KR20200109874A - Multiple curved plane evaporation source for organic film deposition process of high resolution AMOLED device - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a multiple curved plane evaporation source for depositing and producing an ultra high resolution AMOLED, which uses donor organic thin films deposited on a curved plane metal sheet of a dual curved plane evaporation source, a multiple curved plane evaporation source, a dual circular curved plane evaporation source or a multiple circular curved plane evaporation source having a plurality of circular curved plane patterns with different curvatures, thereby further widening an effective area of a target organic thin film formed on a substrate by an organic gas focused and evaporated during re-evaporation and thus, increasing usage rate of organic matters, and enhances thickness uniformity of a pattern thin film of a target organic thin film and further reduces a shadow phenomenon by enhanced vertical evaporation rate to much less form the shadow distance of the pattern thin film, thereby depositing and forming an ultra fine pattern thin film with resolution of 2,250 ppi.

Description

초고해상도 AMOLED 소자의 유기박막 증착용 다중 곡면 증발원{Multiple curved plane evaporation source for organic film deposition process of high resolution AMOLED device}Multiple curved plane evaporation source for organic film deposition process of high resolution AMOLED device}

본 발명은 초고해상도 AMOLED 소자의 유기박막 증착용 다중 곡면 증발원에 관한 것으로서, 초고해상도 AMOLED 소자를 제작함에 있어서 높은 박막두께 균일도를 가지고, 세도우현상이 없는 초미세패턴 유기박막의 형성을 위한 고진공 증착공정이 가능하도록 금속시트(sheet) 표면에 곡률과 크기가 다른 다수개의 곡면형 패턴이 형성된 다중 곡면 증발원의 구조에 관한 것이다.The present invention relates to a multi-curved evaporation source for deposition of an organic thin film of an ultra-high resolution AMOLED device, and has a high thin film thickness uniformity in manufacturing an ultra-high resolution AMOLED device, and a high vacuum deposition for the formation of an ultra-fine pattern organic thin film without shadowing phenomenon The present invention relates to a structure of a multiple curved evaporation source in which a plurality of curved patterns having different curvatures and sizes are formed on the surface of a metal sheet to enable the process.

현재 생산되고 있는 스마트폰용 AMOLED 디스플레이 소자는 해상도가 약 600ppi에 이르고 있으나, 새로이 부상하고 있는 VR, AR 어플리케이션에 대응하기 위한 초고해상도 (예, 2250ppi) AMOLED의 대량생산을 아직 실현할 수 없으므로, 이에 대한 차세대급 제조 기술이 필요한 시점이다. 특히, 많은 국가들은 모바일 어플리케이션을 위한 소형 AMOLED의 해상도를 향상하고자 경쟁적으로 노력하고 있다. Currently produced AMOLED display devices for smartphones have a resolution of about 600ppi, but since mass production of ultra-high resolution (e.g., 2250ppi) AMOLEDs to cope with emerging VR and AR applications has not yet been realized, It is the time when high-grade manufacturing technology is needed. In particular, many countries are trying competitively to improve the resolution of small AMOLEDs for mobile applications.

AMOLED(Active Matrix Organic Light Emitting Diode) 소자는, 기존의 LCD 디스플레이 소자를 대체하고 있는 차세대 디스플레이 소자로서, 박막형의 구성이 가능하여 매우 얇은 디스플레이가 가능하다. 특히, 소형 AMOLED는 폴더블 또는 롤러블 디스플레이 소자에 활용도가 매우 높아서 한국, 중국, 일본 등의 국가들이 경쟁적으로 생산을 시도하고 있다.An AMOLED (Active Matrix Organic Light Emitting Diode) device is a next-generation display device that replaces the existing LCD display device, and a thin-film configuration is possible, enabling a very thin display. In particular, small-sized AMOLEDs are highly utilized in foldable or rollable display devices, so countries such as Korea, China, and Japan are trying to produce them competitively.

현재 생산되는 6.4인치 크기의 AMOLED 소자의 해상도는 514ppi(pixel per inch)이므로, 이를 VR, AR에 적용 시, 저해상도에 따른 패턴간격이 눈에 보이는 매트릭스효과 (일명, 모기장 효과)가 발생한다. 이를 제거하려면, 적어도 2250ppi이상의 AMOLED 소자의 생산이 되어야 하며, 비로소 VR, AR 시대가 전성기를 맞이할 수 있게 된다. Since the resolution of the currently produced 6.4 inch AMOLED device is 514 ppi (pixel per inch), when this is applied to VR and AR, a matrix effect (aka mosquito net effect) occurs in which the pattern interval according to the low resolution is visible. To eliminate this, the production of AMOLED devices of at least 2250ppi or more must be made, and the VR and AR era can finally reach their heyday.

이와 같은 AMOLED 소자는 TFT 기판 상에 아노드(Anode) 박막과 캐소드(Cathode) 박막 사이에 7개층의 유기박막(HIL, HTL, Blue, Red, Green, EIL, ETL)이 형성되어 전기를 흘려주면 Red, Green, Blue 유기물 발광층들이 발광하게 되는 것으로, AMOLED 소자의 제조에는 적어도 7개 이상의 유기박막 증착이 필요하다.In such AMOLED device, 7 layers of organic thin films (HIL, HTL, Blue, Red, Green, EIL, ETL) are formed between the anode thin film and the cathode thin film on the TFT substrate. Red, green, and blue organic light emitting layers emit light, and at least seven or more organic thin films are required to be deposited to manufacture an AMOLED device.

현재 생산에 이용되고 있는 AMOLED 소자용 유기박막을 증착하는 점형 또는 선형 증발원 증착기는, 도1에 도시된 바와 같이, 고진공의 챔버내 상부에 TFT기판(10)이 수평으로 놓이고, 하부에 점증발원(13)이 놓이는 구조이다. In the point-type or linear evaporation source evaporator for depositing an organic thin film for AMOLED devices currently used in production, as shown in Fig. 1, the TFT substrate 10 is placed horizontally on the upper part of the chamber of high vacuum, and the point evaporation source is at the lower part. (13) is the structure on which it is placed.

도1(a)에서와 같이, 고진공 증착기 챔버의 내측 하부에는 점증발원 또는 선형증발원 (일명, 리니어 소스)(13)이 설치되며, 선형증발원은 점증발원을 길쭉한 형태로 구성한 것으로, 작동원리는 동일하므로 여기서는 주로 점증발원으로만 설명한다. 점증발원(13)의 내부에는 유기물 파우더(14)가 담겨 있어서, 가열에 의하여 유기물 기체가 상향 분사되고, 분사되는 유기물 기체 분자는 45도의 입사각(θ1)을 가지며 비행하여 기판(10)에 증착된다. 이때, 기판(10)에 증착된 유기박막(11)의 두께 프로화일은 중앙에는 두껍고 가장자리로 갈수록 얇아지는 형태를 가지게 되며, 이를 가우시안(Gaussian) 형 두께분포를 가진다고 한다. As shown in Fig. 1(a), an incremental evaporation source or a linear evaporation source (aka linear source) 13 is installed in the inner lower part of the high vacuum evaporator chamber, and the linear evaporation source is composed of the incremental evaporation source in an elongated shape, and the operating principle is the same. Therefore, it will be mainly described here as an incremental source. The inside of the incremental evaporation source 13 contains the organic powder 14, so the organic gas is injected upwards by heating, and the injected organic gas molecules have an incidence angle (θ 1 ) of 45 degrees and are deposited on the substrate 10 by flying. do. At this time, the thickness profile of the organic thin film 11 deposited on the substrate 10 has a shape that is thick at the center and thinner toward the edge, and this is said to have a Gaussian thickness distribution.

도1(b)에서와 같이 미세한 유기박막의 패턴을 형성하기 위해서 기판하부에 미세한 구멍들이 형성된 메탈 마스크(일명, fine metal mask, FMM)(16)가 놓이고 점증발원(13)으로부터 분사된 유기물 기체가 마스크의 구멍을 통과하여 기판에 미세한 패턴 유기박막(17)이 형성된다. 현재 생산되는 증착기에서는, 유기박막의 두께 균일도를 향상시키기 위하여, 기판을 회전하면서 증착하거나, 선형증발원을 스켄이송하면서 유기박막을 증착한다. 하지만, 유기물 분자의 입사각 때문에 패턴 유기박막에는 마스크 두께에 의한 섀도우 현상으로 인하여, 초미세한 패턴 형성이 불가능하게 되어 소자의 해상도를 향상하는데 제한이 발생한다.As shown in Fig. 1(b), in order to form a pattern of a fine organic thin film, a metal mask (aka fine metal mask, FMM) 16 with fine holes formed under the substrate is placed and the organic matter sprayed from the point evaporation source 13 The gas passes through the hole in the mask to form a fine patterned organic thin film 17 on the substrate. In the currently produced evaporators, in order to improve the uniformity of the thickness of the organic thin film, the organic thin film is deposited while rotating the substrate or scanning the linear evaporation source. However, due to the incidence angle of the organic molecules, the patterned organic thin film has a shadow phenomenon due to the thickness of the mask, making it impossible to form an ultra-fine pattern, thereby limiting the resolution of the device.

이를 해결하고자 종래에 제안되어 개발되고 있는 면증발원 증착기술에 따르면, 도2(a)에 도시된 바와 같이, 금속면시트(23)에 1차로 증착코팅된 도너 유기박막(22)이 구비되고, 가열히터(H)에 의하여 금속면시트가 가열되면 도너 유기박막(22)은 재증발되어 타겟인 기판(10)에 증착되어 타겟 유기박막(21)을 형성한다. 여기서, 도1의 점증발원(13)으로부터 1차 증발된 유기물 기체가 금속면시트(23)에 증착코팅되어 도너 유기박막(22)이 형성되는 것이고, 가열장치(H)에 의하여 금속면시트가 후면에서 부터 가열되어 도너 유기박막(22)이 재증발 되면, 재증발된 유기물 기체가 비행하여 기판(10)에 최종 도달되고 증착되어 타겟 유기박막(21)이 형성되는 것이다. In order to solve this problem, according to the surface evaporation source deposition technology that has been proposed and developed in the prior art, as shown in Fig. 2(a), a donor organic thin film 22 that is primarily deposited on the metal sheet 23 is provided, When the metal sheet is heated by the heating heater H, the donor organic thin film 22 is re-evaporated and deposited on the target substrate 10 to form the target organic thin film 21. Here, the organic material gas first evaporated from the point evaporation source 13 of FIG. 1 is deposited and coated on the metal sheet 23 to form the donor organic thin film 22, and the metal sheet is formed by the heating device H. When the donor organic thin film 22 is re-evaporated by heating from the rear surface, the re-evaporated organic material gas is flown to finally reach the substrate 10 and deposited to form the target organic thin film 21.

이때, 금속면시트에서 재증발된 유기물 기체는 입사각(θ2)이 대략 20도가 되는 것이 확인 되었으며, 기판에 형성된 타겟 유기박막(20)은 중앙에 두께 균일도가 적당하게 유지되는 유효 영역(Active area)(A)과 두께 균일도가 매우 낮게 유지되는 비유효 영역(B)을 가지게 된다. 이 경우, 유효영역이 너무 좁으면 물질 사용효율이 떨어진다. (참고 특허: 하향식 열적 유도 증착에 의한 선형의 대면적 유기소자 양산장비, 1012061620000) At this time, it was confirmed that the incident angle (θ 2 ) of the organic material gas re-evaporated from the metal sheet is approximately 20 degrees, and the target organic thin film 20 formed on the substrate is an active area in which the thickness uniformity is adequately maintained at the center. )(A) and thickness uniformity are kept very low. In this case, if the effective area is too narrow, the material use efficiency decreases. (Reference patent: Linear large-area organic device mass production equipment by top-down thermal induction deposition, 1012061620000)

또한, 도2(b)에 도시된 바와 같이, 곡면 금속시트(33)를 사용하여 1차 증착 코팅된 곡면 도너 유기박막(32)을 재증발하면 곡면증발 입사각(θ3)은 대략 10도로 관측되며, 기판에 형성된 타겟 유기박막(31)은 비유효영역(B)이 이전의 평면형 금속시트의 경우보다 줄어들게 된다. 즉, 증발하는 유기물 기체가 포커싱되는 현상이 발견되었다. 하지만, 유효영역(A)를 더욱 넓혀야 유기물의 물질 사용율을 향상시킬 수 있는 문제는 있다. (참고 특허 제10-2016-0026749호, 고해상도 오엘이디 패턴 증착용 곡면 증발원)In addition, as shown in Fig.2(b), when the first deposition-coated curved donor organic thin film 32 is re-evaporated using the curved metal sheet 33, the curved evaporation incident angle θ 3 is observed at approximately 10 degrees. In addition, in the target organic thin film 31 formed on the substrate, the non-effective region B is smaller than that of the previous planar metal sheet. In other words, it was found that the evaporating organic gas was focused. However, there is a problem in that the effective area (A) can be further widened to improve the material utilization rate of organic materials. (Reference Patent No. 10-2016-0026749, Curved evaporation source for high-resolution OLED pattern deposition)

참고로, 금속면시트(23)에 증착된 도너 유기박막(22)으로부터 재증발되어 기판에 증착된 타겟 유기박막은, 수직성 면증발에 의해 세도우현상이 현격히 줄어들어, FMM(Fine Metal Mask)마스크를 TFT기판(10)하부에 부착하여 패턴박막을 형성할 경우, 세도우거리는 0.8um - 1.5um으로 줄어들게 되고, 그 결과 AMOLED의 해상도는 800ppi 에서 1200ppi 까지 향상하게 된다. 반면에, 선형 또는 점증발원만으로 AMOLED 소자를 제작하면, 세도우거리는 약 4um가 형성되며, 그에 따른 해상도는 최대 570ppi에 그치고 있는 실정이다. (참고논문1 : 고해상도 AMOLED 제조용 고진공 증착기술, 물리학과 첨단기술 pp 29 - 37, APRIL (2018), 참고논문2 : Plane source evaporation techniques for super ultra high resolution flexible AMOLED, pp523-526, 37-2, SID 2017.)For reference, in the target organic thin film re-evaporated from the donor organic thin film 22 deposited on the metal sheet 23 and deposited on the substrate, the shadow phenomenon is remarkably reduced by vertical surface evaporation, and thus FMM (Fine Metal Mask) When the mask is attached to the lower portion of the TFT substrate 10 to form a patterned thin film, the shadow distance is reduced to 0.8um-1.5um, and as a result, the resolution of the AMOLED is improved from 800ppi to 1200ppi. On the other hand, when an AMOLED device is fabricated with only a linear or incremental evaporation source, a shadow distance of about 4um is formed, and the corresponding resolution is limited to a maximum of 570ppi. (Reference Paper 1: High vacuum evaporation technology for high resolution AMOLED manufacturing, physics and advanced technology pp 29-37, APRIL (2018), Reference Paper 2: Plane source evaporation techniques for super ultra high resolution flexible AMOLED, pp523-526, 37-2, SID 2017.)

한국공개특허공보 제10-2016-0026749호Korean Patent Publication No. 10-2016-0026749

본 발명은 상술한 문제를 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 초고해상도를 가지는 AMOLED를 제조할 수 있도록, 금속시트면 증발시 기판에 형성된 유기박막의 유효영역을 더욱 넓혀 유기물질 사용율을 높이고, 또한 박막의 두께 균일도를 향상시키고 세도우현상을 더욱 저감하도록 하여 0.3㎛ - 0.8㎛의 세도우 거리를 확보함으로써, 이로 인하여 2250ppi의 해상도를 가지는 초미세 패턴박막의 증착형성이 가능한 다중 곡면 증발원의 구조를 제공하는 것에 있다. The present invention was conceived to solve the above problems, and an object of the present invention is to further widen the effective area of the organic thin film formed on the substrate when the metal sheet surface is evaporated so that an AMOLED having an ultra-high resolution can be manufactured, thereby increasing the use of organic materials. In addition, by increasing the thickness uniformity of the thin film and further reducing the shadow phenomenon, the shadow distance of 0.3㎛-0.8㎛ is secured, thereby enabling the deposition of ultra-fine patterned thin films with a resolution of 2250ppi. It is in providing the structure of.

또한, 본 발명의 목적은 곡면 증발원에 의한 유기물증발의 경우, 곡면에서 재증발되는 유기물기체의 포커싱(Focusing)현상으로 인하여 세도우 현상이 더욱 줄어드는 것을 이용하여(논문3 : Novel plane source FMM evaporation techniques for manufacturing of 2250ppi flexible AMOLEDs, pp1003 - 1006, 75-2, SID 2018.), 유기 패턴 박막의 세도우거리가 0.18㎛ - 0.5㎛를 가져 2250ppi 이상의 초고해상도 AMOLED 소자 제작이 가능한 다중 곡면 증발원의 구조를 제공하는 것에 있다. In addition, an object of the present invention is to further reduce the shadow phenomenon due to the focusing phenomenon of the organic material gas re-evaporated from the curved surface in the case of organic material evaporation by a curved evaporation source (Paper 3: Novel plane source FMM evaporation techniques. for manufacturing of 2250ppi flexible AMOLEDs, pp1003-1006, 75-2, SID 2018.), The structure of a multi-curved evaporation source capable of manufacturing ultra-high resolution AMOLED devices of 2250ppi or more with a shadow distance of 0.18㎛-0.5㎛ of organic patterned thin film. It is in offering.

또한, 본 발명의 목적은 곡률이 다르고 크기가 다른 곡면이 다수개 형성된 다중 곡면형 패턴을 가지는 금속판을 이용하여, 수직 증발율을 높이고, 유기물질의 사용율 향상, 유기박막 유효영역의 확장, 세도우현상의 저감에 의해, 초고해상도 AMOLED 소자 제작이 가능한 다중 곡면 증발원 장치의 구조를 제공하는 것에 있다. In addition, an object of the present invention is to increase the vertical evaporation rate, improve the utilization rate of organic materials, expand the effective area of the organic thin film, and shadow phenomenon by using a metal plate having a multi-curved pattern in which a plurality of curved surfaces of different curvatures and sizes are formed. It is to provide a structure of a multiple curved evaporation source device capable of manufacturing ultra-high resolution AMOLED devices by reducing

상술한 해상도 향상의 문제를 해결하기 위하여, 본 발명에 따른 초고해상도 AMOLED 소자의 유기박막 증착용 다중 곡면 증발원은,In order to solve the above-described problem of resolution improvement, the multi-curved evaporation source for organic thin film deposition of an ultra-high resolution AMOLED device according to the present invention,

오목한 곡면이 형성된 곡면 금속시트; 및A curved metal sheet having a concave curved surface; And

상기 곡면 금속시트에 증착된 도너 유기박막;으로 구성되는 것을 특징으로 한다.And a donor organic thin film deposited on the curved metal sheet.

또한, 본 발명에 따른 다중 곡면 증발원에서, In addition, in the multiple curved evaporation source according to the present invention,

상기 곡면 금속시트에 형성된 곡면은 곡률이 다른 다수개의 곡면 패턴들로 구성되는 것을 특징으로 한다.The curved surface formed on the curved metal sheet is characterized in that it is composed of a plurality of curved surface patterns having different curvatures.

또한, 본 발명에 따른 다중 곡면 증발원에서,In addition, in the multiple curved evaporation source according to the present invention,

상기 유기박막 증착용 다중 곡면 증발원은, The multiple curved evaporation source for organic thin film deposition,

이중 곡면 증발원, 다중 곡면 증발원, 이중 원형 곡면 증발원 또는 다중 원형 곡면 증발원 중 어느 하나인 것을 특징으로 한다.It is characterized in that it is any one of a double curved evaporation source, a multiple curved evaporation source, a double circular curved evaporation source, or a multiple circular curved evaporation source.

또한, 본 발명에 따른 다중 곡면 증발원에서, In addition, in the multiple curved evaporation source according to the present invention,

상기 이중 곡면 증발원은, The double curved evaporation source,

상부면 중앙에 2개의 오목한 이중 곡면이 연속으로 형성된 이중 곡면 금속시트; 및 상기 이중 곡면상에 증착된 이중 곡면 도너 유기박막;으로 구성되는 것을 특징으로 한다.A double curved metal sheet in which two concave double curved surfaces are continuously formed in the center of the upper surface; And a double curved donor organic thin film deposited on the double curved surface.

또한, 본 발명에 따른 다중 곡면 증발원에서, In addition, in the multiple curved evaporation source according to the present invention,

상기 다중 곡면 증발원은, The multiple curved evaporation source,

상부면 중앙에 2개의 오목한 이중 곡면이 연속으로 형성되고, 상기 이중 곡면의 좌우측에는 다수개의 측부 곡면들이 순차적으로 밀집되어 형성된 다중 곡면 금속시트; 및 상기 이중 곡면 및 측부 곡면상에 증착된 다중 곡면 도너 유기박막;으로 구성되는 것을 특징으로 한다.A multi-curved metal sheet in which two concave double curved surfaces are continuously formed in the center of the upper surface, and a plurality of side curved surfaces are sequentially concentrated on the left and right sides of the double curved surface; And a multi-curved donor organic thin film deposited on the double curved surface and the side curved surface.

또한, 본 발명에 따른 다중 곡면 증발원에서, In addition, in the multiple curved evaporation source according to the present invention,

상기 이중 원형곡면 증발원은, The double circular curved evaporation source,

상부면에 원형의 곡면 테두리를 갖는 1개의 오목한 원형 곡면이 형성되되, 상기 원형 곡면의 중앙에는 곡면 봉우리가 솟아 있어 봉우리로부터 곡면테두리까지 방사상으로 오목한 곡면 골짜기를 이루도록 구성된 이중 원형곡면 금속시트; 및 상기 이중 원형곡면상에 증착된 이중 원형곡면 도너 유기박막;으로 구성되는 것을 특징으로 한다.A double circular curved metal sheet configured to form one concave circular curved surface having a circular curved edge on the upper surface, wherein a curved peak is raised in the center of the circular curved surface to form a radially concave curved valley from the peak to the curved edge; And a double circular curved donor organic thin film deposited on the double circular curved surface.

또한, 본 발명에 따른 다중 곡면 증발원에서, In addition, in the multiple curved evaporation source according to the present invention,

상기 다중 원형곡면 증발원은, The multiple circular curved evaporation source,

상부면에 원형의 곡면 테두리를 갖는 1개의 오목한 원형 곡면이 형성되되, 상기 원형 곡면의 중앙에는 곡면 봉우리가 솟아 있어 봉우리로부터 곡면테두리까지 방사상으로 오목한 곡면 골짜기를 이루도록 구성되고, 상기 원형 곡면의 테두리 외측에는 다수개의 측부원형곡면들이 방사상으로 정렬되어 밀집 형성된 다중 원형곡면 금속시트; 및 상기 원형 곡면 및 측부원형곡면상에 증착된 다중 원형곡면 도너 유기박막;으로 구성되는 것을 특징으로 한다.One concave circular curved surface having a circular curved edge is formed on the upper surface, and a curved peak is raised in the center of the circular curved surface to form a radially concave curved valley from the peak to the curved edge, and outside the edge of the circular curved surface A plurality of side circular curved surfaces are radially aligned and densely formed multiple circular curved metal sheet; And multiple circular curved donor organic thin films deposited on the circular curved surface and the side circular curved surface.

또한, 본 발명에 따른 다중 곡면 증발원에서,In addition, in the multiple curved evaporation source according to the present invention,

상기 이중 곡면 증발원에 형성된 이중 곡면, 상기 다중 곡면 증발원에 형성된 이중 곡면, 상기 이중 원형곡면 증발원에 형성된 원형곡면, 또는 상기 다중 원형곡면 증발원에 형성된 원형곡면은 테두리가 원형, 타원형, 정사각형, 직사각형, 또는 다각형 형상 중 어느 하나의 형상인 것을 특징으로 한다.The double curved surface formed on the double curved evaporation source, the double curved surface formed on the multiple curved evaporation source, the circular curved surface formed on the double circular curved evaporation source, or the circular curved surface formed on the multiple circular curved evaporation source has a circular, elliptical, square, rectangular, or It is characterized in that it is any one of polygonal shapes.

또한, 본 발명에 따른 다중 곡면 증발원에서,In addition, in the multiple curved evaporation source according to the present invention,

상기 다중 곡면 증발원에 형성된 측부 곡면, 또는 상기 다중 원형곡면 증발원에 형성된 측부원형곡면은 테두리가 원형, 타원형, 정사각형, 직사각형, 또는 다각형 형상 중 어느 하나의 형상인 것을 특징으로 한다.The side curved surface formed in the multi-curved evaporation source, or the side circular curved surface formed in the multi-circular curved evaporation source is characterized in that the rim has a shape of any one of a circular, elliptical, square, rectangular, or polygonal shape.

또한, 본 발명에 따른 다중 곡면 증발원에서,In addition, in the multiple curved evaporation source according to the present invention,

상기 다중 곡면 증발원에 형성된 이중 곡면의 곡률은 상기 이중 곡면의 좌우측에 형성된 측부 곡면의 곡률보다 작고, 상기 다중 원형곡면 증발원에 형성된 원형곡면의 곡률은 상기 원형 곡면의 테두리 외측에 형성된 측부원형곡면의 곡률보다 작게 형성되는 것을 특징으로 한다.The curvature of the double curved surface formed on the multi-curved evaporation source is smaller than the curvature of the side curved surface formed on the left and right sides of the double curved surface, and the curvature of the circular curved surface formed on the multiple circular curved evaporation source is the curvature of the side circular curved surface formed outside the rim of the circular curved surface It is characterized in that it is formed smaller.

또한, 본 발명에 따른 다중 곡면 증발원에서,In addition, in the multiple curved evaporation source according to the present invention,

상기 이중 곡면 증발원, 다중 곡면 증발원, 이중 원형 곡면 증발원 또는 다중 원형 곡면 증발원에 형성된 곡면의 곡률 및 곡면의 분포에 의해 증발되는 유기물의 포커싱 효율이 상승되는 것을 특징으로 한다.It is characterized in that the focusing efficiency of the organic matter evaporated is increased by the curvature and distribution of the curved surface formed in the double curved evaporation source, the multiple curved evaporation source, the double circular curved evaporation source, or the multiple circular curved evaporation source.

본 발명의 초고해상도 AMOLED 증착제조용 다중 곡면 증발원 장치를 사용함으로써, 곡률이 다른 다수개의 원형 곡면 패턴들을 가지는 금속시트면에 증착된 도너 유기박막들이 후면이 가열된 금속시트면으로부터 재증발 시, 포커싱 증발하는 유기물 기체에 의해 기판에 형성된 타겟 유기박막의 유효영역을 더욱 넓혀 유기물질 사용율을 높이고, 또한 타겟 유기박막의 패턴박막의 두께 균일도가 향상되고 높아진 수직 증발율에 의해 세도우현상이 더욱 저감하여, 패턴박막의 세도우 거리를 더욱 적게 형성함으로써, 대략 2250ppi의 해상도를 가지는 초미세 패턴박막의 증착형성이 가능한 효과가 있다. When the donor organic thin films deposited on the metal sheet surface having a plurality of circular curved patterns with different curvatures are re-evaporated from the heated metal sheet surface, focusing evaporation by using the multi-curve evaporation source device for the ultra-high resolution AMOLED deposition manufacturing of the present invention The effective area of the target organic thin film formed on the substrate by the organic material gas is further widened to increase the organic material usage rate, and the thickness uniformity of the pattern thin film of the target organic thin film is improved, and the shadow phenomenon is further reduced by the increased vertical evaporation rate. By forming a smaller shadow distance of the thin film, there is an effect that it is possible to form an ultrafine pattern thin film having a resolution of approximately 2250ppi.

또한, 본 발명의 곡률이 다르고 크기가 다른 곡면이 다수개 형성된 다중 곡면형 패턴을 가지는 금속판을 이용하여, 수직 증발율을 높이고, 유기물질의 사용율 향상, 유기박막 유효영역의 확장, 세도우현상의 저감에 의해, 초고해상도 AMOLED 소자 제작이 가능한 효과가 있다. In addition, by using a metal plate having a multiple curved pattern having a plurality of curved surfaces of different sizes and different curvatures of the present invention, the vertical evaporation rate is increased, the utilization rate of organic materials is improved, the effective area of the organic thin film is expanded, and the shadow phenomenon is reduced. Thereby, there is an effect that it is possible to manufacture an ultra-high resolution AMOLED device.

도1의 (a)는 종래의 점증발원에 의해 기판에 증착된 박막의 형상을 나타내는 도면, (b)는 점증발원에 의해 기판에 증착된 타겟 유기박막의 패턴박막의 형상을 나타내는 도면,
도2의 (a)는 종래의 면증발원에 의해 기판에 증착된 박막의 형상을 나타내는 도면, (b)는 곡면증발원에 의해 기판에 증착된 박막의 형상을 나타내는 도면,
도3의 (a)는 본 발명의 일실시예에 따른 이중 곡면 증발원에 의해 기판에 증착된 타겟 유기박막의 형상을 나타내는 도면, (b)는 본 발명의 다른 실시예에 따른 다중 곡면 증발원에 의해 기판에 증착된 타겟 유기박막의 형상을 나타내는 도면,
도4의 (a),(b)는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 이중 원형 곡면 증발원의 단면도와 평면도 및 3차원 사시도 형상을 나타낸 도면,
도5의 (a),(b)는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 다중 원형 곡면 증발원의 단면도와 평면도 및 3차원 사시도 형상을 나타낸 도면.1A is a view showing the shape of a thin film deposited on a substrate by a conventional point evaporation source, (b) is a view showing the shape of a patterned thin film of a target organic thin film deposited on a substrate by a point evaporation source.
2A is a view showing the shape of a thin film deposited on a substrate by a conventional surface evaporation source, (b) is a view showing the shape of a thin film deposited on a substrate by a curved surface evaporation source;
Figure 3 (a) is a view showing the shape of the target organic thin film deposited on the substrate by the double curved evaporation source according to an embodiment of the present invention, (b) is by a multiple curved evaporation source according to another embodiment of the present invention. A diagram showing the shape of the target organic thin film deposited on the substrate,
4A and 4B are a cross-sectional view and a plan view and a three-dimensional perspective view of a double circular curved evaporation source according to another embodiment of the present invention.
5A and 5B are cross-sectional views, plan views, and three-dimensional perspective views of a multi-circular curved evaporation source according to another embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 구체적으로 설명하면 다음과 같다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 설명하는 실시예에 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 또한, 도면에 나타난 각 요소의 형상은 보다 분명한 설명을 강조하기 위하여 과장될 수 있다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The embodiments of the present invention may be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited to the embodiments described below. In addition, the shape of each element shown in the drawings may be exaggerated to emphasize a more clear description.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 구체적으로 설명하면 다음과 같다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 설명하는 실시예에 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 또한, 도면에 나타난 각 요소의 형상은 보다 분명한 설명을 강조하기 위하여 과장될 수 있다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The embodiments of the present invention may be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited to the embodiments described below. In addition, the shape of each element shown in the drawings may be exaggerated to emphasize a more clear description.

도3의 (a)는 본 발명의 일실시예에 따른 이중 곡면 증발원에 의해 기판에 증착된 타겟 유기박막의 형상을 나타내는 도면, (b)는 본 발명의 다른 실시예에 따른 다중 곡면 증발원에 의해 기판에 증착된 타겟 유기박막의 형상을 나타내는 도면, 도4의 (a),(b)는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 이중 원형 곡면 증발원의 단면도와 평면도 및 3차원 사시도 형상을 나타낸 도면, 도5의 (a),(b)는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 다중 원형 곡면 증발원의 단면도와 평면도 및 3차원 사시도 형상을 나타낸 도면이다.Figure 3 (a) is a view showing the shape of the target organic thin film deposited on the substrate by the double curved evaporation source according to an embodiment of the present invention, (b) is by a multiple curved evaporation source according to another embodiment of the present invention. A diagram showing the shape of the target organic thin film deposited on the substrate, FIGS. 4A and 4B are views showing a cross-sectional view, a plan view, and a three-dimensional perspective view of a double circular curved evaporation source according to another embodiment of the present invention; 5A and 5B are cross-sectional views, plan views, and a three-dimensional perspective view of a multi-circular curved evaporation source according to another embodiment of the present invention.

도3 내지 도5에 도시된 바와 같이, 초고해상도의 AMOLED 소자의 유기박막 제조용 고진공의 증착챔버(미도시)내에는 기판(10)이 놓여있고, 그 아래에는 본 발명에 따른 이중 곡면 증발원(40), 다중 곡면 증발원(50), 이중 원형 곡면 증발원(60) 또는 다중 원형 곡면 증발원(70)이 놓이게 된다. 물론, 기판(10) 아래에 FMM 마스크(미도시)가 놓일 수 있음은 물론이다. 3 to 5, a substrate 10 is placed in a high vacuum deposition chamber (not shown) for manufacturing an organic thin film of an ultra-high resolution AMOLED device, and under the double curved evaporation source 40 according to the present invention. ), a multiple curved evaporation source 50, a double circular curved evaporation source 60 or a multiple circular curved evaporation source 70 is placed. Of course, it goes without saying that an FMM mask (not shown) may be placed under the substrate 10.

본 발명에 따른 곡면 증발원은, 오목한 곡면이 형성된 곡면 금속시트, 및 곡면 금속시트에 증착된 도너 유기박막으로 구성되며, 점증발원과 선형증발원으로부터 상향 또는 하향으로 분출되는 각 유기물 기체가 곡면 증발원의 오목한 곡면 금속시트 하부 또는 상부면에 차례로 증착코팅되어 도너 유기박막을 형성한다. The curved evaporation source according to the present invention is composed of a curved metal sheet having a concave curved surface, and a donor organic thin film deposited on the curved metal sheet, and each organic gas ejected upward or downward from the point evaporation source and the linear evaporation source is concave of the curved evaporation source. It is sequentially deposited and coated on the lower or upper surface of the curved metal sheet to form a donor organic thin film.

여기서, 곡면 금속시트에 형성된 곡면은 곡률이 다른 다수개의 곡면 패턴들로 구성될 수 있다.Here, the curved surface formed on the curved metal sheet may be composed of a plurality of curved surface patterns having different curvatures.

곡면 금속시트에 증착된 도너 유기박막은 곡면 금속시트의 후면의 가열에 의해 수직방향으로 재증발하게 되고, 재증발된 도너 유기박막의 유기물들은 기판 앞에 구비된 마스크(미도시)를 관통한 후 기판에 증착되어 기판상에 세도우거리가 거의 없는 초고해상도의 미세 패턴 박막을 형성하게 된다. The donor organic thin film deposited on the curved metal sheet is re-evaporated in the vertical direction by heating the rear surface of the curved metal sheet, and the organic materials of the red-evaporated donor organic thin film penetrate the mask (not shown) provided in front of the substrate and then the substrate Is deposited on the substrate to form an ultra-high resolution fine patterned thin film with almost no shadow distance.

도3의 (a)에는 본 발명의 일실시예에 따른 이중 곡면 증발원(40) 및 이러한 이중 곡면 증발원에 의해 기판에 타겟 유기박막이 형성되는 과정이 개략적으로 도시되어 있다. 3(a) schematically shows a double curved evaporation source 40 according to an embodiment of the present invention and a process of forming a target organic thin film on a substrate by the double curved evaporation source.

도3의 (a)에 도시된 바와 같이, 이중 곡면 증발원(40)은 상부면 중앙에 2개의 오목한 이중 곡면(44, 45)이 연속으로 형성된 이중 곡면 금속시트(43); 및 이 이중 곡면상에 증착된 이중 곡면 도너 유기박막(42)으로 구성된다. As shown in Fig. 3 (a), the double curved evaporation source 40 includes a double curved metal sheet 43 in which two concave double curved surfaces 44 and 45 are continuously formed in the center of the upper surface; And a double curved donor organic thin film 42 deposited on the double curved surface.

여기서, 이중 곡면 금속시트(43)의 이중 곡면(44, 45)에 증착된 이중 곡면 도너 유기박막(42)은 이중 곡면 금속시트(43)의 후면 가열에 의하여 재증발하게 되고, 각 이중곡면(44,45)로부터 기판에 증착된 2개의 개별 곡면 증발 유기박막(41a)은 서로 중첩되어 유효영역(A)이 확장된 이중 곡면 증발 타겟 유기박막(41)이 기판에 형성되게 된다. 이때 각 이중 곡면으로부터 재증발되는 유기물 분자의 입사각(θ3)은 대략 10도가 되게 된다. 그 결과, 타겟 유기박막의 비 유효영역(B)은 상대적으로 줄어들게 된다. Here, the double curved donor organic thin film 42 deposited on the double curved surfaces 44 and 45 of the double curved metal sheet 43 is re-evaporated by heating the rear surface of the double curved metal sheet 43, and each double curved surface ( The two individual curved evaporating organic thin films 41a deposited on the substrate from 44 and 45 overlap each other to form a double curved evaporation target organic thin film 41 extending the effective area A on the substrate. At this time, the incident angle (θ 3 ) of the organic molecules re-evaporated from each double curved surface is approximately 10 degrees. As a result, the non-effective area B of the target organic thin film is relatively reduced.

이 타겟 유기박막의 유효영역의 두께가 소자의 발광에 사용됨은 물론으로, 유기박막의 유효영역(A)은 확장할수록 좋고, 비유효영역(B)은 축소할수록 좋은 것이다. The thickness of the effective region of the target organic thin film is used for light emission of the device, as well as the better the effective region A of the organic thin film is expanded and the smaller the non-effective region B is reduced.

도3의 (b)에는 본 발명의 다른 실시예에 따른 다중 곡면 증발원(50) 및 이러한 다중 곡면 증발원에 의해 기판에 타겟 유기박막이 형성되는 과정이 개략적으로 도시되어 있다. 3B schematically illustrates a process of forming a target organic thin film on a substrate by a multiple curved evaporation source 50 according to another embodiment of the present invention and the multiple curved evaporation source.

도3의 (b)에 도시된 바와 같이, 다중 곡면 증발원(50)은 상부면 중앙에 2개의 오목한 이중 곡면(54)이 연속으로 형성되고, 이 이중 곡면의 좌우측에는 이중곡면과 비교하여 상대적으로 작은 치수를 가진 다수개의 측부 곡면(55)들이 순차적으로 밀집되어 형성된 다중 곡면 금속시트(53); 및 이 이중 곡면 및 측부 곡면상에 증착된 다중 곡면 도너 유기박막(52)으로 구성된다. As shown in (b) of FIG. 3, the multi-curved evaporation source 50 has two concave double curved surfaces 54 in a row at the center of the upper surface, and the left and right sides of this double curved surface are relatively Multiple curved metal sheets 53 formed by sequentially densely clustering a plurality of side curved surfaces 55 having small dimensions; And multiple curved donor organic thin films 52 deposited on the double curved surface and the side curved surface.

여기서, 다중 곡면 금속시트(53)의 이중 곡면(54) 및 측부 곡면(55)에 증착된 이중 곡면 도너 유기박막(52)은 다중 곡면 금속시트(53)의 후면가열에 의하여 재증발하게 되고, 이중 곡면(54) 및 측부 곡면(55)으로부터 기판에 증착된 다중 곡면 증발 유기박막은 서로 중첩되어 유효영역이 더욱 확장된 다중 곡면 증발 타겟 유기박막(51)이 기판에 형성되게 된다. Here, the double curved donor organic thin film 52 deposited on the double curved surface 54 and the side curved surface 55 of the multiple curved metal sheet 53 is re-evaporated by rear heating of the multiple curved metal sheet 53, The multiple curved evaporation organic thin films deposited on the substrate from the double curved surface 54 and the side curved surface 55 overlap each other to form a multi-curved evaporation target organic thin film 51 having an extended effective area on the substrate.

이때 각 이중 곡면(54)으로부터 재증발되는 유기물 분자의 입사각(θ3)은 대략 10도가 되고, 각 측부곡면(55)으로부터 재증발되는 유기물 분자의 입사각(θ4)은 대략 5도가 되게 된다. At this time, the incident angle θ 3 of the organic molecules re-evaporated from each double curved surface 54 is approximately 10 degrees, and the incident angle θ 4 of the organic molecules re-evaporated from each side curved surface 55 is approximately 5 degrees.

이와 같이, 이중곡면(54)으로부터 증발된 유기물은 균일도가 유지되는, 유효영역(A)이 확장된, 중앙부의 타겟 유기박막을 형성하게 되고, 측부곡면(55)으로부터 증발된 유기물은 더욱 포커싱(focusing)되어 수직으로 향하는 비행을 하여 증착되므로 타겟 유기박막의 가장자리에 형성되는 비유효영역(B)을 더욱 줄일수 있게 한다. 결국 크기가 다르고 곡률이 다른 곡면들을 가지는 다중 곡면 증발원으로 유효영역이 확장되고 비 유효영역(B)은 상대적으로 줄어든 타겟 유기박막을 형성하게 되는 것이다.In this way, the organic matter evaporated from the double curved surface 54 forms a target organic thin film in the center portion, in which the effective area A is extended, and the organic matter evaporated from the side curved surface 55 is further focused ( Since it is deposited by focusing and flying vertically, it is possible to further reduce the ineffective area (B) formed at the edge of the target organic thin film. As a result, the effective area is expanded to a multiple curved evaporation source having curved surfaces of different sizes and different curvatures, and a target organic thin film is formed in which the non-effective area (B) is relatively reduced.

도4의 (a),(b)에는 본 발명의 또 다른 실시예로, 이중 원형곡면 증발원(60)의 단면과 평면도 및 3차원 사시도가 도시되어 있다. 4A and 4B illustrate a cross-section, a plan view, and a three-dimensional perspective view of a double circular curved evaporation source 60 as another embodiment of the present invention.

도4에 도시된 바와 같이, 이중 원형곡면 증발원(60)은, 상부면에 원형의 곡면 테두리(65)를 갖는 1개의 오목한 원형 곡면(64)이 형성되되, 원형곡면의 중앙에는 곡면 봉우리(66)가 솟아 있어 봉우리로부터 곡면테두리까지 방사상으로 오목한 곡면 골짜기를 이루도록 구성된 이중 원형곡면 금속시트(63); 및 이 이중 원형곡면상에 증착된 이중 원형곡면 도너 유기박막(미도시)으로 구성된다. As shown in Figure 4, the double circular curved surface evaporation source 60 is formed with one concave circular curved surface 64 having a circular curved edge 65 on the upper surface, and a curved peak 66 at the center of the circular curved surface. ) Is a double circular curved metal sheet (63) configured to form a curved valley that is concave radially from the peak to the curved edge; And a double circular curved donor organic thin film (not shown) deposited on the double circular curved surface.

도4의 (a)의 단면도에서 알 수 있듯이, 원형 곡면(64)의 곡면 골짜기가 봉우리를 중심으로 서로 대칭으로 배치되므로, 중심점 기준으로 이중 원형곡면이 형성되는 것으로 설명될 수 있다.As can be seen in the cross-sectional view of FIG. 4A, since the curved valleys of the circular curved surface 64 are arranged symmetrically with each other around the peak, it can be described that a double circular curved surface is formed based on the center point.

도5의 (a),(b)에는 본 발명의 또 다른 실시예로, 다중 원형곡면 증발원(70)의 단면과 평면도 및 3차원 사시도가 도시되어 있다. 5A and 5B illustrate a cross-section, a plan view, and a three-dimensional perspective view of a multi-circular curved evaporation source 70 as another embodiment of the present invention.

도5에 도시된 바와 같이, 다중 원형곡면 증발원(70)은, 상부면에 원형의 곡면 테두리(77)를 갖는 1개의 오목한 원형 곡면(74)이 형성되되, 원형 곡면의 중앙에는 곡면 봉우리(76)가 솟아 있어 봉우리로부터 곡면테두리까지 방사상으로 오목한 곡면 골짜기를 이루도록 구성되고, 이 원형곡면의 테두리 외측에는 원형곡면과 비교하여 상대적으로 작은 치수를 가진 다수개의 측부원형곡면(75)들이 방사상으로 정렬되어 밀집 형성된 다중 원형곡면 금속시트(73); 및 이 원형곡면 및 측부원형곡면상에 증착된 다중 원형곡면 도너 유기박막(미도시)으로 구성된다. As shown in Fig. 5, the multi-circular curved evaporation source 70 is formed with one concave circular curved surface 74 having a circular curved edge 77 on the upper surface, and a curved peak 76 at the center of the circular curved surface. ) Is raised to form a radially concave curved valley from the peak to the curved edge, and outside the rim of this circular curved surface, a plurality of side circular curved surfaces 75 having relatively small dimensions compared to the circular curved surface are arranged radially. A densely formed multi-circular curved metal sheet 73; And multiple circular curved donor organic thin films (not shown) deposited on the circular curved surface and the side circular curved surface.

도5의 (a)의 단면도에서 알 수 있듯이, 원형 곡면(74)의 곡면 골짜기 및 측부원형곡면이 봉우리를 중심으로 서로 대칭으로 배치되므로, 중심점 기준으로 다중 원형곡면이 형성되는 것으로 설명될 수 있다.As can be seen in the cross-sectional view of FIG. 5A, since the curved valleys and the side circular curved surfaces of the circular curved surface 74 are arranged symmetrically with each other around the peak, it can be described that multiple circular curved surfaces are formed based on the center point. .

여기서, 다중 원형곡면 증발원(70)의 원형 곡면(74)은, 금속시트 표면의 중앙부에 원형 또는 타원형으로 형성될 수 있으며, 측부원형곡면(75)은, 원형 또는 타원형 곡면 테두리의 주위에 방사상으로 정렬되어 밀집 형성될 수 있다Here, the circular curved surface 74 of the multi-circular curved evaporation source 70 may be formed in a circular or elliptical shape at the center of the metal sheet surface, and the side circular curved surface 75 is radially around a circular or elliptical curved surface border. Can be aligned and densely formed

또한, 곡면 봉우리(76)로부터 곡면테두리까지 방사상으로 오목한 곡면 골짜기로 구성된 원형 곡면(74)은 적당한 곡률을 갖도록 형성되되, 원형 곡면(74)의 곡률은 원형 곡면의 테두리 외측에 형성된 측부원형곡면(75)의 곡률보다 작게 형성되는 것이 바람직하다.In addition, a circular curved surface 74 composed of a curved valley radially concave from the curved peak 76 to the curved surface is formed to have an appropriate curvature, but the curvature of the circular curved surface 74 is a side circular curved surface formed outside the rim of the circular curved surface ( It is preferable that it is formed smaller than the curvature of 75).

이와 같이 구성함으로써, 원형곡면(74)으로부터 재증발되는 유기물 분자의 입사각보다 각 측부원형곡면(75)으로부터 재증발되는 유기물 분자의 입사각이 작게되어, 유효영역(A)이 확장된, 중앙부의 타겟 유기박막을 형성하게 될 뿐만 아니라, 측부원형곡면(75)으로부터 증발된 유기물이 더욱 포커싱(focusing)되어 수직으로 향하는 비행을 하여 증착되므로 타겟 유기박막의 가장자리에 형성되는 비유효영역(B)을 더욱 줄일수 있게 된다.With this configuration, the angle of incidence of the organic molecules re-evaporated from each side circular curved surface 75 is smaller than the incident angle of the organic molecules re-evaporated from the circular curved surface 74, and the effective area A is expanded, In addition to forming an organic thin film, since the organic matter evaporated from the side circular curved surface 75 is further focused and deposited by flying vertically, the ineffective region B formed at the edge of the target organic thin film is further formed. You can reduce it.

또한, 본 발명의 이중 곡면 증발원의 이중 곡면(44,45), 다중 곡면 증발원의 이중 곡면(54), 이중 원형곡면 증발원의 원형곡면(64) 또는 다중 원형곡면 증발원의 원형곡면(74)은 테두리가 원형, 타원형, 정사각형, 직사각형, 또는 다각형 형상 등으로 형성될 수 있으며, 다중 곡면 증발원의 측부곡면(55) 및 다중 원형곡면 증발원의 측부원형곡면(75) 역시, 원형, 타원형, 정사각형, 직사각형, 또는 다각형 형상 등으로 형성될 수 있음은 물론이다.In addition, the double curved surface 44 and 45 of the double curved evaporation source of the present invention, the double curved surface 54 of the multiple curved evaporation source, the circular curved surface 64 of the double circular curved evaporation source, or the circular curved surface 74 of the multiple circular curved evaporation source May be formed in a circular, oval, square, rectangular, or polygonal shape, and the side curved surface 55 of the multi-curved evaporation source and the side circular curved surface 75 of the multi-curved evaporation source are also circular, elliptical, square, rectangular, Or, of course, it may be formed in a polygonal shape.

또한, 다중 곡면 증발원의 이중 곡면(54) 역시 적당한 곡률을 갖도록 형성되되, 이중 곡면(54)의 곡률은 이중 곡면의 좌우측에 형성된 측부곡면(55)의 곡률보다 작게 형성되는 것이 바람직하다. 이유는 상술한 바와 같이, 유효영역(A)을 확장시키고, 측부곡면(55)으로부터 증발된 유기물이 더욱 포커싱(focusing)되어 수직으로 향하는 비행을 하므로 타겟 유기박막의 가장자리에 형성되는 비유효영역(B)을 더욱 줄일수 있게 되기 때문이다.In addition, the double curved surface 54 of the multiple curved evaporation source is also formed to have a suitable curvature, and the curvature of the double curved surface 54 is preferably formed to be smaller than the curvature of the side curved surfaces 55 formed on the left and right sides of the double curved surface. The reason is that, as described above, the effective area A is expanded, and the organic matter evaporated from the side curved surface 55 is further focused to fly vertically, and thus an ineffective area formed at the edge of the target organic thin film ( This is because B) can be further reduced.

이와 같이, 이중 곡면 증발원, 다중 곡면 증발원, 이중 원형 곡면 증발원 또는 다중 원형 곡면 증발원의 곡면 금속시트에 도너 유기박막이 증착되는 경우, 이들 곡면 증발원들의 곡면 금속시트에 형성된 곡면의 곡률 및 형성된 곡면의 분포 형태에 의해 증발되는 유기물의 포커싱 효율이 상승되게 되고, 그 결과 증착된 도너 유기박막들은 재증발시 포커싱되는 효과를 가지고, 이는 인접한 기판을 향하여 수직 증발하는 효과를 가지므로 결과적으로 미세패턴의 세도우거리가 매우 작아지는 효과를 나타내게 된다. 그로 인하여, 초고해상도의 유기박막 패턴이 증착하게 되는 효과는 물론, 유기물질기체의 퍼짐이 줄어들게 되어 유기물질의 사용효율이 증가 되는 효과를 가지게 되는 것이다.In this way, when the donor organic thin film is deposited on a curved metal sheet of a double curved evaporation source, a multiple curved evaporation source, a double circular curved evaporation source, or a multiple circular curved evaporation source, the curvature of the curved surface formed on the curved metal sheet of these curved evaporation sources and the distribution of the formed curved surface Due to the shape, the focusing efficiency of the organic matter evaporated is increased, and as a result, the deposited donor organic thin films have the effect of being focused upon re-evaporation, which has the effect of vertical evaporation toward the adjacent substrate. The distance becomes very small. Accordingly, as well as the effect of depositing the organic thin film pattern of ultra-high resolution, the spread of the organic material gas is reduced, thereby increasing the efficiency of use of the organic material.

전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징으로 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성요소는 분산되어 실시될 수 도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성요소들로 결합된 형태로 실시될 수 있다.The above description of the present invention is for illustrative purposes only, and those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains will be able to understand that other specific forms can be easily modified without changing the technical spirit or essential features of the present invention. will be. For example, each component described as a single type may be implemented in a distributed manner, or may be implemented in a form combined with components described as being distributed.

따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.Accordingly, the true technical scope of the present invention should be determined by the technical spirit of the appended claims.

10 : 기판 11 : 유기박막
13 : 점증발원 14 : 유기물 파우더
16 : 메탈 마스크(FMM) 17 : 패턴 유기 박막
1 : 유기분자 입사각 (45도)
21 : 타겟 유기박막 22 : 도너 유기박막
23 : 금속면시트 H : 가열 히터
A : 유효 영역 B : 비유효 영역
31 : 타겟 유기박막 32 : 곡면 도너 유기박막
33 : 곡면 금속시트
40 : 이중 곡면 증발원 41 : 타겟 유기박막
41a : 개별 곡면 증발 유기박막 42 : 이중 곡면 도너 유기박막
43 : 이중 곡면 금속시트 44, 45 : 이중 곡면
50 : 다중 곡면 증발원
52 : 다중 곡면 도너 유기박막 51: 타겟 유기박막
54 : 이중 곡면 53 : 다중 곡면 금속시트
54 : 측부 곡면
60 : 이중 원형곡면 증발원 63 : 이중 원형곡면 금속시트
64 : 원형 곡면 65 : 원형 곡면 테두리
66 : 곡면 봉우리
70 : 다중 원형곡면 증발원 73 : 다중 원형곡면 금속시트
74 : 원형 곡면 75 : 측부원형곡면
76 : 곡면 봉우리 77 : 원형 곡면 테두리10: substrate 11: organic thin film
13: incremental evaporation source 14: organic powder
16: metal mask (FMM) 17: patterned organic thin film
1: Incident angle of organic molecules (45 degrees)
21: target organic thin film 22: donor organic thin film
23: metal sheet H: heating heater
A: Effective area B: Ineffective area
31: target organic thin film 32: curved donor organic thin film
33: curved metal sheet
40: double curved evaporation source 41: target organic thin film
41a: individual curved evaporation organic thin film 42: double curved donor organic thin film
43: double curved metal sheet 44, 45: double curved
50: multiple curved evaporation source
52: multiple curved donor organic thin film 51: target organic thin film
54: double curved surface 53: multiple curved metal sheet
54: side surface
60: double circular curved evaporation source 63: double circular curved metal sheet
64: circular surface 65: circular surface border
66: curved peak
70: multiple circular curved evaporation source 73: multiple circular curved metal sheet
74: circular curved surface 75: side circular curved surface
76: curved peak 77: circular curved edge

Claims (11)

오목한 곡면이 형성된 곡면 금속시트; 및
상기 곡면 금속시트에 증착된 도너 유기박막;으로 구성되는 것을 특징으로 하는 유기박막 증착용 다중 곡면 증발원.
A curved metal sheet having a concave curved surface; And
Multiple curved evaporation source for organic thin film deposition, characterized in that consisting of; donor organic thin film deposited on the curved metal sheet.
 제 1항에 있어서,
상기 곡면 금속시트에 형성된 곡면은 곡률이 다른 다수개의 곡면 패턴들로 구성되는 것을 특징으로 유기박막 증착용 다중 곡면 증발원.
The method of claim 1,
The curved surface formed on the curved metal sheet is a multiple curved evaporation source for organic thin film deposition, characterized in that the curved surface is composed of a plurality of curved surface patterns having different curvatures.
 제 1항에 있어서,
상기 유기박막 증착용 다중 곡면 증발원은,
이중 곡면 증발원, 다중 곡면 증발원, 이중 원형 곡면 증발원 또는 다중 원형 곡면 증발원 중 어느 하나인 것을 특징으로 유기박막 증착용 다중 곡면 증발원.
The method of claim 1,
The multiple curved evaporation source for organic thin film deposition,
A multiple curved evaporation source for organic thin film deposition, characterized in that it is any one of a double curved evaporation source, a multiple curved evaporation source, a double circular curved evaporation source, or a multiple circular curved evaporation source.
 제 3항에 있어서, 상기 이중 곡면 증발원은,
상부면 중앙에 2개의 오목한 이중 곡면이 연속으로 형성된 이중 곡면 금속시트; 및 상기 이중 곡면상에 증착된 이중 곡면 도너 유기박막;으로 구성되는 것을 특징으로 하는 유기박막 증착용 다중 곡면 증발원.
The method of claim 3, wherein the double curved evaporation source,
A double curved metal sheet in which two concave double curved surfaces are continuously formed in the center of the upper surface; And a double curved donor organic thin film deposited on the double curved surface.
 제 3항에 있어서, 상기 다중 곡면 증발원은,
상부면 중앙에 2개의 오목한 이중 곡면이 연속으로 형성되고, 상기 이중 곡면의 좌우측에는 다수개의 측부 곡면들이 형성된 다중 곡면 금속시트; 및 상기 이중 곡면 및 측부 곡면상에 증착된 다중 곡면 도너 유기박막;으로 구성되는 것을 특징으로 하는 유기박막 증착용 다중 곡면 증발원.
The method of claim 3, wherein the multiple curved evaporation source,
A multi-curved metal sheet in which two concave double curved surfaces are continuously formed in the center of the upper surface, and a plurality of side curved surfaces are formed on the left and right sides of the double curved surface; And a multiple curved donor organic thin film deposited on the double curved surface and the side curved surface.
 제 3항에 있어서, 상기 이중 원형곡면 증발원은,
상부면에 원형의 곡면 테두리를 갖는 1개의 오목한 원형 곡면이 형성되되, 상기 원형 곡면의 중앙에는 곡면 봉우리가 솟아 있어 봉우리로부터 곡면테두리까지 방사상으로 오목한 곡면 골짜기를 이루도록 구성된 이중 원형곡면 금속시트; 및 상기 이중 원형곡면상에 증착된 이중 원형곡면 도너 유기박막;으로 구성되는 것을 특징으로 하는 유기박막 증착용 다중 곡면 증발원.
The method of claim 3, wherein the double circular curved evaporation source,
A double circular curved metal sheet configured to form one concave circular curved surface having a circular curved edge on the upper surface, wherein a curved peak is raised in the center of the circular curved surface to form a radially concave curved valley from the peak to the curved edge; And a double circular curved donor organic thin film deposited on the double circular curved surface.
 제 3항에 있어서, 상기 다중 원형곡면 증발원은,
상부면에 원형의 곡면 테두리를 갖는 1개의 오목한 원형 곡면이 형성되되, 상기 원형 곡면의 중앙에는 곡면 봉우리가 솟아 있어 봉우리로부터 곡면테두리까지 방사상으로 오목한 곡면 골짜기를 이루도록 구성되고, 상기 원형 곡면의 테두리 외측에는 다수개의 측부원형곡면들이 방사상으로 형성된 다중 원형곡면 금속시트; 및 상기 원형 곡면 및 측부원형곡면상에 증착된 다중 원형곡면 도너 유기박막;으로 구성되는 것을 특징으로 하는 유기박막 증착용 다중 곡면 증발원.
The method of claim 3, wherein the multiple circular curved evaporation source,
One concave circular curved surface having a circular curved edge is formed on the upper surface, and a curved peak is raised in the center of the circular curved surface to form a radially concave curved valley from the peak to the curved edge, and outside the edge of the circular curved surface There are multiple circular curved metal sheets in which a plurality of side circular curved surfaces are radially formed; And a plurality of circular curved donor organic thin films deposited on the circular curved surface and the side circular curved surface.
 제 3항에 있어서,
상기 이중 곡면 증발원에 형성된 이중 곡면, 상기 다중 곡면 증발원에 형성된 이중 곡면, 상기 이중 원형곡면 증발원에 형성된 원형곡면, 또는 상기 다중 원형곡면 증발원에 형성된 원형곡면은 테두리가 원형, 타원형, 정사각형, 직사각형, 또는 다각형 형상 중 어느 하나의 형상인 것을 특징으로 하는 유기박막 증착용 다중 곡면 증발원.
The method of claim 3,
The double curved surface formed on the double curved evaporation source, the double curved surface formed on the multiple curved evaporation source, the circular curved surface formed on the double circular curved evaporation source, or the circular curved surface formed on the multiple circular curved evaporation source has a circular, elliptical, square, rectangular, or Multiple curved evaporation source for organic thin film deposition, characterized in that the shape of any one of polygonal shapes.
 제 3항에 있어서,
상기 다중 곡면 증발원에 형성된 측부 곡면, 또는 상기 다중 원형곡면 증발원에 형성된 측부원형곡면은 테두리가 원형, 타원형, 정사각형, 직사각형, 또는 다각형 형상 중 어느 하나의 형상인 것을 특징으로 하는 유기박막 증착용 다중 곡면 증발원.
The method of claim 3,
The side curved surface formed in the multi-curved evaporation source, or the side circular curved surface formed in the multi-circular curved evaporation source has an edge in any one of a circular, elliptical, square, rectangular, or polygonal shape. Evaporation source.
 제 3항에 있어서,
상기 다중 곡면 증발원에 형성된 이중 곡면의 곡률은 상기 이중 곡면의 좌우측에 형성된 측부 곡면의 곡률보다 작고, 상기 다중 원형곡면 증발원에 형성된 원형곡면의 곡률은 상기 원형 곡면의 테두리 외측에 형성된 측부원형곡면의 곡률보다 작게 형성되는 것을 특징으로 하는 유기박막 증착용 다중 곡면 증발원.
The method of claim 3,
The curvature of the double curved surface formed on the multi-curved evaporation source is smaller than the curvature of the side curved surface formed on the left and right sides of the double curved surface, and the curvature of the circular curved surface formed on the multiple circular curved evaporation source is the curvature of the side circular curved surface formed outside the rim of the circular curved surface Multiple curved evaporation source for organic thin film deposition, characterized in that formed smaller than.
 제 3항에 있어서,
상기 이중 곡면 증발원, 다중 곡면 증발원, 이중 원형 곡면 증발원 또는 다중 원형 곡면 증발원에 형성된 곡면의 곡률 및 곡면의 분포에 의해 증발되는 유기물의 포커싱 효율이 상승되는 것을 특징으로 하는 유기박막 증착용 다중 곡면 증발원.The method of claim 3,
The multi-curved evaporation source for organic thin film deposition, characterized in that the focusing efficiency of the organic matter evaporated by the curvature and distribution of the curved surface formed on the double curved evaporation source, the multiple curved evaporation source, the double circular curved evaporation source, or the multiple circular curved evaporation source is increased.
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KR20080013686A (en) * 2006-08-08 2008-02-13 순천향대학교 산학협력단 Apparatus for depositing thin films over large-area substrates
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