KR20200047085A - CFRP substrate transfer robot hand using pre-tension wire - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a substrate transfer robot hand which includes: a body lengthily formed in a longitudinal direction and coming in contact with the bottom surface of a flat panel substrate to support the flat panel substrate; a steel wire of which one side is coupled to a supporter bound to a fixed point of the body, and the other side is coupled to a supporter bound to an end point to be attached to both side surfaces of the body along the longitudinal direction; and a tensile force control part attached to the end of the body to control the tensile force applied to the steel wire.

Description

프리텐션 강선을 이용한 CFRP 기판 이송 로봇 핸드{CFRP substrate transfer robot hand using pre-tension wire}CFRP substrate transfer robot hand using pre-tension wire}

본 발명은 액정 디스플레이(LCD) 패널 등 다양한 유형의 기판을 이송하는 로봇 핸드에 관한 발명이다. The present invention relates to a robot hand for transporting various types of substrates such as liquid crystal display (LCD) panels.

LCD 산업의 경쟁이 치열해짐에 따라 LCD 원판 유리의 크기는 점점 대형화 되어가고 있다. 원판이 클수록 취급이 어렵지만, 일단 취급이 가능하면 하나의 원판에서 많은 LCD를 생산할 수 있으므로 생산성 향상의 장점이 있다. LCD 원판 유리는 크기에 비해 두께가 매우 얇은 박판이기 때문에 정밀한 취급을 요구한다.As the competition in the LCD industry becomes fierce, the size of the LCD disc glass is gradually increasing. The larger the original plate, the more difficult it is to handle, but once handled, it is possible to produce many LCDs from one original plate. Because the LCD glass is a thin plate that is very thin in thickness compared to the size, it requires precise handling.

LTR(LCD Glass Transfer Robot)은 LCD 제작 공정 단계에서 유리를 이송시키는데 사용되는 로봇으로, LTR 로봇은 자중 처짐(deflection)이 적어야 한다. 처짐이 적을수록 한 카세트에 장착할 수 있는 원판 유리의 숫자가 증가하므로 생산성이 증가한다. LCD 원판 유리의 크기와 무게가 증가함에 따라 그 원판 유리의 이송에 사용되는 LTR 로봇 핸드의 크기도 증가하고 있다.LTR (LCD Glass Transfer Robot) is a robot that is used to transfer glass at the stage of LCD manufacturing process, and LTR robot must have less deflection. The less sagging, the greater the number of disc glasses that can be mounted in one cassette, increasing productivity. As the size and weight of the LCD original glass increase, the size of the LTR robot hand used to transfer the original glass also increases.

LTR 소재로 사용되는 CFRP(Carbon Fiber Reinforce Plastic : 탄소 섬유 강화 플라스틱)는 비강도와 비강성이 우수하여 LTR 핸드에 가장 적합한 소재로 여겨지고 있다. 그러나 현재 사용되고 있는 CFRP 소재의 로봇 핸드의 경우에도 LCD 원판 유리의 대형화는 로봇 핸드의 크기를 증가를 야기하였다. LCD 유리 기판 크기와 로봇 핸드의 크기 증가로 인하여 로봇 핸드의 처짐량이 증가하여 기판 카세트에 충돌할 수 있는 위험성이 존재한다. 특히 10세대급 LCD 유리 기판의 경우 크기가 2940 × 3300 mm 이상이므로 로봇 핸드의 길이도 최소 3792mm 이상이며, 이로 인하여 LCD 생산단계에서 처짐에 대한 해결책의 강구가 필요하다.CFRP (Carbon Fiber Reinforce Plastic), which is used as an LTR material, is considered to be the most suitable material for LTR hand due to its excellent specific strength and specific rigidity. However, even in the case of a robot hand made of CFRP material that is currently being used, the enlargement of the LCD original glass caused the size of the robot hand to increase. Due to the increase in the size of the LCD glass substrate and the size of the robot hand, there is a risk that the amount of deflection of the robot hand may increase and collide with the substrate cassette. In particular, in the case of the 10th-generation LCD glass substrate, the size of the robot hand is at least 3792 mm or more because the size is 2940 × 3300 mm or more. Therefore, it is necessary to devise a solution for sagging in the LCD production stage.

종래기술인 공개특허 제20-2011-0007631호 에서 로봇 암의 풀리 구조에 있어서 텐션(tension) 인가 장치를 결합되어, 텐션 인가 장치의 작동에 따라 와이어의 텐션을 조절하는 로봇 암에 대한 구조가 개시되어 있다. 그러나 종래기술은 풀리구조의 동력전달을 위하여 와이어가 사용되는 것으로 로봇 핸드에 인장을 가함으로써 강성을 증가시키지는 못하는 단점이 있다. In the prior art Publication No. 20-2011-0007631, a structure for a robot arm that controls a tension of a wire according to operation of a tension application device by combining a tension application device in a pulley structure of a robot arm is disclosed. have. However, the prior art is that a wire is used for power transmission of the pulley structure, and thus there is a disadvantage that the rigidity cannot be increased by applying tension to the robot hand.

따라서 이와 같은 문제점을 해결하기 위한 방법이 요구된다.Therefore, a method for solving such a problem is required.

공개특허(제20-2011-0007631호)Published patent (No. 20-2011-0007631)

본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 발명으로서, 로봇 핸드의 몸체 양 옆면에 강선을 부착하고 강선의 끝단에 인장력 조절부를 결합시켜 인장력을 가함으써 로봇 핸드의 강성을 증가시켜 처짐량을 감소 시키기 위한 로봇 핸드를 제공하기 위한 목적을 가진다.The present invention is an invention devised to solve the above-mentioned problems of the prior art, by attaching a steel wire to both sides of the body of the robot hand and attaching a tensile force adjusting portion to the end of the steel wire to increase the stiffness of the robot hand, thereby increasing the stiffness of the robot hand. It has an object to provide a robot hand to reduce the.

본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems of the present invention are not limited to the problems mentioned above, and other problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 프리텐션 강선을 이용한 CFRP 기판 이송 로봇 핸드는 길이방향으로 길게 형성되어 상기 플랫 패널 기판의 밑면과 접촉하여 상기 플랫 패널 기판을 지지하는 몸체와 일측은 몸체의 고정점에 결속되는 지지대와 결합되고 타측은 끝점에 결속되는 지지대와 결합되어 상기 몸체의 양 옆면에 길이방향을 따라 부착되는 강선과 몸체의 끝단에 부착되어 상기 강선에 가하는 인장력을 조절하는 인장력 조절부를 포함한다.The CFRP substrate transfer robot hand using the pretension steel wire of the present invention for achieving the above object is formed elongated in the longitudinal direction to contact the bottom surface of the flat panel substrate and the body supporting the flat panel substrate and one side to fix the body It is combined with a support that is bound to the point and the other side is coupled with a support that is bound to the end, and includes a steel wire attached along both sides of the body along the longitudinal direction, and a tensile force adjustment part attached to the end of the body to adjust the tensile force applied to the steel wire. do.

그리고 인장력 조절부는 몸체의 양 말단인 고정점과 끝점에 강선에 의하여 결속되는 지지대를 포함하고, 끝점에 결합되는 지지대에 강선과 연결된 볼트를 체결하고 볼트에 너트를 끼워 돌림으로써 강선의 인장을 조절하는 것을 특징으로 할 수 있다.And the tension control unit includes a support that is bound by a steel wire to a fixed point and an end point, which are both ends of the body, and adjusts the tension of the steel wire by fastening a bolt connected to the steel wire to a support coupled to the end and turning a nut into the bolt. It can be characterized by.

또한, 강선은 스틸 와이어(steel wire)로 이루어지고, 직경 범위가 1mm 내지 1.5mm 으로 이루어 질 수 있다.In addition, the steel wire is made of a steel wire (steel wire), the diameter range may be made of 1mm to 1.5mm.

또한, 몸체의 옆면에 강선이 걸쳐져 강선을 꺾어지게 하는 핀을 포함하고, 고정점에서부터 상기 핀까지의 간격인 제 1 간격과 핀에서부터 상기 끝점까지 간격인 제 2 간격에 의하여 인장을 조절할 수 있는 것을 특징으로 할 수 있다.In addition, it includes a pin that allows the steel wire to be bent over the side surface of the body, and the tension can be adjusted by the first gap, which is the interval from the fixed point to the pin, and the second gap, which is the interval from the pin to the end point. It can be characterized as.

본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 로봇 핸드의 경우 옆면에 강선을 부착하여 로봇 핸드의 강성을 증가시켜 기판이 올려졌을 경우 자중에 의한 처짐량을 감소 시킬 수 있는 효과가 있다.In the case of the substrate transfer robot hand according to the embodiment of the present invention, by attaching a steel wire to the side surface, the rigidity of the robot hand is increased to reduce the amount of deflection due to self-weight when the substrate is raised.

또한 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 로봇 핸드의 경우 강선 고정점과 핀의 조절에 의해 강선에 인가되는 인장력을 조절할 수 있는 효과가 있다.In addition, in the case of the substrate transfer robot hand according to the embodiment of the present invention, it is possible to control the tensile force applied to the steel wire by adjusting the steel wire fixing point and the pin.

도 1 은 본 발명의 실시예에 따른 강선을 부착한 기판 이송 로봇 핸드의 측면도를 나타내는 도면,
도 2 는 본 발명의 실시예에 따른 강선을 부착한 기판 이송 로봇 핸드의 고정점과 끝점을 확대한 모습을 나타내는 도면,
도 3 은 본 발명의 실시예에 따른 강선과 인장력 조절부를 나타내는 도면,
도 4 는 본 발명의 실시예에 따른 로봇 핸드의 길이와 강선의 인장력에 따라 핸드의 처짐량 변화를 나타내는 데이터와 그래프이다.1 is a view showing a side view of a substrate transfer robot hand to which a steel wire is attached according to an embodiment of the present invention;
Figure 2 is a view showing an enlarged state of the fixed point and the end point of the substrate transfer robot hand attached to the steel wire according to an embodiment of the present invention,
3 is a view showing a steel wire and a tensile force control unit according to an embodiment of the present invention,
4 is a graph and data showing the change in the amount of deflection of the hand according to the length of the robot hand and the tensile force of the steel wire according to the embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 일부 실시 예들을 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명의 실시예를 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 실시예에 대한 이해를 방해한다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, some embodiments of the present invention will be described in detail through exemplary drawings. It should be noted that in adding reference numerals to the components of each drawing, the same components have the same reference numerals as possible even though they are displayed on different drawings. In addition, in describing the embodiments of the present invention, when it is determined that detailed descriptions of related well-known configurations or functions interfere with the understanding of the embodiments of the present invention, detailed descriptions thereof will be omitted.

기판 이송 로봇 핸드가 기판을 이송하기 위하여 기판이 핸드 상부 위에 올려진 경우 기판의 자중에 의한 처짐량의 공식은 다음과 같다. Substrate Transfer If the robot hand is placed on top of the hand to transfer the substrate, the formula for the amount of deflection due to the weight of the substrate is as follows.

Figure pat00001
Figure pat00001

Figure pat00002
Figure pat00002

Figure pat00003
Figure pat00003

상기 수식을 참고하면, 처짐량은 핸드에 가해지는 자중, 핸드의 길이에 비례하고 핸드의 강성, 단면관성모멘트에 반비례한다. 따라서 유리 기판의 크기와 무게가 커짐에 따라 기판 이송 로봇 핸드의 길이도 길어지게 됨으로써 로봇 핸드의 처짐량도 증가하게 된다. 본 발명의 실시예에서는 로봇 핸드에 강선(10)을 부착하여 CFRP 강성을 증가시킴으로써 처짐을 감소시키는 효과를 제공한다.Referring to the above formula, the amount of deflection is proportional to the weight of the hand and the length of the hand, and is inversely proportional to the stiffness of the hand and the moment of inertia of the section. Therefore, as the size and weight of the glass substrate increases, the length of the substrate transfer robot hand becomes longer, so that the amount of deflection of the robot hand increases. In the embodiment of the present invention, by attaching the steel wire 10 to the robot hand provides an effect of reducing the sag by increasing the CFRP rigidity.

도 1 은 본 발명의 실시예에 따른 강선(10)을 부착한 기판 이송 로봇 핸드의 측면도를 나타내는 도면이다. 1 is a view showing a side view of a substrate transfer robot hand to which a steel wire 10 is attached according to an embodiment of the present invention.

도 1 에 도시된 바와 같이, 본 명세서의 용어는 다음과 같이 정의한다. 로봇 핸드의 양 끝단 중 로봇 몸체에 결합되는 지점을 고정점(11), 몸체 반대 방향의 말단을 끝점(12)으로 정의한다. 또한, 핀(30)(30)을 구성요소로 포함하는 경우 상기 고정점(11)에서부터 핀(30)(30)까지의 간격은 제 1 간격, 핀(30)에서부터 끝점(12)까지의 간격은 제 2 간격으로 정의한다.As shown in FIG. 1, the terms herein are defined as follows. Of the two ends of the robot hand, a point coupled to the robot body is defined as a fixed point 11 and an end opposite to the body as an end point 12. In addition, when the pins 30 and 30 are included as components, the distance from the fixing point 11 to the pins 30 and 30 is the first distance, and the distance from the pins 30 to the end point 12 Is defined as the second interval.

도 1 을 참조하면, 테이퍼 형상을 가지는 로봇 핸드에 있어서 강선(10)(10)이 고정점(11)과 끝점(12)의 하단에 직선으로 연결될 경우 수평인 로봇 핸드의 상부와 경사각도가 생기게 된다. 따라서 강선(10)(10)에 의한 인장력을 효과적으로 가하기 위하여 로봇 핸드의 몸체 옆면에 핀(30)을 결합하여 강선(10)을 핀(30)에 걸쳐 연결하게 되면 경사각을 줄일 수 있다. Referring to FIG. 1, in a robot hand having a tapered shape, when the steel wires 10 and 10 are linearly connected to the lower ends of the fixed points 11 and 12, a horizontal robot hand has an upper and inclined angle. do. Therefore, in order to effectively apply the tensile force by the steel wires 10 and 10, the inclination angle can be reduced by connecting the pins 30 to the body side of the robot hand and connecting the steel wires 10 over the pins 30.

강선(10)을 고정점(11)에서부터 핀(30)까지의 제 1 간격, 핀(30)에서부터 끝점(12)까지의 제 2 간격으로 구분할 수 있다. The steel wire 10 may be divided into a first gap from the fixed point 11 to the pin 30 and a second gap from the pin 30 to the endpoint 12.

핀(30)의 위치는 로봇 핸드의 테이퍼 형상이 시작되는 지점보다 고정점(11)에 가깝게 형성되도록 하는 것이 바람직하다. 구체적으로 제 1 간격은 고정점(11)에서부터 로봇 핸드의 테이퍼 형상이 시작되는 지점의 길이보다 짧게 형성된다. 다만 로봇 핸드의 길이가 충분히 긴 경우이거나 또는 테이퍼 형상의 말단의 두께가 충분히 두꺼운 경우에는 테이퍼 형상임에도 불구하고 강선(10)(10)이 수평에 가깝게 연결되기 때문에 핀(30)이 더라도 동일한 효과를 가진다.The position of the pin 30 is preferably such that the taper shape of the robot hand is formed closer to the fixing point 11 than the starting point. Specifically, the first gap is formed shorter than the length of the point where the tapered shape of the robot hand starts from the fixed point 11. However, in the case where the length of the robot hand is sufficiently long or the thickness of the tapered end is sufficiently thick, the steel wire 10 and 10 are closely connected to each other despite the taper shape, so the pin 30 has the same effect. Have

또한, 로봇 핸드 몸체의 끝단에 형성되는 고정점(11)은 테이퍼 형상의 로봇 핸드 단면 길이의 차이에 따라 적절하게 선택될 수 있다. 구체적으로 끝점(12)은 로봇 핸드의 테이퍼 형상이 끝나는 지점의 단면 하단에 형성되고 고정점(11)은은 그 반대쪽 단면의 적절한 위치에 형성될 수 있다.In addition, the fixing point 11 formed at the end of the robot hand body may be appropriately selected according to the difference in the length of the cross section of the tapered robot hand. Specifically, the end point 12 is formed at the bottom of the cross section of the point where the tapered shape of the robot hand ends, and the fixing point 11 can be formed at an appropriate position on the opposite end surface.

도 2 는 본 발명의 실시예에 따른 강선(10)을 부착한 기판 이송 로봇 핸드의 모습을 나타내는 도면이다.2 is a view showing the state of the substrate transfer robot hand attached to the steel wire 10 according to an embodiment of the present invention.

도 1 및 도 2 를 참조하면, 본 발명의 실시예는 기판 이송 로봇 핸드의 강성을 증가시키기 위하여 로봇 핸드의 측면에 강선(10)을 부착하여 인장력을 가하는 것으로서, 길이방향으로 길게 형성되어 상기 플랫 패널 기판의 밑면과 접촉하여 상기 플랫 패널 기판을 지지하는 몸체, 일측은 상기 몸체의 고정점(11)에 결속되는 지지대(40)와 결합되고 타측은 끝점(12)에 결속되는 지지대(40)와 결합되어 상기 몸체의 양 옆면에 길이방향을 따라 부착되는 강선(10), 상기 몸체의 끝단에 부착되어 상기 강선(10)에 가하는 인장을 조절하는 인장력 조절부(20)를 포함하는 것을 특징으로 한다.1 and 2, an embodiment of the present invention is to apply a tensile force by attaching a steel wire 10 to the side of the robot hand to increase the rigidity of the robot hand to transfer the substrate, and is formed long in the longitudinal direction to form the flat A body that supports the flat panel substrate in contact with the bottom surface of the panel substrate, one side is coupled to a support 40 that is bound to a fixed point 11 of the body, and the other side is a support 40 that is bound to an endpoint 12. It is characterized in that it comprises a steel wire (10) that is coupled along both sides of the body along the longitudinal direction, and a tension force control unit (20) attached to the end of the body to adjust the tension applied to the steel wire (10). .

본 실시예에 따르면 기판 이송 로봇 핸드의 몸체 양 말단에는 지지대(40)가 강선(10)에 의해 몸체와 결속된다. 강선(10)은 일측은 고정점(11)의 지지대(40)와 결합하고 타측은 끝점(12)의 지지대(40)와 결합하여 몸체의 한쪽 또는 양쪽에 각각 적어도 하나 이상 부착되게 된다. 강선(10)과 지지대(40)는 체결부재(미도시)에 의해 결합된다.According to this embodiment, the support 40 is coupled to the body by the steel wire 10 at both ends of the body of the substrate transfer robot hand. One side of the steel wire 10 is coupled to the support 40 of the fixed point 11 and the other side is coupled to the support 40 of the end point 12 so that at least one is attached to one or both sides of the body. The steel wire 10 and the support 40 are coupled by a fastening member (not shown).

바람직한 실시예로 상기 강선(10)은 스틸 와이어(steel wire)로 1mm 내지 1.5mm 직경을 가지는 것이 적당하다. 다만, 인장력을 효과적으로 전달할 수 있는 것이면 강선(10)의 종류와 상관없이 공지의 어떤 것도 가능하며 직경의 범위는 필요에 따라 변경될 수 있다.In a preferred embodiment, the steel wire 10 is suitable to have a diameter of 1mm to 1.5mm with a steel wire. However, as long as it can effectively transmit the tensile force, any known type is possible regardless of the type of the steel wire 10, and the range of the diameter can be changed as necessary.

강선(10)에 인장력이 가해지면 강선(10)과 체결되어 있는 지지대(40)에 힘이 전달되고 결국 로봇 핸드에 인장력이 가해지게 된다. 로봇 핸드에 인장력이 가해지면 CFRP 강성이 증가하게 되어 로봇 핸드의 처짐량이 감소하게 된다. 따라서 기판의 자중, 로봇 핸드의 길이를 고려하여 인장력 조절부(20)를 조절하여 가해지는 인장력을 변화시키면 로봇 핸드에 의한 생산성을 증가시킬 수 있게 된다.When the tensile force is applied to the steel wire 10, the force is transmitted to the support 40 that is fastened to the steel wire 10, and eventually the tensile force is applied to the robot hand. When tensile force is applied to the robot hand, the CFRP stiffness increases and the amount of deflection of the robot hand decreases. Accordingly, by changing the tensile force applied by adjusting the tensile force adjusting unit 20 in consideration of the weight of the substrate and the length of the robot hand, it is possible to increase productivity by the robot hand.

도 3 은 본 발명의 실시예에 따른 강선(10)과 인장력 조절부(20)를 나타내는 도면이다.3 is a view showing the steel wire 10 and the tensile force control unit 20 according to an embodiment of the present invention.

도 3 에 도시된 바와 같이 강선(10)의 끝단에는 강선(10)에 가해지는 인장력을 조절할 수 있는 수단인 인장력 조절부(20)가 결합될 수 있다. 도 3 에 도시된 실시예의 경우에는 강선(10)의 끝단에 볼트(21)가 존재하고 볼트(21)의 크기에 맞는 너트(22)를 체결하여 너트(22)의 조임정도에 의하여 강선(10)에 인장력이 가해지게 된다. 너트(22)를 조이면 강선(10)에 가해지는 인장력이 로봇 핸드에 전달되어 로봇 핸드는 인장력에 의하여 로봇 핸드의 처짐량이 감소하게 된다.As shown in Figure 3, the end of the steel wire 10 may be coupled to a tensile force control unit 20, which is a means for adjusting the tensile force applied to the steel wire 10. In the case of the embodiment shown in FIG. 3, the bolt 21 is present at the end of the steel wire 10, and the nut 22 is fastened by tightening the nut 22 by fastening the nut 22 according to the size of the bolt 21. ) Is applied with a tensile force. When the nut 22 is tightened, the tensile force applied to the steel wire 10 is transmitted to the robot hand, whereby the deflection amount of the robot hand is reduced by the tensile force.

인장력 조절부(20)에 의하여 인장력을 가하는 구체적인 구성은 상기한 실시예 이외에도 강선(10)의 긴장을 조절할 수 있는 다양한 공지기술을 이용할 수 있다.The specific configuration of applying the tensile force by the tensile force control unit 20 may use various known techniques capable of controlling the tension of the steel wire 10 in addition to the above-described embodiment.

도 4 는 본 발명의 실시예에 따른 로봇 핸드의 길이와 강선(10)의 인장력에 따라 핸드의 처짐량 변화를 나타내는 데이터와 그래프이다. 도 4 에서는 5kg의 자중에 대하여 로봇 핸드의 처짐을 측정하여 인장력을 가하지 않은 경우(0N)와 600N 의 인장력을 가한 경우 핸드 길이에 따른 처짐량의 비교 데이터와 그래프를 나타내었고, 길이단위는 mm이며 표시는 생략하였다.4 is a graph and data showing a change in the amount of deflection of a hand according to the length of the robot hand and the tensile force of the steel wire 10 according to an embodiment of the present invention. In FIG. 4, the deflection of the robot hand was measured for a weight of 5 kg, and when the tensile force was not applied (0N) and when the tensile force of 600N was applied, comparison data and a graph of the amount of deflection according to the hand length were shown. Was omitted.

도 4 를 참조하면, 핸드의 길이가 길어질수록 로봇 핸드의 처짐량은 증가하는데 강선(10)에 의해서 600N의 인장력을 가한 경우 처짐량이 감소하는 것을 확인할 수 있다. 10세대 LCD 기판에 사용가능한 로봇 핸드의 길이인 3792mm 로 측정하였을 경우 인장력을 가하지 않은 경우 14.35mm 처짐에 비해 600N의 인장력을 가한 경우 8.817mm 처짐을 확인할 수 있으므로 약 61.4 퍼센트의 처짐 감소 효과가 있는 것으로 확인할 수 있다. 인장력의 범위는 10세대급 LCD 유리 기판을 이송하는 로봇 핸드의 경우 최대 800N까지 가능할 수 있다.Referring to FIG. 4, as the length of the hand increases, the amount of deflection of the robot hand increases, and it can be seen that when the tensile force of 600N is applied by the steel wire 10, the amount of deflection decreases. When measured with 3792mm, the length of the robot hand that can be used for 10th generation LCD substrates, it was found that there was a deflection reduction effect of about 61.4 percent because it was confirmed to be 8.817mm deflection when a tensile force of 600N was applied compared to 14.35mm deflection when no tensile force was applied. Can be confirmed. The range of the tensile force may be possible up to 800N in the case of a robot hand transferring a 10th-generation LCD glass substrate.

이상과 같이 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 살펴보았으며, 앞서 설명된 실시예 이외에도 본 발명이 그 취지나 범주에서 벗어남이 없이 다른 특정 형태로 구체화될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게 자명한 것이다. 그러므로, 상술된 실시예는 제한적인 것이 아니라 예시적인 것으로 여겨져야 하고, 이에 따라 본 발명은 상술한 설명에 한정되지 않고 첨부된 청구항의 범주 및 그 동등 범위 내에서 변경될 수도 있다.As described above, a preferred embodiment according to the present invention has been examined, and the fact that the present invention can be embodied in other specific forms without departing from the spirit or scope of the embodiment described above has ordinary skill in the art. It is obvious to them. Therefore, the above-described embodiments should be regarded as illustrative rather than restrictive, and accordingly, the present invention is not limited to the above description and may be changed within the scope of the appended claims and their equivalents.

1 : 기판 이송 로봇 핸드
10 : 강선
11 : 고정점
12 : 끝점
20 : 인장력 조절부
21 : 볼트
22 : 너트
30 : 핀(pin)
40 : 지지대1: Substrate transfer robot hand
10: steel wire
11: fixed point
12: endpoint
20: tensile force control unit
21: bolt
22: nut
30: pin
40: support

Claims (4)

기판 이송 로봇 핸드에 있어서,
길이방향으로 길게 형성되어 상기 플랫 패널 기판의 밑면과 접촉하여 상기 플랫 패널 기판을 지지하는 중공의 몸체;
일측은 상기 몸체의 고정점에 결속되는 지지대와 결합되고 타측은 끝점에 결속되는 지지대와 결합되어 상기 몸체의 양 옆면에 길이방향을 따라 부착되는 강선;
상기 몸체의 끝단에 부착되어 상기 강선에 가하는 인장력을 조절하는 인장력 조절부;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 로봇 핸드.In the substrate transfer robot hand,
A hollow body formed elongated in the longitudinal direction to contact the bottom surface of the flat panel substrate to support the flat panel substrate;
One side is coupled to the support that is bound to the fixed point of the body, the other side is coupled to the support that is bound to the end point steel wire attached to both sides of the body along the longitudinal direction;
A tensile force adjusting unit attached to an end of the body to adjust the tensile force applied to the steel wire;
Substrate transfer robot hand comprising a. 제 1 항에 있어서,
상기 인장력 조절부는 상기 몸체의 양 말단인 고정점과 끝점에 상기 강선에 의하여 결속되는 지지대를 포함하고, 상기 끝점에 결합되는 지지대에 상기 강선과 연결된 볼트를 체결하고 상기 볼트에 너트를 끼워 돌림으로써 상기 강선의 인장을 조절하는 것을 특징으로 하는 기판 이송
According to claim 1,
The tensile force adjusting unit includes a support point that is bound by the steel wire to a fixed point and an end point that are both ends of the body, and fastens a bolt connected to the steel wire to a support that is coupled to the end point and turns the nut by inserting a nut into the bolt. Substrate transfer characterized by adjusting the tension of the steel wire
제 1 항에 있어서,
상기 강선은 스틸 와이어(steel wire)로 이루어지고, 직경 범위가 1mm 내지 1.5mm 인 것을 특징으로 하는 기판 이송 로봇 핸드.
According to claim 1,
The steel wire is made of a steel wire, the substrate transfer robot hand, characterized in that the diameter range is 1mm to 1.5mm.
제 1 항에 있어서,
상기 몸체의 옆면에 상기 강선이 걸쳐져 상기 강선을 꺾어지게 하는 핀을 포함하고, 상기 고정점에서부터 상기 핀까지의 간격인 제 1 간격과 상기 핀에서부터 상기 끝점까지 간격인 제 2 간격에 의하여 인장을 조절할 수 있는 것을 특징으로 하는 기판 이송 로봇 핸드.According to claim 1,
It includes a pin for bending the steel wire on the side surface of the body, and adjusts the tension by the first distance from the fixed point to the pin and the second distance from the pin to the end point. A substrate transfer robot hand, characterized in that it can.
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