KR20200026002A - Ultraviolet irradiation unit, ultraviolet irradiation device, and barrier discharge lamp - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명의 실시 형태는 자외선 조사 유닛, 자외선 조사 장치 및 배리어 방전 램프에 관한 것이다.Embodiment of this invention relates to an ultraviolet irradiation unit, an ultraviolet irradiation device, and a barrier discharge lamp.
종래, 기판의 세정이나 개질을 목적으로 하여 사용되는 자외선 조사 장치가 알려져 있다. 자외선 조사 장치에는 유전체인 발광관의 내부에 배치된 내부 전극과 발광관의 외부에 배치된 외부 전극을 교류 전원에 접속함으로써 발생하는 유전체 배리어 방전에 의해, 발광관의 내부에 수용된 가스에 따른 특정 파장을 갖는 자외광을 방사하는 배리어 방전 램프를 구비하는 것이 있다.Conventionally, the ultraviolet irradiation device used for the purpose of washing | cleaning and modifying a board | substrate is known. The ultraviolet irradiation device includes a specific wavelength according to a gas contained inside the light emitting tube by a dielectric barrier discharge generated by connecting an internal electrode disposed inside the light emitting tube that is a dielectric and an external electrode disposed outside the light emitting tube to an AC power source. There exists a barrier discharge lamp which emits the ultraviolet light which has the following.
상기와 같은 배리어 방전 램프에서는, 예를 들어 조도 또는 적산 광량이라는 용도에 적합한 조사 특성이 요구된다.In such a barrier discharge lamp, the irradiation characteristic suitable for the application of illumination intensity or accumulated light quantity is calculated | required, for example.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 요구에 부응한 조사 특성을 얻을 수 있는 자외선 조사 유닛, 자외선 조사 장치 및 배리어 방전 램프를 제공하는 것이다.The problem to be solved by the present invention is to provide an ultraviolet irradiating unit, an ultraviolet irradiating apparatus and a barrier discharge lamp capable of obtaining irradiation characteristics in accordance with demands.
실시 형태의 자외선 조사 유닛은 배리어 방전 램프와, 외부 전극을 구비한다. 배리어 방전 램프는 발광관 및 내부 전극을 갖는다. 발광관은 가스가 봉입되고 자외광을 투과한다. 발광관은 원통형이다. 내부 전극은 발광관의 내부에 배치되고, 발광관의 관축 방향으로 연장된다. 외부 전극은 내부 전극과 대향하도록 발광관의 외면측에 설치되고, 발광관의 둘레 방향으로 180 [°] 초과 300 [°] 이하의 범위에서 발광관을 덮는다.The ultraviolet irradiation unit of embodiment is equipped with a barrier discharge lamp and an external electrode. The barrier discharge lamp has a light tube and an internal electrode. The light emitting tube is filled with gas and transmits ultraviolet light. The light tube is cylindrical. The inner electrode is disposed inside the light emitting tube and extends in the tube axis direction of the light emitting tube. The outer electrode is provided on the outer surface side of the light emitting tube so as to face the inner electrode and covers the light emitting tube in the range of more than 180 [deg.] And less than 300 [deg.] In the circumferential direction of the light emitting tube.
본 발명에 의하면, 요구에 부응한 조사 특성을 얻을 수 있다.According to the present invention, irradiation characteristics in accordance with the request can be obtained.
도 1은 실시 형태에 관한 자외선 조사 유닛을 도시한 평면도이다.
도 2는 도 1의 A-A′단면도이다.
도 3은 실시 형태의 변형예에 관한 자외선 조사 유닛을 도시한 단면도이다.
도 4는 외부 전극의 각도와 길이 방향 1 [㎝] 당의 방전 면적과의 관계를 나타내는 도면이다.
도 5는 외부 전극의 길이 방향 1 [㎝] 당의 방전 면적과 조도 및 적산 광량의 관계를 나타내는 도면이다.
도 6은 실시 형태에 관한 자외선 조사 유닛을 갖는 자외선 조사 장치를 도시한 도면이다.1 is a plan view of the ultraviolet irradiation unit according to the embodiment.
FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line AA ′ of FIG. 1.
3 is a cross-sectional view showing an ultraviolet irradiation unit according to a modification of the embodiment.
It is a figure which shows the relationship between the angle of an external electrode and the discharge area per length direction [cm].
It is a figure which shows the relationship of the discharge area, illumination intensity, and accumulated light quantity per 1 cm of the longitudinal electrodes of an external electrode.
It is a figure which shows the ultraviolet irradiation device which has an ultraviolet irradiation unit which concerns on embodiment.
이하에 설명하는 실시 형태에 관한 자외선 조사 유닛(1, 1A)은 배리어 방전 램프 및 외부 전극(6)을 구비한다. 배리어 방전 램프는 발광관(2) 및 내부 전극 (3)을 갖는다. 발광관(2)은 가스가 봉입되고 자외선을 투과한다. 발광관(2)은 원통형이다. 내부 전극(3)은 발광관(2)의 내부에 배치되고, 발광관(2)의 관축 방향으로 연장된다. 외부 전극(6)은 내부 전극(3)과 대향하도록 발광관(2)의 외면(2b) 측에 설치되고, 발광관(2)의 둘레 방향으로 180 [°] 초과 300 [°] 이하의 범위에서 발광관(2)를 덮는다.The
또한, 이하에 설명하는 실시 형태에 관한 자외선 조사 유닛(1, 1A)은 배리어 방전 램프 및 외부 전극(6)을 구비한다. 배리어 방전 램프는 발광관(2) 및 내부 전극(3)을 갖는다. 발광관(2)은 가스가 봉입되고, 자외광을 투과한다. 발광관(2)은 원통형이다. 내부 전극(3)은 발광관(2)의 내부에 배치되고, 발광관(2)의 관축 방향으로 연장된다. 외부 전극(6)은 내부 전극(3)과 대향하도록 발광관(2)의 외면(2b)측에 설치되고, 발광관(2)의 둘레 방향으로 300 [°] 초과 330 [°] 이하의 범위에서 발광관(2)을 덮는다.In addition, the
또한, 이하에 설명하는 실시 형태에 관한 외부 전극(6)은 둘레 방향으로 발광관(2)를 덮는 제1 부재(7)와, 발광관(2)을 끼고 마주 보도록 배치되는 제2 부재(8)를 갖는다. In addition, the
또한, 이하에 설명하는 실시 형태에 관한 외부 전극(6)은 둘레 방향으로 발광관(2)를 덮는 제1 부재(7)와, 발광관(2)을 끼고 서로 마주 보도록 배치되는 한 쌍의 제2 부재편(8a, 8b)을 갖는다.In addition, the
또한, 이하에 설명하는 실시 형태에 관한 자외선 조사 유닛(1, 1A)은 반사막(4)을 구비한다. 반사막(4)은 외부 전극(6)과 마주보는 발광관(2)의 내면(2a)에 설치되고, 자외광을 발광관(2)의 내부로 반사한다. 반사막(4)의 둘레 방향의 각도(θ4)는 외부 전극(6)으로 덮이는 발광관(2)의 둘레 방향의 각도(θ6) 이상이다.In addition, the
또한, 이하에 설명하는 실시 형태에 관한 자외선 조사 장치(100)는 자외선 조사 유닛(1, 1A)과, 자외선 조사 유닛(1, 1A)을 수용하는 수용부(50)를 구비한다.Moreover, the
또한, 이하에 설명하는 실시 형태에 관한 배리어 방전 램프(1, 1A)는 발광관(2), 내부 전극(3) 및 외부 전극(6)을 구비한다. 발광관(2)은 가스가 봉입되고, 자외광을 투과한다. 발광관(2)은 원통형이다. 내부 전극(3)은 발광관(2)의 내부에 배치되고, 발광관(2)의 관축 방향으로 연장된다. 외부 전극(6)은 내부 전극(3)과 대향하도록 발광관(2)의 외면(2b)측에 설치되고, 발광관(2)의 둘레 방향으로 180 [°] 초과 300 [°] 이하의 범위에서 발광관(2)을 덮는다.In addition, the
또한, 이하에 설명하는 실시 형태에 관한 배리어 방전 램프(1, 1A)는 발광관(2), 내부 전극(3) 및 외부 전극(6)을 구비한다. 발광관(2)은 가스가 봉입되고, 자외광을 투과한다. 발광관(2)은 원통형이다. 내부 전극(3)은 발광관(2)의 내부에 배치되고, 발광관(2)의 관축 방향으로 연장된다. 외부 전극(6)은 내부 전극(3)과 대향하도록 발광관(2)의 외면(2b)측에 설치되고, 발광관(2)의 둘레 방향으로 300 [°] 초과 330 [°] 이하의 범위에서 발광관(2)을 덮는다.In addition, the
이하에, 본 발명에 관한 실시 형태를 도면에 기초하여 설명한다. 또한, 이하에 나타내는 실시형태는 본 발명이 개시하는 기술을 한정하는 것은 아니다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Below, embodiment which concerns on this invention is described based on drawing. In addition, embodiment shown below does not limit the technique which this invention discloses.
[실시 형태]Embodiment
도 1은 실시 형태에 관한 자외선 조사 유닛을 도시한 평면도이고, 도 2는 도 1의 A-A′단면도이다. 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 실시 형태에 관한 자외선 조사 유닛(1)은 배리어 방전 램프로서의 발광관(2), 외부 전극(6)을 갖는다. 발광관(2)은 내부 전극(3), 반사막(4), 리드선(5), 구금(9)을 갖는다. 또한, 이후의 설명에서는 배리어 방전 램프를 단순히 발광관(2)으로서 설명한다. 또한, 본 실시 형태에서는 자외선 조사 유닛(1)으로서 배리어 방전 램프로서의 발광관(2)의 외부에 외부 전극(6)을 갖는 구성으로 하고 있지만, 자외선 조사 유닛(1), 보다 구체적으로는 배리어 방전 램프로서의 발광관(2)의 외부에 외부 전극(6)이 조합된 형태를 「배리어 방전 램프」라고 불러도 좋다.1 is a plan view showing an ultraviolet irradiation unit according to the embodiment, and FIG. 2 is a cross-sectional view along the line A-A 'of FIG. As shown in FIG. 1 and FIG. 2, the
또한, 설명을 알기 쉽게 하기 위해, 도 1 및 도 2에는 조사면측을 정(正)방향으로 하고, 배면측을 부(負)방향으로 하는 Z 축을 포함하는 3 차원의 직교 좌표계를 도시하고 있다. 이러한 직교 좌표계는 뒤에 나오는 설명에 사용하는 다른 도면에서도 도시하고 있다.1 and 2 show a three-dimensional rectangular coordinate system including a Z axis in which the irradiation surface side is in the positive direction and the rear side is in the negative direction. This rectangular coordinate system is also shown in other drawings used in the following description.
발광관(2)은 자외광을 투과하는 원통형 부재이다. 발광관(2)의 재료로서는, 예를 들면 파장 200 [nm] 이하의 진공 자외선 투과율이 높은 합성 석영이 예시된다. 또한, 발광관(2)은 관축 방향(X축 방향)의 양단이 스템 구조를 갖는 봉착 부재로 유지되어 기밀하게 봉착되어 있다. 발광관(2)은 자외선 조사에 따른 응력 균열을 억제하는 관점에서, 예를 들면 외경(D)을 30[㎜] 이상으로 할 수 있다. 또한, 발광관(2)은 예를 들면 관축 방향의 길이(LY)를 750[㎜]로 할 수 있다.The
또한, 발광관(2)의 내부에는 가스가 봉입되어 있다. 가스는, 예를 들면 80 ~ 200[㎪]의 제논 가스이다. 또한, 가스는 예를 들면, 크립톤, 제논, 아르곤, 네온 등 중 1 종류, 또는 복수종 조합한 가스를 포함하여 구성할 수 있다. 또한, 가스는 필요에 따라, 예를 들면 할로겐 가스를 포함해도 좋다. 발광관(2)은 봉입된 가스의 종류에 따른 특정의 피크 파장을 갖는 자외광(엑시머광)을 발할 수 있다.In addition, gas is enclosed in the
내부 전극(3)은 발광관(2)의 내부에 배치된다. 내부 전극(3)은 나선형의 도체가 발광관(2)의 관축 방향으로 연장되어 있다. 내부 전극(3)은, 예를 들면 텅스텐을 포함하는 재료로 형성된다. 구체적으로는 내부 전극(3)은 전체 성분 중 50 [%] 이상의 성분이 텅스텐이다. 특히, 텅스텐에 칼륨 등을 첨가한 도프 텅스텐을 내부 전극(3)으로서 적용하면, 고온시에도 보다 높은 치수 안정성을 유지할 수 있다. 내부 전극(3)은 예를 들어, 관축 방향의 피치(P)를 10[㎜] 이상 30[㎜] 이하로 할 수 있다.The
반사막(4)은 발광관(2)의 내면(2a)에 설치되고, 자외광을 발광관(2)의 내부로 반사한다. 반사막(4)의 재료로서는, 예를 들면 실리카가 예시된다. 또한, 반사막(4)은 실리카에 한정되지 않고, 예를 들어 알루미나 등의 자외선 산란 입자를 포함하는 재료로 구성되어도 좋다. 반사막(4)은 양호한 반사율을 유지하는 관점에서, 예를 들어 두께가 100[㎛] 이상 300[㎛] 이하가 되도록 형성된다.The
또한, 반사막(4)은 발광관(2)의 둘레 방향의 각도(θ4) (이하, 반사막(4)의 각도(θ4)라고 부름)가, 외부 전극(6)으로 덮이는 발광관(2)의 둘레 방향의 각도(θ6) (이하, 외부 전극(6)의 각도(θ6)라고 부름) 이상이 되도록 배치된다. 이에 의해, 발광관(2)에서 발생하는 자외광을 효율 좋게 피조사체를 향하여 조사할 수 있다. 단, 실시 형태의 변형예에 따른 배리어 방전 램프로서, 반사막(4)을 갖지 않는 형태도 허용된다.In addition, the reflecting
외부 전극(6)은 발광관(2)의 배면측, 즉 반사막(4)이 설치된 발광관(2)의 내면(2a)에 대응하는 발광관(2)의 외면(2b)측에, 내부 전극(3)과 대향하도록 설치된다. 외부 전극(6)은 발열한 발광관(2)을 방열시키는 방열 블럭으로서의 기능을 겸하고 있고, 예를 들면 알루미늄제 또는 스테인리스제로 할 수 있다.The
외부 전극(6)은 제1 부재(7)와 한 쌍의 제2 부재(8)를 갖는다. 제1 부재(7)는 발광관(2)의 둘레 방향으로 180 [°] 이하의 각도 θ7에서 발광관(2)을 덮는다. 제1 부재(7)와 발광관(2)은 서로 접하고 있어도 좋고 떨어져 있어도 좋지만, 제1 부재(7)와 발광관(2)을 접촉시키면, 방열성을 높일 수 있다. 또한, 제1 부재 (7)의 내부에는 액체 또는 기체의 냉매를 유통시키는 유로(10)를 갖는다. 유로(10) 내에 냉매를 유통시킴으로써, 방열성이 더욱 높아진다. 또한, 도 2에서는 2 개의 유로(10)를 갖는 예에 대해서 도시했지만, 유로(10)는 하나이어도 좋고, 3개 이상이어도 좋다.The
한 쌍의 제2 부재(8)는 X축 방향을 따라 발광관(2)을 끼고 서로 마주 보도록 배치된 제2 부재편(8a, 8b)을 갖는다. 제2 부재편(8a, 8b)은 고정화 부재(11, 12)를 이용하여 제1 부재(7)에 각각 고정되어 있고, 제1 부재(7) 및 제2 부재(8)가 협동하여 외부 전극(6)으로서 거동한다. 고정화 부재(11, 12)는, 예를 들어 나사이다. 이와 같이, 외부 전극(6)이 제2 부재(8)를 가짐으로써, 제1 부재(7)를 단독으로 외부 전극(6)으로서 사용하는 경우와 비교하여 자외선 조사 유닛(1)의 설계상 또는 성능상의 자유도가 증대된다. 또한, 제1 부재(7) 및 제2 부재(8)는 접촉에 의해 도통시킬 수 있지만, 예를 들면 도선 등 도시하지 않은 도체를 통하여 전기적으로 접속시켜도 좋다.The pair of
여기에서, 외부 전극(6)의 각도(θ6)는 요구되는 적산 광량 또는 조도에 따라 설정할 수 있다. 예를 들어, 적산 광량을 높이기 위해서는 180 [°] ＜ θ6 ≤ 300 [°]로 할 수 있다. 한편, 조도를 높이기 위해서는 300 [°] ＜ θ6 ≤330 [°]로 할 수 있다.Here, the angle θ6 of the
리드선(5)은 내부 전극(3)과 전기적으로 접속되어 있다. 또한, 리드선(5)은 교류 전원에 접속된 여기에서는 도시하지 않는 점등 장치에 접속되어 있고, 발광관(2)의 내부에 설치되는 내부 전극(3)과 외부 전극(6)의 전극간에 소정의 전압을인가시켜 발광시킬 수 있다. 또한, 리드선(5)은 도 1과 같이 발광관(2)의 양단에 설치되어 있는 구성에 한정되지 않고, 예를 들면 발광관(2)의 일단측에만 설치되는 구성이어도 좋다.The
구금(9)은 리드선(5)의 일단측을 덮도록 배치되고, 발광관(2)의 관축 방향의 양단을 지지한다. 또한, 구금(9)은 도 1과 같이 외부 전극(6)과 구금(9)이 접촉하여 설치되는 구성에 한정되지 않고, 예를 들면 외부 전극(6)과 구금(9)이 간극을 두고 설치되어 있어도 좋다.The
[변형예][Modification]
도 1, 도 2에 도시한 외부 전극(6)은 제1 부재(7)와 한 쌍의 제2 부재(8)로 구성되어 있었지만, 이에 한정되지 않는다. 도 3은 실시 형태의 변형예에 관한 자외선 조사 유닛을 도시한 단면도이다. 도 3에 도시한 자외선 조사 유닛(1A)은 외부 전극(6)이 제1 부재(7)와 한 쌍의 제2 부재(8), 또한 한 쌍의 제3 부재(13)로 구성되어 있다.Although the
한 쌍의 제3 부재(13)는 X축 방향을 따라 발광관(2)을 끼고 서로 마주 보도록 배치된 제3 부재편(13a, 13b)을 갖는다. 제3 부재편(13a, 13b)은 고정화 부재 (21,22)를 이용하여 제2 부재편(8a, 8b) 및 제1 부재(7)에 각각 고정되어 있고, 제1 부재(7), 제2 부재(8) 및 제3 부재(13)가 협동하여 외부 전극(6)으로서 거동한다. 고정화 부재(21,22)는, 예를 들면 나사이다. 이와 같이, 외부 전극(6)이 한 쌍의 제3 부재(13)를 추가로 가짐으로써, 제1 부재(7) 및 한 쌍의 제2 부재(8)를 외부 전극(6)으로서 사용하는 경우와 비교하여 외부 전극(6)의 각도(θ6)를 크게 할 수 있다. 또한, 도 3에 도시한 예에서는 고정화 부재(21, 22)가 한 쌍의 제2 부재(8) 및 한 쌍의 제3 부재(13)를 각각 관통함으로써 일체화되었지만, 이에 한정되지 않고, 예를 들면 제1 부재(7) 및 한 쌍의 제2 부재(8), 한 쌍의 제2 부재(8) 및 한 쌍의 제3 부재(13)를 각각 고정화함으로써 일체화시켜도 좋다.The pair of
상술한 바와 같이, 외부 전극(6)은 외부 전극(6)으로 덮이는 발광관(2)의 둘레 방향의 각도(θ6)에 따라 조도 및 적산 광량을 변화시킬 수 있다. 도 4는 외부 전극의 각도와 길이 방향 1[㎝] 당의 방전 면적의 관계를 나타내는 도면이다. 도 5는 외부 전극의 길이 방향 1[㎝] 당의 방전 면적과 조도 및 적산 광량의 관계를 나타내는 도면이다. 또한, 「외부 전극의 길이 방향 1[㎝] 당의 방전 면적」은 외부 전극(6)의 각도로부터 산출되는 원호의 길이에 발광관(2)의 길이 방향의 길이, 구체적으로는 1[㎝]를 곱한 수치이다. 도 5는 발광관(2)에 제논을 봉입한 경우를 예시한 것이다. 또한, 적산 광량은 피조사체를 10[㎜/s]의 속도로 관축 방향으로 반송시킨 경우를 예시한 것이다.As described above, the
도 5에 도시한 바와 같이, 외부 전극(6)의 각도(θ6)가 큰, 즉 외부 전극(6)의 길이 방향 1[㎝] 당의 방전 면적이 클수록 조도의 피크값은 증대된다. 따라서, 조도를 높이기 위해서는 300 [°] ＜θ6 ≤330 [°]로 할 수 있다. 한편, 각도 θ6이 클수록 출사 면적이 감소되므로, 적산 광량은 극대값까지 증대되고, 그 후 감소된다. 이 때문에, 적산 광량을 높이기 위해서는 180 [°] ＜θ6 ≤300 [°]로 할 수 있다.As shown in FIG. 5, the peak value of illuminance increases as the angle θ6 of the
여기에서, 도 4에 나타낸 외부 전극(6)의 각도, 즉 각도 θ6 = 180 [°], 238 [°], 327 [°] 는 외부 전극(6)으로서 제1 부재(7)만을 사용한 경우, 제1 부재(7) 및 한 쌍의 제2 부재(8)를 사용한 경우, 제1 부재(7), 한 쌍의 제2 부재(8) 및 한 쌍의 제3 부재(13)를 사용한 경우에 각각 대응하고 있다. 단, 외부 전극(6)의 각도(θ6)는 도시한 것에 한정되지 않고, 예를 들면 한 쌍의 제2 부재(8) 및 한 쌍의 제3 부재(13)의 형상을 변경하고, 원하는 각도(θ6)로 할 수 있는 것은 물론이다.Here, when the angle of the
[자외선 조사 장치][UV irradiation device]
도 6은 실시 형태에 관한 자외선 조사 유닛을 갖는 자외선 조사 장치를 도시한 도면이다. (a)는 관축 방향(Y축 방향), (b)는 X축 방향에서 각각 본 도면이다. 도 6에 도시한 바와 같이, 실시 형태에 관한 자외선 조사 장치(100)는 수용부(50)와, 점등 장치(60)를 갖는다. 수용부(50)에는 1 또는 복수의 자외선 조사 유닛(1)이 수용되어 있다. 또한, 자외선 조사 유닛(1)을 대신하여, 자외선 조사 유닛(1A)을 수용부(50)에 수용해도 좋다.It is a figure which shows the ultraviolet irradiation device which has an ultraviolet irradiation unit which concerns on embodiment. (a) is the tube axis direction (Y-axis direction), (b) is the figure seen from the X-axis direction, respectively. As shown in FIG. 6, the
점등 장치(60)는 수용부(50)의 배면측에 배치되어 있고, 자외선 조사 유닛(1)의 발광관(2)의 내부에 설치되는 내부 전극(3) 및 외부 전극(6)과 전기적으로 접속되어 있다. 이와 같이 수용부(50)의 배면측에 점등 장치(60)를 배치시킴으로써, 점등 장치(60)와 배리어 방전 램프(1) 사이의 배선 길이를 짧게 할 수 있다. 또한, 점등 장치(60)의 배치에 대해서는 도 9의 양식에 한정되지 않고, 예를 들어 점등 장치(60)가 자외선 조사 장치(100)의 외부에 설치되어도 좋다.The
또한, 점등 장치(60)는 고전압 및 고주파를 출력 가능한 인버터를 포함하고, 도시하지 않은 교류 전원으로부터의 전력을 자외선 조사 유닛(1)의 발광관(2) 및 외부 전극(6)에 공급 가능하게 구성되어 있다. 점등 장치(60)는, 예를 들어 주파수 120[㎑]의 정현파를 인가하고, 1[㎾] 정도의 램프 전력으로 자외선 조사 유닛(1)의 발광관(2)을 점등시킬 수 있다.In addition, the
상술한 바와 같이, 실시 형태에 관한 자외선 조사 유닛(1, 1A)은 배리어 방전 램프 및 외부 전극(6)을 구비한다. 배리어 방전 램프는 발광관(2) 및 내부 전극(3)을 갖는다. 발광관(2)은 가스가 봉입되고 자외광을 투과한다. 발광관(2)은 원통형이다. 내부 전극(3)은 발광관(2)의 내부에 배치되고, 발광관(2)의 관축 방향으로 연장된다. 외부 전극(6)은 내부 전극(3)과 대향하도록 발광관(2)의 외면(2b)측에 설치되고, 발광관(2)의 둘레 방향으로 180 [°] 초과 300 [°] 이하의 범위에서 발광관(2)을 덮는다. 이에 의해, 실시 형태에 관한 자외선 조사 유닛(1, 1A)에 따르면, 적산 광량을 높일 수 있다.As described above, the
또한, 실시 형태에 관한 자외선 조사 유닛(1, 1A)은 배리어 방전 램프 및 외부 전극(6)을 구비한다. 배리어 방전 램프는 발광관(2) 및 내부 전극(3)을 갖는다. 발광관(2)은 가스가 봉입되고 자외광을 투과한다. 발광관(2)은 원통형이다. 내부 전극(3)은 발광관(2)의 내부에 배치되고, 발광관(2)의 관축 방향으로 연장된다. 외부 전극(6)은 내부 전극(3)과 대향하도록 발광관(2)의 외면(2b)측에 설치되고, 발광관(2)의 둘레 방향으로 300 [°] 초과 330 [°] 이하의 범위에서 발광관(2)을 덮는다. 이에 의해, 실시 형태에 관한 자외선 조사 유닛(1, 1A)에 따르면 조도를 높일 수 있다.Moreover, the
또한, 실시 형태에 관한 외부 전극(6)은 제1 부재(7)와 한 쌍의 제2 부재(8)를 갖는다. 제1 부재(7)는 둘레 방향으로 발광관(2)을 덮는다. 제2 부재(8)는 발광관(2)을 끼고 서로 마주 보도록 배치된다. 이에 의해, 설계상 또는 성능상의 자유도가 증대된다.In addition, the
또한, 실시 형태에 관한 자외선 조사 유닛(1, 1A)의 발광관(2)은 반사막(4)을 구비한다. 반사막(4)은 외부 전극(6)과 마주하는 발광관(2)의 내면(2a)에 설치되고, 자외광을 발광관(2)의 내부로 반사한다. 반사막(4)의 둘레 방향의 각도(θ4)는 외부 전극(6)으로 덮이는 발광관(2)의 둘레 방향의 각도(θ6) 이상이다. 이에 의해, 자외광을 효율 좋게 피조사체를 향하여 조사할 수 있다.In addition, the
본 발명의 몇 가지 실시 형태를 설명했지만, 이러한 실시 형태는 예로서 제시한 것이고, 발명의 범위를 한정하려는 의도는 없다. 이들 실시 형태는 그 밖의 다양한 형태로 실시되는 것이 가능하고, 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위에서 여러 가지 생략, 치환, 변경을 실시할 수 있다. 이들 실시 형태나 그 변형은 발명의 범위나 요지에 포함됨과 동일하게, 특허청구의 범위에 기재된 발명과 그 균등의 범위에 포함되는 것이다.While certain embodiments have been described, these embodiments have been presented by way of example only, and are not intended to limit the scope of the inventions. These embodiments can be implemented in various other forms, and various omissions, substitutions, and changes can be made without departing from the spirit of the inventions. These embodiments and modifications thereof are included in the invention described in the claims and their equivalents, as included in the scope and spirit of the invention.
1, 1A: 자외선 조사 유닛 2: 발광관
3: 내부 전극 4: 반사막
5: 리드선 6: 외부 전극
7: 제1 부재 8: 제2 부재
9: 구금 10: 유로
50: 수용부 60: 점등 장치
100: 자외선 조사 장치1, 1A: ultraviolet irradiation unit 2: light emitting tube
3: internal electrode 4: reflective film
5: lead wire 6: external electrode
7: first member 8: second member
9: detention 10: Euro
50: accommodating part 60: lighting device
100: ultraviolet irradiation device
Claims (8)
상기 내부 전극과 대향하도록 상기 발광관의 외면측에 설치되고, 상기 발광 관의 둘레 방향으로 180 [°] 초과 300 [°] 이하의 범위에서 상기 발광관을 덮는 외부 전극;
을 구비하는, 자외선 조사 유닛.A barrier discharge lamp having a cylindrical light emitting tube filled with gas and transmitting ultraviolet light and an internal electrode disposed inside the light emitting tube and extending in the tube axis direction of the light emitting tube; And
An outer electrode disposed on an outer surface side of the light emitting tube so as to face the inner electrode and covering the light emitting tube in a circumferential direction of the light emitting tube in a range of more than 180 [deg.] And 300 [deg.] Or less;
Ultraviolet irradiation unit provided with.
상기 내부 전극과 대향하도록 상기 발광관의 외면측에 설치되고, 상기 발광 관의 둘레 방향으로 300 [°] 초과 330 [°] 이하의 범위에서 상기 발광관을 덮는 외부 전극;
을 구비하는, 자외선 조사 유닛.A barrier discharge lamp having a cylindrical light emitting tube filled with gas and transmitting ultraviolet light and an internal electrode disposed inside the light emitting tube and extending in the tube axis direction of the light emitting tube; And
An outer electrode disposed on an outer surface side of the light emitting tube so as to face the inner electrode and covering the light emitting tube in a circumferential direction of the light emitting tube in a range of more than 300 [deg.] And less than 330 [deg.];
Ultraviolet irradiation unit provided with.
상기 외부 전극은 상기 둘레 방향으로 상기 발광관을 덮는 제1 부재와, 상기 발광관을 끼고 마주 보도록 배치되는 제2 부재를 갖는, 자외선 조사 유닛.The method according to claim 1 or 2,
And the external electrode has a first member covering the light emitting tube in the circumferential direction and a second member disposed to face the light emitting tube.
상기 외부 전극은 상기 둘레 방향으로 상기 발광관을 덮는 제1 부재와, 상기 발광관을 끼고 서로 마주 보도록 배치되는 한 쌍의 제2 부재편을 갖는, 자외선 조사 유닛.The method according to claim 1 or 2,
And the external electrode has a first member covering the light emitting tube in the circumferential direction and a pair of second member pieces disposed to face each other with the light emitting tube facing each other.
상기 외부 전극과 마주 보는 상기 발광관의 내면에 설치되고, 상기 자외광을 상기 발광관의 내부로 반사하는 반사막;
을 구비하고,
상기 반사막의 상기 둘레 방향의 각도는 상기 외부 전극으로 덮이는 상기 발광관의 상기 둘레 방향의 각도 이상인, 자외선 조사 유닛.The method according to claim 1 or 2,
A reflection film disposed on an inner surface of the light emitting tube facing the external electrode and reflecting the ultraviolet light into the light emitting tube;
And
The ultraviolet irradiation unit according to claim 1, wherein the angle in the circumferential direction of the reflective film is equal to or greater than the angle in the circumferential direction of the light emitting tube covered by the external electrode.
상기 자외선 조사 유닛을 수용하는 수용부;
를 구비하는, 자외선 조사 장치.The ultraviolet irradiation unit of Claim 1 or 2; And
Receiving unit for receiving the ultraviolet irradiation unit;
Ultraviolet irradiation apparatus provided with.
상기 발광관의 내부에 배치되고, 상기 발광관의 관축 방향으로 연장되는 내부 전극; 및
상기 내부 전극과 대향하도록 상기 발광관의 외면측에 설치되고, 상기 발광 관의 둘레 방향으로 180 [°] 초과 300 [°] 이하의 범위에서 상기 발광관을 덮는 외부 전극;
을 구비하는, 배리어 방전 램프.A cylindrical light emitting tube in which gas is sealed and which transmits ultraviolet light;
An internal electrode disposed inside the light emitting tube and extending in a tube axis direction of the light emitting tube; And
An outer electrode disposed on an outer surface side of the light emitting tube so as to face the inner electrode and covering the light emitting tube in a circumferential direction of the light emitting tube in a range of more than 180 [deg.] And 300 [deg.] Or less;
And a barrier discharge lamp.
상기 발광관의 내부에 배치되고, 상기 발광관의 관축 방향으로 연장되는 내부 전극; 및
상기 내부 전극과 대향하도록 상기 발광관의 외면측에 설치되고, 상기 발광관의 둘레 방향으로 300 [°] 초과 330 [°] 이하의 범위에서 상기 발광관을 덮는 외부 전극;
을 구비하는, 배리어 방전 램프.A cylindrical light emitting tube in which gas is sealed and which transmits ultraviolet light;
An internal electrode disposed inside the light emitting tube and extending in a tube axis direction of the light emitting tube; And
An outer electrode disposed on an outer surface side of the light emitting tube so as to face the inner electrode and covering the light emitting tube in a circumferential direction of the light emitting tube in a range of more than 300 [deg.] And less than 330 [deg.];
And a barrier discharge lamp.
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