KR20190110087A

KR20190110087A - Cryopump

Info

Publication number: KR20190110087A
Application number: KR1020197017505A
Authority: KR
Inventors: 타카히로 야쓰
Original assignee: 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤
Priority date: 2017-02-08
Filing date: 2018-02-02
Publication date: 2019-09-27
Also published as: WO2018147187A1; TW201829913A; TWI688710B; KR20210149250A; CN110234876A; KR102436493B1; JP2018127943A

Abstract

크라이오펌프의 저온크라이오패널부는, 크라이오펌프중심축을 사이에 두고 저온냉각스테이지의 양측에 배치된 2개의 크라이오패널부재(62)를 구비한다. 각 크라이오패널부재(62)는, 원호부(78) 및 현(79)을 갖는 활형상 평탄부(75)와, 활형상 평탄부(75)와 일체형성되어 현(79)의 일부에서 활형상 평탄부(75)와 접속된 제1 절곡부(76)를 구비한다. 활형상 평탄부(75)는, 제1 절곡부(76)를 통하여 저온냉각스테이지에 열적으로 결합되고 있다. 각 크라이오패널부재(62)의 활형상 평탄부(75)의 현의 잔부의 형상이, 냉동기와 간섭하지 않고 2개의 크라이오패널부재(62)를 서로 교환 가능하게 하도록 정해져 있다.The low temperature cryopanel portion of the cryopump includes two cryopanel members 62 disposed on both sides of the low temperature cooling stage with the cryopump central shaft interposed therebetween. Each cryopanel member 62 is integrally formed with an arch flat portion 75 having an arc portion 78 and a string 79 and an arch flat portion 75 to bow on a portion of the string 79. A first bent portion 76 connected to the shape flat portion 75 is provided. The bow-shaped flat portion 75 is thermally coupled to the low temperature cooling stage via the first bent portion 76. The shape of the remainder of the chord of the bow-shaped flat portion 75 of each cryopanel member 62 is determined so that the two cryopanel members 62 can be interchanged with each other without interfering with the refrigerator.

Description

Cryopump

본 발명은, 크라이오펌프에 관한 것이다.The present invention relates to a cryopump.

크라이오펌프는, 극저온으로 냉각된 크라이오패널에 기체분자를 응축 또는 흡착에 의하여 포착하여 배기하는 진공펌프이다. 크라이오펌프는 반도체회로제조프로세스 등에 요구되는 청정한 진공환경을 실현하기 위하여 일반적으로 이용된다.The cryopump is a vacuum pump which traps gas molecules by condensation or adsorption on the cryopanel cooled to cryogenic temperatures and exhausts them. Cryopumps are generally used to realize a clean vacuum environment required for semiconductor circuit manufacturing processes and the like.

특허문헌 1：일본 공개특허공보 평7-35041호Patent Document 1: Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-35041

본 발명의 일 양태의 예시적인 목적 중 하나는, 크라이오펌프의 제조비용을 저감하는 것에 있다.One exemplary object of one embodiment of the present invention is to reduce the manufacturing cost of a cryopump.

본 발명의 일 양태에 의하면, 크라이오펌프는, 고온냉각스테이지 및 저온냉각스테이지를 구비하는 냉동기와, 상기 고온냉각스테이지에 열적으로 결합되고, 크라이오펌프흡기구의 중심을 통과하는 크라이오펌프중심축의 방향으로 뻗어 있으며 상기 저온냉각스테이지를 둘러싸는 방사실드와, 상기 저온냉각스테이지에 열적으로 결합되고, 상기 저온냉각스테이지와 함께 상기 방사실드에 둘러싸인 저온크라이오패널부를 구비한다. 저온크라이오패널부는, 상기 크라이오펌프중심축의 방향에 있어서의 상기 저온냉각스테이지의 상단(上端)과 하단(下端)의 사이의 높이위치에서, 상기 크라이오펌프중심축을 사이에 두고 상기 저온냉각스테이지의 양측에 배치된 2개의 크라이오패널부재를 구비한다. 각 크라이오패널부재는, 원호부(圓弧部) 및 현(弦)을 갖는 활형상(弓形狀) 평탄부와, 상기 활형상 평탄부와 일체형성되어 상기 현의 일부에서 상기 활형상 평탄부와 접속된 제1 절곡부를 구비한다. 상기 활형상 평탄부는, 상기 제1 절곡부를 통하여 상기 저온냉각스테이지에 열적으로 결합되고 있다. 상기 활형상 평탄부의 원호부가, 상기 크라이오펌프중심축의 방향에서 보았을 때 당해 크라이오패널부재의 외측가장자리를 정한다. 각 크라이오패널부재의 상기 활형상 평탄부의 상기 현의 잔부의 형상이, 상기 냉동기와 간섭하지 않고 상기 2개의 크라이오패널부재를 서로 교환 가능하게 하도록 정해져 있다.According to one aspect of the present invention, a cryopump includes a refrigerator having a high temperature cooling stage and a low temperature cooling stage, and a cryopump central shaft that is thermally coupled to the high temperature cooling stage and passes through a center of the cryopump suction port. And a radiation shield extending in a direction and surrounding the low temperature cooling stage, and thermally coupled to the low temperature cooling stage and surrounded by the radiation shield together with the low temperature cooling stage. The low temperature cryopanel unit comprises the cryopump center shaft at a height between the upper end and the lower end of the cryopump stage in the direction of the cryopump central axis. Two cryopanel members are disposed on both sides of the substrate. Each cryopanel member is formed integrally with an arch flat portion having an arc portion and a string, and the arch flat portion to form the arch flat portion in a portion of the string. It is provided with the 1st bending part connected with. The bow-shaped flat portion is thermally coupled to the low temperature cooling stage through the first bent portion. An arc portion of the bow-shaped flat portion defines the outer edge of the cryopanel member when viewed from the direction of the cryopump central axis. The shape of the remainder of the string of the bow-shaped flat portion of each cryopanel member is determined such that the two cryopanel members are interchangeable without interfering with the refrigerator.

본 발명의 일 양태에 의하면, 크라이오펌프는, 고온냉각스테이지 및 저온냉각스테이지를 구비하는 냉동기와, 상기 고온냉각스테이지에 열적으로 결합되고, 크라이오펌프흡기구의 중심을 통과하는 크라이오펌프중심축의 방향으로 뻗어 있으며 상기 저온냉각스테이지를 둘러싸는 방사실드와, 상기 저온냉각스테이지에 열적으로 결합되고, 상기 저온냉각스테이지와 함께 상기 방사실드에 둘러싸인 저온크라이오패널부로서, 상기 크라이오펌프중심축을 사이에 두고 상기 저온냉각스테이지의 양측에 배치된 2개의 크라이오패널부재를 구비하는 저온크라이오패널부와, 상기 2개의 크라이오패널부재에 각각 대응하는 2개의 장착면을 구비한다. 각 크라이오패널부재는, 원호부 및 현을 갖는 활형상 평탄부와, 상기 활형상 평탄부와 일체형성되어 상기 현의 일부에서 상기 활형상 평탄부와 접속된 제1 절곡부를 구비한다. 상기 제1 절곡부가, 대응하는 장착면에 장착되어 있다. 상기 활형상 평탄부는, 상기 제1 절곡부를 통하여 상기 저온냉각스테이지에 열적으로 결합되고 있다. 각 크라이오패널부재의 상기 활형상 평탄부의 상기 현의 잔부의 형상이, 상기 냉동기와 간섭하지 않고 상기 2개의 크라이오패널부재를 서로 교환 가능하게 하도록 정해져 있다. 각 크라이오패널부재는, 상기 활형상 평탄부와 일체형성되고, 상기 현의 잔부의 적어도 일부에서 상기 활형상 평탄부와 접속된 제2 절곡부를 구비한다. 상기 제2 절곡부는, 상기 현의 방향에서 상기 장착면으로부터 벗어나 배치되어 있다.According to one aspect of the present invention, a cryopump includes a refrigerator having a high temperature cooling stage and a low temperature cooling stage, and a cryopump central shaft that is thermally coupled to the high temperature cooling stage and passes through a center of the cryopump suction port. A low temperature cryopanel portion extending in a direction and thermally coupled to the low temperature cooling stage and thermally coupled to the low temperature cooling stage and surrounded by the radiation shield together with the low temperature cooling stage, wherein the cryopump central shaft is interposed therebetween; A low temperature cryopanel portion having two cryopanel members disposed on both sides of the low temperature cooling stage, and two mounting surfaces respectively corresponding to the two cryopanel members. Each cryopanel member includes an arch flat portion having an arc portion and a string, and a first bent portion integrally formed with the arch flat portion and connected to the arch flat portion at a portion of the string. The said 1st bend part is attached to the corresponding mounting surface. The bow-shaped flat portion is thermally coupled to the low temperature cooling stage through the first bent portion. The shape of the remainder of the string of the bow-shaped flat portion of each cryopanel member is determined such that the two cryopanel members are interchangeable without interfering with the refrigerator. Each cryopanel member is integrally formed with the bow-shaped flat portion and has a second bent portion connected to the bow-shaped flat portion at least in part of the remainder of the string. The said 2nd bending part is arrange | positioned away from the said mounting surface in the direction of the said string.

다만, 본 발명의 구성요소나 표현을, 방법, 장치, 시스템 등의 사이에서 서로 치환한 것도 또한, 본 발명의 양태로서 유효하다.However, it is also effective as an aspect of this invention that the component and expression of this invention substituted each other among methods, an apparatus, a system, etc.

본 발명에 의하면, 크라이오펌프의 제조비용을 저감할 수 있다.According to this invention, the manufacturing cost of a cryopump can be reduced.

도 1은 실시형태에 관한 크라이오펌프를 개략적으로 나타내는 측단면도이다.
도 2는 도 1에 나타내는 크라이오펌프를 개략적으로 나타내는 상면도이다.
도 3은 실시형태에 관한 크라이오펌프의 저온크라이오패널부의 일부를 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 4는 실시형태에 관한 크라이오펌프의 저온크라이오패널부의 일부를 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 5는 실시형태에 관한 크라이오펌프의 저온크라이오패널부의 일부를 개략적으로 나타내는 사시도이다.1 is a side sectional view schematically showing a cryopump according to an embodiment.
FIG. 2 is a top view schematically showing the cryopump shown in FIG. 1.
3 is a perspective view schematically showing a part of the low temperature cryopanel portion of the cryopump according to the embodiment.
4 is a perspective view schematically showing a part of the low temperature cryopanel portion of the cryopump according to the embodiment.
5 is a perspective view schematically showing a part of the low temperature cryopanel portion of the cryopump according to the embodiment.

이하, 도면을 참조하면서, 본 발명을 실시하기 위한 형태에 대하여 상세히 설명한다. 설명 및 도면에 있어서 동일 또는 동등한 구성요소, 부재, 처리에는 동일한 부호를 붙이고, 중복되는 설명은 적절히 생략한다. 도시되는 각부의 축척이나 형상은, 설명을 용이하게 하기 위하여 편의적으로 설정되어 있고, 특별히 언급이 없는 한 한정적으로 해석되는 것은 아니다. 실시형태는 예시이며, 본 발명의 범위를 한정하는 것은 아니다. 실시형태에 기술되는 모든 특징이나 그 조합은, 반드시 발명의 본질적인 것이라고는 할 수 없다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the form for implementing this invention is demonstrated in detail, referring drawings. In the description and drawings, the same or equivalent components, members, and processes are denoted by the same reference numerals, and overlapping descriptions are appropriately omitted. The scale and shape of each part shown are conveniently set in order to facilitate description, and are not interpreted limitedly unless there is particular notice. Embodiment is an illustration and does not limit the scope of the present invention. All the features and the combinations described in the embodiments are not necessarily essential to the invention.

도 1은, 실시형태에 관한 크라이오펌프(10)를 개략적으로 나타내는 측단면도이다. 도 2는, 도 1에 나타내는 크라이오펌프(10)를 개략적으로 나타내는 상면도이다. 도 1은, 일점쇄선으로 나타내는 크라이오펌프중심축(C)을 포함하는 단면을 나타낸다. 단, 용이한 이해를 위하여, 도 1에 있어서 크라이오펌프(10)의 저온크라이오패널부는 단면이 아닌 측면을 나타낸다. 도 2는, B-B선의 화살표방향에서 본 도이다. 또, 도 3 및 도 4는, 실시형태에 관한 크라이오펌프(10)의 저온크라이오패널부의 일부를 개략적으로 나타내는 사시도이다.1 is a side sectional view schematically showing a cryopump 10 according to an embodiment. FIG. 2 is a top view schematically showing the cryopump 10 shown in FIG. 1. FIG. 1: shows the cross section containing the cryopump central axis C shown by a dashed-dotted line. However, in order to understand easily, the low temperature cryopanel part of the cryopump 10 in FIG. 1 shows a side surface rather than a cross section. 2 is a view seen from the arrow direction of the B-B line. 3 and 4 are perspective views schematically showing a part of the low temperature cryopanel portion of the cryopump 10 according to the embodiment.

크라이오펌프(10)는, 예를 들면 이온주입장치, 스퍼터링장치, 증착장치, 또는 그 외의 진공프로세스장치의 진공챔버에 장착되어, 진공챔버 내부의 진공도를 원하는 진공프로세스에 요구되는 레벨까지 높이기 위하여 사용된다. 크라이오펌프(10)는, 배기되어야 하는 기체를 진공챔버로부터 받아들이기 위한 흡기구(12)를 갖는다. 흡기구(12)를 통하여 기체가 크라이오펌프(10)의 내부공간(14)에 진입한다.The cryopump 10 is, for example, mounted in a vacuum chamber of an ion implantation apparatus, a sputtering apparatus, a deposition apparatus, or another vacuum process apparatus, so as to raise the degree of vacuum inside the vacuum chamber to a level required for a desired vacuum process. Used. The cryopump 10 has an inlet 12 for receiving a gas to be exhausted from the vacuum chamber. Gas enters the internal space 14 of the cryopump 10 through the inlet 12.

크라이오펌프(10)는, 도시하는 방향, 즉 흡기구(12)를 상방으로 향하게 한 자세로 진공챔버에 설치되어 사용되는 것이 의도되어 있어도 된다. 단, 크라이오펌프(10)의 자세는 그에 한정되지 않고, 크라이오펌프(10)는 다른 방향으로 진공챔버에 설치되어도 된다.The cryopump 10 may be intended to be installed and used in the vacuum chamber in a direction shown, i.e., with the inlet 12 directed upward. However, the attitude of the cryopump 10 is not limited thereto, and the cryopump 10 may be provided in the vacuum chamber in another direction.

다만 이하에서는, 크라이오펌프(10)의 구성요소의 위치관계를 알기 쉽게 나타내기 위하여, "축방향", "직경방향"이라는 용어를 사용하는 경우가 있다. 축방향은 흡기구(12)를 통과하는 방향(도 1에 있어서, 흡기구(12)의 중심을 통과하는 크라이오펌프중심축(C)을 따르는 방향)을 나타내고, 직경방향은 흡기구(12)를 따르는 방향(중심축(C)에 수직인 방향)을 나타낸다. 편의상, 축방향에 관하여 흡기구(12)에 상대적으로 가까운 것을 "상측", 상대적으로 먼 것을 "하측"이라고 부르는 경우가 있다. 즉, 크라이오펌프(10)의 바닥부로부터 상대적으로 먼 것을 "상측", 상대적으로 가까운 것을 "하측"이라고 부르는 경우가 있다. 직경방향에 관해서는, 흡기구(12)의 중심(도 1에 있어서 중심축(C))에 가까운 것을 "내측", 흡기구(12)의 둘레 가장자리에 가까운 것을 "외측"이라고 부르는 경우가 있다. 다만, 이러한 표현은 크라이오펌프(10)가 진공챔버에 장착된 때의 배치와는 관계되지 않는다. 예를 들면, 크라이오펌프(10)는 연직방향으로 흡기구(12)를 하향으로 하여 진공챔버에 장착되어도 된다.In the following description, however, the terms "axial direction" and "diameter direction" may be used to clearly indicate the positional relationship between the components of the cryopump 10. The axial direction represents the direction passing through the inlet 12 (in FIG. 1, the direction along the cryopump central axis C passing through the center of the inlet 12), and the radial direction is along the inlet 12. Direction (direction perpendicular to the central axis C). For convenience, the one that is relatively close to the inlet 12 with respect to the axial direction may be referred to as the "upper side" and the one that is relatively far from the "lower side". That is, the one which is relatively far from the bottom of the cryopump 10 may be called "upper" and the one which is relatively close is "lower". As for the radial direction, the one close to the center of the inlet 12 (the central axis C in FIG. 1) may be referred to as the "inner" and the one close to the circumferential edge of the inlet 12 may be referred to as the "outer". However, this expression is not related to the arrangement when the cryopump 10 is mounted in the vacuum chamber. For example, the cryopump 10 may be attached to the vacuum chamber with the inlet 12 downward in the vertical direction.

또, 축방향을 둘러싸는 방향을 "둘레방향"이라고 부르는 경우가 있다. 둘레방향은, 흡기구(12)를 따르는 제2 방향이며, 직경방향에 직교하는 접선방향이다.In addition, the direction surrounding an axial direction may be called "circle direction." The circumferential direction is a second direction along the inlet 12 and is a tangential direction perpendicular to the radial direction.

크라이오펌프(10)는, 냉동기(16), 제1단 크라이오패널(18), 제2단 크라이오패널어셈블리(20), 및 크라이오펌프하우징(70)을 구비한다. 제1단 크라이오패널(18)은, 고온크라이오패널부 또는 100K부라고도 칭해질 수 있다. 제2단 크라이오패널어셈블리(20)는, 저온크라이오패널부 또는 10K부라고도 칭해질 수 있다.The cryopump 10 includes a refrigerator 16, a first stage cryopanel 18, a second stage cryopanel assembly 20, and a cryopump housing 70. The first stage cryopanel 18 may also be referred to as a high temperature cryopanel portion or a 100K portion. The second stage cryopanel assembly 20 may also be referred to as a low temperature cryopanel portion or a 10K portion.

냉동기(16)는, 예를 들면 기포드·맥마흔식 냉동기(이른바 GM냉동기) 등의 극저온냉동기이다. 냉동기(16)는, 2단식의 냉동기이다. 이로 인하여, 냉동기(16)는, 제1 냉각스테이지(22) 및 제2 냉각스테이지(24)를 구비한다. 냉동기(16)는, 제1 냉각스테이지(22)를 제1 냉각온도로 냉각하고, 제2 냉각스테이지(24)를 제2 냉각온도로 냉각하도록 구성되어 있다. 제2 냉각온도는 제1 냉각온도보다 저온이다. 예를 들면, 제1 냉각스테이지(22)는 65K~120K 정도, 바람직하게는 80K~100K로 냉각되고, 제2 냉각스테이지(24)는 10K~20K 정도로 냉각된다.The freezer 16 is, for example, a cryogenic freezer such as a Gifford-Macman type freezer (so-called GM refrigerator). The freezer 16 is a two-stage freezer. For this reason, the refrigerator 16 is equipped with the 1st cooling stage 22 and the 2nd cooling stage 24. As shown in FIG. The refrigerator 16 is configured to cool the first cooling stage 22 to the first cooling temperature, and to cool the second cooling stage 24 to the second cooling temperature. The second cooling temperature is lower than the first cooling temperature. For example, the first cooling stage 22 is cooled to about 65K to 120K, preferably 80K to 100K, and the second cooling stage 24 is cooled to about 10K to 20K.

또, 냉동기(16)는, 제2 냉각스테이지(24)를 제1 냉각스테이지(22)에 구조적으로 지지함과 함께 제1 냉각스테이지(22)를 냉동기(16)의 실온부(26)에 구조적으로 지지하는 냉동기구조부(21)를 구비한다. 이로 인하여 냉동기구조부(21)는, 직경방향을 따라 동축으로 뻗어 있는 제1 실린더(23) 및 제2 실린더(25)를 구비한다. 제1 실린더(23)는, 냉동기(16)의 실온부(26)를 제1 냉각스테이지(22)에 접속한다. 제2 실린더(25)는, 제1 냉각스테이지(22)를 제2 냉각스테이지(24)에 접속한다. 실온부(26), 제1 실린더(23), 제1 냉각스테이지(22), 제2 실린더(25), 및 제2 냉각스테이지(24)는, 이 순서로 직선상으로 일렬로 나열된다.In addition, the refrigerator 16 structurally supports the second cooling stage 24 to the first cooling stage 22 and structurally supports the first cooling stage 22 to the room temperature part 26 of the refrigerator 16. It is provided with a refrigerator structure portion 21 to support. For this reason, the refrigerator structure part 21 is equipped with the 1st cylinder 23 and the 2nd cylinder 25 extended coaxially along the radial direction. The first cylinder 23 connects the room temperature part 26 of the refrigerator 16 to the first cooling stage 22. The second cylinder 25 connects the first cooling stage 22 to the second cooling stage 24. The room temperature section 26, the first cylinder 23, the first cooling stage 22, the second cylinder 25, and the second cooling stage 24 are arranged in a straight line in this order.

제1 실린더(23) 및 제2 실린더(25) 각각의 내부에는 제1 디스플레이서 및 제2 디스플레이서(도시하지 않음)가 왕복이동 가능하게 배치되어 있다. 제1 디스플레이서 및 제2 디스플레이서에는 각각 제1 축랭기 및 제2 축랭기(도시하지 않음)가 포함되어 있다. 또, 실온부(26)는, 제1 디스플레이서 및 제2 디스플레이서를 왕복이동시키기 위한 구동기구(도시하지 않음)를 갖는다. 구동기구는, 냉동기(16)의 내부에 대한 작동기체(예를 들면 헬륨)의 공급과 배출을 주기적으로 반복하도록 작동기체의 유로를 전환하는 유로전환기구를 포함한다.Inside each of the first cylinder 23 and the second cylinder 25, a first displacer and a second displacer (not shown) are arranged to reciprocate. The first displacer and the second displacer include a first condenser and a second condenser (not shown), respectively. Moreover, the room temperature part 26 has a drive mechanism (not shown) for reciprocating a 1st displacer and a 2nd displacer. The drive mechanism includes a flow path switching mechanism for switching the flow path of the working gas so as to periodically repeat the supply and discharge of the working gas (for example, helium) to the inside of the refrigerator 16.

제1 냉각스테이지(22)는, 냉동기(16)의 제1단 저온단(低溫端)에 마련되어 있다. 제1 냉각스테이지(22)는, 실온부(26)와 반대측에서 제1 실린더(23)의 단부를 외포(外包)하고, 작동기체의 제1 팽창공간을 둘러싸는 부재이다. 제1 팽창공간은, 제1 실린더(23)의 내부에 있어서 제1 실린더(23)와 제1 디스플레이서의 사이에 형성되고, 제1 디스플레이서의 왕복이동을 따라 용적이 변화하는 가변용적이다. 제1 냉각스테이지(22)는, 제1 실린더(23)보다 높은 열전도율을 갖는 금속재료로 형성되어 있다. 예를 들면, 제1 냉각스테이지(22)는 구리로 형성되고, 제1 실린더(23)는 스테인리스강으로 형성된다.The 1st cooling stage 22 is provided in the 1st stage low temperature stage of the refrigerator 16. As shown in FIG. The 1st cooling stage 22 is a member which encloses the edge part of the 1st cylinder 23 on the opposite side to the room temperature part 26, and surrounds the 1st expansion space of an operating gas. The first expansion space is formed within the first cylinder 23 between the first cylinder 23 and the first displacer, and is a variable volume whose volume varies with reciprocating movement of the first displacer. The first cooling stage 22 is formed of a metal material having a higher thermal conductivity than that of the first cylinder 23. For example, the first cooling stage 22 is made of copper, and the first cylinder 23 is made of stainless steel.

제2 냉각스테이지(24)는, 냉동기(16)의 제2단 저온단에 마련되어 있다. 제2 냉각스테이지(24)는, 실온부(26)와 반대측에서 제2 실린더(25)의 단부를 외포하고, 작동기체의 제2 팽창공간을 둘러싸는 부재이다. 제2 팽창공간은, 제2 실린더(25)의 내부에 있어서 제2 실린더(25)와 제2 디스플레이서의 사이에 형성되고, 제2 디스플레이서의 왕복이동을 따라 용적이 변화하는 가변용적이다. 제2 냉각스테이지(24)는, 제2 실린더(25)보다 높은 열전도율을 갖는 금속재료로 형성되어 있다. 제2 냉각스테이지(24)는 구리로 형성되고, 제2 실린더(25)는 스테인리스강으로 형성된다. 도 1에는, 제2 냉각스테이지(24)와 제2 실린더(25)의 경계(24b)가 나타나 있다.The second cooling stage 24 is provided at the second stage low temperature stage of the refrigerator 16. The second cooling stage 24 is a member that surrounds the end portion of the second cylinder 25 on the opposite side to the room temperature section 26 and surrounds the second expansion space of the working gas. The second expansion space is formed within the second cylinder 25 between the second cylinder 25 and the second displacer, and is a variable volume whose volume varies with reciprocating movement of the second displacer. The second cooling stage 24 is formed of a metal material having a higher thermal conductivity than the second cylinder 25. The second cooling stage 24 is made of copper, and the second cylinder 25 is made of stainless steel. In FIG. 1, the boundary 24b of the 2nd cooling stage 24 and the 2nd cylinder 25 is shown.

냉동기(16)는, 작동기체의 압축기(도시하지 않음)에 접속되어 있다. 냉동기(16)는, 압축기에 의하여 가압된 작동기체를 내부에서 팽창시켜 제1 냉각스테이지(22) 및 제2 냉각스테이지(24)를 냉각한다. 팽창한 작동기체는 압축기에 회수되어 다시 가압된다. 냉동기(16)는, 작동기체의 급배(給排)와 이에 동기한 제1 디스플레이서 및 제2 디스플레이서의 왕복이동을 포함하는 열사이클을 반복함으로써 한랭을 발생시킨다.The refrigerator 16 is connected to the compressor (not shown) of an operating gas. The refrigerator 16 expands the working gas pressurized by the compressor inside to cool the first cooling stage 22 and the second cooling stage 24. The expanded working gas is recovered by the compressor and pressurized again. The refrigerator 16 generates a cold by repeating a heat cycle including rapid supply / discharge of the working gas and reciprocating movement of the first displacer and the second displacer in synchronization therewith.

도시되는 크라이오펌프(10)는, 이른바 가로형의 크라이오펌프이다. 가로형의 크라이오펌프란 일반적으로, 냉동기(16)가 크라이오펌프(10)의 중심축(C)에 교차하도록(통상은 직교하도록) 배치되어 있는 크라이오펌프이다. 냉동기(16)의 제1 냉각스테이지(22) 및 제2 냉각스테이지(24)는, 크라이오펌프중심축(C)에 수직인 방향(도 1에 있어서 수평 방향이며, 냉동기(16)의 중심축(D)의 방향)으로 배열되어 있다.The cryopump 10 shown is what is called a horizontal cryopump. The horizontal cryopump is generally a cryopump in which the refrigerator 16 is arranged to intersect (usually orthogonally) with the central axis C of the cryopump 10. The 1st cooling stage 22 and the 2nd cooling stage 24 of the refrigerator 16 are the direction perpendicular | vertical to the cryopump central axis C (horizontal direction in FIG. 1, and the central axis of the refrigerator 16). Direction (D)).

제1단 크라이오패널(18)은, 방사실드(30)와 입구크라이오패널(32)을 구비하고, 제2단 크라이오패널어셈블리(20)를 포위한다. 제1단 크라이오패널(18)은, 크라이오펌프(10)의 외부 또는 크라이오펌프하우징(70)으로부터의 복사열로부터 제2단 크라이오패널어셈블리(20)를 보호하기 위하여 마련되어 있는 크라이오패널이다. 제1단 크라이오패널(18)은 제1 냉각스테이지(22)에 열적으로 결합되어 있다. 따라서 제1단 크라이오패널(18)은 제1 냉각온도로 냉각된다. 제1단 크라이오패널(18)은 제2단 크라이오패널어셈블리(20)와의 사이에 간극을 갖고 있고, 제1단 크라이오패널(18)은 제2단 크라이오패널어셈블리(20)와 접촉하고 있지 않다.The first stage cryopanel 18 includes a radiation shield 30 and an inlet cryopanel 32, and surrounds the second stage cryopanel assembly 20. The first stage cryopanel 18 is provided to protect the second stage cryopanel assembly 20 from the heat of the cryopump 10 or from the radiant heat from the cryopump housing 70. to be. The first stage cryopanel 18 is thermally coupled to the first cooling stage 22. Therefore, the first stage cryopanel 18 is cooled to the first cooling temperature. The first stage cryopanel 18 has a gap between the second stage cryopanel assembly 20 and the first stage cryopanel 18 contacts the second stage cryopanel assembly 20. I'm not doing it.

방사실드(30)는, 크라이오펌프하우징(70)의 복사열로부터 제2단 크라이오패널어셈블리(20)를 보호하기 위하여 마련되어 있다. 방사실드(30)는, 크라이오펌프하우징(70)과 제2단 크라이오패널어셈블리(20)의 사이에 있고, 제2단 크라이오패널어셈블리(20)를 둘러싼다. 방사실드(30)는, 크라이오펌프(10)의 외부로부터 내부공간(14)에 기체를 받아들이기 위한 실드 주개구(主開口)(34)를 갖는다. 실드 주개구(34)는, 흡기구(12)에 위치한다.The radiation shield 30 is provided to protect the second stage cryopanel assembly 20 from the radiant heat of the cryopump housing 70. The radiation shield 30 is between the cryopump housing 70 and the second stage cryopanel assembly 20 and surrounds the second stage cryopanel assembly 20. The radiation shield 30 has a shield main opening 34 for receiving gas into the internal space 14 from the outside of the cryopump 10. The shield main opening 34 is located at the inlet 12.

방사실드(30)는, 실드 주개구(34)를 정하는 실드전단(36)과, 실드 주개구(34)와 반대측에 위치하는 실드바닥부(38)와, 실드전단(36)를 실드바닥부(38)에 접속하는 실드측부(40)를 구비한다. 실드전단(36)는, 실드측부(40)의 일부를 이룬다. 실드측부(40)는, 축방향에 실드전단(36)로부터 실드 주개구(34)와 반대측으로 뻗어 있고, 둘레방향에 제2 냉각스테이지(24)를 포위하도록 뻗어 있다. 방사실드(30)는, 실드바닥부(38)가 폐색된 통형(예를 들면 원통)의 형상을 갖고, 컵상으로 형성되어 있다. 실드측부(40)와 제2단 크라이오패널어셈블리(20)의 사이에는, 환형간극(42)이 형성되어 있다.The radiation shield 30 includes a shield shear 36 that defines the shield main opening 34, a shield bottom 38 located on the side opposite to the shield main opening 34, and a shield front 36. The shield side part 40 connected to 38 is provided. The shield shear 36 forms a part of the shield side part 40. The shield side portion 40 extends from the shield front end 36 to the opposite side to the shield main opening 34 in the axial direction, and extends to surround the second cooling stage 24 in the circumferential direction. The radiation shield 30 has a cylindrical shape (for example, a cylinder) in which the shield bottom 38 is closed, and is formed in a cup shape. An annular gap 42 is formed between the shield side portion 40 and the second stage cryopanel assembly 20.

다만, 실드바닥부(38)는, 실드측부(40)와는 별개의 부재여도 된다. 예를 들면, 실드바닥부(38)는, 실드측부(40)와 대략 동일한 직경을 갖는 평탄한 원반이어도 되고, 실드 주개구(34)와 반대측에서 실드측부(40)에 장착되어 있어도 된다. 또, 실드바닥부(38)는, 그 적어도 일부가 개방되어 있어도 된다. 예를 들면, 방사실드(30)는, 실드바닥부(38)에 의하여 폐색되어 있지 않아도 된다. 즉, 실드측부(40)는, 양단이 개방되어 있어도 된다.In addition, the shield bottom part 38 may be a member separate from the shield side part 40. For example, the shield bottom portion 38 may be a flat disk having a diameter substantially the same as the shield side portion 40, or may be attached to the shield side portion 40 on the side opposite to the shield main opening 34. Moreover, the shield bottom part 38 may open at least one part. For example, the radiation shield 30 does not need to be blocked by the shield bottom 38. That is, both ends of the shield side part 40 may be open.

실드측부(40)는, 냉동기구조부(21)가 삽입되는 실드측부개구(44)를 갖는다. 실드측부개구(44)를 통하여 방사실드(30)의 외측으로부터 제2 냉각스테이지(24) 및 제2 실린더(25)가 방사실드(30) 중에 삽입된다. 실드측부개구(44)는, 실드측부(40)에 형성된 장착구멍이며, 예를 들면 원형이다. 제1 냉각스테이지(22)는 방사실드(30)의 외측에 배치되어 있다.The shield side part 40 has the shield side part opening 44 into which the refrigerator structure part 21 is inserted. The second cooling stage 24 and the second cylinder 25 are inserted into the radiation shield 30 from the outside of the radiation shield 30 through the shield side opening 44. The shield side opening 44 is a mounting hole formed in the shield side 40 and is, for example, circular. The first cooling stage 22 is disposed outside the radiation shield 30.

실드측부(40)는, 냉동기(16)의 장착시트(46)를 구비한다. 장착시트(46)는, 제1 냉각스테이지(22)를 방사실드(30)에 장착하기 위한 평탄부분이며, 방사실드(30)의 외측에서 보아 약간 파여 있다. 장착시트(46)는, 실드측부개구(44)의 외측둘레를 형성한다. 장착시트(46)는, 축방향에 있어서는 실드전단(36)보다 실드바닥부(38)에 가깝다. 제1 냉각스테이지(22)가 장착시트(46)에 장착됨으로써, 방사실드(30)가 제1 냉각스테이지(22)에 열적으로 결합되어 있다.The shield side portion 40 includes a mounting sheet 46 of the refrigerator 16. The mounting sheet 46 is a flat portion for attaching the first cooling stage 22 to the radiation shield 30 and is slightly dug when viewed from the outside of the radiation shield 30. The mounting sheet 46 forms an outer circumference of the shield side opening 44. The mounting sheet 46 is closer to the shield bottom 38 than the shield shear 36 in the axial direction. Since the first cooling stage 22 is mounted to the mounting sheet 46, the radiation shield 30 is thermally coupled to the first cooling stage 22.

이와 같이 방사실드(30)를 제1 냉각스테이지(22)에 직접 장착하는 것 대신에, 일 실시형태에 있어서는, 방사실드(30)는, 추가의 전열부재를 통하여 제1 냉각스테이지(22)에 열적으로 결합되어 있어도 된다. 전열부재는, 예를 들면, 양단에 플랜지를 갖는 중공(中空)의 단통(短筒)이어도 된다. 전열부재는, 그 일단의 플랜지에 의하여 장착시트(46)에 고정되고, 타단의 플랜지에 의하여 제1 냉각스테이지(22)에 고정되어도 된다. 전열부재는, 냉동기구조부(21)를 둘러싸고 제1 냉각스테이지(22)로부터 방사실드(30)에 뻗어 있어도 된다. 실드측부(40)는, 이러한 전열부재를 포함해도 된다.Thus, instead of mounting the radiation shield 30 directly to the first cooling stage 22, in one embodiment, the radiation shield 30 is attached to the first cooling stage 22 via an additional heat transfer member. It may be thermally coupled. The heat transfer member may be, for example, a hollow single cylinder having flanges at both ends. The heat transfer member may be fixed to the mounting sheet 46 by the flange of one end thereof and fixed to the first cooling stage 22 by the flange of the other end. The heat transfer member may extend from the first cooling stage 22 to the radiation shield 30 surrounding the refrigerator structure portion 21. The shield side portion 40 may include such a heat transfer member.

도시되는 실시형태에 있어서는, 방사실드(30)는 일체의 통상으로 구성되어 있다. 이에 대신하여, 방사실드(30)는, 복수의 부품에 의하여 전체적으로 통상의 형상을 이루도록 구성되어 있어도 된다. 이들 복수의 부품은 서로 간극을 갖고 배치되어 있어도 된다. 예를 들면, 방사실드(30)는 축방향에 2개의 부분으로 분할되어 있어도 된다. 이 경우, 방사실드(30)의 상부는, 양단이 개방된 통이며, 실드전단(36)과 실드측부(40)의 제1 부분을 구비한다. 방사실드(30)의 하부는, 상단이 개방되고 하단가 폐쇄되어 있으며, 실드측부(40)의 제2 부분과 실드바닥부(38)를 구비한다. 상술과 같이, 방사실드(30)의 하부가 실드바닥부(38)를 갖지 않고, 양단이 개방된 통이어도 된다. 실드측부(40)의 제1 부분과 제2 부분의 사이에는 둘레방향으로 뻗는 슬릿이 형성되어 있다. 이 슬릿이, 실드측부(40)의 적어도 일부여도 된다. 혹은, 실드측부개구(44)는, 그 상측 절반이 실드측부(40)의 제1 부분으로 형성되고, 하측 절반이 실드측부(40)의 제2 부분으로 형성되어도 된다.In the illustrated embodiment, the radiation shield 30 is configured in one piece of normal. Instead of this, the radiation shield 30 may be configured so as to form a general shape as a whole by a plurality of components. These parts may be arrange | positioned with the clearance gap from each other. For example, the radiation shield 30 may be divided into two parts in the axial direction. In this case, the upper part of the radiation shield 30 is a cylinder whose both ends were opened, and is provided with the shield front end 36 and the 1st part of the shield side part 40. FIG. The lower part of the radiation shield 30 is open at the upper end and closed at the lower end, and includes the second part of the shield side part 40 and the shield bottom part 38. As mentioned above, the lower part of the radiation shield 30 may not have the shield bottom part 38, and the cylinder which both ends opened may be sufficient. A slit extending in the circumferential direction is formed between the first portion and the second portion of the shield side portion 40. This slit may be at least part of the shield side portion 40. Alternatively, the upper half of the shield side opening 44 may be formed as the first portion of the shield side portion 40, and the lower half may be formed as the second portion of the shield side portion 40.

입구크라이오패널(32)은, 크라이오펌프(10)의 외부의 열원으로부터의 복사열로부터 제2단 크라이오패널어셈블리(20)를 보호하기 위하여 실드 주개구(34)에 마련되어 있다. 크라이오펌프(10)의 외부의 열원은, 예를 들면, 크라이오펌프(10)가 장착되는 진공챔버 내의 열원이다. 입구크라이오패널(32)은, 복사열뿐만 아니라 기체분자의 진입도 제한할 수 있다. 입구크라이오패널(32)은, 실드 주개구(34)를 통한 내부공간(14)에 대한 기체유입을 원하는 양으로 제한하도록 실드 주개구(34)의 개구면적의 일부를 점유한다. 입구크라이오패널(32)과 실드전단(36)의 사이에는, 환상의 개방영역(48)이 형성되어 있다.The inlet cryopanel 32 is provided in the shield main opening 34 to protect the second stage cryopanel assembly 20 from radiant heat from an external heat source of the cryopump 10. The heat source outside the cryopump 10 is, for example, a heat source in the vacuum chamber in which the cryopump 10 is mounted. The inlet cryopanel 32 can limit the entry of gas molecules as well as radiant heat. The inlet cryopanel 32 occupies a portion of the opening area of the shield openings 34 so as to limit the gas inflow to the interior space 14 through the shield openings 34 to a desired amount. An annular open area 48 is formed between the inlet cryopanel 32 and the shield front end 36.

입구크라이오패널(32)은, 루버부(50)와, 루버부(50)를 실드전단(36)에 장착하기 위한 루버장착부재(52)를 구비한다. 루버장착부재(52)는, 실드 주개구(34)의 직경을 따라 실드전단(36)에 걸쳐진 봉상의 부재이다. 입구크라이오패널(32)은, 루버장착부재(52) 및 방사실드(30)를 통하여 제1 냉각스테이지(22)에 열적으로 결합되어 있다.The inlet cryopanel 32 includes a louver portion 50 and a louver mounting member 52 for attaching the louver portion 50 to the shield front end 36. The louver mounting member 52 is a rod-shaped member that spans the shield front end 36 along the diameter of the shield main opening 34. The inlet cryopanel 32 is thermally coupled to the first cooling stage 22 through the louver mounting member 52 and the radiation shield 30.

루버부(50)는, 각각이 실드 주개구(34)에 있어서 제1 방향에 직선상으로 뻗어 있는 복수의 우판(羽板)을 갖는다. 복수의 우판은, 실드 주개구(34)에 있어서 제1 방향에 수직인 제2 방향으로 배열되어 있다. 복수의 우판은 서로 평행하게 배열되고, 각 우판은 개구면에 대하여 경사져 배치되어 있다. 도시하는 바와 같이, 중심축(C)에 대하여 일방측의 우판과 타방측의 우판은 역방향으로 경사져 있다. 복수의 우판은, 그 바로 아래에 위치하는 제2단 크라이오패널어셈블리(20)를 덮도록(즉, 제2단 크라이오패널어셈블리(20)가 크라이오펌프(10)의 외측에서 보이지 않도록), 제2 방향으로 치밀하게 배열되어 있다. 복수의 우판은, 그 배열에 의하여 전체적으로 원형을 형성하도록 서로 다른 제1 방향길이를 갖는다. 루버장착부재(52)는, 제2 방향으로 뻗어 있다.The louver portions 50 each have a plurality of right plates extending linearly in the first direction at the shield main opening 34. The plurality of right plates are arranged in the shield main opening 34 in a second direction perpendicular to the first direction. The plurality of right plates are arranged in parallel with each other, and each right plate is inclined with respect to the opening surface. As shown, the right side plate on one side and the right side plate on the other side are inclined in the reverse direction with respect to the central axis C. As shown in FIG. The plurality of right plates cover the second stage cryopanel assembly 20 located immediately below (ie, the second stage cryopanel assembly 20 is not visible from the outside of the cryopump 10). And are densely arranged in the second direction. The plurality of right plates have different first direction lengths so as to form a circle as a whole by the arrangement. The louver mounting member 52 extends in a second direction.

따라서, 크라이오펌프(10)에 의하여 배기되어야 하는 기체는, 크라이오펌프(10)의 외부로부터 루버부(50)의 우판 사이의 간극 또는 개방영역(48)을 통하여 내부공간(14)에 진입한다.Therefore, the gas to be exhausted by the cryopump 10 enters the internal space 14 from the outside of the cryopump 10 through the gap between the right plate of the louver portion 50 or the open area 48. do.

입구크라이오패널(32)은, 다른 형상을 가져도 된다. 예를 들면, 루버부(50)는, 동심(同心)으로 배치된 복수의 환상우판을 가져도 된다. 혹은, 입구크라이오패널(32)은, 1매의 판상부재여도 된다.The inlet cryopanel 32 may have another shape. For example, the louver portion 50 may have a plurality of annular right plates arranged concentrically. Alternatively, the inlet cryopanel 32 may be one plate member.

제2단 크라이오패널어셈블리(20)는, 제2 냉각스테이지(24)를 둘러싸도록 하여 제2 냉각스테이지(24)에 장착되어 있다. 따라서, 제2단 크라이오패널어셈블리(20)는, 제2 냉각스테이지(24)에 열적으로 결합되어 있고, 제2단 크라이오패널어셈블리(20)는 제2 냉각온도로 냉각된다. 제2단 크라이오패널어셈블리(20)는, 제2 냉각스테이지(24)와 함께 실드측부(40)에 포위되어 있다.The second stage cryopanel assembly 20 is attached to the second cooling stage 24 so as to surround the second cooling stage 24. Therefore, the second stage cryopanel assembly 20 is thermally coupled to the second cooling stage 24, and the second stage cryopanel assembly 20 is cooled to the second cooling temperature. The second stage cryopanel assembly 20 is surrounded by the shield side portion 40 together with the second cooling stage 24.

제2단 크라이오패널어셈블리(20)는, 실드 주개구(34)에 대면하는 톱크라이오패널(60)과, 복수(본례에서는 2개)의 크라이오패널부재(62)와, 크라이오패널장착부재(64)를 구비한다.The second stage cryopanel assembly 20 includes a top cryopanel 60 facing the shield main opening 34, a plurality of cryopanel members 62, and two cryopanel members in this example. A mounting member 64 is provided.

또, 도 1에 나타나는 바와 같이, 크라이오펌프(10)는, 크라이오패널위치결정부재(67)를 구비한다. 제2단 크라이오패널어셈블리(20)를 제2 냉각스테이지(24)에 열적으로 결합하는 전열부는, 크라이오패널장착부재(64)와 크라이오패널위치결정부재(67)를 포함한다.In addition, as shown in FIG. 1, the cryopump 10 includes a cryopanel positioning member 67. The heat transfer part for thermally coupling the second stage cryopanel assembly 20 to the second cooling stage 24 includes a cryopanel mounting member 64 and a cryopanel positioning member 67.

톱크라이오패널(60) 및 크라이오패널부재(62)와 실드측부(40)의 사이에는 환상간극(42)이 형성되어 있기 때문에, 톱크라이오패널(60) 및 크라이오패널부재(62)는 양쪽 모두 방사실드(30)에 접촉하고 있지 않다. 크라이오패널부재(62)는, 톱크라이오패널(60)에 의하여 덮여 있다.Since the annular gap 42 is formed between the top cryopanel 60 and the cryopanel member 62 and the shield side portion 40, the top cryopanel 60 and the cryopanel member 62 are formed. Neither side is in contact with the radiation shield 30. The cryopanel member 62 is covered with the top cryopanel 60.

톱크라이오패널(60)은, 제2단 크라이오패널어셈블리(20) 중 입구크라이오패널(32)에 가장 근접하는 부분이다. 톱크라이오패널(60)은, 축방향에 있어서 실드 주개구(34) 또는 입구크라이오패널(32)과 냉동기(16)의 사이에 배치되어 있다. 톱크라이오패널(60)은, 축방향에 있어서 크라이오펌프(10)의 내부공간(14)의 중심부에 위치한다. 이로 인하여, 톱크라이오패널(60)의 전면과 입구크라이오패널(32)의 사이에 응축층의 주수용공간(65)이 넓게 형성되어 있다. 응축층의 주수용공간(65)은, 내부공간(14)의 상측 절반을 차지하고 있다.The top cryopanel 60 is a portion closest to the inlet cryopanel 32 of the second stage cryopanel assembly 20. The top cryopanel 60 is disposed between the shield main opening 34 or the inlet cryopanel 32 and the refrigerator 16 in the axial direction. The top cryopanel 60 is located at the center of the internal space 14 of the cryopump 10 in the axial direction. For this reason, the main accommodation space 65 of the condensation layer is widely formed between the front surface of the top cryopanel 60 and the inlet cryopanel 32. The main receiving space 65 of the condensation layer occupies the upper half of the internal space 14.

톱크라이오패널(60)은, 축방향에 수직으로 배치된 대략 평판의 크라이오패널이다. 즉 톱크라이오패널(60)은, 직경방향 및 둘레방향으로 뻗어 있다. 도 2에 나타나는 바와 같이, 톱크라이오패널(60)은, 루버부(50)보다 큰 치수(예를 들면 투영면적)를 갖는 원판상패널이다. 단, 톱크라이오패널(60)과 루버부(50)의 치수의 관계는 이에 한정되지 않고, 톱크라이오패널(60) 쪽이 작아도 되고, 양자가 대략 동일한 치수를 가져도 된다.The top cryopanel 60 is a substantially flat cryopanel arranged vertically in the axial direction. That is, the top cryopanel 60 extends in the radial direction and the circumferential direction. As shown in FIG. 2, the top cryopanel 60 is a disk-shaped panel which has a dimension (for example, projection area) larger than the louver part 50. As shown in FIG. However, the relationship between the dimension of the top cryopanel 60 and the louver part 50 is not limited to this, The top cryopanel 60 may be small, and both may have substantially the same dimension.

톱크라이오패널(60)은, 냉동기구조부(21)와의 사이에 간극영역(66)을 형성하도록 배치되어 있다. 간극영역(66)은, 톱크라이오패널(60)의 이면과 제2 실린더(25)의 사이에서 축방향으로 형성된 공소(空所)이다.The top cryopanel 60 is arranged so as to form the gap region 66 between the refrigerator structure portion 21. The gap region 66 is an air gap formed in the axial direction between the rear surface of the top cryopanel 60 and the second cylinder 25.

크라이오패널부재(62)에는 활성탄 등의 흡착재(74)가 마련되어 있다. 흡착재(74)는 예를 들면 크라이오패널부재(62)의 이면에 접착되어 있다. 크라이오패널부재(62)의 전면은 응축면, 이면은 흡착면으로서 기능하는 것이 의도되어 있다. 크라이오패널부재(62)의 전면에 흡착재(74)가 마련되어 있어도 된다. 마찬가지로, 톱크라이오패널(60)은, 그 전면 및/또는 이면에 흡착재(74)를 가져도 된다. 혹은, 톱크라이오패널(60)은, 흡착재(74)를 구비하지 않아도 된다.The cryopanel member 62 is provided with an adsorbent 74 such as activated carbon. The adsorbent 74 is adhered to the rear surface of the cryopanel member 62, for example. The front surface of the cryopanel member 62 is intended to function as a condensation surface and the back surface as an adsorption surface. The adsorption material 74 may be provided in the whole surface of the cryopanel member 62. Similarly, the top cryopanel 60 may have the adsorbent 74 on its front and / or rear surface. Alternatively, the top cryopanel 60 may not include the adsorption material 74.

2개의 크라이오패널부재(62)는, 크라이오펌프중심축(C)을 사이에 두고 제2 냉각스테이지(24)의 양측에 배치되어 있다. 크라이오패널부재(62)는, 크라이오펌프중심축(C)에 수직인 평면을 따라 배치되어 있다. 용이한 이해를 위하여, 도 2에 있어서 크라이오패널부재(62) 및 크라이오패널장착부재(64)를 파선(破線)으로 나타낸다.The two cryopanel members 62 are arranged on both sides of the second cooling stage 24 with the cryopump central axis C interposed therebetween. The cryopanel member 62 is disposed along a plane perpendicular to the cryopump central axis C. As shown in FIG. For ease of understanding, the cryopanel member 62 and the cryopanel mounting member 64 are shown in broken lines in FIG. 2.

2개의 크라이오패널부재(62)는, 크라이오펌프중심축(C)의 방향에 있어서의 제2 냉각스테이지(24)의 상단과 하단의 사이의 높이위치에 배치되어 있다. 제2 냉각스테이지(24)는, 크라이오펌프중심축(C)에 수직인 방향(냉동기(16)의 중심축(D)의 방향)에 있어서의 말단에 플랜지부(24a)를 구비한다. 크라이오펌프중심축(C)의 방향에 있어서의 제2 냉각스테이지(24)의 상단 및 하단은 플랜지부(24a)에 의하여 정해진다. 즉, 2개의 크라이오패널부재(62)는, 크라이오펌프중심축(C)의 방향에 있어서의 제2 냉각스테이지(24)의 플랜지부(24a)의 상단과 하단의 사이의 높이위치에 배치되어 있다. 2개의 크라이오패널부재(62)는, 동일한 높이에 배치되어 있다. 도 1에 나타내는 제2 냉각스테이지(24)와 제2 실린더(25)의 경계(24b)가, 냉동기(16)의 중심축(D)의 방향에 있어서의 제2 냉각스테이지(24)의 또 하나의 단부(즉, 플랜지부(24a)와 반대측의 단부)를 정한다.The two cryopanel members 62 are arranged at a height position between the upper end and the lower end of the second cooling stage 24 in the direction of the cryopump central axis C. As shown in FIG. The 2nd cooling stage 24 is equipped with the flange part 24a in the distal end in the direction perpendicular | vertical to the cryopump central axis C (direction of the central axis D of the refrigerator 16). The upper end and the lower end of the second cooling stage 24 in the direction of the cryopump central axis C are determined by the flange portion 24a. That is, the two cryopanel members 62 are arranged at the height position between the upper end and the lower end of the flange portion 24a of the second cooling stage 24 in the direction of the cryopump central axis C. It is. Two cryopanel members 62 are arranged at the same height. The boundary 24b of the 2nd cooling stage 24 and the 2nd cylinder 25 shown in FIG. 1 is another one of the 2nd cooling stage 24 in the direction of the central axis D of the refrigerator 16. The end of (ie, the end opposite to the flange portion 24a) is determined.

도 3에는, 2개의 크라이오패널부재(62)와 크라이오패널장착부재(64)를 나타내고, 도 4에는, 1개의 크라이오패널부재(62)를 나타낸다.3 shows two cryopanel members 62 and a cryopanel mounting member 64, and one cryopanel member 62 is shown in FIG. 4.

2개의 크라이오패널부재(62)는, 동일한 부품으로서 설계되어 있다. 2개의 크라이오패널부재(62)는, 동일한 형상을 갖고, 동일한 재료로 형성되어 있다. 크라이오패널부재(62)는, 활형상, 반월상, 또는 반원상의 형상을 갖는다. 크라이오패널부재(62)는, 예를 들면 구리 등의 고열전도율의 금속재료로 형성되고, 예를 들면 니켈 등의 도금층으로 피복되어 있어도 된다.The two cryopanel members 62 are designed as the same component. The two cryopanel members 62 have the same shape and are formed of the same material. The cryopanel member 62 has a bow shape, a half moon shape, or a semicircle shape. The cryopanel member 62 may be formed of a metal material having high thermal conductivity such as copper, for example, and may be covered with a plating layer such as nickel.

크라이오패널장착부재(64)는, 2개의 크라이오패널부재(62)에 각각 대응하는 2개의 장착면(68)을 구비한다. 크라이오패널장착부재(64)는, 각형의 역U자상의 형상을 갖는 브래킷이며, 제2 냉각스테이지(24)로부터 톱크라이오패널(60) 및 크라이오패널부재(62)에 대한 전열을 위한 전열플레이트이기도 하다. 2개의 장착면(68)은, 크라이오패널장착부재(64)의 2개의 측면에 해당한다. 크라이오패널부재(62)는, 체결부재(87)(예를 들면 리벳)를 이용하여, 대응하는 장착면(68)에 장착된다.The cryopanel mounting member 64 includes two mounting surfaces 68 respectively corresponding to the two cryopanel members 62. The cryopanel mounting member 64 is a bracket having a square inverted U-shape, and is used for heat transfer from the second cooling stage 24 to the top cryopanel 60 and the cryopanel member 62. It is also a heat transfer plate. The two mounting surfaces 68 correspond to two side surfaces of the cryopanel mounting member 64. The cryopanel member 62 is attached to the corresponding mounting surface 68 by using the fastening member 87 (for example, rivet).

이들 장착면(68)을 연결하는 크라이오패널장착부재(64)의 상면(69)에는, 톱크라이오패널(60)이 장착된다. 장착면(68)은, 상면(69)의 양측으로부터 하방을 향하여 상면(69)에 수직으로 뻗어 있다.The top cryopanel 60 is attached to the upper surface 69 of the cryopanel mounting member 64 that connects these mounting surfaces 68. The mounting surface 68 extends perpendicularly to the upper surface 69 from both sides of the upper surface 69 downward.

크라이오패널장착부재(64)의 내측에 제2 냉각스테이지(24) 및 크라이오패널위치결정부재(67)가 냉동기(16)의 중심축(D)의 방향으로 삽입되고, 제2 냉각스테이지(24)가 크라이오패널위치결정부재(67)를 통하여 크라이오패널장착부재(64)에 장착된다. 크라이오패널위치결정부재(67)는, 크라이오패널장착부재(64)의 상면(69)(단, 톱크라이오패널(60)과는 반대측)에 장착된다. 톱크라이오패널(60), 크라이오패널장착부재(64), 및 크라이오패널위치결정부재(67)는, 체결부재(예를 들면 볼트)를 이용하여 제2 냉각스테이지(24)에 일체적으로 고정된다.Inside the cryopanel mounting member 64, the second cooling stage 24 and the cryopanel positioning member 67 are inserted in the direction of the central axis D of the refrigerator 16, and the second cooling stage ( 24 is mounted to the cryopanel mounting member 64 via the cryopanel positioning member 67. The cryopanel positioning member 67 is mounted on the upper surface 69 of the cryopanel mounting member 64 (but opposite to the top cryopanel 60). The top cryopanel 60, the cryopanel mounting member 64, and the cryopanel positioning member 67 are integral to the second cooling stage 24 using fastening members (for example, bolts). Is fixed.

각 크라이오패널부재(62)는, 활형상 평탄부(75), 제1 절곡부(76), 및 제2 절곡부(77)를 구비한다. 각 크라이오패널부재(62)는, 단일의 금속플레이트로 형성되어 있다. 1매의 평탄한 금속플레이트에 예를 들면 프레스가공을 함으로써, 제1 절곡부(76) 및 제2 절곡부(77)가 활형상 평탄부(75)와 일체형성되어, 1개의 크라이오패널부재(62)가 만들어진다. 흡착재(74)는, 활형상 평탄부(75)에 마련되어 있다. 제1 절곡부(76) 및 제2 절곡부(77)에는 흡착재(74)는 마련되어 있지 않다.Each cryopanel member 62 includes an arch flat portion 75, a first bent portion 76, and a second bent portion 77. Each cryopanel member 62 is formed of a single metal plate. For example, by press working on one flat metal plate, the first bent portion 76 and the second bent portion 77 are integrally formed with the bow-shaped flat portion 75, and one cryopanel member ( 62) is made. The adsorption material 74 is provided in the arch flat part 75. The adsorption material 74 is not provided in the 1st bending part 76 and the 2nd bending part 77. As shown in FIG.

활형상 평탄부(75)는, 원호부(78) 및 현(79)을 갖는다. 현(79)은, 원호부(78)의 양단을 연결하는 1개의 직선이다. 원호부(78) 및 현(79)은, 크라이오펌프중심축(C)에 수직인 평면에 있고, 크라이오펌프중심축(C)의 방향에서 보았을 때 크라이오패널부재(62)의 윤곽을 정한다. 원호부(78)가 크라이오패널부재(62)의 외측가장자리를 정하고, 현(79)이 크라이오패널부재(62)의 내측가장자리를 정한다. 크라이오패널부재(62)는, 원호부(78)가 방사실드(30)의 실드측부(40)에 근접하고, 현(79)이 냉동기(16)의 제2 냉각스테이지(24) 및 제2 실린더(25)에 근접하도록, 배치되어 있다. 현(79)은, 냉동기(16)의 축방향(D)에 평행이며, 현(79)의 절반이 냉동기(16)의 제2 냉각스테이지(24) 및 제2 실린더(25)를 따라 뻗고, 나머지의 절반이 제2 냉각스테이지(24)를 넘어 실드측부(40)를 향하여 뻗어 있다.The bow-shaped flat part 75 has the arc part 78 and the string 79. The string 79 is one straight line connecting both ends of the arc portion 78. The arc portion 78 and the string 79 are in a plane perpendicular to the cryopump central axis C and outline the contours of the cryopanel member 62 when viewed in the direction of the cryopump central axis C. FIG. Decide The arc portion 78 determines the outer edge of the cryopanel member 62, and the string 79 determines the inner edge of the cryopanel member 62. In the cryopanel member 62, the arc portion 78 is close to the shield side portion 40 of the radiation shield 30, and the string 79 is the second cooling stage 24 and the second cooling stage of the refrigerator 16. It is arrange | positioned so that the cylinder 25 may be approached. The string 79 is parallel to the axial direction D of the refrigerator 16, and half of the string 79 extends along the second cooling stage 24 and the second cylinder 25 of the refrigerator 16, The other half extends beyond the second cooling stage 24 toward the shield side portion 40.

활형상 평탄부(75)는, 그 전역이 평탄하고, 특히, 원호부(78)를 포함하는 외측가장자리부가 평탄하다. 이점에서, 크라이오패널부재(62)는, 외측둘레부에 원뿔대상경사면을 갖는 전형적인 크라이오패널과는 형상이 다르다.The flat portion 75 is flat throughout, especially the outer edge portion including the arc portion 78 is flat. In this regard, the cryopanel member 62 is different in shape from a typical cryopanel having a conical target inclined portion at its outer circumference.

제1 절곡부(76)는, 현(79)의 일부, 구체적으로는 현(79)의 중앙부에서, 활형상 평탄부(75)와 접속되어 있다. 제1 절곡부(76)는, 크라이오패널부재(62)를 크라이오패널장착부재(64)에 체결하기 위한 체결부로서 마련되어 있다. 제1 절곡부(76)가, 크라이오패널장착부재(64)의 대응하는 장착면(68)에 장착된다. 활형상 평탄부(75)는, 제1 절곡부(76)를 통하여 제2 냉각스테이지(24)에 열적으로 결합된다. 제1 절곡부(76)는, 활형상 평탄부(75)에 대하여 각도(예를 들면 직각)를 이루는 직사각형상의 부분이다. 제1 절곡부(76)는, 활형상 평탄부(75)에 대하여 직립하고 있다. 제1 절곡부(76)는, 현(79)의 방향으로 가늘고 길며, 현(79)의 방향에 있어서의 제1 절곡부(76)의 폭이 크라이오패널장착부재(64)의 장착면(68)의 폭과 거의 동일하다.The first bent portion 76 is connected to the bow-shaped flat portion 75 at a part of the string 79, specifically, at the center of the string 79. The first bent portion 76 is provided as a fastening portion for fastening the cryopanel member 62 to the cryopanel mounting member 64. The first bent portion 76 is mounted to the corresponding mounting surface 68 of the cryopanel mounting member 64. The arch flat portion 75 is thermally coupled to the second cooling stage 24 through the first bent portion 76. The first bent portion 76 is a rectangular portion that forms an angle (for example, a right angle) with respect to the bow-shaped flat portion 75. The first bent portion 76 is upright with respect to the bow-shaped flat portion 75. The first bent portion 76 is long and thin in the direction of the strings 79, and the width of the first bent portion 76 in the direction of the strings 79 is the mounting surface of the cryopanel mounting member 64 ( It is almost the same as the width of 68).

제1 절곡부(76)는, 활형상 평탄부(75)에 대하여 상방으로 절곡되어 있고, 체결부재(87)를 통과시키는 체결구멍(88)을 갖는다. 체결구멍(88)은, 현(79)과 제1 절곡부(76)의 상변(76a)의 사이에서 상변에서 근접하여 배치되어 있다. 체결구멍(88)은, 현(79)과 제1 절곡부(76)의 상변(76a)과의 중간선(89)보다 상방에 형성되어 있다.The first bent portion 76 is bent upward with respect to the bow-shaped flat portion 75 and has a fastening hole 88 through which the fastening member 87 passes. The fastening hole 88 is arrange | positioned near the upper side between the string 79 and the upper side 76a of the 1st bending part 76. As shown in FIG. The fastening hole 88 is formed above the middle line 89 between the string 79 and the upper side 76a of the first bent portion 76.

이와 같이 하면, 체결구멍(88)과 활형상 평탄부(75)와의 거리가 커지기 때문에, 체결에 사용하는 공구(예를 들면 리벳건)를 작업자가 취급하기 용이해져, 제조공정에 있어서의 작업성이 향상된다. 또, 이 구성에 의하면, 크라이오패널부재(62)가 크라이오패널장착부재(64)에 장착되었을 때, 크라이오패널부재(62)의 활형상 평탄부(75)에 가해지는 중력은, 제1 절곡부(76)를 장착면(68)에 압압하는 모멘트로서 작용한다. 이로 인하여, 다른 장착구성(예를 들면, 장착용 절곡부가 크라이오패널부재에 대하여 하방으로 절곡되고, 절곡부의 하변 근방에서 장착면에 체결되는 경우)에 비하여, 장착면(68)에 대하여 활형상 평탄부(75)가 경사지는 것이 억제된다.In this case, the distance between the fastening hole 88 and the bow-shaped flat portion 75 is increased, so that a worker (for example, a rivet gun) used for fastening can be easily handled and workability in the manufacturing process is achieved. This is improved. According to this configuration, when the cryopanel member 62 is mounted on the cryopanel mounting member 64, the gravity applied to the bow-shaped flat portion 75 of the cryopanel member 62 is first generated. 1 acts as a moment for pressing the bent portion 76 against the mounting surface 68. For this reason, compared with another mounting structure (for example, when a mounting bending part is bent downward with respect to a cryopanel member, and is fastened to a mounting surface in the vicinity of the lower side of a bending part), it has a bow shape with respect to the mounting surface 68 Inclination of the flat part 75 is suppressed.

제2 절곡부(77)는, 현(79)의 잔부(즉 제1 절곡부(76)가 마련되어 있지 않은 부분)가 적어도 일부, 구체적으로는 현(79)의 양단에서, 활형상 평탄부(75)와 접속되어 있다. 제2 절곡부(77)는, 현(79)의 방향으로 크라이오패널장착부재(64)의 장착면(68)으로부터 벗어나 배치되어 있다. 제2 절곡부(77)는, 장착면(68)에 대하여 외측에 있다. 제2 절곡부(77)는, 활형상 평탄부(75)에 대하여 각도(예를 들면 직각)를 이루는 가장자리부이고, 현(79)의 방향으로 가늘고 길게 뻗어 있다. 제2 절곡부(77)는, 활형상 평탄부(75)에 대하여 직립하고 있다.As for the 2nd bending part 77, the remainder (that is, the part in which the 1st bending part 76 is not provided) of the string 79 is at least one part, specifically, the both ends of the string 79, the planar flat part ( 75). The second bent portion 77 is disposed away from the mounting surface 68 of the cryopanel mounting member 64 in the direction of the string 79. The second bent portion 77 is outside the mounting surface 68. The 2nd bending part 77 is an edge part which forms an angle (for example, a right angle) with respect to the bow-shaped flat part 75, and is elongate and elongate in the direction of the string 79. As shown in FIG. The second bent portion 77 is erected with respect to the bow-shaped flat portion 75.

제2 절곡부(77)는, 크라이오패널부재(62)의 강성보강부로서 마련되어 있다. 제2 절곡부(77)는, 활형상 평탄부(75)의 변형을 억제할 수 있다. 특히, 크라이오패널부재(62)가 비교적 대형인 경우에는 장착면(68)의 폭(즉 현(79)의 중앙부의 길이)에 비하여, 장착면(68)의 외측이 되는 현(79)의 단부의 길이가 길어지고, 그 결과, 활형상 평탄부(75)의 양단은 중력의 작용으로 굽힘이나 경사 등 변형되기 쉬워진다. 제2 절곡부(77)가 마련되어 있음으로써, 크라이오패널부재(62)가 비교적 대형이어도 변형을 억제할 수 있다.The second bent portion 77 is provided as a rigid reinforcing portion of the cryopanel member 62. The second bent portion 77 can suppress the deformation of the bow-shaped flat portion 75. In particular, in the case where the cryopanel member 62 is relatively large, the width of the mounting surface 68 (that is, the length of the center portion of the string 79), compared to the width of the mounting surface 68, is increased. As a result, the length of the end portion becomes long, and as a result, both ends of the bow-shaped flat portion 75 are easily deformed such as bending or inclination under the action of gravity. By providing the second bent portion 77, deformation can be suppressed even when the cryopanel member 62 is relatively large.

제2 절곡부(77)는, 현(79)의 잔부의 전체길이에 걸쳐 활형상 평탄부(75)와 접속되어 있다. 따라서, 제2 절곡부(77)는, 현(79)의 방향으로 제1 절곡부(76)와 연속하고 있다. 제2 절곡부(77)가 현(79)의 잔부의 전체길이에 걸치기 때문에, 보다 효과적으로 크라이오패널부재(62)의 변형을 억제할 수 있다.The second bent portion 77 is connected to the bow-shaped flat portion 75 over the entire length of the remainder of the string 79. Therefore, the 2nd bending part 77 is continuous with the 1st bending part 76 in the direction of the string 79. As shown in FIG. Since the second bent portion 77 spans the entire length of the remainder of the string 79, the deformation of the cryopanel member 62 can be suppressed more effectively.

제2 절곡부(77)는, 제1 절곡부(76)와 동일하게, 활형상 평탄부(75)에 대하여 상방으로 절곡되어 있다. 활형상 평탄부(75)로부터의 제2 절곡부(77)의 높이가, 활형상 평탄부(75)로부터의 제1 절곡부(76)의 높이보다 낮다. 이와 같이 하면, 제2 절곡부(77)가 주위의 구성요소(예를 들면, 크라이오펌프중심축(C)의 방향으로 인접배치된 다른 크라이오패널)와 간섭하기 어려워진다. 또, 복수의 크라이오패널부재(62)를 축방향으로 치밀하게 배치하기 쉬워진다. 예를 들면, 제2 절곡부(77)의 높이는, 현(79)과 제1 절곡부(76)의 상변(76a)과의 중간선(89)보다 낮아도 된다.The second bent portion 77 is bent upwardly with respect to the bow-shaped flat portion 75, similarly to the first bent portion 76. The height of the second bent portion 77 from the arc flat portion 75 is lower than the height of the first bent portion 76 from the arc flat portion 75. This makes it difficult for the second bent portion 77 to interfere with surrounding components (for example, another cryopanel arranged adjacent in the direction of the cryopump central axis C). In addition, it is easy to precisely arrange the plurality of cryopanel members 62 in the axial direction. For example, the height of the second bent portion 77 may be lower than the middle line 89 between the string 79 and the upper side 76a of the first bent portion 76.

다만, 제2 절곡부(77)는, 제1 절곡부(76)와 다른 방향 또는 각도로 절곡되어도 된다. 예를 들면, 제1 절곡부(76)가 상방으로 절곡되고, 제2 절곡부(77)가 하방으로 절곡되어도 된다. 제1 절곡부(76)가 활형상 평탄부(75)에 수직으로 절곡되고, 제2 절곡부(77)가 활형상 평탄부(75)에 대하여 경사 각도로 절곡되어도 된다.However, the second bent portion 77 may be bent at a direction or an angle different from that of the first bent portion 76. For example, the first bent portion 76 may be bent upward, and the second bent portion 77 may be bent downward. The first bent portion 76 may be bent perpendicularly to the arch flat portion 75, and the second bent portion 77 may be bent at an inclined angle with respect to the arch flat portion 75.

제2 절곡부(77)는, 현(79)의 잔부(즉 제1 절곡부(76)가 마련되어 있지 않은 부분)의 일부에만 마련되어 있어도 된다.The 2nd bending part 77 may be provided only in a part of remainder (namely, the part in which the 1st bending part 76 is not provided) of the string 79.

도 2에 나타나는 바와 같이, 크라이오펌프중심축(C)의 방향에서 보았을 때, 2개의 크라이오패널부재(62)는, 양자의 중간선(냉동기(16)의 중심축(D))을 대칭축으로 하여서로 대칭으로 배치되어 있다. 2개의 크라이오패널부재(62)의 원호부(78)는, 크라이오펌프중심축(C)을 중심으로 하는 동일한 원주 상에 있다. 또, 각 크라이오패널부재(62)는, 현(79)의 중점(中點)(또는 크라이오펌프중심축(C))을 통과하고 현(79)에 수직인 선(E)을 대칭축으로 하여 선대칭의 형상을 갖는다.As shown in FIG. 2, when viewed in the direction of the cryopump central axis C, the two cryopanel members 62 have the symmetry axis about the middle line (the central axis D of the refrigerator 16). They are arranged symmetrically with each other. The arc portions 78 of the two cryopanel members 62 are on the same circumference with the cryopump center axis C as the center. Each cryopanel member 62 passes through the midpoint of the string 79 (or the cryopump central axis C) and has a line E perpendicular to the string 79 as the symmetry axis. It has a line symmetrical shape.

각 크라이오패널부재(62)의 활형상 평탄부(75)의 현(79)의 잔부(즉 제1 절곡부(76)가 마련되어 있지 않은 부분)의 형상이, 냉동기(16)(예를 들면 제2 냉각스테이지(24) 및 제2 실린더(25))와 간섭하지 않고 2개의 크라이오패널부재(62)를 서로 교환 가능하게 하도록 정해져 있다.The shape of the remainder of the string 79 of the arch-shaped flat portion 75 of each cryopanel member 62 (ie, the portion where the first bent portion 76 is not provided) is the refrigerator 16 (for example). It is determined so that the two cryopanel members 62 can be interchanged with each other without interfering with the second cooling stage 24 and the second cylinder 25.

1개의 예시적인 구성으로서, 2개의 크라이오패널부재(62)의 간격(90)은, 현(79)의 방향에 있어서 어느 위치에서도, 2개의 크라이오패널부재(62)의 사이에 제2 냉각스테이지(24)를 삽입 가능하게 하는 크기로 정해져 있다. 2개의 크라이오패널부재(62)의 간격(90)은, 현의 방향에 있어서 현의 전체길이에 걸쳐 일정하다.As one exemplary configuration, the spacing 90 of the two cryopanel members 62 is secondly cooled between the two cryopanel members 62 at any position in the direction of the string 79. The size of the stage 24 can be inserted. The spacing 90 of the two cryopanel members 62 is constant over the entire length of the string in the direction of the string.

이와 같이 하여, 2개의 크라이오패널부재(62)는, 호환성을 갖는다. 일 크라이오패널부재(62)는, 크라이오패널장착부재(64)의 2개의 장착면(68) 중 어느 쪽에도 장착할 수 있다. 일 크라이오패널부재(62)를 일방의 장착면(68)에 장착했을 때와 타방의 장착면(68)에 장착했을 때에, 크라이오패널부재(62)의 원호부(78)는, 동일한 원주 상에 있다. 또, 일 크라이오패널부재(62)를 일방의 장착면(68)에 장착했을 때와 타방의 장착면(68)에 장착했을 때에, 크라이오패널부재(62)의 현(79)은, 냉동기(16)의 중심축(D)에 대하여 등거리에 위치한다. 크라이오패널부재(62)는, 2개의 장착면(68) 중 어느 쪽에도, 냉동기(16)의 제2 냉각스테이지(24) 및 제2 실린더(25)와 간섭하지 않고 장착할 수 있다.In this way, the two cryopanel members 62 are compatible. The cryopanel member 62 can be mounted on either of the two mounting surfaces 68 of the cryopanel mounting member 64. When one cryopanel member 62 is mounted on one mounting surface 68 and the other mounting surface 68, the arc portion 78 of the cryopanel member 62 is the same circumference. Is on. In addition, when the one cryopanel member 62 is mounted on one mounting surface 68 and the other mounting surface 68, the string 79 of the cryopanel member 62 is a refrigerator. It is located equidistantly with respect to the central axis D of (16). The cryopanel member 62 can be mounted on either of the two mounting surfaces 68 without interfering with the second cooling stage 24 and the second cylinder 25 of the refrigerator 16.

도 1에 나타나는 바와 같이, 크라이오패널위치결정부재(67)는, 제2 냉각스테이지(24)의 플랜지부(24a)에 고정되어, 제2 냉각스테이지(24)로 지지되어 있다. 크라이오패널위치결정부재(67)는, 상하반전된 역L자상으로 형성되어 있다. 크라이오패널위치결정부재(67)의 세로변부가 플랜지부(24a)에 예를 들면 볼트 등 적절한 체결부재로 장착되어 있다. 크라이오패널위치결정부재(67)의 상변부(67a)가 제2 냉각스테이지(24)의 플랜지부(24a)로부터 냉동기(16)의 중심축(D)의 방향으로 뻗어 있다. 이 상변부(67a)는, 크라이오패널장착부재(64) 중에서, 제2 냉각스테이지(24) 또는 제2 실린더(25)를 따라 제1 냉각스테이지(22)를 향하여 뻗어 있다.As shown in FIG. 1, the cryopanel positioning member 67 is fixed to the flange portion 24a of the second cooling stage 24 and is supported by the second cooling stage 24. The cryopanel positioning member 67 is formed in an inverted L shape inverted up and down. The longitudinal side of the cryopanel positioning member 67 is attached to the flange portion 24a by an appropriate fastening member such as a bolt, for example. The upper edge portion 67a of the cryopanel positioning member 67 extends from the flange portion 24a of the second cooling stage 24 in the direction of the central axis D of the refrigerator 16. The upper side part 67a extends toward the 1st cooling stage 22 along the 2nd cooling stage 24 or the 2nd cylinder 25 among the cryopanel mounting members 64. As shown in FIG.

제2 냉각스테이지(24)는, 냉동기(16)의 중심축(D)의 방향에 있어서 크라이오펌프중심축(C)으로부터 벗어나 있다. 냉동기(16)의 중심축(D)의 방향에 있어서의 방사실드(30)의 장착시트(46)로부터 제2 냉각스테이지(24)의 플랜지부(24a)까지의 거리가, 냉동기(16)의 중심축(D)의 방향에 있어서의 방사실드(30)의 장착시트(46)로부터 크라이오펌프중심축(C)까지의 거리보다 짧다(반대로, 길어도 된다). 이로 인하여, 만일 제2단 크라이오패널어셈블리(20)가 제2 냉각스테이지(24)의 바로 위에 배치되었다고 하면, 제2단 크라이오패널어셈블리(20)가 냉동기(16)의 중심축(D)의 방향에 크라이오펌프중심축(C)으로부터 벗어나 버린다.The second cooling stage 24 deviates from the cryopump central axis C in the direction of the central axis D of the refrigerator 16. The distance from the mounting sheet 46 of the radiation shield 30 in the direction of the central axis D of the refrigerator 16 to the flange portion 24a of the second cooling stage 24 is determined by the temperature of the refrigerator 16. Shorter than the distance from the mounting sheet 46 of the radiation shield 30 to the cryopump central axis C in the direction of the central axis D (oppositely, may be long). Because of this, if the second stage cryopanel assembly 20 is disposed directly above the second cooling stage 24, the second stage cryopanel assembly 20 is the central axis D of the refrigerator 16. It moves away from the cryopump central axis (C) in the direction of.

그런데, 크라이오패널위치결정부재(67)는, 각 크라이오패널부재(62)의 원호부(78)의 중심을 크라이오펌프중심축(C) 상에 위치결정하도록 2개의 크라이오패널부재(62)를 지지한다. 크라이오펌프중심축(C)에 대하여 크라이오패널부재(62)를 위치맞춤하기 위한 적절한 위치에 크라이오패널장착부재(64)를 배치할 수 있도록, 크라이오패널위치결정부재(67)가 형성되어 있다. 이렇게 하여, 제2단 크라이오패널어셈블리(20)가 크라이오펌프중심축(C) 상에 위치결정된다.By the way, the cryopanel positioning member 67 includes two cryopanel members so as to position the center of the arc portion 78 of each cryopanel member 62 on the cryopump central axis C. 62). The cryopanel positioning member 67 is formed so that the cryopanel mounting member 64 can be disposed at an appropriate position for aligning the cryopanel member 62 with respect to the cryopump central axis C. It is. In this way, the second stage cryopanel assembly 20 is positioned on the cryopump central axis C. As shown in FIG.

크라이오패널위치결정부재(67)를 이용함으로써, 중심축(D)의 방향에 있어서의 냉동기(16)의 길이에 대한 제약이 완화된다. 그 결과, 크라이오펌프(10)에 전용으로 설계된 냉동기 대신에, 기존의 냉동기를 채용할 수 있다. 이는, 크라이오펌프(10)의 제조비용 저감에 도움이 될 수 있다.By using the cryopanel positioning member 67, the restriction on the length of the refrigerator 16 in the direction of the central axis D is relaxed. As a result, instead of the refrigerator designed exclusively for the cryopump 10, the existing refrigerator can be adopted. This may help to reduce the manufacturing cost of the cryopump 10.

다만, 크라이오펌프중심축(C)에 대한 제2단 크라이오패널어셈블리(20)의 위치맞춤을 위하여, 크라이오패널위치결정부재(67)의 상변부(67a)는, 도 1에 나타나는 것과는 반대로, 제2 냉각스테이지(24)의 플랜지부(24a)로부터 냉동기(16)의 중심축(D)의 방향으로 제2 실린더(25)로부터 멀어지도록 뻗어 있어도 된다. 대구경의 흡기구(12)를 갖는 크라이오펌프(10)에 대해서는, 그와 같은 형상을 갖는 크라이오패널위치결정부재(67)가 적합할 수 있다.However, in order to align the second stage cryopanel assembly 20 with respect to the cryopump central axis C, the upper side 67a of the cryopanel positioning member 67 is different from that shown in FIG. On the contrary, you may extend from the flange part 24a of the 2nd cooling stage 24 away from the 2nd cylinder 25 in the direction of the center axis D of the refrigerator 16. As shown in FIG. For the cryopump 10 having the large diameter inlet 12, a cryopanel positioning member 67 having such a shape may be suitable.

크라이오펌프하우징(70)은, 제1단 크라이오패널(18), 제2단 크라이오패널어셈블리(20), 및 냉동기(16)를 수용하는 크라이오펌프(10)의 케이스이며, 내부공간(14)의 진공기밀을 유지하도록 구성되어 있는 진공용기이다. 크라이오펌프하우징(70)은, 제1단 크라이오패널(18) 및 냉동기구조부(21)를 비접촉으로 포함한다. 크라이오펌프하우징(70)은, 냉동기(16)의 실온부(26)에 장착되어 있다.The cryopump housing 70 is a case of the cryopump 10 for accommodating the first stage cryopanel 18, the second stage cryopanel assembly 20, and the refrigerator 16. (14) is a vacuum container configured to hold a vacuum tightness. The cryopump housing 70 includes the first stage cryopanel 18 and the refrigerator structure portion 21 in a non-contact manner. The cryopump housing 70 is attached to the room temperature part 26 of the refrigerator 16.

크라이오펌프하우징(70)의 전단에 의하여, 흡기구(12)가 획정되어 있다. 크라이오펌프하우징(70)은, 그 전단으로부터 직경방향외측을 향하여 뻗어 있는 흡기구플랜지(72)를 구비한다. 흡기구플랜지(72)는, 크라이오펌프하우징(70)의 전체둘레에 걸쳐서 마련되어 있다. 크라이오펌프(10)는, 흡기구플랜지(72)를 이용하여 진공배기 대상의 진공챔버에 장착된다.The inlet 12 is defined by the front end of the cryopump housing 70. The cryopump housing 70 has an inlet port flange 72 extending from the front end toward the radially outward side. The inlet port flange 72 is provided over the entire circumference of the cryopump housing 70. The cryopump 10 is attached to the vacuum chamber to be evacuated using the inlet flange 72.

크라이오펌프(10)는, 실드 주개구(34)로부터 유입되는 기체의 흐름을 냉동기구조부(21)로부터 편향시키도록 구성되어 있는 기체흐름조정부재(80)를 구비한다. 기체흐름조정부재(80)는, 루버부(50) 또는 개방영역(48)을 통하여 주수용공간(65)에 유입되는 기체류를 제2 실린더(25)로부터 편향시키도록 구성되어 있다. 기체흐름조정부재(80)는, 냉동기구조부(21) 또는 제2 실린더(25)의 상방에서 거기에 인접하여 배치된 기체흐름편향부재 또는 기체흐름반사부재여도 된다. 기체흐름조정부재(80)는, 예를 들면 1매의 평탄플레이트이지만, 만곡하고 있어도 된다.The cryopump 10 includes a gas flow adjusting member 80 configured to deflect the flow of gas flowing from the shield main opening 34 from the freezer structure 21. The gas flow adjusting member 80 is configured to deflect the gas flow flowing into the main accommodation space 65 through the louver portion 50 or the open area 48 from the second cylinder 25. The gas flow adjusting member 80 may be a gas flow deflecting member or a gas flow reflecting member disposed adjacent to the refrigerator structure 21 or the second cylinder 25 adjacent thereto. The gas flow adjusting member 80 is, for example, one flat plate, but may be curved.

기체흐름조정부재(80)는, 제2 냉각스테이지(24) 및 제2단 크라이오패널어셈블리(20)의 양쪽 모두와 비접촉이도록 냉동기구조부(21)에 인접하여 배치되어 있다. 기체흐름조정부재(80)는, 제2 냉각스테이지(24), 제2단 크라이오패널어셈블리(20), 및 제2 실린더(25) 중 어느 것과도 비접촉이도록 제2 실린더(25)를 따라 배치되어 있다. 기체흐름조정부재(80)와 제2 실린더(25)의 사이에는 클리어런스(86)가 형성되어 있다. 이렇게 하여, 기체흐름조정부재(80)는, 제2 냉각온도로 냉각되는 부분, 및 이 부분을 지지하는 구조부로부터, 열적으로 또한 구조적으로 분리되어 있다.The gas flow adjusting member 80 is disposed adjacent to the freezer structure 21 so as to be in contact with both the second cooling stage 24 and the second stage cryopanel assembly 20. The gas flow adjusting member 80 is disposed along the second cylinder 25 to be in contact with any of the second cooling stage 24, the second stage cryopanel assembly 20, and the second cylinder 25. It is. A clearance 86 is formed between the gas flow adjusting member 80 and the second cylinder 25. In this way, the gas flow adjusting member 80 is thermally and structurally separated from the portion cooled at the second cooling temperature and the structural portion supporting the portion.

기체흐름조정부재(80)는, 간극영역(66)을 향하여 실드측부(40)로부터 뻗어나오고, 제1 냉각스테이지(22)에 열적으로 결합되어 있다. 기체흐름조정부재(80)는, 실드측부(40)로 지지되어 있다. 따라서, 기체흐름조정부재(80)는, 제1 냉각온도로 냉각된다.The gas flow adjusting member 80 extends from the shield side portion 40 toward the gap region 66 and is thermally coupled to the first cooling stage 22. The gas flow adjusting member 80 is supported by the shield side portion 40. Therefore, the gas flow adjusting member 80 is cooled to the first cooling temperature.

기체흐름조정부재(80)는, 환상간극(42)을 적어도 부분적으로 막도록 실드측부(40)를 따라 둘레방향으로 뻗어 있다. 기체흐름조정부재(80)는, 둘레방향에 있어서 실드측부개구(44)와 동일한 위치에 국소적으로 마련되어 있다. 기체흐름조정부재(80)는, 위에서 보아 직사각형상이다. 다만, 기체흐름조정부재(80)는, 둘레방향으로 보다 길게, 예를 들면 전체둘레에 걸쳐서, 실드측부(40)를 따라 마련되어 있어도 된다.The gas flow adjusting member 80 extends in the circumferential direction along the shield side portion 40 so as to at least partially block the annular gap 42. The gas flow adjusting member 80 is provided locally at the same position as the shield side opening 44 in the circumferential direction. The gas flow adjusting member 80 is rectangular in shape from above. However, the gas flow adjusting member 80 may be provided along the shield side portion 40 longer in the circumferential direction, for example, over the entire circumference.

기체흐름조정부재(80)의 기단부(82)(즉 실드측부(40)에 장착된 부분)는, 직경방향으로 루버부(50)의 외측에 위치하기 때문에, 도 2에 나타나는 바와 같이, 흡기구(12)에 노출되어 있다. 기체흐름조정부재(80)의 기단부(82)는, 개방영역(48) 및 환상간극(42)을 통하여 크라이오펌프(10)의 외부로부터 시인 가능하다. 기단부(82)는, 축방향에서 보아 톱크라이오패널(60)과 겹치지 않는다.Since the base end 82 of the gas flow adjusting member 80 (that is, the portion attached to the shield side portion 40) is located outside the louver portion 50 in the radial direction, as shown in FIG. 12) is exposed. The base end 82 of the gas flow adjusting member 80 can be visually recognized from the outside of the cryopump 10 through the open region 48 and the annular clearance 42. The base end 82 does not overlap with the top cryopanel 60 in the axial direction.

기체흐름조정부재(80)의 선단부(84)는, 간극영역(66)으로 진입하고, 톱크라이오패널(60)로 덮여 있다. 이 선단부(84)는, 크라이오펌프 직경방향에 있어서, 톱크라이오패널(60)의 외주단(外周端)과 중심축(C)의 사이에 배치되어 있다. 선단부(84)는, 제2 냉각스테이지(24)까지는 도달하지 않기 때문에, 상술과 같이 기체흐름조정부재(80)는 제2 냉각스테이지(24)와 접촉하고 있지 않다.The tip portion 84 of the gas flow adjusting member 80 enters the gap region 66 and is covered with the top cryopanel 60. This tip portion 84 is disposed between the outer peripheral end of the top cryopanel 60 and the central axis C in the cryopump radial direction. Since the tip portion 84 does not reach the second cooling stage 24, the gas flow adjusting member 80 does not contact the second cooling stage 24 as described above.

이와 같이 하여, 톱크라이오패널(60)과 제2 실린더(25)와의 간극영역(66)에 기체흐름조정부재(80)가 삽입됨으로써, 간극영역(66)의 입구가 좁아진다. 따라서, 주수용공간(65)으로부터 간극영역(66)에 대한 기체유입을 저감할 수 있다.In this way, the gas flow adjusting member 80 is inserted into the gap region 66 between the top cryopanel 60 and the second cylinder 25, whereby the entrance of the gap region 66 is narrowed. Therefore, gas inflow from the main accommodation space 65 to the gap region 66 can be reduced.

상기의 구성의 크라이오펌프(10)의 동작을 이하에 설명한다. 크라이오펌프(10)의 작동 시에는, 먼저 그 작동 전에 다른 적절한 러핑펌프로 진공챔버 내부를 1Pa정도로까지 러프펌핑한다. 그 후, 크라이오펌프(10)를 작동시킨다. 냉동기(16)의 구동에 의하여 제1 냉각스테이지(22) 및 제2 냉각스테이지(24)가 각각 제1 냉각온도 및 제2 냉각온도로 냉각된다. 따라서, 이들에 열적으로 결합되어 있는 제1단 크라이오패널(18), 제2단 크라이오패널어셈블리(20)도 각각 제1 냉각온도 및 제2 냉각온도로 냉각된다. 기체흐름조정부재(80)는, 제1 냉각스테이지(22)에 열적으로 결합되어 있기 때문에, 제1 냉각온도로 냉각된다.The operation of the cryopump 10 having the above configuration will be described below. In the operation of the cryopump 10, first, roughly pump the inside of the vacuum chamber to about 1 Pa with another suitable rough pump before the operation. Thereafter, the cryopump 10 is operated. By the operation of the refrigerator 16, the first cooling stage 22 and the second cooling stage 24 are cooled to the first cooling temperature and the second cooling temperature, respectively. Accordingly, the first stage cryopanel 18 and the second stage cryopanel assembly 20 that are thermally coupled thereto are also cooled to the first cooling temperature and the second cooling temperature, respectively. The gas flow adjusting member 80 is cooled to the first cooling temperature because it is thermally coupled to the first cooling stage 22.

입구크라이오패널(32)은, 진공챔버로부터 크라이오펌프(10)를 향하여 비래(飛來)하는 기체를 냉각한다. 입구크라이오패널(32)의 표면에는, 제1 냉각온도에서 증기압이 충분히 낮은(예를 들면 10^-8Pa 이하인) 기체가 응축한다. 이 기체는, 제1종 기체라고 칭해져도 된다. 제1종 기체는 예를 들면 수증기이다. 이렇게 하여, 입구크라이오패널(32)은, 제1종 기체를 배기할 수 있다. 제1 냉각온도에서 증기압이 충분히 낮지 않은 기체의 일부는, 루버부(50) 또는 개방영역(48)을 통과하여, 주수용공간(65)으로 진입한다. 혹은, 기체의 다른 일부는, 입구크라이오패널(32)에서 반사되어, 주수용공간(65)에 진입하지 않는다.The inlet cryopanel 32 cools the gas flying toward the cryopump 10 from the vacuum chamber. On the surface of the inlet cryopanel 32, a gas having a sufficiently low vapor pressure (for example, 10 ⁻⁸ Pa or less) at the first cooling temperature condenses. This gas may be referred to as a first type gas. The first kind of gas is, for example, water vapor. In this way, the inlet cryopanel 32 can exhaust 1st type gas. A portion of the gas whose vapor pressure is not sufficiently low at the first cooling temperature passes through the louver portion 50 or the open region 48 and enters the main receiving space 65. Alternatively, the other part of the gas is reflected by the inlet cryopanel 32 and does not enter the main accommodation space 65.

주수용공간(65)에 진입한 기체는, 제2단 크라이오패널어셈블리(20)에 의하여 냉각된다. 제2단 크라이오패널어셈블리(20)의 표면에는, 제2 냉각온도에서 증기압이 충분히 낮은(예를 들면 10^-8Pa 이하인) 기체가 응축한다. 이 기체는, 제2종 기체라고 칭해져도 된다. 제2종 기체는 예를 들면 아르곤이다. 이렇게 하여, 제2단 크라이오패널어셈블리(20)는, 제2종 기체를 배기할 수 있다. 주수용공간(65)에 직접 면하고 있기 때문에, 톱크라이오패널(60)의 전면에는, 제2종 기체의 응축층이 크게 성장할 수 있다. 다만 제2종 기체는, 제1 냉각온도에서는 응축하지 않고 기체이다.The gas entering the main storage space 65 is cooled by the second stage cryopanel assembly 20. On the surface of the second stage cryopanel assembly 20, a gas having a sufficiently low vapor pressure (for example, 10 ⁻⁸ Pa or less) condenses at the second cooling temperature. This gas may be referred to as a second type gas. The second type gas is, for example, argon. In this way, the second stage cryopanel assembly 20 can exhaust the gas of the second type. Since it directly faces the main storage space 65, the condensation layer of the second type gas can grow large on the front surface of the top cryopanel 60. However, the second type gas is a gas without condensation at the first cooling temperature.

제2 냉각온도에서 증기압이 충분히 낮지 않은 기체는, 제2단 크라이오패널어셈블리(20)의 흡착재에 흡착된다. 이 기체는, 제3종 기체라고 칭해져도 된다. 제3종 기체는 예를 들면 수소이다. 이렇게 하여, 제2단 크라이오패널어셈블리(20)는, 제3종 기체를 배기할 수 있다. 따라서, 크라이오펌프(10)는, 다양한 기체를 응축 또는 흡착에 의하여 배기하고, 진공챔버의 진공도를 원하는 레벨에 도달시킬 수 있다.The gas whose vapor pressure is not sufficiently low at the second cooling temperature is adsorbed by the adsorbent of the second stage cryopanel assembly 20. This gas may be referred to as a third type gas. The third type gas is, for example, hydrogen. In this way, the second stage cryopanel assembly 20 can exhaust the third type gas. Therefore, the cryopump 10 can exhaust various gases by condensation or adsorption, and reach the desired level of the vacuum degree of the vacuum chamber.

상술과 같이, 2개의 크라이오패널부재(62)는 호환성을 갖는다. 2개의 크라이오패널부재(62)는 적어도 부분적으로 형상이 동일하다. 이로써, 제2단 크라이오패널어셈블리(20)의 제조공정 중 적어도 일부를 공통화할 수 있고, 크라이오펌프(10)의 제조비용 저감으로 이어진다. 특히, 이 실시형태에서는, 2개의 크라이오패널부재(62)는, 동일한 부품으로서 설계되어 있다. 2개의 크라이오패널부재는 동일한 제조공정으로 제조된다. 크라이오펌프의 부품종류가 삭감된다. 제조비용이 더 저감된다.As described above, the two cryopanel members 62 are compatible. The two cryopanel members 62 are at least partially identical in shape. As a result, at least a part of the manufacturing steps of the second stage cryopanel assembly 20 can be shared, leading to a reduction in the manufacturing cost of the cryopump 10. In particular, in this embodiment, the two cryopanel members 62 are designed as the same component. The two cryopanel members are manufactured in the same manufacturing process. The types of parts of the cryopumps are reduced. The manufacturing cost is further reduced.

이 착상을, 직경이 다른 크라이오패널부재(62)에 전개하여, 그들의 제조공정의 일부를 공통화할 수도 있다. 직경이 다른 크라이오패널부재에서 제1 절곡부(76)(체결부)를 공통형상으로 하고, 활형상 평탄부(75)의 원호부(78)를 평탄하게 함으로써, 프레스가공용 금형을 공통화할 수 있다. 큰 직경을 갖는 크라이오패널부재(62)의 프레스가공(예를 들면, 절곡가공, 펀칭가공)을 위하여 설계된 금형을 이용하여, 그보다 작은 직경의 크라이오패널부재(62)의 프레스가공을 행할 수 있다. 금형은 일반적으로 비교적 고가이기 때문에, 금형의 공통화는 제조비용 저감에 효과적이다. 흡기구(12)의 구경이 다른 복수 종류의 크라이오펌프(10)를 제공하는 제조업자에게 있어 유리하다.This idea can be developed on the cryopanel members 62 having different diameters to share some of their manufacturing processes. In the cryopanel members having different diameters, the first bent portion 76 (fastening portion) is made a common shape, and the circular arc portion 78 of the flat flat portion 75 is flattened so that the press die can be used in common. have. Pressing of the cryopanel member 62 having a smaller diameter can be performed by using a mold designed for press working (for example, bending and punching) of the cryopanel member 62 having a large diameter. have. Since molds are generally relatively expensive, common molds are effective for reducing manufacturing costs. It is advantageous for a manufacturer to provide a plurality of types of cryopumps 10 having different apertures of the inlet 12.

상술과 같이, 크라이오펌프(10)에는 기체흐름조정부재(80)가 마련되어 있다. 기체흐름조정부재(80)가 제2 실린더(25)를 덮기 때문에, 제2 실린더(25)가 실드 주개구(34)에 노출되지 않는다. 기체흐름조정부재(80)는, 주수용공간(65)로부터 제2 실린더(25)로 향하는 제2종 기체의 흐름을 다른 방향으로 편향시킬 수 있다. 이로 인하여, 제2 실린더(25)는 그 표면에 제1 냉각온도로부터 제2 냉각온도에 대한 온도분포를 갖지만, 제2 냉각온도 또는 그에 가까운 온도의 표면부분에 응축되는 제2종 기체는, 거의 없거나, 전혀 없다. 또, 기체흐름조정부재(80)는 제1 냉각온도를 갖기 때문에, 기체흐름조정부재(80)의 표면에 제2종 기체는 응축되지 않는다.As described above, the cryopump 10 is provided with a gas flow adjusting member 80. Since the gas flow adjusting member 80 covers the second cylinder 25, the second cylinder 25 is not exposed to the shield main opening 34. The gas flow adjusting member 80 may deflect the flow of the second type gas from the main accommodation space 65 toward the second cylinder 25 in the other direction. Due to this, the second cylinder 25 has a temperature distribution from the first cooling temperature to the second cooling temperature on the surface thereof, but the second type gas condensed on the surface portion at or near the second cooling temperature is almost No or none at all In addition, since the gas flow adjusting member 80 has the first cooling temperature, the second type gas is not condensed on the surface of the gas flow adjusting member 80.

주수용공간(65)에 진입한 기체의 일부는, 기체흐름조정부재(80)에서 반사될 수 있다. 반사된 기체의 적어도 일부는, 제2단 크라이오패널어셈블리(20)로 향해진다. 혹은, 반사된 기체의 일부는, 방사실드(30) 또는 입구크라이오패널(32)로 향해지고, 여기에서 다시 반사되어, 제2단 크라이오패널어셈블리(20)로 향해질 수 있다. 이렇게 하여, 제2단 크라이오패널어셈블리(20)는, 제2종 기체를 응축에 의하여 배기하고, 제3종 기체를 흡착에 의하여 배기할 수 있다.A portion of the gas entering the main receiving space 65 may be reflected by the gas flow adjusting member 80. At least a portion of the reflected gas is directed to the second stage cryopanel assembly 20. Alternatively, a portion of the reflected gas may be directed to the radiation shield 30 or the inlet cryopanel 32 and reflected back here to the second stage cryopanel assembly 20. In this way, the second stage cryopanel assembly 20 can exhaust the second type of gas by condensation and exhaust the third type of gas by adsorption.

크라이오펌프는 일반적으로, 온도가 다른 2종류의 크라이오패널을 구비한다. 저온의 크라이오패널에는 기체가 응축한다. 크라이오펌프의 사용에 따라 저온크라이오패널 상에 응축층이 성장한다. 마찬가지로, 저온크라이오패널을 지지하는 구조부에도 응축층이 성장할 수 있다. 성장한 응축층은, 언젠가는 고온의 크라이오패널에 접촉할 수 있다. 그러면, 고온 크라이오패널과, 응축층의 접촉 부위에서 기체는 다시 기화되어 주위에 방출되어 버린다. 응축층으로부터의 기체방출은, 크라이오펌프가 그 역할을 충분히 하는 것을 방해할 수 있다. 따라서, 접촉 시점에서의 기체의 흡장량(吸藏量)이 크라이오펌프의 최대흡장량을 부여할 수 있다.The cryopump generally includes two kinds of cryopanels having different temperatures. Gas condenses in the cryopanel at low temperatures. With the use of cryopumps, a condensation layer grows on the low temperature cryopanel. Similarly, a condensation layer may grow in the structure supporting the low temperature cryopanel. The grown condensation layer may someday be in contact with the high temperature cryopanel. Then, the gas is evaporated again and released to the surroundings at the contact region between the high temperature cryopanel and the condensation layer. Outgassing from the condensation bed can prevent the cryopump from fulfilling its role. Therefore, the gas storage amount at the time of contact can give the maximum storage amount of the cryopump.

그런데, 실시형태에 관한 크라이오펌프(10)에 의하면, 기체흐름조정부재(80)가, 제1 냉각온도의 부위와 제2 냉각온도의 부위가 접근하는 장소에서의 응축층의 성장을 완화 또는 방지할 수 있다. 이로써, 크라이오펌프(10)는, 응축층과 제1 냉각온도의 부위와의 접촉, 나아가서는 응축층의 재기화를 완화 또는 방지할 수 있다. 그 결과, 주수용공간(65)에 있어서 톱크라이오패널(60)의 전면에 대량의 제2종 기체를 응축할 수 있다. 따라서, 크라이오펌프(10)의 기체흡장량을 향상시킬 수 있다.By the way, according to the cryopump 10 which concerns on embodiment, the gas flow adjusting member 80 moderates the growth of the condensation layer in the place where the site | part of a 1st cooling temperature and the site | part of a 2nd cooling temperature approach or You can prevent it. Thereby, the cryopump 10 can alleviate or prevent the contact of a condensation layer and the site | part of a 1st cooling temperature, and also the regasification of a condensation layer. As a result, a large amount of the second type gas can be condensed on the front surface of the top cryopanel 60 in the main receiving space 65. Therefore, the gas storage amount of the cryopump 10 can be improved.

이상, 본 발명을 실시형태에 근거하여 설명했다. 본 발명은 상기 실시형태에 한정되지 않고, 다양한 설계변경이 가능하며, 다양한 변형예가 가능한 것, 또 그러한 변형예도 본 발명의 범위에 있는 것은, 당업자에게 이해되는 부분이다.In the above, this invention was demonstrated based on embodiment. The present invention is not limited to the above embodiments, various design changes are possible, various modifications are possible, and such modifications are within the scope of the present invention.

예를 들면, 도 5에 나타나는 바와 같이, 크라이오패널장착부재(64)의 각 장착면(68)에 복수의 크라이오패널부재(62)가 장착되어도 된다. 각 장착면(68)에 있어서 복수(본례에서는 2개)의 크라이오패널부재(62)가 크라이오펌프중심축의 방향으로 배열되어 있다. 이와 같이 하면, 냉동기(16)의 제2 냉각스테이지(24)의 양측 각각에 복수의 크라이오패널부재(62)를 배치할 수 있다.For example, as shown in FIG. 5, a plurality of cryopanel members 62 may be attached to each mounting surface 68 of the cryopanel mounting member 64. On each mounting surface 68, a plurality of cryopanel members 62 are arranged in the direction of the cryopump central axis. In this way, a plurality of cryopanel members 62 can be disposed on both sides of the second cooling stage 24 of the refrigerator 16.

상기에 있어서는, 가로형의 크라이오펌프(10)를 예로서 설명했다. 그러나, 본 발명은, 이른바 세로형의 크라이오펌프에도 적용 가능하다. 세로형의 크라이오펌프란 일반적으로, 냉동기(16)가 크라이오펌프중심축(C)을 따라 배치되어 있는 크라이오펌프를 말한다.In the above description, the horizontal cryopump 10 has been described as an example. However, the present invention is also applicable to a so-called vertical cryopump. The vertical cryopump generally refers to the cryopump in which the refrigerator 16 is arranged along the cryopump central axis C. As shown in FIG.

크라이오패널부재(62)의 형상은, 상술한 것에 한정되지 않고, 다른 형상을 가져도 된다. 활형상 평탄부(75), 제1 절곡부(76), 및/또는 제2 절곡부(77)는, 그 전체가 완전히 평탄하지 않아도 된다. 예를 들면, 활형상 평탄부(75)는 어느 하나의 부위(예를 들면, 원호부(78)를 제외한 부위)에 경사면, 오목부, 또는 볼록부를 가져도 된다. 또, 크라이오패널부재(62)의 원호부(78)가 엄밀한 원호인 것은 필수가 아니다. 마찬가지로, 크라이오패널부재(62)의 현(79)이 엄밀한 직선인 것은 필수는 아니다. 활형상 평탄부(75), 제1 절곡부(76), 및/또는 제2 절곡부(77)는, 구멍 또는 슬릿 등의 개구부를 가져도 된다.The shape of the cryopanel member 62 is not limited to the above-described one, but may have another shape. The whole of the bow-shaped flat part 75, the 1st bending part 76, and / or the 2nd bending part 77 does not need to be completely flat. For example, the bow-shaped flat part 75 may have an inclined surface, a recessed part, or a convex part in any site | part (for example, the site | part except the circular arc part 78). In addition, it is not essential that the arc part 78 of the cryopanel member 62 is a rigid arc. Similarly, it is not essential that the string 79 of the cryopanel member 62 is a strictly straight line. The bow-shaped flat part 75, the 1st bending part 76, and / or the 2nd bending part 77 may have opening parts, such as a hole or a slit.

상술한 실시형태에 있어서는, 방사실드(30)의 장착시트(46)가 방사실드(30)의 하측 절반에 형성되어 있다. 이로 인하여, 제2 냉각스테이지(24)가 크라이오펌프중심축(C)의 방향에 있어서 실드바닥부(38)에 비교적 가깝다. 그러나, 이러한 제2 냉각스테이지(24)의 배치는 필수는 아니다. 방사실드(30)의 장착시트(46)가 방사실드(30)의 상측 절반에 형성되고, 제2 냉각스테이지(24)는, 크라이오펌프중심축(C)의 방향에 있어서 실드전단(36)에 근접배치되어도 된다. 또, 방사실드(30)의 장착시트(46)가 크라이오펌프중심축(C)의 방향에 있어서 실드측부(40)의 중앙부에 형성되고, 제2 냉각스테이지(24)는, 크라이오펌프중심축(C)의 방향에 있어서 방사실드(30)의 중심에 배치되어도 된다.In the above-described embodiment, the mounting sheet 46 of the radiation shield 30 is formed in the lower half of the radiation shield 30. For this reason, the 2nd cooling stage 24 is relatively close to the shield bottom part 38 in the direction of the cryopump central axis C. As shown in FIG. However, this arrangement of the second cooling stage 24 is not essential. The mounting sheet 46 of the radiation shield 30 is formed on the upper half of the radiation shield 30, and the second cooling stage 24 is shielded shear 36 in the direction of the cryopump central axis C. It may be arranged close to. Moreover, the mounting sheet 46 of the radiation shield 30 is formed in the center part of the shield side part 40 in the direction of the cryopump center axis C, and the 2nd cooling stage 24 is the cryopump center. In the direction of the axis C, the radiation shield 30 may be disposed at the center of the radiation shield 30.

본 발명의 실시형태는 이하와 같이 표현할 수도 있다.Embodiment of this invention can also be expressed as follows.

1. 고온냉각스테이지 및 저온냉각스테이지를 구비하는 냉동기와,1. A freezer having a high temperature cooling stage and a low temperature cooling stage,

상기 고온냉각스테이지에 열적으로 결합되고, 크라이오펌프흡기구의 중심을 통과하는 크라이오펌프중심축의 방향으로 뻗어 있으며 상기 저온냉각스테이지를 둘러싸는 방사실드와,A radiation shield thermally coupled to the high temperature cooling stage, extending in the direction of the cryopump central axis passing through the center of the cryopump suction port, and surrounding the low temperature cooling stage;

상기 저온냉각스테이지에 열적으로 결합되고, 상기 저온냉각스테이지와 함께 상기 방사실드에 둘러싸인 저온크라이오패널부로서, 상기 크라이오펌프중심축의 방향에 있어서의 상기 저온냉각스테이지의 상단과 하단의 사이의 높이위치에서, 상기 크라이오펌프중심축을 사이에 두고 상기 저온냉각스테이지의 양측에 배치된 2개의 크라이오패널부재를 구비하는 저온크라이오패널부를 구비하며,A low temperature cryopanel portion thermally coupled to the low temperature cooling stage and surrounded by the radiation shield together with the low temperature cooling stage, the height between an upper end and a lower end of the low temperature cooling stage in the direction of the cryopump central axis; A low temperature cryopanel portion having two cryopanel members disposed on both sides of the cryogenic cooling stage with the cryopump central shaft in position;

각 크라이오패널부재는, 원호부 및 현을 갖는 활형상 평탄부와, 상기 활형상 평탄부와 일체형성되어 상기 현의 일부에서 상기 활형상 평탄부와 접속된 제1 절곡부를 구비하고, 상기 활형상 평탄부는, 상기 제1 절곡부를 통하여 상기 저온냉각스테이지에 열적으로 결합되며, 상기 활형상 평탄부의 원호부가, 상기 크라이오펌프중심축의 방향에서 보았을 때 당해 크라이오패널부재의 외측가장자리를 정하고,Each cryopanel member includes an arch flat portion having an arc portion and a string, and a first bent portion integrally formed with the arch flat portion and connected to the arch flat portion at a portion of the string, the bow The shape flat portion is thermally coupled to the low temperature cooling stage through the first bent portion, wherein the arc portion of the bow flat portion defines the outer edge of the cryopanel member when viewed in the direction of the cryopump central axis,

각 크라이오패널부재의 상기 활형상 평탄부의 상기 현의 잔부의 형상이, 상기 냉동기와 간섭하지 않으며 상기 2개의 크라이오패널부재를 서로 교환 가능하게 하도록 정해져 있는 것을 특징으로 하는 크라이오펌프.A cryopump, wherein the shape of the remainder of the chord of the bow-shaped flat portion of each cryopanel member is determined so that the two cryopanel members are interchangeable without interfering with the refrigerator.

2. 상기 2개의 크라이오패널부재에 각각 대응하는 2개의 장착면을 더 구비하고, 상기 제1 절곡부가, 대응하는 장착면에 장착되며,2. further comprising two mounting surfaces respectively corresponding to the two cryopanel members, wherein the first bent portion is mounted to the corresponding mounting surface,

각 크라이오패널부재는, 상기 활형상 평탄부와 일체형성되고, 상기 현의 잔부의 적어도 일부에서 상기 활형상 평탄부와 접속된 제2 절곡부를 구비하고, 상기 제2 절곡부는, 상기 현의 방향에서 상기 장착면으로부터 벗어나 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 실시형태 1에 기재된 크라이오펌프.Each cryopanel member is integrally formed with the bow-shaped flat portion and has a second bent portion connected to the bow-shaped flat portion at least in part of the remainder of the string, wherein the second bent portion is in the direction of the string. The cryopump according to the first embodiment of the present invention, wherein the cryopump according to the first embodiment is arranged to deviate from the mounting surface.

3. 상기 제2 절곡부는, 상기 현의 잔부의 전체길이에 걸쳐 상기 활형상 평탄부와 접속되고, 상기 현의 방향으로 상기 제1 절곡부와 연속되어 있는 것을 특징으로 하는 실시형태 2에 기재된 크라이오펌프.3. Said 2nd bend part is connected with the said bow-shaped flat part over the whole length of the remainder of the said string, and is continuous with the said 1st bend part in the direction of the said string, The cry described in Embodiment 2 characterized by the above-mentioned O pump.

4. 상기 2개의 크라이오패널부재는, 동일한 부품으로서 설계되어 있는 것을 특징으로 하는 실시형태 1 내지 3 중 어느 하나에 기재된 크라이오펌프.4. The cryopump according to any one of embodiments 1 to 3, wherein the two cryopanel members are designed as the same component.

5. 상기 2개의 크라이오패널부재의 간격은, 상기 현의 방향에 있어서 어느 위치에서도, 상기 2개의 크라이오패널부재의 사이에 상기 저온냉각스테이지를 삽입 가능하게 하는 크기로 정해져 있는 것을 특징으로 하는 실시형태 1 내지 4 중 어느 하나에 기재된 크라이오펌프.5. The distance between the two cryopanel members is set to a size that allows the low temperature cooling stage to be inserted between the two cryopanel members at any position in the direction of the strings. The cryopump according to any one of embodiments 1 to 4.

6. 상기 2개의 크라이오패널부재의 간격은, 상기 현의 방향에 있어서 현의 전체길이에 걸쳐 일정한 것을 특징으로 하는 실시형태 5에 기재된 크라이오펌프.6. The cryopump according to Embodiment 5, wherein the distance between the two cryopanel members is constant over the entire length of the string in the direction of the string.

7. 상기 제1 절곡부는, 상기 활형상 평탄부에 대하여 상방으로 절곡되어 있고, 체결부재를 통과시키는 구멍을 가지며,7. The first bent portion is bent upward with respect to the bow-shaped flat portion and has a hole for passing the fastening member.

상기 구멍은, 상기 현과 상기 제1 절곡부의 상변과의 사이에서 상기 상변에 근접하여 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 실시형태 1 내지 6 중 어느 하나에 기재된 크라이오펌프.The hole is a cryopump according to any one of Embodiments 1 to 6, wherein the hole is disposed close to the upper side between the string and the upper side of the first bent portion.

8. 상기 냉동기의 상기 고온냉각스테이지 및 저온냉각스테이지는, 상기 크라이오펌프중심축에 수직인 방향으로 배열되고,8. The high temperature cooling stage and the low temperature cooling stage of the refrigerator are arranged in a direction perpendicular to the cryopump central axis,

상기 크라이오펌프는, 상기 저온냉각스테이지에 지지되어 상기 저온냉각스테이지로부터 상기 크라이오펌프중심축에 수직인 방향으로 뻗어 있는 크라이오패널위치결정부재를 더 구비하며,The cryopump further includes a cryopanel positioning member which is supported by the cryogenic cooling stage and extends from the cryogenic cooling stage in a direction perpendicular to the cryopump central axis.

상기 크라이오패널위치결정부재는, 각 크라이오패널부재의 활형상 평탄부의 원호부의 중심을 상기 크라이오펌프중심축 상에 위치결정하도록 상기 2개의 크라이오패널부재를 지지하는 것을 특징으로 하는 실시형태 1 내지 7 중 어느 하나에 기재된 크라이오펌프.The cryopanel positioning member supports the two cryopanel members so as to position the center of the arc portion of the arcuate flat portion of each cryopanel member on the cryopump central axis. The cryopump according to any one of 1 to 7.

9. 고온냉각스테이지 및 저온냉각스테이지를 구비하는 냉동기와,9. Refrigerator with high temperature cooling stage and low temperature cooling stage;

상기 저온냉각스테이지에 열적으로 결합되고, 상기 저온냉각스테이지와 함께 상기 방사실드에 둘러싸인 저온크라이오패널부로서, 상기 크라이오펌프중심축을 사이에 두고 상기 저온냉각스테이지의 양측에 배치된 2개의 크라이오패널부재를 구비하는 저온크라이오패널부와,A low temperature cryopanel unit thermally coupled to the low temperature cooling stage and surrounded by the radiating shield together with the low temperature cooling stage, the two cryos arranged on both sides of the low temperature cooling stage with the cryopump central axis therebetween; A low temperature cryopanel unit having a panel member;

상기 2개의 크라이오패널부재에 각각 대응하는 2개의 장착면을 구비하며,Two mounting surfaces respectively corresponding to the two cryopanel members,

각 크라이오패널부재는, 원호부 및 현을 갖는 활형상 평탄부와, 상기 활형상 평탄부와 일체형성되어 상기 현의 일부에서 상기 활형상 평탄부와 접속된 제1 절곡부를 구비하고, 상기 제1 절곡부가, 대응하는 장착면에 장착되며, 상기 활형상 평탄부는, 상기 제1 절곡부를 통하여 상기 저온냉각스테이지에 열적으로 결합되고,Each cryopanel member includes an arch flat portion having an arc portion and a string, and a first bent portion integrally formed with the arch flat portion and connected to the arch flat portion at a portion of the string. A first bent portion is mounted on a corresponding mounting surface, the bow-shaped flat portion is thermally coupled to the low temperature cooling stage through the first bent portion,

각 크라이오패널부재의 상기 활형상 평탄부의 상기 현의 잔부의 형상이, 상기 냉동기와 간섭하지 않으며 상기 2개의 크라이오패널부재를 서로 교환 가능하게 하도록 정해지고,The shape of the remainder of the string of the bow-shaped flat portion of each cryopanel member is determined so as not to interfere with the refrigerator and to enable the two cryopanel members to be interchangeable with each other,

각 크라이오패널부재는, 상기 활형상 평탄부와 일체형성되고, 상기 현의 잔부의 적어도 일부에서 상기 활형상 평탄부와 접속된 제2 절곡부를 구비하며, 상기 제2 절곡부는, 상기 현의 방향에서 상기 장착면으로부터 벗어나 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 크라이오펌프.Each cryopanel member is integrally formed with the bow-shaped flat portion and has a second bent portion connected to the bow-shaped flat portion at least in part of the remainder of the string, wherein the second bent portion is the direction of the string. The cryopump characterized in that disposed in the off from the mounting surface.

10. 상기 크라이오펌프중심축의 방향에 있어서의 상기 저온냉각스테이지의 상단과 하단의 사이의 높이위치에서, 상기 크라이오펌프중심축을 사이에 두고 상기 저온냉각스테이지의 양측에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 실시형태 9에 기재된 크라이오펌프.10. It is arrange | positioned at both sides of the said cryogenic cooling stage with the said cryopump central shaft in the height position between the upper end and the lower end of the said cryocooling stage in the direction of the said cryopump central shaft. The cryopump according to the ninth embodiment.

11. 상기 활형상 평탄부의 원호부가, 상기 크라이오펌프중심축의 방향에서 보았을 때 당해 크라이오패널부재의 외측가장자리를 정하는 것을 특징으로 하는 실시형태 9 또는 10에 기재된 크라이오펌프.11. The cryopump according to the ninth or tenth aspect of the present invention, wherein the arc portion of the arch flat portion defines an outer edge of the cryopanel member when viewed from the direction of the cryopump central axis.

12. 상기 제2 절곡부는, 상기 현의 잔부의 전체길이에 걸쳐 상기 활형상 평탄부와 접속되고, 상기 현의 방향에서 상기 제1 절곡부와 연속되어 있는 것을 특징으로 하는 실시형태 9 내지 11 중 어느 하나에 기재된 크라이오펌프.12. The said 2nd bend part is connected with the said bow-shaped flat part over the full length of the remainder of the said string, and is continuous with the said 1st bend part in the direction of the said string, The embodiment 9-11 characterized by the above-mentioned. The cryopump according to any one of the above.

13. 상기 2개의 크라이오패널부재는, 동일한 부품으로서 설계되어 있는 것을 특징으로 하는 실시형태 9 내지 12 중 어느 하나에 기재된 크라이오펌프.13. The cryopump according to any one of embodiments 9 to 12, wherein the two cryopanel members are designed as the same component.

14. 상기 2개의 크라이오패널부재의 간격은, 상기 현의 방향에 있어서 어느 위치에서도, 상기 2개의 크라이오패널부재의 사이에 상기 저온냉각스테이지를 삽입 가능하게 하는 크기로 정해져 있는 것을 특징으로 하는 실시형태 9 내지 13 중 어느 하나에 기재된 크라이오펌프.14. The interval between the two cryopanel members is set to a size that allows the low temperature cooling stage to be inserted between the two cryopanel members at any position in the direction of the strings. The cryopump according to any one of embodiments 9 to 13.

15. 상기 2개의 크라이오패널부재의 간격은, 상기 현의 방향에 있어서 현의 전체길이에 걸쳐 일정한 것을 특징으로 하는 실시형태 14에 기재된 크라이오펌프.15. The cryopump according to Embodiment 14, wherein the distance between the two cryopanel members is constant over the entire length of the string in the direction of the string.

16. 상기 제1 절곡부는, 상기 활형상 평탄부에 대하여 상방으로 절곡되어 있고, 체결부재를 통과시키는 구멍을 가지며,16. The first bent portion is bent upward with respect to the bow-shaped flat portion and has a hole for passing the fastening member.

상기 구멍은, 상기 현과 상기 제1 절곡부의 상변의 사이에서 상기 상변에 근접하여 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 실시형태 9 내지 15 중 어느 하나에 기재된 크라이오펌프.The said hole is arrange | positioned near the said upper edge between the said string and the upper edge of a said 1st bending part, The cryopump in any one of embodiment 9-15 characterized by the above-mentioned.

17. 상기 냉동기의 상기 고온냉각스테이지 및 저온냉각스테이지는, 상기 크라이오펌프중심축에 수직인 방향으로 배열되고,17. The high temperature cooling stage and the low temperature cooling stage of the refrigerator are arranged in a direction perpendicular to the cryopump central axis,

상기 크라이오패널위치결정부재는, 각 크라이오패널부재의 활형상 평탄부의 원호부의 중심을 상기 크라이오펌프중심축 상에 위치결정하도록 상기 2개의 크라이오패널부재를 지지하는 것을 특징으로 하는 실시형태 9 내지 16 중 어느 하나에 기재된 크라이오펌프.The cryopanel positioning member supports the two cryopanel members so as to position the center of the arc portion of the arcuate flat portion of each cryopanel member on the cryopump central axis. The cryopump according to any one of 9 to 16.

10 크라이오펌프
12 흡기구
16 냉동기
24 제2 냉각스테이지
30 방사실드
62 크라이오패널부재
67 크라이오패널위치결정부재
68 장착면
75 활형상 평탄부
76 제1 절곡부
77 제2 절곡부
78 원호부
C 크라이오펌프중심축
79 현
87 체결부재
88 체결구멍
산업상 이용가능성
본 발명은, 크라이오펌프의 분야에 있어서의 이용이 가능하다.10 cryopump
12 intake vent
16 freezer
24 Second Cooling Stage
30 radiation shield
62 cryopanel members
67 cryopanel positioning member
68 mounting surface
75 arch flat
76 first bend
77 2nd bend
78 arc
C cryopump central axis
79 strings
87 Fastening Member
88 fastening hole
Industrial availability
The present invention can be used in the field of cryopumps.

Claims

A refrigerator having a high temperature cooling stage and a low temperature cooling stage,
A radiation shield thermally coupled to the high temperature cooling stage, extending in the direction of the cryopump central axis passing through the center of the cryopump suction port, and surrounding the low temperature cooling stage;
A low temperature cryopanel portion thermally coupled to the low temperature cooling stage and surrounded by the radiation shield together with the low temperature cooling stage, the height between an upper end and a lower end of the low temperature cooling stage in the direction of the cryopump central axis; A low temperature cryopanel portion having two cryopanel members disposed on both sides of the cryogenic cooling stage with the cryopump central shaft in position;
Each cryopanel member includes an arch flat portion having an arc portion and a string, and a first bent portion integrally formed with the arch flat portion and connected to the arch flat portion at a portion of the string, the bow The shape flat portion is thermally coupled to the low temperature cooling stage through the first bent portion, wherein the arc portion of the bow flat portion defines the outer edge of the cryopanel member when viewed in the direction of the cryopump central axis,
A cryopump, wherein the shape of the remainder of the chord of the bow-shaped flat portion of each cryopanel member is determined so that the two cryopanel members are interchangeable without interfering with the refrigerator.

The method of claim 1,
Further comprising two mounting surfaces respectively corresponding to the two cryopanel members, wherein the first bent portion is mounted to the corresponding mounting surface,
Each cryopanel member is integrally formed with the bow-shaped flat portion and has a second bent portion connected to the bow-shaped flat portion at least in part of the remainder of the string, wherein the second bent portion is in the direction of the string. The cryopump characterized in that disposed in the off from the mounting surface.

The method of claim 2,
The second bent portion is connected to the bow-shaped flat portion over the entire length of the remainder of the string and is continuous with the first bent portion in the direction of the string.

The method according to any one of claims 1 to 3,
The cryopump member is designed as the same component as the two cryopanel members.

The method according to any one of claims 1 to 4,
The distance between the two cryopanel members is set to a size that allows the low temperature cooling stage to be inserted between the two cryopanel members at any position in the direction of the strings. Pump.

The method of claim 5,
The cryopump of the two cryopanel members is constant over the entire length of the string in the direction of the string.

The method according to any one of claims 1 to 6,
The first bent portion is bent upward with respect to the bow-shaped flat portion, and has a hole for passing the fastening member.
The hole is disposed between the string and the upper side of the first bent portion close to the upper side, the cryopump.

The method according to any one of claims 1 to 7,
The high temperature cooling stage and the low temperature cooling stage of the refrigerator are arranged in a direction perpendicular to the cryopump central axis,
The cryopump further includes a cryopanel positioning member which is supported by the cryogenic cooling stage and extends from the cryogenic cooling stage in a direction perpendicular to the cryopump central axis.
The cryopanel positioning member supports the cryopanel member so as to position the center of the arc portion of the arcuate flat portion of each cryopanel member on the cryopump central axis. Pump.

A refrigerator having a high temperature cooling stage and a low temperature cooling stage,
A radiation shield thermally coupled to the high temperature cooling stage, extending in the direction of the cryopump central axis passing through the center of the cryopump suction port, and surrounding the low temperature cooling stage;
A low temperature cryopanel unit thermally coupled to the low temperature cooling stage and surrounded by the radiating shield together with the low temperature cooling stage, the two cryos arranged on both sides of the low temperature cooling stage with the cryopump central axis therebetween; A low temperature cryopanel unit having a panel member;
Two mounting surfaces respectively corresponding to the two cryopanel members,
Each cryopanel member includes an arch flat portion having an arc portion and a string, and a first bent portion integrally formed with the arch flat portion and connected to the arch flat portion at a portion of the string. A first bent portion is mounted on a corresponding mounting surface, the bow-shaped flat portion is thermally coupled to the low temperature cooling stage through the first bent portion,
The shape of the remainder of the string of the bow-shaped flat portion of each cryopanel member is determined so as not to interfere with the refrigerator and to enable the two cryopanel members to be interchangeable with each other,
Each cryopanel member is integrally formed with the bow-shaped flat portion and has a second bent portion connected to the bow-shaped flat portion at least in part of the remainder of the string, wherein the second bent portion is the direction of the string. The cryopump characterized in that disposed in the off from the mounting surface.