KR20200107529A - Robot for transporting gas cylinder and system for supplying gas - Google Patents

Robot for transporting gas cylinder and system for supplying gas Download PDF

Info

Publication number
KR20200107529A
KR20200107529A KR1020190026778A KR20190026778A KR20200107529A KR 20200107529 A KR20200107529 A KR 20200107529A KR 1020190026778 A KR1020190026778 A KR 1020190026778A KR 20190026778 A KR20190026778 A KR 20190026778A KR 20200107529 A KR20200107529 A KR 20200107529A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
gas cylinder
robot
gas
gripper
unit
Prior art date
Application number
KR1020190026778A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR102501987B1 (en
Inventor
김종규
김지훈
안치건
장현준
Original Assignee
삼성전자주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전자주식회사 filed Critical 삼성전자주식회사
Priority to KR1020190026778A priority Critical patent/KR102501987B1/en
Publication of KR20200107529A publication Critical patent/KR20200107529A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102501987B1 publication Critical patent/KR102501987B1/en

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J11/00—Manipulators not otherwise provided for
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/0033—Gripping heads and other end effectors with gripping surfaces having special shapes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J18/00—Arms
    • B25J18/02—Arms extensible
    • B25J18/04—Arms extensible rotatable
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/0009—Constructional details, e.g. manipulator supports, bases
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Abstract

Provided is a gas cylinder transfer robot. The gas cylinder transfer robot includes: a body on which a gas cylinder is loaded; a robot arm driving unit installed on the body and moving the gas cylinder in the first direction; and a guide unit including a first roller installed below the gas cylinder and guiding the gas cylinder to move in the first direction using the first roller.

Description

가스 실린더 이송용 로봇 및 가스 공급 시스템{Robot for transporting gas cylinder and system for supplying gas}Robot for transporting gas cylinder and system for supplying gas}

본 발명은 가스 실린더 이송용 로봇 및 가스 공급 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a gas cylinder transfer robot and a gas supply system.

반도체 및 디스플레이 등을 제조하는 다양한 공정 중에는 건식 에칭 공정 등을 비롯한 여러 공정에서 다양한 가스가 공급되어야 한다. 따라서, 반도체 및 디스플레이 제조 공장 등에는 다양한 가스가 채워진 가스 실린더가 구비되어 있는데 사용되고 있는 가스 실린더는 가스가 충전되었을 때 약 150kg 정도의 무게가 된다. 또한, 많은 가스 실린더는 통상 캐비닛에 보관되어 있는데, 교체 또는 가스 충전 등의 필요에 따라 작업자가 아무런 장치 없이 중량의 실린더를 캐비닛으로부터 꺼내거나 밀어 넣는 작업을 하게 되면 작업시간이 많이 소유된다. 또한, 작업자의 근골격계에 영향을 줄 수 있을 뿐 아니라, 실린더가 넘어지거나 할 경우에 사고, 폭발 또는 화재의 위험도 있을 수 있다.Among various processes for manufacturing semiconductors and displays, various gases must be supplied in various processes including a dry etching process. Accordingly, in semiconductor and display manufacturing plants, gas cylinders filled with various gases are provided, and the gas cylinders in use weigh about 150 kg when gas is filled. In addition, many gas cylinders are usually stored in a cabinet, and when an operator takes out or pushes a heavy cylinder out of the cabinet without any device according to the need for replacement or gas filling, a lot of work time is owned. In addition, it may affect the musculoskeletal system of a worker, and there may also be a risk of accident, explosion, or fire if the cylinder falls or falls.

이러한 문제 때문에 작업자가 무리한 힘을 가하지 않고도 가스 실린더를 이동하고 캐비닛에 탈/장착할 수 있는 장치에 대한 개발이 요구되고 있다.Due to this problem, there is a need to develop a device that allows an operator to move a gas cylinder and attach/detach it to a cabinet without applying excessive force.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 내부에 적재된 가스 실린더의 이탈 및 추락을 방지하여 사고의 위험성을 감소시키는 가스 실린더 이송용 로봇을 제공하는 것이다.The problem to be solved by the present invention is to provide a gas cylinder transfer robot that reduces the risk of accidents by preventing the separation and fall of the gas cylinder loaded therein.

본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는, 내부에 적재되는 가스 실린더의 하부에 롤러를 설치하여 가스 실린더를 용이하게 적재하거나 또는 제공할 수 있는 가스 실린더 이송용 로봇을 제공하는 것이다.Another problem to be solved by the present invention is to provide a gas cylinder transfer robot capable of easily loading or providing a gas cylinder by installing a roller under the gas cylinder loaded therein.

본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 과제는, 가스 실린더 이송용 로봇으로부터 제공된 가스 실린더의 위치를 가스 공급부의 내부에서 보정할 수 있는 가스 공급 시스템을 제공하는 것이다.Another problem to be solved by the present invention is to provide a gas supply system capable of correcting the position of a gas cylinder provided from a gas cylinder transfer robot inside a gas supply unit.

본 발명이 해결하려는 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems to be solved by the present invention are not limited to the problems mentioned above, and other problems that are not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 기술적 사상에 따른 가스 실린더 이송용 로봇의 몇몇 실시예는, 가스 실린더가 적재되는 몸체, 몸체에 설치되고, 가스 실린더를 제1 방향으로 이동시키는 로봇 팔 구동부, 및 가스 실린더의 하부에 설치되는 제1 롤러를 포함하고, 제1 롤러를 이용하여 가스 실린더가 제1 방향으로 이동하는 것을 가이드하는 가이드부를 포함한다.Some embodiments of the robot for gas cylinder transfer according to the technical idea of the present invention for solving the above problems are a body in which a gas cylinder is loaded, a robot arm driving part installed on the body and moving the gas cylinder in a first direction, and It includes a first roller installed below the gas cylinder, and includes a guide portion for guiding the gas cylinder to move in the first direction using the first roller.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 기술적 사상에 따른 가스 공급 시스템의 몇몇 실시예는, 가스 실린더를 제공하는 가스 실린더 이송용 로봇, 및 가스 실린더 이송용 로봇으로부터 제공된 가스 실린더가 적재되는 저장부를 포함하고, 가스 실린더를 이용하여 반도체 제조 공정 라인에 가스를 공급하는 가스 공급부를 포함하되, 가스 실린더 이송용 로봇은, 가스 실린더가 적재되는 몸체와, 몸체에 설치되고, 가스 실린더를 저장부로 이동시키는 로봇 팔 구동부와, 가스 실린더의 하부에 설치되는 제1 롤러를 포함하고, 제1 롤러를 이용하여 가스 실린더가 저장부로 이동하는 것을 가이드하는 가이드부를 포함한다.Some embodiments of the gas supply system according to the technical idea of the present invention for solving the above problems include a gas cylinder transfer robot providing a gas cylinder, and a storage unit in which a gas cylinder provided from the gas cylinder transfer robot is loaded, , A gas supply unit for supplying gas to a semiconductor manufacturing process line using a gas cylinder, wherein the gas cylinder transfer robot includes a body in which the gas cylinder is loaded, and a robot arm installed on the body and moving the gas cylinder to the storage unit It includes a driving unit and a first roller installed below the gas cylinder, and includes a guide unit for guiding the gas cylinder to move to the storage unit using the first roller.

본 발명의 기타 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.Other specific details of the present invention are included in the detailed description and drawings.

도 1은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 가스 실린더 이송용 로봇을 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 가스 실린더 이송용 로봇의 하면을 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 가스 실린더 이송용 로봇에서 도킹 브릿지가 닫혀 있는 상태를 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 가스 실린더 이송용 로봇에서 로봇 팔 구동부의 구동을 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 가스 실린더 이송용 로봇에서 가이드부를 설명하기 위한 확대도이다.
도 6은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 가스 공급부를 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 가스 공급부의 저장부를 설명하기 위한 도면이다.
도 8은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 가스 공급 시스템의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 9는 본 발명의 다른 몇몇 실시예에 따른 가스 실린더 이송용 로봇을 설명하기 위한 도면이다.
도 10은 본 발명의 또 다른 몇몇 실시예에 따른 가스 실린더 이송용 로봇을 설명하기 위한 도면이다.
도 11은 본 발명의 또 다른 몇몇 실시예에 따른 가스 실린더 이송용 로봇을 설명하기 위한 도면이다.1 is a view for explaining a gas cylinder transport robot according to some embodiments of the present invention.
2 is a view for explaining a lower surface of a robot for gas cylinder transfer according to some embodiments of the present invention.
3 is a view for explaining a state in which the docking bridge is closed in the gas cylinder transfer robot according to some embodiments of the present invention.
4 is a view for explaining the driving of the robot arm driving unit in the gas cylinder transfer robot according to some embodiments of the present invention.
5 is an enlarged view illustrating a guide part in a gas cylinder transfer robot according to some embodiments of the present invention.
6 is a view for explaining a gas supply unit according to some embodiments of the present invention.
7 is a diagram illustrating a storage unit of a gas supply unit according to some embodiments of the present invention.
8 is a view for explaining the operation of the gas supply system according to some embodiments of the present invention.
9 is a view for explaining a gas cylinder transport robot according to another embodiment of the present invention.
10 is a view for explaining a gas cylinder transport robot according to still another embodiment of the present invention.
11 is a view for explaining a gas cylinder transport robot according to still another embodiment of the present invention.

이하에서, 도 1 내지 도 5를 참조하여 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 가스 실린더 이송용 로봇을 설명한다.Hereinafter, a robot for gas cylinder transfer according to some embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 5.

도 1은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 가스 실린더 이송용 로봇을 설명하기 위한 도면이다. 도 2는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 가스 실린더 이송용 로봇의 하면을 설명하기 위한 도면이다. 도 3은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 가스 실린더 이송용 로봇에서 도킹 브릿지가 닫혀 있는 상태를 설명하기 위한 도면이다. 도 4는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 가스 실린더 이송용 로봇에서 로봇 팔 구동부의 구동을 설명하기 위한 도면이다. 도 5는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 가스 실린더 이송용 로봇에서 가이드부를 설명하기 위한 확대도이다.1 is a view for explaining a gas cylinder transport robot according to some embodiments of the present invention. 2 is a view for explaining a lower surface of a robot for gas cylinder transfer according to some embodiments of the present invention. 3 is a view for explaining a state in which the docking bridge is closed in the gas cylinder transfer robot according to some embodiments of the present invention. 4 is a view for explaining the driving of the robot arm driving unit in the gas cylinder transfer robot according to some embodiments of the present invention. 5 is an enlarged view illustrating a guide part in a gas cylinder transfer robot according to some embodiments of the present invention.

도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 가스 실린더 이송용 로봇(1)은 몸체(10), 로봇 팔 구동부(20), 가이드부(30), 연결부(130), 이동 동력부(160), 바퀴(162) 및 보조 바퀴(163)를 포함한다.1 to 5, a gas cylinder transfer robot 1 according to some embodiments of the present invention includes a body 10, a robot arm driving part 20, a guide part 30, a connection part 130, and a movement. It includes a power unit 160, a wheel 162 and an auxiliary wheel 163.

몸체(10)에는 가스 실린더(3)가 적재될 수 있다. 로봇 팔 구동부(20)는 몸체(10)에 설치될 수 있다. 로봇 팔 구동부(20)는 그리퍼(110) 및 로봇 팔(120)을 포함할 수 있다.The gas cylinder 3 may be loaded on the body 10. The robot arm driving unit 20 may be installed on the body 10. The robot arm driving unit 20 may include a gripper 110 and a robot arm 120.

로봇 팔 구동부(20)는 몸체(10)에 적재된 가스 실린더(3)를 고정시킬 수 있다. 구체적으로, 로봇 팔 구동부(20)의 말단에 배치된 그리퍼(110)가 가스 실린더(3)의 측벽을 감쌈으로써 가스 실린더(3)를 몸체(10) 상에서 고정시킬 수 있다.The robot arm driving unit 20 may fix the gas cylinder 3 loaded on the body 10. Specifically, the gripper 110 disposed at the end of the robot arm drive unit 20 wraps the side wall of the gas cylinder 3 to fix the gas cylinder 3 on the body 10.

그리퍼(110)는 도 1에 도시된 바와 같이, 가스 실린더(3)의 측벽의 일부만을 감쌀 수 있다. 다만, 본 발명의 기술적 사상이 이에 제한되는 것은 아니다. 즉, 다른 몇몇 실시예에서, 그리퍼(110)는 가스 실린더(3)의 측벽을 완전히 감쌀 수 있다.As shown in FIG. 1, the gripper 110 may wrap only a part of the sidewall of the gas cylinder 3. However, the technical idea of the present invention is not limited thereto. That is, in some other embodiments, the gripper 110 may completely wrap the sidewall of the gas cylinder 3.

그리퍼(110)는 도 1에 도시된 바와 같이, 집게 형상을 가질 수 있다. 다만, 본 발명의 기술적 사상이 이에 제한되는 것은 아니다. 즉, 다른 몇몇 실시예에서, 그리퍼(110)는 가스 실린더(3)를 고정시킬 수 있는 다른 구조를 가질 수 있다.The gripper 110 may have a clamp shape, as shown in FIG. 1. However, the technical idea of the present invention is not limited thereto. That is, in some other embodiments, the gripper 110 may have another structure capable of fixing the gas cylinder 3.

로봇 팔(120)은 몸체(10)와 그리퍼(110)를 연결시킬 수 있다. 구체적으로, 로봇 팔(120)의 일단은 몸체(10)에 설치된 연결부(130)에 연결되고, 로봇 팔(120)의 타단은 그리퍼(110)에 연결될 수 있다.The robot arm 120 may connect the body 10 and the gripper 110. Specifically, one end of the robot arm 120 may be connected to the connection unit 130 installed on the body 10, and the other end of the robot arm 120 may be connected to the gripper 110.

로봇 팔(120)은 몸체(10)에 연결되는 제1 암(121) 및 그리퍼(110)에 연결되는 제2 암(122)을 포함할 수 있다. 구체적으로, 제1 암(121)의 일단은 몸체(10)에 연결되고, 제2 암(122)의 일단은 제1 암(121)의 타단에 연결되고, 제2 암(122)의 타단은 그리퍼(110)에 연결될 수 있다. 이 경우, 제1 암(121)의 일단은 몸체(10)에 설치된 연결부(130)에 연결될 수 있다.The robot arm 120 may include a first arm 121 connected to the body 10 and a second arm 122 connected to the gripper 110. Specifically, one end of the first arm 121 is connected to the body 10, one end of the second arm 122 is connected to the other end of the first arm 121, and the other end of the second arm 122 is It may be connected to the gripper 110. In this case, one end of the first arm 121 may be connected to the connection part 130 installed on the body 10.

도 1에는 로봇 팔(120)이 제1 암(121) 및 제2 암(122)을 포함하는 것으로 도시되어 있지만, 본 발명의 기술적 사상이 이에 제한되는 것은 아니다. 즉, 다른 몇몇 실시예에서, 로봇 팔(120)은 3개 이상의 암이 연결될 구조를 가질 수 있다.In FIG. 1, the robot arm 120 is illustrated as including the first arm 121 and the second arm 122, but the technical idea of the present invention is not limited thereto. That is, in some other embodiments, the robot arm 120 may have a structure to which three or more arms are connected.

연결부(130)는 도 4에 도시된 바와 같이, 제1 방향(DR1)과 수직인 제2 방향(DR2)으로 연장되도록 배치될 수 있다.As illustrated in FIG. 4, the connection part 130 may be disposed to extend in a second direction DR2 perpendicular to the first direction DR1.

로봇 팔 구동부(20)는 연결부(130)를 따라 제2 방향(DR2)으로 이동될 수 있다. 이러한 구성을 통해, 로봇 팔 구동부(20)에 고정된 가스 실린더(3)의 위치를 몸체(10)에 적재된 상태에서 제2 방향(DR2) 보정할 수 있다.The robot arm driving unit 20 may be moved in the second direction DR2 along the connection unit 130. Through this configuration, the position of the gas cylinder 3 fixed to the robot arm driving unit 20 can be corrected in the second direction DR2 while being loaded on the body 10.

로봇 팔 구동부(20)는 예를 들어, 볼 스크류, 서보 모터 및 스탭 모터 중 어느 하나를 이용하여 연결부(130)를 따라 제2 방향(DR2)으로 이동될 수 있다. 다만, 본 발명의 기술적 사상이 이에 제한되는 것은 아니다.The robot arm driving unit 20 may be moved in the second direction DR2 along the connection unit 130 by using, for example, any one of a ball screw, a servo motor, and a step motor. However, the technical idea of the present invention is not limited thereto.

로봇 팔 구동부(20)는 가스 실린더(3)를 제1 방향(DR1)으로 이동시킬 수 있다. 구체적으로, 로봇 팔(120)이 제1 방향(DR1)으로 연장됨으로써 그리퍼(110)에 고정된 가스 실린더(3)를 제1 방향(DR1)으로 이동시킬 수 있다.The robot arm drive unit 20 may move the gas cylinder 3 in the first direction DR1. Specifically, as the robot arm 120 extends in the first direction DR1, the gas cylinder 3 fixed to the gripper 110 may be moved in the first direction DR1.

가이드부(30)는 몸체(10)의 하부에 설치될 수 있다. 가이드부(30)는 몸체(10)에 적재된 가스 실린더(3)의 하부에 접하도록 배치될 수 있다.The guide part 30 may be installed under the body 10. The guide part 30 may be arranged to be in contact with the lower portion of the gas cylinder 3 loaded on the body 10.

가이드부(30)는 몸체(10)에 적재된 가스 실린더(3)의 하부에 접하도록 배치되는 지지부(140) 및 지지부(140)로부터 제1 방향(DR1)으로 연장되도록 연결된 도킹 브릿지(150)를 포함할 수 있다.The guide part 30 includes a support 140 disposed to be in contact with the lower portion of the gas cylinder 3 loaded on the body 10 and a docking bridge 150 connected to extend from the support 140 in the first direction DR1 It may include.

지지부(140)는 제2 방향(DR2)으로 연장되도록 설치된 복수의 제1 롤러(141)를 포함할 수 있다. 제1 롤러(141)의 양단에는 스프링(142)이 설치될 수 있다. 가스 실린더(3)의 위치는 스프링(142)을 이용하여 제2 방향(DR2)으로 용이하게 보정될 수 있다.The support part 140 may include a plurality of first rollers 141 installed to extend in the second direction DR2. Springs 142 may be installed at both ends of the first roller 141. The position of the gas cylinder 3 can be easily corrected in the second direction DR2 using the spring 142.

도킹 브릿지(150)는 지지부(140)와 힌지 결합될 수 있다. 이로 인해, 도 3에 도시된 바와 같이, 도킹 브릿지(150)는 지지부(140)로부터 힌지를 중심으로 회전 구동될 수 있다. 도킹 브릿지(150)가 회전 구동되어 닫히는 형상을 변형됨으로써 가스 실린더(3)가 몸체(10) 상에 안정적으로 적재될 수 있다.The docking bridge 150 may be hinged to the support 140. Accordingly, as shown in FIG. 3, the docking bridge 150 may be driven to rotate around the hinge from the support part 140. The gas cylinder 3 can be stably loaded on the body 10 by deforming the shape in which the docking bridge 150 is rotated and closed.

가스 실린더(3)가 몸체(10) 상에 적재된 상태로 가스 실린더 이송용 로봇(1)이 이동하는 경우, 도킹 브릿지(150)는 닫히는 형상으로 변형될 수 있다. 반면에, 가스 실린더(3)를 제1 방향(DR1)으로 이동시키는 경우, 도킹 브릿지(150)는 열리는 형상으로 변형될 수 있다.When the gas cylinder 3 is loaded on the body 10 and the gas cylinder transfer robot 1 moves, the docking bridge 150 may be deformed into a closed shape. On the other hand, when the gas cylinder 3 is moved in the first direction DR1, the docking bridge 150 may be deformed into an open shape.

도킹 브릿지(150)는 제2 방향(DR2)으로 연장되도록 설치된 복수의 제2 롤러(151)를 포함할 수 있다. 제2 롤러(151)의 양단에는 스프링(142)이 설치되지 않을 수 있다. 다만, 본 발명의 기술적 사상이 이에 제한되는 것은 아니다.The docking bridge 150 may include a plurality of second rollers 151 installed to extend in the second direction DR2. Springs 142 may not be installed at both ends of the second roller 151. However, the technical idea of the present invention is not limited thereto.

가이드부(30)는 제1 롤러(141) 및 제2 롤러(151)를 이용하여 가스 실린더(3)가 제1 방향(DR1)으로 이동하는 것을 가이드할 수 있다.The guide unit 30 may guide the gas cylinder 3 to move in the first direction DR1 using the first roller 141 and the second roller 151.

몸체(10)의 하면에는 가스 실린더 이송용 로봇(1)을 이동시킬 수 있는 구성이 설치될 수 있다. 구체적으로, 몸체(10)의 저면에는 이동 동력부(160), 바퀴(162) 및 보조 바퀴(163)가 설치될 수 있다.A configuration capable of moving the gas cylinder transfer robot 1 may be installed on the lower surface of the body 10. Specifically, a moving power unit 160, a wheel 162 and an auxiliary wheel 163 may be installed on the bottom of the body 10.

도 2를 참조하면, 몸체(10)의 저면에 2개의 바퀴(162) 및 2개의 이동 동력부(160)가 설치될 수 있다. 각각의 이동 동력부(160)는 각각의 바퀴(162)에 개별적으로 연결될 수 있다. 이동 동력부(160)는 바퀴(162)에 동력을 전달하여 가스 실린더 이송용 로봇(1)을 이동시킬 수 있다.Referring to FIG. 2, two wheels 162 and two moving power units 160 may be installed on the bottom of the body 10. Each movement power unit 160 may be individually connected to each wheel 162. The movement power unit 160 may transfer power to the wheel 162 to move the gas cylinder transfer robot 1.

또한, 몸체(10)의 저면에 4개의 보조 바퀴(163)가 설치될 수 있다. 보조 바퀴(163)는 가스 실린더 이송용 로봇(1)이 이동하는 것을 가이드할 수 있다.In addition, four auxiliary wheels 163 may be installed on the bottom of the body 10. The auxiliary wheel 163 may guide the gas cylinder transfer robot 1 to move.

도 2에 도시된 이동 동력부(160), 바퀴(162) 및 보조 바퀴(163)는 예시적인 구성으로 본 발명의 기술적 사상이 이에 제한되는 것은 아니다. 즉, 다른 몇몇 실시예에서, 이동 동력부(160), 바퀴(162) 및 보조 바퀴(163) 각각의 개수 및 설치 위치는 다를 수 있다.The moving power unit 160, the wheel 162, and the auxiliary wheel 163 shown in FIG. 2 are exemplary configurations, and the technical idea of the present invention is not limited thereto. That is, in some other embodiments, the number and installation positions of the moving power unit 160, the wheels 162, and the auxiliary wheels 163 may be different.

또한, 또 다른 몇몇 실시예에서 가스 실린더 이송용 로봇(1)의 저면에 이동 동력부(160), 바퀴(162) 및 보조 바퀴(163)와 다른 이동용 구성이 설치될 수 있다.In addition, in some other embodiments, a moving power unit 160, a wheel 162, and an auxiliary wheel 163 may be installed on the bottom of the robot 1 for transporting the gas cylinder.

본 발명의 몇몇 실시예에 따른 가스 실린더 이송용 로봇(1)은 로봇 팔 구동부(20)를 이용하여 내부에 적재되는 가스 실린더(3)를 용이하게 적재하거나 또는 가스 공급부(도 6의 2)에 제공함으로써, 가스 실린더(3)의 이탈 및 추락을 방지하여 사고의 위험성을 감소시킬 수 있다.The gas cylinder transfer robot 1 according to some embodiments of the present invention uses the robot arm drive unit 20 to easily load the gas cylinder 3 loaded therein or to the gas supply unit (2 in FIG. 6). By providing, it is possible to reduce the risk of accidents by preventing the gas cylinder 3 from falling off and falling.

또한, 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 가스 실린더 이송용 로봇(1)은 내부에 적재되는 가스 실린더(3)의 하부에 롤러(141, 142)를 설치하여 가스 실린더(3)를 용이하게 적재하거나 또는 가스 공급부(도 6의 2)에 제공할 수 있다.In addition, the gas cylinder transfer robot 1 according to some embodiments of the present invention may easily load the gas cylinder 3 by installing rollers 141 and 142 under the gas cylinder 3 loaded therein. Alternatively, it may be provided to the gas supply unit (2 in FIG. 6).

이하에서, 도 1, 도 6 내지 도 8을 참조하여 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 가스 공급 시스템을 설명한다.Hereinafter, a gas supply system according to some embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 and 6 to 8.

도 6은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 가스 공급부를 설명하기 위한 도면이다. 도 7은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 가스 공급부의 저장부를 설명하기 위한 도면이다. 도 8은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 가스 공급 시스템의 동작을 설명하기 위한 도면이다.6 is a view for explaining a gas supply unit according to some embodiments of the present invention. 7 is a diagram illustrating a storage unit of a gas supply unit according to some embodiments of the present invention. 8 is a view for explaining the operation of the gas supply system according to some embodiments of the present invention.

도 1, 도 6 내지 도 8을 참조하면, 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 가스 공급 시스템은 가스 실린더 이송용 로봇(1) 및 가스 공급부(2)를 포함한다.1, 6 to 8, a gas supply system according to some embodiments of the present invention includes a gas cylinder transfer robot 1 and a gas supply unit 2.

가스 실린더 이송용 로봇(1)은 도 1에서 상술하였으므로, 이에 대한 설명은 생략한다.Since the gas cylinder transfer robot 1 has been described above in FIG. 1, a description thereof will be omitted.

가스 공급부(2)는 가스 실린더 이송용 로봇(1)으로부터 제공받은 가스 실린더(3)를 이용하여 반도체 제조 공정 라인에 가스를 공급할 수 있다. 가스 공급부(2)의 내부에는 가스 실린더(3)가 적재되는 저장부(40)가 설치될 수 있다.The gas supply unit 2 may supply gas to a semiconductor manufacturing process line by using the gas cylinder 3 provided from the gas cylinder transfer robot 1. A storage unit 40 in which the gas cylinder 3 is loaded may be installed inside the gas supply unit 2.

저장부(40)는 제1 회전 동력부(170), 저장부 그리퍼(171) 및 볼 캐스터(180)를 포함한다.The storage unit 40 includes a first rotation power unit 170, a storage gripper 171, and a ball caster 180.

제1 회전 동력부(170)는 저장부(40)의 내부에 적재되는 가스 실린더(3)의 측벽에 접하도록 설치될 수 있다. 제1 회전 동력부(170)는 모터(170a) 및 동력 전달부(170b)를 포함할 수 있다.The first rotation power unit 170 may be installed to come into contact with a sidewall of the gas cylinder 3 loaded in the storage unit 40. The first rotation power unit 170 may include a motor 170a and a power transmission unit 170b.

제1 회전 동력부(170)는 저장부(40)의 내부에 적재되는 가스 실린더(3)를 제1 및 제2 방향(DR1, DR2)과 수직인 제3 방향(DR3)으로 연장되는 회전 축을 기준으로 회전시킬 수 있다. 모터(170a)는 동력 전달부(170b)에 동력을 전달하여 가스 실린더(3)의 측벽에 접하는 동력 전달부(170b)를 회전시킬 수 있다.The first rotation power unit 170 has a rotation axis extending in a third direction DR3 perpendicular to the first and second directions DR1 and DR2 with the gas cylinder 3 loaded in the storage unit 40. Can be rotated as a reference. The motor 170a may transmit power to the power transmission unit 170b to rotate the power transmission unit 170b in contact with the sidewall of the gas cylinder 3.

저장부 그리퍼(171)는 저장부(40)의 내부에 적재되는 가스 실린더(3)를 고정시킬 수 있다. 구체적으로, 저장부 그리퍼(171)는 가스 실린더(3)의 측벽을 감쌈으로써 가스 실린더(3)를 저장부(40) 내부에서 고정시킬 수 있다.The storage unit gripper 171 may fix the gas cylinder 3 loaded in the storage unit 40. Specifically, the storage gripper 171 may fix the gas cylinder 3 inside the storage unit 40 by wrapping the sidewall of the gas cylinder 3.

저장부 그리퍼(171)는 도 6에 도시된 바와 같이, 가스 실린더(3)의 측벽의 일부만을 감쌀 수 있다. 다만, 본 발명의 기술적 사상이 이에 제한되는 것은 아니다. 즉, 다른 몇몇 실시예에서, 저장부 그리퍼(171)는 가스 실린더(3)의 측벽을 완전히 감쌀 수 있다.The storage gripper 171 may wrap only a part of the side wall of the gas cylinder 3 as shown in FIG. 6. However, the technical idea of the present invention is not limited thereto. That is, in some other embodiments, the storage gripper 171 may completely surround the sidewall of the gas cylinder 3.

볼 캐스터(180)는 저장부(40)의 하부에 설치될 수 있다. 볼 캐스터(180)는 복수의 볼(181)을 포함할 수 있다. 가스 실린더(3)의 하부는 복수의 볼(181)과 접하도록 저장부(40) 내부에 적재될 수 있다.The ball caster 180 may be installed under the storage unit 40. The ball caster 180 may include a plurality of balls 181. The lower portion of the gas cylinder 3 may be loaded into the storage unit 40 so as to contact the plurality of balls 181.

볼 캐스터(180)는 제1 회전 동력부(170)의 구동에 의해 가스 실린더(3)가 회전하는 것을 가이드할 수 있다.The ball caster 180 may guide the rotation of the gas cylinder 3 by driving the first rotation power unit 170.

도 8은 가스 실린더 이송용 로봇(1)에 적재된 가스 실린더(3)가 가스 공급부(2)의 저장부(40) 내부로 이동되는 것을 예시적으로 도시하고 있다.FIG. 8 exemplarily shows that the gas cylinder 3 loaded on the gas cylinder transfer robot 1 is moved into the storage unit 40 of the gas supply unit 2.

본 발명의 몇몇 실시예에 따른 가스 공급 시스템은 상술한 가스 실린더 이송용 로봇(1)을 이용하여 상술한 바와 같이 가스 실린더(3)의 이탈 및 추락을 방지하여 사고의 위험성을 감소시킬 수 있다.The gas supply system according to some embodiments of the present invention may reduce the risk of an accident by preventing the gas cylinder 3 from being separated and falling as described above by using the above-described gas cylinder transfer robot 1.

또한, 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 가스 공급 시스템은 가스 공급부(2) 내부의 저장부(40)에 설치된 제1 회전 동력부(170) 및 볼 캐스터(180)를 이용하여, 저장부(40) 내부에서 가스 실린더(3)를 회전시킴으로써, 가스 실린더(3)의 위치를 보정할 수 있다.In addition, the gas supply system according to some embodiments of the present invention uses the first rotation power unit 170 and the ball caster 180 installed in the storage unit 40 inside the gas supply unit 2, the storage unit 40 ) By rotating the gas cylinder 3 inside, the position of the gas cylinder 3 can be corrected.

이하에서, 도 9를 참조하여 본 발명의 다른 몇몇 실시예에 따른 가스 실린더 이송용 로봇을 설명한다. 도 1 및 도 4에 도시된 가스 실린더 이송용 로봇(1)과의 차이점을 중심으로 설명한다.Hereinafter, a robot for transporting a gas cylinder according to some other embodiments of the present invention will be described with reference to FIG. 9. A description will be made focusing on differences from the robot 1 for gas cylinder transfer shown in FIGS. 1 and 4.

도 9는 본 발명의 다른 몇몇 실시예에 따른 가스 실린더 이송용 로봇을 설명하기 위한 도면이다.9 is a view for explaining a gas cylinder transport robot according to another embodiment of the present invention.

본 발명의 다른 몇몇 실시예에 따른 가스 실린더 이송용 로봇은 로봇 팔(220)이 몸체(도 1의 10)에 연결되는 제1 암(221) 및 그리퍼(110)에 연결되는 제2 암(222)을 포함할 수 있다. 구체적으로, 제1 암(221)은 몸체(10)에 설치된 연결부(130)에 연결되고, 제2 암(222)은 제1 암(221)을 제1 방향(DR1)으로 관통하도록 설치될 수 있다.In the gas cylinder transfer robot according to some embodiments of the present invention, the robot arm 220 is a first arm 221 connected to a body (10 in FIG. 1) and a second arm 222 connected to the gripper 110. ) Can be included. Specifically, the first arm 221 may be connected to the connection part 130 installed on the body 10, and the second arm 222 may be installed to penetrate the first arm 221 in the first direction DR1. have.

이하에서, 도 10을 참조하여 본 발명의 또 다른 몇몇 실시예에 따른 가스 실린더 이송용 로봇을 설명한다. 도 1 및 도 5에 도시된 가스 실린더 이송용 로봇(1)과의 차이점을 중심으로 설명한다.Hereinafter, a robot for transporting a gas cylinder according to still another exemplary embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 10. A description will be made focusing on differences from the robot 1 for gas cylinder transfer shown in FIGS. 1 and 5.

도 10은 본 발명의 또 다른 몇몇 실시예에 따른 가스 실린더 이송용 로봇을 설명하기 위한 도면이다.10 is a view for explaining a gas cylinder transport robot according to still another embodiment of the present invention.

도 10을 참조하면, 본 발명의 또 다른 몇몇 실시예에 따른 가스 실린더 이송용 로봇은 가이드부(30)에 포함된 지지부(140) 및 도킹 브릿지(350)가 일체형으로 형성될 수 있다. 도킹 브릿지(350)는 지지부(140)와 제1 방향(DR1)으로 연장되도록 연결될 수 있다.Referring to FIG. 10, in the gas cylinder transfer robot according to still another exemplary embodiment of the present invention, the support 140 and the docking bridge 350 included in the guide 30 may be integrally formed. The docking bridge 350 may be connected to the support 140 so as to extend in the first direction DR1.

도킹 브릿지(350)는 지지부(140)와 동일하게 제2 방향(DR2)으로 연장되도록 설치된 복수의 제1 롤러(141)를 포함할 수 있다. 제1 롤러(141)의 양단에는 스프링(142)이 설치될 수 있다.The docking bridge 350 may include a plurality of first rollers 141 installed to extend in the second direction DR2 in the same manner as the support part 140. Springs 142 may be installed at both ends of the first roller 141.

이하에서, 도 11을 참조하여 본 발명의 또 다른 몇몇 실시예에 따른 가스 실린더 이송용 로봇을 설명한다. 도 1에 도시된 가스 실린더 이송용 로봇(1)과의 차이점을 중심으로 설명한다.Hereinafter, a robot for transporting a gas cylinder according to still another exemplary embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 11. It will be described focusing on the difference from the gas cylinder transport robot 1 shown in FIG.

도 11은 본 발명의 또 다른 몇몇 실시예에 따른 가스 실린더 이송용 로봇을 설명하기 위한 도면이다.11 is a view for explaining a gas cylinder transport robot according to still another embodiment of the present invention.

도 11을 참조하면, 본 발명의 또 다른 몇몇 실시예에 따른 가스 실린더 이송용 로봇은 그리퍼(110)에 제2 회전 동력부(411)가 설치될 수 있다.Referring to FIG. 11, in the gas cylinder transfer robot according to still another exemplary embodiment of the present invention, a second rotation power unit 411 may be installed in the gripper 110.

제2 회전 동력부(411)는 가스 실린더(3)와 접하는 부분을 회전 구동시킴으로써, 그리퍼(110)에 의해 고정된 가스 실린더(3)를 제3 방향(DR3)으로 연장되는 회전 축을 기준으로 회전시킬 수 있다. 이로 인해, 가스 실린더(3)의 위치를 보정할 수 있다.The second rotation power unit 411 rotates a portion in contact with the gas cylinder 3 to rotate the gas cylinder 3 fixed by the gripper 110 based on a rotation axis extending in the third direction DR3. I can make it. For this reason, the position of the gas cylinder 3 can be corrected.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 기술적 사상에 따른 실시예들을 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 제조될 수 있으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.Although the embodiments according to the technical idea of the present invention have been described with reference to the accompanying drawings, the present invention is not limited to the above embodiments, but may be manufactured in various different forms, and is generally used in the technical field to which the present invention pertains. Those skilled in the art will appreciate that the present invention can be implemented in other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present invention. Therefore, it should be understood that the embodiments described above are illustrative in all respects and not limiting.

1: 가스 실린더 이송용 로봇 2: 가스 공급부
3: 가스 실린더 10: 몸체
20: 로봇 팔 구동부 30: 가이드부
40: 저장부 110: 그리퍼
120: 로봇 팔 130: 연결부
140: 지지부 141: 제1 롤러
142: 스프링 150: 도킹 브릿지
170: 제1 회전 동력부 180: 볼 캐스터1: Robot for gas cylinder transfer 2: Gas supply unit
3: gas cylinder 10: body
20: robot arm driving unit 30: guide unit
40: storage unit 110: gripper
120: robot arm 130: connection
140: support 141: first roller
142: spring 150: docking bridge
170: first rotation power unit 180: ball caster

Claims (10)

가스 실린더가 적재되는 몸체;
상기 몸체에 설치되고, 상기 가스 실린더를 제1 방향으로 이동시키는 로봇 팔 구동부; 및
상기 가스 실린더의 하부에 설치되는 제1 롤러를 포함하고, 상기 제1 롤러를 이용하여 상기 가스 실린더가 상기 제1 방향으로 이동하는 것을 가이드하는 가이드부를 포함하는 가스 실린더 이송용 로봇.A body on which a gas cylinder is loaded;
A robot arm driving unit installed on the body and moving the gas cylinder in a first direction; And
A gas cylinder transfer robot comprising a first roller installed below the gas cylinder, and a guide unit configured to guide the gas cylinder to move in the first direction using the first roller. 제 1항에 있어서,
상기 몸체에 설치되어 상기 로봇 팔 구동부에 연결되는 연결부를 더 포함하되,
상기 로봇 팔 구동부는 상기 연결부를 따라 상기 제1 방향과 수직인 제2 방향으로 이동하는 가스 실린더 이송용 로봇.The method of claim 1,
Further comprising a connection portion installed on the body and connected to the robot arm drive,
The robot arm driving part moves in a second direction perpendicular to the first direction along the connection part. 제 2항에 있어서,
상기 가이드부는 상기 제1 롤러의 양단에 설치된 스프링을 더 포함하는 가스 실린더 이송용 로봇.The method of claim 2,
The gas cylinder transfer robot further comprises springs installed at both ends of the first roller. 제 1항에 있어서,
상기 로봇 팔 구동부는,
상기 가스 실린더를 고정하는 그리퍼와,
일단이 상기 몸체에 연결되고, 타단이 상기 그리퍼에 연결되고, 상기 그리퍼를 상기 제1 방향으로 이동시키는 로봇 팔을 포함하는 가스 실린더 이송용 로봇.The method of claim 1,
The robot arm drive unit,
A gripper for fixing the gas cylinder,
A gas cylinder transfer robot comprising a robot arm having one end connected to the body, the other end connected to the gripper, and moving the gripper in the first direction. 제 4항에 있어서,
상기 로봇 팔은,
일단이 상기 몸체에 연결되는 제1 암과,
일단이 상기 제1 암의 타단에 연결되고, 타단이 상기 그리퍼에 연결되는 제2 암을 포함하는 가스 실린더 이송용 로봇.The method of claim 4,
The robot arm,
A first arm having one end connected to the body,
A gas cylinder transfer robot including a second arm having one end connected to the other end of the first arm and the other end connected to the gripper. 제 1항에 있어서,
상기 로봇 팔 구동부는,
상기 가스 실린더를 고정하는 그리퍼와,
상기 몸체와 상기 그리퍼를 연결하고, 상기 몸체에 연결되는 제1 암 및 상기 제1 암을 상기 제1 방향으로 관통하는 제2 암을 포함하는 로봇 팔을 포함하는 가스 실린더 이송용 로봇.The method of claim 1,
The robot arm drive unit,
A gripper for fixing the gas cylinder,
A gas cylinder transfer robot comprising a robot arm that connects the body to the gripper and includes a first arm connected to the body and a second arm penetrating the first arm in the first direction. 제 1항에 있어서,
상기 가이드부는,
상기 제1 롤러가 배치되는 지지부와,
상기 지지부와 힌지 결합되고, 제2 롤러가 배치되는 도킹 브릿지를 포함하는 가스 실린더 이송용 로봇.The method of claim 1,
The guide part,
A support portion on which the first roller is disposed,
A gas cylinder transfer robot including a docking bridge hinge-coupled with the support and on which a second roller is disposed. 가스 실린더를 제공하는 가스 실린더 이송용 로봇; 및
상기 가스 실린더 이송용 로봇으로부터 제공된 상기 가스 실린더가 적재되는 저장부를 포함하고, 상기 가스 실린더를 이용하여 반도체 제조 공정 라인에 가스를 공급하는 가스 공급부를 포함하되,
상기 가스 실린더 이송용 로봇은,
상기 가스 실린더가 적재되는 몸체와,
상기 몸체에 설치되고, 상기 가스 실린더를 상기 저장부로 이동시키는 로봇 팔 구동부와,
상기 가스 실린더의 하부에 설치되는 제1 롤러를 포함하고, 상기 제1 롤러를 이용하여 상기 가스 실린더가 상기 저장부로 이동하는 것을 가이드하는 가이드부를 포함하는 가스 공급 시스템.A gas cylinder transfer robot that provides a gas cylinder; And
A gas supply unit including a storage unit in which the gas cylinder provided from the gas cylinder transfer robot is loaded, and a gas supply unit supplying gas to a semiconductor manufacturing process line using the gas cylinder,
The gas cylinder transfer robot,
A body on which the gas cylinder is loaded,
A robot arm driving unit installed on the body and moving the gas cylinder to the storage unit,
A gas supply system including a first roller installed below the gas cylinder, and a guide unit for guiding the gas cylinder to move to the storage unit using the first roller. 제 8항에 있어서,
상기 저장부는,
상기 가스 실린더의 측벽에 접하도록 설치되고, 상기 가스 실린더를 회전시키는 회전 동력부와,
상기 가스 실린더의 하부에 접하도록 설치되고, 복수의 볼을 포함하고, 상기 가스 실린더가 회전하는 것을 가이드하는 볼 캐스터를 포함하는 가스 공급 시스템.The method of claim 8,
The storage unit,
A rotation power unit installed to be in contact with the sidewall of the gas cylinder and rotating the gas cylinder,
A gas supply system including a ball caster installed to be in contact with a lower portion of the gas cylinder, including a plurality of balls, and guiding rotation of the gas cylinder. 제 8항에 있어서,
상기 로봇 팔 구동부는,
상기 가스 실린더를 고정하고, 상기 가스 실린더를 회전시키는 그리퍼와,
일단이 상기 몸체에 연결되고, 타단이 상기 그리퍼에 연결되고, 상기 그리퍼를 상기 저장부로 이동시키는 로봇 팔을 포함하는 가스 공급 시스템.
The method of claim 8,
The robot arm drive unit,
A gripper for fixing the gas cylinder and rotating the gas cylinder,
A gas supply system including a robot arm having one end connected to the body, the other end connected to the gripper, and moving the gripper to the storage unit.
KR1020190026778A 2019-03-08 2019-03-08 Robot for transporting gas cylinder and system for supplying gas KR102501987B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190026778A KR102501987B1 (en) 2019-03-08 2019-03-08 Robot for transporting gas cylinder and system for supplying gas

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190026778A KR102501987B1 (en) 2019-03-08 2019-03-08 Robot for transporting gas cylinder and system for supplying gas

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20200107529A true KR20200107529A (en) 2020-09-16
KR102501987B1 KR102501987B1 (en) 2023-02-20

Family

ID=72669904

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020190026778A KR102501987B1 (en) 2019-03-08 2019-03-08 Robot for transporting gas cylinder and system for supplying gas

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102501987B1 (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114738667A (en) * 2022-03-04 2022-07-12 贵州电网有限责任公司 Gas cylinder transport fixing device
US11508596B2 (en) * 2020-05-28 2022-11-22 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Apparatus and methods for automatically handling die carriers
KR102601453B1 (en) * 2023-06-02 2023-11-10 김태우 Automatic fastening system for piping and containers through multi-joint robots

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002230876A (en) * 2001-02-06 2002-08-16 Tanashin Denki Co Feed roller supporting mechanism for disk conveyor
KR20150118735A (en) * 2014-04-15 2015-10-23 박재경 Caterpillar-type agricultural loading machine
KR20170125197A (en) * 2016-05-04 2017-11-14 주식회사 쎄인텍 Apparatus for Mixing Gas With Gas Tube Rotation
KR20180065005A (en) * 2016-12-06 2018-06-15 버슘머트리얼즈한양기공 주식회사 Cart for Moving Cylinder

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002230876A (en) * 2001-02-06 2002-08-16 Tanashin Denki Co Feed roller supporting mechanism for disk conveyor
KR20150118735A (en) * 2014-04-15 2015-10-23 박재경 Caterpillar-type agricultural loading machine
KR20170125197A (en) * 2016-05-04 2017-11-14 주식회사 쎄인텍 Apparatus for Mixing Gas With Gas Tube Rotation
KR20180065005A (en) * 2016-12-06 2018-06-15 버슘머트리얼즈한양기공 주식회사 Cart for Moving Cylinder

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11508596B2 (en) * 2020-05-28 2022-11-22 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Apparatus and methods for automatically handling die carriers
CN114738667A (en) * 2022-03-04 2022-07-12 贵州电网有限责任公司 Gas cylinder transport fixing device
CN114738667B (en) * 2022-03-04 2023-12-01 贵州电网有限责任公司 Gas cylinder transport fixing device
KR102601453B1 (en) * 2023-06-02 2023-11-10 김태우 Automatic fastening system for piping and containers through multi-joint robots

Also Published As

Publication number Publication date
KR102501987B1 (en) 2023-02-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20200107529A (en) Robot for transporting gas cylinder and system for supplying gas
DK2508308T3 (en) Method and handling system for automated movement of a gravity compensated load
JP5472283B2 (en) Robot arm structure and robot
US20110054682A1 (en) Robot system
CN110545962A (en) Cable-driven parallel manipulator
US10293479B2 (en) Robot and robot system
JP6769336B2 (en) Goods carrier
CN104339368A (en) Robot
KR101269187B1 (en) Parallel link robot providing additional degree of freedom by wire rope
CN105050776A (en) Hexapod system
CN104339367A (en) Robot
US6099238A (en) Two-armed transfer robot
US20160031095A1 (en) Robot
WO2016189565A1 (en) Horizontal articulated robot
US7117800B2 (en) Overhead material handling system and track block
US20160031094A1 (en) Robot
KR101401463B1 (en) Parallel link robot providing additional degree of freedom by wire rope
JP7485785B2 (en) Lifting equipment and automated guided vehicles
JP2014159076A (en) Substrate transport robot
KR101869504B1 (en) Work transfer device and machine tool
US20210118719A1 (en) Dual Arm with Opposed Dual End Effectors and No Vertical Wafer Overlap
US10293495B2 (en) Load-balancing device for articulated arm, associated load-handling apparatus and method
KR20160148227A (en) Robot arm having weight compensation mechanism
US11214284B2 (en) Cargo transporting vehicle
JP7069757B2 (en) Horizontal articulated robot

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant