KR20190129585A - Ultrasonic resonator for cleaning and cleaning apparatus with multi frequency mode using the same - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 세정용 초음파 진동자 및 이를 이용한 다중 주파수 모드의 세정장치에 관한 것이다. The present invention relates to an ultrasonic vibrator for cleaning and a multi-frequency mode cleaning device using the same.
일반적으로, 초음파 진동자(ultrasonic resonator)는 전기 에너지를 기계적 진동으로 변환시켜 초음파를 발생시킨다. 이러한 초음파 진동자는 초음파 가습기, 초음파 자극기, 초음파 피부마사지기와 같은 생활용품으로부터 초음파 세척기, 초음파 융착기, 정밀계측을 위한 초음파센서 등과 같은 산업분야 등에 적용되며, 군사용으로 잠수함의 음향탐지기, 어업용으로 어군탐지기 및 의료용으로 초음파 진단기, 초음파 수치료기 등에까지 활용된다.In general, an ultrasonic resonator converts electrical energy into mechanical vibrations to generate ultrasonic waves. The ultrasonic vibrator is applied to industrial fields such as ultrasonic cleaners, ultrasonic welding machines, ultrasonic sensors for precision measurement from household goods such as ultrasonic humidifiers, ultrasonic stimulators, ultrasonic skin massagers, and so on. It is also used for ultrasound diagnosis and ultrasonic hydrotherapy.
이중 초음파 세척기는 전계를 인가하였을 때 기계적 변위 또는 진동을 발생시키고, 기계적 변위 또는 진동을 인가하였을 때 발생된 전계를 이용하여 기계적 에너지로 변환시켜 세정을 진행하는 장치다. The ultrasonic cleaner is a device that generates mechanical displacement or vibration when an electric field is applied, and converts the mechanical energy into mechanical energy by using the electric field generated when the mechanical displacement or vibration is applied to perform cleaning.
이와 같은 종래의 초음파 진동자를 이용한 세정장치는 대부분 하나의 재질로 형성된 압전소자를 다수개 사용하여 진동 장치를 제작함으로써, 압전소자의 최대 검출전압에 해당하는 최적의 단일 구동 주파수를 갖도록 진동 장치의 구동을 제어하고 있다. 따라서, 최적 구동 주파수를 갖는 구동 신호를 미세하게 조정하기 어려웠으며, 이에 따라, 효율적인 진동을 얻기도 힘들었다.Such a conventional cleaning apparatus using an ultrasonic vibrator manufactures a vibration device using a plurality of piezoelectric elements formed of a single material, thereby driving the vibration device to have an optimal single driving frequency corresponding to the maximum detection voltage of the piezoelectric element. Is in control. Therefore, it is difficult to finely adjust the drive signal having the optimum drive frequency, and thus it is difficult to obtain an efficient vibration.
또한, 종래의 초음파 진동자는 500KHz 이상의 고주파를 발생시켜 피세정 목적물(예를 들면, 반도체 웨이퍼)의 하단에 진동블럭 없이 세라믹(진동소자)를 직접 부착하여 적용함에 따라 고도로 훈련된 전문 인력만이 작업이 가능함에 따라 생산원가 및 설치비가 고가인 문제점이 있었다. In addition, the conventional ultrasonic vibrator generates a high frequency of 500KHz or more, and only highly trained professional personnel work by directly applying a ceramic (vibration element) to the bottom of the object to be cleaned (for example, semiconductor wafer) without applying a vibration block. This was a problem that the production cost and installation cost is expensive.
또한, 종래의 초음파 진동자는 초음파 진동자를 구성하는 세라믹의 두께만으로 주파수를 높이는 방식으로 적용하였으나, 이 경우 세라믹의 두께가 증가 될 수 록 발진기에서 입력받는 복수의 전류 모두에 대응이 어렵기에 다조식 세정기에 적용될 경우에 피세정 목적물에 따라 진동자를 교체해야되는 불편한 문제점이 있었다. In addition, the conventional ultrasonic vibrator was applied in such a manner as to increase the frequency only by the thickness of the ceramic constituting the ultrasonic vibrator, but in this case, as the thickness of the ceramic increases, it is difficult to cope with all the plurality of currents input from the oscillator. When applied to, there was an uncomfortable problem of replacing the vibrator according to the object to be cleaned.
또한, 종래의 초음파 진동자는 원형으로 세정기 내에 고정되는 진동부(20)의 바닥면에 고정된다. 그리고 초음파 진동자에 의해 발생된 초음파는 진동부(20)의 바닥면In addition, the conventional ultrasonic vibrator is fixed to the bottom surface of the
그러므로 본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 초음파 진동자를 압전 세라믹(200)과 진동블럭의 두께와, 구성들간의 결합형태 및/또는 진동블럭 재질을 통하여 주파수를 조절할 수 있는 세정용 초음파 진동자를 제공함에 있다. Therefore, the present invention has been made to solve the conventional problems as described above, the object of the present invention is to make the ultrasonic vibrator the thickness of the piezoelectric ceramic 200 and the vibration block, the coupling form between the components and / or vibration block material It is to provide an ultrasonic vibrator for cleaning the frequency can be adjusted through.
또한 본 발명의 다른 목적은 발진기에서 입력받는 복수의 전류에 대응 가능하고, 다조식 세정기에서 진동자 구성을 달리할 필요가 없고 설치 및 교환이 간단하게 이루어질 수 있는 세정용 초음파 진동자를 제공함에 있다. In addition, another object of the present invention is to provide a cleaning ultrasonic vibrator capable of coping with a plurality of currents input from the oscillator, and does not need to change the configuration of the vibrator in the multi-stage scrubber, and can be easily installed and replaced.
그러므로 본 발명은 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 하기와 같은 실시예를 포함할 수 있다. Therefore, the present invention may include the following embodiments in order to achieve the above object.
본 발명에 따른 세정용 초음파 진동자의 바람직한 실시예는 양(+)의 전기적 신호를 통전시키는 양극판과, 음(-)의 전기적 신호를 통전시키는 음극판을 구비한 진동블럭과, 양극판과 음극판 사이에서 고정되는 압전 세라믹 및 압전 세라믹의 상하면에 도포되어 양극판과 음극판에 접착시키는 전도성 접착제를 포함하는 세정용 초음파 진동자를 제공할 수 있다. A preferred embodiment of the cleaning ultrasonic vibrator according to the present invention is a vibration block having a positive electrode plate for passing a positive electrical signal, a negative electrode plate for passing a negative electrical signal, and fixed between the positive plate and the negative plate. It is possible to provide an ultrasonic vibrator for cleaning comprising a piezoelectric ceramic and a conductive adhesive applied to the upper and lower surfaces of the piezoelectric ceramic.
또한 본 발명은 다른 실시예로서, 양(+)의 전기적 신호를 통전시키는 양극판과, 음(-)의 전기적 신호를 통전시키는 음극판을 구비한 진동블럭과, 양극판과 음극판 사이에서 고정되는 압전 세라믹과, 양극판과 음극판중 어느 하나에서 압전 세라믹을 연통하도록 삽입되어 진동블럭 사이에 압전 세라믹을 고정시키는 고정수단(500) 및 양극판과 음극판 중 어느 하나의 일면에서 고정수단의 외면에 체결 및 절연시키는 절연 와셔를 포함하는 세정용 초음파 진동자를 제공할 수 있다. In another embodiment, the present invention provides a vibration block having a positive electrode plate for passing a positive electrical signal, a negative electrode plate for passing a negative electrical signal, and a piezoelectric ceramic fixed between the positive plate and the negative plate.
또한, 본 발명은 또 다른 실시예로서, 세정액을 수용하고, 세정 대상물이 인입되는 세정액 수용부와, 위 실시예들의 초음파 진동자들이 수납되어 세정액 수용부에 고정되는 진동부와, 복 수개의 주파수 모드 선택 명령중 어느 하나를 출력하는 스위치부와, 서로 다른 주파수의 발진신호를 진동부로 출력하는 복 수개의 발진기를 구비한 발진부와, 스위치부에서 선택된 주파수 모드 선택 명령에 따라 복 수개의 발진기중 설정된 어느 하나의 발진기에 발진 명령을 출력하도록 제어하는 제어부를 포함하는 세정용 초음파 진동자를 이용한 다중 주파수 모드의 세정장치를 포함할 수 있다. In still another embodiment, the present invention provides a cleaning solution accommodating part for accommodating a cleaning liquid, a cleaning object is introduced therein, a vibration part accommodating the ultrasonic vibrators of the above embodiments and fixed to the cleaning liquid accommodating part, and a plurality of frequency modes. An oscillator having a switch unit for outputting any one of a selection command, a plurality of oscillators for outputting oscillation signals of different frequencies to the vibration unit, and any one of a plurality of oscillators set according to the frequency mode selection command selected by the switch unit. It may include a cleaning device of the multi-frequency mode using a cleaning ultrasonic vibrator including a control unit for controlling to output the oscillation command to one oscillator.
본 발명은 초음파 진동자의 주파수를 압전 세라믹과 진동블럭의 두께와, 구성들간의 결합형태 및/또는 진동블럭 재질중 어느 하나로 선택적 조절 가능하도록 구성을 단순화함에 따라 제조 공수, 구성 부품 및 사이즈를 절감시킬 수 있고, 설치 및 교환이 간단하게 이루어질 수 있어 제조 원가 및 설치 비용을 절감시키는 효과가 있다. The present invention reduces the manufacturing labor, component parts and size by simplifying the configuration to selectively adjust the frequency of the ultrasonic vibrator to any one of the thickness of the piezoelectric ceramic and the vibration block, and the coupling form and / or vibration block material between the components. And it can be made simple to install and replace, there is an effect of reducing the manufacturing cost and installation cost.
또한, 본 발명은 압전 세라믹에 별도의 전원 단자를 구성하지 않고, 양극판과 음극판에서 복 수개의 발진기로부터 발진 신호를 직접 입력받을 수 있기에 다조식 세정기에서 선택된 주파수 모드에 따라 초음파 진동자를 교체할 필요가 없어 관리가 용이한 효과를 얻을 수 있다. In addition, since the present invention can directly receive the oscillation signal from a plurality of oscillators in the positive electrode plate and the negative electrode plate without configuring a separate power supply terminal in the piezoelectric ceramic, it is necessary to replace the ultrasonic vibrator according to the frequency mode selected in the multi-stage scrubber. There is no management effect can be obtained.
도 1은 본 발명의 제1실시예를 도시한 단면도이다.
도 2는 본 발명의 제1실시예에서 접착력 강화를 위한 접착홈을 도시한 단면도이다.
도 3은 제1실시예의 전극탭이 구현된 단면도이다.
도 4는 전극탭을 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 제2실시예를 도시한 단면도이다.
도 6은 제2실시예의 분해 단면도이다.
도 7는 제2실시예에서 전극탭이 구현된 단면도이다.
도 8은 본 발명의 제1실시예에 따른 제조방법을 도시한 순서도이다.
도 9는 본 발명의 제2실시예에 따른 제조방법을 도시한 순서도이다.
도 10은 본 발명에 따른 세정용 초음파 진동자를 이용한 다중 주파수 모드의 세정장치를 간략 도시한 블럭도이다.
도 11은 진동부를 도시한 평면도이다.
도 12는 종래와 본 발명간의 데드존(Dead Zone) 비교 도면이다. 1 is a cross-sectional view showing a first embodiment of the present invention.
2 is a cross-sectional view showing an adhesive groove for reinforcing adhesion in the first embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view of the electrode tab of the first embodiment implemented.
4 illustrates an electrode tab.
5 is a sectional view showing a second embodiment of the present invention.
6 is an exploded cross-sectional view of the second embodiment.
7 is a cross-sectional view of the electrode tab implemented in the second embodiment.
8 is a flowchart showing a manufacturing method according to the first embodiment of the present invention.
9 is a flowchart illustrating a manufacturing method according to a second embodiment of the present invention.
10 is a block diagram schematically illustrating a cleaning apparatus of a multi-frequency mode using the ultrasonic cleaning vibrator according to the present invention.
11 is a plan view of the vibration unit.
12 is a dead zone comparison diagram between the conventional and the present invention.
이하에서는 본원이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 구현예 및 실시예를 들어 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments and examples of the present invention will be described in detail so that those skilled in the art may easily implement the present disclosure.
그러나 본원은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 구현예 및 실시예에 한정되지 않으며, 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정 해석되지 아니하며, 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.However, the present application may be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments and embodiments set forth herein, and the terms or words used in the specification and claims are not to be construed as limiting in a conventional or dictionary sense, and the present invention. It should be interpreted as meanings and concepts corresponding to the technical idea of
명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. Throughout the specification, when a part is said to "include" a certain component, it means that it can further include other components, without excluding other components unless specifically stated otherwise.
이하에서는 본 발명에 따른 세정용 초음파 진동자 및 이를 이용한 다중 주파수 모드의 세정장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, a preferred embodiment of a cleaning ultrasonic vibrator and a multi-frequency mode cleaning apparatus using the same according to the present invention will be described in detail.
도 1은 본 발명의 제1실시예를 도시한 단면도이다. 1 is a cross-sectional view showing a first embodiment of the present invention.
도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 제1실시예는 양(+)의 전기적 신호를 통전시키는 양극판(110)과, 음(-)의 전기적 신호를 통전시키는 음극판(130)을 구비한 진동블럭(100)과, 양극판(110)과 음극판(130) 사이에서 고정되는 압전 세라믹(200) 및 압전 세라믹(200)의 상하면에 도포되어 양극판(110)과 음극판(130)에 접착시키는 전도성 접착제(300)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 1, a first embodiment according to the present invention is a vibration block having a
진동블럭(100)은 소정의 두께를 갖고 일방향으로 연장된 판 형상(예를 들면, 사각형)으로 제작될 수 있다. 이중 양극판(110)과 음극판(130)은 압전 세라믹(200)을 사이에 두고 접착 고정된다. The
여기서 양극판(110)과 음극판(130)은 전도성 금속(예를 들면, 알루미늄)소재로서 각각 양(+)과 음(-)의 전기적 신호의 통전이 가능하다. 즉, 양극판(110)과 음극판(130)은 압전 세라믹(200)에서 발진된 초음파 반사 및 방열을 위한 프론트 매스(Front Mass) 및 백 매스(Back Mass)의 역할과 함께 전극으로서의 역할을 동시 수행할 수 있도록 전기 전도성 금속 블럭(예를 들면, 알루미늄)으로 형성된다. Herein, the
이중 양극판(110)은 발진기로부터 연장된 전선(51, 도 11 참조)이 직접 연결되고, 음극판(130)은 전도성 금속 함체로 이루어진 진동부(20, 도 10 참조)의 바닥판에 접착된다. 즉, 본 발명의 초음파 진동자(10)는 진동부(20)의 함체 바닥면을 음(-)의 전원 및 접지단자로 형성될 수 있다. The double
전도성 접착제(300)는 압전 세라믹(200)의 상하면에 도포되어 양극판(110)과 음극판(130) 사이에서 압전 세라믹(200)을 고정시킨다. 바람직하게로 전도성 접착제(300)는 카본, 은, 구리중 적어도 하나 이상의 성분을 포함할 수 있다. The
압전 세라믹(200)은 전도성 접착제(300)에 의해 양극판(110)과 음극판(130)의 상호 대향된 면에 각각 접착된다. 따라서 압전 세라믹(200)은 양극판(110)과 음극판(130)을 통하여 입력된 전기적 신호에 의하여 고주파(예를 들면, 200~500 KHz)로서 진동을 개시한다. The
여기서 본 발명은 압전 세라믹(200)으로부터 인출되는 별도의 전원 단자가 포함되지 않고, 양극판(110)과 음극판(130)의 양면 중 어느 하나의 접촉을 통하여 인가된 전기적 신호에 의해 고주파로서 진동 가능하다. Herein, the present invention does not include a separate power supply terminal drawn out from the piezoelectric ceramic 200, and may vibrate as a high frequency by an electrical signal applied through any one of both surfaces of the
또한, 본 발명은 제1실시예의 양극판(110)과 음극판(130)에서 전도성 접착제(300)가 밀착되는 일면에서 각각 접착력을 높일 수 있도록 내향된 홈으로 이루어진 복 수개의 접착홈(110a, 130a)과, 다중 주파수 모드의 구현을 위하여 서로 다른 발진기로부터 연장된 전선(51, 도 10 또는 도 11 참조)이 연결될 수 있도록 하나의 초음파 진동자(10)에 복 수개의 전극탭(150)을 더 포함할 수 있다. In addition, the present invention is a plurality of adhesive grooves (110a, 130a) made of inward grooves to increase the adhesive strength in each of the one surface where the
이는 도 2 내지 도 4를 참조하여 설명한다. This will be described with reference to FIGS. 2 to 4.
도 2는 본 발명의 제1실시예에서 접착력 강화를 위한 접착홈(110a, 130a)을 도시한 단면도, 도 3은 전극탭(150)이 구현된 단면도, 도 4는 전극탭(150)을 상세 도시한 도면이다. 2 is a cross-sectional view showing the adhesive grooves (110a, 130a) for enhancing the adhesion in the first embodiment of the present invention, Figure 3 is a cross-sectional view of the
도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 발명은 양극판(110)의 접착면(도 2의 하면)과, 음극판(130)의 접착면(도 2의 상면)에서 각각 내향된 복 수개의 접착홈(110a, 130a)과, 양극판(110)의 상면에서 복 수개의 전극탭(150)중 적어도 하나 이상을 포함할 수 있다. 2 to 4, the present invention provides a plurality of adhesive grooves each inwardly directed from the adhesive surface (the lower surface of FIG. 2) of the
접착홈(110a, 130a)은 전도성 접착제(300)가 도포되면서 내측으로 유입 및 경화됨에 따라 압전 세라믹(200)과 양극판(110) 및 음극판(130)의 접착력을 높일 수 있다. The
전극탭(150)은 전도성 금속 재질로서 양극판(110)의 상면에 내향된 바디홀(110b)에 체결된다. 바람직하게로는 전극탭(150)은 발진기의 숫자에 따라 선택적으로 탈부착시킬 수 있도록 나사방식의 결합구조로 이루어짐이 바람직하다. The
그러므로 전극탭(150)은 양극판(110)에 삽입 및 체결되는 탭바디(151)와, 탭바디(151)의 상면에서 직립되어 복 수개의 발진기중 어느 하나에 연결되는 전선(51, 도 11 참조)이 연결되는 연결판(152)으로 구비될 수 있다. Therefore, the
탭바디(151)는 양극판(110)의 상면에서 내향되고, 외면에 나사산이 형성되는 바디홀(110b)에 일치되는 형상으로 제작됨이 바람직하다. 즉, 탭바디(151)는 외면에서 바디홀(110b)의 벽면에 형성된 나사산과 일치되는 나사산이 구비되어 양극판(110)의 상면에 체결된다. The
연결판(152)은 탭바디(151)의 상면에서 직립된 판으로서 중심부에 전선이 통과되는 개구(153)가 더 포함될 수 있다. The connecting
따라서 발진기에서 연장된 전선(51, 도 11 참조)은 개구를 통하여 연장되되, 납땝 또는 기타 접착 방식에 의하여 통전 가능하도록 연결된다. Thus, the wires 51 (see FIG. 11) extending from the oscillator extend through the openings and are connected to enable energization by soldering or other adhesive method.
그러므로 본 발명의 제1실시예는 상술한 전도성 접착제(300)에 의해 압전 세라믹(200)을 고정시키되, 상기의 접착홈(110a, 130a)과 전극탭(150)중 적어도 하나 이상을 더 포함할 수 있다. Therefore, the first embodiment of the present invention is fixed to the piezoelectric ceramic 200 by the
또한, 본 발명은 상술한 제1실시예외에 고정수단(500)을 통하여 양극판(110) 내지 음극판(130)을 고정시키는 제2실시예를 포함할 수 있다. 제2실시예는 도 5 내지 도 7을 참조하여 설명한다. In addition, the present invention may include a second embodiment for fixing the
도 5는 본 발명의 제2실시예를 도시한 단면도, 도 6은 제2실시예의 분해 단면도이다. 5 is a cross-sectional view showing a second embodiment of the present invention, and FIG. 6 is an exploded cross-sectional view of the second embodiment.
도 5 및 도 6을 참조하면, 본 발명의 제2실시예는 양(+)의 전기적 신호를 통전시키는 양극판(110)과, 음(-)의 전기적 신호를 통전시키는 음극판(130)을 구비한 진동블럭(100)과, 양극판(110)과 음극판(130) 사이에서 고정되는 압전 세라믹(200)과, 양극판(110)과 음극판(130)중 어느 하나에서 압전 세라믹(200)을 연통하도록 삽입되어 진동블럭(100) 사이에 압전 세라믹(200)을 고정시키는 고정수단(500)과, 양극판(110)과 음극판(130)중 어느 하나의 일면에서 고정수단(500)의 외면에 체결 및 절연시키는 절연 와셔(400)를 포함할 수 있다. 5 and 6, a second embodiment of the present invention includes a
진동블럭(100)은 소정의 두께를 갖고 일방향으로 연장된 판 형상(예를 들면, 사각형)으로 제작되어 압전 세라믹(200)에서 발생된 초음파를 반사 및 열을 방열시킨다. 아울러 진동블럭은, 예를 들면, 알루미늄과 같은 전도성 금속으로 제작됨에 따라 양극판(110)(Back Mass)과 음극판(130)(Front Mass)의 역할을 수행하게 된다. The
이중 양극판(110)과 음극판(130)은 압전 세라믹(200)을 사이에 두고 고정수단(500)에 의해 고정된다. The double
양극판(110)은 고정수단(500)을 안내할 수 있도록 적어도 관통 형성된 극판 안내공(112)과, 극판 안내공(112)의 벽면 상측에서 절연 와셔(400)를 지지하는 지지단턱(111)을 포함한다. The
음극판(130)은 고정수단(500)의 끝단이 체결 및 수용될 수 있도록 내향된 체결홈(131)을 포함한다. 여기서 체결홈(131)은 압전 세라믹(200)에 대향된 일면에서 내향 형성됨에 따라 음극판(130)의 반대면으로 고정수단(500)의 끝단을 돌출시키지 않는다. The
극판 안내공(112)은 도면에 도시된 바와 같이 양극판(110)의 일면에서 반대면으로 관통 형성되어 고정수단(500)과 체결 및 안내한다. 여기서 극판 안내공(112)은 고정수단(500)의 외면과 체결가능한 형상(예를 들면, 나사산)이 형성될 수 있다. The pole
지지단턱(111)은 극판 안내공(112)을 이루는 양극판(110)의 벽면 상측에서 단턱을 이루어 후술되는 절연 와셔(400)의 삽입돌기(430)가 설치되는 공간을 형성한다. The
아울러, 극판 안내공(112)은 고정수단(500)과 양극판(110)간의 절연을 위하여 벽면에 절연 코팅 처리되거나 고정수단(500)과 이격되도록 고정수단(500)보다 확장된 직경으로 형성될 수 있다. In addition, the pole
압전 세라믹(200)은 일방향으로 연장된 판 형상으로서 고정수단(500)을 안내할 수 있도록 관통 형성된 적어도 하나 이상의 압전 안내공(210)을 포함한다. 여기서 압전 세라믹(200)은 양극판(110)과 음극판(130) 사이에서 고정수단(500)에 의해 고정된다. The piezoelectric ceramic 200 includes at least one
이때, 압전 세라믹(200)은 양극판(110)을 통하여 양(+)의 전기적 신호와 통전되고, 음극판(130) 및 고정수단(500)을 통하여 음(-)의 전기적 신호와 통전된다.In this case, the piezoelectric ceramic 200 is energized with a positive electrical signal through the
고정수단(500)은 전도성 금속 재질로서 외부의 발진기와 음극판(130) 및 압전 세라믹(200)과 통전 가능하다. The fixing means 500 is a conductive metal material and is capable of energizing the external oscillator, the
이를 위하여 고정수단(500)은 극판 안내공(112), 세라믹 안내공을 연통하여 그 끝단이 음극판(130)의 체결홈(131)으로 수용 및 체결될 수 있도록 연장되는 봉체(도면부호가 부여되지 않음)와, 봉체(도면부호가 부여되지 않음)의 선단에서 절연 와셔(400)의 상면에 걸림될 수 있도록 헤드(도면부호가 부여되지 않음)가 포함될 수 있다. To this end, the fixing means 500 communicates with the pole
여기서 봉체(도면부호가 부여되지 않음)의 직경은 극판 안내공(112)에 비하여 작고, 와셔공(420) 및 체결홈(131)과 접촉될 수 있는 사이즈로서 성형될 수 있다. In this case, the diameter of the rod (not shown) is smaller than that of the pole
절연 와셔(400)는 양극판(110)과 고정수단(500)간의 전기적 통전을 차단한다. 이를 위하여 절연 와셔(400)는 테프론과 같은 절연성 플라스틱 수지로서 제작될 수 있다. The
아울러 절연 와셔(400)는 극판 안내공(112) 및 고정수단(500)의 외면에 비하여 확장된 직경을 갖는 절연 본체(410)와, 절연 본체(410)에서 하향 되어 지지단턱(111)에 설치되는 삽입돌기(430)와, 고정수단(500)을 안내하도록 관통 형성된 와셔공(420)을 포함한다. In addition, the insulating
절연 본체(410)는 양극판(110)의 극판 안내공(112) 및 고정수단(500) 보다 확장된 직경으로 형성되어 고정수단(500)의 헤드(도면부호가 부여되지 않음)가 걸림되도록 한다. The insulating
삽입돌기(430)는 절연 본체(410)에서 하향 연장되어 극판 안내공(112)의 내측으로 삽입되어 지지단턱(111)에 설치된다. 즉, 삽입돌기(430)는 양극판(110)의 극판 안내공(112)의 상부로 삽입된다. 여기서 절연 본체(410) 및 삽입돌기(430)는 일체형으로 사출 성형됨이 바람직하다. The
와셔공(420)은 절연 본체(410)의 상면에서 삽입돌기(430)의 중심부로 연통되도록 형성되어 고정수단(500)을 안내한다. The
즉, 본 발명의 제2실시예는 제1실시예와 달리 전도성 접착제(300)에 의해 양극판(110)과 음극판(130) 사이에 압전 세라믹(200)을 고정시키는 것이 아닌 연통 삽입되는 고정수단(500)에 의해 고정된다. That is, in the second embodiment of the present invention, unlike the first embodiment, the fixing means inserted in communication is not fixed to the piezoelectric ceramic 200 between the
이와 같은 제2실시예의 구조는 압전 세라믹(200)과 양극판(110) 및 음극판(130)이 직접 접촉되고, 고정수단(500)을 음(-)의 전기적 신호가 통전되는 전원 라인으로 구성함에 따라 별도의 전원단자가 필요하지 않고, 직접 발진기등에 연결될 수 있다. The structure of the second embodiment is such that the piezoelectric ceramic 200 and the
또한, 본 발명의 제2실시예는 상술한 다중 주파수 모드에 적용 가능하도록 복 수개의 전극탭(150)을 더 포함할 수 있다. 이는 도 7을 참조하여 설명한다. In addition, the second embodiment of the present invention may further include a plurality of
도 7은 전극탭(150)을 포함한 제2실시예를 도시한 도면이다. FIG. 7 is a diagram illustrating a second embodiment including the
도 7을 참조하면, 제2실시예는 상술한 바와 같이 양극판(110)과 음극판(130) 사이에 적층된 압전 세라믹(200)과, 양극판(110) 내지 음극판(130)을 연통하여 고정시키는 고정수단(500)과, 양극판(110)의 상면에 복 수개가 고정되어 양(+)의 전원이 입력되는 복 수개의 전극탭(150)을 포함한다. Referring to FIG. 7, in the second embodiment, the piezoelectric ceramic 200 stacked between the
양극판(110)은 전극탭(150)을 고정하도록 상면에서 내향된 바디홀(110b)을 구비할 수 있다.The
전극탭(150)은 복 수개로서 각각 서로 다른 발진기에 연결되며, 양극판(110)의 바디홀(110b)에 체결되는 탭바디(151)와, 발진기에서 연장된 전선(51, 도 10 참조)이 연장 및 통전 가능하게 연결되는 개구(153)를 구비한 연결판(152)을 포함할 수 있다. The plurality of
따라서 제2실시예의 초음파 진동자(10)는 복 수개의 발진기중 어느 하나에서 발진된 양의 전원에 의하여 초음파를 발진시킨다. 이와 같은 복 수개의 발진기에 연결되는 다중 주파수 모드의 초음파 진동자(10)는 도 10 및 도 12를 참조하여 후술한다. Therefore, the
또한, 본 발명은 상술한 제1실시예와 제2실시예가 조합될 수 있고, 또는 제1실시예와 제2실시예에서 하나의 압전 세라믹(200)을 이용한 것과 달리 복 수개로 분할된 압전 세라믹(200)을 구비하여 하나의 초음파 진동자(10)를 제작할 수 있다. In addition, the present invention may be combined with the first and second embodiments described above, or in the first and second embodiments, the piezoelectric ceramic is divided into a plurality of piezoelectric ceramics. It is possible to produce a single
본 발명에 따른 초음파 진동자(10)는 상기와 같은 구성을 모두 또는 선택적으로 포함할 수 있고, 이하에서는 상기와 같은 본 발명의 제1실시예 및 제2실시예의 초음파 진동자(10)를 제조하는 방법을 설명한다. The
도 8은 본 발명의 제1실시예에 따른 초음파 진동자의 제조방법을 도시한 순서도이다. 8 is a flowchart illustrating a method of manufacturing an ultrasonic vibrator according to a first embodiment of the present invention.
도 8을 참조하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 제조 방법은 압전 세라믹(200)과 진동블럭(100)을 성형 제작하는 S110 단계와, 압전 세라믹(200)의 양면에 전도성 접착제(300)를 도포하는 S120 단계와, S120 단계 이후 압전 세라믹(200)의 양면에 양극판(110)과 음극판(130)을 각각 접착 및 경화시는 S130 단계와, 전극탭(150)을 연결하고 세정기의 진동부(20)에 수납시키는 S140 단계를 포함한다. Referring to FIG. 8, the manufacturing method according to the first exemplary embodiment of the present invention may include forming a piezoelectric ceramic 200 and a vibrating
S110 단계는 압전 세라믹(200)과 양극판(110) 및 음극판(130)을 소정의 형상으로 성형하는 단계이다. 여기서 압전 세라믹(200)은 양극판(110)과 음극판(130)의 접촉 면적이 확장될 수 있도록 양극판(110)과 음극판(130)과 동일한 형상으로 제작됨이 바람직하다. In step S110, the piezoelectric ceramic 200, the
아울러, 양극판(110) 및 음극판(130)은 전도성 금속 재질의 판재로서 목적된 주파수에 따라 두께가 조절됨이 가능하다. In addition, the
또한, 양극판(110) 및 음극판(130)은 전도성 접착제가 접착되는 일면에서 내향된 접착홈(110a, 130a)과, 양극판(110)의 상면에서 전극탭(150)이 체결될 수 있도록 복 수개의 바디홀(110b)이 더 형성될 수 있다. In addition, the
S120 단계는 전도성 접착제(300)를 도포하는 단계이다. 여기서 전도성 접착제(300)는 카본을 포함할 수 있다. 즉, 전도성 접착제(300)는 압전 세라믹(200)의 양면 및/또는 양극판(110)과 음극판(130)의 양면 중 상호 대향된 각각의 일면에 도포됨도 가능하다. Step S120 is a step of applying the
S130 단계는 압전 세라믹(200)을 사이에 두고 양극판(110)과 음극판(130)을 접착시킨 후 소정이 시간동안 전도성 접착제(300)를 경화시키는 단계이다. 압전 세라믹(200)은 양극판(110)과 음극판(130) 사이에서 전도성 접착제(300)에 의해 고정된다. The step S130 is a step of curing the
S140 단계는 전도성 접착제(300)에 의해 고정된 초음파 진동자(10)의 상면에서 하나 이상의 전극탭(150)을 설치한 뒤에 진동부(20)에 수납하여 전선을 연결하는 단계이다. 전극탭(150)은 탭바디(151)를 양극판(110)의 바디홀(110b)에 나사 결합방식으로 체결된다. 이후 작업자는 복 수개의 발진기중 어느 하나에서 연결되는 양(+)의 전선(51)을 전극탭(150)의 개구(153)으로 연통시킨 뒤 납땝하여 양(+)의 전선과 전극탭(150)을 통전 가능하게 연결한다. The step S140 is a step of connecting the wires by storing the one or
이와 같은 방식으로 복 수개의 초음파 진동자(10)는 전기적으로 병렬 연결되는 구조로서 진동부(20)에 수납된다. 여기서 진동부(20)는 전도성 금속 재질(예를 들면, 스테인레스)로 이루어진 함체로 외부의 세정액(60)이 침투하지 못하도록 밀폐된 공간을 이루게 된다. 따라서 상호 병렬 연결된 복 수개의 초음파 진동자(10)들은 진동부(20)의 바닥면에 전도성 접착제(예를 들면, 카본 또는 은나노 접착제)로 고정된다. In such a manner, the plurality of
그러므로 진동부(20)는 함체 바닥면이 음(-)의 전원라인 및 접지단자로서 역할을 수행한다. 따라서 본 발명의 제1실시예는 음(-)의 전원 라인을 추가할 필요가 없다. Therefore, the
즉, 본 발명의 제1실시예는 양극판(110)과 음극판(130), 전도성 접착제(300) 및 압전 세라믹(200)만으로 구성을 단순화시킬 수 있고, 복 수개의 전극탭(150)을 구비하였기에 범용성 및 확장성을 갖는다. That is, the first embodiment of the present invention can simplify the configuration of only the
도 9는 본 발명에 따른 제2실시예의 제조방법을 도시한 순서도이다. 9 is a flow chart showing the manufacturing method of the second embodiment according to the present invention.
도 9는 본 발명에 따른 제2실시예의 제조방법은 세라믹과 양극판(110) 및 음극판(130)을 성형하는 S210 단계와, 양극판(110) 내지 음극판(130)에서 안내공들을 가공하는 S220 단계와, 양극판(110) 내지 절연재를 순차적으로 조립하는 S230 단계와, 고정수단(500)이 연통되어 고정시키는 S240 단계와, 전극탭(150) 및 전선을 연결하여 진동부(20)에 수납하는 S250 단계를 포함한다. 9 is a manufacturing method of the second embodiment according to the present invention S210 step of forming a ceramic and a
S210 단계는 압전 세라믹(200)과 양극판(110) 및 음극판(130)을 소정의 형상으로 성형하는 단계이다. 여기서 압전 세라믹(200)은 양극판(110)과 음극판(130)의 접촉 면적이 확장될 수 있도록 양극판(110)과 음극판(130)과 동일한 형상으로 제작됨이 바람직하다. Step S210 is a step of forming the piezoelectric ceramic 200, the
아울러, 양극판(110) 및 음극판(130)은 전도성 금속 재질의 판재로서 목적된 주파수에 따라 두께가 조절될 수 있다. In addition, the
S220 단계는 양극판(110)과 음극판(130) 및 압전 세라믹(200)에 고정수단(500)을 안내할 수 있는 안내공들을 각각 형성하는 단계이다. 즉, 양극판(110)은 고정수단(500)을 안내할 수 있는 극판 안내공(112), 압전 세라믹(200)에는 압전 안내공(210) 각각 가공되고, 음극판(130)은 고정수단(500)의 끝단이 수용되는 체결홈(131)이 가공된다. Step S220 is a step of forming guide holes for guiding the fixing means 500 on the
아울러 절연 와셔(400)는 테프론과 같은 절연성 소재로 제작되어 절연 본체(410)와 삽입돌기(430)를 연통하는 와셔공(420)이 성형 가공될 수 있다. In addition, the insulating
또한, 양극판(110)은 극판 안내공(112)의 상측에서 단차 성형된 지지단턱(111)이 형성된다. 여기서 지지단턱(111)은 절연 와셔(400)의 삽입돌기(430)의 직경을 수용할 수 있는 사이즈를 갖도록 성형된다.In addition, the
S230 단계는 양극판(110)과 음극판(130)과 압전 세라믹(200) 및 절연 와셔(400)를 조립하는 단계이다. 압전 세라믹(200)은 양극판(110)과 음극판(130) 사이에서 적층된다. 여기서 압전 세라믹(200)이 압전 안내공(210)과, 양극판(110)의 극판 안내공(112)과, 음극판(130)의 체결홈(131)은 상호 일치된 위치에 놓여지도록 적층된다. Step S230 is a step of assembling the
여기서 극판 안내공(112)과 체결홈(131)은 서로 다른 직경을 갖도록 성형됨이 바람직하다. 예를 들면, 극판 안내공(112)은 벽면과 고정수단(500)의 외면 사이가 이격되어 상호 절연될 수 있도록 고정수단(500)의 봉체(도면부호가 부여되지 않음) 직경보다 확장된 직경으로 형성될 수 있다. Here, the
다만, 와셔공(420)과 체결홈(131)은 고정수단(500)과 직접적으로 접촉될 수 있는 사이즈로 성형된다. 즉, 체결홈(131)은 고정수단(500)이 음극판(130)과 전기적으로 통전 가능한 사이즈를 갖되, 극판 안내공(112)은 고정수단(500)이 양극판(110)과 접촉되지 않도록 이격 된 공간을 형성할 수 있다. However, the
또는, 본 발명에서 극판 안내공(112)은 고정수단(500)과의 절연을 위한 절연 코팅 처리됨도 가능하다. Alternatively, in the present invention, the electrode
절연 와셔(400)는 양극판(110)의 상면에서 극판 안내공(112)의 상단으로 삽입된다. 이때 삽입돌기(430)는 극판 안내공(112)의 상측에 형성된 지지단턱(111)으로 설치된다. 따라서 절연 와셔(400)는 삽입돌기(430)가 극판 안내공(112)의 상측에 삽입되어 지지단턱(111)에 의해 지지되도록 조립된다. The insulating
S240 단계는 고정수단(500)이 체결되어 초음파 진동자(10)의 조립을 완성하는 단계이다. 고정수단(500)은 확장된 직경을 갖는 헤드(도면부호가 부여되지 않음)와 길이방향으로 연장된 봉체(도면부호가 부여되지 않음)를 포함할 수 있다. 따라서 고정수단(500)의 봉체(도면부호가 부여되지 않음)는 절연 와셔(400)의 와셔공(420)을 통하여 음극판(130)의 체결홈(131)까지 연통 삽입된다. 이때 체결홈(131)은 음극판(130)의 일면에서 내향된 홈으로서 음극판(130)에 관통 성형되지 않았다. 따라서 고정수단(500)의 끝단은 음극판(130)의 외측으로 돌출되지 않는다. In step S240, the fixing means 500 is fastened to complete the assembly of the
여기서 고정수단(500)은 절연 와셔(400)에 의해 양극판(110)과 절연된 상태에서 압전 세라믹(200)을 연통하여 음극판(130)과 전기적으로 통전된다. 그러므로 압전 세라믹(200)은 양극판(110)을 통하여 양의 전기적 신호, 음극판(130) 및 고정수단(500)을 통하여 음의 전기적 신호를 입력받을 수 있다. Here, the fixing means 500 is electrically insulated from the
그러므로 초음파 진동자(10)는 절연 와셔(400)부터 음극판(130)까지 고정수단(500)에 의하여 고정된다. Therefore, the
S250 단계는 전극탭(150)을 양극판(110)의 상면에 설치하고, 전극탭(150)에 양(+)의 전선, 고정수단(500)중 어느 하나에 음(-)의 전선을 연결 및 접착하여 진동부(20)에 수납하는 단계이다. In step S250, the
전극탭(150)은 양극판(110)의 상면에 형성된 바디홀(110b)에 나사 결합방식으로 체결되고, 복 수개의 발진기중 어느 하나에 연결되는 양(+)의 전선이 접착 및 연결된다. The
또한, 고정수단(500)은 상술한 바와 같이 음(-)의 전원 단자로서 역할을 수행할 수 있다. 따라서 고정수단(500)은 외면에서 음(-)의 전원을 전달하는 전선이 연결된다. 각각의 초음파 진동자(10)들은 이와 같은 과정을 통하여 병렬 연결되어 진동부(20)에 수납된다. In addition, the fixing means 500 may serve as a negative power terminal as described above. Therefore, the fixing means 500 is connected to the wire for transmitting a negative power (-) from the outer surface. Each of the
이와 같은 본 발명의 제2실시예는 그 구성이 종래에 비하여 단순화됨에 따라 조립 공수가 절감될 수 있었고, 특히 구성이 단순화됨에 따라 비숙련자라도 쉽게 조립과 교환 가능하다. As described above, the second embodiment of the present invention can reduce assembly labor as the configuration thereof is simplified as compared with the related art, and in particular, the assembly can be easily replaced and exchanged even by an unskilled person.
또한, 본 발명은 상기와 같은 초음파 진동자(10)를 이용한 다중 주파수 모드로 구동되는 세정장치를 제공할 수 있다. 이는 도 10 내지 도 12를 참조하여 설명한다. In addition, the present invention can provide a cleaning device that is driven in a multi-frequency mode using the
도 10은 본 발명에 따른 다중 주파수 모드의 초음파 진동자(10)를 이용한 세정장치를 간략 도시한 블럭도, 도 11은 진동부(20)를 도시한 평면도, 도 12는 종래와 본 발명의 데드존(Dead Zone)(a, A)을 비교한 도면이다. FIG. 10 is a block diagram schematically illustrating a cleaning apparatus using the
여기서 도 10은 고정수단(500)이 구비된 초음파 진동자(10)가 포함된 제2실시예를 도시하였고, 도 11은 고정수단(500)이 구비되지 않은 제1실시예의 초음파 진동자(10)가 설치된 예를 도시하였다. 10 illustrates a second embodiment in which the
도 10 및 도 11을 참조하면, 본 발명의 세정장치는 복 수개의 초음파 진동자(10)가 수납된 진동부(20)와, 진동부(20) 및 세정액(60)을 수용하는 세정액 수용부(30)와, 초음파 진동자(10)를 제어하는 제어부재(40)를 포함할 수 있다. 10 and 11, the cleaning apparatus of the present invention includes a vibrating
진동부(20)는, 예를 들면, 벽면과 바닥면으로 복 수개의 초음파 진동자(10)가 정렬 및 고정되는 내부 공간을 형성하고, 커버(도면번호 부여되지 않음)를 통하여 외부의 세정액(60)이 침투되지 못하도록 밀폐된다. 즉, 진동부(20)는 내부 공간이 밀폐 가능한 함체로서 형성된다. The
여기서, 본 발명에 따른 초음파 진동자(10)는 상술한 설명 및 도면에 도시된 바와 같이 사각형으로 제작되어 데드존(Dead Zone)(A)을 감소시킬 수 있다. Here, the
즉, 본 발명은 도 12의 (a)와 같이 원형의 형상으로 제작된 종래의 초음파 진동자(1)들과 진동부(20)의 바닥면이 상호 접촉되지 않은 데드존(Dead Zone)(a) 면적을 줄일 수 있는 효과가 있다. That is, the present invention is a dead zone (a) in which the conventional
예를 들면, 초음파는 초음파 진동자(10)에서 출력된 초음파는 접촉된 진동부(20)를 매질로 하여 외측으로 출력된다. 따라서 초음파 진동자(10)와 진동부(20) 바닥면 간에 접착된 영역이 많아질수록 초음파 전달율이 높다. For example, the ultrasonic wave is output from the
하지만 종래의 초음파 진동자(1)는 원형 또는 타원형으로 제작됨에 따라 도 12의 (a)에 도시된 바와 같이 사각형으로 제작된 경우에 비하여 데드존(Dead Zone)(a)의 면적이 더 크다. However, as the conventional
즉, 본 발명은 초음파 진동자(10)를 사각형으로 제작함에 따라 데드존(Dead Zone)(A)을 감소시킬 수 있어 초음파 전달율을 높일 수 있다. That is, according to the present invention, the dead zone A may be reduced by manufacturing the
또한, 복 수개의 초음파 진동자(10)는 제어부재(40)로부터 연장되는 케이블(50)이 진동부(20)의 내측으로 인입되어 연결된다. In addition, the plurality of
여기서, 복 수개의 초음파 진동자(10)는 고정수단(500)을 음(-)의 전원단자로서 연결하거나, 전도성 금속 재질의 진동부(20) 바닥면에 전도성 접착제(예를 들면, 카본 성분의 접착제)로 초음파 진동자(10)를 고정시켜 별도의 음(-)의 전원라인을 생략할 수 있다. Here, the plurality of
세정액 수용부(30)는, 예를 들면, 세정액(60) 및 진동부(20)가 수용되는 탱크로서 바닥면에 진동부(20)가 고정되고, 세정액(60)이 충진된다. 즉, 세정액 수용부(30)는 진동부(20)로부터 출력된 초음파가 세정액(60)을 매질로 하여 세정 대상물에 전달할 수 있는 공간을 형성한다. The cleaning
제어부재(40)는 주파수 모드의 선택 명령을 출력하는 스위치부(41)와, 스위치부(41)의 명령에 따라 제어명령을 출력하는 제어부(42)와, 제어부(42)에 따라 선택적으로 발진 신호를 출력하는 발진부(43)를 포함한다. The
스위치부(41)는 전원의 온/오프, 복 수개의 주파수 모드 선택(예를 들면, A KHz, B KHz, C KHz, A>B>C) 스위치를 포함할 수 있다. The
발진부(43)는 복 수개의 발진기를 구비하며, 제어부(42)의 선택명령에 따라서 구동된다. 예를 들면, 발진부(43)는 A 주파수 발진 명령을 출력하는 제1발진기, B 주파수 발진 신호를 출력하는 제2발진기, C 주파수 발진 신호를 출력하는 제3발진기를 포함할 수 있다. The
즉, 제어부(42)는 스위치부(41)에서 A 주파수 모드 선택 명령이 입력되면, 제1발진기에 발진명령을 출력하고, B 주파수 모드 선택 명령이 입력되면 제2발진기, C 주파수 모드 선택 명령이 입력되면 제3발진기에 각각 발진 명령을 출력한다. That is, the
바람직하게로는 제어부(42)는 스위치부(41)의 수동 입력 명령 또는 설정된 시간을 카운팅하여 발진기를 오프시킴도 가능하다. Preferably, the
따라서 제1발진기 내지 제3발진기는 제어부(42)에서 선택적으로 입력된 발진 명령에 따라 발진신호를 진동부(20)로 출력한다. 이때 출력된 발진신호는 진동부(20)에 병렬 연결되는 초음파 진동자(10)를 병렬 연결시키는 양(+)의 전선(51)을 통하여 출력된다. Accordingly, the first to third oscillators output the oscillation signal to the
그러므로 본 발명은 복 수개의 전극탭(150)을 구비한 초음파 진동자(10)를 구비함에 따라 다중 주파수 모드가 가능한 세정기를 제공할 수 있고, 종래와 같이 주파수 모드에 따라 초음파 진동자(10)를 교체하거나 배선 라인을 교체할 필요가 없다. Therefore, according to the present invention, the
이상에서 설명된 본 발명의 세정용 초음파 진동자 및 이를 이용한 다중 주파수 모드의 세정기의 실시예는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속한 기술분야의 통상의 지식을 가진자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능한 것을 알 수 있을 것이다.The embodiment of the cleaning ultrasonic vibrator of the present invention and the multi-frequency mode cleaner using the same described above are merely exemplary, and those skilled in the art to which the present invention pertains various modifications and equivalents therefrom. It will be appreciated that other embodiments are possible.
그러므로 본 발명은 상기의 상세한 설명에서 언급되는 형태로만 한정되는 것 은 아님을 잘 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다. 또한, 본 발명은 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 그 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.Therefore, it will be understood that the present invention is not limited to the forms mentioned in the above detailed description. Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the technical spirit of the appended claims. It is also to be understood that the present invention includes all modifications, equivalents, and substitutes within the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.
10 : 초음파 진동자
20 : 진동부
30 : 세정액 수용부
40 : 제어부재
41 : 스위치부
42 : 제어부
43 : 발진부
50 : 케이블
60 : 세정액
100 : 진동블럭
110 : 양극판
110a, 130a : 접착홈
110b : 바디홀
111 : 지지단턱
112 : 극판 안내공
130 : 음극판
131 : 체결홈
150 : 전극탭
151 : 삽입몸체
152 : 연결판
153 : 개구
200 : 압전 세라믹
210 : 압전 안내공
300 : 전도성 접착제
400 : 절연 와셔
410 : 절연 본체
420 : 와셔공
430 : 삽입돌기
500 : 고정수단10: ultrasonic vibrator 20: vibrator
30: cleaning liquid container 40: control material
41: switch unit 42: control unit
43: oscillation unit 50: cable
60: cleaning liquid 100: vibration block
110:
110b: body hole 111: support step
112: electrode plate guide 130: negative electrode plate
131: fastening groove 150: electrode tab
151: insertion body 152: connecting plate
153: opening 200: piezoelectric ceramic
210: piezoelectric guide 300: conductive adhesive
400: insulated washer 410: insulated body
420: washer ball 430: insertion protrusion
500: fixing means
Claims (8)
양극판(110)과 음극판(130) 사이에서 고정되는 압전 세라믹(200); 및
압전 세라믹(200)의 상하면에 도포되어 양극판(110)과 음극판(130)에 접착시키는 전도성 접착제(300);를 포함하는 세정용 초음파 진동자.
A vibration block (100) having a positive electrode plate (110) for energizing a positive electrical signal and a negative electrode plate (130) for energizing a negative (-) electrical signal;
A piezoelectric ceramic 200 fixed between the positive electrode plate 110 and the negative electrode plate 130; And
Ultrasonic vibrator for cleaning; comprising; a conductive adhesive 300 is applied to the upper and lower surfaces of the piezoelectric ceramic 200 to adhere to the positive electrode plate 110 and the negative electrode plate 130.
카본을 포함한 것을 특징으로 하는 세정용 초음파 진동자.
The method of claim 1, wherein the conductive adhesive 300
An ultrasonic vibrator for cleaning comprising carbon.
양극판(110)과 음극판(130) 사이에서 고정되는 압전 세라믹(200);
양극판(110)과 음극판(130)중 어느 하나에서 압전 세라믹(200)을 연통하도록 삽입되어 진동블럭(100) 사이에 압전 세라믹(200)을 고정시키는 고정수단(500); 및
양극판(110)과 음극판(130)중 어느 하나의 일면에서 고정수단(500)의 외면에 체결 및 절연시키는 절연 와셔(400);를 포함하는 세정용 초음파 진동자.
A vibration block (100) having a positive electrode plate (110) for energizing a positive electrical signal and a negative electrode plate (130) for energizing a negative (-) electrical signal;
A piezoelectric ceramic 200 fixed between the positive electrode plate 110 and the negative electrode plate 130;
Fixing means 500 is inserted to communicate the piezoelectric ceramic 200 in any one of the positive electrode plate 110 and the negative electrode plate 130 to fix the piezoelectric ceramic 200 between the vibration block 100; And
Ultrasonic vibrator for cleaning; including; an insulating washer 400 to fasten and insulate the outer surface of the fixing means 500 on any one surface of the positive electrode plate 110 and the negative electrode plate 130.
압전 세라믹(200)은 고정수단(500)이 연통 삽입되는 압전 안내공(210)을 포함하는 세정용 초음파 진동자.
According to claim 3, Any one of the positive electrode plate 110 and the negative electrode plate 130 further comprises a pole plate guide hole 112 formed in a diameter spaced apart from the fixing means 500,
The piezoelectric ceramic 200 includes an ultrasonic vibrator for cleaning including a piezoelectric guide hole 210 through which the fixing means 500 is communicated.
테프론 소재로 제작된 것을 특징으로 하는 세정용 초음파 진동자.
The method of claim 3, wherein the insulating washer 400
Ultrasonic vibrator for cleaning, characterized in that made of Teflon material.
압전 세라믹(200)을 연통한 고정수단(500)의 끝단이 체결 및 수용되도록 내향된 체결홈(131)을 포함하는 세정용 초음파 진동자.
The method of claim 3, wherein any one of the positive electrode plate 110 and the negative electrode plate 130
Ultrasonic vibrator for cleaning comprising a fastening groove 131 inwardly so that the end of the fixing means (500) communicating with the piezoelectric ceramic 200 is fastened and received.
상면에 복 수개의 전극탭(150)이 체결되는 것을 특징으로 하는 세정용 초음파 진동자.
The method according to claim 1 or 3, wherein the positive electrode plate 110
Ultrasonic vibrator for cleaning, characterized in that the plurality of electrode tabs 150 are fastened to the upper surface.
청구항 1항 또는 청구항 3항의 초음파 진동자(10)들이 수납되어 세정액 수용부(30)에 고정되는 진동부(20);
복 수개의 주파수 모드 선택 명령중 어느 하나를 출력하는 스위치부(41);
서로 다른 주파수의 발진신호를 진동부(20)로 출력하는 복 수개의 발진기를 구비한 발진부(43);
스위치부(41)에서 선택된 주파수 모드 선택 명령에 따라 복 수개의 발진기중 설정된 어느 하나의 발진기에 발진 명령을 출력하도록 제어하는 제어부(42);를 포함하는 세정용 초음파 진동자를 이용한 다중 주파수 모드의 세정장치.
A cleaning liquid accommodating part 30 accommodating the cleaning liquid 60 and receiving the cleaning object;
Ultrasonic vibrator 10 of claim 1 or claim 3 is accommodated in the vibration unit 20 is fixed to the cleaning solution containing portion 30;
A switch unit 41 which outputs any one of a plurality of frequency mode selection commands;
An oscillator 43 having a plurality of oscillators for outputting oscillation signals of different frequencies to the oscillator 20;
The control unit 42 for controlling to output the oscillation command to any one of the plurality of oscillators set in accordance with the frequency mode selection command selected by the switch unit 41; washing in the multi-frequency mode using a cleaning ultrasonic vibrator including a Device.
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KR1020180054459A KR102049989B1 (en) | 2018-05-11 | 2018-05-11 | Ultrasonic resonator for cleaning and cleaning apparatus with multi frequency mode using the same |
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CN115417478A (en) * | 2022-10-20 | 2022-12-02 | 西安西热水务环保有限公司 | Self-cleaning high-voltage electrostatic water treatment device |
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2018
- 2018-05-11 KR KR1020180054459A patent/KR102049989B1/en active IP Right Grant
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