KR20200037170A - Thin film transistor array panel - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 박막 트랜지스터 표시판에 관한 것이다.The present invention relates to a thin film transistor array panel.
액정 표시 장치(Liquid Crystal Display)는 현재 가장 널리 사용되고 있는 평판 표시 장치(Flat Panel Display) 중 하나로서, 전극에 전압을 인가하여 액정층의 액정 분자들을 재배열시킴으로써 투과되는 빛의 양을 조절하는 표시 장치이다.A liquid crystal display (Liquid Crystal Display) is one of the most widely used flat panel display (Flat Panel Display), a display that controls the amount of light transmitted by rearranging the liquid crystal molecules of the liquid crystal layer by applying a voltage to the electrode Device.
일반적으로 액정 표시 장치는 전기장 생성 전극을 포함하는 두 개의 기판과 그 사이에 들어있는 액정층을 포함한다. 전기장 생성 전극 중 화소 전극은 행렬의 형태로 배열되어 있고 박막 트랜지스터(TFT) 등 스위칭 소자에 연결되어 한 행씩 차례로 데이터 전압을 인가 받는다.In general, a liquid crystal display device includes two substrates including an electric field generating electrode and a liquid crystal layer interposed therebetween. The pixel electrodes of the electric field generating electrodes are arranged in a matrix form, and are connected to a switching element such as a thin film transistor (TFT) to receive data voltages one by one in turn.
박막 트랜지스터 등의 스위칭 소자를 포함하는 표시판을 제조할 때, 사진 식각 공정을 이용한다. 이 때, 게이트 배선과 데이터 배선을 형성하는 공정에서, 노광 공정의 오차로 인하여, 게이트 배선과 데이터 배선의 위치가 영역 별로 변화할 수 있고, 이러한 두 배선의 위치 차이에 의하여 게이트 배선과 데이터 배선의 중첩 면적을 다르게 된다. 이처럼, 박막 트랜지스터의 게이트 전극과 소스 드레인 전극의 중첩 면적이 다르게 되면, 기생 용량의 차이가 발생하게 되고, 이는 스티치 불량이나 플리커(flicker) 등의 화질 저하를 가져온다.When manufacturing a display panel including a switching element such as a thin film transistor, a photolithography process is used. At this time, in the process of forming the gate wiring and the data wiring, due to an error in the exposure process, the position of the gate wiring and the data wiring may change for each region, and the difference between the positions of the two wirings may cause the gate wiring and the data wiring. The overlapping area becomes different. As described above, when the overlapping areas of the gate electrode and the source drain electrode of the thin film transistor are different, a difference in parasitic capacitance occurs, which leads to deterioration in image quality, such as defects in stitching or flicker.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 게이트 전극과 드레인 전극간의 기생 용량을 균일하게 유지하여, 기생 용량 차이에 따른 화질 저하를 방지하는 것이다.The problem to be solved by the present invention is to maintain a uniform parasitic capacitance between the gate electrode and the drain electrode, thereby preventing degradation of image quality due to parasitic capacitance difference.
본 발명의 한 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판은 기판, 상기 기판 위에 위치하는 게이트 전극 및 더미 게이트 전극을 포함하는 게이트선, 상기 게이트 전극 및 더미 게이트 전극 위에 위치하는 게이트 절연막, 상기 게이트 절연막 위에 위치하는 반도체, 그리고 상기 반도체 위에 위치하는 소스 전극, 드레인 전극, 그리고 더미 드레인 전극을 포함하고, 상기 드레인 전극과 상기 더미 드레인 전극은 서로 연결되어 있으며, 상기 드레인 전극은 상기 게이트 전극 위에서 상기 소스 전극과 마주보고, 상기 더미 드레인 전극은 상기 더미 게이트 전극과 중첩하거나, 상기 더미 게이트 전극에 인접하여 위치하고, 상기 드레인 전극은 상기 게이트선이 뻗은 방향으로 일정한 폭을 가지는 복수의 제1 영역을 포함하고, 상기 더미 드레인 전극은 상기 게이트선이 뻗은 방향으로 일정한 폭을 가지는 복수의 제2 영역을 포함하고, 상기 복수의 제2 영역 중 적어도 하나는 상기 게이트선과 0도 이상 90도 이하의 각도를 이루는 가장 자리를 포함하고, 상기 복수의 제2 영역 중 적어도 하나의 면적은 상기 복수의 제2 영역의 나머지 영역의 각 면적과 서로 다르다.A thin film transistor array panel according to an exemplary embodiment of the present invention includes a substrate, a gate line including a gate electrode and a dummy gate electrode positioned on the substrate, a gate insulating layer positioned on the gate electrode and the dummy gate electrode, and positioned on the gate insulating layer. A semiconductor, and a source electrode, a drain electrode, and a dummy drain electrode positioned on the semiconductor, the drain electrode and the dummy drain electrode are connected to each other, and the drain electrode faces the source electrode on the gate electrode. , The dummy drain electrode overlaps the dummy gate electrode or is located adjacent to the dummy gate electrode, and the drain electrode includes a plurality of first regions having a constant width in a direction in which the gate line extends, and the dummy drain The electrode is the gate line It includes a plurality of second regions having a constant width in an extended direction, and at least one of the plurality of second regions includes an edge forming an angle of 0 degrees or more and 90 degrees or less with the gate line, and the plurality of second regions At least one area of the area is different from each area of the remaining areas of the plurality of second areas.
상기 드레인 전극의 상기 복수의 제1 영역 중 적어도 하나는 상기 게이트선과 0도 이상 90도 이하의 각도를 이루는 가장 자리를 포함하고, 상기 복수의 제1 영역 중 적어도 하나의 면적은 상기 복수의 제1 영역의 나머지 영역의 각 면적과 서로 다를 수 있다.At least one of the plurality of first regions of the drain electrode includes an edge that forms an angle of 0 degrees or more and 90 degrees or less with the gate line, and an area of at least one of the plurality of first regions is the plurality of first regions. It may be different from each area of the remaining areas of the area.
상기 복수의 제1 영역의 면적과 상기 복수의 제2 영역의 면적은 상기 소스 전극으로부터 멀어질수록 넓어지거나 좁아질 수 있다.The area of the plurality of first regions and the area of the plurality of second regions may be wider or narrower as they are further away from the source electrode.
상기 복수의 제1 영역은 상기 소스 전극과 가까운 순서대로 배치되어 있는 제1 부영역, 제2 부영역 및 제3 부영역을 포함하고, 상기 복수의 제2 영역은 상기 소스 전극과 먼 순서대로 배치되어 있는 제4 부영역, 제5 부영역 및 제6 부영역을 포함하고, 상기 제1 부영역의 면적은 상기 제6 부영역의 면적과 같고, 상기 제2 부영역의 면적은 상기 제5 부영역의 면적과 같고, 상기 제3 부영역의 면적은 상기 제4 부영역의 면적과 같을 수 있다.The plurality of first regions include a first subregion, a second subregion, and a third subregion disposed in an order close to the source electrode, and the plurality of second regions are disposed in a distant order from the source electrode And a fourth subregion, a fifth subregion, and a sixth subregion, wherein an area of the first subregion is equal to an area of the sixth subregion, and an area of the second subregion is the fifth subregion. The area of the area may be the same as that of the third sub-region, and the area of the fourth sub-region may be the same.
상기 소스 전극, 상기 드레인 전극, 그리고 상기 더미 드레인 전극 위에 위치하는 보호막, 그리고 상기 보호막 위에 위치하며, 상기 보호막에 형성된 접촉 구멍을 통해 상기 드레인 전극과 연결되어 있는 화소 전극을 더 포함할 수 있다.The source electrode, the drain electrode, and a passivation layer positioned on the dummy drain electrode, and a pixel electrode positioned on the passivation layer and connected to the drain electrode through a contact hole formed in the passivation layer may be further included.
상기 화소 전극과 절연막을 사이에 두고 중첩하는 공통 전극을 더 포함할 수 있다.A common electrode overlapping the pixel electrode and the insulating layer may be further included.
상기 화소 전극과 상기 공통 전극 중 하나는 복수의 가지 전극을 포함하고, 머지 하나는 판형태의 평면 형태를 가질 수 있다.One of the pixel electrode and the common electrode may include a plurality of branch electrodes, and the merge may have a plate-like planar shape.
본 발명의 다른 한 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판은 기판, 상기 기판 위에 위치하는 게이트 전극 및 더미 게이트 전극을 포함하는 게이트선, 상기 게이트 전극 및 더미 게이트 전극 위에 위치하는 게이트 절연막, 상기 게이트 절연막 위에 위치하는 반도체, 그리고 상기 반도체 위에 위치하는 소스 전극, 드레인 전극, 그리고 더미 드레인 전극을 포함하고, 상기 드레인 전극과 상기 더미 드레인 전극은 서로 연결되어 있으며, 상기 드레인 전극은 상기 게이트 전극 위에서 상기 소스 전극과 마주보고, 상기 더미 드레인 전극은 상기 더미 게이트 전극과 중첩하거나, 상기 더미 게이트 전극에 인접하여 위치하고, 상기 드레인 전극은 상기 게이트선이 뻗은 방향으로 일정한 폭을 가지는 복수의 제1 영역을 포함하고, 상기 더미 게이트 전극은 상기 게이트선이 뻗은 방향으로 일정한 폭을 가지는 복수의 제3 영역을 포함하고, 상기 복수의 제3 영역 중 적어도 하나의 면적은 상기 복수의 제3 영역의 나머지 영역의 각 면적과 서로 다르다.A thin film transistor array panel according to another exemplary embodiment of the present invention includes a substrate, a gate line including a gate electrode and a dummy gate electrode positioned on the substrate, a gate insulating layer positioned on the gate electrode and the dummy gate electrode, and a gate insulating layer positioned on the gate insulating layer. And a source electrode, a drain electrode, and a dummy drain electrode positioned on the semiconductor, the drain electrode and the dummy drain electrode are connected to each other, and the drain electrode faces the source electrode on the gate electrode. Reportedly, the dummy drain electrode overlaps the dummy gate electrode or is located adjacent to the dummy gate electrode, and the drain electrode includes a plurality of first regions having a constant width in a direction in which the gate line extends, and the dummy Gate electrode is said gay The third line includes a plurality of third regions having a constant width in the extended direction, and an area of at least one of the plurality of third regions is different from each area of the remaining regions of the plurality of third regions.
상기 복수의 제1 영역의 면적과 상기 복수의 제3 영역의 면적은 상기 소스 전극으로부터 멀어질수록 넓어지거나 좁아질 수 있다.The area of the plurality of first regions and the area of the plurality of third regions may be wider or narrower as they are further away from the source electrode.
본 발명의 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판은 더미 게이트 전극과 더미 드레인 전극을 형성하고, 드레인 전극과 더미 드레인 전극은 게이트선이 뻗어 있는 방향을 따라 일정한 폭을 기준으로 면적 변화가 같도록 형성하거나, 드레인 전극과 더미 게이트 전극은 게이트선이 뻗어 있는 방향을 따라 일정한 폭을 기준으로 면적 변화가 같도록 형성함으로써, 드레인 전극의 형태가 위치에 따라 변화하더라도, 게이트 전극 및 더미 게이트 전극과 드레인 전극 및 더미 드레인 전극 사이의 중첩 면적을 일정하게 유지할 수 있다. 이에 의하여 기생 용량을 균일하게 유지하여, 기생 용량 차이에 따른 화질 저하를 방지할 수 있다.A thin film transistor array panel according to an embodiment of the present invention forms a dummy gate electrode and a dummy drain electrode, and the drain electrode and the dummy drain electrode are formed to have the same area change based on a constant width along a direction in which the gate line extends, The drain electrode and the dummy gate electrode are formed to have the same area change based on a constant width along the direction in which the gate line extends, so that even if the shape of the drain electrode changes depending on the position, the gate electrode and the dummy gate electrode, the drain electrode, and the dummy The overlapping area between the drain electrodes can be kept constant. Accordingly, the parasitic capacity can be maintained uniformly, thereby preventing degradation of image quality due to parasitic capacity differences.
도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판의 배치도이다.
도 2는 도 1의 박막 트랜지스터 표시판을 II-II 선을 따라 잘라 도시한 단면도이다.
도 3은 도 1의 박막 트랜지스터 표시판의 일부를 도시한 도면이다.
도 4 및 도 5는 도 3의 박막 트랜지스터 표시판의 오정렬을 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 본 발명의 다른 한 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판의 배치도이다.
도 7은 도 6에 도시한 박막 트랜지스터 표시판을 VII-VII 선을 따라 잘라 도시한 단면도이다.
도 8은 도 6의 박막 트랜지스터 표시판의 일부를 도시한 도면이다.
도 9 및 도 10은 도 8의 박막 트랜지스터 표시판의 오정렬을 설명하기 위한 도면이다.
도 11 내지 도 17은 본 발명의 다른 실시예들에 따른 박막 트랜지스터 표시판의 일부분을 도시한 도면이다.1 is a layout view of a thin film transistor array panel according to an exemplary embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view of the thin film transistor array panel of FIG. 1 taken along line II-II.
3 is a diagram illustrating a part of the thin film transistor array panel of FIG. 1.
4 and 5 are diagrams for explaining misalignment of the thin film transistor array panel of FIG. 3.
6 is a layout view of a thin film transistor array panel according to another exemplary embodiment of the present invention.
7 is a cross-sectional view of the thin film transistor array panel shown in FIG. 6 taken along line VII-VII.
8 is a diagram illustrating a part of the thin film transistor array panel of FIG. 6.
9 and 10 are views for explaining misalignment of the thin film transistor array panel of FIG. 8.
11 to 17 are views illustrating a portion of a thin film transistor array panel according to other embodiments of the present invention.
그러면 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.Then, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art to which the present invention pertains can easily practice. However, the present invention can be implemented in many different forms and is not limited to the embodiments described herein.
도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우 뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다.In the drawings, thicknesses are enlarged to clearly represent various layers and regions. The same reference numerals are used for similar parts throughout the specification. When a portion of a layer, film, region, plate, etc. is said to be “above” another portion, this includes not only the case “directly above” the other portion but also another portion in the middle. Conversely, when one part is "just above" another, it means that there is no other part in the middle.
그러면 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판에 대하여 설명한다.Next, a thin film transistor array panel according to an exemplary embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
먼저, 도 1 내지 도 3을 참고하여, 본 발명의 한 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판(100)에 대하여 설명한다. 도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판의 배치도이고, 도 2는 도 1의 박막 트랜지스터 표시판을 II-II 선을 따라 잘라 도시한 단면도이고, 도 3은 도 1의 박막 트랜지스터 표시판의 일부를 도시한 도면이다.First, the thin film
투명한 유리 또는 플라스틱 따위로 만들어진 절연 기판(110) 위에 복수의 게이트선(gate line)(121)이 형성되어 있다.A plurality of
게이트선(121)은 게이트 신호를 전달하며 주로 가로 방향으로 뻗어 있다. 각 게이트선(121)은 복수의 게이트 전극(gate electrode)(124)과 복수의 더미 게이트 전극(125)을 포함한다. 도시하지는 않았지만, 게이트선(121)은 다른 층 또는 외부 구동 회로와의 접속을 위하여 면적이 넓은 게이트 패드부를 더 포함한다. 게이트 신호를 생성하는 게이트 구동 회로(도시하지 않음)는 기판(110) 위에 부착되는 가요성 인쇄 회로막(flexible printed circuit film)(도시하지 않음) 위에 장착되거나, 기판(110) 위에 직접 장착되거나, 기판(110)에 집적될 수 있다. 게이트 구동 회로가 기판(110) 위에 집적되어 있는 경우 게이트선(121)이 연장되어 이와 직접 연결될 수 있다.The
도시하지는 않았지만, 게이트선(121)과 동일한 층으로 이루어진 유지 전극선을 더 포함할 수 있다.Although not illustrated, a storage electrode line made of the same layer as the
게이트선(121)은 알루미늄(Al)이나 알루미늄 합금 등 알루미늄 계열 금속, 은(Ag)이나 은 합금 등 은 계열 금속, 구리(Cu)나 구리 합금 등 구리 계열 금속, 몰리브덴(Mo)이나 몰리브덴 합금 등 몰리브덴 계열 금속, 크롬(Cr), 탄탈륨(Ta) 및 티타늄(Ti) 따위로 만들어질 수 있다. 그러나 이들은 물리적 성질이 다른 두 개의 도전막(도시하지 않음)을 포함하는 다중막 구조를 가질 수도 있고, 이외에도 여러 가지 다양한 금속 또는 도전체로 만들어질 수 있다.The
게이트선(121) 위에는 위에는 질화규소(SiNx) 또는 산화규소(SiOx) 따위로 만들어진 게이트 절연막(gate insulating layer)(140)이 형성되어 있다.A
게이트 절연막(140) 위에는 복수의 반도체(154)가 형성되어 있다. 반도체(154)는 수소화 비정질 규소(hydrogenated amorphous silicon)(비정질 규소는 약칭 a-Si로 씀), 다결정 규소(polysilicon), 또는 산화물 반도체 등으로 만들어질 수 있다.A plurality of
반도체(154) 위에는 복수의 저항성 접촉 부재(ohmic contact)(163, 165)가 형성되어 있다. 저항성 접촉 부재(163, 165)는 인 따위의 n형 불순물이 고농도로 도핑되어 있는 n+ 수소화 비정질 규소 따위의 물질로 만들어지거나 실리사이드(silicide)로 만들어질 수 있다. 저항성 접촉 부재(163, 165)는 쌍을 이루어 반도체(154) 위에 배치되어 있다.A plurality of
저항성 접촉 부재(163, 165) 위에는 복수의 데이터선 (data line)(171)과 복수의 드레인 전극(drain electrode)(175a), 그리고 복수의 더미 드레인 전극(175b)이 형성되어 있다.A plurality of
데이터선(171)은 데이터 신호를 전달하며 주로 세로 방향으로 뻗어 게이트선(121)과 교차한다. 각 데이터선(171)은 게이트 전극(124)을 향하여 뻗은 복수의 소스 전극(source electrode)(173)과 다른 층 또는 외부 구동 회로와의 접속을 위하여 면적이 넓은 데이터 패드부(도시하지 않음)을 포함한다. 데이터 신호를 생성하는 데이터 구동 회로(도시하지 않음)는 기판(110) 위에 부착되는 가요성 인쇄 회로막(도시하지 않음) 위에 장착되거나, 기판(110) 위에 직접 장착되거나, 기판(110)에 집적될 수 있다. 데이터 구동 회로가 기판(110) 위에 집적되어 있는 경우, 데이터선(171)이 연장되어 이와 직접 연결될 수 있다.The
드레인 전극(175a)은 데이터선(171)과 분리되어 있으며 게이트 전극(124)을 중심으로 소스 전극(173)과 마주한다.The
드레인 전극(175a)과 더미 드레인 전극(175b)은 서로 연결되어 있고, 더미 드레인 전극(175b)은 더미 게이트 전극(125)에 인접하여 위치되어 있다.The
하나의 게이트 전극(124), 하나의 소스 전극(173) 및 하나의 드레인 전극(175)은 반도체(154)와 함께 하나의 박막 트랜지스터(thin film transistor, TFT)를 이루며, 박막 트랜지스터의 채널(channel)은 소스 전극(173)과 드레인 전극(175) 사이의 반도체(154)에 형성된다.One
데이터선(171), 드레인 전극(175a) 및 더미 드레인 전극(175b)은 몰리브덴, 크롬, 탄탈륨 및 티타늄 등 내화성 금속(refractory metal) 또는 이들의 합금으로 만들어지는 것이 바람직하며, 내화성 금속막(도시하지 않음)과 저저항 도전막(도시하지 않음)을 포함하는 다중막 구조를 가질 수 있다. 그러나 데이터선(171) 및 드레인 전극(175)은 이외에도 여러 가지 다양한 금속 또는 도전체로 만들어질 수 있다.The
저항성 접촉 부재(163, 165)는 그 아래의 반도체(154)와 그 위의 데이터선(171), 드레인 전극(175a) 및 더미 드레인 전극(175b) 사이에만 존재하며, 이들 사이의 접촉 저항을 낮추어 준다. 그러나, 반도체(154)가 산화물 반도체인 경우, 저항성 접촉 부재(163, 165)는 생략될 수 있다.The
데이터선(171), 드레인 전극(175a), 더미 드레인 전극(175b) 및 반도체(154)의 노출된 부분 위에는 보호막(passivation layer)(180)이 형성되어 있다.A
보호막(180)은 무기 절연물 또는 유기 절연물 따위로 만들어지며 표면이 평탄할 수 있다. 무기 절연물의 예로는 질화규소와 산화규소를 들 수 있다. 유기 절연물은 감광성(photosensitivity)을 가질 수 있으며 그 유전 상수(dielectric constant)는 약 4.0 이하인 것이 바람직하다. 그러나 보호막(180)은 유기막의 우수한 절연 특성을 살리면서도 반도체(154)의 노출된 부분에 해가 가지 않도록 하부 무기막과 상부 유기막의 이중막 구조를 가질 수 있다.The
보호막(185)에는 드레인 전극(175a)의 확장부를 드러내는 복수의 접촉 구멍(185)이 형성되어 있다.A plurality of
보호막(180) 위에는 복수의 화소 전극(191)이 형성되어 있다. 화소 전극(191)은 ITO 또는 IZO 등의 투명한 도전 물질이나 알루미늄, 은, 크롬 또는 그 합금 등의 반사성 금속으로 만들어질 수 있다.A plurality of
화소 전극(191)은 접촉 구멍(185)을 통하여 드레인 전극(175)과 물리적·전기적으로 연결되어 있으며, 드레인 전극(175)으로부터 데이터 전압을 인가 받는다. 데이터 전압이 인가된 화소 전극(191)은 공통 전압(common voltage)을 인가 받는 대향 표시판(200)의 공통 전극(common electrode)(270)과 함께 전기장을 생성함으로써 두 전극(191, 270) 사이의 액정층(3)의 액정 분자(도시하지 않음)의 방향을 결정한다. 이와 같이 결정된 액정 분자의 방향에 따라 액정층(3)을 통과하는 빛의 편광이 달라진다.The
대향 표시판(200)에 대하여 간략하게 설명한다. 대향 표시판(200)은 절연 기판(210) 위에 형성되어 있는 복수의 차광 부재(220)와 복수의 차광 부재(220)가 정의하는 영역 내에 위치하는 복수의 색필터(230), 복수의 차광 부재(220) 및 복수의 색필터(230) 위에 위치하는 덮개막(250), 덮개막(250) 위에 위치하는 공통 전극(270)을 포함한다. 덮개막(250)은 생략 가능하다.The
그러면, 도 3을 참고하여, 본 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판의 게이트 전극(124) 및 더미 게이트 전극(125), 그리고 드레인 전극(175a) 및 더미 드레인 전극(175b)에 대하여 더욱 상세히 설명한다.Next, with reference to FIG. 3, the
도 3을 참고하면, 드레인 전극(175a)과 더미 드레인 전극(175b)은 서로 연결되어 있다. 드레인 전극(175a)은 게이트 전극(124) 위에서 소스 전극(173)과 마주한다. 더미 드레인 전극(175b)은 드레인 전극(175a)과 반대 쪽에 위치하고, 더미 게이트 전극(125)과 인접하여 위치한다.Referring to FIG. 3, the
드레인 전극(175a)은 게이트선(121)이 뻗어 있는 방향을 기준으로 일정한 폭을 가지는 복수의 부영역(R1, R2, R3)을 포함한다. 더미 드레인 전극(175b) 역시, 게이트선(121)이 뻗어 있는 방향을 기준으로 일정한 폭을 가지는 복수의 부영역(R4, R5, R6)을 포함한다. 드레인 전극(175a)의 복수의 부영역(R1, R2, R3)은 소스 전극과 가까운 순서로 제1 부영역(R1), 제2 부영역(R2), 그리고 제3 부영역(R3)을 포함한다. 더미 드레인 전극(175b)의 복수의 부영역(R4, R5, R6)은 소스 전극과 먼 순서로 제4 부영역(R4), 제5 부영역(R5), 그리고 제6 부영역(R6)을 포함한다.The
도시한 바와 같이, 드레인 전극(175a)의 복수의 부영역(R1, R2, R3) 중 적어도 하나는 게이트선(121)과 제1 각도(θ1)를 이루는 가장자리를 포함하고, 더미 드레인 전극(175b)의 복수의 부영역(R4, R5, R6) 중 적어도 하나는 게이트선(121)과 제2 각도(θ2)를 이루는 가장자리를 포함한다. 제1 각도(θ1)와 제2 각도(θ2)는 0도 이상 90도 이하일 수 있다.As illustrated, at least one of the plurality of subregions R1, R2, and R3 of the
드레인 전극(175a)의 복수의 부영역(R1, R2, R3)의 면적은 소스 전극으로부터 멀어질수록 넓어지거나 좁아질 수 있다. 도시한 실시예에서, 드레인 전극(175a)의 부영역(R1, R2, R3)의 면적은 소스 전극으로부터 멀어질수록 넓어지고 있으나, 본 발명의 다른 실시예들에 따른 박막 트랜지스터 표시판의 경우, 드레인 전극(175a)의 부영역(R1, R2, R3)의 면적은 소스 전극으로부터 멀어질수록 좁아질 수 있고, 복수의 부영역(R1, R2, R3) 중 어느 하나의 면적만 나머지 면적과 다를 수도 있다. 또한, 더미 드레인 전극(175b)의 복수의 부영역(R4, R5, R6)의 면적은 소스 전극과 가까워질수록 좁아지거나 넓어질 수 있다. 도시한 실시예에서, 더미 드레인 전극(175b)의 복수의 부영역(R4, R5, R6)의 면적은 소스 전극으로 가까와질수록 좁아지고 있으나, 본 발명의 다른 실시예들에 따른 박막 트랜지스터 표시판의 경우, 소스 전극으로 가까와질수록 넓어질 수 있고, 복수의 부영역(R4, R5, R6) 중 어느 하나의 면적만 나머지 면적과 다를 수도 있다.The areas of the plurality of sub-regions R1, R2, and R3 of the
이 때, 드레인 전극(175a)의 제1 부영역(R1)의 면적은 더미 드레인 전극(175b)의 제6 부영역(R6)의 면적과 같을 수 있다. 또한, 드레인 전극(175a)의 제2 부영역(R2)의 면적은 더미 드레인 전극(175b)의 제5 부영역(R5)의 면적과 같을 수 있고, 드레인 전극(175a)의 제3 부영역(R3)의 면적은 더미 드레인 전극(175b)의 제4 부영역(R4)의 면적과 같을 수 있다.At this time, the area of the first subregion R1 of the
그러면, 도 3과 함께 도 4 및 도 5를 참고하여, 본 발명의 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판의 오정렬에 따른 기생 용량에 대하여 설명한다. 도 4 및 도 5는 도 3의 박막 트랜지스터 표시판의 오정렬을 설명하기 위한 도면이다. 도 4는 게이트 전극(124) 및 더미 게이트 전극(125)의 게이트 배선이 오른쪽으로 이동한 경우를 도시하고, 도 5는 게이트 전극(124) 및 더미 게이트 전극(125)의 게이트 배선이 왼쪽으로 이동한 경우를 도시한다.Next, with reference to FIGS. 4 and 5 together with FIG. 3, the parasitic capacitance due to misalignment of the thin film transistor array panel according to an embodiment of the present invention will be described. 4 and 5 are diagrams for explaining misalignment of the thin film transistor array panel of FIG. 3. 4 illustrates a case in which the gate wiring of the
도 3에서, 게이트 전극(124) 및 더미 게이트 전극(125), 그리고 드레인 전극(175a) 및 더미 드레인 전극(175b)의 중첩 부분은 사선으로 표시되어 있다. 보다 구체적으로, 게이트 전극(124)과 드레인 전극(175a)의 제1 중첩 영역(A)과 더미 게이트 전극(125)과 더미 드레인 전극(175b)의 제2 중첩 영역(B)을 포함한다.In FIG. 3, overlapping portions of the
도 4를 참고하면, 게이트 전극(124) 및 더미 게이트 전극(125)이 오른쪽으로 이동하여, 게이트 전극(124) 및 더미 게이트 전극(125)의 제3 중첩 영역(A1)의 면적은 도 3에 도시한 게이트 전극(124) 및 더미 게이트 전극(125)의 제1 중첩 영역(A)의 면적보다 넓어진다. 보다 구체적으로, 드레인 전극(175a)의 제3 부영역(R3)의 면적만큼 넓어지게 된다. 또한, 더미 게이트 전극(125)과 더미 드레인 전극(175b)의 제4 중첩 영역(B1)의 면적은 도 3에 도시한 더미 게이트 전극(125)과 더미 드레인 전극(175b)의 제2 중첩 영역(B)의 면적보다 좁아진다. 보다 구체적으로, 더미 드레인 전극(175b)의 제4 부영역(R4)의 면적만큼 좁아지게 된다.Referring to FIG. 4, the
그러나, 앞서 설명하였듯이, 드레인 전극(175a)의 제3 부영역(R3)의 면적은 더미 드레인 전극(175b)의 제4 부영역(R4)의 면적이 같다. 따라서, 도 3에 도시한 예에서, 게이트 전극(124)과 드레인 전극(175a)의 제1 중첩 영역(A)과 더미 게이트 전극(125)과 더미 드레인 전극(175b)의 제2 중첩 영역(B)의 면적의 합은 도 4에 도시한 예에서, 게이트 전극(124)과 드레인 전극(175a)의 제3 중첩 영역(A1)과 더미 게이트 전극(125)과 더미 드레인 전극(175b)의 제4 중첩 영역(B1)의 면적의 합과 같아지게 된다.However, as described above, the area of the third subregion R3 of the
도 5를 참고하면, 게이트 전극(124) 및 더미 게이트 전극(125)이 왼쪽으로 이동하여, 게이트 전극(124) 및 더미 게이트 전극(125)의 제5 중첩 영역(A2)의 면적은 도 3에 도시한 게이트 전극(124) 및 더미 게이트 전극(125)의 제1 중첩 영역(A)의 면적보다 좁아진다. 보다 구체적으로, 드레인 전극(175a)의 제2 부영역(R2)의 면적만큼 좁아지게 된다. 또한, 더미 게이트 전극(125)과 더미 드레인 전극(175b)의 제6 중첩 영역(B2)의 면적은 도 3에 도시한 더미 게이트 전극(125)과 더미 드레인 전극(175b)의 제2 중첩 영역(B)의 면적보다 넓어진다. 보다 구체적으로, 더미 드레인 전극(175b)의 제5 부영역(R5)의 면적만큼 넓어지게 된다.Referring to FIG. 5, the
그러나, 앞서 설명하였듯이, 드레인 전극(175a)의 제2 부영역(R2)의 면적은 더미 드레인 전극(175b)의 제5 부영역(R5)의 면적과 같다. 따라서, 도 3에 도시한 예에서, 게이트 전극(124)과 드레인 전극(175a)의 제1 중첩 영역(A)과 더미 게이트 전극(125)과 더미 드레인 전극(175b)의 제2 중첩 영역(B)의 면적의 합은 도 5에 도시한 예에서, 게이트 전극(124)과 드레인 전극(175a)의 제5 중첩 영역(A2)과 더미 게이트 전극(125)과 더미 드레인 전극(175b)의 제6 중첩 영역(B2)의 면적의 합과 같아지게 된다.However, as described above, the area of the second subregion R2 of the
이처럼 본 발명의 한 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판에 따르면, 게이트 전극(124) 및 더미 게이트 전극(125), 그리고 드레인 전극(175a) 및 더미 드레인 전극(175b)을 포함하고, 드레인 전극(175a) 및 더미 드레인 전극(175b)의 가장 자리는 게이트선(121)과 일정한 각도를 이루는 부분을 포함하고, 드레인 전극(175a)과 더미 드레인 전극(175b)은 게이트선(121)이 뻗은 방향으로 일정한 폭을 가지는 복수의 부영역을 포함하고, 각 부영역의 면적은 소스 전극과 멀어질수록 넓어지거나 좁아질 수 있고, 드레인 전극(175a)의 부영역과 더미 드레인 전극(175b)의 부영역의 대응 면적이 동일하다.As described above, according to the thin film transistor array panel according to an embodiment of the present invention, the
따라서, 드레인 전극(175a)의 형태가 소스 전극(173)으로부터 멀어질수록 면적이 변화하는 형태를 가지더라도, 게이트 배선과 데이터 배선의 정렬 오차가 발생하는 경우에도 게이트 전극(124) 및 더미 게이트 전극(125), 그리고 드레인 전극(175a) 및 더미 드레인 전극(175b)이 중첩하는 영역의 면적은 일정하게 유지할 수 있다. 그러므로, 게이트 전극(124) 및 더미 게이트 전극(125)의 게이트 배선과 드레인 전극(175a) 및 더미 드레인 전극(175b)의 드레인 배선 사이의 전체 중첩 면적은 변화하지 않기 때문에, 게이트 배선과 드레인 배선의 중첩에 따른 기생 용량의 크기는 일정하게 된다.Therefore, even if the area of the
그러면, 도 6 내지 도 8을 참고하여, 본 발명의 다른 한 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판(100)에 대하여 설명한다. 도 6은 본 발명의 다른 한 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판의 배치도이고, 도 7은 도 6에 도시한 박막 트랜지스터 표시판을 VII-VII 선을 따라 잘라 도시한 단면도이고, 도 8은 도 6의 박막 트랜지스터 표시판의 일부를 도시한 도면이다.Next, the thin film
절연 기판(110) 위에 복수의 게이트선(121)이 형성되어 있다. 각 게이트선(121)은 복수의 게이트 전극 (124)과 복수의 더미 게이트 전극(125)을 포함한다. 도시하지는 않았지만, 게이트선(121)과 동일한 층으로 이루어진 유지 전극선을 더 포함할 수 있다.A plurality of
게이트선(121) 위에는 위에는 게이트 절연막 (140)이 형성되어 있다.A
게이트 절연막(140) 위에는 복수의 반도체(154)가 형성되어 있다. 반도체(154)는 수소화 비정질 규소(hydrogenated amorphous silicon)(비정질 규소는 약칭 a-Si로 씀), 다결정 규소(polysilicon), 또는 산화물 반도체 등으로 만들어질 수 있다.A plurality of
반도체(154) 위에는 복수의 저항성 접촉 부재(ohmic contact)(163, 165)가 형성되어 있다. 저항성 접촉 부재(163, 165)는 인 따위의 n형 불순물이 고농도로 도핑되어 있는 n+ 수소화 비정질 규소 따위의 물질로 만들어지거나 실리사이드(silicide)로 만들어질 수 있다. 저항성 접촉 부재(163, 165)는 쌍을 이루어 반도체(154) 위에 배치되어 있다.A plurality of
저항성 접촉 부재(163, 165) 위에는 복수의 데이터선(171)과 복수의 드레인 전극(175a), 그리고 복수의 더미 드레인 전극(175b)이 형성되어 있다.A plurality of
데이터선(171)은 액정 표시 장치의 최대 투과율을 얻기 위해서 굽어진 형상을 갖는 제1 굴곡부를 가질 수 있으며, 굴곡부는 화소 영역의 중간 영역에서 서로 만나 V자 형태를 이룰 수 있다. 화소 영역의 중간 영역에는 제1 굴곡부와 소정의 각도를 이루도록 굽어진 제2 굴곡부를 더 포함할 수 있다. 데이터선(171)의 제1 굴곡부는 게이트선(121)이 뻗어 있는 방향(x 방향)과 90도를 이루는 세로 기준선(y, y방향으로 뻗어 있는 기준선)과 약 7°정도 이루도록 굽어 있을 수 있다. 화소 영역의 중간 영역에 배치되어 있는 제2 굴곡부는 제1 굴곡부와 약 7° 내지 약 15°정도 이루도록 더 굽어 있을 수 있다.The
소스 전극(173)은 데이터선(171)의 일부이고, 데이터선(171)과 동일선 상에 배치된다. 드레인 전극(175a)은 소스 전극(173)과 나란하게 뻗도록 형성되어 있다. 따라서, 드레인 전극(175a)은 데이터선(171)의 일부와 나란하다.The
본 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판은 데이터선(171)과 동일선 상에 위치하는 소스 전극(173)과 데이터선(171)과 나란하게 뻗어 있는 드레인 전극(175a)을 포함함으로써, 데이터 도전체가 차지하는 면적을 넓히지 않고도 박막 트랜지스터의 폭을 넓힐 수 있게 되고, 이에 따라 액정 표시 장치의 개구율이 증가할 수 있다.The thin film transistor array panel according to the present embodiment includes an area occupied by a data conductor by including a
드레인 전극(175a)은 데이터선(171)과 분리되어 있으며 게이트 전극(124)을 중심으로 소스 전극(173)과 마주한다.The
드레인 전극(175a)과 더미 드레인 전극(175b)은 서로 연결되어 있고, 더미 드레인 전극(175b)은 더미 게이트 전극(125)에 인접하여 위치된다.The
저항성 접촉 부재(163, 165)는 그 아래의 반도체(154)와 그 위의 데이터선(171), 드레인 전극(175a) 및 더미 드레인 전극(175b) 사이에만 존재하며, 이들 사이의 접촉 저항을 낮추어 준다. 그러나, 반도체(154)가 산화물 반도체인 경우, 저항성 접촉 부재(163, 165)는 생략될 수 있다.The
데이터선(171), 드레인 전극(175a), 더미 드레인 전극(175b) 및 반도체(154)의 노출된 부분 위에는 제1 보호막(180x)이 형성되어 있다. 제1 보호막(180x)은 유기 절연 물질 또는 무기 절연 물질 등으로 이루어질 수 있다.A
제1 보호막(180x) 위에는 제2 보호막(180y)이 배치되어 있다. 제2 보호막(180y)은 생략 가능하다. 제2 보호막(180y)은 색필터일 수 있다. 제2 보호막(180y)이 색필터인 경우, 제2 보호막(180y)은 기본색(primary color) 중 하나를 고유하게 표시할 수 있으며, 기본색의 예로는 적색, 녹색, 청색 등 삼원색 또는 황색(yellow), 청록색(cyan), 자홍색(magenta) 등을 들 수 있다. 도시하지는 않았지만, 색필터는 기본색 외에 기본색의 혼합색 또는 백색(white)을 표시하는 색필터를 더 포함할 수 있다.The second passivation layer 180y is disposed on the
제2 보호막(180y) 위에는 공통 전극(270)이 형성되어 있다. 공통 전극(270)은 면형으로서 기판(110) 전면 위에 통판으로 형성되어 있을 수 있고, 드레인 전극(175a) 주변에 대응하는 영역에 배치되어 있는 개구부(도시하지 않음)를 가질 수 있다. 즉 공통 전극(270)판 형태의 평면 형태를 가질 수 있다.The
인접 화소에 위치하는 공통 전극(270)은 서로 연결되어, 표시 영역 외부에서 공급되는 일정한 크기의 공통 전압을 전달 받을 수 있다.The
공통 전극(270) 위에는 제3 보호막(180z)이 배치되어 있다. 제3 보호막(180z)은 유기 절연 물질 또는 무기 절연 물질 등으로 이루어질 수 있다.The
제3 보호막(180z) 위에는 화소 전극(191)이 형성되어 있다. 화소 전극(191)은 데이터선(171)의 제1 굴곡부 및 제2 굴곡부와 거의 나란한 굴곡변(curved edge)을 포함한다. 화소 전극(191)은 복수의 제1 절개부(92)를 가지며, 복수의 제1 가지 전극(192)을 포함한다.The
제1 보호막(180x), 제2 보호막(180y), 그리고 제3 보호막(180z)에는 드레인 전극(175)을 드러내는 접촉 구멍(185)이 형성되어 있다. 화소 전극(191)은 접촉 구멍(185)을 통해 드레인 전극(175a)의 확장부와 물리적 전기적으로 연결되어, 드레인 전극(175a)으로부터 전압을 인가 받는다.A
대향 표시판(200)에 대하여 설명하면, 절연 기판(210) 위에 차광 부재(220)가 형성되어 있고, 복수의 색필터(230)가 형성되어 있다. 박막 트랜지스터 표시판(100)의 제2 보호막(180y)이 색필터인 경우, 대향 표시판(200)의 색필터(230)는 생략될 수 있다. 또한, 대향 표시판(200)의 차광 부재(220) 역시 박막 트랜지스터 표시판(100)에 형성될 수 있다.When the
색필터(230) 및 차광 부재(220) 위에는 덮개막(250)이 형성되어 있다. 색필터(230) 및 차광 부재(220) 위에는 덮개막(overcoat)(250)이 형성되어 있다. 덮개막(250)은 생략 가능하다.An
그러면, 도 8을 참고하여, 본 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판의 게이트 전극(124) 및 더미 게이트 전극(125), 그리고 드레인 전극(175a) 및 더미 드레인 전극(175b)에 대하여 더욱 상세히 설명한다.8, the
도 8을 참고하면, 드레인 전극(175a)과 더미 드레인 전극(175b)은 서로 연결되어 있다. 드레인 전극(175a)은 게이트 전극(124) 위에서 소스 전극(173)과 마주한다. 더미 드레인 전극(175b)은 드레인 전극(175a)과 반대 쪽에 위치하고, 더미 게이트 전극(125)과 인접하여 위치한다.Referring to FIG. 8, the
드레인 전극(175a)은 게이트선(121)이 뻗어 있는 방향을 기준으로 일정한 폭을 가지는 복수의 부영역(R1, R2, R3)을 포함한다. 더미 드레인 전극(175b) 역시, 게이트선(121)이 뻗어 있는 방향을 기준으로 일정한 폭을 가지는 복수의 부영역(R4, R5, R6)을 포함한다. 드레인 전극(175a)의 복수의 부영역(R1, R2, R3)은 소스 전극과 가까운 순서로 제1 부영역(R1), 제2 부영역(R2), 그리고 제3 부영역(R3)을 포함한다. 더미 드레인 전극(175b)의 복수의 부영역(R4, R5, R6)은 소스 전극과 먼 순서로 제4 부영역(R4), 제5 부영역(R5), 그리고 제6 부영역(R6)을 포함한다.The
도시한 바와 같이, 드레인 전극(175a)의 복수의 부영역(R1, R2, R3) 중 적어도 하나는 게이트선(121)과 제1 각도(θ1)를 이루는 가장자리를 포함하고, 더미 드레인 전극(175b)의 복수의 부영역(R4, R5, R6) 중 적어도 하나는 게이트선(121)과 제2 각도(θ2)를 이루는 가장자리를 포함한다. 제1 각도(θ1)와 제2 각도(θ2)는 0도 이상 90도 이하일 수 있다.As illustrated, at least one of the plurality of subregions R1, R2, and R3 of the
드레인 전극(175a)의 복수의 부영역(R1, R2, R3)의 면적은 소스 전극으로부터 멀어질수록 넓어지거나 좁아질 수 있다. 도시한 실시예에서, 드레인 전극(175a)의 부영역(R1, R2, R3)의 면적은 소스 전극으로부터 멀어질수록 넓어지고 있으나, 본 발명의 다른 한 실시예에서는 소스 전극으로부터 멀어질수록 좁아질 수 있고, 복수의 부영역(R1, R2, R3) 중 어느 하나의 면적만 나머지 면적과 다를 수도 있다. 또한, 더미 드레인 전극(175b)의 복수의 부영역(R4, R5, R6)의 면적은 소스 전극과 가까워질수록 좁아지거나 넓어질 수 있다. 도시한 실시예에서, 드레인 전극(175a)의 부영역(R1, R2, R3)의 면적은 소스 전극으로부터 멀어질수록 좁아지고 있으나, 본 발명의 다른 한 실시예에서는 소스 전극으로부터 멀어질수록 넓어질 수 있고, 복수의 부영역(R4, R5, R6) 중 어느 하나의 면적만 나머지 면적과 다를 수도 있다.The areas of the plurality of sub-regions R1, R2, and R3 of the
이 때, 드레인 전극(175a)의 제1 부영역(R1)의 면적은 더미 드레인 전극(175b)의 제6 부영역(R6)의 면적과 같을 수 있다. 또한, 드레인 전극(175a)의 제2 부영역(R2)의 면적은 더미 드레인 전극(175b)의 제5 부영역(R5)의 면적과 같을 수 있고, 드레인 전극(175a)의 제3 부영역(R3)의 면적은 더미 드레인 전극(175b)의 제4 부영역(R4)의 면적과 같을 수 있다.At this time, the area of the first subregion R1 of the
그러면, 도 8과 함께 도 9 및 도 10을 참고하여, 본 발명의 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판의 오정렬에 따른 기생 용량에 대하여 설명한다. 도 9 및 도 10은 도 8의 박막 트랜지스터 표시판의 오정렬을 설명하기 위한 도면이다. 도 9는 게이트 전극(124) 및 더미 게이트 전극(125)의 게이트 배선이 오른쪽으로 이동한 경우를 도시하고, 도 10은 게이트 전극(124) 및 더미 게이트 전극(125)의 게이트 배선이 왼쪽으로 이동한 경우를 도시한다.Then, with reference to FIGS. 9 and 10 along with FIG. 8, parasitic capacitances due to misalignment of the thin film transistor array panel according to an embodiment of the present invention will be described. 9 and 10 are views for explaining misalignment of the thin film transistor array panel of FIG. 8. 9 shows a case in which the gate wiring of the
도 8에서, 게이트 전극(124) 및 더미 게이트 전극(125), 그리고 드레인 전극(175a) 및 더미 드레인 전극(175b)의 중첩 부분은 사선으로 표시되어 있다. 보다 구체적으로, 게이트 전극(124)과 드레인 전극(175a)의 제7 중첩 영역(AA)과 더미 게이트 전극(125)과 더미 드레인 전극(175b)의 제8 중첩 영역(BB)을 포함한다.In FIG. 8, overlapping portions of the
도 9를 참고하면, 게이트 전극(124) 및 더미 게이트 전극(125)이 오른쪽으로 이동하여, 게이트 전극(124) 및 더미 게이트 전극(125)의 제9 중첩 영역(AA1)의 면적은 도 8에 도시한 게이트 전극(124) 및 더미 게이트 전극(125)의 제7 중첩 영역(AA)의 면적보다 넓어진다. 보다 구체적으로, 드레인 전극(175a)의 제2 부영역(R2)의 면적만큼 넓어지게 된다. 또한, 더미 게이트 전극(125)과 더미 드레인 전극(175b)의 제10 중첩 영역(BB1)의 면적은 도 8에 도시한 더미 게이트 전극(125)과 더미 드레인 전극(175b)의 제8 중첩 영역(BB)의 면적보다 좁아진다. 보다 구체적으로, 더미 드레인 전극(175b)의 제5 부영역(R5)의 면적만큼 좁아지게 된다.Referring to FIG. 9, the
그러나, 앞서 설명하였듯이, 드레인 전극(175a)의 제2 부영역(R2)의 면적은 더미 드레인 전극(175b)의 제5 부영역(R5)의 면적이 같다. 따라서, 도 8에 도시한 예에서, 게이트 전극(124)과 드레인 전극(175a)의 제7 중첩 영역(AA)과 더미 게이트 전극(125)과 더미 드레인 전극(175b)의 제8 중첩 영역(BB)의 면적의 합은 도 9에 도시한 예에서, 게이트 전극(124)과 드레인 전극(175a)의 제9 중첩 영역(AA1)과 더미 게이트 전극(125)과 더미 드레인 전극(175b)의 제10 중첩 영역(BB1)의 면적의 합과 같아지게 된다.However, as described above, the area of the second subregion R2 of the
도 10을 참고하면, 게이트 전극(124) 및 더미 게이트 전극(125)이 왼쪽으로 이동하여, 게이트 전극(124) 및 더미 게이트 전극(125)의 제11 중첩 영역(AA2)의 면적은 도 8에 도시한 게이트 전극(124) 및 더미 게이트 전극(125)의 제7 중첩 영역(AA)의 면적보다 좁아진다. 보다 구체적으로, 드레인 전극(175a)의 제1 부영역(R1)의 면적만큼 좁아지게 된다. 또한, 더미 게이트 전극(125)과 더미 드레인 전극(175b)의 제12 중첩 영역(BB2)의 면적은 도 8에 도시한 더미 게이트 전극(125)과 더미 드레인 전극(175b)의 제8 중첩 영역(BB)의 면적보다 넓어진다. 보다 구체적으로, 더미 드레인 전극(175b)의 제6 부영역(R6)의 면적만큼 넓어지게 된다.Referring to FIG. 10, the
그러나, 앞서 설명하였듯이, 드레인 전극(175a)의 제1 부영역(R1)의 면적은 더미 드레인 전극(175b)의 제6 부영역(R6)의 면적과 같다. 따라서, 도 8에 도시한 예에서, 게이트 전극(124)과 드레인 전극(175a)의 제7 중첩 영역(AA)과 더미 게이트 전극(125)과 더미 드레인 전극(175b)의 제8 중첩 영역(BB)의 면적의 합은 도 10에 도시한 예에서, 게이트 전극(124)과 드레인 전극(175a)의 제11 중첩 영역(AA2)과 더미 게이트 전극(125)과 더미 드레인 전극(175b)의 제12 중첩 영역(BB2)의 면적의 합과 같아지게 된다.However, as described above, the area of the first subregion R1 of the
이처럼 본 발명의 한 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판에 따르면, 게이트 전극(124) 및 더미 게이트 전극(125), 그리고 드레인 전극(175a) 및 더미 드레인 전극(175b)을 포함하고, 드레인 전극(175a) 및 더미 드레인 전극(175b)의 가장 자리는 게이트선(121)과 일정한 각도를 이루는 부분을 포함하고, 드레인 전극(175a)과 더미 드레인 전극(175b)은 게이트선(121)이 뻗은 방향으로 일정한 폭을 가지는 복수의 부영역을 포함하고, 각 부영역의 면적은 소스 전극과 멀어질수록 넓어지거나 좁아질 수 있고, 드레인 전극(175a)의 부영역과 더미 드레인 전극(175b)의 부영역의 대응 면적이 동일하다.As described above, according to the thin film transistor array panel according to an embodiment of the present invention, the
따라서, 드레인 전극(175a)의 형태가 소스 전극(173)으로부터 멀어질수록 면적이 변화하는 형태를 가지더라도, 게이트 배선과 데이터 배선의 정렬 오차가 발생하는 경우에도 게이트 전극(124) 및 더미 게이트 전극(125), 그리고 드레인 전극(175a) 및 더미 드레인 전극(175b)이 중첩하는 영역의 면적은 일정하게 유지할 수 있다. 그러므로, 게이트 전극(124) 및 더미 게이트 전극(125)의 게이트 배선과 드레인 전극(175a) 및 더미 드레인 전극(175b)의 드레인 배선 사이의 전체 중첩 면적은 변화하지 않기 때문에, 게이트 배선과 드레인 배선의 중첩에 따른 기생 용량의 크기는 일정하게 된다.Therefore, even if the area of the
그러면, 도 11 내지 도 17을 참고하여, 본 발명의 다른 실시예들에 따른 박막 트랜지스터 표시판의 게이트 전극 배선과 드레인 전극 배선의 예들에 대하여 설명한다. 도 11 내지 도 17은 본 발명의 다른 실시예들에 따른 박막 트랜지스터 표시판의 일부분을 도시한 도면이다. 구체적으로, 도 11 내지 도 17은 각기 본 발명의 다른 실시예들에 따른 박막 트랜지스터 표시판의 게이트 전극(124) 및 더미 게이트 전극(125), 그리고 드레인 전극(175a) 및 더미 드레인 전극(175b)을 도시한다.Then, examples of the gate electrode wiring and the drain electrode wiring of the thin film transistor array panel according to other embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 11 to 17. 11 to 17 are views illustrating a portion of a thin film transistor array panel according to other embodiments of the present invention. Specifically, FIGS. 11 to 17 illustrate the
먼저 도 11 및 도 12를 참고하면, 본 실시예들에 따른 박막 트랜지스터 표시판의 게이트 전극(124) 및 더미 게이트 전극(125), 그리고 드레인 전극(175a) 및 더미 드레인 전극(175b)은 앞서 도 1 내지 도 3을 참고로 설명한 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판과 유사하다.11 and 12, the
드레인 전극(175a)은 게이트 전극(124) 위에서 소스 전극(173)과 마주하여, 게이트 전극(124)과 중첩한다. 더미 드레인 전극(175b)은 드레인 전극(175a)과 반대 쪽에 위치하고, 더미 게이트 전극(125)과 인접하여 위치한다.The
드레인 전극(175a)은 게이트선(121)이 뻗어 있는 방향을 기준으로 일정한 폭을 가지는 복수의 부영역(R1, R2, R3)을 포함한다. 더미 드레인 전극(175b) 역시, 게이트선(121)이 뻗어 있는 방향을 기준으로 일정한 폭을 가지는 복수의 부영역(R4, R5, R6)을 포함한다.The
드레인 전극(175a)의 복수의 부영역(R1, R2, R3) 중 적어도 하나는 게이트선(121)과 제1 각도(θ1)를 이루는 가장자리를 포함한다.At least one of the plurality of subregions R1, R2, and R3 of the
드레인 전극(175a)의 복수의 부영역(R1, R2, R3)의 면적은 소스 전극으로부터 멀어질수록 넓어지거나 좁아질 수 있다. 도시한 실시예에서, 드레인 전극(175a)의 부영역(R1, R2, R3)의 면적은 소스 전극으로부터 멀어질수록 넓어지고 있으나, 본 발명의 다른 한 실시예에서는 소스 전극으로부터 멀어질수록 좁아질 수 있고, 복수의 부영역(R1, R2, R3) 중 어느 하나의 면적만 나머지 면적과 다를 수도 있다. 또한, 더미 드레인 전극(175b)의 복수의 부영역(R4, R5, R6)의 면적은 소스 전극과 가까워질수록 좁아지거나 넓어질 수 있다. 도시한 실시예에서, 드레인 전극(175a)의 부영역(R1, R2, R3)의 면적은 소스 전극으로부터 멀어질수록 좁아지고 있으나, 본 발명의 다른 한 실시예에서는 소스 전극으로부터 멀어질수록 넓어질 수 있고, 복수의 부영역(R4, R5, R6) 중 어느 하나의 면적만 나머지 면적과 다를 수도 있다.The areas of the plurality of sub-regions R1, R2, and R3 of the
이 때, 드레인 전극(175a)의 제1 부영역(R1)의 면적은 더미 드레인 전극(175b)의 제6 부영역(R6)의 면적과 같을 수 있다. 또한, 드레인 전극(175a)의 제2 부영역(R2)의 면적은 더미 드레인 전극(175b)의 제5 부영역(R5)의 면적과 같을 수 있고, 드레인 전극(175a)의 제3 부영역(R3)의 면적은 더미 드레인 전극(175b)의 제4 부영역(R4)의 면적과 같을 수 있다.At this time, the area of the first subregion R1 of the
그러나, 도시한 실시예들에서, 더미 드레인 전극(175b)의 복수의 부영역(R4, R5, R6)의 평면 형태는 드레인 전극(175a)의 복수의 부영역(R1, R2, R3)과 다르다. 구체적으로, 드레인 전극(175a)의 복수의 부영역(R1, R2, R3)의 가장 자리는 둥글려진 형태를 가지지만, 더미 드레인 전극(175b)의 복수의 부영역(R4, R5, R6)은 각기 직사각 형태를 가진다. 즉, 복수의 부영역(R4, R5, R6)은 게이트선(121)과 나란한 가장 자리를 포함한다.However, in the illustrated embodiments, the planar shape of the plurality of sub-regions R4, R5, R6 of the
다음으로, 도 13 내지 도 15를 참고하면, 본 실시예들에 따른 박막 트랜지스터 표시판의 게이트 전극(124) 및 더미 게이트 전극(125), 그리고 드레인 전극(175a) 및 더미 드레인 전극(175b)은 앞서 도 1 내지 도 3을 참고로 설명한 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판과 유사하다.Next, referring to FIGS. 13 to 15, the
드레인 전극(175a)은 게이트 전극(124) 위에서 소스 전극(173)과 마주하여, 게이트 전극(124)과 중첩한다. 더미 드레인 전극(175b)은 드레인 전극(175a)과 반대 쪽에 위치하고, 더미 게이트 전극(125)과 인접하여 위치한다.The
드레인 전극(175a)은 게이트선(121)이 뻗어 있는 방향을 기준으로 일정한 폭을 가지는 복수의 부영역(R1, R2, R3)을 포함한다. 더미 드레인 전극(175b) 역시, 게이트선(121)이 뻗어 있는 방향을 기준으로 일정한 폭을 가지는 복수의 부영역(R4, R5, R6)을 포함한다.The
드레인 전극(175a)의 복수의 부영역(R1, R2, R3) 중 적어도 하나는 게이트선(121)과 제1 각도(θ1)를 이루는 가장자리를 포함하고, 더미 드레인 전극(175b)의 복수의 부영역(R4, R5, R6) 중 적어도 하나는 게이트선(121)과 제2 각도(θ2)를 이루는 가장자리를 포함한다.At least one of the plurality of subregions R1, R2, and R3 of the
도시한 실시예들에서, 드레인 전극(175a)의 부영역(R1, R2, R3)의 면적은 소스 전극으로부터 멀어질수록 넓어지고 있으나, 본 발명의 다른 실시예들에 따른 박막 트랜지스터 표시판의 경우, 드레인 전극(175a)의 부영역(R1, R2, R3)의 면적은 소스 전극으로부터 멀어질수록 좁아질 수 있고, 복수의 부영역(R1, R2, R3) 중 어느 하나의 면적만 나머지 면적과 다를 수도 있다. 또한, 도시한 실시예들에서, 더미 드레인 전극(175b)의 복수의 부영역(R4, R5, R6)의 면적은 소스 전극으로 가까와질수록 좁아지고 있으나, 본 발명의 다른 실시예들에 따른 박막 트랜지스터 표시판의 경우, 소스 전극으로 가까와질수록 넓어질 수 있고, 복수의 부영역(R4, R5, R6) 중 어느 하나의 면적만 나머지 면적과 다를 수도 있다.In the illustrated embodiments, the area of the subregions R1, R2, and R3 of the
이 때, 드레인 전극(175a)의 제1 부영역(R1)의 면적은 더미 드레인 전극(175b)의 제6 부영역(R6)의 면적과 같을 수 있다. 또한, 드레인 전극(175a)의 제2 부영역(R2)의 면적은 더미 드레인 전극(175b)의 제5 부영역(R5)의 면적과 같을 수 있고, 드레인 전극(175a)의 제3 부영역(R3)의 면적은 더미 드레인 전극(175b)의 제4 부영역(R4)의 면적과 같을 수 있다.At this time, the area of the first subregion R1 of the
그러나, 도시한 실시예들에서, 더미 드레인 전극(175b)의 복수의 부영역(R4, R5, R6)의 평면 형태는 드레인 전극(175a)의 복수의 부영역(R1, R2, R3)과 다르다. 구체적으로, 구체적으로, 드레인 전극(175a)의 복수의 부영역(R1, R2, R3)의 가장 자리는 둥글려진 형태를 가지지만, 더미 드레인 전극(175b)의 복수의 부영역(R4, R5, R6)은 각기 사다리꼴 또는 직사각 형태를 가진다. 즉, 복수의 부영역(R4, R5, R6)은 각진 가장자리를 포함하고, 일부분은 게이트선(121)과 나란한 가장 자리를 포함한다.However, in the illustrated embodiments, the planar shape of the plurality of sub-regions R4, R5, R6 of the
다음으로, 도 16을 참고하면, 본 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판의 게이트 전극(124) 및 더미 게이트 전극(125), 그리고 드레인 전극(175a) 및 더미 드레인 전극(175b)은 앞서 설명한 실시예들에 따른 박막 트랜지스터 표시판과는 다르다.Next, referring to FIG. 16, the
구체적으로, 더미 드레인 전극(175b)의 복수의 부영역은 서로 같은 면적을 가지고, 더미 게이트 전극(125)이 서로 다른 면적을 가지는 복수의 부영역(Ra, Rb, Rc)을 포함한다. 복수의 부영역(Ra, Rb, Rc)의 면적은 드레인 전극(175a)에 가까울수록 넓어지거나 좁아질 수 있다. 그러나 본 발명의 다른 한 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판의 경우, 더미 드레인 전극(175b) 및 더미 게이트 전극(125) 모두 서로 다른 면적을 가지는 복수의 부영역을 포함할 수도 있다.Specifically, the plurality of sub-regions of the
본 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판의 경우, 더미 드레인 전극(175b)은 일정한 형태를 가지지만, 더미 드레인 전극(175b)과 중첩하는 더미 게이트 전극(125)이 서로 다른 면적을 가지는 복수의 부영역(Ra, Rb, Rc)을 포함함으로써, 게이트 전극(124) 및 더미 게이트 전극(125)의 게이트 배선이 오른쪽이나 왼쪽으로 이동한 경우에도, 드레인 전극(175a)과 게이트 전극(124)의 중첩 면적과 더미 드레인 전극(175b)과 더미 게이트 전극(125)의 중첩 면적의 합을 일정하게 유지할 수 있다. 그러므로, 게이트 전극(124) 및 더미 게이트 전극(125)의 게이트 배선과 드레인 전극(175a) 및 더미 드레인 전극(175b)의 드레인 배선 사이의 전체 중첩 면적은 변화하지 않기 때문에, 게이트 배선과 드레인 배선의 중첩에 따른 기생 용량의 크기는 일정하게 된다.In the case of the thin film transistor array panel according to the present embodiment, the
다음으로 도 17을 참고하면, 본 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판의 게이트 전극(124) 및 더미 게이트 전극(125), 그리고 드레인 전극(175a) 및 더미 드레인 전극(175b)은 도 6 내지 도 8을 참고로 설명한 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판과 유사하다. Next, referring to FIG. 17, the
그러나, 본 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판의 더미 드레인 전극(175b)의 복수의 부영역은 서로 같은 면적을 가지고, 더미 게이트 전극(125)은 서로 다른 면적을 가지는 복수의 부영역(Rx, Ry)을 포함하는 돌출부(125a)를 포함한다. 돌출부(125a)의 복수의 부영역(Rx, Ry)의 면적은 드레인 전극(175a)에 가까울수록 넓어지거나 좁아질 수 있다. 그러나 본 발명의 다른 한 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판의 경우, 더미 드레인 전극(175b) 및 더미 게이트 전극(125)의 돌출부(125a) 모두 서로 다른 면적을 가지는 복수의 부영역을 포함할 수도 있다.However, the plurality of subregions of the
본 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판의 경우, 더미 드레인 전극(175b)은 일정한 형태를 가지지만, 더미 드레인 전극(175b)과 중첩하는 더미 게이트 전극(125)이 서로 다른 면적을 가지는 복수의 부영역(Rx, Ry)을 포함하는 돌출부(125a)를 포함함으로써, 게이트 전극(124) 및 더미 게이트 전극(125)의 게이트 배선이 오른쪽이나 왼쪽으로 이동한 경우에도, 드레인 전극(175a)과 게이트 전극(124)의 중첩 면적과 더미 드레인 전극(175b)과 더미 게이트 전극(125)의 돌출부(125a)의 중첩 면적의 합을 일정하게 유지할 수 있다. 그러므로, 게이트 전극(124) 및 더미 게이트 전극(125)의 게이트 배선과 드레인 전극(175a) 및 더미 드레인 전극(175b)의 드레인 배선 사이의 전체 중첩 면적은 변화하지 않기 때문에, 게이트 배선과 드레인 배선의 중첩에 따른 기생 용량의 크기는 일정하게 된다.In the case of the thin film transistor array panel according to the present embodiment, the
더미 게이트 전극(125)의 면적 변화는 도 16 또는 도 17에 도시한 실시예에 한하지 않고, 이와 달리 다양한 형태로 변화될 수 있다.The area change of the
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described in detail above, the scope of the present invention is not limited thereto, and various modifications and improvements of those skilled in the art using the basic concept of the present invention defined in the following claims are also provided. It belongs to the scope of rights.
Claims (10)
상기 기판 위에 위치하고, 서로 이격되어 있는 게이트 전극 및 더미 게이트 전극을 포함하는 게이트선,
상기 게이트 전극 및 더미 게이트 전극 위에 위치하는 게이트 절연막,
상기 게이트 절연막 위에 위치하는 반도체, 그리고
상기 반도체 위에 위치하는 소스 전극, 드레인 전극, 그리고 상기 드레인 전극으로부터 확장된 더미 드레인 전극을 포함하고,
상기 드레인 전극은 상기 게이트 전극 위에서 상기 소스 전극과 마주보고, 상기 더미 드레인 전극은 상기 더미 게이트 전극과 중첩하거나, 상기 더미 게이트 전극에 인접하여 위치하고,
상기 드레인 전극은 상기 게이트선이 뻗은 방향으로 일정한 폭을 가지는 복수의 제1 영역을 포함하고, 상기 더미 드레인 전극은 상기 게이트선이 뻗은 방향으로 일정한 폭을 가지는 복수의 제2 영역을 포함하고,
상기 드레인 전극의 상기 복수의 제1 영역의 각 면적은 상기 소스 전극으로부터 멀어질수로 커지고, 상기 더미 드레인 전극의 상기 복수의 제2 영역의 각 면적은 상기 소스 전극으로부터 멀어질수록 커지는 박막 트랜지스터 표시판.
Board,
A gate line positioned on the substrate and including a gate electrode and a dummy gate electrode spaced apart from each other,
A gate insulating layer on the gate electrode and the dummy gate electrode,
A semiconductor positioned on the gate insulating film, and
A source electrode, a drain electrode, and a dummy drain electrode extended from the drain electrode,
The drain electrode faces the source electrode on the gate electrode, and the dummy drain electrode overlaps the dummy gate electrode or is positioned adjacent to the dummy gate electrode,
The drain electrode includes a plurality of first regions having a constant width in the direction in which the gate line extends, and the dummy drain electrode includes a plurality of second regions having a constant width in the direction in which the gate line extends,
The thin film transistor array panel of each of the plurality of first regions of the drain electrode increases as the distance from the source electrode increases, and that of each of the plurality of second regions of the dummy drain electrode increases as the area of the drain electrode increases.
상기 드레인 전극의 상기 복수의 제1 영역 중 적어도 하나는 상기 게이트선과 0도 이상 90도 이하의 제1 각도를 이루는 제1 가장 자리를 포함하고,
상기 더미 드레인 전극의 상기 복수의 제2 영역 중 적어도 하나는 상기 게이트선과 0도 이상 90도 이하의 제2 각도를 이루는 제2 가장 자리를 포함하고,
상기 제1 각도와 상기 제2 각도는 서로 같은 박막 트랜지스터 표시판.
In claim 1,
At least one of the plurality of first regions of the drain electrode includes a first edge that forms a first angle of 0 degrees or more and 90 degrees or less with the gate line,
At least one of the plurality of second regions of the dummy drain electrode includes a second edge that forms a second angle of 0 degrees or more and 90 degrees or less with the gate line,
The first angle and the second angle are the same thin film transistor array panel.
상기 드레인 전극의 상기 복수의 제1 영역 중 적어도 하나는 상기 게이트선과 0도 이상 90도 이하의 각도를 이루는 가장 자리를 포함하고,
상기 복수의 제1 영역 중 적어도 하나의 면적은 상기 복수의 제1 영역의 나머지 영역의 각 면적과 서로 다른 박막 트랜지스터 표시판.
In claim 1,
At least one of the plurality of first regions of the drain electrode includes an edge that forms an angle of 0 degrees or more and 90 degrees or less with the gate line,
An area of at least one of the plurality of first areas is different from each area of the remaining areas of the plurality of first areas.
상기 복수의 제1 영역은 상기 소스 전극과 가까운 순서대로 배치되어 있는 제1 부영역, 제2 부영역 및 제3 부영역을 포함하고,
상기 복수의 제2 영역은 상기 소스 전극과 먼 순서대로 배치되어 있는 제4 부영역, 제5 부영역 및 제6 부영역을 포함하고,
상기 제1 부영역의 면적은 상기 제6 부영역의 면적과 같고,
상기 제2 부영역의 면적은 상기 제5 부영역의 면적과 같고,
상기 제3 부영역의 면적은 상기 제4 부영역의 면적과 같은 박막 트랜지스터 표시판.
In claim 3,
The plurality of first regions include a first sub-region, a second sub-region, and a third sub-region arranged in an order close to the source electrode,
The plurality of second regions includes a fourth subregion, a fifth subregion, and a sixth subregion, which are disposed in a distant order from the source electrode,
The area of the first sub-region is equal to the area of the sixth sub-region,
The area of the second sub-region is equal to the area of the fifth sub-region,
The area of the third sub-region is the same as that of the fourth sub-region.
상기 소스 전극, 상기 드레인 전극, 그리고 상기 더미 드레인 전극 위에 위치하는 보호막, 그리고
상기 보호막 위에 위치하며, 상기 보호막에 형성된 접촉 구멍을 통해 상기 드레인 전극과 연결되어 있는 화소 전극을 더 포함하는 박막 트랜지스터 표시판.
In claim 4,
A protective film positioned on the source electrode, the drain electrode, and the dummy drain electrode, and
A thin film transistor array panel further comprising a pixel electrode positioned on the passivation layer and connected to the drain electrode through a contact hole formed in the passivation layer.
상기 화소 전극과 절연막을 사이에 두고 중첩하는 공통 전극을 더 포함하고,
상기 화소 전극과 상기 공통 전극 중 하나는 복수의 가지 전극을 포함하고, 나머지 하나는 판형태의 평면 형태를 가지는 박막 트랜지스터 표시판.
In claim 5,
Further comprising a common electrode overlapping the pixel electrode and the insulating film therebetween,
One of the pixel electrode and the common electrode includes a plurality of branch electrodes, and the other is a thin film transistor array panel having a plate-like planar shape.
상기 복수의 제1 영역은 상기 소스 전극과 가까운 순서대로 배치되어 있는 제1 부영역, 제2 부영역 및 제3 부영역을 포함하고,
상기 복수의 제2 영역은 상기 소스 전극과 먼 순서대로 배치되어 있는 제4 부영역, 제5 부영역 및 제6 부영역을 포함하고,
상기 제1 부영역의 면적은 상기 제6 부영역의 면적과 같고,
상기 제2 부영역의 면적은 상기 제5 부영역의 면적과 같고,
상기 제3 부영역의 면적은 상기 제4 부영역의 면적과 같은 박막 트랜지스터 표시판.
In claim 1,
The plurality of first regions include a first sub-region, a second sub-region, and a third sub-region arranged in an order close to the source electrode,
The plurality of second regions includes a fourth subregion, a fifth subregion, and a sixth subregion, which are disposed in a distant order from the source electrode,
The area of the first sub-region is equal to the area of the sixth sub-region,
The area of the second sub-region is equal to the area of the fifth sub-region,
The area of the third sub-region is the same as that of the fourth sub-region.
상기 소스 전극, 상기 드레인 전극, 그리고 상기 더미 드레인 전극 위에 위치하는 보호막, 그리고
상기 보호막 위에 위치하며, 상기 보호막에 형성된 접촉 구멍을 통해 상기 드레인 전극과 연결되어 있는 화소 전극을 더 포함하는 박막 트랜지스터 표시판.
In claim 7,
A protective film positioned on the source electrode, the drain electrode, and the dummy drain electrode, and
A thin film transistor array panel further comprising a pixel electrode positioned on the passivation layer and connected to the drain electrode through a contact hole formed in the passivation layer.
상기 화소 전극과 절연막을 사이에 두고 중첩하는 공통 전극을 더 포함하고,
상기 화소 전극과 상기 공통 전극 중 하나는 복수의 가지 전극을 포함하고, 나머지 하나는 판형태의 평면 형태를 가지는 박막 트랜지스터 표시판.
In claim 8,
Further comprising a common electrode overlapping the pixel electrode and the insulating film therebetween,
One of the pixel electrode and the common electrode includes a plurality of branch electrodes, and the other is a thin film transistor array panel having a plate-like planar shape.
상기 게이트 전극은 상기 게이트선이 뻗은 방향으로 소정의 폭을 가지는 복수의 제3 영역을 포함하고,
상기 더미 게이트 전극은 상기 게이트선이 뻗은 방향으로 일정한 폭을 가지는 복수의 제4 영역을 포함하고,
상기 게이트 전극의 상기 복수의 제3 영역의 각 면적은 일정하고, 상기 더미 게이트 전극의 상기 복수의 제4 영역의 각 면적은 상기 드레인 전극으로부터 멀어질수록 감소하는 박막 트랜지스터 표시판.In claim 1,
The gate electrode includes a plurality of third regions having a predetermined width in a direction in which the gate line extends,
The dummy gate electrode includes a plurality of fourth regions having a constant width in a direction in which the gate line extends,
The thin film transistor array panel of claim 1, wherein each area of the plurality of third regions of the gate electrode is constant, and each area of the plurality of fourth regions of the dummy gate electrode decreases as the distance from the drain electrode increases.
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US20110095294A1 (en) * | 2009-10-26 | 2011-04-28 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Thin film transistor array panel and method of manufacturing the same |
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