KR20200066440A - 고감도 복합 센서 및 이를 이용한 센서 측정 시스템 - Google Patents

고감도 복합 센서 및 이를 이용한 센서 측정 시스템 Download PDF

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Abstract

본 발명에 따른 고감도 복합 센서 및 이를 이용한 센서 측정 시스템은 플렉서블한 베이스기판, 상기 베이스기판과 연결되고 외부로부터 가해지는 압력에 대한 신호를 생성하는 압력파트와, 상기 전도성시트와 접촉되어 상기 전도성시트의 정전용량의 변화에 대한 신호를 생성하는 정전용량파트를 포함하는 회로파트 및 상기 회로파트 내부에서 적어도 일부 면이 서로 접촉되어 상기 회로파트가 통전되게 하는 전도성시트를 포함할 수 있다.

Description

고감도 복합 센서 및 이를 이용한 센서 측정 시스템{High Sensitive Composite Sensor and Sensor Measurement System Using it}
본 발명은 고감도 복합 센서 및 이를 이용한 센서 측정 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 압력센서 및 정전용량센서를 융합하여 분해능을 향상 시키는 고감도 복합 센서에 관한 것이다.
최근 물리적인 접촉에 대하여 압력을 측정할 수 있는 웨어러블 장치에 대한 관심이 높다. 이러한 기술은 특히 로봇 시스템, 전자 피부, 보철 및 웨어러블 의료 장치 등에서 사용될 수 있다. 감도가 높은 센서는 로봇과 인공장치 개체가 상호 작용하는 동안 로봇 또는 보철 장치를 제어하는 데 사용되는 손가락의 접촉이나 신체 운동에서 생체 신호를 얻는 방법을 학습할 수도 있다. 웨어러블 감압센서를 제조하기 위해서는 압력을 감지하는 매카니즘이 정의되고, 적절한 게이지 인자를 선택한 후 적합한 재료를 선택하여 센서를 설계한다.
보통의 로봇 그리퍼 시스템에서 사용되는 압력센서로는 FSR(Force Sensitive Resistor)압력센서가 있다.
그리퍼 시스템에서 소형 물체 파지를 위한 여러 압력 측정 방법이 사용되고 있다. 대표적으로 각관절 토크 값을 측정하여 물체 파지에 이용한다. 이 방법은 구조적으로 간단하며 구현방법이 쉽다.
하지만 파지하는 물체에 따라 토크 값을 측정 할 수 없는 상태에 놓이게 될 수 있으며, 관절 모터 구동 중 토크 값을 측정하면 오차가 심하여 정상적인 값으로 판단하기 어렵게 된다. 또 다른 방법으로는 관절 끝부분에 압력 주머니가 있어 압력을 측정하여 파지상태를 판단 할 수 있다. 이 방법은 종단에 압력 주머니 형태만 있으면 되기 때문에 그리퍼 시스템을 간단한 구조로 설계 할 수 있다.
그러나 해당 압력 주머니 온도 및 외부 환경 변화에 민감하여 내부 압력에 따른 온도 보상을 해야하는 단점이 있다.
그리고 압력 주머니를 구성하는 구조적인 복잡함이 있어 소형 그리퍼에 적용하기 어렵다.
이를 위해서 압전, 압전 저항, 마찰 및 피에조 정전용량 재료를 이용한다.
이들 기술의 대부분은 작은 기계적 변형에 의해 형성된 특정 물질의 도전성 임피던스와 같은 전기적 파라미터의 변화를 이용한다. 게이지 인자는 기계적 응력에 대하여 측정된 속성의 상대적인 변화의 비율이 높은 게이지 인자로 정의된다(예를 들어, 감도).
피에조 정전용량 센서는 정전용량의 변화로 예를 들면, 인간의 손가락과 같은 도전성 물체와의 접촉을 정전용량의 변화로 변화시키는데, 이들은 구조가 간단하여 종래의 터치 센서에 널리 이용되고 있다.
종래의 정전용량센서는 두개의 전극 사이에 유전체를 형성한 구조로 구현되는데, 이 경우, 두개의 전국 사이의 유전체의 두께 변화를 통해 압력을 감지할 수 있다. 그런데, 이 경우는 2개의 전극층을 형성해야 하므로 제조공정이 복잡하고, 센서의 두께가 두꺼워지는 문제가 있다.
따라서 이와 같은 문제점들을 해결하기 위한 방법이 요구된다.
본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 발명으로서, FSR압력센서의 데드존 및 민감도 향상을 위한 고감도 복합 센서 시스템을 제공하기 위함이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 고감도 복합 센서 및 이를 이용한 센서 측정 시스템은 플렉서블한 베이스기판, 상기 베이스기판과 연결되고 외부로부터 가해지는 압력에 대한 신호를 생성하는 압력파트와, 상기 전도성시트와 접촉되어 상기 전도성시트의 정전용량의 변화에 대한 신호를 생성하는 정전용량파트를 포함하는 회로파트 및 상기 회로파트 내부에서 적어도 일부 면이 서로 접촉되어 상기 회로파트가 통전되게 하는 전도성시트를 포함할 수 있다.
그리고 상기 베이스기판은 한 쌍으로 구비되어 하나는 상기 압력파트 통전 가능하게 접촉되고, 또 다른 하는 상기 정전용량파트에 통전 가능하게 접촉될 수 있다.
또한 상기 압력파트는, FSR(Force Sensing Resistors)회로일 수 있다.
그리고 상기 전도성시트는, 상기 정전용량파트의 일부면에 실리콘이 도포되는 형태로 구비될 수 있다.
또한 한 쌍의 플렉서블한 베이스기판과, 상기 베이스기판과 연결되고 외부로부터 가해지는 압력에 대한 신호를 생성하는 압력파트와, 상기 전도성시트와 접촉되어 상기 전도성시트의 정전용량의 변화에 대한 신호를 생성하는 정전용량파트를 포함하는 회로파트 및 상기 회로파트 내부에서 적어도 일부 면이 서로 접촉되어 상기 회로파트가 통전되게 하는 전도성시트를 포함하는 고감도 복합 센서와, 상기 고감도 복합 센서와 연결되어 아날로그 신호를 디지털 신호로 변환하는 변환부 및 상기 변환부와 연결되며 PC와 통신하는 통신부를 포함할 수 있다.
그리고 상기 고감도 복합 센서는, 다수가 적층된 형태로 서로 연결되어 구비될 수 있다.
또한 상기 고감도 복합 센서는, 복수의 상기 압력파트가 서로 연결되어 신호가 발생되고, 복수의 상기 정전용량파트가 서로 연결되어 신호가 발생될 수 있다.
상기한 과제를 해결하기 위한 본 발명의
은 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, FSR압력센서의 한계점인 데드존이 발생되지 않는다는 장점이 있다.
둘째, 적층구조로 구비되어 기존의 FSR압력센서의 한계를 극복하여 최대 측정값을 확대할 수 있다는 장점이 있다.
셋째, 적층구조로 정전용량방식을 채택하여 분해능이 향상되었다는 장점이 있다.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 고감도 복합 센서 및 이를 이용한 센서 측정 시스템의 모습을 나타낸 단면도;
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 고감도 복합 센서 및 이를 이용한 센서 측정 시스템의 계층도;
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 고감도 복합 센서 및 이를 이용한 센서 측정 시스템이 복수로 구비되어 적층된 모습을 나타낸 도면;
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 고감도 복합 센서 및 이를 이용한 센서 측정 시스템에 관한 개략도;
이하 본 발명의 목적이 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. 본 실시예를 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용되며 이에 따른 부가적인 설명은 생략하기로 한다.
먼저 도면을 참조하여 본 발명에 대해 구체적으로 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 고감도 복합 센서(10) 및 이를 이용한 센서 측정 시스템의 모습을 나타낸 단면도 이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 고감도 복합 센서(10) 및 이를 이용한 센서 측정 시스템의 계층도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 고감도 복합 센서(10) 및 이를 이용한 센서 측정 시스템이 복수로 구비되어 적층된 모습을 나타낸 도면이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 고감도 복합 센서(10) 및 이를 이용한 센서 측정 시스템에 관한 개략도이다.
본 발명에 따른 고감도 복합 센서(10)는 베이스기판(100), 회로파트(200) 및 전도성시트(300) 를 포함한다.
베이스기판(100)은 PCB(Printed Circuit Board), 아크릴, ABS 중 적어도 어느 하나로 구비되며, 플렉서블(Flexible)한 특징을 갖는다.
회로파트(200)는 베이스기판(100)과 접촉되어 전기적으로 연결되게 구비되어 압력신호 및 정전용량신호를 발생하게 된다.
압력파트(210)는 베이스기판(100)과 접촉되며 외부로부터 가해지는 압력에 대한 아날로그 신호 또는 디지털 신호를 생성하게 된다.
그리고 정전용량파트(220)는 압력파트(210) 소정 이격되어 인접하게 배치되고 압력파트(210) 사이의 거리의 변화에 따른 정전용량의 변화에 대한 신호를 생성하게 된다.
전도성시트(300)는 압력파트(210) 및 정전용량파트(220) 사이에서 양측이 각각 압력파트(210) 및 정전용량파트(220)와 통전되게 접척되어 있어서, 전도성시트(300)는 정전용량파트(220)와 압력파트(210)의 거리에 따른 용량 변화에 대한 신호를 생성하게 된다.
여기서 베이스기판(100)는 한 쌍으로 구비되어 압력파트(210) 및 정전용량파트(220)를 각각 양측에서 감싸는 형태로 적층된다.
도 1에 도시된 바와 같이 한 쌍의 압력파트(210) 사이에 정전용량파트(220)가 배치되는 구조를 가진다.
먼저 하부에 베이스기판(100)이 배치되고, 베이스기판(100) 상부에 정전용량파트(220)가 통전되게 안착되고, 정전용량파트(220) 상부면에는 전도성시트(300)가 배치된다.
여기서 전도성시트(300)는 실리콘(SILICON)으로 구비될 수 있다.
그리고 전도성시트(300)는 정전용량파트(220)의 상부면에 도포되는 형태를 취할 수있다.
구체적으로 고감도 복합 센서(10)는 전도성시트(300)를 중심으로 양측으로 각각 압력파트(210) 및 정전용량파트(220)가 배치되고 이를 베이스기판(100)이 양측을 감싸는 형태로 배치되는 구조를 가진다.
또한 수평방향으로 한 쌍이 나란히 형성되어 있음을 볼 수 있다.
본 발명에서 압력파트(210)는 소형 물체 파지 인식용으로 가장 많이 적용되고 있는 FSR(Force Sensing Resistor)로 구비될 수 있다.
일반적인 FSR센서는 외부 압력에 의해 가변되는 저항값을 측정한다. 이런 변화량을 전압으로 전환하여 전압변화량을 측정한다.
하지만 이와 같은 FSR센서는 늦은 반응 속도, 도전체 전극의 구조적 한계로 소형화 및 고감도 특성을 확보하기 어렵다는 문제점이 있기 때문에 압력파트(210)와 정전용량파트(220)를 적층되게 배치하였다.
본 발명에서 사용된 도전체는 구리(COPPER)이다.
따라서 압력파트(210)는 COPPER FSR로 구비될 수 있다.
본 발명에서 정전용량파트(220)는 전도성시트(300)에서 사용된 유전체는 실리콘으로 압력파트(210)인 한 쌍의 도전체 사이에 유전체인 실리콘이 배치된 형태를 취한다.
위와 같은 구조로 FSR센서를 통해 압력에 의한 저항값 및 정전용량값을 한번에 측정할 수 있게 되어 FSR의 단점을 극복하고 고감도의 센싱이 가능하게 된다.
추가적으로 전도성시트(300) 및 정전용량파트(220)는 압력파트(210)와 베이스기판(100) 사이에 다수로 구비될 수 있다.
위와 같은 구성의 개수는 단위면적당 집적되는 수량을 1개로 제한 것이므로 단위면적에 따라 배치되는 압력파트(210), 전도성필름 및 정전용량파트(220)의 개수는 제한되지 않는다.
도 2를 살펴보면 좌측에서 우측방향으로 베이스기판(100), 압력파트(210), 전도성시트(300) 및 정전용량파트(220)의 순서로 배치되어 있다.
그리고 마지막 정전용량파트(220)에서 추가적으로 전도성시트(300) 및 정전용량파트(220)가 추가됨을 볼 수 있다.
이와 같이 전도성시트(300) 및 정전용량파트(220)가 복수로 적층되는 형태로 센서의 민감도를 향상 시킬 수 있다.
이와 같은 구조는, 압력파트(210)의 저항값과 정전용량파트(220)에서의 저항값을 동시에 측정할 수 있도록 설계된 것으로 종래에 압력파트(210)만으로 사용되면서 데드존(DEAD ZONE)이 발생되는 문제점을 개선하고 세밀한 저항값 측정을 위한 것이다.
전술한 고감도 복합 센서(10)는 복수개가 적층된 멀티 레이어(MULTI-LAYER) 형태로 구비될 수 있다.
도 3을 살펴보면 한 쌍의 베이스기판(100), 압력파트(210), 전도성필름 및 정전용량파트(220)로 구비된 고감도 복합 센서(10)가 복수개가 적층된 구조로 구비된 것을 확인할 수 있다.
따라서 베이스기판(100)에 형성된 비아홀(VIA-HOLE)을 통해 복수의 압력파트(210)가 서로 연결되어 복수의 정전용량파트(220)가 서로 연결된다.
이와 같이 복수의 압력파트(210)를 전기적으로 연결하여 측정값의 범위(RANGE)를 넓힐 수 있다.
그리고 복수의 정전용량파트(220)를 전기적으로 연결하여 분해능을 향상시킬 수 있다.
예를 들어 고감도 복합 센서(10)가 적층된 형태를 가지면, 하나의 고감도 복합 센서(10)에서 압력파트(210)가 가지는 측정범위를 100이라고 할 때, 두개가 적층된 고감도 복합 센서(10)는 측정범위가 200이 될 수 있다.
그리고 하나의 고감도 복합 센서(10)에서 정전용량파트(220)의 민감도가 1/5라고 할 때 적층된 고감도 복합 센서(10)는 민감도가 1/10이 될 수 있다.
이와 같이 고감도 복합 센서(10)를 수직 적층한 멀티 레이어 구조를 가지게 되면 최고 측정값의 한계를 극복하고 분해능을 향상시킬 수 있다는 장점을 가지게 된다.
위와 같은 고감도 복합 센서(10)는 고감도 복합 센서(10)와 연결되어 아날로그 신호를 디지털 신호로 변화하는 변환부(32)를 거쳐 신호처리된 신호값을 얻게 되고, 상기 신호값은 PC 또는 별도의 단말기와 통신하도록 통신부와 연결될 수 있다.
여기서 말하는 통신부는, 정전용량파트와 연결되어 신호처리된 상기 신호값을 입력하는 통신입력부(34)로 전송되는데, 변환부(32)에서 변환된 압력회로(210)의 신호값 및 정전용량파트(220)의 신호값을 센서처리부(36)에서 최종적으로 상기 신호값들을 처리하여 PC 등으로 통신출력(38)하게 된다.
이상과 같이 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 살펴보았으며, 앞서 설명된 실시예 이외에도 본 발명이 그 취지나 범주에서 벗어남이 없이 다른 특정 형태로 구체화될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다. 그러므로, 상술된 실시예는 제한적인 것이 아니라 예시적인 것으로 여겨져야 하고, 이에 따라 본 발명은 상술한 설명에 한정되지 않고 첨부된 청구항의 범주 및 그 동등 범위 내에서 변경될 수도 있다.
10: 고감도 복합 센서
100: 베이스기판
200: 회로파트
210: 압력파트
220: 정전용량파트
300: 전도성시트

Claims (7)

  1. 플렉서블한 베이스기판;
    상기 베이스기판과 연결되고 외부로부터 가해지는 압력에 대한 신호를 생성하는 압력파트와, 상기 전도성시트와 접촉되어 상기 전도성시트의 정전용량의 변화에 대한 신호를 생성하는 정전용량파트를 포함하는 회로파트; 및
    상기 회로파트 내부에서 적어도 일부 면이 서로 접촉되어 상기 회로파트가 통전되게 하는 전도성시트;
    를 포함하는 고감도 복합 센서.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 베이스기판은,
    한 쌍으로 구비되어 하나는 상기 압력파트 통전 가능하게 접촉되고, 또 다른 하는 상기 정전용량파트에 통전 가능하게 접촉되는 고감도 복합 센서.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 압력파트는,
    FSR(Force Sensing Resistors)회로인 것을 특징으로 하는 고감도 복합 센서.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 전도성시트는,
    상기 정전용량파트의 일부면에 실리콘이 도포되는 형태로 구비되는 것을 특징으로 하는 고감도 복합 센서.
  5. 한 쌍의 플렉서블한 베이스기판과, 상기 베이스기판과 연결되고 외부로부터 가해지는 압력에 대한 신호를 생성하는 압력파트와, 상기 전도성시트와 접촉되어 상기 전도성시트의 정전용량의 변화에 대한 신호를 생성하는 정전용량파트를 포함하는 회로파트 및 상기 회로파트 내부에서 적어도 일부 면이 서로 접촉되어 상기 회로파트가 통전되게 하는 전도성시트를 포함하는 고감도 복합 센서;
    상기 고감도 복합 센서와 연결되어 아날로그 신호를 디지털 신호로 변환하는 변환부; 및
    상기 변환부와 연결되며 PC와 통신하는 통신부;
    를 포함하는 센서 측정 시스템.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 고감도 복합 센서는,
    다수가 적층된 형태로 서로 연결되어 구비되는 것을 특징으로 하는 센서 측정 시스템.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 고감도 복합 센서는,
    복수의 상기 압력파트가 서로 연결되어 신호가 발생되고, 복수의 상기 정전용량파트가 서로 연결되어 신호가 발생되는 센서 측정 시스템.
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006343141A (ja) * 2005-06-07 2006-12-21 Toyota Motor Corp 物理量測定センサ
KR20140132221A (ko) * 2013-05-07 2014-11-17 한국과학기술연구원 힘 및 위치 감지용 촉각 센서 및 그 제조 방법
KR20160081245A (ko) * 2014-12-31 2016-07-08 한국패션산업연구원 생체신호측정과 압력측정이 가능한 3차원구조 직물센서
KR101676761B1 (ko) * 2015-05-14 2016-11-16 울산과학기술원 압력센서 및 압력센서의 제조방법

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006343141A (ja) * 2005-06-07 2006-12-21 Toyota Motor Corp 物理量測定センサ
KR20140132221A (ko) * 2013-05-07 2014-11-17 한국과학기술연구원 힘 및 위치 감지용 촉각 센서 및 그 제조 방법
KR20160081245A (ko) * 2014-12-31 2016-07-08 한국패션산업연구원 생체신호측정과 압력측정이 가능한 3차원구조 직물센서
KR101676761B1 (ko) * 2015-05-14 2016-11-16 울산과학기술원 압력센서 및 압력센서의 제조방법

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