KR20190037753A - Laser diode module - Google Patents

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Abstract

According to an embodiment of the present invention, a laser diode module comprises: a plurality of laser diode bars; and a conductive member formed to be in contact with both sides of each of the plurality of laser diode bars to be electrically connected to the laser diode bar. The plurality of laser diode bars can be arranged to collect or expand a beam pattern emitted by the laser diode module.

Description

레이저 다이오드 모듈{Laser diode module}[0001] The present invention relates to a laser diode module,

본 발명은 레이저 다이오드 모듈에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 복수의 레이저 다이오드 바를 포함하는 레이저 다이오드 모듈에 관한 것이다.The present invention relates to a laser diode module, and more particularly, to a laser diode module including a plurality of laser diode bars.

도 8은 종래의 레이저 다이오드 모듈을 개략적으로 도시한 사시도이고, 도 9는 종래의 레이저 다이오드 모듈의 빔 패턴을 개략적으로 도시한 도면이다.FIG. 8 is a perspective view schematically showing a conventional laser diode module, and FIG. 9 is a view schematically showing a beam pattern of a conventional laser diode module.

도 8에 도시된 바와 같이, 종래의 레이저 다이오드 모듈은 복수의 레이저 다이오드 바(111, 112, 113, 114, 115)를 서로 평행하게 배열시켜 얻는다. 각각의 레이저 다이오드 바는 출사면(111a, 112a, 113a, 114a, 115a)의 길이 방향으로 다수의 에미터(emitter, E)를 포함한다.As shown in FIG. 8, a conventional laser diode module is obtained by arranging a plurality of laser diode bars 111, 112, 113, 114, and 115 in parallel with each other. Each laser diode bar includes a plurality of emitters E in the longitudinal direction of the emitting surfaces 111a, 112a, 113a, 114a and 115a.

레이저 다이오드 바(111, 112, 113, 114, 115)의 일측에는 P형 전극이 형성되고 타측에는 N형 전극이 형성되는데, P형 전극과 N형 전극에 전원을 인가하면 활성층(미도시)에서 레이저가 방출된다.A P-type electrode is formed on one side of the laser diode bars 111, 112, 113, 114 and 115, and an N-type electrode is formed on the other side. When power is applied to the P- The laser is emitted.

따라서, 도 8에 도시된 바와 같이, 레이저 다이오드 모듈은 복수의 레이저 다이오드 바(111, 112, 113, 114, 115)를 구동하기 위한 도전성 부재(121, 122, 123, 124, 125, 126)를 포함하며, 도전성 부재(121, 122, 123, 124, 125, 126)는 레이저 다이오드 바(111, 112, 113, 114, 115)의 양측에 접하도록 구비되어, 레이저 다이오드 바(111, 112, 113, 114, 115)의 P형 전극과 N형 전극에 각각 전기적으로 연결된다.8, the laser diode module includes conductive members 121, 122, 123, 124, 125, 126 for driving the plurality of laser diode bars 111, 112, 113, 114, The conductive members 121, 122, 123, 124, 125, and 126 are provided to be in contact with both sides of the laser diode bars 111, 112, 113, 114 and 115, 114, and 115 are electrically connected to the P-type electrode and the N-type electrode, respectively.

그 결과, 레이저 다이오드 모듈 내에서 복수의 레이저 다이오드 바(111, 112, 113, 114, 115)는 도전성 부재(121, 122, 123, 124, 125, 126)에 의해 서로 이격되어 배치될 수밖에 없으며, 도전성 부재는 전기 전도성뿐만 아니라 열전도성이 좋은 물질을 사용하여 레이저 발진시 발생하는 열을 Heat sink로 원활히 전달해야 하기 때문에 일반적으로 레이저 다이오드 바(111, 112, 113, 114, 115)의 두께(P형 전극과 N형 전극 사이의 거리)에 비해 도전성 부재(121, 122, 123, 124, 125, 126)의 두께가 두껍다.As a result, in the laser diode module, the plurality of laser diode bars 111, 112, 113, 114, and 115 must be spaced apart from each other by the conductive members 121, 122, 123, 124, 125, In general, the thickness of the laser diode bars 111, 112, 113, 114, and 115 (P (x, y) 122, 123, 124, 125, and 126 are thicker than the distance between the n-type electrode and the n-type electrode.

그리고 레이저 다이오드 바(111, 112, 113, 114, 115)에서, 즉 Bar에 포함되어 있는 각각의 에미터(E)에서 출사되는 레이저는 슬로우축(slow axis, 일반적으로 10도 이하)(Y 방향, 도 9 참고)의 방사각이 패스트축(fast axis, 일반적으로 20도 이상)(X 방향, 도 9 참고)의 방사각에 비해 작다.The laser emitted from each of the emitters E included in the laser diode bars 111, 112, 113, 114 and 115, that is, the bar, has a slow axis (generally 10 degrees or less) , See FIG. 9) is smaller than the radiation angle of the fast axis (generally 20 degrees or more) (X direction, see FIG. 9).

따라서, 도 9에 도시된 바와 같이, 각 레이저 다이오드 바(111, 112, 113, 114, 115)로부터 출사된 레이저들이 형성하는 단위 빔 패턴(B1, B2, B3, B4, B5)들은 서로 중첩되어 일반적으로 레이저 다이오드 모듈의 전체적인 빔 패턴은 직사각형 형태의 레이저 빔 패턴을 형성한다. 이 직사각형 빔 패턴의 패스트축(fast axis) 방향의 길이는 레이저 다이오드 바들의 패스트축(fast axis) 방사각에 의해 정해져 있으며 레이저 다이오드 모듈과 조사면과의 거리 조절에 의해서만 그 길이를 조정할 수 있다. 즉 짧은 거리에서의 빔 패턴 변화가 불가능하다.9, the unit beam patterns B1, B2, B3, B4, and B5 formed by the lasers emitted from the respective laser diode bars 111, 112, 113, 114 and 115 are superimposed on each other Generally, the overall beam pattern of the laser diode module forms a rectangular laser beam pattern. The length of the rectangular beam pattern in the fast axis direction is determined by the fast axis emission angle of the laser diode bars and the length thereof can be adjusted only by adjusting the distance between the laser diode module and the irradiation surface. That is, it is impossible to change the beam pattern at a short distance.

레이저를 이용한 의료 치료 장치에서 특히 넓은 영역을 동시에 조사해야 하는 경우 빔 퍼짐을 위해서는 광학 부재를 사용해야 하는데, 다수의 레이저 다이오드 바를 사용한 직사각형 형태의 레이저 빔은 광학 부재를 사용하여도 넓은 영역을 조사하기에는 그 한계가 있다. 특히 패스트축(fast axis) 방향의 방사각이 상대적으로 크기 때문에 이방향의 빔을 더욱 퍼뜨리기 위해서는 다수의 광학부재가 필요하며 컴팩트한 구조의 레이저 발진구조를 가지기 어려운 문제가 있다.In a medical treatment apparatus using a laser, particularly when a large area is to be irradiated at the same time, an optical member must be used for beam spreading. A rectangular laser beam using a plurality of laser diode bars, There is a limit. In particular, since the radiation angle in the fast axis direction is relatively large, a large number of optical members are required to further spread the beam in this direction, and it is difficult to have a laser oscillation structure of a compact structure.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 별도의 광학 부재를 사용하지 않고도 패스트축(fast axis) 방향의 빔을 확산시킬 수 있는 레이저 다이오드 모듈을 제공하는 것이다. SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a laser diode module capable of diffusing a beam in a fast axis direction without using a separate optical member.

또한, 별도의 광학 부재를 사용하지 않고도 패스트축(fast axis) 방향의 빔을 집광시킬 수 있는 레이저 다이오드 모듈을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a laser diode module capable of condensing a beam in a fast axis direction without using a separate optical member.

본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems of the present invention are not limited to the above-mentioned problems, and other problems not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 레이저 다이오드 모듈은,According to an aspect of the present invention, there is provided a laser diode module comprising:

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 레이저 다이오드 모듈은,According to an aspect of the present invention, there is provided a laser diode module comprising:

본 발명의 실시예들에 의하면 적어도 다음과 같은 효과가 있다.The embodiments of the present invention have at least the following effects.

별도의 광학 부재를 사용하지 않고도 레이저 다이오드 바의 빔 패턴을 확장하거나 집광할 수 있다.The beam pattern of the laser diode bar can be expanded or condensed without using a separate optical member.

본 발명에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.The effects according to the present invention are not limited by the contents exemplified above, and more various effects are included in the specification.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 집광형 레이저 다이오드 모듈을 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 집광형 레이저 다이오드 모듈을 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 집광형 레이저 다이오드 모듈을 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 4는 본 발명의 제3 실시예에 따른 집광형 레이저 다이오드 모듈을 개략적으로 도시한 평면도이다
도 5는 본 발명의 제4 실시예에 따른 방사형 레이저 다이오드 모듈을 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 6은 본 발명의 제5 실시예에 따른 방사형 레이저 다이오드 모듈을 개략적으로 도시한 평면도이다
도 7은 본 발명의 제4 및 5 실시예에 따른 방사형 레이저 다이오드 모듈의 레이저 다이오드 바들 간의 각도 관계를 설명하기 위한 도면이다.
도 8은 종래의 레이저 다이오드 모듈을 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 9는 종래의 레이저 다이오드 모듈의 빔 패턴을 개략적으로 도시한 도면이다.1 is a perspective view schematically showing a light-converging type laser diode module according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a plan view schematically showing a condensing laser diode module according to a first embodiment of the present invention.
3 is a plan view schematically showing a condensing laser diode module according to a second embodiment of the present invention.
4 is a plan view schematically showing a condensing laser diode module according to a third embodiment of the present invention
5 is a plan view schematically showing a radial laser diode module according to a fourth embodiment of the present invention.
6 is a plan view schematically showing a radial laser diode module according to a fifth embodiment of the present invention
7 is a view for explaining an angle relationship between laser diode bars of a radial laser diode module according to fourth and fifth embodiments of the present invention.
8 is a perspective view schematically showing a conventional laser diode module.
9 is a view schematically showing a beam pattern of a conventional laser diode module.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The advantages and features of the present invention and the manner of achieving them will become apparent with reference to the embodiments described in detail below with reference to the accompanying drawings. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, and will fully convey the scope of the invention to those skilled in the art. To fully disclose the scope of the invention to those skilled in the art, and the invention is only defined by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification.

또한, 본 명세서에서 기술하는 실시예들은 본 발명의 이상적인 예시도인 단면도 및/또는 개략도들을 참고하여 설명될 것이다. 따라서, 제조 기술 및/또는 허용 오차 등에 의해 예시도의 형태가 변형될 수 있다. 또한, 본 발명에 도시된 각 도면에 있어서 각 구성 요소들은 설명의 편의를 고려하여 다소 확대 또는 축소되어 도시된 것일 수 있다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Further, the embodiments described herein will be described with reference to cross-sectional views and / or schematic drawings that are ideal illustrations of the present invention. Thus, the shape of the illustrations may be modified by manufacturing techniques and / or tolerances. In addition, in the drawings of the present invention, each constituent element may be somewhat enlarged or reduced in view of convenience of explanation. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification.

이하, 본 발명의 실시예들에 따른 레이저 다이오드 모듈을 설명하기 위한 도면들을 참고하여 본 발명에 대하여 설명하도록 한다.Hereinafter, the present invention will be described with reference to the drawings for explaining a laser diode module according to embodiments of the present invention.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 집광형 레이저 다이오드 모듈을 개략적으로 도시한 사시도이고, 도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 집광형 레이저 다이오드 모듈을 개략적으로 도시한 평면도이다.FIG. 1 is a perspective view schematically showing a condensing type laser diode module according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a plan view schematically showing a condensing type laser diode module according to a first embodiment of the present invention.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 레이저 다이오드 모듈(1)은 복수의 레이저 다이오드 바(11, 12, 13, 14, 15)와 복수의 도전성 부재(21, 22, 23, 24, 25, 26)를 포함한다. 1 and 2, a laser diode module 1 according to a first embodiment of the present invention includes a plurality of laser diode bars 11, 12, 13, 14, 15 and a plurality of conductive members 21 , 22, 23, 24, 25, 26).

복수의 레이저 다이오드 바(11, 12, 13, 14, 15)는 복수의 도전성 부재(21, 22, 23, 24, 25, 26)의 사이사이에 개재된다. 따라서, 각 레이저 다이오드 바(11, 12, 13, 14, 15)의 양측으로는 각각 도전성 부재(21, 22, 23, 24, 25, 26)가 접하게 된다. A plurality of laser diode bars 11, 12, 13, 14 and 15 are interposed between the plurality of conductive members 21, 22, 23, 24, 25 and 26. Therefore, the conductive members 21, 22, 23, 24, 25, and 26 are brought into contact with both sides of the laser diode bars 11, 12, 13, 14 and 15, respectively.

도전성 부재는 레이저 다이오드 바들의 전기 전도성과 열 전도성이 보장되는 한 어떠한 형태로도 만들 수 있다.The conductive member can be made in any form as long as the electrical and thermal conductivity of the laser diode bars is ensured.

또한, 도전성 부재는 레이저 다이오드 바들과 전기적으로 연결되며, 동시에 레이저 발진시 발생하는 열을 제거하기 위해 Heat sink(미도시)와 연결되도록 구성될 수 있다. In addition, the conductive member may be electrically connected to the laser diode bars, and at the same time, may be configured to be connected to a heat sink (not shown) to remove heat generated during laser emission.

도시되지는 않았지만, 레이저 다이오드 바(11, 12, 13, 14, 15)의 일측에는 P형 전극이 형성되고 타측에는 N형 전극이 형성될 수 있다. 레이저 다이오드 바(11, 12, 13, 14, 15)의 일측에 접하는 도전성 부재(21, 22, 23, 24, 25, 26)는 P형 전극과 전기적으로 연결되고, 레이저 다이오드 바(11, 12, 13, 14, 15)의 타측에 접하는 도전성 부재(21, 22, 23, 24, 25, 26)는 N형 전극과 전기적으로 연결된다.Although not shown, a P-type electrode may be formed on one side of the laser diode bars 11, 12, 13, 14, 15 and an N-type electrode may be formed on the other side thereof. The conductive members 21, 22, 23, 24, 25 and 26 in contact with one side of the laser diode bars 11, 12, 13, 14 and 15 are electrically connected to the P- 22, 23, 24, 25, 26 which are in contact with the other side of the electrodes 13, 14, 15 are electrically connected to the N-type electrode.

복수의 레이저 다이오드 바(11, 12, 13, 14, 15)는 레이저가 출력되는 출사면(11a, 12a, 13a, 14a, 15a)이 레이저 다이오드 모듈(1)의 일면을 형성하도록 배치될 수 있다.The plurality of laser diode bars 11, 12, 13, 14 and 15 can be arranged such that the emission surfaces 11a, 12a, 13a, 14a and 15a from which the laser is output form one surface of the laser diode module 1 .

도 2에 도시된 바와 같이, 도전성 부재(21, 22, 23, 24, 25, 26)는 선단측의 폭(W1)과 후단측의 폭(W2)이 서로 상이하게 형성될 수 있다. 도전성 부재(21, 22, 23, 24, 25, 26)의 선단측은 레이저 다이오드 바(11, 12, 13, 14, 15)의 출사면(11a, 12a, 13a, 14a, 15a)에 인접한 부분이고, 도전성 부재(21, 22, 23, 24, 25, 26)의 후단측은 선단측의 반대측을 의미한다. 이웃하는 레이저 다이오드 바와의 전기전도가 보장되고, 도전성 부재의 후면(출사면 반대쪽, 21a, 22a, 23a, 24a. 25a, 26a)을 통하여 열이 Heat sink로 전달될 수 있도록 Heat sink와 접촉이 이루어진다면 도전성 부재의 형태는 어떠한 것이라도 수용할 수 있다.As shown in Fig. 2, the conductive member 21, 22, 23, 24, 25, and 26 may be formed such that the width W1 at the front end side and the width W2 at the rear end side are different from each other. The tip sides of the conductive members 21, 22, 23, 24, 25 and 26 are adjacent to the emission surfaces 11a, 12a, 13a, 14a and 15a of the laser diode bars 11, 12, 13, 14 and 15 , And the rear end side of the conductive members 21, 22, 23, 24, 25, and 26 means the opposite side of the front end side. The electrical conduction between the neighboring laser diode bars is ensured and the heat sink is brought into contact with the heat sink so that the heat can be transmitted to the heat sink through the rear surface of the conductive member (opposite to the emitting surface 21a, 22a, 23a, 24a. 25a and 26a) Any shape of the multi-sided conductive member can be accommodated.

본 실시예에 따른 도전성 부재(21, 22, 23, 24, 25, 26)는 선단측의 폭(W1)이 후단측의 폭(W2)보다 작게 형성된다.The conductive members 21, 22, 23, 24, 25, and 26 according to this embodiment are formed such that the width W1 at the tip end side is smaller than the width W2 at the rear end side.

이러한 도전성 부재(21, 22, 23, 24, 25, 26)의 형상으로 인해, 도 2에 도시된 바와 같이, 각각의 레이저 다이오드 바(11, 12, 13, 14, 15)는 레이저의 광축(L1, L2, L3, L4, L5)이 상호 교차하도록 배치된다. 도 2에는 각 광축(L1, L2, L3, L4, L5)이 한 점에서 교차하는 예를 도시하였으나, 본 발명이 이에 한정되는 것을 아니며, 필요에 따라 각각의 레이저 다이오드 바의 광축의 각도는 조정되어 광축(L1, L2, L3, L4, L5)들이 2점 이상에서 교차되도록 구성될 수 있다.2, each of the laser diode bars 11, 12, 13, 14, and 15 is formed on the optical axis of the laser L1, L2, L3, L4, and L5 cross each other. 2, the optical axes L1, L2, L3, L4 and L5 intersect each other at one point. However, the present invention is not limited thereto, and the angle of the optical axis of each laser diode bar may be adjusted And the optical axes L1, L2, L3, L4, and L5 intersect at two or more points.

이렇게 다수의 레이저 다이오드 바를 이용하여 집광을 하면 작은 타겟면적에서 레이저 출력밀도를 높일 수 있다. Condensing by using a plurality of laser diode bars can increase the laser output density in a small target area.

집광이 이루어지는 중심 레이저 다이오드 바로부터의 초점거리는 R, 이웃하는 레이저 다이오드 바의 출사면 사이의 거리를 S, 레이저 다이오드 바(11, 12, 13, 14, 15)들 사이의 벌어진 각도를 ρ라 할 때, 아래와 같은 관계식을 갖는다. The focal distance from the central laser diode bar to which light is condensed is R, the distance between the exit surfaces of the neighboring laser diode bars is S, and the angle between the laser diode bars 11, 12, 13, 14, , We have the following relation.

Figure pat00001
Figure pat00001

그리고 각 레이저 다이오드 바(11, 12, 13, 14, 15)의 출사면(11a, 12a, 13a, 14a, 15a)과 도전성 부재(21, 22, 23, 24, 25, 26)의 선단은 호(弧) 형상을 이루도록 배치될 수 있다. 호(弧) 형상은 적어도 하나의 곡률로 이루어질 수 있다.The ends of the emitting surfaces 11a, 12a, 13a, 14a and 15a of the respective laser diode bars 11, 12, 13, 14 and 15 and the conductive members 21, 22, 23, 24, (Arcuate) shape. The arc shape may be made of at least one curvature.

또는 실시예에 따라, 레이저 다이오드 바(11, 12, 13, 14, 15)의 출사면(11a, 12a, 13a, 14a, 15a)과 도전성 부재(21, 22, 23, 24, 25, 26)의 선단은 서로 단차를 이루며 배치될 수도 있으며, 이 경우 레이저 다이오드 바(11, 12, 13, 14, 15)의 출사면(11a, 12a, 13a, 14a, 15a)은 호(弧) 형상의 일부를 이루도록 배치될 수 있다.12a, 13a, 14a and 15a of the laser diode bars 11, 12, 13, 14 and 15 and the conductive members 21, 22, 23, 24, 25 and 26, The emitting surfaces 11a, 12a, 13a, 14a and 15a of the laser diode bars 11, 12, 13, 14 and 15 may be arranged in a stepped manner, Respectively.

레이저의 광축(L1, L2, L3, L4, L5)은 복수의 레이저 다이오드 바(11, 12, 13, 14, 15)의 출사면(11a, 12a, 13a, 14a, 15a)의 전방에서 상호 교차하게 된다.The optical axes L1, L2, L3, L4 and L5 of the laser are mutually intersecting in front of the emission surfaces 11a, 12a, 13a, 14a and 15a of the plurality of laser diode bars 11, 12, 13, .

도 2에는 복수의 레이저 다이오드 바(11, 12, 13, 14, 15)의 광축(L1, L2, L3, L4, L5)들이 출사면(11a, 12a, 13a, 14a, 15a) 전방의 일정 영역(A) 내에서 모두 교차하는 예를 도시하였으나, 실시예에 따라, 복수의 레이저 다이오드 바(11, 12, 13, 14, 15) 중 일부와 다른 일부는 서로 다른 위치에서 광축(L1, L2, L3, L4, L5)들이 교차하도록 구성될 수도 있다.FIG. 2 is a plan view showing a state in which the optical axes L1, L2, L3, L4 and L5 of the plurality of laser diode bars 11, 12, 13, 14 and 15 are arranged in a predetermined area in front of the emission surfaces 11a, 12a, 13a, 12, 13, 14, 15 and the other part of the plurality of laser diode bars 11, 12, 13, 14, 15 are disposed at different positions on the optical axis L1, L2, L3, L4, L5) intersect with each other.

예를 들어, 복수의 레이저 다이오드 바(11, 12, 13, 14, 15) 중 중앙에 위치한 레이저 다이오드 바(12, 13, 14)는 A 영역에서 광축(L2, L3, L4)이 상호 교차하고, 양측에 위치한 레이저 다이오드 바(11, 15)는 A 영역보다 더 먼 곳에서 광축(L1, L5)이 상호 교차하도록 구성될 수 있다. 반대로, 양측에 위치한 레이저 다이오드 바(11, 15)의 광축(L1, L5)이 A 영역에서 교차하고, 중앙에 위치한 레이저 다이오드 바(12, 13, 14)의 광축(L2, L3, L4)이 A 영역보다 더 먼 곳에서 상호 교차하도록 구성될 수 있다.For example, in the laser diode bars 12, 13 and 14 positioned at the center among the plurality of laser diode bars 11, 12, 13, 14 and 15, optical axes L2, L3 and L4 cross each other in the region A , The laser diode bars 11 and 15 located on both sides may be configured such that the optical axes L1 and L5 cross each other at a position farther than the A region. Conversely, the optical axes L1 and L5 of the laser diode bars 11 and 15 located on both sides intersect in the area A and the optical axes L2, L3 and L4 of the laser diode bars 12, A < / RTI > areas.

본 발명의 제1 실시예에 따른 집광형 레이저 다이오드 모듈(1)은 일렬로 배열된 복수의 레이저 다이오드 바(11, 12, 13, 14, 15)의 광축이 출사면(11a, 12a, 13a, 14a, 15a)의 전방에서 교차되도록 구성하여, 복수의 레이저 다이오드 바(11, 12, 13, 14, 15)로부터 각각 출사된 레이저들이 형성하는 단위 빔 패턴들이 상호 겹쳐지게 되어 전체적으로 하나의 빔 패턴을 형성하며 집광되게 된다. 따라서, 본 실시예에 따른 집광형 레이저 다이오드 모듈(1)은 전체적인 빔 형태는 크게 변하지 않더라도 출력밀도가 높은 레이저 빔을 얻을 수 있다. The light condensing type laser diode module 1 according to the first embodiment of the present invention is characterized in that the optical axes of the plurality of laser diode bars 11, 12, 13, 14, and 15 arranged in a line are formed on the exit surfaces 11a, 12a, 14a and 15a so that the unit beam patterns formed by the lasers emitted from the plurality of laser diode bars 11, 12, 13, 14 and 15 overlap each other to form one beam pattern as a whole And is condensed. Therefore, the condensing laser diode module 1 according to the present embodiment can obtain a laser beam having a high output density even if the overall beam shape does not largely change.

즉, 본 발명의 제1 실시예에 따른 레이저 다이오드 모듈(1)은 복수의 레이저 다이오드 바(11, 12, 13, 14, 15)가 상호 이격되어 설치될 수밖에 없는 구조적인 한계에도 불구하고, 별도의 광학 부재를 사용하지 않고도 출력밀도가 높고 밀집된 빔 패턴을 출사할 수 있다.That is, the laser diode module 1 according to the first embodiment of the present invention can be installed separately from the laser diode modules 11, 12, 13, 14, 15, It is possible to emit a densely packed beam pattern with a high output density without using an optical member.

이하에서는 본 발명의 다른 실시예에 따른 레이저 다이오드 모듈에 대해 설명한다. 설명의 편의를 위하여 제1 실시예와 공통되는 부분은 그 설명을 생략한다.Hereinafter, a laser diode module according to another embodiment of the present invention will be described. For the sake of convenience of explanation, a description common to the first embodiment will be omitted.

도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 집광형 레이저 다이오드 모듈을 개략적으로 도시한 평면도이다3 is a plan view schematically showing a condensing laser diode module according to a second embodiment of the present invention

도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 집광형 레이저 다이오드 모듈(2)은, 전술한 제1 실시예에 따른 집광형 레이저 다이오드 모듈(1)과 비교하여, 도전성 부재(21', 22', 23', 24', 25', 26')의 구조가 상이하다.As shown in Fig. 3, the condensing laser diode module 2 according to the second embodiment of the present invention is different from the condensing laser diode module 1 according to the first embodiment described above in that the conductive member ( 21 ', 22', 23 ', 24', 25 ', 26').

본 실시예에 따른 도전성 부재(21', 22', 23', 24', 25', 26') 중 2개의 복수의 레이저 다이오드 바(11, 12, 13, 14, 15)의 사이에 위치하는 도전성 부재(22', 23', 24', 25')는, 레이저 다이오드 바(11, 12, 13, 14, 15)와 접하는 도전성 플레이트(22a, 22b, 23a, 23b, 24a, 24b, 25a, 25b)와, 도전성 플레이트(22a, 22b, 23a, 23b, 24a, 24b, 25a, 25b) 사이에 개재되는 전도성 솔더(16, 17, 18, 19)를 포함한다.12, 13, 14 and 15 of the conductive members 21 ', 22', 23 ', 24', 25 ', and 26' according to the present embodiment The conductive members 22a, 22b, 23a, 23b, 24a, 24b, 25a, and 25b, which are in contact with the laser diode bars 11, 12, 13, 14, 25b and conductive solders 16, 17, 18, 19 interposed between the conductive plates 22a, 22b, 23a, 23b, 24a, 24b, 25a, 25b.

전도성 솔더(16, 17, 18, 19)는 도전성 플레이트(22a, 22b, 23a, 23b, 24a, 24b, 25a, 25b)를 지지하면서, 양측의 도전성 플레이트(22a, 22b, 23a, 23b, 24a, 24b, 25a, 25b)를 전기적으로 연결한다.22b, 23a, 23b, 24a, and 25b on both sides while supporting the conductive plates 22a, 22b, 23a, 23b, 24a, 24b, 25a, 24b, 25a, and 25b are electrically connected.

집광형 레이저 다이오드 모듈(2)의 양측에 위치하는 도전성 부재(21', 26')는 도전성 플레이트로 구성될 수 있다.The conductive members 21 'and 26' located on both sides of the light-convergence type laser diode module 2 may be formed of a conductive plate.

전술한 제1 실시예에 따른 집광형 레이저 다이오드 모듈(1)은 선단측의 폭(W1)이 후단측의 폭(W2)보다 작게 형성된 도전성 부재(21, 22, 23, 24, 25, 26)를 포함한 반면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 집광형 레이저 다이오드 모듈(2)은 대략 직육면체의 도전성 플레이트(22a, 22b, 23a, 23b, 24a, 24b, 25a, 25b)를 사용하는 대신, 도전성 플레이트(22a, 22b, 23a, 23b, 24a, 24b, 25a, 25b)의 사이에 개재되는 전도성 솔더(16, 17, 18, 19)가 선단측의 폭(W1)이 후단측의 폭(W2)보다 작게 형성된다.The condensing laser diode module 1 according to the first embodiment has the conductive members 21, 22, 23, 24, 25, 26 formed such that the width W1 at the tip side is smaller than the width W2 at the rear end side, The condensing type laser diode module 2 according to the second embodiment of the present invention is not limited to the use of the substantially rectangular parallelepiped conductive plates 22a, 22b, 23a, 23b, 24a, 24b, 25a and 25b, The conductive solder 16, 17, 18, 19 interposed between the plates 22a, 22b, 23a, 23b, 24a, 24b, 25a, 25b has a width W1 at the tip end, .

도 3에는 복수의 레이저 다이오드 바(11, 12, 13, 14, 15) 사이에 하나의 전도성 솔더(16, 17, 18, 19)와, 전도성 솔더(16, 17, 18, 19)의 양측에 각각 접하는 도전성 플레이트(22a, 22b, 23a, 23b, 24a, 24b, 25a, 25b)가 개재되는 예를 도시하였으나, 실시예에 따라 복수의 레이저 다이오드 바(11, 12, 13, 14, 15) 사이에 개재되는 전도성 솔더(16, 17, 18, 19)와 도전성 플레이트(22a, 22b, 23a, 23b, 24a, 24b, 25a, 25b)의 개수는 실시예에 따라 다양하게 변경될 수 있다. 3 shows one conductive solder 16, 17, 18, 19 between the plurality of laser diode bars 11, 12, 13, 14, 15 and conductive solders 16, 17, 18, 19 on both sides of the conductive solder 16, The conductive plates 22a, 22b, 23a, 23b, 24a, 24b, 25a and 25b in contact with each other are interposed between the laser diode bars 11, 12, 13, 14 and 15 The number of the conductive solders 16, 17, 18 and 19 and the number of the conductive plates 22a, 22b, 23a, 23b, 24a, 24b, 25a and 25b interposed between the conductive plates 22a and 22b can be variously changed according to the embodiment.

도 4는 본 발명의 제3 실시예에 따른 집광형 레이저 다이오드 모듈을 개략적으로 도시한 평면도이다.4 is a plan view schematically showing a condensing laser diode module according to a third embodiment of the present invention.

전술한 제1 실시예에 따른 레이저 다이오드 모듈(1)은 각 레이저 다이오드 바(11, 12, 13, 14, 15)의 출사면(11a, 12a, 13a, 14a, 15a)과 도전성 부재(21, 22, 23, 24, 25, 26)의 선단은 호(弧) 형상을 이루도록 배치됨에 반해, 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제3 실시예에 따른 레이저 다이오드 모듈(3)은 각 레이저 다이오드 바(211, 212, 213, 214, 215)의 출사면(211a, 212a, 213a, 214a, 215a)과 도전성 부재(221, 222, 223, 224, 225, 226)의 선단이 전체적으로 직선상에 위치하도록 배치된다.The laser diode module 1 according to the first embodiment described above is configured such that the emission surfaces 11a, 12a, 13a, 14a and 15a of the laser diode bars 11, 12, 13, 14 and 15, 4, the laser diode module 3 according to the third embodiment of the present invention is arranged so that the laser beams emitted from the respective lasers 22, 23, 24, 25 and 26 are arranged in arcs, The ends of the emitting surfaces 211a, 212a, 213a, 214a and 215a of the diode bars 211, 212, 213, 214 and 215 and the conductive members 221, 222, 223, 224, 225 and 226 are entirely in a straight line Respectively.

제1 실시예에 따른 레이저 다이오드 모듈(1)의 도전성 부재(21, 22, 23, 24, 25, 26)는 선단과 후단이 호(弧) 형상을 갖도록 형성되는 반면, 제3 실시예에 따른 레이저 다이오드 모듈(3)의 도전성 부재(221, 222, 223, 224, 225, 226)는 사다리꼴의 형상을 갖는다. 도 4에 도시된 바와 같이, 도전성 부재(221, 222, 223, 224, 225, 226)의 형상은 각각 상이할 수 있다.The conductive members 21, 22, 23, 24, 25 and 26 of the laser diode module 1 according to the first embodiment are formed such that the front end and the rear end thereof have an arc shape, The conductive members 221, 222, 223, 224, 225, and 226 of the laser diode module 3 have a trapezoidal shape. As shown in FIG. 4, the shapes of the conductive members 221, 222, 223, 224, 225, and 226 may be different from each other.

그러나 제3 실시예에 따른 레이저 다이오드 모듈(3)의 도전성 부재(222, 223, 224, 225) 역시 선단측의 폭(W1)이 후단측의 폭(W2)보다 작게 형성된다. 따라서, 각 레이저 다이오드 바(211, 212, 213, 214, 215)의 광축(L1, L2, L3, L4, L5)은 출사면(211a, 212a, 213a, 214a, 215a)의 전방에서 상호 교차하게 된다.However, the conductive members 222, 223, 224, and 225 of the laser diode module 3 according to the third embodiment are also formed such that the front end width W1 is smaller than the rear end width W2. Therefore, the optical axes L1, L2, L3, L4 and L5 of the laser diode bars 211, 212, 213, 214 and 215 cross each other in front of the emission surfaces 211a, 212a, 213a, 214a and 215a do.

도 5는 본 발명의 제4 실시예에 따른 방사형 레이저 다이오드 모듈(4)을 개략적으로 도시한 평면도이다.5 is a plan view schematically showing a radial laser diode module 4 according to a fourth embodiment of the present invention.

전술한 제1 실시예에 따른 집광형 레이저 다이오드 모듈(1)은 각 레이저 다이오드 바(11, 12, 13, 14, 15)의 광축(L1, L2, L3, L4, L5)이 출사면(11a, 12a, 13a, 14a, 15a)의 전방에서 상호 교차하도록 구성된 반면, 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제4 실시예에 따른 방사형 레이저 다이오드 모듈(4)은 각 레이저 다이오드 바(311, 312, 313, 314, 315)의 광축(L1, L2, L3, L4, L5)이 출사면(311a, 312a, 313a, 314a, 315a)의 전방에서 상호 교차하지 않고, 광축(L1, L2, L3, L4, L5)의 연장선(L'1, L'2, L'3, L'4, L'5)이 출사면(311a, 312a, 313a, 314a, 315a)의 후방에 위치한 영역(B)에서 상호 교차하도록 구성된다. 도 5에는 각 광축의 연장선(L'1, L'2, L'3, L'4, L'5)이 한 점에서 교차하는 예를 도시하였으나, 본 발명이 이에 한정되는 것을 아니며, 필요에 따라 각각의 레이저 다이오드 바의 광축의 각도는 조정되어 광축의 연장선(L'1, L'2, L'3, L'4, L'5)들이 2점 이상에서 교차되도록 구성될 수 있다.The light condensing laser diode module 1 according to the first embodiment is configured such that the optical axes L1, L2, L3, L4 and L5 of the laser diode bars 11, 12, 13, 14, 5, the radial laser diode module 4 according to the fourth embodiment of the present invention is configured so as to intersect each of the laser diode bars 311, L2, L3, L4, L5 of the light emitting diodes 312, 313, 314, 315 do not cross each other in front of the exit surfaces 311a, 312a, 313a, 314a, 315a, L'2, L'3, L'4, and L'5 of the first to fourth light emitting diodes L 1 and L 2 are positioned behind the emission faces 311a, 312a, 313a, 314a, and 315a, Respectively. Although FIG. 5 shows an example in which the extension lines (L'1, L'2, L'3, L'4, L'5) of the respective optical axes intersect at one point, the present invention is not limited thereto. The angle of the optical axis of each laser diode bar is adjusted such that the extension lines of the optical axis (L'1, L'2, L'3, L'4, L'5) intersect at two or more points.

이를 위해, 본 발명의 제4 실시예에 따른 레이저 다이오드 모듈(4)의 도전성 부재(321, 322, 323, 324, 325, 326) 역시 선단측의 폭(W1)과 후단측의 폭(W2)이 서로 상이하게 형성되지만, 본 실시예에 따른 도전성 부재(321, 322, 323, 324, 325, 326)는 선단측의 폭(W1)이 후단측의 폭(W2)보다 크게 형성된다.The conductive members 321, 322, 323, 324, 325 and 326 of the laser diode module 4 according to the fourth embodiment of the present invention also have a width W1 at the tip end side and a width W2 at the rear end side, The conductive member 321, 322, 323, 324, 325, and 326 according to the present embodiment are formed such that the width W1 at the front end side is larger than the width W2 at the rear end side.

따라서, 도 5에 도시된 바와 같이, 복수의 레이저 다이오드 바(311, 312, 313, 314, 315) 중 중앙에 위치한 제3 레이저 다이오드 바(313)의 양측에 위치하는 제2 레이저 다이오드 바(312)와 제4 레이저 다이오드 바(314)는 제3 레이저 다이오드 바(313)에 대해 θ1의 각도를 갖도록 배치된다. 2개의 레이저 다이오드 바가 서로 θ1의 각도를 갖도록 배치된다는 것은 2개의 레이저 다이오드 바의 광축의 이루는 각도가 θ1인 것을 의미할 수 있다.5, the second laser diode bar 312 located on both sides of the third laser diode bar 313 located at the center among the plurality of laser diode bars 311, 312, 313, 314, And the fourth laser diode bar 314 are disposed so as to have an angle of? 1 with respect to the third laser diode bar 313. Being the two laser diode bar is arranged to have an angle of θ 1 with each other there is an angle of the optical axis of the two laser diode bars can mean that the θ 1.

그리고 제2 레이저 다이오드 바(312)와 제4 레이저 다이오드 바(314)보다 레이저 다이오드 모듈(3)의 외곽에 위치하는 제1 레이저 다이오드 바(311)와 제5 레이저 다이오드 바(315)는 3 레이저 다이오드 바(313)에 대해 θ2의 각도를 갖도록 배치된다.The first laser diode bar 311 and the fifth laser diode bar 315 located at the outer periphery of the laser diode module 3 than the second laser diode bar 312 and the fourth laser diode bar 314, And is arranged to have an angle of? 2 with respect to the diode bar 313.

도 5에는 복수의 레이저 다이오드 바(311, 312, 313, 314, 315)의 광축의 연장선(L'1, L'2, L'3, L'4, L'5)들이 레이저 다이오드 바(311, 312, 313, 314, 315)의 후단으로부터 일정 거리 떨어진 영역(B) 내에서 모두 교차하는 예를 도시하였으나, 실시예에 따라, 복수의 레이저 다이오드 바(311, 312, 313, 314, 315) 중 일부와 다른 일부는 서로 다른 위치에서 광축의 연장선(L'1, L'2, L'3, L'4, L'5)들이 교차하도록 구성될 수도 있다.5, extended lines (L'1, L'2, L'3, L'4, L'5) of the optical axes of the plurality of laser diode bars 311, 312, 313, 314 and 315 correspond to laser diode bars 311 312, 313, 314, and 315 according to an embodiment of the present invention, the laser diode bars 311, 312, 313, 314, and 315 intersect in the region B, (L'1, L'2, L'3, L'4, L'5) of the optical axis cross at different positions.

본 발명의 제4 실시예에 따른 레이저 다이오드 모듈(4)로부터 출사된 레이저들에 의해 형성되는 빔 패턴은 확장된다. 따라서, 레이저 다이오드 모듈(4)로부터 출사된 빔 패턴의 폭은 복수의 레이저 다이오드 바(311, 312, 313, 314, 315) 중 최외곽에 위치한 2개의 레이저 다이오드 바(311, 315)의 거리보다 크게 될 수 있다.The beam pattern formed by the lasers emitted from the laser diode module 4 according to the fourth embodiment of the present invention is expanded. Therefore, the width of the beam pattern emitted from the laser diode module 4 is smaller than the distance between the two laser diode bars 311 and 315 located at the outermost one of the plurality of laser diode bars 311, 312, 313, 314 and 315 Can be increased.

도 5에는 복수의 레이저 다이오드 바(311, 312, 313, 314, 315)의 출사면(311a, 312a, 313a, 314a, 315a) 및 도전성 부재(321, 322, 323, 324, 325, 326)의 선단이 호(弧) 형상을 이루도록 배치된 예를 도시하였으나, 이에 한정되지 않으며, 도 4에 도시된 실시예와 유사하게 출사면(311a, 312a, 313a, 314a, 315a)과 도전성 부재(321, 322, 323, 324, 325, 326)의 선단이 전체적으로 직선상에 위치하도록 배치될 수도 있다.5 shows the outgoing faces 311a, 312a, 313a, 314a and 315a of the plurality of laser diode bars 311, 312, 313, 314 and 315 and the outgoing faces 311a, 313a, 314a and 315a of the conductive members 321, 322, 323, 324, 325 and 326 312a, 313a, 314a, and 315a and the conductive members 321, 322, and 323 are similar to the embodiment shown in FIG. 4, 322, 323, 324, 325, 326 may be disposed so as to be entirely on a straight line.

도 6은 본 발명의 제5 실시예에 따른 방사형 레이저 다이오드 모듈을 개략적으로 도시한 평면도이다.6 is a plan view schematically showing a radial laser diode module according to a fifth embodiment of the present invention.

도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제5 실시예에 따른 방사형 레이저 다이오드 모듈(5)은 전술한 제4 실시예에 따른 방사형 레이저 다이오드 모듈(4)과 비교하여, 도전성 부재(321', 322', 323', 324', 325', 326')의 구조가 상이하다.6, the radial laser diode module 5 according to the fifth embodiment of the present invention is different from the radial laser diode module 4 according to the fourth embodiment described above in that the conductive members 321 ', 322' 322 ', 323', 324 ', 325', and 326 'have different structures.

본 실시예에 따른 도전성 부재(321', 322', 323', 324', 325', 326') 중 2개의 복수의 레이저 다이오드 바(311, 312, 313, 314, 315)의 사이에 위치하는 도전성 부재(322', 323', 324', 325')는, 레이저 다이오드 바(311, 312, 313, 314, 315)와 접하는 도전성 플레이트(322a, 322b, 323a, 323b, 324a, 324b, 325a, 325b)와, 도전성 플레이트(322a, 322b, 323a, 323b, 324a, 324b, 325a, 325b) 사이에 개재되는 전도성 솔더(337, 338, 339, 340)를 포함한다.312, 313, 314, and 315 of the conductive members 321 ', 322', 323 ', 324', 325 ', and 326' according to the present embodiment are disposed between the two laser diode bars 311, The conductive members 322 ', 323', 324 ', and 325' are electrically connected to the conductive plates 322a, 322b, 323a, 323b, 324a, 324b, 325a, and 325b in contact with the laser diode bars 311, 312, 313, 314, 325b and conductive solders 337, 338, 339, 340 interposed between the conductive plates 322a, 322b, 323a, 323b, 324a, 324b, 325a, 325b.

전도성 솔더(337, 338, 339, 340)는 도전성 플레이트(322a, 322b, 323a, 323b, 324a, 324b, 325a, 325b)를 지지하면서, 양측의 도전성 플레이트(322a, 322b, 323a, 323b, 324a, 324b, 325a, 325b)를 전기적으로 연결한다.The conductive solder 337, 338, 339, and 340 are electrically connected to the conductive plates 322a, 322b, 323a, 323b, 324a, and 324b on both sides while supporting the conductive plates 322a, 322b, 323a, 323b, 324a, 324b, 325a, 324b, 325a, and 325b are electrically connected.

집광형 레이저 다이오드 모듈(5)의 양측에 위치하는 도전성 부재(321', 326')는 도전성 플레이트로 구성될 수 있다.Conductive members 321 'and 326' positioned on both sides of the light-convergence type laser diode module 5 may be formed of a conductive plate.

전술한 제4 실시예에 따른 방사형 레이저 다이오드 모듈(4)은 선단측의 폭(W1)이 후단측의 폭(W2)보다 크게 형성된 도전성 부재(321, 322, 323, 324, 325, 326)를 포함한 반면, 본 발명의 제5 실시예에 따른 집광형 레이저 다이오드 모듈(5)은 대략 직육면체의 도전성 플레이트(322a, 322b, 323a, 323b, 324a, 324b, 325a, 325b)를 사용하는 대신, 도전성 플레이트(322a, 322b, 323a, 323b, 324a, 324b, 325a, 325b)의 사이에 개재되는 전도성 솔더(337, 338, 339, 340)가 선단측의 폭(W1)이 후단측의 폭(W2)보다 크게 형성된다.The radial laser diode module 4 according to the fourth embodiment has the conductive members 321, 322, 323, 324, 325, and 326 having the front end width W1 greater than the rear end width W2 The condensing laser diode module 5 according to the fifth embodiment of the present invention uses the substantially rectangular parallelepiped conductive plates 322a, 322b, 323a, 323b, 324a, 324b, 325a, 325b, The conductive solder 337, 338, 339, and 340 interposed between the conductive terminals 322a, 322b, 323a, 323b, 324a, 324b, 325a, and 325b has a width W1 at the front end side and a width W2 at the rear end side .

도 6에는 복수의 레이저 다이오드 바(311, 312, 313, 314, 315) 사이에 하나의 전도성 솔더(337, 338, 339, 340)와, 전도성 솔더(337, 338, 339, 340)의 양측에 각각 접하는 도전성 플레이트(322a, 322b, 323a, 323b, 324a, 324b, 325a, 325b)가 개재되는 예를 도시하였으나, 실시예에 따라 복수의 레이저 다이오드 바(311, 312, 313, 314, 315) 사이에 개재되는 전도성 솔더(337, 338, 339, 340)와 도전성 플레이트(322a, 322b, 323a, 323b, 324a, 324b, 325a, 325b)의 개수는 실시예에 따라 다양하게 변경될 수 있다.6 shows one conductive solder 337, 338, 339, and 340 between the plurality of laser diode bars 311, 312, 313, 314 and 315 and conductive solders 337, 338, 339 and 340 on both sides The conductive plates 322a, 322b, 323a, 323b, 324a, 324b, 325a, and 325b that are in contact with each other are interposed between the laser diode bars 311, 312, 313, 314, and 315 The number of the conductive solders 337, 338, 339, and 340 and the number of the conductive plates 322a, 322b, 323a, 323b, 324a, 324b, 325a, and 325b interposed between the conductive plates 321 and 322 can be variously changed according to the embodiment.

한편, 도 7은 본 발명의 제4 및 5 실시예에 따른 레이저 다이오드 모듈의 레이저 다이오드 바들 간의 각도 관계를 설명하기 위한 도면이다.FIG. 7 is a view for explaining the angular relationship between the laser diode bars of the laser diode module according to the fourth and fifth embodiments of the present invention.

도 7에서는 연산의 편의를 위해 각 레이저 다이오드 바(311, 312, 313, 314, 315)의 Emitter를 점광원으로 가정하여 한 점(O)에 위치한 것으로 도시하였다. 또한, 설명의 편의를 위해 제1 레이저 다이오드 바(311)와 제2 레이저 다이오드 바(312)로부터 출사되는 빔 패턴은 도시하지 않았지만, 제1 레이저 다이오드 바(311)와 제2 레이저 다이오드 바(312)는 각각 제3 레이저 다이오드 바(313)의 광축(L3)을 중심으로 제5 레이저 다이오드 바(315)와 제4 레이저 다이오드 바(316)와 대칭되도록 배치된다는 전제로 생략하였다.In FIG. 7, the emitters of the laser diode bars 311, 312, 313, 314 and 315 are assumed to be located at one point (O) for convenience of calculation. For convenience of explanation, the beam pattern emitted from the first laser diode bar 311 and the second laser diode bar 312 is not shown, but the first laser diode bar 311 and the second laser diode bar 312 Are omitted from the assumption that they are arranged to be symmetrical with respect to the fifth laser diode bar 315 and the fourth laser diode bar 316 about the optical axis L3 of the third laser diode bar 313, respectively.

도 7에 도시된 바와 같이, 제3 실시예에 따른 레이저 다이오드 모듈(3)은 레이저 다이오드 바(311, 312, 313, 314, 315)의 출사면으로부터 거리 d만큼 이격된 표면(예를 들어, 피부 표면 등)에 레이저 빔을 조사한다.7, the laser diode module 3 according to the third embodiment has a surface spaced apart from the emitting surface of the laser diode bars 311, 312, 313, 314, and 315 by a distance d (for example, Skin surface, etc.) with a laser beam.

표면에 조사되는 레이저 빔은 각 레이저 다이오드 바(311, 312, 313, 314, 315)로부터 출사된 단위 빔 패턴들로 구성되며, 레이저 빔이 조사되는 표면에서 단위 빔 패턴들 사이에 레이저가 도달하지 않는 영역이 존재하는 것은 바람직하지 않다.The laser beam irradiated on the surface is composed of the unit beam patterns emitted from the respective laser diode bars 311, 312, 313, 314, and 315, and the laser does not reach between the unit beam patterns on the surface irradiated with the laser beam It is not desirable that there is an area that does not exist.

이를 위해 각 레이저 다이오드 바(311, 312, 313, 314, 315)들 간의 각도 관계가 중요하다.For this purpose, the angle relationship between the laser diode bars 311, 312, 313, 314, and 315 is important.

도 7에 도시된 바와 같이, 각 레이저 다이오드 바(311, 312, 313, 314, 315)로부터 출사되는 빔 패턴의 패스트축(fast axis)(도 9 참고)의 방사각이 δ(fast axis angle)이면, 제3 레이저 다이오드 바와 제4 레이저 다이오드 바 사이의 각도(θ1)는 δ보다 작거나 같아야만 제3 레이저 다이오드 바로부터 출사되는 단위 빔 패턴과 제4 레이저 다이오드 바로부터 출사되는 단위 빔 패턴이 중첩되거나 접하게 된다.7, the fast axis (see FIG. 9) of the beam pattern emitted from each of the laser diode bars 311, 312, 313, 314 and 315 has a fast axis angle of? , The unit beam pattern emitted from the third laser diode bar and the unit beam pattern emitted from the fourth laser diode bar must be equal to or smaller than the angle? 1 between the third laser diode bar and the fourth laser diode bar, Overlap or touch.

그리고 제3 레이저 다이오드 바와 제5 레이저 다이오드 바 사이의 각도(θ2)는 2*δ보다 작거나 같아야만 한다.And the angle (? 2 ) between the third laser diode bar and the fifth laser diode bar should be less than or equal to 2 *?.

도시되지는 않았지만, 제5 레이저 다이오드 바의 외측으로 또 다른 레이저 다이오드 바(제7 레이저 다이오드 바)가 하나 더 있다면, 제3 레이저 다이오드 바와 제7 레이저 다이오드 바 사이의 각도(θ3)는 3*δ보다 작거나 같아야만 한다.Although not shown, if there is another laser diode bar (seventh laser diode bar) outside the fifth laser diode bar, the angle 3 between the third laser diode bar and the seventh laser diode bar is 3 * should be less than or equal to δ.

이를 일반화하면, 제3 레이저 다이오드 바로부터 N번째에 존재하는 레이저 다이오드 바와 제3 레이저 다이오드 바 사이의 각도(θn)는 N*δ보다 작거나 같아야만 한다.If this is generalized, the angle (? N ) between the laser diode bar and the third laser diode bar existing at the Nth from the third laser diode bar must be smaller than or equal to N *?.

그리고 레이저 다이오드 바(311, 312, 313, 314, 315)의 출사면으로부터 거리 d만큼 이격된 표면에 조사된 레이저 빔의 패스트축(fast axis) 방향 길이를 Ln이라 하면, 아래와 같은 관계식이 성립한다.Assuming that the fast axis direction length of the laser beam irradiated on the surface of the laser diode bars 311, 312, 313, 314, and 315 spaced from the exit surface by the distance d is L n , do.

Figure pat00002
Figure pat00002

따라서, 레이저 빔의 패스트축(fast axis) 방향의 전체 길이(Ln)는 2dtan(θn+δ/2)가 된다.Therefore, the total length L n of the laser beam in the fast axis direction is 2d tan (? N +? / 2).

본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.It will be understood by those skilled in the art that the present invention may be embodied in other specific forms without departing from the spirit or essential characteristics thereof. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the appended claims rather than the detailed description and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents are to be construed as being included within the scope of the present invention do.

1~5: 레이저 다이오드 모듈
11~15, 211~215, 311~315: 레이저 다이오드 바
11a~15a, 211a~215a, 311a~315a: 출사면
16, 17, 18, 19, 377, 338, 339, 340: 전도성 솔더
21~26, 21'~26', 221~226, 321~326, 321'~326': 도전성 부재
22a~25a, 22b~25b, 322a~325a, 322b~325b: 도전성 플레이트
L1~L5: 광축
L'1~L'5: 광축의 연장선
E: 에미터1 to 5: Laser Diode Module
11 to 15, 211 to 215, and 311 to 315: laser diode bar
11a to 15a, 211a to 215a, 311a to 315a:
16, 17, 18, 19, 377, 338, 339, 340: conductive solder
21 to 26, 21 'to 26', 221 to 226, 321 to 326, 321 'to 326'
22a to 25a, 22b to 25b, 322a to 325a, 322b to 325b:
L1 to L5:
L'1 to L'5: extension line of the optical axis
E: Emitter

Claims (15)

복수의 레이저 다이오드 바 및 각각의 상기 레이저 다이오드 바의 양측에 접하도록 형성되어 상기 레이저 다이오드 바와 전기적으로 연결되는 도전성 부재를 포함하며,
상기 복수의 레이저 다이오드 바는, 각각의 상기 레이저 다이오드 바로부터 출력되는 레이저의 광축의 연장선 중 적어도 일부가 상호 교차하도록 구비되는, 레이저 다이오드 모듈.A plurality of laser diode bars, and a conductive member formed to be in contact with both sides of each of the laser diode bars and electrically connected to the laser diode bar,
Wherein the plurality of laser diode bars are provided so that at least a part of extension lines of the optical axis of the laser output from each laser diode bar cross each other. 제1항에 있어서,
상기 복수의 레이저 다이오드로부터 출력된 레이저에 의해 형성되는 빔의 출력밀도(power density)가 증가되도록,
상기 복수의 레이저 다이오드는 상기 광축의 연장선 중 적어도 일부가 레이저가 출력되는 상기 레이저 다이오드의 출사면의 전방에서 상호 교차하도록 구비되는, 레이저 다이오드 모듈.The method according to claim 1,
The power density of the beam formed by the laser output from the plurality of laser diodes is increased,
Wherein the plurality of laser diodes are provided such that at least a part of the extension lines of the optical axis cross each other in front of an emission surface of the laser diode from which the laser is output. 제2항에 있어서,
상기 복수의 레이저 다이오드 바 중 적어도 하나의 초점거리(R), 상기 복수의 레이저 다이오드 바 중 이웃하는 레이저 다이오드 바의 출사면 사이의 거리(S) 및 상기 복수의 레이저 다이오드 바 중 이웃하는 레이저 다이오드 바 사이의 각도(ρ) 사이에는 하기의 관계식 1이 성립하는, 레이저 다이오드 모듈.
[관계식 1]
Figure pat00003
3. The method of claim 2,
A distance (S) between the focal length (R) of at least one of the plurality of laser diode bars, an exit surface (S) of an adjacent laser diode bar among the plurality of laser diode bars, (1) is satisfied between angles (?) Between the laser diodes (1) and (2).
[Relation 1]
Figure pat00003
 제1항에 있어서,
상기 복수의 레이저 다이오드로부터 출력된 레이저에 의해 형성되는 빔 패턴이 패스트축(fast axis) 방향으로 확장되도록,
상기 복수의 레이저 다이오드는 상기 광축의 연장선 중 적어도 일부가 레이저가 출력되는 상기 레이저 다이오드의 출사면의 후방에서 상호 교차하도록 구비되는, 레이저 다이오드 모듈.The method according to claim 1,
And a beam pattern formed by the laser output from the plurality of laser diodes is expanded in a fast axis direction,
Wherein the plurality of laser diodes are provided such that at least a part of the extension lines of the optical axis cross each other behind the emission surface of the laser diode from which the laser is output. 제4항에 있어서,
복수의 레이저 다이오드로부터 출력된 레이저가 조사 표면에 형성하는 빔 패턴의 패스트축(fast axis) 방향 길이(Ln), 상기 복수의 레이저 다이오드의 출사면과 상기 조사 표면 사이의 거리(d), 상기 복수의 레이저 다이오드 중 적어도 하나로부터 출사되는 빔 패턴의 패스트 액시스 앵글(fast axis angle(δ)), 상기 복수의 레이저 다이오드 중 임의로 선택된 2개의 레이저 다이오드 사이의 각도(θn) 사이에는 하기의 관계식 1이 성립하는, 레이저 다이오드 모듈.
[관계식 1]
Figure pat00004
5. The method of claim 4,
A fast axis direction length (L n ) of a beam pattern formed by a laser beam output from a plurality of laser diodes on the irradiation surface, a distance d between an emission surface of the plurality of laser diodes and the irradiation surface, A fast axis angle (?) Of a beam pattern emitted from at least one of the plurality of laser diodes, and an angle (? N ) between arbitrarily selected two laser diodes among the plurality of laser diodes satisfy the following relational expression 1 This establishes the laser diode module.
[Relation 1]
Figure pat00004
 제1항에 있어서,
상기 복수의 레이저 다이오드 바로부터 출사된 레이저가 집광되도록, 상기 도전성 부재는 상기 레이저 다이오드의 출사면과 인접한 선단측의 폭이 상기 선단측의 반대측에 위치한 후단측의 폭보다 작게 형성되는, 레이저 다이오드 모듈.The method according to claim 1,
Wherein the conductive member is formed such that the width of the tip end side adjacent to the exit surface of the laser diode is smaller than the width of the trailing end side located on the opposite side of the tip end side so that the laser emitted from the plurality of laser diode bars is condensed, . 제1항에 있어서,
상기 복수의 레이저 다이오드 바로부터 출사된 레이저에 의해 형성되는 빔 패턴이 확장되도록, 상기 도전성 부재는 상기 레이저 다이오드의 출사면과 인접한 선단측의 폭이 상기 선단측의 반대측에 위치한 후단측의 폭보다 크게 형성되는, 레이저 다이오드 모듈.The method according to claim 1,
The width of the tip side adjacent to the emitting surface of the laser diode is larger than the width of the trailing side located on the opposite side of the tip side so that the beam pattern formed by the laser emitted from the plurality of laser diode bars is extended A laser diode module. 제1항에 있어서,
상기 도전성 부재 중 적어도 일부는,
상기 복수의 레이저 다이오드 바에 각각 접하는 한 쌍의 도전성 플레이트와 상기 한 쌍의 도전성 부재 사이에 형성되는 전도성 솔더를 포함하는, 레이저 다이오드 모듈.The method according to claim 1,
Wherein at least a part of the conductive member
And a conductive solder formed between the pair of conductive members and a pair of conductive plates respectively contacting the plurality of laser diode bars. 제1항에 있어서,
상기 도전성 부재 중 적어도 일부는,
상호 이격 배치되는 복수의 도전성 플레이트와 상기 복수의 도전성 플레이트를 전기적으로 연결하며 지지하는 전도성 솔더를 포함하는, 레이저 다이오드 모듈.The method according to claim 1,
Wherein at least a part of the conductive member
A plurality of conductive plates spaced apart from each other and a conductive solder for electrically connecting and supporting the plurality of conductive plates. 제1항에 있어서,
상기 복수의 레이저 다이오드 바는,
인접하는 레이저 다이오드 바의 광축이 형성하는 각도가 상기 복수의 레이저 다이오드 바의 패스트 액시스 앵글(fast axis angle(δ))보다 작거나 같도록 구비되는, 레이저 다이오드 모듈.The method according to claim 1,
Wherein the plurality of laser diode bars are arranged such that,
And the angle formed by the optical axis of the adjacent laser diode bar is smaller than or equal to the fast axis angle (?) Of the plurality of laser diode bars. 복수의 레이저 다이오드 바 및
각각의 상기 레이저 다이오드 바의 양측에 접하도록 형성되어 상기 레이저 다이오드 바와 전기적으로 연결되는 도전성 부재를 포함하며,
상기 도전성 부재는 상기 레이저 다이오드에서 레이저가 출사되는 상기 레이저 다이오드의 출사면과 인접한 선단측과 상기 선단측의 반대측인 후단측의 폭이 상이하게 형성되는, 레이저 다이오드 모듈.A plurality of laser diode bars and /
And a conductive member formed to be in contact with both sides of each of the laser diode bars and electrically connected to the laser diode bar,
Wherein the conductive member is formed so that the width of the front end side adjacent to the emitting surface of the laser diode from which the laser is emitted from the laser diode and the rear end side opposite to the front end side are formed to be different from each other. 제11항에 있어서,
상기 복수의 레이저 다이오드 바로부터 출사된 레이저가 집광되도록, 상기 도전성 부재는 상기 선단측의 폭이 상기 후단측의 폭보다 작게 형성되는, 레이저 다이오드 모듈.12. The method of claim 11,
Wherein a width of the conductive member is smaller than a width of the rear end side so that the laser beam emitted from the plurality of laser diode bars is condensed. 제11항에 있어서,
상기 복수의 레이저 다이오드 바로부터 출사된 레이저에 의해 형성되는 빔 패턴이 확장되도록, 상기 도전성 부재는 상기 선단측의 폭이 상기 후단측의 폭보다 크게 형성되는, 레이저 다이오드 모듈.12. The method of claim 11,
Wherein a width of the conductive member is larger than a width of the rear end side so that a beam pattern formed by the laser emitted from the plurality of laser diode bars extends. 제11항에 있어서,
상기 도전성 부재 중 적어도 일부는,
상기 복수의 레이저 다이오드 바에 각각 접하는 한 쌍의 도전성 플레이트와 상기 한 쌍의 도전성 부재 사이에 형성되는 전도성 솔더를 포함하는, 레이저 다이오드 모듈.12. The method of claim 11,
Wherein at least a part of the conductive member
And a conductive solder formed between the pair of conductive members and a pair of conductive plates respectively contacting the plurality of laser diode bars. 제11항에 있어서,
상기 도전성 부재 중 적어도 일부는,
상호 이격 배치되는 복수의 도전성 플레이트와 상기 복수의 도전성 플레이트를 전기적으로 연결하며 지지하는 전도성 솔더를 포함하는, 레이저 다이오드 모듈.12. The method of claim 11,
Wherein at least a part of the conductive member
A plurality of conductive plates spaced apart from each other and a conductive solder for electrically connecting and supporting the plurality of conductive plates.
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009520353A (en) * 2005-12-15 2009-05-21 マインド メルターズ， インコーポレーテッド System and method for generating intense laser light from a laser diode array
US20170117683A1 (en) * 2015-10-22 2017-04-27 Northrup Grumman Space and Mission Systems Corp. Thermally conductive, current carrying, electrically isolated submount for laser diode arrays

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4582779B2 (en) * 2005-02-10 2010-11-17 株式会社アルファ・オイコス Laser heating device
KR100848759B1 (en) * 2007-08-07 2008-07-25 김정수 Semiconductor laser diode chip having a plurality of waveguide
JP2016054295A (en) * 2014-09-01 2016-04-14 三菱電機株式会社 Wavelength coupling external resonator type laser
KR101758165B1 (en) * 2015-02-17 2017-07-14 엘지전자 주식회사 Light emmiting device having laser diode

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009520353A (en) * 2005-12-15 2009-05-21 マインド メルターズ， インコーポレーテッド System and method for generating intense laser light from a laser diode array
US20170117683A1 (en) * 2015-10-22 2017-04-27 Northrup Grumman Space and Mission Systems Corp. Thermally conductive, current carrying, electrically isolated submount for laser diode arrays

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