KR20190052506A - Source Gas Supply Device - Google Patents

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Abstract

The present invention provides a source gas supply device capable of evenly supplying source gas. According to the present invention, the source gas supply device includes: a bubbling container including an accommodation area accommodating a source liquid therein; a storage container including a storage area storing the source liquid supplied to the bubbling container; a container connection pipe connecting the bubbling container and storage container and providing a path in which the source liquid of the storage container is supplied to the bubbling container; a load sensing unit sensing a load of the bubbling container; and a storage container lifting unit vertically lifting the storage container. The storage container lifting unit lifts the storage container by a signal of the load sensing unit so that the bubbling container maintains a water level of the source liquid accommodated in the accommodation area in a setting accommodation range.

Description

소스 가스 공급 장치{Source Gas Supply Device}[0001] The present invention relates to a source gas supply device,

본 발명은 탄화층 코팅을 위하여 사용되는 소스 가스를 공급하는 소스 가스 공급 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a source gas supply apparatus for supplying a source gas used for carbon layer coating.

기판 또는 구조체의 표면에 탄화층을 형성하는 경우에 특정 성분을 포함하는 소스 가스와 메탄 또는 프로필렌과 같은 물질로부터 공급되는 탄소를 결합시켜 탄화층을 형성한다. 또한, 상기 탄화층은 소스 물질과 탄소 물질을 모두 포함하는 소스 액체가 기화되어 공급되는 소스와 탄소가 결합되어 형성될 수 있다. 예를 들면, 탄화규소층(SiC)은 MTS(methyltrichlorosilane: CH3SiCl3)와 같은 소스 액체로부터 기화되어 공급되는 실리콘과 탄소가 결합되어 형성될 수 있다.When a carbonized layer is formed on the surface of a substrate or a structure, a source gas containing a specific component is combined with carbon supplied from a material such as methane or propylene to form a carbonized layer. In addition, the carbonized layer may be formed by combining carbon with a source to which a source liquid containing both a source material and a carbon material is vaporized and supplied. For example, the silicon carbide layer (SiC) may be formed by combining carbon with silicon vaporized and supplied from a source liquid such as MTS (methyltrichlorosilane: CH 3 SiCl 3 ).

상기 소스 가스는 일반적으로 소스 액체가 기화되어 형성되며, 캐리어 가스와 함께 공급된다. 상기 소스 가스 공급 장치는 기화기에 공급된 소스 액체내에 캐리어 가스를 공급하여 버블링시키면서 가스 소스를 형성하고 캐리어 가스와 함께 외부로 공급한다. 상기 소스 가스 공급 장치는 일반적으로 공정 초기에 일정량의 소스 액체를 공급하고 정해진 하한 설정치가 될 때까지 추가적인 공급을 하지 않는다. 상기 소스 가스 공급 장치는 기화기내에 공급된 소스 액체가 점진적으로 소진되면서 기화기 내의 소스 액체의 양이 감소되고 캐리어 가스와 버블링되는 소스 가스의 양도 감소될 수 있다. 따라서, 상기 소스 가스 공급 장치는 소스 액체의 양이 변화됨에 따라 기화되는 소스 가스의 양이 변화되므로 소스 가스를 균일하게 공급하는 것이 어려운 측면이 있다.The source gas is typically formed by vaporizing the source liquid and is supplied with the carrier gas. The source gas supply device forms a gas source while bubbling the carrier gas into the source liquid supplied to the vaporizer, and supplies the gas source together with the carrier gas. The source gas supply device generally supplies a certain amount of the source liquid at the beginning of the process and does not supply additional supply until it reaches a predetermined lower limit set value. The source gas supply apparatus can reduce the amount of the source liquid in the vaporizer and the amount of the source gas bubbled with the carrier gas to be reduced as the source liquid supplied in the vaporizer gradually expires. Therefore, it is difficult to uniformly supply the source gas because the amount of the source gas to be vaporized varies as the amount of the source liquid is changed.

본 발명은 소스 가스를 균일하게 공급할 수 있는 소스 가스 공급 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.It is an object of the present invention to provide a source gas supply device capable of uniformly supplying a source gas.

본 발명의 소스 가스 공급 장치는 내부에 소스 액체가 수용되는 수용 영역을 구비하는 버블링 용기와, 상기 버블링 용기로 공급되는 상기 소스 액체를 저장하는 저장 영역을 구비하는 저장 용기와, 상기 버블링 용기와 저장 용기를 연결하여 상기 저장 용기의 액체 소수가 상기 버블링 용기로 공급되는 경로를 제공하는 용기 연결관과, 상기 버블링 용기의 하중을 감지하는 하중 감지 수단 및 상기 저장 용기를 상하로 승강시키는 저장 용기 승강 수단을 포함하며, 상기 버블링 용기는 수용 영역에 수용되는 소스 액체의 수위가 설정 수용 범위를 유지하도록 상기 하중 감지 수단의 신호에 의하여 상기 저장 용기 승강 수단이 상기 저장 용기를 상승시키는 것을 특징으로 한다.The source gas supply apparatus of the present invention comprises a bubbling vessel having a receiving region in which a source liquid is received, a storage vessel having a storage region for storing the source liquid supplied to the bubbling vessel, A container connecting tube connecting the container and the storage container to provide a path through which a small amount of liquid in the storage container is supplied to the bubbling container; a load sensing means for sensing a load of the bubbling container; Wherein the bubbling vessel is configured to raise the storage vessel by the signal of the load sensing means so that the level of the source liquid accommodated in the receiving region is maintained in the set acceptance range .

또한, 상기 버블링 용기는 캐리어 가스 유입구와 혼합 가스 유출구를 구비하며, 상기 캐리어 가스 유입구를 관통하여 상기 버블링 용기에 수용된 소스 액체의 하부까지 연장되는 캐리어 가스 유입관 및 상기 혼합 가스 유출구에 결합되어 상기 혼합 가스를 외부로 유출시키는 혼합 가스 유출관을 더 포함할 수 있다.The bubbling vessel may further include a carrier gas inlet pipe extending through the carrier gas inlet and extending to a lower portion of the source liquid contained in the bubbling vessel, and a carrier gas inlet pipe coupled to the mixture gas outlet, And a mixed gas discharge pipe for discharging the mixed gas to the outside.

또한, 상기 버블링 용기는 수용 영역의 하부에 위치하는 소스 액체 유입구를 구비하고, 상기 저장 용기는 저장 영역의 하부에 위치하는 소스 액체 유출구를 구비하며, 상기 용기 연결관은 플렉서블한 튜브로 형성되어 상기 소스 액체 유입구와 상기 소스 액체 유출구 사이에 결합될 수 있다.Also, the bubbling vessel has a source liquid inlet located at the bottom of the receiving area, the storage vessel having a source liquid outlet located below the storage area, the vessel connector tube being formed of a flexible tube And may be coupled between the source liquid inlet and the source liquid outlet.

또한, 상기 소스 액체는 중력에 의하여 상기 저장 용기로부터 상기 버블링 용기로 공급될 수 있다.Further, the source liquid may be supplied from the storage vessel to the bubbling vessel by gravity.

또한, 상기 용기 연결관은 벨로우즈관 또는 주름관으로 형성될 수 있다.In addition, the container connecting pipe may be formed of a bellows pipe or a corrugated pipe.

또한, 상기 버블링 용기는 수용 영역에 수용되는 소스 액체를 가열하는 버블링 용기 가열 수단을 더 포함하며, 상기 저장 용기는 항온 수조 또는 냉각 탱크로 형성될 수 있다.The bubbling vessel may further include bubbling vessel heating means for heating the source liquid contained in the receiving region, and the storage vessel may be formed of a constant temperature water bath or a cooling tank.

또한, 상기 저장 용기는 하부에 하부 소스 액체 레벨 센서를 구비하며, 상기 하부 소스 액체 레벨 센서는 상기 저장 용기의 소스 액체의 수위가 최소 수위에 오면 신호를 발생시켜 상기 저장 용기 승강 수단이 상기 저장 용기를 하강시키도록 형성될 수 있다.The lower source liquid level sensor may generate a signal when the level of the source liquid of the storage container reaches a minimum level so that the storage container lifting / As shown in FIG.

또한, 상기 하부 소스 액체 레벨 센서는 비접촉식 센서일 수 있다.Further, the lower source liquid level sensor may be a non-contact type sensor.

본 발명의 소스 가스 공급 장치는 소스 액체가 기화하는 기화 용기에 소스 액체의 양을 일정하게 유지하므로 소스 가스를 균일하게 공급하는 효과가 있다.The source gas supply apparatus of the present invention has the effect of uniformly supplying the source gas by keeping the amount of the source liquid constant in the vaporization vessel in which the source liquid vaporizes.

또한, 본 발명의 소스 가스 공급 장치는 기화 용기에서 기화하는 소스 액체의 양에 대응되는 양을 실시간으로 기화 용기로 공급하므로 기화 용기의 소스 액체의 양을 일정하게 유지하는 효과가 있다. Further, the source gas supply apparatus of the present invention has an effect of keeping the amount of the source liquid in the vaporization vessel constant by supplying, in real time, an amount corresponding to the amount of the source liquid vaporized in the vaporization vessel.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 소스 가스 공급 장치의 구성도이다.
도 2 내지 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 소스 가스 공급 장치의 작용을 나타내는 구성도이다.1 is a configuration diagram of a source gas supply apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 to 4 are block diagrams showing the operation of the source gas supply apparatus according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 따른 소스 가스 공급 장치에 대하여 설명한다.Hereinafter, a source gas supply apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

먼저, 본 발명의 일 실시예에 따른 소스 가스 공급 장치에 대하여 설명한다.First, a source gas supply apparatus according to an embodiment of the present invention will be described.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 소스 가스 공급 장치의 구성도이다.1 is a configuration diagram of a source gas supply apparatus according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 일 실시예에 따른 소스 가스 공급 장치(100)는, 도 1을 참조하면, 버블링 용기(110)와 저장 용기(120)와 용기 연결관(130)과 캐리어 가스 유입관(140)과 혼합 가스 유출관(150)과 하중 감지 수단(160) 및 저장 용기 승강 수단(170)을 포함하여 형성될 수 있다.1, a source gas supply apparatus 100 according to an embodiment of the present invention includes a bubbling vessel 110, a storage vessel 120, a vessel connecting pipe 130, a carrier gas inlet pipe 140, The mixed gas outflow pipe 150, the load sensing means 160, and the storage vessel raising and lowering means 170.

상기 소스 가스 공급 장치(100)는 버블링 용기(110)에 수용된 소스 액체에 캐리어 가스를 공급하여 소스 액체를 버블링시켜 소스 가스를 생성하고, 캐리어 가스와 소스 가스가 혼합된 혼합 가스를 외부로 공급한다. 상기 소스 액체는 MTS(methyltrichlorosilane: CH3SiCl3)와 같은 소스 액체가 사용될 수 있다. 상기 소스 가스 공급 장치(100)는 버블링 용기(110)의 소스 액체가 버블링되면서 수위가 낮아질 때(즉, 소스 액체의 양이 감소할 때), 저장 용기(120)가 상승하면서 소스 액체를 버블링 용기(110)로 지속적으로 공급한다. 상기 소스 가스 공급 장치(100)는 하중 감지 수단(160)이 버블링 용기(110)의 하중을 감지하고, 하중이 감소하는 경우에 저장 용기 승강 수단(170)을 작동시켜 저장 용기(120)를 상승시키면서 용기 연결관(130)을 통하여 소스 액체를 버블링 용기(110)로 공급한다. 따라서, 상기 소스 가스 공급 장치(100)는 버블링 용기(110)에서 버블링되는 소스 액체를 일정한 수위로 유지시킴으로써 소스 가스를 일정하게 기화시킬 수 있다.The source gas supplying apparatus 100 supplies a carrier gas to the source liquid contained in the bubbling vessel 110 to bubble the source liquid to generate a source gas, and mixes the mixed gas of the carrier gas and the source gas to the outside Supply. The source liquid may be a source liquid such as MTS (methyltrichlorosilane: CH 3 SiCl 3 ). The source gas supply apparatus 100 is configured such that when the liquid level of the source liquid of the bubbling vessel 110 is lowered (that is, when the amount of the source liquid is decreased) And continuously supplied to the bubbling vessel 110. The source gas supplying device 100 detects the load of the bubbling container 110 by the load sensing means 160 and activates the storage container elevating means 170 when the load decreases, And supplies the source liquid to the bubbling vessel 110 through the vessel connection pipe 130 while raising it. Accordingly, the source gas supply apparatus 100 can constantly vaporize the source gas by keeping the source liquid bubbled in the bubbling vessel 110 at a constant water level.

상기 버블링 용기(110)는 내부에 소스 액체가 수용되는 수용 영역(110a)을 구비하는 용기로 형성될 수 있다. 상기 버블링 용기(110)는 내부가 중공인 통 형상으로 형성될 수 있다. 상기 버블링 용기(110)는 원통 또는 사각통, 오각통, 육각통과 같은 다각통으로 형성될 수 있다. 상기 수용 영역(110a)은 수용되는 소스 액체가 외부로 유출되지 않도록 밀폐될 수 있다. 상기 버블링 용기(110)는 필요로 하는 소스 액체의 양에 따라, 수용 영역(110a)이 적정한 부피를 갖도록 형성될 수 있다.The bubbling vessel 110 may be formed as a vessel having a receiving area 110a in which a source liquid is received. The bubbling vessel 110 may be formed in a hollow cylindrical shape. The bubbling vessel 110 may be formed of a polygonal tube such as a cylinder or a rectangular tube, a pentagonal tube, or a hexagonal tube. The receiving area 110a may be sealed so that the received source liquid does not flow out. The bubbling vessel 110 may be formed so that the receiving area 110a has an appropriate volume, depending on the amount of the source liquid required.

상기 버블링 용기(110)는 캐리어 가스 유입구(111)와 혼합 가스 유출구(112) 및 소스 액체 유입구(113)를 포함할 수 있다. 또한, 상기 버블링 용기(110)는 버블링 용기 가열 수단(114)을 더 포함할 수 있다.The bubbling vessel 110 may include a carrier gas inlet 111, a mixed gas outlet 112, and a source liquid inlet 113. In addition, the bubbling vessel 110 may further include a bubbling vessel heating means 114.

상기 캐리어 가스 유입구(111)는 캐리어 가스가 수용 영역(110a)으로 유입되는 홀이며, 버블링 용기(110)의 상면 또는 측면을 관통하여 형성될 수 있다. 상기 캐리어 가스 유입관(140)은 캐리어 가스 유입관(140)이 연결될 수 있다. 상기 캐리어 가스 유입구(111)는 버블링 용기(110)의 상면에서 타측 모서리 또는 타측변에 인접하여 형성될 수 있다. 또한, 상기 캐리어 가스 유입구(111)는 타측면의 하부에 형성될 수 있다.The carrier gas inlet 111 is a hole into which the carrier gas flows into the receiving area 110a and may be formed through the upper surface or the side surface of the bubbling vessel 110. [ The carrier gas inlet pipe 140 may be connected to the carrier gas inlet pipe 140. The carrier gas inlet 111 may be formed adjacent to the other edge or the other side of the upper surface of the bubbling vessel 110. In addition, the carrier gas inlet 111 may be formed at a lower portion of the other side.

상기 혼합 가스 유출구(112)는 소스 가스와 캐리어 가스가 혼합된 혼합 가스가 수용 영역(110a)으로부터 외부로 유출되는 홀이며, 버블링 용기(110)의 상면을 관통하여 형성될 수 있다. 상기 혼합 가스 유출구(112)는 버블링 용기(110)의 상면에서 일측 모서리 또는 일측변에 인접하여 형성될 수 있다. 상기 혼합 가스 유출구(112)는 바람직하게는 캐리어 가스 유입구(111)와 먼 위치에 형성될 수 있다. 상기 혼합 가스 유출구(112)가 캐리어 가스 유입구(111)와 인접한 위치에 형성되는 경우에 캐리어 가스가 혼합 가스로 유출구로 유출되는데 소요되는 시간이 짧게 되며, 캐리어 가스가 소스 액체와 충분히 접촉하지 못할 수 있다. 상기 혼합 가스 유출구(112)에는 혼합 가스 유출관(150)이 연결될 수 있다.The mixed gas outlet 112 is a hole through which the mixed gas in which the source gas and the carrier gas are mixed flows out from the receiving area 110a and may be formed through the upper surface of the bubbling vessel 110. The mixed gas outlet 112 may be formed adjacent to one side edge or one side of the upper surface of the bubbling vessel 110. The mixed gas outlet 112 is preferably formed at a position distant from the carrier gas inlet 111. When the mixed gas outflow port 112 is formed at a position adjacent to the carrier gas inlet 111, the time required for the carrier gas to flow out of the outflow port as a mixed gas is shortened, and the carrier gas may not sufficiently contact the source liquid have. The mixed gas outflow pipe 112 may be connected to the mixed gas outflow pipe 150.

상기 소스 액체 유입구(113)는 소스 액체가 수용 영역(110a)으로 유입되는 홀이며, 버블링 용기(110)의 일측면 하부 또는 중간 높이에서 측면을 관통하여 형성될 수 있다. 상기 소스 액체 유입구(113)는 용기 연결관(130)이 연결될 수 있다.The source liquid inlet 113 is a hole into which the source liquid flows into the receiving area 110a and may be formed through the side surface at one side lower or middle height of the bubbling vessel 110. [ The source liquid inlet 113 may be connected to the container connecting tube 130.

상기 버블링 용기 가열 수단(114)은 열선을 포함하여 형성될 수 있다. 상기 버블링 용기 가열 수단(114)은 버블링 용기(110) 내부 또는 외부에 위치할 수 있다. 상기 버블링 용기 가열 수단(114)은 버블링 용기(110)를 가열하여 수용 영역(110a)에 수용되는 액체 소를 가열하여 소스 액체의 기화를 용이하게 할 수 있다.The bubbling vessel heating means 114 may be formed to include a heating wire. The bubbling vessel heating means 114 may be located inside or outside the bubbling vessel 110. The bubbling vessel heating means 114 may heat the bubbling vessel 110 to heat the liquid contained in the receiving region 110a to facilitate vaporization of the source liquid.

상기 버블링 용기(110)는 내부의 수용 공간에 소스 액체를 수용한다. 상기 버블링 용기(110)는 수용 공간의 일정 높이에 수용 수위(110b)가 설정될 수 있다. 상기 버블링 용기(110)는 바람직하게는 수용 수위(110b)를 기준으로 소스 액체를 수용함으로써, 일정 범위내로 소스 액체를 수용할 수 있다. 예를 들면, 상기 버블링 용기(110)는 수용 수위(110b)까지 수용되는 소스 액체의 중량을 기준으로 ±1wt%, 5wt% 또는 10wt%와 같은 범위로 설정되는 설정 수용 범위 내에서 일정하게 수용할 수 있다. 상기 버블링 용기(110)는 캐리어 가스가 일정한 높이의 소스 액체 내부를 상승하면서 소스 액체와 접촉되도록 한다. 따라서, 상기 버블링 용기(110)는 캐리어 가스가 소스 액체와 일정하게 접촉되면서 소스 액체를 일정하게 기화시키도록 할 수 있다.The bubbling vessel 110 accommodates the source liquid in an internal accommodation space. The bubbling vessel 110 may have a water level 110b at a certain height of the receiving space. The bubbling vessel 110 is preferably capable of receiving the source liquid within a certain range by receiving the source liquid with respect to the water level 110b. For example, the bubbling vessel 110 may be configured to receive water within a set acceptable range, such as ± 1 wt%, 5 wt%, or 10 wt%, based on the weight of the source liquid received up to the water level 110b can do. The bubbling vessel 110 allows the carrier gas to come into contact with the source liquid as it rises inside the source liquid at a constant height. Thus, the bubbling vessel 110 can constantly vaporize the source liquid with the carrier gas being in constant contact with the source liquid.

상기 저장 용기(120)는 내부에 소스 액체가 저장되는 저장 영역(120a)을 구비하는 용기로 형성될 수 있다. 상기 저장 용기(120)는 내부가 중공인 통 형상으로 형성될 수 있다. 상기 저장 용기(120)는 원통 또는 사각통, 오각통, 육각통과 같은 다각통으로 형성될 수 있다. 상기 저장 영역(120a)은 저장되는 소스 액체가 외부로 유출되지 않도록 밀폐될 수 있다. 상기 저장 용기(120)는 필요로 하는 소스 액체의 양에 따라, 저장 영역(120a)이 적정한 부피를 갖도록 형성될 수 있다. 상기 저장 용기(120)는 버블링 용기(110)와 분리되어 형성되며, 버블링 용기(110)와 인접하여 형성될 수 있다. 상기 저장 용기(120)는 내부에 저장된 소스 액체를 용기 연결관(130)을 통하여 버블링 용기(110)로 공급한다. The storage container 120 may be formed as a container having a storage area 120a in which a source liquid is stored. The storage container 120 may have a hollow cylindrical shape. The storage container 120 may be formed of a polygonal tube such as a cylinder or a rectangular tube, a pentagonal tube, or a hexagonal tube. The storage region 120a may be sealed so that the stored source liquid does not flow out. The storage container 120 may be formed so that the storage area 120a has an appropriate volume, depending on the amount of the source liquid required. The storage container 120 may be formed separately from the bubbling container 110 and may be formed adjacent to the bubbling container 110. The storage container 120 supplies the source liquid stored therein to the bubbling container 110 through the container connection pipe 130.

상기 저장 용기(120)는 소스 액체 유출구(121) 및 하부 소스 액체 레벨 센서(122)를 포함할 수 있다. 상기 저장 용기(120)는 상부 소스 액체 레벨 센서(123)를 더 포함할 수 있다.The storage vessel 120 may include a source liquid outlet 121 and a lower source liquid level sensor 122. The storage container 120 may further include an upper source liquid level sensor 123.

상기 소스 액체 유출구(121)는 소스 액체가 저장 영역(120a)으로부터 유출되는 홀이며, 저장 용기(120)의 타측면 하부에서 측면을 관통하여 형성될 수 있다. 상기 소스 액체 유출구(121)는 용기 연결관(130)이 연결될 수 있다.The source liquid outlet 121 is a hole through which the source liquid flows out from the storage region 120a and may be formed through the side surface at the other side lower portion of the storage container 120. [ The source liquid outlet 121 may be connected to the container connection pipe 130.

상기 하부 소스 액체 레벨 센서(122)는 저장 용기(120)의 하부에서 소정 높이에 설정되는 최소 수위(120b)에 위치할 수 있다. 상기 최소 수위(120b)는 저장 용기(120)에 저장되는 액상 소스의 최소 높이에 대응되는 위치로 설정될 수 있다. 상기 하부 소스 액체 레벨 센서(122)는 액체의 레벨을 감지하는 다양한 센서로 형성될 수 있다. 상기 하부 소스 액체 레벨 센서(122)는 초음파 센서, 원적외선 센서, 레이저 센서와 같은 비접촉식 센서로 형성될 수 있다. 상기 저장 용기에 저장되는 소스 액체는 종류에 따라 부식성이 있으므로, 하부 소스 액체 레벨 센서는 소스 액체와 비접촉하는 것이 바람직하다. 상기 하부 소스 액체 레벨 센서(122)는 저장 용기(120)의 저장 영역(120a)에 저장된 소스 액체의 수위가 최소 수위(120b)에 도달하면 신호를 발신할 수 있다. 상기 하부 소스 액체 레벨 센서(122)에서 발신되는 신호는 별도의 표시부로 전송되어 저장 용기(120)의 내부에 소스 액체가 공급되어야 됨을 표시할 수 있다. 또한, 상기 하부 소스 액체 레벨 센서(122)는 별도의 소스 액체 공급 장치(미도시)와 연결되며, 신호를 발신하여 소스 액체가 저장 영역(120a)으로 공급되도록 할 수 있다.The lower source liquid level sensor 122 may be located at a minimum water level 120b set at a predetermined height below the storage container 120. [ The minimum level 120b may be set to a position corresponding to the minimum height of the liquid source stored in the storage container 120. [ The lower source liquid level sensor 122 may be formed of various sensors that sense the level of the liquid. The lower source liquid level sensor 122 may be formed of a non-contact type sensor such as an ultrasonic sensor, a far-infrared ray sensor, or a laser sensor. Since the source liquid stored in the storage container is corrosive depending on the kind, it is preferable that the lower source liquid level sensor is not in contact with the source liquid. The lower source liquid level sensor 122 may emit a signal when the level of the source liquid stored in the storage area 120a of the storage container 120 reaches the minimum water level 120b. The signal from the lower source liquid level sensor 122 may be transmitted to a separate display to indicate that the source liquid should be supplied to the interior of the storage vessel 120. In addition, the lower source liquid level sensor 122 is connected to a separate source liquid supply device (not shown), and can send out a signal to cause the source liquid to be supplied to the storage region 120a.

상기 상부 소스 액체 레벨 센서(123)는 저장 용기(120)의 상부에서 소정 높이에 설정되는 최대 수위(120c)에 위치할 수 있다. 상기 최대 수위(120c)는 저장 용기(120)에 저장되는 액상 소스의 최대 높이의 위치로 설정될 수 있다. 상기 상부 소스 액체 레벨 센서(123)는 액체의 레벨을 감지하는 다양한 센서로 형성될 수 있다. 상기 상부 소스 액체 레벨 센서(123)는 초음파 센서, 원적외선 센서, 레이저 센서와 같은 비접촉식 센서로 형성될 수 있다. 상기 상부 소스 액체 레벨 센서(123)는 저장 용기(120)의 저장 영역(120a)으로 공급되는 소스 액체의 수위가 최대 수위(120c)에 도달하면 신호를 발신할 수 있다. 상기 상부 소스 액체 레벨 센서(123)에서 발신되는 신호는 별도의 표시부로 전송되어 저장 용기(120)의 내부로 소스 액체가 공급되는 것을 중단해야 함을 표시할 수 있다. 또한, 상기 하부 소스 액체 레벨 센서(122)는 별도의 소스 액체 공급 장치(미도시)와 연결되며, 신호를 발신하여 소스 액체의 공급이 중단되도록 할 수 있다.The upper source liquid level sensor 123 may be located at a maximum water level 120c set at a predetermined height above the storage container 120. [ The maximum water level 120c may be set to a position of the maximum height of the liquid source stored in the storage container 120. [ The upper source liquid level sensor 123 may be formed of various sensors for sensing the level of the liquid. The upper source liquid level sensor 123 may be formed of a non-contact type sensor such as an ultrasonic sensor, a far-infrared ray sensor, or a laser sensor. The upper source liquid level sensor 123 can emit a signal when the level of the source liquid supplied to the storage region 120a of the storage container 120 reaches the maximum water level 120c. The signal from the upper source liquid level sensor 123 may be transmitted to a separate display to indicate that the supply of the source liquid to the interior of the storage container 120 should be stopped. Further, the lower source liquid level sensor 122 is connected to a separate source liquid supply device (not shown), and can send a signal to stop supplying the source liquid.

상기 저장 용기(120)는 내부의 저장 영역(120a)에 소스 액체를 저장하며, 저장 용기 승강 수단(170)에 의하여 상승하면서 소스 액체 유출구(121)를 통하여 버블링 용기(110)로 소스 액체를 공급한다. 상기 저장 용기(120)는 상부로 상승하면서 버블링 용기(110)보다 위치가 높아지면서 중력에 의하여 소스 액체를 버블링 용기(110)로 공급한다. 상기 저장 용기(120)는 중력에 의하여 소스 액체를 버블링 용기(110)로 공급하므로, 저장된 소스 액체의 수위가 버블링 용기(110)의 소스 액체의 수위가 같아질 때까지 소스 액체를 공급할 수 있다.The storage vessel 120 stores the source liquid in the internal storage area 120a and the source liquid is supplied to the bubbling vessel 110 through the source liquid outlet 121 by the storage vessel lifting means 170, Supply. The storage container 120 is raised upward and is positioned higher than the bubbling container 110, and supplies the source liquid to the bubbling container 110 by gravity. The storage vessel 120 supplies the source liquid to the bubbling vessel 110 by gravity so that the level of the stored source liquid can be supplied to the bubbling vessel 110 until the source liquid level of the bubbling vessel 110 becomes equal have.

상기 저장 용기(120)는 항온 수조 또는 냉각 탱크로 형성되며, 저장 영역(120a)에 저장되는 소스 액체를 냉각 상태로 저장할 수 있다. 상기 저장 용기(120)는 소스 액체가 기화되지 않는 온도로 냉각된 상태를 유지하므로 액체 소소가 기화되지 않는다. 상기 소스 액체는 온도가 높으면 기화될 수 있으므로 온도를 낮추어 기화를 방지하는 것이 필요하다. 상기 저장 용기(120)는 구체적으로 도시하지 않았지만 냉각 수단을 구비하여 형성될 수 있다. 예를 들면, 상기 냉각 수단은 저장 영역(120a)을 감싸며 내부에 냉각수 또는 액체 질소와 같은 냉매가 흐르는 냉각관을 구비할 수 있다. 또한, 상기 냉각 수단은 저장 영역(120a)에 위치하는 별도의 칠러(chiller)를 구비할 수 있다. 상기 저장 용기(120)는 바람직하게는 -50 ~ 20℃의 온도로 유지될 수 있다.The storage container 120 is formed of a constant temperature water tank or a cooling tank, and can store the source liquid stored in the storage area 120a in a cooled state. The storage vessel 120 remains cooled to a temperature at which the source liquid is not vaporized, so that the liquid source is not vaporized. Since the source liquid can be vaporized at a high temperature, it is necessary to lower the temperature to prevent vaporization. The storage container 120 may be formed with cooling means not shown in detail. For example, the cooling means may include a cooling pipe surrounding the storage region 120a and through which a cooling medium such as cooling water or liquid nitrogen flows. In addition, the cooling means may have a separate chiller located in the storage region 120a. The storage container 120 may preferably be maintained at a temperature of -50 to 20 ° C.

상기 용기 연결관(130)은 플렉서블한 튜브로 형성되며, 스테인레스 스틸 또는 알루미늄과 같은 금속 재질의 벨로우즈관 또는 금속 또는 수지 재질의 주름관으로 형성될 수 있다. 상기 용기 연결관(130)은 일측이 버블링 용기(110)의 소스 액체 유입구(113)와 연결되고 타측이 저장 용기(120)의 소스 액체 유출구(121)와 연결된다. 즉, 상기 용기 연결관(130)은 버블링 용기(110)와 저장 용기(120)를 연결하여 저장 용기(120)의 액체 소수가 버블링 용기(110)로 공급되는 경로를 제공한다. 상기 용기 연결관(130)은 플렉서블한 튜브로 형성되므로 저장 용기(120)가 버블링 용기(110)에 대하여 상승하는 경우에 변형되면서 저장 용기(120)와 버블링 용기(110)를 연결한다. 즉, 상기 용기 연결관(130)은 저장 용기(120)가 상승하면서 소스 액체 유출구(121)와 소스 액체 유입구(113) 사이의 거리가 증가되는 경우에도 변형되면서 소스 액체 유출구(121)와 소스 액체 유입구(113)를 연결한다. The container connecting pipe 130 is formed of a flexible tube, and may be formed of a bellows pipe made of metal such as stainless steel or aluminum, or a corrugated pipe made of metal or resin. One side of the vessel connection pipe 130 is connected to the source liquid inlet 113 of the bubbling vessel 110 and the other side thereof is connected to the source liquid outlet 121 of the storage vessel 120. That is, the container connection pipe 130 connects the bubbling container 110 and the storage container 120 to provide a path through which the liquid water in the storage container 120 is supplied to the bubbling container 110. The container connecting tube 130 is formed of a flexible tube so that the storage container 120 is connected to the bubbling container 110 while being deformed when the storage container 120 is lifted relative to the bubbling container 110. That is, the container connecting tube 130 is deformed even when the distance between the source liquid outlet 121 and the source liquid inlet 113 is increased while the storage container 120 is lifted and the source liquid outlet 121 and the source liquid Connect the inlet 113.

상기 용기 연결관(130)은 저장 용기(120)에 저장된 소스 액체를 버블링 용기(110)의 수용 영역(110a)으로 공급한다. 상기 소스 액체는 중력에 의하여 저장 용기(120)로부터 버블링 용기(110)로 공급되므로, 용기 연결관(130)은 저장 용기(120)의 소스 액체의 수위와 버블링 용기(110)의 소스 액체의 수위가 동일하게 될 때까지 소스 액체가 공급되도록 한다. 상기 용기 연결관(130)은 일측, 타측 또는 중간에 소스 액체의 흐름을 차단하는 밸브(미도시)를 구비할 수 있다.The container connecting pipe 130 supplies the source liquid stored in the storage container 120 to the receiving area 110a of the bubbling container 110. [ The source liquid is supplied from the storage vessel 120 to the bubbling vessel 110 by gravity so that the vessel connecting tube 130 is connected to the liquid level of the source liquid of the storage vessel 120 and the source liquid of the bubbling vessel 110 So that the source liquid is supplied until the level of the liquid is equal. The container connecting pipe 130 may include a valve (not shown) for blocking the flow of the source liquid on one side, the other side, or the middle.

상기 캐리어 가스 유입관(140)은 내부가 중공인 튜브로 형성되며, 캐리어 가스 유입구(111)를 통하여 버블링 용기(110)와 결합된다. 상기 캐리어 가스 유입관(140)은 캐리어 가스 유입구(111)의 위치에 따라 버블링 용기(110)의 상면에서 타측 모서리 또는 타측변 또는 타측면의 하부에서 버블링 용기(110)와 결합될 수 있다. 상기 캐리어 가스 유입관(140)은 일측단이 버블링 용기(110)의 수용 영역(110a)의 하부에 위치하도록 버블링 용기(110)의 내부로 연장된다. 상기 캐리어 가스 유입관(140)은 외부로부터 공급되는 캐리어 가스를 수용 영역(110a)의 소스 액체로 공급한다. 상기 캐리어 가스 유입관(140)은 수용 영역(110a)의 하부로 연장되므로 수용 영역(110a)에 수용된 소스 액체의 하부로 캐리어 가스를 공급한다.The carrier gas inlet pipe 140 is formed of a hollow hollow tube and is coupled to the bubbling vessel 110 through a carrier gas inlet 111. The carrier gas inlet pipe 140 may be coupled to the bubbling vessel 110 at the other edge or the other side or the other side of the upper surface of the bubbling vessel 110 depending on the position of the carrier gas inlet 111 . The carrier gas inlet pipe 140 extends into the interior of the bubbling container 110 such that one end of the carrier gas inlet pipe 140 is positioned below the receiving area 110a of the bubbling container 110. [ The carrier gas inlet pipe 140 supplies the carrier gas supplied from the outside to the source liquid in the receiving area 110a. The carrier gas inlet pipe 140 extends to a lower portion of the receiving area 110a, and thus supplies the carrier gas to the lower portion of the source liquid accommodated in the receiving area 110a.

상기 혼합 가스 유출관(150)은 내부가 중공인 튜브로 형성되며, 혼합 가스 유출구(112)를 통하여 버블링 용기(110)와 결합된다. 상기 혼합 가스 유출관(150)은 혼합 가스 유출구(112)의 위치에 따라 버블링 용기(110)의 상면에서 일측 모서리 또는 일측변에서 버블링 용기(110)와 결합될 수 있다. 상기 혼합 가스 유출관(150)은 일측단이 버블링 용기(110)의 상면 또는 상면의 내부의 소정 높이로 연장된다. 상기 혼합 가스 유출관(150)은 액체 가스의 내부로 연장되지 않는다. 상기 혼합 가스 유출관(150)은 소스 액체가 기화되어 형성되는 소스 가스와 캐리어 가스가 혼합된 혼합 가스를 외부로 유출한다.The mixed gas outflow pipe 150 is formed of a hollow hollow tube and is connected to the bubbling vessel 110 through a mixed gas outlet 112. The mixed gas outflow pipe 150 may be coupled to the bubbling vessel 110 at one corner or one side of the upper surface of the bubbling vessel 110 depending on the position of the mixed gas outlet 112. The mixed gas outlet pipe 150 has one end extending to a predetermined height inside the upper surface or the upper surface of the bubbling vessel 110. The mixed gas outflow pipe 150 does not extend into the interior of the liquid gas. The mixed gas outflow pipe 150 discharges the mixed gas in which the source gas and the carrier gas, which are formed by vaporization of the source liquid, are mixed.

상기 하중 감지 수단(160)은 중량 측정 센서 또는 저울과 같이 하중을 측정할 수 있는 수단을 포함한다. 상기 하중 감지 수단(160)은 버블링 용기(110)의 하부에 결합되며, 소스 액체의 중량을 감지한다. 예를 들면, 상기 하중 감지 수단(160)은 소스 액체의 기화에 따른 소스 액체의 중량 변화를 감지하며 소스 액체의 중량이 설정 수용 범위를 벗어나는 경우에 별도의 신호를 발신할 수 있다. 상기 신호는 소스 가스 공급 장치(100)의 제어부 또는 저장 용기 승강 수단(170)으로 전송될 수 있다. 상기 하중 감지 수단(160)은 신호를 발신함으로써 소스 액체가 버블링 용기(110)의 수용 영역(110a)으로 공급되도록 한다. 상기 하중 감지 수단(160)은 버블링 용기(110)의 수용 영역(110a)에 수용되는 액체 가스가 설정된 수용 수위(110b)를 유지하도록 한다.The load sensing means 160 includes means for measuring a load such as a gravimetric sensor or a balance. The load sensing means 160 is coupled to the bottom of the bubbling vessel 110 and senses the weight of the source liquid. For example, the load sensing means 160 senses a change in weight of the source liquid due to vaporization of the source liquid, and can transmit a separate signal when the weight of the source liquid is out of the set acceptance range. The signal may be transmitted to the control section of the source gas supply apparatus 100 or the storage vessel lifting means 170. The load sensing means 160 emits a signal to cause the source liquid to be supplied to the receiving region 110a of the bubbling vessel 110. The load sensing means 160 allows the liquid gas contained in the receiving region 110a of the bubbling vessel 110 to maintain the set water level 110b.

상기 저장 용기 승강 수단(170)은 체인 또는 벨트와 모터로 구성되는 이송 수단 또는 볼스크류와 서보모터로 구성되는 이송 수단을 포함하여 형성된다. 상기 저장 용기 승강 수단(170)은 저장 용기(120)의 상부에서 저장 용기(120)의 상부에 결합된다. 상기 저장 용기 승강 수단(170)은 저장 용기(120)의 하부에서 저장 용기(120)의 하부에 결합될 수 있다. 상기 저장 용기 승강 수단(170)은 하중 감지 수단(160) 또는 별도의 제어부를 통하여 신호를 수신하고 저장 용기(120)를 상승시킬 수 있다. 상기 저장 용기 승강 수단(170)은 저장 용기(120)를 연속적으로 또는 단계적으로 상승시킬 수 있다. 상기 저장 용기 승강 수단(170)은 하부 소스 액체 레벨 선서 또는 제어부의 신호를 수신하고 저장 용기(120)를 하강시킬 수 있다. 상기 저장 용기 승강 수단(170)은 저장 용기(120)를 상승시켜 저장 용기(120)의 소스 액체를 버블링 용기(110)로 공급한다. 상기 저장 용기 승강 수단(170)은 버블링 용기(110)의 수용 수위(110b)까지 소스 액체가 공급되도록 한다. 상기 저장 용기 승강 수단(170)은 저장 용기(120)에 소스 액체의 수위가 최소 수위(120b)가 되면 다시 저장 용기(120)를 하강시켜 저장 용기(120)의 저장 영역(120a)에 소스 액체가 공급되도록 한다. The storage vessel raising and lowering means 170 includes a conveying means including a chain or a belt and a motor, or a conveying means including a ball screw and a servo motor. The storage container lifting means 170 is coupled to the upper portion of the storage container 120 at an upper portion of the storage container 120. The storage container lifting means 170 may be coupled to the lower portion of the storage container 120 at a lower portion of the storage container 120. The storage container lifting unit 170 may receive a signal through the load sensing unit 160 or a separate control unit and raise the storage container 120. The storage container lifting means 170 can raise the storage container 120 continuously or stepwise. The storage vessel lifting means 170 may receive signals from the lower source liquid level latch or control and lower the storage vessel 120. [ The storage vessel elevating means 170 raises the storage vessel 120 to supply the source liquid of the storage vessel 120 to the bubbling vessel 110. The storage vessel elevating means 170 allows the source liquid to be supplied to the water level 110b of the bubbling vessel 110. The storage vessel lifting means 170 descends the storage vessel 120 again when the water level of the source liquid reaches the minimum water level 120b in the storage vessel 120 and supplies the source liquid 120 to the storage region 120a of the storage vessel 120. [ .

다음은 본 발명의 일 실시예에 따른 소스 가스 공급 장치의 작용에 대하여 설명한다. Next, the operation of the source gas supply apparatus according to the embodiment of the present invention will be described.

도 2는 내지 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 소스 가스 공급 장치의 작용을 나타내는 구성도이다.FIG. 2 through FIG. 4 are schematic diagrams illustrating the operation of the source gas supply apparatus according to an embodiment of the present invention.

먼저, 상기 버블링 용기(110)의 수용 영역(110a)과 저장 용기(120)의 저장 영역(120a)에 동일한 수위로 소스 액체가 공급되어 저장된다. 이때, 상기 버블링 용기(110)의 수용 영역(110a)에 수용된 소스 액체는 저장 용기(120)에 공급되는 소스 액체가 용기 연결관(130)을 통하여 유입되어 공급된다. 상기 버블링 용기(110)의 수용 영역(110a)에는 수용 수위(110b)까지 소스 액체가 수용될 수 있다. 상기 저장 용기(120)는 소스 액체가 기화되지 않는 온도로 냉각된 상태를 유지하므로 액체 소소가 기화되지 않는다.First, source liquid is supplied and stored at the same level in the storage area 110a of the bubbling container 110 and the storage area 120a of the storage container 120. [ At this time, the source liquid contained in the receiving region 110a of the bubbling vessel 110 flows into the storage vessel 120 through the vessel connecting pipe 130 and is supplied. The receiving area 110a of the bubbling vessel 110 can receive the source liquid up to the water level 110b. The storage vessel 120 remains cooled to a temperature at which the source liquid is not vaporized, so that the liquid source is not vaporized.

상기 캐리어 가스 유입관(140)을 통하여 캐리어 가스가 버블링 용기(110)의 수용 영역(110a)으로 유입된다. 상기 캐리어 가스는 수용 영역(110a)에 수용된 소스 액체와 접촉하면서 소스 액체를 기화시켜 소스 가스를 생성하면서 버블링 용기(110)의 상부로 흐른다. 상기 소스 가스와 캐리어 가스가 혼합된 혼합 가스는 혼합 가스 유출관(150)을 통하여 외부로 공급된다.The carrier gas is introduced into the receiving region 110a of the bubbling vessel 110 through the carrier gas inlet pipe 140. [ The carrier gas flows into the upper portion of the bubbling vessel 110 while vaporizing the source liquid in contact with the source liquid contained in the receiving region 110a to generate a source gas. The mixed gas in which the source gas and the carrier gas are mixed is supplied to the outside through the mixed gas outflow pipe 150.

상기 버블링 용기(110)에 수용된 소스 액체가 기화되면서 소스 액체의 수위가 낮아지면 버블링 용기(110)의 하부에 위치하는 하중 감지 수단(160)이 버블링 용기(110)와 소스 액체의 하중 변화를 감지한다. 상기 하중 감지 수단(160)은 소스 액체의 양이 설정된 범위를 벗어나는 경우에 즉, 버블링 용기(110)에 수용된 소스 액체의 수위가 수용 수위(110b)의 설정 수용 범위를 벗어나는 경우에 신호를 발생시킨다. 상기 저장 용기 승강 수단(170)은 하중 감지 수단(160)의 신호를 직접 또는 간접적으로 수신하고 저장 용기(120)를 상승시킨다. 상기 저장 용기 승강 수단(170)은 저장 용기(120)의 소스 액체의 수위가 하부 소스 액체 레벨 선서의 위치로 될 때까지 저장 용기(120)를 상승시킨다. 상기 저장 용기 승강 수단(170)은 저장 용기(120)를 하강시키며, 외부로부터 소스 액체가 저장 용기(120)로 공급되도록 한다.When the source liquid contained in the bubbling vessel 110 is vaporized and the level of the source liquid is lowered, the load sensing means 160 located at the lower portion of the bubbling vessel 110 receives the load of the bubbling vessel 110 and the source liquid Detects changes. The load sensing means 160 generates a signal when the amount of the source liquid is out of the set range, that is, when the level of the source liquid contained in the bubbling vessel 110 is out of the set accommodation range of the water level 110b . The storage container lifting means 170 receives the signal of the load sensing means 160 directly or indirectly and raises the storage container 120. The storage container lifting means 170 raises the storage container 120 until the level of the source liquid of the storage container 120 becomes the position of the lower source liquid level indicator. The storage vessel elevating means 170 descends the storage vessel 120 and supplies the source liquid to the storage vessel 120 from the outside.

지금까지 본 발명에 대하여 도면에 도시된 바람직한 실시예들을 중심으로 상세히 살펴보았다. 이러한 실시예들은 이 발명을 한정하려는 것이 아니라 예시적인 것에 불과하며, 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 한다. 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 전술한 설명이 아니라 첨부된 청구범위의 기술적 사상에 의해서 정해져야 할 것이다.The present invention has been described in detail with reference to the preferred embodiments shown in the drawings. These embodiments are to be considered as illustrative rather than limiting, and should be considered in an illustrative rather than a restrictive sense. The true scope of protection of the present invention should be determined by the technical idea of the appended claims rather than the above description.

100: 소스 가스 공급 장치
110: 버블링 용기
111: 캐리어 가스 유입구 112: 혼합 가스 유출구
113: 소스 액체 유입구 114: 버블링 용기 가열 수단
120: 저장 용기
121: 소스 액체 유출구 122: 하부 소스 액체 레벨 센서
123: 상부 소스 액체 레벨 센서
130: 용기 연결관
140: 캐리어 가스 유입관
150: 혼합 가스 유출관
160: 하중 감지 수단
170: 저장 용기 승강 수단100: source gas supply device
110: bubbling vessel
111: Carrier gas inlet 112: Mixed gas outlet
113: Source liquid inlet 114: Bubbling vessel heating means
120: storage container
121: source liquid outlet 122: lower source liquid level sensor
123: upper source liquid level sensor
130: container connector
140: Carrier gas inlet pipe
150: Mixed gas outlet pipe
160: Load sensing means
170: Storage container lifting means

Claims (8)

내부에 소스 액체가 수용되는 수용 영역을 구비하는 버블링 용기와,
상기 버블링 용기로 공급되는 상기 소스 액체를 저장하는 저장 영역을 구비하는 저장 용기와,
상기 버블링 용기와 저장 용기를 연결하여 상기 저장 용기의 액체 소수가 상기 버블링 용기로 공급되는 경로를 제공하는 용기 연결관과,
상기 버블링 용기의 하중을 감지하는 하중 감지 수단 및
상기 저장 용기를 상하로 승강시키는 저장 용기 승강 수단을 포함하며,
상기 버블링 용기는 수용 영역에 수용되는 소스 액체의 수위가 설정 수용 범위를 유지하도록 상기 하중 감지 수단의 신호에 의하여 상기 저장 용기 승강 수단이 상기 저장 용기를 상승시키는 것을 특징으로 하는 소스 가스 공급 장치.A bubbling vessel having a receiving area in which a source liquid is received,
And a storage region for storing the source liquid supplied to the bubbling vessel;
A container connection pipe connecting the bubbling container and the storage container to provide a path through which a small amount of liquid in the storage container is supplied to the bubbling container;
A load sensing means for sensing a load of the bubbling vessel,
And a storage vessel raising and lowering means for raising and lowering the storage vessel up and down,
Wherein the bubbling vessel elevates the storage vessel by the signal of the load sensing means so that the level of the source liquid received in the receiving zone is maintained within the set acceptance range. 제 1 항에 있어서,
상기 버블링 용기는 캐리어 가스 유입구와 혼합 가스 유출구를 구비하며,
상기 캐리어 가스 유입구를 관통하여 상기 버블링 용기에 수용된 소스 액체의 하부까지 연장되는 캐리어 가스 유입관 및
상기 혼합 가스 유출구에 결합되어 상기 혼합 가스를 외부로 유출시키는 혼합 가스 유출관을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 소스 가스 공급 장치.The method according to claim 1,
The bubbling vessel having a carrier gas inlet and a mixed gas outlet,
A carrier gas inlet pipe extending through the carrier gas inlet and extending to a lower portion of the source liquid contained in the bubbling vessel,
And a mixed gas outflow pipe connected to the mixed gas outlets to discharge the mixed gas to the outside. 제 1 항에 있어서,
상기 버블링 용기는 수용 영역의 하부에 위치하는 소스 액체 유입구를 구비하고, 상기 저장 용기는 저장 영역의 하부에 위치하는 소스 액체 유출구를 구비하며,
상기 용기 연결관은 플렉서블한 튜브로 형성되어 상기 소스 액체 유입구와 상기 소스 액체 유출구 사이에 결합되는 것을 특징으로 하는 소스 가스 공급 장치.The method according to claim 1,
The bubbling vessel having a source liquid inlet located at the bottom of the receiving area, the storage vessel having a source liquid outlet located at the bottom of the storage area,
Wherein the container connection tube is formed of a flexible tube and is coupled between the source liquid inlet and the source liquid outlet. 제 3 항에 있어서,
상기 소스 액체는 중력에 의하여 상기 저장 용기로부터 상기 버블링 용기로 공급되는 것을 특징으로 하는 소스 가스 공급 장치.The method of claim 3,
Wherein the source liquid is supplied from the storage vessel to the bubbling vessel by gravity. 제 3 항에 있어서,
상기 용기 연결관은 벨로우즈관 또는 주름관으로 형성되는 것을 특징으로 하는 소스 가스 공급 장치.The method of claim 3,
Wherein the container connecting tube is formed of a bellows tube or a corrugated tube. 제 1 항에 있어서,
상기 버블링 용기는 수용 영역에 수용되는 소스 액체를 가열하는 버블링 용기 가열 수단을 더 포함하며,
상기 저장 용기는 항온 수조 또는 냉각 탱크로 형성되는 것을 특징으로 하는 소스 가스 공급 장치.The method according to claim 1,
The bubbling vessel further comprises bubbling vessel heating means for heating the source liquid contained in the receiving region,
Wherein the storage container is formed of a constant temperature water tank or a cooling tank. 제 1 항에 있어서,
상기 저장 용기는 하부에 하부 소스 액체 레벨 센서를 구비하며, 상기 하부 소스 액체 레벨 센서는 상기 저장 용기의 소스 액체의 수위가 최소 수위에 오면 신호를 발생시켜 상기 저장 용기 승강 수단이 상기 저장 용기를 하강시키도록 형성되는 것을 특징으로 하는 소스 가스 공급 장치.The method according to claim 1,
The lower source liquid level sensor generates a signal when the level of the source liquid of the storage container reaches a minimum level so that the storage container lifting means moves down the storage container The source gas supply device being configured to supply the source gas to the source gas supply source. 제 7 항에 있어서,
상기 하부 소스 액체 레벨 센서는 비접촉식 센서인 것을 특징으로 하는 소스 가스 공급 장치.8. The method of claim 7,
Wherein the lower source liquid level sensor is a non-contact type sensor.
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