KR20190136522A - White smoke Reduction Wetting Scrubber - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 백연저감 습식 스크러버에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체 제조 공정 등에서 발생하는 배기가스 내 유해성분을 정화 처리하는 습식 스크러버에 있어서, 정화 처리 공정에서 발생된 백연을 저감시킬 수 있는 백연저감 습식 스크러버에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE
화학공정, 반도체 제조 공정 등에서 배출되는 배기가스는 유독성, 폭발성 및 부식성이 강하므로, 이를 대기 중으로 방출할 경우 환경오염을 유발하는 원인이 될 수 있다.Exhaust gases emitted from chemical processes, semiconductor manufacturing processes, etc. are highly toxic, explosive and corrosive, and may cause environmental pollution if they are released into the atmosphere.
이를 위해 배기가스 내에 포함된 유해성분을 허용되는 농도까지 낮추는 정화 처리과정이 필수적으로 수반되어야 한다.To this end, a purification process that lowers the hazardous components contained in the exhaust gas to an acceptable concentration must be accompanied.
배기가스 내의 유해성분을 정화 처리하는 방법에는 버닝(burning) 방식과 습식(wetting) 방식이 있으며, 버닝 방식은 발화성 가스를 고온의 연소실에 연소시켜 배기가스를 처리하는 방법이며, 습식 방식은 세정수를 공급하여 배기가스와 접촉시킴으로써, 배기가스 내의 유해성분을 정화 처리하는 방식이다.There are two methods for purifying harmful components in the exhaust gas: burning and wet methods. The burning method is a method of treating exhaust gas by combusting flammable gas in a high temperature combustion chamber. By supplying and contacting with the exhaust gas, it is a method of purifying the harmful components in the exhaust gas.
특히, 반도체 공정에서 주로 사용되는 암모니아 가스 등은 물에 대한 용해도가 매누 높은 성질을 가지므로, 반도체 공정에서는 주로 습식 방식의 스크러버가 사용된다.In particular, since ammonia gas or the like mainly used in the semiconductor process has a very high solubility in water, a wet scrubber is mainly used in the semiconductor process.
도 1은 종래의 습식 스크러버(10)를 나타낸 도면이다.1 is a view showing a conventional
도 1을 참조하면, 종래의 습식 스크러버(10)는 스크러버몸체(1) 내부로 정화 처리를 위한 배기가스가 배기가스공급부(2)를 통한 일정 압력에 의해 유입되어 스크러버몸체(1) 상단으로 배출되도록 하며, 스크러버몸체(1) 내부에는 세정수공급부(3)를 통해 세정수를 공급하여 낙하시킴으로써, 배기가스와 세정수와의 접촉에 의해 배기가스 내 유해성분을 정화 처리하게 된다.Referring to FIG. 1, the conventional
이때, 스크러버몸체(1) 하단에는 세정수공급부(3)를 통해 낙하하는 세정수 또는 세정수와의 접촉에 의해 배기가스 내 유해성분 침전물 등이 수용될 수 있는 수조(1-1)가 형성될 수 있다.At this time, the bottom of the scrubber body (1) is formed with a water tank (1-1) that can accommodate the harmful component deposits in the exhaust gas by contact with the washing water or the washing water falling through the washing water supply unit (3). Can be.
아울러, 세정수공급부(3)는 외부로부터 세정수를 공급받거나, 수조(1-1)에 수용된 세정수를 이용하여 배기가스가 가지는 유해성분이 허용 기준치 이하가 될 때가지 정화 처리 작업을 수행하게 된다.In addition, the washing
이때, 습식 스크러버는 습도가 높은 비가 내리는 날이나, 외기 온도가 낮은 겨울철에 백연이 빈번하게 발생한다.In this case, the wet scrubber frequently generates white smoke on rainy days with high humidity or in winter when the outside temperature is low.
백연은 습식 스크러버 출구 측의 수증기가 작은 물방울로 응축되어 보이는 현상으로서, 인체에 무해한 수증기이다.White lead is a phenomenon in which water vapor on the wet scrubber outlet side is condensed into small droplets and is harmless to the human body.
그러나 백연은 배출 시 공기오염이나 화재발생으로 오인하건, 심적, 미적으로 인근 주민들로부터의 잦은 문의가 발생하므로, 이에 대한 습식 스크러버에서의 백연 발생을 최소화하는 것이 필요하다.However, it is necessary to minimize the occurrence of white smoke in the wet scrubber because it frequently causes inquiries from neighboring residents, whether it is mistaken for air pollution or fire.
본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 반도체 제조 공정 등에서 발생하는 배기가스 내 유해성분을 정화 처리하는 습식 스크러버에 있어서, 정화 처리 공정에서 발생된 백연을 저감시킬 수 있는 백연저감 습식 스크러버를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a wet scrubber for purifying harmful components in exhaust gas generated in a semiconductor manufacturing process, and the like, to reduce white smoke generated in a purification process. It is to provide a low smoke wet scrubber.
본 발명에 따른 백연저감 습식 스크러버는 하측에 정화 처리를 위한 배기가스가 유입되는 배기가스유입부(110)와, 상단에 정화 처리된 배기가스가 외부로 배출되는 배기가스배출부(120)를 포함하는 스크러버몸체(100); 상기 배출가스유입부(110)로 정화 처리를 위한 배기가스를 상기 스크러버몸체(100) 내부로 유입시키는 배기가스공급부(200); 상기 스크러버몸체(100) 내부에 형성되어 세정수를 분사하는 세정수공급부(300); 및 외기를 상기 스크러버몸체(100) 내부로 공급하는 제1외기유입부(410)와, 상기 제1외기유입부(410)에 의해 공급된 외기를 통해 배기가스를 응축시키는 응축영역을 형성하도록 상기 세정수공급부(300)와 배기가스배출부(120) 사이에 형성되는 제1응축기몸체(420)를 포함하는 응축기로 이루어지는 제1응축수단(400);을 포함하는 것을 특징으로 한다.The white smoke reduction wet scrubber according to the present invention includes an
또한, 상기 백연저감 습식 스크러버(1000)는 상기 배기가스배출부(120) 상단에 형성되는 제1혼합부(500)를 더 포함하며, 상기 제1혼합부(500)는 상기 배기가스배출부(120)와 연통되어 배기가스가 유입되는 제1배기가스유입부(511)와, 배출되는 제1배기가스배출부(512)를 포함하는 제1혼합부몸체(510) 및 상기 응축기몸체(420)를 통과한 외기를 상기 제1혼합부몸체(510)로 안내하는 외기안내유로(520)를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the white smoke reduction
또한, 상기 제1혼합부(500)는 상기 제1혼합부몸체(510) 내부에 구비되어 외기와 배기가스를 혼합시키는 제1믹싱수단(530)을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the
본 발명에 따른 백연저감 습식 스크러버는 하측에 정화 처리를 위한 배기가스가 유입되는 배기가스유입부(110)와, 상단에 정화 처리된 배기가스가 외부로 배출되는 배기가스배출부(120)를 포함하는 스크러버몸체(100); 상기 배출가스유입부(110)로 정화 처리를 위한 배기가스를 상기 스크러버몸체(100) 내부로 유입시키는 배기가스공급부(200); 및 상기 스크러버몸체(100) 내부에 형성되어 세정수를 분사하는 세정수공급부(300);를 포함하되, 상기 배기가스배출부(120) 상단에 연통되어 배기가스가 유입되는 제2배기가스유입부(611) 및 배출되는 제2배기가스배출부(612)를 포함하는 제2혼합부몸체(610)와, 외기를 상기 제2혼합부몸체(610) 내부로 공급하는 제2외기유입부(621) 및 제2외기유입부(621)에 의해 공급된 외기를 통해 배기가스를 응축시키는 응축영역을 형성하는 제2응축기몸체(622)를 포함하는 응축기로 이루어지는 제2응축수단(620)을 포함하는 제2혼합부(600);를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.The white smoke reduction wet scrubber according to the present invention includes an
또한, 상기 제2혼합부(600)는 상기 제2혼합부몸체(610) 내부에 구비되어 외기와 배기가스를 혼합시키는 제2믹싱수단(630)을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the
본 발명에 따른 백연저감 습식 스크러버는 하측에 정화 처리를 위한 배기가스가 유입되는 배기가스유입부(110)와, 상단에 정화 처리된 배기가스가 외부로 배출되는 배기가스배출부(120)를 포함하는 스크러버몸체(100); 상기 배출가스유입부(110)로 정화 처리를 위한 배기가스를 상기 스크러버몸체(100) 내부로 유입시키는 배기가스공급부(200); 및 상기 스크러버몸체(100) 내부에 형성되어 세정수를 분사하는 세정수공급부(300);를 포함하되, 상기 배기가스배출부(120)와 상부에 이격되어 배기가스가 유입되는 제3배기가스유입부(711) 및 배출되는 제3배기가스배출부(712)를 포함하는 제3혼합부몸체(710)와, 상기 제3혼합부몸체(710) 내부에 구비되어 상기 제3배기가스유입부(711)를 통해 배기가스와 외기를 상기 제3혼합부몸체(710) 내부로 유입 및 배출시키는 송풍팬(720)과, 상기 송풍팬(720)을 통해 유입된 외기를 통해 배기가스를 응축시키는 응축영역을 형성하는 제3응축기몸체를 포함하는 응축기로 이루어지는 제3응축수단(730)을 포함하는 제3혼합부(700);를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.The white smoke reduction wet scrubber according to the present invention includes an
또한, 상기 제3혼합부(700)는 상기 제3혼합부몸체(710) 내부에 구비되어 외기와 배기가스를 혼합시키는 제3믹싱수단(740)을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the
또한, 상기 스크러버몸체(100)는 상기 세정수공급부(300) 하측에 형성되는 충진재(140)를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the
본 발명에 따른 백연저감 습식 스크러버는 반도체 제조 공정 등에서 발생하는 배기가스 내 유해성분을 정화 처리하는 습식 스크러버에 있어서, 정화 처리 공정에서 발생된 백연을 저감시킬 수 있는 장점이 있다.The white smoke reduction wet scrubber according to the present invention has a merit of reducing the white smoke generated in the purification process in the wet scrubber for purifying the harmful components in the exhaust gas generated in the semiconductor manufacturing process.
또한, 본 발명에 따른 백연저감 습식 스크러버는 응축기를 이용하여 백연 발생량을 저감시킴과 함께, 외기의 유입에 따른 배기가스의 정화 처리 데이터 측정의 오차 발생을 최소화할 수 있는 장점이 있다.In addition, the white smoke-wetting scrubber according to the present invention has the advantage of reducing the amount of white smoke generated by using a condenser and minimizing the occurrence of errors in the measurement data of the exhaust gas purification treatment due to the inflow of outside air.
또한, 본 발명에 따른 백연저감 습식 스크러버는 간단한 구성을 통해 응축기를 포함하는 습식 스크러버의 제작이 용이함과 함께, 종래의 습식 스크러버에 응축기를 수월하게 추가 구비하여 백연 발생을 최소화할 수 있는 장점이 있다.In addition, the white smoke reduction wet scrubber according to the present invention has an advantage that it is easy to manufacture a wet scrubber including a condenser through a simple configuration, and to easily add a condenser to the conventional wet scrubber to minimize the generation of white smoke. .
도 1은 종래의 습식 스크러버를 나타낸 도면
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 백연저감 습식 스크러버를 나타낸 도면
도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 백연저감 습식 스크러버를 나타낸 도면
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 백연저감 습식 스크러버를 나타낸 또 다른 도면
도 5는 본 발명의 제3 실시예에 따른 백연저감 습식 스크러버를 나타낸 도면
도 6은 본 발명의 제4 실시예에 따른 백연저감 습식 스크러버를 나타낸 도면1 is a view showing a conventional wet scrubber
2 is a view showing a white smoke reduction wet scrubber according to a first embodiment of the present invention;
3 is a view showing a white smoke reduction wet scrubber according to a second embodiment of the present invention;
Figure 4 is yet another view showing a white smoke reduction wet scrubber according to a second embodiment of the present invention
FIG. 5 is a view showing a white smoke reducing wet scrubber according to a third embodiment of the present invention; FIG.
FIG. 6 is a view showing a white smoke reducing wet scrubber according to a fourth embodiment of the present invention; FIG.
이하, 상술한 바와 같은 본 발명에 따른 백연저감 습식 스크러버를 첨부된 도면을 참조로 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, a low smoke-wetting scrubber according to the present invention as described above will be described in detail.
<제1 실시예><First Embodiment>
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 백연저감 습식 스크러버를 나타낸 도면이다.2 is a view showing a white smoke reduction wet scrubber according to a first embodiment of the present invention.
도 2를 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 백연저감 습식 스크러버(1000)는 크게 스크러버몸체(100), 스크러버몸체(100) 내부로 정화 처리를 위한 배기가스를 공급하는 배기가스공급부(200), 스크러버몸체(100) 내부로 공급된 배기가스에 세정수를 접촉시켜 정화 처리하도록 세정수를 분사하여 낙하시키는 세정수공급부(300) 및 제1응축수단(400)을 포함하여 이루어진다.Referring to FIG. 2, the white smoke reduction
스크러버몸체(100)는 정화 처리를 위한 배기가스가 유입되는 배기가스유입부(110)가 하측에 형성되며, 상단에는 정화 처리된 배기가스를 스크러버몸체(100)로부터 외부로 배출하는 배기가스배출부(120)를 포함하여 이루어진다.The
아울러, 스크러버몸체(100) 최하단에는 세정수공급부(300)로부터 공급되어 배기가스의 정화 처리를 위해 낙하된 세정수 및 세정수와의 접촉에 의해 발생된 침전물 등이 수용되는 수조(130)가 구비될 수 있다.In addition, the lower end of the
배기가스공급부(200)는 반도체 공정 등에서 발생되어 정화 처리하기 위한 배기가스를 스크러버몸체(100)의 배기가스유입부(110)로 유입시키는 구성으로서, 블로워수단 등으로 이루어져 배기가스를 스크러버몸체(100) 내부로 유입시킬 수 있다.The exhaust
이때, 배기가스공급부(200)는 배기가스유입부(110)로 선택되는 압력으로 배기가스를 공급함으로써, 그 압력에 의해 배기가스유입부(110)를 통해 스크러버몸체(100) 내부로 유입된 배기가스가 배기가스배출부(120)를 통해 외부로 배출되도록 유동하게 한다.At this time, the exhaust
세정수공급부(300)는 스크러버몸체(100) 내부로 세정수를 공급하여 낙하시킴으로써, 배기가스공급부(200)에 의해 공급된 배기가스와 접촉시켜 배기가스 내의 유해성분을 정화 처리하게 한다.The cleaning
세정수공급부(300)는 정화 처리하기 위한 배기가스 내 성분에 따라 알카리성을 띠는 세정수를 공급할 수 있는 등, 정화 처리 대상에 대응하여 다양한 성분 또는 특징을 가지는 세정수를 스크러버몸체(100) 내부에서 낙하시킬 수 있는 실시예가 가능하다.The washing
아울러, 세정수공급부(300)는 외부에서 세정수를 공급받아 스크러버몸체(100) 내부로 공급하거나, 스크러버몸체(100) 하단의 수조에 수용된 세정수를 펌프를 통해 재공급받아 분사하여 낙하할 수 있는 등 다양한 실시예가 가능하다.In addition, the washing
아울러, 세정수공급부(300)는 스크러버몸체(100) 내부를 유동하는 배기가스와의 고른 접촉을 위해 분사노즐이 다수 구비되어 스크러버몸체(100) 내부로 고르게 세정수를 분사할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.In addition, the washing
또한, 스크러버몸체(100)는 세정수공급부(300)를 통해 낙하하는 세정수와 유입되어 유동하는 배기가스와의 접촉 면적 증대를 위해 세정수공급부(300) 하부에 충진재(140)등을 더 구비할 수 있으며, 충진재(140) 외에 세정수와 배기가스와의 접촉 면적 증대를 위한 다양한 구성 수단이 구비될 수 있다.In addition, the
제1응축수단(400)은 크게 재1외기유입부(410)와 제1응축기몸체(420)를 포함하는 응축기로 이루어진다.The first condensing means 400 is largely composed of a condenser including a first
제1외기유입부(410)는 저온의 외기를 스크러버몸체(100) 내부로 유입시키는 블러워수단으로 구성되며, 제1응축기몸체(420)는 제1외기유입부(410)에 의해 공급된 외기를 통해 배기가스를 응축시키는 응축영역을 형성하도록 세정수공급부(300)와 배기가스배출부(120) 사이에 형성된다.The first
제1응축수단(400)은 세정수와 접촉된 고온다습한 배기가스가 제1응축기몸체(420)의 응축영역에 유입되면, 제1외기유입부(410)를 통해 저온의 외기를 응축영역으로 공급하여 열 교환시킨다.The first condensing means 400, when the hot and humid exhaust gas in contact with the washing water flows into the condensation region of the
이를 통해 제1외기유입부(410)를 통해 유입된 저온의 외기는 가열과정을 거치며, 고온다습한 배기가스는 냉각과정을 거치게 되므로, 고온다습한 배기가스는 냉각과정을 거치면서 응축이 발생되어 저온포화상태의 배기가스가 되고, 저온의 외기는 외부의 공기보다 상대적으로 고온건조한 상태가 된다.Through this, the low-temperature outdoor air introduced through the first
즉, 저온포화상태의 배기가스와 고온건조한 외기가 섞여 기본의 배기가스에 비해 상대적으로 저온건조한 상태가 되어 백연 발생량이 감소하게 된다.In other words, the exhaust gas in a low temperature saturation state and the high-temperature dry outside air is mixed to become a relatively low temperature dry state compared to the basic exhaust gas to reduce the amount of white smoke generated.
다시 말해, 본 발명의 제1 실시예에 따른 백연저감 습식 스크러버(1000)는 세정수를 이용하여 배기가스 내의 유해성분을 정화 처리하는 습식 스크러버에 있어서, 제1응축수단(400)을 이용하여 백연의 발생량을 저감시킴으로써, 배기가스배출부(120)를 통해 외부로 방출되는 백연 발생량을 감소시킬 수 있다.In other words, the white smoke reduction
<제2 실시예>Second Embodiment
도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 백연저감 습식 스크러버를 나타낸 도면이고, 도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 백연저감 습식 스크러버를 나타낸 또 다른 도면이다.3 is a view showing a white smoke reduction wet scrubber according to a second embodiment of the present invention, Figure 4 is another view showing a white smoke reduction wet scrubber according to a second embodiment of the present invention.
도 3, 도 4를 참조하면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 백연저감 습식 스크러버(1000)는 스크러버몸체(100)의 배기가스배출부(120) 상단에 형성되는 제1혼합부(500)를 더 포함하여 이루어질 수 있다.3 and 4, the white smoke reduction
제1혼합부(500)는 제1혼합부몸체(510)와, 외기안내유로(520)를 포함하여 이루어진다.The
제1혼합부몸체(510)는 배기가스배출부(120)와 연통되어 배기가스가 유입되는 제1배기가스유입부(511)와, 배기가스가 외부로 배출되는 제1배기가스배출부(512)를 포함하여 이루어진다.The first
이때, 제1혼합부몸체(510)의 형상은 한정하지 않는다.At this time, the shape of the first
외기안내유로(520)는 제1응축기몸체(420)의 응축영역을 통과한 외기를 제1혼합부몸체(510)로 안내하도록 형성된다.The outside
즉, 본 발명의 제2 실시예에 따른 백연저감 습식 스크러버(1000)는 제1응축수단(400)을 통과하여 저온포화상태의 배기가스를 배기가스배출부(120)를 통해 제1혼합부몸체(510) 내부로 유동시키고, 제1응축수단(400)을 통과하여 고온건조한 상태의 외기를 외기안내유로(520)를 통해 제1혼합부몸체(510)로 유동시킴으로써, 제1혼합부몸체(510) 내부에서 배기가스와 외기와의 혼합을 통해 백연 발생량을 현저하게 감소시킬 수 있다.That is, the white smoke-absorbing
다시 말해, 본 발명의 제2 실시예에 따른 백연저감 습식 스크러버(1000)는 제1응축수단(400)에서의 외기와 배기가스와의 열 교환을 통해 백연의 발생량을 감소시킴과 더불어, 제1혼합부(500)를 통해 외기와 배기가스를 혼합시킴으로써, 백연의 발생량을 현저하게 감소시킬 수 있다.In other words, the white smoke reduction
아울러, 본 발명의 제2 실시예에 따른 백연저감 습식 스크러버(1000)는 배기가스의 정화 처리된 데이터를 측정하는 센서를 배기가스배출부(120)에 구비하더라도, 외기를 외기안내유로(520)를 따라 배기가스배출부(120)를 우회하여 제1혼합부(500)로 유동시킴으로써, 외기와의 혼합에 따른 배기가스의 정화 처리 데이터의 오차 발생을 최소화할 수 있다.In addition, even if the exhaust
이때, 외기안내유로(520)는 도면에 도시된 것처럼 별도의 파이프라인을 통해 제1혼합부몸체(510)로 유입시키는 것이 바람직하며, 제1혼합부몸체(510)는 외기안내유로(520)를 통해 외기가 유입되는 우회외기유입부(513)를 더 포함할 수 있다.At this time, the outside
외기안내유로(520)의 형상은 도면에 도시된 바에 한정하지 않고, 제1응축수단(400)을 통과한 외기를 제1혼합부몸체(510) 내부로 안내하기 위한 다양한 유로 및 형상 실시예가 가능함은 물론이다.The shape of the outside
아울러, 제1혼합부(500)는 제1혼합부몸체(510) 내부에 구비되어 외기와 배기가스를 혼합시키는 제1믹싱수단(530)을 더 포함하여 이루어진다.In addition, the
즉, 제1혼합부(500)는 제1혼합부몸체(510) 내부에 구비되는 제1믹싱수단(530)을 통해 유입된 외기와 배기가스의 혼합량을 증대시킴으로써, 백연 발생량을 감소시킬 수 있다.That is, the
이때 제1믹싱수단(530)은 외기와 배기가스의 고른 혼합을 수행할 수 있다면 다양한 수단으로 구성 가능하므로, 한정하지 않는다.In this case, the first mixing means 530 may be configured by various means as long as it can evenly mix the outside air with the exhaust gas, and thus, the first mixing means 530 is not limited.
<제3 실시예>Third Embodiment
도 5는 본 발명의 제3 실시예에 따른 백연저감 습식 스크러버를 나타낸 도면이다.5 is a view showing a white smoke reduction wet scrubber according to a third embodiment of the present invention.
도 5를 참조하면, 본 발명의 제3 실시예에 따른 백연저감 습식 스크러버(1000)는 스크러버몸체(100), 배기가스공급부(200), 세정수공급부(300) 및 제2혼합부(600)를 포함하여 이루어진다.Referring to FIG. 5, the white smoke reduction
스크러버몸체(100), 배기가스공급부(200) 및 세정수공급부(300)는 앞서 설명된 본 발명의 제1 실시예에 따른 백연저감 습식 스크러버와 본 발명의 제2 실시예에 따른 백연저감 습식 스크러버와 유사하므로 상세한 설명은 생략한다.The
본 발명의 제3 실시예에 따른 백연저감 습식 스크러버(1000)의 제2혼합부(600)는 제2혼합부몸체(610)와 제2응축수단(620)을 포함하여 이루어진다.The
제2혼합부몸체(610)는 배기가스배출부(120) 상단에 연통되어 배기가스가 유입되는 제2배기가스유입부(611) 및 배출되는 제2배기가스배출부(612)를 포함하여 이루어진다.The second
제2응축수단(620)은 외기를 제2혼합부몸체(610) 내부로 공급하는 제2외기유입부(621)를 포함함과 함께, 제2외기유입부(621)에 의해 공급된 외기를 통해 유입된 배기가스를 응축시키는 응축영역을 형성하는 제2응축기몸체(622)를 포함하는 응축기로 이루어진다.The second condensing means 620 includes a second
본 발명의 제3 실시예에 따른 백연저감 습식 스크러버(1000)의 제2응축수단(620) 또한 본 발명의 제1 실시예에 따른 백연저감 습식 스크러버와 본 발명의 제2 실시예에 따른 백연저감 습식 스크러버에 기재된 제1응축수단(400)과 동일한 형상 및 동작을 수행하므로, 상세한 설명은 생략한다.The second condensing means 620 of the white smoke reduction
즉, 본 발명의 제3 실시예에 따른 백연저감 습식 스크러버(1000)는 스크러버몸체(100) 상부에 제2혼합부(600)를 형성하고, 제2혼합부(600)의 제2혼합부몸체(610) 내부에 구비되는 제2응축수단(620)을 통해 백연의 발생량을 감소시킨다.That is, the white smoke reduction
다시 말해, 본 발명의 제3 실시예에 따른 백연저감 습식 스크러버(1000)는 백연의 발생량을 감소시킬 수 있는 응축기를 스크러버몸체(100)에 별도로 설치하기 위한 작업을 삭제하고, 기존의 스크러버몸체(100)에 백연의 발생량을 저감시키는 응축기를 수월하게 구비할 수 있다.In other words, the white smoke reduction
또한, 본 발명의 제3 실시예에 따른 백연저감 습식 스크러버(1000)는 배기가스의 정화 처리된 데이터를 측정하는 센서를 배기가스배출부(120)에 구비하더라도, 외기를 제2혼합부(600)로 공급하므로, 외기와의 혼합에 따른 배기가스의 정화 처리 데이터의 오차 발생을 최소화할 수 있다.In addition, even if the exhaust
아울러, 본 발명의 제3 실시예에 따른 백연저감 습식 스크러버(1000)의 제2혼합부(600)는 제2혼합부몸체(610) 내부의 상측에 제2응축수단(620)을 통과한 외기와의 배기가스를 혼합하는 제2믹싱수단(630)을 더 포함하여 이루어진다.In addition, the
즉, 제2혼합부(600)는 제2혼합부몸체(610) 상측에 구비되는 제2믹싱수단(630)을 통해 제2응축수단(620)을 통과한 외기와 배기가스의 혼합량을 증대시킴으로써, 백연 발생량을 더욱 더 감소시킬 수 있다.That is, the
이때 제2믹싱수단(630)은 상술된 제1믹싱수단과 마찬가지로 외기와 배기가스의 고른 혼합을 수행할 수 있다면 다양한 수단으로 구성 가능하므로, 한정하지 않는다.In this case, the second mixing means 630 may be configured by various means as long as the first mixing means can uniformly mix the outside air and the exhaust gas.
<제4 실시예>Fourth Example
도 6은 본 발명의 제4 실시예에 따른 백연저감 습식 스크러버를 나타낸 도면이다.6 is a view showing a white smoke reduction wet scrubber according to a fourth embodiment of the present invention.
도 6을 참조하면, 본 발명의 제4 실시예에 따른 백연저감 습식 스크러버(1000)는 스크러버몸체(100), 배기가스공급부(200), 세정수공급부(300) 및 제3혼합부(700)를 포함하여 이루어진다.Referring to FIG. 6, the white smoke reduction
스크러버몸체(100), 배기가스공급부(200) 및 세정수공급부(300)는 앞서 설명된 본 발명의 제1 실시예에 따른 백연저감 습식 스크러버와 본 발명의 제2 실시예에 따른 백연저감 습식 스크러버 및 본 발명의 제3 실시예에 따른 백연저감 습식 스크러버와 유사하므로 상세한 설명은 생략한다.The
본 발명의 제4 실시예에 따른 백연저감 습식 스크러버(1000)의 제3혼합부(700)는 제3혼합부몸체(710), 송풍팬(720) 및 제3응축수단(730)을 포함하여 이루어진다.The
제3혼합부몸체(710)는 배기가스배출부(120)와 상부로 이격되어 형성되며, 제3혼합부몸체(710)는 배기가스배출부(120)와 상부에 이격되어 배기가스가 유입되는 제3배기가스유입부(711)와 배출되는 제3배기가스배출부(712)를 포함하여 이루어진다.The third
제3응축수단(730)은 송풍팬(720)의 동작에 따라 제3배기가스유입부(711)를 통해 유입되는 배기가스와 외기를 통해, 유입된 배기가스를 응축시키는 응축영역을 형성하는 응축기로 이루어진다.The
본 발명의 제4 실시예에 따른 백연저감 습식 스크러버(1000)의 제3응축수단(73) 또한, 본 발명의 제1 실시예에 따른 백연저감 습식 스크러버와 본 발명의 제2 실시예에 따른 백연저감 습식 스크러버 및 본 발명의 제3 실시예에 따른 백연저감 습식 스크러버에 기재된 제1응축수단(400), 제2응축수단(620)과 동일한 형상 및 동작을 수행하므로, 상세한 설명은 생략한다.Third condensing means 73 of the white smoke reduction
즉, 본 발명의 제4 실시예에 따른 백연저감 습식 스크러버(1000)는 스크러버몸체(100) 상부와 이격된 위치에 제3혼합부(700)를 형성하고, 송풍팬(720)의 회전을 통해 배기가스와 외기를 제3응축수단(730)으로 이동시키고, 이를 통해 백연의 발생량을 감소시킨다.That is, the white smoke reduction
이때, 제3혼합부(700)는 스크러버몸체(100)와 상부 방향으로 이격되어 구비되어야 하며, 이를 위해 별도의 프레임 등에 의해 위치될 수 있다.At this time, the
상술된 바와 같이, 본 발명의 제4 실시예에 따른 백연저감 습식 스크러버(1000)는 백연의 발생량을 감소시킬 수 있는 응축기를 스크러버몸체(100)에 별도로 설치하기 위한 작업을 삭제하고, 기존의 스크러버몸체(100)에 백연의 발생량을 저감시키는 응축기를 수월하게 구비할 수 있다.As described above, the white smoke reduction
또한, 본 발명의 제4 실시예에 따른 백연저감 습식 스크러버(1000)는 배기가스의 정화 처리된 데이터를 측정하는 센서를 배기가스배출부(120)에 구비하더라도, 외기의 유입을 제3혼합부(700)를 통해 흡입하여 백연의 발생량을 감소시키므로, 배기가스와 외기와의 혼합에 따른 배기가스의 정화 처리 데이터의 오차 발생을 최소화할 수 있다.In addition, even if the exhaust
특히, 본 발명의 제4 실시예에 따른 백연저감 습식 스크러버(1000)는 송풍팬(720)의 회전 동작을 통해 배기가스와 외기를 흡입할 수 있으며, 이는 스크러버몸체(100)에 추가적으로 설치할 필요가 없으므로, 기존의 스크러버몸체(100)를 포함하는 다양한 스크러버에도 제3혼합부(700)의 적용이 수월하므로, 이는 백연의 발생을 저감시키기 위한 구조물의 제조 시간 및 제조 비용을 감소시키는 장점을 가진다.In particular, the smoke-reducing
다시 말해, 기존의 스크러버몸체를 포함하는 스크러버에 백연의 발생 확률이 높은 계절 또는 온도 및 습도를 가지는 날에 제3혼합부(700)를 상단에 설치하여 백연의 발생량을 저감시킬 수 있음과 함께, 백연의 발생 확륙이 낮은 계절 또는 온도 및 습도를 가지는 날에는 제3혼합부(700)를 제거할 수 있는 등, 다양한 크기 및 형상을 가지는 종래의 스크러버에 적용 가능한 장점이 있다.In other words, the amount of white smoke can be reduced by installing a
아울러, 본 발명의 제4 실시예에 따른 백연저감 습식 스크러버(1000)의 제3혼합부(700)는 제3혼합부몸체(710) 내부에 구비되어 외기와 배기가스를 혼합시키는 제3믹싱수단(740)을 더 포함하여 이루어진다.In addition, the
즉, 제3혼합부(700)는 제3혼합부몸체(710) 내부에 구비되는 제3믹싱수단(740)을 통해 제3응축수단(730)을 통과한 외기와 배기가스의 혼합량을 증대시킴으로써, 백연 발생량을 더욱 더 감소시킬 수 있다.That is, the
이때, 제3믹싱수단(740) 또한 외기와 배기가스의 고른 혼합을 수행할 수 있다면 다양한 수단으로 구성 가능하므로, 한정하지 않는다.In this case, the third mixing means 740 may also be configured by various means as long as it can evenly mix the outside air and the exhaust gas, and thus, the third mixing means 740 is not limited.
본 발명은 상술한 실시예에 한정하지 않으며, 적용범위가 다양함은 물론이고, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 실시가 가능한 것은 물론이다.The present invention is not limited to the above-described embodiments, and the scope of application is not limited to those of ordinary skill in the art without departing from the gist of the present invention as claimed in the claims. Of course, any modification can be made.
1000 : 백연저감 습식 스크러버
100 : 스크러버몸체
110 : 배기가스유입부
120 : 배기가스배출부
130 : 수조
140 : 충진재
200 : 배기가스공급부
300 : 세정수공급부
400 : 제1응축수단
410 : 제1외기유입부
420 : 제1응축기몸체
500 : 제1혼합부
510 : 제1혼합부몸체
511 : 제1배기가스유입부
512 : 제1배기가스배출부
513 : 우회외기유입부
520 : 외기안내유로
530 : 제1믹싱수단
600 : 제2혼합부
610 : 제2혼합부몸체
611 : 제2배기가스유입부
612 : 제2배기가스배출부
620 : 제2응축수단
621 : 제2외기유입부
622 : 제2응축기몸체
630 : 제2믹싱수단1000: Plume Reduction Wet Scrubber
100: scrubber body
110: exhaust gas inlet 120: exhaust gas exhaust
130: tank 140: filling material
200: exhaust gas supply unit
300: washing water supply unit
400: first condensing means
410: first outdoor air inlet 420: first condenser body
500: first mixing part
510: first mixing body
511: first exhaust gas inlet 512: first exhaust gas outlet
513: bypass inflow unit
520: outside air guide euro
530: first mixing means
600: second mixing part
610: second mixing body
611: second exhaust gas inlet 612: second exhaust gas outlet
620: second condensing means
621: second air inlet 622: second condenser body
630: second mixing means
Claims (8)
상기 배출가스유입부(110)로 정화 처리를 위한 배기가스를 상기 스크러버몸체(100) 내부로 유입시키는 배기가스공급부(200);
상기 스크러버몸체(100) 내부에 형성되어 세정수를 분사하는 세정수공급부(300); 및
외기를 상기 스크러버몸체(100) 내부로 공급하는 제1외기유입부(410)와, 상기 제1외기유입부(410)에 의해 공급된 외기를 통해 배기가스를 응축시키는 응축영역을 형성하도록 상기 세정수공급부(300)와 배기가스배출부(120) 사이에 형성되는 제1응축기몸체(420)를 포함하는 응축기로 이루어지는 제1응축수단(400);을 포함하는, 백연저감 습식 스크러버.
A scrubber body (100) including an exhaust gas inlet (110) through which exhaust gas for purifying is introduced into the lower side, and an exhaust gas outlet (120) through which the exhaust gas purified on the upper end is discharged to the outside;
An exhaust gas supply unit 200 for introducing exhaust gas for purification to the exhaust gas inlet 110 into the scrubber body 100;
A washing water supply unit 300 formed inside the scrubber body 100 to spray washing water; And
The first air inlet 410 for supplying outside air into the scrubber body 100, and the condensation region for condensing exhaust gas through the outside air supplied by the first outside air inlet 410. And a first condensing means (400) comprising a condenser comprising a first condenser body (420) formed between the water supply part (300) and the exhaust gas discharge part (120).
상기 백연저감 습식 스크러버(1000)는
상기 배기가스배출부(120) 상단에 형성되는 제1혼합부(500)를 더 포함하며,
상기 제1혼합부(500)는
상기 배기가스배출부(120)와 연통되어 배기가스가 유입되는 제1배기가스유입부(511)와, 배출되는 제1배기가스배출부(512)를 포함하는 제1혼합부몸체(510) 및
상기 응축기몸체(420)를 통과한 외기를 상기 제1혼합부몸체(510)로 안내하는 외기안내유로(520)를 포함하는, 백연저감 습식 스크러버.
The method of claim 1,
The white smoke reduction wet scrubber (1000)
Further comprising a first mixing unit 500 formed on the exhaust gas discharge unit 120,
The first mixing unit 500
The first mixing body body 510 including a first exhaust gas inlet 511 communicating with the exhaust gas discharge unit 120, into which exhaust gas is introduced, and a first exhaust gas discharge unit 512 discharged therefrom.
White smoke reduction wet scrubber comprising an outdoor air flow path 520 for guiding the outdoor air passing through the condenser body 420 to the first mixing unit body (510).
상기 제1혼합부(500)는
상기 제1혼합부몸체(510) 내부에 구비되어 외기와 배기가스를 혼합시키는 제1믹싱수단(530)을 더 포함하는, 백연저감 습식 스크러버.
The method of claim 2,
The first mixing unit 500
The first mixing unit body (510) further comprises a first mixing means (530) for mixing the outside air and exhaust gas, the smoke reduction scrubber.
상기 배출가스유입부(110)로 정화 처리를 위한 배기가스를 상기 스크러버몸체(100) 내부로 유입시키는 배기가스공급부(200); 및
상기 스크러버몸체(100) 내부에 형성되어 세정수를 분사하는 세정수공급부(300);를 포함하되,
상기 배기가스배출부(120) 상단에 연통되어 배기가스가 유입되는 제2배기가스유입부(611) 및 배출되는 제2배기가스배출부(612)를 포함하는 제2혼합부몸체(610)와, 외기를 상기 제2혼합부몸체(610) 내부로 공급하는 제2외기유입부(621) 및 제2외기유입부(621)에 의해 공급된 외기를 통해 배기가스를 응축시키는 응축영역을 형성하는 제2응축기몸체(622)를 포함하는 응축기로 이루어지는 제2응축수단(620)을 포함하는 제2혼합부(600);를 더 포함하는, 백연저감 습식 스크러버.
A scrubber body 100 including an exhaust gas inlet unit 110 through which exhaust gas for purification treatment is introduced into the lower side, and an exhaust gas discharge unit 120 through which the exhaust gas purified on the upper end is discharged to the outside;
An exhaust gas supply unit 200 for introducing exhaust gas for purification to the exhaust gas inlet 110 into the scrubber body 100; And
Includes; the washing water supply unit 300 is formed in the scrubber body 100 for spraying the washing water;
The second mixing part body 610 which communicates with the upper end of the exhaust gas outlet 120 and includes a second exhaust gas inlet 611 into which the exhaust gas is introduced and a second exhaust gas outlet 612 to be discharged. And a condensation region for condensing the exhaust gas through the outside air supplied by the second outside air inlet 621 and the second outside air inlet 621 to supply the outside air into the second mixing part body 610. And a second mixing unit (600) comprising a second condensing means (620) made of a condenser comprising a second condenser body (622).
상기 제2혼합부(600)는
상기 제2혼합부몸체(610) 내부에 구비되어 외기와 배기가스를 혼합시키는 제2믹싱수단(630)을 더 포함하는, 백연저감 습식 스크러버.
The method of claim 4, wherein
The second mixing unit 600
The second mixing unit body 610 is provided inside the second mixing means for mixing the outside air and the exhaust gas, scrubber low wet scrubber.
상기 배출가스유입부(110)로 정화 처리를 위한 배기가스를 상기 스크러버몸체(100) 내부로 유입시키는 배기가스공급부(200); 및
상기 스크러버몸체(100) 내부에 형성되어 세정수를 분사하는 세정수공급부(300);를 포함하되,
상기 배기가스배출부(120)와 상부에 이격되어 배기가스가 유입되는 제3배기가스유입부(711) 및 배출되는 제3배기가스배출부(712)를 포함하는 제3혼합부몸체(710)와, 상기 제3혼합부몸체(710) 내부에 구비되어 상기 제3배기가스유입부(711)를 통해 배기가스와 외기를 상기 제3혼합부몸체(710) 내부로 유입 및 배출시키는 송풍팬(720)과, 상기 송풍팬(720)을 통해 유입된 외기를 통해 배기가스를 응축시키는 응축영역을 형성하는 제3응축기몸체를 포함하는 응축기로 이루어지는 제3응축수단(730)을 포함하는 제3혼합부(700);를 더 포함하는, 백연저감 습식 스크러버.
A scrubber body (100) including an exhaust gas inlet (110) through which exhaust gas for purifying is introduced into the lower side, and an exhaust gas outlet (120) through which the exhaust gas purified on the upper end is discharged to the outside;
An exhaust gas supply unit 200 for introducing exhaust gas for purification to the exhaust gas inlet 110 into the scrubber body 100; And
Includes; the washing water supply unit 300 is formed in the scrubber body 100 for spraying the washing water;
The third mixing body body 710 including a third exhaust gas inlet 711 which is spaced apart from the exhaust gas discharge part 120 and the exhaust gas flows in and the third exhaust gas discharge part 712 discharged. And a blowing fan provided inside the third mixing unit body 710 to introduce and discharge exhaust gas and outside air into the third mixing unit body 710 through the third exhaust gas inlet 711. And a third condensing means (730) comprising a condenser body including a third condenser body forming a condensation region for condensing exhaust gas through outside air introduced through the blower fan 720. Part 700; more, white smoke reduction wet scrubber.
상기 제3혼합부(700)는
상기 제3혼합부몸체(710) 내부에 구비되어 외기와 배기가스를 혼합시키는 제3믹싱수단(740)을 더 포함하는, 백연저감 습식 스크러버.
The method of claim 6,
The third mixing unit 700 is
And a third mixing means (740) provided inside the third mixing body (710) to mix the outside air with the exhaust gas.
상기 스크러버몸체(100)는
상기 세정수공급부(300) 하측에 형성되는 충진재(140)를 더 포함하는, 백연 저감 습식 스크러버.The method according to any one of claims 1, 4, 6,
The scrubber body 100
White smoke reduction wet scrubber further comprises a filler formed on the lower side of the washing water supply unit (300).
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020180062357A KR20190136522A (en) | 2018-05-31 | 2018-05-31 | White smoke Reduction Wetting Scrubber |
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---|---|---|---|
KR1020180062357A KR20190136522A (en) | 2018-05-31 | 2018-05-31 | White smoke Reduction Wetting Scrubber |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20190136522A true KR20190136522A (en) | 2019-12-10 |
Family
ID=69002933
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KR1020180062357A KR20190136522A (en) | 2018-05-31 | 2018-05-31 | White smoke Reduction Wetting Scrubber |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR20190136522A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111330421A (en) * | 2020-03-25 | 2020-06-26 | 邹杰 | Device and method for eliminating white smoke of chimney |
KR102259722B1 (en) * | 2021-01-19 | 2021-06-02 | (주) 이엘바이오 | Deodorizing apparatus |
Citations (1)
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KR101783373B1 (en) | 2016-07-28 | 2017-10-23 | (주)효진아이디에스 | Scrubber for removing waste gas discharged from a semiconductor process |
-
2018
- 2018-05-31 KR KR1020180062357A patent/KR20190136522A/en not_active Application Discontinuation
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KR101783373B1 (en) | 2016-07-28 | 2017-10-23 | (주)효진아이디에스 | Scrubber for removing waste gas discharged from a semiconductor process |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A201 | Request for examination | ||
A302 | Request for accelerated examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E601 | Decision to refuse application |