KR20190077496A

KR20190077496A - An abnormality detecting device of a fluid controller, an abnormality detecting system, an abnormality detecting method and a fluid controller

Info

Publication number: KR20190077496A
Application number: KR1020197015918A
Authority: KR
Inventors: 아키히로 하라다; 고우지 니시노; 료우스케 도히; 고지 가와다; 가츠유키 스기타; 노부카즈 이케다; 미치오 야마지; 츠토무 시노하라; 류타로 단노; 유토 가와우치
Original assignee: 가부시키가이샤 후지킨
Priority date: 2017-02-20
Filing date: 2018-02-06
Publication date: 2019-07-03
Also published as: WO2018150949A1; US11226257B2; US20190360887A1; KR102230283B1; JPWO2018150949A1; TW201837433A; CN109983318B; TWI687658B; JP7100364B2; CN109983318A

Abstract

[과제] 유체 제어기에 있어서, 유체의 누출이 적은 경우에도 누출을 검지 가능하게 한다. 또한, 정보 통신 기술을 활용함으로써, 떨어진 장소에 있는 유체 제어기나 복수의 유체 제어기에서의 유체의 누출 이상을 감시하기 쉬운 것으로 한다. [해결수단] 유체가 유통 가능한 유로(211)와, 격리 부재에 의해 유로(211)와 격리된 폐쇄 공간(S)과, 폐쇄 공간(S)과 외부를 연통 가능한 리크 포트(LP)가 마련된 유체 제어기(2)의 이상을 검지하는 이상 검지 장치(1)는, 폐쇄 공간(S) 내의 압력을 검출하는 압력 센서(11)와, 소정의 정보 처리를 실행하는 처리 모듈과, 리크 포트(LP)에 압력 센서(11)를 착탈 가능하게 고정함과 아울러, 고정 상태에서 리크 포트(LP)를 외부와 차단하는 착탈 기구를 가진다. 처리 모듈은, 압력 센서(11)에 의해 검출한 검출값과 소정의 문턱값을 비교함으로써, 유체 제어기(2)의 이상을 판별하고, 유체 제어기(2)의 이상의 판별 결과를 서버에 송신한다.[PROBLEMS] To provide a fluid controller capable of detecting leakage even when leakage of fluid is small. In addition, by utilizing the information communication technology, it is easy to monitor the leakage of the fluid in the fluid controller or the plurality of fluid controllers in the remote place. A fluid passage is provided with a fluid passage 211 through which a fluid can flow, a closed space S isolated from the fluid passage 211 by an isolating member, and a fluid port provided with a leak port LP that can communicate with the outside of the closed space S The abnormality detecting device 1 for detecting abnormality of the controller 2 includes a pressure sensor 11 for detecting a pressure in the closed space S, a processing module for executing predetermined information processing, And a detachable mechanism for detachably fixing the pressure sensor 11 to the outside and for blocking the leak port LP from the outside in a fixed state. The processing module determines the abnormality of the fluid controller 2 by comparing the detected value detected by the pressure sensor 11 with a predetermined threshold value and transmits the result of the above determination of the fluid controller 2 to the server.

Description

An abnormality detecting device of a fluid controller, an abnormality detecting system, an abnormality detecting method and a fluid controller

본 발명은, 유체 제어 장치에 있어서 유체의 누출을 검지하는 기술에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a technique for detecting leakage of a fluid in a fluid control device.

종래, 반도체 웨이퍼의 표면에 박막을 형성하는 성막 처리에서는 박막의 미세화가 요구되고, 최근에는 원자 레벨이나 분자 레벨의 두께로 박막을 형성하는 ALD(Atomic Layer Deposition)라는 성막 방법이 사용되고 있다.Conventionally, in the film forming process for forming a thin film on the surface of a semiconductor wafer, a thin film is required to be made finer. Recently, a film forming method called ALD (Atomic Layer Deposition) for forming a thin film at an atomic level or a molecular level has been used.

그러나, 이러한 박막의 미세화는 유체 제어기에 지금까지 이상의 고빈도의 개폐 동작을 요구하고 있고, 그 부하에 의해 유체의 누출 등을 야기하기 쉬워지는 경우가 있다. 그 때문에, 유체 제어기에서의 유체의 누출을 용이하게 검지할 수 있는 기술에 대한 요구가 높아지고 있다.However, the miniaturization of such a thin film requires a high-frequency opening and closing operation in the fluid controller, and the leakage of the fluid or the like may easily occur due to the load. Therefore, there is an increasing demand for a technique that can easily detect the leakage of the fluid in the fluid controller.

또한, 반도체 제조 프로세스에서는 반응성이 높고 매우 독성이 높은 가스가 사용되기 때문에, 누출이 매우 작을 때에, 또한 원격적으로 누출을 검지할 수 있는 것이 중요하다.In addition, since a highly reactive and highly toxic gas is used in the semiconductor manufacturing process, it is important to be able to detect leaks when leakage is very small and also remotely.

이로부터, 특허문헌 1에서는, 유체의 유량을 제어하는 제어기의 외면에 형성된 구멍과, 이 구멍에 장착되는 누출 검지 부재로 이루어지는 시일부 파손 검지 기구로서, 상기 구멍은 제어기 내의 공극에 연통되고, 상기 누출 검지 부재는 상기 구멍에 장착되는 통형체와, 이 통형체에 마련된 가동 부재로 이루어지며, 이 가동 부재는 제어기 내의 상기 공극 내에 가득 찬 누출 유체의 압력에 의해 상기 통형체의 외방으로 가동이 되어 이루어지는 것이 제안되어 있다.Accordingly, Patent Document 1 discloses a seal portion breakage detecting mechanism comprising a hole formed in an outer surface of a controller for controlling the flow rate of a fluid and a leakage detecting member mounted in the hole, the hole communicating with the gap in the controller, The leak detecting member is composed of a tubular body mounted to the hole and a movable member provided in the tubular body, and the movable member is moved to the outside of the tubular body by the pressure of the leakage fluid filled in the gap in the controller .

또한, 특허문헌 2에서는, 유체의 유량을 제어하는 제어기의 외면에 형성된 구멍과, 이 구멍에 장착되는 누설 검지 부재로 이루어지는 시일부 파손 검지 기구가 부착된 제어기로서, 상기 구멍은 제어기 내의 공극에 연통되고, 상기 누설 검지 부재는 특정 유체의 존재에 따라 감응하는 것이 제안되어 있다.Patent Document 2 discloses a controller provided with a seal portion breakage detecting mechanism comprising a hole formed in an outer surface of a controller for controlling the flow rate of a fluid and a leakage detecting member mounted in the hole, And the leakage detecting member is sensitive to the presence of a specific fluid.

또한, 특허문헌 3에서는, 유체의 누출을 검출하는 누출 검출 장치로서, 센서 보유지지체와, 누출 검출 대상 부재에 마련되어 누출 검출 대상 부재 내의 밀봉 부분과 외부를 연통하는 리크 포트에 대향하도록 센서 보유지지체에 보유지지된 초음파 센서와, 초음파 센서의 센서면과 리크 포트의 사이에 마련된 초음파 통로와, 초음파 센서로 얻어진 초음파를 처리하는 처리 회로를 구비하고 있는 것이 제안되어 있다.Patent Document 3 discloses a leak detection device for detecting leakage of a fluid. The leakage detection device includes a sensor holding support member and a sensor holding member provided on the sensor holding member so as to face a leak port communicating with the outside of the sealing portion in the leak detecting object member, An ultrasonic wave path provided between the sensor surface of the ultrasonic sensor and the leak port, and a processing circuit for processing the ultrasonic wave obtained by the ultrasonic sensor.

특허문헌 1: 일본공개특허 평04-093736호 공보Patent Document 1: JP-A-04-093736 특허문헌 2: 일본공개특허 평05-126669호 공보Patent Document 2: JP-A-05-126669 특허문헌 3: 일본공개특허 2014-21029호 공보Patent Document 3: JP-A-2014-21029

그러나, 특허문헌 1에 기재된 시일부 파손 검지 기구에서는, 제어기 내의 공극의 가압은 판별할 수 있지만 진공압을 판별할 수 없고, 유체의 누출이 적은 경우에는, 가동 부재가 충분히 가동하지 않아 누출을 검지할 수 없을 우려가 있다.However, in the seal portion breakage detecting mechanism described in Patent Document 1, the pressurization of the air gap in the controller can be discriminated, but the vacuum pressure can not be discriminated. When the leakage of the fluid is small, the movable member is not sufficiently movable, There is a concern that it can not be done.

또한, 특허문헌 2에 기재된 시일부 파손 검지 기구가 부착된 제어기에서는, 유체의 누출이 적은 경우에는, 퍼지 가스로 희석화되어 누설 검지 부재가 감응하지 않을 우려가 있고, 또한 누설 검지 부재가 소정의 유체에 대해서는 감응하지 않을 우려도 있다.In the controller with the seal portion breakage detecting mechanism described in Patent Document 2, when there is little fluid leakage, there is a fear that the leak detecting member is not diluted by the purge gas and the leak detecting member is not sensitive to the predetermined fluid There is also a concern that it will not respond to the question.

나아가 특허문헌 3에 기재된 누출 검출 장치에서는, 유체의 누출이 적은 경우에는, 초음파가 미약하여 누출을 검지할 수 없을 우려가 있다.Further, in the leak detection device described in Patent Document 3, when the leakage of the fluid is small, the ultrasonic waves are weak and there is a possibility that leakage can not be detected.

전부 유체의 미소한 누출에 대한 검지 능력에 개선의 여지가 있다.There is room for improvement in the detection ability of the entire fluid for a minute leak.

그래서, 본 발명은, 유체 제어기에 있어서, 유체의 누출이 적은 경우에도 누출을 검지 가능한 것을 제공하는 것을 목적의 하나로 한다. 또한, 정보 통신 기술을 활용함으로써, 떨어진 장소에 있는 유체 제어기나 복수의 유체 제어기에서의 유체의 누출을 감시하기 쉬운 것으로 하는 것을 목적의 하나로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION It is therefore an object of the present invention to provide a fluid controller capable of detecting leakage even when leakage of fluid is small. Another object of the present invention is to make it easy to monitor the leakage of fluid from a fluid controller or a plurality of fluid controllers at a remote place by utilizing information communication technology.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일 관점에 관한 유체 제어기의 이상 검지 장치는, 유로와, 격리 부재에 의해 상기 유로와 격리된 폐쇄 공간과, 상기 폐쇄 공간과 외부를 연통 가능한 리크 포트가 마련된 유체 제어기의 이상을 검지하는 장치로서, 상기 폐쇄 공간 내의 압력을 검출하는 압력 센서와, 소정의 정보 처리를 실행하는 처리 모듈과, 상기 리크 포트에 상기 압력 센서를 착탈 가능하게 고정함과 아울러, 고정 상태에서 상기 리크 포트를 외부와 차단하는 착탈 기구를 가지며, 상기 처리 모듈은, 상기 압력 센서에 의해 검출한 검출값과 소정의 문턱값을 비교함으로써, 상기 유체 제어기의 이상을 판별하는 판별 처리와, 상기 유체 제어기의 이상의 판별 결과를 서버에 송신하는 통신 처리를 실행한다.In order to achieve the above object, an abnormality detecting device for a fluid controller according to one aspect of the present invention is characterized by including a flow path, a closed space isolated from the flow path by a separating member, and a leak port An apparatus for detecting an abnormality in a fluid controller, comprising: a pressure sensor for detecting a pressure in the closed space; a processing module for performing predetermined information processing; and a pressure sensor for detachably fixing the pressure sensor to the leak port, Wherein the processing module includes a discrimination process for discriminating an abnormality of the fluid controller by comparing a detection value detected by the pressure sensor with a predetermined threshold value, And executes a communication process of transmitting the result of the above determination of the fluid controller to the server.

또한, 상기 유체 제어기의 구동압을 검출하는 구동압 센서를 더 가지며, 상기 처리 모듈은 추가로, 검출된 상기 유체 제어기의 구동압에 따라, 상기 소정의 문턱값을 보정하는 것으로 해도 된다.The apparatus may further include a drive pressure sensor for detecting a drive pressure of the fluid controller, and the processing module may further correct the predetermined threshold value in accordance with the detected drive pressure of the fluid controller.

또한, 상기 유체 제어기의 개폐 동작을 검지하는 개폐 검지 기구를 더 가지며, 상기 처리 모듈은 추가로, 검지된 상기 유체 제어기의 개폐 동작에 따라, 상기 소정의 문턱값을 보정하는 것으로 해도 된다.The control module may further include an opening / closing detection mechanism for detecting an opening / closing operation of the fluid controller, and the processing module may further correct the predetermined threshold value in accordance with the opening / closing operation of the detected fluid controller.

또한, 외부 온도를 측정하는 온도 센서를 더 가지며, 상기 처리 모듈은 추가로, 측정된 상기 외부 온도에 따라, 상기 소정의 문턱값을 보정하는 것으로 해도 된다.The apparatus further includes a temperature sensor for measuring an external temperature, and the processing module may further correct the predetermined threshold value according to the measured external temperature.

또한, 상기 처리 모듈에 의해 실행되는 통신 처리는, 상기 서버에 대해, 상기 폐쇄 공간으로의 유체 누출의 판별 결과를 소정의 주기로 송신하는 것으로 해도 된다.In addition, the communication processing executed by the processing module may transmit, to the server, a determination result of the fluid leakage to the closed space at a predetermined cycle.

또한, 복수의 유체 제어기를 집적시킨 유체 제어 장치에 있어서, 각 유체 제어기에 장착된 장치의 처리 모듈에 의해 실행되는 통신 처리는, 상기 서버에 대해, 자기(自己) 식별 정보와 함께, 상기 유체 누출의 판별 결과를 장치마다 다른 타이밍으로 송신하는 것으로 해도 된다.Further, in a fluid control device in which a plurality of fluid controllers are integrated, a communication process executed by a processing module of an apparatus mounted in each fluid controller includes, for the server, May be transmitted at different timings for each apparatus.

또한, 상기 격리 부재가 다이어프램이며, 상기 유로에 마련된 시트에 상기 다이어프램이 접촉 이반되는 밸브 기구를 가진 것으로 해도 된다.Further, the isolator may be a diaphragm, and the diaphragm may be in contact with a seat provided in the flow passage.

또한, 본 발명의 다른 관점에 관한 유체 제어기의 이상 검지 시스템은, 유로와, 격리 부재에 의해 상기 유로와 격리된 폐쇄 공간과, 상기 폐쇄 공간과 외부를 연통 가능한 리크 포트가 마련된 유체 제어기의 이상을 검지하는 시스템으로서, 상기 유체 제어기에 착탈 가능하게 고정되는 정보 제공 장치와 서버가 통신 가능하게 구성되고, 상기 정보 제공 장치는, 상기 폐쇄 공간 내의 압력을 검출하는 압력 센서와, 상기 서버에 대해, 상기 압력 센서에 의해 검출한 검출값을 송신하는 통신 모듈과, 상기 리크 포트에 상기 압력 센서를 착탈 가능하게 고정함과 아울러, 고정 상태에서 상기 리크 포트를 외부와 차단하는 착탈 기구를 가지며, 상기 서버는, 상기 정보 제공 장치로부터 수신한 검출값과 소정의 문턱값을 비교함으로써, 상기 유체 제어기의 이상을 판별하는 판별 처리를 실행한다.An abnormality detection system of a fluid controller according to another aspect of the present invention is an abnormality detection system for a fluid controller that includes an oil passage, a closed space isolated from the oil passage by a separating member, and a fluid controller provided with a leak port capable of communicating with the outside of the closed space Wherein the information providing device is detachably fixed to the fluid controller and is configured to be capable of communicating with a server, the information providing device comprising: a pressure sensor for detecting a pressure in the closed space; A communication module for transmitting a detection value detected by a pressure sensor, and a detachable mechanism for detachably fixing the pressure sensor to the leak port and for blocking the leak port from the outside in a fixed state, , And comparing the detected value received from the information providing device with a predetermined threshold value to determine an abnormality of the fluid controller It executes a determination processing for each.

또한, 본 발명의 다른 관점에 관한 유체 제어기의 이상 검지 방법은, 유로와, 격리 부재에 의해 상기 유로와 격리된 폐쇄 공간과, 상기 폐쇄 공간과 외부를 연통 가능한 리크 포트가 마련된 유체 제어기의 이상을 검지하는 방법으로서, 상기 리크 포트에 압력 센서를 착탈 가능하게 고정함과 아울러, 고정 상태에서 상기 리크 포트를 외부와 차단하는 장치에 의해, 상기 폐쇄 공간 내의 압력을 검출하는 공정과, 상기 압력 센서에 의해 검출한 검출값과 소정의 문턱값을 비교함으로써, 상기 유체 제어기의 이상을 판별하는 공정과, 상기 유체 제어기의 이상의 판별 결과를 서버에 송신하는 공정을 실행한다.In addition, an abnormality detection method for a fluid controller according to another aspect of the present invention is a method for detecting an abnormality of a fluid controller comprising a fluid passage, a closed space isolated from the fluid passage by a separating member, and a fluid controller provided with a leak port communicating with the outside A step of detecting a pressure in the closed space by an apparatus for detachably fixing a pressure sensor to the leak port and blocking the leak port from the outside in a fixed state, Comparing the detected value detected by the fluid controller with a predetermined threshold value to discriminate an abnormality of the fluid controller and a step of transmitting the result of the abnormality determination of the fluid controller to the server.

또한, 본 발명의 다른 관점에 관한 유체 제어기는, 이상을 검지 가능한 유체 제어기로서, 유로와, 격리 부재에 의해 상기 유로와 격리된 폐쇄 공간과, 상기 폐쇄 공간과 외부를 연통 가능한 리크 포트와, 상기 폐쇄 공간 내의 압력을 검출하는 압력 센서와, 상기 리크 포트에 상기 압력 센서를 착탈 가능하게 고정함과 아울러, 고정 상태에서 상기 리크 포트를 외부와 차단하는 착탈 기구와, 소정의 정보 처리를 실행하는 처리 모듈을 가지며, 상기 처리 모듈은, 상기 압력 센서에 의해 검출한 검출값과 소정의 문턱값을 비교함으로써, 상기 유체 제어기의 이상을 판별하는 판별 처리와, 상기 유체 제어기의 이상의 판별 결과를 서버에 송신하는 통신 처리를 실행한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a fluid controller capable of detecting an abnormality, comprising: a flow path; a closed space isolated from the flow path by an isolating member; a leak port communicating with the outside of the closed space; A pressure sensor for detecting a pressure in the closed space; a detachable mechanism for detachably fixing the pressure sensor to the leak port and for blocking the leak port from the outside in a fixed state; Wherein the processing module comprises: discrimination processing for discriminating an abnormality of the fluid controller by comparing a detection value detected by the pressure sensor with a predetermined threshold value; Communication processing is performed.

본 발명에 의하면, 유체 제어기에 있어서, 유체의 누출이 적은 경우에도 누출을 검지할 수 있다. 또한, 서버와의 제휴에 의해, 떨어진 장소에 있는 유체 제어기나 복수의 유체 제어기에 대해서도 유체의 누출을 감시하기 쉬운 등의 효과가 있다.According to the present invention, it is possible to detect leakage even when the fluid leakage is small in the fluid controller. In addition, by cooperation with the server, it is easy to monitor the leakage of fluid even in a fluid controller or a plurality of fluid controllers in a remote place.

도 1은, 본 발명의 제1 실시형태에 관한 유체 제어기의 이상 검지 장치를 유체 제어기에 장착한 상태를 나타내는 외관 사시도이다.
도 2는, 본 실시형태에 관한 유체 제어기의 이상 검지 장치를 유체 제어기에 장착한 상태를 나타내는 단면도로서, (a) 밸브 폐쇄 상태, (b) 밸브 개방 상태를 나타낸다.
도 3은, 본 실시형태에 관한 유체 제어기의 이상 검지 장치가 형성하는 네트워크의 구성을 나타낸 모식도이다.
도 4는, 본 실시형태에 관한 유체 제어기의 이상 검지 장치가 착탈 가능하게 장착되는 유체 제어기를 나타낸 외관 사시도이다.
도 5는, 본 실시형태에 관한 유체 제어기의 이상 검지 장치를 나타낸 외관 사시도로서, (a) 외측, (b) 유체 제어기에 접촉하는 측을 나타낸다.
도 6은, 본 실시형태에 관한 유체 제어기의 이상 검지 장치를 유체 제어기에 장착할 때의 모습을 나타낸 분해 사시도이다.
도 7은, 본 실시형태에 관한 유체 제어기의 이상 검지 장치, 이 이상 검지 장치와 통신 가능하게 구성된 서버가 구비하는 기능을 나타낸 기능 블록도이다.
도 8은, 본 발명의 제2 실시형태에 관한 유체 제어기의 이상 검지 장치, 이 이상 검지 장치와 통신 가능하게 구성된 서버가 구비하는 기능을 나타낸 기능 블록도이다.
도 9는, 본 발명의 제3 실시형태에 관한 유체 제어기의 이상 검지 시스템이 구비하는 기능을 나타낸 기능 블록도이다.
도 10은, 본 발명의 제4 실시형태에 관한 유체 제어기의 이상 검지 시스템이 구비하는 기능을 나타낸 기능 블록도이다.1 is an external perspective view showing a state in which an abnormality detecting device of a fluid controller according to a first embodiment of the present invention is attached to a fluid controller;
Fig. 2 is a cross-sectional view showing a state in which the abnormality detecting device of the fluid controller according to the present embodiment is mounted in the fluid controller, and shows (a) a valve closing state and (b) a valve opening state.
3 is a schematic diagram showing the configuration of a network formed by the abnormality detecting device of the fluid controller according to the present embodiment.
4 is an external perspective view showing a fluid controller in which an abnormality detecting device of the fluid controller according to the present embodiment is detachably mounted.
Fig. 5 is an external perspective view showing an abnormality detecting device of the fluid controller according to the present embodiment, and shows (a) the outside and (b) the side contacting the fluid controller.
Fig. 6 is an exploded perspective view showing a state where the abnormality detecting device of the fluid controller according to the present embodiment is attached to the fluid controller.
7 is a functional block diagram showing functions of a server configured to be able to communicate with the abnormality detecting device of the fluid controller and the abnormality detecting device according to the present embodiment.
Fig. 8 is a functional block diagram showing functions of a server configured to be capable of communicating with the abnormality detecting apparatus and the abnormality detecting apparatus of the fluid controller according to the second embodiment of the present invention.
Fig. 9 is a functional block diagram showing the functions of the abnormality detection system of the fluid controller according to the third embodiment of the present invention.
10 is a functional block diagram showing the functions of the abnormality detection system of the fluid controller according to the fourth embodiment of the present invention.

실시예 1Example 1

이하, 본 발명의 제1 실시형태에 관한 유체 제어기의 이상 검지 장치에 대해, 도면을 참조하여 설명한다.Hereinafter, an abnormality detecting apparatus of a fluid controller according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

또, 이하의 설명에서는, 편의적으로 도면 상에서의 방향에 따라 부재 등의 방향을 상하좌우로 지칭하는 경우가 있는데, 이들은 본 발명의 실시 혹은 사용시의 부재 등의 방향을 한정하는 것은 아니다.In the following description, the directions of the members and the like are referred to as upward, downward, leftward, and rightward according to the directions on the drawings for convenience, but they do not limit the directions of the members or the like in the practice or use of the present invention.

도 1, 도 2에 도시된 바와 같이, 본 실시형태에 관한 이상 검지 장치(1)는, 유체 제어기(2)에 착탈 가능하게 장착되어, 유체 제어기(2)의 이상, 특히 유체 제어기(2) 내에서의 유체의 누출을 검지하는 장치이다.1 and 2, the abnormality detection device 1 according to the present embodiment is detachably mounted to the fluid controller 2, and detects abnormality of the fluid controller 2, particularly, the fluid controller 2, Which detects the leakage of the fluid.

또한, 이 이상 검지 장치(1)는 도 3에 도시된 바와 같이, 서버(3)와 네트워크(NW1, NW2)를 통해 통신 가능하게 구성되어, 상기 서버(3)에 대해 유체 제어기(2)의 이상에 관한 정보를 제공한다. 또, 도 3은, 유체 제어기(2)가 복수 집적되어 유체 제어 장치(10)를 구성한 예를 나타내고 있다.3, the abnormality detection apparatus 1 is configured to be able to communicate with the server 3 via the networks NW1 and NW2, and is capable of communicating with the server 3 to the fluid controller 2 Provide information on the above. 3 shows an example in which a plurality of fluid controllers 2 are integrated to constitute the fluid control device 10. As shown in Fig.

우선, 본 실시형태에 관한 이상 검지 장치(1)가 적용되는 유체 제어기(2)에 대해 설명한다.First, the fluid controller 2 to which the abnormality detection device 1 according to the present embodiment is applied will be described.

본 실시형태에 관한 이상 검지 장치(1)가 적용되는 유체 제어기(2)로서, 다이렉트 다이어프램 밸브를 도 4에 나타낸다. 이 유체 제어기(2)는 외관상 밸브 몸체(21), 밸브 몸체(21)의 상단에 배치된 대략 원통형의 액추에이터 몸체(22), 액추에이터 몸체(22)의 상단에 장착된 액추에이터 캡(23)에 의해 구성되어 있다.Fig. 4 shows a direct diaphragm valve as the fluid controller 2 to which the abnormality detection device 1 according to the present embodiment is applied. The fluid controller 2 includes a valve body 21, a substantially cylindrical actuator body 22 disposed at the upper end of the valve body 21, and an actuator cap 23 mounted at the upper end of the actuator body 22 Consists of.

도 2에 도시된 바와 같이, 밸브 몸체(21) 내에는, 유체가 유입되는 유입로(211a)와 유체가 유출되는 유출로(211b) 및 상기 유입로(211a)와 유출로(211b)에 연통되는 밸브실(211c)이 마련되어 있다. 이 유입로(211a), 유출로(211b) 및 밸브실(211c)은, 유체가 유통하는 유로(211)를 일체적으로 구성하고 있다.2, the valve body 21 is provided with an inflow passage 211a through which the fluid flows, an outflow passage 211b through which the fluid flows, and an outlet passage 211b communicating with the inflow passage 211a and the outflow passage 211b, And a valve chamber 211c is provided. The inflow path 211a, the outflow path 211b and the valve chamber 211c integrally constitute the flow path 211 through which the fluid flows.

또한, 유입로(211a)와 밸브실(211c)이 연통되는 개소의 주연(周緣)에는 환상의 시트(212)가 마련되어 있다. 시트(212) 상에는 또한, 시트(212)에 접촉 이반됨으로써 유입로(211a)로부터 유출로(211b)로 유체를 유통시키거나 유통을 차단시키는 다이어프램(213)이 마련되어 있다.An annular seat 212 is provided around the periphery of the portion where the inflow passage 211a and the valve chamber 211c communicate with each other. The diaphragm 213 is provided on the seat 212 to allow the fluid to flow from the inflow passage 211a to the outflow passage 211b or to block the flow of fluid from the inflow passage 211b by contact with the seat 212. [

다이어프램(213)은, 스테인리스, NiCo계 합금 등의 금속이나 불소계 수지로 이루어지는 원반상의 부재로서, 유로(211)와 폐쇄 공간(S)을 격리하는 격리 부재로서 기능한다. 이 다이어프램(213)은, 구동압으로서의 에어가 공급되어 디스크(221)에 의한 압압으로부터 개방되면, 자신의 복원력이나 유로(211) 내의 압력에 의해 중앙부가 시트(212)로부터 이반되는 방향으로 변위하여 시트(212)로부터 이반된다. 그 결과, 밸브실(211c)이 개방되고, 유입로(211a)와 유출로(211b)가 연통된 상태가 된다.The diaphragm 213 is a disc-like member made of a metal such as stainless steel or NiCo alloy or a fluorine resin, and functions as a separator for isolating the flow path 211 from the closed space S. This diaphragm 213 is displaced in the direction in which the center portion is separated from the seat 212 by the restoring force of the self-restoring force and the pressure in the flow passage 211 And is separated from the sheet 212. As a result, the valve chamber 211c is opened, and the inflow path 211a and the outflow path 211b are in a communicated state.

한편, 구동압으로서의 에어의 공급이 멈추어 다이어프램(213)이 디스크(221)에 압압되면, 시트(212)에 대해 다이어프램(213)의 중앙부가 시트(212)에 접촉하는 방향으로 변위하여 시트(212)에 접촉한다. 그 결과, 밸브실(211c)이 차단되고, 유입로(211a)와 유출로(211b)가 차단된 상태가 된다.On the other hand, when the diaphragm 213 is pressed against the disk 221 by stopping the supply of air as the driving pressure, the central portion of the diaphragm 213 is displaced in the direction in which the diaphragm 213 contacts the seat 212 with respect to the seat 212, . As a result, the valve chamber 211c is shut off and the inflow path 211a and the outflow path 211b are blocked.

또, 일반적으로, 격리 부재에는 본 예의 다이어프램(213) 외에 벨로즈가 이용된다. 그러나, 벨로즈는 스트로크(유량 레인지)를 크게 취할 수 있는 반면, 액추에이터 몸체 내의 부피 변화가 커지기 때문에, 유체 제어기의 개폐 동작시에 호흡구(본 예의 리크 포트(LP)에 상당)를 개방할 필요가 있다.In general, a bellows is used for the isolation member in addition to the diaphragm 213 of the present embodiment. However, since the bellows can take a large stroke (flow range), the volume change in the actuator body becomes large. Therefore, it is necessary to open the breathing port (equivalent to the leak port LP in this example) .

한편, 본 예와 같은 다이렉트 다이어프램 구조, 즉 다이어프램(213)이 시트(212)에 접촉 이반됨으로써 유입로(211a)로부터 유출로(211b)로 유체를 유통시키거나 유통을 차단시키는 구조에서는, 액추에이터 몸체(22) 내의 부피 변화가 적다. 그 때문에, 본 예의 이상 검지 장치(1)에 의해 리크 포트(LP)를 외부와 차단한 상태이어도, 유체 제어기(2)는 문제없이 개폐 동작을 행할 수 있다. 따라서, 본 예의 이상 검지 장치(1)는 다이렉트 다이어프램 구조로 이루어지는 유체 제어기(2)에 적합한 것이라고 할 수 있다.On the other hand, in the structure in which the direct diaphragm structure as in this example, that is, the diaphragm 213 is brought into contact with the seat 212 to thereby allow the fluid to flow from the inflow passage 211a to the outflow passage 211b or to block the flow, The change in the volume in the space 22 is small. Therefore, even when the leak port LP is disconnected from the outside by the abnormality detecting device 1 of the present embodiment, the fluid controller 2 can perform the opening and closing operation without any problem. Therefore, the abnormality detection device 1 of the present embodiment can be said to be suitable for the fluid controller 2 having a direct diaphragm structure.

액추에이터 몸체(22) 내에는, 다이어프램(213)을 압압하는 디스크(221), 다이어프램(213)의 주연을 누르는 누름 어댑터(222), 상하로 슬라이딩함으로써 디스크(221)를 개재하여 다이어프램(213)을 시트(212)에 접촉 이반시키는 피스톤(223), 피스톤(223)을 하방으로 바이어스하는 스프링(224)이 마련되어 있다.A disk 221 for pressing the diaphragm 213, a pressing adapter 222 for pressing the periphery of the diaphragm 213, and a diaphragm 213 are inserted into the actuator body 22 through the disk 221 by sliding up and down. A piston 223 that makes contact with the seat 212 and a spring 224 that biases the piston 223 downward are provided.

누름 어댑터(222)는, 다이어프램(213)의 주연을 상방으로부터 눌러붙여, 유로(211)를 흐르는 유체가 다이어프램(213)의 주연부 근방으로부터 액추에이터 몸체(22) 내로 누출되는 것을 방지하고 있다.The pressing adapter 222 presses the peripheral edge of the diaphragm 213 from above to prevent the fluid flowing in the flow path 211 from leaking from the vicinity of the periphery of the diaphragm 213 into the actuator body 22. [

피스톤(223)의 상단측에는 소직경의 보유지지부가 마련되고, 이 보유지지부에 O링(225)이 보유지지되어 있다. 이 O링(225)은, 피스톤(223)의 외주면과, 액추에이터 캡(23)의 구동압 도입구(23a)에 연통되는 구동압 도입로(231)의 내주면의 사이를 시일(seal)하고 있다. 이에 의해, 구동압 도입구(23a)로부터 도입되는 에어가 누출없이 피스톤(223) 내의 구동압 도입로(232)로 도입된다.A small-diameter retaining portion is provided on the upper end side of the piston 223, and an O-ring 225 is held on the retaining portion. The O-ring 225 seals between the outer circumferential surface of the piston 223 and the inner circumferential surface of the drive-pressure introducing path 231 communicating with the drive-pressure introducing port 23a of the actuator cap 23 . Thereby, the air introduced from the drive-pressure introduction port 23a is introduced into the drive-pressure introduction path 232 in the piston 223 without leaking.

피스톤(223)의 중간부에도 소직경의 보유지지부가 마련되고, 이 보유지지부에 O링(226)이 보유지지되어 있다. 이 O링(226)은, 피스톤(223)의 외주면과 액추에이터 몸체(22)의 내주면의 사이를 시일하고 있다. O링(226)과 O링(227)에 의해 형성된 공간은, 피스톤(223) 내의 구동압 도입로(232)에 연통되는 구동압 도입실(233)을 형성한다.A small-diameter holding portion is also provided in the middle portion of the piston 223, and an O-ring 226 is held in the holding portion. The O-ring 226 seals between the outer circumferential surface of the piston 223 and the inner circumferential surface of the actuator body 22. The space formed by the O-ring 226 and the O-ring 227 forms a driving pressure introduction chamber 233 communicating with the driving pressure introduction path 232 in the piston 223.

이 구동압 도입실(233)에는, 구동압 도입구(23a)에 연통되는 구동압 도입로(231)와 피스톤(223) 내의 구동압 도입로(232)를 통해, 액추에이터 캡(23)의 구동압 도입구(23a)로부터 에어가 도입된다. 에어가 구동압 도입실(233)에 도입되면, 피스톤(223)이 스프링(224)의 바이어스력에 저항하여 상방으로 밀어 올려진다. 이에 의해, 다이어프램(213)이 시트(212)로부터 이반되어 밸브가 개방된 상태가 되고 유체가 유통된다.The driving pressure introducing chamber 233 is provided with a driving pressure introducing passage 231 communicating with the driving pressure introducing port 23a and a driving pressure introducing passage 232 communicating with the inside of the piston 223, Air is introduced from the pressure introduction port 23a. When the air is introduced into the drive-pressure introduction chamber 233, the piston 223 is pushed up against the biasing force of the spring 224. Thereby, the diaphragm 213 is separated from the seat 212, and the valve is opened, and the fluid flows.

한편, 구동압 도입실(233)에 에어가 도입되지 않게 되면, 피스톤(223)이 스프링(224)의 바이어스력에 따라 하방으로 눌려 내려간다. 이에 의해, 다이어프램(213)이 시트(212)에 접촉하여 밸브가 폐쇄된 상태가 되고 유체의 유통이 차단된다.On the other hand, when no air is introduced into the driving-pressure introducing chamber 233, the piston 223 is pushed downwardly in accordance with the biasing force of the spring 224. As a result, the diaphragm 213 comes into contact with the seat 212 to close the valve, and the flow of the fluid is blocked.

피스톤(223)의 하단측에도 소직경의 보유지지부가 마련되고, 이 보유지지부에 O링(227)이 보유지지되어 있다. 이 O링(227)은, 피스톤(223)의 외주면과 액추에이터 몸체(22)의 내주면의 사이를 시일하고 있다. 이에 의해, 액추에이터 몸체(22) 내의 디스크(221)가 상하이동하는 부분에 있어서, 다이어프램(213)과 O링(227)에 의해 구획된 폐쇄 공간(S)이 형성되어 있다.A small-diameter retaining portion is provided on the lower end side of the piston 223, and an O-ring 227 is held on the retaining portion. The O-ring 227 seals between the outer circumferential surface of the piston 223 and the inner circumferential surface of the actuator body 22. Thereby, the closed space S defined by the diaphragm 213 and the O-ring 227 is formed in the portion of the actuator body 22 where the disk 221 moves up and down.

이 폐쇄 공간(S)은, 액추에이터 몸체(22)에 마련된 리크 포트(LP)에 의해서만 외부와 연통되어 있는데, 리크 포트(LP)에 이상 검지 장치(1)의 압력 센서(11)가 고정되면, 리크 포트(LP)가 외부와 차단되어 기밀 상태가 된다.The closed space S is communicated with the outside only by the leak port LP provided in the actuator body 22. When the pressure sensor 11 of the abnormality detection device 1 is fixed to the leak port LP, The leak port LP is blocked from the outside and becomes a hermetic state.

여기서, 액추에이터 몸체(22)에 마련된 리크 포트(LP)는, 폐쇄 공간(S)과 외부를 연통시키는 관통공으로서 구성되어 있다. 이 리크 포트(LP)는, 다이어프램(213)의 파손 등에 의해 폐쇄 공간(S)에 유체가 누출되는 것을 검지하기 위한 구멍으로서, 이 리크 포트(LP)에 본 실시형태에 관한 이상 검지 장치(1)가 장착된다.Here, the leak port LP provided in the actuator body 22 is formed as a through hole communicating the closed space S with the outside. The leak port LP is a hole for detecting the leakage of the fluid into the closed space S due to breakage of the diaphragm 213 or the like and the leak port LP is provided with an anomaly detection device 1 Is mounted.

또, 리크 포트(LP)는, 유체 제어기(2)가 통상 동작하고 있을 때에는, 피스톤(223)의 상하운동에 따른 액추에이터 몸체(22) 내의 공기의 흡입·배출을 가능하게 하는 호흡구로서도 기능한다.The leak port LP also functions as a respiratory orifice that allows the air in the actuator body 22 to be sucked and discharged in accordance with the upward and downward movement of the piston 223 when the fluid controller 2 is normally operated .

또한, 리크 포트(LP)는, 유체 제어기(2)의 완성품 검사에서는 유로(211)의 기밀성을 검사할 때의 테스트 포트로서도 기능한다. 이 완성품 검사는, 이상 검지 장치(1)를 유체 제어기(2)로부터 분리하고, 이 상태로 유로(211)에 비활성의 헬륨 가스(He) 등을 유통시킴으로써 행해진다.The leak port LP also functions as a test port when inspecting the airtightness of the flow path 211 in the inspection of the finished product of the fluid controller 2. [ This inspection of the finished product is performed by separating the abnormality detection device 1 from the fluid controller 2 and circulating inactive helium gas (He) or the like in the flow path 211 in this state.

본 실시형태에 관한 이상 검지 장치(1)는, 이미 제작 혹은 이미 마련된 유체 제어기(2)에 후부착 가능하며, 호흡구나 테스트 포트 등으로서 마련되어 있는 리크 포트(LP)를 사용하여 유체의 누출을 검지할 수 있다. 그 때문에, 본 발명의 이상 검지 장치(1)를 장착하기 위한 전용의 리크 포트를 유체 제어기(2)에 마련할 필요가 없다.The abnormality detection apparatus 1 according to the present embodiment can detect the leakage of a fluid by using a leak port LP which can be attached to a fluid controller 2 that has already been manufactured or already provided and is provided as a breathing port or a test port can do. Therefore, it is not necessary to provide a dedicated leak port for mounting the abnormality detection device 1 of the present invention in the fluid controller 2.

이상의 구성으로 이루어지는 유체 제어기(2)는 도 3에 도시된 바와 같이, 복수 집적되어 유체 제어 장치(10)를 구성한다. 이 경우에도, 이상 검지 장치(1)는, 유체 제어 장치(10)를 구성하는 개개의 유체 제어기(2)에 장착된다.As shown in Fig. 3, a plurality of fluid controllers 2 having the above-described configuration are integrated to constitute the fluid control device 10. [ In this case also, the abnormality detection device 1 is mounted in the individual fluid controllers 2 constituting the fluid control device 10. [

이상 검지 장치(1)는, 폐쇄 공간(S) 내의 압력을 검출함으로써, 유로(211)로부터 폐쇄 공간(S)으로의 유체의 누출 등을 검지하여, 다이어프램(213)의 파손 등, 유체 제어기(2)의 이상을 검지하는 장치이다.The abnormality detection device 1 detects the leakage of the fluid from the flow path 211 to the closed space S by detecting the pressure in the closed space S and controls the fluid controller 2).

이 이상 검지 장치(1)는 도 5, 도 6에 도시된 바와 같이, 압력 센서(11) 및 하우징(121)과 고정 부재(122)에 의해 구성되는 착탈 기구(12)(하우징(121)과 고정 부재(122)를 합하여 「착탈 기구(12)」라고 칭함) 외에, 소정의 정보 처리를 실행하는 처리 모듈(13)(도 7을 참조하여 후술함)을 가진다. 또, 처리 모듈(13)은, 압력 센서(11)와는 별도의 몸체로서 하우징(121) 내에 격납되어 있어도 되고, 압력 센서(11)의 일부로서 구성되어 있어도 된다.5 and 6, the anomaly detection device 1 includes a pressure sensor 11 and a detachable mechanism 12 (a housing 121 and a housing 121) constituted by a housing 121 and a fixing member 122, (To be described later with reference to Fig. 7) for executing predetermined information processing, in addition to the above-described attachment / detachment mechanism 12, The processing module 13 may be housed in the housing 121 as a separate body from the pressure sensor 11 or as a part of the pressure sensor 11.

압력 센서(11)는, 리크 포트(LP)를 통해 유체 제어기(2)의 폐쇄 공간(S) 내의 압력을 검출한다.The pressure sensor 11 detects the pressure in the closed space S of the fluid controller 2 through the leak port LP.

이 압력 센서(11)는, 폐쇄 공간(S) 내의 압력 변화를 검출하는 감압 소자나, 감압 소자에 의해 검출된 압력의 검출값을 전기 신호로 변환하는 변환 소자 등에 의해 구성된다.The pressure sensor 11 is constituted by a pressure reducing element for detecting a pressure change in the closed space S or a converting element for converting the detected value of the pressure detected by the pressure reducing element into an electric signal.

또, 압력 센서(11)는, 게이지압 혹은 대기압 중 어느 것을 검출하는 것이어도 되고, 각각의 경우에 따라, 판별 처리부(131)(도 7을 참조하여 후술함)가 참조하는 문턱값이 설정되면 된다.The pressure sensor 11 may detect either the gauge pressure or the atmospheric pressure. In each case, when the threshold value referred to by the discrimination processing unit 131 (to be described later with reference to Fig. 7) is set do.

또한, 본 실시형태에서는, 폐쇄 공간(S) 내의 압력 변화를 압력 센서(11)에 의해 검출함으로써, 유체의 누출 등에 기인한 유체 제어기(2)의 이상을 검지하는데, 컨덴서형 마이크로폰 유닛을 압력 센서(11)로서 이용하는 것이 가능하다. 즉, 컨덴서형 마이크로폰 유닛은, 음파를 받아 진동하는 진동판과, 진동판에 대향하여 배치된 대향 전극을 가지며, 진동판과 대향 전극 사이의 정전 용량의 변화를 전압의 변화로 변환하여 음성 신호로 할 수 있다. 그리고, 이 컨덴서형 마이크로폰 유닛은, 진동판의 배면측에 마련되는 공기실을 막음으로써 무지향성(전지향성)이 된다. 무지향성의 경우, 컨덴서형 마이크로폰 유닛은 모든 방향으로부터의 음파에 의한 음압의 변화를 포착하여 동작하기 때문에, 압력 센서로서 이용하는 것이 가능해진다.Further, in the present embodiment, by detecting the pressure change in the closed space S by the pressure sensor 11, the abnormality of the fluid controller 2 due to fluid leakage or the like is detected, (11). That is, the condenser microphone unit has a diaphragm that vibrates in response to a sound wave, and an opposing electrode disposed opposite to the diaphragm, and converts a change in capacitance between the diaphragm and the counter electrode into a change in voltage to obtain a speech signal . The condenser type microphone unit is omnidirectional (omnidirectional) by blocking the air chamber provided on the back side of the diaphragm. In the case of omnidirectionality, the condenser microphone unit can operate as a pressure sensor because it operates by capturing changes in sound pressure due to sound waves from all directions.

하우징(121)과 고정 부재(122)에 의해 구성되는 착탈 기구(12)는, 이상 검지 장치(1)를 유체 제어기(2)에 착탈 가능하게 장착하기 위한 기구로서, 리크 포트(LP)에 압력 센서(11)를 착탈 가능하게 고정함과 아울러, 고정 상태에서 리크 포트(LP)를 외부와 차단한다.The attachment / detachment mechanism 12 constituted by the housing 121 and the fixing member 122 is a mechanism for detachably attaching the abnormality detection device 1 to the fluid controller 2, The sensor 11 is detachably fixed, and the leak port LP is blocked from the outside in a fixed state.

대략 상자형 형상으로 이루어지는 하우징(121)은, 일 측면에 압력 센서(11)를 보유지지하기 위한 끼워맞춤 구멍(1211a)을 가지고 있고, 이 끼워맞춤 구멍(1211a)에 압력 센서(11)의 선단부를 끼워맞춤시킴으로써, 압력 센서(11)가 보유지지된다.The housing 121 made of a substantially box-like shape has a fitting hole 1211a for holding the pressure sensor 11 on one side, and the front end portion of the pressure sensor 11 is fitted in the fitting hole 1211a. The pressure sensor 11 is held.

또한, 하우징(121)의 유체 제어기(2)에 접촉하는 면은, 유체 제어기(2)의 접촉하는 개소의 형상에 맞추어 대략 반원기둥 형상으로 잘라낸 형상으로 이루어지고, 하우징(121)의 폭방향의 양 측면에는, 고정 부재(122)의 단부를 고정하기 위한 볼트(12b)가 나사맞춤되는 볼트 구멍(1212a)이 마련되어 있다.The surface of the housing 121 in contact with the fluid controller 2 is cut into a substantially semicircular shape conforming to the shape of the portion to which the fluid controller 2 is to be contacted, Bolt holes 1212a through which bolts 12b for fixing the end portions of the fixing member 122 are screwed are provided on both sides.

또, 하우징(121) 내에는, 적절히 압력 센서(11)를 구동시키는 내부 전원 등을 격납할 수 있다.An internal power supply or the like for driving the pressure sensor 11 can be appropriately housed in the housing 121.

고정 부재(122)는, 탄성의 금속, 고무 등의 신축 가능한 탄성 재료로 이루어지는 끈 형상의 부재로서, 유체 제어기(2)의 상기 고정 부재(122)가 감겨지는 부분(본 예에서는 액추에이터 몸체(22))의 외주의 길이와 대략 같거나 혹은 이보다 약간 짧은 길이로 이루어진다.The fixing member 122 is a strap-like member made of an elastic material such as elastic metal or rubber and is made of an elastic material capable of being stretchable. The fixing member 122 is a member in which the fixing member 122 of the fluid controller 2 is wound ) Of the outer circumferential surface of the outer circumferential surface.

이 고정 부재(122)의 양단에는, 하우징(121)의 한 쌍의 볼트 구멍(1212a)에 대응하여 한 쌍의 볼트 구멍(122a)이 형성되어 있다. 고정 부재(122)의 볼트 구멍(122a)과 하우징(121)의 볼트 구멍(1212a)에 볼트(12b)를 나사결합시킴으로써, 고정 부재(122)의 양단이 하우징(121)의 측면에 고정되고, 고정 부재(122)가 유체 제어기(2)에 감겨진 상태로 유지된다. 이에 의해, 하우징(121)에 보유지지된 압력 센서(11)는 리크 포트(LP)에 눌려붙여진다.At both ends of the fixing member 122, a pair of bolt holes 122a are formed corresponding to a pair of bolt holes 1212a of the housing 121. [ Both ends of the fixing member 122 are fixed to the side surface of the housing 121 by screwing the bolt 12b into the bolt hole 122a of the fixing member 122 and the bolt hole 1212a of the housing 121, The fixing member 122 is kept wound around the fluid controller 2. [ Thereby, the pressure sensor 11 held by the housing 121 is pressed against the leak port LP.

여기서, 유체 제어기(2)에 이상 검지 장치(1)를 장착한 상태로부터는, 볼트(12b)를 이완시켜 하우징(121)과 고정 부재(122)를 분리시킴으로써, 이상 검지 장치(1)를 유체 제어기(2)로부터 분리할 수 있고, 이에 의해 리크 포트(LP)가 개방된다.In the state where the abnormality detecting apparatus 1 is mounted on the fluid controller 2, the bolts 12b are loosened to separate the housing 121 and the fixing member 122, It can be disconnected from the controller 2, whereby the leak port LP is opened.

또, 본 예에서는, 압력 센서(11)와 하우징(121)의 사이가 O링(1213)에 의해 시일되어 있다. 또한, 압력 센서(11)와 리크 포트(LP)의 사이에는 시일재(1214)가 장착되어 있어, 유체 제어기(2)의 폐쇄 공간(S)에 누출된 유체가 외부로 누출되는 것을 막고 있다.In this example, the space between the pressure sensor 11 and the housing 121 is sealed by an O-ring 1213. [ A sealing material 1214 is mounted between the pressure sensor 11 and the leak port LP to prevent the fluid leaked to the closed space S of the fluid controller 2 from leaking to the outside.

처리 모듈(13)은, CPU(Central Processing Unit)나 메모리에 의해 구성되고, 이에 의해 도 7에 도시된 바와 같이, 판별 처리부(131)와 통신 처리부(132)로 이루어지는 기능 블록을 구비한다. 이 처리 모듈(13)은, 소정의 배선 등에 의해 압력 센서(11)와 제휴 가능하게 구성되어 있고, 이 압력 센서(11)로부터 데이터의 공급을 받을 수 있게 되어 있다.The processing module 13 is constituted by a CPU (Central Processing Unit) and a memory, and thereby, as shown in FIG. 7, has a function block including a discrimination processing section 131 and a communication processing section 132. The processing module 13 is configured to be able to cooperate with the pressure sensor 11 by a predetermined wiring or the like and is capable of receiving data from the pressure sensor 11. [

판별 처리부(131)는, 참조용 테이블 등에 보유지지된 소정의 문턱값과, 압력 센서(11)에 의해 검출된 압력의 검출값을 비교함으로써, 폐쇄 공간(S)으로의 유체의 누출 등에 기인한 유체 제어기(2)의 이상을 판별하는 처리를 실행한다. 즉, 통상 사용시에 있어서, 유체 제어기(2)의 밸브의 개폐로 상정되는 폐쇄 공간(S) 내의 압력의 한계값을 소정의 문턱값으로 해 둔다. 그리고, 폐쇄 공간(S) 내의 압력의 검출값이 이러한 문턱값을 초과한 경우에, 유체 제어기(2)에 이상이 발생한 것으로 판별한다. 이러한 판별의 합리성은, 다이어프램(213)의 파손 등에 의해 폐쇄 공간(S)으로 유체가 누출되어 폐쇄 공간(S) 내의 압력이 상승한 결과로서, 혹은 유로(211) 내의 감압에 의해 폐쇄 공간(S) 내의 압력이 감소한 결과로서 폐쇄 공간(S) 내의 압력의 검출값이 문턱값을 초과하였다고 간주할 수 있는 것에 의한다.The discrimination processing section 131 compares a predetermined threshold value held on a reference table or the like with the detected value of the pressure detected by the pressure sensor 11 to determine whether or not the pressure of the fluid in the closed space S And executes processing for determining abnormality of the fluid controller 2. [ That is, at the time of normal use, the limit value of the pressure in the closed space S assumed to open and close the valve of the fluid controller 2 is set to a predetermined threshold value. When the detected value of the pressure in the closed space S exceeds this threshold value, it is determined that an abnormality has occurred in the fluid controller 2. The reason for this determination is that the fluid is leaked into the closed space S due to breakage of the diaphragm 213 or the like and the pressure in the closed space S rises or the pressure in the flow passage 211 is reduced, It can be considered that the detected value of the pressure in the closed space S exceeds the threshold value as a result of the decrease in the pressure in the closed space S.

통신 처리부(132)는, 서버(3)에 대해, 판별 처리부(131)에 의한 판별 결과를 송신하는 처리를 실행하기 위한 기능부이다. 본 실시형태에서는, 이상 검지 장치(1)와 서버(3)의 사이에 중계 장치(4)가 마련되어 있고, 이 중계 장치(4)를 통해 이상 검지 장치(1)로부터의 정보가 서버(3)에 제공된다.The communication processing unit 132 is a functional unit for executing processing for transmitting the determination result by the determination processing unit 131 to the server 3. [ The relay apparatus 4 is provided between the abnormality detection apparatus 1 and the server 3 and the information from the abnormality detection apparatus 1 is transmitted to the server 3 via the relay apparatus 4. [ .

구체적으로, 통신 처리부(132)에 의해 송신되는 데이터는 예를 들어 Bluetooth(등록상표), 적외선 통신, 혹은 Zigbee(등록상표) 등의 무선 통신에 의해 실현되는 네트워크(NW1)를 경유하여 일단 중계 장치(4)에 송신되고, 중계 장치(4)로부터 무선 혹은 유선 LAN 등에 의해 실현되는 네트워크(NW2)를 통해 서버(3)에 송신된다.Specifically, the data transmitted by the communication processing unit 132 is transmitted via the network NW1 realized by radio communication such as Bluetooth (trademark), infrared communication, or Zigbee (registered trademark) And is transmitted from the relay apparatus 4 to the server 3 via the network NW2 realized by the wireless or wired LAN or the like.

또한, 이 통신 처리부(132)는, 판별 처리부(131)에 의한 판별 결과를 1시간이나 1일 등의 임의로 설정된 소정의 주기로 송신할 수 있다. 이로부터, 유체의 미량의 누출은 그 순간을 검지하기 어렵지만, 며칠 정도이면 승압하기 때문에 검지 가능해진다. 한편, 폐쇄 공간(S)은 기밀한 공간이기 때문에, 미소한 누출이 발생해도 바로 문제가 되기 어렵다. 그 때문에, 소정의 주기에 의한 송신이어도 지장이 없다. 나아가 이와 같이 소정의 주기로 정보의 송신을 행하는 경우에는, 소비전력을 억제할 수 있다.In addition, the communication processing unit 132 can transmit the determination result by the determination processing unit 131 at a predetermined period arbitrarily set, such as one hour or one day. From this, it is difficult to detect the minute of leakage of the fluid, but it becomes possible to detect because the pressure rises up in a few days. On the other hand, since the closed space S is an airtight space, even if minute leakage occurs, it is difficult to be a problem immediately. Therefore, the transmission may be performed by a predetermined period. Furthermore, when information is transmitted at a predetermined cycle in this manner, power consumption can be suppressed.

또한, 도 3에 도시된 바와 같이, 유체 제어기(2)가 복수 집적되어 유체 제어 장치(10)를 구성하는 경우, 각 유체 제어기(2)에 장착된 이상 검지 장치(1)의 통신 처리부(132)는, 서버(3)에 대해 자기를 식별 가능한 자기 식별 정보와 함께, 판별 처리부(131)에 의한 판별 결과를 이상 검지 장치(1)마다 다른 타이밍으로 송신할 수 있다.3, when a plurality of fluid controllers 2 are integrated to constitute the fluid control device 10, the communication processing part 132 (of the abnormality detection device 1 mounted in each fluid controller 2) Can transmit the discrimination result of the discrimination processing section 131 at different timings to each of the abnormality detection apparatus 1 together with the magnetic identification information which can identify the server 3 with respect to the server 3. [

서버(3)에 대해, 이상 검지 장치(1)를 개별로 식별 가능한 자기 식별 정보가 송신됨으로써, 유체 제어 장치(10)를 구성하는 복수의 유체 제어기(2) 중의 어느 것이 이상을 초래하였는지를 판별할 수 있다.It is determined whether any of the plurality of fluid controllers 2 constituting the fluid control apparatus 10 has caused abnormality to the server 3 by transmitting the self identification information capable of individually identifying the abnormality detection apparatus 1 .

또한, 서버(3)에 대해, 이상 검지 장치(1)마다 다른 타이밍으로 판별 결과가 송신됨으로써, 패킷 충돌의 문제를 회피할 수 있고, 일제히 송신되는 경우에 비해 일시적인 처리의 과부하를 막을 수도 있다. 나아가 일제히 송신되는 경우와 달리, 데이터 송신에 이용되는 무선 채널을 이상 검지 장치(1)마다 바꿀 필요가 없기 때문에, 많은 채널을 마련할 필요가 없다. 특히 네트워크(NW1)를 Bluetooth(등록상표)에 의해 구성하는 경우에는, 동시 접속 대수가 한정되기 때문에(통상 7대), 송신의 타이밍을 바꿈으로써 동시 접속 대수를 초과하는 수의 이상 검지 장치(1)를 이용할 수 있다.In addition, since the discrimination result is transmitted to the server 3 at different timings for each of the abnormality detection apparatus 1, the problem of packet collision can be avoided, and temporary overloading of processing can be prevented as compared with the case of simultaneous transmission. Furthermore, unlike the case of simultaneous transmission, there is no need to change a radio channel used for data transmission for each of the error detecting apparatuses 1, so that it is not necessary to provide many channels. In particular, when the network NW1 is configured by Bluetooth (registered trademark), since the number of simultaneous connections is limited (usually seven), the number of the abnormality detecting devices 1 ) Can be used.

서버(3)는, CPU, CPU가 실행하는 컴퓨터 프로그램, 컴퓨터 프로그램이나 소정의 데이터를 기억하는 RAM(Random Access Memory)이나 ROM(Read Only Memory) 및 하드 디스크 드라이브 등의 외부 기억 장치 등의 하드웨어 자원에 의해 구성된다.The server 3 includes hardware resources such as a CPU, a computer program executed by the CPU, an external storage device such as a RAM (Random Access Memory) or a ROM (Read Only Memory) for storing a computer program or predetermined data, .

이 서버(3)는, 중계 장치(4)를 통해, 이상 검지 장치(1)로부터 유체 제어기(2)의 폐쇄 공간(S)으로의 유체 누출의 판별 결과를 수신하기 위한 통신 처리부(31)를 가지고 있다. 서버(3)가 이상 검지 장치(1)로부터 수신한 정보는 적절히, 유체 제어기(2)의 관리자 혹은 감시자 등이 이용하는 단말로부터의 요구에 따라, 이러한 감시자 등이 이용하는 단말에 제공된다.The server 3 has a communication processing unit 31 for receiving a result of determination of fluid leakage from the abnormality detection device 1 to the closed space S of the fluid controller 2 via the relay device 4 Have. The information received from the abnormality detection device 1 by the server 3 is suitably provided to the terminal used by such a supervisor or the like in accordance with a request from a terminal used by an administrator of the fluid controller 2 or a supervisor.

중계 장치(4)는, 네트워크(NW1)를 통해 이상 검지 장치(1)로부터 데이터를 수신함과 아울러, 네트워크(NW2)를 통해 이 수신한 데이터를 서버(3)에 대해 송신한다.The relay apparatus 4 receives data from the error detection apparatus 1 via the network NW1 and transmits the received data to the server 3 via the network NW2.

또, 본 실시형태에서는, 이상 검지 장치(1)와 서버(3)의 사이에 중계 장치(4)를 개재시켰지만, 이상 검지 장치(1)와 서버(3)가 직접 데이터 통신 가능해지도록 구성할 수도 있다.Although the relay apparatus 4 is interposed between the abnormality detection apparatus 1 and the server 3 in the present embodiment, it is also possible to configure such that the abnormality detection apparatus 1 and the server 3 can directly communicate data have.

이상의 구성으로 이루어지는 이상 검지 장치(1)가 유체 제어기(2)에 장착됨으로써, 압력 센서(11)에 의해 검출된 폐쇄 공간(S) 내의 압력과 소정의 문턱값의 비교에 기초하여, 폐쇄 공간(S)으로의 유체의 누출 등에 기인한 유체 제어기(2)의 이상을 검지할 수 있다.Based on the comparison of the pressure in the closed space S detected by the pressure sensor 11 with the predetermined threshold value by mounting the abnormality detection device 1 having the above configuration in the fluid controller 2, S of the fluid controller 2 can be detected.

또한, 이상 검지 장치(1)는 유체 제어기(2)에 착탈 가능하게 장착되기 때문에, 유체 제어기(2)에서의 유체의 누출을 체크하는 경우 등, 필요에 따라 용이하게 이상 검지 장치(1)를 분리할 수 있고, 기성품의 유체 제어기(2)에 장착할 수도 있다.Since the abnormality detection device 1 is detachably mounted on the fluid controller 2, it is possible to easily detect the abnormality detection device 1 when necessary, for example, in the case of checking the fluid leakage in the fluid controller 2 And may be mounted on a fluid controller 2 of a ready-made type.

또한, 유체 제어기(2)의 이상에 관한 정보가 서버(3)에 집약되기 때문에, 유체 제어기(2)의 감시자 등은, 유체 제어기(2)의 동작 상황을 부담없이 감시할 수 있다.Since the information about the abnormality of the fluid controller 2 is concentrated in the server 3, the supervisor of the fluid controller 2 can freely monitor the operation state of the fluid controller 2.

또한, 이상 검지 장치(1)가 장착되는 유체 제어기(2)는 다이렉트 다이어프램 밸브이기 때문에, 폐쇄 공간(S) 내의 압력 변화가 작고, 이상 검지 장치(1)에 의해 리크 포트(LP)를 막아도 유체 제어기(2)의 동작에 지장을 초래하는 일이 없다.Since the fluid controller 2 to which the abnormality detection device 1 is mounted is a direct diaphragm valve, even if the pressure change in the closed space S is small and the leak port LP is blocked by the abnormality detection device 1 The operation of the fluid controller 2 is not hindered.

나아가 이상 검지 장치(1)는, 유체 제어기(2)의 폐쇄 공간(S) 내의 압력을 검출한 후, 소정의 문턱값과 검출값을 비교함으로써 유체 제어기(2)의 이상을 검지하기 때문에, 폐쇄 공간(S) 내가 진공압이 되는 이상을 초래한 경우에도 이를 검지할 수 있다.Further, since the abnormality detecting device 1 detects the pressure in the closed space S of the fluid controller 2 and then detects the abnormality of the fluid controller 2 by comparing the detected value with a predetermined threshold value, The space S can be detected even when it causes an abnormality in which the air becomes a vacuum pressure.

또, 이상의 본 실시형태에 있어서, 이상 검지 장치(1)에는, 유체 제어기(2)에 이상이 있었던 것으로 판별되었을 때에, 그 취지의 경고를 이상 검지 장치(1) 자체가 발하기 위한 수단이 마련되어 있어도 된다. 구체적으로는 예를 들어, 시인(視認) 가능한 램프 등에 의해 구성할 수 있다. 이 점은 후술하는 다른 실시형태에 대해서도 마찬가지이다.In the present embodiment described above, the abnormality detection device 1 is provided with means for issuing a warning to that effect when the fluid controller 2 is determined to be abnormal . Specifically, it can be constituted by, for example, a lamp which can be visually recognized. This also applies to other embodiments to be described later.

또한, 이상 검지 장치(1)를 유체 제어기(2)에 착탈 가능하게 장착하기 위한 착탈 기구(12)의 구조는 일례에 불과하며, 압력 센서(11)를 유체 제어기(2)의 리크 포트(LP)에 할당하여 착탈 가능하게 고정할 수 있으면, 다른 구조를 채용할 수도 있다.The structure of the attachment / detachment mechanism 12 for detachably mounting the anomaly detection device 1 to the fluid controller 2 is merely an example and the structure of the pressure sensor 11 is not limited to the leak port LP As long as it can be detachably fixed.

또한, 다이어프램(213)과 O링(227)에 의해 구획된 공간을 폐쇄 공간(S)으로 하여, 그 내부의 압력을 검출함으로써 유체 제어기(2)의 이상을 검지하였지만, 다이어프램(213)에 의해 떨어짐과 아울러, 리크 포트(LP)가 마련된 유체 제어기(2) 내의 밀폐 공간이면, 이 밀폐 공간을 폐쇄 공간(S)으로 하여 압력을 검출함으로써, 다이어프램(213)의 파손 등의 유체 제어기(2)의 이상을 검지할 수 있다.An abnormality of the fluid controller 2 is detected by detecting the pressure inside the space defined by the diaphragm 213 and the O-ring 227 as the closed space S, The fluid controller 2 such as the breakage of the diaphragm 213 can be detected by detecting the pressure by using the closed space as the closed space S if the closed space is the closed space in the fluid controller 2 provided with the leak port LP, Can be detected.

실시예 2Example 2

다음에, 본 발명의 제2 실시형태에 관한 유체 제어기의 이상 검지 장치에 대해 설명한다.Next, an abnormality detecting device for a fluid controller according to a second embodiment of the present invention will be described.

도 8에 도시된 바와 같이, 본 실시형태에 관한 이상 검지 장치(5)는 상술한 제1 실시형태에 관한 이상 검지 장치(1)가 구비한 압력 센서(11)나 착탈 기구(12)에 더하여, 유체 제어기(2)의 구동압을 검출하는 구동압 센서(51)나 외부 온도를 측정하는 온도 센서(52)를 가진다. 또한, 본 실시형태에 관한 이상 검지 장치(5)가 구비하는 처리 모듈(53)은, 판별 처리부(531), 보정 처리부(532) 및 통신 처리부(533)로 이루어지는 기능 블록을 구성한다.8, in addition to the pressure sensor 11 and the attaching / detaching mechanism 12 provided in the abnormality detecting apparatus 1 according to the first embodiment described above, the abnormality detecting apparatus 5 according to the present embodiment A driving pressure sensor 51 for detecting a driving pressure of the fluid controller 2, and a temperature sensor 52 for measuring an external temperature. The processing module 53 included in the abnormality detection device 5 according to the present embodiment constitutes a functional block including the discrimination processing section 531, the correction processing section 532 and the communication processing section 533. [

또, 처리 모듈(53)은 상술한 제1 실시형태와 마찬가지로, 압력 센서(11)나 착탈 기구(12)를 구성하는 하우징(121) 내 등에 격납된다. 또한, 본 실시형태에서의 처리 모듈(53)은, 소정의 하우징이나 배선 등에 의해, 구동압 센서(51)나 온도 센서(52)와도 제휴 가능하게 구성되어 있고, 이 구동압 센서(51)나 온도 센서(52)로부터 데이터의 공급을 받을 수 있게 되어 있다.The processing module 53 is stored in the housing 121 constituting the pressure sensor 11 and the attaching / detaching mechanism 12, as in the above-described first embodiment. The processing module 53 in the present embodiment is configured to be able to cooperate with the drive pressure sensor 51 and the temperature sensor 52 by a predetermined housing or wiring or the like. So that data can be supplied from the temperature sensor 52.

또한, 본 실시형태에 관한 이상 검지 장치(5)가 착탈 가능하게 장착되는 유체 제어기(2)의 기능 및 구조는 상술한 제1 실시형태에서의 것과 마찬가지이다. 또한, 본 실시형태에 관한 이상 검지 장치(5)가, 네트워크(NW1, NW2)에 의해, 중계 장치(4)를 중계하여 통신 가능하게 구성된 서버(3)로 판별 처리부(531)에 의한 판별 결과를 송신하는 기능도 상술한 제1 실시형태와 마찬가지이다.The function and structure of the fluid controller 2 in which the abnormality detection device 5 according to the present embodiment is detachably mounted are the same as those in the first embodiment described above. The abnormality detection apparatus 5 according to the present embodiment is a server 3 configured to relay the relay apparatus 4 by the networks NW1 and NW2 and to communicate with the discrimination processing unit 531 Is also the same as the above-described first embodiment.

또한, 특별한 언급이 없는 한, 본 실시형태의 설명에 있어서, 제1 실시형태와 동일한 번호(부호)가 부여된 부재나 기능부 등은, 상술한 부재나 기능부 등과 동일한 기능을 보유 혹은 처리를 실행하는 것이기 때문에, 설명을 생략한다.Unless specifically stated otherwise, in the description of the present embodiment, members, functional units, and the like to which the same reference numerals are assigned are the same as or similar to the above-described members, functional units, and the like The explanation will be omitted.

구동압 센서(51)는, 유체 제어기(2)의 구동압을 검출한다.The driving pressure sensor 51 detects the driving pressure of the fluid controller 2.

이 구동압 센서(51)는 예를 들어, 유체 제어기(2)의 구동압 도입구(23a)에 장착되어, 유체 제어기(2) 내에 도입되는 구동압으로서의 에어의 압력을 검출한다. 검출된 에어의 압력에 관한 정보는 보정 처리부(532)에 공급된다.The driving pressure sensor 51 is attached to the driving pressure introduction port 23a of the fluid controller 2 and detects the pressure of the air as the driving pressure introduced into the fluid controller 2. [ The information on the detected air pressure is supplied to the correction processing unit 532. [

온도 센서(52)는, 유체 제어기(2)가 설치되어 있는 환경에서의 외부 온도를 측정한다. 측정된 외부 온도에 관한 정보는 보정 처리부(532)에 공급된다.The temperature sensor 52 measures an external temperature in an environment in which the fluid controller 2 is installed. The information on the measured external temperature is supplied to the correction processing unit 532. [

판별 처리부(531)는, 제1 실시형태에서의 판별 처리부(131)와 마찬가지로, 참조용 테이블 등에 보유지지된 소정의 문턱값과, 압력 센서(11)에 의해 검출된 압력의 검출값을 비교함으로써, 폐쇄 공간(S)으로의 유체의 누출 등에 기인한 유체 제어기(2)의 이상을 판별하는 처리를 실행한다. 한편, 본 실시형태에서는, 이 소정의 문턱값이 보정 처리부(532)에 의해 보정되는 바, 보정이 이루어졌을 때에는, 판별 처리부(531)는 보정 후의 문턱값과, 압력 센서(11)에 의해 검출된 압력의 검출값을 비교함으로써, 폐쇄 공간(S)으로의 유체의 누출 등에 기인한 유체 제어기(2)의 이상을 판별하는 처리를 실행한다.The determination processing unit 531 compares a predetermined threshold value held on a reference table or the like with the detection value of the pressure detected by the pressure sensor 11 in the same manner as the determination processing unit 131 in the first embodiment , The leakage of the fluid to the closed space (S), and the like. On the other hand, in the present embodiment, when the predetermined threshold value is corrected by the correction processing section 532 and the correction is made, the determination processing section 531 compares the threshold value after correction with the threshold value detected by the pressure sensor 11 And the detected value of the applied pressure is compared to determine the abnormality of the fluid controller 2 due to the fluid leakage to the closed space S or the like.

보정 처리부(532)는, 구동압 센서(51)에 의해 검출된 에어의 압력이나 온도 센서(52)에 의해 측정된 외부 온도에 따라, 판별 처리부(531)가 폐쇄 공간(S)으로의 유체의 누출을 판별하기 위해 참조하는 소정의 문턱값을 보정한다.The correction processing section 532 corrects the flow rate of the fluid to the closed space S based on the pressure of the air detected by the drive pressure sensor 51 and the external temperature measured by the temperature sensor 52 And corrects a predetermined threshold value referred to in order to determine the leakage.

즉, 유체 제어기(2)를 개폐시키기 위해 에어의 압력이 변화되면, 피스톤(223)의 상하운동에 의해 폐쇄 공간(S) 내의 압력이 변화한다. 그 때문에 보정 처리부(532)는, 판별 처리부(531)가 이 에어의 압력에 의한 폐쇄 공간(S) 내의 압력의 변화와, 유체 제어기(2)의 이상에 의해 야기된 폐쇄 공간(S) 내의 압력의 변화를 구별하여, 유체 제어기(2)의 이상을 판별할 수 있도록 소정의 문턱값을 보정한다. 구체적으로는, 에어가 도입된 경우에는 폐쇄 공간(S) 내의 압력이 감소하기 때문에 문턱값을 낮은 값으로 보정하고, 에어가 배출된 경우에는 폐쇄 공간(S) 내의 압력이 상승하기 때문에 문턱값을 높은 값으로 보정한다. 이 결과, 판별 처리부(531)는, 에어의 압력 변화에 따른 폐쇄 공간(S) 내의 압력 변화에 관계없이, 유체의 누출 등의 유체 제어기(2)의 이상에 의해 야기된 폐쇄 공간(S) 내의 압력 변화를 판별할 수 있다.That is, when the air pressure is changed to open and close the fluid controller 2, the pressure in the closed space S changes due to the upward and downward movement of the piston 223. The correction processing unit 532 determines whether the pressure in the closed space S caused by the pressure of the air and the pressure in the closed space S caused by the abnormality of the fluid controller 2 And corrects a predetermined threshold value so that an abnormality of the fluid controller 2 can be determined. Specifically, when air is introduced, since the pressure in the closed space S decreases, the threshold value is corrected to a low value, and when the air is discharged, the pressure in the closed space S rises, Calibrate to a higher value. As a result, the determination processing unit 531 determines whether or not the pressure in the closed space S caused by the abnormality of the fluid controller 2, such as the leakage of the fluid, The pressure change can be determined.

여기서, 구동압 센서(51)를 이용하였기 때문에, 유체 제어기(2)의 개폐 동작 중이어도, 유체의 누출 등에 기인한 폐쇄 공간(S) 내의 압력 변화를 판별할 수 있다. 즉, 구동압으로부터 필요한 보정값으로 변환하는 적당한 전달 함수를 실험적으로 구함으로써, 피스톤(223)이 이동하고 있는 순간의 폐쇄 공간(S) 내의 과도기적인 압력 변화를 보정할 수도 있다.Here, since the drive pressure sensor 51 is used, even when the fluid controller 2 is open or closed, a change in the pressure in the closed space S due to fluid leakage or the like can be determined. That is, it is also possible to experimentally determine an appropriate transfer function to convert from the drive pressure to the required correction value, thereby compensating for a transitional pressure change in the closed space S at the moment when the piston 223 is moving.

동시에, 구동압 센서(51)의 검출값으로부터 폐쇄 공간(S) 내의 압력 상승이 예기됨에도 불구하고, 압력 센서(11)의 검출값이 상승하지 않는 경우에는, 피스톤(223) 혹은 압력 센서(11)의 고장을 판단할 수 있다.At the same time, when the detected value of the pressure sensor 11 does not rise despite the expected rise in the pressure in the closed space S from the detected value of the drive-pressure sensor 51, the piston 223 or the pressure sensor 11 ) Can be judged.

또한, 외부 온도에 의해서도 폐쇄 공간(S) 내의 압력은 변화한다. 그 때문에 보정 처리부(532)는, 판별 처리부(531)가 이 외부 온도에 의한 폐쇄 공간(S) 내의 압력 변화와, 유체 제어기(2)의 이상에 의해 야기된 폐쇄 공간(S) 내의 압력 변화를 구별하여, 유체 제어기(2)의 이상을 판별할 수 있도록 소정의 문턱값을 보정한다. 구체적으로는, 외부 온도의 상승에 따라 문턱값을 높은 값으로 보정함과 아울러, 외부 온도의 하강에 따라 문턱값을 낮은 값으로 보정한다. 이 결과, 판별 처리부(531)는, 외부 온도의 변화에 따른 폐쇄 공간(S) 내의 압력 변화에 관계없이, 유체의 누출 등의 유체 제어기(2)의 이상에 의해 야기된 폐쇄 공간(S) 내의 압력 변화를 판별할 수 있다.Also, the pressure in the closed space S changes by the external temperature. The correction processing unit 532 determines whether or not the determination processing unit 531 detects a change in pressure in the closed space S caused by the external temperature and a change in pressure in the closed space S caused by the abnormality of the fluid controller 2 The predetermined threshold value is corrected so that the abnormality of the fluid controller 2 can be discriminated. Specifically, the threshold value is corrected to a high value in accordance with the rise of the external temperature, and the threshold value is corrected to a low value in accordance with the fall of the external temperature. As a result, the discrimination processing section 531 judges whether or not the pressure in the closed space S caused by the abnormality of the fluid controller 2, such as the leakage of the fluid, The pressure change can be determined.

통신 처리부(533)는, 상술한 제1 실시형태에서의 통신 처리부(132)와 마찬가지로, 판별 처리부(531)에 의한 판별 결과를 송신하는 처리를 실행하기 위한 기능부이다. 본 실시형태에서도, 이상 검지 장치(5)와 서버(3)의 사이에는 중계 장치(4)가 마련되어 있고, 이 중계 장치(4)를 통해 이상 검지 장치(5)로부터 서버(3)에 정보가 제공된다.The communication processing unit 533 is a functional unit for executing the process of transmitting the determination result by the determination processing unit 531, like the communication processing unit 132 in the first embodiment described above. The relay apparatus 4 is provided between the anomaly detection apparatus 5 and the server 3 and information is sent from the error detection apparatus 5 to the server 3 via the relay apparatus 4 / RTI >

또, 통신 처리부(533)에 의한 통신 수단이나 방식, 네트워크(NW1, NW2)의 구성은 상술한 제1 실시형태와 마찬가지이다. 또한 마찬가지로, 본 실시형태에서도 데이터의 송신은 소정의 주기로 실행할 수 있다.The configuration of the communication means and system by the communication processing unit 533 and the configurations of the networks NW1 and NW2 are the same as those of the first embodiment described above. Likewise, in the present embodiment, data transmission can be performed in a predetermined cycle.

이상의 구성으로 이루어지는 본 실시형태에 관한 이상 검지 장치(5)에 의하면, 구동압으로서의 에어나 외부 온도에 기인하여 폐쇄 공간(S) 내의 압력이 변화해도, 이것과 유체의 누출 등의 유체 제어기(2)의 이상에 의해 야기된 폐쇄 공간(S) 내의 압력 변화를 식별하여, 유체 제어기(2)의 이상을 검지할 수 있다.According to the abnormality detecting device 5 according to the present embodiment configured as described above, even if the pressure in the closed space S changes due to the air as the driving pressure or the external temperature, the fluid controller 2 The pressure change in the closed space S caused by the abnormality of the fluid controller 2 can be identified and the abnormality of the fluid controller 2 can be detected.

또, 본 실시형태의 변형예로서, 유체 제어기(2)의 구동압을 검출하는 구동압 센서(51) 대신에, 유체 제어기(2)의 스위치 조작 등에 의한 개폐 동작을 검지하는 개폐 검지 기구를 마련할 수도 있다.As a modified example of the present embodiment, instead of the drive-pressure sensor 51 for detecting the drive pressure of the fluid controller 2, an open / close detecting mechanism for detecting the open / close operation by the switch operation of the fluid controller 2 You may.

즉, 유체 제어기(2)의 개폐 동작에 의해 구동압으로서의 에어의 압력은 변화하고, 이에 의해 폐쇄 공간(S) 내의 압력 변화가 일어난다. 그 때문에, 유체 제어기(2)의 개폐 동작을 검지함에 의해서도, 보정 처리부(532)에 소정의 문턱값을 보정시킴으로써, 유체 제어기(2)의 개폐에 의한 폐쇄 공간(S) 내의 압력 변화와, 유체 제어기(2)의 이상에 의해 야기된 폐쇄 공간(S) 내의 압력 변화를 구별하여, 유체 제어기(2)의 이상을 판별할 수 있다.In other words, the pressure of the air as the driving pressure is changed by the opening and closing operation of the fluid controller 2, whereby the pressure change in the closed space S occurs. Therefore, even when the open / close operation of the fluid controller 2 is detected, by correcting the predetermined threshold value to the correction processing unit 532, the pressure change in the closed space S due to the opening and closing of the fluid controller 2, It is possible to distinguish the pressure change in the closed space S caused by the abnormality of the controller 2 to discriminate the abnormality of the fluid controller 2. [

실시예 3Example 3

본 발명의 제3 실시형태에 관한 유체 제어기의 이상 검지 시스템에 대해 설명한다.An abnormality detection system of a fluid controller according to a third embodiment of the present invention will be described.

도 9에 도시된 바와 같이, 본 실시형태에 관한 이상 검지 시스템(60)은, 정보 제공 장치(6), 중계 장치(4) 및 서버(7)에 의해 구성된다. 이 이상 검지 시스템(60)에서는, 상술한 제1 실시형태에 관한 이상 검지 장치(1)가 구비한 판별 처리부(131)와 마찬가지의 기능부를 서버(7)가 구비하고 있고, 서버(7) 측에서 폐쇄 공간(S) 내로의 유체의 누출 등에 기인한 유체 제어기(2)의 이상이 판별된다.As shown in Fig. 9, the anomaly detection system 60 according to the present embodiment is constituted by an information provision device 6, a relay device 4, and a server 7. In this anomaly detection system 60, the server 7 has the same functional unit as that of the discrimination processing unit 131 provided in the abnormality detection apparatus 1 according to the first embodiment described above, and the server 7 The abnormality of the fluid controller 2 due to the leakage of the fluid into the closed space S is discriminated.

본 실시형태에 관한 정보 제공 장치(6)는, 상술한 제1 실시형태에 관한 이상 검지 장치(1)와 마찬가지로 압력 센서(11)나 착탈 기구(12)를 갖는 한편, 처리 모듈(13) 대신에, 데이터 통신만을 실행하는 통신 모듈(63)을 가진다.The information providing apparatus 6 according to the present embodiment has the pressure sensor 11 and the attaching / detaching mechanism 12 as in the case of the abnormality detecting apparatus 1 according to the first embodiment described above, And a communication module 63 for executing only data communication.

통신 모듈(63)은, 상술한 제1 실시형태의 처리 모듈(13)과 마찬가지로, 압력 센서(11)나 착탈 기구(12)를 구성하는 하우징(121) 내 등에 격납됨과 아울러, 소정의 배선 등에 의해 압력 센서(11)와 제휴 가능하게 구성되고, 이 압력 센서(11)로부터 데이터의 공급을 받을 수 있게 되어 있다.The communication module 63 is stored in the housing 121 constituting the pressure sensor 11 or the attaching / detaching mechanism 12 and the like in the same manner as the processing module 13 of the first embodiment described above, And is capable of being supplied with data from the pressure sensor 11. The pressure sensor 11 is provided with a pressure sensor 11,

그리고, 이 통신 모듈(63)이 구비하는 통신 처리부(631)는, 서버(7)에 대해, 압력 센서(11)에 의해 검출된 폐쇄 공간(S) 내의 압력의 검출값을 송신하는 처리를 실행한다.The communication processing unit 631 included in the communication module 63 executes a process of transmitting the detected value of the pressure in the closed space S detected by the pressure sensor 11 to the server 7 do.

또, 본 실시형태에서도, 정보 제공 장치(6)와 서버(7)의 사이에는 중계 장치(4)가 마련되어 있고, 이 중계 장치(4)를 통해 정보 제공 장치(6)로부터 서버(7)에 정보가 제공된다. 또한, 통신 처리부(631)에 의한 통신 수단이나 방식, 네트워크(NW1, NW2)의 구성은 상술한 제1 실시형태와 마찬가지이다. 또한 마찬가지로, 본 실시형태에서도 데이터의 송신은 소정의 주기로 실행할 수 있다.Also in the present embodiment, the relay device 4 is provided between the information providing device 6 and the server 7, and from the information providing device 6 to the server 7 via the relay device 4 Information is provided. The configurations of the communication means and the system and the networks NW1 and NW2 by the communication processing unit 631 are the same as those of the first embodiment described above. Likewise, in the present embodiment, data transmission can be performed in a predetermined cycle.

또한, 본 실시형태에 관한 정보 제공 장치(6)가 착탈 가능하게 장착되는 유체 제어기(2)의 기능 및 구조는 상술한 제1 실시형태와 마찬가지이다. 또한, 특별한 언급이 없는 한, 본 실시형태의 설명에 있어서, 제1 실시형태와 동일한 번호(부호)가 부여된 부재나 기능부 등은, 상술한 부재나 기능부 등과 동일한 기능을 보유 혹은 처리를 실행하는 것이기 때문에, 설명을 생략한다.The function and structure of the fluid controller 2 to which the information providing device 6 according to the present embodiment is detachably mounted are the same as those of the first embodiment described above. Unless specifically stated otherwise, in the description of the present embodiment, members, functional units, and the like to which the same reference numerals are assigned are the same as or similar to the above-described members, functional units, and the like The explanation will be omitted.

서버(7)는, CPU, CPU가 실행하는 컴퓨터 프로그램, 컴퓨터 프로그램이나 소정의 데이터를 기억하는 RAM이나 ROM 및 하드 디스크 드라이브 등의 외부 기억 장치 등의 하드웨어 자원에 의해 구성되고, 판별 처리부(71)와 통신 처리부(72)로 이루어지는 기능부를 구성한다.The server 7 is constituted by hardware resources such as a CPU, a computer program executed by the CPU, a RAM or ROM for storing a computer program or predetermined data, and an external storage device such as a hard disk drive, And a communication processing unit 72. [0050]

판별 처리부(71)는, 제1 실시형태에서의 판별 처리부(131)와 마찬가지로, 참조용 테이블 등에 보유지지된 소정의 문턱값과, 압력 센서(11)에 의해 검출된 압력의 검출값을 비교함으로써, 폐쇄 공간(S)으로의 유체의 누출 등에 기인한 유체 제어기(2)의 이상을 판별하는 처리를 실행한다. 여기서, 본 실시형태에서는, 압력 센서(11)에 의해 검출된 압력의 검출값은, 네트워크(NW1, NW2)를 경유하여 통신 처리부(72)에 의해 취득된 것이다.The determination processing unit 71 compares a predetermined threshold value held on a reference table or the like with the detection value of the pressure detected by the pressure sensor 11 in the same manner as the determination processing unit 131 in the first embodiment , The leakage of the fluid to the closed space (S), and the like. Here, in the present embodiment, the detection value of the pressure detected by the pressure sensor 11 is acquired by the communication processing unit 72 via the networks NW1 and NW2.

통신 처리부(72)는, 중계 장치(4)를 통해, 정보 제공 장치(6)로부터 압력 센서(11)에 의한 폐쇄 공간(S) 내의 압력의 검출값에 관한 정보를 수신한다.The communication processing section 72 receives information on the detected value of the pressure in the closed space S by the pressure sensor 11 from the information providing device 6 via the relay device 4. [

본 실시형태에서는, 유체의 누출 등에 기인한 유체 제어기(2)의 이상의 판별이 서버(7) 측에서 실행되지만, 제1 실시형태와 마찬가지로, 서버(7)에서 판별된 유체 제어기(2)의 이상의 판별 결과는 적절히 유체 제어기(2)의 감시자 등이 이용하는 단말로부터의 요구에 따라, 이러한 감시자 등이 이용하는 단말에 제공된다.In the present embodiment, the abnormality determination of the fluid controller 2 due to the fluid leakage or the like is performed by the server 7 side. However, as in the first embodiment, the abnormality of the fluid controller 2 determined by the server 7 The result of the determination is appropriately provided to a terminal used by such a supervisor or the like in accordance with a request from a terminal used by a supervisor or the like of the fluid controller 2. [

이상의 본 실시형태에 관한 이상 검지 시스템(60)에 관한 구성에 의해서도, 제1 실시형태와 마찬가지로, 유체 제어기(2)에서의 유체의 누출 등에 기인한 유체 제어기(2)의 이상을 검지할 수 있다. 또한, 본 실시형태에 의하면, 유체 제어기(2)의 이상의 판별 처리가 서버(7) 측에서 실행되는 결과, 유체 제어기(2)에 장착되는 정보 제공 장치(6)의 구성을 심플하게 할 수 있고, 판별 처리부(71)가 실행하는 프로그램의 디버그 등 보수도 용이해진다.The abnormality of the fluid controller 2 due to the fluid leakage or the like in the fluid controller 2 can be detected also by the configuration relating to the abnormality detection system 60 according to the present embodiment as in the first embodiment . According to the present embodiment, as a result of the above-described discrimination processing of the fluid controller 2 being executed on the side of the server 7, the configuration of the information providing device 6 mounted on the fluid controller 2 can be simplified , And the debugging of the program executed by the discrimination processing section 71 can be facilitated.

실시예 4Example 4

본 발명의 제4 실시형태에 관한 유체 제어기의 이상 검지 시스템에 대해 설명한다.An abnormality detection system of a fluid controller according to a fourth embodiment of the present invention will be described.

도 10에 도시된 바와 같이, 본 실시형태에 관한 이상 검지 시스템(80)은, 상술한 제3 실시형태에 관한 이상 검지 시스템(60)과 마찬가지로, 정보 제공 장치(8), 중계 장치(4), 서버(9)에 의해 구성되는 한편, 정보 제공 장치(8)가 구동압 센서(81)와 온도 센서(82)를 가짐과 아울러, 서버(9)가 보정 처리부(92)를 갖는 예이다.10, the anomaly detection system 80 according to the present embodiment is similar to the anomaly detection system 60 according to the third embodiment described above except that the information providing apparatus 8, the relay apparatus 4, And the server 9 while the information providing apparatus 8 has the drive pressure sensor 81 and the temperature sensor 82 and the server 9 has the correction processing unit 92. [

구동압 센서(81)와 온도 센서(82)는, 각각 상술한 제2 실시형태에서의 구동압 센서(51)와 온도 센서(52)와 마찬가지의 구성 및 기능으로 이루어지는 것으로, 각각 유체 제어기(2)의 구동압과 외부 온도를 검출한다.The drive-pressure sensor 81 and the temperature sensor 82 each have the same configuration and function as those of the drive-pressure sensor 51 and the temperature sensor 52 in the second embodiment described above, And the external temperature.

통신 모듈(83)은, 상술한 제1 실시형태의 처리 모듈(13)과 마찬가지로, 압력 센서(11)나 착탈 기구(12)를 구성하는 하우징(121) 내 등에 격납되는 한편, 소정의 배선 등에 의해 압력 센서(11)에 더하여 구동압 센서(81) 및 온도 센서(82)와 제휴 가능하게 구성되어 있다. 그리고, 압력 센서(11), 구동압 센서(81) 및 온도 센서(82)에 의해 검출된 폐쇄 공간(S) 내의 압력의 검출값, 구동압 및 외부 온도에 관한 정보는, 통신 모듈(83)이 구비하는 통신 처리부(831)에 의해, 중계 장치(4)를 중계하여 서버(9)에 송신된다.The communication module 83 is stored in the housing 121 constituting the pressure sensor 11 and the attaching / detaching mechanism 12 as in the processing module 13 of the first embodiment described above, And is configured to be capable of being associated with the drive-pressure sensor 81 and the temperature sensor 82 in addition to the pressure sensor 11. The information on the detected value of the pressure in the closed space S detected by the pressure sensor 11, the driving pressure sensor 81 and the temperature sensor 82, the driving pressure and the external temperature is transmitted to the communication module 83, And is transmitted to the server 9 by relaying the relay apparatus 4 by the communication processing unit 831 included in the relay apparatus 4. [

또, 본 실시형태에서도, 정보 제공 장치(8)와 서버(9)의 사이에는 중계 장치(4)가 마련되어 있고, 이 중계 장치(4)를 통해 정보 제공 장치(8)로부터 서버(9)에 정보가 제공된다. 또한, 통신 처리부(831)에 의한 통신 수단이나 방식, 네트워크(NW1, NW2)의 구성은 상술한 제1 실시형태와 마찬가지이다. 또한 마찬가지로, 본 실시형태에서도 데이터의 송신은 소정의 주기로 실행할 수 있다.Also in the present embodiment, the relay device 4 is provided between the information provision device 8 and the server 9, and from the information provision device 8 to the server 9 via the relay device 4 Information is provided. The configurations of the communication means and the system and the networks NW1 and NW2 by the communication processing unit 831 are the same as those of the first embodiment described above. Likewise, in the present embodiment, data transmission can be performed in a predetermined cycle.

또한, 본 실시형태에 관한 정보 제공 장치(8)가 착탈 가능하게 장착되는 유체 제어기(2)의 기능 및 구조는 상술한 제1 실시형태와 마찬가지이다. 또한, 특별한 언급이 없는 한, 본 실시형태의 설명에 있어서, 제1 실시형태와 동일한 번호(부호)가 부여된 부재나 기능부 등은, 상술한 부재나 기능부 등과 동일한 기능을 보유 혹은 처리를 실행하는 것이기 때문에, 설명을 생략한다.The function and structure of the fluid controller 2 to which the information providing device 8 according to the present embodiment is detachably mounted are the same as those of the first embodiment described above. Unless specifically stated otherwise, in the description of the present embodiment, members, functional units, and the like to which the same reference numerals are assigned are the same as or similar to the above-described members, functional units, and the like The explanation will be omitted.

서버(9)는, CPU, CPU가 실행하는 컴퓨터 프로그램, 컴퓨터 프로그램이나 소정의 데이터를 기억하는 RAM이나 ROM 및 하드 디스크 드라이브 등의 외부 기억 장치 등의 하드웨어 자원에 의해 구성되고, 판별 처리부(91), 보정 처리부(92) 및 통신 처리부(93)로 이루어지는 기능부를 구성한다.The server 9 is constituted by hardware resources such as a CPU, a computer program executed by the CPU, a RAM or ROM for storing a computer program or predetermined data, and an external storage device such as a hard disk drive, A correction processing section 92, and a communication processing section 93. [0053]

판별 처리부(91)는, 제2 실시형태에서의 판별 처리부(531)와 마찬가지로, 소정의 문턱값과, 압력 센서(11)에 의해 검출된 압력의 검출값을 비교함으로써, 폐쇄 공간(S)으로의 유체의 누출 등에 기인한 유체 제어기(2)의 이상을 판별하는 한편, 유체 제어기(2)의 이상의 판별 처리의 기준이 되는 소정의 문턱값이 보정 처리부(92)에 의해 보정되었을 때에는, 보정 후의 문턱값을 기준으로 하여 유체 제어기(2)의 이상을 판별하는 처리를 실행한다.Similar to the determination processing section 531 in the second embodiment, the determination processing section 91 compares a predetermined threshold value with the detected value of the pressure detected by the pressure sensor 11 to obtain the closed space S And when a predetermined threshold value serving as a reference of the above-described discrimination process of the fluid controller 2 is corrected by the correction processing section 92, And executes a process of determining abnormality of the fluid controller 2 based on the threshold value.

보정 처리부(92)는, 제2 실시형태에서의 보정 처리부(532)와 마찬가지로, 구동압 센서(81)에 의해 검출된 에어의 압력이나 온도 센서(82)에 의해 측정된 외부 온도에 따라, 판별 처리부(91)가 유체 제어기(2)의 이상을 판별하기 위해 참조하는 소정의 문턱값을 보정한다. 단, 본 실시형태에서는 제2 실시형태와 달리, 에어의 압력이나 외부 온도에 관한 정보는, 네트워크(NW1, NW2)를 경유하여 정보 제공 장치(8)로부터 서버(9)에 공급된 것이다.The correction processing section 92 determines whether or not the correction processing section 532 determines whether or not the correction processing section 532 has been determined based on the pressure of the air detected by the drive pressure sensor 81 or the external temperature measured by the temperature sensor 82 The processing section 91 corrects a predetermined threshold value referred to by the fluid controller 2 in order to determine the abnormality of the fluid controller 2. [ In this embodiment, unlike the second embodiment, information on the air pressure and the external temperature is supplied from the information providing device 8 to the server 9 via the networks NW1 and NW2.

통신 처리부(93)는, 중계 장치(4)를 통해, 정보 제공 장치(8)로부터 압력 센서(11)에 의한 폐쇄 공간(S) 내의 압력의 검출값, 구동압 센서(81)에 의한 구동압 및 온도 센서(82)에 의한 외부 온도에 관한 정보를 수신한다.The communication processing unit 93 transmits the detected value of the pressure in the closed space S by the pressure sensor 11 from the information providing device 8 to the driving pressure by the driving pressure sensor 81 And an external temperature by the temperature sensor 82. [0050]

이상의 구성으로 이루어지는 본 실시형태에 관한 이상 검지 시스템(80)에 의해서도, 제2 실시형태와 마찬가지로, 구동압으로서의 에어나 외부 온도에 기인하여 폐쇄 공간(S) 내의 압력이 변화한 경우에도, 이것과 유체의 누출에 의한 폐쇄 공간(S) 내의 압력 변화를 식별하여, 폐쇄 공간(S)으로의 유체의 누출 등에 기인한 유체 제어기(2)의 이상을 검지할 수 있다. 또한, 본 실시형태에 의하면, 유체 제어기(2)의 이상의 판별 처리가 서버(9) 측에서 실행되는 결과, 유체 제어기(2)에 장착되는 정보 제공 장치(8)의 구성을 심플하게 할 수 있고, 판별 처리부(91)나 보정 처리부(92)가 실행하는 프로그램의 디버그 등 보수도 용이해진다.Even when the pressure in the closed space S changes due to the air as the drive pressure or the external temperature, as in the second embodiment, even with the abnormality detection system 80 according to the present embodiment configured as described above, It is possible to detect the abnormality of the fluid controller 2 due to the leakage of the fluid to the closed space S or the like by identifying the pressure change in the closed space S due to the leakage of the fluid. According to the present embodiment, as a result of the above-described discrimination processing of the fluid controller 2 being executed on the side of the server 9, the configuration of the information providing device 8 mounted on the fluid controller 2 can be simplified , The debugging of the program executed by the discrimination processing section 91 and the correction processing section 92 can be easily performed.

또, 본 실시형태에 대해서도, 유체 제어기(2)의 구동압을 검출하는 구동압 센서(81) 대신에, 유체 제어기(2)의 스위치 조작 등에 의한 개폐 동작을 검지하는 개폐 검지 기구를 마련한 변형예를 구성할 수도 있다. 이 경우, 개폐 검지 기구에 의해 유체 제어기(2)의 개폐 동작이 검지되면, 이러한 정보가 네트워크(NW1, NW2)를 경유하여 보정 처리부(92)에 공급된다. 이에 따라, 보정 처리부(92)에 의해 소정의 문턱값이 보정되면, 유체 제어기(2)의 개폐에 의한 폐쇄 공간(S) 내의 압력 변화와, 유체 제어기(2)의 이상에 의해 야기된 폐쇄 공간(S) 내의 압력 변화를 구별하여, 유체 제어기(2)의 이상을 판별할 수 있다.In the present embodiment as well, in place of the drive-pressure sensor 81 for detecting the drive-pressure of the fluid controller 2, a modification example in which an opening / closing detection mechanism for detecting the opening and closing operation by the switch operation of the fluid controller 2 is provided . In this case, when the opening / closing operation of the fluid controller 2 is detected by the opening / closing detection mechanism, this information is supplied to the correction processing unit 92 via the networks NW1 and NW2. Thus, when the predetermined threshold value is corrected by the correction processing section 92, the pressure change in the closed space S due to the opening and closing of the fluid controller 2 and the change in pressure in the closed space S caused by the abnormality of the fluid controller 2, It is possible to distinguish the pressure change in the fluid S and discriminate the abnormality of the fluid controller 2. [

또, 이상의 본 실시형태에서는, 이상 검지 장치(1, 5) 혹은 정보 제공 장치(6, 8)와 유체 제어기(2)를 별도의 몸체로서 구성하였지만, 이에 관계없이, 이상 검지 장치(1, 5) 혹은 정보 제공 장치(6, 8)와 유체 제어기(2)가 일체적으로 유체 제어기를 구성해도 된다.Although the abnormality detecting devices 1 and 5 or the information providing devices 6 and 8 and the fluid controller 2 are configured as separate bodies in the above embodiment, the abnormality detecting devices 1 and 5 Or the information providing devices 6 and 8 and the fluid controller 2 may constitute a fluid controller integrally.

1, 5 이상 검지 장치
11 압력 센서
12 착탈 기구
121 하우징
122 고정 부재
13, 53 처리 모듈
131, 531 판별 처리부
132, 533 통신 처리부
51, 81 구동압 센서
52, 82 온도 센서
532 보정 처리부
2 유체 제어기
21 밸브 몸체
211a 유입로
211b 유출로
211c 밸브실
212 시트
213 다이어프램
22 액추에이터 몸체
221 디스크
222 누름 어댑터
223 피스톤
224 스프링
23 액추에이터 캡
23a 구동압 도입구
231, 232 구동압 도입로
233 구동압 도입실
LP 리크 포트
S 폐쇄 공간
3, 7, 9 서버
31, 72, 93 통신 처리부
71, 91 판별 처리부
92 보정 처리부
4 중계 장치
6, 8 정보 제공 장치
63, 83 통신 모듈
631, 831 통신 처리부
NW1, NW2 네트워크1, 5 or more detecting device
11 Pressure sensor
12 Attachment mechanism
121 Housing
122 fixing member
13, 53 processing module
131, 531,
132, 533 communication processing unit
51, 81 Driving pressure sensor
52, 82 Temperature sensor
532 correction processing unit
2 fluid controller
21 valve body
211a inflow path
211b outflow route
211c valve chamber
212 sheet
213 Diaphragm
22 Actuator body
221 disks
222 Press Adapter
223 Piston
224 spring
23 Actuator cap
23a drive pressure introduction port
231, 232 Drive pressure introduction path
233 Driving pressure introduction chamber
LP leak port
S closed space
3, 7, and 9 servers
31, 72, and 93,
71, 91,
92 correction processing section
4 relay device
6, 8 information providing device
63, 83 communication module
631, 831 Communication processing unit
NW1, NW2 network

Claims

An apparatus for detecting an abnormality in a fluid controller provided with a flow path, a closed space isolated from the flow path by an isolating member, and a leak port communicating with the outside of the closed space,
A pressure sensor for detecting a pressure in the closed space;
A processing module for executing predetermined information processing;
And a detachable mechanism for detachably fixing the pressure sensor to the leak port and for blocking the leak port from the outside in a fixed state,
The processing module comprises:
A discrimination process for discriminating an abnormality of the fluid controller by comparing a detected value detected by the pressure sensor with a predetermined threshold value,
And transmits a result of the determination of the fluid controller to the server.

The method according to claim 1,
Further comprising a drive-pressure sensor for detecting a drive pressure of the fluid controller,
The processing module may further comprise:
And corrects the predetermined threshold value in accordance with the detected driving pressure of the fluid controller.

The method according to claim 1,
Further comprising an opening / closing detection mechanism for detecting an opening / closing operation of the fluid controller,
The processing module may further comprise:
And corrects the predetermined threshold value in accordance with opening and closing operations of the fluid controller detected.

The method according to any one of claims 1 to 3,
A temperature sensor for measuring an external temperature,
The processing module may further comprise:
And corrects the predetermined threshold value according to the measured external temperature.

The method according to any one of claims 1 to 4,
Wherein the communication processing executed by the processing module transmits to the server a result of the determination of fluid leakage to the closed space at a predetermined cycle.

The method of claim 5,
A fluid control device comprising a plurality of fluid controllers integrated therein,
Wherein the communication processing executed by the processing module of the apparatus mounted in each fluid controller transmits to the server a result of the determination of the fluid leakage at different timings for each apparatus together with self- .

The method according to any one of claims 1 to 6,
Wherein the isolator is a diaphragm and has a valve mechanism in which the diaphragm is brought into contact with a seat provided in the flow path.

A system for detecting an abnormality in a fluid controller having a flow path, a closed space isolated from the flow path by an isolating member, and a leak port communicating with the outside of the closed space,
The information providing apparatus detachably fixed to the fluid controller is configured to be able to communicate with the server,
The information providing apparatus comprises:
A pressure sensor for detecting a pressure in the closed space;
A communication module for transmitting to the server a detection value detected by the pressure sensor;
And a detachable mechanism for detachably fixing the pressure sensor to the leak port and for blocking the leak port from the outside in a fixed state,
The server comprises:
And performs discrimination processing for discriminating an abnormality of the fluid controller by comparing the detection value received from the information supply device with a predetermined threshold value.

A method for detecting an abnormality in a fluid controller provided with a flow path, a closed space isolated from the flow path by an isolating member, and a leak port communicating with the outside of the closed space,
A pressure sensor is detachably fixed to the leak port, and a device for blocking the leak port from the outside in a fixed state,
Detecting a pressure in the closed space,
A step of discriminating an abnormality of the fluid controller by comparing a detection value detected by the pressure sensor with a predetermined threshold value;
And transmitting the result of the determination of the fluid controller to the server.

A fluid controller capable of detecting abnormalities,
The Euro,
A closed space isolated from the flow path by an isolating member,
A leak port communicating with the outside of the closed space,
A pressure sensor for detecting a pressure in the closed space;
A detachable mechanism for detachably fixing the pressure sensor to the leak port and for blocking the leak port from the outside in a fixed state,
And a processing module for executing predetermined information processing,
The processing module comprises:
A discrimination process for discriminating an abnormality of the fluid controller by comparing a detected value detected by the pressure sensor with a predetermined threshold value,
And transmits a result of the determination of the fluid controller to the server.