KR20200111921A - Photomask carrying box supporting the pedestal - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a box for transferring a photomask, and particularly, to a box for transferring a photomask, which can support a pedestal used for introduction into a box for transferring a photomask for the pedestal not to be moved after the transfer. According to the present invention, the pedestal as an essential constructional element upon the transfer of a photomask into the box is fixed in a holder in the box by using a supporting member having enhanced fixing force. In addition, the box for transferring a photomask capable of supporting a pedestal includes a folding-preventing member for preventing generation of a folded portion in a sheet, when the sheet is linked to a frame forming the box with a rivet.

Description

받침대를 지지하는 포토마스크 이동용 박스{Photomask carrying box supporting the pedestal}Photomask carrying box supporting the pedestal}

본 발명은 포토마스크 이동용 박스에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 포토마스크를 이동시키기 위해 박스 내부로 인입 시에 사용되는 받침대를 이동 후, 상기 박스의 내부에 유동하지 않게 지지할 수 있는 이동용 박스에 관한 것이다. The present invention relates to a box for moving a photomask, and more particularly, to a moving box that can be supported so that it does not flow inside the box after moving the support used when entering the box to move the photomask. About.

우선, 종래기술을 살펴보면, First of all, looking at the prior art,

일반적으로 이동용 박스는 사각형 평판 형상의 기판으로서, 액정 디스플레이 (LCD) 패널이나 플라즈마 디스플레이 (PD) 패널의 제조에 사용되는, 유리 기판, 유리 기판의 표면에 차광막이나 레지스트막 등이 적층된 마스크 블랭크, 또한 포토그래피 공정을 거쳐 회로 패턴이 형성된 포토마스크 등이 있다. In general, a moving box is a rectangular plate-shaped substrate, which is used for manufacturing a liquid crystal display (LCD) panel or a plasma display (PD) panel, a glass substrate, a mask blank in which a light shielding film or a resist film is laminated on the surface of the glass substrate, In addition, there are photomasks on which circuit patterns are formed through a photography process.

이들 기판은, 각 제조 공정에 있어서도, 다음 공정인 성막 공정이나 노광 공정에 있어서도 높은 클린도가 요구되기 때문에, 예를 들어 클래스 100 정도의 클린도로 유지된 클린 룸 내에서 제조된다. These substrates are manufactured in a clean room maintained at, for example, a class 100 degree of cleanliness, since a high degree of cleanliness is required both in each manufacturing process and in the subsequent film formation process and exposure process.

제조된 기판은, 클린 룸 내에서 방진 구조의 기판 케이스 (이너 케이스) 에 수용되어 밀폐된다. The manufactured substrate is accommodated and sealed in a substrate case (inner case) having a vibration-proof structure in a clean room.

상기와 같은 기판은 중량물이다. Such substrates are heavy.

예를 들어, 대각 치수가 18 m 정도인 기판의 질량은 기판 단체로 대체로 50 ㎏ 정도가 되고, 대각 치수가 약 24 m 클래스인 기판의 질량은 기판 단체로 100 ㎏ 을 초과한다. For example, the mass of a substrate having a diagonal dimension of about 18 m is approximately 50 kg for a single substrate, and the mass of a substrate having a diagonal dimension of about 24 m class exceeds 100 kg for a single substrate.

그 때문에 기판이 수용된 기판 케이스를 사람이 들어 올려 운반하는 것은 현실적이지 않다. Therefore, it is not practical for a person to lift and transport the substrate case containing the substrate.

그래서, 기판이 수용된 기판케이스의 이동을 용이하게 하기 위해서, 기판 케이스의 하단에는 캐스터가 형성된다. Thus, in order to facilitate movement of the substrate case in which the substrate is accommodated, a caster is formed at the lower end of the substrate case.

종래 기판 케이스에서는, 기판은 표면 및 이면이 연직이 되는 종치 (縱置) 자세로 기판 케이스에 수용된다. In the conventional substrate case, the substrate is accommodated in the substrate case in a vertical position in which the front and back surfaces are vertical.

또는 기판을 기판 케이스에 수용한 후에, 기판이 상기 종치 자세가 되도록 기판 케이스가 흘립 (屹立) 된다. Alternatively, after the substrate is accommodated in the substrate case, the substrate case is spilled so that the substrate is in the vertical position.

캐스터는, 이때 하단이 되는 케이스 바닥부의 네 귀퉁이에 형성되어 있다. Casters are formed at the four corners of the bottom of the case that becomes the lower end at this time.

기판이 수용된 기판 케이스는, 패스 박스라고 칭해지는 중간적 클린도의 클린 룸에 있어서, 클린 웨어에 사용되는 발진성을 억제한 천을 사용하여 제조된 케이스 커버에 의해 포장된다. The substrate case in which the substrate is accommodated is packaged by a case cover manufactured using a cloth for suppressing dust generation, which is used for clean ware, in a clean room with an intermediate degree of cleanliness called a pass box.

케이스 커버는, 하면측에 개구부를 가져 상방으로부터 케이스 본체부를 덮는 봉투 형상을 이루고, 하면측에는, 서로 평행하게 상하로 연장되는 일방의 입설 (立設) 면측 (예를 들어, 기판의 표면측)으로부터 타방의 입설면측 (예를 들어, 기판의 이면측)으로 연장되는 바닥면부가 형성된다. The case cover has an opening on the lower surface and forms an envelope shape covering the case body from the upper side, and on the lower surface side, from the one standing side (e.g., the surface side of the substrate) extending up and down parallel to each other. A bottom surface portion extending to the other upright side (eg, the back side of the substrate) is formed.

바닥면부는, 예를 들어, 캐스터가 배치 형성되어 있지 않은 영역에 있어서 케이스 본체부의 하측을 통과하여, 상기 입설면 사이를 잇는 설편 (舌片) 형상으로 형성되고, 타방의 입설면측에 면 패스너 등에 의해 걸려 부착 (係着) 된다. The bottom surface portion is formed in a shape of a tongue connecting between the elevation surfaces, passing through the lower side of the case body portion in a region in which casters are not disposed, for example, and a face fastener on the other elevation surface side. It is caught and attached (係着) by the back.

이에 따라, 기판 케이스의 운반시에, 케이스 본체부가 케이스 커버에 의해 덮여 파티클 (먼지) 이 잘 부착하지 않도록 구성되어 있다. Accordingly, when the substrate case is transported, the case body portion is covered by the case cover so that particles (dust) do not adhere easily.

케이스 커버로 포장된 기판 케이스는 패스 박스로부터 일반 환경으로 이동된다. The substrate case wrapped with the case cover is moved from the pass box to the general environment.

출하 공정에서는, 케이스커버로 포장된 기판 케이스 (이너 케이스) 가, 한층 더 대형인 운반용 케이스 (아우터 케이스) 에 수용되어, 엄중하게 보호된 상태로 출하된다. In the shipping process, the substrate case (inner case) packaged with the case cover is accommodated in a larger carrying case (outer case) and shipped in a severely protected state.

상기와 같이 기판은 중량물이기 때문에, 기판 운반 케이스를 사람이 들어 올려 이동하는 것은 곤란하다. As described above, since the substrate is a heavy object, it is difficult for a person to lift and move the substrate carrying case.

따라서 기판 운반 케이스의 하단부에도 캐스터가 형성된다. Accordingly, casters are also formed at the lower end of the substrate carrying case.

기판 케이스, 케이스 커버 및 기판 운반 케이스에 의해 곤포된 기판은, 캐스터나 포크 리프트 등을 이용하여 공장 내를 이동하여, 트럭이나 항공기 등의 수송수단에 의해 기판 제조 공장으로부터 다음 공정의 공장으로 수송 운반된다. Substrate cases, case covers, and substrate transport cases are transported within the factory using casters or forklifts, and transported from the substrate manufacturing plant to the next plant by means of transportation such as trucks or aircraft. do.

최근에는, LCD 패널이나 PD 패널의 대형화가 더욱 진전되어, 대각 치수가 2 m 를 초과하는 대형 기판도 요구되게 되었다. In recent years, large-sized LCD panels and PD panels have been further advanced, and large-sized substrates having a diagonal dimension exceeding 2 m are also required.

기판이 대형화하면 질량도 증대하여, 예를 들어, 크기가 1800 × 1600 × 17 ㎜ 인 기판은, 질량이 기판 단체로 110 ㎏ 이나 된다. When the substrate is enlarged, the mass also increases. For example, a substrate having a size of 1800 × 1600 × 17 mm will have a mass of 110 kg by itself.

이와 같이 대형화, 중량화한 기판을 보호하고, 안정적으로 이동시키려면, 종래의 기판 케이스를 스케일 업하는 것만으로는 해결 곤란한 여러 가지 문제가 있다. In order to protect and stably move a substrate that has been increased in size and weight in this way, there are various problems that are difficult to solve by simply scaling up a conventional substrate case.

먼저, 종래와 마찬가지로, 기판을 종치 자세로 기판 케이스에 수용하는 경우, 기판 케이스의 크기가 기판 사이즈를 기준으로 하여 요구되는 형상 치수보다 대형화된다는 문제가 있다. First, as in the prior art, when a substrate is accommodated in a substrate case in a vertical position, there is a problem that the size of the substrate case becomes larger than the required shape dimension based on the substrate size.

즉, 기판의 대형화에 수반하여 무게 중심 위치가 높아져, 전도 안정성을 고려하면, 기판 케이스의 두께를 본래 필요한 두께보다 대폭 증가시킬 필요가 발생한다. That is, as the substrate is enlarged, the position of the center of gravity increases, and in consideration of conduction stability, it is necessary to significantly increase the thickness of the substrate case than the original required thickness.

기판의 단변을 상하 방향으로 연장시키는 종치 자세로 했을 때, 기판 케이스의 높이는 1800 ㎜ 가 되고, 무게 중심은 900 ㎜ 의 높이 위치가 된다. 이 때, 플로어면의 경사 등에 의해 기판 케이스가 약 8 도 기울면, 기판 케이스 (101) 는 전도된다. When the short side of the substrate is in a vertical position extending in the vertical direction, the height of the substrate case is 1800 mm, and the center of gravity is the height position of 900 mm. At this time, if the substrate case is inclined by about 8 degrees due to the inclination of the floor surface or the like, the substrate case 101 is inverted.

이 정적인 전도 각도를, 일반적인 가전 제품에 있어서 기준으로 여겨지는 15 도로 설정하는 경우, 필요해지는 기판 케이스의 두께는 약 480 ㎜ 가 된다. When this static conduction angle is set to 15 degrees, which is considered as a standard in a general home appliance, the required thickness of the substrate case is about 480 mm.

이 때, 기판 케이스가 차지하는 공간의 용적은, 기판 사이즈를 기준으로 한 기판 케이스의 약 2 배가된다. At this time, the volume of the space occupied by the substrate case is approximately twice that of the substrate case based on the substrate size.

기판을 수용한 기판 케이스는 질량이 300 ㎏ 정도나 되는 중량물인 것, 만일 전도되면 고액의 기판이 파손될 우려가 높은 것 등을 고려하면, 전도 각도는 더욱 큰 각도로 하는 것이 바람직하다. Considering that the substrate case accommodating the substrate is a heavy object having a mass of about 300 kg, and that there is a high risk of damage to a high-liquid substrate if it is overturned, the conduction angle is preferably a larger angle.

정적인 전도 각도를 30 도로 한 경우, 기판 케이스가 차지하는 공간 용적은 기판 사이즈를 기준으로 한 기판 케이스의 4 배를 초과한다. When the static conduction angle is set to 30 degrees, the space volume occupied by the substrate case exceeds four times that of the substrate case based on the substrate size.

한편, 바닥면의 네귀퉁이에 캐스터를 형성한 경우, 하중을 지지하는 지점 간격이 넓어지기 때문에 기판 케이스에 작용하는 하중에 의해 기판 케이스가 휨 변형되기 쉬워진다. 이것을 부가적인 구성으로 억제하고자 하면, 케이스 구조가 복 On the other hand, when casters are formed at the four corners of the bottom surface, since the distance between the points supporting the load is widened, the substrate case is easily bent and deformed by the load acting on the substrate case. If you want to suppress this as an additional configuration, the case structure is

잡화된다는 문제가 발생한다.The problem of being miscellaneous arises.

또, 상기와 같은 종래의 케이스 커버에서는, 기판 운반시에 있어서의 기판 케이스로의 파티클 부착에 대해, 그 방지 효과가 여전히 충분하지 않다는 문제가 지적되고 있었다. In addition, in the conventional case cover as described above, a problem has been pointed out that the prevention effect is still insufficient for the adhesion of particles to the substrate case during transport of the substrate.

구체적으로는, 기판 운반처의 중간적 클린도의 클린 룸에 있어서 케이스 커버를 개봉했을 때에, 현실적으로는 케이스 본체부의 외표면에 다수의 파티클이 Specifically, when the case cover is opened in a clean room with intermediate cleanliness of the substrate transport destination, in reality, a large number of particles are formed on the outer surface of the case body.

부착되어 있고, 이 파티클을 제거하기 위해서 많은 공수 (工數) 를 필요로 하고 있었다.It was attached, and it took a lot of work to remove this particle.

즉, 기판 케이스를 개봉하여 기판을 꺼낼 때까지의 반입 공정에 공수가 걸린다는 과제가 있었다. In other words, there has been a problem in that man-hours are taken in the carrying-in process until the substrate case is opened and the substrate is removed.

또, 상기와 같이, 기판 제조 공장으로부터 다음 공정의 공장으로의 운반에는 트럭이나 항공기 등의 수송 수단이 이용된다. In addition, as described above, transport means such as a truck or an aircraft are used for transport from the substrate manufacturing plant to the next step plant.

이 운반 과정에서는 외부 (예를 들어 트럭의 플로어면) 로부터 기판 운반 케이스에 충격이나 진동이 작용한다. During this transport process, shock or vibration acts on the substrate transport case from the outside (for example, the floor surface of a truck).

그러나, 종래의 공보 기재에는, 이들 충격이나 진동을 흡수하는 수단이 형성되어 있지 않았다. However, a means for absorbing these shocks or vibrations is not provided in the conventional publication base.

그 때문에, 외부로부터 작용하는 충격이나 진동이 기판 운반 케이스 및 기판 케이스를 통해서 기판에 전달되어, 기판을 손상시킬 우려가 있는 것으로 염려되고 있었다. For this reason, there is a concern that shocks and vibrations acting from the outside may be transmitted to the substrate through the substrate carrying case and the substrate case, thereby causing damage to the substrate.

케이스에 구성되는 프레임과 상기 프레임에 연결되는 시트를 고정 시, 일반적으로 리벳을 이용하는데, 상기 리벳의 작동에 따른 시트의 휨이 발생하여 상기 휨의 틈새로 인해 케이스의 외부에서 내부로 이물질이 유입되는 결과를 초래하여 결과적으로 기판에 이물질이 묻게 되는 문제점이 발생하였다. When fixing the frame constituted in the case and the sheet connected to the frame, rivets are generally used, and the sheet is bent due to the operation of the rivet, and foreign matter flows from the outside of the case to the inside due to the gap of the bending. As a result, there was a problem in that foreign substances were adhered to the substrate.

또한, 기판을 케이스 내부로 이동 시에 일정 경사면을 이루는 받침대를 이용하는데, 상기 받침대는 케이스 내부로 이동 후에 케이스 내부의 일 측에 비치하게 되는데, 비치 시, 고정력이 저하되어 기판에 파손을 일으키는 요인이 되기도 하였다. In addition, when moving the substrate into the case, a pedestal forming a certain inclined surface is used, and the pedestal is placed on one side of the case after moving inside the case. When it is placed, the fixing force is lowered, causing damage to the substrate. It also became.

이에 종래에는 공개번호 제10-2014-0065874호의 '블랭크 마스크 및 포토마스크 포장용기'와, 공개번호 제10-2015-0013515호의 '기판케이스, 기판 운반 케이스, 케이스 커버, 기판 운반 시스템 및 기판 운반 방법'이 개시되어 있지만, 상기한 문제점에 대해서는 여전히 개선되고 있지 않은 실정이다. Therefore, conventionally,'Blank Mask and Photomask Packaging Container' of Publication No. 10-2014-0065874 and'Substrate Case, Substrate Transport Case, Case Cover, Substrate Transport System and Substrate Transport Method' of Publication No. 10-2015-0013515 'Is disclosed, but the situation is still not improved with respect to the above problems.

본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위해 안출해낸 것으로써, 포토마스크를 박스 내부로 이동 시 또는 박스 내부로 이동 시 필수 구성요소인 받침대를 박스 내부의 거치대에 고정력을 상승시킨 지지부를 이용하여 고정하고, 박스를 구성하는 프레임에 시트를 리벳으로 연결 시 상기 시트의 접힘 되는 부분을 방지하고자 접힘방지부재를 구성한 받침대를 지지하는 포토마스크 이동용 박스를 제공함에 주안점을 두고 기술적 과제로서 완성해낸 것이다. The present invention has been devised to solve the problems of the prior art, and uses a support unit that increases the fixing force of the pedestal, which is an essential component, to the holder inside the box when moving the photomask inside the box or when moving inside the box. It was completed as a technical task with the focus on providing a box for moving a photomask that supports the support consisting of the anti-folding member to prevent the folding of the sheet when the sheet is connected to the frame constituting the box by rivets. .

이에 본 발명은 내부공간을 형성하는 프레임과, 상기 프레임의 내부 하측에 구성되는 거치대와, 상기 프레임의 외측에 결합하는 단프라시트와, 상기 프레임의 하부에 다수개 연결 구성되어 유동하는 바퀴와, 상기 거치대의 일 측 또는 양측에 구성되는 포토마스크 이동용 레일 및 상기 포토마스크를 바닥면에서 레일로 이동시키기 위한 받침대로 구성된 포토마스크 이동용 박스에 있어서, 상기 거치대에는 받침대가 위치되도록 지지부가 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 받침대를 지지하는 포토마스크 이동용 박스를 그 기술적 특징으로 한다. Accordingly, the present invention relates to a frame forming an internal space, a cradle configured on an inner lower side of the frame, a danpla sheet coupled to the outside of the frame, and a wheel configured to be connected to the lower portion of the frame to flow, In the photomask moving box consisting of a photomask moving rail configured on one side or both sides of the cradle and a pedestal for moving the photomask from the bottom surface to the rail, the cradle has a support part configured to position the pedestal. The technical feature is a photomask moving box that supports the pedestal.

본 발명인 받침대를 지지하는 포토마스크 이동용 박스에 따르면, 박스 내부와 외부로 이동 시에 필요한 받침대를 박스 내부에서 측면, 전면 및 후면까지 지지되도록 하여 지지력을 상승시켰고, 프레임과 시트를 결합 시 결합부분에 접힘방지부재를 구성하여 시트의 접힘을 미연에 방지할 수 있어 상기 접힘 부분으로 이물질이 유입되는 것을 방지할 수 있는 등 그 효과가 큰 발명이다. According to the photomask moving box that supports the pedestal of the present invention, the supporting force is increased by supporting the pedestal required for moving inside and outside the box from the inside to the side, front and rear, and when the frame and the sheet are combined, It is an invention having a great effect, such as being able to prevent the sheet from being folded in advance by configuring a folding preventing member to prevent foreign matter from flowing into the folded portion.

도 1은 본 발명인 이동용 박스를 나타내는 정단면도
도 2는 도 1의 A-A를 나타내는 평단면도
도 3은 본 발명의 이동용 박스를 나타내는 측단면도
도 4는 본 발명인 지지부(A)와 받침대(B)를 나타내는 평면도
도 5는 본 발명인 전면지지대와 후면지지대의 실시 예를 나타내는 측면도
도 6은 도 4의 A와 B가 결합된 것을 나타내는 평면도
도 7은 종래의 리벳 연결을 나타내는 측면도
도 8은 본 발명인 리벳 연결을 나타내는 측면도1 is a front cross-sectional view showing the present inventors moving box
2 is a plan cross-sectional view showing AA of FIG. 1
Figure 3 is a side cross-sectional view showing a moving box of the present invention
Figure 4 is a plan view showing the present inventors support (A) and pedestal (B)
Figure 5 is a side view showing an embodiment of the present inventors front support and rear support
6 is a plan view showing a combination of A and B of FIG. 4
7 is a side view showing a conventional rivet connection
Figure 8 is a side view showing the present invention rivet connection

이하, 첨부되는 도면과 관련하여 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 구성 및 작용에 대해 도 1 내지 도 8을 참고로 설명하면 다음과 같다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, the preferred configuration and operation of the present invention for achieving the above object will be described with reference to FIGS. 1 to 8.

우선, 본 발명인 받침대를 지지하는 포토마스크 이동용 박스는 내부공간을 형성하는 프레임(100)과, 상기 프레임(100)의 내부 하측에 구성되는 거치대(200)와, 상기 프레임(100)의 외측에 결합하는 단프라시트(300)와, 상기 프레임(100)의 하부에 다수개 연결 구성되어 유동하는 바퀴(400)와, 상기 거치대(200)의 일 측 또는 양측에 구성되는 포토마스크 이동용 레일(500) 및 상기 포토마스크를 바닥면에서 레일(500)로 이동시키기 위한 받침대(600)로 구성된 포토마스크 이동용 박스에 있어서, 상기 거치대(200)에는 받침대(600)가 위치되도록 지지부(210)가 구성되어 있다. First, the photomask moving box supporting the present inventor's pedestal is coupled to a frame 100 forming an inner space, a cradle 200 configured at an inner lower side of the frame 100, and an outer side of the frame 100 Danpla sheet 300, a plurality of wheels 400 connected to the lower part of the frame 100 to flow, and a rail 500 for moving a photomask configured on one or both sides of the cradle 200 And in the photomask moving box consisting of a pedestal 600 for moving the photomask from the bottom surface to the rail 500, the support part 210 is configured so that the pedestal 600 is positioned on the cradle 200. .

상기 지지부(210)에는 받침대(600)의 외형과 동일한 형상으로 형성되되 상기 받침대(600)의 측면부를 지지하는 측면지지대(211)가 양측에 구성되어 있다. The support portion 210 is formed in the same shape as the outer shape of the pedestal 600, and the side support 211 supporting the side portion of the pedestal 600 is configured on both sides.

상기 지지부(210)에는 받침대(600)의 전면 단부를 지지하는 전면지지대(213)가 구성되어 있다. The support part 210 includes a front support 213 supporting the front end of the support 600.

상기 지지부(210)에는 받침대(600)의 후면 저부와 연결되어 지지하는 후면지지대(215)가 구성되어 있다. The support part 210 includes a rear support 215 connected to and supporting the rear bottom of the support 600.

상기 프레임(100)과 단프라시트(300)는 리벳(700)으로 연결하되 상기 리벳(700)이 연결되는 연결부분에는 접힘방지부재(800)가 구성되어 있다. The frame 100 and the danpla sheet 300 are connected by a rivet 700, but a folding preventing member 800 is formed at a connection portion to which the rivet 700 is connected.

상기 접힘방지부재(800)는 2겹으로 구성되되 내측부분이 외측부분보다 짧게 형성된다. The folding preventing member 800 is composed of two layers, but the inner portion is formed shorter than the outer portion.

상기한 본 발명에 대해 보다 상세히 설명하면, When explaining the above-described invention in more detail,

우선, 본 발명인 포토마스크 이동용 박스는 프레임(100), 거치대(200), 단프라시트(300), 바퀴(400), 레일(500) 및 받침대(600)로 대분 구성된다. First, a box for moving a photomask of the present invention is largely composed of a frame 100, a cradle 200, a danpla sheet 300, a wheel 400, a rail 500, and a pedestal 600.

프레임(100)은 이동용 박스(10)를 구성하기 위한 전체적인 외형틀이며, 일반적으로 알루미늄 또는 철 재질로 이루어진다. The frame 100 is an overall outer frame for configuring the moving box 10, and is generally made of aluminum or iron.

거치대(200)는 상기 프레임(100)의 내부공간에 구성되되 바닥면 중심부에 구성되어 있다. The cradle 200 is configured in the inner space of the frame 100 and is configured in the center of the bottom surface.

상기 거치대(200)에는 하기 설명하는 받침대(600)가 거치 된다. The pedestal 600 to be described below is mounted on the cradle 200.

상기 거치대(200)에는 지지부(210)가 구성되는데, 상기 지지부(210)는 거치대(200)에 하기 설명하려는 받침대(600)가 위치되도록 한다. The cradle 200 includes a support portion 210, and the support portion 210 allows the pedestal 600 to be described below to be positioned on the cradle 200.

상기 지지부(210)는 받침대(600)의 외형과 동일한 형상으로 전면이 넓은 형상이고 후면으로 갈수록 좁아지는 형상으로 형성된다. The support part 210 has the same shape as the outer shape of the pedestal 600 and has a wide front surface and a shape that becomes narrower toward the rear side.

상기 지지부(210)에는 받침대(600)가 안착되는 안착대, 측면지지대(211), 전면지지대(213) 및 후면지지대가 구성된다. The support part 210 includes a seat, a side support 211, a front support 213, and a rear support on which the support 600 is mounted.

측면지지대(211)는 상기 받침대(600)가 안착대에 안착 시, 상기 받침대(600)의 측면부를 지지하도록 양측에 각각 구성된다. The side support 211 is configured on both sides to support the side portion of the support 600 when the support 600 is seated on the mounting table.

상기 측면지지대(211)는 받침대(600)의 측면을 이루는 각도와 동일하게 각도를 이루며 구성된다. The side support 211 is configured to form the same angle as the angle forming the side of the pedestal 600.

전면지지대(213)는 상기 받침대(600)의 안착대에 안착 시, 상기 받침대(600)의 전면 단부를 지지한다. The front support 213 supports the front end of the support 600 when seated on the mounting table of the support 600.

상기 전면지지대(213)는 안착대에 안착되고 측면지지대(211)로 받침대(600)의 측면이 지지되면, 상기 받침대(600)의 전면부분이 전면방향으로 유동되는 것을 방지하기 위해 전면지지대(213)가 구성된다. When the front support 213 is seated on the seat and the side of the pedestal 600 is supported by the side support 211, the front support 213 is used to prevent the front portion of the pedestal 600 from flowing in the front direction. ) Is composed.

상기 전면지지대(213)는 받침대(600)의 전면 단부를 지지할 수 있도록 걸림부가 형성된다. The front support 213 is formed with a locking portion to support the front end of the pedestal 600.

상기 걸림부는 단턱을 형성하거나 또는 일정 각도를 이루며 'ㄱ'자 형상으로 형성될 수도 있다. The locking portion may form a stepped portion or may be formed in a'L' shape with a certain angle.

상기 걸림부로 걸림 된 후에도 상기 받침대(600)가 전면부분으로 유동되는 것을 방지하기 위해 체결부재를 이용하여 상기 전면지지대(213)를 관통 후 안착대와 체결할 수 있도록 구성한다. In order to prevent the pedestal 600 from flowing to the front portion even after being locked by the locking portion, a fastening member is used to pass through the front support 213 and then fasten to the seat.

상기 전면지지대(213)에 구성되는 걸림부와 체결부재는 동시에 적용되거나 또는 단일로 적용될 수도 있다. The locking portion and the fastening member configured in the front support 213 may be applied simultaneously or may be applied singly.

후면지지대(215)는 상기 받침대(600)의 후면과 연결되어 지지한다. The rear support 215 is connected to and supports the rear surface of the pedestal 600.

상기 후면지지대(215)는 받침대(600) 후면의 바닥면을 상부에서 감싸는 구조로 지지한다. The rear support 215 is supported in a structure surrounding the bottom surface of the rear surface of the support 600 from the top.

이때, 상기 전면지지대(213)와 동일하게 후면지지대(215)에도 걸림부를 구성하거나 또는 체결부재가 구성될 수 있다. At this time, similarly to the front support 213, the rear support 215 may also include a locking portion or a fastening member.

또한, 상기 전면지지대(213)와 후면지지대(215)는 도면 5에 도시된 바와 같이 받침대(600)의 전면과 후면에 각각 구성되어 전, 후면의 상부를 각각 감싸는 구조로 지지할 수도 있다. In addition, the front support 213 and the rear support 215 may be configured on the front and rear surfaces of the pedestal 600, respectively, as shown in FIG. 5, and may be supported in a structure surrounding the upper portions of the front and rear surfaces, respectively.

이때에도 상기 걸림부와 체결부재가 동시에 구성되거나 별도로 구성될 수도 있다. Even at this time, the locking portion and the fastening member may be configured simultaneously or separately.

도면 5를 통해서는 상기 전면지지대(213)와 후면지지대(215)를 수평방향으로 회전하며 상기 받침대(600)를 지지시킬 수도 있다. 5, the front support 213 and the rear support 215 may be rotated in a horizontal direction to support the support 600.

수평방향으로 회전 시에도 받침대(600)의 전면과 후면이 닿는 부분에는 별도의 걸림부를 형성시킬 수도 있다. Even when rotating in the horizontal direction, a separate locking part may be formed at a portion where the front and rear surfaces of the pedestal 600 touch.

단프라시트(300)는 상기 프레임(100)의 외측에 결합한다. Danpla sheet 300 is coupled to the outside of the frame 100.

일반적으로 사용되는 각파이프를 이용하여 외형틀인 프레임(100)이 제작되면, 상기 프레임의 남은 공간부분을 커버하기 위한 단프라시트(300)가 상기 프레임(100)에 결합한다. When the frame 100, which is an outer frame, is manufactured using a commonly used square pipe, a danpla sheet 300 for covering the remaining space of the frame is coupled to the frame 100.

이때, 일반적으로 리벳(700)을 이용하여 프레임(100)과 단프라시트(300)를 결합 고정한다. At this time, in general, the frame 100 and the danpla sheet 300 are coupled and fixed using a rivet 700.

바퀴(400)는 상기 프레임(100)의 하부에 다수개 연결 구성된다. A plurality of wheels 400 are connected to the lower portion of the frame 100.

상기 바퀴(400)는 이동용 박스(10)의 이동수단으로 일반적으로 사용되고 있는 바퀴(400)를 적용하였다. The wheel 400 is a wheel 400 that is generally used as a moving means of the moving box 10.

레일(500)은 포토마스크를 이동용 박스(10)의 내부 또는 외부로 이동시키기 위해 구성된다. The rail 500 is configured to move the photomask to the inside or outside of the moving box 10.

상기 레일(500)은 거치대(200)를 중심으로 일 측 또는 양측에 각각 구성된다. The rail 500 is configured on one side or both sides of the cradle 200, respectively.

받침대(600)는 상기 포토마스크를 박스 내부로 인입시키기 위해 바닥면과 레일(500)을 연결한다. The pedestal 600 connects the bottom surface and the rail 500 to lead the photomask into the box.

또한, 이동용 박스(10)가 도착지에 도착 후에는 상기 박스(10) 내부에서 외부로 인출시키기 위해 바닥면과 레일(500)을 연결하게 된다. In addition, after the moving box 10 arrives at the destination, the bottom surface and the rail 500 are connected to be withdrawn from the inside of the box 10 to the outside.

리벳(700)은 상기 프레임(100)과 단프라시트(300)를 상호 연결하도록 구성된다. The rivet 700 is configured to interconnect the frame 100 and the danpla sheet 300.

이때, 도면 7에 도시된 바와 같이, 리벳(700)이 연결되는 부분의 힘으로 인해, 리벳(700)이 연결되는 연결부분의 주위가 일측 방향으로 돌출을 이루게 된다. At this time, as shown in FIG. 7, due to the force of the portion to which the rivet 700 is connected, the circumference of the connection portion to which the rivet 700 is connected protrudes in one direction.

상기 돌출은 그에 따른 틈새를 형성하게 되고, 상기 틈새로 미세한 이물질이 박스(10)의 내부로 유입되어 포토마스크에 이물질이 부착되는 요인이 된다. The protrusion forms a gap according to the gap, and fine foreign materials flow into the inside of the box 10 through the gap, causing the foreign material to adhere to the photomask.

본 발명에서는 상기한 문제점을 해소하기 위해, In the present invention, in order to solve the above problems,

상기 리벳(700)이 연결되는 부분에 별도의 접힘방지부재(800)를 우선적으로 끼움 결합되도록 하였다. A separate anti-folding member 800 was preferentially fitted to the portion to which the rivet 700 is connected.

상기 접힘방지부재(800)는 내주가 리벳(700)의 외주와 크기가 동일하고, 본 발명에서는 우레탄 재질을 적용하였으나, 틈새를 방지할 수 있는 구성요소는 부가적으로 구성시킬 수도 있다. The folding preventing member 800 has the same size as the outer circumference of the rivet 700, and the urethane material is applied in the present invention, but a component capable of preventing a gap may be additionally configured.

상기 접힘방지부재(800)는 2겹으로 구성되되 내측부분이 외측부분보다 짧게 형성된다. The folding preventing member 800 is composed of two layers, but the inner portion is formed shorter than the outer portion.

상기 접힘방지부재(800)의 내측, 외측 길이는 틈새를 미연에 방지하는 효과와 더불어 프레임(100)과 단프라시트(300)의 형상변형을 미연에 방지하기 위함이다. The inner and outer lengths of the folding preventing member 800 are intended to prevent the deformation of the frame 100 and the danpla sheet 300 as well as the effect of preventing the gap.

상기와 같은 본 발명에 따르면, 박스 내부와 외부로 이동 시에 필요한 받침대를 박스 내부에서 측면, 전면 및 후면까지 지지되도록 하여 지지력을 상승시켰고, 프레임과 시트를 결합 시 결합부분에 접힘방지부재를 구성하여 시트의 접힘을 미연에 방지할 수 있어 상기 접힘 부분으로 이물질이 유입되는 것을 방지할 수 있다. According to the present invention as described above, the support required for movement to the inside and outside of the box is supported from the inside to the side, front, and rear to increase the support, and when the frame and the sheet are combined, a folding preventing member is formed at the coupling part. Thus, it is possible to prevent the sheet from being folded in advance, thereby preventing foreign substances from entering the folded portion.

10 : 포토마스크 이동용 박스
100 : 프레임
200 : 거치대 210 : 지지부
211 : 측면지지대 213 : 전면지지대 215 : 후면지지대
300 : 단프라시트 400 : 바퀴 500 : 레일
600 : 받침대 700 : 리벳 800 : 접힘방지부재10: Box for moving photomask
100: frame
200: holder 210: support
211: side support 213: front support 215: rear support
300: danpla seat 400: wheel 500: rail
600: base 700: rivet 800: folding prevention member

Claims (6)

내부공간을 형성하는 프레임(100)과, 상기 프레임(100)의 내부 하측에 구성되는 거치대(200)와, 상기 프레임(100)의 외측에 결합하는 단프라시트(300)와, 상기 프레임(100)의 하부에 다수개 연결 구성되어 유동하는 바퀴(400)와, 상기 거치대(200)의 일 측 또는 양측에 구성되는 포토마스크 이동용 레일(500) 및 상기 포토마스크를 바닥면에서 레일(500)로 이동시키기 위한 받침대(600)로 구성된 포토마스크 이동용 박스에 있어서,
상기 거치대(200)에는 받침대(600)가 위치되도록 지지부(210)가 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 받침대를 지지하는 포토마스크 이동용 박스.
A frame 100 forming an internal space, a cradle 200 configured at an inner lower side of the frame 100, a danpla sheet 300 coupled to the outside of the frame 100, and the frame 100 ), a plurality of connected and flowing wheels 400, a rail 500 for moving a photomask configured on one or both sides of the cradle 200, and the photomask from the bottom surface to the rail 500 In the photomask moving box consisting of a pedestal 600 for moving,
A photomask moving box for supporting a pedestal, characterized in that the support portion 210 is configured so that the pedestal 600 is positioned on the pedestal 200.
 제 1항에 있어서,
상기 지지부(210)에는 받침대(600)의 외형과 동일한 형상으로 형성되되 상기 받침대(600)의 측면부를 지지하는 측면지지대(211)가 양측에 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 받침대를 지지하는 포토마스크 이동용 박스.
The method of claim 1,
The support portion 210 is formed in the same shape as the outer shape of the pedestal 600, and the side supports 211 supporting the side portions of the pedestal 600 are configured on both sides. box.
 제 1항에 있어서,
상기 지지부(210)에는 받침대(600)의 전면 단부를 지지하는 전면지지대(213)가 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 받침대를 지지하는 포토마스크 이동용 박스.
The method of claim 1,
A photomask moving box for supporting a pedestal, characterized in that the supporting portion 210 includes a front support 213 supporting the front end of the pedestal 600.
 제 1항에 있어서,
상기 지지부(210)에는 받침대(600)의 후면과 연결되어 지지하는 후면지지대(215)가 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 받침대를 지지하는 포토마스크 이동용 박스.
The method of claim 1,
A photomask moving box for supporting a pedestal, characterized in that the supporting portion 210 includes a rear support 215 connected to and supporting the rear surface of the pedestal 600.
 제 1항에 있어서,
상기 프레임(100)과 단프라시트(300)는 리벳(700)으로 연결하되 상기 리벳(700)이 연결되는 연결부분에는 접힘방지부재(800)가 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 받침대를 지지하는 포토마스크 이동용 박스.
The method of claim 1,
The frame 100 and the danpla sheet 300 are connected by a rivet 700, but a folding preventing member 800 is formed at a connection portion to which the rivet 700 is connected. Box for moving the mask.
 제 5항에 있어서,
상기 접힘방지부재(800)는 2겹으로 구성되되 내측부분이 외측부분보다 짧게 형성되는 것을 특징으로 하는 받침대를 지지하는 포토마스크 이동용 박스.

The method of claim 5,
The folding preventing member 800 is a box for moving a photomask supporting a pedestal, characterized in that the inner portion is formed shorter than the outer portion consisting of two layers.
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