KR20190129368A - Multi-nozzle evaporating apparatus for deposition process - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 증착기에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 증착물질를 증발시켜 OLED(Organic Luminescence Emitting Device) 기판 표면에 박막을 형성하는 증착 공정용 증착기 소스의 노즐 구조에 관한 것이다.The present invention relates to a deposition apparatus, and more particularly, to a nozzle structure of a deposition source for a deposition process for evaporating the deposition material to form a thin film on the surface of an organic luminescence emitting device (OLED) substrate.
유기 전계 발광 소자(Organic Luminescence Emitting Device: OLED)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광 현상을 이용하는 자발광소자로서, 비발광소자에 빛을 가하기 위한 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량이고 박형의 평판표시장치를 제조할 수 있다.Organic Luminescence Emitting Device (OLED) is a self-luminous device that uses an electroluminescence phenomenon that emits light when a current flows through a fluorescent organic compound, and is light and thin because no backlight is required to apply light to the non-emitting device. The flat panel display device can be manufactured.
특히, 유기 전계 발광 소자의 제작에 주로 사용되고 있는 방법은 고진공 증착 방법으로서, 유기물, 무기물, 금속 등의 물질을 대면적의 기판에 증착 코팅하기 위하여, 특정 물질이 들어있는 도가니 주위를 가열하여 해당 물질을 증발시켜 도가니의 상부에 위치한 글라스 기판에 증착되게 하여 글라스 위에 얇은 박막을 제작하는 방법이며, 이때 해당 물질의 오염을 방지하고, 소자의 수명을 장기화하기 위함은 물론, 적당한 증착율의 조절을 위하여 주로 고진공 분위기의 진공 용기 내에서 공정을 하게 된다. In particular, the method mainly used for fabricating an organic EL device is a high vacuum deposition method. In order to deposit and coat an organic material, an inorganic material, and a metal on a large-area substrate, the material is heated by heating around a crucible containing a specific material. Is a method of manufacturing a thin film on the glass by evaporating it to be deposited on the glass substrate located on the top of the crucible, at this time to prevent contamination of the material, to prolong the life of the device, as well as to control the appropriate deposition rate The process is performed in a vacuum vessel of a high vacuum atmosphere.
도 1에서는 주로 사용되는 포인트 소스(point source) 또는 점 증발원을 사용 하는 경우의 증착 방법을 도시한다. 특정 물질을 담는 포인트 소스용 도가니가 진공 챔버(chamber)(1) 내 하부에 위를 보고 위치하고, 상측에 밑을 향하여 놓인 기판(2)이 설치된다. 가열된 도가니로부터 증발되어 나오는 기체는 기판까지 비행하여 기판위에 응고되면서 박막이 형성되는 것이다. 이 때, 유기 박막 기판(2)에 형성되는 박막의 균일도를 향상시키기 위해, 도가니를 가진 포인트 소스(3a, 3b)를 기판의 중심축으로부터 일정거리를 가지는 오프셋 거리(offset)만큼 떨어뜨려 증착공정을 수행한다. 나아가, 박막의 균일도를 향상시키기 위해, 도가니로부터 기판까지의 거리를 일정의 증착 높이(TS)를 유지하도록 한다. 또는, 더욱 향상된 박막의 균일도(예컨대, 5% 이하)를 얻기 위하여, 포인트 소스의 개수를 증가시키고 증착 높이(TS)를 증가시키고 있으나, 도가니들이 중심축과 기판으로부터 너무 멀리 떨어져 있어, 물질의 사용률의 저하(약 3% 이하의 사용 효율)와 진공 챔버의 크기가 매우 커지는 등의 문제점을 가지고 있다.1 illustrates a deposition method in the case of using a point source or a point evaporation source that is mainly used. A crucible for a point source containing a particular material is placed above the bottom in the vacuum chamber 1 and a
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 증착 공정에 있어서, 멀티 노즐을 사용하는 증착 공정용 증착기으로서, 특히 기판에 증착되는 박막의 두께의 균일도를 향상시키고, 사용 물질의 사용율을 높이기 위한 증착기의 구조를 제공하고자 한다. 다만, 본 실시예가 이루고자 하는 기술적 과제는 상기된 바와 같은 기술적 과제로 한정되지 않으며, 또 다른 기술적 과제들이 존재할 수 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide a deposition apparatus for a deposition process using a multi-nozzle in a deposition process, in particular to improve the uniformity of the thickness of a thin film deposited on a substrate, To provide a structure of the evaporator to increase the utilization. However, the technical problem to be achieved by the present embodiment is not limited to the technical problem as described above, and other technical problems may exist.
상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 기술적 수단으로서, 본 발명의 제 1 측면에 따른 증착 공정용 멀티 노즐 증착기는, 상측 외부로 돌출된 복수의 원통형의 노즐들이 형성되며, 상기 노즐들이 연장된 노즐관들에 의해 하측 일부가 개구된 형상의 노즐부, 상측이 개구된 원통형 용기로, 상부 외주면에 형성된 결합 부재가 형성되어 상기 노즐부가 결합되도록 하는 도가니와, 상기 도가니를 가열하는 히터부를 포함한다. 이때, 상기 노즐들 중 적어도 하나는, 외부로 돌출된 노즐의 일단이 상기 노즐부의 중앙에서 멀어지도록 사선 방향으로 기울어진 원통형으로 형성된다. As a technical means for achieving the above-described technical problem, the multi-nozzle evaporator for the deposition process according to the first aspect of the present invention, a plurality of cylindrical nozzles protruding outward from the top is formed, the nozzle tubes extending nozzles A nozzle portion having a shape of a lower portion opened by the lower portion, a cylindrical container having an upper portion opened, and a coupling member formed on an upper outer circumferential surface thereof so that the nozzle portion is coupled, and a heater portion for heating the crucible. In this case, at least one of the nozzles is formed in a cylindrical shape inclined in an oblique direction so that one end of the nozzle protruding outward from the center of the nozzle portion.
또한, 상기 노즐들은, 상기 노즐부의 중앙부에 형성된 제1 노즐과 상기 제1 노즐의 중심부로부터 기 설정된 오프셋만큼 떨어져 배치된 복수의 제2 노즐들을 포함할 수 있다. 이때, 상기 복수의 제2 노즐들 각각이 상기 사선 방향으로 기울어진 원통형으로 형성될 수 있다. In addition, the nozzles may include a first nozzle formed at a central portion of the nozzle unit and a plurality of second nozzles spaced apart by a predetermined offset from a center of the first nozzle. In this case, each of the plurality of second nozzles may be formed in a cylindrical shape inclined in the diagonal direction.
또한, 상기 노즐관들 각각은 각 노즐관과 이어진 노즐의 직경과 경사가 그대로 유지되도록 형성될 수 있다. In addition, each of the nozzle tubes may be formed such that the diameter and inclination of the nozzles connected to each nozzle tube are maintained as they are.
또한, 상기 노즐관들 각각은 사다리꼴 통 구조로 형성될 수 있다. In addition, each of the nozzle tubes may be formed in a trapezoidal cylindrical structure.
또한, 상기 제2 노즐들은 각도 조절이 가능한 경사 조절부를 더 포함할 수 있다. In addition, the second nozzles may further include an inclination control unit capable of adjusting an angle.
또한, 상기 노즐부는 상기 노즐들의 일단과 타단 사이에 형성된 이중 리플렉터(reflector)를 더 포함할 수 있다. The nozzle unit may further include a double reflector formed between one end and the other end of the nozzles.
또한, 상기 히터부의 내주면에는, 상기 도가니의 상부에 맞닿도록 형성된 제1 가열부와, 상기 도가니의 하부에 맞닿도록 형성된 제2 가열부를 포함한다. 이때, 상기 제1 및 제2 가열부 각각은 상기 도가니의 바닥면에 수직하는 복수의 열선과 각 열선의 끝단이 접하는 두 개의 애자(insulator)를 포함할 수 있다. The inner circumferential surface of the heater part includes a first heating part formed to contact the upper portion of the crucible and a second heating part formed to contact the lower portion of the crucible. In this case, each of the first and second heating units may include a plurality of hot wires perpendicular to the bottom surface of the crucible and two insulators in contact with the ends of the hot wires.
또한, 상기 히터부는, 상기 히터부의 내주면 상부에 형성된 제1 리플렉터와, 상기 히터부의 외주면과 내주면 사이에 형성된 제2 리플렉터를 더 포함할 수 있다. The heater unit may further include a first reflector formed on the inner circumferential surface of the heater unit and a second reflector formed between the outer circumferential surface and the inner circumferential surface of the heater unit.
이상과 같은 다양한 실시 예들에 따르면, 본 발명의 멀티 노즐 증착기는 기판을 회전시키거나, 복수의 증착기를 배치시키지 않으면서도 기판에 증착되는 박막의 두께의 균일도를 향상시키고, 증착물질의 사용율을 높일 수 있다. 나아가, 노즐부와 히터부에 배치된 이중 리플렉터를 통해 증착물질을 효율적으로 기화시키면서, 증착물질의 클로깅(clogging)을 방지할 수 있다. According to various embodiments as described above, the multi-nozzle evaporator of the present invention can improve the uniformity of the thickness of the thin film deposited on the substrate without increasing the rotation, or a plurality of deposition apparatus, and increase the utilization rate of the deposition material have. In addition, the double reflectors disposed in the nozzle unit and the heater unit can effectively vaporize the deposition material and prevent clogging of the deposition material.
도 1에서는 주로 사용되는 포인트 소스(point source) 또는 점 증발원을 사용 하는 경우의 증착 방법을 도시한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 공정용 멀티 노즐 증착기를 개략적으로 도시한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 도가니의 구성을 도시한다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐부의 상면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 도 4의 A-A' 절단면이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 도 4의 A-A' 절단면이다.
도 7a 는 도 5에 대응되는 노즐부의 저면도이며, 도 7b 는 도 6에 대응되는 노즐부의 저면도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 히터부의 내주면의 구성을 도시한다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 도 8의 B-B' 절단면을 도시한다.1 illustrates a deposition method in the case of using a point source or a point evaporation source that is mainly used.
2 schematically shows a multi-nozzle evaporator for a deposition process according to one embodiment of the invention.
3 illustrates a configuration of a crucible according to an embodiment of the present invention.
4 is a top view of the nozzle unit in accordance with an embodiment of the present invention.
5 is a cross-sectional view taken along line AA ′ of FIG. 4 according to an embodiment of the present invention.
6 is a cross-sectional view taken along line AA ′ of FIG. 4 according to another embodiment of the present invention.
FIG. 7A is a bottom view of the nozzle part corresponding to FIG. 5, and FIG. 7B is a bottom view of the nozzle part corresponding to FIG. 6.
8 illustrates a configuration of an inner circumferential surface of a heater unit according to an embodiment of the present invention.
9 illustrates the BB ′ cut plane of FIG. 8 in accordance with an embodiment of the present invention.
아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.DETAILED DESCRIPTION Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention. As those skilled in the art would realize, the described embodiments may be modified in various different ways, all without departing from the spirit or scope of the present invention. In the drawings, parts irrelevant to the description are omitted in order to clearly describe the present invention, and like reference numerals designate like parts throughout the specification.
또한, 도면을 참고하여 설명하면서, 같은 명칭으로 나타낸 구성일지라도 도면에 따라 도면 번호가 달라질 수 있고, 도면 번호는 설명의 편의를 위해 기재된 것에 불과하고 해당 도면 번호에 의해 각 구성의 개념, 특징, 기능 또는 효과가 제한 해석되는 것은 아니다. In addition, while describing with reference to the drawings, even if the configuration shown by the same name may be different according to the drawing number, the drawing number is just described for convenience of description and the concept, features, functions of each configuration by the corresponding reference number Or the effects are not to be construed as limiting.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "전기적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미하며, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.Throughout the specification, when a part is "connected" to another part, this includes not only "directly connected" but also "electrically connected" with another element in between. . In addition, when a part is said to "include" a certain component, which means that it may further include other components, except to exclude other components, unless specifically stated otherwise, one or more other features It is to be understood that the present disclosure does not exclude the possibility of the presence or the addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.
본 발명 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 본 발명 명세서 전체에서 사용되는 정도의 용어 "약", "실질적으로" 등은 언급된 의미에 고유한 제조 및 물질 허용오차가 제시될 때 그 수치에서 또는 그 수치에 근접한 의미로 사용되고, 본 발명의 이해를 돕기 위해 정확하거나 절대적인 수치가 언급된 개시 내용을 비양심적인 침해자가 부당하게 이용하는 것을 방지하기 위해 사용된다. In the present specification, when a part is said to "include" a certain component, it means that it can further include other components, without excluding other components unless specifically stated otherwise. The terms "about", "substantially", and the like as used throughout the specification of the present invention are used at or near the numerical values when the manufacturing and material tolerances unique to the meanings mentioned are given, and To aid in understanding, accurate or absolute figures are used to prevent unscrupulous infringers from using the disclosures mentioned.
이하, 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 일 실시예를 상세히 설명하기로 한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described an embodiment of the present invention;
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 공정용 멀티 노즐 증착기를 개략적으로 도시한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 증착기(10)는 노즐부(11), 도가니(12) 및 히터부(13)를 포함한다. 2 schematically shows a multi-nozzle evaporator for a deposition process according to one embodiment of the invention. The evaporator 10 according to the embodiment of the present invention includes a
먼저, 도가니(12)는 도 3에 도시된 바와 같이, 내부에 증착물질을 수용할 수 있는 원통형 용기로서, 상부 외주면에는 노즐부(11)와 결합할 수 있는 결합수단(31, 32)이 형성되어 있다. 이 때, 결합수단은 도가니(12)와 노즐부(11) 각각에 형성될 수 있으며, 비한정적인 예로서, 끼움 고정될 수 있는 걸림턱, 나선형 나사, 클램프 등일 수 있다. First, as shown in FIG. 3, the
다시 도 2를 참조하면, 도가니(12)는 히터부(13)로 둘러싸여, 도가니(12)의 외주면은 열선이 배치된 히터부(13)의 내주면에 맞닿는다. 따라서, 도가니(12)의 내부에 수용된 증착물질이 가열되어 기화된 후, 기화된 증착물질이 도가니(12) 상측 개구부를 통해 노즐부(11)로 이동되면, 노즐부(11)를 통해 증착기(10) 외부로 토출되도록 한다. Referring again to FIG. 2, the
노즐부(11)는 도가니(12)의 상측에 결합되며, 노즐부(11)의 상측에는 외부로 돌출된 다수 개의 원통형의 노즐들이 형성되어 있다. 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐부(11)의 상면도이며, 도 5 및 도 6은 도 4의 A-A' 절단면이고, 도 7a 및 도 7b는 각각 도 5 및 도 6에 대응되는 노즐부(11)의 저면도이다. 이하, 도 4 내지 도 7을 참조하여 노즐부(11)의 구성을 설명한다. The
노즐부(11)는 상부 중앙부에 형성된 제1 노즐(42)과 제1 노즐(42)의 중심부로부터 기 설정된 오프셋(offset)만큼 떨어져 배치된 복수의 제2 노즐들(41a 내지 41h)을 포함한다. 제2 노즐들(41a 내지 41h)은 외부로 돌출된 노즐의 일단이 노즐부의 중앙부에서 멀어지도록 사선 방향으로 기울어진 원통형이다. 즉, 제1 노즐(42)은 챔버의 상부에 배치된 기판의 중심을 향하여 일직선의 원통형으로 형성되며, 제2 노즐들(41a 내지 41h)은 기판의 외각을 향하여 기울어지도록 형성된다. The
여기서, 제2 노즐들(41a 내지 41h)의 오프셋(offset)과 기울어진 경사는 기판까지의 높이(TS)에 따른 균일도를 확보하기 위해, 증착 챔버(chamber)와 증착물질의 특성 등을 고려하여 제조시에 결정될 수 있다. 또는, 구현예에 따라 상기 제2 노즐들은 각도 조절이 가능한 경사 조절부(미도시)를 더 포함하여 형성될 수도 있다. 경사 조절부는, 비한정적인 예로서, 특정 각도 또는 다양한 각도로 수축 및 이완이 가능한 소재를 포함하여 제2 노즐의 타단에 형성될 수 있다. Here, the offset and the inclined inclination of the
노즐부(11)는 각 노즐이 연장된 노즐관에 의해 하측 일부가 개구된 형상을 갖는다. 도 5을 참조하면, 노즐관(52, 51a 내지 51h)은 각 노즐이 갖는 경사와 직경이 그대로 유지된 형태로 형성될 수 있다. 또는, 도 6에 도시된 바와 같이, 노즐관(62, 61a 내지 61h)은 사다리꼴 통 구조를 이루도록 형성될 수도 있다. 도 7a는 도 5의 노즐관이 형성된 경우의 노즐부(11)의 저면도를 도시하며, 도 7b는 도 6의 노즐관이 형성된 경우의 노즐부(11)의 저면도를 도시한다. The
한편, 노즐부(11)는 외부로 돌출된 노즐들(42, 41a 내지 41h)의 일단과 타단 사이에 형성된 이중 리플렉터(reflector)(43)를 포함한다. 이중 리플렉터(43)는 외부로 열이 손실되는 것을 방지하며, 나아가 기화된 증착물질이 노즐 내에서 응축됨에 따른 클로깅(clogging)을 방지할 수 있다. Meanwhile, the
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 히터부(13)의 내주면의 구성을 도시한다. 히터부(13)의 내주면에는 도가니(12)의 외주면에 맞닿어서 도가니(12) 내부에 수용된 증착물질을 가열하는 제1 가열부(81)와 제2 가열부(82)가 형성된다. 그리고 히터부(13)의 상부에는 제1 리플렉터(83)가 형성되어 외부로 열이 손실되는 것을 방지한다. 8 illustrates a configuration of an inner circumferential surface of the
제1 가열부(81)는 도가니(12)의 상부에 맞닿도록 형성되며, 제2 가열부(82)는 도가니(12)의 하부에 맞닿도록 형성된다. 제1 및 제2 가열부(82)는 도가니(12)의 바닥면에 수직하는 복수의 열선(84, 86)을 포함하며, 각 열선의 끝단은 애자(insulator)(85a, 85b, 87a, 87b)에 접한다. 이 때 애자(85a, 85b, 87a, 87b)는 산화 알루미늄(Al2O3)으로 형성될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 또한, 애자(85a, 85b, 87a, 87b)는 열선의 위치를 지지하는 지지부재로서, 열선이 쇼트나는 것을 방지한다. The
한편, 도 8에서는, 제1 가열부(81)의 열선(84)의 길이가 제2 가열부(82)의 열선(86)의 길이보다 짧은 것으로 도시되었으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 제1 가열부의 열선의 길이가 더 길거나, 두 가열부의 열선의 길이가 동일할 수도 있다. In FIG. 8, the length of the
또한, 제1 가열부(81)와 제2 가열부(82)는 사이 공간을 두어 구분되어 형성되며, 개별적으로 구동부(미도시)를 포함하여, 증착물질의 특성 및/또는 증착공정의 특성에 따라 선택적으로 동작될 수 있다. In addition, the
도 9는 도 8의 B-B' 절단면을 도시한다. 도 9에 도시된 바와 같이, 각 열선(86)은 히터부(13)의 내주면을 따라 배치되며, 애자(87a)에 의해 지지된다. 또한, 히터부(13)는 외주면과 내주면 사이에 제2 리플렉터(91)를 더 포함한다. 즉, 히터부(13)는 내주면 상부에 형성된 제1 리플렉터(83)와, 히터부(13)의 외주면과 내주면 사이에 형성된 제2 리플렉터(91)를 통해, 열선(86)에서 방출된 열이 외부로 방출되지 않고, 도가니(12)로 집중될 수 있도록 한다. 이때, 제1 리플렉터(83)와 제2 리플렉터(91)는 이중 리플렉터로 형성될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 제2 리플렉터(91)는 단일 리플렉터로 형성될 수 있다. 한편, 리플렉터는 탄탈럼(Ta)으로 형성될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. FIG. 9 shows the sectional view taken along line BB ′ in FIG. 8. As shown in FIG. 9, each
전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.The foregoing description of the present invention is intended for illustration, and it will be understood by those skilled in the art that the present invention may be easily modified in other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present invention. will be. Therefore, it should be understood that the embodiments described above are exemplary in all respects and not restrictive. For example, each component described as a single type may be implemented in a distributed manner, and similarly, components described as distributed may be implemented in a combined form.
본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.The scope of the present invention is shown by the following claims rather than the above description, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents should be construed as being included in the scope of the present invention. do.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 또한, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 따라서, 본 발명의 호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The above description is merely illustrative of the technical idea of the present invention, and those skilled in the art to which the present invention pertains may make various modifications and changes without departing from the essential characteristics of the present invention. In addition, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical idea of the present invention but are described, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. Therefore, the scope of the call of the present invention should be interpreted by the following claims, and all technical ideas falling within the scope of the present invention should be interpreted as being included in the scope of the present invention.
1: 진공 챔버
2: 기판
3a, 3b: 포인트 소스
10: 증착기
11: 노즐부
12: 도가니
13: 히터부
31, 32: 결합수단
42: 제1 노즐
42: 제2 노즐
43: 이중 리플렉터
81: 제1 가열부
82: 제2 가열부
83: 제1 리플렉터
91: 제2 리플렉터1: vacuum chamber 2: substrate
3a, 3b: point source
10: evaporator
11: nozzle part 12: crucible
13: heater
31, 32: coupling means
42: first nozzle 42: second nozzle
43: double reflector
81: first heating portion 82: second heating portion
83: first reflector 91: second reflector
Claims (8)
상측이 개구된 원통형 용기로, 상부 외주면에 형성된 결합 부재가 형성되어 상기 노즐부가 결합되도록 하는 도가니와,
상기 도가니를 가열하는 히터부를 포함하되,
상기 노즐들 중 적어도 하나는, 외부로 돌출된 노즐의 일단이 상기 노즐부의 중앙에서 멀어지도록 사선 방향으로 기울어진 원통형으로 형성되는 것인, 증착 공정용 멀티 노즐 증착기. A plurality of cylindrical nozzles protruding outward from the upper side, the nozzle portion having a shape of a lower portion thereof opened by nozzle tubes extending from the nozzles,
A crucible having an upper side opened in a cylindrical container, and having a coupling member formed on an upper outer circumferential surface thereof so that the nozzle portion is coupled;
Including a heater unit for heating the crucible,
At least one of the nozzles, one end of the nozzle protruding outward is formed in a cylindrical shape inclined diagonally away from the center of the nozzle portion, multi-nozzle evaporator for deposition process.
상기 노즐들은, 상기 노즐부의 중앙부에 형성된 제1 노즐과 상기 제1 노즐의 중심부로부터 기 설정된 오프셋만큼 떨어져 배치된 복수의 제2 노즐들을 포함하되,
상기 복수의 제2 노즐들 각각이 상기 사선 방향으로 기울어진 원통형으로 형성되는 것인 멀티 노즐 증착기.The method of claim 1,
The nozzles may include a first nozzle formed at a center portion of the nozzle part and a plurality of second nozzles spaced apart from each other by a predetermined offset from a center of the first nozzle.
And each of the plurality of second nozzles is formed in a cylindrical shape inclined in the diagonal direction.
상기 노즐관들 각각은 각 노즐관과 이어진 노즐의 직경과 경사가 그대로 유지되도록 형성되는 것인 멀티 노즐 증착기. The method of claim 2,
And each of the nozzle tubes is formed such that the diameter and inclination of the nozzles connected to each nozzle tube are maintained as they are.
상기 노즐관들 각각은 사다리꼴 통 구조로 형성되는 것인 멀티 노즐 증착기. The method of claim 2,
And each of the nozzle tubes is formed in a trapezoidal cylindrical structure.
상기 제2 노즐들은 각도 조절이 가능한 경사 조절부를 더 포함하는 것인 멀티 노즐 증착기. The method of claim 2,
Wherein the second nozzle is a multi-nozzle evaporator further comprising an inclination adjustment is adjustable angle.
상기 노즐부는 상기 노즐들의 일단과 타단 사이에 형성된 이중 리플렉터(reflector)를 더 포함하는 것인 멀티 노즐 증착기. The method of claim 1,
The nozzle unit further comprises a double reflector (reflector) formed between one end and the other end of the nozzle.
상기 히터부의 내주면에는
상기 도가니의 상부에 맞닿도록 형성된 제1 가열부와, 상기 도가니의 하부에 맞닿도록 형성된 제2 가열부를 포함하되,
상기 제1 및 제2 가열부 각각은 상기 도가니의 바닥면에 수직하는 복수의 열선과 각 열선의 끝단이 접하는 두 개의 애자(insulator)를 포함하는 것인 멀티 노즐 증착기. The method of claim 1,
On the inner circumferential surface of the heater unit
A first heating part formed to contact the upper portion of the crucible, and a second heating part formed to contact the lower part of the crucible,
Each of the first and second heating units includes a plurality of heating wires perpendicular to the bottom surface of the crucible and two insulators in contact with ends of the heating wires.
상기 히터부는,
상기 히터부의 내주면 상부에 형성된 제1 리플렉터와, 상기 히터부의 외주면과 내주면 사이에 형성된 제2 리플렉터를 더 포함하는 것인 멀티 노즐 증착기. The method of claim 7, wherein
The heater unit,
And a first reflector formed above the inner circumferential surface of the heater part and a second reflector formed between the outer circumferential surface and the inner circumferential surface of the heater part.
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