KR20200004949A - Illumination system and control method of the illumination system - Google Patents

Illumination system and control method of the illumination system Download PDF

Info

Publication number
KR20200004949A
KR20200004949A KR1020180077972A KR20180077972A KR20200004949A KR 20200004949 A KR20200004949 A KR 20200004949A KR 1020180077972 A KR1020180077972 A KR 1020180077972A KR 20180077972 A KR20180077972 A KR 20180077972A KR 20200004949 A KR20200004949 A KR 20200004949A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
lighting
unit
illumination
trigger
photographing
Prior art date
Application number
KR1020180077972A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR102117675B1 (en
Inventor
서장일
Original Assignee
주식회사 디딤센서
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 디딤센서 filed Critical 주식회사 디딤센서
Priority to KR1020180077972A priority Critical patent/KR102117675B1/en
Publication of KR20200004949A publication Critical patent/KR20200004949A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102117675B1 publication Critical patent/KR102117675B1/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806Specially adapted optical and illumination features
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/30Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806Specially adapted optical and illumination features
    • G01N2021/8838Stroboscopic illumination; synchronised illumination
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2201/00Features of devices classified in G01N21/00
    • G01N2201/06Illumination; Optics
    • G01N2201/061Sources
    • G01N2201/06146Multisources for homogeneisation, as well sequential as simultaneous operation

Abstract

Disclosed are an illumination system and a control method thereof, which can generate a projection light of various shapes to acquire various image data. Here, the illumination system comprises an illumination device and a control device. The illumination device comprises: an illumination unit which includes a plurality of light sources which can individually control lighting in order to project light to an object to be measured; a filming unit which receives the light projected by the illumination unit and reflected by the object to be measured, and generates an image of the object to be measured; and a control unit which can individually control the light sources. In addition, the control device provides pattern information including at least one illumination pattern determining the illuminated light source among the light sources to the control unit, and controls the control unit such that the illumination unit may be illuminated corresponding to the pattern information. Therefore, a user can generate a desired illumination pattern by using the control device to transmit the same to the illumination device, such that the illumination device may be controlled corresponding to the illumination pattern desired by the user to acquire various image data.

Description

조명 시스템 및 이의 제어 방법{ILLUMINATION SYSTEM AND CONTROL METHOD OF THE ILLUMINATION SYSTEM}Lighting system and its control method {ILLUMINATION SYSTEM AND CONTROL METHOD OF THE ILLUMINATION SYSTEM}

본 발명은 조명 시스템 및 이의 제어 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 광을 조사한 후 측정대상물의 표면을 촬영하여 측정할 수 있는 조명 시스템 및 이의 제어 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a lighting system and a control method thereof, and more particularly, to a lighting system and a control method thereof that can be measured by photographing the surface of the measurement object after irradiating light.

일반적으로, 조명 시스템은 스테이지에 배치된 측정대상물의 상부에서 조명을 조사하고, 상기 측정대상물에 의해 반사된 반사광을 획득하여 이미지를 분석하여, 상기 측정대상물의 형상을 측정하거나 상기 측정대상물의 재질을 인식하는 장치를 말한다. 즉, 조명 시스템은 측정대상물로 광을 조사하여 상기 측정대상물에 대한 영상을 생성할 수 있는 조명 장치, 및 상기 조명 장치를 제어하고 상기 측정대상물에 대한 영상을 분석하여 상기 측정대상물의 형상 측정 및 재질 인식을 수행하는 제어 장치를 구비할 수 있다.In general, the illumination system irradiates the illumination from the upper part of the measurement object disposed on the stage, acquires the reflected light reflected by the measurement object and analyzes the image to measure the shape of the measurement object or to measure the material of the measurement object. Say a device to recognize. That is, the illumination system irradiates light to a measuring object to generate an image of the measuring object, and to control the lighting device and analyze the image of the measuring object to measure the shape and material of the measuring object. It may be provided with a control device for performing the recognition.

종래의 측정 시스템은 측정대상물의 형상을 직접 촬영하여 필요한 이미지 분석을 수행하거나, 측정대상물에 패턴조명을 조사하여 획득된 패턴 이미지를 이용하여 필요한 이미지 분석을 수행할 수 있다.The conventional measurement system may directly perform the necessary image analysis by directly photographing the shape of the measurement object, or may perform the required image analysis using the pattern image obtained by irradiating pattern illumination on the measurement object.

상기와 같이, 측정대상물의 형상을 직접 촬영하여 수행하는 이미지 분석은 대체로 상기 측정대상물의 2차원 이미지를 통해 상기 측정대상물의 배치적 형태 등을 이용한 검사 작업을 수행하기 위해 활용될 수 있다. 또한, 측정대상물에 패턴조명을 조사하여 획득된 패턴 이미지를 이용하여 수행하는 이미지 분석은 대체로 상기 측정대상물의 3차원적 형상 정보를 이용한 검사 작업을 수행하기 위해 활용될 수 있다.As described above, image analysis performed by directly photographing the shape of the measurement object may be generally used to perform an inspection operation using a batch shape of the measurement object through a two-dimensional image of the measurement object. In addition, image analysis performed by using a pattern image obtained by irradiating pattern light on a measurement object may be generally used to perform an inspection operation using three-dimensional shape information of the measurement object.

일반적으로, 종래의 조명 시스템은 2차원 이미지의 촬영을 위한 조명 시스템과 3차원 이미지의 촬영을 위한 조명 시스템을 별도로 구비될 수 있다. 이와 다르게, 3차원 이미지의 촬영을 위한 조명 시스템 하나로 3차원 이미지뿐만 아니라 2차원 이미지를 간접적으로 획득할 수도 있다. 그러나, 이러한 방법은 직접 2차원 이미지를 촬영하는 방법에 비해 작업에 시간이 소요되고 정확한 이미지를 얻기 어려운 단점이 있다.In general, the conventional lighting system may be provided separately from the illumination system for shooting two-dimensional image and the illumination system for shooting three-dimensional image. Alternatively, a single illumination system for capturing a 3D image may indirectly acquire not only the 3D image but also the 2D image. However, this method has a disadvantage in that it takes time and is difficult to obtain an accurate image, compared to a method of directly photographing a 2D image.

한편, 조명 시스템은 측정대상물의 표면의 상태, 즉 상기 측정대상물의 표면의 기울기, 표면의 형상, 표면 스크래치 등의 파악을 위해 디플렉토메트리(deflectometry) 기술을 적용할 수도 있다. 예를 들어, 상기 조명 시스템은 사인파(sine wave) 패턴을 조사함으로써 상기 디플렉토메트리 기술을 적용할 수 있다. 따라서, 상기 조명 시스템은 사인파(sine wave) 패턴의 표현을 위해 픽셀별 밝기 또는 컬러의 조절이 가능한 광원을 구비할 필요가 있고, 예를 들어 엘시디(LCD) 모니터와 같은 디스플레이 장치를 활용할 수 있다.On the other hand, the illumination system may apply a deflectometry technique to determine the state of the surface of the measurement object, that is, the inclination of the surface of the measurement object, the shape of the surface, the surface scratch. For example, the illumination system can apply the deflectometry technique by irradiating a sine wave pattern. Therefore, the lighting system needs to include a light source that can adjust brightness or color for each pixel in order to express a sine wave pattern, and may use a display device such as an LCD monitor.

그러나, 조명 시스템에 활용되는 디스플레이 장치는 평면 형태를 가지므로 상기 조명 시스템의 상부를 완전히 그리고 적절히 커버하기에 어려울 수 있다. 그에 따라, 상기 디스플레이 장치로 커버되지 않은 부분에 대응하는 광학 데이터의 확보가 불가능하거나, 적절히 커버되지 않은 부분에 대응하는 광학 데이터의 정확도가 떨어질 수 있다. 더 나아가, 상기 측정대상물의 측정 범위가 제한될 수 있고, 낮은 각도로 조사하는 조명을 확보할 수 없을 수 있으며, 상기 조명을 확보하더라도 정확도가 떨어지는 경우에는 다크 필드(dark field) 반사광을 제대로 획득할 수 없어 표면 상태 파악이 어려울 수 있고, 광량이 약하여 촬상을 위해서는 긴 노출 시간이 필요하다는 것이 문제점으로 지적되고 있다.However, the display device utilized in the lighting system has a planar shape and thus may be difficult to completely and properly cover the top of the lighting system. Accordingly, it is impossible to secure optical data corresponding to the portion not covered by the display device, or the accuracy of the optical data corresponding to the portion not properly covered may be degraded. Furthermore, the measurement range of the measurement object may be limited, it may not be possible to secure the illumination to be irradiated at a low angle, and if the accuracy is low even if the illumination is secured, dark field reflected light may be properly obtained. It is pointed out that the problem is that it is difficult to grasp the surface state, and the light amount is weak and a long exposure time is required for imaging.

또한, 위와 같은 문제점을 해결하면서 사용자 조작 편리성을 확대하기 위해 조명 시스템의 자동 제어 방법에 대한 연구도 필요할 수 있다.In addition, in order to solve the above problems and to expand the user's convenience, it may be necessary to study the automatic control method of the lighting system.

따라서, 본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 해결하고자 하는 과제는 다양한 형태의 조사광을 생성하여 다양한 이미지 데이터를 획득할 수 있는 조명 시스템을 제공하는 것이다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a lighting system capable of obtaining various image data by generating various types of irradiation light.

또한, 본 발명의 해결하고자 하는 다른 과제는 상기 조명 시스템을 제어하기 위한 조명 시스템의 제어 방법을 제공하는 것이다.In addition, another object of the present invention is to provide a control method of a lighting system for controlling the lighting system.

본 발명의 예시적인 일 실시예에 따른 조명 시스템은 조명 장치 및 제어 장치를 포함한다. 상기 조명 장치는 개별적으로 점등 제어가 가능한 복수의 광원들을 포함하여 측정대상물로 광을 조사할 수 있는 조명부, 상기 조명부에 의해 조사되어 상기 측정대상물에서 반사된 광을 수신하여 상기 측정대상물의 이미지를 생성하는 촬영부, 및 상기 광원들을 개별적으로 제어할 수 있는 제어부를 포함한다. 상기 제어 장치는 상기 제어부로 상기 광원들 중 점등되는 광원을 결정하는 적어도 하나의 점등 패턴을 포함하는 패턴 정보를 제공하여, 상기 조명부가 상기 패턴 정보에 따라 점등되도록 상기 제어부를 제어한다.A lighting system according to an exemplary embodiment of the present invention includes a lighting device and a control device. The illumination device includes a lighting unit for irradiating light to a measurement object, including a plurality of light sources individually controlled to light up, and receiving light reflected from the measurement object to generate an image of the measurement object. And a controller capable of individually controlling the light sources. The control device provides pattern information including at least one lighting pattern for determining a light source to be turned on among the light sources, and controls the control unit to light the lighting unit according to the pattern information.

상기 제어 장치는 상기 조명 장치를 동작시키기 위한 복수의 트리거 모드들 중 하나의 트리거 모드를 결정하는 모드 정보를 포함하는 파라미터 정보를 상기 제어부로 전송할 수 있다. 이때, 상기 조명 장치는 상기 모드 정보에서 결정된 트리거 모드로 구동될 수 있다.The control device may transmit parameter information including mode information for determining one trigger mode among a plurality of trigger modes for operating the lighting device to the controller. In this case, the lighting device may be driven in the trigger mode determined from the mode information.

상기 파라미터 정보는 상기 조명 장치를 제어하기 위한 제어 신호의 타이밍을 결정하는 타이밍 정보를 더 포함할 수 있다.The parameter information may further include timing information for determining timing of a control signal for controlling the lighting device.

상기 트리거 모드들은 상기 제어 장치에서 생성된 조명 트리거 신호에 의해 상기 조명 장치의 구동을 시작하는 S/W 트리거 모드, 및 외부 제어 장치에서 생성된 조명 트리거 신호에 의해 상기 조명 장치의 구동을 시작하는 H/W 트리거 모드를 포함할 수 있다.The trigger modes are S / W trigger mode for starting the driving of the lighting device by the lighting trigger signal generated in the control device, and H for starting the driving of the lighting device by the lighting trigger signal generated in the external control device. / W may include a trigger mode.

상기 S/W 트리거 모드는 상기 제어 장치가 조명 트리거 신호를 상기 제어부로 전송하면, 상기 제어부가 상기 제어 장치로부터 전송받은 조명 트리거 신호에 응답하여 상기 조명부의 구동을 제어하는 제1 트리거 모드를 포함할 수 있다. 이때, 상기 제어 장치는 상기 제어부가 상기 제1 트리거 모드로 구동될 때, 촬영 트리거 신호를 상기 촬영부로 전송하여 상기 촬영부의 구동을 제어할 수 있다.The S / W trigger mode may include a first trigger mode in which the controller controls driving of the lighting unit in response to the lighting trigger signal received from the control device when the control device transmits an illumination trigger signal to the controller. Can be. In this case, when the controller is driven in the first trigger mode, the control device may transmit a photographing trigger signal to the photographing unit to control driving of the photographing unit.

상기 제1 트리거 모드는 상기 제어 장치가 조명 트리거 신호를 상기 제어부로 전송하면, 상기 제어부가 상기 제어 장치로부터 전송받은 조명 트리거 신호에 응답하여 상기 패턴 정보에 포함된 복수의 점등 패턴들 중 순서대로 하나씩으로 상기 타이밍 정보에 포함된 조명 딜레이 시간만큼 지연시키면서 상기 조명부를 점등 제어할 수 있다. 이때, 상기 제어 장치는 상기 제어부가 상기 제1 트리거 모드로 구동될 때, 상기 패턴 정보에 포함된 점등 패턴들에 대응되는 복수의 촬영 트리거 신호들을 하나씩 상기 촬영부로 전송하여 상기 촬영부의 구동을 제어할 수 있다.In the first trigger mode, when the control device transmits an illumination trigger signal to the control unit, the control unit responds to the illumination trigger signal received from the control device, one by one of the plurality of lighting patterns included in the pattern information. The lighting unit may be controlled to be turned on while delaying the lighting delay time included in the timing information. In this case, when the controller is driven in the first trigger mode, the control apparatus may transmit driving of a plurality of photographing trigger signals corresponding to lighting patterns included in the pattern information to the photographing unit one by one to control the driving of the photographing unit. Can be.

상기 촬영 트리거 신호들 각각의 전송 시점은 상기 패턴 정보에 포함된 점등 패턴들 각각에 의해 상기 조명부의 점등 제어가 완료된 시점 이후일 수 있다.The transmission timing of each of the photographing trigger signals may be after a timing at which lighting control of the lighting unit is completed by each of lighting patterns included in the pattern information.

상기 S/W 트리거 모드는 상기 제어 장치가 조명 트리거 신호를 상기 제어부로 전송하면, 상기 제어부가 상기 제어 장치로부터 전송받은 조명 트리거 신호에 응답하여 상기 조명부의 구동을 제어하면서, 촬영 트리거 신호를 상기 촬영부로 전송하여 상기 촬영부의 구동을 제어하는 제2 트리거 모드를 포함할 수 있다.In the S / W trigger mode, when the controller transmits an illumination trigger signal to the controller, the controller controls driving of the illumination unit in response to the illumination trigger signal received from the controller, and captures a photographing trigger signal. It may include a second trigger mode for transmitting to the negative to control the driving of the photographing unit.

상기 제2 트리거 모드는 상기 제어 장치가 조명 트리거 신호를 상기 제어부로 전송하면, 상기 제어부가 상기 제어 장치로부터 전송받은 조명 트리거 신호에 응답하여 상기 패턴 정보에 포함된 복수의 점등 패턴들 중 순서대로 하나씩으로 상기 타이밍 정보에 포함된 조명 딜레이 시간만큼 지연시키면서 상기 조명부를 점등 제어하고, 상기 패턴 정보에 포함된 점등 패턴들에 대응되는 복수의 촬영 트리거 신호들을 하나씩 상기 촬영부로 전송하여 상기 촬영부의 구동을 제어할 수 있다.In the second trigger mode, when the control device transmits an illumination trigger signal to the control unit, the control unit responds to the illumination trigger signal received from the control device, one by one of the plurality of lighting patterns included in the pattern information. The lighting unit is controlled to turn on the lighting unit while delaying the lighting delay time included in the timing information, and the driving of the photographing unit is controlled by transmitting a plurality of photographing trigger signals corresponding to the lighting patterns included in the pattern information to the photographing unit one by one. can do.

상기 촬영 트리거 신호들 각각의 전송 시점은 상기 패턴 정보에 포함된 점등 패턴들 각각에 의해 상기 조명부의 점등 제어가 시작된 이후 상기 타이밍 정보에 포함된 촬영 딜레이 시간만큼 지연된 시점일 수 있다.The transmission time of each of the photographing trigger signals may be a point of time delayed by a photographing delay time included in the timing information after the lighting control of the lighting unit is started by each of the lighting patterns included in the pattern information.

상기 H/W 트리거 모드는 상기 외부 제어 장치가 조명 트리거 신호를 상기 제어부로 전송하면, 상기 제어부가 상기 외부 제어 장치로부터 전송받은 조명 트리거 신호에 응답하여 상기 조명부의 구동을 제어하면서, 촬영 트리거 신호를 상기 촬영부로 전송하여 상기 촬영부의 구동을 제어하는 제3 트리거 모드를 포함할 수 있다.In the H / W trigger mode, when the external control device transmits an illumination trigger signal to the control unit, the control unit controls the driving of the illumination unit in response to the illumination trigger signal received from the external control device, and generates a shooting trigger signal. It may include a third trigger mode for transmitting to the photographing unit to control the driving of the photographing unit.

상기 제3 트리거 모드는 상기 제어부가 상기 외부 제어 장치로부터 조명 트리거 신호를 수신하면, 상기 타이밍 정보에 포함된 트리거 딜레이 시간만큼 지연시켜 상기 조명부의 구동을 제어하면서, 촬영 트리거 신호를 상기 촬영부로 전송하여 상기 촬영부의 구동을 제어할 수 있다.In the third trigger mode, when the control unit receives an illumination trigger signal from the external control device, the controller transmits an imaging trigger signal to the photographing unit while controlling the driving of the lighting unit by delaying the trigger delay time included in the timing information. The driving of the photographing unit may be controlled.

구체적으로 설명하면, 상기 제3 트리거 모드는 상기 외부 제어 장치가 조명 트리거 신호를 상기 제어부로 전송하면, 상기 제어부가 상기 외부 제어 장치로부터 전송받은 조명 트리거 신호에 응답하여 상기 패턴 정보에 포함된 복수의 점등 패턴들 중 순서대로 하나씩으로 상기 타이밍 정보에 포함된 조명 딜레이 시간만큼 지연시키면서 상기 조명부를 점등 제어하고, 상기 패턴 정보에 포함된 점등 패턴들에 대응되는 복수의 촬영 트리거 신호들을 하나씩 상기 촬영부로 전송하여 상기 촬영부의 구동을 제어할 수 있다.Specifically, in the third trigger mode, when the external control device transmits an illumination trigger signal to the control unit, the control unit may include a plurality of patterns included in the pattern information in response to the illumination trigger signal received from the external control device. The lighting unit is controlled to turn on the lighting unit while delaying the lighting delay time included in the timing information by one of lighting patterns, and transmits a plurality of shooting trigger signals corresponding to the lighting patterns included in the pattern information to the photographing unit one by one. The driving of the photographing unit can be controlled.

상기 촬영 트리거 신호들 각각의 전송 시점은 상기 패턴 정보에 포함된 점등 패턴들 각각에 의해 상기 조명부의 점등 제어가 시작된 이후 상기 타이밍 정보에 포함된 촬영 딜레이 시간만큼 지연된 시점일 수 있다.The transmission time of each of the photographing trigger signals may be a point of time delayed by a photographing delay time included in the timing information after the lighting control of the lighting unit is started by each of the lighting patterns included in the pattern information.

상기 H/W 트리거 모드는 상기 외부 제어 장치가 조명 트리거 신호를 상기 제어부로 전송하면, 상기 제어부가 상기 외부 제어 장치로부터 전송받은 조명 트리거 신호에 응답하여 상기 조명부에서의 초기 구동을 제어하고, 촬영 트리거 신호를 상기 촬영부로 전송하여 상기 촬영부의 구동을 제어하며, 상기 촬영부로부터 제공된 촬영 완료 신호에 응답하여 상기 조명부에서의 상기 초기 구동 이후의 구동을 제어하는 제4 트리거 모드를 포함할 수 있다.In the H / W trigger mode, when the external control device transmits an illumination trigger signal to the control unit, the control unit controls initial driving in the lighting unit in response to an illumination trigger signal received from the external control device, and captures a trigger. And transmitting a signal to the photographing unit to control driving of the photographing unit, and controlling a driving after the initial driving in the lighting unit in response to a photographing completion signal provided from the photographing unit.

상기 제4 트리거 모드는 상기 제어부가 상기 외부 제어 장치로부터 조명 트리거 신호를 수신하면, 상기 타이밍 정보에 포함된 트리거 딜레이 시간만큼 지연시켜 상기 조명부에서의 초기 구동을 제어하고, 촬영 트리거 신호를 상기 촬영부로 전송하여 상기 촬영부의 구동을 제어하며, 상기 촬영부로부터 제공된 촬영 완료 신호에 응답하여 상기 조명부에서의 상기 초기 구동 이후의 구동을 제어할 수 있다.In the fourth trigger mode, when the controller receives an illumination trigger signal from the external control device, the controller delays the trigger delay time included in the timing information to control initial driving of the illumination unit, and transmits a photographing trigger signal to the photographing unit. The control unit may control driving of the photographing unit and control driving after the initial driving in the lighting unit in response to a photographing completion signal provided from the photographing unit.

구체적으로 설명하면, 상기 제4 트리거 모드는 상기 외부 제어 장치가 조명 트리거 신호를 상기 제어부로 전송하면, 상기 제어부가 상기 외부 제어 장치로부터 전송받은 조명 트리거 신호에 응답하여 상기 패턴 정보에 포함된 복수의 점등 패턴들 중 첫 번째 점등 패턴으로 상기 조명부를 점등 제어하면서, 첫 번째 트리거 신호를 상기 촬영부로 전송하여 상기 촬영부의 첫 번째 구동을 제어한 후, 상기 촬영부로부터 첫 번째 촬영 완료 신호를 수신하고, 이후 상기 패턴 정보에 포함된 복수의 점등 패턴들 모두에 대해 상기 조명부의 점등 제어가 완료될 때까지, 상기 제어부가 상기 첫 번째 촬영 완료 신호를 포함하는 N 번째 촬영 완료 신호에 응답하여 상기 패턴 정보에 포함된 복수의 점등 패턴들 중 N+1 번째 점등 패턴으로 상기 조명부를 점등 제어하면서, N+1 번째 트리거 신호를 상기 촬영부로 전송하여 상기 촬영부의 N+1 번째 구동을 제어한 후, 상기 촬영부로부터 N+1 번째 촬영 완료 신호를 수신할 수 있다(단, N은 1 이상의 정수임).Specifically, in the fourth trigger mode, when the external control device transmits an illumination trigger signal to the control unit, the control unit may include a plurality of patterns included in the pattern information in response to the illumination trigger signal received from the external control device. After controlling the lighting of the lighting unit with the first lighting pattern among the lighting patterns, the first trigger signal is transmitted to the capturing unit to control the first driving of the capturing unit, and then the first photographing completion signal is received from the capturing unit, Thereafter, the controller controls the pattern information in response to an N-th photographing completion signal including the first photographing completion signal until the lighting control of the lighting unit is completed for all of the plurality of lighting patterns included in the pattern information. If the lighting unit is controlled to turn on the N + 1th lighting pattern among the plurality of lighting patterns included After controlling the N + 1 th driving of the photographing unit by transmitting an N + 1 th trigger signal to the photographing unit, the N + 1 th photographing completion signal may be received from the photographing unit (where N is an integer greater than or equal to 1). ).

상기 N+1 번째 촬영 완료 신호가 상기 촬영부에서 상기 제어부로 전송되는 시점은 상기 촬영부의 N 번째 구동이 완료되는 시점 이후일 수 있다.The point in time at which the N + 1th photographing completion signal is transmitted from the photographing unit to the controller may be after a point in which the Nth driving of the photographing unit is completed.

이어서, 본 발명의 예시적인 일 실시예에 따른 조명 시스템의 제어 방법은 제어 장치가 패턴 정보를 조명 장치로 전송하는 단계, 및 상기 조명 장치가 상기 패턴 정보에 따라 점등되는 단계를 포함한다. 이때, 상기 조명 장치는 개별적으로 점등 제어가 가능한 복수의 광원들을 포함하여 측정대상물로 광을 조사할 수 있는 조명부, 상기 조명부에 의해 조사되어 상기 측정대상물에서 반사된 광을 수신하여 상기 측정대상물의 이미지를 생성하는 촬영부, 및 상기 패턴 정보에 따라 점등되도록 상기 광원들을 개별적으로 제어할 수 있는 제어부를 포함한다. 또한, 상기 패턴 정보는 상기 광원들 중 점등되는 광원을 결정하는 적어도 하나의 점등 패턴을 포함한다.Subsequently, the control method of the lighting system according to the exemplary embodiment of the present invention includes the step of the control device transmitting the pattern information to the lighting device, and the lighting device is turned on according to the pattern information. At this time, the illumination device includes a lighting unit for irradiating light to the measurement object, including a plurality of light sources that can be individually controlled lighting, and receives the light reflected from the measurement object to receive the image of the measurement object And a controller capable of individually controlling the light sources to be turned on according to the pattern information. The pattern information may include at least one lighting pattern for determining a light source among the light sources.

상기 조명 시스템의 제어 방법은 상기 제어 장치가 상기 조명 장치를 동작시키기 위한 복수의 트리거 모드들 중 하나의 트리거 모드를 결정하는 모드 정보를 포함하는 파라미터 정보를 상기 제어부로 전송하는 단계를 더 포함할 수 있다. 이때, 상기 조명 장치는 상기 모드 정보에서 결정된 트리거 모드로 구동될 수 있다.The control method of the lighting system may further include transmitting, by the control apparatus, parameter information including mode information for determining one of a plurality of trigger modes for operating the lighting apparatus to the controller. have. In this case, the lighting device may be driven in the trigger mode determined from the mode information.

이와 같이 본 발명에 따른 조명 시스템 및 이의 제어 방법에 따르면, 다수의 광원들을 이용하여 측정대상물에 대해 다수의 방향들로부터 입사광을 조사하고, 상기 광원들을 기 설정된 조명 패턴에 따라 점등되도록 제어함으로써, 사용자가 원하는 조사광들의 형태에 따라 조명 장치를 독립적으로 구비하지 않고도 다양한 패턴의 조사광들을 상기 조명 시스템만으로 생성할 수 있으며, 이에 따라 형상 검사 등과 같은 필요한 작업을 수행하기 위한 다양한 이미지를 획득할 수 있어 이에 따른 이미지 분석을 수행할 수 있다. As described above, according to the lighting system and the control method thereof, the user is irradiated with incident light from a plurality of directions to a measurement object using a plurality of light sources, and the light sources are controlled to be turned on according to a preset lighting pattern. According to the type of irradiation light desired by the user, the illumination light of various patterns can be generated only by the illumination system without having an independent lighting device. Accordingly, various images for performing necessary tasks such as shape inspection can be obtained. Accordingly, image analysis can be performed.

또한, 상기 조명 패턴을 형성함에 있어서, 공간적 형상 패턴, 시간적 변화 패턴 및 공간적 변화 패턴 등을 모두 형성할 수 있으므로, 링 패턴, 격자 패턴, 체크 패턴, 격자이송 패턴, 사인파(sine wave) 패턴 및 섹션조명 패턴 등의 매우 다양한 패턴들의 조사광들을 상기 조명 시스템의 일부를 수정하거나 추가적인 조명장치를 설치함이 없이 용이하게 획득할 수 있다. In addition, in forming the illumination pattern, since a spatial shape pattern, a temporal change pattern, a spatial change pattern, and the like can be formed, a ring pattern, a grid pattern, a check pattern, a grid transfer pattern, a sine wave pattern, and a section can be formed. Irradiation lights of a wide variety of patterns, such as lighting patterns, can be easily obtained without modifying part of the lighting system or installing additional lighting devices.

예를 들면, 측정대상물의 다크필드(dark field) 영상뿐만 아니라 브라이트필드(bright field) 영상, 디플렉토메트리(deflectometry)를 이용한 기울기 영상, 핀 조명과 같은 점광원에 따른 영상, 돔 조명에 따른 영상, 그림자 추출 영상 등 매우 다양한 조명 형태 하에서의 영상을, 하나의 조명 시스템을 통하여 획득할 수 있다. 또한, 측정대상물의 2차원 이미지와 3차원 형상정보를 모두 얻기 위해서, 2차원 이미지 획득을 위한 조명 및 3차원 형상정보 획득을 위한 조명을 모두 구비하지 않고도 두 가지 조명들을 획득할 수도 있다.For example, the dark field image of the object to be measured, the bright field image, the tilt image using deflectometry, the point light source such as pin illumination, and the dome illumination Images under a variety of lighting forms, such as images, shadow extraction images, can be obtained through a single illumination system. In addition, in order to obtain both the two-dimensional image and the three-dimensional shape information of the measurement object, two lights may be obtained without having both the illumination for the two-dimensional image acquisition and the illumination for the three-dimensional shape information acquisition.

또한, 사용자가 제어 장치를 이용하여 자신의 원하는 점등 패턴을 생성하여 조명 장치로 전송함에 따라, 조명 장치는 사용자가 원하는 점등 패턴대로 제어되어, 측정대상물에 대한 다양한 이미지 데이터를 획득할 수 있다.In addition, as the user generates a desired lighting pattern using the control device and transmits the desired lighting pattern to the lighting device, the lighting device may be controlled according to the lighting pattern desired by the user to acquire various image data about the measurement object.

또한, 사용자가 제어 장치를 이용하여 자신의 원하는 파라미터 정보를 생성하여 조명 장치로 전송함에 따라, 조명 장치는 사용자가 원하는 파라미터 정보에 따라 제어될 수 있다. 예를 들어, 사용자가 제어 장치를 통해 어느 하나의 트리거 모드를 선택하여 조명 장치로 전송할 경우, 조명 장치는 사용자가 선택한 트리거 모드로 구동될 수 있다.In addition, as the user generates the desired parameter information using the control device and transmits it to the lighting device, the lighting device may be controlled according to the parameter information desired by the user. For example, when the user selects any one trigger mode through the control device and transmits the trigger mode to the lighting device, the lighting device may be driven in the trigger mode selected by the user.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 조명 시스템 중 조명 장치를 나타낸 개념도이다.
도 2는 도 1의 조명 시스템의 동작을 설명하기 위한 개념도이다.
도 3은 도 1의 조명 시스템의 조명커버를 하부에서 관측한 평면도이다.
도 4는 도 1의 조명 시스템에서의 조명 패턴의 일 실시예를 설명하기 위한 개념도이다.
도 5 내지 도 8은 도 1의 조명 시스템에서의 조명 패턴의 다른 실시예를 설명하기 위한 개념도들이다.
도 9 내지 도 12는 도 1의 조명 시스템에서의 조명 패턴의 또 다른 실시예를 설명하기 위한 개념도들이다.
도 13은 도 1의 조명 시스템 내의 제어 관계를 도시한 개념도이다.
도 14는 도 1의 조명 시스템의 제어 방법을 도시한 순서도이다.
도 15는 도 14의 제어 방법 중 업로딩 과정에서 조명 패턴을 생성하는 일 예를 나타낸 화면이다.
도 16은 도 14의 제어 방법 중 업로딩 과정에서 그룹 패턴을 생성하는 일 예를 나타낸 화면이다.
도 17은 도 14의 제어 방법 중 업로딩 과정에서 파라미터 정보를 생성하는 일 예를 나타낸 화면이다.
도 18은 도 14의 제어 방법 중 업로딩 과정을 도시한 개념도이다.
도 19는 도 14의 제어 방법 중 트리거링 과정이 제1 트리거링 모드로 구동되는 것을 도시한 개념도이다.
도 20 및 도 21은 도 19의 제1 트리거링 모드의 타이밍을 도시한 파형도들이다.
도 22는 도 14의 제어 방법 중 트리거링 과정을 통해 생성된 패턴 영상의 일 예를 나타낸 화면이다.
도 23은 도 14의 제어 방법 중 트리거링 과정이 제2 트리거링 모드로 구동되는 것을 도시한 개념도이다.
도 24는 도 23의 제2 트리거링 모드의 타이밍을 도시한 파형도이다.
도 25는 도 14의 제어 방법 중 트리거링 과정이 제3 트리거링 모드로 구동되는 것을 도시한 개념도이다.
도 26은 도 25의 제3 트리거링 모드의 타이밍을 도시한 파형도이다.
도 27은 도 14의 제어 방법 중 트리거링 과정이 제4 트리거링 모드로 구동되는 것을 도시한 개념도이다.
도 28은 도 27의 제4 트리거링 모드의 타이밍을 도시한 파형도이다.
1 is a conceptual diagram illustrating a lighting device of a lighting system according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a conceptual diagram for describing an operation of the lighting system of FIG. 1.
3 is a plan view of the lighting cover of the lighting system of FIG.
4 is a conceptual diagram illustrating an embodiment of an illumination pattern in the illumination system of FIG. 1.
5 to 8 are conceptual views illustrating another embodiment of an illumination pattern in the illumination system of FIG. 1.
9 to 12 are conceptual views illustrating another embodiment of an illumination pattern in the illumination system of FIG. 1.
FIG. 13 is a conceptual diagram illustrating a control relationship in the lighting system of FIG. 1.
14 is a flowchart illustrating a control method of the lighting system of FIG. 1.
FIG. 15 is a screen illustrating an example of generating an illumination pattern during an uploading process of the control method of FIG. 14.
FIG. 16 is a screen illustrating an example of generating a group pattern during an uploading process of the control method of FIG. 14.
FIG. 17 is a screen illustrating an example of generating parameter information during an uploading process of the control method of FIG. 14.
18 is a conceptual diagram illustrating an uploading process in the control method of FIG. 14.
FIG. 19 is a conceptual diagram illustrating that a triggering process of the control method of FIG. 14 is driven in a first triggering mode.
20 and 21 are waveform diagrams illustrating timing of the first triggering mode of FIG. 19.
FIG. 22 is a screen illustrating an example of a pattern image generated through a triggering process in the control method of FIG. 14.
FIG. 23 is a conceptual diagram illustrating that a triggering process of the control method of FIG. 14 is driven in a second triggering mode.
24 is a waveform diagram illustrating timing of the second triggering mode of FIG. 23.
FIG. 25 is a conceptual diagram illustrating that a triggering process of the control method of FIG. 14 is driven in a third triggering mode.
FIG. 26 is a waveform diagram illustrating timing of the third triggering mode of FIG. 25.
FIG. 27 is a conceptual diagram illustrating that a triggering process of the control method of FIG. 14 is driven in a fourth triggering mode.
FIG. 28 is a waveform diagram illustrating timing of the fourth triggering mode of FIG. 27.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 도면에서, 층과 영역의 크기와 상대적 크기는 명확성을 위해 과장될 수도 있다. As the inventive concept allows for various changes and numerous embodiments, particular embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to the specific disclosed form, it should be understood to include all modifications, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In the drawings, the sizes and relative sizes of layers and regions may be exaggerated for clarity.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다. Terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as the second component, and similarly, the second component may also be referred to as the first component.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In this application, the terms "comprise" or "having" are intended to indicate that there is a feature, number, step, action, component, part, or combination thereof described in the specification, and that one or more other features It should be understood that it does not exclude in advance the possibility of the presence or addition of numbers, steps, actions, components, parts or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art.

일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Terms such as those defined in the commonly used dictionaries should be construed as having meanings consistent with the meanings in the context of the related art, and shall not be construed in ideal or excessively formal meanings unless expressly defined in this application. Do not.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 조명 시스템 중 조명 장치를 나타낸 개념도이고, 도 2는 도 1의 조명 시스템의 동작을 설명하기 위한 개념도이다.1 is a conceptual diagram illustrating a lighting apparatus of a lighting system according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a conceptual diagram for explaining the operation of the lighting system of FIG.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 의한 조명 시스템은 측정대상물(MT)로 광을 조사하여 상기 측정대상물(MT)의 이미지를 생성할 수 있는 조명 장치(100), 및 상기 조명 장치(100)을 제어하고 상기 측정대상물(MT)의 이미지를 분석하여 상기 측정대상물(MT)의 형상 측정 및 재질 인식을 수행할 수 있는 제어 장치(200)를 포함할 수 있다.1 and 2, an illumination system according to an exemplary embodiment of the present invention includes an illumination device 100 capable of generating an image of the measurement object MT by irradiating light onto the measurement object MT, and The controller 200 may control the lighting device 100 and analyze the image of the measurement object MT to perform shape measurement and material recognition of the measurement object MT.

우선, 상기 조명 장치(100)은 측정 스테이지(110), 조명부(120), 촬영부(130) 및 제어부(140)를 포함할 수 있다.First, the lighting device 100 may include a measurement stage 110, an illumination unit 120, a photographing unit 130, and a controller 140.

상기 측정 스테이지(110)는 상기 측정대상물(MT)을 지지하여 위치시킨다. 상기 측정 스테이지(110)는 상방으로 오픈된 상태로 있을 수 있다. 도 1에서, 상기 측정 스테이지(110)는 고정 상태로 되어 있지만, 상기 제어부(140) 또는 그 외 제어 장치에 의해 상기 측정대상물(MT)의 위치 및 자세가 제어될 수도 있다.The measurement stage 110 supports and positions the measurement object MT. The measurement stage 110 may be in an open state upward. In FIG. 1, the measurement stage 110 is fixed, but the position and attitude of the measurement object MT may be controlled by the controller 140 or other control device.

상기 조명부(120)는 상기 측정대상물(MT)에 대하여 입사광(IL)들을 조사할 수 있는 다수의 광원(LS)들을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 광원(LS)들은, 각각 발광다이오드(LED)를 포함할 수 있다. 이와는 다르게, 상기 광원(LS)들은 다른 형태의 발광유닛을 포함할 수도 있다.The lighting unit 120 may include a plurality of light sources LS that may irradiate incident light IL with respect to the measurement object MT. For example, the light sources LS may each include a light emitting diode LED. Alternatively, the light sources LS may include other types of light emitting units.

본 실시예에서, 상기 광원(LS)들은 서로 직렬(serial) 또는 직병렬 혼합으로 연결되어, 개별적으로 점등 제어가 가능할 수도 있고, 상기 측정대상물(MT)의 상부를 둘러싸도록 배치되어, 상기 측정대상물(MT)에 대한 다수의 방향들로부터의 입사광(IL)들이 상기 측정대상물(MT)을 향하여 선택적인 조사가 가능할 수도 있다.In the present embodiment, the light sources LS are connected to each other in series or serially parallel mixing, and may be individually controlled to be lit, and are disposed to surround the upper portion of the measurement object MT. The incident light IL from a plurality of directions with respect to MT may be selectively irradiated toward the measurement object MT.

상기 입사광(IL)들의 입사 방향은 상기 측정대상물(MT)에 대한 법선 방향에 대하여 경사진 입사각(θ)으로 나타낼 수 있다. 예를 들면, 상기 입사광(IL)들은 상방의 모든 방향에서 입사될 수 있고, 상기 입사광(IL)들은 경사각 0ㅀ 내지 90ㅀ 사이의 입사각(θ)으로 입사 방향을 나타낼 수 있다.The incident direction of the incident light IL may be represented by an incident angle θ that is inclined with respect to a normal direction with respect to the measurement object MT. For example, the incident light IL may be incident in all directions upwards, and the incident light IL may indicate an incident direction at an incident angle θ between an inclination angle of 0 ° to 90 °.

일 실시예로, 상기 조명부(120)는 조명커버(CV)를 더 포함할 수도 있다. 상기 조명커버(CV)는 상기 측정대상물(MT)의 상부에 배치되어 상기 측정대상물(MT)의 주위를 커버할 수 있다. 이때, 상기 조명커버(CV)의 내측면에는 상기 광원(LS)들, 예를 들어 발광다이오드들이 배치되어 있을 수 있다.In one embodiment, the lighting unit 120 may further include a lighting cover (CV). The lighting cover CV may be disposed on the measurement object MT to cover the periphery of the measurement object MT. In this case, the light sources LS, for example, light emitting diodes may be disposed on an inner surface of the lighting cover CV.

예를 들면, 상기 발광다이오드들은 적색, 녹색 및 청색 발광다이오드 중 적어도 하나를 포함할 수 있고, 백색 발광다이오드일 수도 있다. 또한, 상기 발광다이오드들은 다른 컬러의 발광다이오드들이 상기 조명커버(CV)의 내측면에 교호적으로 배치될 수도 있고, 자체의 컬러가 변경되는 발광다이오드들이 배치될 수도 있다. 또한, 상기 발광다이오드들은 고정된 밝기를 가질 수도 있고 변화 가능한 밝기를 가질 수도 있다.For example, the light emitting diodes may include at least one of red, green, and blue light emitting diodes, or may be white light emitting diodes. In addition, the light emitting diodes may be light-emitting diodes of different colors alternately arranged on the inner surface of the lighting cover (CV), the light-emitting diodes that change their color may be arranged. In addition, the light emitting diodes may have a fixed brightness or a variable brightness.

도 3은 도 1의 조명 시스템의 조명커버를 하부에서 관측한 평면도이다.3 is a plan view of the lighting cover of the lighting system of FIG.

도 3을 참조하면, 일 실시예로, 상기 발광다이오드들은 서로 물리적 및 전기적으로 연결된 스트립 타입(strip type)으로 형성될 수 있다. 즉, 상기 스트립 타입의 발광다이오드들은, 도 3에 도시된 바와 같이, 서로 스트립으로 연결될 수 있다. 한편, 도 3에 도시된 발광다이오드들의 개수는 일 예로 설정된 것이며, 이보다 더 많거나 더 적을 수 있다. 또한, 후술되는 도 4 내지 도 12의 경우도 마찬가지이다.Referring to FIG. 3, in one embodiment, the light emitting diodes may be formed in a strip type physically and electrically connected to each other. That is, the strip type light emitting diodes may be connected to each other in a strip, as shown in FIG. 3. Meanwhile, the number of light emitting diodes shown in FIG. 3 is set as an example, and may be more or less than this. The same applies to the case of FIGS. 4 to 12 described later.

예를 들면, 상기 조명커버(CV)는 돔(dome)의 적어도 일부를 포함하는 형상을 가질 수 있고, 상기 스트립 타입의 발광다이오드들은, 도 3에서와 같이, 상기 돔의 적어도 일부를 포함하는 형상의 내부에 다수의 열(row)들(R1, R2, …, Rn-1, Rn)로 형성될 수 있다. 즉, 상기 스트립 타입의 발광다이오드들은 서로 다른 직경을 갖는 복수의 링들을 따라 배치될 수 있다.For example, the lighting cover CV may have a shape including at least a portion of a dome, and the strip type light emitting diodes include a shape including at least a portion of the dome, as shown in FIG. 3. It may be formed of a plurality of rows (R1, R2, ..., Rn-1, Rn) in the. That is, the strip type light emitting diodes may be disposed along a plurality of rings having different diameters.

이와 같이 배열된 상기 발광다이오드들은 모두 직렬로 연결될 수도 있다. 그러나, 이 경우 상기 발광다이오드들의 점등을 제어할 때, 다소 시간지연이 발생하여 원하는 대로 제어가 되지 않을 수도 있으므로, 상기 발광다이오드들은 소정 개수의 그룹(group)들로 그룹화할 수 있다.The light emitting diodes arranged as above may be connected in series. However, in this case, when controlling the lighting of the light emitting diodes, some delay may occur and thus may not be controlled as desired. Therefore, the light emitting diodes may be grouped into a predetermined number of groups.

예를 들면, 상기 발광다이오드들은 발광다이오드들의 개수 및/또는 배치에 따라 연결 상태가 조정될 수 있다. 즉, 상기 발광다이오드들은 소정 개수를 기준으로 복수의 채널(channel)들로 그룹화될 수 있고, 배치된 열을 기준으로 복수의 채널들로 그룹화될 수도 있으며, 개수와 배치된 열을 모두 고려하여 복수의 채널들로 그룹화될 수도 있다.For example, the connection state of the light emitting diodes may be adjusted according to the number and / or arrangement of the light emitting diodes. That is, the light emitting diodes may be grouped into a plurality of channels based on a predetermined number, may be grouped into a plurality of channels based on the arranged columns, and a plurality of light emitting diodes are considered in consideration of both the number and the arranged columns May be grouped into channels.

또한, 각 링을 형성하는 발광다이오드들은 동일한 열 내에서 서로 연결될 수 있다. 그러나, 후술되는 개구부(OP)에 가까운 열(예를 들면, R1)의 경우에는 발광다이오드들의 개수가 적게 형성되므로, 상기 개구부(OP)에 가까운 열들에 대해서는 서로 다른 열들(예를 들면, R1과 R2)의 발광다이오드들끼리도 연결함으로써, 채널 별로 동일 혹은 유사한 개수로 그룹화될 수도 있다. 반면, 상기 개구부(OP)로부터 멀리 떨어진 열이거나 필요하다면 동일한 열 내에서도 서로 연결이 되지 않도록 하여 복수개로 그룹화시킬 수도 있다. 한편, 상기 제어부(140)에서는 이와 같이 복수의 채널(channel)들로 구분된 상기 발광다이오드들을 채널 별로 구분하여 독립적으로 점등을 제어할 수 있다.In addition, the light emitting diodes forming each ring may be connected to each other in the same row. However, since the number of light emitting diodes is small in the case of a row close to the opening OP (for example, R1), which will be described later, different columns (for example, R1 and R1) may be used for the columns close to the opening OP. By connecting the light emitting diodes of R2), they may be grouped in the same or similar number for each channel. On the other hand, a plurality of groups may be arranged so as not to be connected to each other even in a column far away from the opening OP or in the same row if necessary. On the other hand, the control unit 140 may control the lighting independently by dividing the light emitting diodes divided into a plurality of channels for each channel.

한편, 상기 발광다이오드들에서 발생하는 열을 방열하기 위해, 상기 조명커버(CV)는 금속성, 예를 들면 알루미늄으로 형성될 수 있다. 또한, 상기 발광다이오드들 사이의 연결선과 상기 조명커버(CV) 사이에는 전열본드 혹은 써멀본드(thermal bond)를 이용하여 접착함으로써, 상기 발광다이오드들이 견고하게 상기 조명커버(CV)에 설치하면서도 동시에 방열이 가능하도록 할 수 있다.Meanwhile, in order to dissipate heat generated from the light emitting diodes, the lighting cover CV may be formed of a metallic material, for example, aluminum. In addition, by bonding between the connection line between the light emitting diodes and the lighting cover (CV) by using a heat transfer bond or a thermal bond (thermal bond), the light emitting diodes are firmly installed on the lighting cover (CV) while simultaneously radiating heat You can make this possible.

일 실시예로, 상기 조명커버(CV)는, 상기 측정대상물(MT)의 상부에 대응하여 형성된 개구부(OP)를 가질 수 있다. 상기 개구부(OP)는 후술되는 촬영부(130)에서 반사광(RL)을 수광하도록 개방된 통로로 활용될 수 있다. 또한, 상기 개구부(OP)는 후술되는 추가 조명(제2 조명부)에서 상기 측정대상물(MT)을 향하여 입사광을 조사하는 통로로 활용될 수 있다.In an embodiment, the lighting cover CV may have an opening OP formed corresponding to an upper portion of the measurement object MT. The opening OP may be used as a passage opened to receive the reflected light RL by the photographing unit 130 to be described later. In addition, the opening OP may be used as a passage for irradiating incident light toward the measurement object MT in an additional illumination (second lighting unit) to be described later.

일 실시예로, 상기 조명부(120)는 제1 조명부(122) 및 제2 조명부(124)를 포함할 수 있다. 상기 제1 조명부(122)는 상기 조명커버(CV)에 장착된 상기 발광다이오드들을 포함하고, 상기 측정대상물(MT)에 입사광(IL1)을 제공할 수 있다. 상기 제2 조명부(124)는 상기 조명커버(CV)에 형성된 상기 개구부(OP)를 통하여 상기 측정대상물(MT)에 입사광(IL2)을 제공할 수 있다.In an embodiment, the lighting unit 120 may include a first lighting unit 122 and a second lighting unit 124. The first lighting unit 122 may include the light emitting diodes mounted on the lighting cover CV, and may provide incident light IL1 to the measurement object MT. The second lighting unit 124 may provide incident light IL2 to the measurement object MT through the opening OP formed in the lighting cover CV.

도 1에 도시된 바와 같이, 상기 제1 조명부(122) 및 상기 제2 조명부(124) 모두 앞서 설명한 광원(LS)들로부터 생성된 광을 상기 측정대상물(MT)로 제공하며, 상기 제1 조명부(122)는 상기 조명커버(CV)에 장착되고, 상기 제2 조명부(124)는 일 예로 별도의 플레이트(PL)에 장착될 수 있다.As shown in FIG. 1, both the first lighting unit 122 and the second lighting unit 124 provide light generated from the light sources LS described above to the measurement object MT, and the first lighting unit 122 may be mounted on the lighting cover CV, and the second lighting unit 124 may be mounted on a separate plate PL, for example.

일 실시예로, 상기 조명 장치(100)는 빔분리부(150)를 더 포함할 수 있다. 예를 들면, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 제2 조명부(124)는 상기 개구부(OP)의 상부에 배치될 수 있고, 상기 촬영부(130)는 상기 개구부(OP)의 일측에 배치될 수 있다. 이때, 상기 빔분리부(150)는 상기 제2 조명부(124)에서 발생된 입사광(IL2)을 상기 측정대상물(MT)에 제공하도록 투과하고, 상기 측정대상물(MT)에 의한 반사광(RL)들을 상기 촬영부(130)로 반사할 수 있다. 이에 따라, 상기 제2 조명부(124)의 광축과 동일한 광축 방향으로 반사되는 반사광을 상기 촬영부(130)에서 효과적으로 수신할 수 있다.In one embodiment, the lighting device 100 may further include a beam splitter 150. For example, as shown in FIGS. 1 and 2, the second lighting unit 124 may be disposed above the opening OP, and the photographing unit 130 is one side of the opening OP. Can be placed in. In this case, the beam splitter 150 transmits the incident light IL2 generated by the second lighting unit 124 to the measurement object MT, and reflects the reflected light RLs by the measurement object MT. The light may be reflected to the photographing unit 130. Accordingly, the reflected light reflected in the same optical axis direction as the optical axis of the second lighting unit 124 may be effectively received by the photographing unit 130.

한편, 도 1 및 도 2에 도시된 배치와는 다르게, 상기 제2 조명부(124)는 상기 개구부(OP)의 일측에 배치될 수 있고, 상기 촬영부(130)는 상기 개구부(OP)의 상부에 배치될 수도 있다.On the other hand, unlike the arrangement shown in Figures 1 and 2, the second lighting unit 124 may be disposed on one side of the opening (OP), the photographing unit 130 is the upper portion of the opening (OP) It may be arranged in.

상기 제2 조명부(124)로부터 제공되는 입사광(IL2)은 상기 빔분리부(150)에 의해 투과하는 과정을 거치므로, 상기 제1 조명부(122)로부터 제공되는 입사광(IL1)에 비해 광량의 손실이 발생할 수 있다. 또한, 상기 제2 조명부(124)의 광원들은 상기 제1 조명부(122)의 광원들보다 상기 측정대상물(MT)로부터 더 멀리 위치하므로, 상기 측정대상물(MT)에 도달하는 광량은 상기 제2 조명부(124)가 상기 제1 조명부(122)보다 적을 수 있다. 따라서, 상기 제2 조명부(124)의 광원들의 배치 밀도는 상기 제1 조명부의 광원들의 배치 밀도보다 크게 형성할 수 있고, 이에 따라 손실되는 광량을 보상할 수도 있다.Since the incident light IL2 provided from the second illumination unit 124 passes through the beam splitter 150, the amount of light is lost compared to the incident light IL1 provided from the first illumination unit 122. This can happen. In addition, since the light sources of the second illumination unit 124 are located farther from the measurement object MT than the light sources of the first illumination unit 122, the amount of light reaching the measurement object MT is the second illumination unit. 124 may be less than the first lighting unit 122. Therefore, the arrangement density of the light sources of the second illumination unit 124 may be greater than the arrangement density of the light sources of the first illumination unit, thereby compensating for the amount of light lost.

일 실시예로, 상기 조명부(120)는 디퓨저(diffuser)(DF)를 포함할 수 있다. 상기 디퓨저(DF)는 상기 광원(LS)들의 전방에 배치되며, 상기 광원(LS)들에서 발생된 광을 확산시킬 수 있다. 또한, 상기 디퓨저(DF)는 상기 조명커버(CV)에 대응되는 형상을 가질 수 있다. 따라서, 상기 디퓨저(DF)는 상기 조명커버(CV)의 개구부(OP)와 동일하게 개구부(OPD)가 형성될 수 있다. 한편, 상기 디퓨저(DF)는 상기 제1 조명부(122)의 광원(LS)들의 전방 및 상기 제2 조명부(124)의 광원(LS)들의 전방에 각각 배치될 수 있다.In one embodiment, the lighting unit 120 may include a diffuser (DF). The diffuser DF may be disposed in front of the light sources LS and may diffuse light generated by the light sources LS. In addition, the diffuser DF may have a shape corresponding to the illumination cover CV. Therefore, the opening OPD may be formed in the diffuser DF in the same manner as the opening OP of the lighting cover CV. The diffuser DF may be disposed in front of the light sources LS of the first lighting unit 122 and in front of the light sources LS of the second lighting unit 124.

상기 촬영부(130)는 상기 조명부(120)에 의해 조사된 상기 입사광들에 따른 상기 측정대상물(MT)에 의한 반사광(RL)들을 획득할 수 있다. 앞서 설명한 바와 같이, 상기 촬영부(130)는 상기 개구부(OP)를 통하여 상기 측정대상물(MT)로부터 반사된 반사광(RL)을 수광하도록 배치될 수 있고, 상기 빔분리부(150)를 통해 상기 반사광(RL)을 수광할 수 있다.The photographing unit 130 may acquire the reflected light RLs by the measurement object MT according to the incident light emitted by the illumination unit 120. As described above, the photographing unit 130 may be arranged to receive the reflected light RL reflected from the measurement object MT through the opening OP, and through the beam splitter 150. The reflected light RL can be received.

상기 촬영부(130)는 다양한 신호패턴을 원하는 방식에 따라 해석하기 위해 수광 각도가 조절 가능하도록 설치될 수도 있다. 또한, 상기 촬영부(130)는 상기 빔분리부(150)의 설치 오차, 상기 디퓨저(DF)에 형성된 개구부(OPD)의 가공 오차, 상기 촬영부(130) 자체의 크기 혹은 해상도의 다양성을 고려하여, 설치 공차를 가질 수도 있다.The photographing unit 130 may be installed to adjust the light receiving angle in order to interpret various signal patterns according to a desired method. In addition, the photographing unit 130 considers the installation error of the beam splitter 150, the processing error of the opening OPD formed in the diffuser DF, and the diversity of the size or resolution of the photographing unit 130 itself. In addition, it may have an installation tolerance.

일 실시예로, 상기 촬영부(130)는 상기 입사광들이 상기 측정대상물(MT)에 의해 반사된 반사광(RL)들의 강도(intensity)를 측정할 수 있는 광센서를 포함할 수 있고, CCD 또는 CMOS 카메라와 같은 카메라를 포함할 수도 있다. 또한, 상기 촬영부(130)는 상기 광센서 혹은 상기 카메라의 전방에 배치된 렌즈를 더 포함할 수도 있다.In one embodiment, the photographing unit 130 may include an optical sensor capable of measuring the intensity of the reflected light RL reflected by the incident light (MT), CCD or CMOS It may also include a camera such as a camera. In addition, the photographing unit 130 may further include a lens disposed in front of the optical sensor or the camera.

상기 제어부(140)는 상기 광원(LS)들을 직렬 통신 방식, 병렬 통신 방식 또는 직렬과 병렬이 혼합된 통신 방식으로 제어할 수 있고, 상기 광원(LS)들을 기 설정된 조명 패턴에 따라 점등되도록 제어할 수 있다.The controller 140 may control the light sources LS in a serial communication method, a parallel communication method, or a communication method in which serial and parallel are mixed, and control the light sources LS to be turned on according to a preset lighting pattern. Can be.

상기 광원(LS)들은 앞서 설명한 바와 같이, 각각 서로 직렬로 연결된 복수의 채널들로 이루어질 수 있다. 이때, 상기 제어부(140)는 서로 직렬로 연결된 채널 별로 상기 광원(LS)들의 점등을 제어할 수 있다. 즉, 상기 광원(LS)들은 데이터의 전송을 위한 연결 구조가 직렬로 형성됨에 따라, 상기 제어부(140)는 직렬 통신 방식에 의해 상기 광원(LS)들을 개별적으로 제어할 수 있다.As described above, the light sources LS may include a plurality of channels connected in series with each other. In this case, the controller 140 may control the lighting of the light sources LS for each channel connected in series with each other. That is, as the light sources LS are formed in series with a connection structure for data transmission, the controller 140 may individually control the light sources LS by a serial communication method.

상기 광원(LS)들은 병렬 통신 방식에 의해 부분적 혹은 영역별 제어를 위해 다수의 섹션들로 나누어 제어할 수 있다. 그러나, 보다 다양한 형태의 자유로운 조명을 구현하기 위해서는 상기 섹션들의 크기를 작게 설정한 후 상기 섹션들의 개수만큼 상기 제어부(140)에 연결되어야 하므로 이에 따른 다수의 배선들이 필요할 수 있다. 또한, 상기 섹션들 각각의 밝기를 조절하기 위해서는 비교적 높은 전류로 신속한 제어가 요구되므로, 이에 따라 조명장치 및 그 제어장치의 구조가 복잡해지고 제조비용이 증가될 수 있고, 섹션별 제어의 관점에서 제어의 자유도가 낮으므로 다양한 조명의 형태를 구현하는 것이 어려울 수 있다.The light sources LS may be divided into a plurality of sections for partial or area control by a parallel communication method. However, in order to implement various types of free lighting, a plurality of wires may be necessary because the size of the sections is set to be smaller and then connected to the controller 140 as many as the number of sections. In addition, in order to adjust the brightness of each of the sections is required to control quickly with a relatively high current, the structure of the lighting device and its control device can be complicated and the manufacturing cost can be increased, and the control in terms of section control Because of its low degree of freedom, it can be difficult to implement various types of lighting.

그러나, 상기 조명부(120)와 같이 직렬 통신 방식을 따르는 경우, 데이터 전송을 위한 직렬로 형성된 연결 구조를 가져서 상기 광원(LS)들을 개별적으로 제어할 수 있으므로 자유롭게 조명의 형태를 구현할 수 있다. 이러한 직렬 통신 방식을 구현하기 위해서, 상기 제어부(140)는 래치(latch)와 같은 직렬 통신을 가능하게 하는 회로를 포함할 수 있고, 상기 광원(LS)들의 밝기를 조절할 수 있는 펄스폭변조(pulse width modulation; PWM), DA 컨버터 등과 같은 제어 회로를 포함할 수 있다.However, in the case of following the serial communication method such as the lighting unit 120, the light source LS may be individually controlled by having a connection structure formed in series for data transmission, thereby freely implementing a form of lighting. In order to implement such a serial communication scheme, the control unit 140 may include a circuit that enables serial communication such as a latch, and a pulse width modulation (pulse) modulating the brightness of the light sources LS. width modulation (PWM), DA converter, and the like.

한편, 앞서 설명한 바와 같이, 다수의 광원(LS)들을 모두 직렬로 연결하는 경우, 각 광원(LS)의 점등, 밝기 등을 일괄로 제어해야 될 수 있고, 이에 따라 다소 시간지연이 발생할 수 있으므로, 상기 제어부(140)는 상기 광원(LS)들을 직렬과 병렬이 혼합된 통신 방식으로 제어할 수 있다. 즉, 상기 광원(LS)들은 직렬 통신 방식으로 제어될 수 있는 소정 개수의 채널들로 그룹화될 수 있고, 상기 채널들은 병렬 통신 방식으로 제어됨에 따라, 상기 광원(LS)들이 직렬 통신 방식만으로 제어될 때 발생하는 시간 지연이 방지될 수 있다.On the other hand, as described above, when connecting a plurality of light sources (LS) in series, it may be necessary to collectively control the lighting, brightness, etc. of each light source (LS), and thus may cause some time delay, The controller 140 may control the light sources LS in a communication method in which serial and parallel are mixed. That is, the light sources LS may be grouped into a predetermined number of channels that may be controlled in a serial communication manner, and as the channels are controlled in a parallel communication manner, the light sources LS may be controlled in a serial communication manner only. A time delay that occurs when can be avoided.

상기 조명부(120)는 상기 측정대상물(MT)을 기준으로 거의 모든 방향에서 광을 조사할 수 있는 구조를 가지므로, 상기 제어부(140)는 상기 광원(LS)들이 다양한 조명 패턴에 따라 점등되도록 상기 광원(LS)들을 제어할 수 있다.Since the lighting unit 120 has a structure capable of irradiating light in almost all directions with respect to the measurement object MT, the control unit 140 is configured such that the light sources LS are turned on according to various lighting patterns. The light sources LS may be controlled.

본 실시예에서, 상기 조명 패턴은 공간적 위치에 따라 점등되는 광원들에 의한 입사광들의 조합이 특정 형상을 갖도록 조사되는 패턴(이하, “공간적 형상 패턴”이라 함)일 수 있다. 예를 들면, 상기 공간적 형상 패턴의 특정 형상은 단순히 1차원적인 점 형상, 선 형상일 수도 있고, 2차원적인 면 형상일 수도 있다.In the present embodiment, the illumination pattern may be a pattern (hereinafter, referred to as a “spatial shape pattern”) in which a combination of incident lights by light sources that are turned on according to a spatial position is irradiated to have a specific shape. For example, the specific shape of the spatial shape pattern may be simply a one-dimensional point shape, a linear shape, or a two-dimensional surface shape.

일 실시예로, 상기 공간적 형상 패턴은 링 패턴을 포함할 수 있고, 이 경우 상기 측정대상물(MT)에 대해 특정 입사각에 해당하는 방향에 위치한 광원들을 점등하고, 나머지 광원들을 점등하지 않음으로써, 특정 입사각의 링 패턴을 형성할 수 있다. 상기 링 패턴은 1차원적인 링 형상을 가지거나, 혹은 인접한 복수의 열들로 이루어진 2차원적인 링 형상일 수도 있다.In example embodiments, the spatial shape pattern may include a ring pattern. In this case, light sources positioned in a direction corresponding to a specific incident angle with respect to the measurement object MT are turned on, and the remaining light sources are not turned on. A ring pattern of incident angle can be formed. The ring pattern may have a one-dimensional ring shape or a two-dimensional ring shape composed of a plurality of adjacent rows.

이와 같은 링 패턴의 입사각을 조절하여 획득된 다양한 입사각들에 따른 링 패턴 영상들 및 그 조합으로부터, 반사 밝기 분포를 획득하고 이에 따라 상기 측정대상물(MT)의 표면의 기울기 등을 획득할 수 있고, 반짝임 정도를 정량화할 수 있다. 또한, 상기 링 패턴의 입사각을 상대적으로 낮게(즉, 도 2에서 θ를 크게) 형성함으로써, 상기 측정대상물(MT)이 평평한 물체인 경우 경면반사광을 제외한 난반사광을 얻을 수도 있다.From the ring pattern images according to various incidence angles and combinations thereof obtained by adjusting the incidence angle of the ring pattern, the reflection brightness distribution may be obtained and accordingly, the inclination of the surface of the measurement object MT may be obtained. The degree of glare can be quantified. In addition, by forming the incidence angle of the ring pattern relatively low (ie, increasing θ in FIG. 2), when the measurement object MT is a flat object, diffuse reflection light excluding mirror reflection light may be obtained.

다른 실시예로, 상기 공간적 형상 패턴은 격자 패턴, 체크 패턴 등을 포함할 수 있다. 상기 격자 패턴이나 체크 패턴은 상기 측정대상물(MT)의 표면에서 반사된 반사광의 촬영 영상에서 패턴의 왜곡을 검출하고, 이로부터 상기 측정대상물(MT)의 표면의 굴곡, 찌그러짐 등의 상태를 파악할 수 있다.In another embodiment, the spatial shape pattern may include a grid pattern, a check pattern, and the like. The grid pattern or the check pattern detects the distortion of the pattern in the photographed image of the reflected light reflected from the surface of the measurement object MT, and from this, the state of bending, distortion, etc. of the surface of the measurement object MT may be determined. have.

본 실시예에서, 상기 조명 패턴은 상기 공간적 형상 패턴이 시간의 경과에 따라 변화되는 패턴(이하, “시간적 변화 패턴”이라 함)일 수 있다. 예를 들면, 상기 시간적 변화 패턴은 시간에 따라 순차적으로 소정 간격만큼씩 이동하는 격자이송 패턴을 포함할 수 있다. 이때, 소정 피치(pitch)의 격자패턴을 형성하도록 광원들을 점등하고 나머지 광원들을 점등하지 않은 공간적 형상 패턴을 시간에 따라 순차적으로 변화시킴으로써, 위상천이(phase-transition)되는 격자이송 패턴을 형성할 수 있고, 상기 격자이송 패턴은 사인파(sine wave) 패턴 형태로 형성될 수도 있다.In the present embodiment, the illumination pattern may be a pattern (hereinafter, referred to as a “temporal change pattern”) in which the spatial shape pattern changes over time. For example, the temporal change pattern may include a lattice transfer pattern that sequentially moves by a predetermined interval in time. At this time, by turning on the light sources so as to form a grid pattern of a predetermined pitch and sequentially changing the spatial shape patterns that do not light the remaining light sources, a grid-transfer pattern that is phase-transition can be formed. In addition, the grating transfer pattern may be formed in the form of a sine wave pattern.

본 실시예에서, 상기 조명 패턴은 상기 공간적 형상 패턴이 공간적 위치에 따라 변화되는 패턴(이하, “공간적 변화 패턴”이라 함)일 수 있다. 예를 들면, 상기 공간적 변화 패턴은 점등 광원들이 형성하는 형상은 동일하지만 이 형상을 공간적 위치에 따라 변화시키는 섹션 조명 패턴을 포함할 수 있다. 이때, 소정 형상을 하나의 섹션으로 하는 면광원의 조명을 형성하도록 광원들을 점등하고 나머지 광원들을 점등하지 않은 공간적 형상 패턴을, 일 예로, 사방으로 그 점등 위치를 이동시킴으로써, 사방에서 조사되는 섹션 조명 패턴을 형성할 수도 있다.In the present embodiment, the illumination pattern may be a pattern (hereinafter, referred to as a “spatial change pattern”) in which the spatial shape pattern changes according to a spatial position. For example, the spatial change pattern may include a section illumination pattern having the same shape as the lighting light sources, but changing the shape according to the spatial position. At this time, the section illumination irradiated from all directions by moving the lighting position in all directions by using a spatial shape pattern that turns on the light sources and does not light the remaining light sources so as to form illumination of a surface light source having a predetermined shape as one section. You may form a pattern.

이와 같이, 상기 제어부(140)는 공간적 형상 패턴, 시간적 변화 패턴 및 공간적 변화 패턴을 포함하는 조명 패턴에 따라 상기 광원(LS)들의 점등을 제어할 수 있다. 구체적으로, 상기 조명 패턴은 링 패턴, 격자 패턴, 체크 패턴, 격자이송 패턴, 사인파 패턴, 섹션조명 패턴 등의 다양한 패턴들을 포함할 수 있고, 상기 다양한 조명 패턴들은 전부 상기 제어부(140)에 의한 제어에 의해 상기 조명부(120)에 적용될 수 있다.As such, the controller 140 may control the lighting of the light sources LS according to an illumination pattern including a spatial shape pattern, a temporal change pattern, and a spatial change pattern. In detail, the illumination pattern may include various patterns such as a ring pattern, a grid pattern, a check pattern, a grid transfer pattern, a sine wave pattern, a section lighting pattern, and all of the various lighting patterns are controlled by the controller 140. By the lighting unit 120 may be applied.

한편, 상기 제어부(140)는 상기 광원(LS)들의 컬러를 상기 공간적 형상 패턴, 상기 시간적 변화 패턴 및 상기 공간적 변화 패턴에 적용한 패턴(이하, “컬러 패턴”이라 함)에 의해 상기 광원(LS)들이 점등되도록 상기 광원(LS)들을 제어할 수 있다. 즉, 상기 제어부(140)는 상기 컬러 패턴에 따라 상기 광원(LS)들의 점등을 제어할 수 있다. 이러한 컬러 패턴에 따른 점등 제어에 의하여, 상기 측정대상물(MT)의 색상 파악이 가능하고, 난반사 색상, 반짝임 색상 등을 구분하여 획득할 수 있고, 상기 측정대상물(MT)의 표면 기울기에 따른 색상도 획득할 수 있다.The controller 140 may apply the color of the light sources LS to the spatial shape pattern, the temporal change pattern, and the spatial change pattern (hereinafter, referred to as a “color pattern”). The light sources LS to be turned on. That is, the controller 140 may control the lighting of the light sources LS according to the color pattern. By the lighting control according to the color pattern, it is possible to grasp the color of the measurement object (MT), can be obtained by dividing the diffuse reflection color, glitter color, etc., and also the color according to the surface slope of the measurement object (MT) Can be obtained.

도 4는 도 1의 조명 시스템에서의 조명 패턴의 일 실시예를 설명하기 위한 개념도이다. 도 4에 도시된 작은 원들은 상기 제1 조명부(122)의 광원(LS)들을 나타내고, 작은 원들을 둘러싼 큰 원은 상기 제1 조명부(122)의 조명커버(CV)의 경계(OL)를 나타낼 수 있다. 작은 원들의 내부가 검은 것은 광원을 점등한 것(ON)이고, 내부가 흰 것은 광원을 점등하지 않은 것(OFF)일 수 있다.4 is a conceptual diagram illustrating an embodiment of an illumination pattern in the illumination system of FIG. 1. The small circles shown in FIG. 4 represent the light sources LS of the first lighting unit 122, and the large circles surrounding the small circles represent the boundary OL of the lighting cover CV of the first lighting unit 122. Can be. The inside of the small circles may be black to turn on the light source (ON), and the inside of white circles may be off to the light source (OFF).

도 4에 도시된 바와 같이, 상기 조명 패턴은 다양한 각도에서 조사되는 링 패턴일 수 있다. 상기 링 패턴은 특정 조사각에서 상기 측정대상물(MT)에 광을 조사할 때 사용될 수 있고, 이로써 특정 조사각에서의 상기 측정대상물(MT)의 2차원 이미지를 직접 촬영할 수 있다. 이 경우는, 사용자가 상기 조명 패턴을 상기 공간적 형상 패턴으로 활용한 예이다. 한편, 사용자의 필요에 따라, 상기 조사각은 변화시킬 수 있고, 이 경우 변화시킬 조사각에 해당하는 링 패턴을 점등할 수 있다.As shown in FIG. 4, the illumination pattern may be a ring pattern irradiated at various angles. The ring pattern may be used when irradiating light onto the measurement object MT at a specific irradiation angle, thereby directly photographing a two-dimensional image of the measurement object MT at a specific irradiation angle. In this case, the user uses the illumination pattern as the spatial shape pattern. On the other hand, according to the needs of the user, the irradiation angle can be changed, in this case, the ring pattern corresponding to the irradiation angle to be changed can be turned on.

도 5 내지 도 8은 도 1의 조명 시스템에서의 조명 패턴의 다른 실시예를 설명하기 위한 개념도들이다. 도 5 내지 도 8에 도시된 작은 원들, 큰 원, 내부가 검은 것과 흰 것은 도 4의 경우와 같다.5 to 8 are conceptual views illustrating another embodiment of an illumination pattern in the illumination system of FIG. 1. The small circles, the large circles, the black ones and the white ones shown in FIGS. 5 to 8 are the same as those of FIG. 4.

도 5 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 조명 패턴은 시간에 따라 변화하는 사인파 패턴일 수 있다. 상기 사인파 패턴은 상기 측정대상물(MT)에 사인파 패턴의 광을 조사할 때 사용될 수 있고, 이로써 상기 측정대상물(MT)의 3차원 형상을 분석할 때 사용될 수 있다. 이 경우는, 사용자가 상기 조명 패턴을 상기 시간적 변화 패턴으로 활용한 예이다.5 to 8, the illumination pattern may be a sinusoidal pattern that changes with time. The sine wave pattern may be used when irradiating light of a sine wave pattern to the measurement object MT, and thus may be used when analyzing a three-dimensional shape of the measurement object MT. In this case, the user uses the illumination pattern as the temporal change pattern.

이때, 상기 사인파 패턴의 파장은 도 5 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 돔 형태의 내부에서 거의 한 파장이 형성될 만큼 비교적 큰 값을 가질 수도 있다. 이 경우 2π 모호성의 영향을 거의 받지 않으므로 측정범위가 넓어지는 장점이 있다. 이와는 다르게, 상기 사인파 패턴의 파장은 상기 돔 형태의 측정 부분에서 비교적 작은 값을 가질 수도 있다. 이 경우 정밀도가 높아지는 장점이 있다. 따라서, 상기 사인파 패턴을 이용하는 경우에도, 파장을 자유롭게 선택 및 변화시킬 수 있으므로, 서로 트리거드-오프(trade-off) 관계에 있는 측정범위와 정밀도 중에서 우선할 것을 용이하게 선택하고 조절할 수 있다.In this case, the wavelength of the sine wave pattern may have a relatively large value such that almost one wavelength is formed inside the dome shape as shown in FIGS. 5 to 8. In this case, since the 2π ambiguity is hardly affected, the measurement range is widened. Alternatively, the wavelength of the sinusoidal pattern may have a relatively small value in the dome shaped measurement portion. In this case, there is an advantage that the precision is increased. Therefore, even when the sine wave pattern is used, since the wavelength can be freely selected and changed, it is possible to easily select and adjust the priority among the measurement range and the precision that are in a trade-off relationship with each other.

도 5 내지 도 8에서, 작은 원들의 내부가 검은 것은 광원을 점등한 것(ON)으로서 모두 동일하게 도시되어 있지만, 상기 사인파 패턴을 보다 효과적으로 구현하기 위하여, 상기 점등(ON)된 광원(LS)들은 외곽에 위치할수록 낮은 밝기를 가질 수 있고, 중앙에 위치할수록 높은 밝기를 가질 수 있다.5 to 8, all of the small circles are shown to be the same as turning on the light source (ON), but in order to implement the sine wave pattern more effectively, the turned on light source LS is turned on. They may have a lower brightness when located outside, and may have a higher brightness when located outside.

또한, 도 5 내지 도 8에서, 상기 개구부(OP)(도 3 참조)에 해당하는 부분은 점등 표시가 생략되어 있지만, 상기 개구부(OP)에 대응하는 제2 조명부(124)(도 1 참조)에 의해 점등될 수 있다. 예를 들면, 도 6에서, 상기 개구부(OP)에 해당하는 중앙부는 점등된 것일 수 있다.In addition, although the lighting display is abbreviate | omitted in the part corresponding to the said opening OP (FIG. 3) in FIGS. 5-8, the 2nd lighting part 124 corresponding to the opening OP (refer FIG. 1). Can be turned on. For example, in FIG. 6, the central part corresponding to the opening OP may be turned on.

도 9 내지 도 12는 도 1의 조명 시스템에서의 조명 패턴의 또 다른 실시예를 설명하기 위한 개념도들이다. 도 9 내지 도 12에 도시된 작은 원들, 큰 원, 내부가 검은 것과 흰 것은 도 4의 경우와 같다.9 to 12 are conceptual views illustrating another embodiment of an illumination pattern in the illumination system of FIG. 1. The small circles, the large circles, the black ones and the white ones shown in FIGS. 9 to 12 are the same as those of FIG. 4.

도 9 내지 도 12에 도시된 바와 같이, 상기 조명 패턴은 점등 위치가 변화하는 방향별 조명섹션 패턴일 수 있다. 상기 방향별 조명섹션 패턴은 상기 측정대상물(MT)에 여러 방향에서 특정 면적을 갖는 광을 조사할 때 사용될 수 있고, 이로써 상기 측정대상물(MT)의 엣지(edge) 검출할 때 또는 상기 측정대상물(MT)의 하이라이트(highlight)를 제거할 때에 사용될 수 있다. 이 경우는, 사용자가 상기 조명 패턴을 상기 공간적 변화 패턴으로 활용한 예이다.9 to 12, the illumination pattern may be an illumination section pattern for each direction in which a lighting position is changed. The direction-specific illumination section pattern may be used when irradiating light having a specific area to the measurement object MT in various directions, thereby detecting edges of the measurement object MT or the measurement object ( It can be used to remove the highlight of MT). In this case, the user uses the illumination pattern as the spatial change pattern.

이때, 상기 방향별 조명섹션 패턴은 도 9 내지 도 12에 도시된 바와 같이, 돔 형태의 내부에서 특정 영역의 조명섹션이 4개의 방향으로 위치를 이동하도록 형성될 수 있다. 이 경우, 상기 측정대상물(MT)의 사방을 조사하게 되므로, 이에 의해 촬영된 4개의 이미지들 또는 이를 조합하거나 편집한 이미지들을 이용하여, 상기 측정대상물(MT)의 엣지 또는 하이라이트를 검출할 수 있다. 예를 들면, 상기 영상들 내에서 최대 밝기의 픽셀들을 선택하여 조합함으로써 상기 측정대상물(MT)(예를 들면, 동전과 같이 돌출된 윤곽을 갖는 물체)의 엣지를 검출할 수 있고, 상기 영상들 내에서 최소 밝기의 픽셀들을 선택하여 조합함으로써 상기 측정대상물(MT)(예를 들면, 비닐)의 하이라이트, 즉 비닐의 반짝임 교란 등을 제거할 수도 있다.In this case, the direction-specific illumination section pattern may be formed such that the illumination section of a specific region moves in four directions as shown in FIGS. 9 to 12. In this case, since the four sides of the measurement object MT are examined, the edges or highlights of the measurement object MT may be detected by using the four images photographed or the images edited or combined therewith. . For example, an edge of the measurement object MT (eg, an object having a protruding contour such as a coin) may be detected by selecting and combining pixels of maximum brightness in the images, and the images may be detected. By selecting and combining the pixels of the minimum brightness in the image, highlights of the measurement object MT (eg, vinyl), that is, sparking disturbance of the vinyl may be removed.

이와 같이, 상기 제어부(140)의 제어에 의해 다양한 조명 패턴을 갖는 조사광을 생성할 수 있으므로, 상기 조명 시스템(100)만으로 사용자가 원하는 조사광을 얻을 수 있다. 또한, 상기와 같이 획득된 조사광에 의해 다양한 이미지를 획득할 수 있으며, 이에 따른 다양한 이미지 분석들을 용이하게 수행할 수 있다. 예를 들면, 상기 측정대상물(MT)의 2차원 이미지와 3차원 형상정보를 모두 얻기 위해서, 2차원 이미지 획득을 위한 조명 및 3차원 형상정보 획득을 위한 조명을 모두 구비할 필요가 없이, 용이하게 두 가지 조명들을 획득하여, 이미지 분석에 활용할 수 있다.As such, since irradiation light having various lighting patterns may be generated by the control of the controller 140, only the illumination system 100 may obtain desired irradiation light. In addition, various images may be obtained by the irradiation light obtained as described above, and thus various image analyzes may be easily performed. For example, in order to obtain both the 2D image and the 3D shape information of the measurement object MT, it is not necessary to include both the illumination for obtaining the 2D image and the illumination for acquiring the 3D shape information. Two lights can be obtained and used for image analysis.

다시 도 1을 참조하면, 상기 조명 시스템(100)은 적어도 상기 조명부(120), 상기 촬영부(130), 상기 빔분리부(150) 등을 수용하는 하우징(160)을 더 포함할 수 있다. 상기 하우징(160)은, 상기 제1 조명부(122), 상기 제2 조명부(124), 상기 촬영부(130), 상기 빔분리부(150) 등을 각각 혹은 일부 조합하여 수용하는 하우징들이 독립적으로 제공될 수도 있고, 선택적으로 상기 측정 스테이지(110), 상기 제어부(140) 등을 수용할 수도 있다.Referring back to FIG. 1, the lighting system 100 may further include a housing 160 accommodating at least the lighting unit 120, the photographing unit 130, the beam splitter 150, and the like. The housing 160 may independently include housings that individually or partially combine the first lighting unit 122, the second lighting unit 124, the photographing unit 130, the beam separation unit 150, or the like. It may be provided, or may optionally accommodate the measurement stage 110, the control unit 140 and the like.

상기 제어 장치(200)는 상기 조명 장치(100)을 제어하여 상기 조명 장치(100)로부터 상기 측정대상물(MT)의 이미지를 획득할 수 있고, 상기 측정대상물(MT)의 이미지를 분석하여 상기 측정대상물(MT)의 형상 측정 및 재질 인식을 수행할 수 있다. 예를 들어, 상기 제어 장치(200)는 상기 제어부(140)을 제어하여 상기 조명부(120)의 구동을 제어할 수 있고, 상기 촬영부(130)을 제어하여 상기 촬영부(130)에서 촬영된 상기 측정대상물(MT)의 이미지를 제공받을 수도 있다. 또한, 상기 제어 장치(200)가 상기 촬영부(130)의 구동을 직접적으로 제어할 수도 있지만, 상기 제어부(140)를 통해 상기 촬영부(130)의 구동을 간접적으로 제어할 수도 있다. 본 실시예에서, 상기 제어 장치(200)는 예를 들어, 컴퓨터 시스템일 수 있다.The control device 200 may control the lighting device 100 to obtain an image of the measurement object MT from the lighting device 100, and analyze the image of the measurement object MT to measure the measurement. Shape measurement and material recognition of the object MT may be performed. For example, the control device 200 may control the driving of the lighting unit 120 by controlling the controller 140, and control the photographing unit 130 to be photographed by the photographing unit 130. An image of the measurement object MT may be provided. In addition, although the control device 200 may directly control the driving of the photographing unit 130, the control device 200 may indirectly control the driving of the photographing unit 130 through the control unit 140. In the present embodiment, the control device 200 may be, for example, a computer system.

상기와 같은 조명 시스템에 따르면, 다수의 광원들을 이용하여 측정대상물에 대해 다수의 방향들로부터 입사광을 조사하고, 상기 광원들을 기 설정된 조명 패턴에 따라 점등되도록 제어함으로써, 사용자가 원하는 조사광들의 형태에 따라 조명 장치를 독립적으로 구비하지 않고도 다양한 패턴의 조사광들을 상기 조명 시스템만으로 생성할 수 있으며, 이에 따라 형상 검사 등과 같은 필요한 작업을 수행하기 위한 다양한 이미지를 획득할 수 있어 이에 따른 이미지 분석을 수행할 수 있다. According to the illumination system as described above, by irradiating incident light from a plurality of directions to the object to be measured using a plurality of light sources, and by controlling the light sources to be turned on according to a predetermined illumination pattern, the type of irradiation light desired by the user Accordingly, the illumination light of various patterns can be generated only by the illumination system without having an independent lighting device. Accordingly, various images for performing necessary tasks such as shape inspection can be obtained, thereby performing image analysis accordingly. Can be.

또한, 상기 조명 패턴을 형성함에 있어서, 공간적 형상 패턴, 시간적 변화 패턴 및 공간적 변화 패턴 등을 모두 형성할 수 있으므로, 링 패턴, 격자 패턴, 체크 패턴, 격자이송 패턴, 사인파(sine wave) 패턴 및 섹션조명 패턴 등의 매우 다양한 패턴들의 조사광들을 상기 조명 시스템의 일부를 수정하거나 추가적인 조명장치를 설치함이 없이 용이하게 획득할 수 있다. In addition, in forming the illumination pattern, since a spatial shape pattern, a temporal change pattern, a spatial change pattern, and the like can be formed, a ring pattern, a grid pattern, a check pattern, a grid transfer pattern, a sine wave pattern, and a section can be formed. Irradiation lights of a wide variety of patterns, such as lighting patterns, can be easily obtained without modifying part of the lighting system or installing additional lighting devices.

예를 들면, 측정대상물의 다크필드(dark field) 영상뿐만 아니라 브라이트필드(bright field) 영상, 디플렉토메트리(deflectometry)를 이용한 기울기 영상, 핀 조명과 같은 점광원에 따른 영상, 돔 조명에 따른 영상, 그림자 추출 영상 등 매우 다양한 조명 형태 하에서의 영상을, 하나의 조명 시스템을 통하여 획득할 수 있다. 또한, 측정대상물의 2차원 이미지와 3차원 형상정보를 모두 얻기 위해서, 2차원 이미지 획득을 위한 조명 및 3차원 형상정보 획득을 위한 조명을 모두 구비하지 않고도 두 가지 조명들을 획득할 수도 있다.For example, the dark field image of the object to be measured, the bright field image, the tilt image using deflectometry, the point light source such as pin illumination, and the dome illumination Images under a variety of lighting forms, such as images, shadow extraction images, can be obtained through a single illumination system. In addition, in order to obtain both the two-dimensional image and the three-dimensional shape information of the measurement object, two lights may be obtained without having both the illumination for the two-dimensional image acquisition and the illumination for the three-dimensional shape information acquisition.

이하, 위에서 설명한 조명 시스템의 제어에 대해 자세하게 설명하고자 한다.Hereinafter, the control of the lighting system described above will be described in detail.

도 13은 도 1의 조명 시스템 내의 제어 관계를 도시한 개념도이다.FIG. 13 is a conceptual diagram illustrating a control relationship in the lighting system of FIG. 1.

도 13을 참조할 때, 상기 조명부(120)에 포함된 다수의 광원들은 복수의 채널들, 예를 들어 8개의 채널들로 그룹화될 수 있다. 상기 채널들은 상기 제어부(140)의 채널 출력단들(ch0, ch1, ... , ch7)과 각각 전기적으로 연결될 수 있다. 그에 따라, 상기 제어부(140)는 상기 채널들을 병렬 통신 방법으로 제어할 수 있고, 상기 채널들 각각에 포함된 광원들을 직력 통신 방법으로 제어할 수 있다. 한편, 상기 제어부(140)는 중앙처리장치 및 메모리를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 13, a plurality of light sources included in the lighting unit 120 may be grouped into a plurality of channels, for example, eight channels. The channels may be electrically connected to channel output terminals ch0, ch1, ..., ch7 of the controller 140, respectively. Accordingly, the controller 140 may control the channels by a parallel communication method, and control light sources included in each of the channels by a serial communication method. On the other hand, the control unit 140 may include a central processing unit and a memory.

상기 제어부(140)는 상기 제어 장치(200)와 전기적으로 연결되어 신호를 주고받을 수 있고, 그에 따라 상기 제어 장치(200)가 상기 제어부(140)을 제어할 수 있다. 이와 다르게, 상기 제어부(140)는 입력단자(Tin)를 통해 외부 제어 장치(300)와 전기적으로 연결되어 신호를 제공받을 수 있고, 그에 따라 상기 외부 제어 장치(300)가 상기 제어부(140)을 제어할 수 있다. 한편, 상기 외부 제어 장치(300)는 상기 제어 장치(200)와 동일하게 컴퓨터 시스템일 수도 있지만, 다수의 디바이스들을 제어할 수 있는 PLC(programmable logic controller)일 수도 있다.The controller 140 may be electrically connected to the control device 200 to transmit and receive signals, and accordingly, the control device 200 may control the controller 140. Alternatively, the controller 140 may be electrically connected to the external control device 300 through an input terminal Tin to receive a signal, and thus the external control device 300 may control the controller 140. Can be controlled. The external control device 300 may be a computer system in the same manner as the control device 200, but may be a programmable logic controller (PLC) capable of controlling a plurality of devices.

상기 촬영부(130)는 상기 제어 장치(200)와 전기적으로 연결되어 신호를 주고받을 수 있고, 그에 따라 상기 제어 장치(200)가 상기 촬영부(130)을 제어하거나 상기 촬영부(130)로부터 촬영된 이미지를 제공받을 수 있다. 또한, 상기 촬영부(130)는 상기 제어부(140)의 출력단자(Tout)와 전기적으로 연결되어, 상기 제어 장치(200)에 의해 제어될 수도 있고, 상기 출력단자 또는 그 외 다른 입력단자를 통해 상기 제어부(140)로 임의의 신호를 전송할 수도 있다. 한편, 상기 제어 장치(200)는 상기 촬영부(130)에서 생성된 이미지를 상기 촬영부(130)로부터 직접 제공받을 수도 있지만, 상기 제어부(140)로 일차적으로 전송된 후 상기 제어부(140)로부터 제공받을 수도 있다.The photographing unit 130 may be electrically connected to the control device 200 to transmit and receive signals, and thus the control device 200 controls the photographing unit 130 or from the photographing unit 130. The photographed image may be provided. In addition, the photographing unit 130 may be electrically connected to the output terminal Tout of the controller 140, and may be controlled by the control device 200, or through the output terminal or other input terminals. Any signal may be transmitted to the controller 140. Meanwhile, the control device 200 may be directly provided with the image generated by the photographing unit 130 from the photographing unit 130, but is first transmitted to the controller 140, and then the controller 140 receives the image. You may be provided.

이하, 도 13에 도시된 조명 시스템의 제어 관계를 이용하여 조명 시스템을 제어하는 방법을 상세하게 설명하고자 한다.Hereinafter, a method of controlling the lighting system using the control relationship of the lighting system illustrated in FIG. 13 will be described in detail.

도 14는 도 1의 조명 시스템의 제어 방법을 도시한 순서도이고, 도 15는 도 14의 제어 방법 중 업로딩 과정에서 조명 패턴을 생성하는 일 예를 나타낸 화면이며, 도 16은 도 14의 제어 방법 중 업로딩 과정에서 그룹 패턴을 생성하는 일 예를 나타낸 화면이고, 도 17은 도 14의 제어 방법 중 업로딩 과정에서 파라미터 정보를 생성하는 일 예를 나타낸 화면이며, 도 18은 도 14의 제어 방법 중 업로딩 과정을 도시한 개념도이다.FIG. 14 is a flowchart illustrating a control method of the lighting system of FIG. 1, and FIG. 15 is a screen illustrating an example of generating an illumination pattern during an uploading process among the control methods of FIG. 14, and FIG. 16 is a flowchart of the control method of FIG. 14. FIG. 17 is a screen illustrating an example of generating a group pattern during an uploading process, and FIG. 17 is a screen illustrating an example of generating parameter information during an uploading process among the control method of FIG. 14, and FIG. 18 is an uploading process of the control method of FIG. 14. Is a conceptual diagram showing.

도 14 내지 도 18을 참조하면, 우선 상기 제어 장치(200)가 패턴 정보 및 파라미터 정보를 상기 조명 장치(100)에 업로딩할 수 있다(S100).14 to 18, first, the control device 200 may upload pattern information and parameter information to the lighting device 100 (S100).

구체적으로 예를 들어 설명하면, 상기 제어 장치(200)가 상기 조명 패턴에 대한 정보를 포함하고 있는 상기 패턴 정보를 생성할 수 있다. 이때, 상기 패턴 정보는 적어도 하나의 점등 패턴에 대한 정보를 포함할 수 있다. 예를 들어, 사용자가 도 15에서와 같은 화면을 통해 점등하고자하는 광원을 선택하여 하나의 점등 패턴을 생성할 수 있고, 이러한 방식으로 광원을 계속 선택함으로써 복수의 점등 패턴들을 생성할 수 있다.Specifically, for example, the control device 200 may generate the pattern information including the information on the illumination pattern. In this case, the pattern information may include information on at least one lighting pattern. For example, the user may generate a single lighting pattern by selecting a light source to be turned on through the screen as shown in FIG. 15, and generate a plurality of lighting patterns by continuously selecting the light source in this manner.

본 실시예에서, 상기 패턴 정보는 하나의 점등 패턴에 대한 정보를 포함하거나, 복수의 점등 패턴들에 대한 정보를 포함할 수 있다. 또한, 상기 패턴 정보는 적어도 하나의 점등 패턴을 포함하는 적어도 하나의 그룹 패턴에 대한 정보를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 패턴 정보는 각각이 적어도 하나의 점등 패턴을 포함하는 복수의 그룹 패턴에 대한 정보를 포함할 수 있다.In the present embodiment, the pattern information may include information on one lighting pattern or may include information on a plurality of lighting patterns. The pattern information may include information on at least one group pattern including at least one lighting pattern. For example, the pattern information may include information about a plurality of group patterns, each of which includes at least one lighting pattern.

또한, 상기 제어 장치(200)가 상기 조명부(120)의 제어를 위한 각종 제어 정보를 포함하고 있는 상기 파라미터 정보를 생성할 수 있다. 예를 들어, 상기 파라미터 정보는 각종 딜레이 시간을 결정하기 위한 타이밍 정보, 트리거링 모드를 결정하기 위한 모드 정보, 각 구성요소의 네트워크를 결정하는 네트워크 정보 및 기타 제어요소를 결정하는 구성 정보를 포함할 수 있다.In addition, the control device 200 may generate the parameter information including various control information for controlling the lighting unit 120. For example, the parameter information may include timing information for determining various delay times, mode information for determining a triggering mode, network information for determining a network of each component, and configuration information for determining other control elements. have.

본 실시예에서, 상기 타이밍 정보는 조명 딜레이 시간, 촬영 딜레이 시간 및 트리거 딜레이 시간에 대한 정보를 포함할 수 있다. 상기 조명 딜레이 시간은 복수의 점등 패턴들에 의해 상기 조명부(120)가 제어될 때, 하나의 점등 패턴의 제어가 완료된 후 다른 점등 패턴의 제어가 시작할 때까지의 시간 간격을 의미할 수 있다. 상기 촬영 딜레이 시간은 하나의 점등 패턴에 의한 상기 조명부(120)의 제어가 시작된 후 해당 점등 패턴의 촬영을 위한 상기 촬영부(130)의 제어가 시작할 때까지의 시간 간격을 의미할 수 있다. 상기 트리거 딜레이 시간은 상기 제어부(140)가 상기 외부 제어 장치(300)로부터 조명 트리거 신호를 인가받을 후 최초의 점등 패턴에 의한 상기 조명부(120)의 제어가 시작할 때까지의 시간 간격을 의미할 수 있다. 도 17에서는, 상기 조명 딜레이 시간이 'On-Time Delay'로 표시되고 있고, 상기 촬영 딜레이 시간이 'Out Trigger Delay'로 표시되고 있으며, 상기 트리거 딜레이 시간이 'PLC IN-Trigger Delay'로 표시되고 있다.In the present embodiment, the timing information may include information on an illumination delay time, an imaging delay time, and a trigger delay time. The illumination delay time may mean a time interval from when the lighting unit 120 is controlled by a plurality of lighting patterns until the control of one lighting pattern is completed and the control of another lighting pattern starts. The photographing delay time may mean a time interval between the start of the control of the lighting unit 120 by one lighting pattern and the start of the control of the photographing unit 130 for capturing the lighting pattern. The trigger delay time may mean a time interval until the control unit 140 starts to control the lighting unit 120 by the first lighting pattern after receiving the lighting trigger signal from the external control device 300. have. In FIG. 17, the illumination delay time is indicated as 'On-Time Delay', the shooting delay time is indicated as 'Out Trigger Delay', and the trigger delay time is indicated as 'PLC IN-Trigger Delay'. have.

본 실시예에서, 상기 모드 정보는 복수의 트리거 모드들 중 어느 하나의 트리거 모드를 결정한 모드 선택 정보를 포함할 수 있다. 이때, 상기 트리거 모드들은 상기 제어 장치(200)에서 생성된 조명 트리거 신호에 의해 상기 조명 장치(100)의 구동을 시작하는 S/W 트리거 모드와, 상기 외부 제어 장치(300)에서 생성된 조명 트리거 신호에 의해 상기 조명 장치(100)의 구동을 시작하는 H/W 트리거 모드를 포함할 수 있다.In the present embodiment, the mode information may include mode selection information that determines one of the plurality of trigger modes. In this case, the trigger modes are the S / W trigger mode for starting the driving of the lighting device 100 by the lighting trigger signal generated by the control device 200 and the lighting trigger generated by the external control device 300. It may include a H / W trigger mode for starting the driving of the lighting device 100 by a signal.

상기 S/W 트리거 모드는 제1 트리거 모드 및 제2 트리거 모드를 포함할 수 있다. 상기 제1 트리거 모드는 상기 제어 장치(200)가 상기 제어부(140) 및 상기 촬영부(130)를 둘 다 제어하는 모드를 의미할 수 있다. 상기 제2 트리거 모드는 상기 제어 장치(200)가 상기 제어부(140)를 제어하고 상기 촬영부(130)는 상기 제어부(140)를 통해 제어하는 모드를 의미할 수 있다.The S / W trigger mode may include a first trigger mode and a second trigger mode. The first trigger mode may mean a mode in which the control device 200 controls both the controller 140 and the photographing unit 130. The second trigger mode may refer to a mode in which the control device 200 controls the controller 140 and the photographing unit 130 controls the controller 140.

상기 H/W 트리거 모드는 제3 트리거 모드 및 제4 트리거 모드를 포함할 수 있다. 상기 제3 트리거 모드는 상기 외부 제어 장치(300)가 상기 제어부(140)를 제어하고 상기 제어부(140)가 상기 촬영부(130)를 제어하는 모드를 의미할 수 있다. 상기 제4 트리거 모드는 상기 외부 제어 장치(300)가 상기 제어부(140)를 제어하고 상기 제어부(140)가 상기 촬영부(130)를 제어하고 상기 촬영부(130)가 다시 상기 제어부(140)를 제어하는 모드를 의미할 수 있다.The H / W trigger mode may include a third trigger mode and a fourth trigger mode. The third trigger mode may refer to a mode in which the external control device 300 controls the controller 140 and the controller 140 controls the photographing unit 130. In the fourth trigger mode, the external control device 300 controls the controller 140, the controller 140 controls the photographing unit 130, and the photographing unit 130 again controls the controller 140. It may mean a mode for controlling.

이와 같이, 상기 제어 장치(200)가 상기 패턴 정보 및 상기 파라미터 정보를 생성하면, 상기 제어 장치(200)가 상기 패턴 정보 및 상기 파라미터 정보를 상기 제어부(140)에 업로딩하여 상기 제어부(140)의 메모리에 저장시킬 수 있다. 이때, 상기 패턴 정보 및 상기 파라미터 정보의 업로딩은 서로 독립적으로 이루어질 수도 있고, 동시에 이루어질 수도 있다.As such, when the control device 200 generates the pattern information and the parameter information, the control device 200 uploads the pattern information and the parameter information to the control unit 140 to perform the control of the control unit 140. Can be stored in memory. In this case, the uploading of the pattern information and the parameter information may be performed independently of each other or simultaneously.

한편, 상기 조명부(120)는 상기 제어부(140)의 메모리에 저장된 패턴 정보에 포함된 모든 패턴들을 조사할 수도 있지만, 상기 저장된 패턴 정보 중 일부 선택된 패턴만을 조사할 수도 있다. 예를 들어, 상기 제어 장치(200)가 상기 패턴 정보를 상기 제어부(140)에 업로딩한 후, 상기 제어부(140)의 메모리에 저장된 패턴 정보에서 실제로 상기 조명부(120)에서 적용될 패턴을 결정한 선택 패턴 정보를 상기 제어부(140)에 업로딩하여 상기 제어부(140)의 메모리에 저장시킬 수 있고, 이후 상기 조명부(120)는 상기 선택 패턴 정보에 포함된 패턴을 조사할 수 있다.Meanwhile, the lighting unit 120 may investigate all patterns included in the pattern information stored in the memory of the controller 140, but may also examine only some selected patterns of the stored pattern information. For example, after the control apparatus 200 uploads the pattern information to the controller 140, a selection pattern that determines a pattern to be actually applied by the lighting unit 120 from the pattern information stored in the memory of the controller 140. The information may be uploaded to the controller 140 and stored in the memory of the controller 140, and then the lighting unit 120 may examine a pattern included in the selection pattern information.

이어서, 상기 조명 장치(100)가 상기 패턴 정보 및 상기 파라미터 정보를 이용하여 트리거링(triggering)되어 구동될 수 있다. 예를 들어, 상기 조명 장치(100)가 상기 제1 트리거 모드, 상기 제2 트리거 모드, 상기 제3 트리거 모드 및 상기 제4 트리거 모드 중 어느 하나의 트리거 모드로 구동될 수 있다.Subsequently, the lighting device 100 may be triggered and driven using the pattern information and the parameter information. For example, the lighting device 100 may be driven in any one of the first trigger mode, the second trigger mode, the third trigger mode, and the fourth trigger mode.

도 19는 도 14의 제어 방법 중 트리거링 과정이 제1 트리거링 모드로 구동되는 것을 도시한 개념도이고, 도 20 및 도 21은 도 19의 제1 트리거링 모드의 타이밍을 도시한 파형도들이며, 도 22는 도 14의 제어 방법 중 트리거링 과정을 통해 생성된 패턴 영상의 일 예를 나타낸 화면이다.FIG. 19 is a conceptual diagram illustrating that a triggering process of the control method of FIG. 14 is driven in a first triggering mode. FIGS. 20 and 21 are waveforms illustrating timings of a first triggering mode of FIG. 19. 14 is a screen illustrating an example of a pattern image generated through a triggering process of the control method of FIG. 14.

도 19 내지 도 22를 참조하면, 상기 파라미터 정보의 모드 정보에 의해 상기 조명 장치(100)의 제어 모드가 상기 제1 트리거 모드로 결정되면, 상기 조명 장치(100)는 상기 제1 트리거 모드로 구동될 수 있다. 이때, 상기 제1 트리거 모드는 도 20에서와 같이 상기 선택 패턴 정보에 하나의 점등 패턴을 포함할 경우와, 도 21에서와 같이 상기 선택 패턴 정보에 복수의 점등 패턴들을 포함할 경우로 구분할 수도 있다.19 to 22, when the control mode of the lighting apparatus 100 is determined as the first trigger mode based on the mode information of the parameter information, the lighting apparatus 100 is driven in the first trigger mode. Can be. In this case, the first trigger mode may be divided into a case in which one lighting pattern is included in the selection pattern information as shown in FIG. 20 and a case in which a plurality of lighting patterns are included in the selection pattern information as shown in FIG. 21. .

우선, 상기 선택 패턴 정보에 하나의 점등 패턴을 포함할 경우, 상기 제어 장치(200)가 조명 트리거 신호를 상기 제어부(140)로 전송하면, 상기 제어부(140)는 상기 제어 장치(200)로부터 전송받은 조명 트리거 신호에 응답하여 상기 조명부(120)를 상기 선택 패턴 정보에 포함된 하나의 점등 패턴으로 점등 제어할 수 있다. 이후, 상기 조명부(120)에서 점등 패턴에 의한 점등 제어가 완료된 이후, 상기 제어부(140)는 상기 조명부(120)를 계속 ON 상태로 유지되도록 제어하다가, 상기 제어 장치(200)로부터 종료 신호를 전송받으면 상기 조명부(120)를 OFF시킬 수 있다.First, when the control pattern 200 transmits an illumination trigger signal to the control unit 140 when the selection pattern information includes one lighting pattern, the control unit 140 transmits from the control device 200. In response to the received lighting trigger signal, the lighting unit 120 may be controlled to be turned on by one lighting pattern included in the selection pattern information. Subsequently, after the lighting control by the lighting pattern is completed in the lighting unit 120, the controller 140 controls the lighting unit 120 to remain in an ON state, and then transmits an end signal from the control apparatus 200. When received, the lighting unit 120 may be turned off.

한편, 상기 제어 장치(200)가 촬영 트리거 신호를 상기 촬영부(130)로 전송하면, 상기 촬영부(130)는 상기 제어 장치(200)로부터 전송받은 촬영 트리거 신호에 응답하여 촬영을 일정 시간 동안 수행할 수 있다. 이때, 상기 촬영 트리거 신호의 전송 시점은 상기 조명부(120)에서 점등 패턴에 의한 점등 제어가 완료된 시점 이후일 수 있다. 이후, 상기 촬영부(130)에서 촬영된 이미지는 상기 제어 장치(200)로 전송되어 저장되면서 표시장치를 통해 표시될 수 있다.Meanwhile, when the control device 200 transmits a shooting trigger signal to the photographing unit 130, the photographing unit 130 performs photographing for a predetermined time in response to the photographing trigger signal received from the control device 200. Can be done. In this case, the transmission time of the photographing trigger signal may be after a time point at which the lighting control by the lighting pattern is completed in the lighting unit 120. Thereafter, the image photographed by the photographing unit 130 may be transmitted to the control device 200 and stored and displayed on the display device.

이어서, 상기 선택 패턴 정보에 복수의 점등 패턴들을 포함할 경우, 상기 제어 장치(200)가 조명 트리거 신호를 상기 제어부(140)로 전송하면, 상기 제어부(140)는 상기 제어 장치(200)로부터 전송받은 조명 트리거 신호에 응답하여 상기 조명부(120)를 상기 선택 패턴 정보에 포함된 복수의 점등 패턴들 중 순서상 가장 앞선 하나의 점등 패턴으로 점등 제어할 수 있다. 이후, 상기 조명부(120)에서 점등 패턴에 의한 점등 제어가 완료된 이후, 상기 제어부(140)는 상기 파라미터 정보의 타이밍 정보에 포함된 조명 딜레이 시간만큼 지연시켜 그 다음의 점등 패턴으로 상기 조명부(120)를 점등 제어할 수 있다. 이와 동일한 방법으로, 상기 제어부(140)는 상기 선택 패턴 정보에 포함된 점등 패턴들을 상기 조명 딜레이 시간만큼 지연시키면서 상기 조명부(120)을 점등 제어하고, 이후 상기 조명부(120)를 OFF시킬 수도 있다.Subsequently, when the selection pattern information includes a plurality of lighting patterns, when the control device 200 transmits an illumination trigger signal to the control unit 140, the control unit 140 transmits from the control device 200. In response to the received lighting trigger signal, the lighting unit 120 may be controlled to be turned on with the first lighting pattern which is the first among the plurality of lighting patterns included in the selection pattern information. Then, after the lighting control by the lighting pattern is completed in the lighting unit 120, the control unit 140 delays the lighting delay time included in the timing information of the parameter information by the lighting unit 120 in the next lighting pattern. Lighting can be controlled. In the same way, the controller 140 may control the lighting unit 120 to be turned on while delaying the lighting patterns included in the selection pattern information by the lighting delay time, and then turn off the lighting unit 120.

한편, 상기 선택 패턴 정보에 포함된 점등 패턴들에 대응하여, 상기 제어 장치(200)가 복수의 촬영 트리거 신호들을 하나씩 상기 촬영부(130)로 전송할 수 있다. 이때, 상기 촬영 트리거 신호들 각각의 전송 시점은 상기 선택 패턴 정보에 포함된 점등 패턴들 각각에 의해 점등 제어가 완료된 시점 이후일 수 있다. 그 결과, 상기 촬영부(130)는 상기 조명부(120)가 상기 점등 패턴들에 따라 하나씩 지연되어 점등될 때마다 촬영을 일정 시간 동안 수행할 수 있다. 이후, 상기 촬영부(130)에서 촬영된 복수의 이미지들은 생성될 때마다 한 장씩 실시간으로 또는 모두 다 생성된 후 한꺼번에 상기 제어 장치(200)로 전송되어 저장되면서 표시장치를 통해 표시될 수 있다. 일예로, 상기 표시장치를 통해 표시된 복수의 이미지들이 도 22에서와 같이 표시될 수 있다.Meanwhile, the control apparatus 200 may transmit a plurality of photographing trigger signals to the photographing unit 130 one by one in response to the lighting patterns included in the selection pattern information. In this case, the transmission timing of each of the photographing trigger signals may be after a timing at which the lighting control is completed by each of the lighting patterns included in the selection pattern information. As a result, the photographing unit 130 may perform photographing for a predetermined time whenever the lighting unit 120 is turned on one by one according to the lighting patterns. Thereafter, the plurality of images photographed by the photographing unit 130 may be displayed on the display device while being generated one by one or in real time every time they are generated and transmitted to the control device 200 at once. For example, a plurality of images displayed through the display device may be displayed as shown in FIG. 22.

도 23은 도 14의 제어 방법 중 트리거링 과정이 제2 트리거링 모드로 구동되는 것을 도시한 개념도이고, 도 24는 도 23의 제2 트리거링 모드의 타이밍을 도시한 파형도이다.FIG. 23 is a conceptual diagram illustrating that a triggering process of the control method of FIG. 14 is driven in a second triggering mode, and FIG. 24 is a waveform diagram illustrating timing of the second triggering mode of FIG. 23.

도 23 및 도 24를 참조하면, 상기 파라미터 정보의 모드 정보에 의해 상기 조명 장치(100)의 제어 모드가 상기 제2 트리거 모드로 결정되면, 상기 조명 장치(100)는 상기 제2 트리거 모드로 구동될 수 있다.23 and 24, when the control mode of the lighting apparatus 100 is determined as the second trigger mode based on the mode information of the parameter information, the lighting apparatus 100 is driven in the second trigger mode. Can be.

구체적으로 설명하면, 상기 제어 장치(200)가 조명 트리거 신호를 상기 제어부(140)로 전송하면, 상기 제어부(140)는 상기 제어 장치(200)로부터 전송받은 조명 트리거 신호에 응답하여 상기 조명부(120) 및 상기 촬영부(130)을 제어할 수 있다.In detail, when the control device 200 transmits an illumination trigger signal to the controller 140, the controller 140 responds to the illumination trigger signal received from the control device 200. ) And the photographing unit 130 may be controlled.

우선, 상기 제어부(140)는 상기 제어 장치(200)로부터 전송받은 조명 트리거 신호에 응답하여 상기 선택 패턴 정보에 포함된 복수의 점등 패턴들 중 순서상 가장 앞선 하나의 점등 패턴으로 점등 제어할 수 있다. 이후, 상기 조명부(120)에서 점등 패턴에 의한 점등 제어가 완료된 이후, 상기 제어부(140)는 상기 파라미터 정보의 타이밍 정보에 포함된 조명 딜레이 시간만큼 지연시켜 그 다음의 점등 패턴으로 상기 조명부(120)를 점등 제어할 수 있다. 이와 동일한 방법으로, 상기 제어부(140)는 상기 선택 패턴 정보에 포함된 점등 패턴들을 상기 조명 딜레이 시간만큼 지연시키면서 상기 조명부(120)을 점등 제어하고, 이후 상기 조명부(120)를 OFF시킬 수도 있다.First, the control unit 140 may control lighting to one of the first lighting patterns in order among the plurality of lighting patterns included in the selection pattern information in response to the lighting trigger signal transmitted from the control device 200. . Then, after the lighting control by the lighting pattern is completed in the lighting unit 120, the control unit 140 delays the lighting delay time included in the timing information of the parameter information by the lighting unit 120 in the next lighting pattern. Lighting can be controlled. In the same way, the controller 140 may control the lighting unit 120 to be turned on while delaying the lighting patterns included in the selection pattern information by the lighting delay time, and then turn off the lighting unit 120.

한편, 상기 선택 패턴 정보에 포함된 점등 패턴들에 대응하여, 상기 제어부(140)가 복수의 촬영 트리거 신호들을 하나씩 상기 촬영부(130)로 전송할 수 있다. 이때, 상기 촬영 트리거 신호들 각각의 전송 시점은 상기 선택 패턴 정보에 포함된 점등 패턴들 각각에 의해 점등 제어가 시작된 이후 상기 파라미터 정보의 타이밍 정보에 포함된 촬영 딜레이 시간만큼 지연된 시점일 수 있다. 그 결과, 상기 촬영부(130)는 상기 조명부(120)가 상기 점등 패턴들에 따라 하나씩 지연되어 점등될 때마다 촬영을 일정 시간 동안 수행할 수 있다. 이후, 상기 촬영부(130)에서 촬영된 복수의 이미지들은 생성될 때마다 한 장씩 실시간으로 또는 모두 다 생성된 후 한꺼번에 상기 제어 장치(200)로 전송되어 저장되면서 표시장치를 통해 표시될 수 있다.In response to the lighting patterns included in the selection pattern information, the controller 140 may transmit a plurality of photographing trigger signals to the photographing unit 130 one by one. In this case, the transmission time of each of the photographing trigger signals may be a point of time delayed by the photographing delay time included in the timing information of the parameter information after the lighting control is started by each of the lighting patterns included in the selection pattern information. As a result, the photographing unit 130 may perform photographing for a predetermined time whenever the lighting unit 120 is turned on one by one according to the lighting patterns. Thereafter, the plurality of images photographed by the photographing unit 130 may be displayed on the display device while being generated one by one or in real time every time they are generated and transmitted to the control device 200 at once.

도 25는 도 14의 제어 방법 중 트리거링 과정이 제3 트리거링 모드로 구동되는 것을 도시한 개념도이고, 도 26은 도 25의 제3 트리거링 모드의 타이밍을 도시한 파형도이다.FIG. 25 is a conceptual diagram illustrating that a triggering process of the control method of FIG. 14 is driven in a third triggering mode, and FIG. 26 is a waveform diagram illustrating timing of the third triggering mode of FIG. 25.

도 25 및 도 26을 참조하면, 상기 파라미터 정보의 모드 정보에 의해 상기 조명 장치(100)의 제어 모드가 상기 제3 트리거 모드로 결정되면, 상기 조명 장치(100)는 상기 제3 트리거 모드로 구동될 수 있다.25 and 26, when the control mode of the lighting apparatus 100 is determined as the third trigger mode by the mode information of the parameter information, the lighting apparatus 100 is driven in the third trigger mode. Can be.

구체적으로 설명하면, 상기 외부 제어 장치(300)가 조명 트리거 신호를 상기 제어부(140)로 전송하면, 상기 제어부(140)는 상기 제어 장치(200)로부터 전송받은 조명 트리거 신호에 응답하여 상기 조명부(120) 및 상기 촬영부(130)을 제어할 수 있다.In detail, when the external control device 300 transmits an illumination trigger signal to the controller 140, the controller 140 responds to the illumination trigger signal received from the control device 200. 120 and the photographing unit 130 may be controlled.

우선, 상기 제어부(140)가 상기 외부 제어 장치(300)로부터 조명 트리거 신호를 인가받으면, 상기 파라미터 정보의 타이밍 정보에 포함된 트리거 딜레이 시간만큼 지연시켜, 상기 선택 패턴 정보에 포함된 복수의 점등 패턴들 중 순서상 가장 앞선 하나의 점등 패턴으로 점등 제어할 수 있다. 이후, 상기 조명부(120)에서 점등 패턴에 의한 점등 제어가 완료된 이후, 상기 제어부(140)는 상기 파라미터 정보의 타이밍 정보에 포함된 조명 딜레이 시간만큼 지연시켜 그 다음의 점등 패턴으로 상기 조명부(120)를 점등 제어할 수 있다. 이와 동일한 방법으로, 상기 제어부(140)는 상기 선택 패턴 정보에 포함된 점등 패턴들을 상기 조명 딜레이 시간만큼 지연시키면서 상기 조명부(120)을 점등 제어하고, 이후 상기 조명부(120)를 OFF시킬 수도 있다.First, when the control unit 140 receives an illumination trigger signal from the external control device 300, the controller 140 delays by a trigger delay time included in the timing information of the parameter information, and the plurality of lighting patterns included in the selection pattern information. The lighting control can be controlled by the one lighting pattern that is the first in the sequence. Then, after the lighting control by the lighting pattern is completed in the lighting unit 120, the control unit 140 delays the lighting delay time included in the timing information of the parameter information by the lighting unit 120 in the next lighting pattern. Lighting can be controlled. In the same way, the controller 140 may control the lighting unit 120 to be turned on while delaying the lighting patterns included in the selection pattern information by the lighting delay time, and then turn off the lighting unit 120.

한편, 상기 선택 패턴 정보에 포함된 점등 패턴들에 대응하여, 상기 제어부(140)가 복수의 촬영 트리거 신호들을 하나씩 상기 촬영부(130)로 전송할 수 있다. 이때, 상기 촬영 트리거 신호들 각각의 전송 시점은 상기 선택 패턴 정보에 포함된 점등 패턴들 각각에 의해 점등 제어가 시작된 이후 상기 파라미터 정보의 타이밍 정보에 포함된 촬영 딜레이 시간만큼 지연된 시점일 수 있다. 그 결과, 상기 촬영부(130)는 상기 조명부(120)가 상기 점등 패턴들에 따라 하나씩 지연되어 점등될 때마다 촬영을 일정 시간 동안 수행할 수 있다. 이후, 상기 촬영부(130)에서 촬영된 복수의 이미지들은 생성될 때마다 한 장씩 실시간으로 또는 모두 다 생성된 후 한꺼번에 상기 제어 장치(200)로 전송되어 저장되면서 표시장치를 통해 표시될 수 있다.In response to the lighting patterns included in the selection pattern information, the controller 140 may transmit a plurality of photographing trigger signals to the photographing unit 130 one by one. In this case, the transmission time of each of the photographing trigger signals may be a point of time delayed by the photographing delay time included in the timing information of the parameter information after the lighting control is started by each of the lighting patterns included in the selection pattern information. As a result, the photographing unit 130 may perform photographing for a predetermined time whenever the lighting unit 120 is turned on one by one according to the lighting patterns. Thereafter, the plurality of images photographed by the photographing unit 130 may be displayed on the display device while being generated one by one or in real time every time they are generated and transmitted to the control device 200 at once.

도 27은 도 14의 제어 방법 중 트리거링 과정이 제4 트리거링 모드로 구동되는 것을 도시한 개념도이고, 도 28은 도 27의 제4 트리거링 모드의 타이밍을 도시한 파형도이다.FIG. 27 is a conceptual diagram illustrating that a triggering process of the control method of FIG. 14 is driven in a fourth triggering mode, and FIG. 28 is a waveform diagram illustrating timing of the fourth triggering mode of FIG. 27.

도 27 및 도 28을 참조하면, 상기 파라미터 정보의 모드 정보에 의해 상기 조명 장치(100)의 제어 모드가 상기 제4 트리거 모드로 결정되면, 상기 조명 장치(100)는 상기 제4 트리거 모드로 구동될 수 있다.27 and 28, when the control mode of the lighting apparatus 100 is determined as the fourth trigger mode based on the mode information of the parameter information, the lighting apparatus 100 is driven in the fourth trigger mode. Can be.

구체적으로 설명하면, 상기 외부 제어 장치(300)가 조명 트리거 신호를 상기 제어부(140)로 전송하면, 상기 제어부(140)는 상기 제어 장치(200)로부터 전송받은 조명 트리거 신호에 응답하여 상기 조명부(120) 및 상기 촬영부(130)을 제어할 수 있다.In detail, when the external control device 300 transmits an illumination trigger signal to the controller 140, the controller 140 responds to the illumination trigger signal received from the control device 200. 120 and the photographing unit 130 may be controlled.

우선, 상기 제어부(140)가 상기 외부 제어 장치(300)로부터 조명 트리거 신호를 인가받으면, 상기 파라미터 정보의 타이밍 정보에 포함된 조명 딜레이 시간만큼 지연시켜, 상기 선택 패턴 정보에 포함된 복수의 점등 패턴들 중 순서상 가장 앞선 첫 번째 점등 패턴으로 점등 제어할 수 있다.First, when the control unit 140 receives an illumination trigger signal from the external control device 300, the controller 140 delays the lighting delay time included in the timing information of the parameter information, and thus, the plurality of lighting patterns included in the selection pattern information. The lighting control can be controlled by the first lighting pattern that comes first in the sequence.

이후, 상기 제어부(140)는 상기 첫 번째 점등 패턴에 의한 제어가 시작된 이후 상기 파라미터 정보의 타이밍 정보에 포함된 촬영 딜레이 시간만큼 지연시켜, 첫 번째 촬영 트리거 신호를 상기 촬영부(130)로 전송시킬 수 있다. 이때, 상기 첫 번째 촬영 트리거 신호의 전송 시점은 상기 첫 번째 점등 패턴에 의한 제어가 완료된 시점 이후일 수 있다.Thereafter, the control unit 140 delays the shooting delay time included in the timing information of the parameter information after the control by the first lighting pattern is started, and transmits the first shooting trigger signal to the shooting unit 130. Can be. In this case, the transmission time point of the first photographing trigger signal may be after a time point at which the control by the first lighting pattern is completed.

이후, 상기 촬영부(140)는 상기 첫 번째 촬영 트리거 신호에 응답하여 촬영을 일정 시간 동안 수행하여, 첫 번째 이미지를 생성할 수 있다. 또한, 상기 촬영부(140)는 상기 첫 번째 촬영 트리거 신호에 의한 촬영이 완료된 이후 첫 번째 촬영 완료 신호를 상기 제어부(140)로 전송시킬 수 있다.Thereafter, the photographing unit 140 may generate a first image by performing photographing for a predetermined time in response to the first photographing trigger signal. In addition, the photographing unit 140 may transmit the first photographing completion signal to the controller 140 after the photographing by the first photographing trigger signal is completed.

이후, 상기 제어부(140)가 상기 촬영부(140)로부터 상기 첫 번째 촬영 완료 신호를 인가받으면, 상기 선택 패턴 정보에 포함된 복수의 점등 패턴들 중 두 번째 점등 패턴으로 점등 제어할 수 있다.Subsequently, when the controller 140 receives the first photographing completion signal from the photographing unit 140, the controller 140 may control lighting to a second lighting pattern among a plurality of lighting patterns included in the selection pattern information.

이후, 상기 제어부(140)는 상기 두 번째 점등 패턴에 의한 제어가 시작된 이후 상기 촬영 딜레이 시간만큼 지연시켜, 두 번째 촬영 트리거 신호를 상기 촬영부(130)로 전송시킬 수 있다. 이때, 상기 두 번째 촬영 트리거 신호의 전송 시점은 상기 두 번째 점등 패턴에 의한 제어가 완료된 시점 이후일 수 있다.Thereafter, the controller 140 may delay the photographing delay time by the photographing delay time after the control by the second lighting pattern is started, and transmit the second photographing trigger signal to the photographing unit 130. In this case, the transmission time point of the second photographing trigger signal may be after a time point when the control by the second lighting pattern is completed.

이후, 상기 촬영부(140)는 상기 두 번째 촬영 트리거 신호에 응답하여 촬영을 일정 시간 동안 수행하여, 두 번째 이미지를 생성할 수 있다. 또한, 상기 촬영부(140)는 상기 두 번째 촬영 트리거 신호에 의한 촬영이 완료된 이후 두 번째 촬영 완료 신호를 상기 제어부(140)로 전송시킬 수 있다.Thereafter, the photographing unit 140 may generate a second image by performing photographing for a predetermined time in response to the second photographing trigger signal. In addition, the photographing unit 140 may transmit a second photographing completion signal to the controller 140 after the photographing by the second photographing trigger signal is completed.

이와 같은 방식으로, 상기 제어부(140)는 상기 선택 패턴 정보에 포함된 점등 패턴들 중 하나씩 상기 조명부(120)을 점등 제어할 수 있고, 상기 촬영부(130)는 상기 점등 패턴들에 대응되는 이미지들을 하나씩 촬영할 수 있다. 이때, 상기 제어부(140)는 상기 선택 패턴 정보에 포함된 점등 패턴들 모두에 대해 상기 조명부(120)을 점등 제어하면, 이후 상기 조명부(120)를 OFF시킬 수도 있다.In this manner, the controller 140 may control lighting of the lighting unit 120 by one of the lighting patterns included in the selection pattern information, and the photographing unit 130 may have an image corresponding to the lighting patterns. You can shoot them one by one. In this case, when the control unit 140 controls the lighting unit 120 to turn on the lighting patterns included in the selection pattern information, the lighting unit 120 may be turned off.

한편, 상기 촬영부(130)에서 촬영된 복수의 이미지들은 생성될 때마다 한 장씩 실시간으로 또는 모두 다 생성된 후 한꺼번에 상기 제어 장치(200)로 전송되어 저장되면서 표시장치를 통해 표시될 수 있다.Meanwhile, the plurality of images photographed by the photographing unit 130 may be displayed on the display device while being transmitted to the control device 200 at once and generated in real time or after all are generated one by one every time they are generated.

이와 같이 본 실시예에 따르면, 사용자가 상기 제어 장치(200)를 이용하여 자신의 원하는 점등 패턴을 생성하여 상기 조명 장치(100)로 전송함에 따라, 상기 조명 장치(100)는 사용자가 원하는 점등 패턴대로 자유롭게 제어되어, 상기 측정대상물(MT)에 대한 다양한 이미지 데이터를 획득할 수 있다.As such, according to the present exemplary embodiment, as the user generates the desired lighting pattern by using the control device 200 and transmits the desired lighting pattern to the lighting device 100, the lighting device 100 may have the lighting pattern desired by the user. As can be freely controlled, various image data for the measurement object MT can be obtained.

또한, 사용자가 상기 제어 장치(200)를 이용하여 자신의 원하는 파라미터 정보를 생성하여 상기 조명 장치(100)로 전송함에 따라, 상기 조명 장치(100)는 사용자가 원하는 파라미터 정보에 따라 제어될 수 있다. 예를 들어, 사용자가 상기 제어 장치(200)를 통해 어느 하나의 트리거 모드를 선택하여 상기 조명 장치(100)로 전송할 경우, 상기 조명 장치(100)는 사용자가 선택한 트리거 모드로 구동될 수 있다.In addition, as the user generates the desired parameter information by using the control device 200 and transmits the desired parameter information to the lighting device 100, the lighting device 100 may be controlled according to the user desired parameter information. . For example, when a user selects any one trigger mode through the control device 200 and transmits the trigger mode to the lighting device 100, the lighting device 100 may be driven in the trigger mode selected by the user.

앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이다.  따라서, 전술한 설명 및 아래의 도면은 본 발명의 기술사상을 한정하는 것이 아닌 본 발명을 예시하는 것으로 해석되어야 한다.Although the detailed description of the present invention described above has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art or those skilled in the art will have the idea of the present invention described in the claims to be described below. And various modifications and variations of the present invention without departing from the scope of the art. Therefore, the above description and the drawings below should be construed as illustrating the present invention, not limiting the technical spirit of the present invention.

100 : 조명 시스템 110 : 측정 스테이지
120 : 조명부 130 : 촬영부
140 : 제어부 MT : 측정대상물
150 : 빔분리부 160 : 하우징
200 : 제어 장치 300 : 외부 제어 장치
100: lighting system 110: measuring stage
120: lighting unit 130: shooting unit
140: control unit MT: measuring object
150: beam separation unit 160: housing
200: control device 300: external control device

Claims (20)

개별적으로 점등 제어가 가능한 복수의 광원들을 포함하여 측정대상물로 광을 조사할 수 있는 조명부, 상기 조명부에 의해 조사되어 상기 측정대상물에서 반사된 광을 수신하여 상기 측정대상물의 이미지를 생성하는 촬영부, 및 상기 광원들을 개별적으로 제어할 수 있는 제어부를 포함하는 조명 장치; 및
상기 제어부로 상기 광원들 중 점등되는 광원을 결정하는 적어도 하나의 점등 패턴을 포함하는 패턴 정보를 제공하여, 상기 조명부가 상기 패턴 정보에 따라 점등되도록 상기 제어부를 제어하는 제어 장치를 포함하는 조명 시스템.
An illumination unit for irradiating light to the measurement object including a plurality of light sources that can be individually controlled to light, a photographing unit for receiving the light reflected by the illumination unit reflected from the measurement object to generate an image of the measurement object, And a control unit for individually controlling the light sources; And
And a control device which provides the controller with pattern information including at least one lighting pattern for determining a light source to be turned on among the light sources, and controls the controller to turn on the lighting unit according to the pattern information.
제1항에 있어서,
상기 제어 장치는
상기 조명 장치를 동작시키기 위한 복수의 트리거 모드들 중 하나의 트리거 모드를 결정하는 모드 정보를 포함하는 파라미터 정보를 상기 제어부로 전송하고,
상기 조명 장치는
상기 모드 정보에서 결정된 트리거 모드로 구동되는 것을 특징으로 하는 조명 시스템.
The method of claim 1,
The control device
Transmitting parameter information including mode information for determining one of a plurality of trigger modes for operating the lighting device, to the controller;
The lighting device
Illumination system, characterized in that driven in the trigger mode determined from the mode information.
제2항에 있어서,
상기 파라미터 정보는
상기 조명 장치를 제어하기 위한 제어 신호의 타이밍을 결정하는 타이밍 정보를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 조명 시스템.
The method of claim 2,
The parameter information is
And timing information for determining a timing of a control signal for controlling the lighting device.
제3항에 있어서,
상기 트리거 모드들은
상기 제어 장치에서 생성된 조명 트리거 신호에 의해 상기 조명 장치의 구동을 시작하는 S/W 트리거 모드; 및
외부 제어 장치에서 생성된 조명 트리거 신호에 의해 상기 조명 장치의 구동을 시작하는 H/W 트리거 모드를 포함하는 것을 특징으로 하는 조명 시스템.
The method of claim 3,
The trigger modes
S / W trigger mode for starting the driving of the lighting device by the lighting trigger signal generated by the control device; And
And an H / W trigger mode for starting the driving of the lighting device by the lighting trigger signal generated by an external control device.
제4항에 있어서,
상기 S/W 트리거 모드는
상기 제어 장치가 조명 트리거 신호를 상기 제어부로 전송하면, 상기 제어부가 상기 제어 장치로부터 전송받은 조명 트리거 신호에 응답하여 상기 조명부의 구동을 제어하는 제1 트리거 모드를 포함하고,
상기 제어 장치는
상기 제어부가 상기 제1 트리거 모드로 구동될 때, 촬영 트리거 신호를 상기 촬영부로 전송하여 상기 촬영부의 구동을 제어하는 것을 특징으로 하는 조명 시스템.
The method of claim 4, wherein
The S / W trigger mode is
When the control device transmits an illumination trigger signal to the control unit, the control unit includes a first trigger mode for controlling the driving of the lighting unit in response to the light trigger signal received from the control device,
The control device
And when the controller is driven in the first trigger mode, controlling a driving of the photographing unit by transmitting a photographing trigger signal to the photographing unit.
제5항에 있어서,
상기 제1 트리거 모드는
상기 제어 장치가 조명 트리거 신호를 상기 제어부로 전송하면, 상기 제어부가 상기 제어 장치로부터 전송받은 조명 트리거 신호에 응답하여 상기 패턴 정보에 포함된 복수의 점등 패턴들 중 순서대로 하나씩으로 상기 타이밍 정보에 포함된 조명 딜레이 시간만큼 지연시키면서 상기 조명부를 점등 제어하고,
상기 제어 장치는
상기 제어부가 상기 제1 트리거 모드로 구동될 때, 상기 패턴 정보에 포함된 점등 패턴들에 대응되는 복수의 촬영 트리거 신호들을 하나씩 상기 촬영부로 전송하여 상기 촬영부의 구동을 제어하는 것을 특징으로 하는 조명 시스템.
The method of claim 5,
The first trigger mode is
When the control device transmits an illumination trigger signal to the control unit, the control unit includes one by one of the plurality of lighting patterns included in the pattern information in order in response to the illumination trigger signal received from the control device. The lighting unit is controlled to be turned on while delaying by a predetermined lighting delay time,
The control device
When the control unit is driven in the first trigger mode, the illumination system to control the driving of the photographing unit by transmitting a plurality of photographing trigger signals corresponding to the lighting patterns included in the pattern information to the photographing unit one by one .
제6항에 있어서,
상기 촬영 트리거 신호들 각각의 전송 시점은
상기 패턴 정보에 포함된 점등 패턴들 각각에 의해 상기 조명부의 점등 제어가 완료된 시점 이후인 것을 특징으로 하는 조명 시스템.
The method of claim 6,
The transmission time of each of the photographing trigger signals is
Illumination system, characterized in that after the time point of the lighting control is completed by each of the lighting patterns included in the pattern information.
제4항에 있어서,
상기 S/W 트리거 모드는
상기 제어 장치가 조명 트리거 신호를 상기 제어부로 전송하면, 상기 제어부가 상기 제어 장치로부터 전송받은 조명 트리거 신호에 응답하여 상기 조명부의 구동을 제어하면서, 촬영 트리거 신호를 상기 촬영부로 전송하여 상기 촬영부의 구동을 제어하는 제2 트리거 모드를 포함하는 것을 특징으로 하는 조명 시스템.
The method of claim 4, wherein
The S / W trigger mode is
When the controller transmits an illumination trigger signal to the controller, the controller controls the driving of the lighting unit in response to the illumination trigger signal received from the controller, while transmitting a photographing trigger signal to the photographing unit to drive the photographing unit. And a second trigger mode to control the lighting system.
제8항에 있어서,
상기 제2 트리거 모드는
상기 제어 장치가 조명 트리거 신호를 상기 제어부로 전송하면, 상기 제어부가 상기 제어 장치로부터 전송받은 조명 트리거 신호에 응답하여 상기 패턴 정보에 포함된 복수의 점등 패턴들 중 순서대로 하나씩으로 상기 타이밍 정보에 포함된 조명 딜레이 시간만큼 지연시키면서 상기 조명부를 점등 제어하고, 상기 패턴 정보에 포함된 점등 패턴들에 대응되는 복수의 촬영 트리거 신호들을 하나씩 상기 촬영부로 전송하여 상기 촬영부의 구동을 제어하는 것을 특징으로 하는 조명 시스템.
The method of claim 8,
The second trigger mode is
When the control device transmits an illumination trigger signal to the control unit, the control unit includes one by one of the plurality of lighting patterns included in the pattern information in order in response to the illumination trigger signal received from the control device. Lighting the lighting unit while delaying the lighting delay time and transmitting a plurality of shooting trigger signals corresponding to the lighting patterns included in the pattern information to the imaging unit one by one to control driving of the imaging unit system.
제9항에 있어서,
상기 촬영 트리거 신호들 각각의 전송 시점은
상기 패턴 정보에 포함된 점등 패턴들 각각에 의해 상기 조명부의 점등 제어가 시작된 이후 상기 타이밍 정보에 포함된 촬영 딜레이 시간만큼 지연된 시점인 것을 특징으로 하는 조명 시스템.
The method of claim 9,
The transmission time of each of the photographing trigger signals is
And a time delayed by a shooting delay time included in the timing information after the lighting control of the lighting unit is started by each of the lighting patterns included in the pattern information.
제4항에 있어서,
상기 H/W 트리거 모드는
상기 외부 제어 장치가 조명 트리거 신호를 상기 제어부로 전송하면, 상기 제어부가 상기 외부 제어 장치로부터 전송받은 조명 트리거 신호에 응답하여 상기 조명부의 구동을 제어하면서, 촬영 트리거 신호를 상기 촬영부로 전송하여 상기 촬영부의 구동을 제어하는 제3 트리거 모드를 포함하는 것을 특징으로 하는 조명 시스템.
The method of claim 4, wherein
The H / W trigger mode is
When the external control device transmits an illumination trigger signal to the control unit, the control unit controls the driving of the illumination unit in response to an illumination trigger signal received from the external control device, and transmits an image capture trigger signal to the image capture unit to capture the image. And a third trigger mode for controlling the driving of the negative.
제11항에 있어서,
상기 제3 트리거 모드는
상기 제어부가 상기 외부 제어 장치로부터 조명 트리거 신호를 수신하면, 상기 타이밍 정보에 포함된 트리거 딜레이 시간만큼 지연시켜 상기 조명부의 구동을 제어하면서, 촬영 트리거 신호를 상기 촬영부로 전송하여 상기 촬영부의 구동을 제어하는 것을 특징으로 하는 조명 시스템.
The method of claim 11,
The third trigger mode is
When the control unit receives the lighting trigger signal from the external control device, the driving unit controls the driving of the lighting unit by controlling the driving of the lighting unit by delaying the trigger delay time included in the timing information, and controlling the driving of the shooting unit. Lighting system, characterized in that.
제11항에 있어서,
상기 제3 트리거 모드는
상기 외부 제어 장치가 조명 트리거 신호를 상기 제어부로 전송하면, 상기 제어부가 상기 외부 제어 장치로부터 전송받은 조명 트리거 신호에 응답하여 상기 패턴 정보에 포함된 복수의 점등 패턴들 중 순서대로 하나씩으로 상기 타이밍 정보에 포함된 조명 딜레이 시간만큼 지연시키면서 상기 조명부를 점등 제어하고, 상기 패턴 정보에 포함된 점등 패턴들에 대응되는 복수의 촬영 트리거 신호들을 하나씩 상기 촬영부로 전송하여 상기 촬영부의 구동을 제어하는 것을 특징으로 하는 조명 시스템.
The method of claim 11,
The third trigger mode is
When the external control device transmits an illumination trigger signal to the control unit, the control unit controls the timing information in order of one of a plurality of lighting patterns included in the pattern information in response to the illumination trigger signal received from the external control device. Controlling the lighting of the lighting unit while delaying the lighting delay time included in the lighting unit, and controlling driving of the photographing unit by transmitting a plurality of photographing trigger signals corresponding to the lighting patterns included in the pattern information to the photographing unit one by one. Lighting system.
제13항에 있어서,
상기 촬영 트리거 신호들 각각의 전송 시점은
상기 패턴 정보에 포함된 점등 패턴들 각각에 의해 상기 조명부의 점등 제어가 시작된 이후 상기 타이밍 정보에 포함된 촬영 딜레이 시간만큼 지연된 시점인 것을 특징으로 하는 조명 시스템.
The method of claim 13,
The transmission time of each of the photographing trigger signals is
And a time delayed by a shooting delay time included in the timing information after the lighting control of the lighting unit is started by each of the lighting patterns included in the pattern information.
제4항에 있어서,
상기 H/W 트리거 모드는
상기 외부 제어 장치가 조명 트리거 신호를 상기 제어부로 전송하면, 상기 제어부가 상기 외부 제어 장치로부터 전송받은 조명 트리거 신호에 응답하여 상기 조명부에서의 초기 구동을 제어하고, 촬영 트리거 신호를 상기 촬영부로 전송하여 상기 촬영부의 구동을 제어하며, 상기 촬영부로부터 제공된 촬영 완료 신호에 응답하여 상기 조명부에서의 상기 초기 구동 이후의 구동을 제어하는 제4 트리거 모드를 포함하는 것을 특징으로 하는 조명 시스템.
The method of claim 4, wherein
The H / W trigger mode is
When the external control device transmits an illumination trigger signal to the controller, the controller controls the initial driving in the lighting unit in response to the illumination trigger signal received from the external control device, and transmits a shooting trigger signal to the photographing unit. And a fourth trigger mode for controlling driving of the photographing unit and controlling driving after the initial driving in the lighting unit in response to a photographing completion signal provided from the photographing unit.
제15항에 있어서,
상기 제4 트리거 모드는
상기 제어부가 상기 외부 제어 장치로부터 조명 트리거 신호를 수신하면, 상기 타이밍 정보에 포함된 트리거 딜레이 시간만큼 지연시켜 상기 조명부에서의 초기 구동을 제어하고, 촬영 트리거 신호를 상기 촬영부로 전송하여 상기 촬영부의 구동을 제어하며, 상기 촬영부로부터 제공된 촬영 완료 신호에 응답하여 상기 조명부에서의 상기 초기 구동 이후의 구동을 제어하는 것을 특징으로 하는 조명 시스템.
The method of claim 15,
The fourth trigger mode is
When the controller receives the illumination trigger signal from the external control device, the controller delays the trigger delay time included in the timing information to control initial driving of the lighting unit, and transmits a photographing trigger signal to the photographing unit to drive the photographing unit. And controlling driving after the initial driving in the lighting unit in response to a shooting completion signal provided from the shooting unit.
제15항에 있어서,
상기 제4 트리거 모드는
상기 외부 제어 장치가 조명 트리거 신호를 상기 제어부로 전송하면, 상기 제어부가 상기 외부 제어 장치로부터 전송받은 조명 트리거 신호에 응답하여 상기 패턴 정보에 포함된 복수의 점등 패턴들 중 첫 번째 점등 패턴으로 상기 조명부를 점등 제어하면서, 첫 번째 트리거 신호를 상기 촬영부로 전송하여 상기 촬영부의 첫 번째 구동을 제어한 후, 상기 촬영부로부터 첫 번째 촬영 완료 신호를 수신하고,
이후 상기 패턴 정보에 포함된 복수의 점등 패턴들 모두에 대해 상기 조명부의 점등 제어가 완료될 때까지, 상기 제어부가 상기 첫 번째 촬영 완료 신호를 포함하는 N 번째 촬영 완료 신호에 응답하여 상기 패턴 정보에 포함된 복수의 점등 패턴들 중 N+1 번째 점등 패턴으로 상기 조명부를 점등 제어하면서, N+1 번째 트리거 신호를 상기 촬영부로 전송하여 상기 촬영부의 N+1 번째 구동을 제어한 후, 상기 촬영부로부터 N+1 번째 촬영 완료 신호를 수신하는 것(단, N은 1 이상의 정수임)을 특징으로 하는 조명 시스템.
The method of claim 15,
The fourth trigger mode is
When the external control device transmits an illumination trigger signal to the control unit, the lighting unit is the first lighting pattern among a plurality of lighting patterns included in the pattern information in response to the lighting trigger signal received from the external control device. While controlling the lighting, by transmitting the first trigger signal to the photographing unit to control the first driving of the photographing unit, and receives the first photographing completion signal from the photographing unit,
Thereafter, the controller controls the pattern information in response to an N-th photographing completion signal including the first photographing completion signal until the lighting control of the lighting unit is completed for all of the plurality of lighting patterns included in the pattern information. After lighting the lighting unit with an N + 1th lighting pattern among a plurality of lighting patterns included, the N + 1th trigger signal is transmitted to the photographing unit to control the N + 1th driving of the photographing unit, and then the photographing unit Lighting system, characterized in that receiving an N + 1th shooting completion signal from the data source, where N is an integer of 1 or more.
제17항에 있어서,
상기 N+1 번째 촬영 완료 신호가 상기 촬영부에서 상기 제어부로 전송되는 시점은
상기 촬영부의 N 번째 구동이 완료되는 시점 이후인 것을 특징으로 하는 조명 시스템.
The method of claim 17,
The time point at which the N + 1th shooting completion signal is transmitted from the photographing unit to the controller is
Illumination system, characterized in that after the time point that the N-th drive of the photographing unit is completed.
제어 장치가 패턴 정보를 조명 장치로 전송하는 단계; 및
상기 조명 장치가 상기 패턴 정보에 따라 점등되는 단계를 포함하고,
상기 조명 장치는
개별적으로 점등 제어가 가능한 복수의 광원들을 포함하여 측정대상물로 광을 조사할 수 있는 조명부, 상기 조명부에 의해 조사되어 상기 측정대상물에서 반사된 광을 수신하여 상기 측정대상물의 이미지를 생성하는 촬영부, 및 상기 패턴 정보에 따라 점등되도록 상기 광원들을 개별적으로 제어할 수 있는 제어부를 포함하고,
상기 패턴 정보는
상기 광원들 중 점등되는 광원을 결정하는 적어도 하나의 점등 패턴을 포함하는 것을 특징으로 하는 조명 시스템의 제어 방법.
Transmitting, by the control device, the pattern information to the lighting device; And
Lighting the lighting apparatus according to the pattern information;
The lighting device
An illumination unit for irradiating light to the measurement object including a plurality of light sources that can be individually controlled to light, a photographing unit for receiving the light reflected by the illumination unit reflected from the measurement object to generate an image of the measurement object, And a controller for individually controlling the light sources to be turned on according to the pattern information.
The pattern information
And at least one lighting pattern for determining a light source to be turned on among the light sources.
제19항에 있어서,
상기 제어 장치가 상기 조명 장치를 동작시키기 위한 복수의 트리거 모드들 중 하나의 트리거 모드를 결정하는 모드 정보를 포함하는 파라미터 정보를 상기 제어부로 전송하는 단계를 더 포함하고,
상기 조명 장치는 상기 모드 정보에서 결정된 트리거 모드로 구동되는 것을 특징으로 하는 조명 시스템의 제어 방법.
The method of claim 19,
Transmitting, by the control device, parameter information including mode information for determining one of a plurality of trigger modes for operating the lighting device, to the controller;
And the lighting device is driven in a trigger mode determined from the mode information.
KR1020180077972A 2018-07-05 2018-07-05 Illumination system and control method of the illumination system KR102117675B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180077972A KR102117675B1 (en) 2018-07-05 2018-07-05 Illumination system and control method of the illumination system

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180077972A KR102117675B1 (en) 2018-07-05 2018-07-05 Illumination system and control method of the illumination system

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20200004949A true KR20200004949A (en) 2020-01-15
KR102117675B1 KR102117675B1 (en) 2020-06-01

Family

ID=69156620

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020180077972A KR102117675B1 (en) 2018-07-05 2018-07-05 Illumination system and control method of the illumination system

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102117675B1 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023089857A1 (en) * 2021-11-22 2023-05-25 Towa株式会社 Inspection system, control method, manufacturing method for electronic component, and cutting device
WO2023187733A1 (en) * 2022-03-31 2023-10-05 Antares Vision S.P.A. Inspection system for objects

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08145903A (en) * 1994-11-21 1996-06-07 Matsushita Electric Works Ltd Inspection method of soldering and of vacancy and slip-off of lead
KR20130124605A (en) * 2012-05-07 2013-11-15 (주)텔콤코리아 High speed camera system of tunnel safety monitoring. using infrared ray
KR20170098181A (en) * 2016-02-19 2017-08-29 에이에스엠 테크놀러지 싱가포르 피티이 엘티디 Apparatus and method for cutting a wafer that is substantially covered by an opaque material

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08145903A (en) * 1994-11-21 1996-06-07 Matsushita Electric Works Ltd Inspection method of soldering and of vacancy and slip-off of lead
KR20130124605A (en) * 2012-05-07 2013-11-15 (주)텔콤코리아 High speed camera system of tunnel safety monitoring. using infrared ray
KR20170098181A (en) * 2016-02-19 2017-08-29 에이에스엠 테크놀러지 싱가포르 피티이 엘티디 Apparatus and method for cutting a wafer that is substantially covered by an opaque material

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023089857A1 (en) * 2021-11-22 2023-05-25 Towa株式会社 Inspection system, control method, manufacturing method for electronic component, and cutting device
WO2023187733A1 (en) * 2022-03-31 2023-10-05 Antares Vision S.P.A. Inspection system for objects

Also Published As

Publication number Publication date
KR102117675B1 (en) 2020-06-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10012520B2 (en) Automated test systems and methods utilizing images to determine locations of non-functional light-emitting elements in light-emitting arrays
KR20160007361A (en) Image capturing method using projecting light source and image capturing device using the method
EP2685242B1 (en) Vision testing device with enhanced image clarity
JP6322335B2 (en) Appearance inspection device
EP2685208A2 (en) Vision testing device using multigrid pattern
JP2006292421A (en) Fluorescence detector
JP2016524265A (en) Method for determining characteristics of light source and mobile device
KR101583659B1 (en) Apparatus for measuring three dimension shape
CN110033429B (en) Image processing system
JP4669889B2 (en) Spectral color measuring device and spectral color measuring method
JP6981775B2 (en) Image inspection equipment and image inspection method
JP2006250656A (en) Method and apparatus for measuring illuminance unevenness of light emitting device array
JP2014219404A (en) Device and method for three-dimensionally measuring surface simultaneously in several wavelengths
US20150124081A1 (en) Method of measuring a height of 3-dimensional shape measurement apparatus
KR102117675B1 (en) Illumination system and control method of the illumination system
JP2018189558A (en) Image inspection device
KR101996023B1 (en) Illumination system
CN110248056B (en) Image inspection apparatus
KR20170080631A (en) Illumination system, inspection tool with illumination system, and method of operating an illumination system
CN110021042B (en) Image inspection device and illumination device
KR102174950B1 (en) Vision inspection apparatus for enhancing accuracy efficiency
KR102090006B1 (en) Illumination system
JP7051260B2 (en) 3D measuring device, 3D measuring method
JP6938093B2 (en) A method for inspecting the boundary of an object to be inspected and its inspection device
KR102485363B1 (en) Apparatus for Micro LED Inspection and Method for The Same

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant