KR20200055889A - 경보음 발생 기능과 발광신호 출력기능을 겸비한 가스 누출 측정장치 - Google Patents

경보음 발생 기능과 발광신호 출력기능을 겸비한 가스 누출 측정장치 Download PDF

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Abstract

가스 누출 측정장치가 개시된다. 본 발명의 가스 누출 측정장치는, 진공펌프로부터 배출되는 유해가스의 배출을 안내하도록 서로 연결되되 연결부위에 고무링이 설치된 후 클램프에 의해 결속되는 배기파이프의 연결부위에 설치되어 가스의 누출을 측정하는 것으로서, 상기 클램프의 일부를 감싸도록 형성되며 상기 배기파이프의 연결부위에 탈부착 가능하게 장착되는 하우징; 상기 하우징의 둘레에 결합되며 상기 배기파이프의 연결부위에서 배출되는 염소가스 또는 불소가스의 누출을 감지한 후 감지신호를 출력하도록 마련되는 감지센서; 상기 감지센서의 감지신호에 따라 염소가스 또는 불소가스의 농도를 측정하여 출력하고 경보음을 발생하도록 마련되는 가스농도 측정단말기; 및 상기 가스농도 측정단말기의 농도 출력시 발광 신호를 출력하도록 마련되는 발광신호 출력부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

경보음 발생 기능과 발광신호 출력기능을 겸비한 가스 누출 측정장치{Gas leak measuring device with an alarm sound output function and a light emission signal output function}
본 발명은 가스 누출 측정장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 염소가스(CL2) 또는 불소가스(F2)를 배출하기위한 진공펌프의 배기파이프 연결부위에 설치되어 누출되는 염소가스(CL2) 또는 불소가스(F2)를 감지하여 측정하고 경보음 및 발광신호를 출력하여 관리자에게 알려줄 수 있는 가스 누출 측정장치에 관한 것이다.
일반적으로, 각종 산업현장에서는 반도체 제조 공정을 포함하여 제품의 표면처리 등을 위해 독성과 부식성이 강한 염소가스(CL2)(CL2) 또는 불소가스(F2)(F2)를 많이 사용하고 있다.
이러한 염소가스(CL2) 또는 불소가스(F2)는 독성과 부식성이 강하고 인체에 유해하므로 제품의 처리 후 배출하는 과정에서 누출이 되면 가스의 낭비는 물론이고, 사람이 흡입하여 중독되는 등의 사고가 있게 되며, 또한 환경을 오염시키게 되는 문제가 생긴다.
이를 위해서, 염소가스(CL2) 또는 불소가스(F2)를 사용하는 공정에는 염소가스(CL2) 또는 불소가스(F2)를 배출하여 일정 장소에 저장하기 위한 진공펌프가 설치되며, 진공펌프에는 저장장소로 염소가스(CL2) 또는 불소가스(F2)를 배출하기 위한 다수의 배기파이프가 설치된다.
도 1은 종래의 진공펌프에 설치되는 배기파이프를 개략적으로 보인 도면이고, 도 2는 배기파이프의 연결부위의 단면을 보인 도면이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 배기파이프(1)는 진공펌프로부터 배출되는 염소가스(CL2) 또는 불소가스(F2)를 일정한 장소에 저장할 수 있도록 일정 길이로 형성되어 서로 연결된다. 한편, 배기파이프(1)의 연결부위에는 염소가스(CL2) 또는 불소가스(F2)의 누출을 방지하기 위한 고무링(2) 및 배기파이프(1)를 결속하기 위한 클램프(3)가 설치된다.
이러한 구성에 따라, 배기파이프(1)는 진공펌프로부터 배출되는 염소가스(CL2) 또는 불소가스(F2)의 누출이 방지되도록 안전하게 안내하여 일정한 장소에 저장할 수 있게 되는 것이다.
하지만, 이러한 종래의 배기파이프는, 염소가스(CL2) 또는 불소가스(F2)를 배출하는 과정에서 고무링이 염소가스(CL2) 또는 불소가스(F2)와 접촉되어 경화되고, 이에 따라 고무링은 그 기능이 상실되어 배기파이프의 연결부위에서 염소가스(CL2) 또는 불소가스(F2)의 누출을 초래하는 문제가 있다.
또한, 관리자는 배기파이프의 연결부위에서 누출되는 염소가스(CL2) 또는 불소가스(F2)의 누출량을 확인할 수 없는 문제가 있다.
이에 배기파이프의 연결부위에서 누출되는 염소가스(CL2) 또는 불소가스(F2)를 실시간 감지하여 측정하면서도 경보음 및 발광 신호를 출력하여 관리자에게 알려줄 수 있는 가스 누출 측정장치에 관한 연구개발이 요구되고 있는 실정이다.
본 발명의 기술적 과제는, 염소가스(CL2) 또는 불소가스(F2)를 배출하기 위한 진공펌프의 배기파이프 연결부위에 설치되어 누출되는 염소가스(CL2) 또는 불소가스(F2)를 감지하여 측정하고 경보음 및 발광 신호를 출력하여 관리자에게 알려줄 수 있는 가스 누출 측정장치를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 다른 기술적 과제는, 배기파이프의 연결부위에 설치된 클램프를 해체하지 않고서도 설치가 가능하고, 협소한 공간에서도 설치 및 해체가 용이할 수 있는 가스 누출 측정장치를 제공하는 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제는, 본 발명에 따라, 진공펌프로부터 배출되는 유해가스의 배출을 안내하도록 서로 연결되되 연결부위에 고무링이 설치된 후 클램프에 의해 결속되는 배기파이프의 연결부위에 설치되어 가스의 누출을 측정하는 것으로서, 상기 클램프의 일부를 감싸도록 형성되며 상기 배기파이프의 연결부위에 탈부착 가능하게 장착되는 하우징; 상기 하우징의 둘레에 결합되며 상기 배기파이프의 연결부위에서 배출되는 염소가스 또는 불소가스의 누출을 감지한 후 감지신호를 출력하도록 마련되는 감지센서; 상기 감지센서의 감지신호에 따라 염소가스 또는 불소가스의 농도를 측정하여 출력하고 경보음을 발생하도록 마련되는 가스농도 측정단말기; 및 상기 가스농도 측정단말기의 농도 출력시 발광 신호를 출력하도록 마련되는 발광신호 출력부를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 누출 측정장치에 의해 달성된다.
상기 하우징은, 상기 감지센서와 대응되는 둘레에 형성되며 상기 배기파이프의 연결부위에 탈부착 가능하게 장착되도록 관리자의 조작에 따라 상기 배기파이프에 결속 또는 해제되도록 마련되는 장착부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 하우징은, 상기 감지센서가 결합되도록 둘레에 형성되고 상기 배기파이프의 연결부위에서 누출되는 염소가스 또는 불소가스를 외부로 배출하기 위한 배출통로를 갖는 결합부가 형성되며, 상기 감지센서는, 상기 결합부의 내부에 수용 결합되는 것을 특징으로 한다.
상기 하우징은, 상기 감지센서에 의해 공기보다 무거운 염소가스의 누출을 감지하도록 상기 결합부가 상기 배기파이프의 하부영역에 배치되도록 장착되는 것을 특징으로 한다.
상기 하우징은, 상기 감지센서에 의해 공기보다 가벼운 염소가스의 누출을 감지하도록 상기 결합부가 상기 배기파이프의 상부영역에 배치되도록 장착되는 것을 특징으로 한다.
상기 가스농도 측정단말기는, 상기 감지센서의 감지신호에 따라 염소가스의 농도를 측정하여 출력시 경보음을 발생하도록 그 내부에 마련되는 경보음 발생부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 염소가스(CL2) 또는 불소가스(F2) 등과 같은 유해가스를 배출하기 위한 진공펌프의 배기파이프의 연결부위에 설치되어 염소가스(CL2) 또는 불소가스(F2)의 누출시 이를 실시간으로 감지하고 측정하여 육안으로 확인할 수 있도록 출력함과 동시에 경보음 및 발광 신호를 출력하여 관리자에게 알려줄 수 있는 가스 누출 측정장치를 제공함으로, 진공펌프의 배기라인 상에서 염소가스(CL2) 또는 불소가스(F2)의 누출에 용이하게 확인할 수 있다.
또한, 본 발명의 가스 누출 측정장치는 하우징이 배기파이프의 연결부위에 클램프를 감싸도록 탈부착 가능하게 장착됨으로써, 기존 배기파이프의 연결부위를 결속하는 클램프를 해제하지 않고서도 설치가 가능하고, 협소한 공간에서도 설치 및 해체가 용이할 수 있다.
도 1은 종래기술에 따른 진공펌프에 설치되는 배기파이프를 개략적으로 보인 도면이다.
도 2는 도 1에 도시된 배기파이프의 연결부위의 단면을 보인 도면이다.
도 3은 본 발명에 따른 가스 누출 측정장치의 구성을 개략적으로 보인 도면이다.
도 4는 도 3에 도시된 하우징을 보인 도면이다.
도 5는 도 4에 도시된 하우징의 단면을 보인 도면이다.
도 6은 본 발명에 따른 가스 누출 측정장치의 설치상태를 개략적으로 보인 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세하게 설명하면 다음과 같다. 다만, 본 발명을 설명함에 있어서, 이미 공지된 기능 혹은 구성에 대한 설명은 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다.
도 3은 본 발명에 따른 가스 누출 측정장치의 구성을 개략적으로 보인 도면이고, 도 4는 도 3에 도시된 하우징을 보인 도면이며, 도 5는 도 4에 도시된 하우징의 단면을 보인 도면이고, 도 6은 본 발명에 따른 가스 누출 측정장치의 설치상태를 개략적으로 보인 도면이다.
본 발명에 따른 가스 누출 측정장치는, 도 3 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 하우징(10)과, 감지센서(20)와, 가스농도 측정단말기(30)와, 그리고 발광신호 출력부(40)를 포함한다.
여기서 본 발명에 따른 가스 누출 측정장치는 진공펌프로부터 배출되는 염소가스(CL2) 또는 불소가스(F2)의 배출을 안내하도록 서로 연결되는 배기파이프(1)의 연결부위에 탈부착 가능하게 연결된 상태에서 배기파이프(1)의 연결부위를 통해 누출되는 염소가스(CL2) 또는 불소가스(F2)를 측정하는 구조로 된 것이다. 이때, 배기파이프(1)의 연결부위는 염소가스(CL2) 또는 불소가스(F2)의 누출을 방지하도록 기밀을 유지하기 위한 고무링(2)이 설치된 후 클램프(3)에 의해 결속되는 구조를 갖는다.
하우징(10)은 배기파이프(1)의 연결부위에 탈부착 가능하게 마련된다. 즉, 하우징(10)은 클램프(3)의 일부를 감싸도록 형성되어 배기파이프(1)의 연결부위에 탈부착 가능하게 장착되는 구조를 갖는다. 이는 클램프(3)에 의해 결속된 배기파이프(1)의 연결부위에서 누출되는 염소가스 또는 불소가스가 하우징(10)을 통해 외부로 배출되도록 하기 위함이다. 이때, 하우징(10)은 배기파이프(1)의 연결부위에 장착될 때 배기파이프(1)의 하부영역 또는 상부영역을 선택적으로 감싸도록 장착된다.
여기서 하우징(10)이 배기파이프(1)의 하부영역을 감싸도록 장착되는 이유는 염소가스(CL2)의 누출을 용이하게 측정하기 위함이다. 즉, 염소가스(CL2)는 공기보다 무겁기 때문에 클램프(3)에 의해 결속된 배기파이프(1)의 연결부위에서 배기파이프(1)의 하부 방향으로 누출되게 된다.
이와는 달리, 하우징(10)이 배기파이프(1)의 상부영역을 감싸도록 장착되는 이유는 불소가스(F2)의 누출을 용이하게 측정하기 위함이다. 즉, 불소가스(F2)는 공기보다 가볍기 때문에 클램프(3)에 의해 결속된 배기파이프(1)의 연결부위에서 배기파이프(1)의 상부 방향으로 누출되게 된다.
또한, 하우징(10)은 배기파이프(1)의 연결부위에 탈부착 가능하게 장착되도록 그 둘레에 관리자의 조작에 따라 배기파이프(1)에 결속 및 해제되는 장착부재(12)가 마련된다. 즉, 장착부재(12)는 하우징(10)의 둘레에 힌지를 매개로 회전 가능하게 결합되며 관리자의 조작에 따라 하우징(10)에 결속되거나 또는 하우징(10)으로부터 해제되는 구조를 갖는다. 이에 따라 하우징(10)은 장착부재(12)를 의해 배기파이프(1)의 연결부위에 탈부착 가능하게 장착될 수 있게 된다.
또한, 하우징(10)은 장착부재(12)와 대응되는 둘레에 감지센서(20)가 수용 결합되는 결합부(14)가 형성되며 결합부(14)에는 배기파이프(1)의 연결부위에서 누출되는 염소가스(CL2) 또는 불소가스(F2)를 외부로 배출하기 위한 배출통로(16)가 관통 형성된다.
여기서 결합부(14)는 감지센서(20)가 수용될 수 있는 공간을 형성하며, 배출통로(16)는 배기파이프(1)의 연결부위에서 배출되는 염소가스(CL2) 또는 불소가스(F2)를 외부로 자연스럽게 배출시킬 수 있는 통로를 형성한다.
즉, 염소가스(CL2)는 공기보다 무겁기 때문에 배기파이프(1)의 연결부위에서 누출된 후 하우징(10)과 결합부(14)를 경유하여 외부로 배출되게 된다. 이를 위해서, 하우징(10)은 배기파이프(1)의 연결부위에서 감지센서(20)를 통해 공기보다 무거운 염소가스의 누출을 감지하기 위해 결합부(14)가 배기파이프(1)의 하부에 배치되도록 장착된다.
이와는 달리, 불소가스(F2)는 공기보다 가볍기 때문에 배기파이프(1)의 연결부위에서 누출된 후 하우징(10)과 결합부(14)를 경유하여 외부로 배출되게 된다. 이를 위해서, 하우징은 배기파이프(1)의 연결부위에서 감지센서(20)를 통해 공기보다 가벼운 염소가스의 누출을 감지하기 위해 결합부(14)가 배기파이프(1)의 상부에 배치되도록 장착된다.
감지센서(20)는 하우징(10)의 결합부(14)에 수용 결합되도록 마련된다. 즉, 감지센서([0036] 20)는 하우징(10)의 마련된 결합부(14)에 수용 결합되며 배기파이프(1)의 연결부위에서 누출되어 결합부(14)를 통해 배출통로(16)로 배출되는 염소가스(CL2) 또는 불소가스(F2)의 누출을 감지한 후 감지신호를 출력하는 역할을 담당한다.
여기서 감지센서(20)를 이용하여 염소가스(CL2) 또는 불소가스(F2)의 누출을 감지하고 감지신호를 출력하는 것은 본 발명의 출원 전에 당업자에 의해 염소가스(CL2) 또는 불소가스(F2)의 누출 감지시스템 분야에서 널리 적용되어 있는 공지된 기술로써 이에 대한 설명은 생략하기로 한다.
가스농도 측정단말기(30)는 감지센서(20)와 전기적으로 연결되도록 마련된다. 즉, 가스농도 측정단말기(30)는감지센서(20)로부터 출력되는 감지신호에 따라 염소가스(CL2) 또는 불소가스(F2)의 농도를 측정하여 출력하는역할을 담당한다.
이를 위해서, 가스농도 측정단말기(30)는 그 내부에 감지센서(20)로부터 출력되는 감지신호에 따라 염소가스(CL2) 또는 불소가스(F2)의 농도를 측정할 수 있도록 다수의 회로기판이 마련되고 표면에 측정된 농도를 출력하도록 디스플레이부가 마련된다.
즉, 가스농도 측정단말기(30)의 회로기판에는 감지센서(20)로부터 출력되는 감지신호에 따라 염소가스(CL2) 또는 불소가스(F2)의 농도를 측정하여 출력할 수 있도록 염소가스(CL2) 또는 불소가스(F2)의 농도 값이 기 저장된다.
여기서 가스농도 측정단말기(30)를 이용하여 염소가스(CL2) 또는 불소가스(F2)의 농도를 기 저장된 정보와 측정하고 감지센서(20)의 감지신호에 맞는 농도 값을 출력하는 것은 본 발명의 출원 전에 당업자에 의해 염소가스(CL2) 또는 불소가스(F2)의 누출 감지시스템 분야에서 널리 적용되어 있는 공지된 기술로써 이에 대한 설명은 생략하기로 한다.
또한, 가스농도 측정단말기(30)는 염소가스(CL2) 또는 불소가스(F2)의 농도를 측정하여 출력시 경보음을 발생하도록 내부에 경보음 발생부(32)가 마련된다. 이러한 경보음 발생부(32)는 가스농도 측정단말기(30)에 마련된 회로기판의 제어에 따라 경보음을 발생하게 된다. 이때, 경보음은 일정시간 동안 연속적으로 발생하거나 또는 정해진 시간에 따라 주기적으로 발생하도록 마련될 수 있다.
발광신호 출력부(40)는 가스농도 측정단말기(30)와 전기적으로 연결되도록 마련된다. 즉, 발광신호 출력부(40)는 가스농도 측정단말기(30)의 농도 출력시 발광 신호를 출력하도록 마련된다. 이때, 발광신호 출력부(40)는 경광등으로 마련될 수 있다.
이러한 발광신호 출력부(40)는 가스농도 측정단말기(30)에 마련된 회로기판의 제어에 따라 발광신호를 출력하게 된다.
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 누출 측정장치의 작동과정을 작용을 설명한다.
본 실시예의 가스 누출 측정장치는 도 6에 도시된 바와 같이, 진공펌프로부터 배출되는 염소가스(CL2) 또는 불소가스(F2)의 누출을 감지하기 위하여 배기파이프(1)의 연결부위에 탈부착 가능하게 장착된다. 즉, 가스 누출 측정장치에 마련된 하우징(10)은 배기파이프(1)의 연결부위에 클램프(3)의 일부를 감싸도록 탈부착 가능하게 장착되고 감지센서(20)는 하우징(10)에 마련된 결합부(14)에 수용 결합되며 가스농도 측정단말기(30)는 감지센서(20)와 전기적으로 연결되고 발광신호 출력부(40)는 가스농도 측정단말기(30)와 전기적으로 연결되게 된다.
이때, 하우징(10)은 배기파이프(1)의 연결부위를 결속하는 클램프(3)를 해제하지 않고서도 설치 가능하고 배기파이프(1)의 연결부위에 탈부착 가능하게 장착되도록 소형화됨으로써 협소한 공간에서도 설치 및 해체가 용이할 수 있게 된다.
상기와 같이 가스 누출 측정장치가 배기파이프(1)의 연결부위에 설치되고 염소가스(CL2) 또는 불소가스(F2)가 진공펌프의 작동에 의해 배기파이프(1)를 따라 배출되게 된다.
상기와 같은 가스의 배출과정에서 배기파이프(1)의 연결부위로부터 염소가스(CL2) 또는 불소가스(F2)가 누출되면, 염소가스(CL2)는 공기보다 무겁기 때문에 배기파이프(1)의 연결부위에서 누출된 후 하우징(10)에 마련된 결합부(14)와 배출통로(16)를 통해 배출되게 된다. 이때, 감지센서(20)가 결합된 결합부(14)는 염소가스(CL2)의 누출을 감지하도록 배기파이프(1)의 하부영역에 배치된다.
이와는 달리, 불소가스(F2)는 공기보다 가볍기 때문에 배기파이프(1)의 연결부위에서 [0050] 누출된 후 하우징(10)에 마련된 결합부(14)와 배출통로(16)를 통해 배출되게 된다. 이때, 감지센서(20)가 결합된 결합부(14)는 불소가스(F2)의 누출을 감지하도록 배기파이프(1)의 상부영역에 배치된다.
이때, 감지센서(20)는 염소가스(CL2) 또는 불소가스(F2)의 누출을 감지하여 감지신호를 출력하고 가스농도 측정단말기(30)는 감지센서(20)의 감지신호에 따라 염소가스(CL2)또는 불소가스(F2)의 농도를 측정하여 출력함과 동시에 경보음 발생부(32)를 통해 경보음을 발생하며 발광신호 출력부(40)는 가스농도 측정단말기(30)의 농도 출력시 발광 신호를 출력하게 된다.
이에 따라, 관리자는 진공펌프에 설치된 배기파이프(1)의 연결부위에서 염소가스(CL2) 또는 불소가스(F2)의 누출을 용이하게 확인할 수 있게 되는 것이다.
이상 설명한 바와 같이, 본 실시예의 가스 누출 측정장치는, 유해가스를 배출하는 진공펌프의 배기파이프(1)의 연결부위에 설치되어 염소가스(CL2) 또는 불소가스(F2)의 누출시 이를 실시간으로 감지하고 측정하여 육안으로 확인할 수 있도록 출력함과 동시에 경보음 및 발광 신호를 출력하여 관리자에게 알려줌으로써, 진공펌프의 배기라인 상에서 염소가스(CL2) 또는 불소가스(F2)의 누출에 용이하게 확인할 수 있다.
또한, 본 실시예의 가스 누출 측정장치는, 하우징(10)이 배기파이프(1)의 연결부위에 클램프(3)를 감싸도록 탈부착 가능하게 장착됨으로써, 기존 배기파이프(1)의 연결부위를 결속하는 클램프(3)를 해제하지 않고서도 설치가능하고 협소한 공간에서도 설치 및 해체가 용이할 수 있다.
앞에서, 본 발명의 특정한 실시예가 설명되고 도시되었지만 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 일이다. 따라서, 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 기술적 사상이나 관점으로부터 개별적으로 이해되어서는 안 되며, 변형된 실시예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
10: 하우징
12: 장착부재
14: 결합부
16: 배출통로
20: 감지센서
30: 가스농도 측정단말기
32: 경보음 발생부
40: 발광신호 출력부

Claims (1)

  1. 진공펌프로부터 배출되는 유해가스의 배출을 안내하도록 서로 연결되되 연결부위에 고무링이 설치된 후 클램프에 의해 결속되는 배기파이프의 연결부위에 설치되어 가스의 누출을 측정하는 것으로서,상기 클램프의 일부를 감싸도록 형성되며 상기 배기파이프의 연결부위에 탈부착 가능하게 장착되는 하우징; 상기 하우징의 둘레에 결합되며 상기 배기파이프의 연결부위에서 배출되는 염소가스 또는 불소가스의 누출을 감지한 후 감지신호를 출력하도록 마련되는 감지센서; 상기 감지센서의 감지신호에 따라 염소가스 또는 불소가스의 농도를 측정하여 출력하고 경보음을 발생하도록 마련되는 가스농도 측정단말기; 및 상기 가스농도 측정단말기의 농도 출력시 발광 신호를 출력하도록 마련되는 발광신호 출력부를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 누출 측정장치.
KR1020180139527A 2018-11-14 2018-11-14 경보음 발생 기능과 발광신호 출력기능을 겸비한 가스 누출 측정장치 KR20200055889A (ko)

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