KR20200044750A - Method for determining work inspection result - Google Patents

Method for determining work inspection result Download PDF

Info

Publication number
KR20200044750A
KR20200044750A KR1020200046014A KR20200046014A KR20200044750A KR 20200044750 A KR20200044750 A KR 20200044750A KR 1020200046014 A KR1020200046014 A KR 1020200046014A KR 20200046014 A KR20200046014 A KR 20200046014A KR 20200044750 A KR20200044750 A KR 20200044750A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
work
inspection
items
inspection result
evaluation value
Prior art date
Application number
KR1020200046014A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
다이주 기쿠치
요시히코 요코야마
Original Assignee
가부시키가이샤 도쿄 웰드
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시키가이샤 도쿄 웰드 filed Critical 가부시키가이샤 도쿄 웰드
Publication of KR20200044750A publication Critical patent/KR20200044750A/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G01N2021/8887Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges based on image processing techniques

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Textile Engineering (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)

Abstract

An object of the present invention is to optimally determine whether a workpiece is good or bad. As a means to solve the problem, a method for determining an inspection result of the workpiece comprises the following steps of: inspecting a plurality of inspection items on a plurality of workpieces; obtaining evaluation values for each workpiece by using a combining function combining functions determined for each inspection item based on the inspection result of all inspection items; and arranging evaluation values of each workpiece in a desired space. Based on a distribution status of the evaluation values arranged in the desired space, a boundary dividing the desired space into regions representing a plurality of classes is set in the desired space.

Description

워크의 검사 결과 판정 방법{METHOD FOR DETERMINING WORK INSPECTION RESULT}How to judge the inspection result of a work {METHOD FOR DETERMINING WORK INSPECTION RESULT}

본 발명은 전자부품 등의 워크를 반송하면서, 그 각 면을 워크 촬상 수단에 의해 촬상해서 외관 검사를 행하는 워크의 외관 검사 장치에 이용되며, 검사 결과에 의거해서 그 판정을 행하는 워크의 검사 결과 판정 방법에 관한 것이다.The present invention is used in an appearance inspection apparatus for a work that carries out a workpiece such as an electronic component and images each surface by a work imaging means to perform an appearance inspection, and determines the inspection result of the work that makes the determination based on the inspection result. It's about how.

종래부터, 회전하는 원반 모양의 투명한 글래스 테이블의 윗면에 6면체 형상의 전자부품 등의 워크를 재치(載置)하고, 워크를 글래스 테이블의 윗면에 흡착시켜서 반송하고, 워크의 각 면을 워크 촬상 수단에 의해 촬상해서 외관 검사를 행하는 워크의 외관 검사 장치가 알려져 있다(특허문헌 1 참조).Conventionally, a workpiece such as an electronic component having a hexahedron shape is mounted on an upper surface of a rotating disk-shaped transparent glass table, and the workpiece is adsorbed to the upper surface of the glass table and conveyed, and each surface of the workpiece is imaged A visual inspection device for a workpiece that is imaged by means to perform visual inspection is known (see Patent Document 1).

이러한 워크의 외관 검사 장치에 있어서, 워크에 대하여 복수의 검사 항목에 관해 검사가 실시된다. 그리고 각 검사 항목에 대해서 OK/NG의 역치가 설정되어, 모든 검사 항목에 대해서 OK로 판정된 워크가 양품(良品)으로서 판정된다.In the apparatus for inspecting the appearance of such a workpiece, the workpiece is inspected for a plurality of inspection items. Then, the threshold value of OK / NG is set for each inspection item, and the work determined as OK for all inspection items is judged as a good product.

그러나 각 검사 항목의 역치를 어떻게 설정하면, 양품/불량품의 판정을 최적으로 행할 수 있을지는 케이스 바이 케이스(case by case)로 정해지기 때문에, 이 역치를 정하는 것은 용이하지 않다.However, it is not easy to determine this threshold, since it is determined by case by case how to determine whether a good or bad product can be optimally set by setting the threshold of each inspection item.

일본국 특개 2011-133458호 공보Japanese Patent Application No. 2011-133458

본 발명은 이러한 점을 고려해서 이루어진 것으로서, 워크에 대해서 양품/불량품의 판정을 최적으로 행할 수 있는 워크의 검사 결과 판정 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made in consideration of these points, and an object of the present invention is to provide a method for judging an inspection result of a work that can optimally judge a good or bad product.

본 발명은, 복수의 워크에 대하여 복수의 검사 항목에 대해서 검사를 실시하고, 전체 검사 항목의 검사 결과에 의거하여 워크의 등급을 판정하는 워크의 검사 결과 판정 방법에 있어서, 상기 복수의 워크에 대하여 복수의 검사 항목에 대해서 검사를 실시하는 공정과, 각 워크에 대해서, 전체 검사 항목의 검사 결과에 의거하여, 검사 항목마다 정해지는 함수를 결합시킨 결합 함수를 이용하여 그 평가 값을 구하는 공정과, 각 워크의 평가 값을 소망 공간에 배치하는 공정과, 상기 소망 공간에 배치된 평가 값의 분포 상태에 의거하여 당해 소망 공간 내에, 이 소망 공간을 복수의 등급을 나타내는 영역으로 구획하는 경계를 설정하는 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 워크의 검사 결과 판정 방법이다.The present invention relates to a plurality of workpieces in an inspection result judging method for inspecting a plurality of workpieces on a plurality of inspection items and determining a work grade based on inspection results of all inspection items. A process of inspecting a plurality of inspection items and a process of obtaining evaluation values for each work using a combination function combining functions determined for each inspection item based on inspection results of all inspection items, Based on the process of arranging the evaluation values of each work in the desired space and the distribution state of the evaluation values arranged in the desired space, a boundary is defined in the desired space to divide the desired space into regions representing a plurality of classes. It is a method for judging the inspection result of a work, characterized by comprising a step.

본 발명은, 상기 검사는 화상 검사인 것을 특징으로 하는 워크의 검사 결과 판정 방법이다.In the present invention, the inspection is an inspection result judging method characterized in that the inspection is an image inspection.

본 발명은, 상기 평가 값을 구하는 공정에 있어서, 검사 결과 항목에 정해지는 함수는, 당해 검사 항목의 중요도 배분에 의해 정해지는 계수를 포함하는 것을 특징으로 하는 워크의 검사 결과 판정 방법이다.In the present invention, in the step of obtaining the evaluation value, the function determined in the inspection result item includes a coefficient determined by the importance distribution of the inspection item, and the inspection result determination method of the work is characterized by the above-mentioned.

본 발명은, 상기 경계를 설정하는 공정에 있어서, 복수의 등급을 나타내는 영역은 양품 영역 및 불량품 영역을 포함하는 것을 특징으로 하는 워크의 검사 결과 판정 방법이다.In the present invention, in the step of setting the boundary, a region indicating a plurality of grades is a method for judging the inspection result of a work, characterized in that it includes a good product area and a bad product area.

본 발명은, 상기 평가 값을 구하는 공정에 있어서, 상기 워크마다 구하는 평가 값은 OK 스코어와 NG 스코어를 포함하는 것을 특징으로 하는 워크의 검사 결과 판정 방법이다.In the present invention, in the step of obtaining the evaluation value, the evaluation value obtained for each work includes an OK score and an NG score, and is a method for judging the inspection result of the work.

본 발명은, 상기 경계를 설정하는 공정의 후에, 각 워크에 대해서 양품 또는 불량품의 판정을 행하는 것을 특징으로 하는 워크의 검사 결과 판정 방법이다.The present invention is a method for judging the inspection result of a work, characterized in that, after the step of setting the boundary, each work is judged as a good product or a defective product.

이상과 같이 본 발명에 의하면, 검사 대상 워크에 대해서, 그 양품/불량품의 판정을 적절하면서 또한 용이하게 행할 수 있다.As described above, according to the present invention, it is possible to appropriately and easily determine the good / bad product with respect to the work to be inspected.

도 1은 워크의 외관 검사 장치를 나타내는 평면도.
도 2의 (a) (b)는 반송 테이블의 윗면에 재치된 워크가 반송되는 상태를 나타내는 도면.
도 3은 본 발명에 따른 워크의 검사 결과 판정 방법을 나타내는 플로우차트.
도 4는 본 발명에 따른 워크의 검사 결과 판정 방법에서 사용하는 2차원 공간을 나타내는 도면.
도 5는 비교예로서의 검사 결과 판정 방법을 나타내는 도면.
1 is a plan view showing a visual inspection device for a work.
2 (a) and 2 (b) are views showing a state in which the workpiece placed on the upper surface of the conveying table is conveyed.
3 is a flowchart showing a method for judging the inspection result of a work according to the present invention.
4 is a diagram showing a two-dimensional space used in a method for determining a result of inspection of a work according to the present invention.
5 is a diagram showing a test result determination method as a comparative example.

이하, 도면을 참조해서 본 발명의 실시형태에 대해 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 1 내지 도 5는 본 발명에 따른 워크의 검사 결과 판정 방법의 실시형태를 나타내는 도면이다.1 to 5 are diagrams showing an embodiment of a method for judging an inspection result of a work according to the present invention.

먼저, 워크의 검사 결과 판정 방법이 사용되는, 화상 검사 장치로서의 워크의 외관 검사 장치의 개략을 도 1에 의해 설명한다.First, the outline of the external appearance inspection device of the work as the image inspection device in which the method for determining the inspection result of the work is used will be described with reference to FIG. 1.

도 1에 나타내는 바와 같이, 워크의 외관 검사 장치(30)는, 6면체 형상의 전극을 포함하는 전자부품 등의 워크(W)를 반송하는 투명한 글래스제의 반송 테이블(2)과, 반송 테이블(2)에 의해 반송되는 워크(W)의 6면을 촬상하는 측면 카메라부(8), 내면 카메라부(9), 윗면 카메라부(10), 밑면 카메라부(11), 전면 카메라부(12) 및 후면 카메라부(13)를 구비하고 있다.As shown in FIG. 1, the visual inspection device 30 for a work includes a transparent glass transport table 2 and a transport table 2 for transporting a work W such as an electronic component including a hexagonal electrode. 2) the side camera unit 8, the inner camera unit 9, the upper camera unit 10, the lower camera unit 11, and the front camera unit 12 that image the six surfaces of the work W conveyed by the And a rear camera unit 13.

이 중 반송 테이블(2)에 의해 반송 수단이 구성되며, 또한 측면 카메라부(8)와, 내면 카메라부(9)와, 윗면 카메라부(10)와, 밑면 카메라부(11)와, 전면 카메라부(12)와, 후면 카메라부(13)에 의해 워크 촬상 수단이 구성된다.Among these, the conveying means is constituted by the conveying table 2, and the side camera part 8, the inner camera part 9, the top camera part 10, the bottom camera part 11, and the front camera The work imaging means is configured by the unit 12 and the rear camera unit 13.

도 1에 나타내는 워크의 외관 검사 장치(30)에 있어서, 우선 워크(W)는 약간의 경사를 가지고서 하강하는 직선 모양의 리니어 피더(1)의 진동 작용에 의해 일렬로 정렬해서 화살표(N)의 방향으로 반송된다. 다음으로 워크(W)는 리니어 피더(1)의 하류단(下流端)에 있어서, 진동하지 않는 무진동부(4)를 거쳐, 리니어 피더(1)의 하방에 수평하게 마련된 투명한 글래스제의 반송 테이블(2)의 윗면에 이재(移載)된다. 그리고, 무진동부(4)의 위치의 약간 앞쪽이면서 또한 반송 테이블(2)의 바로 아래에 마련된 이오나이저(6)가, 반송 테이블(2)의 밑면을 향해서 플러스 이온을 분출한다. 이 때문에, 반송 테이블(2)의 밑면은 플러스로 대전되며, 그것에 의해 발생하는 정전유도 또는 유전분극의 작용에 의해, 워크(W)는 반송 테이블(2)의 윗면에 흡착된다.In the visual inspection apparatus 30 for the work shown in Fig. 1, first, the work W is arranged in a line by the vibration action of the linear linear feeder 1 descending with a slight inclination, and the arrow N is Direction. Next, the workpiece W is a transparent glass conveying table provided horizontally below the linear feeder 1 through the vibration-free vibration part 4 at the downstream end of the linear feeder 1. It is displaced on the upper surface of (2). Then, the ionizer 6 provided slightly below the position of the non-vibration portion 4 and immediately below the transport table 2 ejects positive ions toward the underside of the transport table 2. For this reason, the bottom surface of the conveying table 2 is positively charged, and the work W is adsorbed on the upper surface of the conveying table 2 by the action of electrostatic induction or dielectric polarization generated thereby.

흡착된 워크(W)는 반송 테이블(2)의 회전(중심축(3)의 주위의 화살표(X) 방향)에 의해 반송되며, 그 후 정렬 가이드(7)의 작용에 의해 반송 테이블(2)의 윗면의 외연부(外緣部) 근방에 상정되는 워크 반송 원호(5) 상에 정렬된다. 그리고, 워크(W)는 그 정렬 상태에서 반송되면서 측면 카메라부(8), 내면 카메라부(9), 윗면 카메라부(10), 밑면 카메라부(11), 전면 카메라부(12), 후면 카메라부(13)에 있어서, 각 면을 각각 대응하는 촬상 수단에 의해 촬상되어, 외관 검사가 행해진다.The adsorbed work W is conveyed by the rotation of the conveying table 2 (direction of the arrow X around the central axis 3), and thereafter the conveying table 2 by the action of the alignment guide 7 It is aligned on the work conveying arc 5, which is assumed to be near the outer edge of the upper surface of the. And, while the work W is conveyed in its aligned state, the side camera unit 8, the inner camera unit 9, the top camera unit 10, the bottom camera unit 11, the front camera unit 12, and the rear camera In the part 13, each surface is imaged by the corresponding imaging means, and visual inspection is performed.

외관 검사를 종료한 워크(W)는, 외관 검사의 결과에 대응해서 배출부(14)에 의해 워크 반송 원호(5) 상으로부터 도시되지 않은 수납 상자로 배출된다.The work W which has completed the visual inspection is discharged from the work conveying arc 5 onto the storage box (not shown) by the discharge unit 14 in response to the result of the visual inspection.

여기서 반송 테이블(2)의 윗면에 재치된 워크(W)가 반송되는 상태를 사시도로서 도 2의 (a)에 나타낸다. 워크(W)는 6면체 형상이며, 그 각 변의 길이는 도 2의 (a)에 나타내는 바와 같이, 화살표(X)로 나타나 있는 반송 테이블(2)의 회전 방향에 따른 길이 방향의 한 변이 WL, 반송 테이블(2)의 중심축(3)(도 1)으로부터 외연부를 향하는 반경 방향에 따른 폭 방향의 한 변이 Ww, 반송 테이블(2)의 윗면으로부터 상방을 향하는 높이 방향의 한 변이 WH이다. 여기에, 각 변의 길이 WL, Ww, WH는, 모두 대략 1mm∼10mm 정도이다.Here, the state in which the workpiece W placed on the upper surface of the conveying table 2 is conveyed is shown in Fig. 2 (a) as a perspective view. The workpiece W has a hexahedron shape, and the length of each side is WL in the longitudinal direction along the rotational direction of the conveying table 2 indicated by an arrow X, as shown in Fig. 2A. One side in the width direction along the radial direction from the central axis 3 (FIG. 1) of the transfer table 2 toward the outer edge portion is Ww, and one side in the height direction upward from the top surface of the transfer table 2 is WH. Here, the lengths WL, Ww, and WH of each side are all approximately 1 mm to 10 mm.

또한, 도 2의 (a)의 워크(W)를 반송 테이블(2)의 윗면(화살표(C)의 방향)으로부터 본 평면도를 도 2의 (b)에 나타낸다. 도 2의 (b)에 있어서, 워크(W)는 반송 테이블(2)의 외측을 향한 측면(Ws)이 워크 반송 원호(5)의 접선이 되도록, 반송 테이블(2)의 윗면에 재치되어 있다. 측면(Ws)에 대향하는 내면(Wi)은 반송 테이블(2)의 중심축(3)(도 1)을 향하고 있다. 그리고, 화살표(X)로 나타나 있는 반송 테이블(2)의 회전 방향으로는 전면(Wf)이, 또한 회전 방향과 역방향으로는 후면(Wr)이 향하고 있다.2 (b) is a plan view of the work W of FIG. 2A seen from the top surface (direction of the arrow C) of the transfer table 2. In Fig. 2 (b), the work W is placed on the upper surface of the transport table 2 such that the side Ws facing the outside of the transport table 2 becomes the tangent line of the work transport arc 5. . The inner surface Wi facing the side Ws faces the central axis 3 (FIG. 1) of the conveying table 2. Then, the front Wf is directed toward the rotational direction of the conveyance table 2 indicated by the arrow X, and the rear Wr is directed toward the opposite direction to the rotational direction.

도 2의 (a)에 나타나 있는 바와 같이, 길이 WL은 워크(W)의 길이 방향을 향한다. 이와 같이, 워크의 외관 검사 장치(30)에 있어서는, 도 1에 있어서의 리니어 피더(1) 및 정렬 가이드(7)의 작용에 의해, 6면체 형상의 워크(W)는 그 길이 방향이 반송 테이블(2)의 회전 방향을 따르도록, 및 측면(Ws)이 반송 테이블(2)의 외측을 향해서 워크 반송 원호(5)의 접선이 되도록, 반송 테이블(2)의 윗면에 재치되어 있다.As shown in Fig. 2 (a), the length WL faces the longitudinal direction of the work W. As described above, in the visual inspection apparatus 30 for the work, the lengthwise direction of the hexahedron-shaped work W is conveyed by the action of the linear feeder 1 and the alignment guide 7 in FIG. 1. It is mounted on the upper surface of the conveying table 2 so that it follows the rotation direction of (2) and the side surface Ws is the tangent of the work conveying circular arc 5 toward the outside of the conveying table 2.

여기에, 워크(W)의 각 면과 그것들을 촬상하는 각 카메라부의 대응 관계를 이하에 기재한다. 먼저, 도 1의 측면 카메라부(8)에 있어서, 도 2의 (a)의 화살표(A) 방향으로부터 도 2의 (b)의 측면(Ws)을 촬상한다. 다음으로, 도 1의 내면 카메라부(9)에 있어서, 도 2의 (a)의 화살표(B) 방향으로부터 도 2의 (b)의 내면(Wi)을 촬상한다. 다음으로, 도 1의 윗면 카메라부(10)에 있어서, 도 2의 (a)의 화살표(C) 방향으로부터 도 2의 (a)의 윗면(Wt)을 촬상한다. 다음으로, 도 1의 밑면 카메라부(11)에 있어서, 도 2의 (a)의 화살표(D) 방향으로부터 도 2의 (a)의 밑면(Wb)을 촬상한다. 다음으로, 도 1의 전면 카메라부(12)에 있어서, 도 2의 (a)의 화살표(E) 방향으로부터 도 2의 (b)의 전면(Wf)을 촬상한다. 마지막으로, 도 1의 후면 카메라부(13)에 있어서, 도 2의 (a)의 화살표(F) 방향으로부터 도 2의 (b)의 후면(Wr)을 촬상한다.Here, the correspondence relationship between each surface of the workpiece | work W and each camera part which images these is described below. First, in the side camera part 8 of FIG. 1, the side surface Ws of FIG. 2B is imaged from the direction of the arrow A of FIG. 2A. Next, in the inner surface camera unit 9 of Fig. 1, the inner surface Wi of Fig. 2B is imaged from the direction of the arrow B in Fig. 2A. Next, in the top camera unit 10 of FIG. 1, the top surface Wt of FIG. 2A is imaged from the direction of the arrow C in FIG. 2A. Next, in the bottom camera part 11 of FIG. 1, the bottom surface Wb of FIG. 2 (a) is imaged from the direction of the arrow D of FIG. 2 (a). Next, in the front camera unit 12 of Fig. 1, the front surface Wf of Fig. 2B is imaged from the direction of the arrow E in Fig. 2A. Finally, in the rear camera portion 13 of FIG. 1, the rear surface Wr of FIG. 2B is imaged from the direction of the arrow F of FIG. 2A.

다음으로 측면 카메라부(8), 내면 카메라부(9), 윗면 카메라부(10), 밑면 카메라부(11), 전면 카메라부(12) 및 후면 카메라부(13)에 의해 촬상된 촬상 결과는 제어부(20)로 보내진다.Next, the imaging results captured by the side camera unit 8, the inner camera unit 9, the top camera unit 10, the bottom camera unit 11, the front camera unit 12, and the rear camera unit 13 are It is sent to the control unit 20.

제어부(20) 내에서는, 이하의 요령으로 도 3에 나타내는 플로우차트에 따라, 워크의 검사 결과 판정 방법이 행하여진다.In the control unit 20, a method for judging the inspection result of the work is performed according to the flowchart shown in FIG. 3 with the following tips.

구체적으로는 먼저, 검사 방법이 스타트되어, 측면 카메라부(8), 내면 카메라부(9), 윗면 카메라부(10), 밑면 카메라부(11), 전면 카메라부(12) 및 후면 카메라부(13)에 의해 각 워크(W)의 6면이 촬상되며, 촬상된 워크(W)의 6면의 촬상 결과에 의거하여 제어부(20)에 있어서, 복수의 검사 항목에 대해서 검사를 실시한다.Specifically, first, the inspection method is started, the side camera unit 8, the inner camera unit 9, the top camera unit 10, the bottom camera unit 11, the front camera unit 12 and the rear camera unit ( 13), the six surfaces of each work W are imaged, and the control unit 20 performs inspection on a plurality of inspection items based on the imaging results of the six surfaces of the captured work W.

이들 검사 항목으로서는, 구체적으로는 (1) 워크의 결함의 크기, (2) 전극의 크기, (3) 오염 상태를 들 수 있다.Examples of these inspection items include (1) the size of defects in the workpiece, (2) the size of the electrodes, and (3) the state of contamination.

다음으로 제어부(20) 내에서는, 각 워크(W)에 대해서 상기 전체 검사 항목 (1)∼ (3)의 검사 결과에 의거하여, 검사 항목마다 정해지는 함수를 결합시킨 결합 함수를 이용하여 그 평가 값을 구한다.Next, in the control unit 20, evaluation is performed for each work W using a combining function combining functions determined for each inspection item based on the inspection results of the entire inspection items (1) to (3). Get the value.

다음으로 검사 항목마다 정해지는 함수를 결합시킨 결합 함수에 대하여, 이하 설명한다.Next, a coupling function in which a function determined for each inspection item is combined will be described below.

여기서 결합 함수(F1)로서는 이하의 (1)식을 이용할 수 있다.Here, the following equation (1) can be used as the coupling function F1.

F1=Afa(OK, NG)+Bfb(OK, NG)+Cfc(OK, NG)+···(1)F1 = Afa (OK, NG) + Bfb (OK, NG) + Cfc (OK, NG) + ... (1)

결합 함수(F1)는, 각 워크의 평가 값을 구할 때의 스코어 결정 시의 각 검사 항목의 중요도 배분을 나타내는 계수 A, B, C···와, 각 검사 항목의 역치로부터 생성되는 함수 Afa(OK, NG), Bfb(OK, NG), Cfc(OK, NG)의 결합((1)식에 있어서는 1차 결합)으로 이루어지는 함수로서 생성된다. (1)식에 있어서,「OK」는 OK 스코어를 나타내고,「NG」는 NG 스코어를 나타낸다.The combining function F1 is a function Afa () generated from coefficients A, B, C ... indicating the importance distribution of each test item when determining the score when determining the evaluation value of each work, and the threshold value of each test item It is generated as a function consisting of a combination of OK, NG), Bfb (OK, NG), and Cfc (OK, NG) (first order in (1) equation). In the formula (1), "OK" represents the OK score, and "NG" represents the NG score.

또 결합 함수(F1)는, 수식에 의한 기재가 용이할 경우에 적용된다. 한편, 결합 함수(F1)의 수식의 기재가 곤란할 경우, 학습 기능을 가지는 AI(인공지능)에 F1 상당의 함수 F2를 생성시켜도 된다.Moreover, the coupling function F1 is applied when description by an equation is easy. On the other hand, when it is difficult to describe the expression of the coupling function F1, a function F2 corresponding to F1 may be generated in AI (artificial intelligence) having a learning function.

(1)식에 있어서, 전술한 바와 같이 F1은 결합 함수를 나타내고, 함수 Afa(OK, NG)는 검사 항목, 예를 들면 워크의 결함의 역치로부터 생성되는 검사 항목마다 정해지는 함수이며, 함수 Afa(OK, NG)는 역치를 기준으로 한 OK(양호) 또는 NG(불량)의 파라미터를 갖는다. 또한 함수 Afa(OK, NG)는, 검사 항목의 중요도 배분을 나타내는 계수 A를 가지며, 당해 검사 항목의 가중치가 낮을 경우, 계수 A는 작은 값을 취하고, 가중치가 높을 경우, 계수 A는 큰 값을 취한다.In the equation (1), as described above, F1 denotes a combining function, and functions Afa (OK, NG) are functions determined for each inspection item generated from inspection items, for example, the threshold of defects in the work, and the function Afa (OK, NG) has parameters of OK (good) or NG (bad) based on the threshold. In addition, the functions Afa (OK, NG) have a coefficient A indicating the importance distribution of the test item, and when the weight of the test item is low, the coefficient A takes a small value, and when the weight is high, the coefficient A has a large value. To take.

또한 (1)식에 있어서, 함수 Bfb(OK, NG)는 검사 항목, 예를 들면 워크의 전극의 크기의 역치로부터 생성되는 검사 항목마다 정해지는 함수이며, 함수 Bfb(OK, NG)는 역치를 기준으로 한 OK 또는 NG의 파라미터를 갖는다. 또한 함수 Bfb(OK, NG)는, 검사 항목의 중요도 배분을 나타내는 계수 B를 가지며, 당해 검사 항목의 가중치가 낮을 경우, 계수 B는 작은 값을 취하고, 가중치가 높을 경우, 계수 B는 큰 값을 취한다.In addition, in equation (1), the function Bfb (OK, NG) is a function determined for each test item generated from a test item, for example, a threshold of the size of the electrode of the work, and the function Bfb (OK, NG) is a threshold It has the parameters of OK or NG as a reference. In addition, the function Bfb (OK, NG) has a coefficient B indicating the importance distribution of the inspection item, and when the weight of the inspection item is low, the coefficient B takes a small value, and when the weight is high, the coefficient B has a large value. To take.

(1)식에 있어서, 함수 Cfc(OK, NG)는 검사 항목, 예를 들면 워크의 오염 상태의 역치로부터 생성되는 검사 항목마다 정해지는 함수이며, 함수 Cfc(OK, NG)는 역치를 기준으로 한 OK 또는 NG의 파라미터를 갖는다. 또한 함수 Cfc(OK, NG)는, 검사 항목의 중요도 배분을 나타내는 계수 C를 가지며, 당해 검사 항목의 가중치가 낮을 경우, 계수 C는 작은 값을 취하고, 가중치가 높을 경우, 계수 C는 큰 값을 취한다.In equation (1), the function Cfc (OK, NG) is a function determined for each test item generated from a test item, for example, a threshold value of the contamination state of the work, and the function Cfc (OK, NG) is based on the threshold value. It has one OK or NG parameter. In addition, the functions Cfc (OK, NG) have a coefficient C indicating the importance distribution of the test item, and when the weight of the test item is low, the coefficient C takes a small value, and when the weight is high, the coefficient C has a large value. To take.

이와 같이 해서 (1)식에 나타내는 검사 항목마다 정해지는 함수를 결합시킨 결합 함수(F1)를 이용하여, 각 워크마다의 평가 값을 정한다.In this way, the evaluation value for each work is determined using the combining function F1 which combines the functions determined for each inspection item shown in equation (1).

다음으로 제어부(20)에서는, 각 워크마다의 평가 값을 도 4에 나타내는 소망의 2차원 공간에 배치한다.Next, the control unit 20 arranges the evaluation values for each work in the desired two-dimensional space shown in FIG. 4.

이 경우, 워크마다의 평가 값은, 도 4에 나타나 있는 바와 같이 OK 스코어(양호 스코어) 및 NG 스코어(불량 스코어)를 포함한다. 여기서 도 4에 있어서, 세로축은 OK 스코어를 나타내고, 가로축은 NG 스코어를 나타낸다.In this case, the evaluation value for each work includes an OK score (good score) and an NG score (bad score) as shown in FIG. 4. Here, in Fig. 4, the vertical axis represents the OK score, and the horizontal axis represents the NG score.

도 4에 나타내는 바와 같이, 워크마다의 평가값 중 OK 스코어의 값이 크면 워크의 평가는 양호가 되고, NG 스코어의 값이 크면 워크의 평가는 불량이 된다.As shown in Fig. 4, if the value of the OK score is large among the evaluation values for each work, evaluation of the work becomes good, and when the value of the NG score is large, the evaluation of the work becomes poor.

다음으로 2차 공간에 배치된 분포 상태에 의거하여 2차 공간 내에, 2차 공간을 복수의 등급을 나타내는 영역 α, β, γ, δ로 구획하는 경계 A, B를 설정한다.Next, on the basis of the distribution state arranged in the secondary space, boundaries A and B are set in the secondary space to partition the secondary space into regions α, β, γ, and δ representing a plurality of classes.

도 4에 있어서, 2차 공간은 직선 모양의 경계 A, B에 의해 4개의 영역 α, β, γ, δ로 구획되어 있고, 이 중 영역 α는 양품 영역이며, 이 영역α에 들어가는 워크는 양품으로서 판정된다.In Fig. 4, the secondary space is divided into four regions α, β, γ, and δ by linear boundaries A and B, of which the region α is a good product region, and the work entering the region α is a good product It is judged as.

영역 δ는 불량품 영역이며, 이 영역δ에 들어가는 워크는 불량품으로서 판정된다.The area δ is a defective product area, and a work entering the area δ is determined as a defective product.

영역 β, γ는 그레이(gray) 영역이며, 이 영역 β, γ에 들어가는 워크는, 목시(目視) 검사의 대상이 된다(그레이품).The regions β and γ are gray regions, and the work entering the regions β and γ is subjected to visual inspection (gray product).

이와 같이 하여, 2차 공간에 각 워크의 OK 스코어와 NG 스코어를 포함하는 평가 값을 배치하고, 이 평가 값의 분포 상태에 의거하여, 2차 공간을 4개의 영역 α, β, γ, δ로 구획하는 경계 A, B를 설정한다. 다음으로 이 4개의 영역 α, β, γ, δ에 들어가는 워크에 대해서, 양품, 불량품 혹은 그레이품으로서 판정할 수 있다.In this way, an evaluation value including the OK score and the NG score of each work is placed in the secondary space, and the secondary space is divided into four regions α, β, γ, and δ based on the distribution state of the evaluation value. Set boundaries A and B to divide. Next, the workpieces entering these four regions α, β, γ, and δ can be judged as good products, defective products, or gray products.

다음으로 도 5에 의해 본 발명의 비교예에 대하여 설명한다. 도 5에 나타내는 비교예에 있어서, 각 워크에 대해서 검사 항목 (1): 결함의 크기가 구해지고, 검사 항목 (2): 전극의 크기가 구해지고, 검사 항목 (3): 오염 상태가 구해진다.Next, a comparative example of the present invention will be described with reference to FIG. 5. In the comparative example shown in Fig. 5, for each work, inspection item (1): defect size is obtained, inspection item (2): electrode size is obtained, inspection item (3): contamination state is obtained .

도 5에 나타내는 비교예에 있어서, 각 워크에 대해서 검사 항목 (1)∼ (3)마다 역치 1∼3이 설정되어 있고, 각 검사 항목 (1)∼ (3)에 대해서 역치 1∼3을 기준으로 하여 양호(OK), 불량(NG)이 판정된다. 그리고 각 워크에 대해서 모든 검사 항목 1∼3이 전부 양호로 판정되었을 경우에, 당해 워크는 양품으로서 판정되고, 검사 항목 1∼3 중 어느 하나의 검사 항목이 불량일 경우에, 당해 워크는 불량품으로서 판정된다.In the comparative example shown in Fig. 5, the thresholds 1 to 3 are set for each of the inspection items (1) to (3) for each work, and the thresholds 1 to 3 are standard for each inspection item (1) to (3). Thus, good (OK) and bad (NG) are judged. And when all the inspection items 1-3 of each work are judged as good, the work is judged as a good product, and when any one of the inspection items 1-3 is defective, the work is regarded as a defective product. Is judged.

그러나, 이 비교예의 경우, 각 검사 항목의 역치를 어떻게 설정하면, 양품과 불량품의 판정을 적절하게 행할 수 있을지 불분명하며, 각 검사 항목의 역치는 다른 검사 항목의 역치와 무관하게 정해지기 때문에, 검사 항목 전체의 밸런스를 고려해서 양품과 불량품의 판정을 행하는 것이 어렵다.However, in the case of this comparative example, it is unclear how to set the thresholds of each inspection item to properly judge whether good or bad items are appropriate, and the thresholds of each inspection item are determined independently of the thresholds of other inspection items. It is difficult to judge whether a good product or a defective product is considered in consideration of the overall item balance.

이에 비하여 본원 발명에 의하면, 각 검사 항목마다 정해지는 함수를 결합시킨 결합 함수를 이용하여 그 평가 값을 구하고, 이 평가 값을 2차 공간에 배치하고, 평가 값의 분포 상태에 의거하여 2차 공간을 4개의 영역 α, β, γ, δ로 구획하고, 이 4개의 영역 α, β, γ, δ에 들어가는 워크에 대해서 그 등급(양품, 불량품, 그레이품)을 판정한다. 이 때문에, 검사 항목 전체의 밸런스를 고려해서 양품과 불량품의 판정을 행할 수 있다. 또한 각 검사 항목마다의 함수는 당해 검사 항목의 중요도 배분에 의해 정해지는 계수를 포함하기 때문에, 중요도가 높은 검사 항목의 검사 결과를 중시해서 양품, 불량품의 판정을 행할 수 있기 때문에, 실정에 따라 워크의 양품, 불량품을 적절하게 판정할 수 있다.On the other hand, according to the present invention, the evaluation value is obtained using a combining function in which a function determined for each test item is combined, the evaluation value is placed in the secondary space, and the secondary space is based on the distribution state of the evaluation value. Is divided into four regions α, β, γ, and δ, and the grades (good, defective, and gray) of the work entering the four regions α, β, γ, and δ are determined. For this reason, it is possible to judge good and bad products in consideration of the balance of the entire inspection items. In addition, since each function for each inspection item includes a coefficient determined by the importance distribution of the inspection item, it is possible to judge whether a good product or a defective product is important by considering the inspection result of a highly important inspection item. Good and bad products can be judged appropriately.

또 상기 실시형태에 있어서, 각 워크의 평가 값이 OK 스코어와 NG 스코어를 가지는 2개의 값을 포함하며, 이에 따라 평가 값을 2차원 공간 상에 배치한 예를 나타냈지만, 이에 한정하지 않고 평가 값은 3개의 값을 갖고, 이에 따라 평가 값을 3차원 공간 상에 배치해도 된다.Moreover, in the said embodiment, although the evaluation value of each work contains the two values which have an OK score and an NG score, the example in which the evaluation value was arrange | positioned on the two-dimensional space was shown, but it is not limited to this. Has three values, and accordingly, the evaluation value may be arranged in a three-dimensional space.

또한 2차원 공간에 평가 값을 배치하는 동시에, 평가 값의 분산 상태에 의거하여 2개의 직선 모양의 경계 A, B를 이용하여 2차원 공간을 구획한 예를 나타냈지만, 경계 A, B는 직선 모양의 것에 한정되는 것은 아니며, 곡선 모양의 경계여도 된다.In addition, while placing the evaluation values in the two-dimensional space and showing the example of dividing the two-dimensional space using the two straight-line boundaries A and B based on the dispersion state of the evaluation values, the boundaries A and B have a straight line shape It is not limited to that of the thing, and may be a curved boundary.

또한 2차원 공간을 2개의 직선 모양의 경계 A, B를 이용하여 4개의 등급을 나타내는 영역 α, β, γ, δ로 구획하는 예를 나타냈지만, 이에 한정하지 않고 2차원 공간을 5개, 6개 혹은 그 이상의 등급을 나타내는 영역마다 구획해도 된다.In addition, although an example of dividing the two-dimensional space into regions α, β, γ, and δ representing four grades using two straight-line boundaries A and B is shown, it is not limited thereto. You may divide into each area | region which shows a dog or more grades.

또한 이상의 설명에 있어서는, 본 발명을 외관 검사 장치에 적용하는 것으로 했지만, 본 발명은 외관 검사 장치 이외의 예를 들면, 테이핑 장치 등이 가지는 화상 처리 장치에도 적용하는 것이 가능하다.In addition, in the above description, the present invention is supposed to be applied to an appearance inspection device, but the present invention can be applied to an image processing device of a taping device or the like other than the appearance inspection device.

1: 리니어 피더 2: 반송 테이블
6: 이오나이저 7: 정렬 가이드
8: 측면 카메라부 9: 내면 카메라부
10: 윗면 카메라부 11: 밑면 카메라부
12: 전면 카메라부 13: 후면 카메라부
20: 제어부 30: 워크의 외관 검사 장치
1: Linear feeder 2: Transfer table
6: ionizer 7: alignment guide
8: Side camera part 9: Inner camera part
10: top camera section 11: bottom camera section
12: front camera unit 13: rear camera unit
20: control unit 30: appearance inspection device of the work

Claims (6)

복수의 워크에 대하여 복수의 검사 항목에 대해서 검사를 실시하고, 전체 검사 항목의 검사 결과에 의거하여 워크의 등급을 판정하는 워크의 검사 결과 판정 방법에 있어서,
상기 복수의 워크에 대하여 복수의 검사 항목에 대해서 검사를 실시하는 공정과,
각 워크에 대해서, 전체 검사 항목의 검사 결과에 의거하여, 검사 항목마다 정해지는 함수를 결합시킨 결합 함수를 이용하여 그 평가 값을 구하는 공정과,
각 워크의 평가 값을 소망 공간에 배치하는 공정과,
상기 소망 공간에 배치된 평가 값의 분포 상태에 의거하여, 당해 소망 공간 내에, 이 소망 공간을 복수의 등급을 나타내는 영역으로 구획하는 경계를 설정하는 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 워크의 검사 결과 판정 방법.
A method for judging a test result of a work in which a plurality of work items are inspected for a plurality of work items and a work grade is determined based on the test results of all the test items,
A step of inspecting a plurality of inspection items on the plurality of workpieces;
For each work, based on the inspection results of all inspection items, a process of obtaining the evaluation value using a combination function combining functions determined for each inspection item,
The process of placing the evaluation value of each work in the desired space,
And determining a boundary for dividing the desired space into regions representing a plurality of grades in the desired space based on the distribution state of the evaluation values arranged in the desired space. Way.
제 1 항에 있어서,
상기 검사는 화상 검사인 것을 특징으로 하는 워크의 검사 결과 판정 방법.
According to claim 1,
The inspection is an image inspection, characterized in that the inspection result determination method of the work.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 평가 값을 구하는 공정에 있어서, 검사 결과 항목에 정해지는 함수는, 당해 검사 항목의 중요도 배분에 의해 정해지는 계수를 포함하는 것을 특징으로 하는 워크의 검사 결과 판정 방법.
The method of claim 1 or 2,
In the step of obtaining the evaluation value, the function determined for the inspection result item includes a coefficient determined by the importance distribution of the inspection item, and the method for judging the inspection result of the work.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 경계를 설정하는 공정에 있어서, 복수의 등급을 나타내는 영역은 양품 영역 및 불량품 영역을 포함하는 것을 특징으로 하는 워크의 검사 결과 판정 방법.
The method of claim 1 or 2,
In the step of setting the boundary, the method for determining the inspection result of a work, characterized in that the region indicating a plurality of grades includes a good product area and a bad product area.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 평가 값을 구하는 공정에 있어서, 상기 워크마다 구하는 평가 값은 OK 스코어(score)와 NG 스코어를 포함하는 것을 특징으로 하는 워크의 검사 결과 판정 방법.
The method of claim 1 or 2,
In the step of obtaining the evaluation value, the evaluation value determined for each work includes an OK score (score) and an NG score.
제 4 항에 있어서,
상기 경계를 설정하는 공정의 후에, 각 워크에 대해서 양품 또는 불량품의 판정을 행하는 것을 특징으로 하는 워크의 검사 결과 판정 방법.
The method of claim 4,
A method of judging the inspection result of the work, characterized in that, after the step of setting the boundary, each work is judged as a good product or a defective product.
KR1020200046014A 2017-03-28 2020-04-16 Method for determining work inspection result KR20200044750A (en)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017063160 2017-03-28
JP2017081547A JP6999150B2 (en) 2017-03-28 2017-04-17 Work inspection result judgment method
JPJP-P-2017-081547 2017-04-17

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020180037975A Division KR102297748B1 (en) 2017-04-17 2018-04-02 Method for determining work inspection result

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20200044750A true KR20200044750A (en) 2020-04-29

Family

ID=63922884

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200046014A KR20200044750A (en) 2017-03-28 2020-04-16 Method for determining work inspection result

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP6999150B2 (en)
KR (1) KR20200044750A (en)
TW (1) TWI662272B (en)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011133458A (en) 2009-11-27 2011-07-07 Tokyo Weld Co Ltd Visual inspection device for workpiece, and visual inspection method for workpiece

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07239938A (en) * 1994-02-28 1995-09-12 Matsushita Electric Ind Co Ltd Inspection method
US6148099A (en) * 1997-07-03 2000-11-14 Neopath, Inc. Method and apparatus for incremental concurrent learning in automatic semiconductor wafer and liquid crystal display defect classification
EP1677099A1 (en) 2004-12-30 2006-07-05 Danmarks Tekniske Universitet Method and apparatus for classification of surfaces
JP5537282B2 (en) 2009-09-28 2014-07-02 株式会社日立ハイテクノロジーズ Defect inspection apparatus and defect inspection method
JP5441728B2 (en) 2010-01-15 2014-03-12 パナソニック株式会社 Sensory inspection device and sensory inspection method
US10043264B2 (en) * 2012-04-19 2018-08-07 Applied Materials Israel Ltd. Integration of automatic and manual defect classification
JP5921990B2 (en) * 2012-08-23 2016-05-24 株式会社ニューフレアテクノロジー Defect detection method

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011133458A (en) 2009-11-27 2011-07-07 Tokyo Weld Co Ltd Visual inspection device for workpiece, and visual inspection method for workpiece

Also Published As

Publication number Publication date
JP2018165712A (en) 2018-10-25
TW201842323A (en) 2018-12-01
TWI662272B (en) 2019-06-11
JP6999150B2 (en) 2022-01-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101271720B1 (en) Apparatus and method for inspecting appearance of work
EP3485427B1 (en) System and method for adaptive bin picking for manufacturing
US11972589B2 (en) Image processing device, work robot, substrate inspection device, and specimen inspection device
JP6009167B2 (en) Work appearance inspection apparatus and work appearance inspection method
US20150254833A1 (en) Programmable Digital Machine Vision Inspection System
JPWO2013150584A1 (en) Production system and method of manufacturing processed product
JP2019184380A (en) Imaging device and inspection system using imaging device
JP2015105429A (en) Surface inspection device for deposition metal plate and classification system for deposition metal plate and cathode plate
US11935216B2 (en) Vision inspection system and method of inspecting parts
KR20200044750A (en) Method for determining work inspection result
KR102297748B1 (en) Method for determining work inspection result
TWI702389B (en) Manufacturing method of glass plate
US10475176B2 (en) Inspection system for wire electrical discharge machine
CN108732171B (en) Method for determining inspection result of workpiece
JP6466960B2 (en) Mounting machine and electronic component suction posture inspection method using mounting machine
KR20180090329A (en) Substrate storage container
JP2006273480A (en) Quality inspection system
TWI624660B (en) Device handler, and vision inspection method
WO2019058475A1 (en) Shape data analogy determination device
JP2005035607A (en) Semiconductor device storage apparatus
JP7321816B2 (en) Dust detector
KR20170025323A (en) apparatus for checking inside diameter of part
JPH04177107A (en) Inspecting apparatus of appearance of molded article
JP2017116483A (en) Goods inspection system
JP2007179651A (en) Handling device and surface inspection apparatus of magnetic disk substrate

Legal Events

Date Code Title Description
A107 Divisional application of patent
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application