KR20200053072A - 유기 기상젯 프린터 및 그것을 이용한 유기막 형성 방법 - Google Patents

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KR20200053072A
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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 유기 기상젯 프린터는 다수의 노즐이 일 열로 배열된 제1노즐열과, 다수의 노즐이 이 제1노즐열의 노즐들에 비해 노즐 직경을 넘지 않는 범위 내에서 소정 간격 어긋나게 쉬프트되어 배치된 제2노즐열을 포함하는 분사부를 포함한다.

Description

유기 기상젯 프린터 및 그것을 이용한 유기막 형성 방법 {Organic vapor jet printer and organic film forming method using the same}
본 발명의 실시예들은 증기상의 유기물을 노즐을 통해 대상체 표면에 분사하여 박막을 형성하는 유기 기상젯 프린터 및 그것을 이용한 유기막 형성 방법에 관한 것이다.
예컨대 유기 발광 표시 장치의 발광층 형성과 같은 박막 제조 공정에는 대상체 표면으로 증기상의 유기물을 분사하여 원하는 형태의 박막을 형성하는 유기 기상젯 프린팅(Organic vapor jet printing) 공정이 많이 이용된다. 즉, 대상체인 기판의 소정 위치에 증기상의 유기물을 분사함으로써 기판 상에 원하는 패턴의 유기막이 인쇄되게 하는 것이다.
그런데, 이와 같은 유기 기상젯 프린팅 공정으로 형성된 유기막의 두께 프로파일을 보면, 대부분 중심부가 뾰족하고 가장자리로 갈수록 두께가 줄어드는 가우시안 형태를 띠는 것을 확인할 수 있다. 즉, 유기물이 분사되는 노즐의 중심에 해당하는 부위에는 유기막이 두껍게 형성되고 가장자리에 해당되는 부위에는 상대적으로 유기막이 얇게 형성되어 이러한 가우시안 형태의 두께 프로파일이 형성되는 것이다. 이렇게 되면, 중심부와 가장자리의 유기막 특성에 편차가 심해지기 때문에 유기 발광 표시 장치의 발광층으로서의 특성도 쉽게 열화될 수 있다.
본 발명의 실시예들은 인쇄되는 유기막의 두께 프로파일을 평평하게 만들 수있도록 개선된 유기 기상젯 프린터 및 그것을 이용한 유기막 형성 방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시예는 증기상의 유기물을 수용하는 프린터 본체와, 상기 증기상의 유기물을 제1방향으로 상대이동하는 대상체를 향해 분사하는 분사부를 포함하며, 상기 분사부는 다수의 노즐이 상기 제1방향과 수직인 제2방향을 따라 배치된 제1노즐열과, 다수의 노즐이 상기 제1노즐열의 노즐들에 비해 상기 제2방향으로 소정 간격 쉬프트되어 상기 노즐들의 직경을 넘지 않는 범위 내에서 어긋나게 배치된 제2노즐열을 포함하는 유기 기상젯 프린터를 제공한다.
상기 소정 간격은 상기 제1노즐열의 노즐 중심과 상기 제2노즐열의 노즐 중심 간의 어긋난 거리를 나타낼 수 있다.
상기 소정 간격을 d, 상기 노즐들의 직경을 D라고 하면, 0.6D ≤ d ≤ 0.7D 를 만족할 수 있다.
상기 소정 간격을 d, 상기 노즐들의 직경을 D라고 하면, d = 0.65D를 만족할 수 있다.
상기 제1노즐열의 노즐들에 비해 상기 제2노즐열과 반대방향으로 소정 간격 쉬프트되어 상기 노즐들의 직경을 넘지 않는 범위 내에서 어긋나게 배치된 제3노즐열을 더 포함할 수 있다.
상기 소정 간격은 상기 제1노즐열의 노즐 중심과 상기 제2노즐열의 노즐 중심 간의 어긋난 거리 및, 상기 제1노즐열의 노즐 중심과 상기 제3노즐열의 노즐 중심 간의 어긋난 거리를 나타낼 수 있다.
상기 소정 간격을 d, 상기 노즐들의 직경을 D라고 하면, 0.6D ≤ d ≤ 0.7D 를 만족할 수 있다.
상기 소정 간격을 d, 상기 노즐들의 직경을 D라고 하면, d = 0.65D 를 만족할 수 있다.
상기 프린터 본체에는 유기물이 담긴 도가니와, 상기 유기물이 증기상이 되도록 상기 도가니를 가열하는 히터 및, 상기 증기상의 유기물을 상기 분사부로 수송하는 캐리어 기체의 이동경로인 송풍로가 구비될 수 있다.
상기 히터는 상기 프린터 본체의 외부와 상기 도가니 중 어느 하나에 감긴 열선을 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예는 대상체의 상대이동 방향인 제1방향과 수직인 제2방향을 따라 다수의 노즐이 배치된 제1노즐열과, 다수의 노즐이 상기 제1노즐열의 노즐들에 비해 상기 제2방향으로 소정 간격 쉬프트되어 상기 노즐들의 직경을 넘지 않는 범위 내에서 어긋나게 배치된 제2노즐열을 포함하는 분사부를 가진 유기 기상젯 프린터를 준비하는 단계; 대상체를 상기 제1방향으로 상대이동시키는 단계; 및 상기 대상체에 상기 제1노즐열과 상기 제2노즐열에서 증기상의 유기물을 분사하여 유기막을 형성하는 단계;를 포함하는 유기막 형성 방법을 제공한다.
상기 소정 간격은 상기 제1노즐열의 노즐 중심과 상기 제2노즐열의 노즐 중심 간의 어긋난 거리를 나타낼 수 있다.
상기 소정 간격을 d, 상기 노즐들의 직경을 D라고 하면, 0.6D ≤ d ≤ 0.7D 를 만족하게 할 수 있다.
상기 소정 간격을 d, 상기 노즐들의 직경을 D라고 하면, d = 0.65D를 만족하게 할 수 있다.
상기 유기 기상젯 프린터에 상기 제1노즐열의 노즐들에 비해 상기 제2노즐열과 반대방향으로 소정 간격 쉬프트되어 상기 노즐들의 직경을 넘지 않는 범위 내에서 어긋나게 배치된 제3노즐열을 준비하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 소정 간격은 상기 제1노즐열의 노즐 중심과 상기 제2노즐열의 노즐 중심 간의 어긋난 거리 및, 상기 제1노즐열의 노즐 중심과 상기 제3노즐열의 노즐 중심 간의 어긋난 거리를 나타낼 수 있다.
상기 소정 간격을 d, 상기 노즐들의 직경을 D라고 하면, 0.6D ≤ d ≤ 0.7D 를 만족하게 할 수 있다.
상기 소정 간격을 d, 상기 노즐들의 직경을 D라고 하면, d = 0.65D를 만족하게 할 수 있다.
상기 유기 기상젯 프린터에 유기물이 담긴 도가니와, 상기 유기물이 증기상이 되도록 상기 도가니를 가열하는 히터 및, 상기 증기상의 유기물을 상기 분사부로 수송하는 캐리어 기체의 이동경로인 송풍로를 준비하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 히터는 상기 유기 기상젯 프린터의 외부와 상기 도가니 중 어느 하나에 감긴 열선을 포함할 수 있다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.
본 발명의 실시예에 따른 유기 기상젯 프린터 및 그것을 이용한 유기막 형성 방법에 의하면, 인쇄되는 유기막의 두께 프로파일을 가우시안 형상이 아닌 평평한 형상으로 개선할 수 있게 되므로, 이를 사용하면 특히 유기 발광 표시 장치의 발광층과 같이 중앙부에 평탄한 프로파일이 요구되는 제품의 품질을 대폭 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 관한 유기 기상젯 프린터의 구조를 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 유기 기상젯 프린터의 분사부를 도시한 평면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 분사부에 의한 유기막의 두께 프로파일을 종래의 분사부와 비교하여 도시한 평면도 및 그래프이다.
도 4는 도 2에 도시된 분사부에 의한 유기막의 두께 프로파일이 노즐열 간 쉬프트된 간격 정도에 따라 변하는 추이를 보인 그래프이다.
도 5는 도 1에 도시된 유기 기상젯 프린터의 분사부의 변형 가능한 예를 도시한 평면도이다.
도 6은 도 1에 도시된 유기 기상젯 프린터로 제조할 수 있는 대상체의 예로서 유기 발광 표시장치의 구조를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 7은 도 1에서 분사부를 확대하여 복수의 유기막이 패터닝되는 상황을 보인 사시도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 기상젯 프린터의 구조를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도시된 바와 같이 본 실시예에 따른 유기 기상젯 프린터(100)는, 프린터 본체(110)와, 유기물(10)이 담기도록 본체(110) 안에 설치된 도가니(120)와, 상기 유기물(10)이 증기상이 되도록 가열하는 히터(140)와, 이 증기상의 유기물(15)을 대상체(30)를 향해 분사하는 분사부(130) 및, 상기 증기상의 유기물(15)을 분사부(130)로 수송해주는 캐리어 기체(20)의 이동경로인 송풍로(111) 등을 구비하고 있다.
따라서, 히터(140)에 의해 도가니(120) 안에 담긴 유기물(10)이 가열되어 증기상이 되면, 상기 캐리어 기체(20)가 그 증기상의 유기물(15)을 송풍로(111)를 따라 운반하게 되고, 최종적으로 증기상의 유기물(15)이 상기 분사부(130)를 통해 분사되면서 대상체(30) 표면에 유기막(32b)이 형성되는 것이다. 상기 히터(140)는 프린터 본체(110) 외벽 또는 도가니(120)에 감긴 열선으로 구성될 수 있다.
유기막(32b)을 형성할 때 상기 대상체(30)는 도면의 X축 방향(이하 제1방향이라 함)을 따라 이동하게 되는데, 도 1처럼 대상체(30)가 이동할 수도 있고 반대로 유기 기상젯 프린터(100)가 이동할 수도 있다. 즉, 상대 이동한다.
한편, 상기 분사부(130)는 도 2에 도시된 바와 같이 도면의 Y축 방향 즉, 대상체(30)의 이동방향인 제1방향과 수직인 제2방향을 따라 다수의 노즐들(131a)(131b)이 배열된 제1노즐열(L1)과 제2노즐열(L2)을 구비하고 있다.
상기 제1노즐열(L1)의 노즐들(131a)과 제2노즐열(L2)의 노즐들(131b)은 같은 직경(D)을 가지며, 소정 간격(d)만큼 서로 어긋나도록 쉬프트되어 있다. 즉, 제1노즐열(L1)에는 D직경을 가진 다수의 노즐들(131a)이 일정 인터벌을 두고 배치되어 있고, 제2노즐열(L2)에도 D직경을 가진 다수의 노즐들(131b)이 같은 인터벌을 두고 배치되어 있는데, 이들이 같은 줄에 나란히 배치된 것이 아니라 제2노즐열(L2)의 노즐들(131b)이 제2방향(Y축 방향)으로 간격 d만큼 쉬프트되어 약간 어긋나게 배치되어 있는 것이다.
여기서, 상기 소정 간격(d)은 서로 인접한 제1노즐열(L1)의 노즐(131a) 중심과 제2노즐열(L2)의 노즐(131b) 중심 간의 어긋난 거리를 나타낸다. 이 간격 d는 상기 노즐들(131a)(131b)의 직경 D보다 작게 형성되며, 바람직하게는 직경 D의 0.6~0.7배, 최적으로는 직경 D의 0.65배로 형성하는 것이 바람직하다.
이렇게 제1노즐열(L1)의 노즐들(131a)과 제2노즐열(L2)의 노즐들(131b)을 간격 d만큼 어긋나게 배치하는 이유는, 이 배치에 의해 유기막의 두께 프로파일을 평평하게 개선할 수 있기 때문이다. 즉, 제1노즐열(L1)의 노즐들(131a)에서 분사되어 형성되는 가우시안 형태의 두께 프로파일과, 제2노즐열(L2)의 노즐들(131b)에서 분사되어 형성되는 가우시안 형태의 두께 프로파일이 d만큼의 간격을 두고 겹쳐지게 하면, 중앙이 뾰족한 두께 프로파일을 평평한 형상으로 개선할 수 있게 된다.
도 3은 이러한 두께 프로파일 개선 효과를 보인 것으로, 도면의 좌측은 단일 열(L1)의 노즐들(131a)만 있는 분사부(130')로 유기막(35b')을 형성하는 종래의 방식을 보인 것이고, 도면의 우측이 제1,2노즐열(L1)(L2)을 어긋나게 배치한 분사부(130)로 유기막(32b)을 형성하는 본 실시예의 방식을 보인 것이다.
먼저, 좌측의 종래 방식에서는 각 노즐(131a)마다 중앙부가 뾰족한 가우시안 형상의 두께 프로파일이 만들어지게 되어, 평평한 프로파일을 구현하지 못하게 된다.
그러나, 우측의 본 실시예의 방식에서는 제1,2노즐열(L1)(L2)의 노즐들(131a)(131b)에서 분사되어 형성되는 각 가우시안 형상의 두께 프로파일이 d만큼의 간격을 두고 겹쳐지면서 결과적으로 중앙이 평평한 소위 반치폭(Full Width at Half Maximum) 형상의 유기막(32b)이 형성된다. 따라서, 위치에 따른 특성 편차가 줄어들게 되어 유기막(32b)의 열화를 억제할 수 있게 되며, 특히 중앙부에 평평한 프로파일이 요구되는 유기 발광 표시 장치의 발광층의 패터닝에 유용하게 활용될 수 있게 된다.
시뮬레이션 결과에 의하면 도 4의 (c)에 도시된 바와 같이 쉬프트되는 소정 간격 d가 노즐 직경 D의 0.65배일 때 가우시안 형상의 뾰족한 중앙부가 거의 평탄화되는 것으로 나타난다.
그러나, (a)와 같이 소정 간격 d가 노즐 직경 D의 절반 수준으로 너무 좁혀지거나, (d)와 같이 노즐 직경 D의 0.7배보다도 더 커지기 시작하면 가우시안 형상의 뾰족한 중앙부가 다시 나타나게 된다. 따라서 노즐 직경 D의 0.7배를 넘지 않도록 하는 것이 바람직하고, 아무리 커도 노즐 직경 D보다는 작아야 한다.
반대로, 소정 간격 d가 너무 좁아져도 사실 상 그대로 중첩이 되어 쉬프트에 의한 겹침 효과가 사라지기 때문에, 도 4의 (b)에 보인 노즐 직경 D의 0.6배 아래로는 내려가지 않는 것이 좋다.
따라서, 이러한 구성의 분사부(130)를 이용하여 두께 프로파일을 평탄하게 개선할 수 있다.
이와 같은 유기 기상젯 프린터(100)를 이용한 유기막(32b) 형성 과정은 뒤에서 다시 정리하기로 하고, 그 전에 이 프린터(100)로 인쇄할 수 있는 대상체(30)의 예를 간략히 소개하기로 한다.
도 6은 본 발명의 유기 기상젯 프린터를 이용하여 박막을 인쇄할 수 있는 대상체(30)의 예로서 상기 유기 발광 표시 장치의 구조를 도시한 도면이다.
도면을 참조하면, 베이스판(30a)상에 버퍼층(33)이 형성되어 있고, 이 버퍼층(33) 위에 박막트랜지스터(31)와 유기 발광 소자(32)가 형성되어 있다.
박막트랜지스터(31)는 활성층(31a)과, 이 활성층(31a)을 덮도록 형성된 게이트 절연막(34)과, 게이트 절연막(34) 상부의 게이트 전극(31b)을 갖는다.
게이트 전극(31b)을 덮도록 층간 절연막(35)이 형성되며, 층간 절연막(35)의 상부에 소스전극(31c) 및 드레인 전극(31d)이 형성된다.
소스전극(31c) 및 드레인 전극(31d)은 게이트 절연막(34) 및 층간 절연막(35)에 형성된 컨택홀에 의해 활성층(31a)의 소스 영역 및 드레인 영역에 각각 접촉된다.
그리고, 상기 드레인 전극(31d)에 유기 발광 소자(32)의 화소전극(32a)이 연결된다. 화소전극(32a)은 평탄화막(36) 상부에 형성되어 있으며, 이 화소전극(32a) 위에 서브화소 영역을 구획하는 화소정의막(Pixel defining layer: 37)이 형성된다. 그리고, 이 화소정의막(37)의 개구부에 유기 발광 소자(32)의 발광층(32b)이 형성되고, 이들 상부에 대향전극(32c)이 증착된다. 즉, 화소정의막(37)으로 둘러싸인 개구부가 적색화소(R), 녹색화소(G), 및 청색화소(B)와 같은 한 서브화소의 영역이 되며, 그 안에 해당 색상의 발광층(32b)이 형성되는 것이다. 여기서는 하나의 서브화소를 도시한 것이고, 실제 디스플레이부에는 이러한 서브화소들이 행과 열의 방향으로 다수개가 배치되어 있다고 보면 된다.
이와 같은 유기 발광 표시 장치의 박막들을 상기한 유기 기상젯 프린터로 인쇄하여 형성할 수 있으며, 예컨대 상기 발광층(32b)에 대응하는 위치에 잉크를 분사하면 원하는 패턴의 발광층(32b)을 형성할 수 있다. 도 1의 유기막(32b)은 이 발광층(32b)을 형성하는 경우를 예시한 것이라 같은 번호를 사용했다.
이제 상기한 유기 기상젯 프린터(100)를 이용한 유기막(32b) 인쇄 과정을 도 1 및 도 7을 참조하여 설명하기로 한다. 도 7은 도 1에서 분사부(130)와 유기막(32b)을 확대하여 제1,2노즐열(L1)(L2)의 노즐들(131a)(131b)을 통해 복수의 유기막(32b)이 동시에 패터닝되는 상황을 묘사한 것이다.
전술한 바대로 유기막(32b)을 인쇄하는 동안 대상체(30)는 제1방향(X축 방향)으로 이동한다. 이때 대상체(30)가 움직일 수도 있고 유기 기상젯 프린터(100)가 이동할 수도 있는데, 여기서는 도 7와 같이 대상체(30)가 안착된 스테이지(200)가 이동한다. 패터닝 작업 중 스테이지(200)는 냉각 상태를 유지한다.
그리고 상기 유기 기상젯 프린터(100)에서는 히터(140)에 의해 도가니(120)에서 기체화된 증기상의 유기물(15)이 캐리어 기체(20)와 함께 송풍로(111)를 따라 분사부(130)로 보내지게 되며, 상기 제1,2노즐열(L1)(L2)의 노즐들(131a)(131b)을 통해 대상체(30)로 분사된다.
분사된 증기상의 유기물(15)은 도 3의 우측 그림에 도시된 바와 같이 반치폭 형상의 두께 프로파일을 형성하면서 유기막(32b)을 형성하게 된다.
따라서, 노즐들(131a)(131b)이 간격 d만큼 쉬프트된 제1,2노즐열(L1)(L2)을 통해 유기막(32b)을 형성함으로써, 중앙이 뾰족한 두께 프로파일을 평탄하게 개선하여 위치에 따른 특성 편차를 줄일 수 있게 되며, 궁극적으로 이 유기막(32b)이 채용되는 제품의 신뢰도를 향상시킬 수 있게 된다.
한편, 전술한 실시예에서는 제1,2노즐열(L1)(L2)이 구비된 분사부(130)를 예시하였는데, 도 5에 도시된 바와 같이 제1,2,3노즐열(L1)(L2)(L3)이 구비된 분사부(130)로 변형할 수도 있다.
즉, 분사부(130)가 제1노즐열(L1)을 기준으로 제2노즐열(L2)과는 반대 방향으로 간격 d만큼 노즐들(131c)이 쉬프트된 제3노즐열(L3)을 더 구비한 것이다. 이때에도 마찬가지로 간격 d는 상기 노즐들(131a)(131b)(131c)의 직경 D보다 작게 형성되며, 바람직하게는 직경 D의 0.6~0.7배, 최적으로는 직경 D의 0.65배로 형성된다.
이렇게 하면, 제1,2,3노즐열(L1)(L2)(L3)의 세 유기막이 쉬프트되어 겹치면서, 제1,2노즐열(L1)(L2)의 두 유기막이 쉬프트되어 겹치는 전술한 실시예의 경우보다 더 평탄한 두께 프로파일을 만들 수 있게 되며, 결과적으로 위치에 따른 특성 편차를 더 줄일 수 있게 된다.
즉, 제1,2노즐열(L1)(L2)의 2열로 노즐을 배치하는 경우에 한정되는 것이 아니고, 필요에 따라 3열 이상으로 노즐 배치를 늘일 수도 있음을 보인 것이다. 다만, 분사부(130)의 제한된 영역 안에서 노즐열을 무한정 늘일 수는 없으므로, 적정한 규모를 선택하면 되며, 위에 설명한 실시예들처럼 2열 또는 3열 정도의 노즐열이면 충분한 두께 프로파일 개선 효과를 얻을 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같은 유기 기상젯 프린터 및 그것을 이용한 유기막 형성 방법을 이용하면, 인쇄되는 유기막의 두께 프로파일을 가우시안 형상이 아닌 평평한 형상으로 개선할 수 있게 되므로, 이를 사용하면 특히 유기 발광 표시 장치의 발광층과 같이 중앙부에 평탄한 프로파일이 요구되는 제품의 품질이 대폭 향상될 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
10: 유기물 15: 증기상 유기물
20: 캐리어 기체 30: 대상체
100: 유기 기상젯 프린터 110: 프린터 본체
111: 송풍로 120: 도가니
130: 분사부 131a,131b,131c: 노즐
140: 히터 L1,L2,L3: 제1,2,3노즐열

Claims (20)

  1. 증기상의 유기물을 수용하는 프린터 본체와,
    상기 증기상의 유기물을 제1방향으로 상대이동하는 대상체를 향해 분사하는 분사부를 포함하며,
    상기 분사부는 다수의 노즐이 상기 제1방향과 수직인 제2방향을 따라 배치된 제1노즐열과,
    다수의 노즐이 상기 제1노즐열의 노즐들에 비해 상기 제2방향으로 소정 간격 쉬프트되어 상기 노즐들의 직경을 넘지 않는 범위 내에서 어긋나게 배치된 제2노즐열을 포함하는 유기 기상젯 프린터.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 소정 간격은 상기 제1노즐열의 노즐 중심과 상기 제2노즐열의 노즐 중심 간의 어긋난 거리를 나타내는 유기 기상젯 프린터.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 소정 간격을 d, 상기 노즐들의 직경을 D라고 하면, 0.6D ≤ d ≤ 0.7D를 만족하는 유기 기상젯 프린터.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 소정 간격을 d, 상기 노즐들의 직경을 D라고 하면, d = 0.65D를 만족하는 유기 기상젯 프린터.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1노즐열의 노즐들에 비해 상기 제2노즐열과 반대방향으로 소정 간격 쉬프트되어 상기 노즐들의 직경을 넘지 않는 범위 내에서 어긋나게 배치된 제3노즐열을 더 포함하는 상기 유기 기상젯 프린터.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 소정 간격은 상기 제1노즐열의 노즐 중심과 상기 제2노즐열의 노즐 중심 간의 어긋난 거리 및, 상기 제1노즐열의 노즐 중심과 상기 제3노즐열의 노즐 중심 간의 어긋난 거리를 나타내는 유기 기상젯 프린터.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 소정 간격을 d, 상기 노즐들의 직경을 D라고 하면, 0.6D ≤ d ≤ 0.7D 를 만족하는 유기 기상젯 프린터.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 소정 간격을 d, 상기 노즐들의 직경을 D라고 하면, d = 0.65D를 만족하는 유기 기상젯 프린터.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 프린터 본체에는 유기물이 담긴 도가니와, 상기 유기물이 증기상이 되도록 상기 도가니를 가열하는 히터 및, 상기 증기상의 유기물을 상기 분사부로 수송하는 캐리어 기체의 이동경로인 송풍로가 구비된 유기 기상젯 프린터.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 히터는 상기 프린터 본체의 외부와 상기 도가니 중 어느 하나에 감긴 열선을 포함하는 유기 기상젯 프린터.
  11. 대상체의 상대이동 방향인 제1방향과 수직인 제2방향을 따라 다수의 노즐이 배치된 제1노즐열과, 다수의 노즐이 상기 제1노즐열의 노즐들에 비해 상기 제2방향으로 소정 간격 쉬프트되어 상기 노즐들의 직경을 넘지 않는 범위 내에서 어긋나게 배치된 제2노즐열을 포함하는 분사부를 가진 유기 기상젯 프린터를 준비하는 단계;
    대상체를 상기 제1방향으로 상대이동시키는 단계; 및
    상기 대상체에 상기 제1노즐열과 상기 제2노즐열에서 증기상의 유기물을 분사하여 유기막을 형성하는 단계;를 포함하는 유기막 형성 방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 소정 간격은 상기 제1노즐열의 노즐 중심과 상기 제2노즐열의 노즐 중심 간의 어긋난 거리를 나타내는 유기막 형성 방법.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 소정 간격을 d, 상기 노즐들의 직경을 D라고 하면, 0.6D ≤ d ≤ 0.7D 를 만족하게 하는 유기막 형성 방법.
  14. 제 12 항에 있어서,
    상기 소정 간격을 d, 상기 노즐들의 직경을 D라고 하면, d = 0.65D를 만족하게 하는 유기막 형성 방법.
  15. 제 11 항에 있어서,
    상기 유기 기상젯 프린터에 상기 제1노즐열의 노즐들에 비해 상기 제2노즐열과 반대방향으로 소정 간격 쉬프트되어 상기 노즐들의 직경을 넘지 않는 범위 내에서 어긋나게 배치된 제3노즐열을 준비하는 단계를 더 포함하는 유기막 형성 방법.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 소정 간격은 상기 제1노즐열의 노즐 중심과 상기 제2노즐열의 노즐 중심 간의 어긋난 거리 및, 상기 제1노즐열의 노즐 중심과 상기 제3노즐열의 노즐 중심 간의 어긋난 거리를 나타내는 유기막 형성 방법.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 소정 간격을 d, 상기 노즐들의 직경을 D라고 하면, 0.6D ≤ d ≤ 0.7D 를 만족하게 하는 유기막 형성 방법.
  18. 제 16 항에 있어서,
    상기 소정 간격을 d, 상기 노즐들의 직경을 D라고 하면, d = 0.65D를 만족하게 하는 유기막 형성 방법.
  19. 제 11 항에 있어서,
    상기 유기 기상젯 프린터에 유기물이 담긴 도가니와, 상기 유기물이 증기상이 되도록 상기 도가니를 가열하는 히터 및, 상기 증기상의 유기물을 상기 분사부로 수송하는 캐리어 기체의 이동경로인 송풍로를 준비하는 단계를 더 포함하는 유기막 형성 방법.
  20. 제 19 항에 있어서,
    상기 히터는 상기 유기 기상젯 프린터의 외부와 상기 도가니 중 어느 하나에 감긴 열선을 포함하는 유기막 형성 방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1058691A (ja) * 1996-06-27 1998-03-03 Samsung Electron Co Ltd インクジェットプリンタの噴射装置及び噴射方法
KR20060135265A (ko) * 2005-06-24 2006-12-29 삼성전자주식회사 디스플레이 제조용 잉크제트 프린터

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