KR20200013250A

KR20200013250A - 검사체에 대한 양부 판정 조건을 조정하는 방법 및 장치

Info

Publication number: KR20200013250A
Application number: KR1020200006453A
Authority: KR
Inventors: 구대성; 김용; 박기원
Original assignee: 주식회사 고영테크놀러지
Priority date: 2020-01-17
Filing date: 2020-01-17
Publication date: 2020-02-06
Also published as: KR102167558B1

Abstract

검사체에 대한 양부 판정 조건을 조정하기 위한 방법 및 장치가 개시된다. 데이터베이스, 처리부, 사용자 입력부 및 출력부를 포함한 양부 판정 장치에서 검사체에 대한 양부 판정 조건을 조정하기 위한 방법은, 처리부에 의해, 데이터베이스로부터 복수의 검사체의 구조의 측정값을 획득하는 단계, 처리부에 의해, 구조의 설계값에 대한 측정값의 오차값과 소정의 기준값을 비교하여 복수의 검사체의 각 검사체에 대한 양호 또는 불량을 판정하는 단계, 처리부에 의해, 복수의 검사체 중 판정 오류가 발생한 하나 이상의 검사체를 식별하는 단계, 처리부에 의해, 오차값에 따른 복수의 검사체의 수, 기준값, 및 판정 오류가 발생한 하나 이상의 검사체의 수를 포함한 검사 결과 그래프를 생성하고, 출력부를 통해 검사 결과 그래프를 출력하는 단계, 처리부에 의해, 판정 오류가 발생한 하나 이상의 검사체의 수가 감소하도록, 검사 결과 그래프 상에서의 사용자 입력부를 통한 그래픽적 입력에 따라 기준값을 갱신하는 단계, 및 처리부에 의해, 오차값과 갱신된 기준값을 비교하여 복수의 검사체의 각 검사체에 대한 양호 또는 불량을 재판정하는 단계를 포함한다.

Description

검사체에 대한 양부 판정 조건을 조정하는 방법 및 장치{METHOD AND APPARATUS FOR ADJUSTING CONDITION OF QUALITY DECISION FOR INSPECTION TARGET}

본 발명은 검사체에 대한 양부 판정 조건을 조정하기 위한 방법 및 장치에 관한 것이다.

제조업자들은 제품의 생산 과정, 조립 과정, 중간 과정 및 최종 조립 과정에서 불량품을 제거하기 위한 노력을 기울이고 있다. 이 과정에서 제조업자들은 다양한 검사 시스템을 이용하여 제품의 양부(즉, 양호(GOOD) 또는 불량(NG) 여부)를 판정한다.

일 실시형태에 의하면, 검사 시스템은 검사체의 구조를 측정하고, 측정값이 기설정된 범위 내인지 여부를 판단함으로써 해당 검사체의 양부를 판정할 수 있다. 예를 들어, 검사 시스템은 검사체에 광을 조사하고, 검사체로부터 반사되는 광을 수신하여 검사체의 이미지 데이터를 획득한다. 또한, 검사 시스템은 획득된 이미지 데이터에 기초하여 검사체의 측정값을 획득하고, 측정값과 사전 설정된 기준값을 기초로 검사체가 양호(Good)인지 또는 불량(NG)인지를 판정하는 검사 결과를 도출한다.

검사 시스템에 의해 도출된 검사 결과에 있어서, 실제 양호인 검사체를 불량으로 판정하거나(False Call) 실제 불량인 검사체를 양호로 판정하는(Escape) 판정 오류가 포함될 수 있다. 이러한 판정 오류를 제거하기 위하여, 양부 판정에 사용되는 기준값을 변경할 수 있다. 다만, 종래에는 검사체에 대한 측정값이 검사 시스템의 표시부에 단순히 숫자로 표시되고, 기준값 역시 사용자가 직접 수치를 입력하는 경우가 많았다. 이로 인해, 사용자가 기준값을 변경하고자 하는 경우, 표시부에 표시된 측정값을 확인하여 기준값을 일일이 새로운 수치로 입력해야 하는 문제점이 있었다.

본 발명은 검사체에 대한 검사 결과를 그래픽적으로 표시하고, 양부 판정에 사용되는 기준값을 보다 편리하게 조정할 수 있는 방법 및 장치를 제공한다.

또한, 본 발명은 검사체의 검사 결과, 양부 판정 결과, 및 양부 판정에 대한 검토 결과를 시각적으로 나타낼 수 있는 방법 및 장치를 제공한다.

또한, 본 발명은 기준값의 조정에 따른, 양부 판정 결과 및 양부 판정에 대한 검토 결과의 변화를 시각적으로 나타낼 수 있는 방법 및 장치를 제공한다.

또한, 본 발명은 검사체의 양부 판정 오류를 감소시키기 위한 사용자 입력이 보다 직관적으로 편리하게 이루어지도록 하는 방법 및 장치를 제공한다.

본 발명의 일 측면은, 데이터베이스, 처리부, 사용자 입력부 및 출력부를 포함한 양부 판정 장치에서 검사체에 대한 양부 판정 조건을 조정하기 위한 방법을 제공한다. 예시적 실시예에 따른 방법은, 처리부에 의해, 데이터베이스로부터 복수의 검사체의 구조의 측정값을 획득하는 단계, 처리부에 의해, 구조의 설계값에 대한 측정값의 오차값과 소정의 기준값을 비교하여 복수의 검사체의 각 검사체에 대한 양호 또는 불량을 판정하는 단계, 처리부에 의해, 복수의 검사체 중 판정 오류가 발생한 하나 이상의 검사체를 식별하는 단계, 처리부에 의해, 오차값에 따른 복수의 검사체의 수, 기준값, 및 판정 오류가 발생한 하나 이상의 검사체의 수를 포함한 검사 결과 그래프를 생성하고, 출력부를 통해 검사 결과 그래프를 출력하는 단계, 처리부에 의해, 판정 오류가 발생한 하나 이상의 검사체의 수가 감소하도록, 검사 결과 그래프 상에서의 사용자 입력부를 통한 그래픽적 입력에 따라 기준값을 갱신하는 단계, 및 처리부에 의해, 오차값과 갱신된 기준값을 비교하여 복수의 검사체의 각 검사체에 대한 양호 또는 불량을 재판정하는 단계를 포함한다. 판정 오류는 양호라고 판정된 검사체가 불량으로 식별된 제 1 오류 및 불량이라고 판정된 검사체가 양호로 식별된 제 2 오류를 포함한다.

본 발명의 적어도 하나의 실시예에 의하면, 검사체에 대한 검사 결과와 기준값이 그래픽적으로 표시되고, 표시된 기준값이 사용자의 그래픽적 입력에 의해 조정될 수 있다. 또한, 재설정된 기준값을 기초로 검사체에 대한 검사 결과가 갱신되고, 갱신된 검사 결과가 그래픽적으로 표시될 수 있다. 그 결과, 사용자가 보다 효율적이고 간편하게 검사체의 양부 판정에 사용되는 기준값을 조정할 수 있다.

본 발명의 적어도 하나의 실시예에 의하면, 검사체의 검사 결과, 양부 판정 결과, 및 양부 판정에 대한 검토 결과가 나타난 그래프가 출력되고, 사용자로 하여금 출력된 그래프 상에서 양부 판정 오류를 감소시키기 위한 입력을 할 수 있도록 한다. 또한, 사용자의 입력에 따른 양부 판정에 대한 검토 결과의 변화가 그래프 상에서 시각적으로 나타난다. 그 결과, 사용자가 보다 편리하고 직관적으로 양부 판정 오류의 감소여부를 확인할 수 있다.

본 발명의 적어도 하나의 실시예에 의하면, 검사체의 구조가 측정되어 갱신 전 기준값에 따라 양부 판정이 이루어진 경우, 사용자 입력에 따라 기준값이 갱신되더라도 검사체의 구조를 재측정할 필요 없이 갱신된 기준값으로 검사체의 양부 재판정을 실행할 수 있다. 그 결과, 기준값의 갱신에 따른 양부 재판정이 신속하게 실행될 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따라 검사체를 양품 또는 불량품으로 판정하는 검사 시스템을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따라 검사체의 구조를 측정하는 측정 장치의 구성을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따라 검사체의 양부를 판정하는 양부 판정 장치의 상세 구성을 도시하는 블럭도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따라 판정 오류가 포함된 검사 결과 리스트를 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따라 양부 판정 결과 및 판정 검토 결과를 나타낸 검사 결과 그래프를 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따라 검사 결과 그래프 상에서의 기준값 갱신을 나타낸 도면이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따라 일부 영역이 확대된 검사 결과 그래프를 나타낸 도면이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따라 양부 판정 결과 및 판정 검토 결과를 나타낸 검사 결과 그래프를 나타낸 도면이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따라 기준값이 갱신된 검사 결과 그래프를 나타낸 도면이다.
도 10은 본 발명의 실시예에 따라 검사체에 대한 양부 판정 조건을 조정하는 방법을 나타낸 순서도이다.

본 발명의 실시예들은 본 발명을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것이다. 본 발명의 실시예들은 다양한 형태로 실시될 수 있으며, 본 발명이 아래 제시된 실시예들이나 이들 실시예들에 대한 구체적 설명으로 한정되는 것으로 해석해서는 아니 된다.

본 명세서에서 사용되는 용어 "부"는 소프트웨어, FPGA(field-programmable gate array), ASIC(application specific integrated circuit)과 같은 하드웨어 구성요소를 의미한다. 그러나, "부"는 하드웨어 및 소프트웨어에 한정되는 것은 아니다. "부"는 어드레싱할 수 있는 저장 매체에 있도록 구성될 수도 있고, 하나 또는 그 이상의 프로세서들을 재생시키도록 구성될 수도 있다. 따라서, 일례로서 "부"는 소프트웨어 구성요소들, 객체지향 소프트웨어 구성요소들, 클래스 구성요소들 및 태스크 구성요소들과 같은 구성요소들과, 프로세서, 함수, 속성, 프로시저, 서브루틴, 프로그램 코드의 세그먼트, 드라이버, 펌웨어, 마이크로코드, 회로, 데이터, 데이터베이스, 데이터 구조, 테이블, 어레이 및 변수를 포함한다. 구성요소와 "부" 내에서 제공되는 기능은 더 작은 수의 구성요소 및 "부"로 결합되거나 추가적인 구성요소와 "부"로 더 분리될 수 있다.

본 명세서에서 사용되는 모든 기술적 용어들 및 과학적 용어들은, 다르게 정의되어 있지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일반적으로 이해되는 의미를 갖는다. 본 명세서에서 사용되는 모든 용어들은 본 발명을 보다 명확히 설명하기 위한 목적으로 선택된 것이며 본 발명의 범위를 제한하기 위해 선택된 것이 아니다.

본원 명세서에서 기술된 단수형의 표현은 달리 언급하지 않는 이상 복수형의 표현도 함께 포함할 수 있으며, 이는 청구항에 기재된 단수형의 표현에도 마찬가지로 적용된다.

본 발명의 다양한 실시 예에서 사용된 "제1", "제2" 등의 표현들은 복수의 구성요소들을 상호 구분하기 위해 사용하는 것일 뿐 해당 구성요소들의 순서 또는 중요도를 한정하는 것이 아니다.

본 명세서에서 사용되는 "포함하는" 및 "갖는"과 같은 표현은, 해당 표현이 포함되는 문구 또는 문장에서 특별히 다르게 언급되지 않는 한, 다른 실시예를 포함할 가능성을 내포하는 개방형 용어(open-ended terms)로 이해되어야 한다.

본 명세서에서 "~에 기초하여"라는 표현은, 해당 표현이 포함되는 문구에서 기술되는 결정 또는 판단의 행위 또는 동작에 영향을 주는 하나 이상의 인자를 기술하는데 사용되고, 이 표현은 결정 또는 판단의 행위 또는 동작에 영향을 주는 추가적인 인자를 배제하지는 않는다.

본 명세서에서 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 상기 어떤 구성요소가 상기 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 상기 어떤 구성요소와 상기 다른 구성요소 사이에 새로운 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 실시예들을 상세하게 설명한다. 도면상의 동일한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 사용하고 동일한 구성요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따라 검사체를 양품 또는 불량품으로 판정하는 검사 시스템(10)을 개략적으로 나타낸 도면이다.

본 발명의 일 실시예에 따른 검사 시스템(10)은 복수의 검사체(20) 각각이 양품인지 불량품인지 판정하고, 판정 결과에 따라 양품 보관 장치(30) 또는 불량품 보관 장치(40)로 분류할 수 있다. 여기서, 검사체(20)는 소정의 설계 기준에 따라 제조된 3차원 구조를 갖는 임의의 제조품일 수 있다. 예를 들어, 검사체(20)는 전자부품이 실장되어 있는 인쇄회로기판(PCB)일 수 있다.

검사 시스템(10)은 측정 장치(100), 양부 판정 장치(120), 판정 검토 장치(140) 및 분류 장치(160)을 포함할 수 있다. 또한, 검사 시스템(10)은 측정 장치(100), 양부 판정 장치(120), 판정 검토 장치(140) 및 분류 장치(160) 사이의 연결과 통신을 행하는 네트워크(180)를 포함할 수 있다. 도 1에 도시된 바와 같이, 검사체(20)는 화살표 방향을 따라 측정 장치(100), 판정 검토 장치(140) 및 분류 장치(160)를 거쳐, 양품 보관 장치(30) 또는 불량품 보관 장치(40)로 이송될 수 있다.

일 실시예에 의하면, 검사 시스템(10)은 검사체(20)를 제조하는 제조 스테이지 또는 검사체(20)를 가공하는 가공 스테이지의 후단에 설치될 수 있다. 이 경우, 검사 시스템(10)은, 제조 또는 가공된 검사체(20)가 소정의 설계 기준에 따라 제조되었는지 여부를 판정할 수 있다. 또한, 검사 시스템(10)은, 판정 결과에 따라, 양호인 검사체(20)를 양품 보관 장치(30)로 분류하고, 불량인 검사체(20)를 불량품 보관 장치(40)로 분류할 수 있다.

측정 장치(100)는 검사체(20)의 구조(예를 들어, 3차원 구조)를 측정한 측정값을 생성할 수 있다. 일 실시예에 의하면, 측정 장치(100)는 광을 이용하여 검사체(20)의 구조를 측정할 수 있다. 예를 들어, 측정 장치(100)는 검사체(20)에 구조화 광(structured light)을 조사하고, 검사체(20)로부터 반사된 광을 수광하며, 수광된 광을 기초로 검사체(20)의 이미지 데이터를 생성할 수 있다. 또한, 측정 장치(100)는 이미지 데이터에 기초하여, 검사체(20)의 구조를 측정한 측정값을 생성할 수 있다. 측정 장치(100)에 의해 생성된 측정값은 네트워크(180)를 통해 양부 판정 장치(120)로 전달될 수 있다. 측정 장치(100)의 구성 및 동작과 관련해서는 도 2를 참조하여 더욱 자세하게 설명한다.

양부 판정 장치(120)는 검사체(20)가 양호인지 불량인지 여부를 판정할 수 있다. 양부 판정 장치(120)는 측정 장치(100)에 의해 생성된 측정값이 소정 범위 내인지 판단함으로써 검사체(20)의 양호 또는 불량을 판정할 수 있다. 일 실시예에 의하면, 양부 판정 장치(120)는 검사체(20)의 구조의 측정값과 설계값 간의 오차값을 산출할 수 있다. 양부 판정 장치(120)는 오차값이 소정의 기준값 이하인 검사체(20)를 양호(Good)라고 판정하고, 오차값이 소정의 기준값을 초과하는 검사체(20)를 불량(NG)이라고 판정할 수 있다.

일 실시예에 의하면, 양부 판정 장치(120)는 오차값이 소정의 기준값 이하인(즉, 양호인) 검사체(20) 중 일부의 검사체(20)에 대하여 경고(Warning)라고 판정할 수 있다. 예를 들어, 검사체(20)의 오차값이 소정의 기준값에 가까운 소정의 범위 내인 경우, 양부 판정 장치(120)는 해당 검사체(20)를 경고라고 판정할 수 있다.

판정 검토 장치(140)는 양부 판정 장치(120)에 의한 검사체(20)의 양부 판정에 오류가 있는지 여부를 판단할 수 있다. 예를 들어, 양부 판정 장치(120)에 의해 양호라고 판정된 검사체(20)가 실제로는 불량인 경우(Escape)가 있다. 또한, 양부 판정 장치(120)에 의해 불량이라고 판정된 검사체(20)가 실제로는 양호인 경우(False Call)가 있다. 이러한 판정 오류는 양부 판정 장치(120)에서 양부 판정에 이용된 기준값이 적절하게 설정되지 않았을 때에 발생할 수 있다. 예를 들어, 오차값과 비교되는 소정의 기준값이 높게 설정된 경우, 양부 판정 장치(120)는 실제 불량인 검사체(20)를 양호라고 판정할 수 있는데, 판정 검토 장치(140)는 이러한 양호 판정이 오류라고 판단할 수 있다. 또한, 오차값과 비교되는 소정의 기준값이 낮게 설정된 경우, 양부 판정 장치(120)는 실제 양호인 검사체(20)를 불량이라고 판정할 수 있는데, 판정 검토 장치(140)는 이러한 불량 판정이 오류라고 판단할 수 있다.

판정 검토 장치(140)는 검사체(20)가 실제 양호인지 불량인지 판단할 수 있는 장치를 이용하여 구현될 수 있다. 일 예로서, 판정 검토 장치(140)는 검사체(20)의 구조를 보다 정밀하게 측정할 수 있는 장치를 포함할 수 있다. 다른 예로서, 판정 검토 장치(140)는 검사체(20)의 전기적 특성을 확인할 수 있는 장치를 포함할 수 있다.

일 실시예에 의하면, 판정 검토 장치(140)는 양부 판정 장치(120)에 의해 양부 판정이 이루어진 검사체(20) 중 일부의 검사체(20)에 대하여 판정 오류 여부를 판단할 수 있다. 예를 들어, 판정 검토 장치(140)는 양부 판정 장치(120)에 의해 경고 또는 불량이라고 판정된 검사체(20)에 대하여 판정 오류 여부를 판단할 수 있다. 이 경우, 모든 검사체에 대하여 판정 오류 여부를 판단하는 경우에 비해, 효율성이 향상될 수 있다.

다른 실시예에 의하면, 판정 검토 장치(140)는 양부 판정 장치(120)에 의해 양부 판정이 이루어진 모든 검사체(20)에 대하여 판정 오류 여부를 판단할 수도 있다. 이 경우, 일부 검사체에 대하여 판정 오류 여부를 판단하는 경우에 비해, 정확성이 향상될 수 있다. 판정 검토 장치(140)에 의한 검토 결과는 네트워크(180)를 통해 양부 판정 장치(120)로 전달될 수 있다.

또 다른 실시예에 의하면, 판정 검토 장치(140)는, 측정된 오차값들의 분포로부터, 양호인 검사체들(20)의 양호 오차값 범위를 추정하고, 추가적으로, 불량인 검사체들(20)의 불량 오차값 범위를 추정할 수 있다.

일정한 생산 공정에 따라 생산되는 제품의 물리적인 속성의 오차값은 일정한 확률 분포를 가진다고 할 수 있다. 주어진 공정을 거쳐 생산된 양호인 검사체들(20)의 오차값은 예를 들어 감마 분포 곡선(Gamma distribution curve)으로 표현되는 양호 오차값 분포를 가질 수 있다. 공정 밖의 문제로 인해 불량이 된 검사체들(20)의 오차값은 예를 들어 정규 분포 곡선(Normal distribution curve)으로 표현되는 불량 오차값 분포를 가질 수 있다.

이를 이용하여, 판정 검토 장치(140)는 측정된 오차값들의 분포에 가장 피팅(fitting)되는 적어도 하나의 확률 분포 곡선을 결정하고, 결정된 확률 분포 곡선들 중 원점에 가장 가까운 확률 분포 곡선을 양호 오차값 분포로 간주하고, 나머지 확률 분포 곡선들은(만약 있다면) 불량 오차값 분포로 간주할 수 있다.

한편, 이러한 양호 오차값 분포 곡선과 불량 오차값 분포 곡선의 그래프들에서 세로축은 자연수여야 하는 검사체 샘플수이므로, 확률적으로 그래프의 세로축 값이 1 이상인 가로축 범위 내에서만 검사체가 1 샘플 이상 존재하고, 그 가로축 범위를 벗어나면 검사체가 1 샘플 미만으로 존재한다고, 다시 말해 부존재한다고 간주할 수 있다. 경우에 따라서, 사용자는 검사체 샘플수가 소정 개수 이상인 오차값의 범위만 유의미한 오차값 범위로 간주할 수 있다. 경우에 따라서, 사용자는 검사된 검사체 샘플들 중 소정 비율의 검사체 샘플들(예를 들어 오차값이 작은 순서대로 99.5%의 검사체 샘플들)을 포함하는 범위만 유의미한 오차값 범위로 간주할 수 있다.

이러한 관찰에 따라, 양호 오차값 분포 곡선 또는 불량 오차값 분포 곡선에서 사용자가 유의미하다고 간주하는 양호 오차값 범위 또는 불량 오차값 범위가 각각 추정될 수 있다. 상황에 따라서는 유의미한 불량 오차값 분포가 획득되지 않을 수 있고, 따라서 유의미한 불량 오차값 범위도 추정되지 않을 수도 있다.

구체적으로, 판정 검토 장치(140)는 주어진 샘플 오차값들의 분포로부터 소정의 확률 분포 함수를 이용하여 양호 오차값 분포를 추정하고 필요하다면 불량 오차값 분포를 더 추정할 수 있다. 이때 판정 검토 장치(140)는 양호 오차값 분포에서 샘플수가 예를 들어 1 이상인 양호 오차값 범위를 추정할 수 있고, 불량 오차값 분포(만약 있다면)에서 샘플수가 예를 들어 1 이상인 불량 오차값 범위를 추정할 수 있다.

만약 일단 추정된 양호 오차값 범위와 불량 오차값 범위가 일부 중첩되는 경우에는, 판정 검토 장치(140)는 양호 오차값 분포와 불량 오차값 분포가 서로 중첩하는 지점을 고려하여 단축된 양호 오차값 범위와 불량 오차값 범위를 각각 다시 추정할 수 있다.

만약 두 개 이상의 불량 오차값 분포들이 추정된다면, 판정 검토 장치(140)는 불량 오차값 분포들로부터 각각 추정된 불량 오차값 범위들을 모두 포괄할 수 있도록 통합된 불량 오차값 범위를 다시 추정할 수 있다.

판정 검토 장치(140)는 추정된 양호 오차값 범위에 기초하여, 그리고 추가로 불량 오차값 범위(만약 있다면)에 기초하여, 양부 판정 장치(120)에 의한 검사체(20)의 양부 판정에 오류가 있는지 여부를 판단할 수 있다.

예를 들어, 만약 양부 판정의 기준값이 양호 오차값 범위 안에 있을 경우에, 어떤 검사체(20)의 오차값이 기준값보다 크지만 양호 오차값 범위 내에 있다면, 판정 검토 장치(140)는 그 검사체(20)가 비록 기준값에 의해 불량으로 판정되었지만 실제로는 양호인 제 2 타입의 오류(false call)임을 판단할 수 있고, 현재의 기준값이 너무 엄격하다고 판단할 수 있다.

예를 들어, 만약 양부 판정의 기준값이 불량 오차값 범위 내에 있거나 그 범위를 초과하는 경우에, 어떤 검사체(20)의 오차값이 기준값보다 작지만 불량 오차값 범위 내에 있다면, 판정 검토 장치(140)는 그 검사체(20)가 기준값에 의해 비록 양호로 판정되었지만 실제로는 불량인 제 1 타입의 오류(escape)임을 판단할 수 있고, 현재의 기준값이 너무 여유롭다고 판단할 수 있다.

이에 따라, 판정 검토 장치(140)는, 양부 판정의 기준값이 양호 오차값 범위 안에 있을 경우에 오차값이 양호 오차값 범위 내에 있으면서 기준값보다 큰 검사체들(20)의 수로써, 또는 양부 판정의 기준값이 불량 오차값 범위 내에 있거나 그 범위를 초과하는 경우에 오차값이 불량 오차값 범위 내에 있으면서 기준값보다 작은 검사체들(20)의 수로써, 판정 오류인 검사체들의 수를 판단할 수 있다.

판정 검토 장치(140)에 의한 판단 결과는 네트워크(180)를 통해 양부 판정 장치(120)로 전달될 수 있다. 또한, 판정 검토 장치(140)에 의해 추정된 양호 오차값 분포 및 양호 오차값 범위도 네트워크(180)를 통해 양부 판정 장치(120)로 전달될 수 있다. 부가적으로, 판정 검토 장치(140)에 의해 추정된 불량 오차값 분포 및 불량 오차값 범위도 네트워크(180)를 통해 양부 판정 장치(120)로 전달될 수 있다.

이러한 방식으로, 판정 검토 장치(140)는 불량 판정된 샘플들에 대해 실제로 정밀한 재검사를 하지 않더라도, 생산 초기의 샘플들에서 검출되는 오차값 분포로부터, 판정 오류가 있을 것으로 강하게 추정되는 검사체들(20)을 식별할 수 있고, 나아가 현재 기준값의 적절성을 판단할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 의한 양부 판정 장치(120)는 판정 검토 장치(140)에 의해 판정 오류라고 판단된 검사체(20)의 수가 감소하도록, 검사체(20)에 대한 양부 판정 조건을 조정할 수 있다. 양부 판정 장치(120)는 양부 판정 장치(120)에 의해 생성된 검사체(20)에 대한 양부 판정 결과 및 판정 검토 장치(140)에 의해 생성된 검사체(20)에 대한 판정 검토 결과를 기초로, 오차값과 비교되는 기준값을 갱신할 수 있다. 예를 들어, 판정 검토 장치(140)에 의해 검사체(20)의 적어도 일부에 판정 오류(False call)가 발생했다고 판단된 경우, 양부 판정 장치(120)는 오차값과 비교되는 기준값을 높일 수 있다. 또한, 판정 검토 장치(140)에 의해 검사체(20)의 적어도 일부에 판정 오류(Escape)가 발생했다고 판단된 경우, 양부 판정 장치(120)는 오차값과 비교되는 기준값을 낮출 수 있다.

양부 판정 장치(120)는 사용자 입력에 따라 오차값과 비교되는 기준값을 갱신할 수 있다. 양부 판정 장치(120)는 검사체(20)에 대한 양부 판정 결과, 판정 검토 결과 및 기준값을 그래픽적으로 나타낼 수 있다. 사용자는 그래픽적으로 나타난 양부 판정 결과 및 판정 검토 결과를 기초로, 판정 오류가 발생한 검사체의 수가 감소하도록 기준값을 조정하기 위한 그래픽적 입력을 양부 판정 장치(120)에 제공할 수 있다. 양부 판정 장치(120)는 사용자의 그래픽적 입력에 응답하여 기준값을 갱신할 수 있다.

양부 판정 장치(120)는 갱신된 기준값을 오차값과 비교하여 검사체(20)의 양호 또는 불량을 재판정할 수 있다. 또한, 양부 판정 장치(120)는, 검사체(20)가 실제 양호인지 불량인지 나타내는 판정 검토 장치(140)에 의해 생성된 판정 검토 결과에 기초하여, 검사체(20) 중 재판정 결과에 오류가 발생했는지 여부를 식별할 수 있다. 이에 따라, 양부 판정 장치(120)는 검사체(20)에 대한 양부 재판정 결과, 갱신된 기준값 및 재판정 오류가 발행한 검사체의 수를 그래픽적으로 나타낼 수 있다.

양부 판정 장치(120)는, 예를 들어, 서버 컴퓨터, 개인용 컴퓨터, 랩탑 컴퓨터, 스마트폰, 태블릿과 같이 컴퓨팅 장치를 이용하여 구현될 수 있다. 양부 판정 장치(120)의 구성 및 동작과 관련해서는 도 3 내지 도 10를 참조하여 더욱 자세하게 설명한다.

분류 장치(160)는 검사체(20)를 양품 보관 장치(30) 또는 불량품 보관 장치(40)로 분류할 수 있다. 분류 장치(160)는 양부 판정 장치(120)에서의 재판정 결과에 기초하여, 양호인 검사체(20) 및 불량인 검사체(20)를 각각 양품 보관 장치(30) 및 불량품 보관 장치(40)로 분류할 수 있다.

네트워크(180)는 측정 장치(100), 양부 판정 장치(120), 판정 검토 장치(140) 및 분류 장치(160) 간의 연결 및 통신을 가능하게 있다. 네트워크(180)는 근거리 통신망(Local Area Network; LAN), 광역 통신망(Wide Area Network; WAN) 또는 부가가치 통신망(Value Added Network; VAN) 등과 같은 유선 네트워크나, 이동 통신망(mobile radio communication network), 위성 통신망, 블루투스(Bluetooth), Wibro(Wireless Broadband Internet), HSDPA(High Speed Downlink Packet Access) 등과 같은 모든 종류의 무선 네트워크를 이용하여 구현될 수 있다.

도 1에는 검사 시스템(10)의 각 장치들이 별개의 구성으로서 도시되어 있지만, 본 발명은 이에 한정되지 않고, 양부 판정 장치(120), 판정 검토 장치(140) 및 분류 장치(160) 중 어느 장치의 적어도 일부 구성이 다른 장치에 통합 구현될 수 있다. 일 실시예에 의하면, 판정 검토 장치(140)의 적어도 일부 구성은 양부 판정 장치(120)에 통합 구현될 수 있다. 예를 들어, 오차값 분포으로부터 추정을 통해 양부 판정 오류를 판단하는 판정 검토 장치(140)의 구성은 양부 판정 장치(120)에 구현될 수 있다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따라 검사체의 구조를 측정하는 측정 장치(200)의 구성을 개략적으로 나타낸 도면이다. 복수의 실시 형태에 따르면, 도 2의 측정 장치(200)는 도 1의 측정 장치(100)의 모든 기술적 특징들을 포함할 수 있다. 도 2에 도시된 바와 같이, 측정 장치(200)는 조명부(210), 촬상부(220) 및 이미지 처리부(230)를 포함한다.

조명부(210)는 검사체(20)의 일부인 검사 대상(22)을 측정하기 위해 패턴광을 검사 대상(22)에 조사한다. 예를 들어, 검사체(20)는 인쇄회로기판이고, 검사 대상(22)은 인쇄회로기판 상에 형성된 솔더 또는 인쇄회로기판 상에 실장된 전자부품이다. 다만, 본 발명에 따른 검사체(20) 및 검사 대상(22)은 이에 한정되는 것은 아니며, 3차원 구조를 갖는 임의의 제조품일 수 있다.

일 실시예에 있어서, 조명부(210)는 광을 생성하는 광원(211), 광원(211)으로부터의 광을 패턴광으로 변환하는 격자 소자(212), 격자 소자(212)를 피치 이송하는 격자 이송 기구(213) 및 격자 소자(212)에 의해 변환된 패턴광을 검사 대상(22)에 투영하는 투영 렌즈(214)를 포함한다. 예를 들면, 격자 소자(212)는 패턴광의 위상 천이를 위해 PZT 엑추에이터(piezo actuator)와 같은 격자 이송 기구(213)에 의해 소정의 거리(예를 들어, 2π/N; N은 2 이상의 자연수)만큼씩 이송될 수 있다.

도 2에 도시된 바와 같이, 조명부(210)는 2개 구비될 수 있다. 다만, 본 발명에 따른 조명부(210)는 이에 한정되지 않고, 1개 또는 3개 이상 구비될 수 있다. 조명부(210)가 2개 이상 구비된 경우, 복수의 조명부(210)는 원주 방향이나 가상의 다각 평면을 따라 일정한 각도로 이격되도록 설치되거나, 검사체(20)와 수직한 방향을 따라 일정한 간격으로 이격되도록 설치될 수 있다.

촬상부(220)는 검사 대상(22)에 의해 반사된 광을 수신하여 검사 대상(22)의 이미지 데이터를 획득할 수 있다. 촬상부(220)는 CCD(charge coupled device) 카메라 또는 CMOS(complementary metal oxide semiconductor) 카메라를 이용하여 구현될 수 있지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 촬상부(220)는 검사체(20)로부터 수직한 상부 위치에 설치될 수 있다.

이미지 처리부(230)는 촬상부(220)에 의해 획득된 이미지 데이터를 처리하여 검사 대상(22)의 구조의 측정값을 생성한다. 예를 들어, 이미지 처리부(230)는 검사 대상(22)의 이미지 데이터로부터 검사 대상(22)의 가로 길이, 세로 길이, 높이 길이, 면적, 부피 등을 측정한다. 이미지 처리부(230)에 의해 생성된 측정값은 이미지 처리부(230)의 저장부(232)에 저장되거나, 통신부(234)에 의해 양부 판정 장치(120)로 전송될 수 있다.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따라 검사체의 양부를 판정하는 양부 판정 장치(300)의 상세 구성을 도시하는 블럭도이다. 복수의 실시 형태에 따르면, 도 3의 양부 판정 장치(300)는 도 1의 양부 판정 장치(160)의 모든 기술적 특징들을 포함할 수 있다. 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 양부 판정 장치(300)는 통신부(310), 입출력부(320), 처리부(330) 및 데이터베이스(340)를 포함한다.

통신부(310)는 타 장치, 예를 들어, 도 1의 측정 장치(100), 판정 검토 장치(140) 및 분류 장치(160)와 통신할 수 있다. 통신부(310)에 있어서, 이들 장치와 통신하기 위한 하위 구성요소들은 하나의 하드웨어 장치로 통합 구성될 수 있다.

입출력부(320)는 사용자와 인터페이스하기 위한 구성으로서, 사용자 입력부(322) 및 출력부(324)를 포함한다. 사용자 입력부(322)는 사용자로부터 양부 판정과 관련한 입력을 수신할 수 있다. 예를 들어, 사용자 입력부(322)는 양부 판정에 사용된 기준값을 조정하기 위한 입력, 양부 판정 결과를 디스플레이하기 위한 입력, 양부 판정 결과 중 어느 하나를 선택하기 위한 입력 등을 수신할 수 있다. 사용자 입력부(322)는 키보드, 마우스, 터치 패드, 터치 스크린 등을 포함할 수 있다.

출력부(324)는 사용자에게 양부 판정과 관련한 출력을 제공한다. 예를 들어, 출력부(324)는 검사체(20)의 양부 판정 결과, 양부 판정에 사용된 기준값 등을 디스플레이할 수 있다. 출력부(324)는 LCD(liduid crytal display), LED(light emitting diode) 디스플레이, OLED(organic light emitting diode) 디스플레이 등을 포함할 수 있다.

처리부(330)는 양부 판정과 관련한 데이터를 처리할 수 있다. 처리부(330)는 양부 판정부(332), 판정 결과 생성부(334) 및 판정 기준 조정부(336)를 포함한다. 또한, 데이터베이스(340)는 양부 판정과 관련된 데이터를 저장하기 위한 구성으로서, 설계값 DB(342), 측정값 DB(344), 오차값 DB(346), 기준값 DB(348), 판정 결과 DB(350) 및 판정 검토 결과 DB(352)를 포함한다.

설계값 DB(342)에는 검사체(20)의 모든 검사 대상(22)에 대한 설계값이 저장된다. 예를 들어, 검사체(20)가 PCB인 경우, PCB 상에 형성된 패드의 가로 길이와 세로 길이, 패드 위에 놓여진 솔더의 부피와 면적, 솔더 위에 놓여진 전자부품으로부터 패드까지의 높이 등이 설계값으로서 설계값 DB(342)에 저장될 수 있다.

측정값 DB(344)에는 검사체(20)의 모든 검사 대상(22)에 대한 측정값이 저장된다. 측정값 DB(344)에 저장된 측정값은 설계값 DB(342)에 저장된 설계값에 대응될 수 있다. 일 실시예에 의하면, 검사체(20)에 대한 측정값은 도 2의 측정 장치(200)에 의해 생성된 것일 수 있다. 측정 장치(200)에 생성된 측정값은 측정 장치(200)의 통신부(234) 및 양부 판정 장치(300)의 통신부(310)를 통해 측정값 DB(344)에 저장될 수 있다.

양부 판정부(332)는 검사체(20)의 검사 대상(22)의 설계값에 대한 측정값의 오차값을 산출할 수 있다. 양부 판정부(332)는 설계값 DB(342)에 저장된 검사체(20)의 검사 대상(22)의 설계값과 측정값 DB(344)에 저장된 검사체(20)의 검사 대상(22)의 측정값의 차를 오차값으로서 산출한다. 산출된 오차값은 오차값 DB(346)에 저장될 수 있다.

양부 판정부(332)는 검사체(20)의 구조가 소정의 기준을 만족하는지 여부를 판정할 수 있다. 양부 판정부(332)는 오차값 DB(346)에 저장된 오차값과 기준값 DB(348)에 저장된 기준값을 비교하여 검사체(20)의 양호 또는 불량을 판정할 수 있다. 일 실시예에 의하면, 양부 판정부(332)는 검사체(20)의 검사 대상(22)에 대한 오차값이 해당 검사 대상(20)에 대한 기준값 이하인 경우 검사체(20)를 양호라고 판정하고, 해당 오차값이 해당 기준값 초과인 경우 검사체(20)를 불량이라고 판정할 수 있다. 예를 들어, 검사체(20)의 패드의 세로 길이에 대한 기준값이 0.5 mm로 설정된 경우, 양부 판정부(332)는 패드의 세로 길이에 대한 오차값이 0.6 mm인 검사체(20)를 불량이라고 판정하고, 오차값이 0.4 mm인 검사체(20)를 양호라고 판정한다. 양부 판정부(332)에 의해 생성된 양부 판정 결과는 판정 결과 DB(350)에 저장될 수 있다.

판정 검토 결과 DB(352)에는 검사체(20)의 검사 대상(22)에 대한 양부 판정부(332)의 양부 판정에 오류가 있는지 여부를 나타내는 판정 검토 결과가 저장된다. 검사 대상(22)에 대한 양부 판정에 오류가 발생한 경우, 해당 검사 대상(22)에 대한 판정 검토 결과로서 '판정 오류'가 표시될 수 있다. 판정 오류는, 양부 판정부(332)에 의해 양호라고 판정된 검사 대상(22)이 실제로는 불량인 제 1 타입(Escape), 및 양부 판정부(332)에 의해 불량이라고 판정된 검사 대상(22)이 실제로는 양호인 제 2 타입(False Call)을 포함한다.

일 실시예에 의하면, 판정 검토 결과 DB(352)에 저장된 판정 검토 결과는 도 1의 판정 검토 장치(140)에 의해 생성된 것일 수 있다. 통신부(310)는 판정 검토 장치(140)에 의해 생성된 판정 검토 결과를 수신하여 판정 검토 결과 DB(352)에 저장할 수 있다. 또한, 판정 검토 장치(140)에 의해 추정된 양호 오차값 분포, 양호 오차값 범위, 불량 오차값 분포(만약 있다면) 및 불량 오차값 범위(만약 있다면)도 양부 판정 장치(300)의 통신부(310)를 통해 판정 검토 결과 DB(352)에 저장될 수 있다.

판정 결과 생성부(334)는 오차값에 따른 검사체의 수를 나타내는 검사 결과 그래프를 생성할 수 있다. 일 실시예에 의하면, 검사 결과 그래프는 2차원 그래프로서, 가로축은 오차값을 나타내고, 세로축은 해당 오차값을 갖는 검사체(20)의 수를 나타낼 수 있다. 또한, 판정 결과 생성부(334)는 검사 결과 그래프 상에, 사용자 조작에 의해 이동 가능한 GUI(graphical user interface) 객체를 기준값으로서 나타낼 수 있다. 예를 들어, 기준값을 나타내는 GUI 객체는 바(bar), 화살표, 선, 점, 사각형 등의 형상을 가질 수 있다.

판정 결과 생성부(334)는 검사체(20)의 양부 판정 결과를 검사 결과 그래프에 나타낼 수 있다. 일 실시예에 의하면, 판정 결과 생성부(334)는 검사 결과 그래프 상에 양부 판정 결과로서, 양호, 경고 및 불량을 나타낼 수 있다. 예를 들어, 판정 결과 생성부(334)는 검사 결과 그래프 상에서 오차값이 기준값 이하인 영역을 양호라고 표시하고, 오차값이 기준값 초과인 영역을 불량이라고 표시한다. 또한, 판정 결과 생성부(334)는 검사 결과 그래프 상에서 오차값이 기준값에 가까운 소정의 영역을 경고라고 표시한다. 이 경우, 검사 결과 그래프 상에는 경고에 해당하는 영역의 경계가 표시될 수 있다. 또한, 일 실시예에 의하면, 판정 결과 생성부(334)는 검사 결과 그래프 상에 양호, 경고 및 불량에 해당하는 검사체(20)의 수를 각각 나타낼 수 있다.

판정 결과 생성부(334)는 양부 판정 결과에 대한 검토 결과를 검사 결과 그래프에 나타낼 수 있다. 일 실시예에 의하면, 판정 결과 생성부(334)는 검사 결과 그래프 상에 판정 검토 결과로서, 제 1 타입(Escape)의 오류 및 제 2 타입(False Call)의 오류를 나타낼 수 있다. 예를 들어, 판정 결과 생성부(334)는 검사 결과 그래프 상에서 오차값이 기준값 초과인 영역 중 실제 양호로 판단된 검사체(20)가 속한 영역을 제 1 타입(Escape)의 오류로 표시한다. 또한, 판정 결과 생성부(334)는 검사 결과 그래프 상에서 오차값이 기준값 이하인 영역 중 실제 불량으로 판단된 검사체(20)가 속한 영역을 제 2 타입(False Call)의 오류로 표시한다.

일 실시예에 의하면, 제 1 타입의 오류, 제 2 타입의 오류와 같은 판정 오류들은 판정 검토 장치(140)에 의한 정밀 검사를 통해 판단될 수 있다. 판정 검토 장치(140)는 검사체(20)의 구조를 보다 정밀하게 측정할 수 있는 장치 또는 검사체(20)의 전기적 특성을 측정할 수 있는 장치를 포함할 수 있다. 판정 검토 장치(140)는 검사체(20)의 구조적 전기적 특성들을 보다 정밀하게 측정함으로써, 검사체(20)가 실제 양호인지 불량인지 판단할 수 있다. 그 결과, 판정 검토 장치(140)는 양호라고 판정된 검사체(20) 중 실제 불량인 검사체(20)와, 불량이라고 판정된 검사체(20) 중 실제 양호인 검사체(20)를 판별할 수 있다.

다른 실시예에 의하면, 판정 오류들은 판정 검토 장치(140)에 의한 오차값 분포로부터의 추정을 통해 판단될 수 있다. 판정 검토 장치(140)는 측정 장치(100)에 의해 측정된 검사체(20)의 오차값 분포에 피팅되는 적어도 하나의 확률 분포 곡선을 결정하고, 결정된 확률 분포 곡선들 중 원점에 가장 가까운 확률 분포 곡선을 양호 오차값 분포로 간주하고, 나머지 확률 분포 곡선들(만약 있다면)을 불량 오차값 분포로 간주할 수 있다. 판정 검토 장치(140)는 양호 오차값 분포로부터 양호 오차값 범위를 추정하고, 불량 오차값 분포(만약 있다면)로부터 불량 오차값 범위를 추정할 수 있다. 또한, 판정 검토 장치(140)는 양호 오차값 범위 및 불량 오차값 범위(만약 있다면)에 기초하여, 검사체(20) 중 판정 오류가 발생한 검사체(20)를 판별할 수 있다.

전술한 실시예에 의하면, 판정 검토 장치(140)는 오차값 분포로부터 추정을 통해 양부 판정 오류를 판단하고, 판정 결과 생성부(334)는 판정 검토 장치(140)에 의해 판단된 양부 판정 오류를 기초로 판정 오류가 발생한 검사체(20)를 식별하지만, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, 판정 결과 생성부(334)가 직접 오차값 분포로부터 추정을 통해 양부 판정 오류를 판단하여, 판정 오류가 발생한 검사체(20)를 식별하도록 구현될 수 있다.

일 실시예에 의하면, 판정 결과 생성부(334)는 기준값이 갱신될 수 있도록 후보 기준값을 결정할 수 있다. 판정 결과 생성부(334)는 판정 오류가 발생한 검사체(20)의 수가 감소되거나 최소가 되도록 하는 적어도 하나의 후보 기준값을 결정할 수 있다. 예를 들어, 판정 결과 생성부(334)는, 기준값이 후보 기준값으로 갱신되는 것에 의해, 제 1 타입(Escape)의 오류 또는 제 2 타입(False Call)의 오류에 대응하는 영역이 감소하거나 없어지도록 하는 후보 기준값을 결정할 수 있다. 판정 결과 생성부(334)는 결정된 적어도 하나의 후보 기준값을 검사 결과 그래프 상에 나타낼 수 있다. 예를 들어, 후보 기준값은 점, 선, 사각형, 화살표 등으로 표시될 수 있다.

일 실시예에 의하면, 판정 결과 생성부(334)는 판정 검토 장치(140)에 의해 추정된 검사체(20)의 양호 오차값 범위 및 불량 오차값 범위(만약 있다면)에 기초로 후보 기준값을 결정할 수 있다. 만약 불량 오차값 범위가 있는 경우, 판정 결과 생성부(334)는 양호 오차값 범위의 최대값보다 크거나 같고, 불량 오차값 범위의 최소값보다 작거나 같은 어떤 값들 중에서 후보 기준값을 결정할 수 있다. 만약 불량 오차값 범위가 없는 경우, 판정 결과 생성부(334)는 양호 오차값 범위의 최대값보다 크거나 같은 어떤 값들 중에서 후보 기준값을 결정할 수 있다.

일 실시예에 의하면, 사용자는 사용자 입력부(322)를 통해 검사 결과 그래프 상의 소정 영역을 선택할 수 있다. 판정 결과 생성부(334)는 사용자 입력부(322)를 통해 수신한 사용자의 입력에 응답하여, 선택된 소정 영역을 확대하여 확대된 소정 영역을 출력부(324)를 통해 출력할 수 있다. 예를 들어, 확대된 소정 영역은 검사 결과 그래프에 오버랩되도록 출력될 수 있다.

일 실시예에 의하면, 판정 결과 생성부(334)는 검사체(20)에 대한 측정값, 오차값, 양부 판정 결과 및 판정 오류 검토 결과 중 적어도 하나를 포함한 검사 결과 리스트를 생성할 수 있다. 판정 결과 생성부(334)는 출력부(324)를 통해 검사 결과 그래프 및 검사 결과 리스트를 출력할 수 있다. 사용자는 출력부(324)를 통해 검사 결과 그래프 및 검사 결과 리스트를 확인할 수 있다.

일 실시예에 의하면, 사용자는 사용자 입력부(322)를 통해 검사 결과 리스트에서 어느 하나의 검사체(20)를 선택할 수 있다. 판정 결과 생성부(334)는 사용자 입력부(322)를 통해 수신한 사용자의 입력에 응답하여, 선택된 검사체(20)의 오차값을 검사 결과 그래프에 나타낼 수 있다. 예를 들어, 선택된 검사체(20)의 오차값은 점, 선, 사각형, 화살표 등으로 표시될 수 있다. 다른 실시예에 의하면, 사용자로부터 검사체(20)의 선택에 관한 입력이 없는 경우, 가장 최근에 양부 판정이 이루어진 검사체(20)가 자동으로 선택될 수 있다. 이 경우, 가장 최근에 양부 판정이 이루어진 검사체(20)의 오차값이 검사 결과 그래프에 나타날 수 있다.

판정 기준 조정부(336)는 사용자로부터 사용자 입력부(322)를 통하여 수신된 입력에 따라 기준값을 갱신할 수 있다. 일 실시예에 의하면, 판정 기준 조정부(336)는 사용자로부터 검사 결과 그래프 상에서 기준값을 나타내는 GUI 객체의 위치를 이동시키는 그래픽적 입력을 수신할 수 있다. 예를 들어, 사용자는 사용자 입력부(322)로서 마우스를 이용하여, 검사 결과 그래프 상에서 기준값을 나타내는 이동 가능한 바 형상의 GUI 객체를 클릭하여 소정 위치까지 드래그할 수 있다. 이 경우, 판정 기준 조정부(336)는 이러한 그래픽적 입력에 응답하여, 기준값을 드래그된 소정 위치에 대응하는 값으로 갱신할 수 있다. 다른 실시예에 의하면, 판정 기준 조정부(336)는 사용자로부터 검사 결과 그래프 상에서 소정 위치를 지정하는 그래픽적 입력을 수신할 수 있다. 예를 들어, 사용자는 사용자 입력부(322)로서 마우스를 이용하여, 검사 결과 그래프 상에서 소정 위치를 클릭할 수 있다. 이 경우, 판정 기준 조정부(336)는 이러한 그래픽적 입력에 응답하여, 기준값을 클릭된 소정 위치에 대응하는 값으로 갱신할 수 있다. 갱신된 기준값은 판정 기준 조정부(336)에 의해 기준값 DB(348)에 저장될 수 있다.

양부 판정부(332)는 판정 기준 조정부(336)에 의해 갱신된 기준값을 기초로 검사체(20)에 대한 양호 또는 불량을 재판정할 수 있다. 일 실시예에 의하면, 양부 판정부(332)는 검사체(20)의 검사 대상(22)에 대한 오차값이 갱신된 기준값 이하인 경우 검사체(20)를 양호라고 재판정하고, 해당 오차값이 갱신된 기준값 초과인 경우 검사체(20)를 불량이라고 판정할 수 있다.

또한, 양부 판정부(332)는 검사체(20) 중 재판정 오류가 발생한 검사체(20)를 식별할 수 있다. 일 실시예에 의하면, 양부 판정부(332)는 검사체(20)의 재판정 결과 및 판정 검토 결과 DB(352)에 저장된 판정 검토 결과를 기초로, 재판정 오류가 발생한 검사체(20)를 식별할 수 있다. 예를 들어, 양부 판정부(332)는 실제 불량이지만 양호로 재판정된 검사체(20)에 대하여 제 1 타입(Escape)의 오류라고 판단하고, 실제 양호이지만 불량으로 재판정된 검사체(20)에 대하여 제 2 타입(False Call)의 오류라고 판단할 수 있다.

판정 결과 생성부(334)는 판정 기준 조정부(336)에 의해 갱신된 기준값, 갱신된 기준값을 이용한 양부 재판정 결과, 및 양부 재판정 결과에 대한 판정 검토 결과를 검사 결과 그래프에 나타낼 수 있다. 사용자는 출력부(324)를 통해 출력된 검사 결과 그래프를 확인함으로써, 갱신 전 기준값을 이용한 양부 판정에서 발생한 오류에 비해 갱신된 기준값을 이용한 양부 재판정에서 발생한 오류가 감소한 것을 확인할 수 있다.

전술한 바와 같이, 본 발명의 복수의 실시예에 의한 양부 판정 장치(300)는 검사체에 대한 양부 판정 결과와 기준값을 그래픽적으로 나타내고, 사용자의 그래픽적 입력에 의해 기준값을 조정할 수 있다. 또한, 양부 판정 장치(300)는 재설정된 기준값을 기초로 검사체에 대한 양부 재판정을 실행하고, 양부 재판정에 오류가 없는지 검토하며, 양부 재판정 결과 및 이에 대한 판정 검토 결과를 그래픽적으로 나타낼 수 있다. 그 결과, 사용자가 보다 효율적이고 간편하게 검사체의 양부 판정에 사용되는 기준값을 조정할 수 있다.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 결과 리스트(400)를 나타낸 도면이다. 복수의 실시 형태에 따르면, 도 4의 검사 결과 리스트(400)는 도 3의 판정 결과 생성부(334)에 의해 생성되어 출력부(324)를 통해 출력될 수 있다.

도 4에 도시된 바와 같이, 검사 결과 리스트(400)는 복수의 검사체 각각에 대한 검사 결과 데이터(410, 420, 430, 440, 450, 460)를 포함한다. 각각의 검사 결과 데이터(410, 420, 430, 440, 450, 460)는 해당 검사체에 대한 검사체 ID, 검사체 ID, 검사 대상, 측정 대상, 측정값, 오차값, 양부 판정 결과 및 판정 검토 결과를 포함한다.

검사 결과 데이터(410, 430, 450)에는 검사체 상에 형성된 '패드 1'의 가로 길이를 측정한 측정값 및 측정값과 설계값 10.0 mm과의 차가 계산된 오차값이 포함되어 있다. '패드 1'의 가로 길이의 양부 판정에 이용된 기준값은 0.5 mm로 설정된 것을 가정한다. 검사 결과 데이터(410)를 참조하면, 검사체 ID가 '1'인 검사체는 오차값이 0.5 mm 이하이므로 양호라고 판정된다. 반면, 검사 결과 데이터(430, 450)를 참조하면, 검사체 ID가 '2', '459'인 검사체는 오차값이 0.5 mm를 초과하였으므로 불량으로 판정된다. 이 중, 검사체 ID가 '459'인 검사체는 양부 판정 검토 결과 제 2 타입(False Call)의 오류가 발생한 것으로 판단된다. 예를 들어, 검사체 ID가 '459'인 검사체에 있어서, '패드 1'의 가로 길이는 기설정된 판정 기준에 의하면 불량이지만, 실제로는 양호한 특성을 갖는다.

검사 결과 데이터(420, 440, 460)에는 검사체 상에 형성된 '패드 1'의 세로 길이를 측정한 측정값 및 측정값과 설계값 10.0 mm과의 차가 계산된 오차값이 포함되어 있다. '패드 1'의 세로 길이의 양부 판정에 이용된 기준값은 0.5 mm로 설정된 것을 가정한다. 검사 결과 데이터(410)를 참조하면, 검사체 ID가 '1', '2', '459'인 검사체는 오차값이 0.5 mm 이하이므로 양호라고 판정된다. 이 중, 검사체 ID가 '459'인 검사체는 양부 판정 검토 결과 제 1 타입(Escape)의 오류가 발생한 것으로 판단된다. 예를 들어, 검사체 ID가 '459'인 검사체에 있어서, '패드 1'의 세로 길이는 기설정된 판정 기준에 의하면 양호이지만, 실제로는 불량한 특성을 갖는다.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따라 양부 판정 결과 및 판정 검토 결과를 나타낸 검사 결과 그래프(500)를 도시한 도면이다. 복수의 실시 형태에 따르면, 도 5의 검사 결과 그래프(500)는 도 3의 판정 결과 생성부(334)에 의해 생성되어 출력부(324)를 통해 출력될 수 있다. 일 실시 형태에 따르면, 도 5의 검사 결과 그래프(500)는, 도 4의 검사 결과 리스트(400)에서 어느 하나의 검사 결과 데이터(예를 들어, 검사 결과 데이터(450))를 선택하는 입력을 사용자 입력부(322)를 통해 수신하는 것에 응답하여 생성된 것일 수 있다.

도 5에 도시된 바와 같이, 검사 결과 그래프(500)의 가로축은 오차값을 나타내고, 세로축은 검사체의 수를 나타낸다. 검사 결과 그래프(500)는 해당 오차값을 갖는 검사체의 수를 나타내는 커브(510)를 포함한다. 또한, 검사 결과 그래프(500)에는 검사체의 양부 판정에 이용된 제 1 기준값을 나타내는 제 1 기준값 GUI(520), 및 양호로 판정된 검사체 중 경고에 해당하는 검사체를 판정하는 데 이용된 제 2 기준값을 나타내는 제 2 기준값 GUI(530)가 포함될 수 있다. 예를 들어, 제 2 기준값은 제 1 기준값의 90%로 설정될 수 있다.

또한, 검사 결과 그래프(500)에는 검사체 중 어느 특정한 한 검사체, 예를 들어 사용자가 특별히 관심을 두고 있는 검사체의 오차값 p을 나타내는 샘플 오차값 인디케이터(540)가 포함될 수 있다. 일 예로서, 샘플 오차값 인디케이터(540)는 도 4의 검사 결과 리스트(400)에서 선택된 검사체의 오차값을 나타낼 수 있다. 다른 예로서, 샘플 오차값 인디케이터(540)는 검사체 중 가장 최근에 검사된 검사체의 오차값을 나타낼 수 있다.

검사 결과 그래프(500)에는 양부 판정 결과 및 판정 검토 결과가 나타날 수 있다. 검사 결과 그래프(500)에는 양부 판정 결과로서 양호, 경고 및 오류 각각에 해당하는 영역과, 판정 검토 결과로서 불량에 해당하는 영역이 표시될 수 있다. 또한, 검사 결과 그래프(500)에는 양호, 경고, 오류 및 불량 각각에 해당하는 검사체의 수도 표시될 수 있다. 도 5에 도시된 바와 같이, 오차값이 제 1 기준값 b 이하인 352개의 검사체는 양호로 판정되었고, 오차값이 제 1 기준값 b를 초과하는 107개의 검사체는 일단 불량으로 판정되었다. 특히, 양호인 352개의 검사체 중에서도 오차값이 제2 기준값 a과 제1 기준값 b 사이에 있는 57개의 검사체는 양호로 판정되기는 했지만 제1 기준값에 근접하므로 경고로 분류되었다. 한편, 오차값이 d와 e 사이에 있는 60개의 검사체들은 주어진 공정 상의 자연적인 오차 분포 양상을 벗어나 있으므로 주어진 공정에 속하지 않는 어떤 문제로 인해 불량이 발생한 것으로 판단될 수 있다. 하지만 오차값이 제 1 기준값 b와 c 사이에 있는 47개의 검사체들의 오차 분포는 양호인 352개의 검사체들의 자연적인 오차 분포에 일관적이므로, 불량으로 판정된 b와 c 사이에 있는 47개의 검사체들은 주어진 공정에 따른 정상적인 결과로서 실제로는 양호할 수 있다. 이에 따라, 제 1 기준값 b와 c 사이에 있는 47개의 검사체들은 제 2 타입의 오류(false call)로 판정될 수 있다. 실제로 그러한 판정이 제 2 타입의 오류인지 검증하기 위해 사용자는 오차값이 제 1 기준값 b와 c 사이의 p인 특정한 검사체를 선택하여 조사할 수 있다.

만약 제 1 기준값을 b에서 유지한다면, d와 e 사이의 비정상적인 오차값을 유발하는 공정 상의 비정상적인 문제가 해소되더라도, 정상적인 공정으로는 오차값이 0부터 c 사이에서 자연스럽게 분포할 것이므로, 이러한 공정에 따라 제품 생산이 계속 진행된다면, 이후에 생산되는 제품들의 상당량은 지속적으로 제 1 기준값 b와 c 사이의 오차값을 가지면서 불량으로 판정될 것이다. 즉, 도 5의 예시에서는, 제품 생산 공정 자체가 잘못되지 않았다면, 양호와 불량을 판정하기 위한 제 1 기준값이 제품 생산 공정의 자연적인 오차 분포 특성을 반영하지 못하고 과도하게 엄격하게 설정된 것일 수 있다.

검사 결과 그래프(500)에는 판정 오류가 발생한 검사체의 수가 최소가 되도록 하는 후보 기준값을 나타내는 후보 기준값 인디케이터(550)가 포함될 수 있다. 후보 기준값은 오류로 판단된 검사체의 수가 최소(예를 들어, 0)가 되도록 하는 기준값의 후보로서, 오차값이 c와 d 사이인 범위 내에서 선택될 수 있다. 도 5에는 후보 기준값 인디케이터(550)가 점으로 표시되어 있으나, 이에 한정되지는 않고, 화살표, 선, 사각형 등 다양한 형태로 표시될 수 있다. 또한, 도 5에는 후보 기준값 인디케이터(550)가 단수 표시되어 있으나, 이에 한정되지는 않고, 복수 표시되거나, 범위로 표시될 수 있다.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따라 기준값이 갱신된 검사 결과 그래프(600)를 나타낸 도면이다. 일 실시예에 의하면, 도 6의 검사 결과 그래프(600)은 도 5의 검사 결과 그래프(500)로부터 기준값이 갱신된 것일 수 있다.

일 실시 형태에 따르면, 사용자는 검사 결과 그래프(600) 상에서 사용자 입력부(322)를 통해 기준값을 갱신할 수 있다. 일 예로서, 사용자는 사용자 입력부(322)로서 마우스를 이용하여 검사 결과 그래프(600) 상에서 제 1 기준값 GUI(520)를 후보 기준값 인디케이터(550)의 위치까지 드래그할 수 있다. 다른 예로서, 사용자는 터치 패드를 이용하여 검사 결과 그래프(600) 상에서 후보 기준값 인디케이터(550)의 위치를 터치할 수 있다. 이와 같이, 사용자 입력부(322)를 통한 그래픽적 입력에 의해, 검사 결과 그래프(600)에서 제 1 기준값 GUI(520)의 위치가 이동된다. 또한, 제 1 기준값 GUI(520)의 위치가 이동됨에 따라 제 1 기준값도 갱신될 수 있다. 예를 들어, 도 6에 도시된 바와 같이, 제 1 기준값이 b에서 b'로 갱신된다.

일 실시예에 의하면, 제 1 기준값 GUI(520)의 위치가 이동됨에 따라, 제 2 기준값 GUI(530)의 위치도 별도의 사용자 입력 없이, 이동될 수 있다. 예를 들어, 제 1 기준값에 대한 제 2 기준값의 비율이 90%로 설정된 경우, 제 2 기준값이 갱신된 제 1 기준값의 90%가 되도록 제 2 기준값 GUI(530)가 우측으로 이동될 수 있다. 도 6에 도시된 바와 같이, 제 1 기준값 GUI(520)의 이동에 의하여, 제 2 기준값이 a에서 b'의 90%인 a'로 갱신되도록 제 2 기준값 GUI(530)가 이동될 수 있다. 다른 실시예에 의하면, 제 2 기준값(530)은 검사 결과 그래프(600) 상에서 사용자 입력부(322)를 통한 그래픽적 입력에 의해 제 2 기준값 GUI(530)의 위치가 이동될 수 있다.

일 실시예에 의하면, 제 1 및 제 2 기준값 GUI(520, 530)이 이동되는 것에 응답하여, 양부 판정부(332)는 갱신된 제 1 및 제 2 기준값을 기초로 검사체 각각에 대한 양부 재판정을 실행할 수 있다. 양부 판정부(332)는 검사체 각각의 오차값이 제 1 기준값인 b' 이하인 경우 양호로 판정하고, 검사체 각각의 오차값이 b'초과인 경우 불량으로 판정할 수 있다. 또한, 양부 판정부(332)는 검사체 각각의 오차값이 제 2 기준값인 a' 초과 b' 이하인 경우 경고로 판정할 수 있다. 또한, 양부 판정부(332)는 검사체 중 재판정 오류가 발생한 검사체를 식별할 수 있다.

검사 결과 그래프(600)에는 양부 재판정 결과 및 재판정 검토 결과가 나타날 수 있다. 도 6에 도시된 바와 같이, 오차값이 b' 이하인 399개의 검사체가 '양호', 오차값이 a' 초과 b' 이하인 12개의 검사체가 '경고', 오차값이 d 이상 e 이하인 60개의 검사체가 '불량'으로 각각 판단된다. 도 5의 검사 결과 그래프(500)와 비교하면, 양부 판정에 대하여 오류가 발생한 검사체의 수가 도 5의 47개에서 도 6의 0개로 변화된다. 다시 말해, 검사체의 양부 판정의 기준으로 이용되는 제 1 기준값이 갱신됨으로써 양부 판정의 오류가 최소화된다.

이와 같이, 사용자의 그래픽적 입력에 의해 제 1 기준값 GUI(520)이 이동됨으로써, 양부 판정 장치(300)은 갱신된 기준값에 따라 검사체의 양부를 새로이 판정할 수 있다. 즉, 사용자가 일일이 측정값을 육안으로 확인하여 새로운 기준값을 결정하고 이를 수치로 입력하여야 했던 종래의 프로세스와는 달리, 본 발명에 의하면, 사용자가 검사 결과 그래프를 보면서 새로운 기준값을 결정할 수 있고, 그래픽적 입력에 의해 기준값을 갱신할 수 있다. 그 결과, 판정 오류가 시각적으로 나타난 상태에서 제 1 기준값 GUI(520)를 이동시킴으로써 제 1 기준값을 변경하는 것이 가능하므로, 판정 오류를 신속하고 편리하게 정정하는 것이 가능하다. 또한, 갱신된 기준값에 기초하여 검사체의 양부를 새로이 판정할 수 있으므로, 사용자 편의성이 도모될 수 있다.

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따라 일부 영역이 확대된 검사 결과 그래프를 나타낸 도면이다. 도 7의 검사 결과 그래프(700)는 검사체의 양부 판정 결과 및 판정 검토 결과를 나타낸 그래프로서, 도 5의 검사 결과 그래프(500)와 동일한 것일 수 있다.

일 실시예에 의하면, 사용자는 출력부(324)를 통해 출력된 검사 결과 그래프(700)의 적어도 일부를 사용자 입력부(322)를 이용하여 확대할 수 있다. 일 예로서, 사용자는 사용자 입력부(322)로서 마우스를 이용하여 검사 결과 그래프(700) 상에서 소정 영역(710)을 선택할 수 있다. 소정 영역(710)을 선택하는 것에 응답하여, 판정 결과 생성부(334)는 소정 영역(710)을 확대한 확대 그래프(720)를 생성할 수 있다. 생성된 확대 그래프(720)는 출력부(324)를 통해 출력될 수 있다. 확대 그래프(720)는 검사 결과 그래프(700)와 별도로 출력되거나, 검사 결과 그래프(700) 상에 오버랩되도록 출력될 수 있다.

도 8은 본 발명의 일 실시예에 따라 양부 판정 결과 및 판정 검토 결과를 나타낸 검사 결과 그래프(800)를 나타낸 도면이다. 복수의 실시 형태에 따르면, 도 8의 검사 결과 그래프(800)는 도 3의 판정 결과 생성부(334)에 의해 생성되어 출력부(324)를 통해 출력될 수 있다. 일 실시 형태에 따르면, 도 8의 검사 결과 그래프(800)는, 도 4의 검사 결과 리스트(400)에서 어느 하나의 검사 결과 데이터(예를 들어, 검사 결과 데이터(460))를 선택하는 입력을 사용자 입력부(322)를 통해 수신하는 것에 응답하여 생성된 것일 수 있다.

검사 결과 그래프(800)에는 해당 오차값을 갖는 검사체의 수를 나타내는 커브(810) 및 검사체의 양부 판정에 이용된 기준값을 나타내는 기준값 GUI(820)이 포함되어 있다. 도 8에 도시된 바와 같이, 오차값이 제 1 기준값 d 이하인 330개의 검사체가 '양호'로 판정되고, 오차값이 제 1 기준값 d보다 큰 e에서 f 사이인 129 개의 검사체가 '불량'으로 판정되었다. 이때, 양호인 330개의 검사체 중에서도 오차값이 b와 c 사이에 있는 25개의 검사체는 양호로 판정되기는 했지만, 주어진 공정 상의 자연적인 오차 분포 양상(0부터 a까지)을 벗어나 있으므로, 실제로는 주어진 공정에 속하지 않는 어떤 문제로 인해 불량일 수 있다. 이에 따라, b와 c 사이에 있는 25개의 검사체들은 제 1 타입의 오류(escape)로 판정될 수 있다.

만약 제 1 기준값 d를 유지한다면, e와 f 사이의 비정상적인 오차값을 유발하는 공정 상의 비정상적인 문제가 해소되더라도, 정상적인 공정으로는 오차값이 0부터 a 사이에서만 자연스럽게 분포할 것이므로, 이러한 공정에 따라 제품 생산이 계속 진행된다면, 이후에 생산되는 제품들의 상당량은 실제로는 불량이면서 지속적으로 제 1 기준값 d보다 낮은 오차값을 보이면서 양호로 판정될 것이다. 즉, 도 8의 예시에서는, 제품 생산 공정 자체가 잘못되지 않았다면, 양호와 불량을 판정하기 위한 제 1 기준값이 제품 생산 공정의 자연적인 오차 분포 특성을 반영하지 못하고 과도하게 여유롭게 설정된 것일 수 있다.

검사 결과 그래프(800)에는 판정 오류가 발생한 검사체의 수가 최소가 되도록 하는 후보 기준값을 나타내는 후보 기준값 인디케이터(830)가 포함될 수 있다. 후보 기준값은 오류로 판단된 검사체의 수가 최소(예를 들어, 0)가 되도록 하는 기준값의 후보로서, 오차값이 a와 b 사이인 범위 내에서 선택될 수 있다. 도 8에는 후보 기준값 인디케이터(830)가 점으로 표시되어 있으나, 이에 한정되지는 않고, 화살표, 선, 사각형 등 다양한 형태로 표시될 수 있다. 또한, 도 8에는 후보 기준값 인디케이터(830)가 단수 표시되어 있으나, 이에 한정되지는 않고, 복수 표시되거나, 범위로 표시될 수 있다. 또한, 도 8에는 도시되어 있지 않지만, 일 실시예에 의한 검사 결과 그래프(800)는 양호로 판정된 검사체 중 경고에 해당하는 검사체를 판정하는 데 이용된 기준값을 나타내는 GUI, 및 복수의 검사체 중 어느 하나의 오차값을 나타내는 인티케이터를 포함할 수 있다.

도 9는 본 발명의 일 실시예에 따라 기준값이 갱신된 검사 결과 그래프(900)를 나타낸 도면이다. 일 실시예에 의하면, 도 9의 검사 결과 그래프(900)는 도 8의 검사 결과 그래프(800)로부터 기준값이 갱신된 것일 수 있다.

일 실시 형태에 따르면, 사용자는 검사 결과 그래프(900) 상에서 사용자 입력부(322)를 통해 기준값을 갱신할 수 있다. 일 예로서, 사용자는 사용자 입력부(322)로서 마우스를 이용하여 검사 결과 그래프(900) 상에서 기준값 GUI(820)를 후보 기준값 인디케이터(830)의 위치까지 드래그할 수 있다. 다른 예로서, 사용자는 터치 패드를 이용하여 검사 결과 그래프(900) 상에서 후보 기준값 인디케이터(830)의 위치를 터치할 수 있다. 이와 같이, 사용자 입력부(322)를 통한 그래픽적 입력에 의해, 검사 결과 그래프(900)에서 기준값 GUI(820)의 위치가 이동된다. 또한, 기준값 GUI(820)의 위치가 이동됨에 따라 기준값도 갱신될 수 있다. 예를 들어, 도 9에 도시된 바와 같이, 기준값이 d에서 d'로 갱신된다.

일 실시예에 의하면, 기준값 GUI(820)가 이동되는 것에 응답하여, 양부 판정부(332)는 갱신된 기준값을 기초로 검사체 각각에 대한 양부 재판정을 실행할 수 있다. 양부 판정부(332)는 검사체 각각의 오차값이 기준값인 d' 이하인 경우 양호로 판정하고, 검사체 각각의 오차값이 d' 초과인 경우 불량으로 판정할 수 있다. 또한, 양부 판정부(332)는 검사체 중 재판정 오류가 발생한 검사체를 식별할 수 있다.

검사 결과 그래프(900)에는 양부 재판정 결과 및 재판정 검토 결과가 나타날 수 있다. 도 9에 도시된 바와 같이, 오차값이 d' 이하인 305개의 검사체가 '양호', 오차값이 d' 초과인 154개의 검사체가 '불량'으로 각각 판단된다. 도 8의 검사 결과 그래프(800)와 비교하면, 양부 판정에 대하여 오류가 발생한 검사체의 수가 도 8의 25개에서 도 9의 0개로 변화된다. 다시 말해, 검사체의 양부 판정의 기준으로 이용되는 기준값이 갱신됨으로써 양부 판정의 오류가 최소화된다.

도 10은 본 발명의 실시예에 따라 검사체에 대한 양부 판정 조건을 조정하는 방법을 나타낸 순서도이다. 도 10에 도시된 단계들의 적어도 일부는 도 1 내지 도 3에 도시된 구성들에 의해 수행될 수 있다.

먼저, 단계(S1000)에서, 양부 판정 장치(300)는 복수의 검사체의 구조의 측정값을 획득한다. 예를 들어, 측정 장치(100)는 검사체에 광을 조사하고, 검사체로부터 반사된 광을 수광하며, 수광된 광을 기초로 검사체의 이미지 데이터를 생성할 수 있다. 또한, 측정 장치(100)는 이미지 데이터에 기초하여, 검사체의 구조를 측정한 측정값을 생성할 수 있다. 양부 판정 장치(300)는 통신부(310)를 통해 측정 장치(100)에 의해 생성된 측정값을 획득할 수 있다.

다음으로, 단계(S1010)에서, 양부 판정부(332)는 복수의 검사체 각각에 대한 양부 판정을 실행한다. 예를 들어, 양부 판정부(332)는 단계(S1000)에서 획득된 측정값이 소정 범위 내인지 판단함으로써 검사체의 양호 또는 불량을 판정할 수 있다. 양부 판정부(332)는 검사체의 구조의 설계값에 대한 측정값의 오차값을 산출하고, 산출된 오차값과 소정의 기준값을 비교한다. 양부 판정부(332)는 오차값이 소정의 기준값 이하인 검사체를 양호(Good)라고 판정하고, 오차값이 소정의 기준값을 초과하는 검사체를 불량(NG)이라고 판정할 수 있다.

다음으로, 단계(S1020)에서, 판정 결과 생성부(334)는 복수의 검사체 중 판정 오류가 발생한 검사체를 식별한다. 예를 들어, 판정 결과 생성부(334)는 단계(S1010)에서 얻어진 검사체의 양부 판정 결과 및 판정 검토 장치(140)에 의한 판정 검토 결과를 기초로, 복수의 검사체 중 판정 오류가 발생한 검사체를 식별한다. 여기서, 판정 오류는 양호라고 판정된 검사체가 실제 불량으로 식별된 제 1 오류, 및 불량이라고 판정된 검사체가 실제 양호로 식별된 제 2 오류를 포함한다.

일 실시예에 의하면, 판정 검토 장치(140)는 측정 장치(100)에 의해 측정된 검사체(20)의 오차값 분포를 기초로 양호 오차값 분포 및 불량 오차값 분포(만약 있다면)를 결정하고, 양호 오차값 분포 및 불량 오차값 분포(만약 있다면)로부터 양호 오차값 범위 및 불량 오차값 범위(만약 있다면)를 각각 추정할 수 있다. 또한, 판정 검토 장치(140)는 양호 오차값 범위 및 불량 오차값 범위(만약 있다면)에 기초하여, 검사체(20) 중 판정 오류가 발생한 검사체(20)를 판별할 수 있다. 또한, 판정 결과 생성부(334)는 판정 검토 장치(140)로부터 이러한 판정 검토 결과를 수신하여 판정 오류가 발생한 검사체(20)를 식별할 수 있다.

다음으로, 단계(S1030)에서, 판정 결과 생성부(334)는 검사 결과 그래프를 출력한다. 예를 들어, 판정 결과 생성부(334)는 오차값에 따른 검사체의 수를 나타내는 검사 결과 그래프를 생성한다. 검사 결과 그래프는 2차원 그래프로서, 가로축은 오차값을 나타내고, 세로축은 복수의 검사체 중 해당 오차값을 갖는 검사체의 수를 나타낸다. 판정 결과 생성부(334)는 검사 결과 그래프 상에, 사용자 조작에 의해 이동 가능한 바(bar) 형상의 GUI 객체를 기준값으로써 나타낼 수 있다. 또한, 판정 결과 생성부(334)는 검사 결과 그래프 상에 양부 판정 결과로서, 양호, 경고 및 불량을 나타낼 수 있다. 또한, 판정 결과 생성부(334)는 양부 판정 결과에 대한 검토 결과를 검사 결과 그래프에 나타낼 수 있다. 또한, 판정 결과 생성부(334)는 판정 오류가 발생한 하나 이상의 검사체의 수가 최소가 되도록 하는 적어도 하나의 후보 기준값을 결정하여 검사 결과 그래프 상에 나타낼 수 있다.

일 실시예에 의하면, 후보 기준값은 단계(S1020)에서 추정된 양호 오차값 범위 및 불량 오차값 범위(만약 있다면)에 기초하여 결정될 수 있다. 만약 불량 오차값 범위가 있는 경우, 후보 기준값은 양호 오차값 범위의 최대값보다 크거나 같고, 불량 오차값 범위의 최소값보다 작거나 같은 어떤 값들 중에서 선택될 수 있다. 만약 불량 오차값 범위가 없는 경우, 후보 기준값은 양호 오차값 범위의 최대값보다 크거나 같은 어떤 값들 중에서 선택될 수 있다.

다음으로, 단계(S1040)에서, 판정 기준 조정부(336)는 검사 결과 그래프 상에서의 그래픽적 입력에 따라 기준값을 갱신한다. 사용자는 판정 오류가 발생한 하나 이상의 검사체의 수가 감소하도록 검사 결과 그래프 상에서 그래픽적 입력을 제공할 수 있다. 예를 들어, 사용자는 사용자 입력부(322)로서 마우스를 이용하여 검사 결과 그래프(600) 상에서 기준값을 나타내는 GUI를 소정 위치까지 드래그할 수 있다. 판정 기준 조정부(336)는 사용자의 그래픽적 입력(즉, 기준값을 나타내는 GUI의 이동)에 응답하여 기준값을 소정값으로 갱신한다.

다음으로, 단계(S1050)에서, 양부 판정부(332)는 갱신된 기준값을 기초로 복수의 검사체 각각에 대한 양부 재판정을 실행한다. 예를 들어, 양부 판정부(332)는 단계(S1040)에서 갱신된 기준값과 오차값을 비교하여 복수의 검사체의 각 검사체에 대한 양호 또는 불량을 재판정한다. 또한, 양부 판정부(332)는 복수의 검사체 중 재판정 오류가 발생한 검사체를 식별한다. 또한, 판정 결과 생성부(336)는 갱신된 기준값 및 재판정 오류가 발생한 검사체의 수를 검사 결과 그래프에 나타낸다.

도 10에 도시된 단계들에 있어서, 일부 단계가 생략되거나, 둘 이상의 단계가 동시에 실행되거나, 단계들 간의 실행 순서가 변경될 수 있다. 또한, 검사체에 대한 양부 판정 조건을 조정하는 방법은 특정 실시예들을 통하여 설명되었지만, 상기 방법은 또한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체에 컴퓨터가 읽을 수 있는 코드로서 구현하는 것이 가능하다. 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록매체는 컴퓨터 시스템에 의해 읽혀질 수 있는 데이터가 저장되는 모든 종류의 기록장치를 포함한다. 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록매체의 예로는 ROM, RAM, CD-ROM, 자기 테이프, 플로피 디스크, 광 데이터 저장장치 등이 있다. 또한, 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록매체는 네트워크로 연결된 컴퓨터 시스템에 분산되어, 분산방식으로 컴퓨터가 읽을 수 있는 코드가 저장되고 실행될 수 있다. 그리고, 상기 실시예들을 구현하기 위한 기능적인(functional) 프로그램, 코드 및 코드 세그먼트들은 본 발명이 속하는 기술분야의 프로그래머들에 의해 용이하게 추론될 수 있다.

본 발명은 바람직한 실시예를 통해 설명되고 예시되었으나, 당업자라면 첨부한 청구범위의 사항 및 범주를 벗어나지 않고 여러 가지 변형 및 변경이 이루어질 수 있음을 알 수 있을 것이다.

10: 검사 시스템 20: 검사체
30: 양품 보관 장치 40: 불량품 보관 장치
100: 측정 장치 120: 양부 판정 장치
140: 판정 검토 장치 160: 분류 장치
200: 측정 장치 300: 양부 판정 장치
310: 통신부 320: 입출력부
330: 처리부 340: 데이터베이스

Claims

양부 판정 장치에서 검사체에 대한 양부 판정 조건을 조정하기 위한 방법에 있어서,
복수의 검사체 각각의 구조에 대한 측정값을 획득하는 단계;
상기 복수의 검사체에 대한 양부 판정을 위해 설정된 기준값 및 상기 측정값에 기초하여, 상기 복수의 검사체 각각에 대한 양호 또는 불량을 판정하는 단계;
상기 복수의 검사체 중, 판정 오류가 발생한 하나 이상의 검사체를 식별하는 단계 - 상기 판정 오류는 양호한 검사체를 불량으로 판정한 제1 오류 및 불량한 검사체를 양호로 판정한 제2 오류를 포함함 - ;
상기 기준값을 나타내는 GUI 객체, 상기 판정 오류가 발생한 복수의 검사체의 수 및 복수의 검사체 각각에 대한 양호 또는 불량을 판정한 결과를 나타내는 그래프를 생성하여 표시하는 단계;
상기 그래프 상의 GUI 객체의 위치를 이동시키기 위한 사용자 입력을 수신하는 단계; 및
상기 사용자의 입력에 따라 이동된 상기 GUI 객체의 위치에 대응하는 값으로 상기 기준값을 갱신하는 단계;
를 포함하는 방법.
제1항에 있어서,
상기 사용자의 입력은,
상기 그래프에서 상기 GUI 객체의 위치를 이동시키기 위한 그래픽적 입력 및 상기 그래프에서 상기 GUI 객체가 이동될 위치를 지정하는 입력 중 적어도 하나를 포함하는, 방법.
제1항에 있어서,
상기 갱신된 기준값에 기초하여, 상기 복수의 검사체 각각에 대한 양호 또는 불량을 재판정하는 단계
를 더 포함하는 방법.
제3항에 있어서,
상기 재판정하는 단계는,
상기 복수의 검사체 중 재판정 오류가 발생한 하나 이상의 검사체를 식별하는 단계 - 상기 재판정 오류는 상기 제1 오류 및 상기 제2 오류를 포함함 - ; 및
상기 갱신된 기준값을 나타내는 GUI 객체, 상기 재판정 오류가 발생한 복수의 검사체의 수 및 상기 복수의 검사체 각각에 대한 양호 또는 불량을 재판정한 결과를 나타내는 결과 그래프를 표시하는 단계
를 포함하는 방법.
제1항에 있어서,
상기 판정 오류가 발생한 하나 이상의 검사체를 식별하는 단계는,
상기 복수의 검사체 각각의 구조에 대한 측정값과 상기 복수의 검사체 각각의 구조에 대한 설계값을 비교하여, 상기 복수의 검사체 각각에 대한 오차값을 산출하는 단계;
상기 복수의 검사체 각각에 대한 오차값의 분포에 기초하여, 양호 오차값 분포를 결정하는 단계; 및
상기 양호 오차값 분포에 기초하여, 상기 판정 오류가 발생한 하나 이상의 검사체를 식별하는 단계
를 포함하는 방법.
제5항에 있어서,
상기 양호 오차값 분포에 기초하여 결정되는 양호 오차값 범위의 최대값 이상인 적어도 하나 값에 기초하여, 상기 판정 오류가 발생한 하나 이상의 검사체의 수가 최소가 되도록 하는 적어도 하나의 후보 기준값을 결정하는 단계
를 더 포함하는 방법.
제1항에 있어서,
상기 판정 오류가 발생한 하나 이상의 검사체를 식별하는 단계는,
상기 복수의 검사체 각각의 구조에 대한 측정값과 상기 복수의 검사체 각각의 구조에 대한 설계값을 비교하여, 상기 복수의 검사체 각각에 대한 오차값을 산출하는 단계;
상기 복수의 검사체 각각에 대한 오차값의 분포에 기초하여, 양호 오차값 분포 및 불량 오차값 분포를 결정하는 단계; 및
상기 양호 오차값 분포 및 상기 불량 오차값 분포에 기초하여, 상기 판정 오류가 발생한 하나 이상의 검사체를 식별하는 단계
를 포함하는 방법.
제7항에 있어서,
상기 양호 오차값 분포에 기초하여 결정되는 양호 오차값 범위의 최대값 이상이고, 상기 불량 오차값 분포에 기초하여 결정되는 불량 오차값 범위의 최소값 이하인 적어도 하나의 값에 기초하여, 상기 판정 오류가 발생한 하나 이상의 검사체의 수가 최소가 되도록 하는 적어도 하나의 후보 기준값을 결정하는 단계
를 더 포함하는 방법.
컴퓨터 상에서 수행하기 위한 프로그램을 기록한 비일시적 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체에 있어서,
상기 프로그램은, 프로세서에 의한 실행 시, 상기 프로세서가,
복수의 검사체 각각의 구조에 대한 측정값을 획득하는 단계;
상기 복수의 검사체에 대한 양부 판정을 위해 설정된 기준값 및 상기 측정값에 기초하여, 상기 복수의 검사체 각각에 대한 양호 또는 불량을 판정하는 단계;
상기 복수의 검사체 중, 판정 오류가 발생한 하나 이상의 검사체를 식별하는 단계 - 상기 판정 오류는 양호한 검사체를 불량으로 판정한 제1 오류 및 불량한 검사체를 양호로 판정한 제2 오류를 포함함 - ;
상기 기준값을 나타내는 GUI 객체, 상기 판정 오류가 발생한 복수의 검사체의 수 및 복수의 검사체 각각에 대한 양호 또는 불량을 판정한 결과를 나타내는 그래프를 생성하여 표시하는 단계;
상기 그래프 상의 GUI 객체의 위치를 이동시키기 위한 사용자 입력을 수신하는 단계; 및
상기 사용자의 입력에 따라 이동된 상기 GUI 객체의 위치에 대응하는 값으로 상기 기준값을 갱신하는 단계;
를 수행하도록 하는 실행 가능한 명령을 포함하는 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체.
검사체에 대한 양부 판정 조건을 조정하는 양부 판정 장치에 있어서,
복수의 검사체 각각의 구조에 대한 측정값을 저장하는 데이터베이스;
사용자로부터 사용자 입력을 수신하는 사용자 입력부;
출력부; 및
상기 복수의 검사체 각각의 구조에 대한 측정값을 상기 데이터베이스로부터 획득하고,
상기 복수의 검사체에 대한 양부 판정을 위해 설정된 기준값 및 상기 측정값에 기초하여, 상기 복수의 검사체 각각에 대한 양호 또는 불량을 판정하고,
상기 복수의 검사체 중, 판정 오류가 발생한 하나 이상의 검사체를 식별하고 - 상기 판정 오류는 양호한 검사체를 불량으로 판정한 제1 오류 및 불량한 검사체를 양호로 판정한 제2 오류를 포함함 - ,
상기 기준값을 나타내는 GUI 객체 및 상기 판정 오류가 발생한 복수의 검사체의 수를 포함하고, 복수의 검사체 각각에 대한 양호 또는 불량을 판정한 결과를 나타내는 그래프를 생성하여 상기 출력부를 통해 표시하고,
상기 그래프 상의 GUI 객체의 위치를 이동시키기 위한 사용자 입력을 상기 사용자 입력부를 통해 수신하고,
상기 사용자의 입력에 따라 이동된 상기 GUI 객체의 위치에 대응하는 값으로 상기 기준값을 갱신하는 처리부
를 포함하는 양부 판정 장치.
제10항에 있어서,
상기 사용자의 입력은,
상기 그래프에서 상기 GUI 객체의 위치를 이동시키기 위한 그래픽적 입력 및 상기 그래프에서 상기 GUI 객체가 이동될 위치를 지정하는 입력 중 적어도 하나를 포함하는, 양부 판정 장치.
제10항에 있어서,
상기 처리부는,
상기 갱신된 기준값에 기초하여, 상기 복수의 검사체 각각에 대한 양호 또는 불량을 재판정하는, 양부 판정 장치.
제12항에 있어서,
상기 처리부는,
상기 복수의 검사체 중 재판정 오류가 발생한 하나 이상의 검사체를 식별하고 - 상기 재판정 오류는 상기 제1 오류 및 상기 제2 오류를 포함함 - ,
상기 갱신된 기준값을 나타내는 GUI 객체, 상기 재판정 오류가 발생한 복수의 검사체의 수 및 상기 복수의 검사체 각각에 대한 양호 또는 불량을 재판정한 결과를 나타내는 결과 그래프를 생성하여 상기 출력부를 통해 표시하는, 양부 판정 장치.
제10항에 있어서,
상기 처리부는,
상기 복수의 검사체 각각의 구조에 대한 측정값과 상기 복수의 검사체 각각의 구조에 대한 설계값을 비교하여, 상기 복수의 검사체 각각에 대한 오차값을 산출하고,
상기 복수의 검사체 각각에 대한 오차값의 분포에 기초하여, 양호 오차값 분포를 결정하고,
상기 양호 오차값 분포에 기초하여, 상기 판정 오류가 발생한 하나 이상의 검사체를 식별하는, 양부 판정 장치.
제14항에 있어서,
상기 처리부는,
상기 양호 오차값 분포에 기초하여 결정되는 양호 오차값 범위의 최대값 이상인 적어도 하나 값에 기초하여, 상기 판정 오류가 발생한 하나 이상의 검사체의 수가 최소가 되도록 하는 적어도 하나의 후보 기준값을 결정하는, 양부 판정 장치.
제10항에 있어서,
상기 처리부는,
상기 복수의 검사체 각각의 구조에 대한 측정값과 상기 복수의 검사체 각각의 구조에 대한 설계값을 비교하여, 상기 복수의 검사체 각각에 대한 오차값을 산출하고,
상기 복수의 검사체 각각에 대한 오차값의 분포에 기초하여, 양호 오차값 분포 및 불량 오차값 분포를 결정하고,
상기 양호 오차값 분포 및 상기 불량 오차값 분포에 기초하여, 상기 판정 오류가 발생한 하나 이상의 검사체를 식별하는, 양부 판정 장치.
제16항에 있어서,
상기 처리부는,
상기 양호 오차값 분포에 기초하여 결정되는 양호 오차값 범위의 최대값 이상이고, 상기 불량 오차값 분포에 기초하여 결정되는 불량 오차값 범위의 최소값 이하인 적어도 하나의 값에 기초하여, 상기 판정 오류가 발생한 하나 이상의 검사체의 수가 최소가 되도록 하는 적어도 하나의 후보 기준값을 결정하는, 양부 판정 장치.