KR20200121269A - Method for producing silicon carbide fiber and the silicon carbide fiber manufactured by using the same - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a method for manufacturing silicon carbide fiber comprising a step of heating mixed powder including carbon fiber, silicon (Si) powder, and silicon dioxide (SiO_2) powder in a high-temperature vacuum furnace. The manufacturing method completely converts the carbon fiber into the silicon carbide fiber, and provides the silicon carbide fiber with excellent thermal properties, excellent electrical properties, and excellent mechanical properties.

Description

실리콘 카바이드 섬유의 제조방법 및 상기 제조방법에 의하여 제조된 실리콘 카바이드 섬유{METHOD FOR PRODUCING SILICON CARBIDE FIBER AND THE SILICON CARBIDE FIBER MANUFACTURED BY USING THE SAME}TECHNICAL FIELD The manufacturing method of silicon carbide fiber and silicon carbide fiber manufactured by the above manufacturing method TECHNICAL FIELD [METHOD FOR PRODUCING SILICON CARBIDE FIBER AND THE SILICON CARBIDE FIBER MANUFACTURED BY USING THE SAME}

본 발명은 실리콘 카바이드 섬유의 제조방법 및 상기 제조방법에 의하여 제조된 실리콘 카바이드 섬유에 관한 것이다.The present invention relates to a method of manufacturing a silicon carbide fiber and a silicon carbide fiber manufactured by the method.

실리콘카바이드(Silicon carbide, SiC)는 고온에서 화학적 안정성이 뛰어나고 높은 열전도성과 낮은 열팽창계수로 인해 내열성과 열적 안정성이 좋으며 기계적 강도가 우수하여 내마모성이 높은 특성을 가지고 있다. 이러한 우수한 특성 때문에 고온 재료, 고온 반도체, 반도체용 치구, 내마모성 재료, 자동차 부품, 화학공장의 내식성 또는 내약품성 부품 또는 전자부품 등에 적용하는 연구가 활발히 진행되고 있다. Silicon carbide (SiC) has excellent chemical stability at high temperature, high thermal conductivity and low coefficient of thermal expansion, so it has good heat resistance and thermal stability, and has excellent mechanical strength and high wear resistance. Because of these excellent properties, researches are actively being applied to high-temperature materials, high-temperature semiconductors, fixtures for semiconductors, wear-resistant materials, automobile parts, corrosion-resistant or chemical-resistant parts of chemical factories, or electronic parts.

그 중에서 실리콘 카바이드 섬유는 그 직경이 보통 수십㎛ 내지 수십 nm 정도의 원통형이며 수십 내지 수백 ㎛ 정도의 길이를 가진 물질로서 주된 성분은 탄소와 규소가 1:1의 원자비로 결합되어 있다. 제조방법에 따라 비정질의 산화규소가 수 내지 수십 nm의 두께로 덮여 있을 수 있다. 실리콘 카바이드 섬유는 위에서 설명한 일반적인 실리콘 카바이드(벌크형 등)와 마찬가지로 높은 강도와 우수한 화학 안정성을 가지고 있으며 우수한 전기적 특성을 가지는 물질이다. 최근에 연구개발 되고 있는 나노재료를 이용한 전계방출소자 FET (field emission tip)에서는 작동과정 시 고온에서의 안정성이 필요하며, 이런 면에서 실리콘 카바이드 나노로드는 탄소나노튜브보다 안정된 구조적 특성을 보임으로써 차세대 전계방출소자 재료로서 주목받고 있다. 이와 같은 실리콘 카바이드 섬유는 다양한 방법으로 제조되고 있다. 종래에 알려진 실리콘 카바이드 섬유를 제조하는 방법으로는 화학기상침착법(CVI, Chemical Vapor Infiltration), 고분자 침투 열분해법(PIP, Polymer Impregnation and Pyrolysis), 용융 실리콘 침투법(LSI, Liquid Silicon Infiltration), 고온가압 소결법 (HP, Hot Press) 등이 있다. 화학기상침착법은 기체상의 금속유기화합물을 섬유 사이로 침투시키고 열분해 하여 섬유 둘레에 실리콘 카바이드를 증착함으로써 실리콘 카바이드 기지상을 제조하는 방법이고, 고분자 침투·열분해법은 폴리카보실란(polycarbosilane) 등과 같은 유기화합물을 실리콘 카바이드 분말과 혼합하여 슬러리를 만든 후 이 슬러리를 실리콘 카바이드 섬유 프리폼에 침투시켜 열분해 함으로써 실리콘 카바이드 기지 상을 얻는 방법이다. 또한 용융 실리콘 침투법은 탄소와 실리콘 카바이드 분말을 프리폼에 채워 넣고 실리콘을 용융하여 침투시켜 탄소와 반응시킴으로써 실리콘 카바이드 기지 상을 제조하는 것이고, 고온가압 소결법은 실리콘 카바이드 분말과 소결조제가 혼합된 슬러리를 프리폼에 침투시킨 후 고온가압 하에서 소결하는 방법이다. Among them, silicon carbide fibers are generally cylindrical in diameter of about tens to several tens of nm, and have a length of tens to hundreds of μm, and the main components are carbon and silicon in an atomic ratio of 1:1. Depending on the manufacturing method, amorphous silicon oxide may be covered with a thickness of several to tens of nm. Silicon carbide fiber is a material having high strength, excellent chemical stability, and excellent electrical properties, like the general silicon carbide (bulk type, etc.) described above. Field emission device FETs (field emission tips) using nanomaterials, which have been recently researched and developed, require stability at high temperatures during the operation process, and in this respect, silicon carbide nanorods show more stable structural characteristics than carbon nanotubes. It is attracting attention as a field emission device material. Such silicon carbide fibers are manufactured by various methods. Conventionally known methods of manufacturing silicon carbide fibers include Chemical Vapor Infiltration (CVI), Polymer Impregnation and Pyrolysis (PIP), Liquid Silicon Infiltration (LSI), and high temperature. Pressure sintering (HP, Hot Press), and the like. The chemical vapor deposition method is a method of producing a silicon carbide matrix by infiltrating a gaseous metal-organic compound through fibers and thermally decomposing them to deposit silicon carbide around the fibers, and the polymer penetration and pyrolysis method is an organic compound such as polycarbosilane. This is a method of obtaining a silicon carbide matrix phase by mixing with silicon carbide powder to make a slurry, and then penetrating the slurry into a silicon carbide fiber preform and thermally decomposing. In addition, the molten silicon penetration method is to prepare a silicon carbide matrix by filling the preform with carbon and silicon carbide powder and melting and penetrating the silicon to react with carbon.The high-temperature pressurization sintering method is to prepare a slurry of silicon carbide powder and a sintering aid. It is a method of sintering under high temperature pressure after penetrating into the preform.

그러나 화학 기상 침착법은 공정시간이 길고 잔류기공이 존재하며 제조단가가 비싼 단점이 있고, 고분자 침투·열 분해법은 화학정량비로 이루어진 결정상 실리콘 카바이드를 얻기 어렵고 열전도도가 낮으며, 열분해 시 부피수축으로 균열이 발생하기 때문에 여러 번의 반복 공정이 필요하다. 또한 용융 실리콘 침투법은 기공이 거의 없고 열전도도가 우수한 복합체를 제조할 수 있으나 미반응 실리콘의 잔류로 인해 내열 및 내방사선 특성이 상대적으로 좋지 않은 단점이 있고, 고온가압 소결법은 소결하기 어려워 섬유가 손상되는 단점이 있다.However, the chemical vapor deposition method has the disadvantages that the process time is long, there are residual pores, and the manufacturing cost is high, and the polymer penetration and thermal decomposition method is difficult to obtain crystalline silicon carbide consisting of a chemical quantitative ratio, and the thermal conductivity is low. Because cracking occurs, several iterations are required. In addition, the molten silicon penetration method can produce a composite with few pores and excellent thermal conductivity, but has a disadvantage of relatively poor heat resistance and radiation resistance due to the residual unreacted silicon. There is a disadvantage of being damaged.

최근 들어 종래에 알려진 상기와 같은 방법들의 단점을 개선하기 위해 많은 연구가 진행되고 있다. 구체적인 예로, 대한민국등록특허 제1103649호(2012.01.02. 등록)에서는 유기규소화합물과 폴리머 전구체 및 용매를 혼합하여 제조한 고분자 용액을 전기방사시켜 제조하는 방법을 소개하였으며 이 방법은 제조공정이 간단하고 제조한 실리콘 카바이드나노섬유는 전기전도성을 가지는 장점이 있다고 소개하였다. 또한 대한민국등록특허 제0561701호(2006.03.09 등록)에서는 금속 촉매로서 전이금속을 이용하여 탄소구조체 표면을 코팅한 다음, 코팅된 탄소구조체를 규소 및 이산화규소 혼합 분말과 반응시켜 제조하는 방법을 소개하였으며 저온에서 다량의 탄소나노섬유를 제조할 수 있는 장점이 있다고 소개하였다. In recent years, many studies have been conducted to improve the disadvantages of the methods as described above. As a specific example, Korean Patent Registration No. 1103649 (registered on Feb. 2012) introduced a method of electrospinning a polymer solution prepared by mixing an organosilicon compound, a polymer precursor, and a solvent. This method has a simple manufacturing process and It was introduced that the manufactured silicon carbide nanofiber has the advantage of having electrical conductivity. In addition, Korean Patent Registration No. 0561701 (registered on March 9, 2006) introduced a method of coating the surface of a carbon structure using a transition metal as a metal catalyst, and then reacting the coated carbon structure with a mixture of silicon and silicon dioxide powder. It was introduced that it has the advantage of being able to manufacture a large amount of carbon nanofibers at low temperatures.

그러나 상기와 같은 실리콘 카바이드섬유를 제조하는 공정들은 고가의 고순도 원료가 사용되며 공정 및 공정설비가 복잡하고 처리가 까다로워 제조비용이 높은 단점이 있다.However, the processes for manufacturing silicon carbide fibers as described above have disadvantages in that expensive high-purity raw materials are used, the process and process equipment are complex, and the processing is difficult, resulting in high manufacturing cost.

이에 본 발명자들은 탄소섬유에 산화규소를 반응시켜, 탄소섬유를 실리콘 카바이드 섬유로 효율적으로 전환함으로써, 실리콘 카바이드 섬유를 제조하는 방법을 개발하였다.Accordingly, the present inventors have developed a method for producing silicon carbide fibers by reacting silicon oxide with carbon fibers and efficiently converting carbon fibers into silicon carbide fibers.

이에 본 발명의 제1구현예로 탄소섬유와 규소(Si) 분말 및 이산화규소(SiO2) 분말을 포함하는 혼합 분말을 고온 진공로에 넣고 가열하는 단계를 포함하는, 실리콘 카바이드 섬유의 제조방법을 제공하는 것이다.Thus, as a first embodiment of the present invention, a method for producing a silicon carbide fiber comprising the step of placing and heating a mixed powder including carbon fiber, silicon (Si) powder and silicon dioxide (SiO 2 ) powder in a high-temperature vacuum furnace. To provide.

상기 구현예에 의한 가열은 1400 내지 2200℃로 수행되는 것을 특징으로 한다.Heating according to the above embodiment is characterized in that it is performed at 1400 to 2200 ℃.

상기 구현예에 의한 가열은 1분 내지 6시간 동안 수행되는 것을 특징으로 한다.Heating according to the above embodiment is characterized in that it is performed for 1 minute to 6 hours.

상기 구현예에 의한 혼합 분말은 탄소섬유 100 중량부에 대하여 150 내지 7000 중량부로 사용되는 것을 특징으로 한다.The mixed powder according to the embodiment is characterized in that 150 to 7000 parts by weight is used based on 100 parts by weight of carbon fiber.

상기 구현예에 의한 혼합 분말은 규소 분말 및 이산화규소 분말이 1:1 내지 1:4의 중량비로 혼합된 것을 특징으로 한다.The mixed powder according to the embodiment is characterized in that the silicon powder and the silicon dioxide powder are mixed in a weight ratio of 1:1 to 1:4.

상기 구현예에 의한 상기 제조방법은 규소 분말 및 이산화규소 분말이 가열에 의해 발생하는 산화규소 기체가 탄소섬유와 반응하여 탄소섬유가 실리콘 카바이드 섬유로 전환되는 것을 특징으로 한다.The manufacturing method according to the above embodiment is characterized in that silicon oxide gas generated by heating the silicon powder and the silicon dioxide powder reacts with the carbon fibers to convert the carbon fibers into silicon carbide fibers.

또한 본 발명은 제2구현예로 상기 제조방법으로 제조된 실리콘 카바이드 섬유를 제공한다.In addition, the present invention provides a silicon carbide fiber manufactured by the above manufacturing method as a second embodiment.

상기 제2구현예에 의한 상기 섬유는 직경이 5㎛ 내지 20㎛ 인 것을 특징으로 한다.The fiber according to the second embodiment is characterized in that the diameter is 5㎛ to 20㎛.

본 발명의 실리콘 카바이드 섬유의 제조방법은, 탄소섬유를 규소 및 이산화규소 분말이 혼합된 혼합 분말에서 발생하는 산화규소 기체와 반응시켜, 탄화수소(C)를 실리콘 카바이드 섬유(SiC)로 완전히 전환할 수 있다. 상기 제조방법에 의한 실리콘 카바이드 섬유는 코어까지 완전히 실리콘 카바이드로 전환된 것으로, 열적 물성 및 기계적 특성이 우수하여 전선 소재 등으로 유용하게 활용이 가능하다. In the method for producing a silicon carbide fiber of the present invention, the carbon fiber is reacted with silicon oxide gas generated in a mixed powder of silicon and silicon dioxide powder, so that hydrocarbon (C) can be completely converted to silicon carbide fiber (SiC). have. The silicon carbide fiber according to the above manufacturing method is completely converted to silicon carbide up to the core, and has excellent thermal properties and mechanical properties, and thus can be usefully used as a wire material.

또한 반응조건에 따라 실리콘 카바이드의 두께를 조절할 수 있어 내부는 탄소섬유, 외부는 실리콘 카바이드로 피복된 형태의 섬유를 얻을 수 있으며, 탄소섬유의 특성에 실리콘 카바이드의 특성을 더한 물성으로 산업적으로 다양한 용도가 기대된다.In addition, the thickness of silicon carbide can be adjusted according to the reaction conditions, so that carbon fibers on the inside and fibers coated with silicon carbide on the outside can be obtained.The properties of the carbon fiber plus the properties of silicon carbide are used for various industrial purposes. Is expected.

도 1은 본 발명의 반응을 수행하는 진공로에 들어가는 흑연도가니를 나타낸 도면이다.
도 2는 최고온도에 따른 산화규소 발생량 및 최고온도 1600℃에서 유지시간에 따른 산화규소 발생량을 확인한 결과를 나타낸 도면이다.
도 3은 실시예 1에 의해 제조된 섬유의 외관을 나타낸 도면이다.
도 4는 실시예 2에 의해 제조된 섬유의 외관을 나타낸 도면이다.
도 5는 실시예 3에 의해 제조된 섬유의 외관을 나타낸 도면이다.
도 6은 실시예 4에 의해 제조된 섬유의 외관을 나타낸 도면이다.
도 7은 실시예 5에 의해 제조된 섬유의 외관을 나타낸 도면이다.
도 8은 실시예 6에 의해 제조된 섬유의 외관을 나타낸 도면이다.
도 9는 실시예 7에 의해 제조된 섬유의 외관을 나타낸 도면이다.
도 10은 실시예 1에 의해 제조된 섬유의 형태를 SEM 및 EDS분석에 의해 확인한 결과를 나타낸 도면이다.
도 11은 실시예 2에 의해 제조된 섬유의 형태를 SEM 및 EDS분석에 의해 확인한 결과를 나타낸 도면이다.
도 12는 실시예 3에 의해 제조된 섬유의 형태를 SEM 및 EDS분석에 의해 확인한 결과를 나타낸 도면이다.
도 13은 실시예 4에 의해 제조된 섬유의 형태를 SEM 및 EDS분석에 의해 확인한 결과를 나타낸 도면이다.
도 14는 실시예 5에 의해 제조된 섬유의 형태를 SEM 및 EDS분석에 의해 확인한 결과를 나타낸 도면이다.
도 15는 실시예 6에 의해 제조된 섬유의 형태를 SEM 및 EDS분석에 의해 확인한 결과를 나타낸 도면이다.
도 16은 실시예 7에 의해 제조된 섬유의 형태를 SEM 및 EDS분석에 의해 확인한 결과를 나타낸 도면이다.
도 17 및 18은 제조된 섬유의 결정 형태를 XRD 분석에 의해 확인한 결과를 나타낸 도면이다.
1 is a view showing a graphite crucible entering a vacuum furnace performing the reaction of the present invention.
2 is a view showing the result of confirming the amount of silicon oxide generated according to the highest temperature and the amount of silicon oxide generated according to the holding time at the highest temperature of 1600°C.
3 is a view showing the appearance of the fibers prepared according to Example 1.
4 is a view showing the appearance of the fibers prepared according to Example 2.
5 is a view showing the appearance of the fibers prepared according to Example 3.
6 is a view showing the appearance of the fiber prepared according to Example 4.
7 is a view showing the appearance of the fiber prepared according to Example 5.
8 is a view showing the appearance of the fiber prepared according to Example 6.
9 is a view showing the appearance of the fiber prepared according to Example 7.
10 is a view showing a result of confirming the shape of the fiber prepared in Example 1 by SEM and EDS analysis.
11 is a view showing the result of confirming the shape of the fiber prepared in Example 2 by SEM and EDS analysis.
12 is a view showing the result of confirming the shape of the fiber prepared in Example 3 by SEM and EDS analysis.
13 is a view showing the result of confirming the shape of the fiber prepared in Example 4 by SEM and EDS analysis.
14 is a view showing the result of confirming the shape of the fiber prepared in Example 5 by SEM and EDS analysis.
15 is a view showing the result of confirming the shape of the fiber prepared in Example 6 by SEM and EDS analysis.
16 is a view showing the result of confirming the shape of the fiber prepared in Example 7 by SEM and EDS analysis.
17 and 18 are diagrams showing the results of confirming the crystal form of the prepared fiber by XRD analysis.

본 발명은 실리콘 카바이드 섬유의 제조방법을 제공하는 것으로, 본 발명은 탄소섬유를 실리콘 카바이드 섬유로 완전히 전환시킬 수 있는 제조 조건을 개발하고자 연구한 결과, 우수한 전환율을 보이는 조건을 확인하여 본 발명을 완성하였다.The present invention provides a method for producing silicon carbide fibers, and the present invention completes the present invention by confirming conditions showing excellent conversion rates as a result of a study to develop manufacturing conditions capable of completely converting carbon fibers into silicon carbide fibers. I did.

따라서 본 발명은, 탄소섬유와 규소(Si) 분말 및 이산화규소(SiO2) 분말을 포함하는 혼합 분말을 고온 진공로에 넣고 가열하는 단계를 포함하는, 실리콘 카바이드 섬유의 제조방법을 제공한다.Accordingly, the present invention provides a method for producing a silicon carbide fiber, including the step of heating a mixed powder including carbon fiber and silicon (Si) powder and silicon dioxide (SiO 2 ) powder in a high-temperature vacuum furnace.

상기 제조방법에서 가열은 1 내지 10-2 Torr의 압력 또는 아르곤(Ar) 등의 불활성기체 분위기에서 1400 내지 2200℃로 1분 내지 6시간 동안 가열하는 것을 특징으로 하는 것이다. In the above manufacturing method, heating is characterized by heating at 1400 to 2200°C for 1 minute to 6 hours in an inert gas atmosphere such as 1 to 10 -2 Torr or argon (Ar).

바람직하게는 상기 가열은 1500 내지 2000℃ 일 수 있다. 가열 시 1500 ℃ 미만의 온도로 가열할 경우 탄소 섬유의 표면만 실리콘 카바이드로 전환될 수 있고, 2000℃를 초과한 온도로 가열할 경우 실리콘 카바이드 섬유의 표면에 크랙이 형성될 수 있다.Preferably, the heating may be 1500 to 2000 °C. When heated to a temperature of less than 1500 °C during heating, only the surface of the carbon fiber may be converted to silicon carbide, and when heated to a temperature exceeding 2000 °C, cracks may be formed on the surface of the silicon carbide fiber.

또한 바람직하게는 상기 가열은 50분 내지 4시간 동안 가열되는 것일 수 있다. 상기 가열이 50분 미만으로 수행될 경우 탄소 섬유의 코어까지 실리콘 카바이드로 전환되지 않을 수 있고, 4시간을 초과하여 가열할 경우 실리콘 카바이드 섬유의 표면에 크랙이 형성될 수 있다. In addition, preferably, the heating may be heated for 50 minutes to 4 hours. When the heating is performed for less than 50 minutes, the carbon fiber core may not be converted to silicon carbide, and when the heating is performed for more than 4 hours, cracks may be formed on the surface of the silicon carbide fiber.

상기 제조방법은 규소 분말 및 이산화규소 분말이 가열에 의해 발생하는 산화규소 기체가 탄소섬유와 반응하여 탄소섬유가 실리콘 카바이드 섬유로 전환되는 것으로, 상기 혼합 분말은 탄소섬유 100 중량부에 대하여 150 내지 7000 중량부로 사용하는 것이 바람직하다. 상기 혼합 분말이 150 중량부 미만으로 사용되면 탄소섬유가 실리콘 카바이드 섬유로 완전히 전환되기에 부족할 수 있고, 7000 중량부를 초과할 경우, 미반응 산화규소 기체의 증가로 원료가 낭비되어 비효율적으로 될 수 있다. The manufacturing method is that the silicon oxide gas generated by heating the silicon powder and the silicon dioxide powder reacts with the carbon fiber to convert the carbon fiber into silicon carbide fiber, and the mixed powder is 150 to 7000 per 100 parts by weight of the carbon fiber. It is preferable to use it in parts by weight. If the mixed powder is used in an amount of less than 150 parts by weight, carbon fibers may be insufficient to be completely converted to silicon carbide fibers, and if it exceeds 7000 parts by weight, raw materials may be wasted due to an increase in unreacted silicon oxide gas, which may become inefficient. .

본 발명의 또다른 구현예로, 상기 가열을 수행할 때, 탄소섬유에 장력(tension)을 가하며 가열을 수행할 수 있다. 상기 장력을 가하는 방식에는 제한이 없으며, 장력을 가하면서 가열을 수행할 경우 실리콘 카바이드 섬유의 표면에 생기는 크랙을 방지할 수 있다.In another embodiment of the present invention, when the heating is performed, the heating may be performed while applying tension to the carbon fiber. There is no limitation on the method of applying the tension, and when heating is performed while applying tension, cracks occurring on the surface of the silicon carbide fiber can be prevented.

상기 혼합 분말은 일산화규소 기체의 소스가 되는 것으로, 상기 혼합분말의 실리콘 분말과 이산화규소는 가열시에 하기와 같은 반응식에 의해 반응하여 일산화규소 기체를 발생시킨다.The mixed powder serves as a source of silicon monoxide gas, and the silicon powder and silicon dioxide of the mixed powder react according to the following reaction equation upon heating to generate silicon monoxide gas.

[화학식 1][Formula 1]

Si(s) + SiO2(s) → 2SiO(g)Si(s) + SiO 2 (s) → 2SiO(g)

상기 혼합 분말은 규소 분말 및 이산화규소 분말이 1:1 내지 1:4의 중량비로 혼합된 것일 수 있다. 상기 이산화규소 분말이 규소 분말 1 중량부에 대하여 1 중량부 미만으로 사용되거나, 4 중량부를 초과하여 사용되면, 투입한 혼합 분말 양에 비해 산화규소 기체의 발생량이 적어 혼합 분말을 낭비하게 되어 비효율적일 수 있다.The mixed powder may be obtained by mixing silicon powder and silicon dioxide powder in a weight ratio of 1:1 to 1:4. If the silicon dioxide powder is used in an amount of less than 1 part by weight or more than 4 parts by weight based on 1 part by weight of the silicon powder, the amount of silicon oxide gas generated is small compared to the amount of the mixed powder added, and the mixed powder is wasted, making it inefficient. I can.

또한, 본 발명은 상기 제조방법으로 제조된 실리콘 카바이드 섬유를 제공할 수 있다.In addition, the present invention can provide a silicon carbide fiber manufactured by the above manufacturing method.

상기 실리콘 카바이드 섬유는 직경이 5㎛ 내지 20㎛일 수 있고, 탄소가 일부 실리콘 카바이드로 전환되거나, 완전히 실리콘 카바이드로 전환된 것일 수 있다.The silicon carbide fiber may have a diameter of 5 μm to 20 μm, and carbon may be partially converted to silicon carbide or completely converted to silicon carbide.

이하, 실시예를 통하여 본 발명을 더욱 상세히 설명하고자 한다. 이들 실시예는 오로지 본 발명을 보다 구체적으로 설명하기 위한 것으로서, 본 발명의 범위가 이들 실시예에 의해 제한되지 않는다는 것은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 자명할 것이다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail through examples. These examples are for illustrative purposes only, and it will be apparent to those of ordinary skill in the art that the scope of the present invention is not limited by these examples.

[실시예][Example]

1. 혼합분말의 산화규소 기체 전환율 확인1. Confirmation of silicon oxide gas conversion rate of mixed powder

본 제조예에서는 규소(Si) 분말 및 이산화규소(SiO2) 분말을 포함하는 혼합 분말을 고온 진공로에 넣고, 아르곤(Ar) 분위기 하에 1400~1600 ℃로 10분~3시간 동안 가열하였다(도 1).In this preparation example, a mixed powder including silicon (Si) powder and silicon dioxide (SiO 2 ) powder was placed in a high-temperature vacuum furnace, and heated at 1400 to 1600° C. for 10 minutes to 3 hours in an argon (Ar) atmosphere (Fig. One).

상기 혼합분말에 포함된 규소 분말 및 이산화규소 분말의 혼합비율은 하기 표 1에 나타내었다.The mixing ratio of the silicon powder and the silicon dioxide powder contained in the mixed powder is shown in Table 1 below.

실시예 1Example 1 실시예 2Example 2 실시예 3Example 3 실시예 4Example 4 실시예 5Example 5 실시예 6Example 6 실시예 7Example 7 혼합분말(g)Mixed powder (g) 100g100g 30.030.0 30.030.0 3030 29.529.5 30.130.1 30.130.1 Si : SiO2 혼합 중량비
(혼합몰비)
Si: SiO 2 mixing weight ratio
(Mixed molar ratio)
28:60 (1:1)28:60 (1:1)
산화규소 기체
전환율(%)
Silicon oxide gas
Conversion rate (%)
2.72.7 17.317.3 24.324.3 15.715.7 13.213.2 11.311.3 6.66.6
최고 온도(℃)Temperature(℃) 14001400 15001500 16001600 최고 온도
유지시간(hr)
Maximum temperature
Holding time(hr)
33 33 33 22 1One 0.50.5 0.170.17

상기 각 실시예에 대한 제조조건은 하기 표 2에 나타내었다.Preparation conditions for each of the examples are shown in Table 2 below.

TestTest 최고온도Maximum temperature 유지시간Holding time 승온속도Heating rate 총 소요시간Total Time 실시예 1Example 1 1,400℃1,400℃ 3시간3 hours 10℃/분10℃/min 460분460 minutes 실시예 2Example 2 1,500℃1,500℃ 3시간3 hours 10℃/분10℃/min 480분480 minutes 실시예 3Example 3 1,600℃1,600℃ 3시간3 hours 10℃/분10℃/min 500분500 minutes 실시예 4Example 4 1,600℃1,600℃ 2시간2 hours 10℃/분10℃/min 440분440 minutes 실시예 5Example 5 1,600℃1,600 1시간1 hours 10℃/분10℃/min 380분380 minutes 실시예 6Example 6 1,600℃1,600℃ 30분30 minutes 10℃/분10℃/min 350분350 minutes 실시예 7Example 7 1,600℃1,600℃ 10분10 minutes 10℃/분10℃/min 330분330 minutes

상기 가열에 의해 반응 전후의 흑연도가니의 무게를 측정함으로써, 서로 반응하여 산화규소 기체로 날아가고 남은 미반응 혼합 분말의 무게를 확인하여 전환율을 확인하였다. 전환율(%) = (( 반응전 무게 - 반응후 무게 ) / ( 반응전 무게 )) X 100By measuring the weight of the graphite crucible before and after the reaction by the above heating, the weight of the unreacted mixed powder which reacted with each other and was blown away as the silicon oxide gas was checked to confirm the conversion rate. Conversion rate (%) = (( weight before reaction-weight after reaction) / (weight before reaction )) X 100

반응전 무게 = 흑연도가니 무게 + 혼합분말 무게Weight before reaction = weight of graphite crucible + weight of mixed powder

반응후 무게 = 흑연도가니 무게 + 잔류 혼합분말 무게Weight after reaction = weight of graphite crucible + weight of residual mixed powder

상기 전환율을 확인한 결과를 도 2에 나타내었으며, 최고온도를 1400℃로 유지한 실시예 1은 2.7%의 전환율을 보였고, 최고온도를 1600℃로 유지한 실시예 3은 24.3%의 전환율을 보였다. 또한 최고온도를 1600℃로 유지하더라도 1시간 미만으로 유지할 경우 전환율은 실시예 6 및 7과 같이 11.3% 및 6.6%로 나타났다. 상기 결과로부터, 최고 온도가 높을수록, 최고 온도에서의 유지시간이 길수록 전환율은 증가하는 것이 확인되었다.The results of confirming the conversion rate are shown in FIG. 2, and Example 1, which maintained the highest temperature at 1400°C, showed a conversion rate of 2.7%, and Example 3, which maintained the highest temperature at 1600°C, showed a conversion rate of 24.3%. In addition, even if the maximum temperature was maintained at 1600°C, the conversion rates were 11.3% and 6.6% as in Examples 6 and 7 when maintained for less than 1 hour. From the above results, it was confirmed that the higher the maximum temperature and the longer the holding time at the maximum temperature, the higher the conversion rate.

2. 외관 확인2. Appearance check

상기 실시예 1 내지 7에 기재된 조건으로, 탄소섬유를 고온 진공로에 넣고 반응시켜 실리콘 카바이드 섬유를 제조하였다. 탄소섬유는 약 4g 정도 사용하였다.Under the conditions described in Examples 1 to 7 above, carbon fibers were placed in a high-temperature vacuum furnace and reacted to prepare silicon carbide fibers. About 4g of carbon fiber was used.

반응이 완료된 후, 도 3 내지 9에 상기 실시예 1 내지 7의 결과 제조된 실리콘 카바이드 섬유의 외관을 탄소섬유와 비교하여 나타내었다.After the reaction was completed, the appearances of the silicon carbide fibers prepared as a result of Examples 1 to 7 are shown in Figs. 3 to 9 compared with the carbon fibers.

도 3의 경우 탄소섬유에 비해 약간 청회색을 띠고 있고, 도 4의 경우 섬유 표면에 무지개 빛이 보이며, 도 5에서는 섬유가 약간 연초록색을 띠고, 흑연도가니의 바닥 부분이 연초록색으로 코팅되는 것이 확인되었다. 도 6의 섬유는 약간 연초록색을 띤 청회색을 보였고, 도 7의 섬유는 청회석을 보였다. 또한 도 8의 섬유와 도 9의 섬유는 모두 청회색 빛을 보였다.In the case of Fig. 3, it has a slightly bluish gray color compared to the carbon fiber, and in Fig. 4, the surface of the fiber is iridescent, and in Fig. 5, it is confirmed that the fiber has a slightly light green color, and the bottom part of the graphite crucible is coated with a light green color. Became. The fiber of FIG. 6 showed a slightly pale greenish bluish gray color, and the fiber of FIG. 7 showed a bluish gray color. In addition, both the fiber of FIG. 8 and the fiber of FIG. 9 showed bluish gray light.

3. SEM 및 EDS 분석3. SEM and EDS analysis

제조된 섬유의 형태를 확인하기 위하여 SEM 분석(일본 JEOL사의 FE-SEM(JSM-7610F) 및 EDS 분석(일본 JEOL사의 FE-SEM(JSM-7610F)을 수행하였다.SEM analysis (FE-SEM (JSM-7610F) manufactured by JEOL, Japan) and EDS analysis (FE-SEM (JSM-7610F) manufactured by JEOL Japan) were performed to confirm the shape of the prepared fiber.

도 10에 나타낸 것과 같이 실시예 1의 섬유는 7~7.5 ㎛의 직경을 가지고 있었고, 바깥쪽 표면만 실리콘이 보여, 코어까지 실리콘 카바마이드로 전환되지 않은 것이 확인되었고, 도 11에 나타낸 것과 같이 실시예 2의 섬유는 7~7.5 ㎛의 직경을 가지고 있었고, 섬유 표면에 whisker로 보이는 솜털같은 미세한 짧은 섬유가 붙어있었다. 실시예 1과 마찬가지로 바깥쪽 표면만 실리콘이 보여, 코어까지 실리콘 카바마이드로 전환되지 않은 것이 확인되었다.As shown in FIG. 10, the fiber of Example 1 had a diameter of 7 to 7.5 µm, and only the outer surface of the fiber was visible, and it was confirmed that the silicon carbamide was not converted to the core, and as shown in FIG. The fiber of Example 2 had a diameter of 7 to 7.5 µm, and a fine short fiber like a whisker was attached to the surface of the fiber. As in Example 1, only the outer surface of the silicon was seen, and it was confirmed that silicon carbamide was not converted to the core.

이와 반면에, 도 12에 나타낸 것과 같이 실시예 3의 섬유는 섬유 직경이 약 8.1㎛ 정도로 크며, 섬유 내부까지 Si가 보여, 탄소섬유(C)가 실리콘 카바마이드로 완전히 전환(Fully Converted)된 것이 확인되었다. 이는 종래 제품들이 Hollow Fiber 형태를 보이는 것과는 차이점을 가지는 것이다.On the other hand, as shown in FIG. 12, the fiber of Example 3 had a fiber diameter of about 8.1 μm, and Si was visible to the inside of the fiber, and the carbon fiber (C) was completely converted to silicon carbamide. Confirmed. This is different from the conventional products showing the Hollow Fiber type.

또한, 도 13에 나타낸 것과 같이 실시예 4의 섬유 역시, 섬유 직경도 큰 쪽이 약 8.4㎛로 크고, 섬유 내부까지 실리콘이 보여 탄소섬유(C)가 실리콘 카바마이드로 완전히 전환(Fully Converted)된 것이 확인되었고, 도 14에 나타낸 것과 같이 실시예 5의 경우 섬유 직경이 약 8.4㎛로 크게 나타나고, 섬유 내부까지 실리콘이 보여 탄소섬유(C)가 실리콘 카바마이드로 완전히 전환(Fully Converted)된 것이 확인되었다.In addition, as shown in FIG. 13, the fiber of Example 4 also had a larger fiber diameter of about 8.4 µm, and silicon was visible to the inside of the fiber, so that the carbon fiber (C) was completely converted to silicon carbamide. As shown in Fig. 14, in the case of Example 5, the fiber diameter was large at about 8.4 µm, and silicon was seen up to the inside of the fiber, confirming that the carbon fiber (C) was completely converted to silicon carbamide. Became.

다만, 도 15에 나타낸 것과 같이, 실시예 6의 경우 코어 부분에 탄소섬유가 남아있어, 탄소섬유와 전환된 실리콘카바마이드 사이의 계면이 갈라져 있고 섬유 표면도 많이 갈라져 있는 것이 확인되었다.However, as shown in FIG. 15, in the case of Example 6, since carbon fibers remained in the core portion, it was confirmed that the interface between the carbon fibers and the converted silicon carbamide was cracked, and the fiber surface was also cracked a lot.

또한, 도 16에 나타낸 것과 같이, 실시예 7의 경우 가운데 탄소섬유가 남아있으나, Test6(1.600℃, 30분)과 달리 탄소섬유와 전환된 SiC 간의 계면이 분리되지않고 연속적으로 보였고, 표면은 마찬가지로 많이 갈라진 것이 확인되었다.In addition, as shown in FIG. 16, in the case of Example 7, the carbon fiber remained, but unlike Test 6 (1.600° C., 30 minutes), the interface between the carbon fiber and the converted SiC was not separated and was continuously seen, and the surface was similarly A lot of cracks were confirmed.

4. XRD 분석4. XRD analysis

제조된 섬유의 결정 형태를 확인하기 위하여 XRD 분석(일본 RIGAKU사의 D/MAX 2500)을 수행하였다.XRD analysis (D/MAX 2500 manufactured by RIGAKU, Japan) was performed to confirm the crystal form of the prepared fiber.

그 결과를 도 17 및 18에 나타내었다.The results are shown in FIGS. 17 and 18.

도 17 및 도 18에 나타낸 것과 같이, 실리콘 카바이드(SiC) 피크가 나타나 실리콘 카바이드가 생성되었다는 것이 확인되었다. 실시예 1 및 실시예 2와 같이 1400℃, 1500℃에서는 실리콘 카바이드(SiC) 피크와 함께 미반응 탄소(C) 피크도 크게 나타나지만, 실시예 3~7과 같이 1600℃에서는 미반응 탄소의 피크는 유지시간이 길어짐에 따라 거의 사라지고 실리콘 카바이드(SiC) 피크만 남아 실리콘 카바이드(SiC)로의 전환이 높게 되었음을 알 수 있었다.As shown in FIGS. 17 and 18, it was confirmed that silicon carbide (SiC) peak appeared, indicating that silicon carbide was generated. As in Example 1 and Example 2, at 1400°C and 1500°C, the peak of unreacted carbon (C) and the peak of silicon carbide (SiC) were also large, but as in Examples 3 to 7, the peak of unreacted carbon was As the holding time increased, it almost disappeared and only the silicon carbide (SiC) peak remained, indicating that the conversion to silicon carbide (SiC) became high.

이상으로 본 발명 내용의 특정한 부분을 상세히 기술하였는 바, 당업계의 통상의 지식을 가진 자에게 있어서 이러한 구체적 기술은 단지 바람직한 실시양태일 뿐이며, 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되는 것이 아닌 점은 명백할 것이다. 따라서, 본 발명의 실질적인 범위는 첨부된 청구항들과 그것들의 등가물에 의하여 정의된다고 할 것이다.As the specific parts of the present invention have been described in detail above, it will be apparent to those of ordinary skill in the art that these specific descriptions are only preferred embodiments, and the scope of the present invention is not limited thereby. will be. Accordingly, it will be said that the substantial scope of the present invention is defined by the appended claims and their equivalents.

Claims (4)

탄소섬유와 규소(Si) 분말 및 이산화규소(SiO2) 분말을 포함하는 혼합 분말을 진공로에 넣고 가열하는 단계를 포함하고,
상기 가열은 1400 내지 2200℃로 수행되며,
상기 진공로의 최고 온도는 1,600 ℃ 이상이고, 상기 최고 온도에서의 유지 시간은 1 내지 3시간인 것을 특징으로 하고,
상기 규소 분말 및 이산화규소의 혼합 분말은, 탄소섬유 100 중량부에 대하여 150 내지 7000 중량부로 사용되며, 상기 규소 분말 및 상기 이산화규소 분말이 1:1 내지 1:4의 중량비로 혼합되고,
상기 규소 분말 및 상기 이산화규소 분말의 가열에 의해 발생하는 산화규소 기체가 탄소섬유와 반응하여 탄소섬유가 실리콘 카바이드 섬유로 전환되어 산화규소 기체전환율은 13.2 내지 24.3%이고, 섬유직경은 8.1 내지 8.4㎛인 것을 특징으로 하는, 실리콘 카바이드 섬유의 제조방법.
Including the step of heating the mixed powder containing carbon fiber and silicon (Si) powder and silicon dioxide (SiO 2 ) powder in a vacuum furnace,
The heating is performed at 1400 to 2200°C,
The maximum temperature of the vacuum furnace is 1,600 °C or more, and the holding time at the maximum temperature is 1 to 3 hours,
The mixed powder of the silicon powder and the silicon dioxide is used in an amount of 150 to 7000 parts by weight based on 100 parts by weight of carbon fiber, the silicon powder and the silicon dioxide powder are mixed in a weight ratio of 1:1 to 1:4,
The silicon oxide gas generated by heating the silicon powder and the silicon dioxide powder reacts with the carbon fiber to convert the carbon fiber into silicon carbide fiber, so that the silicon oxide gas conversion rate is 13.2 to 24.3%, and the fiber diameter is 8.1 to 8.4 μm. A method for producing silicon carbide fibers, characterized in that.
제1항에 있어서,
상기 가열은 1분 내지 6시간 동안 가열하는 것을 특징으로 하는, 실리콘 카바이드 섬유의 제조방법.
The method of claim 1,
The heating is characterized in that heating for 1 minute to 6 hours, the method of producing a silicon carbide fiber.
제1항의 제조방법으로 제조된 실리콘 카바이드 섬유.
Silicon carbide fibers manufactured by the manufacturing method of claim 1.
제3항에 있어서,
상기 섬유는 직경이 5㎛ 내지 20㎛ 인 것을 특징으로 하는, 실리콘 카바이드 섬유.
The method of claim 3,
The fiber is characterized in that the diameter of 5㎛ 20㎛, silicon carbide fiber.
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