KR20190086970A - Sublimation purifying apparatus of organic compound having sensing function of inner tube - Google Patents

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Abstract

Disclosed in the present invention is an organic matter purifier having an inner tube present/non-present sensing function. In the present invention, a sensing part, which is applicable under a condition where a front surface of a main tube is coated at a high temperature, is installed on an end of an inner tube. Accordingly, the presence of the inner tube inside the organic matter purifier is first checked, and a replacement operation for the inner tube in a vacuum state is easily performed by applying a transfer device according to the checked result.

Description

인너튜브 유무 감지기능을 가지는 유기물 정제기{SUBLIMATION PURIFYING APPARATUS OF ORGANIC COMPOUND HAVING SENSING FUNCTION OF INNER TUBE}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to an organic material purifier for detecting the presence or absence of an inner tube,

본 발명은 유기물 정제기에 관한 것으로, 보다 상세하게는 유기물 정제기 내부에 인너튜브가 존재하고 있는지를 우선적으로 확인한 이후에 트랜스퍼 장치를 적용하여 진공상태에서 인너튜브에 대한 교체작업이 이루어질 수 있도록 하는 인너튜브 유무 감지 기능을 가지는 유기물 정제기에 관한 것이다.The present invention relates to an organic material purifier, and more particularly, to an organic material purifier for purifying an organic material purifier by first determining whether or not an inner tube exists in the organic material purifier, The present invention relates to an organic material purifier having a function of detecting presence or absence of an organic substance.

일반적으로, 유기물 정제기는 유기물 재료를 가열시키고 승화시켜 불순물을 분리하고 고순도의 정제품을 얻기 위하여 사용되는 것이며, 이러한 유기물 정제기는 진공으로 유지되는 프로세스 챔버의 외측 둘레에 다수의 히터들이 배치되고, 상기 프로세스 챔버를 형성하는 외측 관의 내부에는 석영관으로 이루어진 내측 관이 위치되며, 상기 내측 관의 내부에는 정제시키고자 하는 유기물 재료를 담은 석영 재료의 인너 튜브(Inner Tube)가 삽입되는 구조를 이룬 것이다.Generally, an organic material purifier is used for heating and sublimating an organic material to separate impurities and obtain purified products of high purity. In the organic purifier, a plurality of heaters are disposed around the outer periphery of a process chamber kept in vacuum, An inner tube made of quartz tube is positioned inside the outer tube forming the chamber, and an inner tube made of quartz material containing the organic material to be purified is inserted into the inner tube.

이때, 종래 유기물 정제기(100)에는 첨부된 도 1 내지 도 4에서와 같이, 트랜스퍼 장치(200)가 구비될 수 있고, 상기 트랜스퍼 장치(200)는 트랜스퍼 챔버(210)와, 히터(미도시), 로딩부(220), 언로딩부(230), 이동장치(240)로 구성된다.1 to 4, the transfer device 200 may include a transfer chamber 210, a heater (not shown) A loading unit 220, an unloading unit 230, and a mobile device 240.

상기 트랜스퍼 챔버(210)는 유기물 정제기(100)의 프로세스 챔버와 인너튜브(101)가 이동되는 경로를 형성하는 것으로, 상기 경로 상에는 상기 경로를 개폐하는 게이트 밸브(GV)가 설치된다.The transfer chamber 210 forms a path through which the process chamber of the organic material purifier 100 and the inner tube 101 are moved. A gate valve (GV) for opening and closing the path is provided on the path.

그리고, 상기 로딩부(220)는 상기 트랜스퍼 챔버(210)의 일측부에 설치되고, 상기 언로딩부(230)는 상기 트랜스퍼 챔버(210)의 타측부에 설치되는 것이다.The loading unit 220 is installed at one side of the transfer chamber 210 and the unloading unit 230 is installed at the other side of the transfer chamber 210.

이때, 상기 로딩부(220)는 상기 인너튜브(101)를 상기 트랜스퍼 챔버(210)로 로딩시킬 수 있으며, 상기 언로딩부(230)는 상기 인너튜브(101)를 상기 트랜스퍼 챔버(210)로 언로딩시킬 수 있는 것이다.The loading unit 220 may load the inner tube 101 into the transfer chamber 210 and the unloading unit 230 may transfer the inner tube 101 to the transfer chamber 210. [ It can be unloaded.

그리고, 상기 트랜스퍼 챔버(210) 상에는 전후로 이동되는 암(231)이 설치되는데, 상기 암(231)에는 인너튜브(101)가 위치될 수 있으며, 상기 암(231)은 체인에 의해 전후진될 수 있는 것이다. 그리고 상기 체인을 동작시키는 서보 모터(234)가 구비될 수 있다.An inner tube 101 may be positioned on the arm 231 and the arm 231 may be moved back and forth by a chain. It is. And a servo motor 234 for operating the chain.

상기 로딩부(220) 또는 상기 언로딩부(230)는 공통적으로 수직하게 설치되고 다른 서보 모터(235)의 회전에 의해 회전되는 볼스크류(233)가 설치된다. 상기 볼스크류(233)의 상단부에는 인너튜브(101)가 위치되는 영역이 형성되고, 볼스크류(233)의 회전에 의해 인너튜브(101)는 승강될 수 있다.The loading unit 220 or the unloading unit 230 is provided with a ball screw 233 installed vertically and rotated by the rotation of the other servo motor 235. The upper end of the ball screw 233 has an area where the inner tube 101 is positioned and the inner tube 101 can be moved up and down by the rotation of the ball screw 233. [

상기 이동 장치(240)는 로딩부(220)와 언로딩부(230)의 사이를 왕복할 수 있는 장치로서, 이는 상기 인너튜브(101)가 위치되는 스테이지(236)를 구비한다.The moving device 240 is a device capable of reciprocating between the loading part 220 and the unloading part 230 and has a stage 236 on which the inner tube 101 is positioned.

상기 스테이지(236)에는 가열기(236a)와 냉각기가 설치된다. 따라서, 가열존과 냉각존이 구획되어 설치된다. 상기 냉각기의 경우 별도의 냉각수 인라인(237) 및 아웃라인(238)을 통해 냉각을 이룬다.The stage 236 is provided with a heater 236a and a cooler. Therefore, the heating zone and the cooling zone are partitioned and installed. In the case of the cooler, cooling is achieved through separate cooling water in-line 237 and outline 238.

상기 이동 장치(240)에는 이동실린더(239)가 설치되며, 상기 이동실린더(239)는 스테이지(236)를 로딩부(220)와 트랜스퍼 챔버(210) 위치 또는 언로딩부(230)와 트랜스퍼 챔버(210) 위치 간 더블 이송을 이룬다.The moving device 240 is provided with a moving cylinder 239. The moving cylinder 239 moves the stage 236 between the loading part 220 and the transfer chamber 210 or between the unloading part 230 and the transfer chamber 230. [ (210) position.

따라서, 상기 트랜스퍼 장치(200)는 로딩부(220)로 인너튜브(130)가 로딩되면, 트랜스퍼 챔버(210)로 이동하여 가열 배기 및 가열한 이후 인너 튜브(101)를 유기물 정제기(100)의 프로세스 챔버로 투입시킨다.Accordingly, when the inner tube 130 is loaded into the loading unit 220, the transfer apparatus 200 moves to the transfer chamber 210, and after the heating and heating and heating, the inner tube 101 is moved to the inside of the organic purifier 100 Into the process chamber.

반면, 정제 공정 이후에 배출되는 상기 인너튜브(101)는 트랜스퍼 챔버(210)에서 진공 파기 후 냉각기를 통해 냉각 후 언로딩부(230)를 통해 외부로 언로딩이 이루어지는 것이다.Meanwhile, the inner tube 101 discharged after the purification process is unloaded from the transfer chamber 210 through the unloading unit 230 after being cooled through the cooler after vacuum evacuation.

그러나, 종래 유기물 정제기(100)에 트랜스퍼 장치(200)를 적용하는 경우, 진공중에 상기 인너튜브(101)의 교체가 가능하지만, 상기 인너튜브(100)의 교체시 충돌 및 파손 위험을 방지하기 위해서는, 상기 유기물 정제기(100)의 내부에 상기 인너튜브(101)가 있는지를 확인할 필요가 있지만, 종래에는 인너튜브(101)에 대한 존재 여부를 확인하는 방법이 개시되어 있지 않았다.However, when the transfer apparatus 200 is applied to the conventional organic purifier 100, it is possible to replace the inner tube 101 in a vacuum. However, in order to prevent the risk of collision and breakage upon replacement of the inner tube 100 It is necessary to confirm whether or not the inner tube 101 is present inside the organic substance purifier 100. However, there has not been disclosed a method for confirming the presence of the inner tube 101 in the conventional art.

즉, 유기물 정제기(100)의 내부는 메인튜브(석영재질)로 감싸져 있고, 그 속에 상기 인너튜브(101)가 들어가게 되는데, 종래에는 유기물 정제중 300℃ 이상의 고열 상태에서 유기물질이 메인튜브의 전면에 코팅되기 때문에, 상기 인너튜브(101)에 대한 존재 여부를 제대로 감지할 수 없었고, 이에따라 트랜스퍼 장치(200)를 적용하여 진공상태에서 상기 인너튜브(101)에 대한 교체작업이 제대로 이루어질 수 없었던 것이다.That is, the interior of the organic purifier 100 is surrounded by a main tube (quartz material), and the inner tube 101 is contained therein. Conventionally, in an organic material purification, It is impossible to properly detect the presence of the inner tube 101. Accordingly, when the transfer device 200 is applied to replace the inner tube 101 in a vacuum state, will be.

등록특허공보 제10-1479720호(공고일 2015.01.08)Patent Registration No. 10-1479720 (Published date 2015.01.08)

공개특허공보 제10-2017-0123988호(공개일 2017.11.09)Published Japanese Patent Application No. 10-2017-0123988 (Publication date 2017.11.09)

공개특허공보 제10-2017-0124145호(공개일 2017.11.10)Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-2017-0124145 (Publication date 2017.11.10)

따라서, 본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 개선하기 위한 것으로, 고온에서 메인튜브 전면이 코팅되는 조건에서도 적용 가능한 감지부를 인너튜브의 끝부분에 설치함으로써, 유기물 정제기 내부에 인너튜브가 존재하고 있는지를 우선적으로 확인하고 그 확인결과에 따라 트랜스퍼 장치를 적용하여 진공상태에서 인너튜브에 대한 교체작업이 손쉽게 이루어질 수 있도록 하는 인너튜브 유무 감지 기능을 가지는 유기물 정제기를 제공함에 그 목적이 있는 것이다.DISCLOSURE Technical Problem Accordingly, the present invention has been made to solve the above-mentioned problems occurring in the prior art, and it is an object of the present invention to provide a sensing unit, And an object of the present invention is to provide an organic material purifier having an inner tube presence / absence detecting function that can easily perform a replacement operation with respect to an inner tube in a vacuum state by applying a transfer device according to a result of the confirmation.

상기 목적 달성을 위한 본 발명의 인너튜브 유무 감지 기능을 가지는 유기물 정제기는, 로딩부에 의해 인너튜브가 로딩시에는 트랜스퍼 챔버로 이동하여 가열 배기 및 가열한 이후 프로세트 챔버로 상기 인너튜브를 투입하고, 정제 공정 이후에 배출되는 상기 인너튜브는 트랜스퍼 챔버에서 진공 파기 후 냉각기를 통해 냉각 후 언로딩부를 통해 외부로 언로딩시키는 트랜스퍼 장치를 적용하여둔 유기물 정제기를 구성하되, 상기 유기물 정제기의 내부는 석영재질로 이루어지는 메인튜브에 의해 감싸지도록 구성하고, 상기 메인튜브에 상기 인너튜브를 삽입 구성하며, 상기 인너튜브의 일단 끝부분에는 고온에서 상기 메인튜브의 전면이 코팅되는 조건에서도 상기 인너튜브의 삽입 유무를 감지하기 위한 튜브 감지부가 접촉되도록 구성하는 것이다.In order to accomplish the above object, the present invention provides an organic purifier having an inner tube presence / absence detecting function, wherein the inner tube is moved to a transfer chamber when the inner tube is loaded by the loading unit, heated and exhausted, And a transfer device for unloading the inner tube through the unloading part after cooling through the cooler after vacuum disposal in the transfer chamber after the purification process is applied, wherein the inside of the organic material purifier is made of quartz And the inner tube is inserted into the main tube. At the end of the inner tube, even if the front surface of the main tube is coated at a high temperature, And the tube sensing unit for sensing the tube is contacted.

또한, 상기 인너튜브는 그 전방측에 원료인 유기질 재료가 투입되는 제 1 튜브가 위치되고, 상기 제 1 튜브의 후방측으로 연결되어 정제품이 정제되어 담기는 제 2 튜브가 위치되며, 상기 제 2 튜브의 후방측으로 연결되어 불순물이 정제되어 담기는 제 3 튜브를 구비하되, 상기 제 3 튜브는 상기 메인튜브로부터 인출 구성하고, 상기 메인튜브로부터 인출되는 상기 제 3 튜브의 하부면에 상기 튜브 감지부가 접촉되도록 구성하는 것이다.In addition, the inner tube has a first tube in which the organic material as a raw material is placed, a second tube connected to the rear side of the first tube to refine and refine the purified product, And the third tube is drawn out from the main tube, and the tube sensing part contacts the lower surface of the third tube drawn out from the main tube, .

또한, 상기 튜브 감지부는, 전기적신호를 발생시키는 본체부 및, 상기 본체부의 상면에 형성되는 접촉프레임을 포함하는 컨텍스위치인 것이다.The tube sensing unit is a contact switch including a main body for generating an electrical signal and a contact frame formed on an upper surface of the main body.

이와 같이, 본 발명의 인너튜브 유무 감지 기능을 가지는 유기물 정제기는 고온에서 메인튜브 전면이 코팅되는 조건에서도 적용 가능한 감지부를 인너튜브의 끝부분에 설치 구성한 것이며, 이를 통해 유기물 정제기 내부에 인너튜브가 존재하고 있는지를 우선적으로 확인하고 그 확인결과에 따라 트랜스퍼 장치를 적용하여 진공상태에서 인너튜브에 대한 교체작업이 손쉽게 이루어지는 효과를 기대할 수 있는 것이다.As described above, the organic purifier having the function of detecting the presence or absence of the inner tube according to the present invention is configured such that the sensing part is installed at the end of the inner tube even under the condition that the surface of the main tube is coated at high temperature. And the transfer device is applied according to the confirmation result, so that the effect of easily replacing the inner tube in the vacuum state can be expected.

본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The effects of the present invention are not limited to the effects mentioned above, and other effects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the description of the claims.

도 1은 종래 트랜스퍼 장치가 적용된 유기물 정제기의 평면도.
도 2는 종래 트랜스퍼 장치가 적용된 유기물 정제기의 정면도.
도 3은 종래 트랜스퍼 장치의 언로딩부에 대한 확대도.
도 4는 종래 트랜스퍼 장치의 이동장치에 대한 확대도.
도 5는 본 발명의 실시예로 인너튜브 유무 감지기능을 가지는 유기물 정제기에 대한 구조도.
도 6은 본 발명의 실시예로 컨텍스위치의 구조도.
도 7은 본 발명의 실시예로 컨텍스위치의 설치상태를 보인 확대사시도.
도 8은 본 발명의 실시예로 컨텍스위치의 설치상태를 보인 정면 개략도.1 is a plan view of an organic material purifier to which a conventional transfer device is applied.
2 is a front view of an organic material purifier to which a conventional transfer device is applied.
3 is an enlarged view of an unloading portion of a conventional transfer apparatus;
4 is an enlarged view of a transfer device of a conventional transfer device.
5 is a structural view of an organic material purifier having an inner tube presence / absence detection function according to an embodiment of the present invention.
6 is a structural view of a contact switch according to an embodiment of the present invention.
7 is an enlarged perspective view showing the state of installation of a contact switch according to an embodiment of the present invention.
8 is a front schematic view showing the state of installation of a contact switch according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명 기술적 사상의 실시예에 있어서 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명 기술적 사상의 실시예에 있어서 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The advantages and features of the present invention, and how to accomplish them, will become apparent by reference to the embodiments described in detail below with reference to the accompanying drawings. However, it should be understood that the present invention is not limited to the disclosed embodiments, but may be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. It will be understood by those of ordinary skill in the art that various changes in form and detail may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다.The terminology used herein is for the purpose of illustrating embodiments and is not intended to be limiting of the present invention. In the present specification, the singular form includes plural forms unless otherwise specified in the specification.

본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.In this specification, the terms "comprises" or "having ", and the like, specify that the presence of stated features, integers, steps, operations, elements, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

또한, 본 명세서에서 기술하는 실시예들은 본 발명의 이상적인 예시도인 단면도 및/또는 평면도들을 참고하여 설명될 것이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니라 필요한 형태의 변화도 포함하는 것이다. 예를 들면, 직각으로 도시된 영역은 라운드 지거나 소정 곡률을 가지는 형태일 수 있다. 따라서, 도면에서 예시된 영역들은 개략적인 속성을 가지며, 도면에서 예시된 영역들의 모양은 장치의 영역의 특정 형태를 예시하기 위한 것이며 발명의 범주를 제한하기 위한 것이 아니다.In addition, the embodiments described herein will be described with reference to cross-sectional views and / or plan views, which are ideal illustrations of the present invention. Accordingly, the embodiments of the present invention are not limited to the specific forms shown but also include changes in necessary forms. For example, the area shown at right angles may be rounded or may have a shape with a certain curvature. Thus, the regions illustrated in the figures have schematic attributes, and the shapes of the regions illustrated in the figures are intended to illustrate specific forms of regions of the apparatus and are not intended to limit the scope of the invention.

명세서 전문에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. 따라서, 동일한 참조 부호 또는 유사한 참조 부호들은 해당 도면에서 언급 또는 설명되지 않았더라도, 다른 도면을 참조하여 설명될 수 있다. 또한, 참조 부호가 표시되지 않았더라도, 다른 도면들을 참조하여 설명될 수 있다.Like reference numerals refer to like elements throughout the specification. Accordingly, although the same reference numerals or similar reference numerals are not mentioned or described in the drawings, they may be described with reference to other drawings. Further, even if the reference numerals are not shown, they can be described with reference to other drawings.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하기로 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 5는 본 발명의 실시예로 인너튜브 유무 감지기능을 가지는 유기물 정제기에 대한 구조도이고, 도 6은 본 발명의 실시예로 컨텍스위치의 구조도이며, 도 7은 본 발명의 실시예로 컨텍스위치의 설치상태를 보인 확대사시도이고, 도 8은 본 발명의 실시예로 컨텍스위치의 설치상태를 보인 정면 개략도를 도시한 것이다.FIG. 5 is a structural view of an organic material purifier having an inner tube presence / absence detection function according to an embodiment of the present invention. FIG. 6 is a structural view of a contact switch according to an embodiment of the present invention. FIG. 8 is a schematic front view showing the installation state of a contact switch according to an embodiment of the present invention. FIG.

첨부된 도 5 내지 도 8을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 인너튜브 유무 감지기능을 가지는 유기물 정제기는, 로딩부(220)에 의해 인너튜브(101)가 로딩시에는 트랜스퍼 챔버(210)로 이동하여 가열 배기 및 가열한 이후 트랜스퍼 챔버(210)로 상기 인너튜브(101)를 투입하고, 정제 공정 이후에 배출되는 상기 인너튜브(101)는 트랜스퍼 챔버(210)에서 진공 파기 후 냉각기를 통해 냉각 후 언로딩부(230)를 통해 외부로 언로딩시키는 트랜스퍼 장치(200)를 적용하여둔 유기물 정제기(100)에서, 상기 유기물 정제기(100)의 내부는 석영재질로 이루어지는 메인튜브(102)에 의해 감싸지도록 구성하되, 상기 메인튜브(102)에 상기 인너튜브(101)를 삽입 구성하고, 상기 인너튜브(101)의 일단 끝부분에 고온에서 상기 메인튜브(102)의 전면이 코팅되는 조건에서도 상기 인너튜브(101)의 삽입 유무를 감지하기 위한 튜브 감지부(10)가 접촉되도록 구성하여둔 것이다.5 to 8, the organic purifier having the inner tube presence / absence detecting function according to the embodiment of the present invention is characterized in that when the inner tube 101 is loaded by the loading unit 220, the transfer chamber 210, The inner tube 101 is discharged from the transfer chamber 210 after the purification process and is then discharged through the cooler after vacuum evacuation in the transfer chamber 210. [ The inside of the organic purifier 100 is connected to a main tube 102 made of a quartz material, and the inside of the organic purifier 100 is connected to a transfer device 200 for unloading the unloader 230 The inner tube 101 is inserted into the main tube 102 and the outer surface of the main tube 102 is coated with a high temperature at one end of the inner tube 101 The inner tube (101) And the tube sensing unit 10 for sensing whether or not the sensor is inserted.

이때, 상기 인너튜브(101)는 그 전방측에 원료인 유기질 재료가 투입되는 제 1 튜브(101a)가 위치되고, 상기 제 1 튜브(101a)의 후방측으로 연결되어 정제품이 정제되어 담기는 제 2 튜브(101b)가 위치되며, 상기 제 2 튜브(101b)의 후방측으로 연결되어 불순물이 정제되어 담기는 제 3 튜브(101c)를 구비한 것이고, 상기 제 3 튜브(101c)는 상기 메인튜브(102)로부터 인출 구성하고, 상기 메인튜브(102)로부터 인출되는 상기 제 3 튜브(101c)의 하부면에 상기 튜브 감지부(10)가 접촉되도록 구성하여둔 것이다.At this time, the inner tube 101 has a first tube 101a into which the organic material as a raw material is placed, and is connected to the rear side of the first tube 101a to refine the refined product, And the third tube 101c is connected to the rear side of the second tube 101b and contains impurities purified and the third tube 101c includes the main tube 102b And the tube sensing portion 10 is configured to be brought into contact with the lower surface of the third tube 101c drawn out from the main tube 102. [

여기서, 상기 튜브 감지부(10)는 전기적신호를 발생시키는 본체부(11) 및, 상기 본체부(11)의 상면에 형성되는 접촉프레임(12)을 포함하는 컨텍스위치인 것이다.The tube sensing unit 10 is a contact switch including a main body 11 for generating an electrical signal and a contact frame 12 formed on an upper surface of the main body 11. [

이와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 인너튜브 유무 감지기능을 가지는 유기물 정제기는 첨부된 도 1 내지 도 8에서와 같이, 우선 유기물 정제기(100)의 내부를 석영재질로 이루어진 메인튜브(102)가 감싸지도록 한 상태에서, 상기 메인튜브(102)에 인너튜브(101)를 삽입하여둔다.As shown in FIGS. 1 to 8, an organic material purifier having an inner tube presence / absence detecting function according to an embodiment of the present invention includes a main tube 102 made of quartz, The inner tube 101 is inserted into the main tube 102 while being wrapped.

이때, 상기 인너튜브(101)는 제 1,2 3 튜브(101a)(101b)(101c)로 이루어져 있으므로, 상기 제 3 튜브(101c)를 상기 메인튜브(102)로부터 돌출 구성하여둔다.At this time, since the inner tube 101 is composed of the first and second three tubes 101a, 101b, and 101c, the third tube 101c is protruded from the main tube 102. [

이후, 상기 메인튜브(102)로부터 인출되는 상기 제 3 튜브(101c)의 하부면에 본체부(11)와 접촉프레임(12)으로 이루어진 컨텍스위치 즉, 튜브 감지부(10)를 접촉시켜둔다.A contact switch or a contact switch 12, that is, the tube sensing unit 10, is brought into contact with the lower surface of the third tube 101c drawn out from the main tube 102.

그러면, 상기 인너튜브(101)를 이루는 전방측의 제 1 튜브(101a)에는 원료인 유기질 재료가 투입되고, 상기 인너튜브(101)를 이루는 제 2 튜브(101b)에는 정제품이 정제되어 담기게 되며, 상기 인너튜브(101)를 이루는 제 3 튜브(101c)에는 불순물이 정제되어 담기게 된다.The raw material organic material is introduced into the first tube 101a forming the inner tube 101 and the refined product is refined and contained in the second tube 101b constituting the inner tube 101 And the third tube 101c constituting the inner tube 101 is refined with impurities.

이때, 상기 제 3 튜브(101c)의 하부면에는 튜브 감지부(10)의 접촉프레임(12)이 접촉되어 있으므로, 상기 튜브 감지부(10)는 상기 유기물 정제기(100)의 유기물 재료 정제중 300℃ 이상의 고열 상태에서 유기물질이 상기 메인튜브(102)의 전면에 코팅되어 있더라도, 상기 인너튜브(101)가 상기 메인튜브(102)의 내부에 삽입되어 있음을 감지하게 되면서, 상기 유기물 정제기(100)에 연결 설치되는 트랜스퍼 장치(200)는 상기 인너튜브(101)의 이동경로를 제공할 수 있는 것이다.In this case, since the contact frame 12 of the tube sensing part 10 is in contact with the lower surface of the third tube 101c, the tube sensing part 10 senses 300 Even when the organic material is coated on the front surface of the main tube 102 in a high temperature state such as the temperature of the organic material purifier 100 The transfer device 200 can be provided with a path for moving the inner tube 101.

즉, 상기 트랜스퍼 장치(200)에서 게이트 밸브(GV)가 개방시, 상기 트랜스퍼 장치(200)에 포함되는 로딩부(220)는 상기 인너튜브(101)를 상기 트랜스퍼 챔버(210)로 로딩시키고, 상기 트랜스퍼 장치(200)에 포함되는 언로딩부(230)는 인너튜브(101)를 상기 트랜스퍼 챔버(210)로 언로딩시킨다.That is, when the gate valve GV is opened in the transfer apparatus 200, the loading unit 220 included in the transfer apparatus 200 loads the inner tube 101 into the transfer chamber 210, The unloading unit 230 included in the transfer device 200 unloads the inner tube 101 into the transfer chamber 210.

이에따라, 상기 로딩부(220)에 의해 인너튜브(101)가 로딩시에는 트랜스퍼 챔버(210)로 이동하여 가열 배기 및 가열한 이후 트랜스퍼 챔버(210)로 상기 인너튜브(101)를 투입하고, 정제 공정 이후에 배출되는 상기 인너튜브(101)는 트랜스퍼 챔버(210)에서 진공 파기 후 냉각기를 통해 냉각 후 언로딩부(230)를 통해 외부로 언로딩이 이루어질 수 있게 되는 것이다.When the inner tube 101 is loaded by the loading unit 220, the inner tube 101 is moved to the transfer chamber 210 and heated and exhausted. Then, the inner tube 101 is charged into the transfer chamber 210, The inner tube 101 discharged after the process is cooled through the cooler after vacuum evacuation in the transfer chamber 210, and then unloaded to the outside through the unloading unit 230.

이상에서 본 발명의 인너튜브 유무 감지기능을 가지는 유기물 정제기에 대한 기술사상을 첨부도면과 함께 서술하였지만, 이는 본 발명의 가장 양호한 실시예를 예시적으로 설명한 것이지 본 발명을 한정하는 것은 아니다.While the present invention has been described in connection with the accompanying drawings, it is to be understood that the scope of the present invention is not limited to the disclosed embodiments.

따라서, 본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와같은 변경은 청구범위 기재의 범위내에 있게 된다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. It is to be understood that such changes and modifications are within the scope of the claims.

10; 튜브 감지부 11; 본체부
12; 접촉프레임 100; 유기물 정제기
101; 인너튜브 101a; 제 1 튜브
101b; 제 2 튜브 101c; 제 3 튜브
102; 메인튜브 200; 트랜스퍼 장치10; A tube detection unit 11; The body portion
12; Contact frame 100; Organic Purifier
101; Inner tube 101a; The first tube
101b; A second tube 101c; The third tube
102; A main tube 200; Transfer device

Claims (3)

로딩부에 의해 인너튜브가 로딩시에는 트랜스퍼 챔버로 이동하여 가열 배기 및 가열한 이후 프로세트 챔버로 상기 인너튜브를 투입하고, 정제 공정 이후에 배출되는 상기 인너튜브는 트랜스퍼 챔버에서 진공 파기 후 냉각기를 통해 냉각 후 언로딩부를 통해 외부로 언로딩시키는 트랜스퍼 장치를 적용하여둔 유기물 정제기를 구성하되,
상기 유기물 정제기의 내부는 석영재질로 이루어지는 메인튜브에 의해 감싸지도록 구성하고,
상기 메인튜브에 상기 인너튜브를 삽입 구성하며,
상기 인너튜브의 일단 끝부분에는 고온에서 상기 메인튜브의 전면이 코팅되는 조건에서도 상기 인너튜브의 삽입 유무를 감지하기 위한 튜브 감지부가 접촉되도록 구성하는 것을 특징으로 하는 인너튜브 유무 감지 기능을 가지는 유기물 정제기.When the inner tube is loaded by the loading part, the inner tube is moved to the transfer chamber, and after heating and heating, the inner tube is inserted into the proset chamber, and after the purification process, the inner tube is evacuated from the transfer chamber, And a unloading unit for unloading the unloading unit,
The inside of the organic material purifier is configured to be surrounded by a main tube made of a quartz material,
The inner tube is inserted into the main tube,
And a tube sensing unit for sensing whether or not the inner tube is inserted is contacted at one end of the inner tube even under a condition that the front surface of the main tube is coated at a high temperature. . 제 1 항에 있어서,
상기 인너튜브는 그 전방측에 원료인 유기질 재료가 투입되는 제 1 튜브가 위치되고, 상기 제 1 튜브의 후방측으로 연결되어 정제품이 정제되어 담기는 제 2 튜브가 위치되며, 상기 제 2 튜브의 후방측으로 연결되어 불순물이 정제되어 담기는 제 3 튜브를 구비하되,
상기 제 3 튜브는 상기 메인튜브로부터 인출 구성하고, 상기 메인튜브로부터 인출되는 상기 제 3 튜브의 하부면에 상기 튜브 감지부가 접촉되도록 구성하는 것을 특징으로 하는 인너튜브 유무 감지 기능을 가지는 유기물 정제기.The method according to claim 1,
The inner tube has a first tube to which the organic material as a raw material is introduced and a second tube to which the refined product is refined and connected to the rear side of the first tube, And the third tube is filled with the impurities,
Wherein the third tube is configured to be withdrawn from the main tube, and the tube sensing part is brought into contact with a lower surface of the third tube drawn out from the main tube. 제 2 항에 있어서,
상기 튜브 감지부는, 전기적신호를 발생시키는 본체부 및, 상기 본체부의 상면에 형성되는 접촉프레임을 포함하는 컨텍스위치인 것을 특징으로 하는 인너튜브 유무 감지 기능을 가지는 유기물 정제기.3. The method of claim 2,
Wherein the tube sensing unit is a contact switch including a main body for generating an electrical signal and a contact frame formed on an upper surface of the main body.
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