KR20200119583A - Plasma generating apparatus - Google Patents

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Abstract

The present invention provides a plasma generating apparatus. The plasma generating apparatus includes: a first conductor; a plurality of second conductors surrounding the first conductor and disposed to be spaced apart from each other; a plurality of insulating tubes surrounding the first conductor and provided between the second conductors; and a power source connected to the first conductor or the second conductor to generate plasma in a discharge space between the first conductor and the second conductor. The present invention provides a plasma generating apparatus which can be mounted on various treatment devices.

Description

플라즈마 발생 장치{Plasma generating apparatus}Plasma generating apparatus

본 발명은 플라즈마 발생 장치에 관한 것으로 보다 상세하게는 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 발생 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a plasma generating apparatus, and more particularly, to a plasma generating apparatus for generating plasma.

플라즈마는 비활성 가스와 같은 기체가 음전하를 지닌 전자와 양전하를 띤 이온으로 분리된 상태를 의미한다. 최근 플라즈마로부터 발생되는 가시광선, 적외선, 플라즈마 이온, 또는 활성종들을 피부와 같은 신체 부위에 적용하여, 신체 부위에 대한 치료 과정을 촉진하는 방안이 논의되고 있다.Plasma refers to a state in which a gas such as an inert gas is separated into negatively charged electrons and positively charged ions. Recently, a method of promoting a treatment process for a body part by applying visible light, infrared rays, plasma ions, or active species generated from plasma to a body part such as skin has been discussed.

플라즈마를 이용하여 피부 등을 치료하는 플라즈마 치료 장치는, 일반적으로 플라즈마 발생부를 포함한다. 예를 들어, 국내공개특허공보 제10-2018-0015059호 '플라즈마 치료 장치'는 가스 공급부로부터 공급되는 기체를 방전하여 플라즈마를 생성하는 플라즈마 발생부를 가진다. 또한 플라즈마 발생부에서 생성된 플라즈마를 얼굴 형상과 유사하게 제작된 커버부에 공급한다. 커버부에는 부산물을 포함하는 배기 가스를 외부로 배기하는 배기부가 결합된다. 이 경우, 커버부로 공급된 플라즈마의 유동은 배기부가 제공하는 배기 압력에 영향을 받는다. 즉, 배기부가 제공하는 배기 압력이 세게 작용하는 영역에서는 플라즈마의 유동이 빠르고, 배기 압력이 작게 작용하는 영역에서는 플라즈마의 유동이 느리다. 또한, 플라즈마의 유동을 제어하기 위해 배기부가 제공하는 배기 압력을 조절하더라도, 얼굴 등의 신체 부위는 정렬되지 않은 다수의 곡면을 포함하고 있어 플라즈마를 고르게 공급하기 어렵다.A plasma treatment apparatus for treating skin or the like using plasma generally includes a plasma generating unit. For example, Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2018-0015059'plasma treatment apparatus' has a plasma generation unit that generates plasma by discharging a gas supplied from a gas supply unit. In addition, the plasma generated by the plasma generating unit is supplied to the cover unit made similar to the face shape. An exhaust unit for exhausting exhaust gas including by-products to the outside is coupled to the cover unit. In this case, the flow of plasma supplied to the cover portion is affected by the exhaust pressure provided by the exhaust portion. That is, plasma flow is fast in a region where the exhaust pressure provided by the exhaust unit acts strongly, and plasma flow is slow in a region where the exhaust pressure is small. In addition, even if the exhaust pressure provided by the exhaust unit is adjusted to control the flow of plasma, it is difficult to evenly supply plasma because body parts such as faces include a plurality of unaligned curved surfaces.

이러한 문제를 해결하기 위한 방법으로, 플라즈마 발생부를 플라즈마 치료 장치 내부에 매설하는 방법을 고려할 수 있다. 그러나, 이 경우 플라즈마 발생부를 플라즈마 치료 장치의 형상에 따라 다르게 제작하여야 한다. 구체적으로, 플라즈마 치료 장치는 얼굴, 무릎, 발목, 두피 등 다양한 신체 부위에 사용될 수 있다. 플라즈마 발생부를 플라즈마 치료 장치에 매설하는 경우, 플라즈마의 공급이 요구되는 각각의 신체 부위의 형상에 따라 플라즈마 발생부의 형상을 다르게 제작하여야 한다. 이 경우, 플라즈마 치료 장치의 제작 비용이 증가하는 문제가 발생한다.As a method for solving this problem, a method of embedding the plasma generating unit inside the plasma treatment apparatus may be considered. However, in this case, the plasma generating unit must be manufactured differently according to the shape of the plasma treatment apparatus. Specifically, the plasma treatment apparatus may be used for various body parts such as face, knee, ankle, and scalp. When the plasma generating unit is buried in the plasma treatment apparatus, the shape of the plasma generating unit must be differently manufactured according to the shape of each body part that is required to supply plasma. In this case, there arises a problem that the manufacturing cost of the plasma treatment apparatus increases.

본 발명은 서로 다른 신체 부위를 치료하는데 사용되는 다양한 치료 장치에 장착 가능한 플라즈마 발생 장치를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a plasma generating device that can be mounted on various treatment devices used to treat different body parts.

또한, 본 발명은 신체 부위의 형상에 따라 플라즈마 공급 위치를 변경하더라도, 변경 제작이 용이한 플라즈마 발생 장치를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.In addition, an object of the present invention is to provide a plasma generating apparatus that can be easily changed and manufactured even if the plasma supply position is changed according to the shape of the body part.

본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The object of the present invention is not limited thereto, and other objects that are not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

본 발명은 플라즈마 발생 장치를 제공한다. 플라즈마 발생 장치는, 제1도체와; 상기 제1도체를 둘러싸고, 서로 이격되어 배치되는 복수의 제2도체와; 상기 제1도체를 둘러싸고, 상기 제2도체들 사이에 제공되는 복수의 절연 튜브와; 상기 제1도체 또는 상기 제2도체에 연결되어 상기 제 1 도체와 상기 제 2 도체 사이의 방전 공간에서 플라즈마를 발생시키는 전원을 포함하되, 상기 제2도체에는 상기 방전 공간에서 발생된 플라즈마를 외부로 토출하는 홀이 형성될 수 있다.The present invention provides a plasma generating apparatus. The plasma generating apparatus comprises: a first conductor; A plurality of second conductors surrounding the first conductor and disposed to be spaced apart from each other; A plurality of insulating tubes surrounding the first conductor and provided between the second conductors; And a power source connected to the first conductor or the second conductor to generate plasma in a discharge space between the first conductor and the second conductor, wherein the second conductor transmits plasma generated in the discharge space to the outside. A discharge hole may be formed.

일 실시예에 의하면, 상기 장치는, 그 길이 방향을 따라 굴곡 가능한 재질을 포함할 수 있다.According to an embodiment, the device may include a material capable of bending along its longitudinal direction.

일 실시예에 의하면, 상기 제2도체는, 통 형상으로 제공되고, 상기 절연 튜브가 삽입되는 삽입부와; 상기 제2도체의 길이 방향에 수직한 단면에서 바라 볼 때, 상기 삽입부의 내측면보다 작은 직경으로 제공되고 상기 방전 공간을 형성하는 돌출부를 포함할 수 있다.According to an embodiment, the second conductor includes: an insertion portion provided in a cylindrical shape and into which the insulating tube is inserted; When viewed from a cross-section perpendicular to the longitudinal direction of the second conductor, a protrusion portion provided with a diameter smaller than the inner surface of the insertion portion and forming the discharge space may be included.

일 실시예에 의하면, 상기 절연 튜브는 상기 제1도체와 접촉되고, 상기 돌출부는 상기 제1도체와 이격되도록 제공될 수 있다.According to an embodiment, the insulating tube may be provided to be in contact with the first conductor, and the protrusion may be provided to be spaced apart from the first conductor.

일 실시예에 의하면, 상기 제2도체들 전체와 전기적으로 연결되며 접지되는 연결 부재를 포함할 수 있다.According to an embodiment, a connection member electrically connected to all of the second conductors and grounded may be included.

일 실시예에 의하면, 상기 연결 부재는, 상기 제2도체들 및 상기 절연 튜브들을 감싸도록 제공될 수 있다.According to an embodiment, the connection member may be provided to surround the second conductors and the insulating tubes.

일 실시예에 의하면, 상기 연결 부재는 편조선으로 제공될 수 있다.According to an embodiment, the connection member may be provided as a braided wire.

일 실시예에 의하면, 상기 연결 부재는, 금속 재질의 판지 형상으로 제공되고, 상기 홀과 대응하는 위치에 관통홀이 형성될 수 있다.According to an embodiment, the connection member may be provided in a cardboard shape made of a metal material, and a through hole may be formed at a position corresponding to the hole.

일 실시예에 의하면, 상기 홀은, 원 또는 슬릿 형상을 가질 수 있다.According to an embodiment, the hole may have a circle or slit shape.

일 실시예에 의하면, 상기 제1도체는 그 표면에 플라즈마 전해 산화에 의한 코팅이 형성될 수 있다.According to an embodiment, the first conductor may be coated on its surface by plasma electrolytic oxidation.

일 실시예에 의하면, 상기 제1도체는 도전성 와이어일 수 있다.According to an embodiment, the first conductor may be a conductive wire.

일 실시예에 의하면, 상기 제1도체에 상기 전원이 연결되고, 상기 제2도체는 접지될 수 있다.According to an embodiment, the power is connected to the first conductor, and the second conductor may be grounded.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 다양한 신체 부위를 치료할 수 있는 플라즈마를 발생시킬 수 있다.According to an embodiment of the present invention, plasma capable of treating various body parts may be generated.

또한, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 플라즈마 발생 장치의 형상을 단순화할 수 있다. Further, according to an embodiment of the present invention, it is possible to simplify the shape of the plasma generating apparatus.

또한, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 플라즈마 발생 장치를 다양한 형상을 가지는 플라즈마 치료 장치에 적용 할 수 있다.In addition, according to an embodiment of the present invention, the plasma generating device can be applied to a plasma treatment device having various shapes.

또한, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 신체 부위의 형상에 따라 플라즈마 공급 위치를 변경하더라도, 그 제작이 용이하여 제작 비용이 증가하는 것을 최소화 할 수 있다.In addition, according to an embodiment of the present invention, even if the plasma supply location is changed according to the shape of the body part, it is easy to manufacture the plasma, thereby minimizing an increase in manufacturing cost.

본 발명의 효과가 상술한 효과들로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 않은 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.The effects of the present invention are not limited to the above-described effects, and effects not mentioned will be clearly understood by those of ordinary skill in the art from the present specification and the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치를 보여주는 사시도이다.
도 2는 도 1의 플라즈마 발생 장치에서 선 "A-A"를 따라 절단한 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치에서 가스가 유동하고, 플라즈마가 토출되는 모습을 보여주는 도면이다.
도 4는 도 1의 플라즈마 발생 장치의 형상을 변경한 모습의 일 예를 보여주는 도면이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치를 보여주는 단면도이다.
도 6은 도 5의 플라즈마 발생 장치에서 연결 부재를 보여주는 도면이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치를 보여주는 단면도이다.
도 8은 도 7의 플라즈마 발생 장치에서 연결 부재를 보여주는 도면이다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치를 보여주는 도면이다.
도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치를 보여주는 도면이다. 1 is a perspective view showing a plasma generating apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line "AA" in the plasma generating apparatus of FIG. 1.
3 is a view showing a state in which gas flows and plasma is discharged in the plasma generating apparatus according to an embodiment of the present invention.
4 is a diagram illustrating an example of a shape of the plasma generating device of FIG. 1 changed.
5 is a cross-sectional view showing a plasma generating apparatus according to another embodiment of the present invention.
6 is a diagram illustrating a connection member in the plasma generating apparatus of FIG. 5.
7 is a cross-sectional view showing a plasma generating apparatus according to another embodiment of the present invention.
8 is a diagram illustrating a connection member in the plasma generating apparatus of FIG. 7.
9 is a view showing a plasma generating apparatus according to another embodiment of the present invention.
10 is a view showing a plasma generating apparatus according to another embodiment of the present invention.

아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시 예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시 예에 한정되지 않는다. 또한, 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those of ordinary skill in the art may easily implement the present invention. However, the present invention may be implemented in various forms and is not limited to the embodiments described herein. In addition, in describing a preferred embodiment of the present invention in detail, when it is determined that a detailed description of a related known function or configuration may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, the detailed description thereof will be omitted. In addition, the same reference numerals are used throughout the drawings for portions having similar functions and functions.

어떤 구성요소를 '포함'한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다. 구체적으로, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다."Including" a certain component means that other components may be further included, rather than excluding other components unless specifically stated to the contrary. Specifically, terms such as "comprises" or "have" are intended to designate the presence of features, numbers, steps, actions, components, parts, or combinations thereof described in the specification, but one or more other features or It is to be understood that the presence or addition of numbers, steps, actions, components, parts, or combinations thereof does not preclude the possibility of preliminary exclusion.

단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 또한 도면에서 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In addition, shapes and sizes of elements in the drawings may be exaggerated for clearer explanation.

이하에서는 본 명세서에 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치를 보여주는 도면이고, 도 2는 도 1의 플라즈마 발생 장치에서 선 “A-A”를 따라 절단한 단면도이다. 도 1과 도 2를 참조하면, 플라즈마 발생 장치(100)는 제1도체(110), 제2도체(130), 그리고 절연 튜브(150)를 포함할 수 있다.1 is a diagram showing a plasma generating apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line “A-A” in the plasma generating apparatus of FIG. 1. 1 and 2, the plasma generating apparatus 100 may include a first conductor 110, a second conductor 130, and an insulating tube 150.

제1도체(110)에는 전원(120)이 연결될 수 있다. 제1도체(110)에는 연결된 전원(120)에 의해 전력이 인가될 수 있다. 제1도체(110)에는 고전압의 직류 신호, 교류 신호, 또는 고주파 신호가 인가될 수 있다. 또한, 제1도체(110)에는 1kHz 내지 100Mhz의 주파수를 가지는 신호가 인가될 수 있다. 이 경우, 플라즈마가 안정적으로 발생할 수 있다. A power source 120 may be connected to the first conductor 110. Power may be applied to the first conductor 110 by the connected power source 120. A high voltage DC signal, AC signal, or high frequency signal may be applied to the first conductor 110. In addition, a signal having a frequency of 1 kHz to 100 MHz may be applied to the first conductor 110. In this case, plasma can be stably generated.

제1도체(110)는 라인 형상을 가지는 도전성 와이어로 제공될 수 있다. 도전성 와이어로 제공되는 제1도체(110)는 응집된 다수개의 금속 입자들을 포함할 수 있다. 예컨대, 금속 입자들은 금 입자, 은 입자, 은 합금 입자, 알루미늄 입자, 알루미늄 합금 입자 등일 수 있다. The first conductor 110 may be provided as a conductive wire having a line shape. The first conductor 110 provided as a conductive wire may include a plurality of aggregated metal particles. For example, the metal particles may be gold particles, silver particles, silver alloy particles, aluminum particles, aluminum alloy particles, and the like.

또한, 제1도체(110)의 표면에는 플라즈마 전해 산화법(PEO : Plasma Electronic Oxidation, 또는 Micro Arc Oxidation, 이하 PEO)에 의한 코팅이 형성될 수 있다. 플라즈마 전해 산화법(PEO)에 의해 형성되는 코팅은 산화 피막일 수 있다. 플라즈마 전해 산화법(PEO)에 의해 형성된 코팅에 의하여 제1도체(110)는 내부식성, 부착성, 그리고 전기 절연성을 가질 수 있다. 플라즈마 전해 산화법(PEO)에 의해 형성된 코팅으로 제1도체(110)의 표면에는 얇은 절연막이 형성될 수 있다.In addition, a coating by plasma electrolytic oxidation (PEO: Plasma Electronic Oxidation, or Micro Arc Oxidation, hereinafter PEO) may be formed on the surface of the first conductor 110. The coating formed by plasma electrolytic oxidation (PEO) may be an oxide film. The first conductor 110 may have corrosion resistance, adhesion, and electrical insulation by coating formed by plasma electrolytic oxidation (PEO). A thin insulating film may be formed on the surface of the first conductor 110 by a coating formed by plasma electrolytic oxidation (PEO).

제2도체(130)는 제1도체(110)를 둘러싸도록 제공될 수 있다. 제2도체(130)는 복수로 제공되어 서로 이격되어 배치될 수 있다. 제2도체(130) 사이의 간격은 서로 동일하게 제공되거나, 선택적으로 제2도체(130)들의 간격이 다르게 제공될 수 있다. 제2도체(130)는 통 형상으로 제공될 수 있다. 예컨대, 제2도체(130)는 그 중심이 개방된 원통 형상으로 제공될 수 있다. The second conductor 130 may be provided to surround the first conductor 110. The second conductor 130 may be provided in plurality and may be spaced apart from each other. The spacing between the second conductors 130 may be the same, or alternatively, the spacing of the second conductors 130 may be different. The second conductor 130 may be provided in a cylindrical shape. For example, the second conductor 130 may be provided in a cylindrical shape with an open center thereof.

제2도체(130)는 삽입부(134), 그리고 돌출부(136)를 포함할 수 있다. 삽입부(134)에는 절연 튜브(150)가 삽입된다. 삽입부(134)는 제2도체(130)의 일 단과 타 단에 각각 제공될 수 있다. 이에 제2도체(130)의 일 단 및 타 단에는 각각 절연 튜브(150)가 삽입될 수 있다. 돌출부(136)는 제1도체(110)와 이격되어 제공될 수 있다. 돌출부(136)의 내측면은 제2도체(130)의 길이 방향에 대하여 수직한 단면에서 바라 볼 때, 삽입부(134)의 내측면보다 작은 직경으로 제공되고, 돌출부(136)와 제2도체(130) 사이의 공간은 방전 공간(170)으로 제공된다.The second conductor 130 may include an insertion part 134 and a protrusion 136. An insulating tube 150 is inserted into the insertion part 134. The insertion part 134 may be provided at one end and the other end of the second conductor 130, respectively. Accordingly, an insulating tube 150 may be inserted into one end and the other end of the second conductor 130, respectively. The protrusion 136 may be provided to be spaced apart from the first conductor 110. The inner side of the protrusion 136 is provided with a diameter smaller than the inner side of the insertion part 134 when viewed from a cross section perpendicular to the longitudinal direction of the second conductor 130, and the protrusion 136 and the second conductor The space between 130 is provided as a discharge space 170.

또한, 제2도체(130)에는 방전 공간(170)에서 발생된 플라즈마를 외부로 토출하는 홀(132)이 형성된다. 도 1과 도 2에서는 홀(132)이 원 형상을 가지는 것을 예로 들어 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 홀(132)은 그 길이 방향이 제2도체(130)의 길이 방향에 평행한 슬릿 형상을 가지거나, 그 길이 방향이 제2도체(130)의 길이 방향에 수직한 슬릿 형상을 가질 수 있다. 홀(132)의 형상은 치료가 요구되는 신체 부위에 따라 선택될 수 있다.In addition, a hole 132 for discharging the plasma generated in the discharge space 170 to the outside is formed in the second conductor 130. In FIGS. 1 and 2, the hole 132 has been described as an example, but is not limited thereto. For example, the hole 132 may have a slit shape whose longitudinal direction is parallel to the longitudinal direction of the second conductor 130, or may have a slit shape whose longitudinal direction is perpendicular to the longitudinal direction of the second conductor 130. have. The shape of the hole 132 may be selected according to the body part requiring treatment.

또한, 제2도체(130)는 접지될 수 있다. 제1도체(110)에 전원이 연결되고 제2도체(130)가 접지되게 제공됨으로써 제1도체(110)와 제2도체(130) 사이에서 플라즈마가 발생될 수 있다.Also, the second conductor 130 may be grounded. Since power is connected to the first conductor 110 and the second conductor 130 is provided to be grounded, plasma may be generated between the first conductor 110 and the second conductor 130.

또한, 제2도체(130)는 제1도체(110)와 유사하게 도전성 금속으로 제공될 수 있다. 도전성 금속으로 제공되는 제2도체(130)는 응집된 다수개의 금속 입자들을 포함할 수 있다. 예컨대, 금속 입자들은 금 입자, 은 입자, 은 합금 입자, 알루미늄 입자, 알루미늄 합금 입자 등일 수 있다. 또한, 제1도체(110)와 유사하게, 제2도체(130)는 그 표면에 플라즈마 전해 산화법(PEO)에 의한 코팅이 형성될 수 있다. 플라즈마 전해 산화법(PEO)에 의해 형성된 코팅으로 제2도체(130)의 표면에는 얇은 절연막이 형성될 수 있다.Also, the second conductor 130 may be made of a conductive metal similar to the first conductor 110. The second conductor 130 provided as a conductive metal may include a plurality of aggregated metal particles. For example, the metal particles may be gold particles, silver particles, silver alloy particles, aluminum particles, aluminum alloy particles, and the like. Also, similar to the first conductor 110, the second conductor 130 may be coated on its surface by plasma electrolytic oxidation (PEO). A thin insulating film may be formed on the surface of the second conductor 130 by coating formed by plasma electrolytic oxidation (PEO).

상술한 예에서는, 제1도체(110)에 전원(120)이 연결되고, 제2도체(130)가 접지되는 것을 예로 들어 설명하였으나 이에 한정되는 것은 아니다. 상술한 예와 반대로 제1도체(110)가 접지되고, 제2도체(130)에 전원이 연결될 수 있다.In the above-described example, the power supply 120 is connected to the first conductor 110 and the second conductor 130 is grounded. However, the present invention is not limited thereto. Contrary to the above-described example, the first conductor 110 may be grounded, and power may be connected to the second conductor 130.

절연 튜브(150)는 제1도체(110)를 둘러싸도록 제공될 수 있다. 또한, 절연 튜브(150)는 제1도체(110)와 접하도록 제공될 수 있다. 절연 튜브(150)는 복수로 제공될 수 있다. 복수의 절연 튜브(150)는 제2도체(130)들 사이에 제공될 수 있다. 제2도체(130)들 사이 제공되는 절연 튜브(150)는 제2도체(130)의 삽입부(134)에 각각 삽입되도록 제공될 수 있다. 절연 튜브(150)는 우수한 절연 특성을 갖는 재질로 제공될 수 있다. 예컨대, 절연 튜브(150)는 실리콘 재질로 제공될 수 있다. 또한, 절연 튜브(150)는 사출 성형에 의해 형성된 원통 형상의 실리콘 일 수 있다. 절연 튜브(150)의 외측 직경은 제2도체(130)의 내측 직경과 동일하고, 절연 튜브(150)의 내측 직경은 제1도체(110)의 외측 직경과 동일하도록 제공될 수 있다.The insulating tube 150 may be provided to surround the first conductor 110. In addition, the insulating tube 150 may be provided to come into contact with the first conductor 110. The insulating tube 150 may be provided in plural. A plurality of insulating tubes 150 may be provided between the second conductors 130. The insulating tube 150 provided between the second conductors 130 may be provided to be respectively inserted into the insertion portion 134 of the second conductor 130. The insulating tube 150 may be made of a material having excellent insulating properties. For example, the insulating tube 150 may be made of a silicon material. In addition, the insulating tube 150 may be a cylindrical silicone formed by injection molding. The outer diameter of the insulating tube 150 may be the same as the inner diameter of the second conductor 130, and the inner diameter of the insulating tube 150 may be the same as the outer diameter of the first conductor 110.

절연 튜브(150)의 제공에 의해 길이 방향을 따라서 선택된 영역에서만 플라즈마가 발생될 수 있다. 절연 튜브(150)가 제1도체(110)를 감싸지 않는 영역, 즉, 제1도체(110)를 제2도체(130)가 감싸고 있는 영역에서만 방전 공간(170)이 형성될 수 있다. 이에 플라즈마 발생 장치(100)의 길이 방향을 따라서 선택된 영역(방전 공간(170)이 형성된 영역)에서만 플라즈마가 발생할 수 있다.Plasma may be generated only in a region selected along the length direction by the provision of the insulating tube 150. The discharge space 170 may be formed only in a region where the insulating tube 150 does not surround the first conductor 110, that is, a region where the first conductor 110 is surrounded by the second conductor 130. Accordingly, plasma may be generated only in a region selected along the length direction of the plasma generating apparatus 100 (a region in which the discharge space 170 is formed).

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치에서 가스가 유동하고, 플라즈마가 토출되는 모습을 보여주는 도면이다. 도 3을 참조하면, 제2도체(132)에 형성된 홀(132)을 통해 방전 공간으로 가스(G)가 유입되고 유출될 수 있다. 가스(G)는 공기 또는 비활성 기체일 수 있다. 방전 공간(170)으로 유입된 가스(G)는 전원이 인가되는 제1도체(110)와 접지된 제2도체(130) 사이의 방전 공간(170)에서 기체 방전 현상에 의해 플라즈마(P)를 발생시킬 수 있다. 방전 공간(170)에서 발생된 플라즈마(P)는 홀(132)을 통해 외부로 토출될 수 있다.3 is a view showing a state in which gas flows and plasma is discharged in the plasma generating apparatus according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 3, gas G may flow into and out of a discharge space through a hole 132 formed in the second conductor 132. The gas G may be air or an inert gas. The gas G introduced into the discharge space 170 generates plasma P by a gas discharge phenomenon in the discharge space 170 between the first conductor 110 to which power is applied and the second conductor 130 grounded. Can occur. The plasma P generated in the discharge space 170 may be discharged to the outside through the hole 132.

도 4는 도 1의 플라즈마 발생 장치의 형상을 변경한 모습의 일 예를 보여주는 도면이다. 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치(100)는 라인 형상을 가질 수 있다. 라인 형상을 가지는 플라즈마 발생 장치(100)는 구부러지거나, 곧게 펴지면서 그 형상이 자유롭게 변형될 수 있다. 플라즈마 발생 장치(100)는, 그 길이 방향을 따라 굴곡 가능한 재질을 포함할 수 있다. 일 예로, 플라즈마 발생 장치(100)의 제1도체(110) 및/또는 절연 튜브(150)는 그 길이 방향을 따라 굴곡 가능한 재질을 포함할 수 있다. 4 is a diagram illustrating an example of a shape of the plasma generating device of FIG. 1 changed. Referring to FIG. 4, the plasma generating apparatus 100 according to an embodiment of the present invention may have a line shape. The plasma generating apparatus 100 having a line shape may be bent or straightened, and its shape may be freely deformed. The plasma generating apparatus 100 may include a material capable of bending along its longitudinal direction. As an example, the first conductor 110 and/or the insulating tube 150 of the plasma generating apparatus 100 may include a material that can be bent along its length direction.

본 발명의 플라즈마 발생 장치(100)는 피부 치료용 플라즈마 마스크, 두피 치료용 플라즈마 캡, 발목 치료용 플라즈마 밴드 등에 설치될 수 있다. 예를 들어 사용자의 피부를 치료하는 플라즈마 마스크에 설치되는 경우, 사용자의 얼굴을 덮는 형상을 가지는 바디에 플라즈마 발생 장치(100)가 설치될 수 있다. The plasma generating apparatus 100 of the present invention may be installed in a plasma mask for skin treatment, a plasma cap for scalp treatment, a plasma band for ankle treatment, or the like. For example, when installed on a plasma mask that treats the user's skin, the plasma generating device 100 may be installed on a body having a shape covering the user's face.

플라즈마 치료 장치가 치료하는 신체 부위는 얼굴, 두피, 발목, 무릎 등으로 매우 다양할 수 있다. 이에 따라, 플라즈마 치료 장치는 치료 대상이 되는 신체 부위에 대응하여 다양한 형상으로 변형될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치(100)는 제1도체(110), 제2도체(130), 그리고 절연 튜브(150)가 서로 조합되어 전체적으로 라인 형상을 가지고, 그 형상이 자유롭게 변형될 수 있다. 이에, 플라즈마 치료 장치의 형상에 무관하게 플라즈마 치료 장치에 설치될 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치(110)는 복수로 제공되어 플라즈마 치료 장치가 가지는 바디에 일정 간격 이격 되도록 부착 또는 매설될 수 있다. 또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치(110)는 단수로 제공되어 일부는 직선 경로를 형성하고 다른 일부는 곡선 경로를 형성하는 방식으로 플라즈마 치료 장치가 가지는 바디에 부착 또는 매설될 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치(100)는 복수로 제공되어 일부는 직선 경로만을 형성하는 방식으로 플라즈마 치료 장치에 설치되고, 다른 일부는 직선 경로 및/또는 곡선 경로를 형성하는 방식으로 플라즈마 치료 장치에 설치될 수 있다. The body parts treated by the plasma treatment apparatus can be very diverse, including the face, scalp, ankles, and knees. Accordingly, the plasma treatment apparatus may be transformed into various shapes corresponding to the body part to be treated. In the plasma generating apparatus 100 according to an embodiment of the present invention, the first conductor 110, the second conductor 130, and the insulating tube 150 are combined with each other to have an overall line shape, and the shape is freely deformed. Can be. Accordingly, it can be installed in the plasma treatment device regardless of the shape of the plasma treatment device. For example, the plasma generating apparatus 110 according to an embodiment of the present invention may be provided in plural and attached or buried in a body of the plasma treatment apparatus so as to be spaced apart at a predetermined interval. In addition, the plasma generating apparatus 110 according to an embodiment of the present invention may be provided in a single number, so that some forms a straight path and others form a curved path, so that it may be attached or embedded in a body of the plasma treatment device. . In addition, the plasma generating apparatus 100 according to the embodiment of the present invention is provided in plural and some are installed in the plasma treatment apparatus in a manner that forms only a straight path, and other parts are a method in which a straight path and/or a curved path is formed. It can be installed in the plasma treatment apparatus.

일반적인 플라즈마 발생부는 플라즈마 치료 장치의 형상에 따라 각각 다르게 제작되어야 했다. 이에 플라즈마 치료 장치의 제작 비용이 증가하는 문제가 있었다. 그러나, 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치(100)는 다양한 형상의 플라즈마 치료 장치들에 적용될 수 있다. 즉, 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치(100)는 다양한 형상의 플라즈마 치료 장치들에 대하여 범용성을 가질 수 있다. 즉, 다양한 형상의 플라즈마 치료 장치를 제작하더라도, 신체 부위에 대응하는 바디만 제작하고 해당 바디에 설치되는 플라즈마 발생 장치(100)를 공통으로 사용할 수 있다. 이에, 서로 상이한 신체 부위를 치료하는 플라즈마 치료 장치를 제작하더라도, 각각의 플라즈마 치료 장치의 형상에 맞는 플라즈마 발생 장치를 별도로 제작할 필요가 없다. 플라즈마 치료 장치의 제작 비용을 크게 절감할 수 있다.The general plasma generators had to be manufactured differently according to the shape of the plasma treatment apparatus. Accordingly, there is a problem that the manufacturing cost of the plasma treatment device increases. However, the plasma generating apparatus 100 according to an embodiment of the present invention may be applied to plasma treatment apparatuses of various shapes. That is, the plasma generating apparatus 100 according to an embodiment of the present invention may have versatility for plasma treatment apparatuses having various shapes. That is, even if a plasma treatment apparatus of various shapes is manufactured, only a body corresponding to a body part may be manufactured and the plasma generating apparatus 100 installed on the body may be used in common. Accordingly, even if plasma treatment apparatuses for treating different body parts are manufactured, it is not necessary to separately manufacture a plasma generating apparatus suitable for the shape of each plasma treatment apparatus. It is possible to greatly reduce the manufacturing cost of the plasma treatment device.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치(100)는 별도의 배기부를 포함하지 않으며, 방전 공간(170)에서 발생된 플라즈마를 홀(132)을 통해 직접적으로 토출한다. 즉, 배기부가 제공하는 배기 압력이 세게 작용하는 영역에서는 플라즈마의 유동이 빠르고, 배기 압력이 작게 작용하는 영역에서는 플라즈마의 유동이 느리게 되어 치료가 요구되는 신체 부위에 플라즈마를 고르게 공급하기 어려운 문제를 해결할 수 있다.In addition, the plasma generating apparatus 100 according to an embodiment of the present invention does not include a separate exhaust unit, and directly discharges the plasma generated in the discharge space 170 through the hole 132. In other words, in the region where the exhaust pressure provided by the exhaust unit acts strongly, the flow of plasma is fast, and in the region where the exhaust pressure is small, the flow of plasma is slow, so it is difficult to evenly supply the plasma to the body part requiring treatment. I can.

도 1에 도시된 플라즈마 발생 장치(100)에서는 제2도체(130)가 제1도체(110)를 둘러싸고, 서로 일정한 간격으로 이격되어 있는 것을 예로 들어 도시하였으나 이에 한정되는 것은 아니다. 치료가 요구되는 신체 부위에 따라 홀(132)의 위치를 변경해야 할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따르면 제2도체(130)의 일 단과 타 단에는 절연 튜브(150)가 삽입된다. 즉, 홀(132)의 위치를 변경하고자 하는 경우, 제2도체(130)의 일 단 및/또는 타단에 삽입된 절연 튜브(150)의 길이를 달리하여 제2도체(130)의 위치를 조정하고, 이에 홀(132)의 위치를 변경할 수 있다. 일반적으로 플라즈마 토출 위치를 변경하기 위해서는, 플라즈마가 토출되는 홀의 위치를 재설계하고, 플라즈마 치료 장치를 제작하는 전체 공정을 변경하여야 했으나, 본 발명의 일 실시예에 의하면 절연 튜브(150)의 길이 만을 변경하면 홀(132)의 위치를 변경할 수 있기 때문에 제작 과정이 간소화된다. 즉, 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치(100)는 변경 설계가 용이하다. 이에, 홀(1320)의 위치의 변경에 따른 재 설계 비용을 절감할 수 있다.In the plasma generating apparatus 100 illustrated in FIG. 1, the second conductor 130 surrounds the first conductor 110 and is spaced apart from each other at regular intervals, but is not limited thereto. It may be necessary to change the position of the hole 132 according to the body part requiring treatment. According to an embodiment of the present invention, an insulating tube 150 is inserted into one end and the other end of the second conductor 130. That is, when the position of the hole 132 is to be changed, the position of the second conductor 130 is adjusted by varying the length of the insulating tube 150 inserted at one end and/or the other end of the second conductor 130. Then, the position of the hole 132 may be changed. In general, in order to change the plasma discharge position, the position of the hole through which the plasma is discharged has to be redesigned, and the entire process of manufacturing the plasma treatment device has to be changed, but according to an embodiment of the present invention, only the length of the insulating tube 150 is changed. If changed, since the position of the hole 132 can be changed, the manufacturing process is simplified. That is, the plasma generating apparatus 100 according to an embodiment of the present invention can be easily changed and designed. Accordingly, it is possible to reduce the cost of redesigning according to the change of the location of the hole 1320.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치를 보여주는 단면도이다. 도 5를 참조하면, 플라즈마 발생 장치(101)는 연결 부재(180)를 더 포함할 수 있다. 연결 부재(180)는 접지될 수 있다. 연결 부재(180)는 제2도체(130)들과 절연 튜브(150)들을 감싸도록 제공될 수 있다. 연결 부재(180)는 제2도체(130)와 전기적으로 연결될 수 있다. 예컨대, 연결 부재(180)는 제2도체(130)와 접하여 전기적으로 연결될 수 있다. 제2도체(130)가 연결 부재(180)와 전기적으로 연결되고, 연결 부재(180)가 접지됨으로써, 제2도체(130)는 접지될 수 있다. 또한, 제2도체(130)들 전체는 연결 부재(180)와 전기적으로 연결됨으로써, 제2도체(130)들은 연결 부재(180)를 매개로 공통 접지될 수 있다. 5 is a cross-sectional view showing a plasma generating apparatus according to another embodiment of the present invention. Referring to FIG. 5, the plasma generating apparatus 101 may further include a connection member 180. The connection member 180 may be grounded. The connection member 180 may be provided to surround the second conductors 130 and the insulating tube 150. The connection member 180 may be electrically connected to the second conductor 130. For example, the connection member 180 may be electrically connected to the second conductor 130. When the second conductor 130 is electrically connected to the connection member 180 and the connection member 180 is grounded, the second conductor 130 may be grounded. Further, all of the second conductors 130 are electrically connected to the connection member 180, so that the second conductors 130 may be commonly grounded through the connection member 180.

연결 부재(180)는 도전성 재질로 제공될 수 있다. 예컨대, 연결 부재(180)는 도전 성질을 가지는 금속으로 제공될 수 있다. 또한, 연결 부재(180)는 다수의 접합선을 서로 꼬아 제작된 금속으로 제공될 수 있다. 예컨대, 연결 부재(180)는 도 6에 도시된 바와 같이 금속 소선을 한 가닥 또는 여러 가닥을 접합하여 모아진 집합선을 편조기에 장착하여 꼬아서 대편으로 제조한 편조선(braided wire)일 수 있다. 편조선으로 제공되는 연결 부재(180)의 재질은 동, 알루니늄, 또는 동과 철의 합금 중 선택된 재질로 제공될 수 있다. 또한, 편조선으로 제공되는 연결 부재(180)의 경우 다수의 천공들을 포함하고 있을 수 있다. 이에, 편조선의 천공을 통해 가스(G)가 유입 또는 유출되고, 가스(G)는 방전 공간(170)으로 유입되어 제1도체(110)와 제2도체(130)에 의해 플라즈마를 발생시킬 수 있다. 또한, 연결 부재(180)가 편조선으로 제공되는 경우 제2도체(130) 또는 홀(132)의 위치에 따라 별도로 가스(G)가 유입되는 통로를 제작할 필요가 없기 때문에 플라즈마 발생 장치(100)의 제작 과정을 더욱 간소화 할 수 있게 된다.The connection member 180 may be made of a conductive material. For example, the connection member 180 may be made of a metal having conductive properties. In addition, the connection member 180 may be provided with a metal manufactured by twisting a plurality of bonding lines with each other. For example, the connection member 180 may be a braided wire manufactured as a large piece by attaching and twisting an aggregate wire collected by joining a single strand or several strands of a metal wire as shown in FIG. 6. . The material of the connecting member 180 provided as a braided wire may be made of a material selected from copper, aluminum, or an alloy of copper and iron. In addition, in the case of the connection member 180 provided as a braided wire, a plurality of perforations may be included. Thus, the gas G flows in or out through the perforation of the braided wire, and the gas G flows into the discharge space 170 to generate plasma by the first conductor 110 and the second conductor 130. I can. In addition, when the connecting member 180 is provided as a braided wire, it is not necessary to separately manufacture a passage through which the gas G is introduced according to the position of the second conductor 130 or the hole 132, so the plasma generating device 100 It will be possible to further simplify the manufacturing process.

상술한 예에서는 연결 부재(180)가 편조선으로 제공되는 것을 예로 들어 설명하였으나 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 도 7과 도 8에 도시된 바와 같이 연결 부재(190)는 금속 재질의 얇은 판지 형상으로 제공될 수 있다. 또한, 금속 재질의 판지 형상으로 제공되는 연결 부재(190)는 제2도체(130)에 형성되는 홀(132)과 대응하는 위치에 관통홀(192)이 형성될 수 있다. 금속 재질의 판지 형상으로 제공되는 연결 부재(190)는 편조선으로 제공되는 연결 부재(180)와 그 기능이 유사하므로 자세한 설명은 생략한다.In the above-described example, the connection member 180 has been described as an example, but is not limited thereto. For example, as shown in FIGS. 7 and 8, the connection member 190 may be provided in a thin cardboard shape made of a metal material. In addition, the connection member 190 provided in the shape of a cardboard made of metal may have a through hole 192 formed at a position corresponding to the hole 132 formed in the second conductor 130. The connection member 190 provided in the shape of a metal cardboard is similar in function to the connection member 180 provided as a braided wire, so a detailed description thereof will be omitted.

상술한 예에서는 제2도체(130)가 원통 형상을 가지는 것을 예로 들어 설명하였으나 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 제2도체(140)는 도 9에 도시된 바와 같이, 중심부가 개방된 사각 기둥의 형상을 가질 수 있다. 제2도체(140)가 사각 기둥의 형상을 가지는 경우, 제2도체(140)는 모서리부를 포함하게 되므로 플라즈마 치료 장치에 설치하는 것이 더욱 용이해 질 수 있다.In the above-described example, the second conductor 130 has been described as an example, but is not limited thereto. For example, as shown in FIG. 9, the second conductor 140 may have a shape of a square pillar with an open center. When the second conductor 140 has the shape of a square pillar, since the second conductor 140 includes a corner portion, it may be easier to install it in the plasma treatment apparatus.

상술한 예에서는 각각의 제2도체(130)에 홀(132)이 하나로 형성되는 것을 예로 들어 설명하였으나 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 제2도체(130)에 형성되는 홀(132)은 도 10에 도시된 바와 같이, 복수 개로 형성될 수 있다. 제2도체(130)에 형성되는 홀(132)이 복수 개로 형성되는 경우, 방전 공간(170)으로 유입되는 가스(G)의 흐름을 더욱 원활하게 하여 플라즈마 발생 및 토출을 더욱 용이하게 할 수 있다.In the above-described example, it has been described that the hole 132 is formed as one in each of the second conductors 130, but the present invention is not limited thereto. For example, the holes 132 formed in the second conductor 130 may be formed in plural as shown in FIG. 10. When a plurality of holes 132 formed in the second conductor 130 are formed, the flow of the gas G flowing into the discharge space 170 can be made more smooth, thereby making plasma generation and discharge easier. .

또한, 상술한 예에서 설명한 플라즈마 발생 장치(100)는 그 외면이 절연성 재질의 피복부로 피복될 수 있다. 플라즈마 발생 장치(100)가 피복부를 포함하는 경우에는, 제2도체(130, 140)에 형성된 홀(132, 142)과 연통하는 통공이 피복부에 형성될 수 있다.In addition, the plasma generating apparatus 100 described in the above-described example may have an outer surface covered with a covering portion of an insulating material. When the plasma generating apparatus 100 includes a covering portion, a through hole communicating with the holes 132 and 142 formed in the second conductors 130 and 140 may be formed in the covering portion.

이상에서 실시예를 통해 본 발명을 설명하였으나, 위 실시예는 단지 본 발명의 사상을 설명하기 위한 것으로 이에 한정되지 않는다. 통상의 기술자는 전술한 실시예에 다양한 변형이 가해질 수 있음을 이해할 것이다. 본 발명의 범위는 첨부된 청구범위의 해석을 통해서만 정해진다.In the above, the present invention has been described through the embodiments, but the above embodiments are merely for explaining the spirit of the present invention and are not limited thereto. One of ordinary skill in the art will understand that various modifications may be made to the above-described embodiments. The scope of the invention is determined only through interpretation of the appended claims.

플라즈마 발생 장치 : 100, 101, 102, 103, 104
제1도체 : 110
전원 : 120
제2도체 : 130, 140
절연 튜브: 150
방전 공간 : 170
연결 부재 : 180, 190Plasma generator: 100, 101, 102, 103, 104
First conductor: 110
Power: 120
2nd conductor: 130, 140
Insulation tube: 150
Discharge space: 170
Connection member: 180, 190

Claims (12)

플라즈마 발생 장치에 있어서,
제1도체와;
상기 제1도체를 둘러싸고, 서로 이격되어 배치되는 복수의 제2도체와;
상기 제1도체를 둘러싸고, 상기 제2도체들 사이에 제공되는 복수의 절연 튜브와;
상기 제1도체 또는 상기 제2도체에 연결되어 상기 제 1 도체와 상기 제 2 도체 사이의 방전 공간에서 플라즈마를 발생시키는 전원을 포함하되,
상기 제2도체에는 상기 방전 공간에서 발생된 플라즈마를 외부로 토출하는 홀이 형성된 플라즈마 발생 장치.In the plasma generating device,
A first conductor;
A plurality of second conductors surrounding the first conductor and disposed to be spaced apart from each other;
A plurality of insulating tubes surrounding the first conductor and provided between the second conductors;
A power source connected to the first conductor or the second conductor to generate plasma in a discharge space between the first conductor and the second conductor,
A plasma generating apparatus in which a hole for discharging plasma generated in the discharge space to the outside is formed in the second conductor. 제1항에 있어서,
상기 장치는,
그 길이 방향을 따라 굴곡 가능한 재질을 포함하는 플라즈마 발생 장치.The method of claim 1,
The device,
Plasma generating apparatus comprising a material that can be bent along the longitudinal direction. 제1항에 있어서,
상기 제2도체는,
통 형상으로 제공되고,
상기 절연 튜브가 삽입되는 삽입부와;
상기 제2도체의 길이 방향에 수직한 단면에서 바라 볼 때, 상기 삽입부의 내측면보다 작은 직경으로 제공되고 상기 방전 공간을 형성하는 돌출부를 포함하는 플라즈마 발생 장치.The method of claim 1,
The second conductor,
It is provided in a tubular shape,
An insertion part into which the insulating tube is inserted;
When viewed from a cross section perpendicular to the longitudinal direction of the second conductor, a plasma generating apparatus including a protrusion provided with a diameter smaller than an inner surface of the insertion part and forming the discharge space. 제3항에 있어서,
상기 절연 튜브는 상기 제1도체와 접촉되고,
상기 돌출부는 상기 제1도체와 이격되도록 제공되는 플라즈마 발생 장치.The method of claim 3,
The insulating tube is in contact with the first conductor,
The plasma generating device is provided such that the protrusion is spaced apart from the first conductor. 제1항에 있어서,
상기 제2도체들 전체와 전기적으로 연결되며 접지되는 연결 부재를 포함하는 플라즈마 발생 장치.The method of claim 1,
Plasma generating apparatus comprising a connection member electrically connected to all of the second conductors and grounded. 제5항에 있어서,
상기 연결 부재는,
상기 제2도체들 및 상기 절연 튜브들을 감싸도록 제공되는 플라즈마 발생 장치.The method of claim 5,
The connecting member,
Plasma generating apparatus provided to surround the second conductors and the insulating tubes. 제6항에 있어서,
상기 연결 부재는 편조선으로 제공되는 플라즈마 발생 장치.The method of claim 6,
The connecting member is a plasma generating device provided as a braided wire. 제6항에 있어서,
상기 연결 부재는,
금속 재질의 판지 형상으로 제공되고,
상기 홀과 대응하는 위치에 관통홀이 형성되는 플라즈마 발생 장치.The method of claim 6,
The connecting member,
It is provided in a metal cardboard shape,
Plasma generating apparatus in which a through hole is formed at a position corresponding to the hole. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 홀은,
원 또는 슬릿 형상을 가지는 플라즈마 발생 장치.The method according to any one of claims 1 to 8,
The hole is,
Plasma generating device having a circle or slit shape. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1도체는 그 표면에 플라즈마 전해 산화에 의한 코팅이 형성되는 플라즈마 발생 장치.The method according to any one of claims 1 to 8,
The plasma generating apparatus in which the first conductor is coated on its surface by plasma electrolytic oxidation. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1도체는 도전성 와이어인 플라즈마 발생 장치.The method according to any one of claims 1 to 8,
The first conductor is a plasma generating device of a conductive wire. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1도체에 상기 전원이 연결되고, 상기 제2도체는 접지되는 플라즈마 발생 장치.
The method according to any one of claims 1 to 4,
The plasma generating device is connected to the power supply to the first conductor and the second conductor is grounded.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101573231B1 (en) * 2015-03-05 2015-12-02 국방과학연구소 Plasma generation electrode module, plasma generation electrode assembly and apparatus for generating plasma using the same
KR20170121425A (en) * 2016-04-25 2017-11-02 주식회사 엔팩 Plasma Water Treatment Apparatus

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