KR20200088676A - 잉곳 클램프 및 그를 구비한 와이어 쏘잉 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 클램프홈이 형성된 홀더; 상기 클램프홈에 삽입되면서 상기 홀더에 장착되고, 잉곳을 지지하는 워크 플레이트; 상기 홀더의 측면에 결합되는 수직판과, 상기 수직판에서 연장되는 경사판을 가지며, 상기 잉곳의 절단 공정시 비산하는 슬러리를 포집하는 비산 차단막; 및 상기 워크 플레이트에 구비되며, 비산하는 슬러리를 상기 비산 차단막의 내측으로 안내하는 가이드부;를 포함하는, 잉곳 클램프를 제공한다.

Description

잉곳 클램프 및 그를 구비한 와이어 쏘잉 장치{Ingot Clamp and Wire sawing apparatus having the same}

본 발명은 웨이퍼 제조장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 잉곳 클램프 및 그를 구비한 와이어 쏘잉 장치에 관한 것이다.

단결정 실리콘 잉곳(Single Crystal Silicon Ingot)은 일반적으로 초크랄스키법(Czochralski method)에 따라 성장되어 제조된다. 이 방법은 챔버 내의 도가니에서 다결정 실리콘(Polycrystal)을 용융시키고, 용융된 실리콘에 단결정인 종자 결정(seed crystal)을 담근 후, 이를 서서히 상승시키면서 원하는 지름의 단결정 실리콘 잉곳(이하, 잉곳)으로 성장시키는 방법이다.

단결정 실리콘 웨이퍼(Single Silicon Wafer)의 제조 공정은 상술한 방법을 이용하여 잉곳을 만들기 위한 단결정 성장(Growing) 공정과, 잉곳을 슬라이싱(Slicing)하여 얇은 원판 모양의 웨이퍼를 얻는 슬라이싱(Slicing) 공정과, 슬라이싱 공정에 의해 얻어진 웨이퍼의 깨짐, 일그러짐을 방지하기 위해 그 외주부를 가공하는 외주 그라인딩(Edge Grinding) 공정과, 웨이퍼에 잔존하는 기계적 가공에 의한 손상(Damage)을 제거하여 웨이퍼의 평탄도를 향상시키기 위한 랩핑(Lapping) 공정과, 웨이퍼를 경면화하는 연마(Polishing) 공정과, 연마된 웨이퍼에 부착된 연마제나 이물질을 제거하는 세정(Cleaning) 공정으로 이루어진다.

한편, 잉곳을 웨이퍼로 절단하는 슬라이싱 공정은 여러 가지 방식이 있다. 즉, 박판 외주 부분에 다이아몬드 입자를 고착시켜 잉곳을 절단하는 O.D.S(Out Diameter Saw) 방식, 도넛(doughnut)형의 박판 내주에 다이아몬드 입자를 고착시켜 잉곳을 절단하는 I.D.S(Inner Diameter Saw) 방식, 와이어를 빠른 속도로 주행시키면서 그 위에 슬러리(slurry) 용액을 분사시켜 와이어에 묻은 슬러리와의 마찰에 의해 잉곳을 절단하는 와이어 쏘우(Wire Saw) 방식 등이 있다.

이 중에서 와이어 쏘우(W.S) 방식은 잉곳을 동시에 여러 개의 웨이퍼로 절단할 수 있어 단위 시간당 생산 수율을 향상시킬 수 있기 때문에 현재 널리 쓰이고 있는 절단 방법이다. 와이어 쏘잉 장치(Wire Sawing Apparatus)는 와이어 쏘우 방식을 이용하여 잉곳에 대한 슬라이싱 공정을 수행한다.

일반적인 와이어 쏘잉 장치는 챔버와, 챔버의 상부에서 잉곳(IG)을 클램핑하기 위한 잉곳 클램프와, 잉곳 클램프 하부에서 회전하는 다수의 롤러들과, 다수의 롤러들에 감겨지면서 정역으로 회전하는 와이어와, 슬러리를 분사하는 슬러리 분사 노즐을 구비한다. 여기서 잉곳의 상단부에는 잉곳을 잉곳 클램프에 삽입 장착되도록 하기 위한 빔(Beam)과 워크 플레이트(Work plate) 또는 클램프 어셈블리(Clamp Assembly)가 결합된다.

와이어 쏘잉 장치는 잉곳 클램프에 잉곳이 장착되면, 롤러들에 감겨진 와이어를 왕복 주행시킨다. 이때, 슬러리 분사 노즐은 와이어 위로 슬러리를 분사하며, 고속 왕복 주행하는 와이어 위에서 잉곳은 하강하면서 와이어에 묻은 슬러리와의 마찰이 의해 다수의 웨이퍼들로 절단된다.

그런데, 슬라이싱 공정 동안, 슬러리와 잉곳의 마찰에 의한 절단열이 발생하게 되고, 잉곳으로부터 떨어져 나오는 입자들은 슬러리와 함께 절단열을 포함한 상태(이하, 슬러리 비산물)로 챔버 내에서 비산하게 된다.

이렇게 발생한 슬러리 비산물은 슬라이싱 부위로 재유입되면서 잉곳의 열적 변형을 가져와 슬라이싱되는 웨이퍼의 품질에 악 영향을 미치게 될 우려가 있다.

따라서 본 발명은 슬라이싱 공정동안 발생하는 슬러리 비산물을 효율적으로 차단하여 웨이퍼 생산 품질을 향상시킬 수 있는 잉곳 클램프 및 그를 구비한 와이어 쏘잉 장치를 제공하고자 한다.

본 발명은 클램프홈이 형성된 홀더; 상기 클램프홈에 삽입되면서 상기 홀더에 장착되고, 잉곳을 지지하는 워크 플레이트; 상기 홀더의 측면에 결합되는 수직판과, 상기 수직판에서 연장되는 경사판을 가지며, 상기 잉곳의 절단 공정시 비산하는 슬러리를 포집하는 비산 차단막; 및 상기 워크 플레이트에 구비되며, 비산하는 슬러리를 상기 비산 차단막의 내측으로 안내하는 가이드부;를 포함하는, 잉곳 클램프를 제공한다.

상기 워크 플레이트는 상기 클램프홈에 삽입되는 홀더 장착부; 및 상기 홀더 장착부의 하부로 연장되며, 빔을 고정하는 빔 고정부;를 포함할 수 있다.

상기 가이드부는 경사면을 가지며 상기 빔 고정부의 측면에서 상기 비산 차단막을 향해 일정 길이로 연장될 수 있다.

상기 가이드부는 상기 빔 고정부의 가장자리 하부에서 상부로 갈수록 단면적이 증가하는 형태를 가지며, 상기 경사면은 상기 가이드부의 하측면에 배치될 수 있다.

상기 경사면은 상기 빔 고정부의 하부면에 대하여 45°의 경사각을 가질 수 있다.

상기 비산 차단막의 경사판의 단부는 상기 경사면을 향하도록 경사진 형상을 가질 수 있다.

상기 빔 고정부의 측면에 결합되는 코팅막을 더 포함할 수 있다.

상기 코팅막은 초소수성 코팅제로 도포될 수 있다.

상기 비산 차단막과 상기 가이드부는 한 쌍으로 이루어질 수 있다.

한편, 본 발명은 클램프홈이 형성된 홀더; 상기 클램프홈에 삽입되면서 상기 홀더에 장착되고, 잉곳을 지지하는 워크 플레이트; 상기 홀더의 측면에 결합되는 수직판과, 상기 수직판에서 연장되는 경사판을 가지며, 상기 잉곳의 절단 공정시 비산하는 슬러리를 포집하는 비산 차단막; 및 상기 워크 플레이트의 측면에 결합되는 코팅막을 포함하는, 잉곳 클램프를 제공한다.

상기 워크 플레이트는 상기 클램프홈에 삽입되는 홀더 장착부; 및 상기 홀더 장착부의 하부로 연장되며, 빔을 고정하는 빔 고정부를 포함하며, 상기 코팅막은 상기 빔 고정부에 결합될 수 있다.

상기 코팅막은 초소수성 코팅제로 도포될 수 있다.

상기 비산 차단막과 상기 코팅막은 한 쌍으로 이루어질 수 있다.

한편, 본 발명은 클램프홈이 형성된 홀더; 상기 클램프홈에 삽입되면서 상기 홀더에 장착되고, 잉곳을 지지하는 워크 플레이트; 및 상기 홀더의 측면에 결합되는 수직판과, 상기 수직판에서 수평으로 연장되는 수평판과, 수평판에서 연장된 경사판을 가지며, 상기 잉곳의 절단 공정시 비산하는 슬러리를 포집하는 비산 차단막; 을 포함하는 잉곳 클램프를 제공한다.

상기 경사판은 45°의 경사각을 가질 수 있다.

상기 수평판의 길이는 상기 경사판의 수평 길이보다 긴 길이를 가질 수 있다.

한편, 본 발명은 상술한 특징들 중 어느 하나의 잉곳 클램프를 구비하는 와이어 쏘잉 장치를 제공한다.

본 발명의 잉곳 클램프 및 그를 구비한 와이어 쏘잉 장치에 따르면, 워크 플레이트와 비산 차단막의 다양한 구조 변경을 통해, 슬라이싱 공정동안 발생하는 슬러리 비산물을 효과적으로 차단하여 웨이퍼 생산 품질을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

도 1은 일 실시예의 와이어 쏘잉 장치에 대한 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1의 잉곳 클램프 영역에 대한 상세도이다.
도 3은 도 2의 확대도이다.
도 4는 제1 실시예의 잉곳 클램프의 구성도이다.
도 5는 제2 실시예의 잉곳 클램프의 구성도이다.
도 6은 제3 실시예의 잉곳 클램프의 구성도이다.

이하, 실시 예들은 포인터된 도면 및 실시 예들에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다. 실시 예의 설명에 있어서, 각 층(막), 영역, 패턴 또는 구조물들이 기판, 각 층(막), 영역, 패드 또는 패턴들의 "상/위(on)"에 또는 "하/아래(under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, "상/위(on)"와 "하/아래(under)"는 "직접(directly)" 또는 "다른 층을 개재하여 (indirectly)" 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 각 층의 상/위 또는 하/아래에 대한 기준은 도면을 기준으로 설명한다.

도면에서 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장되거나 생략되거나 또는 개략적으로 도시되었다. 또한 각 구성요소의 크기는 실제크기를 전적으로 반영하는 것은 아니다. 또한 동일한 참조번호는 도면의 설명을 통하여 동일한 요소를 나타낸다. 이하, 첨부된 도면을 참조하여 실시 예를 설명한다.

도 1은 일 실시예의 와이어 쏘잉 장치에 대한 개략적인 구성도이다.

도 1에 도시된 바와 같이, 일 실시예의 와이어 쏘잉 장치(1)는 챔버(2, Chamber), 잉곳 클램프(3, Ingot Clamp), 와이어(W), 제1 롤러(20, Main Roller), 제2 롤러(30, Slave Roller), 슬러리 공급 노즐(40, Slurry Suppling nozzle), 잉곳 피드 유닛(50, Ingot Feed Unit), 열교환기(60, Heat Exchanger), 슬러리 탱크(70, Slurry Tank) 등을 포함할 수 있다.

챔버(2)는 잉곳(IG)에 대한 절단, 즉 슬라이싱 작업이 이루어지는 공간을 이룬다. 예를 들어 챔버(2)는 직육면체 형상의 내부 공간을 갖는 룸(Room)일 수 있다. 챔버(2)에는 도어(미도시)가 장착되어, 잉곳(IG)을 투입하거나 슬라이싱된 웨이퍼를 꺼낼 때에는 챔버(2)는 개방되고 슬라이싱 작업시에는 챔버(2)는 폐쇄될 수 있다. 챔버(2)는 잉곳 클램프(3) 등이 장착되는 상부 챔버(11)와, 바닥면을 이루는 하부 챔버(12)를 포함할 수 있다.

잉곳 클램프(3)는 챔버(2) 내부에서 잉곳(IG)을 지지한다. 잉곳 클램프(3)는 챔버(2)에 결합된 홀더(100, 도2 참조)와, 잉곳(IG)의 상부 영역에 결합된 워크 플레이트(200, 도 2 참조)를 구비하며, 잉곳(IG)을 챔버(2) 상에 장착되도록 한다. 잉곳 클램프(3)는 잉곳(IG)이 탑재되므로 마운팅 블록(Mounting Block)이라 불리울 수 있다.

와이어(W)는 잉곳(IG)을 다수개의 박판인 웨이퍼(Wafer)로 절단할 수 있다.

와이어(W)는 제1 롤러(20)와 제2 롤러(30)의 외주면에 일정 간격으로 다수개가 감겨질 수 있다. 예를 들어 와이어(W)는 보빈(80, Bobbin)으로부터 제1 롤러(20)와 제2 롤러(30)에 감겨지도록 공급될 수 있다.

와이어 쏘잉 동작시, 와이어(W)는 제1 롤러(20)와 제2 롤러(30)에서 감겨졌다 풀려지는 왕복 이동을 반복하면서 잉곳(IG)을 쏘잉하도록 동작할 수 있다. 감겨진 와이어(W)의 간격에 의해 슬라이싱되는 웨이퍼의 개수 및 두께가 결정될 수 있다.

제1 롤러(20)는 와이어(W)가 감겨지는 와이어 가이드 롤러(Wire Guide Roller)와, 와이어 가이드 롤러에 회전력을 전달하는 스핀들(Spindle)과, 스핀들이 고정되는 회전축을 포함할 수 있다. 제1 롤러(20)는 메인 롤러(Main Roller)로 불릴 수 있다.

마찬가지로 제2 롤러(30)는 와이어(W)가 감겨지는 와이어 가이드 롤러와, 와이어 가이드 롤러에 회전력을 전달하는 스핀들과, 스핀들이 고정되는 회전축을 포함할 수 있다. 제2 롤러는 슬레이브 롤러(Slave Roller)로 불릴 수 있다.

슬러리 공급 노즐(40)은 와이어(W)로 슬러리 용액을 공급하기 위해 제1 롤러(20)와 제2 롤러(30)의 상부에 배치될 수 있다. 슬러리 공급 노즐(40)로부터 분사되는 슬러리 용액들은 와이어(W)에 흡착되고, 슬러리 용액이 흡착된 와이어(W)에 의해 잉곳(IG)의 슬라이싱 작업이 이루어진다. 슬러리에는 연마 지립이 포함되어 있기 때문에 잉곳(IG)이 와이어(W)를 향해 이동하여 가압되면, 와이어(W)에 묻어 있던 연마 그레인에 의해 잉곳(IG)이 절단될 수 있다.

잉곳 피드 유닛(50)은 잉곳 클램프(3)를 제1 롤러(20)와 제2 롤러(30)의 아래로 이동시켜 잉곳(IG)이 와이어(W)에 의해 슬라이싱되도록 하며, 잉곳(IG)이 웨이퍼로 슬라이싱된 후에는 잉곳 클램프(3)를 챔버(2)의 상부 영역으로 이동시킬 수 있다.

열교환기(60)는 슬러리 분사 노즐(40)로 이동하는 슬러리의 온도를 실시간으로 조절할 수 있다. 따라서 열교환기(60)에 의하여 온도 조절된 슬러리가 와이어(W)에 분사되어 잉곳(IG)의 온도를 타겟(Target) 온도로 실시간으로 일정하게 유지시킬 수 있다.

슬러리 탱크(70)는 슬러리를 저장하며, 슬러리 이송 라인(71)을 통해 슬러리를 이동시켜 슬러리 공급 노즐(40)로 슬러리가 분사되도록 한다. 슬러리 탱크(70)는 내부에 수용된 슬러리 용액을 교반시키기 위한 교반부와, 교반부에 회전력을 전달하기 위한 교반기 구동부를 포함할 수 있다.

이와 같이 실시예의 와이어 쏘잉 장치(1)는 슬라이싱 공정 동안, 슬러리 비산물의 영향을 받지 않고 잉곳(IG)을 웨이퍼로 균일하게 절단할 수 있도록 하기 위하여, 잉곳 클램프(300)는 비산 차단막(300)을 더 포함할 수 있다.

도 2는 도 1의 잉곳 클램프 영역에 대한 상세도이고, 도 3은 도 2의 확대도이다.

도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 잉곳 클램프(3)는 홀더(100), 워크 플레이트(200), 비산 차단막(300)을 포함하여 구성될 수 있다.

홀더(100)는 챔버(2)의 상부 영역에 설치되며, 내부에는 클램프홈(110)이 형성된다.

워크 플레이트(200)는 클램프홈(110)에 삽입되면서 홀더(100)에 장착되고, 잉곳(IG)을 홀더(100)에 고정하는 역할을 한다. 도 3에 도시된 바와 같이 워크 플레이트(200)는 클램프홈(110)에 삽입되는 홀더 장착부(210)와, 홀더 장착부(210) 하부로 연장되는 빔 고정부(220)를 포함한다.

잉곳(IG)의 상부 영역과 빔 고정부(220)의 사이에는 빔(B)이 위치하며, 빔(B)을 통해 잉곳(IG)은 빔 고정부(220)에 고정되면서 워크 플레이트(200)에 결합될 수 있다. 여기서 워크 플레이트(200)는 스테인레스 스틸(SUS) 재질로 이루어지고, 빔(B)은 카본(Carbon) 재질로 이루어질 수 있다.

비산 차단막(300)은 홀더(100)의 양측면에 한 쌍으로 결합되어, 슬라이싱 공정동안 발생하는 슬러리(S) 비산물을 수용함으로써 비산된 슬러리(S)가 잉곳(IG)의 절단 위치로 이동하는 것을 차단할 수 있다.

보다 상세하게는, 비산 차단막(300)은 수직판(310)과, 경사판(320)을 포함할 수 있다.

수직판(310)은 홀더(100)의 측면으로부터 수직 아래로 길게 결합될 수 있다. 수직판(310)의 하단부는 워크 플레이트(200)의 하단{보다 상세하게는 빔 고정부(220)}보다 더 아래에 위치할 수 있다.

경사판(320)은 수직판(310)에서 경사지게 연장되며, 잉곳(IG)의 절단 공정시 비산하는 슬러리(S)를 포집하여 수용할 수 있다. 이를 위해 경사판(320)은 수직판(310)의 하단으로부터 워크 플레이트(200)를 향하는 방향으로 연장될 수 있다.

이와 같은 비산 차단막(300)은 워크 플레이트(200)를 중심으로 두고 한 쌍으로 이루어지면서, 워크 플레이트(200)와 일정 간격 이격될 수 있다.

따라서 잉곳(IG)의 절단 공정시, 도 3에 화살표로 도시된 바와 같이, 슬러리(S) 비산물은 워크 플레이트(200)의 측벽과 부딪히며 반사되거나 상측부를 향해 비산하면서 비산 차단막(300)의 내부 공간에 수용될 수 있다.

이와 같이 비산 차단막(300)의 내측에는 슬러리(S) 비산물이 수용되면서 절단위치로 이동하는 것을 차단할 수 있으며, 비산 차단막(300)에 수용된 슬러리(S)들은 비산 차단막(300)을 홀더(100)로부터 분리하여 청소할 수 있다.

그런데, 상술한 형태의 잉곳 클램프(3)는 워크 플레이트(200)의 하단, 즉 빔 고정부(220)의 측면에 90°각도를 가지므로 슬라이싱 공정동안 비산 차단막(300) 내부로 포집되지 않고 워크 플레이트(200)의 측벽을 맞고 잉곳(IG)을 향해 흘러내리는 슬러리(S) 비산물이 존재하게 된다.

또한, 워크 플레이트(200)는 스테인레스 스틸 재질 그대로 슬러리(S)에 노출되므로 슬러리(S)가 반사되는 측벽면에 슬러리(S)가 상시 젖은(wet) 상태로 표면에 존재하게 되고, 이는 비산 차단막(300) 내부로 포집되는 슬러리(S) 비산물의 유입되는 효율을 낮게 만든다.

나아가, 포집되는 슬러리(S) 비산물의 양은, 비산 차단막(300)의 내측 형상에 제한되므로 슬라이싱 공정 후 비산 차단막(300)을 청소해주는 빈도가 증가하는 문제가 있다.

따라서 상술한 문제점들을 개선하기 위해서 각각 다음과 같은 실시예들의 잉곳 클램프(3)를 개시한다. 개선된 실시예들은 중복된 설명을 피하기 위해서 전술한 형태의 잉곳 클램프(3)와 동일한 부분의 설명은 생략하기로 한다.

도 4는 제1 실시예의 잉곳 클램프의 구성도이다.

도 4를 참조하면, 제1 실시예의 잉곳 클램프는 워크 플레이트(201)에 구비되며, 비산하는 슬러리(S)를 비산 차단막(300)의 내측으로 안내하는 가이드부(221)를 더 포함할 수 있다.

가이드부(221)는 경사면(230)을 가지며, 빔 고정부(220)의 측면에서 비산 차단막(300)을 향해 일정 길이로 연장될 수 있다. 예를 들어 가이드부(221)는 빔 고정부(220)의 가장자리 하부에서 상부로 갈수록 단면적이 증가하는 형태를 가지며, 경사면(230)은 가이드부(221)의 하측면에 배치될 수 있다. 여기서 경사면(230)은 빔 고정부(220)의 하부면에 대하여 45°의 경사각을 가질 수 있다. 상술한 가이드부(221)는 워크 플레이트(201)의 양 측에 모두 구비될 수 있다.

또한, 비산 차단막(300)의 경사판(320)의 단부는 가이드부(221)의 경사면(230)을 향하도록 경사진 형상을 가질 수 있다. 따라서 가이드부(221)가 구비된 워크 플레이트(200)는 아래에서 위로 갈수록 비산 차단막(300)의 내측에 가까워질 수 있다.

이와 같은 구성을 포함하는 제1 실시예의 잉곳 클램프는, 워크 플레이트(201)의 하단, 즉 빔 고정부(220)의 측면에서 45°각도를 갖는 경사면(230)을 포함하는 가이드부(221)를 통해 비산 차단막(300) 내부로 포집되는 슬러리(S) 비산물의 양을 늘릴 수 있고, 잉곳(IG)을 향해 흘러내리는 슬러리(S) 비산물을 줄일 수 있다.

도 5는 제2 실시예의 잉곳 클램프의 구성도이다.

도 5를 참조하면, 제2 실시예의 잉곳 클램프는 워크 플레이트(202)의 빔 고정부(220)의 측면에 결합되는 코팅막(500)을 더 포함할 수 있다. 예를 들어, 코팅막(500)은 초소수성 코팅제로 빔 고정부(220)의 측면에 도포되는 형태로 구성될 수 있다.

초소수성은 물을 밀어내는 성질로서, 코팅막(500)이 초소수성을 갖게 되면, 슬라이싱 공정 동안에도 워크 플레이트(202)의 측면에 노출된 표면을 상시 건조 상태로 유지할 수 있다.

이와 같은 구성을 포함하는 제2 실시예의 잉곳 클램프는, 스테인레스 스틸 재질의 워크 플레이트(202)에서 슬러리(S)가 반사되는 측벽면{빔 고정부(220)의 측벽}에 초소수성 코팅막(500)을 구비하여, 슬러리(S)의 반발력(비산 효율)을 높여 비산 차단막(300) 내부로 포집되는 슬러리(S) 비산물의 유입량을 늘릴 수 있다.

도 6은 제3 실시예의 잉곳 클램프의 구성도이다.

도 6의 (b)를 참조하면, 제3 실시예의 잉곳 클램프는 비산 차단막(301)이 수직판(310), 수평판(330), 경사판(321)으로 이루어지는 점에서 차이가 있다.

수직판(310)은 홀더(100)의 측면에 결합되고, 수평판(330)은 수직판(310)에서 수평으로 연장되며, 경사판(321)은 수평판(330)에서 경사지게 연장된 형상을 가질 수 있다.

여기서 경사판(321)은 45°의 경사각을 갖고, 수평판(330)의 길이는 경사판(321)의 수평 길이보다 긴 길이를 가질 수 있다.

상술한 형태의 비산 차단막(301)은 도 6의 (a)의 비교예로 도시된 비산 차단막(300)에 비해서 슬러리(S) 포집 공간이 증대되고, 슬러리(S)를 보다 안정적으로 수용할 수 있다.

이와 같은 구성을 포함하는 제3 실시예의 잉곳 클램프는, 비산 차단막(301)에 포집된 슬러리(S) 비산물의 수용량을 늘리면서 슬러리(S)를 보다 안정적으로 수용하게 되므로 슬라이싱 공정 동안, 슬러리(S) 비산 차단 효율을 높일 수 있고 청소 빈도를 낮출 수 있다.

이상에서 실시 예들에 설명된 특징, 구조, 효과 등은 본 발명의 적어도 하나의 실시 예에 포함되며, 반드시 하나의 실시 예에만 한정되는 것은 아니다. 나아가, 각 실시 예에서 예시된 특징, 구조, 효과 등은 실시 예들이 속하는 분야의 통상의 지식을 가지는 자에 의해 다른 실시 예들에 대해서도 조합 또는 변형되어 실시 가능하다. 따라서 이러한 조합과 변형에 관계된 내용들은 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

1 : 와이어 쏘잉 장치 2 : 챔버
3 : 잉곳 클램프 20 : 제1 롤러
30 : 제2 롤러 40 : 슬러리 공급 노즐
50 : 잉곳 피드 유닛 60 : 열교환기
70 : 슬러리 탱크 100 : 테이블(홀더)
200, 201, 202 : 워크 플레이트 210 : 홀더 장착부
220 : 빔 고정부 221 : 가이드부
230 : 경사면 300, 301 : 비산차단막
310 : 수직판 320, 321 : 경사판
330 : 수평판

Claims (17)

1. 클램프홈이 형성된 홀더;
   상기 클램프홈에 삽입되면서 상기 홀더에 장착되고, 잉곳을 지지하는 워크 플레이트;
   상기 홀더의 측면에 결합되는 수직판과, 상기 수직판에서 연장되는 경사판을 가지며, 상기 잉곳의 절단 공정시 비산하는 슬러리를 포집하는 비산 차단막; 및
   상기 워크 플레이트에 구비되며, 비산하는 슬러리를 상기 비산 차단막의 내측으로 안내하는 가이드부;를 포함하는, 잉곳 클램프.
2. 제1항에 있어서,
   상기 워크 플레이트는
   상기 클램프홈에 삽입되는 홀더 장착부; 및
   상기 홀더 장착부의 하부로 연장되며, 빔을 고정하는 빔 고정부;를 포함하는, 잉곳 클램프.
3. 제2항에 있어서,
   상기 가이드부는
   경사면을 가지며 상기 빔 고정부의 측면에서 상기 비산 차단막을 향해 일정 길이로 연장되는, 잉곳 클램프.
4. 제3항에 있어서
   상기 가이드부는 상기 빔 고정부의 가장자리 하부에서 상부로 갈수록 단면적이 증가하는 형태를 가지며, 상기 경사면은 상기 가이드부의 하측면에 배치되는, 잉곳 클램프.
5. 제4항에 있어서,
   상기 경사면은 상기 빔 고정부의 하부면에 대하여 45°의 경사각을 갖는, 잉곳 클램프.
6. 제5항에 있어서,
   상기 비산 차단막의 경사판의 단부는 상기 경사면을 향하도록 경사진 형상을 갖는, 잉곳 클램프.
7. 제1항에 있어서,
   상기 빔 고정부의 측면에 결합되는 코팅막을 더 포함하는, 잉곳 클램프.
8. 제7항에 있어서,
   상기 코팅막은 초소수성 코팅제로 도포되는, 잉곳 클램프.
9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 비산 차단막과 상기 가이드부는 한 쌍으로 이루어지는, 잉곳 클램프.
10. 클램프홈이 형성된 홀더;
    상기 클램프홈에 삽입되면서 상기 홀더에 장착되고, 잉곳을 지지하는 워크 플레이트;
    상기 홀더의 측면에 결합되는 수직판과, 상기 수직판에서 연장되는 경사판을 가지며, 상기 잉곳의 절단 공정시 비산하는 슬러리를 포집하는 비산 차단막; 및
    상기 워크 플레이트의 측면에 결합되는 코팅막을 포함하는, 잉곳 클램프.
11. 제10항에 있어서,
    상기 워크 플레이트는
    상기 클램프홈에 삽입되는 홀더 장착부; 및
    상기 홀더 장착부의 하부로 연장되며, 빔을 고정하는 빔 고정부를 포함하며, 상기 코팅막은 상기 빔 고정부에 결합되는, 잉곳 클램프.
12. 제11항에 있어서,
    상기 코팅막은 초소수성 코팅제로 도포되는, 잉곳 클램프.
13. 제10항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 비산 차단막과 상기 코팅막은 한 쌍으로 이루어지는, 잉곳 클램프.
14. 클램프홈이 형성된 홀더;
    상기 클램프홈에 삽입되면서 상기 홀더에 장착되고, 잉곳을 지지하는 워크 플레이트; 및
    상기 홀더의 측면에 결합되는 수직판과, 상기 수직판에서 수평으로 연장되는 수평판과, 수평판에서 연장된 경사판을 가지며, 상기 잉곳의 절단 공정시 비산하는 슬러리를 포집하는 비산 차단막; 을 포함하는 잉곳 클램프.
15. 제14항에 있어서,
    상기 경사판은 45°의 경사각을 갖는, 잉곳 클램프.
16. 제15항에 있어서,
    상기 수평판의 길이는 상기 경사판의 수평 길이보다 긴 길이를 갖는, 잉곳 클램프.
17. 제1항 내지 제8항, 제10항 내지 제12항, 제14항 내지 제16항 중 어느 한 항의 잉곳 클램프를 구비하는 와이어 쏘잉 장치.

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