in the second direction D2 or the width B742 of the second groove 742 in the second direction D2 is the first to third nozzles 721', It may be larger than the diameters (D721', D722', D723) of the 722', 723).

상술한 바와 같이, 복수의 홈(740')이 제2 방향(D2)을 따라 배치되는 경우, 프린트 헤드 유닛(700')이 수평 지지부(311) 상에서 제2 방향(D2)으로 이동함에 따라 복수의 홈(740')에 의해 조성된 기류에 의해 잉크(30) 분사 위치의 재현성이 증가할 수 있음은 앞서 설명한 바와 같다. As described above, when the plurality of grooves 740' are arranged along the second direction D2, the plurality of print head units 700' move in the second direction D2 on the horizontal support part 311 As described above, the reproducibility of the injection position of the ink 30 can be increased by the air flow formed by the groove 740' of the.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.Embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, but those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains can be implemented in other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present invention. You can understand. Therefore, it should be understood that the embodiments described above are illustrative in all respects and not limiting.

1000: 잉크젯 프린트 장치
700: 프린트 헤드 유닛
710: 프린트 헤드
720: 노즐
730: 베이스 영역
740: 홈
310: 지지부
311: 수평 지지부
312: 수직 지지부
320: 제1 수평 이동부
330: 제2 수평 이동부
340: 수직 이동부
130: 베이스 프레임
150: 스테이지
160: 스테이지 이동부
30: 잉크1000: inkjet printing device
700: print head unit
710: print head
720: nozzle
730: base area
740: home
310: support
311: horizontal support
312: vertical support
320: first horizontal moving part
330: second horizontal moving part
340: vertical moving part
130: base frame
150: stage
160: stage moving part
30: ink

Claims (20)

복수의 노즐 및 각 상기 노즐 사이에 배치된 복수의 홈을 포함하되,
상기 복수의 노즐은 제1 방향을 따라 인접하여 배치된 제1 노즐과 제2 노즐을 포함하고,
상기 복수의 홈은 상기 제1 노즐과 상기 제2 노즐 사이에 배치된 제1 홈을 포함하는 프린트 헤드 유닛을 포함하는 잉크젯 프린트 장치. Including a plurality of nozzles and a plurality of grooves disposed between each of the nozzles,
The plurality of nozzles include a first nozzle and a second nozzle disposed adjacently along a first direction,
The plurality of grooves include a print head unit including a first groove disposed between the first nozzle and the second nozzle. 제1 항에 있어서,
상기 제1 홈은 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장된 스트라이프 형상을 갖는 잉크젯 프린트 장치. The method of claim 1,
The first groove has a stripe shape extending in a second direction crossing the first direction. 제2 항에 있어서,
상기 프린트 헤드 유닛을 상기 제2 방향으로 이동시키는 제1 수평 이동부를 더 포함하는 잉크젯 프린트 장치. The method of claim 2,
An inkjet printing apparatus further comprising a first horizontal moving part for moving the print head unit in the second direction. 제2 항에 있어서,
상기 프린트 헤드 유닛은 베이스 영역을 더 포함하고, 상기 노즐은 상기 베이스 영역을 관통하는 잉크젯 프린트 장치. The method of claim 2,
The print head unit further includes a base area, and the nozzle penetrates the base area. 제4 항에 있어서,
상기 베이스 영역은 상기 제1 노즐을 포함하는 제1 베이스 영역 및 상기 제2 노즐을 포함하는 제2 베이스 영역을 포함하는 잉크젯 프린트 장치. The method of claim 4,
The base area includes a first base area including the first nozzle and a second base area including the second nozzle. 제4 항에 있어서,
상기 제1 홈의 상기 제1 방향의 폭은 상기 제1 홈의 상기 제2 방향의 폭보다 작은 잉크젯 프린트 장치. The method of claim 4,
An inkjet printing apparatus in which a width of the first groove in the first direction is smaller than a width of the first groove in the second direction. 제6 항에 있어서,
상기 제1 홈의 상기 제1 방향의 폭은 상기 베이스 영역의 상기 제1 방향의 폭보다 작은 잉크젯 프린트 장치. The method of claim 6,
An inkjet printing device in which a width of the first groove in the first direction is smaller than a width of the base region in the first direction. 제1 항에 있어서,
상기 노즐과 상기 홈은 상기 제1 방향을 따라 교대로 배열되는 잉크젯 프린트 장치. The method of claim 1,
The nozzles and the grooves are alternately arranged along the first direction. 제1 항에 있어서,
상기 복수의 노즐은 상기 제1 노즐로부터 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 인접하여 배치된 제3 노즐을 더 포함하고, 상기 복수의 홈은 상기 제1 노즐과 상기 제3 노즐 사이에 배치된 제2 홈을 더 포함하는 잉크젯 프린트 장치. The method of claim 1,
The plurality of nozzles further include a third nozzle disposed adjacent from the first nozzle along a second direction crossing the first direction, and the plurality of grooves are between the first nozzle and the third nozzle. The inkjet printing apparatus further includes the disposed second groove. 제9 항에 있어서,
상기 프린트 헤드 유닛을 상기 제2 방향으로 이동시키는 제1 수평 이동부를 더 포함하는 잉크젯 프린트 장치. The method of claim 9,
An inkjet printing apparatus further comprising a first horizontal moving part for moving the print head unit in the second direction. 제9 항에 있어서,
상기 제2 홈의 상기 제1 방향의 폭은 상기 제2 홈의 상기 제2 방향의 폭보다 작은 잉크젯 프린트 장치. The method of claim 9,
An inkjet printing apparatus in which a width of the second groove in the first direction is smaller than a width of the second groove in the second direction. 제9 항에 있어서,
상기 프린트 헤드 유닛은 베이스 영역을 더 포함하고, 복수의 상기 홈은 상기 베이스 영역의 상면으로부터 함몰된 잉크젯 프린트 장치. The method of claim 9,
The print head unit further includes a base region, and the plurality of grooves are recessed from an upper surface of the base region. 제12 항에 있어서,
상기 베이스 영역은 상기 제1 노즐을 포함하는 제1 베이스 영역, 상기 제2 노즐을 포함하는 제2 베이스 영역, 및 상기 제3 노즐을 포함하는 제3 베이스 영역을 포함하는 잉크젯 프린트 장치. The method of claim 12,
The base area includes a first base area including the first nozzle, a second base area including the second nozzle, and a third base area including the third nozzle. 제1 항에 있어서,
상기 노즐과 상기 홈은 상기 제1 방향을 따라 교대로 배열되는 잉크젯 프린트 장치. The method of claim 1,
The nozzles and the grooves are alternately arranged along the first direction. 제14 항에 있어서,
상기 노즐과 상기 홈은 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 교대로 배열되는 잉크젯 프린트 장치. The method of claim 14,
The nozzles and the grooves are alternately arranged along a second direction crossing the first direction. 스테이지; 및
상기 스테이지 상부에 위치하는 프린트 헤드 유닛으로서, 복수의 베이스 영역 및 상기 베이스 영역의 상면으로부터 함몰된 복수의 홈을 포함하는 프린트 헤드 유닛을 포함하고,
상기 베이스 영역과 상기 홈은 제1 방향을 따라 교대 배열되고, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장된 스트라이프 형상을 갖는 잉크젯 프린트 장치. stage; And
A print head unit positioned above the stage, comprising: a print head unit including a plurality of base regions and a plurality of grooves recessed from an upper surface of the base region,
The base region and the groove are alternately arranged in a first direction, and have a stripe shape extending in a second direction crossing the first direction. 제16 항에 있어서,
상기 프린트 헤드 유닛은 프린트 헤드 및 상기 프린트 헤드와 연결되고 잉크를 분사하는 노즐을 더 포함하는 잉크젯 프린트 장치. The method of claim 16,
The print head unit further comprises a print head and a nozzle connected to the print head and ejecting ink. 제17 항에 있어서,
상기 노즐은 복수의 상기 홈 사이에 배치되는 잉크젯 프린트 장치. The method of claim 17,
The nozzle is an inkjet printing apparatus disposed between the plurality of grooves. 제17 항에 있어서,
상기 노즐은 상기 베이스 영역을 두께 방향으로 관통하는 잉크젯 프린트 장치. The method of claim 17,
The nozzle passes through the base region in a thickness direction. 제16 항에 있어서,
상기 홈의 상기 제1 방향의 폭은 상기 베이스 영역의 상기 제1 방향의 폭보다 작은 잉크젯 프린트 장치.
The method of claim 16,
The width of the groove in the first direction is smaller than the width of the base region in the first direction.
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