KR20190131803A - Backflow prevention device to prevent backdraft of exhaust gas - Google Patents

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KR20190131803A
KR20190131803A KR1020180056653A KR20180056653A KR20190131803A KR 20190131803 A KR20190131803 A KR 20190131803A KR 1020180056653 A KR1020180056653 A KR 1020180056653A KR 20180056653 A KR20180056653 A KR 20180056653A KR 20190131803 A KR20190131803 A KR 20190131803A
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류두열
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㈜에이치엔에스
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Abstract

The present invention relates to a backflow preventing device for preventing backflow of exhaust gas, which includes: a body having an entrance and an exit and having a space therein; a moving belt positioned in the body and opening and closing the entrance of the body; a distributor positioned in the body and connected to the exit of the body to distribute exhaust gas; and a funnel positioned between the distributor and the moving belt and having a hole at the center.

Description

배기가스의 역류를 방지하기 위한 역류방지장치{BACKFLOW PREVENTION DEVICE TO PREVENT BACKDRAFT OF EXHAUST GAS}BACKFLOW PREVENTION DEVICE TO PREVENT BACKDRAFT OF EXHAUST GAS}

본 개시(Disclosure)는 전체적으로 반도체· LCD·LED 등의 소자 제조용 배기 라인에 사용되는 배기가스의 역류를 방지하기 위한 역류방지장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체· LCD·LED 소자의 제조 공정에 사용된 가스들이 진공펌프 및 배기관을 통해 스크러버(scrubber; 가스처리장치)로 이송되는 과정에서 배기 압력의 이상에 의해 배기가스가 역류하여 배기가스가 반응챔버로 재유입되는 것을 차단하기 위한 역류방지장치에 대한 것이다.The present disclosure relates to a backflow prevention device for preventing backflow of exhaust gases used in exhaust lines for device manufacturing, such as semiconductors, LCDs, and LEDs, and more particularly, to manufacturing processes of semiconductor, LCD, and LED devices. Backflow prevention device to prevent exhaust gas from flowing back into the reaction chamber due to abnormality of exhaust pressure while the used gases are transferred to a scrubber through a vacuum pump and an exhaust pipe. It is about.

여기서는, 본 개시에 관한 배경기술이 제공되며, 이들이 반드시 공지기술을 의미하는 것은 아니다(This section provides background information related to the present disclosure which is not necessarily prior art). This section provides background information related to the present disclosure which is not necessarily prior art.

일반적으로, 반도체· LCD·LED 소자의 제조에 사용되는 가스들이 반응챔버에서 반응된 후 진공펌프 및 배기관을 통해 가스처리장치인 스크러버로 이송되는 과정에서 배기관 내부에 다량의 고체 생성물이 발생된다. 배기관 내부에 생성된 고체 생성물로 인하여 진공펌프에 의해 형성된 음압이 낮아지는 경우 배기가스가 역류하여 반응챔버로 다시 들어가는 문제가 발생할 수 있다. 배기가스가 반응챔버로 다시 들어가는 경우 배기가스에 포함된 부산물로 인하여 반응챔버 또는 반응챔버에서 생산 중인 웨이퍼 등을 오염시켜 막대한 경제적 손실이 발생할 수 있다.In general, a large amount of solid product is generated inside the exhaust pipe in the process of the gases used in the manufacture of semiconductors, LCDs, LED devices are reacted in the reaction chamber and then transferred to the scrubber, which is a gas treatment apparatus, through a vacuum pump and an exhaust pipe. When the negative pressure generated by the vacuum pump is lowered due to the solid product generated inside the exhaust pipe, the exhaust gas may flow back to the reaction chamber. When the exhaust gas is returned to the reaction chamber, by-products included in the exhaust gas may contaminate the reaction chamber or the wafer being produced in the reaction chamber, and thus may cause enormous economic loss.

도 1은 한국 등록특허공보 제1608385호에 기재된 역류방지장치의 일 예를 보여주는 도면이다. 설명의 편의를 위해 도면기호 및 명칭을 일부 변경하였다.1 is a view showing an example of the backflow prevention device described in Korea Patent Publication No. 1608385. For convenience of description, some symbols and names have been changed.

역류방지장치(10)는 본체(11) 및 역류방지체(12)를 포함한다. 역류방지체(12)에 의해 배기가스의 역류가 방지되고 배기가스는 순방향으로만 흐른다.The backflow prevention device 10 includes a main body 11 and a backflow prevention body 12. The backflow prevention body 12 prevents the backflow of the exhaust gas, and the exhaust gas flows only in the forward direction.

도 2는 한국 등록특허공보 제0593748호에 기재된 역류방지장치의 일 예를 보여주는 도면이다. 설명의 편의를 위해 도면기호 및 명칭을 일부 변경하였다.2 is a view showing an example of the backflow prevention device described in Korea Patent Publication No. 0593748. For convenience of description, some symbols and names have been changed.

역류방지장치(20)는 반응챔버와 진공펌프 사이의 배기관에 위치한다. 역류방지장치(20)는 반응챔버 방향의 입구(22)와 진공펌프 방향의 출구(23)를 가진 몸체(21), 몸체(21) 내부에 위치한 역류방지플레이트((24) 및 가이드(25)를 포함한다. 역류방지플레이트(24)가 가이드(25)에 의해 상하로 이동하면서 반응챔버 방향의 입구(22)를 열고 닫아 배기가스의 역류를 방지한다. 즉 배기가스가 순방향으로 흐를 때는 입구(22)를 열고 배기가스가 역류할 때는 입구(22)를 닫는다. The backflow prevention device 20 is located in the exhaust pipe between the reaction chamber and the vacuum pump. The backflow prevention device 20 includes a body 21 having an inlet 22 in the reaction chamber direction and an outlet 23 in the vacuum pump direction, a backflow prevention plate 24 and a guide 25 located inside the body 21. The backflow prevention plate 24 moves up and down by the guide 25 to open and close the inlet 22 in the reaction chamber direction to prevent backflow of the exhaust gas, that is, when the exhaust gas flows in the forward direction, the inlet ( 22) and the inlet 22 is closed when the exhaust gas flows back.

도 1 및 도 2에 기재된 역류방지장치를 사용해 배기가스의 역류를 방지할 수 있다고 보았다. 그러나 최근에 종래의 역류방지장치의 경우 역류방지장치가 작동하기 전에 배기가스의 일부가 이미 반응챔버로 재유입되는 문제가 있음이 발견되었다. It was considered that the backflow prevention device described in FIGS. 1 and 2 can be used to prevent backflow of the exhaust gas. Recently, however, it has been found that in the case of the conventional non-return apparatus, a part of the exhaust gas is already introduced into the reaction chamber before the non-return apparatus is operated.

본 개시는 역류가 발생한 경우 반응챔버로 배기가스의 일부가 재유입되는 이유로 두가지 원인을 발견하였다. 첫 번째는 역류하는 배기가스의 유속이 빠르다는 것이다. 두 번째는 역류하는 배기가스의 유속에 비하여 도 1 및 도 2 등에 기재된 역류방지장치에서 배기가스의 역류를 방지하는 역류방지체(12) 및 역류방지플레이트(24)의 반응속도가 느리다는 것이다. 예를 들어 도 2에서 역류를 방지하기 위해서는 배기가스가 반응챔버 방향의 입구(22)에 들어가기 전에 역류방지플레이트(24)가 상승하여 반응챔버 방향의 입구(22)를 닫아야 하는데 역류방지플레이트(24)가 상승하여 반응챔버 방향의 입구(22)를 닫는 시간이 느리다는 것이다. 본 개시에서는 이러한 문제점을 해결하고자 역류한 배기가스의 유속을 줄이고 동시에 역류방지장치의 반응 속도를 향상시킨 역류방지장치를 제공하고자 한다. The present disclosure found two reasons for the reflow of some of the exhaust gas into the reaction chamber in the event of a backflow. The first is that the flow rate of the exhaust gas flowing back is fast. Second, the reaction rate of the backflow preventing member 12 and the backflow preventing plate 24 for preventing the backflow of the exhaust gas in the backflow prevention device described in FIGS. 1 and 2 is slower than the flow rate of the backflow exhaust gas. For example, in order to prevent backflow in FIG. 2, before the exhaust gas enters the inlet 22 in the reaction chamber direction, the backflow prevention plate 24 is raised to close the inlet 22 in the reaction chamber direction. ) Rises and the time for closing the inlet 22 in the reaction chamber direction is slow. In the present disclosure, to solve this problem, it is desired to provide a backflow prevention device that reduces the flow rate of backflow exhaust gas and at the same time improves the reaction speed of the backflow prevention device.

이에 대하여 '발명을 실시하기 위한 구체적인 내용'의 후단에 기술한다.This will be described later in the section titled 'Details of the Invention.'

여기서는, 본 개시의 전체적인 요약(Summary)이 제공되며, 이것이 본 개시의 외연을 제한하는 것으로 이해되어서는 아니된다(This section provides a general summary of the disclosure and is not a comprehensive disclosure of its full scope or all of its features).This section provides a general summary of the disclosure and is not a comprehensive disclosure of its full scope or all, provided that this is a summary of the disclosure. of its features).

본 개시에 따른 일 태양에 의하면(According to one aspect of the present disclosure), 배기가스의 역류를 방지하기 위한 역류방지장치에 있어서, 입구와 출구를 가지며 내부에 공간을 구비한 몸체; 몸체 내부에 위치하며, 몸체 입구를 열고 닫는 이동 밸브; 몸체 내부에 위치하며, 몸체 출구와 연결되어 배기가스를 분배하는 분배기; 그리고 분배기와 이동 밸브 사이에 위치하며 중앙에 홀을 구비한 깔때기;를 포함하는 배기가스의 역류를 방지하기 위한 역류방지장치가 제공된다.According to one aspect of the present disclosure (According to one aspect of the present disclosure), an apparatus for preventing backflow of exhaust gas, comprising: a body having an inlet and an outlet and having a space therein; Located inside the body, the moving valve for opening and closing the body inlet; A distributor located inside the body and connected to the body outlet to distribute exhaust gas; And a funnel positioned between the distributor and the moving valve and having a hole in the center thereof, to prevent backflow of the exhaust gas.

이에 대하여 '발명의 실시를 위한 구체적인 내용'의 후단에 기술한다.This is described later in the section titled 'Details of the Invention.'

도 1은 한국 등록특허공보 제1608385호에 기재된 역류방지장치의 일 예를 보여주는 도면,
도 2는 한국 등록특허공보 제0593748호에 기재된 역류방지장치의 일 예를 보여주는 도면,
도 3은 본 개시에 따른 역류방지장치의 일 예를 보여주는 단면도,
도 4는 본 개시에 따른 이동 밸브 및 가이드의 일 예를 보여주는 도면,
도 5는 본 개시에 따른 분배기의 일 예를 보여주는 도면,
도 6은 본 개시에 다른 역류방지장치에서 배기가스의 흐름을 보여주는 도면,
도 7은 본 개시에 따른 역류방지장치가 사용된 예를 보여주는 도면.1 is a view showing an example of a backflow prevention device described in Korea Patent Publication No. 1608385,
Figure 2 is a view showing an example of the backflow prevention device described in Korea Patent Publication No. 0593748,
3 is a cross-sectional view showing an example of a non-return device according to the present disclosure;
4 is a view showing an example of a movement valve and a guide according to the present disclosure;
5 shows an example of a dispenser according to the present disclosure;
6 is a view showing the flow of the exhaust gas in another non-return device in the present disclosure,
7 is a view showing an example in which a backflow prevention device according to the present disclosure is used.

이하, 본 개시를 첨부된 도면을 참고로 하여 자세하게 설명한다(The present disclosure will now be described in detail with reference to the accompanying drawing(s)). 또한 본 명세서에서 상측/하측, 위/아래 등과 같은 방향 표시는 도면을 기준으로 한다.The present disclosure will now be described in detail with reference to the accompanying drawing (s). In addition, in the present specification, direction indications such as up / down, up / down, etc. are based on the drawings.

도 3은 본 개시에 따른 역류방지장치의 일 예를 보여주는 단면도이다.3 is a cross-sectional view showing an example of a non-return device according to the present disclosure.

역류방지장치(100)는 반응 챔버 방향의 배기관(30)과 연결된 입구(111)와 진공 펌프 방향의 배기관(40)과 연결된 출구(112) 및 내부 공간(113)을 구비한 몸체(110), 몸체(110) 내부에 위치하며, 몸체(110) 입구(111)를 열고 닫는 이동 밸브(120), 몸체(110) 내부에 위치하며, 몸체(110) 출구(112)와 연결되어 배기가스를 분배하는 분배기(130) 및 분배기(130)와 이동 밸브(120) 사이에 위치하며 중앙에 홀(141)을 구비한 깔때기(140)를 포함할 수 있다.The backflow prevention device 100 includes a body 110 having an inlet 111 connected to an exhaust pipe 30 in the reaction chamber direction, an outlet 112 connected to an exhaust pipe 40 in the vacuum pump direction, and an internal space 113. Located inside the body 110, the moving valve 120 to open and close the inlet 111 of the body 110, is located inside the body 110, is connected to the outlet 112 of the body 110 to distribute the exhaust gas The distributor 130 may include a funnel 140 positioned between the distributor 130 and the moving valve 120 and having a hole 141 at the center thereof.

이동 밸브(120)의 단면 형상은 몸체(110)의 입구(111)를 향하여 중앙이 돌출되도록 경사져 있다. 또한 이동 밸브(120)는 몸체(110)의 입구(111)와 깔때기(140) 사이에서 수직으로 이동한다. 이동 밸브(120)가 수직으로 이동하며 좌우로 경로를 이탈하지 않도록 하는 가이드(150)를 포함할 수 있다. 가이드(150)는 이동 방지부(151)를 포함할 수 있다. 이동 방지부(151)는 이동 밸브(120)가 깔때기(140) 방향으로 이동하는 경우 이동 방지부(151) 밑으로 이동 밸브(120)가 더 이상 이동하지 않도록 하여 이동 밸브(120)와 깔때기(140) 사이에 배기가스가 통과할 수 있는 공간이 형성될 수 있도록 한다. 또한 이동 밸브(120)의 상면 및 몸체(110) 입구(111) 중 적어도 하나에 밀폐부(121)를 포함하여 이동 밸브(120)가 입구(111)를 닫은 경우 밀폐력을 향상시킬 수 있다. 밀폐부(121)는 탄성력이 있는 고무 등의 재질로 형성될 수 있다. 도 3에서는 밀폐부(123)가 이동 밸브(120)의 상면 및 몸체(110) 입구(111)에 모두 형성된 것을 보여준다. 가이드(150)의 일단(152)은 깔때기(140)에 고정되며 타단(153)은 몸체(110)에 고정될 수 있다. 다만 이동 밸브(120)의 이동 거리에 따라 타단(153)은 몸체(110)에 고정되지 않을 수도 있다. 가이드(150)와 이동 밸브(120)가 결합한 모습은 도 4에 기재하였다.The cross-sectional shape of the transfer valve 120 is inclined such that the center thereof protrudes toward the inlet 111 of the body 110. The moving valve 120 also moves vertically between the inlet 111 and the funnel 140 of the body 110. The movement valve 120 may include a guide 150 that moves vertically and does not deviate from the left and right paths. The guide 150 may include a movement preventing unit 151. The movement preventing part 151 prevents the movement valve 120 from moving further below the movement preventing part 151 when the movement valve 120 moves in the direction of the funnel 140. It is possible to form a space for the exhaust gas to pass between the 140. In addition, at least one of the upper surface of the moving valve 120 and the inlet 111 of the body 110 may include a sealing part 121 to improve the sealing force when the moving valve 120 closes the inlet 111. The sealing part 121 may be formed of a material such as rubber having elasticity. In FIG. 3, the sealing part 123 is formed on both the upper surface of the moving valve 120 and the inlet 111 of the body 110. One end 152 of the guide 150 may be fixed to the funnel 140 and the other end 153 may be fixed to the body 110. However, the other end 153 may not be fixed to the body 110 according to the moving distance of the moving valve 120. The combination of the guide 150 and the moving valve 120 is described in FIG. 4.

깔때기(140)의 일단(142)은 몸체(110)의 내면(114)에 고정될 수 있다. 또한 깔때기(140)의 홀(141)을 형성하는 깔때기의 타단(143) 사이의 거리(144)는 이동 밸브(120)의 말단(122) 사이의 거리(123)보다 작은 것이 바람직하며 이유는 도 6에서 설명한다. One end 142 of the funnel 140 may be fixed to the inner surface 114 of the body 110. In addition, the distance 144 between the other end 143 of the funnel forming the hole 141 of the funnel 140 is preferably smaller than the distance 123 between the distal end 122 of the transfer valve 120 and the reason It is explained in 6.

분배기(130)의 출구(131)는 몸체(110)의 출구(112)와 연결된다. 분배기(130)의 입구(132)는 2 개 이상이며 분배기(130)의 각 입구 사이의 거리(133)는 가능한 가장 먼 것이 바람직하다. 분배기(130)의 다양한 모습은 도 5에서 설명한다. 또한 분배기(130)의 입구(132)는 깔때기(140)의 일단(142)과 타단(143) 사이에 위치하는 것이 바람직하고 분배기(130)의 입구(132) 높이(134)는 몸체(110) 내면(114)에 고정되는 깔때기(140)의 일단(142)의 높이(145)와 깔때기(140)의 홀(141)의 높이(146) 사이인 것이 바람직하며 이유는 도 6에서 설명한다.The outlet 131 of the distributor 130 is connected to the outlet 112 of the body 110. The inlets 132 of the dispenser 130 are two or more and the distance 133 between each inlet of the dispenser 130 is preferably as far as possible. Various aspects of the distributor 130 are described in FIG. 5. In addition, the inlet 132 of the dispenser 130 is preferably located between one end 142 and the other end 143 of the funnel 140 and the height 134 of the inlet 132 of the dispenser 130 is the body 110. It is preferred that the height 145 of the end 142 of the funnel 140 fixed to the inner surface 114 and the height 146 of the hole 141 of the funnel 140 is described in FIG.

도 4는 본 개시에 따른 이동 밸브 및 가이드의 일 예를 보여주는 도면이다.4 is a view illustrating an example of a movement valve and a guide according to the present disclosure.

이동 밸브(120)의 상면 전체에 밀폐부(121)가 형성될 수 있지만 이동 밸브(120)가 몸체(110)의 입구(111)와 접촉하는 부분에만 밀폐부(121)가 형성되는 것이 바람직하다. 또한 가이드(150)는 이동 밸브(120)에 형성된 홀(124)을 관통하여 형성될 수 있다. 도 4에서는 가이드(150)가 3 개 이지만 2 개도 가능하며 4 개 이상도 가능하다. 가이드(150)는 이동 밸브(120)가 좌우로 이탈하지 않고 수직으로 이동할 수 있도록 하는 모든 가이드가 본 개시의 범위에 포함된다. 예를 들어 도 2에 기재된 형태의 역류방지장치(20)에서 역류방지플레이트(24)를 상하로 이동시키는 가이드(25)도 본 개시의 범위에 포함될 수 있다.Although the sealing part 121 may be formed on the entire upper surface of the moving valve 120, the sealing part 121 may be formed only at a portion where the moving valve 120 contacts the inlet 111 of the body 110. . In addition, the guide 150 may be formed through the hole 124 formed in the moving valve 120. In FIG. 4, three guides 150 are provided, but two or more guides 150 may be provided. The guide 150 is included in the scope of the present disclosure all guides that allow the movement valve 120 to move vertically without departing from side to side. For example, a guide 25 for moving the backflow prevention plate 24 up and down in the backflow prevention device 20 of the type described in FIG. 2 may also be included in the scope of the present disclosure.

도 5는 본 개시에 따른 분배기의 일 예를 보여주는 도면이다.5 is a view illustrating an example of a dispenser according to the present disclosure.

분배기(130, 200, 300)는 2 개 이상의 입구(132, 201, 301)를 포함할 수 있다. 입구가 4개인 경우까지만 도시하였으나 필요한 경우 입구는 4 개 이상도 가능하다. 역류하는 배기가스가 분배기의 입구로부터 나올 때 서로 영향을 적게 미치도록 하기 위해서 각 입구 사이의 거리(133, 202, 302)는 최대한 멀리 떨어지게 하는 것이 바람직하다. 예를 들어 입구가 4개인 분배기(300)의 경우 십자가 형태로 입구가 형성되는 것이 바람직하다. Dispenser 130, 200, 300 may include two or more inlets 132, 201, 301. Only four entrances are shown, but four or more entrances are possible if necessary. It is desirable to keep the distances 133, 202 and 302 between each inlet as far as possible so that backflow exhaust gases have less influence on each other as they exit the inlet of the distributor. For example, in the case of the distributor 300 having four inlets, the inlet is preferably formed in a cross shape.

도 6은 본 개시에 다른 역류방지장치에서 배기가스의 흐름을 보여주는 도면이다. 6 is a view showing the flow of the exhaust gas in the backflow prevention device according to the present disclosure.

도 6(a)는 배기가스(400)가 순방향으로 흐르는 경우이다. 도 6(b)는 배기가스(400)가 역류하는 경우이다. 배기가스(400)가 역류하는 경우 분배기(130)를 통해 배기가스가 여러 방향으로 분배되면서 역류하는 배기가스의 유속이 느려질 수 있다. 그러나 역류하는 배기가스의 유속이 느려진 경우 이동 밸브(120)가 입구(111)를 닫는 속도가 느려질 수 있다. 본 개시에서는 분배기(130)에서 나온 배기가스(400)가 깔때기(140)에 부딪친 후 깔때기(140)의 홀(141)에 모일 수 있도록 하였다. 특히 분배기(130)에서 나온 배기가스(140)가 깔때기(140)에 더 잘 부딪치도록 하기 위해서 도 3에서 설명한 것처럼 분배기(130)의 입구(132)는 깔때기(140)의 일단(142)과 타단(143) 사이에 위치하는 것이 바람직하며, 분배기(130)의 입구(132) 높이(134)는 몸체(110) 내면(114)에 고정되는 깔때기(140)의 일단(142)의 높이(145)와 깔때기(140)의 홀(141)의 높이(146) 사이인 것이 바람직하다. 깔때기(140)의 홀(141)에 모인 배기가스(400)가 강한 힘으로 순간적으로 이동 밸브(120)를 위로 밀어주면서 이동 밸브(120)가 빠른 속도로 입구(111)를 닫는다. 특히 도 3에서 설명한 것처럼 깔때기(140)의 홀(141)을 형성하는 깔때기의 타단(143) 사이의 거리(144)는 이동 밸브(120)의 말단(122) 사이의 거리(123)보다 작도록 하여 역류하는 배기가스(400)에 의해 발생한 힘이 이동 밸브(120)에 집중되도록 하였다. 본 개시에서는 분배기(130) 및 깔때기(140)를 사용하여 종래의 역류방지장치보다 역류하는 배기가스가 반응챔버로 유입되는 가능성을 더 줄일 수 있었다. 6A illustrates a case where the exhaust gas 400 flows in the forward direction. 6B illustrates a case in which the exhaust gas 400 flows backward. When the exhaust gas 400 flows backward, the exhaust gas is distributed in various directions through the distributor 130, and thus the flow rate of the exhaust gas flowing back may be slowed. However, when the flow rate of the exhaust gas flowing back is slow, the moving valve 120 may close the inlet 111. In the present disclosure, after the exhaust gas 400 from the distributor 130 hits the funnel 140, the exhaust gas 400 may collect in the hole 141 of the funnel 140. In particular, the inlet 132 of the distributor 130 has one end 142 of the funnel 140 as described in FIG. 3 in order for the exhaust gas 140 from the distributor 130 to hit the funnel 140 better. It is preferably located between the other end 143, the height 134 of the inlet 132 of the distributor 130 is the height 145 of one end 142 of the funnel 140 fixed to the inner surface 114 of the body 110. ) And the height 146 of the hole 141 of the funnel 140. The exhaust gas 400 collected in the hole 141 of the funnel 140 momentarily pushes the moving valve 120 upward with a strong force, and the moving valve 120 closes the inlet 111 at a high speed. In particular, as described in FIG. 3, the distance 144 between the other ends 143 of the funnel forming the hole 141 of the funnel 140 is smaller than the distance 123 between the ends 122 of the transfer valve 120. As a result, the force generated by the exhaust gas 400 flowing back is concentrated on the moving valve 120. In the present disclosure, the distributor 130 and the funnel 140 may further reduce the possibility of the exhaust gas flowing back into the reaction chamber than the conventional backflow prevention device.

도 7은 본 개시에 따른 역류방지장치가 사용된 예를 보여주는 도면이다.7 is a view showing an example in which a backflow prevention device according to the present disclosure is used.

역류방지장치(530)는 반도체· LCD·LED 소자가 제조되는 반응챔버(500)와 진공펌프(510) 사이에 위치하여 사용된다.The backflow prevention device 530 is used between the reaction chamber 500 and the vacuum pump 510 in which the semiconductor, LCD, and LED elements are manufactured.

도 8은 본 개시에 따른 역류방지장치의 다른 일 예를 보여주는 도면이다.8 is a view showing another example of the non-return device according to the present disclosure.

역류방지장치(600)는 분배기(630)의 입구(631)의 방향이 상측이 아니라 측면 방향으로 형성되어 있다. 분배기(630)의 입구(631)의 방향이 측면 방향으로 형성되기 때문에 역류방지장치(630)는 반도체· LCD·LED 등의 소자 제조용 배기 라인에 사용되는 트랩장치의 기능을 수행할 수도 있다. 반도체· LCD·LED 등의 소자 제조용 배기 라인에 사용되는 트랩장치는 한국 등록특허공보 제1485420호, 제0834492호 등 다수의 선행기술문헌에 기재되어 있다. 역류방지장치(600)는 도 8에 기재된 내용을 제외하고 도 3에 기재된 역류방지장치(100)와 실질적으로 동일하다. The backflow prevention device 600 is formed in the lateral direction of the inlet 631 of the distributor 630, not the upper side. Since the direction of the inlet 631 of the distributor 630 is formed in the lateral direction, the backflow preventing device 630 may perform a function of a trap device used in an exhaust line for manufacturing devices such as semiconductors, LCDs, and LEDs. Trap apparatuses used in exhaust lines for device manufacturing such as semiconductors, LCDs, LEDs, and the like are described in a number of prior art documents such as Korean Patent Publication Nos. 1485420 and 0834492. The backflow prevention device 600 is substantially the same as the backflow prevention device 100 described in FIG. 3 except for the contents described in FIG. 8.

이하 본 개시의 다양한 실시 형태에 대하여 설명한다.Hereinafter, various embodiments of the present disclosure will be described.

(1) 배기가스의 역류를 방지하기 위한 역류방지장치에 있어서, 입구와 출구를 가지며 내부에 공간을 구비한 몸체; 몸체 내부에 위치하며, 몸체 입구를 열고 닫는 이동 밸브; 몸체 내부에 위치하며, 몸체 출구와 연결되어 배기가스를 분배하는 분배기; 그리고 분배기와 이동 밸브 사이에 위치하며 중앙에 홀을 구비한 깔때기;를 포함하는 배기가스의 역류를 방지하기 위한 역류방지장치.(1) a backflow prevention device for preventing backflow of exhaust gas, comprising: a body having an inlet and an outlet and having a space therein; Located inside the body, the moving valve for opening and closing the body inlet; A distributor located inside the body and connected to the body outlet to distribute exhaust gas; And a funnel positioned between the distributor and the moving valve and having a hole in the center thereof.

(2) 이동 밸브의 단면 형상은 몸체의 입구를 향하여 중앙이 돌출되도록 경사지며, 깔때기의 일단은 몸체의 내면에 고정되며, 깔때기의 홀을 형성하는 깔때기의 타단 사이의 거리는 이동 밸브의 말단 사이의 거리보다 작은 배기가스의 역류를 방지하기 위한 역류방지장치.(2) The cross-sectional shape of the transfer valve is inclined so that the center protrudes toward the inlet of the body, one end of the funnel is fixed to the inner surface of the body, and the distance between the other ends of the funnel forming the hole of the funnel is between the ends of the transfer valve. Backflow prevention device to prevent backflow of exhaust gas smaller than distance.

(3) 이동 밸브가 수직으로 이동하며 좌우로 경로를 이탈하지 않도록 하는 가이드;를 포함하며, 이동 밸브는 가이드를 따라 몸체의 입구와 깔때기 사이에서 수직으로 이동하는 배기가스의 역류를 방지하기 위한 역류방지장치.(3) a guide for moving the moving valve vertically and not deviating from the left and right paths; the moving valve includes a backflow to prevent a backflow of the exhaust gas moving vertically between the inlet of the body and the funnel along the guide; Prevention device.

(4) 가이드는 이동 밸브가 깔때기 방향으로 이동하는 경우 이동 밸브와 깔때기 사이에 배기가스가 통과할 수 있는 공간이 형성되도록 이동 방지부;를 포함하는 배기가스의 역류를 방지하기 위한 역류방지장치.(4) the guide is a movement preventing unit to form a space through which the exhaust gas can pass between the movement valve and the funnel when the movement valve in the funnel direction; a backflow prevention device for preventing backflow of the exhaust gas.

(5) 이동 밸브의 상면 및 몸체 입구 중 적어도 하나에 밀폐부;를 포함하는 배기가스의 역류를 방지하기 위한 역류방지장치.(5) at least one of the upper surface and the body inlet of the transfer valve; a backflow prevention device for preventing backflow of the exhaust gas comprising a.

(6) 분배기의 출구는 몸체의 출구와 연결되며, 분배기의 입구는 2개 이상인 배기가스의 역류를 방지하기 위한 역류방지장치.(6) The outlet of the distributor is connected to the outlet of the body, the inlet of the distributor is a reverse flow prevention device for preventing the back flow of the exhaust gas of two or more.

(7) 분배기의 입구는 4개이며, 서로 마주보는 입구를 연결한 선은 십자형상인 배기가스의 역류를 방지하기 위한 역류방지장치.(7) There are four inlets of the distributor, and a line connecting the inlets facing each other is a backflow preventing device for preventing the backflow of the exhaust gas having a cross shape.

(8) 분배기의 입구는 깔때기의 일단과 타단 사이에 위치하는 배기가스의 역류를 방지하기 위한 역류방지장치.(8) The inlet of the distributor is a backflow preventing device for preventing the backflow of exhaust gas located between one end and the other end of the funnel.

(9) 깔때기의 일단은 몸체의 내면에 고정되며, 분배기의 입구 높이는 몸체 내면에 고정되는 깔때기의 일단의 높이와 깔때기의 홀의 높이 사이인 배기가스의 역류를 방지하기 위한 역류방지장치.(9) One end of the funnel is fixed to the inner surface of the body, the inlet height of the distributor is a backflow prevention device for preventing the back flow of the exhaust gas between the height of one end of the funnel fixed to the inner surface of the body and the height of the hole of the funnel.

(10) 분배기의 입구는 분배기의 측면 방향으로 형성된 배기가스의 역류를 방지하기 위한 역류방지장치.(10) The inlet of the distributor is a backflow prevention device for preventing the backflow of the exhaust gas formed in the lateral direction of the distributor.

본 개시에 의하면, 배기가스가 역류하는 경우 역류하는 배기가스의 유속을 순간적으로 느리게 하며 동시에 배기가스가 역류하는 것을 방지하는 반응속도가 향상된 배기가스의 역류를 방지하기 위한 역류방지장치를 제공한다.According to the present disclosure, there is provided a backflow prevention device for preventing a backflow of an exhaust gas having an improved reaction rate, which instantaneously slows the flow rate of the exhaust gas flowing back when the exhaust gas flows back and prevents the exhaust gas from flowing back.

역류방지장치 : 10, 20, 100, 600
이동 밸브 : 120
분배기 : 130, 200, 300
깔때기 : 140Backflow prevention device: 10, 20, 100, 600
Transfer valve: 120
Splitter: 130, 200, 300
Funnel: 140

Claims (9)

배기가스의 역류를 방지하기 위한 역류방지장치에 있어서,
입구와 출구를 가지며 내부에 공간을 구비한 몸체;
몸체 내부에 위치하며, 몸체 입구를 열고 닫는 이동 밸브;
몸체 내부에 위치하며, 몸체 출구와 연결되어 배기가스를 분배하는 분배기; 그리고
분배기와 이동 밸브 사이에 위치하며 홀을 구비한 깔때기;를 포함하는 배기가스의 역류를 방지하기 위한 역류방지장치.In the backflow prevention device for preventing backflow of the exhaust gas,
A body having an inlet and an outlet and having a space therein;
Located inside the body, the moving valve for opening and closing the body inlet;
A distributor located inside the body and connected to the body outlet to distribute exhaust gas; And
And a funnel positioned between the distributor and the transfer valve and having a hole. 제1항에 있어서,
이동 밸브의 단면 형상은 몸체의 입구를 향하여 중앙이 돌출되도록 경사지며,
깔때기의 일단은 몸체의 내면에 고정되며,
깔때기의 홀을 형성하는 깔때기의 타단 사이의 거리는 이동 밸브의 말단 사이의 거리보다 작은 배기가스의 역류를 방지하기 위한 역류방지장치.The method of claim 1,
The cross-sectional shape of the transfer valve is inclined so that the center protrudes toward the inlet of the body,
One end of the funnel is fixed to the inner surface of the body,
A backflow prevention device for preventing backflow of exhaust gas, wherein the distance between the other ends of the funnel forming the hole of the funnel is smaller than the distance between the ends of the transfer valve. 제1항에 있어서,
이동 밸브가 수직으로 이동하며 좌우로 경로를 이탈하지 않도록 하는 가이드;를 포함하며,
이동 밸브는 가이드를 따라 몸체의 입구와 깔때기 사이에서 수직으로 이동하는 배기가스의 역류를 방지하기 위한 역류방지장치.The method of claim 1,
And a guide for moving the moving valve vertically and not leaving the path from side to side.
The transfer valve is a backflow prevention device for preventing the backflow of the exhaust gas moving vertically between the inlet and funnel of the body along the guide. 제3항에 있어서,
가이드는 이동 밸브가 깔때기 방향으로 이동하는 경우 이동 밸브와 깔때기 사이에 배기가스가 통과할 수 있는 공간이 형성되도록 이동 방지부;를 포함하는 배기가스의 역류를 방지하기 위한 역류방지장치.The method of claim 3,
The guide may include a movement preventing unit to form a space through which the exhaust gas passes between the movement valve and the funnel when the movement valve moves in the funnel direction. 제1항에 있어서,
이동 밸브의 상면 및 몸체 입구 중 적어도 하나에 밀폐부;를 포함하는 배기가스의 역류를 방지하기 위한 역류방지장치.The method of claim 1,
At least one of a top surface and a body inlet of the transfer valve; a backflow preventing device for preventing backflow of exhaust gas. 제1항에 있어서,
분배기의 출구는 몸체의 출구와 연결되며,
분배기의 입구는 2개 이상인 배기가스의 역류를 방지하기 위한 역류방지장치.The method of claim 1,
The outlet of the distributor is connected to the outlet of the body,
Inlet of the distributor is a backflow prevention device for preventing the back flow of two or more exhaust gases. 제6항에 있어서,
분배기의 입구는 4개이며,
서로 마주보는 입구를 연결한 선은 십자형상인 배기가스의 역류를 방지하기 위한 역류방지장치.The method of claim 6,
The distributor has four inlets
The line connecting the inlet facing each other is a backflow prevention device to prevent the backflow of the cross-shaped exhaust gas. 제6항에 있어서,
분배기의 입구는 깔때기의 일단과 타단 사이에 위치하는 배기가스의 역류를 방지하기 위한 역류방지장치.The method of claim 6,
The inlet of the distributor is a backflow prevention device for preventing backflow of the exhaust gas located between one end and the other end of the funnel. 제6항에 있어서,
분배기의 입구는 분배기의 측면 방향으로 형성된 배기가스의 역류를 방지하기 위한 역류방지장치.The method of claim 6,
The inlet of the distributor is a backflow prevention device for preventing the backflow of the exhaust gas formed in the lateral direction of the distributor.
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