KR20190058210A

KR20190058210A - 반도체 제조 설비용 쿨링팬 관리시스템

Info

Publication number: KR20190058210A
Application number: KR1020170156003A
Authority: KR
Inventors: 조대복
Original assignee: 조대복
Priority date: 2017-11-21
Filing date: 2017-11-21
Publication date: 2019-05-29

Abstract

본 발명은 반도체 제조 설비에 구비되는 쿨링팬의 온도 및 분당회전수를 측정하여 정상이 아닌 경우 이를 경보발생유닛의 경보램프와 경보알람을 통해 경보함과 아울러 휴대단말기를 통해 문자메시지로 송출할 수 있게 하고, 송출되는 내용을 기초로 쿨링팬의 사용 기간을 관리자가 확인할 수 있는 반도체 제조 설비용 쿨링팬 관리시스템을 제공한다.
이러한 본 발명은 파워 서플라이(Power Supply)에 장착되어 쿨링팬의 작동상태에 따른 온도를 감지하여 출력하는 온도감지유닛; 쿨링팬에 구비되는 블레이드의 회전속도를 측정하여 블레이드의 분당회전속도 값을 검출하는 회전속도검출유닛; 광케이블을 통해 신호전달이 가능하게 연결되어 상기 회전속도검출유닛에서 검출되는 검출값과 상기 온도감지유닛에서 감지되는 온도값을 수신하고, 수신된 검출값과 온도값을 기설정된 기준값과 비교하여 쿨링팬의 작동상태에 따른 정상 여부를 판단하여 송신하는 제어유닛; 및 상기 제어유닛으로부터 쿨링팬의 작동상태가 정상이 아닌 것으로 판단되는 경우 송신되는 신호를 수신하여 경보를 발생하는 경보발생유닛;을 포함한다.

Description

반도체 제조 설비용 쿨링팬 관리시스템{cooling fan managerial system for semiconductor manufacturing equipment}

본 발명은 반도체 제조 설비용 쿨링팬 관리시스템 및 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 제조 설비에 구비되는 쿨링팬의 온도 및 분당회전수를 측정하여 정상이 아닌 경우 이를 경보발생유닛의 경보램프와 경보알람을 통해 경보함과 아울러 휴대단말기를 통해 문자메시지로 송출할 수 있게 하고, 송출되는 내용을 기초로 쿨링팬의 사용 기간을 관리자가 확인할 수 있는 반도체 제조 설비용 쿨링팬 관리시스템에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 장치는 기판으로 사용되는 실리콘 웨이퍼 상에 전기적인 회로를 형성하는 FAB(fabrication) 공정과, FAB 공정에서 형성된 반도체 장치들의 전기적인 특성을 검사하는 EDS(electrical die sorting) 공정과, 반도체 장치들을 각각 에폭시 수지로 봉지하고 개별화시키기 위한 패키지 조립 공정을 통해 제조된다.

FAB 공정에서는 기판상에 실리콘 산화층, 폴리실리콘층, 알루미늄층, 구리층 등과 같은 다양한 층들이 화학 기상 증착(chemical vapor deposition), 물리 기상 증착(physical vapor deposition), 열 산화(thermaloxidation), 이온 주입(ion implantation), 이온 확산(ion diffusion) 등과 같은 공정들을 통해 형성된다.

또한, 이와 같이 형성된 층들은 플라즈마 상태의 반응 물질이나 에쳔트를 사용하는 식각 공정을 통해 전기적 특성을 갖는 패턴들로 형성될 수 있다.

이와 같이 반도체 제조 공정에는 미디엄 클런트 설비 또는 하이 클런트 설비를 이용하여 이온 빔으로 웨이퍼의 표면에 패턴을 형성하는 이온 주입 공정이 포함되어 있다.

상기 미디엄 클런트 설비 또는 하이 클런트 설비는 도 1에 도시된 바와 같이, 웨이퍼를 로딩하는 로드 포트(10)와, 일반 상용 전원으로 작동되는 일반 전압 구역(20)과, 고전압의 전원에 의해 작동되는 고전압 구역(30) 등으로 구성된다.

상기 고전압 구역(30)에는 가스가 저장되는 가스 박스(31)가 구비되어 고압의 전기를 이용하여 상기 가스 박스(31)에 저장된 가스를 이온 주입 공정에 사용되는 이온 가스로 변환시키는 기능을 한다.

이때, 상기 고전압 구역(30)은 매우 높은 고압의 전기를 이용하므로, 외부와 전기적으로 연결될 경우 아크가 발생될 수 있다.

따라서, 고전압 구역(30)에는 고전압의 전기를 발생시키는 발전기(32) 및 컨트롤러(33)가 내장되어, 고전압 구역(30)이 외부와 전기적으로 완전히 차단된 상태에서 내부의 발전기(32)에서 출력되는 전기만으로 작동되도록 구성된다.

또한, 고전압 구역(30)의 각 부분에는 상기 발전기(32)에서 출력되는 전기에 의해 작동되는 냉각팬(34)이 다수개 설치되어 고전압 구역(30)을 냉각시킬 수 있도록 구성된다.

그러나 이러한 고전압 구역(30)은 외부와 전기적으로 완전히 차단되어 있으므로, 냉각팬(34)의 작동에 이상이 발생되거나 고전압 구역(30)의 내부 온도가 비정상적으로 상승되더라도, 이를 실시간으로 모니터링할 수 있는 방법이 없었다.

따라서, 냉각팬(34)의 작동 이상 발생 시 또는 고전압 구역(30) 내부의 온도 상승 시 이를 실시간으로 감지하지 못하고, 고전압 구역(30)에 작동 이상이나 화재가 발생되어야만 후속 조치를 취하게 되는 문제점이 발생되었다.

이러한 문제점은 전술한 미디엄 클런트 설비 또는 하이 클런트 설비에 국한되지 않고, 외부와의 전기적 연결이 완전히 차단된 상태로 독자적으로 작동되는 고전압 구역을 갖는 반도체 제조 설비에는 모두 동일하게 발생되었다.

따라서, 고전압 구역(30)이 외부와 전기적으로 완전히 차단된 상태를 유지하면서도 냉각팬(34)의 작동 상태나 고전압 구역(30)의 내부 온도를 모니터링할 수 있는 방안이 요구된다.

한편, 이와 같은 반도체 제조 설비의 모니터링과 관련된 기술로서, 대한민국 공개특허공보 제2008-0101968호의 "반도체 제조 공정에 사용되는 가스 모니터링 장치(삼성전자주식회사)"에는 반도체 제조 공정에서 공정 챔버로부터 배기되는 가스를 분석하기 위한 가스 모니터링 장치가 개시된다.

그러나 상기 기술은 반도체 제조 공정에서 배기 가스를 분석하기 위한 장치로서 냉각팬의 작동 상태나 고전압 구역의 내부 온도를 모니터링하는 방법은 개시하지 않고 있다.

국내 특허 공개번호 10-2008-0101968호, 반도체 제조 공정에 사용되는 가스 모니터링 장치. 국내 특허 등록번호 10-0171998호, 팬 구동부의 작동 상태 감지 장치.

본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 반도체 제조 설비에 사용되는 쿨링팬의 분당회전수를 적외선 발신부와 적외선 수신부에 의해 측정함과 아울러 NTC 서스미터(Thermistor)에 의해 온도를 측정하여 쿨링팬의 작동상태에 따른 정상 여부를 판단하고, 이상이 발생되는 경우 이를 경보램프와 경보알람를 통하 경보함과 동시에 휴대단말기에 문자메시지로 송출할 수 있게 한 새로운 반도체 제조 설비용 쿨링팬 관리시스템을 제공하는데 있다.

특히, 본 발명의 쿨링팬의 사용 시간을 관리자가 확인할 수 있게 하여 쿨링팬의 교체 후 어느 정도 사용되는지를 미리 판단할 수 있게 한 반도체 제조 설비용 쿨링팬 관리시스템을 제공하는데 있다.

본 발명의 상기 목적과 여러 가지 장점은 이 기술 분야에 숙련된 사람들에 의해 본 발명의 바람직한 실시예로부터 더욱 명확하게 될 것이다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 반도체 제조 설비용 쿨링팬 관리시스템으로, 파워 서플라이(Power Supply)에 장착되어 쿨링팬의 작동상태에 따른 온도를 감지하여 출력하는 온도감지유닛; 쿨링팬에 구비되는 블레이드의 회전속도를 측정하여 블레이드의 분당회전속도 값을 검출하는 회전속도검출유닛; 광케이블을 통해 신호전달이 가능하게 연결되어 상기 회전속도검출유닛에서 검출되는 검출값과 상기 온도감지유닛에서 감지되는 온도값을 수신하고, 수신된 검출값과 온도값을 기설정된 기준값과 비교하여 쿨링팬의 작동상태에 따른 정상 여부를 판단하여 송신하는 제어유닛; 및 상기 제어유닛으로부터 쿨링팬의 작동상태가 정상이 아닌 것으로 판단되는 경우 송신되는 신호를 수신하여 경보를 발생하는 경보발생유닛;을 포함하되, 상기 경보발생유닛은: 빛과 소리를 이용하여 경보를 알려주는 램프와 스피커 및 무선통신을 통하여 문자메시지를 이용하여 경보를 알려주는 휴대단말기로 이루어진 것이 바람직하다.

상기 온도감지유닛은: NTC 서스미터(Thermistor)로 이루어지고, 상기 회전속도검출유닛은: 전원이 온됨에 따라 블레이드를 향하여 적외선을 발신시키는 적외선 발신부; 및 적외선 발신부에서 발신된 적외선이 블레이드에 반사되는 적외선 반사파를 수신하는 적외선 수신부;로 이루어지며, 상기 제어유닛은: 상기 적외선 수신부를 통해 수신된 적외선 반사파로부터 블레이드의 분당회전수(RPM)를 산출하되, 수신된 적외선 반사파로부터 파형을 분석하는 파형분석부; 및 파형분석부에서 분석되는 정보로부터 분당회전수의 산출을 위한 기준값을 설정하는 기준값설정부;를 포함하되, 상기 기준값설정부는: 수신된 적외선 반사파의 최대값과 최소값을 검출하고, 검출된 최대값과 최소값의 중간값을 기준점으로 기준값을 설정하되, 상기 기준점을 수신된 적외선 반사파가 통과할 때마다 카운트하여 미리 설정된 시간 동안 카운트 된 수치를 블레이드의 개수로 나눔으로써 기준값을 산출하는 것이 바람직하다.

상기 기준값설정부는: 분당회전속도를 미리 설정된 회수만큼 검출할 때마다 한 번씩 기준점을 자동으로 보정하는 것이 바람직하다.

상기 제어유닛은: 상기 회전속도검출유닛에서 검출된 분당회전속도 값을 수신하고, 수신된 분당회전속도 값을 미리 설정된 기준값과 비교하여 기준값 이하로 낮아지거나, 상기 온도감지유닛에서 감지된 온도값을 수신하고, 수신된 온도값이 미리 설정된 기준온도값과 비교하여 기준온도값 이상으로 상승되는 경우 상기 경보발생유닛을 통해 경보를 발생하도록 송신하는 것이 바람직하다.

상기 제어유닛은: 쿨링팬의 작동상태가 정상이 아닌 것으로 판단되는 경우 휴대단말기로 경보 내용을 문자메시지로 송출할 수 있도록 통신프로토콜 및 통신포트를 제공하는 무선통신부; 상기 무선통신부를 통해 송출되는 내용을 저장할 수 있는 데이터베이스부; 상기 데이터베이스부에 저장되는 내용을 기초로 쿨링팬의 사용 시간을 판독하는 중앙처리부; 및 상기 중앙처리부에 의해 판독되는 쿨링팬의 사용 시간을 관리자가 확인할 수 있도록 표시하는 모니터부;를 포함하는 것이 바람직하다.

상기 경보발생유닛은: 상기 제어유닛에서 쿨링팬의 작동상태가 정상이 아닌 것으로 판단되는 경우 경보를 알리도록 적색이 점멸되도록 발광되는 경보램프; 상기 제어유닛에서 쿨링팬의 작동상태가 정상이 아닌 것으로 판된되는 경우 경보를 알리도록 알람을 발생시키는 경보스피커; 및 상기 제어유닛에서 쿨링팬의 작동상태가 정상이 아닌 것으로 판된되는 경우 경보를 알리도록 경보 내용이 표시되는 휴대단말기;로 이루어지는 것이 바람직하다.

본 발명에 따른 반도체 제조 설비용 쿨링팬 관리시스템에 의하면, 반도체 제조 설비에 구비되는 쿨링팬의 온도 및 분당회전수를 측정하여 정상이 아닌 경우 이를 경보발생유닛의 경보램프와 경보알람을 통해 경보함과 아울러 휴대단말기를 통해 문자메시지로 송출할 수 있게 하고, 송출되는 내용을 기초로 쿨링팬의 사용 기간을 관리자가 확인하여 교체되는 쿨링팬의 사용 시간을 미리 판단할 수 있게 하는 효과가 있다.

도 1은 종래의 반도체 제조 설비를 나타낸 도면이고,
도 2는 본 발명에 따른 반도체 제조 설비용 쿨링팬 관리시스템에 구비되는 회전속도감지유닛에 의해 쿨링팬의 블레이트에 적외선을 발신하고, 수신하는 일 예를 보인 도면이고,
도 3은 본 발명에 따른 반도체 제조 설비용 쿨링팬 관리시스템의 개략적을 구성을 보인 블록도이다.

이하에서는, 첨부된 도면을 참고하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하기로 한다.

본 발명의 설명에 앞서, 이하의 특정한 구조 내지 기능적 설명들은 단지 본 발명의 개념에 따른 실시예를 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로, 본 발명의 개념에 따른 실시예들은 다양한 형태로 실시될 수 있으며, 본 명세서에 설명된 실시예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 아니된다.

또한, 본 발명의 개념에 따른 실시예는 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있으므로, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본 명세서에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명의 개념에 따른 실시예들을 특정한 개시 형태에 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경물, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.

첨부된 도 2는 본 발명에 따른 반도체 제조 설비용 쿨링팬 관리시스템에 구비되는 회전속도감지유닛에 의해 쿨링팬의 블레이트에 적외선을 발신하고, 수신하는 일 예를 보인 도면이고, 도 3은 본 발명에 따른 반도체 제조 설비용 쿨링팬 관리시스템의 개략적을 구성을 보인 블록도이다.

이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명이 적용되는 반도체 제조 설비용 쿨링팬 관리시스템은, 반도체 제조 설비로서 이온 빔으로 웨이퍼의 표면에 패턴을 형성하는 미디엄 클런트 설비 또는 하이 클런트 설비에 적용되는 것이 바람직하나, 반드시 이러한 장치에만 적용되는 것은 아니며, 소정의 제조 설비에 구비되는 쿨링팬의 작동상태를 측정하기 위한 어떠한 센서에도 본 발명이 적용될 수 있다.

도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 반도체 제조 설비용 쿨링팬 관리시스템는 온도감지유닛(110)과 회전속도검출유닛(120)과 제어유닛(130) 및 경보발생유닛(140)을 포함하여 이루어지는 것이 바람직하다.

상기 온도감지유닛(110)은 파워 서플라이(Power Supply)에 장착되어 쿨링팬(102)의 작동상태에 따른 온도를 감지하여 출력할 수 있도록 구비되는 것이 바람직하다.

이러한 상기 온도감지유닛(110)은 NTC 서스미터(Thermistor)(112)로 이루어지는 것이 바람직하며, 상기 NTC 서스미터(112)를 통한 온도를 측정함에 의해, 즉 -200°~500°의 넓은 사용 범위로 인하여 안정성을 보장할 수 있고, 고감도 서스미터로써, 정밀 온도 측정 및 출력이 가능한 장점을 갖는다.

또한, 상기 회전속도검출유닛(120)은 쿨링팬(102)에 구비되는 블레이드(102a)의 회전속도를 측정하여 블레이드의 분당회전속도를 검출할 수 있도록 구비되는 것이 바람직하다.

이러한 회전속도검출유닛(120)은 도 2에 도시된 바와 같이, 전원이 온됨에 따라 블레이드(102a)의 전면을 향하여 적외선을 발신시키도록 설치되는 적외선 발신부(122)와 상기 적외선 발신부(122)에서 발신된 적외선이 블레이드(102a)에 반사되는 적외선 반사파를 수신하도록 설치되는 적외선 수신부(124)로 이루어지는 것이 바람직하다.

또한, 상기 제어유닛(130)은 광케이블을 통해 신호전달이 가능하게 연결되어 상기 회전속도검출유닛(120)에서 검출되는 검출값과, 상기 온도감지유닛(110)에서 감지되는 온도값을 수신하고, 수신된 검출값과 온도값을 기설정된 기준값과 비교하여 쿨링팬(102)의 작동상태에 따른 정상 여부를 판단하여 송신하도록 마련되는 것이 바람직하다. 즉, 회전속도검출유닛(120) 및 온도감지유닛(110)에서 출력되는 신호를 광신호로 변환하여 광케이블로 출력한다.

이러한 상기 제어유닛(130)은 적외선 수신부(124)를 통해 수신된 적외선 반사파로부터 블레이드의 분당회전수(RPM)를 산출하는 것이 바람직하다.

이를 위한, 상기 제어유닛(130)은 수신된 적외선 반사파로부터 파형을 분석하는 파형분석부(132)가 구비되고, 상기 파형분석부(132)에서 분석되는 정보로부터 분당회전수의 산출을 위한 기준값을 설정하는 기준값설정부(134)를 포함하여 이루어지는 것이 바람직하다.

이때, 상기 기준값설정부(134)는 수신된 적외선 반사파의 최대값과 최소값을 검출하고, 검출된 최대값과 최소값의 중간값을 기준점으로 기준값을 설정하되, 상기 기준점을 수신된 적외선 반사파가 통과할 때마다 카운트하여 미리 설정된 시간 동안 카운트 된 수치를 블레이드의 개수로 나눔으로써 기준값을 산출하는 것이 바람직하다. 예컨대, 수신된 반사파가 설정된 기준점을 통과할 때마다 카운트하고, 1분 동안 카운트 된 값을 쿨링팬의 브레이드의 수로 나눔으로써 분당회전속도 값을 산출할 수 있다. 여기서, 수신된 적외선 반사파로부터 분당회전속도 값을 산출하는 방법은 공지된 방법을 이용하여 다양하게 구현 가능하다.

한편, 상기 기준값설정부(134)는 분당회전속도를 미리 설정된 횟수만큼 검출할 때마다 한 번씩 기준점을 자동으로 보정하는 것이 바람직하다. 즉, 분당회전속도 값을 2회 검출할 때마다 한 번씩 기준점을 보정하도록 구현할 수 있다.

특히, 본 발명은 분당회전속도 값 산출 결과 미리 설정한 횟수(예컨대, 10회) 동안 연속으로 데이터를 미검출할 경우 이상이 발생한 것으로 간주할 수도 있다.

한편, 상기 경보발생유닛(140)은 제어유닛(130)으로부터 판단되는 쿨링팬(102)의 작동상태가 정상이 아닌 것으로 판단되는 경우 송신되는 신호를 수신하여 경보를 발생할 수 있도록 마련되는 것이 바람직하다.

이러한 경보발생유닛(140)은 상기 제어유닛(130)을 통해 회전속도검출유닛(120)에서 검출된 분당회전속도 값을 수신하고, 수신된 분당회전속도 값을 미리 설정된 기준값과 비교하여 기준값 이하로 낮아지거나, 온도감지유닛(110)에서 감지된 온도값을 수신하고, 수신된 온도값이 미리 설정된 기준온도값과 비교하여 기준온도값 이상으로 상승되는 경우 경보를 발생하도록 하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 경보발생유닛(140)은 제어유닛(130)에서 쿨링팬(102)의 작동상태가 정상이 아닌 것으로 판단되는 경우 경보를 알리도록 적색이 점멸되도록 발광되는 경보램프(142)와, 제어유닛(130)에서 쿨링팬(102)의 작동상태가 정상이 아닌 것으로 판된되는 경우 경보를 알리도록 알람을 발생시키는 경보스피커(144)와, 제어유닛(130)에서 쿨링팬(102)의 작동상태가 정상이 아닌 것으로 판된되는 경우 경보를 알리도록 경보 내용에 표시되는 휴대단말기(146)로 이루어지는 것이 바람직하다. 즉, 상기 경보발생유닛(140)에 의해 소리와 빛을 이용하여 경보를 알려주어, 관리자가 신속하게 비상 상황이 발생 되었음을 인식할 수 있도록 한다.

특히, 상기 제어유닛(130)은 쿨링팬(102)의 작동상태가 정상이 아닌 것으로 판단되는 경우 관리자의 휴대단말기(146)로 경보 내용을 문자메시지로 송출할 수 있도록 통신프로토콜 및 통신포트를 제공하는 무선통신부(136)를 포함하는 것이 바람직하다. 즉, 본 발명은 비상 상황을 관리자의 휴대단말기(146)를 통해 문자메시지로 알려줄 수 있어 관리자는 더욱 신속하게 비상 상황이 발생 되었음을 인식할 수 있다.

또한, 본 발명은 상기 무선통신부(136)를 통해 송출되는 내용을 저장할 수 있는 데이터베이스부(138a)가 구비되고, 상기 데이터베이스부(138a)에 저장되는 내용을 기초로 쿨링팬의 사용 시간을 판독하는 중앙처리부(138b)가 구비되며, 상기 중앙처리부(138b)에 의해 판독되는 쿨링팬의 사용 시간을 관리자가 확인할 수 있도록 표시하는 모니터부(138c)가 구비되는 것이 바람직하다.

따라서, 상기 모니터부(138c)에 표시되는 내용을 관리자가 확인함으로서 쿨링팬의 사용 시간을 확인할 수 있고, 이는 교체되는 쿨링팬의 사용 시간을 예측할 수 있는 자료로 활용할 수 있다.

또한, 이러한 자료는 축적됨에 따라 쿨링팬의 평균 사용 시간을 미리 예측하여 쿨링팬을 교체 후 다음 교체 시기를 미리 예상할 수 있음으로써, 교체 시기에 맞춰 경보가 발생하지 않아도 쿨링팬을 미리 점검할 수 있게 하는 장점을 갖는다.

본 발명에 따르면, 반도체 제조 설비에 구비되는 쿨링팽의 작동 상태를 실시간으로 감지하여 이상 여부를 경보램프와 경보알람 및 휴대단말기를 통해 문자메시지로 알려줌에 의해 과열(화재) 및 설비 내부 발열 문제를 사전에 예방할 수 있고, 부품의 수명을 연장할 수 있다.

이상에서와 같은 기술적 구성에 의해 본 발명의 기술적 과제가 달성되는 것이며, 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나 여기에 한정되지 않고 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능한 것임은 물론이다.

110 - 온도감지유닛 120 - 회전속도검출유닛
130 - 제어유닛 140 - 경보발생유닛

Claims

반도체 제조 설비용 쿨링팬 관리시스템에 있어서,
파워 서플라이(Power Supply)에 장착되어 쿨링팬의 작동상태에 따른 온도를 감지하여 출력하는 온도감지유닛;
쿨링팬에 구비되는 블레이드의 회전속도를 측정하여 블레이드의 분당회전속도 값을 검출하는 회전속도검출유닛;
광케이블을 통해 신호전달이 가능하게 연결되어 상기 회전속도검출유닛에서 검출되는 검출값과 상기 온도감지유닛에서 감지되는 온도값을 수신하고, 수신된 검출값과 온도값을 기설정된 기준값과 비교하여 쿨링팬의 작동상태에 따른 정상 여부를 판단하여 송신하는 제어유닛; 및
상기 제어유닛으로부터 쿨링팬의 작동상태가 정상이 아닌 것으로 판단되는 경우 송신되는 신호를 수신하여 경보를 발생하는 경보발생유닛;을 포함하되,
상기 경보발생유닛은:
빛과 소리를 이용하여 경보를 알려주는 램프와 스피커 및 무선통신을 통하여 문자메시지를 이용하여 경보를 알려주는 휴대단말기로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비용 쿨링팬 관리시스템.
제1항에 있어서,
상기 온도감지유닛은:
NTC 서스미터(Thermistor)로 이루어지고,
상기 회전속도검출유닛은:
전원이 온됨에 따라 블레이드를 향하여 적외선을 발신시키는 적외선 발신부; 및
적외선 발신부에서 발신된 적외선이 블레이드에 반사되는 적외선 반사파를 수신하는 적외선 수신부;로 이루어지며,
상기 제어유닛은:
상기 적외선 수신부를 통해 수신된 적외선 반사파로부터 블레이드의 분당회전수(RPM)를 산출하되,
수신된 적외선 반사파로부터 파형을 분석하는 파형분석부; 및
파형분석부에서 분석되는 정보로부터 분당회전수의 산출을 위한 기준값을 설정하는 기준값설정부;를 포함하되,
상기 기준값설정부는:
수신된 적외선 반사파의 최대값과 최소값을 검출하고, 검출된 최대값과 최소값의 중간값을 기준점으로 기준값을 설정하되,
상기 기준점을 수신된 적외선 반사파가 통과할 때마다 카운트하여 미리 설정된 시간 동안 카운트 된 수치를 블레이드의 개수로 나눔으로써 기준값을 산출하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비용 쿨링팬 관리시스템.
제2항에 있어서,
상기 기준값설정부는:
분당회전속도를 미리 설정된 회수만큼 검출할 때마다 한 번씩 기준점을 자동으로 보정하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비용 쿨링팬 관리시스템.
제1항에 있어서,
상기 제어유닛은:
상기 회전속도검출유닛에서 검출된 분당회전속도 값을 수신하고, 수신된 분당회전속도 값을 미리 설정된 기준값과 비교하여 기준값 이하로 낮아지거나, 상기 온도감지유닛에서 감지된 온도값을 수신하고, 수신된 온도값이 미리 설정된 기준온도값과 비교하여 기준온도값 이상으로 상승되는 경우 상기 경보발생유닛을 통해 경보를 발생하도록 송신하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비용 쿨링팬 관리시스템.
제1항에 있어서,
상기 제어유닛은:
쿨링팬의 작동상태가 정상이 아닌 것으로 판단되는 경우 휴대단말기로 경보 내용을 문자메시지로 송출할 수 있도록 통신프로토콜 및 통신포트를 제공하는 무선통신부;
상기 무선통신부를 통해 송출되는 내용을 저장할 수 있는 데이터베이스부;
상기 데이터베이스부에 저장되는 내용을 기초로 쿨링팬의 사용 시간을 판독하는 중앙처리부; 및
상기 중앙처리부에 의해 판독되는 쿨링팬의 사용 시간을 관리자가 확인할 수 있도록 표시하는 모니터부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비용 쿨링팬 관리시스템.
제1항에 있어서,
상기 경보발생유닛은:
상기 제어유닛에서 쿨링팬의 작동상태가 정상이 아닌 것으로 판단되는 경우 경보를 알리도록 적색이 점멸되도록 발광되는 경보램프;
상기 제어유닛에서 쿨링팬의 작동상태가 정상이 아닌 것으로 판된되는 경우 경보를 알리도록 알람을 발생시키는 경보스피커; 및
상기 제어유닛에서 쿨링팬의 작동상태가 정상이 아닌 것으로 판된되는 경우 경보를 알리도록 경보 내용이 표시되는 휴대단말기;로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비용 쿨링팬 관리시스템.