KR101859271B1 - Apparatus for purifying organic compound by sublimation - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 일정크기의 프레임; 상기 프레임의 상부측에 위치되어 이중 진공챔버로서 보호되고, 유기물 재료가 내부에 담기는 프로세스 챔버를 구비하며, 상기 프로세스 챔버의 외측에서 히터를 통하여 프로세스 챔버 내의 유기물 재료를 가열시켜 불순물을 분리하는 정제 처리부; 상기 정제 처리부의 프로세스 챔버 내부에 삽입되고, 그 폭이 높이보다 크게 이루어진 단면으로 형성되며, 내부에는 유기물 재료가 담겨서 정제품과 불순물을 분리시키는 인너 튜브; 상기 정제 처리부의 이중 진공 챔버중 외측 진공챔버에 저압의 진공압을 부여하는 저진공 펌프를 구비하여 외부의 대기압으로부터 프로세스 챔버를 분리시키는 저진공 처리부; 및 상기 정제 처리부의 프로세스 챔버에 고압의 진공압을 부여하는 고진공 펌프를 구비하여 프로세스 챔버를 진공처리하는 고진공 처리부;를 포함하는 유기물 정제장치를 제공한다. 본 발명의 유기물 정제장치에 의하면 인너 튜브에 담긴 유기질 재료의 승화 표면적이 크게 증가되어 적어도 2배 이상 종래의 구조에 비하여 열효율 및 정제 효율을 크게 향상시킬 수 있고, 유기물 재료의 국소적인 온도 편차를 최소화시켜서 유기물 재료의 변질을 방지하고 순도 높은 정제품을 생산할 수 있으며, 대량 정제처리에도 적합한 우수한 효과를 얻는다.A frame of a predetermined size; A processing chamber disposed on the upper side of the frame and protected as a double vacuum chamber and containing an organic material therein; and a heating unit for heating the organic material in the process chamber through a heater outside the process chamber to remove impurities A processor; An inner tube inserted into the process chamber of the refining unit and having a width larger than a height, the inner tube containing an organic material to separate the purified product from impurities; A low vacuum processing unit for separating the process chamber from an external atmospheric pressure by providing a low vacuum pump for applying low pressure vacuum pressure to the external vacuum chamber of the double vacuum chamber of the purification processing unit; And a high vacuum pump for applying a vacuum pressure of a high pressure to the process chamber of the purification unit to vacuum process the process chamber. According to the organic substance refining apparatus of the present invention, the sublimation surface area of the organic material contained in the inner tube is greatly increased, so that the thermal efficiency and the purification efficiency can be greatly improved at least twice as compared with the conventional structure and the local temperature deviation of the organic material is minimized To prevent the deterioration of the organic material and to produce a purified product with high purity and to obtain an excellent effect suitable for mass purification treatment.

Description

유기물 정제장치{APPARATUS FOR PURIFYING ORGANIC COMPOUND BY SUBLIMATION}[0001] APPARATUS FOR PURIFYING ORGANIC COMPOUND BY SUBLIMATION [0002]

본 발명은 유기물 재료의 물성 변화 온도차이를 이용하여 불순물을 승화 정제시키는 장치에 관한 것으로, 보다 상세히는 이중 진공 챔버 구조의 프로세스 챔버(Process Chamber)내에서 그 폭이 높이보다 현저하게 큰 직사각형 단면의 인너 튜브(Inner Tube)를 적용함으로써 유기질 재료의 승화 표면적을 크게 증가시켜서 정제 효율을 크게 향상시키고, 유기물 재료의 온도 편차에 따른 재료 변질을 효과적으로 방지할 수 있으며, 유기물의 대량 정제처리에 적합함은 물론, 프로세스 챔버의 파손을 방지하여 유지보수 비용을 크게 절감시킬 수 있도록 개선된 유기물 정제장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for sublimating and purifying impurities using a temperature change of a material property of an organic material, and more particularly, to an apparatus for sublimating and purifying an impurity by using an organic material having a rectangular cross section having a width larger than a height in a process chamber of a double vacuum chamber structure By applying the Inner Tube, the sublimation surface area of the organic material can be greatly increased, the purification efficiency can be greatly improved, the deterioration of the material due to the temperature variation of the organic material can be effectively prevented, and it is suitable for the mass purification treatment of the organic material Of course, the present invention relates to an improved organic purification apparatus capable of preventing the breakage of the process chamber and greatly reducing the maintenance cost.

일반적으로 유기물 정제장치는 유기물 재료를 가열시키고, 승화시켜서 불순물을 분리하고 고순도의 정제품을 얻기 위하여 사용된다.In general, an organic material refining apparatus is used to heat and sublimate an organic material to separate impurities and obtain purified products of high purity.

종래의 유기물 정제장치(1)는 도 1에 도시된 바와 같이, 진공으로 유지되는 프로세스 챔버(10)의 외측 둘레에 다수의 히터(20)들이 배치되고, 상기 프로세스 챔버(10)를 형성하는 외측 관(12)의 내부에는 석영관으로 이루어진 내측 관(30)이 위치되며, 상기 내측 관(30)의 내부에는 정제시키고자 하는 유기물 재료(40)를 담은 석영 재료의 인너 튜브(Inner Tube)(50)가 삽입된 구조이다.1, a conventional organic purification apparatus 1 includes a plurality of heaters 20 disposed around an outer periphery of a process chamber 10 kept in a vacuum state, and a plurality of heaters 20 disposed outside of the process chamber 10 forming the process chamber 10 An inner tube 30 made of a quartz tube is positioned inside the tube 12 and an inner tube 30 made of quartz material containing an organic material 40 to be purified 50) are inserted.

이와 같은 종래의 유기물 정제장치(1)는 외측 관(12)을 에워싸는 히터(20)를 이용하여 외측 관(12)의 길이방향으로 온도 구배를 형성하여 각각 다른 온도로 가열시키게 된다. In the conventional organic material purification apparatus 1, a temperature gradient is formed in the longitudinal direction of the outer tube 12 by using the heater 20 surrounding the outer tube 12, and the temperature is heated to different temperatures.

이와 같은 종래의 유기물 정제장치(1)의 기본적인 작동은 석영관으로 이루어진 인너 튜브(50)의 내부에 원료인 유기질 재료(40)를 투입하고, 내측 관(30)과 인너 튜브(50)를 외측 관(12)의 내부로 삽입한다. The basic operation of the conventional organic material refining apparatus 1 is such that the organic material 40 as a raw material is charged into the inner tube 50 made of quartz and the inner tube 30 and the inner tube 50 are placed outside Into the inside of the pipe (12).

그리고 외측 관(12)의 내부, 즉 프로세스 챔버(Process Chamber)(10)를 진공 배기하고, 외측 관(12)을 통해서 히터(20)로 가열시키면, 인너 튜브(50)에 담긴 유기물 재료(40)가 프로세스 챔버(10)내에서 승화되어 정제품(60)과 불순물(70)로 정제된다. When the inside of the outer tube 12, that is, the process chamber 10 is evacuated and heated by the heater 20 through the outer tube 12, the organic material 40 Is sublimated in the process chamber 10 and purified to a refined product 60 and an impurity 70.

여기서, 외측 관(12)을 길이방향으로 온도 구배를 주어서 가열시키는 이유는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 프로세스 챔버(10)의 내부에 온도 구배, 예를 들면 400℃ 구간, 250℃ 구간, 100℃ 구간별로 온도 구배를 형성시키고, 유기물 재료(40)를 승화시켜 이러한 온도 구배에 따라 각각의 내측 관(30)에 정제품(60)과 불순물(70)을 각각 분리 정제시키기 위함이다. The reason why the outer tube 12 is heated with a temperature gradient in the longitudinal direction is that the temperature gradient in the interior of the process chamber 10, for example, 400 deg. C, 250 deg. C, The temperature gradient is formed for each 100 ° C section and the organic material 40 is sublimated to separate and purify the purified product 60 and the impurity 70 in each inner tube 30 according to the temperature gradient.

그리고 이와 같이 유기물 재료(40)의 정제가 완료되면, 프로세스 챔버(10)를 냉각시키고 상온에서 진공을 해제시키며, 인너 튜브(50)를 외측 관(12)으로부터 취외(取外)하여 정제된 유기질 재료(40)의 정제품(60)을 수거하고, 불순물(70)을 분리 처리한다. 그리고 이와 같은 공정을 반복하여 유기질 재료(40)의 순도를 향상시키는 것이다.When the purification of the organic material 40 is completed, the process chamber 10 is cooled, the vacuum is released at room temperature, the inner tube 50 is removed from the outer tube 12, The refined product 60 of the material 40 is collected, and the impurity 70 is separated. Such a process is repeated to improve the purity of the organic material 40.

그러나 이와 같은 종래의 유기물 정제장치(1)는 유기물 정제 효율을 높이기 위하여 인너 튜브(50)의 직경을 크게 하고, 많은 량의 유기물 재료(40)를 정제처리하는 과정에서 여러가지 문제점을 발생시키는 것이었다.However, in the conventional organic material purification apparatus 1, the diameter of the inner tube 50 is increased in order to improve the efficiency of the organic material purification, thereby causing various problems in the process of refining a large amount of the organic material 40.

즉, 종래의 유기물 정제장치(1)는 도 2에 도시된 바와 같이, 인너 튜브(50)가 반원형의 단면을 갖는 것이어서, 그 지름을 증대시켜도 많은 량의 유기물 재료(40)를 일시에 정제시키는 데에는 한계가 있었으며, 인너 튜브(50)의 외주측(P1)과 중심측(P2)에 각각 위치된 유기물 재료(40)는 히터(20)와의 간격이 너무 크게 형성되어 온도 편차가 크게 발생되는 문제점이 있었다. That is, as shown in FIG. 2, the conventional organic material refining apparatus 1 has a semi-circular cross-section of the inner tube 50, so that even when the diameter of the inner tube 50 is increased, The organic material 40 positioned on the outer peripheral side P1 and the central side P2 of the inner tube 50 has a problem that the gap with the heater 20 is excessively large, .

이와 같이 유기물 재료(40)에서 국소적인 온도 편차가 크게 발생하면, 유기물 재료(40)의 부분적인 변질이 발생되고, 유기물 재료(40)가 부분적으로 열손상되어 정확한 정제품(50)을 얻을 수 없으며, 유기물 재료(40)를 균일하게 가열시키지 못함으로써 열 효율은 물론, 정제 생산효율이 크게 저하되는 문제점이 있었다.If a local temperature deviation is large in the organic material 40 as described above, partial denaturation of the organic material 40 occurs, and the organic material 40 is partially thermally damaged, so that the accurate product 50 can not be obtained And the organic material 40 can not be uniformly heated, thereby causing a problem that the efficiency of producing tablets as well as the thermal efficiency is significantly lowered.

특히, 많은 량의 유기질 재료(40)를 인너 튜브(50)에 장입하여 정제 처리하는 경우에, 인너 튜브(50)는 반원형의 단면을 갖는 것이어서 처리 물량에 비해 프로세스 챔버(10) 내에서 노출되는 승화 표면적(R1)이 상대적으로 적은 것이어서, 단시간 내에 많은 유기물 재료(40)가 승화되지 못하는 결정적인 단점을 갖는 것이었다.Particularly, when a large amount of the organic material 40 is charged into the inner tube 50 for purification treatment, the inner tube 50 has a semicircular cross section and is exposed in the process chamber 10 in comparison with the amount of the processed material The sublimation surface area R1 is relatively small, and the organic material 40 can not be sublimated in a short time.

뿐만 아니라, 종래의 유기물 정제장치(1)는 외측 관(12)의 둘레에 단순히 히터(20)들이 원주방향으로 장착되어 외측 관(12) 내부의 프로세스 챔버(10)를 가열시키는 구조이므로, 외측 관(12) 내측의 프로세스 챔버(10)를 고압으로 진공형성시키는 과정에서, 단일 석영 원통관 형태의 외측 관(12)은 높은 진공압과 외부 대기압에 의해서 파손되는 경우가 빈발하는 문제점을 갖는 것이었다. In addition, since the conventional organic material purification apparatus 1 has a structure in which the heaters 20 are mounted circumferentially around the outer tube 12 to heat the process chamber 10 inside the outer tube 12, In the process of vacuum-forming the process chamber 10 inside the pipe 12 at a high pressure, the outer pipe 12 in the form of a single quartz-round pipe has a problem of being often broken due to high vacuum pressure and external atmospheric pressure .

따라서 종래의 유기물 정제장치(1)는 이와 같이 외측 관(12)이 파손되어 프로세스 챔버(10)에 고압 진공을 형성시키지 못하면, 이를 보수 유지하는데에 많은 보수 유지시간이 필요하게 되므로, 정제작업의 생산성이 크게 저하되고, 보수 유지 비용이 크게 필요한 문제점을 갖는 것이었다.Therefore, if the outer tube 12 is broken and the high-pressure vacuum is not formed in the process chamber 10, the conventional organic purification apparatus 1 requires a long maintenance time for maintenance. The productivity is greatly lowered and the maintenance cost is required to be large.

본 발명의 목적은 상기와 같은 종래의 문제점을 해소시키기 위한 것으로서, 유기물의 물성 변화 온도차이를 이용하여 불순물을 승화 정제시키는 과정에서 인너 튜브에 담긴 유기질 재료의 승화 표면적이 크게 증가되도록 하여 열효율 및 정제 효율을 크게 향상시킬 수 있고, 유기물 재료의 국소적인 온도 편차를 최소화시킴으로써 재료 변질을 효과적으로 방지하여 순도 높은 정제품을 생산할 수 있으며, 유기물의 대량 정제처리에 적합하도록 개선된 유기물 정제장치를 제공함에 있다.It is an object of the present invention to overcome the above-mentioned problems of the prior art, and it is an object of the present invention to provide a method for manufacturing a semiconductor device in which the sublimation surface area of an organic material contained in an inner tube is greatly increased, And an object of the present invention is to provide an improved apparatus for purifying an organic material which is capable of producing a purified product having a high purity by effectively preventing deterioration of a material by minimizing a local temperature deviation of the organic material and being suitable for mass purification treatment of an organic material.

그리고 본 발명의 다른 목적은 프로세스 챔버를 고압 진공처리시키는 과정에서 프로세스 챔버의 파손을 완벽하게 방지시킬 수 있음으로써 프로세스 챔버의 보수 유지에 많은 정비시간과 비용을 절감할 수 있고, 장치의 가동율을 높여서 정제작업의 생산성을 크게 높일 수 있으며, 유지보수 비용을 크게 줄일 수 있도록 개선된 유기물 정제장치를 제공함에 있다.It is another object of the present invention to provide a process chamber which can completely prevent breakage of a process chamber during a process of high-pressure vacuum processing, thereby saving a lot of maintenance time and cost in maintenance and maintenance of the process chamber, The present invention provides an improved organic material refining apparatus capable of greatly increasing the productivity of the refining operation and greatly reducing the maintenance cost.

본 발명의 또 다른 목적은, 인너튜브에 단턱을 두지않고 안전한 직사각형으로 구현하고 암이 걸치는 부분을 인너튜브 양측 상부에 각각 2개 이상의 돌기를 형성함으로써 제작비를 절감하며 인너튜브의 공간이 넓게 확보되어 암 설계가 용이해지도록 한 유기물 정제장치를 제공함에 있다.It is a further object of the present invention to provide a method of manufacturing an inner tube which can be realized in a safe rectangular shape without a step, and by forming at least two protrusions on both sides of the inner tube, So that the cancer design can be facilitated.

본 발명의 또 다른 목적은, 인너튜브를 감싸는 석영판을 불투명 석영으로 구성하여 히터 반대방향으로 IR이 투과되지 않아서 히터 방향으로 열효율을 집중시킬 수 있는 유기물 정제장치를 제공함에 있다.It is a further object of the present invention to provide an organic refining apparatus in which the quartz plate surrounding the inner tube is made of opaque quartz and the IR is not transmitted in the direction opposite to the heater so that the thermal efficiency can be concentrated in the heater direction.

본 발명의 일 양상에 따른 유기물 정제 장치는, 유기물 재료의 물성 변화 온도차이를 이용하여 불순물을 승화 정제시키는 장치로, 일정크기의 프레임; 상기 프레임의 상부측에 위치되어 이중 진공챔버로서 보호되고, 유기물 재료가 내부에 담기는 프로세스 챔버를 구비하며, 상기 프로세스 챔버의 외측에서 히터를 통하여 프로세스 챔버 내의 유기물 재료를 가열시켜 불순물을 분리하는 정제 처리부; 상기 정제 처리부의 프로세스 챔버 내부에 삽입되고, 그 폭이 높이보다 크게 이루어진 단면으로 형성되며, 내부에는 유기물 재료가 담겨서 정제품과 불순물을 분리시키는 인너 튜브; 상기 정제 처리부의 이중 진공 챔버중 외측 진공챔버에 저압의 진공압을 부여하는 저진공 펌프를 구비하여 외부의 대기압으로부터 프로세스 챔버를 분리시키는 저진공 처리부; 및 상기 정제 처리부의 프로세스 챔버에 고압의 진공압을 부여하는 고진공 펌프를 구비하여 프로세스 챔버를 진공처리하는 고진공 처리부;를 포함하여 상기 프로세스 챔버내에 위치된 인너 튜브에 담긴 유기물 재료의 승화 표면적을 크게 증대시켜서 단위 시간당 승화량을 증대시켜 정제 효율을 향상시키도록 구성된다. An organic material refining apparatus according to an aspect of the present invention is an apparatus for sublimating and purifying an impurity using a temperature change temperature change of an organic material. A processing chamber disposed on the upper side of the frame and protected as a double vacuum chamber and containing an organic material therein; and a heating unit for heating the organic material in the process chamber through a heater outside the process chamber to remove impurities A processor; An inner tube inserted into the process chamber of the refining unit and having a width larger than a height, the inner tube containing an organic material to separate the purified product from impurities; A low vacuum processing unit for separating the process chamber from an external atmospheric pressure by providing a low vacuum pump for applying low pressure vacuum pressure to the external vacuum chamber of the double vacuum chamber of the purification processing unit; And a high vacuum pump for applying a high vacuum pressure to the process chamber of the purifier to vacuum process the process chamber, thereby significantly increasing the sublimation surface area of the organic material contained in the inner tube disposed in the process chamber So as to increase the sublimation amount per unit time to improve the purification efficiency.

상기 정제 처리부는, 상기 정제 처리부의 폭이 높이보다 크기가 큰 직사각형 단면을 형성하도록 상판, 하판, 및 좌우 측판들이 밀폐형으로 이루어지고, 그 내부에는 직사각형 단면의 불투명 석영판이 내장되며, 상기 석영판의 내측 둘레를 따라 봉 형상의 전기 히터들이 배치되고, 상기 석영판의 내측 둘레에는 상기 각 전기 히터들을 그립하고 석영으로 형성되는 다수의 그립 부재들이 설치되고, 상기 히터들의 내부에는 석영 재료로 이루어진 프로세스 관이 배치되어 그 내부에서 프로세스 챔버를 형성하며, 상기 프로세스 챔버의 내부에는 인너 튜브가 내장된 구조로 이루어질 수 있다. Wherein the tablet processing unit includes a top plate, a bottom plate, and right and left side plates sealed to form a rectangular cross section having a width larger than the height of the tablet processing unit, and an opaque quartz plate having a rectangular cross section is built therein, And a plurality of grip members, which are formed of quartz, are provided on the inner periphery of the quartz plate. The heaters are gripped by the electric heaters, And a process chamber is formed therein, and an inner tube is embedded in the process chamber.

상기 인너 튜브는 상기 프로세서 챔버의 내부로 삽입가능한 단면 크기로서 그 폭이 그 높이보다 큰 크기의 직사각형 단면의 석영관으로 이루어지고, 전방측에는 원료인 유기질 재료가 투입되는 제1 튜브와, 상기 제1 튜브의 후방측으로 연결되어 정제품이 정제되어 담기는 제2 튜브, 및 상기 제2 튜브의 후방측으로 연결되어 불순물이 정제되어 담기는 제3 튜브로 이루어지며, 상기 제1 내지 제3 튜브의 양측 상부 각각에는 적어도 둘의 돌기가 형성되어 프로세스 챔버로 인너 튜브의 삽입 및 인출시 작업용 지그가 위치되기 위한 작업 공간을 각각 형성할 수 있다.Wherein the inner tube comprises a quartz tube having a cross-sectional size insertable into the interior of the processor chamber and having a width larger than the height of the quartz tube, a first tube into which the organic material as a raw material is introduced, And the second tube is connected to the rear side of the tube to refine the purified product and the second tube is connected to the rear side of the second tube and the third tube is filled with the purified impurities. At least two projections may be formed to form a working space for positioning the work jig when inserting and withdrawing the inner tube into the process chamber.

상기 정제 처리부를 형성하는 상판, 하판, 및 좌우 측판은 스테인레스판으로 이루어지고, 좌우 측판에는 점검창이 각각 형성되며, 그 내측의 외측 진공챔버에는 상기 저진공 처리부의 저진공 펌프가 진공 배관을 통하여 연결되어 10-2 Torr의 진공압력이 가해지고, 상기 상판, 하판, 및 좌우 측판의 전면에는 개폐도어가 형성될 수 있다.The lower plate, the lower plate, and the left and right side plates, which form the tablet processing unit, are made of stainless steel. Each of the left and right side plates has a check window. The lower vacuum chamber of the inside of the upper and lower plates is connected to a vacuum pump And a vacuum pressure of 10 -2 Torr is applied to the upper plate, the lower plate, and the left and right side plates.

상기 프로세스 챔버는 그 폭이 그 높이보다 큰 직사각형 단면, 직타원형 단면 또는 다각형 단면중의 어느 하나로 이루어진 프로세스 관을 통하여 그 내부에 형성되며, 상기 프로세스 관의 전단은 전방 개폐도어를 통하여 밀봉가능하게 차단되고, 그 후단은 버퍼 챔버를 경유하여 고진공 처리부의 고진공 펌프에 연결되어 내부에 진공압력이 형성되는 한편, 상기 버퍼 챔버의 후방측으로 형성된 후방 개폐도어를 통하여 외부에 대해서 밀봉가능하게 차단될 수 있다.Wherein the process chamber is formed therein with a process tube made of any one of a rectangular cross section, a rectilinear cross section, or a polygonal cross section whose width is greater than the height, and a front end of the process tube is sealed And the rear end thereof is connected to the high vacuum pump of the high vacuum processing unit via the buffer chamber so that a vacuum pressure is formed therein and can be sealed to the outside through the rear opening and closing door formed on the rear side of the buffer chamber.

상기 인너 튜브는 전면이 막힌 직사각형 단면의 튜브 구조로 제1 튜브가 이루어지고, 제1 튜브의 후면 상부에는 외부로 개방된 제1 연결관이 돌출되며, 상기 제2 및 제3 튜브들은 그 상,하 및 좌우 측면들이 막힌 튜브형으로서 각각 그 전면이 개방되고, 그 후면 상부에는 외부로 개방된 제2 및 제3 연결관이 각각 돌출형성됨으로써 제1 튜브의 후방 제1 연결관이 제2 튜브의 전면으로 삽입되어 제1 튜브와 제2 튜브가 정렬되고, 제2 튜브의 후방 제2 연결관이 제3 튜브의 전면으로 삽입되어 제2 튜브와 제3 튜브가 정렬되며, 제3 튜브의 후방 제3 연결관은 상기 버퍼 챔버의 내부로 연장됨으로서 상기 제1 내지 제3 튜브들은 프로세스 챔버내에서 일직선으로 서로 연결되고, 그 내부 공간이 제1 및 제2 연결관들을 통하여 서로 연통되될 수 있다.The inner tube has a tube structure having a rectangular cross section with a front surface closed, a first tube is formed, a first connection tube opened to the outside is protruded on a rear upper surface of the first tube, And second and third connection pipes which are open to the outside are protruded from each other, so that the rear first connection pipe of the first tube is connected to the front surface of the second tube The first tube and the second tube are aligned and the rear second connection tube of the second tube is inserted into the front surface of the third tube to align the second tube and the third tube, The connection tubes extend into the buffer chamber so that the first to third tubes are connected to each other in a straight line in the process chamber, and the internal space thereof can communicate with each other through the first and second connection tubes.

상기 인너 튜브는 상기 프로세스 챔버의 단면에 일치하는 직사각형 단면, 직타원형 단면 또는 다각형 단면중의 어느 하나로 이루어지고, 그 폭의 크기가 높이의 2배 내지 6배 크게 형성되어 프로세스 챔버의 내부로 삽입될 수 있다.The inner tube is made of any one of a rectangular cross section, a straight elliptic cross section, or a polygonal cross section coinciding with the cross section of the process chamber. The width of the inner tube is formed to be two to six times as large as the height, .

본 발명에 따른 유기물 정제장치에 의하면, 유기물의 물성 변화 온도차이를 이용하여 불순물을 승화 정제시키는 과정에서 인너 튜브는 그 폭이 높이보다 현저하게 크기가 큰, 바람직하게는 2배 내지 6배 이상 큰 크기로 이루어진 직사각형 단면, 직타원형 단면 또는 다각형 단면중의 어느 하나로 이루어져서 프로세스 챔버내에서 승화작용이 이루어진다. 따라서 본 발명의 유기물 정제장치는 인너 튜브에 담긴 유기질 재료의 승화 표면적이 크게 증가되어 적어도 2배 이상 종래의 구조에 비하여 열효율 및 정제 효율을 크게 향상시킬 수 있다.According to the organic substance refining apparatus of the present invention, in the process of sublimating and refining impurities using the temperature change temperature of the organic matter, the width of the inner tube is remarkably larger than the height, preferably 2 to 6 times larger A rectangular cross section, a straight elliptical cross section, or a polygonal cross section having a size of 1 mm or less, and is sublimated in the process chamber. Therefore, the organic material refining apparatus of the present invention can greatly improve the thermal efficiency and the purification efficiency compared to the conventional structure by at least twice the surface area of the organic material contained in the inner tube.

뿐만 아니라, 본 발명에 의하면 인너 튜브가 그 폭이 그 높이보다 현저하게 큰 직사각형 단면, 직타원형 단면 또는 다각형 단면중의 어느 하나로 이루어진 프로세스 챔버내에서 가열되기 때문에 인너 튜브의 중앙 부분과 외측 부분에 위치된 유기물 재료의 국소적인 온도 편차를 최소화시킬 수 있고, 그에 따라서 유기물 재료의 변질을 효과적으로 방지하여 순도 높은 정제품을 생산할 수 있으며, 대량 정제처리에도 적합하게 된다.In addition, according to the present invention, since the inner tube is heated in the process chamber made of any one of the rectangular cross section, the elliptic cross section and the polygonal cross section whose width is significantly larger than the height thereof, It is possible to minimize the local temperature deviation of the organic material, thereby effectively preventing the deterioration of the organic material, and to produce the purified product with high purity, and is also suitable for the mass purification treatment.

그리고 본 발명에 의하면 프로세스 챔버를 고압 진공처리시키는 과정에서 프로세스 관의 외측에는 석영판과 외측 진공챔버의 10-2 Torr 진공압력이 형성되어 대기압으로부터 프로세스 챔버를 격리시킴으로써 고압 진공에 의해서 프로세스 챔버의 파손을 완벽하게 방지시킬 수 있고, 그에 따라서 프로세스 챔버의 보수 유지에 많은 정비시간과 비용을 절감할 수 있으며, 장치의 가동율을 높여서 정제작업의 생산성을 크게 높이고, 유지 보수비용을 크게 줄일 수 있는 우수한 효과를 얻을 수 있는 것이다.According to the present invention, a vacuum pressure of 10 -2 Torr between the quartz plate and the outer vacuum chamber is formed on the outer side of the process tube during the high-pressure vacuum process of the process chamber to isolate the process chamber from the atmospheric pressure, It is possible to completely prevent the maintenance of the process chamber and to save a lot of maintenance time and cost, to increase the operation rate of the apparatus, to greatly improve the productivity of the refining operation, and to greatly reduce the maintenance cost Can be obtained.

또한 인너튜브에 단턱을 두지않고 안전한 직사각형으로 구현하고 암이 걸치는 부분을 인너튜브 양측 상부에 각각 2개 이상의 돌기를 형성함으로써 제작비를 절감하며 인너튜브의 공간이 넓게 확보되어 암 설계가 용이해진다.In addition, it is possible to design the inner tube in a safe rectangle without a step, and by forming two or more protrusions on both sides of the inner tube, the space for the inner tube can be secured and the arm design is facilitated.

또한 인너튜브를 감싸는 석영판을 불투명 석영으로 구성하여 히터 반대방향으로 IR이 투과되지 않아서 히터 방향으로 열효율을 집중시킬 수 있다.In addition, the quartz plate surrounding the inner tube is made of opaque quartz, and the IR is not transmitted in the direction opposite to the heater, so that the heat efficiency can be concentrated in the heater direction.

도 1은 종래의 기술에 따른 유기물 정제장치의 승화 정제 원리를 도시한 설명도이다.
도 2는 종래의 기술에 따른 유기물 정제장치에 구비된 원통형 구조의 프로세스 챔버와 반원형 단면구조의 인너 튜브에서 발생되는 문제점을 도시한 단면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 유기물 정제장치를 전체적으로 도시한 정면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 유기물 정제장치의 평면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 유기물 정제장치에 구비된 프로세스 챔버와 인너 튜브의 배치 구조를 도시한 단면도이다.
도 6a는 본 발명에 따른 유기물 정제장치의 좌측면도이다.
도 6b는 본 발명에 따르는 안전 밸브 수단의 작동 예를 보여주는 개념도이다.
도 7은 본 발명에 따른 유기물 정제장치에 구비된 외측 진공챔버, 프로세스 챔버 및 인너 튜브들이 그 폭이 높이보다 큰 크기의 직사각형 단면으로 형성된 구조를 도시한 단면도이다.
도 8a는 본 발명의 실시예에 따른 인너튜브의 사시도이다.
도 8b는 본 발명에 따른 유기물 정제장치에 구비된 인너 튜브의 제1 내지 제3 튜브들 구조를 도시한 상세 단면도이다.
도 9는 도 5의 A를 확대 도시하고, 본 발명에 따른 유기물 정제장치에 구비된 외측 진공챔버, 프로세스 챔버 및 인너 튜브들이 유기물 재료를 승화 정제처리하는 작동을 도시한 설명도이다.
도 10은 본 발명에 따르는 그립 부재들이 형성되는 석영판을 보여주는 사시도이다.
도 11a는 본 발명에 따르는 그립 부재의 일 예를 보여주는 단면도이다.
도 11b는 본 발명에 따르는 그립 부재의 다른 예를 보여주는 단면도이다.
도 11c는 본 발명에 따르는 그립 부재의 다른 예를 보여주는 단면도이다.BRIEF DESCRIPTION OF DRAWINGS FIG. 1 is an explanatory view showing the principle of sublimation purification of an organic material refining apparatus according to a conventional art; FIG.
FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating a problem occurring in a process chamber of a cylindrical structure and an inner tube of a semicircular cross-sectional structure included in an organic material purification apparatus according to a conventional technique.
3 is a front view of the organic substance refining apparatus according to the present invention as a whole.
4 is a plan view of an organic substance refining apparatus according to the present invention.
5 is a cross-sectional view illustrating an arrangement structure of a process chamber and an inner tube included in the organic substance purification apparatus according to the present invention.
6A is a left side view of an organic substance refining apparatus according to the present invention.
6B is a conceptual diagram showing an operation example of the safety valve means according to the present invention.
FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating a structure in which an outer vacuum chamber, a process chamber, and inner tubes provided in the organic substance purification apparatus according to the present invention are formed in a rectangular cross section having a size larger than the width.
8A is a perspective view of an inner tube according to an embodiment of the present invention.
FIG. 8B is a detailed sectional view showing the structure of the first to third tubes of the inner tube provided in the organic substance purification apparatus according to the present invention. FIG.
FIG. 9 is an enlarged view of FIG. 5A showing an operation of an outer vacuum chamber, a process chamber, and inner tubes provided in an organic substance purification apparatus according to the present invention for sublimating and purifying an organic material.
10 is a perspective view showing a quartz plate on which grip members according to the present invention are formed.
11A is a cross-sectional view showing an example of a grip member according to the present invention.
11B is a cross-sectional view showing another example of the grip member according to the present invention.
11C is a cross-sectional view showing another example of the grip member according to the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 도면을 참조하여 보다 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

본 발명에 따른 유기물 정제장치(100)는, 도 3 내지 도 6a에 도시된 바와 같이, 유기물 재료의 물성 변화 온도차이를 이용하여 불순물을 승화 정제시키는 장치로서, 일정크기의 프레임(110) 상부측에 정제 처리부(120)를 구비한다.3 to 6A, the apparatus for purifying organic matter 100 according to the present invention is an apparatus for sublimating and refining impurities using a temperature change of a material property of an organic material, And a purification processing unit 120.

이와 같은 정제 처리부(120)는 이중 진공챔버로서 대기압으로부터 보호되고, 내부에는 프로세스 챔버(122)를 구비하며, 상기 프로세스 챔버(122)의 외측에서 히터(124)를 통하여 프로세스 챔버(122) 내의 유기물 재료를 가열시켜 불순물을 분리하게 된다.The purification processing unit 120 is a double vacuum chamber that is protected from atmospheric pressure and has a process chamber 122 inside and is connected to the outside of the process chamber 122 through a heater 124, The material is heated to separate the impurities.

또한 본 발명에 따른 유기물 정제장치(100)는 상기 정제 처리부(120)의 프로세스 챔버(122)의 내부에 삽입되는 인너 튜브(130)를 구비하는데, 이와 같은 인너 튜브(130)는 그 폭이 높이보다 크게 이루어진 단면으로 형성되며, 내부에는 유기물 재료가 담겨서 정제품과 불순물을 분리시키게 된다.The apparatus for purifying organic material 100 according to the present invention further includes an inner tube 130 inserted into the process chamber 122 of the purification processing unit 120. The inner tube 130 has a width And an organic material is contained in the interior of the honeycomb structure to separate the purified product from the impurities.

그리고 본 발명에 따른 유기물 정제장치(100)는 상기 정제 처리부(120)의 이중 진공 챔버중 외측 진공챔버(162)에 저압의 진공압을 부여하는 저진공 펌프(164)를 구비하여 외부의 대기압으로부터 프로세스 챔버(122)를 분리시키는 저진공 처리부(160)를 갖는다.The apparatus for purifying organic matter 100 according to the present invention includes a low vacuum pump 164 for applying a low pressure vacuum to the outer vacuum chamber 162 of the double vacuum chamber of the purification processing unit 120, And a low vacuum processing unit 160 for separating the process chamber 122.

또한 본 발명은 상기 정제 처리부(120)의 프로세스 챔버(122)에 고압의 진공압을 부여하는 고진공 펌프(174)를 구비하여 프로세스 챔버(122)를 진공처리하는 고진공 처리부(170)를 포함하는 구조이다.The present invention also includes a structure including a high vacuum processing unit 170 for vacuum processing the process chamber 122 by providing a high vacuum pump 174 for applying a high vacuum pressure to the process chamber 122 of the purification processing unit 120 to be.

이와 같은 본 발명에 따른 유기물 정제장치(100)는 도 7에 단면으로 도시된 바와 같이, 그 폭(W1)이 높이(H1)보다 크기가 큰 직사각형 단면을 형성하는 상판(126a), 하판(126b), 및 좌우 측판(126c,126d)들이 밀폐형으로 이루어진 정제 처리부(120)를 구비한다.7, an organic material purification apparatus 100 according to the present invention includes an upper plate 126a, a lower plate 126b, and a lower plate 126b. The upper plate 126a and the lower plate 126b form a rectangular cross section having a width W1 greater than the height H1, And a tablet processing unit 120 in which the left and right side plates 126c and 126d are hermetically sealed.

이와 같은 정제 처리부(120)는 그 내부에 직사각형 단면의 불투명 석영판(210)이 내장되어 상기 상판(126a), 하판(126b), 및 좌우 측판(126c,126d)들과의 사이에서 외측 진공챔버(162)를 형성한다. The opaque quartz plate 210 having a rectangular cross section is embedded in the inside of the purifier 120 so that the inside of the outer vacuum chamber 130 is filled with the upper plate 126a, the lower plate 126b, and the left and right side plates 126c and 126d. (162).

이때 일반적으로 석영판(210)은 투명인데, 센딩 처리결과 불투명으로 변화되어 IR이 투과되지 않는다.At this time, the quartz plate 210 is generally transparent, but it is opaque as a result of the transmitting process, and IR is not transmitted.

이러한 불투명 석영판(210)을 사용하면 히터들(124) 반대 방향으로 IR이 투과되지 않아서 히터들(124) 방향으로 열효율이 집중된다.When the opaque quartz plate 210 is used, the IR is not transmitted in the direction opposite to the heaters 124, and the heat efficiency is concentrated in the direction of the heaters 124.

여기서, 도 10을 참조 하면, 본 발명에 따르는 석영판(210)의 내측 둘레를 따라 봉 형상의 전기 히터들(124)이 배치된다.10, rod-shaped electric heaters 124 are disposed along the inner circumference of the quartz plate 210 according to the present invention.

상기 석영판(210)의 내측 둘레에는 상기 각 전기 히터들(124)을 그립하고 석영으로 형성되는 다수의 그립 부재들(200)이 설치된다.A plurality of grip members 200, which are formed of quartz, are provided on the inner periphery of the quartz plate 210 to grip the electric heaters 124.

여기서, 그립 부재들(200)은 상기 각 히터들(124)을 감싸고, 상기 히터(124)를 외부로 노출시키는 절개홀(h)이 형성된다.Here, the grip members 200 surround the respective heaters 124, and a cutting hole h for exposing the heaters 124 to the outside is formed.

상기 절개홀(h)을 형성함으로써 열전도 효율을 상승시키고 각 히터(124)를 그립 부재(200)에 용이하게 끼울 수 있다.By forming the cut-off holes h, heat conduction efficiency can be increased and each heater 124 can be easily fitted into the grip member 200.

또한, 도 11a 에 도시되는 바와 같이, 그립 부재들(200)은 상기 히터(124)의 길이 방향을 따라 일정 길이를 갖는 관 형상으로 형성된다.11A, the grip members 200 are formed in a tubular shape having a predetermined length along the longitudinal direction of the heater 124. In addition,

이에 더하여, 도 11c에 도시되는 바와 같이, 상기 그립 부재들(202) 각각은 상기 각 히터(124)의 외주를 다수 위치에서 그립하도록 다수의 그립링을 구비할 수도 있다.In addition, as shown in FIG. 11C, each of the grip members 202 may include a plurality of grip rings to grip the outer circumference of the respective heaters 124 at a plurality of positions.

또한, 상기 그립 부재들(200,201)은 도 11a 및 도 11b에 도시되는 바와 같이, 원형 또는 다각 형상의 단면을 갖도록 구성하여, 다양한 형상의 히터들을 고정할 수 있도록 할 수도 있다.In addition, the grip members 200 and 201 may be configured to have a circular or polygonal cross-section as shown in FIGS. 11A and 11B to fix the heaters of various shapes.

도 11b의 경우 그립부재(201)의 상단이 서로 마주보는 측으로 일정 길이 연장되어 히터가 빠지지 않도록 규제할 수 있다. 이의 구성에서, 히터(124)는 그립부재(201)의 측부를 통해 끼워 설치할 수 있다.11B, the upper ends of the grip members 201 may be extended to a side facing each other by a certain length so that the heaters are not released. In this configuration, the heater 124 can be fitted through the side of the grip member 201.

상기 히터(124)들의 내부에는 석영 재료로 이루어진 프로세스 관(121)이 배치되어 그 내부에서 프로세스 챔버(122)를 형성한다. 또한 이와 같은 상기 프로세스 챔버(122)의 내부에는 인너 튜브(130)가 내장된 구조이다.Inside the heaters 124, a process tube 121 made of quartz material is disposed to form a process chamber 122 therein. In addition, the inner tube 130 is embedded in the process chamber 122.

이와 같은 정제 처리부(120)는 상판(126a), 하판(126b), 및 좌우 측판(126c,126d)들이 각각 바람직하게는 스테인레스판으로 이루어지고, 그 내측에서 외측 진공챔버(162)를 형성한다.In the purification processing unit 120, the upper plate 126a, the lower plate 126b, and the left and right side plates 126c and 126d are each made of a stainless plate, and form an outer vacuum chamber 162 on the inside thereof.

이와 같은 외측 진공챔버(162)는 상기 저진공 처리부(160)의 저진공 펌프(164)가 진공 배관(166)을 통하여 연결되어 10-2 Torr의 진공압력이 내부에 가해지며, 석영판(210) 내측의 프로세스 챔버(122)를 외부의 대기압으로부터 격리시킨다.The outer vacuum chamber 162 is connected to the low vacuum pump 164 of the low vacuum processing unit 160 through a vacuum pipe 166 so that a vacuum pressure of 10 -2 Torr is applied to the inside of the vacuum chamber 162, ) From the external atmospheric pressure.

그리고 이와 같은 정제 처리부(120)는 그 상판(126a), 하판(126b), 및 좌우 측판(126c,126d)의 전면에 개폐도어(182a)가 밀봉가능하게 형성된 구조이다.The tablet processing unit 120 has a structure in which an opening and closing door 182a is sealably formed on the front surfaces of the upper plate 126a, the lower plate 126b, and the left and right side plates 126c and 126d.

또한 상기와 같은 정제 처리부(120)의 외측 진공챔버(162)가 외부에 형성되는 프로세스 챔버(122)는 석영판(210)의 히터(124) 내측에서 그 폭(W2)이 그 높이(H2)보다 큰 직사각형 단면, 직타원형 단면 또는 다각형 단면중의 어느 하나로 이루어진 프로세스 관(121)을 통하여 그 내부에 형성된다. The process chamber 122 in which the outer vacuum chamber 162 of the purification processing unit 120 is formed is disposed inside the heater 124 of the quartz plate 210 such that the width W2 thereof is equal to the height H2 thereof. Is formed through the process tube 121 made of any one of a larger rectangular cross section, a straight oval cross section, or a polygonal cross section.

이와 같은 프로세스 챔버(122)를 형성하는 프로세스 관(121)은 석영 재료로 이루어지고, 바람직하게는 도 8a에 도시된 바와 같이, 그 폭(W2)이 그 높이(H2) 보다 2배 내지 6배이상 큰 크기로 이루어진 구조이며, 상기 프로세스 관(121)의 전단은 전방 개폐도어(182a)를 통하여 밀봉가능하게 차단되고, 그 후단은 버퍼 챔버(186)를 경유하여 고진공 처리부(170)의 고진공 펌프(174)에 연결되어 내부에 진공압력이 형성된다.The process tube 121 forming such a process chamber 122 is made of a quartz material and preferably has a width W2 of 2 to 6 times its height H2 as shown in Fig. The front end of the process tube 121 is sealably blocked through the front opening and closing door 182a and the rear end of the process tube 121 is connected to the high vacuum pump 170 of the high vacuum processing unit 170 via the buffer chamber 186. [ (174) to form a vacuum pressure therein.

또한, 상기 프로세스 관(121)은 버퍼 챔버(186)의 후방측으로 형성된 후방 개폐도어(182b)를 통하여 외부에 대해서 밀봉가능하게 차단되는 구조이다.The process tube 121 is structured such that it can be sealed to the outside through a rear opening / closing door 182b formed on the rear side of the buffer chamber 186. [

그리고 본 발명에 따른 유기물 정제장치(100)는 프로세스 관(121)의 내측에 인너 튜브(130)가 삽입되는데, 이와 같은 인너 튜브(130)는 상기 프로세스 챔버(122)의 내부로 삽입가능한 단면 크기로서 그 폭(W3)이 그 높이(H3)보다 큰 크기의 직사각형 단면의 석영관으로 이루어진다.In the organic material purification apparatus 100 according to the present invention, the inner tube 130 is inserted into the process tube 121, and the inner tube 130 is inserted into the process chamber 122, And a width W3 of which is larger than the height H3.

또한 이와 같은 인너 튜브(130)는 다르게는, 상기 프로세스 챔버(122)의 단면에 일치하는 직사각형 단면, 직타원형 단면 또는 다각형 단면중의 어느 하나로 이루어지고, 그 폭(W3)의 크기가 높이(H3)의 2배 내지 6배 크게 형성되어 프로세스 챔버(122)의 내부로 삽입될 수 있다.Alternatively, the inner tube 130 may be formed of any one of a rectangular cross section, a straight elliptic cross section, or a polygonal cross section that coincides with the cross section of the process chamber 122. The width W3 of the inner tube 130 may be a height H3 And may be inserted into the interior of the process chamber 122.

이와 같은 인너 튜브(130)는 그 전방측에 원료인 유기질 재료가 투입되는 제1 튜브(132a)가 위치되고, 상기 제1 튜브(132a)의 후방측으로 연결되어 정제품(150b)이 정제되어 담기는 제2 튜브(132b)가 위치되며, 상기 제2 튜브(132b)의 후방측으로 연결되어 불순물(150c)이 정제되어 담기는 제3 튜브(132c)가 구비된다.The inner tube 130 has a first tube 132a to which the organic material as a raw material is introduced and is connected to the rear side of the first tube 132a to refine the purified product 150b, The second tube 132b is positioned and the third tube 132c is connected to the rear side of the second tube 132b to purify and store the impurity 150c.

이와 같은 인너 튜브(130)는 제1 내지 제3 튜브(132a,132b,132c)의 양측 하부 모서리에는 도 8a에 도시된 바와 같이, 인너 튜브(130)의 양측 상부 각각에 적어도 2개 이상의 돌기(134)가 형성되어, 프로세스 챔버(122)로 인너 튜브(130)의 삽입 및 인출시 작업용 지그가 위치되기 위한 작업 공간을 각각 프로세스 관(121)과의 사이에서 형성하고 작업자가 편리하게 작업할 수 있다.As shown in FIG. 8A, the inner tube 130 is provided with at least two protrusions (not shown) on each of upper and lower sides of the inner tube 130 at the lower corners of both sides of the first to third tubes 132a, 132b and 132c 134 are formed so that a working space for positioning the work jig when the inner tube 130 is inserted into and drawn out from the process chamber 122 is formed between the process tube 121 and the work tube 121, have.

인너튜브(130)에 단턱을 두지않고 안전한 직사각형으로 구현하고 암이 걸치는 부분을 인너튜브(130) 양측 상부에 각각 2개 이상의 돌기(134)를 형성함으로써 제작비를 절감하며 인너튜브(130)의 공간이 넓게 확보되어 암 설계가 용이해진다.It is possible to reduce the manufacturing cost by forming two or more protrusions 134 at upper portions on both sides of the inner tube 130 and to reduce the manufacturing cost of the inner tube 130, So that the arm design is facilitated.

또한 이와 같은 인너 튜브(130)는 도 8b에 도시된 바와 같이, 제1 튜브(132a)가 그 전면이 막힌 직사각형 단면의 튜브 구조로 이루어지고, 제1 튜브(132a)의 후면 상부는 외부로 개방된 구조를 가진다. 8B, the first tube 132a has a tube structure having a rectangular cross section with its front surface closed, and the upper portion of the rear surface of the first tube 132a is open to the outside .

또한 상기 제2 및 제3 튜브(132b,132c)들은 그 각각은 상,하 및 좌우 측면들이 막힌 튜브형으로서 각각 그 전면 및 후면이 외부로 개방된 구조를 가진다. Further, the second and third tubes 132b and 132c have a structure in which the upper and lower sides and the left and right side surfaces are clogged, and the front and rear surfaces thereof are opened to the outside, respectively.

따라서 이와 같은 인너 튜브(130)는 도 5 및 도 9에 도시된 바와 같이, 제1 튜브(132a)의 후방 부분이 제2 튜브(132b)의 전면으로 삽입되어 제1 튜브(132a)와 제2 튜브(132b)가 정렬되고, 제2 튜브(132b)의 후방 부분이 제3 튜브(132c)의 전면으로 삽입되어 제2 튜브(132b)와 제3 튜브(132c)가 정렬되며, 제3 튜브(132c)의 후방 부분은 상기 버퍼 챔버(186)의 내부로 연장됨으로서 상기 제1 내지 제3 튜브(132a,132b,132c)들은 프로세스 챔버(122)내에서 일직선으로 서로 연결되고, 서로 연통된다.5 and 9, the rear portion of the first tube 132a is inserted into the front surface of the second tube 132b, so that the first tube 132a and the second tube 132b are inserted into the inner tube 130, The tube 132b is aligned and the rear portion of the second tube 132b is inserted into the front surface of the third tube 132c so that the second tube 132b and the third tube 132c are aligned, 132c extend into the buffer chamber 186 so that the first to third tubes 132a, 132b, 132c are connected to each other in a straight line in the process chamber 122 and communicate with each other.

또한, 도 9를 참조 하면, 상기 석영판(210)의 외측 둘레는 워터 자켓(300)이 설치된다.Referring to FIG. 9, a water jacket 300 is installed around the outer periphery of the quartz plate 210.

따라서, 상기 석영판(210)은 워터 자켓(300)에 의해 에워싸이도록 배치된다.Thus, the quartz plate 210 is disposed to be surrounded by the water jacket 300.

상기 워터 자켓(300)의 일단에는 냉각수가 유입되는 냉각수 유입관(310)이 형성되고, 상기 워터 자켓(300)의 타단에는 냉각수가 유출되는 냉각수 유출관(320)이 형성된다.A cooling water inflow pipe 310 for introducing cooling water is formed at one end of the water jacket 300 and a cooling water outflow pipe 320 for discharging cooling water is formed at the other end of the water jacket 300.

따라서, 냉각수는 냉각수 유입관(310)으로 유입되어 워터 자켓(300)을 따라 유동되어 냉각수 유출관(320)을 통해 유출됨이 반복적으로 진행되면서, 워터 자켓(300)을 순환할 수 있다.Accordingly, the cooling water flows into the cooling water inflow pipe 310, flows along the water jacket 300, and flows out through the cooling water outflow pipe 320, thereby circulating the water jacket 300 repeatedly.

이에 따라, 워터 자켓(300)이 석영판(210)의 외측 둘레에 배치됨으로써, 히터들(124)의 가열에 의해 외측 진공챔버(126a,126b,126c,126d)가 과도하게 온도가 상승되는 것을 효율적으로 방지할 수 있다.The water jacket 300 is disposed on the outer periphery of the quartz plate 210 so that the temperature of the outer vacuum chambers 126a, 126b, 126c, and 126d is excessively raised by the heating of the heaters 124 It can be effectively prevented.

미설명 부호(190)는 내부 점검창이고, (194)는 실린더이다.Reference numeral 190 denotes an internal check window, and reference numeral 194 denotes a cylinder.

한편, 도 6a 및 도 6b를 참조 하면, 프로세스 챔버(122)와 상기 외측 진공 챔버(162)는 서로 진공도를 동일하게 유지하는 안전 밸브 수단(400)에 의해 연결된다.6A and 6B, the process chamber 122 and the outer vacuum chamber 162 are connected to each other by a safety valve means 400 that maintains the same degree of vacuum.

상기 안전 밸브 수단(400)은 연결 라인(410)과, 한 쌍의 체크 밸브(420,430)로 구성된다.The safety valve means 400 includes a connection line 410 and a pair of check valves 420 and 430.

상기 연결 라인(410)은 상기 프로세스 챔버(122)와 상기 외측 진공 챔버(162)를 연결한다.The connection line 410 connects the process chamber 122 and the outer vacuum chamber 162.

그리고, 상기 한 쌍의 체크 밸브(420,430) 각각은 연결 라인 (410)에 설치된다. 여기서, 상기 각각의 체크 밸브(420,430)는 개폐 방향이 서로 다르다.Each of the pair of check valves 420 and 430 is installed in the connection line 410. Here, the opening / closing directions of the check valves 420 and 430 are different from each other.

따라서, 상기 각각의 체크 밸브(420,430)에 의해 상기 프로세스 챔버(122)와 상기 외측 진공 챔버(162)의 진공도를 동일하게 유지하도록 하여 프로세스챔버의 파손을 방지 할 수 있다.Therefore, the degree of vacuum of the process chamber 122 and the outer vacuum chamber 162 can be kept the same by the check valves 420 and 430, thereby preventing breakage of the process chamber.

상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 유기물 정제장치(100)는 상기 프로세스 챔버(122)내에 위치된 인너 튜브(130)에 담긴 유기물 재료(150a)의 승화 표면적을 크게 증대시켜서 단위 시간당 승화량을 증대시켜 정제 효율을 크게 향상시킬 수 있다.The apparatus for purifying organic matter 100 according to the present invention configured as described above greatly increases the sublimation surface area of the organic material 150a contained in the inner tube 130 positioned in the process chamber 122 to increase the sublimation amount per unit time The purification efficiency can be greatly improved.

즉, 본 발명에 따른 유기물 정제장치(100)는 도 3 내지 도 6a에 도시된 바와 같이, 전방 개폐도어(182a) 또는 후방 개폐도어(182b)를 통하여 프로세스 챔버(122)를 열고, 그 내부에 인너 튜브(130)를 삽입한다.3 to 6A, the organic substance purification apparatus 100 according to the present invention opens the process chamber 122 through the front opening / closing door 182a or the rear opening / closing door 182b, The inner tube 130 is inserted.

이때, 인너 튜브(130)의 제1 튜브(132a)에는 그 내부에 원료인 유기질 재료를 투입하고, 제2 튜브(132b)와 제3 튜브(132c)는 빈 상태이다.At this time, the first tube 132a of the inner tube 130 is charged with an organic material as a raw material, and the second tube 132b and the third tube 132c are empty.

이와 같이 인너 튜브(130)를 프로세스 챔버(122)의 내부로 삽입한 다음, 개폐도어(182a,182b)를 닫고, 저진공 처리부(160)의 저진공 펌프(164)를 작동시켜서, 10-2 Torr 압력의 저 진공을 프로세스챔버(122) 및 외측 진공챔버(162)에 동시에 부여한다. In this manner, insert the inner tube 130 to the interior of the process chamber 122, and then, to close the opening and closing door (182a, 182b), by operating the low vacuum pump 164, a low vacuum processing unit 160, 10-2 Torr pressure to the process chamber 122 and the outer vacuum chamber 162 at the same time.

그리고 고진공 처리부(170)의 고진공 펌프(174)를 작동시켜서 프로세스 챔버(Process Chamber)(122) 내부를 고압력 진공배기하고, 히터(124)로 가열시키면 인너 튜브(130)의 제1 튜브(132a)에 담긴 유기물 재료(150a)가 프로세스 챔버(122)내에서 승화되어 정제품(150b)과 불순물(150c)로 정제된다. The high vacuum pump 174 of the high vacuum processing unit 170 is operated to evacuate the inside of the process chamber 122 to a high pressure vacuum and then heated by the heater 124 to heat the first tube 132a of the inner tube 130, The organic material 150a contained in the process chamber 122 is sublimated in the process chamber 122 and purified into the refined product 150b and the impurity 150c.

이때, 상기 히터(124)는 종래와 같이 프로세스 챔버(122)의 내부에 온도 구배, 예를 들면 제1 튜브(132a)가 위치된 부분에는 400℃ 로 가열하고, 제2 튜브(132b)가 위치된 부분에는 250℃ 로 가열하며, 제3 튜브(132c)가 위치된 부분에는 100℃ 로 가열하여 구간별로 온도 구배를 형성시킨다.At this time, the heater 124 is heated to 400 DEG C in a temperature gradient inside the process chamber 122, for example, where the first tube 132a is located, and the second tube 132b is moved to the position And the temperature of the portion where the third tube 132c is located is heated to 100 DEG C to form a temperature gradient for each section.

따라서 제1 튜브(132a) 내의 유기물 재료(150a)는 승화되어 제1 연결관(136a)을 통하여 제2 튜브(132b)로 넘어가고, 정제품(150b)을 제2 튜브(132b)내에 석출시키며, 나머지 불순물(150c)은 제2 연결관을 통하여 제3 튜브(132c)로 넘어가서 제3 튜브(132c)내에서 석출된다. The organic material 150a in the first tube 132a is sublimated and transferred to the second tube 132b through the first connection tube 136a to deposit the purified product 150b in the second tube 132b, The remaining impurity 150c is passed through the second connection tube to the third tube 132c and precipitates in the third tube 132c.

따라서 제1 튜브(132a) 내의 유기물 재료(150a)는 제2 튜브(132b) 내의 정제품(150b)과, 제3 튜브(132c) 내의 불순물(150c)로 각각 분리 정제된다. The organic material 150a in the first tube 132a is separated and purified into the refined product 150b in the second tube 132b and the impurity 150c in the third tube 132c.

그리고 이와 같이 유기물 재료(150a)의 정제가 완료되면, 프로세스 챔버(122)를 냉각시키고 상온에서 진공을 해제시키며, 인너 튜브(130)를 프로세스 챔버(122)로부터 취출(取出)하여 정제된 유기질 정제품(150b)을 수거한다. 그리고 이와 같은 공정을 반복하여 유기질 재료의 순도를 향상시키게 된다.When the purification of the organic material 150a is completed, the process chamber 122 is cooled, the vacuum is released at room temperature, and the inner tube 130 is taken out from the process chamber 122, (150b). Such a process is repeated to improve the purity of the organic material.

이와 같은 과정에서 본 발명은 인너 튜브(130)의 폭(W3)이 그 높이(H3)보다 대략 2배 내지 6배이상 큰 크기로 이루어진 직사각형 단면, 직타원형 단면 또는 다각형 단면중의 어느 하나로 이루어진 것이다.In this process, the present invention is made of any one of a rectangular cross section, a straight elliptic cross section, and a polygonal cross section, the width W3 of the inner tube 130 being larger than the height H3 by about 2 to 6 times .

따라서 프로세스 챔버(122)내에서 유기물 재료(150a)의 승화작용이 이루어지면, 제1 튜브(132a)에 담긴 유기질 재료의 승화 표면적(R2)이 종래의 승화 표면적(R1)에 비하여 크게 증가되어 적어도 2배 이상 종래에 비해 열효율 및 정제 효율을 향상시킬 수 있다.Accordingly, when the sublimation action of the organic material 150a is performed in the process chamber 122, the sublimation surface area R2 of the organic material contained in the first tube 132a is greatly increased compared to the conventional sublimation surface area R1, The thermal efficiency and the purification efficiency can be improved more than twice as compared with the conventional art.

뿐만 아니라, 상기 인너 튜브(130)는, 그 폭(W2)이 그 높이(H2)보다 대략 2배 내지 6배이상 큰 크기로 이루어진 직사각형 단면, 직타원형 단면 또는 다각형 단면중의 어느 하나로 이루어진 프로세스 챔버(122) 내에서 히터(124)에 의해서 가열되기 때문에, 인너 튜브(130)의 중앙 부분과 외측 부분에 위치된 유기물 재료(150a)의 국소적인 온도 편차를 최소화시킬 수 있다. In addition, the inner tube 130 may be formed of any one of a rectangular cross section, a rectangular cross section, and a polygonal cross section, the width W2 of which is approximately 2 to 6 times larger than the height H2 thereof. The local temperature deviation of the organic material 150a located at the central portion and the outer portion of the inner tube 130 can be minimized since it is heated by the heater 124 in the inner tube portion 122. [

즉, 본 발명은 프로세스 챔버(122)와 인너 튜브(130)가, 각각 그 폭에 비하여 높이가 크지 않고, 납작한 형태이기 때문에 인너 튜브(130)의 어느 곳에 담긴 유기물 재료(150a)들도 도 7에 도시된 바와 같이, 히터(124)로부터 멀리 위치하지 않고 대부분 가깝게 위치된다. That is, in the present invention, since the process chamber 122 and the inner tube 130 are not as large in height as the respective widths and are flat, the organic materials 150a held in any of the inner tubes 130, The heaters 124 are located far away from the heaters 124, as shown in FIG.

따라서 이와 같이 배치되어 가열되면, 인너 튜브(130) 내의 유기물 재료(150a)를 균일한 온도로 가열할 수 있게 되어 유기물 재료(150a) 간의 국소적인 온도 편차를 최소화시킬 수 있다. Accordingly, when the organic material 150a is arranged and heated, it is possible to heat the organic material 150a in the inner tube 130 to a uniform temperature, thereby minimizing a local temperature deviation between the organic materials 150a.

결과적으로, 본 발명은 유기물 재료(150a)의 균일한 가열을 통하여 재료의 변질을 효과적으로 방지할 수 있고, 순도 높은 정제품(150b)을 생산할 수 있으며, 대량 정제처리에도 적합하게 된다.As a result, the present invention can effectively prevent the deterioration of the material through the uniform heating of the organic material 150a, produce the highly purified product 150b, and is also suitable for mass purification.

그리고 본 발명은 이와 같이 유기물 재료(150a)를 정제시키는 과정에서 프로세스 챔버(122)를 고압 진공처리하는 경우, 프로세스 관(121)의 외측에는 석영판(210)과 외측 진공챔버(162)의 10-2 Torr 진공압력이 형성되어 대기압으로부터 프로세스 챔버(122)를 격리시키고 있다. When the process chamber 122 is subjected to a high-pressure vacuum process in the process of purifying the organic material 150a as described above, the quartz plate 210 and the outer vacuum chamber 162 -2 Torr vacuum pressure is created to isolate the process chamber 122 from atmospheric pressure.

따라서 본 발명은 고압 진공을 프로세스 챔버(122)에 가하는 경우에도, 프로세스 관(121)에는 외부의 대기압이 미치지 않게 되어 프로세스 관(121)의 파손을 완벽하게 방지시킬 수 있고, 그에 따라서 프로세스 챔버(122)의 보수 유지에 많은 정비시간과 비용을 절감할 수 있으며, 장치의 가동율을 높여서 정제작업의 생산성을 크게 높이고, 유지 보수비용을 크게 줄일 수 있게 된다.Therefore, even when a high-pressure vacuum is applied to the process chamber 122, the present invention can prevent the process tube 121 from being damaged due to external atmospheric pressure, 122), it is possible to save a lot of maintenance time and cost, increase the operation rate of the apparatus, greatly increase the productivity of the refining operation, and greatly reduce the maintenance cost.

이에 더하여, 도 12 내지 13를 참조 하면, 본 발명의 유기물 정제장치는 트랜스퍼 장치(500)를 구비할 수도 있다.12 to 13, the organic substance refining apparatus of the present invention may be provided with a transfer apparatus 500.

도 12 및 도 13를 참조 하면, 본 발명에 따르는 유기물 정제장치는 크게 트랜스퍼 챔버(210)와, 히터(미도시), 로딩부(220), 언로딩부(230)와, 이동장치(240)로 구성된다.12 and 13, the organic substance refining apparatus according to the present invention includes a transfer chamber 210, a heater (not shown), a loading unit 220, an unloading unit 230, a moving unit 240, .

상기 트랜스퍼 챔버는 본 발명에 따르는 정제 처리부(120)의 측부 프레임(110)에 연결되도록 설치된다. 여기서, 상기 트랜스퍼 챔버(210)는 프로세스 챔버(122)와 인너 튜브(130)가 이동되는 경로를 형성한다.The transfer chamber is installed to be connected to the side frame 110 of the tablet processing unit 120 according to the present invention. Here, the transfer chamber 210 forms a path through which the process chamber 122 and the inner tube 130 are moved.

상기 경로 상에는 상기 경로를 개폐하는 게이트 밸브(GV)가 설치된다.A gate valve (GV) for opening and closing the path is provided on the path.

상기 로딩부(220)는 상기 트랜스퍼 챔버(210)의 일측부에 설치되고, 상기 언로딩부(230)는 상기 트랜스퍼 챔버(210)의 타측부에 설치된다.The loading unit 220 is installed on one side of the transfer chamber 210 and the unloading unit 230 is installed on the other side of the transfer chamber 210.

상기로딩부(220)는 인너 튜브(130)를 상기 트랜스퍼 챔버(210)로 로딩시킬 수 있다. 상기 언로딩부(230)는 인너 튜브(130)를 상기 트랜스퍼 챔버(210)로 언로딩시킬 수 있다.The loading unit 220 may load the inner tube 130 into the transfer chamber 210. The unloading unit 230 may unload the inner tube 130 to the transfer chamber 210.

도 13을 참조 하면, 트랜스퍼 챔버(210) 상에는 전후로 이동되는 암(231)이 설치된다. 상기 암(231)에는 인너 튜브(130)가 위치될 수 있다.Referring to FIG. 13, an arm 231 is provided on the transfer chamber 210 to move back and forth. The arm 231 may be provided with an inner tube 130.

상기 암(231)은 체인에 의해 전후진될 수 있다. 상기 체인을 동작시키는 서보 모터(234)가 구비될 수 있다.The arm 231 can be moved back and forth by a chain. And a servo motor 234 for operating the chain may be provided.

상기 로딩부(220) 또는 언로딩부(230)는 공통적으로 수직하게 설치되고 다른 서보 모터(235)의 회전에 의해 회전되는 볼스크루(233)가 설치된다. 상기 볼스크루(233)의 상단부에는 인너 튜브(130)가 위치되는 영역이 형성되고, 볼스크루(233)의 회전에 의해 인너 튜브(130)는 승강될 수 있다. '232'는 샤프트이다.The loading unit 220 or the unloading unit 230 is provided with a ball screw 233 installed vertically and rotated by the rotation of another servo motor 235. The upper end of the ball screw 233 has an area where the inner tube 130 is positioned and the inner tube 130 can be moved up and down by the rotation of the ball screw 233. [ '232' is the shaft.

상기 이동 장치(240)는 로딩부(220)와 언로딩부(230)의 사이를 왕복할 수 있는 장치이다.The mobile device 240 is a device capable of reciprocating between the loading part 220 and the unloading part 230.

도 15를 참조 하면, 상기 이동 장치(240)는 인너 튜브(130)가 위치되는 스테이지(236)를 구비한다.Referring to FIG. 15, the mobile device 240 includes a stage 236 on which the inner tube 130 is located.

상기 스테이지(236)에는 가열기(236a)와 냉각기가 설치된다. 따라서, 가열존과 냉각존이 구획되어 설치된다.The stage 236 is provided with a heater 236a and a cooler. Therefore, the heating zone and the cooling zone are partitioned and installed.

상기 냉각기의 경우 별도의 냉각수 인라인(237) 및 아웃라인(238)을 통해 냉각을 이룬다.In the case of the cooler, cooling is achieved through separate cooling water in-line 237 and outline 238.

상기 이동 장치(240)에는 이동실린더(239)가 설치되며, 상기 이동실린더(239)는 스테이지(236)를 로딩부(220)와 트랜스퍼 챔버(210) 위치 또는 언로딩부(230)와 트랜스퍼 챔버(210) 위치 간 더블 이송을 이룬다.The moving device 240 is provided with a moving cylinder 239. The moving cylinder 239 moves the stage 236 between the loading part 220 and the transfer chamber 210 or between the unloading part 230 and the transfer chamber 230. [ (210) position.

따라서, 본 발명에 따르는 트랜스퍼 장치(500)는 로딩부(220)로 인너 튜브(130)가 로딩되면, 트랜스퍼 챔버(210)로 이동하여 가열배기 및 가열한 이후 프로세트 챔버(210)로 투입시킨다.Accordingly, when the inner tube 130 is loaded into the loading unit 220, the transfer apparatus 500 according to the present invention moves to the transfer chamber 210 and is heated and exhausted, .

반면, 정제 공정 이후에 배출되는 인터 튜브(50)는 트랜스퍼 챔버(210)에서 진공 파기 후 냉각기를 통해 냉각 후 언로딩부(230)를 통해 외부로 언로딩한다.On the other hand, the intertubule 50 discharged after the purification process is cooled through the cooler after vacuum evacuation in the transfer chamber 210, and then unloaded to the outside through the unloading unit 230.

본 발명은 상기에서 도면을 참조하여 특정 실시 예에 관련하여 상세히 설명하였지만 본 발명은 이와 같은 특정 구조에 한정되는 것은 아니다. 당 업계의 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 기술 사상 및 권리범위를 벗어나지 않고서도 본 발명을 다양하게 수정 또는 변경시킬 수 있을 것이다. 예를 들면, 상기 프로세스 관(121)과 인너 튜브(130)는 석영재료 뿐만 아니라, 유리, 세라믹, 또는 금속관 재질로 제조될 수 있을 것이다. 그렇지만 그와 같은 단순한 재료적 수정 또는 변형 구조들은 모두 명백하게 본 발명의 권리범위 내에 속하게 됨을 미리 밝혀 두고자 한다.Although the present invention has been described in detail with reference to specific embodiments thereof with reference to the accompanying drawings, the present invention is not limited to such specific structures. It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined in the following claims. For example, the process tube 121 and the inner tube 130 may be made of a quartz material, as well as a glass, ceramic, or metal tube material. It should be understood, however, that such simple material modifications or variations are all within the scope of the present invention.

1: 종래의 유기물 정제장치 10: 프로세스 챔버
12: 외측 관 20: 히터
30: 내측 관 40: 유기물 재료
50: 인너 튜브(Inner Tube) 60: 정제품
70: 불순물 100: 본 발명의 유기물 정제장치
110: 프레임 120: 정제 처리부
121: 프로세스 관 122: 프로세스 챔버
124: 히터 126a: 상판
126b: 하판 126c,126d: 좌우 측판
210: 석영판 130: 인너 튜브
132a: 제1 튜브 132b: 제2 튜브
132c: 제3 튜브 134a,134b: 단턱
136a: 제1 연결관 136b,136c: 제2 및 제3 연결관
150a: 유기물 재료 150b: 정제품
150c: 불순물 160: 저진공 처리부
162: 외측 진공챔버 164: 저진공 펌프
170: 고진공 처리부 174: 고진공 펌프
182a,182b: 개폐도어 186: 버퍼 챔버
190: 내부 점검창 194: 실린더
P1: 외주측 P2: 중심측
R1,R2: 승화 표면적 H1,H2,H3: 높이
W1,W2,W3: 폭 500 : 트랜스퍼 장치1: Conventional organic purification apparatus 10: Process chamber
12: outer tube 20: heater
30: inner tube 40: organic material
50: Inner Tube 60: Refined product
70: Impurity 100: Organic matter purification apparatus of the present invention
110: frame 120:
121: process tube 122: process chamber
124: heater 126a: top plate
126b: lower plates 126c, 126d: left and right side plates
210: quartz plate 130: inner tube
132a: first tube 132b: second tube
132c: third tube 134a, 134b:
136a: first connection pipe 136b, 136c: second and third connection pipe
150a: organic material 150b: purified product
150c: impurities 160: low vacuum processing part
162: outer vacuum chamber 164: low vacuum pump
170: high vacuum processing unit 174: high vacuum pump
182a, 182b: opening / closing door 186: buffer chamber
190: internal inspection window 194: cylinder
P1: outer circumferential side P2: center side
R1, R2: sublimation surface area H1, H2, H3: height
W1, W2, W3: width 500: transfer device

Claims (5)

유기물 재료의 물성 변화 온도차이를 이용하여 불순물을 승화 정제시키는 장치에 있어서,
일정크기의 프레임;
상기 프레임의 상부측에 위치되어 이중 진공챔버로서 보호되고, 유기물 재료가 내부에 담기는 프로세스 챔버를 구비하며, 상기 프로세스 챔버의 외측에서 히터를 통하여 프로세스 챔버 내의 유기물 재료를 가열시켜 불순물을 분리하는 정제 처리부;
상기 정제 처리부의 프로세스 챔버 내부에 삽입되고, 그 폭이 높이보다 크게 이루어진 단면으로 형성되며, 내부에는 유기물 재료가 담겨서 정제품과 불순물을 분리시키는 인너 튜브;
상기 정제 처리부의 이중 진공 챔버중 외측 진공챔버에 저압의 진공압을 부여하는 저진공 펌프를 구비하여 외부의 대기압으로부터 프로세스 챔버를 분리시키는 저진공 처리부; 및
상기 정제 처리부의 프로세스 챔버에 고압의 진공압을 부여하는 고진공 펌프를 구비하여 프로세스 챔버를 진공처리하는 고진공 처리부;를 포함하여 상기 프로세스 챔버내에 위치된 인너 튜브에 담긴 유기물 재료의 승화 표면적을 크게 증대시켜서 단위 시간당 승화량을 증대시켜 정제 효율을 향상시키도록 구성되며,
상기 정제 처리부는,
상기 정제 처리부의 폭이 높이보다 크기가 큰 직사각형 단면을 형성하도록 상판, 하판, 및 좌우 측판들이 밀폐형으로 이루어지고, 그 내부에는 직사각형 단면의 불투명 석영판이 내장되며,
상기 석영판의 내측 둘레를 따라 봉 형상의 전기 히터들이 배치되고,
상기 석영판의 내측 둘레에는 상기 각 전기 히터들을 그립하고 석영으로 형성되는 다수의 그립 부재들이 설치되고,
상기 히터들의 내부에는 석영 재료로 이루어진 프로세스 관이 배치되어 그 내부에서 프로세스 챔버를 형성하며, 상기 프로세스 챔버의 내부에는 인너 튜브가 내장된 구조로 이루어지며,
상기 인너 튜브는 상기 프로세스 챔버의 내부로 삽입가능한 단면 크기로서 그 폭이 그 높이보다 큰 크기의 직사각형 단면의 석영관으로 이루어지고, 전방측에는 원료인 유기질 재료가 투입되는 제1 튜브와, 상기 제1 튜브의 후방측으로 연결되어 정제품이 정제되어 담기는 제2 튜브, 및 상기 제2 튜브의 후방측으로 연결되어 불순물이 정제되어 담기는 제3 튜브로 이루어지며, 상기 제1 내지 제3 튜브의 양측 상부 각각에는 적어도 둘의 돌기가 형성되어 프로세스 챔버로 인너 튜브의 삽입 및 인출시 작업용 지그가 위치되기 위한 작업 공간을 각각 형성한 것임을 특징으로 하는 유기물 정제장치.An apparatus for sublimating and refining impurities using a temperature change temperature difference of an organic material,
A frame of a certain size;
A processing chamber disposed on the upper side of the frame and protected as a double vacuum chamber and containing an organic material therein; and a heating unit for heating the organic material in the process chamber through a heater outside the process chamber to remove impurities A processor;
An inner tube inserted into the process chamber of the refining unit and having a width larger than a height, the inner tube containing an organic material to separate the purified product from impurities;
A low vacuum processing unit for separating the process chamber from an external atmospheric pressure by providing a low vacuum pump for applying low pressure vacuum pressure to the external vacuum chamber of the double vacuum chamber of the purification processing unit; And
And a high vacuum processing unit for vacuum processing the process chamber by providing a high vacuum pump for applying a high vacuum pressure to the process chamber of the purification processing unit to greatly increase the sublimation surface area of the organic material contained in the inner tube disposed in the process chamber The purification efficiency is improved by increasing the sublimation amount per unit time,
The purification processing unit,
The upper plate, the lower plate, and the left and right side plates are closed to form a rectangular cross section having a width larger than the height of the tablet processing section, and an opaque quartz plate having a rectangular cross section is built therein,
Wherein rod-like electric heaters are arranged along the inner circumference of the quartz plate,
A plurality of grip members formed of quartz are installed on the inner periphery of the quartz plate to grip the electric heaters,
A process tube made of a quartz material is disposed inside the heaters to form a process chamber therein, and an inner tube is embedded in the process chamber,
Wherein the inner tube comprises a quartz tube having a cross-sectional size insertable into the process chamber and having a width larger than the height, a first tube through which the organic material as a raw material is charged, And the second tube is connected to the rear side of the tube to refine the purified product and the second tube is connected to the rear side of the second tube and the third tube is filled with the purified impurities. Wherein at least two projections are formed to form a working space for positioning the work jig when the inner tube is inserted into and drawn out from the process chamber. 제1항에 있어서,
상기 정제 처리부를 형성하는 상판, 하판, 및 좌우 측판은 스테인레스판으로 이루어지고, 좌우 측판에는 점검창이 각각 형성되며, 그 내측의 외측 진공챔버에는 상기 저진공 처리부의 저진공 펌프가 진공 배관을 통하여 연결되어 10-2 Torr의 진공압력이 가해지고, 상기 상판, 하판, 및 좌우 측판의 전면에는 개폐도어가 형성된 것임을 특징으로 하는 유기물 정제장치.The method according to claim 1,
The lower plate, the lower plate, and the left and right side plates, which form the tablet processing unit, are made of stainless steel. Each of the left and right side plates has a check window. The lower vacuum chamber of the inside of the upper and lower plates is connected to a vacuum pump And a vacuum pressure of 10 -2 Torr is applied to the upper plate, the lower plate, and the left and right side plates. 제1항에 있어서,
상기 프로세스 챔버는 그 폭이 그 높이보다 큰 직사각형 단면, 직타원형 단면 또는 다각형 단면중의 어느 하나로 이루어진 프로세스 관을 통하여 그 내부에 형성되며, 상기 프로세스 관의 전단은 전방 개폐도어를 통하여 밀봉가능하게 차단되고, 그 후단은 버퍼 챔버를 경유하여 고진공 처리부의 고진공 펌프에 연결되어 내부에 진공압력이 형성되는 한편, 상기 버퍼 챔버의 후방측으로 형성된 후방 개폐도어를 통하여 외부에 대해서 밀봉가능하게 차단되는 것임을 특징으로 하는 유기물 정제장치.The method according to claim 1,
Wherein the process chamber is formed therein with a process tube made of any one of a rectangular cross section, a rectilinear cross section, or a polygonal cross section whose width is greater than the height, and a front end of the process tube is sealed And the rear end thereof is connected to the high vacuum pump of the high vacuum processing section via the buffer chamber so that a vacuum pressure is formed therein and is sealed to the outside through the rear opening and closing door formed on the rear side of the buffer chamber. The organic substance refining apparatus. 제1항에 있어서,
상기 인너 튜브는 전면이 막힌 직사각형 단면의 튜브 구조로 제1 튜브가 이루어지고, 제1 튜브의 후면 상부에는 외부로 개방된 제1 연결관이 돌출되며, 상기 제2 및 제3 튜브들은 그 상,하 및 좌우 측면들이 막힌 튜브형으로서 각각 그 전면이 개방되고, 그 후면 상부에는 외부로 개방된 제2 및 제3 연결관이 각각 돌출형성됨으로써 제1 튜브의 후방 제1 연결관이 제2 튜브의 전면으로 삽입되어 제1 튜브와 제2 튜브가 정렬되고, 제2 튜브의 후방 제2 연결관이 제3 튜브의 전면으로 삽입되어 제2 튜브와 제3 튜브가 정렬되며, 제3 튜브의 후방 제3 연결관은 버퍼 챔버의 내부로 연장됨으로서 상기 제1 내지 제3 튜브들은 프로세스 챔버내에서 일직선으로 서로 연결되고, 그 내부 공간이 제1 및 제2 연결관들을 통하여 서로 연통되는 것임을 특징으로 하는 유기물 정제장치.The method according to claim 1,
The inner tube has a tube structure having a rectangular cross section with a front surface closed, a first tube is formed, a first connection tube opened to the outside is protruded on a rear upper surface of the first tube, And second and third connection pipes which are open to the outside are protruded from each other, so that the rear first connection pipe of the first tube is connected to the front surface of the second tube The first tube and the second tube are aligned and the rear second connection tube of the second tube is inserted into the front surface of the third tube to align the second tube and the third tube, Wherein the connection tubes extend into the interior of the buffer chamber such that the first to third tubes are connected to each other in a straight line in the process chamber and the internal space communicates with each other through the first and second connection tubes. Device. 제4항에 있어서,
상기 인너 튜브는 상기 프로세스 챔버의 단면에 일치하는 직사각형 단면, 직타원형 단면 또는 다각형 단면중의 어느 하나로 이루어지고, 그 폭의 크기가 높이의 2배 내지 6배 크게 형성되어 프로세스 챔버의 내부로 삽입되는 것임을 특징으로 하는 유기물 정제장치.5. The method of claim 4,
The inner tube is made of any one of a rectangular cross section, a straight elliptic cross section, or a polygonal cross section coinciding with the cross section of the process chamber. The width of the inner tube is formed to be two to six times as large as the height and inserted into the interior of the process chamber Wherein the organic substance purification apparatus comprises:
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