KR20200125404A - 고속 스캐닝 단층 촬영 장치 - Google Patents
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Abstract
고속 스캐닝 단층 촬영 장치는 테라헤르츠파를 생성하는 테라헤르츠파 생성부와, 상기 테라헤르츠파 생성부로부터 입사되는 테라헤르츠파를 이용하여 검사 대상 물체에 테라헤르츠파 베셀빔이 형성되도록 하는 베셀빔 형성부와, 상기 테라헤르츠파 베셀빔이 상기 검사 대상 물체를 투과한 테라헤르츠파를 검출하는 테라헤르츠파 검출부와, 상기 베셀빔 형성부 및 상기 테라헤르프파 검출부를 2차원으로 이동시키는 이동부; 및 상기 이동부에 의해 상기 베셀빔 형성부 및 상기 테라헤르프파 검출부가 이동됨에 따라 상기 검사 대상 물체를 회전시켜 3차원 스캔이 가능하도록 하는 회전부를 포함한다.
Description
본 발명은 고속 스캐닝 단층 촬영 장치에 관한 것이다.
밀리미터파와 테라헤르츠파는 엑스레이와 달리 비이온화전자기파로 인체나 식품에 유해하지 않은 비이온화 전자기파이다. 밀리미터파와 테라헤르츠파는가시-적외선이 투과하지 못하는 no-polar, non-metal매질(옷, 플라스틱, 나무, 건조식품, 포장지 등)에 대해 쉽게 투과하는 성질이 있어서 비파괴검사에 응용이 가능한 전자기파 대역이다. 밀리미터파와 테라헤르츠파는 마이크로파에 비해 파장이 짧기 때문에 수미리에서 수백마이크로미터까지 영상분해능을 얻을수 있어서 투과에 의한 비파괴영상에 적합한 전자기파 대역이다.
따라서 바이오-의료분야, 보안분야, 품질검사분야, 위변조검출, 물질 특성분석, 고문화재 분석, 식품분야 등 응용분야가 광범위한 새로운 비파괴기술이다.
이러한 밀리미터파와 테라헤르츠파의 물질 투과성질을 바탕으로 비파괴 투과영상기술이 많이 발전하였고, 물체의 내부3차원구조까지 검사할 수있는 Computed Tomography분야에서도 응용개발되고 있다. 특히 기존 엑스레이나 자기공명영상분야등 의료-비파괴검사분야에서는 이미 CT기술이 많이 발전해왔고, 최근에 밀리미터파와 테라헤르츠파를 이용한 연구가 진행되고 있다. 현재까지 개발된 대부분의 테라헤르츠파 CT는 photoconductive antennas or non-linear optical crystals 를 활용한 THz time-domain spectroscopy (THz-TDS)기반의 기술로 개발되어 왔다.
하지만, 여전히 투과되는 광선의 파워가 낮아 SNR이 낮고 고속 스캐닝 장치의 실용화를 위해서는 장치의 가격이나 규모가 적합하지 않은 단점이 있다.
더구나 가우시안 포커싱 빔으로 3차원투과영상을 만들기 위해서는 초점심도의 한계가 있어서 최근 베셀빔 을 활용한 CT기술이 개발되고 있다.
하지만, 여전히 소량 대량 측정이 필요한 분야에서는 추가적인 개량기술이 필요하며 여기에서는 베셀빔을 활용한 고속스캐닝 CT가 가능하면서 대량의 식품시료의 3차원 영상을 만드는 기술을 제공하고자 한다.
본 발명은 위에서 언급한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 소형의 식품 시료를 대량으로 동시에 3차원 영상측정이 가능하도록 하는 고속 스캐닝 단층 촬영 장치를 제공하고자 한다.
본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기의 설명에 의해서 이해될 수 있으며, 본 발명의 실시예에 의해 보다 분명하게 알게 될 것이다. 또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허 청구 범위에 나타낸 수단 및 그 조합에 의해 실현될 수 있음을 쉽게 알 수 있을 것이다.
발명의 일실시에 따른 고속 스캐닝 단층 촬영 장치는 테라헤르츠파를 생성하는 테라헤르츠파 생성부와, 상기 테라헤르츠파 생성부로부터 입사되는 테라헤르츠파를 이용하여 검사 대상 물체에 테라헤르츠파 베셀빔이 형성되도록 하는 베셀빔 형성부를 포함하는 테라헤르츠파 광학헤드와, 상기 테라헤르츠파 베셀빔이 상기 검사 대상 물체를 투과한 테라헤르츠파를 검출하는 테라헤르츠파 검출부를 포함하는 테라헤르츠파 집광헤드와, 상기 테라헤르츠파 광학헤드 및 상기 테라헤르츠파 집광헤드를 제 1 축 방향으로 이동시키는 제 1 이동부와, 상기 테라헤르츠파 광학헤드 및 상기 테라헤르츠파 집광헤드를 제 2 축 방향으로 이동시키는 제 2 이동부와, 상기 테라헤르츠파 광학헤드 및 상기 테라헤르츠파 집광헤드 사이에 배치되고, 상기 검사 대상 물체를 회전시켜 3차원 스캔이 가능하도록 하는 회전시료장치를 포함한다.
개시된 발명에 따르면, 본 발명은 위에서 언급한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 소형의 식품 시료를 대량으로 동시에 3차원 영상으로 고속으로 측정이 가능하다.
도 1은 본 발명의 일 실시예와 관련된 고속 스캐닝 단층 촬영 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 회전시료장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 3 내지 도 5는 본 발명의 시뮬레이션 결과를 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예와 관련된 고속 스캐닝 단층 촬영 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 회전시료장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 3 내지 도 5는 본 발명의 시뮬레이션 결과를 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예와 관련된 고속 스캐닝 단층 촬영 장치를 설명하기 위한 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용에 대하여 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예와 관련된 고속 스캐닝 단층 촬영 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 1을 참조하면, 고속 스캐닝 단층 촬영 장치(100)는 제 1 축 프레임(110), 제 2 축 프레임(120), 테라헤르츠파 광학 헤드(130), 테라헤르츠파 집광헤드(140), 제 1 이동부(미도시), 제 2 이동부(미도시), 및 회전시료장치(150)를 포함한다.
제 1 축 프레임(110)은 제 1 이동부(미도시)에 의해 테라헤르츠파 광학 헤드(130) 및 테라헤르츠파 집광헤드(140)를 제 1 축(도면 상에서 제 1 축 프레임을 따라 이동하는 축)으로 이동시키기 위해 사용되는 프레임이다.
제 2 축 프레임(120)은 제 2 이동부(미도시)에 의해 테라헤르츠파 광학 헤드(130) 및 테라헤르츠파 집광헤드(140)를 제 2 축(도면 상에서 제 2 축 프레임을 따라 이동하는 축)으로 이동시키기 위해 사용되는 프레임이다. 제 1 축 프레임(110) 및 제 2 축 프레임(120)은 수직하게 배치될 수 있다.
테라헤르츠파 광학 헤드(130)는 테라헤르츠파를 생성하고, 생성된 테라헤르츠파를 검사 대상 물체에 조사할 수 있다. 테라헤르츠파 집광헤드는 테라헤르츠파 생성부 및 베셀빔 형성부를 포함할 수 있다.
테라헤르츠파 광학 헤드(130)는 제 1 축 프레임(110)의 상부측에 배치될 수 있다.
테라헤르츠파 집광헤드(140)는 검사 대상 물체를 투과한 테라헤르츠파를 검출할 수 있다.
테라헤르츠파 집광헤드(140)는 제 1 축 프레임(110)의 하부측에 배치될 수 있다.
테라헤르츠파 광학 헤드(130) 및 테라헤르츠파 집광헤드(140)는 제 1 이동부(미도시)에 의해 동시에 제 1 축을 기준으로 이동될 수 있다.
제 1 이동부(미도시)는 테라헤르츠파 광학헤드(130) 및 테라헤르츠파 집광헤드(140)을 제 1 축 방향으로 이동시킬 수 있다.
제 2 이동부(미도시)는 테라헤르츠파 광학헤드(130) 및 테라헤르츠파 집광헤드(140)을 제 2 축 방향으로 이동시킬 수 있다.
회전시료장치(150)는 검사 대상 물체를 포함한 시료를 회전시킬 수 있다.
테라헤르츠파 광학헤드(130) 및 테라헤르츠파 집광헤드(140)는 회전시료장치(150)가 검사 대상 물체를 포함한 시료를 회전하면 영상을 수집하여 검사 대상 물체의 단면을 검사하고, 테라헤르츠파 광학헤드(130) 및 테라헤르츠파 집광헤드(140)가 제 2 이동부에 의해 제 2 축 방향으로 이동되면서 최종적으로 3차원으로 검사를 수행할 수 있다.
회전시료장치(150)는 제 1 축 방향으로 N개가 설치될 수 있다. 이를 통해 여러개의 검사 대상 물체에 대한 검사를 실행할 수 있다.
예를 들면, 제 1 축이 한 픽셀(영상의 최소분해능)씩 이동하면서 회전시료장치는 1회전하면서, 테라헤르츠파 광학헤드(130) 및 테라헤르츠파 집광헤드(140)는 검사 대상 물체를 검사할 수 있다. 이때 회전최소각을 d-theta라 정의하면 180도당 검출횟수는 T=180/(d-theta)으로 정의되고, 한 개의 제 1 축상 시료스캔길이가 L이고 분해능이 r이면 시료 1개당 총 회전수 N= L/r로 정의 될 수 있다.
결과 획득하는 투과영상은 시노그램이 얻어질 수 있다. 도면의 제 1축은 총 T pixel 이며 0에서 180도까지의 값이고 세로축은 Y축상의 픽셀로 시료당 총 스캔길이 L이 된다. 따라서 얻어진 시노그램의 픽셀은 TxL이다. 이때 만일 제 1 축상으로 N개의 시료가 있다면 N개의 시노그램이 얻어지고, 각 시노그램이 생성되면 바로 역라돈 변환을 통해 단면 투과그림이 얻어질 수 있다. 그리고, 제 2 축으로 이동하면서 위의 동작을 반복하면 전체 3차원 투과영상이 얻어질 수 있다.
본 발명에 따른 고속 스캐닝 단층 촬영장치는 회전시료 장치 및 이동부를 이용하여 검사 대상 물체를 3차원으로 검사할 수 있을 뿐만 아니라 여러 개의 회전시료장치를 배치하여 동시에 여러 개의 검사 대상 물체를 검사할 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 회전시료장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 2를 참조하면, 회전시료 장치(150)는 검사체(151), 홀더부(152) 및 모터(153)을 포함할 수 있다.
검사체(151)는 검사 대상 물체를 내부에 포함시킬 수 있다. 검사체(151)는 테라헤르츠파에 대한 투과성이 좋은 재질로 구현될 수 있다. 예를 들면, 검사체(151)는 스폰지 재질 등으로 구성될 수 있다.
검사체(151)는 원통형으로 구성될 수 있으며, 스폰지 재질로 구성될 경우 스폰지 자체의 탄성에 의해 검사 대상 물체가 내부에 압착되어 고정될 수 있다. 홀더부(152)는 검사체(151)를 고정할 수 있다. 예를 들면, 검사체(151)가 원통형 인 경우, 홀더부(152)는 내부가 원형인 형태의 기구물로 구성될 수 있다.
자석을 이용하여 추가적으로 고정하는 경우를 예를 들면, 검사체(151) 및 홀더부(152)의 일직선산의 회전시료 장치에 자석이 배치되고, 자성에 의해 검사체(151) 및 회전시료장치(150)가 고정될 수 있다.
또한, 홀더부(152)의 외주면을 따라 홀(hole)이 더 포함될 수 있고, 검사체(151) 및 회전시료장치(150)가 고정된 이후 핀을 홀에 삽입하여 추가적으로 검사체(151)를 고정할 수 있다.
모터(153)는 검사체와 기계적으로 연결되고, 검사체를 회전시킬 수 있다.
도 3 내지 도 5는 본 발명의 시뮬레이션 결과를 설명하기 위한 도면이다.
도 3을 참조하면, 좌측 도면은 시노그램을 설명하기 위한 도면이고, 오른쪽 도면은 역라돈 변환을 통해 얻어진 투과 그림을 설명하기 위한 도면이다.
시노그램의 세로축은 '제 1 축(Y축) 이동 거리(mm)'를 의미하고, 가로축은 '0에서 180도(회전각)'을 의미한다.
역라돈 변환을 통해 얻어진 투과 그림의 세로축은 '제 1 축(Y축) 이동 거리(mm)'를 의미하고, 가로축은 '제 2 축(X축) 이동 거리(mm)'를 의미한다.
도 3을 참조하면, 실시예 중에서 가장 단순한 형태의 실린더형 플라스틱에 대한 투과영상으로 경계면에서 발생하는 산란에 의해 검은 선으로 나타나 실린더의 윤곽을 확인할 수 있다.
도 4와 도 5는 도3의 결과와 같은 투과영상에서 윤곽을 확인할 수 있는 산란 원리를 알아보기 위하여 유한차분요소법(Finite Difference Time Domain method)으로 투과빔의 진행을 2차원에 대해 계산한 시뮬레이션 결과이다.
도 4는 평판 형태의 검사체를 기준으로 테라헤르츠파 광학헤드(130)에서 방사되어 검사체를 투과하는 빔의 진행을 설명하기 위한 2차원 시뮬레이션 결과이다.
도 4는 평판의 중심위치가 제 2 축(X축) = -5mm이고, 제 1 축(Y축) = 8mm인 경우를 의미한다.
얇은 평판형태의 검사체는 포커싱 위치가 달라져도 투과된 빔의 산란방향이 크게 흔들리지 않으며, 도면에 도시된 바와 같이, 에지(edge) 근방에서 산란이 크게 일어나는데, 이때 집광헤드(140)에서 광량의 급격한 감소 때문에 물체의 윤곽이 어둡게 나타나 영상화된다.
도 5는 원통형 형태의 검사체를 기준으로 테라헤르츠파 광학헤드(130)에서 방사되어 검사체를 투과하는 빔의 진행을 설명하기 위한 2차원 시뮬레이션 결과이다.
도 5는 원통형 형태의 검사체의 중심위치가 제 2 축(X축) = -5mm이고, 제 1 축(Y축) = 8mm인 경우를 의미한다.
도면에 도시된 바와 같이, 원통형 형태의 검사체는 포커싱위치가 달라짐에 따라 원통형 형태의 검사체가가 렌즈작용을 하면서 빔의 벤딩이 일어나 산란이 매우 심하게 일어나므로 기존의 집광광학계로는 큰 각도로 발산하는 투과 산란빔을 포집하는데 어려움이 있어서 투과영상의 왜곡이 일어날 수 있다.
도면을 참조하면, 가로축으로 볼 때 평판과 달리 위치에 따라 투과깊이 혹은 투과두께가 모두 다르기 때문입니다. 따라서, 평판과 달리 전각도 투과를 얻어야하는 3차원의 경우, 산란빔을 모두 포집할 수 있는 별도의 광학계가 추가되어야 한다.
도 6은 본 발명의 일 실시예와 관련된 고속 스캐닝 단층 촬영 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 6을 참조하면, 고속 스캐닝 단층 촬영 장치는 테라헤르츠파 광학헤드, 검사대상물체, 테라헤르츠파 집광헤드, 이동부 및 회전부를 포함할 수 있다.
테라헤르츠파 광학헤드는 테라헤르츠파를 생성하고, 생성된 테라헤르츠파를 검사 대상 물체에 조사할 수 있다.
테라헤르츠파 광학헤드는 테라헤르츠파 생성부(610), 초퍼(620), 각도 변경부(630), 및 베셀빔 형성부(640)를 포함할 수 있다. 본 실시예에서는 테라헤르츠파 광학헤드에 테라헤르츠파 생성부(610), 초퍼(620) 각도 변경부(630), 및 베셀빔 형성부(640)가 모두 포함된 경우를 기준으로 설명하나, 테라헤르츠파 광학헤드는 테라헤르츠파 생성부(610), 초퍼(620), 각도 변경부(630), 및 베셀빔 형성부(640) 중 일부만을 포함하도록 구현될 수도 있다.
테라헤르츠파 생성부(610)는 테라헤르츠파를 발생시킬 수 있다. 테라헤르츠파란 테라헤르츠(terahertz) 영역의 전자기파를 의미하는 것으로, 바람직하게는, 0.1THz 내지 10THz의 진동수를 가질 수 있다. 다만, 이러한 범위를 다소 벗어난다 하더라도, 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자가 용이하게 생각해낼 수 있는 범위라면, 본 발명에서의 테라헤르츠파로 인정될 수 있음은 물론이다. 예를 들면, 밀리미터파 영역 등과 같은 영역도 테라헤르츠파로 인정될 수 있다. 또한, 본 실시예에서는 테라헤르츠파를 발생시키는 테라헤르츠파 생성부(610)를 이용하는 경우를 설명하나, 전자기파를 발생시키는 전자기파 생성부를 이용할 수 있는 것은 당연한 것이다.
각도 변경부(630)는 테라헤르츠파 생성부(610)로부터 입사되는 테라헤르츠파의 각도를 작게 변경시켜 베셀 빔 형성부(640)로 입사시킬 수 있다. 예를 들면, 각도 변경부(630)는 입사된 테라헤르츠파를 광축에 대해 일정한 각도 이하로 작게 변경하거나 평행하게 형성할 수 있다. 각도 변경부(630)는 입사된 테라헤르츠파를 평행하게 굴절시키는 볼록 렌즈 또는 입사된 테라헤르츠파를 평행하게 반사시키는 포물면경 등일 수 있다.
베셀 빔 형성부(640)는 각도 변경부(630)로부터 입사되는 테라헤르츠파를 이용하여 검사 대상 물체의 적어도 일부분에 테라헤르츠파 베셀빔이 형성되도록 할 수 있다.
베셀 빔 형성부(640)는 현실적으로 이상적인 베셀 빔을 형성하기는 어려우므로, 베셀 빔 형성부(640)에 의해 형성되는 베셀 빔은 Quasi-Bessel Beam(QBB)이라 할 수 있다. 이러한 베셀 빔 형성부(640)에 의한 베셀 빔 형성 구성에 대해서는, 도 2를 참조하여, 보다 상세하게 설명하도록 한다.
베셀 빔 형성부(640)는 각도 변경부(630)부에 의해 각도가 변경된 테라헤르츠파가 베셀 빔 형성부(640)의 입광면에 대해 수직하게 입사되도록 배치될 수 있다.
베셀 빔 형성부(640)는 다수의 원형 홈 또는 원형 홀이 형성된 회절 광학 소자 및 양의 굴절률을 갖는 렌즈로 구성되거나, 엑시콘 렌즈로 구성되거나, 홀로그램 광학 소자로 구성되는 등과 같이 다양한 형태로 구성될 수 있다.
검사 대상 물체(650)는 회전시료장치에 의해 고정될 수 있다.
테라헤르파 집광헤드는 검사 대상 물체(650)를 투과한 테라헤르츠파를 검출할 수 있다.
테라헤르츠파 집광헤드는 집광 미러(661, 662), 제 1 렌즈(660), 제 2 렌즈(670) 및 검출부(680)를 포함한다. 본 실시예에서는 테라헤르츠파 집광헤드가 집광 미러(661, 662), 제 1 렌즈(660), 제 2 렌즈(670) 및 검출부(680)를 모두 포함한 경우를 기준으로 설명하나, 테라헤르츠파 집광헤드는 집광 미러(661, 662), 제 1 렌즈(660), 제 2 렌즈(670) 및 검출부(680) 중 일부만을 포함하도록 구현될 수도 있다.
집광 미러(661, 662)는 검사 대상 물체를 투과하여 외부로 산란되는 테레헤르츠파 베셀빔을 제 1 렌즈(660)로 입사되도록 반사시킬 수 있다.
제 1 렌즈(660)는 검사 대상 물체를 투과하여 입사되는 테라헤르츠파의 각도를 작게 변경할 수 있다.
제 1 렌즈(660)는 집광 미러(661, 662)로부터 입사되는 테라헤르츠파의 각도를 작게 변경할 수 있다. 예를 들면, 제 1 렌즈(660)는 테라헤르츠파의 각도를 광축에 대해 일정 각도 이하로 변경하거나 평행하게 할 수 있다.
제 2 렌즈(670)는 제 1 렌즈(660)를 통과한 테라헤르츠파를 검출부(680)로 집광시킬 수 있다.
검출부(680)는 제 2 렌즈(670)에 의해서 집광된 테라헤르츠파를 검출할 수 있다. 예를 들면, 검출부(680)는 테라헤르츠파의 세기를 검출할 수 있다. 예를 들면, 검출부(680)는 쇼트키 다이오드(Schottky Diode)를 구비하여 구현될 수 있다.
데이터 수집부(DAQ)(700)는 검출신호를 디지털 신호로 변환하는 역할을 수행할 수 있다.
컴퓨터(PC)(710)는 디지털 신호를 시노그램으로 표현하거나 역라돈변환으로 3차원 영상으로 표현할 수 있다.
설명된 실시예들은 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 각 실시예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 구성될 수도 있다.
또한, 실시예는 그 설명을 위한 것이며, 그 제한을 위한 것이 아님을 주의하여야 한다. 또한, 본 발명의 기술분야의 통상의 전문가라면 본 발명의 기술사상의 범위에서 다양한 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 고속 스캐닝 단층 촬영 장치
110 : 제 1 축 프레임
120 : 제 2 축 프레임
130 : 테라헤르츠파 광학 헤드
140 : 테라헤르츠파 집광헤드
150 : 회전시료장치
110 : 제 1 축 프레임
120 : 제 2 축 프레임
130 : 테라헤르츠파 광학 헤드
140 : 테라헤르츠파 집광헤드
150 : 회전시료장치
Claims (20)
- 테라헤르츠파를 생성하는 테라헤르츠파 생성부와, 상기 테라헤르츠파 생성부로부터 입사되는 테라헤르츠파를 이용하여 검사 대상 물체에 테라헤르츠파 베셀빔이 형성되도록 하는 베셀빔 형성부를 포함하는 테라헤르츠파 광학헤드;
상기 테라헤르츠파 베셀빔이 상기 검사 대상 물체를 투과한 테라헤르츠파를 검출하는 테라헤르츠파 검출부를 포함하는 테라헤르츠파 집광헤드;
상기 테라헤르츠파 광학헤드 및 상기 테라헤르츠파 집광헤드를 제 1 축 방향으로 이동시키는 제 1 이동부;
상기 테라헤르츠파 광학헤드 및 상기 테라헤르츠파 집광헤드를 제 2 축 방향으로 이동시키는 제 2 이동부; 및
상기 테라헤르츠파 광학헤드 및 상기 테라헤르츠파 집광헤드 사이에 배치되고, 상기 검사 대상 물체를 회전시켜 3차원 스캔이 가능하도록 하는 회전시료장치를 포함하는, 고속 스캐닝 단층 촬영 장치.
- 제 1 항에 있어서,
상기 테라헤르츠파 광학 헤드 및 상기 테라헤르츠파 집광헤드과 기계적으로 연결되고, 상기 제 1 이동부에 의해 상기 테라헤르츠파 광학 헤드 및 상기 테라헤르츠파 집광헤드를 제 1 축으로 이동시키기 위해 사용되는 제 1 축 프레임;
제 1 축 프레임과 수직하게 배치되고, 상기 테라헤르츠파 광학 헤드 및 상기 테라헤르츠파 집광헤드과 기계적으로 연결되고, 상기 제 2 이동부에 의해 상기 테라헤르츠파 광학 헤드 및 상기 테라헤르츠파 집광헤드를 제 2 축으로 이동시키기 위해 사용되는 제 2 축 프레임;을 더 포함하는, 고속 스캐닝 단층 촬영 장치.
- 제 1 항에 있어서,
상기 테라헤르츠파 집광헤드는,
상기 검사 대상 물체를 투과하여 외부로 산란되는 테레헤르츠파 베셀빔을 제 1 렌즈로 입사되도록 반사시키는 집광 미러; 및
상기 집광 미러로부터 입사되는 테라헤르츠파의 각도를 작게 변경하는 제 1 렌즈를 더 포함하는, 고속 스캐닝 단층 촬영 장치.
- 제 3 항에 있어서,
상기 제 1 렌즈는,
상기 집광 미러를 투과하여 입사되는 테라헤르츠파의 각도를 작게 변경하는, 고속 스캐닝 단층 촬영 장치.
- 제 4 항에 있어서,
제 1 렌즈를 통과한 테라헤르츠파를 검출부로 집광시키는 제 2 렌즈를 더 포함하는, 고속 스캐닝 단층 촬영 장치.
- 제 5 항에 있어서,
제 2 렌즈에 의해서 집광된 테라헤르츠파를 검출하는 검출부를 더 포함하는, 고속 스캐닝 단층 촬영 장치.
- 제 1 항에 있어서,
상기 회전시료장치는,
검사체를 고정하는 홀더부;
상기 검사체와 기계적으로 연결되고, 상기 검사체를 회전시키는 모터를 더 포함하는, 고속 스캐닝 단층 촬영 장치.
- 제 7 항에 있어서,
상기 검사체는,
테라헤르츠파를 투과하는 재질로 구성되는, 고속 스캐닝 단층 촬영 장치.
- 제 7 항에 있어서,
상기 검사체는,
원통형으로 구성되는, 고속 스캐닝 단층 촬영 장치.
- 제 7 항에 있어서,
상기 홀더부의 중심의 일직선상에 위치한 회전시료 장치에 자석이 더 포함되고,
상기 검사체는,
상기 회전시료 장치와 붙을 수 있는 자석을 포함하여, 상기 회전시료장치 및 검사체가 용이하게 부착되는, 고속 스캐닝 단층 촬영 장치.
- 제 7 항에 있어서,
상기 홀더부는,
외주면을 따라 홀(hole)이 더 포함되고, 상기 검사체 및 상기 회전시료장치가 고정된 이후 홀을 통해 삽입되는 핀을 통해 상기 검사체가 고정되는, 고속 스캐닝 단층 촬영 장치.
- 상기 검사 대상 물체를 투과하여 외부로 산란되는 테레헤르츠파 베셀빔을 제 1 렌즈로 입사되도록 반사시키는 집광 미러; 및
상기 집광 미러로부터 입사되는 테라헤르츠파의 각도를 작게 변경하는 제 1 렌즈를 더 포함하는, 테라헤르츠파 집광헤드.
- 제 12 항에 있어서,
상기 제 1 렌즈는,
상기 집광 미러를 투과하여 입사되는 테라헤르츠파의 각도를 작게 변경하는, 테라헤르츠파 집광헤드.
- 제 13 항에 있어서,
제 1 렌즈를 통과한 테라헤르츠파를 검출부로 집광시키는 제 2 렌즈를 더 포함하는, 테라헤르츠파 집광헤드.
- 제 14 항에 있어서,
제 2 렌즈에 의해서 집광된 테라헤르츠파를 검출하는 검출부를 더 포함하는, 테라헤르츠파 집광헤드.
- 검사체를 고정하는 홀더부; 및
상기 검사체와 기계적으로 연결되고, 상기 검사체를 회전시키는 모터를 더 포함하는, 회전시료장치.
- 제 16 항에 있어서,
상기 검사체는,
테라헤르츠파를 투과하는 재질로 구성되는, 회전시료장치.
- 제 16 항에 있어서,
상기 검사체는,
원통형으로 구성되는, 회전시료장치.
- 제 16 항에 있어서,
상기 홀더부의 중심의 일직선상에 위치한 회전시료 장치에 자석이 더 포함되고,
상기 검사체는,
상기 회전시료 장치와 붙을 수 있는 자석을 포함하여, 상기 회전시료장치 및 검사체가 용이하게 부착되는, 회전시료장치.
- 제 16 항에 있어서,
상기 홀더부는,
외주면을 따라 홀(hole)이 더 포함되고, 상기 검사체 및 상기 회전시료장치가 고정된 이후 홀을 통해 삽입되는 핀을 통해 상기 검사체가 고정되는, 회전시료장치.
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Citations (4)
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| JP4308535B2 (ja) * | 2001-05-22 | 2009-08-05 | メディカル リサーチ カウンシル | 試料を画像化するための回転ステージ |
| KR20150126556A (ko) * | 2014-05-01 | 2015-11-12 | 한국과학기술원 | 마이크로칩 x선 단층촬영 시스템 및 이를 이용한 검사방법 |
| KR101844482B1 (ko) * | 2016-11-23 | 2018-05-14 | 한국식품연구원 | 고분해능 테라헤르츠파 집광모듈, 산란광 검출모듈 및 테라헤르츠파 베셀빔을 이용한 고분해능 검사 장치 |
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-
2019
- 2019-12-20 KR KR1020190171729A patent/KR102623992B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (4)
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