KR20200049323A - 비파괴 검사용 솔레노이드 - Google Patents

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KR20200049323A
KR20200049323A KR1020180132445A KR20180132445A KR20200049323A KR 20200049323 A KR20200049323 A KR 20200049323A KR 1020180132445 A KR1020180132445 A KR 1020180132445A KR 20180132445 A KR20180132445 A KR 20180132445A KR 20200049323 A KR20200049323 A KR 20200049323A
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한국원자력연구원
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Abstract

본 발명의 한 실시예에 따른 비파괴 검사용 솔레노이드는 전자빔을 방출하는 전자총, 전차총의 일측에 위치하고 제1 방향으로 뻗고 전자빔이 입사되어 가속되는 가속관, 가속관을 둘러싸며 위치하는 솔레노이드, 그리고 솔레노이드의 구동을 제어하는 제어부를 포함하고, 솔레노이드는 가속관의 일측 상부에 위치하고 원호(Circular Arc) 형상을 가지는 제1 블록, 가속관의 일측 하부에 위치하고 원호 형상을 가지는 제2 블록, 가속관의 타측 상부에 위치하고 제1 방향과 교차하는 방향인 제2 방향으로 제1 블록부와 대향하며 위치하고 원호 형상을 가지는 제3 블록, 그리고 가속관의 타측 하부에 위치하고 제2 방향으로 제2 블록부와 대향하며 위치하고 원호 형상을 가지는 제4 블록을 포함한다.

Description

비파괴 검사용 솔레노이드{SOLENOID FOR NONDESTRUCTIVE INSPECTION}
비파괴 검사용 솔레노이드가 제공된다.
비파괴 검사장치는 전자기의 원리를 이용하여 하전 입자를 인공적으로 가속하는 전자가속기를 포함한다. 전자가속기는 가속관 내의 솔레노이드를 포함하고 가속관 내로 전자기장을 생성하여 전자빔을 집속시킬 수 있다. 최근에는 전자빔의 방향 및 위치를 보정하기 위한 솔레노이드가 개발되고 있으나, 전자빔의 위치 변경이 어려워 전자빔 제어의 정밀도가 낮을 수 있다.
따라서, 전자빔의 방향 및 위치를 정밀하게 제어할 수 있는 비파괴 검사용 솔레노이드의 기술개발이 요구되고 있다.
관련 선행문헌으로, 한국등록특허 1,810,473 는 "플랜지, 전자빔 가속장치 및 이를 이용한 방사선원 시스템"을 개시한다.
한국등록특허 1,810,473
본 발명의 한 실시예는 설정된 위치에 부분적 또는 전체적으로 전자빔을 집속시키고 비파괴 검사장치의 분해능을 높이기 위한 것이다.
본 발명의 한 실시예는 전자빔의 위치를 360도 방향으로 제어하기 위한 것이다.
상기 과제 이외에도 구체적으로 언급되지 않은 다른 과제를 달성하는 데 본 발명에 따른 실시예가 사용될 수 있다.
본 발명의 한 실시예에 따른 비파괴 검사용 솔레노이드는 전자빔을 방출하는 전자총, 전차총의 일측에 위치하고 제1 방향으로 뻗고 전자빔이 입사되어 가속되는 가속관, 가속관을 둘러싸며 위치하는 솔레노이드, 그리고 솔레노이드의 구동을 제어하는 제어부를 포함하고, 솔레노이드는 가속관의 일측 상부에 위치하고 원호(Circular Arc) 형상을 가지는 제1 블록, 가속관의 일측 하부에 위치하고 원호 형상을 가지는 제2 블록, 가속관의 타측 상부에 위치하고 제1 방향과 교차하는 방향인 제2 방향으로 제1 블록부와 대향하며 위치하고 원호 형상을 가지는 제3 블록, 그리고 가속관의 타측 하부에 위치하고 제2 방향으로 제2 블록부와 대향하며 위치하고 원호 형상을 가지는 제4 블록을 포함한다.
본 발명의 한 실시예는 가속관을 둘러싸고 있는 캡슐형 형상의 솔레노이드를 이용하여 솔레노이드를 개별 구동 또는 통합 구동하여 전자빔의 집속 제어의 정밀성을 높일 수 있다.
본 발명의 한 실시예는 360도 전방향으로 전자빔의 위치를 변경하여 전자빔의 위치를 정밀하게 제어할 수 있다.
도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 비파괴 검사용 솔레노이드의 사용예를 나타내는 사시도이다.
도 2및 도 3은 본 발명의 한 실시예에 따른 비파괴 검사용 솔레노이드를 나타내는 사시도이다.
도 4는 본 발명의 한 실시예에 따른 비파괴 검사용 솔레노이드의 블록을 나타내는 사시도이다.
도 5는 본 발명의 한 실시예에 따른 비파괴 검사용 솔레노이드의 전자빔 제어를 나타내는 사시도이다.
도 6은 본 발명의 한 실시예에 따른 비파괴 검사용 솔레노이드를 나타내는 사시도이다.
첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대해 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 도면부호가 사용되었다. 또한 널리 알려져 있는 공지기술의 경우 그 구체적인 설명은 생략한다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
그러면, 본 발명의 실시예에 따른 비파괴 검사용 솔레노이드에 대하여 설명한다. 도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 비파괴 검사용 솔레노이드의 사용예를 나타내는 사시도이며, 도 2및 도 3은 본 발명의 한 실시예에 따른 비파괴 검사용 솔레노이드를 나타내는 사시도이며, 도 4는 본 발명의 한 실시예에 따른 비파괴 검사용 솔레노이드의 블록을 나타내는 사시도이며, 도 5는 본 발명의 한 실시예에 따른 비파괴 검사용 솔레노이드의 전자빔 제어를 나타내는 사시도이며, 도 6은 본 발명의 한 실시예에 따른 비파괴 검사용 솔레노이드를 나타내는 사시도이다.
도 1을 참고하면, 비파괴 검사용 솔레노이드(1)는 솔레노이드(10), 전자총(20), 가속관(30), 제어부(40)를 포함할 수 있다. 전자총(20)은 전자빔을 방출할 수 있다. 전자총(20)은 x축 방향으로 가속관(30)을 향해 전자빔을 방출할 수 있다. 전자총(20)으로부터 방출된 전자빔은 가속관(30)으로 입사될 수 있다.
가속관(30)은 x축 방향으로 뻗을 수 있다. 가속관(30)은 전자총(20)의 일측에 위치할 수 있다. 가속관(30)은 x축 방향으로 상호 연결된 복수 개의 가속관 셀을 포함할 수 있다. 전자총(20)으로부터 방출된 전자빔은 가속관(30)에 입사되고 고주파 소스에서 인가되는 고주파에 의해 형성된 전기장에 의해 가속관(30) 내부에서 가속될 수 있다.
솔레노이드(10)는 가속관(30)을 둘러싸며 위치할 수 있다. 솔레노이드(10)는 가속관(30) 내부로 전자기장을 생성하여 전자총(20)으로부터 가속관(30)으로 입사된 전자빔을 타겟(50)에 집속시킬 수 있다. 솔레노이드(10)는 전자빔의 방향 및 위치를 조절할 수 있다.
제어부(40)는 솔레노이드(10)와 연결될 수 있다. 제어부(40)는 솔레노이드(10)의 구동을 제어할 수 있다. 제어부(40)는 솔레노이드(10)와 전기적으로 연결되어 솔레노이드(10)가 가속관(30)의 내부의 전기장을 조절할 수 있다. 이하에서는 도 1 내지 도 6을 통해 비파괴 검사용 솔레노이드(1)의 구조를 좀더 상세하게 설명한다.
도 2를 참고하면, 솔레노이드(10)는 원통형 형상을 가질 수 있다. 솔레노이드(10)는 복수 개로 각각의 솔레노이드(10)가 상호 연속적으로 연결될 수 있다. 사용자는 원하는 길이에 따라 복수 개의 솔레노이드(10)를 상호 연결시킬 수 있다.
솔레노이드(10)는 제1 블록(11), 제2 블록(12), 제3 블록(13) 그리고 제4 블록(14)을 포함할 수 있다. 이 경우, 솔레노이드(10)는 제1 블록(11), 제2 블록(12), 제3 블록(13) 그리고 제4 블록(14)이 연결되어 원통형 형상을 형성시키고 가속관(30)을 둘러싸며 위치할 수 있다.
제1 블록(11)은 원호(Circular Arc) 형상을 가질 수 있다. 제1 블록(11)은 솔레노이드(10)의 원의 중심을 기준으로 제1 블록(11)의 일측면과 타측면이 이루는 각도는 90도 일 수 있다. 제1 블록(11)은 가속관(30)의 일측 상부에 위치할 수 있다. 제1 블록(11)의 일측은 제2 블록(12)과 연결되고 타측은 제3 블록(13)과 연결될 수 있다. 제1 블록(11)은 내측면과 외측면이 원호 형상을 가지는 사각기둥형 형상을 가질 수 있다.
제2 블록(12)의 일측은 제1 블록(11)과 연결되고 타측은 제4 블록(14)과 연결될 수 있다. 제2 블록(12)은 원호 형상을 가질 수 있다. 제2 블록(12)은 솔레노이드(10)의 원의 중심을 기준으로 제2 블록(12)의 일측면과 타측면이 이루는 각도는 90도 일 수 있다. 제2 블록(12)은 가속관(30)의 일측 하부에 위치할 수 있다. 제2 블록(12)은 내측면과 외측면이 원호 형상을 가지는 사각기둥형 형상을 가질 수 있다.
제3 블록(13)의 일측은 제1 블록(11)과 연결되고 타측은 제4 블록(14)과 연결될 수 있다. 제3 블록(13)은 제1 블록(11)과 z축 방향을 중심으로 대향하며 위치할 수 있다. 제3 블록(13)은 제1 블록(11)과 z축 방향을 중심으로 대칭인 형상을 가질 수 있다. 제3 블록(13)은 솔레노이드(10)의 원의 중심을 기준으로 제3 블록(13)의 일측면과 타측면이 이루는 각도는 90도 일 수 있다. 제3 블록(13)은 원호 형상을 가질 수 있다. 제3 블록(13)은 가속관(30)의 타측 상부에 위치할 수 있다. 제3 블록(13)은 내측면과 외측면이 원호 형상을 가지는 사각기둥형 형상을 가질 수 있다.
제4 블록(14)의 일측은 제2 블록(12)과 연결되고 타측은 제3 블록(13)과 연결될 수 있다. 제4 블록(14)은 제2 블록(12)과 z축 방향을 중심으로 대향하며 위치할 수 있다. 제4 블록(14)은 제2 블록(12)과 z축 방향을 중심으로 대칭인 형상을 가질 수 있다. 제4 블록(14)은 원호 형상을 가질 수 있다. 제4 블록(14)은 솔레노이드(10)의 원의 중심을 기준으로 제4 블록(14)의 일측면과 타측면이 이루는 각도는 90도 일 수 있다. 제4 블록(14)은 가속관(30)의 타측 하부에 위치할 수 있다. 제4 블록(14)은 내측면과 외측면이 원호 형상을 가지는 사각기둥형 형상을 가질 수 있다.
비파괴 검사용 솔레노이드(1)가 제1 블록(11), 제2 블록(12), 제3 블록(13) 그리고 제4 블록(14)이 연결된 원통형 형상으로 가속관(30)을 둘러싸며 위치할 경우, 가속관(30)에 입사된 전자빔의 각도를 조절할 수 있다. 제1 블록(11), 제2 블록(12), 제3 블록(13) 그리고 제4 블록(14)은 각각 가속관(30)의 사분면에 위치할 수 있으므로, 가속관(30)에 입사된 전자빔을 360도 방향으로 제어할 수 있으며, 전자빔의 위치 제어를 정밀하게 수행할 수 있다.
도 3을 참고하면, 솔레노이드(10)는 원통형 형상으로, 복수 개의 솔레노이드(10)가 상호 연속적으로 연결될 수 있다. 솔레노이드(10)는 제1 블록(11), 제2 블록(12), 제3 블록(13), 제4 블록(14), 제5 블록(111), 제6 블록(112), 제7 블록(121), 제9 블록(131), 제10 블록(132) 그리고 제11 블록(141)을 포함할 수 있다. 이 경우, 솔레노이드(10)는 제1 블록(11), 제2 블록(12), 제3 블록(13), 제4 블록(14), 제5 블록(111), 제6 블록(112), 제7 블록(121), 제9 블록(131), 제10 블록(132) 그리고 제11 블록(141)이 연결되어 원통형 형상을 형성시키고 가속관(30)을 둘러싸며 위치할 수 있다.
제1 블록(11)은 내측면과 외측면이 원호 형상을 가지는 사각기둥형 형상을 가질 수 있다. 제1 블록(11)은 가속관(30)의 일측 상부에 위치할 수 있다. 제1 블록(11)은 솔레노이드(10)의 원의 중심을 기준으로 제1 블록(11)의 일측면과 타측면이 이루는 각도는 36도 일 수 있다. 제1 블록(11)의 일측은 제5 블록(111)과 연결되고 타측은 제3 블록(13)과 연결될 수 있다.
제5 블록(111)은 내측면과 외측면이 원호 형상을 가지는 사각기둥형 형상을 가질 수 있다. 제5 블록(111)은 솔레노이드(10)의 원의 중심을 기준으로 제5 블록(111)의 일측면과 타측면이 이루는 각도는 36도 일 수 있다. 제5 블록(111)의 일측은 제1 블록(11)과 연결되고 타측은 제6 블록(112)과 연결될 수 있다.
제6 블록(112)은 내측면과 외측면이 원호 형상을 가지는 사각기둥형 형상을 가질 수 있다. 제6 블록(112)은 솔레노이드(10)의 원의 중심을 기준으로 제6 블록(112)의 일측면과 타측면이 이루는 각도는 36도 일 수 있다. 제6 블록(112)의 일측은 제5 블록(111)과 연결되고 타측은 제7 블록(121)과 연결될 수 있다.
제7 블록(121)은 내측면과 외측면이 원호 형상을 가지는 사각기둥형 형상을 가질 수 있다. 제7 블록(121)은 솔레노이드(10)의 원의 중심을 기준으로 제7 블록(121)의 일측면과 타측면이 이루는 각도는 36도 일 수 있다. 제7 블록(121)의 일측은 제6 블록(112)과 연결되고 타측은 제2 블록(12)과 연결될 수 있다.
제2 블록(12)은 내측면과 외측면이 원호 형상을 가지는 사각기둥형 형상을 가질 수 있다. 제2 블록(12)은 가속관(30)의 일측 하부에 위치할 수 있다. 제2 블록(12)은 솔레노이드(10)의 원의 중심을 기준으로 제2 블록(12)의 일측면과 타측면이 이루는 각도는 36도 일 수 있다. 제2 블록(12)의 일측은 제7 블록(121)과 연결되고 타측은 제4 블록(14)과 연결될 수 있다.
제3 블록(13)은 내측면과 외측면이 원호 형상을 가지는 사각기둥형 형상을 가질 수 있다. 제3 블록(13)은 가속관(30)의 타측 상부에 위치할 수 있다. 제3 블록(13)은 솔레노이드(10)의 원의 중심을 기준으로 제3 블록(13)의 일측면과 타측면이 이루는 각도는 36도 일 수 있다. 제3 블록(13)의 일측은 제1 블록(11)과 연결되고 타측은 제9 블록(131)과 연결될 수 있다.
제9 블록(131)은 내측면과 외측면이 원호 형상을 가지는 사각기둥형 형상을 가질 수 있다. 제9 블록(131)은 솔레노이드(10)의 원의 중심을 기준으로 제9 블록(131)의 일측면과 타측면이 이루는 각도는 36도 일 수 있다. 제9 블록(131)의 일측은 제3 블록(13)과 연결되고 타측은 제10 블록(132)과 연결될 수 있다.
제10 블록(132)은 내측면과 외측면이 원호 형상을 가지는 사각기둥형 형상을 가질 수 있다. 제10 블록(132)은 솔레노이드(10)의 원의 중심을 기준으로 제10 블록(132)의 일측면과 타측면이 이루는 각도는 36도 일 수 있다. 제10 블록(132)의 일측은 제9 블록(131)과 연결되고 타측은 제11 블록(141)과 연결될 수 있다.
제11 블록(141)은 내측면과 외측면이 원호 형상을 가지는 사각기둥형 형상을 가질 수 있다. 제11 블록(141)은 솔레노이드(10)의 원의 중심을 기준으로 제11 블록(141)의 일측면과 타측면이 이루는 각도는 36도 일 수 있다. 제11 블록(141)의 일측은 제10 블록(132)과 연결되고 타측은 제4 블록(14)과 연결될 수 있다.
제4 블록(14)은 내측면과 외측면이 원호 형상을 가지는 사각기둥형 형상을 가질 수 있다. 제4 블록(14)은 가속관(30)의 타측 하부에 위치할 수 있다. 제4 블록(14)은 솔레노이드(10)의 원의 중심을 기준으로 제4 블록(14)의 일측면과 타측면이 이루는 각도는 36도 일 수 있다. 제4 블록(14)의 일측은 제11 블록(141)과 연결되고 타측은 제2 블록(12)과 연결될 수 있다.
도 4를 참고하면, 코일(15)은 제1 블록(11)의 외면을 감싸며 위치할 수 있다. 코일(15)는 제2 블록(12), 제3 블록(13), 제4 블록(14), 제5 블록(111), 제6 블록(112), 제7 블록(121), 제9 블록(131), 제10 블록(132) 그리고 제11 블록(141)의 외면을 각각 감싸며 위치할 수 있다.
도 5를 참고하면, 제어부(40)는 복수 개의 솔레노이드(10)와 전기적으로 연결되어 구동을 제어할 수 있다. 제어부(40)는 제1 블록(11), 제2 블록(12), 제3 블록(13), 제4 블록(14), 제5 블록(111), 제6 블록(112), 제7 블록(121), 제9 블록(131), 제10 블록(132) 그리고 제11 블록(141)과 각각 전기적으로 연결되어 각각 구동을 제어할 수 있다. 제어부(40)는 제1 블록(11), 제2 블록(12), 제3 블록(13), 제4 블록(14), 제5 블록(111), 제6 블록(112), 제7 블록(121), 제9 블록(131), 제10 블록(132) 또는 제11 블록(141)을 그룹핑하여 통합적으로 구동을 제어할 수도 있다.
전자총(20)으로부터 방출된 전자빔(B1)은 가속관(30)에 입사되고, 가속관(30)을 둘러싸며 위치하는 솔레노이드(10)에 의해 타겟(50)에 집속될 수 있다. 제어부(40)는 전자총(20)에서 방출된 전자빔(B1)이 가속관(30)에 입사되어 타겟(50)의 중앙에 집속되는지 확인할 수 있다.
만약 도 5에 도시한 바와 같이 입사된 전자빔(B1)이 타겟(50)의 중앙에 집속되지 않을 경우, 제어부(40)는 전자빔(B1)의 현재 위치에 따라 타겟(50)의 중앙에 집속 될 수 있는 각도 또는 거리 등을 산출할 수 있다. 제어부(40)는 산출된 값에 따라 제1 블록(11), 제2 블록(12), 제3 블록(13), 제4 블록(14), 제5 블록(111), 제6 블록(112), 제7 블록(121), 제9 블록(131), 제10 블록(132) 또는 제11 블록(141)에 개별적으로 전류를 인가할 수 있다.
예를 들면, 제어부(40)가 전자빔(B1)의 현재 위치에서 타겟(50)의 중앙에 집속 될 수 있는 산출 값이 제1 블록(11)에 해당하는 값일 경우, 제어부(40)는 제1 블록(11)에 전류(E)를 인가할 수 있다. 그러면, 제1 블록(11)에 인가된 전류(E)와 전자빔(B1)이 이루는 입사각(R)에 따라 굴절각(R')이 형성되어 전자빔(B1)은 굴절각(R')만큼 굴절될 수 있다. 이 경우, 타겟(50)의 중앙부에 집속되지 않은 전자빔(B1)이 제1 블록(11)의 전류(E)에 의해 굴절되면서 굴절빔(B2)으로 타겟(50)의 중앙에 집속될 수 있다.
제어부(40)는 EPICS(Experimental Physics and Industrial Control System) 프로그램을 포함할 수 있다. 제어부(40)는 솔레노이드(10), 전자총(20), 가속관(30) 또는 전자빔(B1) 등의 데이터를 실시간으로 전송 받을 수 있다. 제어부(40)는 사용자로부터 설정 변수를 입력 받아 제어할 수도 있다.
종래에는 전자빔을 타겟의 중앙에 집속시키기 위하여 솔레노이드의 전류 세기만을 가변할 수 있으므로 전자빔의 제어가 제한적이며, 전자빔의 손실이 발생하여 손실된 전자들이 가속관의 벽면에 충돌하면서 가속관의 수명이 짧아질 수 있다.
반면에, 비파괴 검사용 솔레노이드(1)는 가속관(30)을 원형으로 둘러싸며 위치하는 제1 블록(11), 제2 블록(12), 제3 블록(13), 제4 블록(14), 제5 블록(111), 제6 블록(112), 제7 블록(121), 제9 블록(131), 제10 블록(132) 그리고 제11 블록(141)이 제어부(40)와 각각 연결되어 전류를 개별적으로 인가하여 전자빔(B1)이 타겟(50)의 중심에 집속하도록 제어할 수 있다. 이에, 전자빔(B1)이 타겟(50)의 중심에 집속하지 않더라도 전자빔(B1)의 위치를 360도 방향으로 제어할 수 있으므로 전자빔(B1)의 정밀도를 높이고 비파괴 검사장치의 분해능을 높일 수 있다.
도 6 에서는 제8 블록(122) 및 제12 블록(142)를 제외하고는 도 3의 비파괴 검사용 솔레노이드(1)와 유사하므로, 동일한 부분에는 동일한 도면 부호를 사용하며, 그 상세한 설명을 생략한다. 도 6을 참고하면, 솔레노이드(10)는 제1 블록(11), 제2 블록(12), 제3 블록(13), 제4 블록(14), 제5 블록(111), 제6 블록(112), 제7 블록(121), 제8 블록(122) 제9 블록(131), 제10 블록(132), 제11 블록(141) 그리고 제12 블록(142)을 포함할 수 있다.
제1 블록(11) 내지 제12 블록(142)은 상호 연결되어 원통형 형상을 형성시킬 수 있다. 제1 블록(11) 내지 제12 블록(142)은 내측면과 외측면이 원호 형상을 가지는 사각기둥형 형상을 가질 수 있다. 제1 블록(11) 내지 제12 블록(142)은 각각 원의 중심을 기준으로 제1 블록(11) 내지 제12 블록(142)의 일측면과 타측면이 이루는 각도는 30도 일 수 있다.
제8 블록(122)의 일측은 제7 블록(121)과 연결되고 타측은 제2 블록(12)과 연결될 수 있다. 제12 블록(142)의 일측은 제11 블록(141)과 연결되고 타측은 제4 블록(14)과 연결될 수 있다.
비파괴 검사용 솔레노이드(1)는 제1 블록(11) 내지 제12 블록(142)이 제어부(40)와 각각 개별적으로 연결될 수 있으며, 가속관(30)을 원형으로 둘러싸며 위치하므로, 타겟(50)의 중심에 집속하지 않는 전자빔(B1)을 360도 전 방향에서 제어할 수 있다. 이에, 전자빔(B1)의 제어의 정밀도를 향상시킬 수 있으며 전자빔(B1)을 타겟(50)의 정중앙에 집속시킬 수 있다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
1: 비파괴 검사용 솔레노이드 10: 솔레노이드
11. 제1 블록 12. 제2 블록
13. 제3 블록 14. 제4 블록
15. 코일 20. 전자총
30. 가속관 40. 제어부
50. 타겟 111. 제5 블록
112. 제6 블록 121. 제7블록
122. 제8블록 131. 제9블록
132. 제10 블록 141. 제11블록
142. 제12 블록

Claims (12)

  1. 전자빔을 방출하는 전자총,
    상기 전차총의 일측에 위치하고 제1 방향으로 뻗고 상기 전자빔이 입사되어 가속되는 가속관,
    상기 가속관을 둘러싸며 위치하는 솔레노이드, 그리고
    상기 솔레노이드의 구동을 제어하는 제어부
    를 포함하고,
    상기 솔레노이드는
    상기 가속관의 일측 상부에 위치하고 원호(Circular Arc) 형상을 가지는 제1 블록,
    상기 가속관의 일측 하부에 위치하고 원호 형상을 가지는 제2 블록,
    상기 가속관의 타측 상부에 위치하고 상기 제1 방향과 교차하는 방향인 제2 방향으로 상기 제1 블록부와 대향하며 위치하고 원호 형상을 가지는 제3 블록, 그리고
    상기 가속관의 타측 하부에 위치하고 상기 제2 방향으로 상기 제2 블록부와 대향하며 위치하고 원호 형상을 가지는 제4 블록
    을 포함하는 비파괴 검사용 솔레노이드.
  2. 제1항에서,
    상기 제어부는 상기 가속관에 입사된 전자빔의 위치에 따라 타겟의 중앙에 집속되는 각도 또는 거리를 산출하는 비파괴 검사용 솔레노이드.
  3. 제2항에서,
    상기 제어부는 상기 산출된 각도 또는 거리에 따라 상기 제1 블록, 상기 제2 블록, 상기 제3 블록 또는 상기 제4 블록에 전류를 인가하는 비파괴 검사용 솔레노이드.
  4. 제1항에서,
    상기 제1 블록은 상기 제1 블록과 연결되고 상기 가속관의 일측에 위치하고 원호 형상을 가지는 제5 블록을 포함하는 비파괴 검사용 솔레노이드.
  5. 제4항에서,
    상기 제1 블록은 상기 제5 블록과 연결되고 상기 가속관의 일측에 위치하고 원호 형상을 가지는 제6 블록을 포함하는 비파괴 검사용 솔레노이드.
  6. 제5항에서,
    상기 제2 블록은 상기 제6 블록과 연결되고 상기 가속관의 일측에 위치하고 원호 형상을 가지는 제7 블록을 포함하는 비파괴 검사용 솔레노이드.
  7. 제6항에서,
    상기 제2 블록은 상기 제7 블록과 연결되고 상기 가속관의 일측에 위치하고 원호 형상을 가지는 제8 블록을 포함하는 비파괴 검사용 솔레노이드.
  8. 제1항에서,
    상기 제3 블록은 상기 제3 블록과 연결되고 상기 가속관의 일측에 위치하고 원호 형상을 가지는 제9 블록을 포함하는 비파괴 검사용 솔레노이드.
  9. 제8항에서,
    상기 제3 블록은 상기 제9 블록과 연결되고 상기 가속관의 일측에 위치하고 원호 형상을 가지는 제10 블록을 포함하는 비파괴 검사용 솔레노이드.
  10. 제 9항에서,
    상기 제4 블록은 상기 제10 블록과 연결되고 상기 가속관의 일측에 위치하고 원호 형상을 가지는 제11 블록을 포함하는 비파괴 검사용 솔레노이드.
  11. 제 10항에서,
    상기 제4 블록은 상기 제11 블록과 연결되고 상기 가속관의 일측에 위치하고 원호 형상을 가지는 제12 블록을 포함하는 비파괴 검사용 솔레노이드.
  12. 제 1항에서,
    상기 솔레노이드는 상기 제1 방향으로 상기 솔레노이드와 연결되는 제2 솔레노이드를 포함하는 비파괴 검사용 솔레노이드.
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003124000A (ja) * 2001-10-10 2003-04-25 Toshiba Corp 電子ビーム冷却装置
JP4647635B2 (ja) * 2007-04-27 2011-03-09 大成建設株式会社 加速器設置室
KR101609973B1 (ko) * 2015-01-08 2016-04-07 한국원자력연구원 입자가속기를 위한 방사선 차폐와 빔 집속 기능을 겸비한 솔레노이드 어셈블리
US20170265293A1 (en) * 2016-03-11 2017-09-14 Varex Imaging Corporation Hybrid linear accelerator with a broad range of regulated electron and x-ray beam parameters includes both standing wave and traveling wave linear sections for providing a multiple-energy high-efficiency electron beam or x-ray beam useful for security inspection, non-destructive testing, radiation therapy, and other applications
KR101810473B1 (ko) 2016-08-05 2018-01-25 한국원자력연구원 플랜지, 전자빔 가속장치 및 이를 이용한 방사선원 시스템

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003124000A (ja) * 2001-10-10 2003-04-25 Toshiba Corp 電子ビーム冷却装置
JP4647635B2 (ja) * 2007-04-27 2011-03-09 大成建設株式会社 加速器設置室
KR101609973B1 (ko) * 2015-01-08 2016-04-07 한국원자력연구원 입자가속기를 위한 방사선 차폐와 빔 집속 기능을 겸비한 솔레노이드 어셈블리
US20170265293A1 (en) * 2016-03-11 2017-09-14 Varex Imaging Corporation Hybrid linear accelerator with a broad range of regulated electron and x-ray beam parameters includes both standing wave and traveling wave linear sections for providing a multiple-energy high-efficiency electron beam or x-ray beam useful for security inspection, non-destructive testing, radiation therapy, and other applications
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