KR20190083152A - System and method for managing wafer carrier information - Google Patents

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석동주
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Abstract

According to one embodiment of the present invention, a system for managing wafer carrier information includes: an RFID tag in which identification information of a wafer carrier is stored and which is attached to the wafer carrier; at least one transfer vehicle which transfers the wafer carrier and to which an RFID reader reading the RFID tag to receive the identification information of the wafer carrier is attached; and a transfer device control unit transmitting a transfer command for transferring the wafer carrier to a plurality of process facilities and a plurality of carrier buffers to the transfer vehicles and collecting the identification information of the wafer carrier from the transfer vehicle to store the same.

Description

웨이퍼 캐리어 정보 관리 시스템 및 방법{System and method for managing wafer carrier information}The present invention relates to a wafer carrier information management system,

본 발명은 반도체 제조 장비에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 웨이퍼 캐리어 정보 관리 시스템 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to semiconductor manufacturing equipment, and more particularly, to a wafer carrier information management system and method.

최근에는 반도체 공정에 자동물류관리시스템이 도입되어 자동반송대차(auto guided vehicle), 레이저반송차량(laser guided vehicle), 천정반송대차(overhead hoist transport, OHT) 등을 이용하여 웨이퍼가 수납된 웨이퍼 캐리어를 운반 및 적재한다.2. Description of the Related Art In recent years, an automatic logistics management system has been introduced to a semiconductor process, and a wafer carrier, which houses a wafer using an auto guided vehicle, a laser guided vehicle, an overhead hoist transport (OHT) .

웨이퍼 캐리어 반송 차량이 이동하는 이동 경로의 측면에는 반송 차량이 웨이퍼 캐리어를 이송하는 도중 웨이퍼 캐리어를 일시적으로 보관하는 캐리어 버퍼(carrier buffer)들이 존재하는데, 어느 위치의 캐리어 버퍼에 어떤 웨이퍼 캐리어가 존재하는지 여부에 대한 정보가 있으면 반송 차량이 새로운 웨이퍼 캐리어를 캐리어 버퍼에 적재하고자 하거나 캐리어 버퍼에 적재되어 있는 웨이퍼 캐리어를 다른 위치로 이송시키고자 할 때 반송 차량의 이동을 효율적으로 관리할 수 있다. 이외에도 캐리어 버퍼에 적재된 웨이퍼 캐리어 정보는 반도체 공정을 관리하는데 있어 중요한 역할을 한다.There are carrier buffers for temporarily storing the wafer carriers on the side of the movement path on which the wafer carrier carrying vehicle moves while the carrier carrying the wafer carriers, It is possible to efficiently manage the movement of the conveying vehicle when the conveyance vehicle wants to load a new wafer carrier into the carrier buffer or to transfer the wafer carrier loaded in the carrier buffer to another position. In addition, the wafer carrier information loaded in the carrier buffer plays an important role in managing the semiconductor process.

기존에는 반도체 공정 장비의 로딩/언로딩 포트에 장착된 RFID(radio frequency identification) 리더기가 반도체 공정 장비로 로딩/언로딩되는 웨이퍼 캐리어에 부착된 RFID 태그를 읽는 방식으로 웨이퍼 캐리어 정보를 수집하고 데이터베이스화하여 관리하고 있다. 이러한 웨이퍼 캐리어 정보는 메인 이송 제어부 및 반송 차량 제어부에 각각 저장되어 있으며, 저장된 정보를 기반으로 메인 이송 제어부에서 반송 차량 제어부로 반송 차량의 이동을 위한 명령을 전송하고, 반송 차량 제어부 역시 저장된 정보를 기반으로 반송 차량의 이동을 관리하고 있다. 만일, 반송 차량 제어부에 저장된 정보에 오류가 발생하거나 또는, 반도체 공정 라인 내에 발생한 정전 등으로 인해 웨이퍼 캐리어 정보가 삭제되면 전체 웨이퍼 캐리어에 대한 정보를 새로 읽어 저장해야 한다.Conventionally, a radio frequency identification (RFID) reader mounted on a loading / unloading port of a semiconductor process equipment reads RFID tags attached to a wafer carrier loaded / unloaded with semiconductor processing equipment, . The wafer carrier information is stored in the main transfer control unit and the transport vehicle control unit. Based on the stored information, the main transport control unit transmits a command for transporting the transport vehicle to the transport vehicle control unit. The transport vehicle control unit also stores the stored information And controls the movement of the conveying vehicle. If the information stored in the transport vehicle control unit is erroneous or the wafer carrier information is deleted due to a power failure or the like occurring in the semiconductor process line, information on the entire wafer carrier should be read and stored.

그러나, 현재 웨이퍼 캐리어를 이송하는 반송 차량에는 RFID 리더기가 장착되어 있지 않으므로, 새로 전체 웨이퍼 캐리어에 대한 정보를 읽기 위해서는 RFID 리더기가 장착된 반도체 공정 장비의 로딩/언로딩 포트를 이용하거나 또는, 천정에 위치한 캐리어 버퍼에서 직접 꺼내어 웨이퍼 캐리어 정보를 수집해야 하므로, 웨이퍼 캐리어 정보를 복구하는데 많은 시간이 소요됨은 물론 정보를 수집하는 과정에서도 어려움이 있다.However, since the RFID reader is not mounted on the transport vehicle currently transporting the wafer carrier, it is necessary to use the loading / unloading port of the semiconductor process equipment equipped with the RFID reader to read information on the entire wafer carrier, The wafer carrier information needs to be directly retrieved from the carrier buffer located in the wafer carrier. Therefore, it takes much time to recover the wafer carrier information, and it is also difficult to collect information.

본 발명의 실시 예는 웨이퍼 캐리어 정보의 복구 시간을 단축시킬 수 있는 웨이퍼 캐리어 정보 관리 시스템 및 방법을 제공하는 것이다.Embodiments of the present invention provide a wafer carrier information management system and method that can shorten the recovery time of wafer carrier information.

본 발명의 실시 예에 의한 웨이퍼 캐리어 정보 관리 시스템은 웨이퍼 캐리어 식별 정보가 저장되고 상기 웨이퍼 캐리어에 부착되는 RFID 태그; 상기 웨이퍼 캐리어를 이송하고, 상기 RFID 태그를 리드하여 상기 웨이퍼 캐리어 식별 정보를 수신하는 RFID 리더가 부착된 적어도 하나 이상의 반송 차량들; 및 상기 웨이퍼 캐리어를 복수의 공정 설비들 및 복수의 캐리어 버퍼들로 이송시키기 위한 이송 커맨드를 상기 반송 차량들로 전송하고, 상기 반송 차량들로부터 상기 웨이퍼 캐리어 식별 정보를 수집하여 저장하는 반송 장치 제어부를 포함한다. 상기 반송 차량들은 상기 반송 장치 제어부로부터 수신된 상기 이송 커맨드에 근거하여 이송할 웨이퍼 캐리어 식별 정보와 실제 파지한 웨이퍼 캐리어 식별 정보를 비교한 후 비교 결과를 상기 반송 장치 제어부로 전송하고, 상기 반송 장치 제어부는 상기 반송 차량들로부터 수신된 상기 비교 결과에 근거하여 상기 웨이퍼 캐리어에 대한 이송 목표 위치를 변경하고, 변경된 상기 이송 목표 위치를 상기 반송 차량들로 다시 전송한다.A wafer carrier information management system according to an embodiment of the present invention includes an RFID tag in which wafer carrier identification information is stored and attached to the wafer carrier; At least one transport vehicle carrying an RFID reader for transporting the wafer carrier and for reading the wafer carrier identification information by reading the RFID tag; And a transferring device controller for transferring the transferring command for transferring the wafer carrier to a plurality of process facilities and a plurality of carrier buffers to the transfer vehicles and for collecting and storing the wafer carrier identification information from the transfer vehicles . The transport vehicles compare the wafer carrier identification information to be transported with the actually held wafer carrier identification information based on the transport command received from the transport apparatus control section and then transmit the comparison result to the transport apparatus control section, Changes the transport target position for the wafer carrier based on the comparison result received from the transport vehicles, and transmits the changed transport target position to the transport vehicles again.

본 발명의 실시 예에 의한 웨이퍼 캐리어 정보 관리 방법은 복수의 공정 설비들 및 복수의 캐리어 버퍼들로 웨이퍼 캐리어를 이송하는 반송 차량으로 특정 웨이퍼 캐리어를 이송시키기 위한 이송 커맨드를 전송하는 단계; 상기 이송 커맨드에 근거하여 상기 특정 웨이퍼 캐리어의 현재 위치로 이동하여 상기 특정 웨이퍼 캐리어를 파지하는 단계; 상기 이송 커맨드에 포함된 이송할 특정 웨이퍼 캐리어의 식별 정보와 상기 파지한 특정 웨이퍼 캐리어의 식별 정보를 비교하여 일치하는지 여부를 판단하는 단계; 및 상기 이송할 특정 웨이퍼 캐리어의 식별 정보와 상기 파지한 특정 웨이퍼 캐리어의 식별 정보가 일치하지 않으면 상기 이송할 특정 웨이퍼 캐리어의 목표 위치를 변경하고, 변경된 목표 위치로 상기 이송할 특정 웨이퍼 캐리어를 이송시키는 단계를 포함한다.A method of managing wafer carrier information according to an embodiment of the present invention includes the steps of transmitting a transfer command for transferring a specific wafer carrier to a transfer vehicle for transferring the wafer carrier to a plurality of process facilities and a plurality of carrier buffers; Moving to a current position of the specific wafer carrier based on the transfer command and holding the specific wafer carrier; Comparing the identification information of the specific wafer carrier to be transferred included in the transfer command with the identification information of the specific wafer carrier held and determining whether or not they match; And changing the target position of the specific wafer carrier to be transferred, if the identification information of the specific wafer carrier to be transferred does not match with the identification information of the specific wafer carrier held, and transfers the specific wafer carrier to be transferred to the changed target position .

본 실시 예에 따르면, 이송 대상 웨이퍼 캐리어 식별 정보와 실제 웨이퍼 캐리어 식별 정보의 불일치를 실시간으로 검출할 수 있고, 이에 따라, 웨이퍼 캐리어를 잘못된 위치로 이송시키는 것을 방지함과 동시에 웨이퍼 캐리어 정보를 실시간으로 정정할 수 있다.According to the present embodiment, it is possible to detect, in real time, inconsistencies between the transferred wafer carrier identification information and the actual wafer carrier identification information, thereby preventing the wafer carrier from being transferred to the wrong position and realizing the wafer carrier information in real time Can be corrected.

또한, 본 실시 예에서는 팹(FAB) 내의 웨이퍼 캐리어 버퍼들을 그루핑한 후, 각 캐리어 버퍼 그룹 별로 복수의 반송 차량들을 할당하여 캐리어 버퍼 그룹에 포함된 복수의 캐리어 버퍼들에 적재된 웨이퍼 캐리어 식별 정보를 수집함으로써, 웨이퍼 캐리어 정보를 빠르게 복구할 수 있다.Also, in this embodiment, after grouping the wafer carrier buffers in the fab (FAB), a plurality of carrier vehicles are allocated to each carrier buffer group, and the wafer carrier identification information loaded in the plurality of carrier buffers included in the carrier buffer group The wafer carrier information can be quickly recovered.

도 1은 본 발명의 실시 예에 의한 웨이퍼 캐리어 정보 관리 시스템의 구성을 예시적으로 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 의한 웨이퍼 캐리어 정보 관리 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 의한 웨이퍼 캐리어 정보 관리 방법에서 웨이퍼 캐리어 정보 복구 동작을 설명하기 위한 순서도이다.
도 4는 그루핑된 캐리어 버퍼 그룹들을 예시적으로 도시한 도면이다.1 is a diagram exemplifying the configuration of a wafer carrier information management system according to an embodiment of the present invention.
2 is a flowchart for explaining a wafer carrier information management method according to an embodiment of the present invention.
3 is a flowchart for explaining the wafer carrier information recovery operation in the wafer carrier information management method according to the embodiment of the present invention.
Figure 4 is an exemplary illustration of grouped carrier buffer groups.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 기술의 실시 예를 보다 구체적으로 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present technology will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 실시 예에 의한 웨이퍼 캐리어 정보 관리 시스템의 구성을 예시적으로 도시한 도면이다.1 is a diagram exemplifying the configuration of a wafer carrier information management system according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 실시 예에 의한 웨이퍼 캐리어 정보 관리 시스템은 반도체 공정들이 수행되는 반도체 제조 라인인 팹(FAB) 내부에 설치된 웨이퍼 캐리어 반송 장치(100, 이하, ‘반송 장치’라 함), 반송 장치 제어부(200), 데이터베이스(250), 및 메인 제어부(300)를 포함할 수 있다.1, the wafer carrier information management system according to the present embodiment includes a wafer carrier transfer apparatus 100 (hereinafter, referred to as a 'transfer apparatus') installed in a fab (FAB) A transport device control unit 200, a database 250, and a main control unit 300.

팹(FAB)은 복수의 단위 구역들을 포함하고, 각 단위 구역을 일명 베이(bay)라 한다. 하나의 베이(bay)는 도 1과 같이 복수의 공정 설비들(EA1~EA4, EB1~EB4) 및 각 공정 설비(EA1~EA4, EB1~EB4)에 인접하게 배치된 복수의 캐리어 버퍼들(BA11~BA49, BB11~BB49)을 포함할 수 있다. 복수의 캐리어 버퍼들(BA11~BA49, BB11~BB49)은 반송 장치(100)의 반송 레일(110)과 동일한 레벨에 위치할 수 있다. 도 1에서는 2개의 단위 구역들 예컨대, A-bay와 B-bay 만을 도시하였으나, 통상적으로 팹(FAB)은 복수 개의 베이(bay)들을 포함할 수 있고, 10000개 이상의 캐리어 버퍼들을 포함할 수 있다.A fab (FAB) includes a plurality of unit areas, and each unit area is called a bay. One bay includes a plurality of carrier buffers B arranged adjacent to a plurality of process equipments EA1 to EA4 and EB1 to EB4 and respective process equipments EA1 to EA4 and EB1 to EB4 as shown in Fig. It may comprise B A49 A11 ~, ~ B B11 B B49). The plurality of carrier buffers B A11 to B A49 and B B11 to B B49 may be located at the same level as the transport rails 110 of the transport apparatus 100. Although only two unit areas are shown in FIG. 1, for example, A-bay and B-bay, a fab (FAB) may include a plurality of bays and may include more than 10000 carrier buffers .

각 베이(bay)에는 제1 공정 설비 그룹(EA1~EA2, EB1~EB2)과 제1 공정 설비 그룹(EA1~EA2, EB1~EB2)으로부터 제1 방향으로 이격된 제2 공정 설비 그룹(EA3~EA4, EB3~EB4)이 배치될 수 있다. 복수의 캐리어 버퍼들(BA11~BA49, BB11~BB49)은 제1 공정 설비 그룹(EA1~EA2, EB1~EB2)에 관련된 제1 캐리어 버퍼들(BA11~BA49) 및 제2 공정 설비 그룹(EA3~EA4, EB3~EB4)에 관련된 제2 캐리어 버퍼들(BB11~BB49)을 포함할 수 있다.Each bay is provided with a second process facility group EA3 to EA2 separated from the first process facility group EA1 to EA2 and EB1 to EB2 and the first process facility group EA1 to EA2 and EB1 to EB2 in the first direction, EA4, and EB3 to EB4 may be disposed. The plurality of carrier buffers B A11 to B A49 and B B11 to B B49 are connected to the first carrier buffers B A11 to B A49 associated with the first process facility groups EA1 to EA2 and EB1 to EB2, And second carrier buffers (B B11 to B B49 ) related to the process facility groups (EA3 to EA4, EB3 to EB4).

제1 캐리어 버퍼들(BA11~BA49)은 제1 공정 설비 그룹(EA1~EA2, EB1~EB2)의 상부에 배치된 제1-1 캐리어 버퍼들(BA11~BA19, BB11~BB19), 제1 공정 설비 그룹(EA1~EA2, EB1~EB2)과 제2 공정 설비 그룹(EA3~EA4, EB3~EB4) 사이에 배치된 제1-2 캐리어 버퍼들(BA21~BA28, BB21~BB28)을 포함할 수 있다. 제2 캐리어 버퍼들(BB11~BB49)은 제2 공정 설비 그룹(EA3~EA4, EB3~EB4)의 상부에 배치된 제2-1 캐리어 버퍼들(BA41~BA49, BB41~BB49), 제2 공정 설비 그룹(EA3~EA4, EB3~EB4)과 제1 공정 설비 그룹(EA1~EA2, EB1~EB2) 사이에 배치된 제2-2 캐리어 버퍼들(BA31~BA38, BB31~BB38)을 포함할 수 있다.The first carrier buffers B A11 to B A49 are connected to the first carrier buffers B A11 to B A19 and B B11 to B B19 disposed above the first process facility groups EA1 to EA2 and EB1 to EB2, B19), first in one process equipment group (EA1 EA2 ~, ~ EB1 EB2) and the second process plant group (EA3 EA4 ~, ~ EB3 EB4) of the first-second carrier disposed between the buffer (B A21 ~ A28 B, B B21 to B B28 ). The second carrier buffers B B11 to B B49 are connected to the second-1 carrier buffers B A41 to B A49 and B B41 to B B14 disposed above the second process facility groups EA3 to EA4 and EB3 to EB4, B49), a second group of process equipment (EA3 EA4 ~, ~ EB3 EB4) of claim 1 and process equipment group (EA1 EA2 ~, ~ EB1 EB2) of the second-second carrier disposed between the buffer (B A31 ~ A38 B, B B31 to B B38 ).

본 실시 예에서 사용하는 웨이퍼 캐리어의 종류로는 전면 개방형 운송 박스(Front Open Shipping Box, FOSB), 전면 개방 일체식 포드(Front Open Unified Pod, FOUP), 웨이퍼카세트 등 웨이퍼를 수용하여 운반할 수 있는 용기이면 어떤 구성이든 가능하다. FOUP은 팹(FAB) 내부에서 공정 설비간 이송에 사용되는 대전방지용 웨이퍼 캐리어로서, FOSB와 달리 팹(FAB) 내부에서만 사용하므로 사용기간이 길고, 정전기와 표면저항 방지 등의 기능이 있어 최근에는 반도체 공정에서 FOUP을 주로 사용하는 바, 이하 FOUP을 웨이퍼 캐리어의 일 예로 하여 본 발명의 실시 예를 설명한다.The types of wafer carriers used in the present embodiment include a front open shipping box (FOSB), a front open unified pod (FOUP), a wafer cassette, Any form of container is possible. FOUP is an antistatic wafer carrier used for transferring between process equipment inside a fab (FAB). Unlike the FOSB, it is used only inside a fab (FAB), so it has a long service life and functions such as prevention of static electricity and surface resistance. The FOUP is mainly used in the process. Hereinafter, the FOUP will be described as an example of the wafer carrier, and an embodiment of the present invention will be described.

또한, 최근에는 웨이퍼 캐리어에 수용된 웨이퍼에 관한 정보를 송수신하기 위하여 RFID(Radio Frequency Identified) 기술이 주로 사용되는 바, RFID는 무선 주파수를 이용하여 전자태그를 장착한 물품이 리더의 인식영역에 들어갔을 때 자동으로 인식하고 물품에 관한 정보를 읽어내는 기술이다. RFID는 마이크로칩에 저장된 데이터를 읽기 위해 마이크로칩에 판독기를 직접 접촉하거나 가시거리에서 판독기를 가지고 스캐닝하는 별도의 과정이 필요 없으며, 대용량의 데이터를 전송할 수 있다는 장점을 가지고 있다. RFID 시스템은 물품에 부착되어 세부 정보가 내장되는 전자태그와, 전자태그의 정보를 RF 통신을 이용하여 수신하는 RFID 리더, 상기 RFID 리더로부터 정보를 수집하여 데이터베이스를 구축하는 정보 서버를 포함한다.In recent years, RFID (Radio Frequency Identification) technology has been mainly used to transmit and receive information about wafers accommodated in a wafer carrier. In the RFID, It is a technology that automatically recognizes and reads information about goods. RFID is advantageous in that it does not require a separate process of directly contacting the reader with the microchip to read the data stored in the microchip, or scanning the reader with the reader at a visible distance, and can transmit a large amount of data. The RFID system includes an RFID tag attached to an article and having detailed information embedded therein, an RFID reader receiving information of the RFID tag through RF communication, and an information server collecting information from the RFID reader and building a database.

본 실시 예에서는 웨이퍼 캐리어에 웨이퍼 캐리어의 식별 정보(identification, ID)가 내장된 RFID 태그(도시되지 않음)가 부착되고, 반송 장치(100)의 반송 차량(150)에 RFID 리더(155)가 부착될 수 있다.In this embodiment, an RFID tag (not shown) with wafer carrier identification (ID) embedded therein is attached to the wafer carrier, and an RFID reader 155 is attached to the transport vehicle 150 of the transport apparatus 100 .

반송 장치(100)는 각 베이(bay)의 상부에 설치된 반송 레일(110) 및 반송 레일(110)을 따라 각 베이(bay)로 이동하는 반송 차량(150)을 포함할 수 있다.The conveying apparatus 100 may include a conveying rail 110 installed on the upper part of each bay and a conveying vehicle 150 moving to each bay along the conveying rail 110.

본 실시 예에서 사용될 수 있는 반송 장치(100)는 자동반송대차(auto guided vehicle), 레이저반송차량(laser guided vehicle), 천정반송대차(overhead hoist transport, OHT) 등을 포함하며, 본 실시 예에서는 천정반송대차(overhead hoist transport, OHT)를 반송 장치(100)의 일 예로 하여 본 발명의 실시 예를 설명한다.The transport apparatus 100 that can be used in the present embodiment includes an auto guided vehicle, a laser guided vehicle, an overhead hoist transport (OHT), etc. In the present embodiment, An embodiment of the present invention will be described with reference to an example of the overhead hoist transport (OHT)

반송 레일(110)은 팹(FAB)의 상부 예를 들어, 천정에 설치될 수 있다. 반송 레일(110)은 각 베이(bay)에 포함된 복수의 공정 설비들(EA1~EA4, EB1~EB4)의 로딩/언로딩 포트들의 상부를 가로지르도록 설치될 수 있다. 또한, 반송 레일(110)은 각 공정 설비들(EA1~EA4, EB1~EB4)의 상부에 배치된 복수의 캐리어 버퍼들(BA11~BA49, BB11~BB49)의 입구를 지나가도록 배치될 수 있다.The conveying rail 110 may be installed in the upper part of the fab (FAB), for example, on the ceiling. The transport rail 110 may be installed across the upper portions of the loading / unloading ports of a plurality of process facilities EA1 to EA4, EB1 to EB4 included in each bay. The conveyance rail 110 is arranged so as to pass through the entrance of a plurality of carrier buffers B A11 to B A49 and B B11 to B B49 disposed above the respective process equipments EA1 to EA4 and EB1 to EB4 .

반송 차량(150)은 웨이퍼 캐리어를 파지하여 반송 레일(110)을 따라 이동하도록 구성될 수 있다. 도면상에 구체적으로 도시하지는 않았으나, 반송 차량(150)은 내부 상면에 웨이퍼 캐리어를 파지하기 위한 파지부가 장착되고, 파지한 웨이퍼 캐리어를 수용하는 커버를 포함할 수 있다. RFID 리더(155)는 반송 차량(150)의 커버 일 측의 웨이퍼 캐리어에 부착된 RFID 태그와 대응하는 위치에 부착될 수 있다. 반송 차량(150)의 커버의 상부에는 반송 레일(110) 상에 안착되어 반송 레일(110)을 따라 롤링하는 롤링부 및 롤링부를 구동시키기 위한 구동부가 설치될 수 있다. 반송 차량(150)은 웨이퍼 캐리어를 파지하기 위한 파지부, 반송 차량(150)의 커버 상에 부착된 RFID 리더(155), 및 롤링를 구동시키는 구동부를 각각 제어하기 위한 컨트롤러를 더 포함할 수 있다.The conveyance vehicle 150 can be configured to grip the wafer carrier and move along the conveyance rail 110. Although not specifically shown in the drawings, the carrying vehicle 150 may include a cover for holding a wafer carrier on which the gripper for holding the wafer carrier is mounted and holding the wafer carrier. The RFID reader 155 may be attached at a position corresponding to the RFID tag attached to the wafer carrier on one side of the cover of the conveyance vehicle 150. [ A rolling part for rolling along the conveying rail 110 and a driving part for driving the rolling part may be installed on the conveying rail 110 at the upper part of the cover of the conveying vehicle 150. The transport vehicle 150 may further include a controller for controlling a gripper for gripping the wafer carrier, an RFID reader 155 mounted on the cover of the transport vehicle 150, and a drive unit for driving the rollers, respectively.

반송 차량(150)은 복수 개가 구비될 수 있다. 예컨대, 팹(FAB) 내부에서 사용되는 반송 차량(150)의 수는 500 ~ 600개 정도일 수 있으나, 반송 차량(150)의 개수가 특별히 이에 한정되는 것은 아니다.A plurality of transport vehicles 150 may be provided. For example, the number of the conveyance vehicles 150 used in the fab (FAB) may be about 500 to 600, but the number of the conveyance vehicles 150 is not particularly limited thereto.

반송 장치 제어부(200)는 메인 제어부(300)로부터 수신된 신호에 근거하여 반송 장치(100)의 반송 차량(150)으로 웨이퍼 캐리어 이송을 위한 커맨드(이하, ‘이송 커맨드’라 함)를 전송할 수 있다. 반송 장치 제어부(200)는 복수의 반송 차량(100)들 중 임의의 반송 차량(150)으로 특정 웨이퍼 캐리어에 대한 이송 커맨드를 전송할 수 있다.The transport apparatus control unit 200 can transmit a wafer carrier transport command (hereinafter referred to as a transport command) to the transport vehicle 150 of the transport apparatus 100 based on a signal received from the main control unit 300 have. The transfer apparatus control section 200 can transfer a transfer command for a specific wafer carrier to any of the plurality of transfer vehicles 100. [

예를 들어, 이송 커맨드는 특정 웨이퍼 캐리어의 ID, 특정 웨이퍼 캐리어의 현재 위치에 해당하는 시작 위치 및 특정 웨이퍼 캐리어가 이송될 목표 위치를 포함할 수 있다. 반송 장치 제어부(200)는 특정 웨이퍼 캐리어의 현재 위치와 가까운 반송 차량(100)으로 이송 커맨드를 전송할 수 있으나, 특별히 이에 한정되는 것은 아니다. 시작 위치 및 목표 위치는 각각 공정 설비(예컨대, EA1)의 로딩/언로딩 포트 넘버 또는 캐리어 버퍼의 포트 넘버(예컨대, BA11)를 포함할 수 있다.For example, the transfer command may include an ID of a specific wafer carrier, a starting position corresponding to the current position of the specific wafer carrier, and a target position to which the particular wafer carrier is to be transferred. The transfer device control unit 200 can transfer the transfer command to the transfer vehicle 100 close to the current position of the specific wafer carrier, but is not limited thereto. The start position and the target position may each include a loading / unloading port number of the process facility (e.g., EA1) or a port number of the carrier buffer (e.g., B A11 ).

예를 들어, 메인 제어부(300)로부터 A-Bay의 제1 공정 설비(EA1)로부터 언로딩된 ‘A’번 웨이퍼 캐리어를 B-Bay의 제1 공정 설비(EB1)로 이송하라는 명령을 포함하는 신호가 수신되면, 반송 장치 제어부(200)는 임의의 반송 차량(150) 예컨대, A-Bay의 제1 공정 설비(EA1)에 가까이 위치한 반송 차량(150)으로 A-Bay의 제1 공정 설비(EA1)의 로딩/언로딩 포트 넘버 및 B-Bay의 제1 공정 설비(EB1)의 로딩/언로딩 포트 넘버, 및 이송할 웨이퍼 캐리어의 ID(즉, ‘A’)를 포함하는 이송 커맨드를 전송할 수 있다.For example, an instruction to transfer the unloaded wafer carrier 'A' from the first process facility EA1 of A-Bay to the first process facility EB1 of B-Bay from the main control unit 300 When the signal is received, the transport apparatus control unit 200 controls the transport apparatus 150 located near the transport apparatus 150, for example, the A-Bay first process facility EA1, (I.e., 'A') of the wafer carrier to be transferred and the loading / unloading port number of the first processing facility EB1 of the B-Bay, and the loading / unloading port number of the first processing facility EB1 of the B- .

반송 장치 제어부(200)로부터 이송 커맨드를 수신한 반송 차량(150)은 A-Bay의 제1 공정 설비(EA1)의 로딩/언로딩 포트로 이동하여 언로딩된 ‘A’번 웨이퍼 캐리어를 파지한 후 반송 레일(110)을 따라 B-Bay의 제1 공정 설비(EB1)로 이동하여 B-Bay의 제1 공정 설비(EB1)의 로딩/언로딩 포트로 ‘A’번 웨이퍼 캐리어를 로딩시킬 수 있다. 이때, 반송 차량(150)의 RFID 리더(155)는 A-Bay의 제1 공정 설비(EA1)의 로딩/언로딩 포트에서 파지한 웨이퍼 캐리어에 부착된 RFID 태그를 리드하여 해당 웨이퍼 캐리어의 ID를 수신할 수 있고, 반송 차량(150)의 컨트롤러는 수신된 웨이퍼 캐리어의 ID가 이송할 웨이퍼 캐리어의 ID 즉, ‘A’가 맞는지 여부를 판단할 수 있다.Upon receiving the transfer command from the transfer device control unit 200, the transfer vehicle 150 moves to the loading / unloading port of the first process facility EA1 of the A-Bay and holds the unloaded wafer carrier A It is possible to move to the first process facility EB1 of the B-Bay along the rear conveyance rail 110 to load the wafer carrier 'A' into the loading / unloading port of the first process facility EB1 of the B-Bay have. At this time, the RFID reader 155 of the transport vehicle 150 reads the RFID tag attached to the wafer carrier held at the loading / unloading port of the first processing facility EA1 of A-Bay, And the controller of the conveyance vehicle 150 can determine whether the ID of the wafer carrier received is the ID of the wafer carrier to be transferred, that is, whether or not 'A' is correct.

반송 차량(150)은 파지한 웨이퍼 캐리어의 ID가 이송할 웨이퍼 캐리어의 ID와 일치하면 파지한 웨이퍼 캐리어를 B-Bay의 제1 공정 설비(EB1)의 로딩/언로딩 포트로 이송하고, 일치하지 않으면 반송 장치 제어부(200)로 웨이퍼 캐리어 ID가 일치하지 않음을 보고할 수 있다. 반송 차량(150)으로부터 웨이퍼 캐리어 ID가 일치하지 않는다는 보고가 수신되면, 반송 장치 제어부(200)는 반송 차량(150)이 파지한 웨이퍼 캐리어의 ID에 근거하여 목표 위치를 변경하고, 변경된 목표 위치를 다시 반송 차량(150)으로 전송할 수 있다. 반송 차량(150)은 파지한 웨이퍼 캐리어를 변경된 목표 위치로 이송할 수 있다.When the ID of the held wafer carrier matches the ID of the wafer carrier to be transferred, the carrying vehicle 150 transfers the held wafer carrier to the loading / unloading port of the first processing facility EB1 of B-Bay, The carrier device control unit 200 can report that the wafer carrier IDs do not coincide with each other. Upon receiving a report that the wafer carrier IDs do not coincide with the conveying vehicle 150, the transferring apparatus control section 200 changes the target position based on the ID of the wafer carrier held by the transferring vehicle 150, It can be transmitted to the conveyance vehicle 150 again. The conveying vehicle 150 can transfer the held wafer carrier to the changed target position.

반송 장치 제어부(200)는 변경된 목표 위치를 반송 차량(150)으로 전송하면서 메인 제어부(300)로는 이송할 웨이퍼 캐리어의 ID가 일치하지 않음을 보고할 수 있다. 메인 제어부(300)는 ‘A’번 웨이퍼 캐리어의 다음 순서로 이송할 웨이퍼 캐리어에 대한 이송 명령을 반송 장치 제어부(200)로 전송할 수 있다.The transfer device control unit 200 can report to the main control unit 300 that the IDs of the wafer carriers to be transferred do not match while transferring the changed target position to the transfer vehicle 150. [ The main control unit 300 may transmit a transfer command for the wafer carrier to be transferred in the next order of the wafer carrier 'A' to the transfer apparatus control unit 200. [

한편, ‘A’번 웨이퍼 캐리어의 목표 위치에 해당하는 B-Bay의 제1 공정 설비(EB1)에서 공정이 진행중인 경우, 반송 장치 제어부(200)는 반송 차량(150)으로 A-Bay의 제1 공정 설비(EA1)의 로딩/언로딩 포트 넘버 및 B-Bay의 제1 공정 설비(EB1)에 인접하게 배치된 캐리어 버퍼들 중 특정 캐리어 버퍼의 포트 넘버(예컨대, BB11), 및 이송할 웨이퍼 캐리어의 ID를 포함하는 이송 커맨드를 전송할 수 있다.On the other hand, when the process is being performed in the first process facility EB1 of the B-Bay corresponding to the target position of the wafer carrier A, the transport device control unit 200 controls the transport vehicle 150 to move the first A port number (e.g., B B11 ) of a specific carrier buffer among the carrier buffers disposed adjacent to the loading / unloading port number of the processing facility EA1 and the first processing facility EB1 of the B-Bay, A transfer command including the ID of the carrier can be transmitted.

반송 차량(150)은 A-Bay의 제1 공정 설비(EA1)의 로딩/언로딩 포트로 이동하여 언로딩된 ‘A’번 웨이퍼 캐리어를 파지한 후 반송 레일(110)을 따라 해당 캐리어 버퍼(BB11)로 이동하여 ‘A’번 웨이퍼 캐리어를 해당 캐리어 버퍼(BB11) 내에 적재할 수 있다.The transport vehicle 150 moves to the loading / unloading port of the first process facility EA1 of the A-Bay to grip the unloaded wafer carrier A and then moves along the transport rail 110 to the corresponding carrier buffer B B11 ) to load the wafer carrier 'A' in the corresponding carrier buffer B B11 .

데이터베이스(250)에는 팹(FAB) 내에 구비된 캐리어 버퍼들 각각에 적재된 웨이퍼 캐리어들에 대한 정보가 저장될 수 있다. 예를 들어, 데이터베이스(250)에는 각 캐리어 버퍼의 포트 넘버와 각 캐리어 버퍼에 적재된 웨이퍼 캐리어의 ID가 매칭된 정보(이하, ‘웨이퍼 캐리어 정보’라 함)가 저장될 수 있다.The database 250 may store information on the wafer carriers loaded in each of the carrier buffers provided in the fab (FAB). For example, the database 250 may store information (hereinafter, referred to as wafer carrier information) in which the port number of each carrier buffer is matched with the ID of the wafer carrier loaded in each carrier buffer.

웨이퍼 캐리어 정보는 반송 차량(150)으로부터 웨이퍼 캐리어 ID 및 이송 목표 위치에 해당하는 캐리어 버퍼로의 적재 완료 신호가 수신되면, 반송 장치 제어부(200)가 이를 수집하여 데이터베이스(250)에 저장할 수 있다. 데이터베이스(250)에 저장된 웨이퍼 캐리어 정보는 메인 제어부(300) 내에 별도로 구비된 저장 장치(도시되지 않음)로 백업될 수 있다.When the wafer carrier information is received from the transport vehicle 150 and the wafer carrier ID and the transport target position are received, the transport apparatus control unit 200 may collect the wafer carrier information and store it in the database 250. [ The wafer carrier information stored in the database 250 may be backed up to a storage device (not shown) provided separately in the main control unit 300. [

메인 제어부(300)는 반송 장치 제어부(200)로 특정 웨이퍼 캐리어에 대한 이송 명령을 전송할 수 있다. 예를 들어, 메인 제어부(300)는 특정 웨이퍼 캐리어의 ID, 특정 웨이퍼 캐리어의 현재 위치에 해당하는 시작 위치 및 특정 웨이퍼 캐리어가 이송될 목표 위치를 포함하는 이송 명령을 반송 장치 제어부(200)로 전송할 수 있다. 메인 제어부(300)가 반송 장치 제어부(200)로 전송하는 시작 위치 및 목표 위치는 각각 특정 공정 설비의 로딩/언로딩 포트 넘버를 포함할 수 있으나, 특별히 이에 한정되는 것은 아니다. 도 1에 구체적으로 도시하지는 않았으나, 메인 제어부(300)는 데이터베이스(250)에 저장된 웨이퍼 캐리어 정보를 저장하기 위한 저장 장치(도시되지 않음)를 포함할 수 있다.The main control unit 300 may transmit a transfer command for the specific wafer carrier to the transfer device control unit 200. [ For example, the main control unit 300 transmits a transfer command including the ID of the specific wafer carrier, the start position corresponding to the current position of the specific wafer carrier, and the target position to which the specific wafer carrier is to be transferred to the transfer apparatus control unit 200 . The start position and the target position, which the main control unit 300 transmits to the transport apparatus control unit 200, may include loading / unloading port numbers of specific process facilities, but are not limited thereto. 1, the main control unit 300 may include a storage device (not shown) for storing wafer carrier information stored in the database 250. [

도 2는 본 발명의 실시 예에 의한 웨이퍼 캐리어 정보 관리 방법을 설명하기 위한 순서도이다. 도 2를 참조하여 본 실시 예에 의한 웨이퍼 캐리어 정보 관리 방법을 설명함에 있어서, 도 1이 참조될 수 있다.2 is a flowchart for explaining a wafer carrier information management method according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 2, in explaining the wafer carrier information management method according to the present embodiment, FIG. 1 can be referred to.

S210 단계에서, 메인 제어부(300)는 반송 장치 제어부(200)로 특정 웨이퍼 캐리어에 대한 이송 명령을 전송할 수 있다. 예를 들어, 메인 제어부(300)는 반송 장치 제어부(200)로 ‘A’번 웨이퍼 캐리어를 A-Bay의 제1 공정 설비(EA1)로부터 B-Bay의 제1 공정 설비(EB1)로 이동시키라는 이송 명령을 전송할 수 있다.In step S210, the main control unit 300 may transmit a transfer command for the specific wafer carrier to the transfer device control unit 200. [ For example, the main control unit 300 moves the wafer carrier 'A' from the first process facility EA1 of A-Bay to the first process facility EB1 of B-Bay to the transfer device control unit 200 Lt; RTI ID = 0.0 > a < / RTI >

S220 단계에서, 반송 장치 제어부(200)는 메인 제어부(300)로부터 수신된 이송 명령에 근거하여 임의의 반송 차량(150)으로 해당 웨이퍼 캐리어에 대한 이송 커맨드를 전송할 수 있다. 반송 차량(150)으로 이송 커맨드를 전송하기 전에 반송 장치 제어부(200)는 A-Bay의 제1 공정 설비(EA1) 및 B-Bay의 제1 공정 설비(EB1) 각각의 현재 상황을 판단할 수 있다. 예를 들어, B-Bay의 제1 공정 설비(EB1)로 ‘A’번 웨이퍼 캐리어를 로딩할 수 있는 상황인지 여부를 판단할 수 있다.In step S220, the transport apparatus control unit 200 can transmit a transport command for the wafer carrier to an arbitrary transport vehicle 150 based on the transport command received from the main control unit 300. [ Before transferring the transfer command to the transfer vehicle 150, the transfer apparatus control unit 200 can determine the current status of each of the first process facility EA1 of A-Bay and the first process facility EB1 of B-Bay have. For example, it can be determined whether or not it is a situation that the wafer carrier 'A' can be loaded into the first process facility EB1 of B-Bay.

B-Bay의 제1 공정 설비(EB1)로 ‘A’번 웨이퍼 캐리어를 로딩할 수 있는 것으로 판단되면, 반송 장치 제어부(200)는 A-Bay의 제1 공정 설비(EA1)의 로딩/언로딩 포트 넘버 및 B-Bay의 제1 공정 설비(EB1)의 로딩/언로딩 포트 넘버, 및 이송할 웨이퍼 캐리어의 ID(즉, ‘A’)를 포함하는 이송 커맨드를 반송 차량(150)으로 전송할 수 있다. 만일, B-Bay의 제1 공정 설비(EB1)로 ‘A’번 웨이퍼 캐리어를 로딩할 수 없는 것으로 판단되면, 반송 장치 제어부(200)는 A-Bay의 제1 공정 설비(EA1)의 로딩/언로딩 포트 넘버 및 B-Bay의 제1 공정 설비(EB1)에 인접하게 배치된 캐리어 버퍼들 중 특정 캐리어 버퍼의 포트 넘버(예컨대, BB11), 및 이송할 웨이퍼 캐리어의 ID(즉, ‘A’)를 포함하는 이송 커맨드를 반송 차량(150)으로 전송할 수 있다.If it is determined that the wafer carrier 'A' can be loaded by the first process facility EB1 of the B-Bay, the transfer device control unit 200 determines whether the wafer process is completed by loading / unloading the first process facility EA1 of the A- A transfer command including the port number and the loading / unloading port number of the first processing facility EB1 of B-Bay and the ID (i.e., 'A') of the wafer carrier to be transferred to the carrier vehicle 150 have. If it is determined that the 'A' wafer carrier can not be loaded by the first process facility EB1 of the B-Bay, the transfer device control unit 200 determines whether the wafer process is completed by loading / unloading the first process facility EA1 of the A- (E.g., B B11 ) of a specific carrier buffer among the carrier buffers disposed adjacent to the unloading port number and the first processing facility EB1 of B-Bay, and the ID of the wafer carrier to be transferred 'To the transport vehicle 150. The transport command 150 may be a transport command.

반송 장치 제어부(200)는 복수의 반송 차량(150)들 중 현재 A-Bay의 제1 공정 설비(EA1)에 가까이 있는 반송 차량(150)으로 이송 커맨드를 전송할 수 있으나, 특별히 이에 한정되는 것은 아니며, 랜덤하게 선택된 반송 차량(150)으로 이송 커맨드를 전송할 수 있다.The transport apparatus control unit 200 may transmit the transport command to the transport vehicle 150 that is close to the first process facility EA1 of the current A-Bay among the plurality of transport vehicles 150, but is not limited thereto , The transfer command can be transmitted to the randomly selected transport vehicle 150. [

S230 단계에서, 반송 차량(150)은 반송 장치 제어부(200)로부터 수신된 이송 커맨드에 근거하여 시작 위치 즉, A-Bay의 제1 공정 설비(EA1)의 로딩/언로딩 포트로 이동하여 언로딩된 웨이퍼 캐리어를 파지할 수 있다. 이때, 반송 차량(150)에 부착된 RFID 리더(155)는 파지한 웨이퍼 캐리어에 부착된 RFID 태그를 리드하여 파지한 웨이퍼 캐리어 ID를 수신할 수 있다.In step S230, the transport vehicle 150 moves to the loading / unloading port of the first process facility EA1 at the start position, i.e., A-Bay, based on the transfer command received from the transfer device control unit 200, Thereby holding the wafer carrier. At this time, the RFID reader 155 attached to the transport vehicle 150 can receive the wafer carrier ID from which the RFID tag attached to the held wafer carrier is read and held.

S240 단계에서, 반송 차량(150)의 컨트롤러는 RFID 리더(155)에 의해 수신된 파지한 웨이퍼 캐리어의 ID가 이송 대상 웨이퍼 캐리어에 해당하는지 여부를 판단할 수 있다. 파지한 웨이퍼 캐리어의 ID가 이송 대상 웨이퍼 캐리어의 ID(즉, ‘A’)와 일치하면 S250 단계로 진행될 수 있다.In step S240, the controller of the conveyance vehicle 150 can determine whether or not the ID of the held wafer carrier received by the RFID reader 155 corresponds to the wafer carrier to be transferred. If the ID of the held wafer carrier coincides with the ID (i.e., 'A') of the wafer carrier to be transferred, the process can proceed to step S250.

S250 단계에서, 반송 차량(150)은 파지한 웨이퍼 캐리어를 목표 위치 즉, B-Bay의 제1 공정 설비(EB1) 또는 B-Bay의 제1 공정 설비(EB1)에 인접하게 배치된 캐리어 버퍼들 중 특정 캐리어 버퍼(BB11)로 이송시킬 수 있다.In step S250, the carrier 150 holds the held wafer carrier at the target position, that is, at the first processing facility EB1 of the B-Bay or the first processing facility EB1 of the B- To a specific carrier buffer (B B11 ).

S240 단계에서 파지한 웨이퍼 캐리어의 ID가 이송 대상 웨이퍼 캐리어의 ID(즉, ‘A’)와 일치하지 않으면 S260 단계로 진행될 수 있다.If the ID of the wafer carrier held in step S240 does not match the ID of the wafer carrier to be transferred (i.e., 'A'), the process may proceed to step S260.

S260 단계에서, 반송 차량(150)의 컨트롤러는 파지한 웨이퍼 캐리어의 ID(예컨대, ‘B’)를 반송 장치 제어부(200)로 전송할 수 있다. In step S260, the controller of the transport vehicle 150 can transmit the ID (e.g., 'B') of the held wafer carrier to the transport device control unit 200. [

S270 단계에서, 반송 장치 제어부(200)는 반송 차량(150)으로부터 수신된 웨이퍼 캐리어의 ID(즉, ‘B’)에 근거하여 목표 위치를 변경하고, 변경된 목표 위치를 해당 반송 차량(150)으로 다시 전송할 수 있다.In step S270, the transport apparatus control unit 200 changes the target position based on the ID (i.e., 'B') of the wafer carrier received from the transport vehicle 150 and transmits the changed target position to the transport vehicle 150 It can be transmitted again.

S280 단계에서, 반송 차량(150)은 파지한 웨이퍼 캐리어를 변경된 목표 위치로 이송시킬 수 있다.In step S280, the transport vehicle 150 can transport the gripped wafer carrier to the changed target position.

도 2에서는 구체적으로 도시하지 않았으나, S270 단계에서 반송 장치 제어부(200)는 메인 제어부(300)로는 이송할 웨이퍼 캐리어의 ID가 일치하지 않음을 보고할 수 있다. 메인 제어부(300)는 ‘A’번 웨이퍼 캐리어의 다음 순서로 이송할 웨이퍼 캐리어에 대한 이송 명령을 반송 장치 제어부(200)로 전송할 수 있다.Although not shown in detail in FIG. 2, in step S270, the transporting device control unit 200 can report to the main control unit 300 that the IDs of the wafer carriers to be transported do not match. The main control unit 300 may transmit a transfer command for the wafer carrier to be transferred in the next order of the wafer carrier 'A' to the transfer apparatus control unit 200. [

이와 같이 본 실시 예에서는 이송 대상 웨이퍼 캐리어 식별 정보와 실제 웨이퍼 캐리어 식별 정보의 불일치를 실시간으로 검출할 수 있고, 이에 따라, 웨이퍼 캐리어를 잘못된 위치로 이송시키는 것을 방지함과 동시에 웨이퍼 캐리어 정보를 실시간으로 정정할 수 있다.As described above, in the present embodiment, it is possible to detect in real time the discrepancy between the wafer carrier identification information to be transferred and the actual wafer carrier identification information, thereby preventing the wafer carrier from being transferred to the wrong position, Can be corrected.

한편, 데이터베이스(250)에 저장된 웨이퍼 캐리어 정보에 오류가 발생하거나 또는, 팹(FAB) 내에 정전 등으로 인해 데이터베이스(250) 및 메인 제어부(300)에 저장된 웨이퍼 캐리어 정보가 삭제되면, 삭제된 웨이퍼 캐리어 정보를 복구해야 한다. 이후부터는 본 실시 예에 의한 웨이퍼 캐리어 정보 복구 동작에 대하여 설명한다.If the wafer carrier information stored in the database 250 or the main control unit 300 is deleted due to an error in the wafer carrier information stored in the database 250 or a power failure in the fab FAB, Information must be restored. Hereinafter, the wafer carrier information recovery operation according to the present embodiment will be described.

도 3은 본 발명의 실시 예에 의한 웨이퍼 캐리어 정보 관리 방법에서 웨이퍼 캐리어 정보 복구 동작을 설명하기 위한 순서도이고, 도 4는 그루핑된 캐리어 버퍼 그룹들을 예시적으로 도시한 도면이다. 도 3 및 도 4를 참조하여 본 실시 예에 의한 웨이퍼 캐리어 정보 복구 동작을 설명함에 있어서, 도 1이 참조될 수 있다.FIG. 3 is a flowchart for explaining a wafer carrier information recovery operation in the wafer carrier information management method according to the embodiment of the present invention, and FIG. 4 is an exemplary illustration of grouped carrier buffer groups. Referring to FIGS. 3 and 4, in describing the wafer carrier information recovery operation according to the present embodiment, FIG. 1 can be referred to.

S310 단계에서, 메인 제어부(300)는 반송 장치 제어부(200)로 웨이퍼 캐리어 정보 복구 명령을 전송할 수 있다.In step S310, the main control unit 300 may transmit the wafer carrier information recovery command to the transfer apparatus control unit 200. [

S320 단계에서, 반송 장치 제어부(200)는 팹(FAB)에 포함된 모든 캐리어 버퍼들을 그루핑하여 복수의 캐리어 버퍼 그룹들을 생성할 수 있다. 예를 들어, 도 4에 도시한 바와 같이, 반송 장치 제어부(200)는 각 베이(bay)별로 동일한 라인에 위치한 캐리어 버퍼들을 하나의 캐리어 버퍼 그룹으로 그루핑할 수 있으나, 반송 장치 제어부(200)가 캐리어 버퍼들을 그루핑하는 방식이 특별히 이에 한정되는 것은 아니며, 다양한 방식으로 그루핑할 수 있다.In step S320, the transport apparatus control unit 200 may group all the carrier buffers included in the fab (FAB) to generate a plurality of carrier buffer groups. For example, as shown in FIG. 4, the transport apparatus controller 200 can group the carrier buffers on the same line for each bay into one carrier buffer group, but the transport apparatus controller 200 The manner in which the carrier buffers are grouped is not particularly limited, and can be grouped in various ways.

또한, 반송 장치 제어부(200)는 각 반송 차량(150) 별로 스캔할 캐리어 버퍼 그룹을 할당할 수 있다. 캐리어 버퍼 그룹의 총 개수가 반송 차량(150)의 총 개수보다 크면 1대의 반송 차량(150)에 복수의 캐리어 버퍼 그룹이 할당될 수 있다. 반면, 캐리어 버퍼 그룹의 총 개수가 반송 차량(150)의 총 개수보다 작으면 하나의 캐리어 버퍼 그룹에 복수의 반송 차량(150)들이 할당될 수 있다.In addition, the transport apparatus control unit 200 can allocate a carrier buffer group to be scanned for each transport vehicle 150. If the total number of carrier buffer groups is greater than the total number of carrier vehicles 150, a plurality of carrier buffer groups may be assigned to one carrier 150. [ On the other hand, if the total number of carrier buffer groups is smaller than the total number of carrier vehicles 150, a plurality of carrier vehicles 150 can be assigned to one carrier buffer group.

하나의 캐리어 버퍼 그룹으로 복수의 반송 차량(150)들이 할당되는 경우, 반송 장치 제어부(200)는 해당 캐리어 버퍼 그룹 내에 포함된 캐리어 버퍼들의 포트 넘버들을 오름 차순(또는 내림 차순)으로 정렬하고, 할당된 반송 차량(150)들 각각에 대한 스캔 시작 포트 넘버를 랜덤하게 지정할 수 있다.When a plurality of carrier vehicles 150 are allocated to one carrier buffer group, the carrier controller 200 arranges port numbers of the carrier buffers included in the carrier buffer group in ascending order (or descending order) The scan start port number for each of the transport vehicles 150 can be randomly designated.

S330 단계에서, 반송 장치 제어부(200)는 각 반송 차량(150)으로 할당된 캐리어 버퍼 그룹으로 이동하여 해당 캐리어 버퍼 그룹에 포함된 캐리어 버퍼들 내에 적재된 웨이퍼 캐리어 ID를 수집하라는 스캔 커맨드를 전송할 수 있다. 각 반송 차량(150)으로 전송된 스캔 커맨드는 각 반송 차량(150) 별로 대응하는 스캔 시작 포트 넘버를 포함할 수 있다.In step S330, the transport apparatus control unit 200 moves to the carrier buffer group assigned to each transport vehicle 150 and transmits a scan command to collect the wafer carrier IDs loaded in the carrier buffers included in the corresponding carrier buffer group have. The scan command transmitted to each conveyance vehicle 150 may include a corresponding scan start port number for each conveyance vehicle 150.

S340 단계에서, 각 반송 차량(150)은 반송 장치 제어부(200)로부터 수신된 스캔 커맨드에 근거하여 할당된 캐리어 버퍼 그룹으로 이동하고, 스캔 시작 포트 넘버에 대응하는 캐리어 버퍼에서부터 적재된 웨이퍼 캐리어를 반출하여 해당 웨이퍼 캐리어의 ID를 수신할 수 있다. 해당 웨이퍼 캐리어의 ID를 수신하는 것은 앞서 설명한 바와 같이, RFID 리더(155)를 이용하여 웨이퍼 캐리어에 부착된 RFID 태그를 리드함으로써 수행될 수 있다.In step S340, each transport vehicle 150 moves to the carrier buffer group allocated based on the scan command received from the transport device control unit 200, and carries out the loaded wafer carrier from the carrier buffer corresponding to the scan start port number And can receive the ID of the wafer carrier. Receiving the ID of the wafer carrier can be performed by reading the RFID tag attached to the wafer carrier using the RFID reader 155 as described above.

S350 단계에서, 각 반송 차량(150)은 반송 장치 제어부(200)로 스캔 결과 정보를 전송할 수 있다. 스캔 결과 정보는 각 캐리어 버퍼 별 웨이퍼 캐리어의 ID를 포함할 수 있다.In step S350, each of the transport vehicles 150 can transmit the scan result information to the transport apparatus controller 200. [ The scan result information may include an ID of a wafer carrier for each carrier buffer.

S360 단계에서, 반송 장치 제어부(200)는 각 반송 차량(150)으로부터 수신되는 스캔 결과 정보들을 수집하여 각 캐리어 버퍼의 포트 넘버와 각 캐리어 버퍼에 적재된 웨이퍼 캐리어의 ID가 매칭된 정보, 즉, 웨이퍼 캐리어 정보를 데이터베이스(250)에 저장할 수 있다.In step S360, the transport apparatus control unit 200 collects the scan result information received from each transport vehicle 150, and obtains the information of the port number of each carrier buffer and the ID of the wafer carrier loaded in each carrier buffer, Wafer carrier information may be stored in the database 250. [

S370 단계에서, 반송 장치 제어부(200)는 데이터베이스(250)에 저장된 웨이퍼 캐리어 정보를 메인 제어부(300)로 전송할 수 있다.In step S370, the transport apparatus control unit 200 may transmit the wafer carrier information stored in the database 250 to the main control unit 300. [

S380 단계에서, 메인 제어부(300)는 반송 장치 제어부(200)로부터 수신된 웨이퍼 캐리어 정보를 별도의 저장 장치(도시되지 않음)에 백업할 수 있다.In step S380, the main control unit 300 may back up the wafer carrier information received from the carrier device control unit 200 to a separate storage device (not shown).

이와 같이 본 실시 예에서는 팹(FAB) 내의 웨이퍼 캐리어 버퍼들을 그루핑한 후, 각 캐리어 버퍼 그룹 별로 복수의 반송 차량들을 할당하여 캐리어 버퍼 그룹에 포함된 복수의 캐리어 버퍼들에 적재된 웨이퍼 캐리어 식별 정보를 수집함으로써, 웨이퍼 캐리어 정보를 빠르게 복구할 수 있다.As described above, in this embodiment, after grouping the wafer carrier buffers in the fab (FAB), a plurality of carrier vehicles are allocated for each carrier buffer group, and the wafer carrier identification information loaded in the plurality of carrier buffers included in the carrier buffer group The wafer carrier information can be quickly recovered.

이와 같이, 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.Thus, those skilled in the art will appreciate that the present invention may be embodied in other specific forms without departing from the spirit or essential characteristics thereof. It is therefore to be understood that the embodiments described above are to be considered in all respects only as illustrative and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the appended claims rather than the detailed description and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents are to be construed as being included within the scope of the present invention do.

100: 반송 장치 110: 반송 레일
150: 반송 차량 155: RFID 리더
200: 반송 장치 제어부 250: 데이터 베이스
300: 메인 제어부100: conveying device 110: conveying rail
150: Carrier 155: RFID reader
200: transport device control unit 250: database
300:

Claims (13)

웨이퍼 캐리어 식별 정보가 저장되고 상기 웨이퍼 캐리어에 부착되는 RFID 태그;
상기 웨이퍼 캐리어를 이송하고, 상기 RFID 태그를 리드하여 상기 웨이퍼 캐리어 식별 정보를 수신하는 RFID 리더가 부착된 적어도 하나 이상의 반송 차량들; 및
상기 웨이퍼 캐리어를 복수의 공정 설비들 및 복수의 캐리어 버퍼들로 이송시키기 위한 이송 커맨드를 상기 반송 차량들로 전송하고, 상기 반송 차량들로부터 상기 웨이퍼 캐리어 식별 정보를 수집하여 저장하는 반송 장치 제어부를 포함하고,
상기 반송 차량들은 상기 반송 장치 제어부로부터 수신된 상기 이송 커맨드에 근거하여 이송할 웨이퍼 캐리어 식별 정보와 실제 파지한 웨이퍼 캐리어 식별 정보를 비교한 후 비교 결과를 상기 반송 장치 제어부로 전송하고, 및
상기 반송 장치 제어부는 상기 반송 차량들로부터 수신된 상기 비교 결과에 근거하여 상기 웨이퍼 캐리어에 대한 이송 목표 위치를 변경하고, 변경된 상기 이송 목표 위치를 상기 반송 차량들로 다시 전송하는 웨이퍼 캐리어 정보 관리 시스템.An RFID tag in which wafer carrier identification information is stored and attached to the wafer carrier;
At least one transport vehicle carrying an RFID reader for transporting the wafer carrier and for reading the wafer carrier identification information by reading the RFID tag; And
And a transfer device control unit for transferring the transfer command for transferring the wafer carrier to a plurality of process facilities and a plurality of carrier buffers to the transfer vehicles and for collecting and storing the wafer carrier identification information from the transfer vehicles and,
Wherein the transport vehicles compare the wafer carrier identification information to be transported based on the transport command received from the transport apparatus control section and the actually held wafer carrier identification information and transmit the comparison result to the transport apparatus control section,
Wherein the transfer device control unit changes a transfer target position for the wafer carrier based on the comparison result received from the transfer vehicles and transfers the transfer target position to the transfer vehicles again. 제1항에 있어서,
상기 이송 커맨드는 상기 이송할 웨이퍼 캐리어 식별 정보, 상기 이송할 웨이퍼 캐리어의 현재 위치, 및 상기 이송할 웨이퍼 캐리어의 목표 위치를 포함하는 웨이퍼 캐리어 정보 관리 시스템.The method according to claim 1,
Wherein the transfer command includes the wafer carrier identification information to be transferred, the current position of the wafer carrier to be transferred, and the target position of the wafer carrier to be transferred. 제1항에 있어서,
상기 반송 장치 제어부로 특정 웨이퍼 캐리어에 대한 이송 명령을 전송하는 메인 제어부를 더 포함하는 웨이퍼 캐리어 정보 관리 시스템.The method according to claim 1,
Further comprising: a main control unit for transmitting a transfer command for the specific wafer carrier to the transfer device control unit. 제3항에 있어서,
상기 이송 명령은 상기 특정 웨이퍼 캐리어에 대한 식별 정보, 상기 복수의 공정 설비들 중 상기 특정 웨이퍼 캐리어가 언로딩될 제1 공정 설비의 포트 넘버, 및 상기 복수의 공정 설비들 중 상기 특정 웨이퍼 캐리어를 로딩할 제2 공정 설비의 포트 넘버를 포함하는 웨이퍼 캐리어 정보 관리 시스템.The method of claim 3,
Wherein the transfer command includes identification information for the specific wafer carrier, a port number of the first process facility from which the particular wafer carrier is to be unloaded, and a port number of the first process facility from which the particular wafer carrier is loaded And a port number of the second process facility to be managed. 제4항에 있어서,
상기 메인 제어부로부터 상기 특정 웨이퍼 캐리어에 대한 이송 명령이 수신되면, 상기 제2 공정 설비로 상기 특정 웨이퍼 캐리어를 로딩할 수 있는지 여부를 판단하고, 상기 제2 공정 설비로 상기 특정 웨이퍼 캐리어를 로딩할 수 없으면 상기 복수의 캐리어 버퍼들 중 상기 제2 공정 설비에 인접하게 배치된 캐리어 버퍼로 상기 특정 웨이퍼 캐리어를 적재하도록 상기 반송 차량을 제어하는 웨이퍼 캐리어 정보 관리 시스템.5. The method of claim 4,
Wherein when the transfer command for the specific wafer carrier is received from the main control unit, it is determined whether or not the specific wafer carrier can be loaded into the second process facility, and the specific wafer carrier can be loaded The control unit controls the transport vehicle to load the specific wafer carrier with a carrier buffer disposed adjacent to the second process facility among the plurality of carrier buffers. 제3항에 있어서,
상기 메인 제어부는 상기 반송 장치 제어부로 웨이퍼 캐리어 정보 복구 명령을 전송하는 웨이퍼 캐리어 정보 관리 시스템.The method of claim 3,
And the main control unit transmits a wafer carrier information recovery command to the transferring device control unit. 제6항에 있어서,
상기 메인 제어부로부터 상기 웨이퍼 캐리어 정보 복구 명령이 수신되면,
상기 반송 장치 제어부는 상기 복수의 캐리어 버퍼들을 그루핑하여 복수의 캐리어 버퍼 그룹들을 생성하고, 상기 적어도 하나 이상의 반송 차량들을 각 캐리어 버퍼 그룹 별로 할당하고, 상기 할당된 캐리어 버퍼 그룹에 포함된 캐리어 버퍼들 내에 적재된 웨이퍼 캐리어 식별 정보를 리드하기 위한 스캔 커맨드를 각 반송 차량으로 전송하는 웨이퍼 캐리어 정보 관리 시스템.The method according to claim 6,
When the wafer carrier information recovery command is received from the main control unit,
The carrier control unit may generate the plurality of carrier buffer groups by grouping the plurality of carrier buffers, allocate the at least one carrier to each carrier buffer group, and allocate the at least one carrier in the carrier buffers included in the allocated carrier buffer group And transmits a scan command for reading the loaded wafer carrier identification information to each transport vehicle. 제7항에 있어서,
상기 각 반송 차량은 상기 할당된 캐리어 버퍼 그룹에 포함된 캐리어 버퍼들 내에 적재된 웨이퍼 캐리어 식별 정보를 리드하여 상기 반송 장치 제어부로 전송하는 웨이퍼 캐리어 정보 관리 시스템.8. The method of claim 7,
Wherein each of the carrier vehicles reads the wafer carrier identification information loaded in the carrier buffers included in the allocated carrier buffer group and transmits the read wafer carrier identification information to the carrier device control unit. 제8항에 있어서,
상기 반송 장치 제어부는 상기 각 반송 차량으로부터 수신되는 각 캐리어 버퍼 별로 적재된 상기 웨이퍼 캐리어 식별 정보를 수집하여 상기 웨이퍼 캐리어 정보를 복구하는 웨이퍼 캐리어 정보 관리 시스템.9. The method of claim 8,
Wherein the carrier device control unit collects the wafer carrier identification information loaded for each carrier buffer received from each of the carrier vehicles and restores the wafer carrier information. 복수의 공정 설비들 및 복수의 캐리어 버퍼들로 웨이퍼 캐리어를 이송하는 적어도 하나 이상의 반송 차량들로 특정 웨이퍼 캐리어를 이송시키기 위한 이송 커맨드를 전송하는 단계;
상기 반송 차량들이 상기 이송 커맨드에 근거하여 상기 특정 웨이퍼 캐리어의 현재 위치로 이동하여 상기 특정 웨이퍼 캐리어를 파지하는 단계;
상기 반송 차량들이 상기 이송 커맨드에 포함된 이송할 특정 웨이퍼 캐리어의 식별 정보와 상기 파지한 특정 웨이퍼 캐리어의 식별 정보를 비교하여 일치하는지 여부를 판단하는 단계; 및
상기 이송할 특정 웨이퍼 캐리어의 식별 정보와 상기 파지한 특정 웨이퍼 캐리어의 식별 정보가 일치하지 않으면 상기 이송할 특정 웨이퍼 캐리어의 목표 위치를 변경하고, 변경된 목표 위치를 상기 반송 차량들로 전송하는 단계
를 포함하는 웨이퍼 캐리어 정보 관리 방법.Transmitting a transfer command for transferring a particular wafer carrier to at least one or more transfer vehicles for transferring the wafer carrier to a plurality of process facilities and a plurality of carrier buffers;
Moving the transport vehicles to a current position of the specific wafer carrier based on the transport command and gripping the specific wafer carrier;
Comparing the identification information of the specific wafer carrier to be transferred and the identification information of the specific wafer carrier held by the transfer vehicles included in the transfer command and determining whether or not they match; And
Changing the target position of the specific wafer carrier to be transferred if the identification information of the specific wafer carrier to be transferred does not match the identification information of the specific wafer carrier to be transferred and transmitting the changed target position to the carrier vehicles
The wafer carrier information management method comprising: 제10항에 있어서,
상기 이송 커맨드는 상기 특정 웨이퍼 캐리어 식별 정보, 상기 특정 웨이퍼 캐리어의 현재 위치, 및 상기 특정 웨이퍼 캐리어의 목표 위치를 포함하는 웨이퍼 캐리어 정보 관리 방법.11. The method of claim 10,
Wherein the transfer command includes the specific wafer carrier identification information, the current position of the specific wafer carrier, and the target position of the specific wafer carrier. 제11항에 있어서,
상기 현재 위치가 상기 복수의 공정 설비들 중 제1 공정 설비이고, 상기 목표 위치가 상기 복수의 공정 설비들 중 제2 공정 설비이면,
상기 제2 공정 설비로 상기 특정 웨이퍼 캐리어가 로딩될 수 있는지 여부를 판단하는 단계; 및
상기 제2 공정 설비로 상기 특정 웨이퍼 캐리어가 로딩될 수 없으면 상기 목표 위치를 상기 복수의 캐리어 버퍼들 중 상기 제2 공정 설비에 인접한 캐리어 버퍼로 변경하는 단계
를 포함하는 웨이퍼 캐리어 정보 관리 방법.12. The method of claim 11,
If the current position is a first process facility among the plurality of process facilities and the target location is a second process facility among the plurality of process facilities,
Determining whether the particular wafer carrier can be loaded into the second process facility; And
If the specific wafer carrier can not be loaded into the second process facility, changing the target location to a carrier buffer adjacent to the second process facility among the plurality of carrier buffers
The wafer carrier information management method comprising: 제10항에 있어서,
외부로부터 웨이퍼 캐리어 정보 복구 명령이 수신되는 단계;
상기 복수의 캐리어 버퍼들을 그루핑하여 복수의 캐리어 버퍼 그룹들을 생성하는 단계;
각 캐리어 버퍼 그룹 별로 반송 차량들을 할당하는 단계;
각 캐리어 버퍼 그룹에 포함된 캐리어 버퍼들에 적재된 웨이퍼 캐리어 식별 정보를 리드하기 위한 스캔 커맨드를 할당된 반송 차량들로 전송하는 단계;
각 반송 차량이 스캔 커맨드에 근거하여 대응하는 캐리어 버퍼 그룹에 포함된 캐리어 버퍼들에 적재된 웨이퍼 캐리어 식별 정보를 리드하는 단계; 및
상기 각 반송 차량에 의해 리드된 캐리어 버퍼 별 웨이퍼 캐리어 식별 정보를 수집하여 상기 웨이퍼 캐리어 정보를 복구하는 단계
를 포함하는 웨이퍼 캐리어 정보 관리 방법.11. The method of claim 10,
Receiving a wafer carrier information recovery command from outside;
Generating a plurality of carrier buffer groups by grouping the plurality of carrier buffers;
Allocating transport vehicles for each carrier buffer group;
Transmitting a scan command to the assigned transport vehicles to read the wafer carrier identification information loaded in the carrier buffers contained in each carrier buffer group;
Each carrier carrying the wafer carrier identification information loaded in the carrier buffers included in the corresponding carrier buffer group based on the scan command; And
Collecting wafer carrier identification information for each carrier buffer read by each carrier, and recovering the wafer carrier information
The wafer carrier information management method comprising:
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KR20220057108A (en) * 2020-10-29 2022-05-09 세메스 주식회사 Transport apparatus and control method thereof
CN114551296A (en) * 2022-01-28 2022-05-27 弥费实业(上海)有限公司 Partition management method and device, computer equipment and storage medium

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