KR20190123965A - Fabrication of spherical powders for high heat resistance intermetallic alloy using the rf plasma - Google Patents

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KR20190123965A KR1020180047933A KR20180047933A KR20190123965A KR 20190123965 A KR20190123965 A KR 20190123965A KR 1020180047933 A KR1020180047933 A KR 1020180047933A KR 20180047933 A KR20180047933 A KR 20180047933A KR 20190123965 A KR20190123965 A KR 20190123965A
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Abstract

The present invention relates to a method for manufacturing intermetallic compound powder of a spherical super heat-resisting alloy. In particular, according to the present invention, an intermetallic compound of a super heat-resisting alloy manufactured by an arc-melting method is pulverized to be made into intermetallic compound powder of the super heat-resisting alloy, and then the intermetallic compound of a super heat-resisting alloy undergoes an RF plasma process to be made into intermetallic compound powder of the super heat-resisting alloy with a spherical core. Next, the manufactured intermetallic compound powder of the super heat-resisting alloy with the spherical core is coated with molybdenum oxide (MoO_3) before being deoxidized to produce a molybdenum (Mo) nanoparticle on the surface of the intermetallic compound powder of the spherical super heat-resisting alloy, before secondly undergoing the RF plasma process. Resultantly, after two times of the RF plasma processes, manufactured is the intermetallic compound powder of the spherical super heat-resisting alloy in a core-shell shape, wherein a core includes the intermetallic compound of the super heat-resisting alloy, and a shell includes molybdenum (Mo).

Description

RF 플라즈마를 이용한 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말의 제조방법 및 이에 따라 제조된 구형 초내열합금 금속간화합물 분말{FABRICATION OF SPHERICAL POWDERS FOR HIGH HEAT RESISTANCE INTERMETALLIC ALLOY USING THE RF PLASMA}Method for preparing intermetallic compound powder of spherical superalloy using RF plasma and spherical superalloy powder intermetallic compound prepared according to the present invention

본 발명은 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말의 제조방법에 관한 것으로, 더 상세하게는 RF 플라즈마 처리를 이용하여 초내열합금의 금속간화합물 분말을 구형화하는 RF 플라즈마를 이용한 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말의 제조방법 및 이에 따라 제조된 구형 초내열합금 금속간화합물 분말에 관한 것이다.The present invention relates to a method for producing intermetallic compound powder of spherical superalloy, and more particularly, to spherical superalloy using spherical superalloy using RF plasma for spherical intermetallic compound powder of superalloy. The present invention relates to a method for preparing intermetallic powder and to spherical superalloy powder intermetallic compound prepared accordingly.

일반적으로 3차원(3D) 프링팅 기술은 특수한 소재의 잉크를 이용하여 층층이 쌓아올리면서 3차원 입체 형상을 제조하는 기술로, 다양한 분야에서 사용이 확산되어 널리 활용되고 있다. 3D프린터 분야에서 3차원 입체 형상을 프린팅하는데 중요한 요소인 잉크의 흐름성을 향상시키기 위하여 잉크를 구성하는 소재 분말를 구형 형상으로 제조하는 것이 요구되어 3D 프린트용 구형 분말을 제조하기 위하여 다양하게 시도되고 있으며, 한국등록특허 제10-1421244호에서는 구형 티타늄(Ti) 분말의 제조 방법에 대해 제시되었다.In general, three-dimensional (3D) printing technology is a technology for manufacturing a three-dimensional solid shape by stacking layers by using a special material ink, has been widely used in various fields. In order to improve the flowability of ink, which is an important factor for printing three-dimensional solid shape in the field of 3D printer, it is required to manufacture the material powder constituting the ink in spherical shape, and various attempts have been made to produce spherical powder for 3D printing. , Korean Patent No. 10-1421244 has been presented for the production method of spherical titanium (Ti) powder.

그러나 아직까지 1000℃ 이상의 고온에서도 충분한 내산화성 및 고온강도를 나타내어 사용이 가능한 초내열합금의 금속간화합물에 대해 구형 분말을 제조하는 기술은 제시된 바 없으며, 최근 3D 프린팅 기술을 이용하여 초내열합금의 터빈 블레이드 제조 또한 요구되고 있는 실정이므로 초내열합금 금속간화합물의 구형화 기술 개발을 필요로 하고 있다.However, no technique has been proposed to produce spherical powders for intermetallic compounds of super heat-resistant alloys that can be used by showing sufficient oxidation resistance and high temperature strength even at a high temperature of 1000 ° C. or higher. Recently, 3D printing technology has been used to produce spherical powders. Turbine blade manufacturing is also required, and therefore, there is a need for the development of spherical technology of super-alloy intermetallic compounds.

한국등록특허 제10-1421244호Korea Patent Registration No. 10-1421244

따라서 본 발명의 목적은 아크 용융법(arc-melting)을 통하여 제조된 초내열합금의 금속간화합물을 분쇄하여 초내열합금의 금속간화합물 분말을 만든 후, 이를 RF 플라즈마 처리하여 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말을 제조하고, 제조된 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말에 산화몰리브덴(MoO3)을 코팅하고 이를 환원하여 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말 표면에 몰리브덴(Mo) 나노 입자를 형성하며, 이를 2차 RF 플라즈마 처리하는 두 번의 RF 플라즈마 처리 과정을 통한 코어-쉘(core-shell) 형태의 구형 초내열합금 금속간화합물 분말의 제조방법 및 이에 따라 제조된 코어-쉘 구형 초내열합금 금속간화합물 분말을 제공함에 있다.Therefore, an object of the present invention is to pulverize the intermetallic compound of the super-alloy alloy prepared by the arc melting method (arc-melting) to make the intermetallic compound powder of the super-alloy alloy, then RF plasma treatment of the spherical super-alloy alloy Molybdenum oxide (MoO 3 ) is coated on the prepared intermetallic compound powder of the spherical superheat resistant alloy and reduced to form molybdenum (Mo) nanoparticles on the surface of the intermetallic compound powder of the spherical superalloy. And a method of preparing a core-shell-type spherical superheat-resistant alloy intermetallic compound powder through two RF plasma treatment processes of secondary RF plasma treatment and core-shell spherical superheat resistance prepared accordingly. An alloy intermetallic compound powder is provided.

상기와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명의 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말 제조방법은, 아크 용융법(arc-melting)을 통하여 초내열합금의 금속간화합물 잉곳을 제조하는 합금 잉곳 제조 단계, 상기 금속간화합물 잉곳을 분쇄하여 코어(core) 금속간화합물 분말을 제조하는 분쇄 단계, 상기 코어 금속간화합물 분말을 RF 플라즈마 처리하여 구형 코어 금속간화합물 분말을 제조하는 1차 RF 플라즈마 단계, 상기 1차 플라즈마 단계에서 제조된 구형 코어 금속간화합물 분말 표면에 산화몰리브덴(MoO3) 쉘을 형성하는 코팅 단계 및 상기 코팅 단계에서 산화몰리브덴(MoO3) 쉘이 표면에 형성된 구형 코어 금속간화합물 분말에서 산화몰리브덴(MoO3)을 몰리브덴(Mo)으로 환원시켜 구형 코어 금속간화합물 분말 표면에 몰리브덴(Mo) 나노입자를 형성하는 환원 단계, 및 상기 환원 단계를 거친 몰리브덴(Mo) 나노입자가 표면에 형성된 구형 코어 금속간화합물 분말을 RF 플라즈마 처리하여 몰리브덴(Mo) 쉘로 둘러싸인 코어-쉘(core-shell) 형태의 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말을 제조하는 2차 RF 플라즈마 단계를 포함할 수 있다.In order to achieve the above object, the spherical superalloy powder of the intermetallic compound manufacturing method of the present invention, the alloy ingot manufacturing step of producing an intermetallic compound ingot of super-resistant alloy through arc-melting, A pulverizing step of pulverizing the intermetallic compound ingot to produce a core intermetallic compound powder, and a first RF plasma step of preparing a spherical core intermetallic compound powder by RF plasma treatment of the core intermetallic compound powder, wherein 1 oxidizing the spherical core intermetallic compound powder surface produced on the primary plasma step molybdenum (MoO 3) the coating to form a shell, and molybdenum oxide in the coating step (MoO 3) shell is oxidized in the spherical core intermetallic compound powder formed on the surface molybdenum (MoO 3) for reducing the molybdenum (Mo), molybdenum (Mo) reduced to form nanoparticles in spherical core intermetallic compound powder surface And a spherical superheat resistant alloy in the form of a core-shell (core-shell) surrounded by a molybdenum (Mo) shell by RF plasma treatment of a spherical core intermetallic compound powder formed on the surface of the system and the molybdenum (Mo) nanoparticles subjected to the reduction step. It may include a secondary RF plasma step for producing the intermetallic powder.

상기 합금 잉곳 제조 단계는 몰리브덴(Mo), 규소(Si) 및 붕소(B)를 불활성 기체 분위기하에서 1400℃ 내지 1800℃ 온도로 가열하여 상기 초내열합금의 금속간화합물로 Mo5SiB2상(T2상) 및 Mo3Si상(A15상)을 형성하는 것으로서, Mo5SiB2상(T2상) 또는 Mo3Si상(A15상)이 단독으로 존재하는 잉곳을 제조하거나 Mo5SiB2상과 Mo3Si상이 적정비율로 혼재되어 있는 잉곳을 제조할 수 있다. 만약 Mo5SiB2상과 Mo3Si상이 혼재되어 있을 경우 Mo5SiB2상 및 Mo3Si상의 비율은 임의로 조정 가능하며, 예를 들어 Mo5SiB2상 : Mo3Si상이 0 : 10 내지 10 : 0의 비율로 혼재되어 있을 수 있다.The alloy ingot manufacturing step may be performed by heating molybdenum (Mo), silicon (Si) and boron (B) at a temperature of 1400 ° C. to 1800 ° C. under an inert gas atmosphere to form an Mo 5 SiB 2 phase (T2) as an intermetallic compound of the superalloy alloy. Phase) and the Mo 3 Si phase (A15 phase), and an ingot in which Mo 5 SiB 2 phase (T2 phase) or Mo 3 Si phase (A15 phase) is present alone is produced or Mo 5 SiB 2 phase and Mo 3 Si phase can be manufactured in an ingot, which is mixed in an appropriate ratio. If the Mo 5 SiB 2 phase and the Mo 3 Si phase are mixed, the ratio of the Mo 5 SiB 2 phase and the Mo 3 Si phase can be arbitrarily adjusted. For example, the Mo 5 SiB 2 phase: Mo 3 Si phase is 0:10 to 10 May be mixed at a ratio of zero.

상기 분쇄 단계는, 상기 금속간화합물 잉곳을 불활성화 기체 분위기하에서 분쇄기로 분쇄할 수 있다.In the pulverizing step, the intermetallic compound ingot may be pulverized with a pulverizer under an inert gas atmosphere.

상기 분쇄 단계에서 분쇄된 코어 금속간화합물 분말의 입자 크기는 1 내지 100㎛인 것이 바람직하다.The particle size of the core intermetallic compound powder pulverized in the pulverizing step is preferably 1 to 100 μm.

상기 1차 RF 플라즈마 단계는, 상기 코어 금속간화합물 분말을 RF 플라즈마 반응 챔버에 불활성화 기체로 아르곤(Ar)가스와 함께 흘려주면서 3 내지 10kW의 플라즈마 전력을 인가하여 구형 코어 금속간화합물 분말을 제조할 수 있다.In the first RF plasma step, spherical core intermetallic compound powder is applied by applying plasma power of 3 to 10 kW while flowing the core intermetallic powder with argon (Ar) gas as an inert gas to an RF plasma reaction chamber. can do.

상기 환원 단계는, 산화몰리브덴(MoO3) 쉘이 표면에 형성된 구형 코어금속간화합물 분말을 수소 분위기하에서 300℃ 내지 1200℃ 온도로 가열하여 산화몰리브덴(MoO3)을 몰리브덴(Mo)으로 환원시킬 수 있다.In the reducing step, molybdenum oxide (MoO 3 ) may be reduced to molybdenum (Mo) by heating a spherical core intermetallic powder having a surface of a molybdenum oxide (MoO 3 ) shell at a temperature of 300 ° C. to 1200 ° C. under a hydrogen atmosphere. have.

상기 2차 RF 플라즈마 단계는, 상기 몰리브덴(Mo) 나노입자가 표면에 형성된 구형 코어 금속간화합물 분말을 RF 플라즈마 반응 챔버 내에 넣고 3 내지 10kW의 플라즈마 전력을 인가하여 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말을 제조할 수 있다.In the secondary RF plasma step, the spherical core intermetallic compound powder formed on the surface of the molybdenum (Mo) nanoparticles is placed in an RF plasma reaction chamber and plasma power of 3 to 10 kW is applied to spherical superalloy powder of the spherical superalloy alloy. Can be prepared.

상기 분쇄 단계 이후 상기 1차 RF 플라즈마 단계 이전에, 분쇄된 코어(core) 초내열합금 금속간화합물 분말을 분급하는 분급 단계를 더 포함할 수 있다.After the grinding step and before the first RF plasma step, a classification step of classifying the pulverized core superalloy intermetallic compound powder may be further included.

또한, 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말은 상기 제조방법으로 제조되는 것으로써, 코어-쉘(core-shell) 형태의 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말로 코어(core)에는 초내열합금의 금속간화합물을 포함하고, 쉘(shell)에는 몰리브덴(Mo)을 포함할 수 있다.In addition, the intermetallic compound powder of the spherical superalloy alloy of the present invention for achieving the above object is prepared by the above method, the intermetallic compound of the spherical superalloy of the core-shell (core-shell) type The powder core may include an intermetallic compound of a super heat resistant alloy, and the shell may include molybdenum (Mo).

상기 초내열합금의 금속간화합물은 Mo5SiB2상(T2상) 및 Mo3Si상(A15상)인 것으로, Mo5SiB2상(T2상) 또는 Mo3Si상(A15상)이 단독으로 존재하거나 Mo5SiB2상과 Mo3Si상이 적정비율로 혼재된 상일 수 있다. 만약 Mo5SiB2상과 Mo3Si상이 혼재되어 있을 경우 Mo5SiB2상 및 Mo3Si상의 비율은 임의로 조정 가능하며, 예를 들어 Mo5SiB2상 : Mo3Si상이 0 : 10 내지 10 : 0의 비율로 혼재되어 있을 수 있다.The intermetallic compound of the super heat resistant alloy is Mo 5 SiB 2 phase (T2 phase) and Mo 3 Si phase (A15 phase), and Mo 5 SiB 2 phase (T2 phase) or Mo 3 Si phase (A15 phase) alone It may be present in the Mo 5 SiB 2 phase and Mo 3 Si phase may be a mixed phase in an appropriate ratio. If the Mo 5 SiB 2 phase and the Mo 3 Si phase are mixed, the ratio of the Mo 5 SiB 2 phase and the Mo 3 Si phase can be arbitrarily adjusted. For example, the Mo 5 SiB 2 phase: Mo 3 Si phase is 0:10 to 10 May be mixed at a ratio of zero.

본 발명의 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말의 제조방법을 통해 RF플라즈마를 이용하여 초내열합금의 금속간화합물을 구형 분말 형태로 구현할 수 있었다.Through the manufacturing method of the intermetallic compound powder of the spherical superalloy alloy of the present invention it was possible to implement the intermetallic compound of the superalloy alloy in the form of a spherical powder by using an RF plasma.

또한, 본 발명의 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말의 제조방법을 통해 코어(core)에는 초내열합금의 금속간화합물을 포함하고, 쉘(shell)에는 몰리브덴(Mo)을 포함하는 코어-쉘(core-shell) 형태의 복합분말인 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말을 제조함으로써, 차후 3D 프린트용 원료 소재로서 사용 가능한 효과가 있다.In addition, the core-shell containing the intermetallic compound of the super-heat-resistant alloy in the core (core), the molybdenum (Mo) in the shell (core) through the manufacturing method of the spherical super-alloy powder of the intermetallic compound of the present invention By preparing the intermetallic compound powder of spherical super heat resistant alloy which is a composite powder in the form of (core-shell), there is an effect that can be used as a raw material for 3D printing in the future.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말의 제조방법의 개략적인 순서도이다.
도 2는 본 발명의 1차 RF 플라즈마 단계에서 인가되는 RF 플라즈마 전력에 따라 제조된 구형 코어 금속간화합물 분말을 주사전자현미경(Scanning Electron Microscope, SEM)으로 관찰한 사진이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따라 2차 RF 플라즈마 단계를 통해 제조된 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말의 단면을 주사전자현미경(Scanning Electron Microscope, SEM)으로 관찰한 사진이다.
1 is a schematic flowchart of a method for preparing intermetallic compound powder of spherical superheat resistant alloy according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a photograph of a spherical core intermetallic compound powder prepared according to the RF plasma power applied in the first RF plasma step of the present invention with a scanning electron microscope (Scanning Electron Microscope, SEM).
FIG. 3 is a photograph of a cross section of an intermetallic compound powder of a spherical superalloy prepared in a second RF plasma step according to an embodiment of the present invention with a scanning electron microscope (SEM).

이하, 본 발명의 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말 제조에 대하여 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명한다. 이하 설명되는 것은 일례로서 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으므로, 여기에 설명하는 것에 한정되지 않는다.Hereinafter, the preparation of the intermetallic compound powder of the spherical superheat resistant alloy of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings. As will be described below, one of ordinary skill in the art to which the present invention pertains may be embodied in many different forms and is not limited to those described herein.

본 발명의 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말 제조방법은 도 1에 도시된 바와 같이, 아크 용융(arc-melting) 단계(S11), 분쇄 단계(S12), 분급 단계(S13), 1차 RF 플라즈마 단계(S14), 분급 단계(S15), 산화몰리브덴(MoO3) 코팅 단계(S16), 환원 단계(S17), 및 2차 RF 플라즈마 단계(S18)를 포함한다.The intermetallic compound powder manufacturing method of the spherical super-alloy alloy of the present invention, as shown in Figure 1, arc-melting step (S11), grinding step (S12), classification step (S13), primary RF Plasma step S14, classification step S15, molybdenum oxide (MoO 3 ) coating step (S16), reduction step (S17), and the secondary RF plasma step (S18).

아크 용융(arc-melting) 단계(S11)는 아크 용융법(arc-melting)을 통하여 초내열합금의 금속간화합물 잉곳을 제조하는 단계로서, 일정량 계량된 몰리브덴(Mo), 규소(Si) 및 붕소(B)를 불활성 기체 분위기하에서 1400℃ 내지 1800℃ 온도로 가열하여 상기 초내열합금의 금속간화합물로 Mo5SiB2상(T2상) 또는 Mo3Si상(A15상)이 단독으로 존재하는 잉곳을 제조하거나 Mo5SiB2상과 Mo3Si상이 적정비율로 혼재되어 있는 형태의 초내열합금의 금속간화합물 잉곳을 제조할 수 있다.Arc-melting step (S11) is a step of producing an intermetallic compound ingot of super heat-resistant alloy through the arc-melting method, a certain amount of molybdenum (Mo), silicon (Si) and boron Ingot in which Mo 5 SiB 2 phase (T2 phase) or Mo 3 Si phase (A15 phase) is solely present as the intermetallic compound of the superheat resistant alloy by heating (B) at a temperature of 1400 ° C. to 1800 ° C. under an inert gas atmosphere. Or an intermetallic compound ingot of a super heat resistant alloy in which Mo 5 SiB 2 phase and Mo 3 Si phase are mixed at an appropriate ratio.

아크 용융(arc-melting) 단계(S11)에서 사용하는 불활성화 기체는 원료 분말의 산화를 방지하기 위한 것으로 아르곤, 헬륨 및 네온 중에서 선택되는 어느 하나 이상을 사용할 수 있으며, 바람직하게는 아르곤 기체를 사용할 수 있다.The inert gas used in the arc-melting step S11 may be any one or more selected from argon, helium, and neon, to prevent oxidation of the raw material powder, and preferably, argon gas may be used. Can be.

분쇄 단계(S12)는 상기 S11 단계에서 제조된 금속간화합물 잉곳을 일정 크기범위 내의 입자 크기를 갖도록 분쇄하는 단계로서, 금속간화합물 잉곳을 불활성화 기체 분위기하에서 분쇄기로 분쇄하여 코어 금속간화합물 분말을 형성할 수 있다.Grinding step (S12) is a step of grinding the intermetallic compound ingot prepared in step S11 to have a particle size within a certain size range, the intermetallic compound ingot is pulverized by a grinder in an inert gas atmosphere to core powder intermetallic compound Can be formed.

이때 사용되는 분쇄기의 종류는 특별히 한정되지 않으나, 구체적으로 조우 분쇄기(Jaw crusher), 원판 분쇄기(Disc mill), 회전 절단식 분쇄기(Rotary cutter mill), 절단식 분쇄기(Cutter mill), 조각 파쇄기 (Shred crusher) 및 초퍼(chopper)로 이루어진 분쇄 기기 군에서 선택되는 어느 하나를 포함할 수 있으며, 상술한 예에 한정되지는 않는다.The type of grinder used at this time is not particularly limited, but specifically, a jaw crusher, a disc mill, a rotary cutter mill, a cutter mill, a crusher shred It may include any one selected from the group of crushing device consisting of a crusher and a chopper, but is not limited to the above-described example.

상기 분쇄 단계 후 얻어지는 코어 금속간화합물 분말의 입자 크기는 1 내지 100㎛일 수 있다.The particle size of the core intermetallic compound powder obtained after the grinding step may be 1 to 100 μm.

그리고 이와 같은 분쇄 단계 이후에 최종 제조되는 금속간화합물 분말을 균일하게 하기 위해 분쇄 후 얻어지는 코어 금속간화합물 분말을 입자 크기별로 분급하는 분급 단계(S13)를 거친다.After the grinding step, the final intermetallic compound powder is subjected to a classification step (S13) of classifying the core intermetallic compound powders obtained after the grinding by particle size.

1차 RF 플라즈마 단계(S14)는 RF 플라즈마 챔버 내에 불활성 기체의 압력이 50 내지 90kPa로 유지하도록 불활성화 기체로 아르곤(Ar)가스를 주입하면서 상기 분급 단계(S13)를 거쳐 얻은 일정 입자 크기를 갖는 코어 금속간화합물 분말을 500 내지 800g/h의 속도로 RF 플라즈마 반응 챔버 내에 넣고 3 내지 10 kW의 RF 플라즈마 전력을 인가하여 분말의 표면을 녹여서 구형화시키는 방법으로 구형 코어 금속간화합물 분말을 제조하는 단계이다. The primary RF plasma step S14 has a predetermined particle size obtained through the classification step S13 while injecting argon (Ar) gas into the inert gas so that the pressure of the inert gas is maintained at 50 to 90 kPa in the RF plasma chamber. Preparing a spherical core intermetallic powder by pouring the core intermetallic powder into an RF plasma reaction chamber at a rate of 500 to 800 g / h and applying a 3 to 10 kW RF plasma power to melt the surface of the powder to form a spherical core intermetallic powder. to be.

도 2는 본 발명의 1차 RF 플라즈마 단계에서 인가되는 RF 플라즈마 전력에 따라 제조된 구형 코어 금속간화합물 분말을 주사전자현미경(SEM)으로 관찰한 사진으로, 도시된 바와 같이 6kW 미만의 RF 플라즈마 전력으로 3kW, 4kW 및 5kW를 인가한 경우 일부 입자가 구형화되지 못함을 관찰할 수 있었고 6kW, 7kW 및 8kW의 RF 플라즈마 전력을 인가하였을 경우 코어 금속간화합물 분말이 구형화 되었음을 관찰할 수 있는 바, 코어 금속간화합물 분말의 구형화를 위해 6kW 이상의 RF 플라즈마 전력을 인가하는 것이 바람직하다. 하지만 분말의 크기가 작을수록 RF 출력은 낮춰져서 구형화할 수 있으므로 분쇄 후 분말의 크기에 따라 완전히 구형화되는 RF의 출력은 다를 수 있으며, 필요에 따라 RF 플라즈마 전력을 조절할 수 있다.Figure 2 is a photograph of a spherical core intermetallic compound powder prepared according to the RF plasma power applied in the first RF plasma step of the present invention by a scanning electron microscope (SEM), RF plasma power of less than 6kW as shown When 3kW, 4kW and 5kW were applied, some particles could not be spherical. When RF plasma powers of 6kW, 7kW and 8kW were applied, the core intermetallic compound powder could be observed to be spherical. In order to spheronize the core intermetallic powder, it is preferable to apply RF plasma power of 6 kW or more. However, the smaller the size of the powder, the lower the RF power can be spherical, so the power of the fully spherical RF may vary depending on the size of the powder after grinding, and the RF plasma power can be adjusted as needed.

코어 금속간화합물 분말의 구형화를 위해 6kW 이상의 RF 플라즈마 전력을 인가하는 것이 바람직하다.In order to spheronize the core intermetallic powder, it is preferable to apply RF plasma power of 6 kW or more.

분급 단계(S15)는 상기 1차 RF 플라즈마 단계(S14)를 거쳐 구형화된 구형 코어 금속간화합물 분말을 균일하게 하기 위해 다시 한 번 구형 코어 금속간화합물 분말 입자 크기별로 분급한다. 바람직하게는 Mo5SiB2상(T2 상), Mo3Si상(A15상) 및 Mo5SiB2상과 Mo3Si상이 혼합된 구형 코어 금속간화합물 분말 모두에서 25 내지 45㎛의 입자 크기를 갖는 구형 코어 금속간화합물 분말로 분급할 수 있다.In the classification step S15, the spherical core intermetallic compound powder is classified once again in order to uniformize the spherical spherical core intermetallic powder through the first RF plasma step S14. Preferably, a particle size of 25 to 45 μm is used in both the Mo 5 SiB 2 phase (T2 phase), the Mo 3 Si phase (A15 phase), and the spherical core intermetallic powder in which the Mo 5 SiB 2 phase and the Mo 3 Si phase are mixed. It can classify as spherical core intermetallic compound powder which has.

산화몰리브덴(MoO3) 코팅 단계(S16)는 상기 1차 플라즈마 단계에서 제조된 구형 코어 금속간화합물 분말 표면에 산화몰리브덴(MoO3) 쉘을 형성하는 것으로서, 터뷸러 혼합(Tubular mixing)을 이용하여 구형 코어 금속간화합물 분말 표면에 산화몰리브덴(MoO3)을 코팅할 수 있다.Molybdenum oxide (MoO 3 ) coating step (S16) is to form a molybdenum oxide (MoO 3 ) shell on the surface of the spherical core intermetallic compound prepared in the first plasma step, by using a tubular mixing (Tubular mixing) a spherical core may be coated with molybdenum oxide (MoO 3) in the intermetallic compound powder surface.

여기서 터블러 혼합을 수행할 경우 스테인리스(stainless steel)볼과 구형 코어 금속간화합물 분말 그리고 산화몰리브덴(MoO3) 분말을 넣고 1 내지 3시간 동안 혼합하여 코팅과정을 수행할 수 있으며, 이때 혼합되는 스테인리스볼 대 금속간화합물 분말과 산화몰리브덴(MoO3) 분말의 총 합계량의 혼합비율은 예를 들어 1: 2 또는 1:3의 부피비로 혼합하는 것이 바람직하지만, 이에 한정되지 않고 필요에 따라서 당업자가 조절할 수 있다.Here, in the case of turbulent mixing, a stainless steel ball, a spherical core intermetallic compound powder, and molybdenum oxide (MoO 3 ) powder may be added and mixed for 1 to 3 hours to perform a coating process. see for intermetallic compound powder and a molybdenum oxide (MoO 3) the blending ratio of the total combined amount of the powder, for example, 1: 2 or 1: preferably mixed at a weight ratio of 3, but according to need is not limited to those of ordinary skill in the art to control Can be.

환원 단계(S17)는 상기 산화몰리브덴(MoO3) 코팅 단계(S16)에서 산화몰리브덴(MoO3) 쉘이 표면에 형성된 구형 코어 금속간화합물 분말에서 산화몰리브덴(MoO3)을 몰리브덴(Mo)으로 환원시켜 구형 코어 금속간화합물 분말 표면에 몰리브덴(Mo) 나노입자를 형성한다.A reducing step (S17) is a molybdenum oxide (MoO 3) coating a molybdenum oxide in the step (S16) (MoO 3) the shell is reduced to molybdenum (MoO 3) oxidation in the spherical core intermetallic compound powder formed on the surface of molybdenum (Mo) Molybdenum (Mo) nanoparticles are formed on the surface of the spherical core intermetallic compound powder.

구체적으로 환원 단계는 산화몰리브덴(MoO3) 쉘이 표면에 형성된 구형 코어 금속간화합물 분말을 수소 분위기하에서 300℃ 내지 1200℃ 온도로 가열하여 하기 반응식 1과 반응식 2와 같이 산화몰리브덴(MoO3)을 몰리브덴(Mo)으로 환원한다.Specifically, the reduction step include a molybdenum oxide (MoO 3), as to heating the intermetallic compound powder spherical core formed on the surface of the molybdenum oxide (MoO 3) shell with 300 ℃ to 1200 ℃ temperature under a hydrogen atmosphere and scheme 1 and scheme 2 Reduce to molybdenum (Mo).

[반응식1][Scheme 1]

MoO3(s) + H2(g) → MoO2(s) + H2O(g)MoO 3 (s) + H 2 (g) → MoO 2 (s) + H 2 O (g)

MoO3(s) + 2H2O(g) → MoO3(OH)2(g) + H2(g)MoO 3 (s) + 2H 2 O (g) → MoO 3 (OH) 2 (g) + H 2 (g)

MoO3(OH)2(g) + 2H2(g) → MoO2(s) + 3H2O(g)MoO 3 (OH) 2 (g) + 2H 2 (g) → MoO 2 (s) + 3H 2 O (g)

[반응식2][Scheme 2]

MoO2(s) + 2H2(g) → Mo(s) + 2H2O(g)MoO 2 (s) + 2H 2 (g) → Mo (s) + 2H 2 O (g)

그 다음 2차 RF 플라즈마 단계(S18)는 상기 환원 단계(S17)를 거친 몰리브덴(Mo) 나노입자가 표면에 형성된 구형 코어 금속간화합물 분말을 RF 플라즈마 처리하여 몰리브덴(Mo) 쉘로 둘러싸인 최종 코어-쉘(core-shell) 형태의 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말을 제조하는 단계이다.The second RF plasma step (S18) is a final core-shell surrounded by the molybdenum (Mo) shell by RF plasma treatment of the spherical core intermetallic powder formed on the surface of the molybdenum (Mo) nanoparticles passed through the reduction step (S17) It is a step of preparing the intermetallic compound powder of the spherical superheat-resistant alloy in the form of (core-shell).

2차 RF 플라즈마 단계는 앞서 1차 RF 플라즈마 단계(S14)와 동일한 방법으로 몰리브덴(Mo) 나노입자가 표면에 형성된 구형 코어 금속간화합물 분말을 RF 플라즈마 반응 챔버 내에 넣고 3 내지 10kW의 플라즈마 전력을 인가하여 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말을 제조하며, 이렇게 제조된 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말은 도 3에 나타낸 바와 같다.In the second RF plasma step, the spherical core intermetallic compound powder having the molybdenum (Mo) nanoparticles formed on the surface thereof is applied to the RF plasma reaction chamber in the same manner as the first RF plasma step S14, and plasma power of 3 to 10 kW is applied. To prepare an intermetallic compound powder of the spherical superheat resistant alloy, the intermetallic compound powder of the spherical superheat resistant alloy thus prepared is shown in FIG.

도 3은 본 발명에 일 실시예에 따라 2차 RF 플라즈마 단계를 통해 제조된 구형 초내열합금 금속간화합물 분말의 단면을 주사전자현미경(Scanning Electron Microscope, SEM)으로 관찰한 사진이다.Figure 3 is a photograph of the cross-section of the spherical super-alloy powder intermetallic compound prepared by the secondary RF plasma step in accordance with an embodiment of the present invention with a scanning electron microscope (Scanning Electron Microscope, SEM).

도 3에 도시된 바와 같이 코어-쉘(core-shell) 형태의 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말로 코어(core)에는 초내열합금의 금속간화합물을 포함하고, 쉘(shell)에는 몰리브덴(Mo)을 포함한다. 이렇게 형성된 쉘(shell)의 두께는 1 내지 10㎛ 정도의 두께가 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않고 산화몰리브덴(MoO3)의 양을 조절하면서 필요에 따라 두께를 조절할 수 있다.As shown in FIG. 3, an intermetallic compound powder of a spherical superalloy in the form of a core-shell is included in the core, and the molybdenum (shell) is contained in the core. Mo). The thickness of the shell (shell) formed in this way may be formed to a thickness of about 1 to 10㎛, but is not limited to this, the thickness can be adjusted as needed while controlling the amount of molybdenum oxide (MoO 3 ).

본 발명의 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말의 제조방법은 두 번의 RF 플라즈마 처리 과정을 통해 코어(core)에는 초내열합금의 금속간화합물을 포함하고, 쉘(shell)에는 몰리브덴(Mo)을 포함하는 코어-쉘(core-shell) 형태의 복합분말로 구성되고 95% 이상의 구상화율을 갖는 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말을 제조할 수 있다.In the method of manufacturing the intermetallic compound powder of the spherical superalloy alloy of the present invention, the core includes the intermetallic compound of the superalloy alloy, and the molybdenum (Mo) is contained in the core through two RF plasma treatment processes. It is possible to prepare a powder of intermetallic compound of spherical super heat-resistant alloy comprising a core-shell-type composite powder containing and having a spheroidization ratio of 95% or more.

Claims (11)

아크 용융법(arc-melting)을 통하여 초내열합금의 금속간화합물 잉곳을 제조하는 합금 잉곳 제조 단계;
상기 금속간화합물 잉곳을 분쇄하여 코어(core) 금속간화합물 분말을 제조하는 분쇄 단계;
코어 금속간화합물 분말을 RF 플라즈마 처리하여 구형 코어 금속간화합물 분말을 제조하는 1차 RF 플라즈마 단계;
상기 1차 플라즈마 단계에서 제조된 구형 코어 금속간화합물 분말 표면에 산화몰리브덴(MoO3) 쉘을 형성하는 코팅 단계;
상기 코팅 단계를 통해 산화몰리브덴(MoO3) 쉘이 표면에 형성된 구형 코어금속간화합물 분말에서 산화몰리브덴(MoO3)을 몰리브덴(Mo)으로 환원시켜 구형 코어 금속간화합물 분말 표면에 몰리브덴(Mo) 나노입자를 형성하는 환원 단계; 및
상기 환원 단계를 거친 몰리브덴(Mo) 나노입자가 표면에 형성된 구형 코어 금속간화합물 분말을 RF 플라즈마 처리하여 몰리브덴(Mo) 쉘로 둘러싸인 코어-쉘(core-shell) 형태의 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말을 제조하는 2차 RF 플라즈마 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말 제조방법.
An alloy ingot manufacturing step of producing an intermetallic compound ingot of a super heat resistant alloy through an arc melting method;
Grinding the intermetallic compound ingot to produce a core intermetallic compound powder;
RF plasma treatment of the core intermetallic compound powder to produce a spherical core intermetallic compound powder;
Coated to form a molybdenum oxide (MoO 3) in the spherical shell core intermetallic compound powder surface produced in the first plasma step;
Molybdenum oxide on the surface of the spherical core intermetallic compound powder by reducing molybdenum oxide (MoO 3 ) to molybdenum (Mo) from the spherical core intermetallic compound powder formed on the surface of the molybdenum oxide (MoO 3 ) shell through the coating step A reducing step of forming particles; And
Spherical core intermetallic compound of the core-shell type core super-shell alloy surrounded by molybdenum (Mo) shell by RF plasma treatment of spherical core intermetallic compound powder formed on the surface of the molybdenum (Mo) nanoparticles Secondary RF plasma step of producing a powder; spherical super-alloy powder intermetallic compound powder manufacturing method comprising a.
제1항에 있어서,
상기 합금 잉곳 제조 단계는,
몰리브덴(Mo), 규소(Si) 및 붕소(B)를 불활성 기체 분위기하에서 가열하여 상기 초내열합금의 금속간화합물로 Mo5SiB2상 및 Mo3Si상을 형성하는 것을 특징으로 하는 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말 제조방법.
The method of claim 1,
The alloy ingot manufacturing step,
Spherical super heat-resistant characterized in that the molybdenum (Mo), silicon (Si) and boron (B) is heated in an inert gas atmosphere to form Mo 5 SiB 2 phase and Mo 3 Si phase with the intermetallic compound of the super-alloy alloy Method for preparing intermetallic powder of alloy.
제2항에 있어서,
상기 합금 잉곳 제조 단계는,
1400℃ 내지 1800℃ 온도로 가열하여 초내열합금 금속간화합물을 형성하는 것을 특징으로 하는 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말 제조방법.
The method of claim 2,
The alloy ingot manufacturing step,
Method for producing an intermetallic compound powder of a spherical superalloy alloy, characterized in that to form a superalloy intermetallic compound by heating to a temperature of 1400 ℃ to 1800 ℃.
제1항에 있어서,
상기 분쇄 단계는,
상기 금속간화합물 잉곳을 불활성화 기체 분위기하에서 분쇄기로 분쇄하는 것을 특징으로 하는 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말 제조방법.
The method of claim 1,
The grinding step,
The intermetallic compound powder production method of the spherical super-alloy alloy, characterized in that the ingot is ground with a grinder in an inert gas atmosphere.
제1항에 있어서,
상기 분쇄 단계에서 분쇄된 코어 금속간화합물 분말의 입도는 1 내지 100㎛인 것을 특징으로 하는 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말 제조방법.
The method of claim 1,
Particle size of the core intermetallic compound powder pulverized in the crushing step is 1 to 100㎛ characterized in that the intermetallic compound powder production method of the spherical super-alloy alloy.
제1항에 있어서 ,
상기 1차 RF 플라즈마 단계는,
상기 코어 금속간화합물 분말을 RF 플라즈마 반응 챔버에 불활성 기체와 함께 흘려주면서 3 내지 10kW의 플라즈마 전력을 인가하여 구형 코어 금속간화합물 분말을 제조하는 것을 특징으로 하는 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말 제조방법.
The method of claim 1,
The primary RF plasma step,
Spherical super intermetallic alloy powder production of the spherical super-intermittent alloy, characterized in that to produce a spherical core intermetallic compound powder by applying a plasma power of 3 to 10kW while flowing the core intermetallic compound powder with an inert gas in the RF plasma reaction chamber Way.
제1항에 있어서,
상기 환원 단계는,
산화몰리브덴(MoO3) 쉘이 표면에 형성된 구형 코어금속간화합물 분말을 수소 분위기하에서 300℃ 내지 1200℃ 온도로 가열하여 산화몰리브덴(MoO3)을 몰리브덴(Mo)으로 환원시키는 것을 특징으로 하는 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말 제조방법.
The method of claim 1,
The reduction step,
Oxidized molybdenum (MoO 3) spherical seconds, comprising a step of the shell by heating an intermetallic compound powder spherical core formed on the surface in 300 ℃ to 1200 ℃ temperature under a hydrogen atmosphere reduced the oxidation of molybdenum (MoO 3) with a molybdenum (Mo) Method for producing intermetallic compound powder of heat resistant alloy.
제1항에 있어서,
상기 2차 RF 플라즈마 단계는,
상기 몰리브덴(Mo) 나노입자가 표면에 형성된 구형 코어 금속간화합물 분말을 RF 플라즈마 반응 챔버 내에 넣고 3 내지 10kW의 플라즈마 전력을 인가하여 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말을 제조하는 것을 특징으로 하는 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말 제조방법.
The method of claim 1,
The secondary RF plasma step,
The spherical core intermetallic compound powder formed on the surface of the molybdenum (Mo) nanoparticles are put in an RF plasma reaction chamber to apply a plasma power of 3 to 10kW to produce a spherical superalloy powder of the spherical super alloy Method for preparing intermetallic compound powder of super heat resistant alloy.
제1항에 있어서,
상기 분쇄 단계 이후 상기 1차 RF 플라즈마 단계 이전에, 분쇄된 코어(core) 초내열합금 금속간화합물 분말을 분급하는 분급 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말 제조방법.
The method of claim 1,
And a classification step of classifying the pulverized core superalloy powder intermetallic compound powder after the grinding step and before the first RF plasma step.
제1항 내지 제9항 중 어느 한 항의 제조방법으로 제조되는 코어-쉘(core-shell) 형태의 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말로 코어(core)에는 초내열합금의 금속간화합물을 포함하고, 쉘(shell)에는 몰리브덴(Mo)을 포함하는 것을 특징으로 하는 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말.An intermetallic compound powder of a spherical superheat resistant alloy in the form of a core-shell manufactured by the method according to any one of claims 1 to 9, wherein the core includes an intermetallic compound of a super heat resistant alloy. And, the shell (mol) contains molybdenum (Mo) spherical superalloy powder of superalloy alloy. 제10항에 있어서,
상기 초내열합금의 금속간화합물은 Mo5SiB2상 및 Mo3Si상인 것을 특징으로 하는 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말.
The method of claim 10,
It said second heat-resistant alloy of the intermetallic compound is 5 SiB Mo 2 Mo 3 Si and the merchant spherical second intermetallic compound of a heat-resistant alloy powder, characterized in that.
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