KR20190062891A - 운송 인클로저 오염도 모니터링 장치 및 이를 이용한 오염도 모니터링 방법 - Google Patents

운송 인클로저 오염도 모니터링 장치 및 이를 이용한 오염도 모니터링 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 웨이퍼와 같은 반도체의 운송을 위한 운송 인클로저의 내부 오염도를 모니터링 하기 위한 기술에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 운송 인클로저의 외부에 모니터링 장치를 부착시켜 외부 모니터링 장치를 통해 운송 인클로저 내부의 오염도를 모니터링 하는 장치 및 방법에 관한 것이다.

Description

운송 인클로저 오염도 모니터링 장치 및 이를 이용한 오염도 모니터링 방법{Internal Contamination Monitoring Device for Front Open Unified Pod and Monitoring Method of the Same}
본 발명은 웨이퍼와 같은 반도체의 운송을 위한 운송 인클로저의 내부 오염도를 모니터링 하기 위한 기술에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 운송 인클로저의 외부에 모니터링 장치를 부착시켜 외부 모니터링 장치를 통해 운송 인클로저 내부의 오염도를 모니터링 하는 장치 및 방법에 관한 것이다.
반도체 산업, 디스플레이 산업 핵심 공정에는 매우 다양한 유해성 가스들을 필수적으로 사용하고 있으며, 이러한 유해성 가스들은 불소계, 염소계, 브롬계, 질산계, 황산계와 같은 산성가스와 암모니아, 아민류와 같은 염기성 가스, 유기성 화합물 , Cu, Al, Si과 같은 금속성 물질, P, B와 같은 도판트물질 등이 있다. 일반적으로 이들의 성질은 유독하고 산화력이 매우 강하여 제품의 패턴 이상이나 표면의 과산화 등을 유발하여 제품의 불량을 일으킨다.
특히, 대기 중의 암모니아는 포토레지스터 변형과 산성 가스와 반응을 통해 염을 형성하여 쇼트를 유발시키는 등 반도체 생산 수율과 밀접한 관계를 지니고 있기 때문에 지속적인 모니터링과 관리가 요구되고 있다.
특히 반도체, FPD 산업에서는 웨이퍼의 고집적화, 패턴의 미세화에 따라 제품 불량을 방지하고 생산 수율 향상을 위하여 오염 물질을 ppt-ppb의 매우 낮은 수준으로 관리하고 있다. 기존에는 주로 FAB 환경의 모니터링과 관련된 연구에 치중하였으나, 최근에는 국소 환경(mini environment)에서 웨이퍼를 외부와 차단(isolation)하여 대기 중에 존재하는 분자성 오염 물질과의 접촉을 근본적으로 차단(isolation)하는 문제에 대한 연구가 활발하게 진행되고 있다.
운송 인클로저라 함은 위와 같은 반도체의 오염을 방지하고 운송하기 위한 수단으로써 대표적으로 FOUP(Front Open Unified Pod) 등을 들 수 있다.
반도체에서 웨이퍼(wafer)는 대개 실리콘웨이퍼(siliconwafer)를 의미하며, 이는 반도체의 집적회로를 만드는 토대가 되는 얇은 규소판을 의미한다. 웨이퍼(wafer)는 순도 99.9999999%의 단결정(單結晶) 규소를 얇게 잘라 표면을 매끈하게 다듬은 것이다. 웨이퍼(wafer)의 표면은 결함이나 오염이 없어야 함은 물론, 회로의 정밀도에 영향을 미치기 때문에 고도의 평탄도가 요구된다. 최근에는 두께 0.3㎜, 지름 15~30㎝의 원판 모양의 것이 사용되고 있다.
상기 웨이퍼(wafer)는 조립한 후에 검사가 끝나면 개별 칩으로 잘려져서 완성된 집적회로로 사용된다.
집적회로로 사용될 때까지 웨이퍼(wafer)에는 패턴 공정, 식각 공정, 이온 주입공정 등을 거치며, 운송 인클로저에 수용되어 다음 공정을 위해 이송되거나 수용된 채로 대기하게 된다.
하지만, 웨이퍼는 상기와 같은 공정에서 많은 양의 케미컬(chemical)이 공급되어 화학적 오염이 발생하며, 오염된 웨이퍼(wafer)에 의해 운송 인클로저 내부가 오염될 수 있다.
이와 같이 오염된 운송 인클로저 내부에서 웨이퍼(wafer)가 장시간 보관되어 운송 인클로저가 특정 농도 수치이상으로 오염되는 경우 웨이퍼(wafer)에 악영향을 끼쳐 제품 불량의 원인이 된다. 따라서 웨이퍼(wafer) 생산의 질적 향상을 위해 운송 인클로저 내부의 가스 오염 정도를 신속하고 정확하게 측정하는 것이 매우 중요하다.
운송 인클로저의 내부 오염도를 모니터링하기 위한 기술로는 한국등록특허공보 제10-1565091호(2015.11.16 공고)에 기재된 바와 같이 운송 인클로저의 내부에 오염물질 감지 용 각종 측정장비 및 측정장비로부터 측정된 오염도 수치를 외부 분석기로 전달하기 위한 중계수단을 구비한 반도체 공정 오염 감시용 웨이퍼 이송장치에 관한 기술이 공지된 바 있다.
위와 같은 운송 인클로저 내장 형 모니터링 장치의 경우 인클로저 내부의 상당 공간을 차지하기 때문에 적재 공간이 축소되고, 웨이퍼를 운송 인클로저에 로딩 및 언로딩하기 위한 로봇 암과의 간섭 및 충돌의 위험이 발생한다.
이를 개선하기 위해 한국등록특허공보 제10-1002950호(2010.12.22. 공고)에 기재된 바와 같이 운송 인클로저의 내부 공기를 샘플링하여 외부 분석장치에 직접 전달하여 인클로저의 오염도를 분석한 기술이 공지된 바 있으나, 운송 인클로저가 특정 장소에 배치된 상태에서만 내부 공기의 샘플링이 가능하기 때문에 운송 인클로저가 이동 중인 상태에서는 오염도 모니터링이 불가한 문제가 있다.
한국등록특허공보 제10-1002950호(2010.12.22. 공고)
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서 본 발명의 목적은, 운송 인클로저의 내부 오염도를 모니터링하기 위한 오염도 측정 장치를 운송 인클로저의 외부에 탈착 식으로 구비하고, 운송 인클로저의 내부 공기를 유입 받도록 구성하여 운송 인클로저 내부의 오염도를 모니터링 하는, 운송 인클로저 오염도 모니터링 장치 및 이를 이용한 오염도 모니터링 방법을 제공함에 있다.
또한, 운송 인클로저 이송 시 공정 진행을 실시간으로 모니터링하여 웨이퍼 제조 공정의 정상적인 진행 유무를 판단할 수 있는 운송 인클로저 오염도 모니터링 장치 및 이를 이용한 오염도 모니터링 방법을 제공함에 있다.
본 발명의 일실시 예에 따른 운송 인클로저 오염도 모니터링 장치는, 궤도 형 자동 운송 장치(200)에 의해 일정 공간 내에 형성된 궤도를 순환하도록 이송되며, 웨이퍼를 운송하는 운송 인클로저(100); 상기 운송 인클로저(100)의 외면에 구비되어 상기 인클로저(100)의 내부 오염도를 측정하는 오염도 측정부(500); 일단이 상기 인클로저(100)의 내부와 연통되며, 타단이 오염도 측정부(500)에 연결되어 인클로저(100) 내부 공기를 오염도 측정부(500)에 전달하는 튜브(550); 및 상기 오염도 측정부(500)와 이격 배치되어 상기 오염도 측정부(500)의 작동을 제어하고, 상기 오염도 측정부(500)에서 측정된 데이터를 수신하는 분석기(300)를 포함한다.
또한, 상기 오염도 측정부(500)는, 상기 인클로저(100)의 내부 공기 오염도를 측정하는 측정 수단(510); 및 상기 측정 수단(510)을 통해 측정된 데이터를 상기 분석기(300)에 전달하고, 상기 분석기(300)의 제어신호를 상기 오염도 측정부(500)에 전달하는 통신 모듈(520)을 포함한다.
또한, 상기 모니터링 장치(1000)는, 상기 오염도 측정부(500)에 전원을 공급하도록 상기 인클로저(100)의 외면에 부착되는 배터리 팩(590)을 더 포함하며, 상기 배터리 팩(590)은 상기 인클로저(100) 상의 상기 오염도 측정부(500)가 부착된 면과 대향되는 면에 부착된다.
또한, 상기 오염도 측정부(500)는, 상기 운송 인클로저(100)의 내부 공기를 튜브(550)를 통해 유입 받도록 상기 튜브(550) 상에 구비된 이송팬(560)을 더 포함한다.
또한, 상기 운송 인클로저(100)는, 상기 운송 인클로저(100)의 내부 공기를 순환시키도록 인클로저(100) 내부에 구비되는 순환팬(120)을 더 포함한다.
또한, 상기 오염도 측정부(500)는, 단부에 돌출되는 제1 돌출부(501); 및 상기 제1 돌출부(501)의 단부에 돌출되는 제2 돌출부(502)를 포함하며, 상기 운송 인클로저(100)는, 상기 제1 돌출부(501)가 슬라이드 결합되도록 외면에 형성된 고리형 고정부(151) 및 상기 제2 돌출부(502)를 상기 운송 인클로저(100)에 고정 결합시키는 고정 클립(152)을 포함한다.
본 발명의 일실시 예에 따른 운송 인클로저 오염도 모니터링 장치를 이용한 모니터링 방법은, 오염도 측정부(500)를 운송 인클로저(100)의 외면에 부착하는 측정부 부착단계(S10); 상기 운송 인클로저(100)를 궤도형 자동 운송 장치(200)에 탑재하는 인클로저 탑재단계(S20); 분석기(300)가 오염도 측정부(500)와 연동하여 운송 인클로저(100) 내부 오염도를 측정 및 분석하는 오염도 모니터링 단계(S30); 분석기(300)를 통해 인클로저(100) 내부 오염 여부를 판단하는 오염 판단단계(S40); 상기 판단단계(S40)에서 오염도가 정상으로 판단된 경우 공정을 완료하는 공정 완료 단계(S50); 상기 오염도가 이상으로 판단되는 경우 공정을 정지 또는 알람 하는 경고 단계(S60)를 포함한다.
또한, 오염도 모니터링 단계(S30)는, 운송 인클로저(100)가 특정 공정을 수행하기 위해 특정 공정 설비에 도착하면 수행한다.
또한, 상기 공정 완료 단계(S50); 이후에는 운송 인클로저(100)를 타 공정 설비로 이동하는 운송 인클로저 이송 단계(S70)를 진행하며, 상기 경고 단계(S60) 이후에는 오염도가 정상으로 판단될 때까지 오염도 모니터링 단계(S30)를 반복 수행한다.
본 발명의 다른 실시 예에 따른 운송 인클로저 오염도 모니터링 장치를 이용한 모니터링 방법은, 오염도 측정부(500)를 운송 인클로저(100)의 외면에 부착하는 측정부 부착단계(S110); 운송 인클로저(100)를 궤도형 자동 운송 장치(200)에 탑재하는 인클로저 탑재단계(S120); 운송 인클로저(100)가 이동 시 분석기(300)가 오염도 측정부(500)와 연동하여 운송 인클로저(100) 내부 오염도를 실시간으로 측정 및 분석하는 오염도 모니터링 단계(S130); 분석기(300)를 통해 인클로저(100) 내부 오염 여부를 판단하는 오염 판단단계(S140); 및 상기 판단단계(S140)에서 오염도가 정상으로 판단된 경우 이송을 유지하는 이송 유지 단계(S150)를 수행하게 되며, 오염도가 이상으로 판단되는 경우 인클로저(100)의 이송을 정지 또는 알람 하는 경고 단계(S160)를 포함한다.
아울러, 상기 모니터링 방법은, 상기 경고 단계(S60) 이후 인클로저(100)의 위치 정보를 분석기(300)에 전달하는 인클로저 위치 전달 단계(S170)를 더 포함한다.
상기와 같은 구성에 의한 본 발명의 운송 인클로저 오염도 모니터링 장치 및 이를 이용한 오염도 모니터링 방법은, 모니터링 장치가 운송 인클로저 내부 공간을 차지하지 않기 때문에 운송 인클로저 내부 공간 활용도가 높아지는 효과가 있다.
또한, 운송 인클로저 내부를 출입하는 로봇 암과 모니터링 장치의 간섭이나 충돌을 방지한 효과가 있다.
또한, 운송 인클로저가 이동 중에도 운송 인클로저 내부 오염도의 실시간 모니터링이 가능한 효과가 있다.
모니터링 장치를 통해 운송 인클로저의 위치 파악이 용이하여 운송 인클로저의 로드포드 도착 유무 파악 및 특정 위치에서 오염도 모니터링의 수행이 가능한 효과가 있다.
운송 인클로저 외부에 모니터링 장치가 부착되기 때문에 외부에 구비된 분석 장치와의 중계가 용이하여 중계 수단의 간소화로 인한 비용 절감의 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일실시 예에 따른 모니터링 장치 개념도
도 2는 본 발명의 일실시 예에 따른 오염도 측정부의 운송 인클로저 내부 오염도 측정을 위한 구성을 나타낸 개념도
도 3은 본 발명의 일실시 예에 따른 오염도 측정부의 확대 개념도
도 4는 본 발명의 일실시 예에 따른 오염도 측정부가 운송 인클로저에 부착된 실시 예를 나타낸 사시도
도 5 내지 도 7은 본 발명의 일실시 예에 따른 오염도 측정부의 운송 인클로저 부착 과정을 도시한 공정도
도 8은 본 발명의 일실시 예에 따른 인클로저 정지 중 오염도 모니터링 방법의 순서도
도 9는 본 발명의 일실시 예에 따른 인클로저 이송 중 오염도 모니터링 방법의 순서도
이하, 상기와 같은 본 발명의 일실시예에 대하여 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1에는 본 발명의 일실시 예에 따른 모니터링 장치(1000)를 나타낸 개념도가 도시되어 있다.
도 1에 도시된 바와 같이 운송 인클로저(100)는 궤도형 자동 운송 장치(200)에 의해 일정 공간 내에 형성된 궤도를 순환하도록 이송되며, 내부에 웨이퍼(W)가 실장되어 운송 인클로저(100)를 따라 이송되어 패턴 공정, 식각 공정, 이온 주입공정 등을 거치도록 이송되거나 위 공정 중 한 곳에 수용된 채로 대기하게 된다. 이때 본 발명의 오염도 측정부(500)는 운송 인클로저(100)의 외면에 부착되며, 운송 인클로저(100) 내부의 공기를 샘플링하여 실시간 및 원격으로 운송 인클로저(100)의 내부 유해물질의 유무와 그 농도를 측정하게 된다. 아울러, 오염도 측정부(500)를 통해 측정된 수치는 무선 통신을 통해 분석기(300)에 전달되어 운송 인클로저(100)의 내부 오염도를 분석하게 된다.
이때, 본 발명의 일실시 예에 따른 모니터링 장치(1000)는 운송 인클로저(100)의 외부에 부착된 오염도 측정부(500)를 통해 운송 인클로저(100)의 내부 공기를 샘플링하여 오염도를 측정한 후 분석기(300)에 측정 정보를 전달함에 그 특징이 있는바 이하 오염도 측정부(500)의 세부 구성에 대하여 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 2에는 본 발명의 일실시 예에 따른 오염도 측정부(500)의 운송 인클로저(100) 내부 오염도 측정을 위한 구성을 나타낸 개념도가 도시되어 있고, 도 3에는 본 발명의 일실시 예에 따른 오염도 측정부(500)의 확대 개념도가 도시되어 있다.
도시된 바와 같이 오염도 측정부(500)는 운송 인클로저(100)의 외면에 부착될 수 있다. 또한, 오염도 측정부(500)는 웨이퍼(W)가 수용된 운송 인클로저(100)의 본체(110) 내부 공기를 유입 받도록 일단이 본체(110) 내부에 연통되고 타단이 오염도 측정부(500)의 측정 수단(510)에 연통된 튜브(550)를 포함한다.
측정 수단(510)은 서로 다른 유해성분을 감지하는 다수개의 센싱수단을 포함하여 형성될 수 있다. 상기 센싱수단은 NH3, HF, HCl, 휘발성 유기화합물질인 VOC(Volatile Organic Compounds)를 감지하는 센서가 적어도 하나 이상 포함될 수 있다. 또한, 센싱수단은 이 외에도 다른 종류의 유해성분을 감지하는 센서로 구성될 수도 있다. 즉, 상기 센싱수단은 공기 내 NH3, HF, HCl, VOC 외에도 공기 중 기타 분자성 오염(Airborne molecular contamination, AMC) 물질들을 감지하는 수단으로 구성될 수 있다.
또한, 오염도 측정부(500)는, 측정 수단(510)을 통해 측정된 오염도를 분석기(300, 도 1 참조)에 전달하기 위한, 통신 모듈(520)을 포함한다. 통신 모듈(520)은 근거리 통신 또는 원거리 통신이 가능한 모듈일 수 있으며, 통신 모듈(520)과, 분석기(300) 사이에 원격으로 신호가 송수신될 수 있는 것이라면 그 종류 및 통신방법은 얼마든지 다양하게 변경실시가 가능하다.
또한, 오염도 측정부(500)는 오염도 측정부(500)에 전원을 공급하기 위한 배터리 팩(590)을 포함한다. 배터리 팩(590)은 오염도 측정부(500)와 마찬가지로 운송 인클로저(100)의 외면에 부착되며, 전력라인(595)을 통해 오염도 측정부(500)와 전기적으로 연결되어 오염도 측정부(500)의 구동에 필요한 전원을 공급하게 된다. 특히 배터리 팩(590)은 운송 인클로저(100)의 외면상에 부착되되 오염도 측정부(500)가 부착된 면과 대향되는 면에 부착될 수 있다. 이는 오염도 측정부(500)로 인해 운송 인클로저(100)의 무게 중심이 한쪽으로 치우치지 않고 운송 인클로저(100)의 중심에 위치하도록 하여 운송 인클로저(100)의 원활하게 이송되도록 하기 위함이다.
또한, 오염도 측정부(500)는, 본체(110) 내부의 샘플링 공기를 측정 수단(510)에 용이하게 전달하도록 이송팬(560)을 구비한다. 이송팬(560)은 팬의 회전을 통해 튜브(550) 일단의 공기를 타단으로 이송하기 위한 통상의 팬의 구성이 적용될 수 있다. 이송팬(560)은 도면상에 튜브(550) 타단에 구비된 것으로 도시되어 있으나, 본체(110) 내부의 공기를 측정 수단(510)에 전달할 목적이면, 튜브(550) 상에 어떠한 곳에 구비되어도 무방하다.
또한, 튜브(550) 일단 주변의 공기만 샘플링 되는 것을 방지하기 위해 본체(110) 내부에는 내부 공기 순환을 위한 순환팬(120)이 구비될 수 있다. 순환팬(120)은 본체(110)의 하단에 구비된 것으로 도시되어 있으나, 본체(110) 내부의 공기를 순환시키기 위한 목적이면, 본체(110) 상의 어떠한 곳에 구비되어도 무방하다.
한편 분석기(300)는, 오염도 측정부(500)와 분리되어 일정거리 이격되어 배치되며, 오염도 측정부(500)의 작동을 제어하고, 감지된 데이터를 수신하게 된다. 즉 분석기(300)는, 제어 및 송수신을 담당하며, CPU(Central Processing Unit), GPU(Graphic Processing Unit), AP(application processor), DSP(Digital signal processor) 등의 처리장치와, 통신 모듈(520)과의 통신을 담당하여 무선통신수단이 더 구비된다. 또한, 분석기(300)는, 통신 모듈(520)로부터의 데이터를 무선으로 원거리 전송받을 수 있도록 형성될 수도 있다.
분석기(300)는, 오염도 측정부(500)가 궤도형 자동 운송 장치(200)를 따라 이송되면서, 실시간으로 시료를 포집하여 유해물질을 측정하는 도중, 일정 지점에서 측정 수단(510)에 의해 감지된 유해물질의 농도가 일정 수치 이상일 경우, 통신 모듈(520)을 통해 상기 본체의 위치데이터를 수집할 수 있다.
이때, 본 발명의 모니터링 장치(1000)는 측정 수단(510)의 아날로그 데이터를 디지털 데이터로 변환하는 AD 컨버터(미도시)를 더 포함하여 형성됨으로써, AD 컨버터를 통해 변환된 데이터가 통신모듈(520)을 통해 분석기(400)로 송신될 수 있다.
이에 따라, 작업자는 제조 공정 상, 오염 발생 지역을 신속히 판단할 수 있으며, 오염원을 찾아 제거하거나, 필요에 따라 공정을 중단하는 등의 대응조치를 취하여 피해 발생을 최소화할 수 있다.
다음으로 본 발명의 일실시 예에 따른 오염도 측정부(500)가 어떠한 형태로 운송 인클로저(100)의 외면에 부착되는지 세부 구성에 대하여 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.
도 4에는 본 발명의 일실시 예에 따른 오염도 측정부(500)가 운송 인클로저(100)에 부착된 실시 예를 나타낸 사시도가 도시되어 있고, 도 5 내지 도 7에는 본 발명의 일실시 예에 따른 오염도 측정부(500)의 장착 과정을 도시한 공정도가 도시되어 있다.
도시된 바와 같이 오염도 측정부(500)는 하단에 돌출된 제1 돌출부(501)가 운송 인클로저(100)의 외면에 형성된 고리 형 고정부(151)에 슬라이드 결합된다. (도 5 참조) 다음으로 제1 돌출부(501)에서 외측으로 돌출된 제2 돌출부(502)가 고정 클립(152)을 통해 운송 인클로저(100)의 외면에 고정된다. (도 6 참조) 고정 클립(152)은 운송 인클로저(100)의 외면에 후크 결합되거나, 나사 또는 볼트 결합될 수 있다. (도 7 참조) 위와 같은 구성을 통해 오염도 측정부(500)의 탈부착이 용이하도록 하였다.
이하에서는 상기와 같이 구성된 본 발명의 일실시 예에 따른 모니터링 장치(1000)를 이용한 운송 인클로저 오염도 모니터링 방법에 도면을 참조하여 설명한다.
도 8에는 본 발명의 일실시 예에 따른 인클로저 정지 중 모니터링 방법의 순서도가 도시되어 있고, 도 9에는 본 발명의 일실시 예에 따른 인클로저 이송 중 모니터링 방법의 순서도가 도시되어 있다.
도 8을 참조하면, 우선 오염도 측정부(500)를 운송 인클로저(100)의 외면에 부착하는 측정부 부착단계(S10)를 수행한다. 다음으로 오염도 측정부(500)가 부착된 운송 인클로저(100)를 궤도형 자동 운송 장치(200)에 탑재하는 인클로저 탑재단계(S20)를 수행한다. 다음으로 운송 인클로저(100)가 특정 공정을 수행하기 위해 특정 공정 설비에 도착하면, 분석기(300)가 오염도 측정부(500)와 연동하여 운송 인클로저(100) 내부 오염도를 측정 및 분석하는 오염도 모니터링 단계(S30)를 수행한다. 다음으로 분석기(300)를 통해 오염도를 분석한 값이 정상인지 여부를 판단하는 오염 여부 판단단계(S40)를 수행하게 된다.
위 판단단계(S40)에서 오염도가 정상으로 판단된 경우 공정을 완료하는 공정 완료 단계(S50)를 수행하게 되며, 오염도가 이상으로 판단되는 경우 공정을 정지 또는 알람 하는 경고 단계(S60)를 수행하게 된다.
마지막으로 공정 완료 단계(S50) 이후에는 운송 인클로저(100)를 타 공정 설비로 이동하는 운송 인클로저 이송 단계(S70)를 진행하며, 경고 단계(S60) 이후에는 오염도가 정상으로 판단될 때까지 오염도 모니터링 단계(S30)를 반복 수행하게 된다.
도 9를 참조하면, 우선 오염도 측정부(500)를 운송 인클로저(100)의 외면에 부착하는 측정부 부착단계(S110)를 수행한다. 다음으로 오염도 측정부(500)가 부착된 운송 인클로저(100)를 궤도형 자동 운송 장치(200)에 탑재하는 인클로저 탑재단계(S120)를 수행한다. 다음으로 운송 인클로저(100)가 이동 시 분석기(300)가 오염도 측정부(500)와 연동하여 운송 인클로저(100) 내부 오염도를 실시간으로 측정 및 분석하는 오염도 모니터링 단계(S130)를 수행한다. 다음으로 분석기(300)를 통해 오염도를 분석한 값이 정상인지 여부를 판단하는 오염 여부 판단단계(S140)를 수행하게 된다.
위 판단단계(S140)에서 오염도가 정상으로 판단된 경우 이송을 유지하는 이송 유지 단계(S150)를 수행하게 되며, 오염도가 이상으로 판단되는 경우 인클로저(100)의 이송을 정지 또는 알람 하는 경고 단계(S160)를 수행하게 된다.
추가적으로 경고 단계(S60) 이후에는 인클로저(100)의 위치 정보를 분석기(300)에 전달하여 오염된 인클로저(100)에 후속 조치를 하도록 하는 인클로저 위치 전달 단계(S170)를 수행하게 된다.
본 발명의 상기한 실시 예에 한정하여 기술적 사상을 해석해서는 안 된다. 적용범위가 다양함은 물론이고, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당업자의 수준에서 다양한 변형 실시가 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 당업자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호범위에 속하게 된다.
1000 : 모니터링 장치
100 : 운송 인클로저 110 : 본체
120 : 순환팬 151 : 고리형 고정부
152 : 고정 클립
200 : 궤도형 자동 운송 장치
300 : 분석기
500 : 오염도 측정부 510 : 측정 수단
520 : 통신 모듈 550 : 튜브
560 : 이송팬
590 : 배터리 팩

Claims (11)

  1. 궤도 형 자동 운송 장치(200)에 의해 일정 공간 내에 형성된 궤도를 순환하도록 이송되며, 웨이퍼를 운송하는 운송 인클로저(100);
    상기 운송 인클로저(100)의 외면에 구비되어 상기 인클로저(100)의 내부 오염도를 측정하는 오염도 측정부(500);
    일단이 상기 인클로저(100)의 내부와 연통되며, 타단이 오염도 측정부(500)에 연결되어 인클로저(100) 내부 공기를 오염도 측정부(500)에 전달하는 튜브(550); 및
    상기 오염도 측정부(500)와 이격 배치되어 상기 오염도 측정부(500)의 작동을 제어하고, 상기 오염도 측정부(500)에서 측정된 데이터를 수신하는 분석기(300)를 포함하는, 운송 인클로저 오염도 모니터링 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 오염도 측정부(500)는,
    상기 인클로저(100)의 내부 공기 오염도를 측정하는 측정 수단(510); 및
    상기 측정 수단(510)을 통해 측정된 데이터를 상기 분석기(300)에 전달하고, 상기 분석기(300)의 제어신호를 상기 오염도 측정부(500)에 전달하는 통신 모듈(520)을 포함하는, 운송 인클로저 오염도 모니터링 장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 모니터링 장치(1000)는,
    상기 오염도 측정부(500)에 전원을 공급하도록 상기 인클로저(100)의 외면에 부착되는 배터리 팩(590)을 더 포함하며,
    상기 배터리 팩(590)은 상기 인클로저(100) 상의 상기 오염도 측정부(500)가 부착된 면과 대향되는 면에 부착되는, 운송 인클로저 오염도 모니터링 장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 오염도 측정부(500)는,
    상기 운송 인클로저(100)의 내부 공기를 튜브(550)를 통해 유입 받도록 상기 튜브(550) 상에 구비된 이송팬(560)을 더 포함하는, 운송 인클로저 오염도 모니터링 장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 운송 인클로저(100)는,
    상기 운송 인클로저(100)의 내부 공기를 순환시키도록 인클로저(100) 내부에 구비되는 순환팬(120)을 더 포함하는, 운송 인클로저 오염도 모니터링 장치.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 오염도 측정부(500)는,
    단부에 돌출되는 제1 돌출부(501); 및
    상기 제1 돌출부(501)의 단부에 돌출되는 제2 돌출부(502)를 포함하며,
    상기 운송 인클로저(100)는,
    상기 제1 돌출부(501)가 슬라이드 결합되도록 외면에 형성된 고리형 고정부(151) 및
    상기 제2 돌출부(502)를 상기 운송 인클로저(100)에 고정 결합시키는 고정 클립(152)을 포함하는, 운송 인클로저 오염도 모니터링 장치.
  7. 제 1항 내지 제 6항 중 어느 한 항의 운송 인클로저 오염도 모니터링 장치를 이용한 모니터링 방법에 있어서,
    오염도 측정부(500)를 운송 인클로저(100)의 외면에 부착하는 측정부 부착단계(S10);
    상기 운송 인클로저(100)를 궤도형 자동 운송 장치(200)에 탑재하는 인클로저 탑재단계(S20);
    분석기(300)가 오염도 측정부(500)와 연동하여 운송 인클로저(100) 내부 오염도를 측정 및 분석하는 오염도 모니터링 단계(S30);
    분석기(300)를 통해 인클로저(100) 내부 오염 여부를 판단하는 오염 판단단계(S40);
    상기 판단단계(S40)에서 오염도가 정상으로 판단된 경우 공정을 완료하는 공정 완료 단계(S50);
    상기 오염도가 이상으로 판단되는 경우 공정을 정지 또는 알람 하는 경고 단계(S60)를 포함하는, 운송 인클로저 오염도 모니터링 방법.
  8. 제 7항에 있어서,
    오염도 모니터링 단계(S30)는,
    운송 인클로저(100)가 특정 공정을 수행하기 위해 특정 공정 설비에 도착하면 수행하는, 운송 인클로저 오염도 모니터링 방법.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 공정 완료 단계(S50); 이후에는 운송 인클로저(100)를 타 공정 설비로 이동하는 운송 인클로저 이송 단계(S70)를 진행하며,
    상기 경고 단계(S60) 이후에는 오염도가 정상으로 판단될 때까지 오염도 모니터링 단계(S30)를 반복 수행하는, 운송 인클로저 오염도 모니터링 방법.
  10. 제 1항 내지 제 6항 중 어느 한 항의 운송 인클로저 오염도 모니터링 장치를 이용한 모니터링 방법에 있어서,
    오염도 측정부(500)를 운송 인클로저(100)의 외면에 부착하는 측정부 부착단계(S110);
    운송 인클로저(100)를 궤도형 자동 운송 장치(200)에 탑재하는 인클로저 탑재단계(S120);
    운송 인클로저(100)가 이동 시 분석기(300)가 오염도 측정부(500)와 연동하여 운송 인클로저(100) 내부 오염도를 실시간으로 측정 및 분석하는 오염도 모니터링 단계(S130);
    분석기(300)를 통해 인클로저(100) 내부 오염 여부를 판단하는 오염 판단단계(S140); 및
    상기 판단단계(S140)에서 오염도가 정상으로 판단된 경우 이송을 유지하는 이송 유지 단계(S150)를 수행하게 되며, 오염도가 이상으로 판단되는 경우 인클로저(100)의 이송을 정지 또는 알람 하는 경고 단계(S160)를 포함하는, 운송 인클로저 오염도 모니터링 방법.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 모니터링 방법은,
    상기 경고 단계(S60) 이후 인클로저(100)의 위치 정보를 분석기(300)에 전달하는 인클로저 위치 전달 단계(S170)를 더 포함하는, 운송 인클로저 오염도 모니터링 방법.
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