KR20200027608A - Automated handling of different form factor devices under test in test cell - Google Patents

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Abstract

Disclosed is a system for performing a test using automated test equipment (ATE). The system comprises a robot including an end effector operable to pick up and transfer a DUT into and out of a test slot in a primitive. The system further includes a processor and a memory for controlling the robot. In addition, the system includes a test rack including a plurality of primitives, and the primitives are modular devices which include a plurality of slots for testing a plurality of DUTs. The robot is configured to automatically access slots in the plurality of primitives within the test rack using the end effector.

Description

시험 셀 내에서 상이한 폼 팩터를 갖는 피시험 장치의 자동화된 핸들링{AUTOMATED HANDLING OF DIFFERENT FORM FACTOR DEVICES UNDER TEST IN TEST CELL}Automated handling of devices under test with different form factors in the test cell {AUTOMATED HANDLING OF DIFFERENT FORM FACTOR DEVICES UNDER TEST IN TEST CELL}

[관련 기술에 대한 교차 참조][Cross reference to related technology]

본 출원은 2017년 3월 9일 출원되고, 발명의 명칭이 "DEVICE TESTING USING DUAL-FAN COOLING WITH AMBIENT AIR"이고, 발명자 Roland Wolff이며, 대리인 도켓 번호가 ATSY-0046-01.01US인 미국 특허 출원 제15/455,103호에 관한 것이다. 이 출원은 그 전체가 모든 목적을 위해 본 명세서에 참조로서 편입된다.This application is filed on March 9, 2017, and the title of the invention is "DEVICE TESTING USING DUAL-FAN COOLING WITH AMBIENT AIR", the inventor Roland Wolff, the agent patent number is ATSY-0046-01.01US 15 / 455,103. This application is hereby incorporated by reference in its entirety for all purposes.

[기술 분야][Technical field]

본 개시 내용은 일반적으로 자동화 시험 장치 분야에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 이러한 장치에 관한 자동화된 핸들링 기술에 관한 것이다.The present disclosure relates generally to the field of automated testing devices, and more particularly to automated handling techniques for such devices.

자동화 시험 장치(automated test equipment(ATE))는 반도체 웨이퍼 또는 다이, 집적 회로(IC), 회로 보드 또는 SSD(solid-state drive)와 같은 패키지화된 장치에서 시험을 수행하는 임의의 시험 어셈블리일 수 있다. ATE 어셈블리는 측정을 빠르게 수행하고 분석될 수 있는 시험 결과를 생성하는 자동 시험을 실행하는데 사용될 수 있다. ATE 어셈블리는, 계량기에 결합된 컴퓨터 시스템으로부터 주문형 전용 컴퓨터 제어 시스템과 시스템 온 칩(SOC) 시험이나 집적 회로 시험과 같은 전자 부품 및/또는 반도체 웨이퍼를 자동으로 시험할 수 있는 많은 상이한 시험 장비를 포함할 수 있는 복잡한 자동화 시험 어셈블리에 이르기까지 임의의 것일 수 있다. ATE 시스템은 설계된 바와 같이 기능하는 것을 보장하기 위하여 시험 장치에 소비되는 시간을 감소시키며, 고객에게 도달하기 전에 주어진 장치 내의 불량 부품의 존재를 판단하기 위한 진단 도구 역할을 한다.An automated test equipment (ATE) can be any test assembly that performs tests on a semiconductor wafer or a packaged device such as a die, integrated circuit (IC), circuit board, or solid-state drive (SSD). . The ATE assembly can be used to quickly perform measurements and run automated tests that produce test results that can be analyzed. The ATE assembly includes an on-demand dedicated computer control system from a computer system coupled to the meter and many different test equipment that can automatically test electronic components and / or semiconductor wafers such as system-on-chip (SOC) testing or integrated circuit testing. It can be anything from complex automated test assemblies that can be done. The ATE system reduces the time spent on the test device to ensure that it functions as designed, and serves as a diagnostic tool to determine the presence of defective parts within a given device before reaching the customer.

전형적인 ATE 시스템이 장치(보통 피시험 장치 또는 DUT(device under test)라 한다)를 시험할 때, ATE 시스템은 장치에 자극(stimuli)(예를 들어, 전기 신호)를 인가하고 장치의 응답(예를 들어, 전류 및 전압)을 확인한다. 전형적으로, 시험의 최종 결과는 장치가 미리 설정된 허용 오차 내의 소정의 예측된 응답을 성공적으로 제공하는 경우 "패스(pass)"가 되거나, 또는 장치가 미리 설정된 허용 오차 내의 소정의 예측된 응답을 성공적으로 제공하지 않는 경우 "페일(fail)"이 된다. 더욱 정교한 ATE 시스템은 불량의 하나 이상의 원인을 잠재적으로 판단하기 위하여 불량 장치를 평가할 수 있다.When a typical ATE system tests a device (commonly referred to as the device under test or device under test (DUT)), the ATE system applies a stimuli (eg electrical signal) to the device and responds to the device (eg For example, check current and voltage). Typically, the end result of the test is a “pass” if the device successfully provides a predetermined predicted response within a preset tolerance, or the device successfully succeeds a predetermined predicted response within a preset tolerance. If not provided, it becomes "fail". More sophisticated ATE systems can evaluate a defective device to potentially determine one or more causes of the defect.

ATE 시스템이 ATE 시스템의 동작을 지시하는 컴퓨터를 포함하는 것은 일반적이다. 전형적으로, 컴퓨터는, (i) 시험 개발 환경 및 (ii) 장치 시험 환경을 제공하기 위하여, 하나 이상의 전용 소프트웨어 프로그램을 실행한다. 시험 개발 환경에서, 사용자는 전형적으로 시험 프로그램, 즉 ATE 시스템의 다양한 부분을 제어하는 하나 이상의 파일의 소프트웨어 기반 구조를 생성한다. 장치 시험 환경에서, 사용자는 전형적으로 ATE 시스템에게 시험을 위한 하나 이상의 장치를 제공하고, ATE 시스템이 각각의 장치를 시험 프로그램에 따라 시험하도록 지시한다. 사용자는 간단히 추가 장치를 ATE 시스템에 제공하고 시험 프로그램에 따라 추가 장치를 시험하도록 ATE 시스템에 지시함으로써 그 추가 장치를 시험할 수 있다. 따라서, ATE 시스템은 사용자로 하여금 시험 프로그램에 기초하여 일관되고 자동화된 방식으로 많은 장치를 시험할 수 있게 한다.It is common for an ATE system to include a computer that directs the operation of the ATE system. Typically, a computer executes one or more dedicated software programs to provide (i) a test development environment and (ii) a device test environment. In a test development environment, users typically create a software infrastructure of test programs, ie one or more files that control various parts of the ATE system. In a device test environment, a user typically provides an ATE system with one or more devices for testing, and instructs the ATE system to test each device according to a test program. The user can test the additional device by simply providing the additional device to the ATE system and instructing the ATE system to test the additional device according to the test program. Thus, the ATE system allows the user to test many devices in a consistent and automated manner based on the test program.

전형적인 종래 기술의 시험 환경에서, DUT는 제어된 환경 챔버 또는 "오븐(oven)" 내로 배치된다. DUT는 시험 헤드의 테스터 슬라이스(tester slice)에 연결된다. 여러 DUT는 단일 슬라이스에 연결될 수 있고, 단일 시험 챔버는 여러 슬라이스를 포함할 수 있다. 슬라이스는 시험 계획에 따라 DUT에 시험을 수행하는 시험 회로부를 포함한다. 오븐 내에 있을 때, DUT는 챔버의 제어된 환경을 방해하지 않도록 사용자가 액세스 가능하지 않다. 챔버 내에 있을 때, 일부 DUT 시험이 일찍 종료하는 경우에, 모든 시험이 완료될 때까지 이를 제거할 수 없다. 그 후에, 챔버가 액세스될 수 있다.In a typical prior art test environment, the DUT is placed into a controlled environment chamber or “oven”. The DUT is connected to a tester slice of the test head. Multiple DUTs can be connected to a single slice, and a single test chamber can contain multiple slices. The slice includes a test circuit section that performs tests on the DUT according to the test plan. When in the oven, the DUT is not user-accessible so as not to interfere with the chamber's controlled environment. When in the chamber, if some DUT tests end early, they cannot be removed until all tests are complete. Thereafter, the chamber can be accessed.

이러한 시험 환경과 연관된 문제점들 중 하나는 환경 챔버의 내부가 시험 동안 액세스될 수 없어, 시험이 오븐 내에서 활동 중인 테스터 슬라이스를 이용하여 실행되고 있다면 소정의 테스터 슬라이스가 아이들 상태가 되게 한다는 것이다. 다른 문제점은 종래의 시험 환경이 전형적으로 DUT의 수동 삽입 및 제거를 필요로 하여, 이것이 시간 소모적이며 오류 발생이 쉽고 DUT가 수동 핸들링 동안 손상될 수 있기 때문에 불리하다는 것이다. 또한, 대량 생산 환경에서 DUT의 수동 삽입 및 제거는 상당히 비효율적이고 오류 발생이 쉽다.One of the problems associated with this test environment is that the interior of the environment chamber cannot be accessed during the test, causing a given tester slice to idle if the test is being run using a tester slice active in the oven. Another problem is that conventional test environments typically require manual insertion and removal of the DUT, which is disadvantageous because it is time consuming and error prone and the DUT can be damaged during manual handling. In addition, manual insertion and removal of DUTs in mass production environments is quite inefficient and error prone.

따라서, 시험 셀 내에서 상이한 폼 팩터의 DUT를 핸들링하는 자동화된 방법에 대한 요구가 있다. 또한, 필요한 것은 로봇을 이용하여 시험 헤드 내의 프리미티브에 DUT를 삽입하고 프리미티브(primitive)로부터 DUT를 제거하는, 인간의 노동력에 대한 필요성을 제거하고 더 짧은 시간에 더 높은 수율을 성취하는 자동화된 방법이다. 또한, 필요한 것은, 시스템이 완전하게 활용될 수 있도록 시험이 환경 내에서 실행되고 있는 동안 시스템의 액세스를 허용하는 시험 환경이다. 설명된 시스템의 유익한 양태를 이용하면, 해당하는 제한 없이, 본 발명의 실시예는 이러한 문제점들을 해결하기 위한 신규의 해결 방안을 제공한다.Accordingly, there is a need for an automated method of handling DUTs of different form factors within a test cell. What is also needed is an automated method that eliminates the need for human labor and achieves higher yields in less time, using robots to insert DUTs into primitives within the test head and remove DUTs from primitives. . What is also needed is a test environment that allows access to the system while the test is running within the environment so that the system can be fully utilized. Using the beneficial aspects of the described system, without corresponding limitations, embodiments of the present invention provide novel solutions to address these problems.

개시된 발명은 DUT를 시험하기 위하여 복수의 프리미티브 및 연관된 DUT 인터페이스 보드(DIB(DUT interface board))를 활용한다. 각각의 프리미티브는 모듈형이며, 이것이 다른 프리미티브와 독립적으로 동작할 수 있다는 것을 의미한다. 각각의 프리미티브는 DIB에 연결되고, DIB는 복수의 DUT를 위한 복수의 슬롯을 포함한다.The disclosed invention utilizes a plurality of primitives and associated DUT interface boards (DIBs) to test DUTs. Each primitive is modular, meaning that it can operate independently of other primitives. Each primitive is connected to a DIB, and the DIB includes multiple slots for multiple DUTs.

본 발명의 실시예들은, 부분적으로, DIB로의 DUT의 삽입과 DIB로부터의 DUT의 제거를 자동화함으로써, 시험 프로세스를 자동화하기 위하여 로봇을 활용한다. 로봇은, 일 실시예에서, 다양한 폼 팩터의 DUT를 핸들링하기 위하여 교환 가능한 그리퍼(gripper)를 활용한다. 자동화된 프로세스는 로봇이 어느 종류의 장치가 시험되고 있는지를 자동으로 인식하고 시험되고 있는 장치의 폼 팩터를 위한 적합한 그리퍼를 선택하도록 프로그래밍될 수 있다. 또한, 다른 실시예에서, 테스터는 로봇이 빈(bin) 내에서의 장치의 배향(수평 또는 수직) 및 장치의 배치를 역시 판단하기 위한 지능을 가지도록 프로그래밍될 수 있다. 추가적인 실시예에서, 로봇은 카메라와 외부 기준점을 이용하여 손상 없이 장치를 붙잡기 위한 지능을 갖도록 더 프로그래밍된다.Embodiments of the present invention utilize robots to automate the testing process, in part by automating the insertion of the DUT into the DIB and the removal of the DUT from the DIB. The robot, in one embodiment, utilizes an exchangeable gripper to handle DUTs of various form factors. The automated process can be programmed to allow the robot to automatically recognize which type of device is being tested and select a suitable gripper for the form factor of the device being tested. Further, in other embodiments, the tester may be programmed such that the robot has intelligence to also determine the orientation (horizontal or vertical) of the device within the bin and the placement of the device. In a further embodiment, the robot is further programmed to have intelligence to hold the device without damage using a camera and external reference points.

본 발명의 실시예에 따라, 장치 가열은 일반적으로 자체 동작하는 DUT에 의해 생성된다. 따라서, 장치를 동작시킨 후에, 설정점 온도를 달성할 것이다. 그 다음, 냉각 방법 및 시스템, 예를 들어, 본 발명의 실시예 내에서 채용된 DIB 내부의 팬은, 시험을 위한 설정점 온도를 유지하도록 장치를 효율적으로 냉각시킨다. 따라서, 온도 제어된 환경 챔버는 장치를 가열하는데 필요하지 않다. 다른 이점은 팬 이외에는 추가적인 냉각 요소를 필요로 하지 않으면서 DUT를 냉각시키는데 주변 공기가 성공적으로 사용될 수 있다는 것이다. 따라서, 시험이 실험실 환경 또는 시험 현장에서 수행될 수 있기 때문에, 고가의 환경 챔버에 대한 필요성이 제거된다. 해결 방안은 저비용이며, DIB(DUT interface board)와 시험 실행 모듈(또는 프리미티브) 조합은 자체가 로봇형 DUT 조작에 적합하고, 따라서, 네트워크 카드, 그래픽 카드, 칩, 마이크로프로세서, 하드 디스크 드라이브(hard disk drive(HDD)) 및 SSD(solid state drive) 등을 포함하지만 이에 한정되지 않는 다양한 전자 장치의 대량 시험에 적합하다.In accordance with embodiments of the present invention, device heating is generally generated by a self-acting DUT. Thus, after operating the device, a setpoint temperature will be achieved. The cooling method and system, for example, a fan inside the DIB employed within the embodiments of the present invention, effectively cools the device to maintain the setpoint temperature for testing. Thus, a temperature controlled environmental chamber is not required to heat the device. Another advantage is that the ambient air can be successfully used to cool the DUT without requiring additional cooling elements other than fans. Thus, the need for an expensive environmental chamber is eliminated, as the test can be performed in a laboratory environment or on a test site. The solution is low cost, and the combination of the DUT interface board (DIB) and the test execution module (or primitive) itself is suitable for robotic DUT operation, and thus, network cards, graphics cards, chips, microprocessors, hard disk drives (hard disk drives) It is suitable for mass testing of various electronic devices, including but not limited to disk drives (HDDs) and solid state drives (SSDs).

또한, DUT가 환경 시험 챔버 내에 위치되지 않기 때문에, 로봇을 이용한 시험 사이클 동안, 이는 더욱 용이하게 핸들링되고, 물리적으로 조작되며, 검사된다. 또한, DUT를 시험하는데 사용되는 전자 회로부의 양태는 (여기에서 설명되는 바와 같이, 프리미티브를 이용하여) 모듈화된다. 따라서, 상이한 모듈이 상이한 폼 팩터와 DUT 종류에 대하여 상이한 시험을 수행하고 있거나 또는 동일한 DUT 종류에 상이한 시험을 수행하고 있을 수 있다(시험이 잠금 단계(lock step)에서 실행될 필요가 더 이상 없기 때문이다). 이것은 전반적인 시험 효율성과 시험 유연성을 증가시킨다.In addition, since the DUT is not located in the environmental test chamber, during the test cycle with the robot, it is more easily handled, physically manipulated, and inspected. In addition, aspects of the electronic circuitry used to test the DUT are modularized (using primitives, as described herein). Thus, different modules may be performing different tests on different form factors and DUT types, or different tests on the same DUT type (because the test is no longer needed to be run in the lock step). ). This increases the overall test efficiency and test flexibility.

일 실시예에서, 자동화 시험 장치(automated test equipment(ATE))를 이용하여 시험을 수행하는 방법이 개시된다. 방법은 시험될 피시험 장치(DUT(device under test))를 찾는 단계를 포함한다. 또한, 이는 DUT의 존재를 데이터베이스에 기록하는 단계와, 프리미티브에 빈 슬롯(empty slot)이 존재하는지 판단하기 위하여 데이터베이스에 질의하는 단계를 포함하고, 프리미티브는 복수의 DUT를 수용하고 시험하기 위한 복수의 슬롯을 포함하는 모듈형 장치이다. 또한, 방법은, 빈 슬롯에 DUT를 삽입하기 위하여 로봇을 이용하는 단계와, 빈 슬롯이 채워졌다고 데이터베이스에 보고하는 단계를 포함한다. 마지막으로, 방법은 DUT에 대한 시험을 개시하는 단계를 포함한다.In one embodiment, a method for performing a test using automated test equipment (ATE) is disclosed. The method includes finding a device under test (DUT) to be tested. In addition, this includes writing the existence of the DUT to the database, and querying the database to determine if an empty slot exists in the primitive, and the primitive includes a plurality of DUTs to accommodate and test. It is a modular device that includes a slot. The method also includes using the robot to insert the DUT into the empty slot, and reporting to the database that the empty slot is filled. Finally, the method includes initiating a test for the DUT.

다른 실시예에서, 자동화 시험 장치(ATE)를 이용하여 시험을 수행하는 시스템이 제공된다. 시스템은 프리미티브 내의 시험 슬롯의 내외로 DUT를 픽업하고 이송하도록 동작 가능한 엔드 이펙터(end effector)를 포함하는 로봇을 포함한다. 시스템은, 로봇을 제어하기 위한 프로세서와 메모리를 포함하는 시스템 컨트롤러를 더 포함한다. 또한, 시스템은 복수의 프리미티브를 포함하는 시험 랙(test rack)을 포함하고, 로봇은 엔드 이펙터를 이용하여 시험 랙 내에서 복수의 프리미티브 내의 슬롯에 액세스하도록 구성된다.In another embodiment, a system for performing a test using an automated test device (ATE) is provided. The system includes a robot that includes an end effector operable to pick up and transfer the DUT into and out of the test slot in the primitive. The system further includes a system controller including a processor and memory for controlling the robot. In addition, the system includes a test rack that includes a plurality of primitives, and the robot is configured to access slots in the plurality of primitives within the test rack using an end effector.

또 다른 실시예에서, 자동화 시험 장치(ATE)를 이용하여 시험을 수행하는 시스템이 개시된다. 시스템은 프리미티브 내의 시험 슬롯의 내외로 DUT를 자동으로 붙잡고 픽업하고 이송하도록 동작 가능한 엔드 이펙터를 포함하는 로봇을 포함한다. 시스템은, 복수의 트레이를 포함하고 시험 동안 복수의 트레이로부터 로봇으로 DUT를 제공하도록 동작 가능한 입출력 모듈을 더 포함한다. 추가로, 시스템은 로봇을 제어하기 위한 프로세서와 메모리를 포함하는 시스템 컨트롤러를 포함한다. 또한, 시스템은 복수의 프리미티브를 포함하는 시험 랙을 포함하고, 프리미티브는 복수의 DUT를 시험하기 위한 복수의 슬롯을 포함하는 모듈형 장치이고, 로봇은 시험 랙 내에서 복수의 프리미티브 내의 슬롯에 액세스하도록 구성된다.In another embodiment, a system for performing a test using an automated testing device (ATE) is disclosed. The system includes a robot that includes an end effector operable to automatically grab, pick up, and transport the DUT into and out of the test slot within the primitive. The system further includes an input / output module that includes a plurality of trays and is operable to provide a DUT from the plurality of trays to the robot during the test. Additionally, the system includes a system controller including a processor and memory for controlling the robot. In addition, the system includes a test rack that includes a plurality of primitives, the primitive is a modular device comprising a plurality of slots for testing a plurality of DUTs, and the robot can access slots within the plurality of primitives within the test rack. It is composed.

이어지는 상세한 설명은 첨부된 도면과 함께 본 발명의 본질과 이점에 대한 더 양호한 이해를 제공할 것이다.The following detailed description together with the accompanying drawings will provide a better understanding of the nature and advantages of the present invention.

유사한 도면 부호가 유사한 요소를 나타내는 첨부된 도면에 본 발명의 실시예들이 한정이 아닌 예로서 도시된다.
도 1은 DUT가 제어된 환경 챔버 내로 배치되는 종래의 시험 환경을 도시한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따라 DUT 인터페이스 보드(DUT interface board(DIB))(400)와 인터페이스되는 프리미티브(primitive)를 도시한다.
도 3a는 본 발명의 일 실시예에 따라 DUT 장치(예를 들어, SSD)를 시험 헤드 내의 시험 프리미티브로 이송하고 그로부터 이송하는데 사용되는 6축 산업용 로봇을 이용하는 자동화된 작업셀(workcell)을 도시한다.
도 3b는 본 발명의 일 실시예에 따라 시험 랙을 작업셀 내에서 정적인 위치 정렬 상태로 유지하는데 사용되는 구조적 용접물(weldment)을 도시한다.
도 3c는 본 발명의 일 실시예에 따라 시험 동안 DUT를 로봇 암(arm)에 제공하는데 사용되는 입출력 모듈을 도시한다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따라 DUT 장치(예를 들어, SSD)를 시험 헤드 내의 시험 프리미티브로 이송하고 그로부터 이송하는데 사용되는 데카르트 3축 산업용 로봇을 이용하는 자동화된 작업셀을 도시한다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따라 로봇 암의 단부에 연결되고 DUT 장치(예를 들어, SSD)를 붙잡아 시험 헤드 내의 시험 프리미티브로 이송하고 그로부터 이송하는데 사용되는 엔드 이펙터(end effector)를 도시한다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따라 로봇 암의 단부에 연결되고 DUT 장치(예를 들어, SSD)를 붙잡아 시험 헤드 내의 시험 프리미티브로 이송하고 그로부터 이송하는데 사용되는 다른 엔드 이펙터(end effector)를 도시한다.
도 7은 고객 생산 설비에서 사용되는 전형적인 평탄한 플라스틱 트레이 상의 SSD DUT를 도시한다.
도 8은 생산 현장 토트(tote)에 배치된 SSD DUT를 도시한다.
도 9a는 본 발명의 일 실시예에 따라 높이 조절 가능한 Z축 직사각형 받침대에 장착된 6축 인체 모형 산업용 로봇을 도시한다.
도 9b는 본 발명의 일 실시예에 따라 완전히 위를 향해 연장된 구성의 높이 조절 가능한 Z축 직사각형 받침대의 시저스 리프트(scissors lift) 모듈을 도시한다.
도 10a, 10b, 10c, 10d 및 10e는 본 발명의 일 실시예에 따라 데카르트 로봇이 트레이로부터 DUT를 검색하고 DUT를 프리미티브의 슬롯으로 삽입하는 방식을 도시한다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따라 작업셀이 PC 컨트롤러로부터 제어되는 방식을 도시한다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따라 작업셀의 동작을 위해 필요한 전반적인 하드웨어 및 소프트웨어를 도시한다.
도 13은 본 발명의 일 실시예에 따라 작업셀 내에서 DUT에 대한 시험을 실행하기 위한 예시적인 컴퓨터 구현 프로세스의 순서도를 도시한다.
도면에서, 동일한 도면 부호를 갖는 요소는 동일하거나 유사한 기능을 가진다.
In the accompanying drawings, in which like reference numerals indicate similar elements, embodiments of the present invention are shown by way of example and not limitation.
1 shows a conventional test environment in which the DUT is placed into a controlled environmental chamber.
2 illustrates a primitive interfaced with a DUT interface board (DIB) 400 according to an embodiment of the present invention.
3A shows an automated workcell using a six-axis industrial robot used to transfer and transfer DUT devices (eg, SSDs) to test primitives within a test head according to one embodiment of the present invention. .
3B shows a structural weldment used to keep a test rack in a static positional alignment within a work cell in accordance with one embodiment of the present invention.
3C shows an input / output module used to provide a DUT to a robot arm during a test in accordance with one embodiment of the present invention.
4 illustrates an automated work cell using a Cartesian 3-axis industrial robot used to transfer and transfer a DUT device (eg, SSD) to a test primitive in a test head according to one embodiment of the present invention.
5 illustrates an end effector used to transfer to and from a test primitive in a test head by connecting to the end of a robot arm and holding a DUT device (eg, SSD) in accordance with one embodiment of the present invention. do.
6 is another end effector used to transfer to and from a test primitive in a test head by connecting to the end of a robot arm and holding a DUT device (eg, SSD) in accordance with one embodiment of the present invention. City.
7 shows an SSD DUT on a typical flat plastic tray used in a customer production facility.
8 shows an SSD DUT placed in a production site tote.
9A shows a 6-axis human body model industrial robot mounted on a height-adjustable Z-axis rectangular base according to an embodiment of the present invention.
9B shows a scissors lift module of a height-adjustable Z-axis rectangular pedestal in a fully extended configuration according to one embodiment of the present invention.
10A, 10B, 10C, 10D, and 10E illustrate how a Cartesian robot retrieves a DUT from a tray and inserts the DUT into a slot of a primitive according to one embodiment of the present invention.
11 illustrates a method in which a work cell is controlled from a PC controller according to an embodiment of the present invention.
12 illustrates overall hardware and software necessary for operation of a work cell according to an embodiment of the present invention.
13 shows a flow chart of an exemplary computer-implemented process for executing a test on a DUT in a work cell in accordance with one embodiment of the present invention.
In the drawings, elements having the same reference numbers have the same or similar functions.

이제, 첨부된 도면에 예가 도시된 본 개시 내용의 다양한 실시예들을 상세히 참조할 것이다. 이러한 실시예들과 함께 설명될 때, 이는 본 개시 내용을 이러한 실시예들에 한정하려고 의도되지 않는다는 것이 이해될 것이다. 반대로, 본 개시 내용은 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 개시 내용의 기술적 사상 및 범위 내에 포함될 수 있는 대체물, 수정물 및 균등물을 포함하도록 의도된다. 더하여. 본 개시 내용에 대한 이어지는 구체적인 내용에서, 다양한 특정 상세들이 본 개시 내용의 완전한 이해를 제공하기 위하여 설명된다. 그러나, 본 개시 내용이 이러한 특정 상세 없이 실시될 수 있다는 것이 이해될 것이다. 다른 경우에, 잘 알려진 방법, 절차, 컴포넌트 및 회로는 본 개시 내용의 양태를 불필요하게 흐리게 하지 안도록 상세히 설명되지 않았다.Reference will now be made in detail to various embodiments of the present disclosure, with examples shown in the accompanying drawings. When described in conjunction with these embodiments, it will be understood that it is not intended to limit the present disclosure to these embodiments. Conversely, the present disclosure is intended to include substitutes, modifications and equivalents that may be included within the technical spirit and scope of the present disclosure as defined by the appended claims. add. In the following detailed description of the disclosure, various specific details are set forth to provide a thorough understanding of the disclosure. However, it will be understood that the present disclosure may be practiced without these specific details. In other instances, well-known methods, procedures, components and circuits have not been described in detail so as not to unnecessarily obscure aspects of the present disclosure.

이어지는 상세한 설명의 일부 부분은 컴퓨터 메모리 내의 데이터 비트에서의 연산의 절차, 논리 블록, 처리 및 다른 부호 표현의 측면에서 제공된다. 이러한 설명 및 표현은 당해 기술 분야에서의 다른 통상의 기술자에게 작업의 본질을 가장 효율적으로 제공하기 위하여 데이터 처리 분야에서의 통상의 기술자에 의해 사용되는 수단이다. 본 출원에서, 절차, 논리 블록, 처리 또는 이와 유사한 것은 원하는 결과에 이르게 하는 단계 또는 명령의 자기 일관된 시퀀스로 이해된다. 단계는 물리량의 물리적 조작을 이용하는 것이다. 보통, 필수적이지는 않더라도, 이러한 양은 컴퓨터 시스템에서 저장되고, 이송되고, 결합되고, 비교되고, 아니면 조작될 수 있는 전기 신호 또는 자기 신호의 형태를 취한다. 이 신호를 트랜잭션, 비트, 값, 요소, 부호, 캐릭터, 샘플, 픽셀 또는 이와 유사한 것이라 하는 것이 주로 일반적인 사용의 이유로 때로는 편리하다는 것이 입증되었다.Some portions of the detailed description that follows are presented in terms of procedures of operations on data bits in computer memory, logical blocks, processing, and other code representations. These descriptions and representations are the means used by those skilled in the data processing arts to most effectively provide the essence of the work to others skilled in the art. In the present application, a procedure, logic block, process, or the like is understood as a self-consistent sequence of steps or instructions leading to a desired result. The step is to use physical manipulation of physical quantities. Usually, though not necessarily, these quantities take the form of electrical or magnetic signals that can be stored, transported, combined, compared, or otherwise manipulated in a computer system. It has proven convenient at times, often for reasons of general use, to refer to this signal as a transaction, bit, value, element, sign, character, sample, pixel or similar.

그러나, 이러한 용어 및 유사한 용어의 전부가 적합한 물리량과 연관되며, 단지 이러한 양에 적용된 편리한 라벨이라는 것을 염두에 두어야 한다. 이어지는 논의에서 명백한 바와 같이 달리 구체적으로 언급되지 않는다면, 본 개시 내용의 전반에 걸쳐, "구성하는(configuring)", "업데이트하는(updating)", "시험하는(testing)", "폴링하는(polling)" 또는 이와 유사한 것과 같은 용어를 활용하는 논의는 컴퓨터 시스템 또는 유사한 전자 컴퓨팅 장치나 프로세서의 동작 및 프로세스(예를 들어, 도 13의 순서도(1300))를 참조한다. 컴퓨터 시스템 또는 유사한 전자 컴퓨팅 장치는 컴퓨터 시스템 메모리, 레지스터 또는 다른 이러한 정보 저장 장치, 전송 장치 또는 디스플레이 장치 내에서 물리(전자)량으로서 표현되는 데이터를 조작하고 변환한다.However, it should be borne in mind that all of these and similar terms are associated with suitable physical quantities and are merely convenient labels applied to these quantities. Unless specifically stated otherwise in the following discussion, throughout the present disclosure, "configuring", "updating", "testing", "polling" ) ”Or similar, refer to the operation and process of a computer system or similar electronic computing device or processor (eg, flow chart 1300 of FIG. 13). A computer system or similar electronic computing device manipulates and transforms data represented as physical (electronic) quantities in computer system memory, registers or other such information storage devices, transmission devices or display devices.

본 명세서에서 설명된 실시예는 하나 이상의 컴퓨터 또는 다른 장치에 의해 실행되는, 프로그램 모듈과 같은, 일부 형태의 컴퓨터 판독 가능한 저장 매체에 상주하는 컴퓨터 실행 가능한 명령어와 일반적으로 연계하여 논의될 수 있다. 한정이 아닌 예로서, 컴퓨터 판독 가능한 저장 매체는 비일시적인 컴퓨터 판독 가능한 저장 매체 및 통신 매체를 포함할 수 있다; 비일시적인 컴퓨터 판독 가능한 매체는 일시적인 전파 신호를 제외한 모든 컴퓨터 판독 가능한 매체를 포함한다. 일반적으로, 프로그램 모듈은 특정 작업을 수행하거나 특정 추상 데이터형을 구현하는 루틴, 프로그램, 오브젝트, 컴포넌트, 데이터 구조 등을 포함한다. 프로그램 모듈의 기능은 다양한 실시예에서 요구되는 바에 따라 결합되거나 배포될 수 있다.Embodiments described herein may be discussed in general association with computer-executable instructions residing on some form of computer-readable storage media, such as program modules, being executed by one or more computers or other devices. By way of example, and not limitation, computer-readable storage media may include non-transitory computer-readable storage media and communication media; Non-transitory computer readable media includes all computer readable media except for transient radio signals. Generally, program modules include routines, programs, objects, components, data structures, etc. that perform particular tasks or implement particular abstract data types. The functions of the program modules may be combined or distributed as required in various embodiments.

컴퓨터 저장 매체는 컴퓨터 판독 가능한 명령어, 데이터 구조, 프로그램 모듈 또는 다른 데이터와 같은 정보의 저장을 위하여 임의의 방법 또는 기술로 구현되는 휘발성 및 비휘발성의 삭제 가능하고 삭제 불가능한 매체를 포함한다. 컴퓨터 저장 매체는, RAM(random access memory), ROM(read only memory), EEPROM(electrically erasable programmable ROM), 플래시 메모리 또는 다른 메모리 기술, CD-ROM(compact disk ROM), DVD(digital versatile disks) 또는 다른 광 스토리지, 자기 카세트, 자기 테이프, 자기 디스크 스토리지 또는 다른 자기 스토리지 장치, 또는 원하는 정보를 저장하는데 사용될 수 있고 그 정보를 검색하기 위하여 액세스될 수 있는 임의의 다른 매체를 포함하지만 이에 한정되지 않는다.Computer storage media includes volatile and nonvolatile removable and non-removable media implemented in any method or technology for storage of information such as computer readable instructions, data structures, program modules or other data. Computer storage media includes random access memory (RAM), read only memory (ROM), electrically erasable programmable ROM (EEPROM), flash memory or other memory technology, compact disk ROM (CD-ROM), digital versatile disks (DVD), or Other optical storage, magnetic cassettes, magnetic tapes, magnetic disk storage or other magnetic storage devices, or any other medium that can be used to store desired information and can be accessed to retrieve the information.

통신 매체는 컴퓨터 실행 가능한 명령어, 데이터 구조 및 프로그램 모듈을 구체화할 수 있으며, 임의의 정보 전달 매체를 포함한다. 한정이 아닌 예로서, 통신 매체는 유선 네트워크 또는 직접 유선 연결과 같은 유선 매체와, 음향, RF(radio frequency), 적외선 및 다른 무선 매체와 같은 무선 매체를 포함한다. 또한, 전술한 것의 임의의 조합이 컴퓨터 판독 가능함 매체의 범위 내에 포함될 수 있다.Communication media may embody computer-executable instructions, data structures, and program modules, and include any information delivery media. By way of example, and not limitation, communication media includes wired media such as a wired network or direct wired connection, and wireless media such as acoustic, radio frequency (RF), infrared and other wireless media. Also, any combination of the above can be included within the scope of computer readable media.

시험 셀 내에서 상이한 폼 팩터를 갖는 피시험 장치의 자동화된 핸들링(AUTOMATED HANDLING OF DIFFERENT FORM FACTOR DEVICES UNDER TEST IN TEST CELL)Automated handling of devices under test with different form factors in the test cell (AUTOMATED HANDLING OF DIFFERENT FORM FACTOR DEVICES UNDER TEST IN TEST CELL)

도 1은 DUT가 제어된 환경 챔버(10) 또는 "오븐(oven)" 내로 배치되는 종래의 시험 환경을 도시한다. DUT는 시험 헤드(20)의 테스터 슬라이스에 연결된다. 많은 DUT가 단일 테스터 슬라이스(40)에 연결될 수 있다. 테스터 슬라이스는 시험 계획에 따라 DUT에 시험을 수행하는 시험 회로부를 포함한다. 시험 헤드(20)마다 많은 테스터 슬라이스가 있을 수 있다. DUT는 오븐(10) 내로 삽입될 때 트레이(30) 내로 배치된다. 오븐(10) 내에 있을 때, DUT는 전형적으로 챔버(10)의 제어된 환경을 방해하지 않도록 사용자가 액세스할 수 없다. 전형적인 환경 챔버에서, 복수의 테스터 슬라이스는 복수의 DUT에 동일한 시험 계획을 실행하는 잠금 단계(lock step)에서 동작한다. 또한, 시험 헤드는 전형적으로 시험 헤드에 직접 연결된 단일 컨트롤러 컴퓨터 시스템(도시되지 않음)에 의해 제어되고, 이러한 방식으로, 시험 헤드(20)의 모든 슬라이스를 제어한다.1 shows a conventional test environment in which a DUT is placed into a controlled environment chamber 10 or “oven”. The DUT is connected to the tester slice of the test head 20. Many DUTs can be connected to a single tester slice 40. The tester slice includes a test circuitry that performs tests on the DUT according to the test plan. There may be many tester slices per test head 20. The DUT is placed into the tray 30 when inserted into the oven 10. When in the oven 10, the DUT is typically not accessible by the user so as not to interfere with the controlled environment of the chamber 10. In a typical environmental chamber, multiple tester slices operate in a lock step that executes the same test plan on multiple DUTs. In addition, the test head is typically controlled by a single controller computer system (not shown) directly connected to the test head, and in this way, all slices of the test head 20 are controlled.

이러한 시험 환경과 연관된 문제점들 중 하나는 환경 챔버의 내부가 시험 동안 액세스될 수 없어, 시험이 시험 헤드 내의 다른 테스터 슬라이스를 이용하여 실행되고 있다면 전체 테스터 슬라이스 또는 테스터 슬라이스 내의 비어 있는 슬롯이 아이들 상태가 되게 한다는 것이다. 다른 문제점은 종래의 시험 환경이 전형적으로 테스트 슬라이스로부터의 DUT의 수동 삽입 및 제거를 필요로 하여, 이것이 시간 소모적이며 오류 발생이 쉽고 DUT가 수동 핸들링 동안 손상될 수 있기 때문에 불리하다는 것이다. 또한, 대량 생산 환경에서 DUT의 수동 삽입 및 제거는 상당히 비효율적이다.One of the problems associated with this test environment is that the interior of the environment chamber cannot be accessed during the test, so if the test is being run using a different tester slice in the test head, the entire tester slice or empty slot in the tester slice is idle. To do it. Another problem is that the conventional test environment is typically disadvantageous because it requires manual insertion and removal of the DUT from the test slice, which is time consuming and error prone and the DUT can be damaged during manual handling. In addition, manual insertion and removal of DUTs in a mass production environment is quite inefficient.

본 발명의 실시예는 시험 셀 내에서 상이한 폼 팩터를 갖는 피시험 장치를 핸들링하는 자동화된 방법을 제공한다. 본 발명의 실시예는 로봇을 이용하여 시험 헤드에서 DUT를 프리미티브로 삽입하고 DUT를 프리미티브로부터 제거하는 자동화된 방법을 제공하여, 이에 의해 인간의 노동력에 대한 필요성을 제거하고 더 짧은 시간에 더 높은 수율을 성취한다. 또한, 본 발명의 실시예는 챔버가 동시에 완전히 활용될 수 있도록 챔버 내에서 시험이 실행되고 있는 동안 챔버 내부의 액세스를 허용한다.Embodiments of the present invention provide an automated method of handling devices under test with different form factors within a test cell. Embodiments of the present invention provide an automated method of inserting a DUT primitively from a test head using a robot and removing the DUT from the primitive, thereby eliminating the need for human labor and higher yields in a shorter time. To achieve. In addition, embodiments of the present invention allow access inside the chamber while the test is being performed in the chamber so that the chamber can be fully utilized simultaneously.

본 발명의 실시예에 따라, 장치 가열은 일반적으로 자체 동작하는 DUT에 의해 생성된다. 따라서, 장치를 동작시킨 후에, 설정점 온도를 달성할 것이다. 그 다음, 냉각 방법 및 시스템, 예를 들어, 본 발명의 실시예 내에서 채용된 DIB 내부의 팬은, 시험을 위한 설정점 온도를 유지하도록 장치를 효율적으로 냉각시킬 것이다. 따라서, 온도 제어된 환경 챔버는 장치를 가열하는데 필요하지 않다.In accordance with embodiments of the present invention, device heating is generally generated by a self-acting DUT. Thus, after operating the device, a setpoint temperature will be achieved. Next, a cooling method and system, for example a fan inside the DIB employed within the embodiments of the present invention, will effectively cool the device to maintain the setpoint temperature for testing. Thus, a temperature controlled environmental chamber is not required to heat the device.

다른 이점은 팬 이외에는 추가적인 냉각 요소를 필요로 하지 않으면서 DUT를 냉각시키는데 주변 공기가 성공적으로 사용될 수 있다는 것이다. 따라서, 고가의 환경 챔버에 대한 필요성이 제거된다. 해결 방안은 저비용이며, DIB(DUT interface board)와 시험 실행 모듈(또는 프리미티브) 조합은 자체가 로봇형 DUT 조작에 적합하고, 따라서, 네트워크 카드, 그래픽 카드, 칩, 마이크로프로세서, 하드 디스크 드라이브(hard disk drive(HDD)) 및 SSD(solid state drive) 등을 포함하지만 이에 한정되지 않는 다양한 전자 장치의 대량 시험에 적합하다.Another advantage is that the ambient air can be successfully used to cool the DUT without requiring additional cooling elements other than fans. Thus, the need for an expensive environmental chamber is eliminated. The solution is low cost, and the combination of the DUT interface board (DIB) and the test execution module (or primitive) itself is suitable for robotic DUT operation, and thus, network cards, graphics cards, chips, microprocessors, hard disk drives (hard disk drives) It is suitable for mass testing of various electronic devices, including but not limited to disk drives (HDDs) and solid state drives (SSDs).

또한, DUT가 환경 시험 챔버 내에 위치되지 않기 때문에, 로봇을 이용한 시험 사이클 동안, 이는 더욱 용이하게 핸들링되고, 물리적으로 조작되며, 검사된다. 또한, DUT를 시험하는데 사용되는 전자 회로부의 양태는 (여기에서 설명되는 바와 같이, 프리미티브를 이용하여) 모듈화된다. 따라서, 상이한 모듈이 상이하거나 또는 심지어 동일한 폼 팩터를 갖는 DUT 유형에 상이한 시험을 수행할 수 있다. 이것은 전반적인 시험 효율성과 시험 유연성을 증가시킨다.In addition, since the DUT is not located in the environmental test chamber, during the test cycle with the robot, it is more easily handled, physically manipulated, and inspected. In addition, aspects of the electronic circuitry used to test the DUT are modularized (using primitives, as described herein). Thus, different tests can be performed on different types of DUTs with different modules or even with the same form factor. This increases the overall test efficiency and test flexibility.

위에서 나타낸 바와 같이, 유익하게는, 본 발명의 실시예는, 부분적으로, DIB 내로의 DUT의 삽입과 DIB로부터의 DUT의 제거를 자동화함으로써, 시험 프로세스를 자동화하기 위하여 로봇을 활용한다. 일 실시예에서, 로봇은, 다양한 폼 팩터의 DUT를 핸들링하기 위하여 교환 가능한 그리퍼(gripper)를 활용한다. 자동화된 프로세스는 로봇이 어느 종류의 장치가 시험되고 있는지를 자동으로 인식하기 위한 지능과 유연성 및 강도를 가지며 시험되고 있는 장치의 폼 팩터를 위한 적합한 그리퍼를 선택하도록 프로그래밍될 수 있다. 또한, 다른 실시예에서, 테스터는 또한 로봇이 빈(bin) 내에서의 장치의 배향(수평 또는 수직)과 장치의 배치를 판단하는 지능을 가지도록 프로그래밍될 수 있다. 추가적인 실시예에서, 로봇은 카메라 및 외부 기준점을 이용함으로써 손상 없이 장치를 붙잡는 지능을 갖도록 더 프로그래밍된다.As indicated above, advantageously, embodiments of the present invention utilize a robot to automate the testing process, in part by automating the insertion of the DUT into the DIB and the removal of the DUT from the DIB. In one embodiment, the robot utilizes interchangeable grippers to handle DUTs of various form factors. The automated process can be programmed to select a suitable gripper for the form factor of the device under test, with intelligence, flexibility and strength for the robot to automatically recognize which device is being tested. Further, in other embodiments, the tester can also be programmed to have the robot have intelligence to determine the orientation (horizontal or vertical) of the device within the bin and the placement of the device. In a further embodiment, the robot is further programmed to have the intelligence to hold the device without damage by using a camera and external reference points.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따라 DUT 인터페이스 보드(DUT interface board(DIB))(400)와 인터페이스되는 프리미티브(primitive)(410)를 도시한다. 도 2에 도시된 테스터 슬라이스(tester slice)(40)와 유사하게, 도 4의 프리미티브는 테스트 헤드(20) 내로 피팅되고 시험 계획에 따라 DUT에 시험을 수행하는 시험 회로부를 포함하는 일종의 개별 시험 모듈이다. 프리미티브는, 부분적으로, 이것이 내부에 예를 들어 사이트 모듈(site module), 전원 등과 같은 다양한 전자 장치가 모두 수용되는 인클로저(450)를 포함하기 때문에, 도 1의 테스터 슬라이스(40)에 대한 개선물이다. DIB(400)는 DUT(420)를 위한 크기를 갖는 주문형 커넥터를 이용하여 복수의 DUT(420)를 포함할 수 있다. 또한, DIB(400)는 인클로저(470)를 포함한다. DIB(400)는 고속 신호 및 전력을 획득하기 위하여 로드 보드(load board)(도시되지 않음)를 통해 프리미티브(410)의 유니버셜 백플레인(universal backplane)에 인터페이스된다. 프리미티브(410)는 DUT(420)에 대한 시험 계획을 수행하기 위한 시험 회로부를 포함한다. 프리미티브(410)는 임의의 다른 프리미티브에 독립적으로 동작할 수 있으며, 제어 서버에 연결된다.2 illustrates a primitive 410 that interfaces with a DUT interface board (DIB) 400 according to an embodiment of the present invention. Similar to the tester slice 40 shown in FIG. 2, the primitive of FIG. 4 is a type of individual test module that fits into the test head 20 and includes test circuitry to perform tests on the DUT according to the test plan. to be. The primitive is an improvement over the tester slice 40 of FIG. 1, in part because it includes an enclosure 450 in which various electronic devices, such as, for example, a site module, power source, etc., are all accommodated. to be. The DIB 400 may include a plurality of DUTs 420 using a custom connector having a size for the DUT 420. In addition, DIB 400 includes enclosure 470. The DIB 400 is interfaced to the universal backplane of the primitive 410 through a load board (not shown) to obtain high speed signals and power. The primitive 410 includes test circuitry for performing a test plan for the DUT 420. The primitive 410 can operate independently of any other primitive and is connected to the control server.

본 발명의 실시예는 DUT를 시험하기 위하여 복수의 프리미티브(도 2에 도시된 프리미티브와 유사) 및 연관된 DIB를 활용한다. 각각의 프리미티브는 모듈형이며, 이는 다른 프리미티브에 독립적으로 동작할 수 있다는 것을 의미한다. 따라서, 랙 내에 설치된 복수의 프리미티브는 각각 상이한 시험 계획 하에서 동작할 수 있다.Embodiments of the present invention utilize multiple primitives (similar to the primitives shown in Figure 2) and associated DIBs to test the DUT. Each primitive is modular, meaning that it can operate independently of other primitives. Thus, multiple primitives installed in a rack can each operate under different test plans.

본 명세서에 참조로서 편입되는 2017년 3월 9일 출원되고 발명의 명칭이 "DEVICE TESTING USING DUAL-FAN COOLING WITH AMBIENT AIR"인 미국 특허 출원 제15/455,103호(본 명세서에서 "듀얼 팬 냉각 출원"이라 함)에서 설명된 바와 같이, 일 실시예에서, 시험 시스템이 도 4에 도시된 프리미티브를 사용하면, 프리미티브가 효율적인 방식으로 분할되도록 설계되기 때문에, 프리미티브의 랙(rack)과 연관된 DUT를 시험할 때, 환경 챔버는 더 이상 필요하지 않다.United States Patent Application No. 15 / 455,103 filed March 9, 2017, incorporated herein by reference and entitled "DEVICE TESTING USING DUAL-FAN COOLING WITH AMBIENT AIR" (herein referred to as "dual fan cooling application") (In this case), in one embodiment, if the test system uses the primitives shown in FIG. 4, the DUT associated with the rack of primitives will be tested because the primitives are designed to be partitioned in an efficient manner. When the environment chamber is no longer needed.

듀얼 팬 냉각 출원에서 언급된 바와 같이, 주변 공기 시스템을 이용한 듀얼 팬 냉각의 이점은 팬 이외에 추가적인 냉각 요소를 필요로 하지 않으면서 DUT(피시험 장치)를 냉각하기 위하여 주변 공기가 효율적이고 성공적으로 구현된다는 것이다. 환경 챔버에 대한 필요성은 DUT 자체로부터 생성된 열이 시험 온도 설정점에 도달하는데 사용됨에 따라 도 4에 도시된 프리미티브를 이용하여 제거된다. 그 다음, 팬은 그 설정점을 유지한다. 또한, 주변 공기를 이용한 듀얼 팬 냉각은 저비용이며, 로봇 DUT(피시험 장치) 조작과 양립 가능하며, 위에서 나타낸 바와 같이, 상이한 종류의 장치(또는 DUT)의 대량 시험에 매우 적합하다.As mentioned in the dual fan cooling application, the advantage of dual fan cooling with an ambient air system is that the ambient air is efficiently and successfully implemented to cool the device under test (DUT) without requiring additional cooling elements in addition to the fan. It is. The need for an environmental chamber is eliminated using the primitive shown in Figure 4 as heat generated from the DUT itself is used to reach the test temperature setpoint. Then the fan maintains that set point. In addition, dual fan cooling using ambient air is low cost, compatible with robotic DUT (device under test) operation, and as indicated above, is well suited for mass testing of different types of devices (or DUTs).

본 실시예에서, 프리미티브를 위한 본 출원의 도 2의 인클로저(450)는 DUT로부터의 열이 인클로저 내부에 유지되도록 하며, 따라서 별도의 가열 챔버가 필요하지 않다. 그 결과, DUT 및 프리미티브에 대하여 언제든지 직접적인 사용자 조작이 허용된다. 다른 말로 하면, DUT는 더 높은 온도로 DUT를 시험하는데 필요한 열을 공급한다(인클로저 내에서 더 긴 기간 동안 전원이 공급될 때). 또한, 팬 및/또는 통기구는 DUT를 냉각시키기 위하여 공기가 프리미티브 내부에서 순환되게 하고, 결과적으로 프리미티브의 내부 온도를 낮춘다.In this embodiment, the enclosure 450 of FIG. 2 of the present application for the primitive allows heat from the DUT to be maintained inside the enclosure, thus eliminating the need for a separate heating chamber. As a result, direct user manipulation is allowed at any time for DUTs and primitives. In other words, the DUT supplies the heat required to test the DUT at a higher temperature (when powered up for a longer period in the enclosure). In addition, fans and / or vents allow air to circulate inside the primitive to cool the DUT, and consequently lower the internal temperature of the primitive.

전형적인 시험 헤드는 DUT를 시험하기 위하여 복수의 프리미티브 및 연관된 DUT 인터페이스 보드(DIB)를 포함한다. 각각의 프리미티브는 모듈형이며, 이는 다른 프리미티브에 독립적으로 동작할 수 있다는 것을 의미한다. 각각의 프리미티브는 DIB(400)에 연결되고, DIB는 복수의 DUT(420)를 위한 복수의 슬롯을 포함한다. 시험 모듈(410)은 모듈화되고, 모듈의 뒤쪽으로부터 하나 이상의 중앙 제어 컴퓨터 또는 시험 스테이션(도시되지 않음)으로 반송된 통신 및 전력 신호를 이용하여 복수의 모듈을 지원하는 랙 내로 삽입될 수 있다. 개별 DUT 시험 프리미티브(410)와 DIB(400)는 주변 공기 환경(예를 들어, 시험 현장 또는 실험실)에서 커스터마이징 가능한 컬럼과 로우의 랙을 형성하도록 해당하는 랙 슬롯 내로 삽입될 수 있어, 환경 시험 챔버에 대한 필요성을 제거한다.A typical test head includes a plurality of primitives and associated DUT interface boards (DIBs) to test the DUT. Each primitive is modular, meaning that it can operate independently of other primitives. Each primitive is connected to the DIB 400, and the DIB includes a plurality of slots for the plurality of DUTs 420. The test module 410 is modular and can be inserted into a rack supporting multiple modules using communication and power signals returned from one rear of the module to one or more central control computers or test stations (not shown). Individual DUT test primitives 410 and DIB 400 can be inserted into corresponding rack slots to form a rack of columns and rows that are customizable in an ambient air environment (eg, a test site or laboratory), so that an environmental test chamber Eliminates the need for.

듀얼 팬 냉각 출원에서 상술된 바와 같이, 프리미티브(410)는 전력, 명령어, 신호, 데이터, 시험 결과 및/또는 정보를 DUT(420)와 통신함으로써 DUT(420)에 대한 시험을 수행하도록 동작 가능하다. 시험 실행 모듈(410)은 DUT(420)에 시험을 수행하기 위한 처리, 통신 및 저장 회로부를 포함한다. 또한, 프리미티브 또는 시험 실행 모듈(410)은 DUT(420) 근처에 있는 온도 센서로부터 입력 신호를 수신함으로써 그리고 적합한 하부 및 상부 팬의 회전 속도를 조정함으로써 DUT(420)의 냉각을 제어한다. 또한, 시험 실행 모듈(410)은 DIB(400)로부터의 공기 흐름을 주변 환경으로 방출하기 위하여 공기 도관(490)을 포함한다.As described above in the dual fan cooling application, primitive 410 is operable to perform tests on DUT 420 by communicating power, commands, signals, data, test results and / or information with DUT 420. . The test execution module 410 includes processing, communication, and storage circuitry for performing tests on the DUT 420. In addition, the primitive or test execution module 410 controls the cooling of the DUT 420 by receiving input signals from temperature sensors near the DUT 420 and by adjusting the rotational speeds of suitable lower and upper fans. In addition, the test execution module 410 includes an air conduit 490 to discharge air flow from the DIB 400 to the surrounding environment.

도 3a는 본 발명의 일 실시예에 따라 DUT 장치(예를 들어, SSD)를 시험 헤드 내의 시험 프리미티브로 이송하고 그로부터 이송하는데 사용되는 6축 산업용 로봇을 이용하는 자동화된 작업셀을 도시한다.3A illustrates an automated work cell using a 6-axis industrial robot used to transfer and transfer a DUT device (eg, SSD) to a test primitive in a test head according to one embodiment of the present invention.

산업용 로봇은 다양한 축 구성을 가질 수 있다. 전형적으로, 대부분의 관절형 로봇은 6 자유도라고도 하는 6축을 특징으로 한다. 6축 로봇은 더 큰 유연성을 가능하게 하며, 더 적은 축을 갖는 로봇에 비하여 더 다양한 애플리케이션을 수행할 수 있다.Industrial robots can have various axial configurations. Typically, most articulated robots feature six axes, also called six degrees of freedom. The six-axis robot allows greater flexibility and can perform more diverse applications than robots with fewer axes.

도 3a는 드라이브의 성능 및 기능 시험 동안 DUT 장치(예를 들어, SSD)를 시험 프리미티브로 이송하고 그로부터 이송하는데 사용되는 6축 로봇(310)을 도시한다. 또한, 도 3a는 5개의 랙(320)과 랙 당 6개의 프리미티브(330)를 포함하는 전반적인 자동화 작업셀을 도시한다. 로봇(310)은 셀의 중앙에서 작업한다. 도 3a에서의 예시가 랙 당 6개의 프리미티브를 갖는 5개의 랙을 포함하지만, 작업 셀이 임의의 개수의 랙과 프리미티브를 포함하도록 스케일링될 수 있고, 많은 작업셀이 제조 현장에 있도록 스케일링할 수 있다는 점에 주목하라. 따라서, 본 발명의 실시예는, 유익하게는, 프리미티브 내로의 장치의 삽입 또는 그로부터의 장치의 제거를 자동화함으로써 더 짧은 시간에 더 높은 수율을 성취할 수 있다. 또한, 로봇 암(arm)이 평균적인 인간보다 더 높게 도달할 수 있고, 이에 따라 본 발명의 실시예는 작업셀 내의 프리미티브가 수동 노동력을 사용하는 구성에 비하여 더 높게 적층될 수 있게 한다.FIG. 3A shows a six-axis robot 310 used to transfer and transfer DUT devices (e.g., SSDs) to test primitives during drive performance and functional testing. In addition, FIG. 3A shows an overall automated work cell comprising five racks 320 and six primitives 330 per rack. The robot 310 works in the center of the cell. Although the example in FIG. 3A includes five racks with six primitives per rack, the work cell can be scaled to include any number of racks and primitives, and many work cells can be scaled to be on the shop floor. Notice the point. Thus, embodiments of the present invention can advantageously achieve higher yields in a shorter time by automating the insertion of the device into the primitive or removal of the device therefrom. In addition, the robot arm can reach higher than the average human, and thus embodiments of the present invention allow primitives in the work cell to be stacked higher than configurations using manual labor.

또한, 자동화된 작업셀은 생산 현장의 바닥에 배치되고 모든 하드웨어 컴포넌트를 위한 단일 기초(foundation)를 제공하는 대형 알루미늄 플레이트(311)를 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 알루미늄 플레이트는 강철 용접물(weldment) 및 시험 랙의 볼트 다운(bolt-down)을 수용하도록 기계 가공되고 드릴링된 1인치 두께의 알루미늄 슬라브를 포함할 수 있다.In addition, the automated work cell may include a large aluminum plate 311 placed on the floor of the production site and providing a single foundation for all hardware components. In one embodiment, the aluminum plate may include a 1 inch thick aluminum slab machined and drilled to accommodate steel weldments and bolt-down of the test rack.

도 3b는 본 발명의 일 실시예에 따라 시험 랙을 작업셀 내에서 정적인 위치 정렬 상태로 유지하는데 사용되는 구조적 용접물을 도시한다. 랙이 테스터 슬롯으로부터 배치 또는 추출되는 동안 DUT를 밀고 당기는 것과 연관된 진동 또는 이동에 영향을 받지 않도록, 구조적 용접물(312)은, 도 3b에 도시된 바와 같이, 랙을 정적인 위치 정렬 상태로 유지하는데 사용된다. 구조적 용접물은 슬라브 베이스 플레이트(311)에 견고하게 고정된 수직 강철 구조 용접물로 이루어질 수 있다. 또한, 각각의 작업 셀은 셀 내에서 각각의 랙을 위한 지지를 제공하는 크로스바(crossbars)를 포함한다.3B shows a structural weldment used to keep a test rack in a static positional alignment within a work cell in accordance with one embodiment of the present invention. The structural weldment 312 maintains the rack in a static positional alignment, as shown in FIG. 3B, so that it is not subject to vibrations or movements associated with pushing and pulling the DUT while the rack is being placed or extracted from the tester slot. Is used. The structural weldment may be made of a vertical steel structure weldment rigidly fixed to the slab base plate 311. In addition, each working cell includes crossbars that provide support for each rack within the cell.

도 3c는 본 발명의 일 실시예에 따라 시험 동안 DUT를 로봇 암에 제공하는데 사용되는 입출력 모듈을 도시한다. 입출력 모듈은 작업자 측에서 모듈을 통해 안으로 슬라이딩하고 픽업을 위하여 DUT를 로봇에 제공하도록 다른 측으로 밖으로 슬라이딩하는 슬라이딩 트레이/토트(tote)(391)를 제공하는 독립형 시스템이다. 여러 슬라이드가 임의의 주어진 시간에 다양한 입력 또는 정렬(sort) 카테고리를 위하여 프로그래밍될 수 있다. 일 실시예에서, 어느 토트를 로딩하거나 언로딩하는지 작업자에게 보여주도록 마이크로 컨트롤러에 의해 제어되는 디스플레이가 있다. 동작 중에, 작업자는 눌러져서 그에 제공된 슬라이드에 토트 또는 트레이를 배치한다. 그 다음, 작업자는 슬라이드가 모듈 인클로저 내로 내부를 향해 이동할 수 있도록 반짝이는 키 버튼을 누른다. 반대측에서, 로봇의 작업 범위(work envelope) 내에서, 그 픽 앤 플레이스(pick and place) 동안 로봇에 의해 트레이 또는 토트가 액세스할 필요가 있는 슬라이드가 액세스를 위하여 로봇의 작업 범위 내로 슬라이딩되어 나온다. 로봇이 DUT를 픽업하거나 플레이스하면, 슬라이드는 모듈 캐비닛 내로 빠르게 다시 뒤쪽으로 이동한다. 이러한 방식으로, 주어진 순간에 로봇에 의한 액세스를 위하여 필요한 슬라이드만이 로봇 작업 범위 내로 진입하도록 허용된다. 도 3c에 도시된 바와 같이, 입출력 모듈은 DUT(예를 들어, SATA SSD)로 채워진 프리미티브(330)를 갖는 시험 랙 다음에 위치될 수 있다. 이 입출력 모듈은 랙 및 피니언에 연결된 각각의 스테이션에서 스테퍼 모터에 의해 구동되는 양단 드로어 슬라이드(double ended drawer slide)를 사용하여 테이블 표면을 작업자를 향하여 밖으로 또는 로봇 작업 범위 내로 내부를 향해 슬라이딩한다.3C shows an input / output module used to provide a DUT to a robot arm during a test in accordance with an embodiment of the present invention. The input / output module is a standalone system that provides a sliding tray / tote 391 that slides in through the module from the operator side and slides out to the other side to provide the DUT to the robot for pickup. Multiple slides can be programmed for various input or sort categories at any given time. In one embodiment, there is a display controlled by the microcontroller to show the operator which tote is loading or unloading. During operation, the operator is pressed to place the tote or tray on the slide provided thereon. The operator then presses a shiny key button to allow the slide to move inwards into the module enclosure. On the opposite side, within the robot's work envelope, slides that the tray or tote needs to access by the robot during its pick and place slide out into the robot's working range for access. When the robot picks up or places the DUT, the slide quickly moves back and forth back into the module cabinet. In this way, only the slides necessary for access by the robot at a given moment are allowed to enter the robot working range. As shown in FIG. 3C, the input / output module can be placed after a test rack with a primitive 330 filled with a DUT (eg, SATA SSD). This input / output module uses a double ended drawer slide driven by a stepper motor at each station connected to the rack and pinion to slide the table surface out towards the operator or inward into the robot working range.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따라 DUT 장치(예를 들어, SSD)를 시험 헤드 내의 시험 프리미티브로 이송하고 그로부터 이송하는데 사용되는 데카르트(Cartesian) 3축 산업용 로봇을 이용하는 자동화된 작업셀을 도시한다. 도 4의 작업셀은 5개의 프리미티브(496)를 갖는 단일 랙(497)을 포함한다.FIG. 4 illustrates an automated work cell using a Cartesian 3-axis industrial robot used to transfer and transfer a DUT device (eg, SSD) to a test primitive in a test head according to one embodiment of the present invention. do. The work cell of FIG. 4 includes a single rack 497 with five primitives 496.

도 4에 도시된 데카르트 좌표 로봇(선형 로봇이라고도 함)(495)은 3개의 주요 제어 축이 선형이고(예를 들어, 이는 회전하는 것이 아니라 직선으로 이동한다) 서로에 대하여 서로 직각으로 정렬된 산업용 로봇이다. 3개의 슬라이딩 조인트는 손목(wrist)을 상하, 안팎 및 앞뒤로 이동하는 것에 대응한다. 저비용 작업셀을 필요로 하는 소정의 생산 환경에서, 이것은 6축 로봇에 대한 대안으로서 사용될 수 있다. 데카르트 로봇(495)은 트레이(498)로부터 DUT를 검색하고 DUT를 프리미티브(496)와 연관된 DIB의 슬롯 내로 이송하기 위하여 3개의 선형 축(x, y 및 z)을 따라 이동하도록 프로그래밍될 수 있다.The Cartesian coordinate robot shown in FIG. 4 (also called a linear robot) 495 has three main control axes linear (eg, it moves in a straight line rather than rotating) and is aligned at right angles to each other with respect to each other. It is a robot. The three sliding joints correspond to moving the wrist up, down, in and out and back and forth. In certain production environments requiring low cost work cells, this can be used as an alternative to a 6 axis robot. The Cartesian robot 495 can be programmed to move along three linear axes (x, y and z) to retrieve the DUT from the tray 498 and transport the DUT into the slot of the DIB associated with the primitive 496.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따라 로봇 암의 단부에 연결되고 DUT 장치(예를 들어, SSD)를 시험 헤드 내의 시험 프리미티브로 이송하고 그로부터 이송하는데 사용되는 엔드 이펙터(end effector)를 도시한다. 엔드 이펙터(510)는 손(hand)이 위치될 로봇 암의 단부에 연결되는 장치 또는 도구이다. 엔드 이펙터는 DUT(505)와 상호 작용하는 로봇의 부분이다. 다른 말로 하면, 엔드 이펙터는 그리퍼 핑거(520)를 이용하여 DUT를 붙잡아 이를 프리미티브의 내부에서 슬롯으로 그리고 슬롯으로부터 이동시키는데 사용되는 그리퍼이다.FIG. 5 shows an end effector used to transfer to and from a DUT device (e.g., SSD) to a test primitive in a test head connected to the end of a robot arm in accordance with one embodiment of the present invention. . The end effector 510 is a device or tool that is connected to the end of the robot arm where the hand will be located. The end effector is the part of the robot that interacts with the DUT 505. In other words, the end effector is a gripper used to grip the DUT using the gripper finger 520 and move it from inside to inside of the primitive and into the slot.

본 발명의 일 실시예에서, 로봇 암(6축 로봇 및 데카르트 로봇 모두에 대하여)은 교환 가능한 그리퍼를 가진다. 사용되는 그리퍼는 장치, 예를 들어, SATA 2.5, M.2 드라이버 등의 폼 팩터에 의해 결정된다. 로봇 암은 트레이에 접근하여 그리퍼를 이용하여 트레이로부터 하나 이상의 DUT를 잡아 당기고, 이어서, 하나 이상의 DUT를 원하는 프리미티브의 시험 슬롯 내로 밀어 넣도록 프로그래밍된다. 상이한 종류의 DUT는 상이한 사양과 폼 팩터를 가지며, 그리퍼는 크기, 형태 및 형상에서의 차이를 수용하도록 선택될 수 있다. 또한, 로봇 암은 그리퍼가 원하는 위치에서 DUT를 붙잡을 수 있도록 프로그래밍될 수 있다. 예를 들어, 로봇 암은 그리퍼가 DUT를 손상시킬 가능성이 더 적을 위치와 방식으로 DUT를 붙잡을 수 있도록 프로그래밍될 수 있다.In one embodiment of the invention, the robot arm (for both 6-axis robots and Cartesian robots) has an exchangeable gripper. The gripper used is determined by the form factor of the device, for example SATA 2.5, M.2 driver. The robotic arm is programmed to access the tray, pull one or more DUTs from the trays using a gripper, and then push one or more DUTs into the test slots of the desired primitives. Different types of DUTs have different specifications and form factors, and the gripper can be selected to accommodate differences in size, shape and shape. In addition, the robot arm can be programmed to allow the gripper to hold the DUT at the desired position. For example, the robot arm can be programmed to hold the DUT in a position and manner where the gripper is less likely to damage the DUT.

일 실시예에서, 그리퍼는 장치 포맷을 검출하기에 적합한 강도(strength)와 유연성을 가질 필요가 있다. 시험되는 DUT의 종류에 따라, 로봇 또는 테스터는 어느 그리퍼가 선택될 필요가 있는지 인식하고, 적합한 장치 그리퍼를 선택하고, DUT를 픽업하여 적합한 슬롯으로 삽입하기 위한 지능을 가지도록 프로그래밍될 수 있다.In one embodiment, the gripper needs to have strength and flexibility suitable for detecting the device format. Depending on the type of DUT being tested, the robot or tester can be programmed to recognize which gripper needs to be selected, select the appropriate device gripper, and have the intelligence to pick up the DUT and insert it into the appropriate slot.

다른 실시예에서, 로봇 또는 테스터는 트레이 내의 DUT의 배향 또는 장치의 배치를 결정하기 위하여 그리퍼를 사용하도록 더 프로그래밍된다. 예를 들어, DUT는 트레이 내에서 수직 또는 수평 배향으로 있을 수 있다. 로봇 또는 테스터는, 본 실시예에서, DUT가 트레이 내에서 어떤 배향으로 배치되는지 인식하고 결정된 배향에 기초하여 적합한 접촉점에서 장치를 픽업하도록 프로그래밍될 것이다. 예를 들어, 로봇은 그리퍼가 인간의 손가락의 액세스를 위한 움푹 들어간 부분(dent)이 DUT를 픽업하기 위하여 존재하는 위치에서 DUT 트레이를 액세스하도록 프로그래밍될 수 있고, 프리미티브 시험 슬롯 내외로의 삽입 및 추출 동안 그리퍼가 장치의 에지에서 DUT를 붙잡도록 더 프로그래밍될 수 있다.In other embodiments, the robot or tester is further programmed to use a gripper to determine the orientation of the DUT in the tray or the placement of the device. For example, the DUT can be in a vertical or horizontal orientation within the tray. The robot or tester, in this embodiment, will be programmed to recognize in which orientation the DUT is placed in the tray and pick up the device at a suitable contact point based on the determined orientation. For example, the robot can be programmed such that the gripper accesses the DUT tray at a location where a dent for access of the human finger is present to pick up the DUT, and inserts and extracts into and out of the primitive test slot. While the gripper can be further programmed to hold the DUT at the edge of the device.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따라 로봇 암의 단부에 연결되고 DUT 장치(예를 들어, SSD)를 시험 헤드 내의 시험 프리미티브로 이송하고 그로부터 이송하는데 사용되는 다른 엔드 이펙터를 도시한다.6 illustrates another end effector connected to the end of a robot arm and used to transfer a DUT device (eg, SSD) to and from a test primitive in a test head in accordance with one embodiment of the present invention.

도 6에 도시된 엔드 이펙터는 그리퍼(610)를 포함하는 주문형 기계 어셈블리와 작업셀에서의 동작에 필요한 기구를 포함한다. 그리퍼는 모션을 검출하기 위한 위치 센서와, DUT의 존재를 검출하기 위한 광 센서를 포함할 수 있다.The end effector shown in FIG. 6 includes an on-demand mechanical assembly including a gripper 610 and a mechanism necessary for operation in a work cell. The gripper may include a position sensor for detecting motion and an optical sensor for detecting the presence of the DUT.

도 6의 엔드 이펙터는, 예를 들어, 이동의 깊이를 측정하기 위한 레이저 트랜스듀서(630)를 포함한다. 또한, 트랜스듀서는 자동화된 위치 레퍼런스 캘리브레이션 동안 사용될 수 있다. 로봇 배향 지정 및 기계적 정합(registration) 특징 부부은 프리미티브로부터의 로봇 엔드 이펙터의 거리를 정밀하게 측정하여 로봇이 위치 레퍼런스의 자체 교정을 위하여 이를 사용할 수 있도록 하는 능력이다.The end effector of FIG. 6 includes, for example, a laser transducer 630 for measuring the depth of movement. In addition, the transducer can be used during automated position reference calibration. Features of robot orientation and mechanical registration The couple is the ability to precisely measure the distance of a robot end effector from a primitive and use it for self-calibration of a position reference.

엔드 이펙터는 DUT 위로의 그리퍼의 적합한 배치를 가능하게 하는데 사용되는 카메라(640)를 더 포함한다. 카메라는 정밀한 위치 레퍼런스를 얻기 위하여 토트 및 트레이 내외로의 DUT의 픽업 및 배치 동안 사용된다. 또한, 이는 DUT로부터 모든 일련 번호와 바코드를 읽고 해석하는데 사용될 수 있다.The end effector further includes a camera 640 that is used to enable proper placement of the gripper over the DUT. The camera is used during pickup and placement of the DUT into and out of the tote and tray to obtain a precise position reference. In addition, it can be used to read and interpret all serial numbers and barcodes from the DUT.

그리퍼(610)는 이동될 DUT(620)를 유지하는 그리퍼 핑거(660)를 이동시킨다. 카메라(640)는 DUT를 손상시키지 않도록 정밀한 접촉점에서 DUT를 붙잡기 위하여 테스터에 의해 사용될 수 있다. 테스터는 장치를 손상시키지 않고서 DUT를 픽업하기 위하여 미리 정해진 기준점(reference point)과 카메라로부터의 신호를 사용하는 지능을 가진다. 또한, 카메라(640)는 트레이 내의 DUT의 배향 및 배치를 판단하는 데에도 사용될 수 있다. 또한, 레이저 트랜스듀서(630)는 DUT가 어느 방식으로 트레이로부터 픽업될 필요가 있는지 판단하고, 프리미티브 내의 슬롯에서 DUT를 삽입하고 제거하기 위하여 카메라와 함께 사용될 수 있다.The gripper 610 moves the gripper finger 660 holding the DUT 620 to be moved. The camera 640 can be used by a tester to hold the DUT at precise contact points so as not to damage the DUT. The tester has the intelligence to use signals from the camera and a predetermined reference point to pick up the DUT without damaging the device. In addition, the camera 640 can also be used to determine the orientation and placement of the DUT in the tray. In addition, the laser transducer 630 can be used with a camera to determine how the DUT needs to be picked up from the tray, and to insert and remove the DUT from slots in the primitive.

일 실시예에서, 엔드 이펙터는 전자적이며, 이는 그리퍼 핑거의 그리핑 파워가 조정될 수 있게 한다. 그리퍼 핑거(660)는 여러 상이한 종류 및 폼 팩터의 DUT를 로봇이 픽업할 수 있게 하는 주문형 그리핑을 가질 수 있다. 엔드 이펙터의 평행 그리퍼는, 전형적인 실시예에서, 한 번에 하나의 DUT 폼 팩터를 유지하도록 설계된다. 다른 실시예에서, 엔드 이펙터는 공압식(pneumatic)이다. 일 실시예에서, 엔드 이펙터는 트레이 내에서 평탄하게 놓여 있는 DUT를 픽업할 수 있도록 공압식 진공 흡입 컵을 포함할 수 있다.In one embodiment, the end effector is electronic, which allows the gripping power of the gripper finger to be adjusted. The gripper finger 660 may have custom gripping to allow the robot to pick up DUTs of different types and form factors. The parallel gripper of the end effector, in a typical embodiment, is designed to hold one DUT form factor at a time. In other embodiments, the end effector is pneumatic. In one embodiment, the end effector may include a pneumatic vacuum suction cup to pick up a DUT that lies flat within the tray.

일 실시예에서, 그리퍼는 상이한 종류의 폼 팩터를 수용하기 위하여 스냅 인(snap in) 및 볼트 다운 그리퍼 핑거를 받아들이도록 설계될 수 있다. 이것은 자동화된 그리퍼 교환 메커니즘의 사용을 수반하며, 이는 로봇이 평행 로봇 그리퍼를 교환 스테이션으로 삽입할 수 있게 하고, 특정 제품 종류를 위한 로봇 그리퍼는 수 초 내에 상이한 제품 종류의 그리퍼에 대하여 교환될 수 있다. 위에서 언급된 바와 같이, 테스터는 필요한 그리퍼의 종류를 판단하고 사용자의 간섭 없이 이 교환을 수행하기 위한 지능을 가지도록 프로그래밍될 수 있다.In one embodiment, the gripper can be designed to accept snap in and bolt down gripper fingers to accommodate different types of form factors. This entails the use of an automated gripper exchange mechanism, which allows the robot to insert a parallel robot gripper into the exchange station, and the robot gripper for a particular product type can be exchanged for grippers of different product types within seconds. . As mentioned above, the tester can be programmed to determine the type of gripper needed and to have the intelligence to perform this exchange without user intervention.

일 실시예에서, 엔드 이펙터는 현재 그리퍼 내에 있는 DUT를 되돌려 놓고 그 다음 유사한 그리퍼 내에 있는 다른 DUT를 즉시 그리고 빠르게 캡처할 수 있는 듀얼 엔드 이펙터이다. 그리퍼를 다른 DUT에 향하게 하기 위하여 로봇은 단순히 이의 손목을 180° 돌릴 필요가 있다. 이것은 단일 그리퍼의 처리량의 거의 2배가 되게 한다. 일 실시예에서, 로봇이 평탄한 플라스틱 입력 트레이에 평탄하게 놓여 있는 DUT 상에 배치할 수 있는 엔드 이펙터의 부분으로서 일련의 1 내지 2개의 흡입 컵이 있다. 이것이 그 DUT를 획득하면, 일단 임시 고정 교환 스테이션에 이를 놓고 이의 마지막 로봇 조인트를 비틀고, 프리미티브 내외로의 배치에 필요한 그리퍼를 이용하여 DUT를 다시 픽업한다.In one embodiment, the end effector is a dual end effector capable of reverting the DUT currently in the gripper and then immediately and quickly capturing another DUT in the similar gripper. To direct the gripper to another DUT, the robot simply needs to turn its wrist 180 °. This results in almost twice the throughput of a single gripper. In one embodiment, there is a series of 1 to 2 suction cups as part of the end effector that the robot can place on a DUT that lies flat on a flat plastic input tray. Once it has acquired the DUT, it is placed on a temporary fixed exchange station, twisted at its last robot joint, and picked up again by the gripper required for placement into and out of the primitive.

일 실시예에서, 고정되고 안정된 그리퍼 교환 스테이션은 로봇 앞쪽의 강철 포스트에 위치된다. 교환 스테이션은 자동화된 신속 교환 메커니즘과 특정 제품을 핸들링하는데 필요한 다양한 그리퍼를 포함한다. 동작 시, 로봇은 단순히 기존의 그리퍼를 스테이션 내로 밀고, 그리퍼 교환 메커니즘은 그리퍼를 캡처하여 이를 공압식(또는 전기식) 평행 장치로부터 제거한다. 그 다음, 로봇은 기본적인(bare) 그리퍼 컴포넌트를 추출하고, 다음 이송을 위하여 필요한 상이한 제품 종류의 그리퍼를 픽업하기 위하여 상이한 교환 스테이션으로 이를 밀어 넣는다. 일 실시예에서, 교환 스테이션은 또한 DUT가 그리퍼 내부에서 안정될 때 DUT 바코드 라벨을 읽는 고정 장착된 바코드 스캐너를 포함할 수 있다. 더하여, 로봇은 DUT가 바코드 리더 위로 통과함에 따라 DUT를 스캔할 수 있다. 다른 말로 하면, 장치가 이 스테이션에서 유지되고 있을 때, 바코드 스캐너는 정지한 상태로 장치의 일련 번호를 읽을 수 있거나, 또는 정지하지 않고 바코드 스캐너를 지나는 장치를 로봇이 스캔하게 함으로써 장치의 일련 번호를 읽을 수 있다. 일 실시예에서, DUT는 이미 RAM 메모리 내에 내부적으로 저장된 일련 번호를 가지고 있어, 일련 번호는 전자적으로 읽혀질 수 있다(바코드 리더를 이용하는 것과는 반대로).In one embodiment, a fixed and stable gripper exchange station is located on a steel post in front of the robot. The exchange station includes an automated quick change mechanism and various grippers needed to handle a particular product. In operation, the robot simply pushes the existing gripper into the station, and the gripper exchange mechanism captures the gripper and removes it from the pneumatic (or electric) parallel device. The robot then extracts the basic gripper components and pushes them into different exchange stations to pick up grippers of different product types needed for the next transfer. In one embodiment, the exchange station may also include a fixed mounted barcode scanner that reads the DUT barcode label when the DUT is stable inside the gripper. In addition, the robot can scan the DUT as it passes over the barcode reader. In other words, when the device is being held at this station, the barcode scanner can read the device's serial number while it is stationary, or it can determine the device's serial number by having the robot scan a device that passes through the barcode scanner without stopping. Can read In one embodiment, the DUT already has a serial number stored internally in RAM memory, so the serial number can be read electronically (as opposed to using a barcode reader).

일 실시예에서, 고정 교환 스테이션은, 주로 DUT를 진공 컵으로부터 평행 그리퍼로 그리고 그 반대로 이송하기 위하여 사용되는, 엔드 이펙터와 인터페이스하기 위한 다수의 장치를 가진다. 또한, 고정 교환 스테이션은 로봇 모션의 수 초 내에 한 종류의 제품 그리퍼의 제거와, 다른 종류의 제품 그리퍼의 부착을 모두 핸들링한다.In one embodiment, the stationary exchange station has a number of devices for interfacing with end effectors, which are mainly used to transfer the DUT from a vacuum cup to a parallel gripper and vice versa. In addition, the stationary exchange station handles both removal of one type of product gripper and attachment of the other type of product gripper within seconds of robot motion.

도 7은 고객 생산 설비에서 사용되는 전형적인 평탄한 플라스틱 트레이 상의 SSD DUT를 도시한다. 도 7에 도시된 트레이는 연약할 수 있고, 쉽게 구부러지고 휠 수 있다. 이는 평탄한 배향으로 DUT를 유지한다. 본 발명의 로봇은 유익하게는 DUT의 평탄한 배향을 인식하도록 프로그래밍될 수 있고, 엔드 이펙터는 DUT의 손상 위험을 최소화하는 위치에서 트레이로부터 DUT를 픽업하기 위하여 진공 컵을 사용할 수 있다.7 shows an SSD DUT on a typical flat plastic tray used in a customer production facility. The tray shown in FIG. 7 can be soft, easily bendable and bendable. This keeps the DUT in a flat orientation. The robot of the present invention can advantageously be programmed to recognize the flat orientation of the DUT, and the end effector can use a vacuum cup to pick up the DUT from the tray at a location that minimizes the risk of damage to the DUT.

도 8은 생산 현장 토트에 배치된 SSD DUT를 도시한다. 이는 정전기 방지 판지 상자(cardboard carton) 또는 경질 플라스틱으로 구성된다. 이는 커넥터가 아래로 향하게 DUT를 배열하도록 분할될 것이고, 이에 따라 로봇 그리퍼는 코너에서 접촉이 허용되는 드라이브의 단부에 액세스할 수 있다.8 shows an SSD DUT placed on a production site tote. It consists of an antistatic cardboard carton or rigid plastic. This will be split to arrange the DUT with the connector facing down, so that the robot gripper can access the end of the drive where contact is allowed at the corner.

따라서, 도 6에 도시된 엔드 이펙터는 다양한 기능을 수행할 수 있다. 예를 들어, 엔드 이펙터는 트레이로부터 평탄하게 놓여 있는 DUT를 픽업하거나 동일한 DUT를 출력(outgoing) 트레이에 평탄하게 놓을 수 있다(도 7에 도시된 바와 같이). 또한, 엔드 이펙터는 토트 슬롯에 수직으로 서있는 장치를 캡처하도록 평행 그리퍼를 사용할 수 있다(도 8에 도시된 바와 같이). 추가로, 엔드 이펙터는 DUT를 프리미티브 슬롯 위치로 밀어넣거나 프리미티브로부터 DUT를 붙잡아 추출하기 위하여 평행 그리퍼를 사용할 수 있다. 진공 컵을 이용하여 DUT를 픽업한 후에, 예를 들어, 엔드 이펙터는 교환 스테이션에서 DUT를 평행 그리퍼 내로 놓을 수 있다. 교환 스테이션에서 그리퍼 내에 있는 동안, 바코드 일련 번호가 교환 스테이션에서 고정된 바코드 스캐너에 의해 읽혀질 수 있다.Accordingly, the end effector illustrated in FIG. 6 can perform various functions. For example, the end effector can pick up a flat DUT from the tray or put the same DUT flat on the outgoing tray (as shown in Figure 7). In addition, the end effector can use a parallel gripper to capture the device standing perpendicular to the tote slot (as shown in Figure 8). Additionally, the end effector can use a parallel gripper to push the DUT into the primitive slot position or grab and extract the DUT from the primitive. After picking up the DUT using a vacuum cup, for example, the end effector can place the DUT into a parallel gripper at the exchange station. While in the gripper at the exchange station, the barcode serial number can be read by a fixed barcode scanner at the exchange station.

도 9a는 본 발명의 일 실시예에 따라 높이 조절 가능한 Z축 직사각형 받침대에 장착된 6축 인체 모형 산업용 로봇을 도시한다. 작업셀 내의 물품에 상대적으로 로봇을 정확한 배향으로 놓기 위하여, 로봇(901)은 실제로 높이 조절 가능한 Z축 모션 장치(902)인 직사각형 받침대에 장착될 것이다. 모션 장치(902)는 자신의 고토크 스테퍼 모터 및 연관된 전자 장치를 갖는 정밀 시저스 리프트(scissors lift)로 구성된다. 시저스 리프트는 더 높은 선택적인 랙 높이에 액세스하기 위하여 전체 로봇을 위로 향하여 운반할 수 있다. 6축 로봇(901)은 긴 리치(reach)를 가지며, 이것이 높이 조절 가능한 Z축 직사각형 받침대(902)에 장착될 수 있기 때문에, 유익하게는 로봇은 전형적인 인간 작업자가 도달할 수 없을 수 있는 높이에 액세스할 수 있다.9A shows a 6-axis human body model industrial robot mounted on a height-adjustable Z-axis rectangular base according to an embodiment of the present invention. In order to place the robot in the correct orientation relative to the articles in the work cell, the robot 901 will actually be mounted on a rectangular pedestal, a height-adjustable Z-axis motion device 902. Motion device 902 consists of a precision scissors lift with its high torque stepper motor and associated electronics. The Caesars lift can carry the entire robot upwards to access a higher optional rack height. The six-axis robot 901 has a long reach, and since it can be mounted on a height-adjustable Z-axis rectangular pedestal 902, advantageously the robot is at a height that a typical human worker cannot reach. Can be accessed.

도 9b는 본 발명의 일 실시예에 따라 완전히 위를 향하여 연장된 구성으로 높이 조절 가능한 Z 축 직사각형 받침대의 시저스 리프트 모듈을 도시한다. 시저스 리프트는 무거울 수 있고, 따라서 자신의 강철 용접물 구조로 구성된다. 시저스 리프트 모듈은 주로 전력 및 이더넷 연결을 필요로 하는 자신의 내장 전자 장치를 가진다. 시저스 리프트는 자신의 독립 모듈로서 작업한다. 이는 단순히 로컬 이더넷을 통해 시스템 컨트롤러에 의해 명령된 지정된 위치로 로봇을 위아래로 운반한다. 시저스의 능동 동작은, 모션의 하부에서 필요한 중량 이동에 있어서 극한(extreme)을 핸들링할 수 있는, 두꺼운 타이트 피치형(tight-pitch) 선형 나사를 구동하는 고토크 스테퍼 모터에 기인한다. 상부 및 하부는 모두 시저스 동작을 위한 필요한 모션을 수용하기 위하여 선형 슬라이드를 사용한다. 전력 손실 동안, 특히 비상 전원 차단 상황이 필요할 때, 임의의 아래로 향하는 서행(creep) 또는 임의의 모든 모션을 정지하기 위하여 스테퍼 모터 어셈블리에 내장된 클러치와 브레이크가 있다. 필요한 모션이 성취되었다는 것을 확인하기 위하여 베이스에 대한 시저스 플랫폼의 높이를 측정하는 광 레이저 트랜스듀서가 있다. 리프트를 위한 전자 장치는 팬이 없는 윈도우즈 기반 임베디드 PC와 스테퍼 모터 인덱서로 구성된다.9B shows a scissor lift module of a Z-axis rectangular pedestal height-adjustable in a fully extended configuration in accordance with an embodiment of the present invention. The Caesars lift can be heavy and is therefore constructed with its own steel weldment structure. Caesars lift modules have their own built-in electronics, which primarily require power and Ethernet connectivity. Caesars Lift works as its own independent module. It simply transports the robot up and down to the designated location commanded by the system controller via local Ethernet. Caesars' active operation is due to the high-torque stepper motor driving a thick tight-pitch linear screw that can handle the extremes in the required weight shift at the bottom of the motion. Both the top and bottom use linear slides to accommodate the necessary motion for Caesar's operation. There is a clutch and brake built into the stepper motor assembly to stop any downward creep or any motion during power loss, especially when an emergency power off situation is required. There is an optical laser transducer that measures the height of the Caesars platform relative to the base to ensure that the required motion has been achieved. The electronics for the lift consist of a fanless Windows-based embedded PC and a stepper motor indexer.

도 10a 내지 10e는 본 발명의 일 실시예에 따라 컴퓨터 제어 하에서 데카르트 로봇이 트레이로부터 DUT를 검색하고 DUT를 프리미티브의 슬롯으로 삽입하는 방식을 도시한다. 도 10a는 x, y 및 z 평면으로 이동하여 생산 현장 토트에서 수직 배향으로 배열된 DUT를 액세스하는 데카르트 로봇을 도시한다. 로봇은 전형적으로 토트의 위치와 그 내에 배치된 DUT의 배향을 판단하기 위한 지능을 가지도록 프로그래밍될 수 있을 것이다. 일 실시예에서, 토트의 위치(예를 들어, x, y 및 z 좌표)는 테스터 내로 프로그래밍될 수 있다. 전술한 바와 같이, DUT는 커넥터가 아래로 향하도록 위치 설정될 것이고, 따라서 로봇 그리퍼는 접촉이 코너에서 허용되는 드라이버의 단부에 액세스할 수 있다.10A to 10E illustrate how a Cartesian robot retrieves a DUT from a tray and inserts the DUT into a slot of a primitive under computer control according to one embodiment of the present invention. 10A shows a Cartesian robot moving in the x, y and z planes to access a DUT arranged in a vertical orientation in a production site tote. The robot will typically be programmed to have intelligence to determine the location of the tote and the orientation of the DUT placed therein. In one embodiment, the position of the tote (eg, x, y and z coordinates) can be programmed into the tester. As noted above, the DUT will be positioned with the connector facing down, so the robot gripper can access the end of the driver where contact is allowed at the corner.

도 10b는 2개의 평행 그리퍼를 이용하여 2개의 DUT를 동시에 액세스하는 엔드 이펙터를 도시한다. 로봇은 트레이에 액세스하여 한 번에 2개의 DUT를 픽업하기 위하여 위아래로(z 방향으로) 이동할 수 있다. 일 실시예에서, 각각의 그리퍼는 별도의 시간에 로딩된다. 다른 실시예에서, 양 그리퍼는 동시에 로딩될 수 있다. 도 10c는 DUT를 프리미티브 슬롯에 삽입하기 위하여 로봇 암이 x-y 평면으로 이동할 수 있게 하도록 피봇 포인트(1002) 둘레로 회전하는 데카르트 로봇을 도시한다. 마지막으로, 도 10d 및 10e는 프리미티브 내의 개방된 슬롯 내에 2개의 DUT를 삽입하는 엔드 이펙터의 다른 도면을 도시한다.10B shows an end effector accessing two DUTs simultaneously using two parallel grippers. The robot can move up and down (in the z direction) to access the tray and pick up two DUTs at a time. In one embodiment, each gripper is loaded at a separate time. In other embodiments, both grippers can be loaded simultaneously. 10C shows a Cartesian robot rotating around pivot point 1002 to allow the robot arm to move in the x-y plane to insert the DUT into the primitive slot. Finally, FIGS. 10D and 10E show another view of the end effector inserting two DUTs into an open slot in a primitive.

도 11은 본 발명의 일 실시예에 따라 작업셀이 PC 컨트롤러로부터 제어되는 방식을 도시한다. 일 실시예에서, 표준 PC일 수 있는 시스템 컨트롤러(1102)는 전체 작업셀 내의 모든 동작을 관리하고 실행하도록 구성될 수 있다. 일 실시예에서, 각 셀에서의 전용 모니터(1104)가 시스템 컨트롤러(1102)와 상호 작용하는데 사용될 수 있다. 일 실시예에서, 터치스크린 모니터(1104)가 자동화의 직접적인 동작을 관찰하고 제어하기 위하여 사용되고, 지속적인 개선을 위한 디버깅 또는 추가 프로그래밍에 유용하다.11 illustrates a method in which a work cell is controlled from a PC controller according to an embodiment of the present invention. In one embodiment, the system controller 1102, which may be a standard PC, may be configured to manage and execute all operations within the entire work cell. In one embodiment, a dedicated monitor 1104 in each cell can be used to interact with the system controller 1102. In one embodiment, the touch screen monitor 1104 is used to observe and control the direct operation of automation, and is useful for debugging or further programming for continuous improvement.

시스템 컨트롤러는 모든 DUT가 현재 어디에 있는지 판단하고, 픽 앤 플레이스 상태를 우선 순위화하여 최적화하고, 그 다음 이러한 지시 명령을 로봇과 그리퍼(1108)를 제어하는 로봇 컨트롤러(1106)에 전송한다. 로봇 컨트롤러가 모션을 실행하고 센서가 모션이 성공적으로 완료되었다고 확인한 후에, 이는 네트워크를 통해 SQL 데이터베이스로 새로 업데이트된 위치 및 상태 정보를 전송한다.The system controller determines where all the DUTs are currently, prioritizes and optimizes pick and place status, and then sends these instruction commands to the robot controller 1106 that controls the robot and gripper 1108. After the robot controller executes the motion and the sensor confirms that the motion has been completed successfully, it sends the newly updated location and status information over the network to the SQL database.

일 실시예에서, SQL 데이터베이스는 로봇 컨트롤러 또는 프리미티브로부터 SQL 명령과 쿼리를 수신하도록 구성된다. 이는 프리미티브, 랙 및 모든 테스터 소켓 위치의 각각을 나타내는 일련의 테이블로 포매팅된다. 그 정보는 이의 현재 상태 또는 DUT의 존재, 적합한 일련 번호 및 시험 결과 정보, 그리고 공장 현장이 현재 상태를 판단하는데 사용될 수 있는 임의의 다른 정보로 채워진다. SQL 데이터베이스는 그 순간에 프리미티브가 로봇이 무엇을 달성하고 있는지 그리고 공장 현장에서의 모든 DUT의 상태를 이해할 수 있게 하기 위한 메인 인터페이스를 제공한다. 로봇 시험 셀 자동화는 데이터를 로봇 시험 셀 내의 현재 상태에 관한 이 데이터베이스에 저장하고, 동작하는 동안 프리미티브에 의해 거기에 배치된 정보를 읽어낸다. 이것은 공장 현장에서의 모든 물품들 사이의 완전히 비동기화되고 독립적인 통신을 가능하게 한다.In one embodiment, the SQL database is configured to receive SQL commands and queries from the robot controller or primitive. It is formatted as a series of tables representing each of the primitive, rack and all tester socket locations. The information is filled with its current state or presence of the DUT, appropriate serial number and test result information, and any other information that can be used to determine the current state of the plant site. The SQL database at that moment provides a main interface for primitives to understand what the robot is accomplishing and the state of every DUT in the factory floor. Robotic test cell automation stores data in this database about the current state in the robotic test cell, and reads the information placed there by primitives during operation. This enables completely asynchronous and independent communication between all items on the factory floor.

도 11에 도시된 바와 같이, 일 실시예에서, 시스템 컨트롤러는 필요한 성능으로 작업셀을 운영하는데 필요한 모든 파라미터와 구성 값을 포함하는 레시피 파일(1120)을 포함한다. 또한, 시스템 컨트롤러는 작업셀 내의 모든 동작의 기록을 포함하는 아카이브(archive) 로그 파일(1122)도 포함한다. 또한, 로그 파일은 DUT와의 모든 일련 번호 상호 작용과 SQL 데이터베이스와의 모든 상호 작용을 포함한다.As shown in FIG. 11, in one embodiment, the system controller includes a recipe file 1120 including all parameters and configuration values necessary to operate the work cell with the required performance. The system controller also includes an archive log file 1122 that contains a record of all operations in the work cell. In addition, the log file contains all serial number interactions with the DUT and all interactions with the SQL database.

도 12는 본 발명의 일 실시예에 따라 작업셀의 동작을 위해 필요한 전반적인 하드웨어 및 소프트웨어를 도시한다. 시스템 컨트롤러(1102)와 모니터(1104)는 랙 내의 프리미티브와 상호 작용하는데 사용될 수 있다. 모니터 및 시스템 컨트롤러는 로컬 제어 및 디버깅을 위하여 랙 전자 장치에 직접 연결될 수 있다. 모니터는 사용자가 랙 내의 프리미티브와 직접 상호 작용할 수 있게 하는 인터페이스(1124)를 포함할 수 있다.12 illustrates overall hardware and software required for operation of a work cell according to an embodiment of the present invention. System controller 1102 and monitor 1104 can be used to interact with primitives in a rack. The monitor and system controller can be directly connected to the rack electronics for local control and debugging. The monitor can include an interface 1124 that allows the user to interact directly with the primitives in the rack.

또한, 모니터(1104)는 로봇 컨트롤러(1106)를 갖는 자동화 패키지로의 인터페이스(1226)를 포함할 수 있다. 또한, 모니터는 제어 및 디버깅 능력을 제공할 수 있다. 또한, 모니터는 시스템 제어 및 구성, 모니터링, 메인터넌스 및 디버깅을 위한 HTML 웹 인터페이스(1228)를 포함할 수 있다. 이 인터페이스는 전형적으로 생산 현장에서 그리고 공장 내부에서 사용될 것이며, 동작은 인트라넷(1236)을 통해 수행될 수 있다.Additionally, the monitor 1104 can include an interface 1226 to an automated package with the robot controller 1106. In addition, the monitor can provide control and debugging capabilities. Additionally, the monitor may include an HTML web interface 1228 for system control and configuration, monitoring, maintenance and debugging. This interface will typically be used at the production site and inside the factory, and operations can be performed through the intranet 1236.

모니터는 인터넷(1236)을 통해 작업셀에 대한 동작을 수행하기 위하여 사용자가 원격 위치로부터 로그인할 수 있는 설비 외부에서 사용될 수 있는 시스템 제어 및 구성, 모니터링, 메인터넌스 및 디버깅을 위한 HTML 웹 인터페이스(1230)를 포함할 수 있다. 또한, 모니터는 모바일 장치에서 실행되는 시스템 모니터링을 위한 HTML 웹 인터페이스(1232)를 포함할 수 있다.The monitor is an HTML web interface 1230 for system control and configuration, monitoring, maintenance, and debugging that can be used outside the facility where a user can log in from a remote location to perform operations on the work cell via the Internet 1236. It may include. Additionally, the monitor may include an HTML web interface 1232 for monitoring the system running on the mobile device.

위에서 논의된 SQL 데이터베이스(1234)는 고객에 의해 설치되고, 고객의 시험 현장에서 내부 보안 프로토콜을 유지하는데 사용될 수 있다.The SQL database 1234 discussed above is installed by the customer and can be used to maintain an internal security protocol at the customer's test site.

도 13은 본 발명의 일 실시예에 따라 작업셀 내에서 DUT에 시험을 실행하기 위한 예시적인 컴퓨터 구현 프로세스의 순서도를 도시한다. 그러나, 본 발명은 순서도(1300)에 의해 제공되는 설명에 한정되지 않는다. 오히려, 본 명세서에 제공된 교시 내용으로부터 다른 기능적 흐름이 본 발명의 범위 및 기술적 사상 내에 있다는 것이 관련 기술 분야에서의 통상의 기술자에게 명백할 것이다. 순서도(1300)는 전술한 예시적인 실시예를 참조하여 계속 설명될 것이지만, 방법은 이러한 실시예에 한정되지 않는다.13 shows a flow chart of an exemplary computer-implemented process for executing a test on a DUT in a work cell in accordance with one embodiment of the present invention. However, the invention is not limited to the description provided by flowchart 1300. Rather, it will be apparent to those skilled in the relevant art that other functional flows are within the scope and spirit of the present invention from the teachings provided herein. Flowchart 1300 will continue to be described with reference to the exemplary embodiment described above, but the method is not limited to this embodiment.

단계 1302에서, 자동화된 시험 시스템은 입력 DUT를 찾고 새로운 DUT의 존재를 SQL 데이터베이스에 기록한다. 일 실시예에서, DUT에 대한 일련 번호가 교환 스테이션에서 스캐닝될 수 있다.In step 1302, the automated test system finds the input DUT and records the existence of the new DUT in the SQL database. In one embodiment, the serial number for the DUT can be scanned at the exchange station.

단계 1304에서, 로봇은 DUT를 시험 랙에 로딩하도록 준비한다. 자동화된 시험 시스템은 빈 슬롯이 프리미티브 내부에서 사용 가능한지 판단하기 위하여 SQL 데이터베이스에 질의한다. 또한, 자동화된 시스템은 구성이 정확하고, 시험되고 있는 특정 제품에 대하여 테스터가 정확하고, 선택된 슬롯이 온라인이고 사용 가능한 것을 보장한다.In step 1304, the robot prepares to load the DUT into the test rack. The automated test system queries the SQL database to determine if an empty slot is available inside the primitive. In addition, the automated system ensures that the configuration is correct, the tester is correct for the particular product being tested, and the selected slot is online and available.

단계 1306에서, 로봇은 DUT를 선택된 슬롯으로 로딩한다. 더하여, 시험 시스템은 테스터가 시험 프로세스를 시작하도록 SQL 데이터베이스에서의 DUT 테이블 위치 정보와 이의 상태를 사용 가능하게 변경한다.In step 1306, the robot loads the DUT into the selected slot. In addition, the test system makes available the DUT table location information in the SQL database and its status to enable the tester to start the test process.

단계 1308에서, 랙 내의 프리미티브는 소켓이 채워졌는지 판단하기 위하여 SQL DUT 테이블을 지속적으로 폴링한다. 소켓이 채워졌다면, 테스터는 SQL 데이터베이스에서의 상태를 "시험 중"으로 설정하고, 정상적인 시험 사이클을 시작한다.In step 1308, the primitive in the rack continuously polls the SQL DUT table to determine if the socket is full. When the socket is full, the tester sets the state in the SQL database to "testing" and starts a normal test cycle.

단계 1310에서, 테스터는 시험 사이클의 완료에 따라 SQL 데이터베이스에서의 DUT의 상태를 패스/페일 및 다른 정보, 예를 들어 정렬 카테고리로 업데이트한다.In step 1310, the tester updates the status of the DUT in the SQL database to pass / fail and other information, such as a sort category, upon completion of the test cycle.

단계 1312에서, 자동화된 시험 시스템은 DUT에 대한 시험 결과를 수신하기 위하여 SQL 데이터베이스를 폴링한다. 테스터가 응답을 수신하면, 이는 DUT를 프리미티브로부터 제거할 수 있고, 수신된 정보, 예를 들어, 정렬된 카테고리에 관한 정보에 기초하여 이를 특정 출력 빈(bin)에 놓는다,In step 1312, the automated test system polls the SQL database to receive test results for the DUT. When the tester receives the response, it can remove the DUT from the primitive and place it in a specific output bin based on the received information, e.g., information about the sorted category,

전술한 설명은 설명의 목적으로 특정 실시예를 참조하여 기술되었다. 그러나, 전술한 예시적인 논의는 소진적인 것으로 되거나 개시된 정확한 형태로 본 발명을 제한하려고 의도되지 않는다. 많은 수정과 변형이 전술한 교시 내용의 관점에서 가능하다. 실시예들은 본 발명의 원리를 최선으로 설명하고, 이에 의해 다른 통상의 기술자로 하여금 본 발명 및 고려되는 특정 용도에 맞을 수 있는 다양한 변형을 갖는 다양한 실시예를 최상으로 활용할 수 있게 하도록 선택되고 기술되었다.The foregoing description has been described with reference to specific embodiments for purposes of explanation. However, the above-described exemplary discussion is not intended to be exhaustive or to limit the invention to the precise form disclosed. Many modifications and variations are possible in terms of the teachings described above. The embodiments have been selected and described to best illustrate the principles of the invention, thereby enabling other skilled artisans to best utilize the various embodiments with various modifications to suit the invention and the particular application contemplated. .

Claims (27)

자동화 시험 장치(automated test equipment(ATE))를 이용하여 시험을 수행하는 방법에 있어서,
시험될 피시험 장치(DUT(device under test))를 찾아 붙잡는 단계;
상기 DUT의 존재를 데이터베이스에 기록하는 단계;
프리미티브(primitive)에 빈 슬롯(empty slot)이 존재하는지 판단하기 위하여 상기 데이터베이스에 질의하는 단계 - 상기 프리미티브는 복수의 DUT를 시험하기 위한 복수의 슬롯을 포함하는 모듈형 장치임 -;
상기 빈 슬롯에 상기 DUT를 자동으로 위치 설정하여 삽입하기 위하여 로봇을 이용하는 단계;
상기 빈 슬롯이 채워졌다고 상기 데이터베이스에 보고하는 단계; 및
상기 DUT에 대한 시험을 개시하는 단계
를 포함하는,
ATE를 이용하여 시험을 수행하는 방법.
A method for performing a test using automated test equipment (ATE),
Finding and holding a device under test (DUT) to be tested;
Recording the existence of the DUT in a database;
Querying the database to determine if an empty slot exists in a primitive, the primitive being a modular device comprising a plurality of slots for testing a plurality of DUTs;
Using a robot to automatically position and insert the DUT into the empty slot;
Reporting to the database that the empty slot is filled; And
Initiating a test for the DUT
Containing,
How to perform a test using ATE.
제1항에 있어서,
상기 DUT는 SSD(solid state drive)인,
ATE를 이용하여 시험을 수행하는 방법.
According to claim 1,
The DUT is a solid state drive (SSD),
How to perform a test using ATE.
제1항에 있어서,
상기 프리미티브는 시험 랙(rack) 내의 복수의 프리미티브 중 하나이고, 상기 로봇은 상기 시험 랙 내의 상기 복수의 프리미티브 내의 슬롯에 액세스하도록 동작 가능한,
ATE를 이용하여 시험을 수행하는 방법.
According to claim 1,
The primitive is one of a plurality of primitives in a test rack, and the robot is operable to access slots in the plurality of primitives in the test rack,
How to perform a test using ATE.
제1항에 있어서,
상기 시험의 결과에 기초하여 상기 데이터베이스에서 상기 DUT의 상태를 업데이트하는 단계를 더 포함하는,
ATE를 이용하여 시험을 수행하는 방법.
According to claim 1,
Further comprising updating the status of the DUT in the database based on the results of the test,
How to perform a test using ATE.
제4항에 있어서,
상기 프리미티브로부터 상기 DUT를 자동으로 검색하고 상기 DUT를 트레이로 복귀시키도록 상기 로봇을 이용하는 단계를 더 포함하는,
ATE를 이용하여 시험을 수행하는 방법.
According to claim 4,
Using the robot to automatically retrieve the DUT from the primitive and return the DUT to a tray,
How to perform a test using ATE.
제1항에 있어서,
상기 로봇은 6축 로봇인,
ATE를 이용하여 시험을 수행하는 방법.
According to claim 1,
The robot is a six-axis robot,
How to perform a test using ATE.
제1항에 있어서,
상기 로봇은 데카르트(Cartesian) 로봇인,
ATE를 이용하여 시험을 수행하는 방법.
According to claim 1,
The robot is a Cartesian robot,
How to perform a test using ATE.
제1항에 있어서,
상기 로봇은 상기 프리미티브 내의 시험 슬롯의 내외로 상기 DUT를 유지하고 이송하도록 동작 가능한 엔드 이펙터(end effector)를 포함하는,
ATE를 이용하여 시험을 수행하는 방법.
According to claim 1,
The robot includes an end effector operable to hold and transport the DUT in and out of a test slot in the primitive,
How to perform a test using ATE.
제8항에 있어서,
상기 로봇은 상기 DUT의 정확한 픽업 및 배치를 가능하게 하도록 동작 가능한 카메라를 더 포함하는,
ATE를 이용하여 시험을 수행하는 방법.
The method of claim 8,
The robot further comprises a camera operable to enable accurate pickup and placement of the DUT,
How to perform a test using ATE.
제9항에 있어서,
상기 로봇은 상기 엔드 이펙터의 이동의 깊이를 측정하도록 동작 가능한 레이저 트랜스듀서를 더 포함하는,
ATE를 이용하여 시험을 수행하는 방법.
The method of claim 9,
The robot further comprises a laser transducer operable to measure the depth of movement of the end effector,
How to perform a test using ATE.
자동화 시험 장치(automated test equipment(ATE))를 이용하여 시험을 수행하는 시스템에 있어서,
프리미티브(primitive) 내의 시험 슬롯의 내외로 DUT를 자동으로 픽업하고 이송하도록 동작 가능한 엔드 이펙터(end effector)를 포함하는 로봇;
상기 로봇을 제어하기 위한 프로세서와 메모리를 포함하는 시스템 컨트롤러; 및
복수의 프리미티브를 포함하는 시험 랙(rack)
을 포함하고,
각각의 프리미티브는 복수의 DUT를 시험하기 위한 복수의 슬롯을 포함하는 모듈형 장치이고, 상기 로봇은 상기 엔드 이펙터를 이용하여 상기 시험 랙 내에서 상기 복수의 프리미티브 내의 슬롯에 자동으로 액세스하도록 구성된,
ATE를 이용하여 시험을 수행하는 시스템.
In a system for performing tests using automated test equipment (ATE),
A robot comprising an end effector operable to automatically pick up and transfer the DUT into and out of a test slot in a primitive;
A system controller including a processor and a memory for controlling the robot; And
Test rack containing multiple primitives
Including,
Each primitive is a modular device comprising a plurality of slots for testing a plurality of DUTs, and the robot is configured to automatically access slots in the plurality of primitives within the test rack using the end effector,
A system that performs tests using ATE.
제11항에 있어서,
상기 로봇은 상기 DUT의 정확한 픽업 및 배치를 가능하게 하도록 동작 가능한 카메라를 더 포함하는,
ATE를 이용하여 시험을 수행하는 시스템.
The method of claim 11,
The robot further comprises a camera operable to enable accurate pickup and placement of the DUT,
A system that performs tests using ATE.
제12항에 있어서,
상기 로봇은 상기 엔드 이펙터의 이동의 깊이를 측정하도록 동작 가능한 레이저 트랜스듀서를 더 포함하는,
ATE를 이용하여 시험을 수행하는 시스템.
The method of claim 12,
The robot further comprises a laser transducer operable to measure the depth of movement of the end effector,
A system that performs tests using ATE.
제11항에 있어서,
상기 로봇은 6축 로봇인,
ATE를 이용하여 시험을 수행하는 시스템.
The method of claim 11,
The robot is a six-axis robot,
A system that performs tests using ATE.
제11항에 있어서,
상기 로봇은 데카르트(Cartesian) 로봇인,
ATE를 이용하여 시험을 수행하는 시스템.
The method of claim 11,
The robot is a Cartesian robot,
A system that performs tests using ATE.
제11항에 있어서,
상기 시스템 컨트롤러에 연결된 모니터를 더 포함하고, 상기 모니터는 상기 로봇의 동작을 관찰하고 제어하며 상기 로봇의 문제점을 디버깅하기 위하여 사용되는,
ATE를 이용하여 시험을 수행하는 시스템.
The method of claim 11,
Further comprising a monitor connected to the system controller, the monitor is used to observe and control the operation of the robot and to debug the problem of the robot,
A system that performs tests using ATE.
제11항에 있어서,
복수의 엔드 이펙터를 포함하는 교환 스테이션을 더 포함하고, 상기 로봇은 상기 DUT의 폼 팩터(form factor)를 자동으로 인식하고 상기 DUT의 상기 폼 팩터에 따라 상기 교환 스테이션에서 엔드 이펙터를 교환하도록 프로그래밍되게 동작 가능한,
ATE를 이용하여 시험을 수행하는 시스템.
The method of claim 11,
It further comprises an exchange station comprising a plurality of end effectors, the robot being automatically recognized the form factor of the DUT and programmed to exchange end effectors at the exchange station according to the form factor of the DUT. Operational,
A system that performs tests using ATE.
자동화 시험 장치(automated test equipment(ATE))를 이용하여 시험을 수행하는 시스템에 있어서,
프리미티브(primitive) 내의 시험 슬롯의 내외로 DUT를 자동으로 붙잡고 픽업하여 이송하도록 동작 가능한 엔드 이펙터(end effector)를 포함하는 로봇;
복수의 트레이를 포함하고, 시험 동안 상기 복수의 트레이로부터 상기 로봇으로 DUT를 제공하도록 동작 가능한 입출력 모듈;
상기 로봇을 제어하기 위한 프로세서와 메모리를 포함하는 시스템 컨트롤러; 및
복수의 프리미티브를 포함하는 시험 랙(rack)
을 포함하고,
각각의 프리미티브는 복수의 DUT를 시험하기 위한 복수의 슬롯을 포함하는 모듈형 장치이고, 상기 로봇은 상기 시험 랙 내에서 상기 복수의 프리미티브 내의 슬롯에 자동으로 액세스하도록 구성된,
ATE를 이용하여 시험을 수행하는 시스템.
In a system for performing tests using automated test equipment (ATE),
A robot comprising an end effector operable to automatically grab and pick up and transfer the DUT into and out of a test slot in a primitive;
An input / output module including a plurality of trays and operable to provide a DUT from the plurality of trays to the robot during a test;
A system controller including a processor and a memory for controlling the robot; And
Test rack containing multiple primitives
Including,
Each primitive is a modular device comprising a plurality of slots for testing a plurality of DUTs, and the robot is configured to automatically access slots within the plurality of primitives within the test rack,
A system that performs tests using ATE.
제18항에 있어서,
상기 로봇은 지정된 프리미티브 내의 슬롯에 상기 DUT를 삽입하기 전에 상기 입출력 모듈 내의 트레이로부터 바로 상기 DUT를 자동으로 액세스하도록 동작 가능한,
ATE를 이용하여 시험을 수행하는 시스템.
The method of claim 18,
The robot is operable to automatically access the DUT directly from a tray in the input / output module before inserting the DUT into a slot in a designated primitive,
A system that performs tests using ATE.
제19항에 있어서,
상기 로봇은 상기 슬롯으로부터 시험이 실행된 후에 상기 DUT를 검색하고 이를 상기 입출력 모듈 내의 트레이로 복귀시키게 프로그램되도록 동작 가능한,
ATE를 이용하여 시험을 수행하는 시스템.
The method of claim 19,
The robot is operable to be programmed to retrieve the DUT after the test is run from the slot and return it to the tray in the input / output module.
A system that performs tests using ATE.
제18항에 있어서,
상기 로봇은 상기 DUT의 정확한 픽업 및 배치를 가능하게 하도록 동작 가능한 카메라를 더 포함하는,
ATE를 이용하여 시험을 수행하는 시스템.
The method of claim 18,
The robot further comprises a camera operable to enable accurate pickup and placement of the DUT,
A system that performs tests using ATE.
제21항에 있어서,
상기 로봇은 상기 엔드 이펙터의 이동의 깊이를 측정하도록 동작 가능한 레이저 트랜스듀서를 더 포함하는,
ATE를 이용하여 시험을 수행하는 시스템.
The method of claim 21,
The robot further comprises a laser transducer operable to measure the depth of movement of the end effector,
A system that performs tests using ATE.
제22항에 있어서,
상기 로봇은 트레이로부터 평탄하게 놓여 있는 DUT를 픽업하거나 출력(outgoing) 트레이로 DUT를 평탄하게 놓도록 동작 가능한 진공 컵을 더 포함하는,
ATE를 이용하여 시험을 수행하는 시스템.
The method of claim 22,
The robot further comprises a vacuum cup operable to pick up the DUT lying flat from the tray or to lay the DUT flat with an outgoing tray,
A system that performs tests using ATE.
제18항에 있어서,
상기 로봇은 6축 로봇인,
ATE를 이용하여 시험을 수행하는 시스템.
The method of claim 18,
The robot is a six-axis robot,
A system that performs tests using ATE.
제18항에 있어서,
상기 로봇은 데카르트(Cartesian) 로봇인,
ATE를 이용하여 시험을 수행하는 시스템.
The method of claim 18,
The robot is a Cartesian robot,
A system that performs tests using ATE.
제18항에 있어서,
복수의 구조적 용접물(weldment)이 작업셀(workcell)에서 상기 시험 랙을 정적 위치 정렬 상태로 유지하도록 동작 가능한,
ATE를 이용하여 시험을 수행하는 시스템.
The method of claim 18,
A plurality of structural welds are operable to maintain the test rack in a static position alignment in a workcell,
A system that performs tests using ATE.
제26항에 있어서,
상기 복수의 구조적 용접물은 상기 로봇과 상기 입출력 모듈을 상기 시험 랙에 고정하는,
ATE를 이용하여 시험을 수행하는 시스템.
The method of claim 26,
The plurality of structural weldments secure the robot and the input / output module to the test rack,
A system that performs tests using ATE.
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2572380B2 (en) * 1986-08-27 1997-01-16 株式会社アドバンテスト LSI inspection handling system
JP2003338194A (en) * 2002-05-16 2003-11-28 Renesas Technology Corp Test system and manufacturing method for nonvolatile memory
JP2007069316A (en) * 2005-09-07 2007-03-22 Fanuc Ltd Article transporting robot
KR20120013178A (en) * 2009-04-16 2012-02-14 테라다인 인코퍼레이티드 Storage device testing
KR20120108678A (en) * 2011-03-25 2012-10-05 (주)제이티 Device inspection apparatus

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2572380B2 (en) * 1986-08-27 1997-01-16 株式会社アドバンテスト LSI inspection handling system
JP2003338194A (en) * 2002-05-16 2003-11-28 Renesas Technology Corp Test system and manufacturing method for nonvolatile memory
JP2007069316A (en) * 2005-09-07 2007-03-22 Fanuc Ltd Article transporting robot
KR20120013178A (en) * 2009-04-16 2012-02-14 테라다인 인코퍼레이티드 Storage device testing
KR20120108678A (en) * 2011-03-25 2012-10-05 (주)제이티 Device inspection apparatus

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