KR20190032732A - An assessment method and apparatus for lifetime of a pipe - Google Patents

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KR20190032732A
KR20190032732A KR1020170120900A KR20170120900A KR20190032732A KR 20190032732 A KR20190032732 A KR 20190032732A KR 1020170120900 A KR1020170120900 A KR 1020170120900A KR 20170120900 A KR20170120900 A KR 20170120900A KR 20190032732 A KR20190032732 A KR 20190032732A
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ultrapure water
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임재수
오의기
성백민
이종선
조수형
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삼성전자주식회사
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Abstract

Provided in this invention is a method for assessing the lifespan of a perfluoroalkoxy (PFA) pipe. According to the method for assessing the lifespan of a PFA pipe, a PFA pipe is provided for assessment of the lifespan thereof. Then, an ionized solution is supplied into the PFA pipe. Also, a deionized (DI) water is supplied on the outside of the PFA pipe. Furthermore, change in the ion concentration of the DI water is measured. Here, the change in the ion concentration of the DI water is caused by the ionized solution permeating through the DI water.

Description

배관 수명 평가 방법 및 장치{AN ASSESSMENT METHOD AND APPARATUS FOR LIFETIME OF A PIPE}METHOD AND APPARATUS FOR LIFETIME OF A PIPE BACKGROUND OF THE INVENTION [0001]

본 발명은, 배관 수명 평가 방법 및 장치에 관한 것이다. 구체적으로, PFA(Perfluoroalkoxy) 소재의 배관의 이온 투과도를 측정하여, PFA 배관의 수명을 평가하는 방법 및 이를 이용하는 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a piping life evaluation method and apparatus. More specifically, the present invention relates to a method for evaluating the life of a PFA pipe by measuring the ion permeability of a pipe of PFA (perfluoroalkoxy) material, and a device using the same.

일반적으로 배관은 일정 시간이 흐른 뒤에 배관의 감육(Wall Thinning) 또는 변형으로 인한 모양 변화, 두께 감소, 무게 감소등이 발생하여, 이러한 변화를 이용하여 부식률, 잔존 수명 평가등을 진행 하는 것이 일반적인 배관 평가 기법이다.Generally, after a certain period of time, the pipe changes shape due to wall thinning or deformation, thickness decrease, weight decrease, etc., and it is common to carry out the corrosion rate and the remaining life evaluation Piping evaluation technique.

불소수지 특성상, PFA(Perfluoroalkoxy)는 일정한 시간이 흐른 뒤에도 부식이 되지 않는다. 또한, PFA는 일정한 시간이 흐른 뒤에도 두께가 감소되지 않는다. 또한, PFA는 일정한 시간이 흐른 뒤에도 무게가 감소되지 않는다. 그러므로, 일반적인 배관 평가 기법으로는 PFA 배관의 결함 정도 및 수명을 평가하기 어려울 수 있다. 따라서, PFA 배관의 수명을 예측 및 평가하기 위한 다른 방법 및 장치를 제공하고자 한다. Due to the nature of the fluororesin, PFA (Perfluoroalkoxy) does not corrode after a certain period of time. Also, the PFA does not decrease in thickness after a certain time. Also, the PFA does not decrease in weight even after a certain period of time. Therefore, it may be difficult to evaluate the degree of defects and lifetime of PFA piping by general piping evaluation techniques. Accordingly, it is an object of the present invention to provide another method and apparatus for predicting and evaluating the life of a PFA pipe.

본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 PFA(Perfluoroalkoxy) 배관의 수명 평가 방법을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a method for evaluating the life of a PFA (Perfluoroalkoxy) pipe.

본 발명이 해결하고자 하는 다른 기술적 과제는 PFA(Perfluoroalkoxy) 배관의 수명 평가 장치를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide an apparatus for evaluating the life of a PFA (Perfluoroalkoxy) pipe.

본 발명의 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The technical objects of the present invention are not limited to the technical matters mentioned above, and other technical subjects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 몇몇 실시예들에 따른 배관 수명 평가 방법은, PFA(Perfluoroalkoxy) 배관의 수명을 평가하기 위한 방법으로서, 수명을 평가하고자 하는 PFA 배관을 제공하고, PFA 배관 내부에 이온화 용액을 제공하고, PFA 배관 외부에 초순수(DI water: Deionized water)를 제공하고, 초순수의 이온 농도 변화를 측정하는 것을 포함하되, 초순수의 이온 농도 변화는 이온화 용액이 초순수로 투과(permeation)되는 것에 기인한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method for evaluating the life of a PFA (Perfluoroalkoxy) pipe, comprising the steps of: providing a PFA pipe for evaluating the life of the pipe; (DI water) to the outside of the PFA pipe and measuring the ion concentration change of the ultrapure water, wherein the change in the ion concentration of the ultrapure water is caused by the permeation of the ionized solution into the ultra pure water do.

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 몇몇 실시예들에 따른 배관 수명 평가 장치는, PFA(Perfluoroalkoxy) 배관에 부착되어 PFA 배관의 수명을 평가하는데 이용되는 수명 평가 장치로서, 내부에 초순수가 제공되는 투과부, 및 투과부 내부에 제공된 초순수의 이온 농도를 측정하기 위한 이온 농도 측정부를 포함하되, PFA 배관 내부의 용액은 투과부의 내부로 투과(permeation)되고, 투과부 내부에 제공된 초순수는 수명 평가 장치 외부로 배출되지 않는 배관 수명 평가 장치한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a life evaluating apparatus for evaluating the life of a PFA pipe attached to a PFA (Perfluoroalkoxy) pipe. The life evaluating apparatus includes a permeate portion provided with ultra- And an ion concentration measuring unit for measuring the ion concentration of the ultrapure water provided in the permeable portion, wherein the solution in the PFA pipe permeates into the permeable portion, and the ultrapure water provided in the permeable portion is not discharged to the outside of the life evaluation device The life evaluation device.

기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.The details of other embodiments are included in the detailed description and drawings.

도 1은, 몇몇 실시예들에 따른 PFA(Perfluoroalkoxy) 배관의 수명 평가 방법을 설명하기 위한 예시적인 순서도이다.
도 2a 및 도 2b는, 몇몇 실시예들에 따른 PFA 배관의 라인 구성을 설명하기 위한 예시적인 도면이다.
도 3은, 다른 몇몇 실시예들에 따른 PFA(Perfluoroalkoxy) 배관의 수명 평가 방법을 설명하기 위한 예시적인 순서도이다.
도 4는, 몇몇 실시예들에 따른 이온 농도 보상 방법을 설명하는 예시적인 순서도이다.
도 5는, 몇몇 실시예들에 따른 정밀 진단을 설명하기 위한 예시적인 도면이다.
도 6은, 몇몇 실시예들에 따른 배관 수명 평가 장치를 설명하기 위한 예시적인 블록도이다.
도 7은, 몇몇 실시예들에 따른 배관 수명 평가 장치의 사시도이다.
도 8은, 도 7의 배관 수명 평가 장치(600)를 A-A' 방향, yz 평면으로 자른 단면도이다.
도 9는, 도 7의 배관 수명 평가 장치(600)를 B-B' 방향, xy 평면으로 자른 단면도이다.
도 10은, 다른 몇몇 실시예들에 따른 배관 수명 평가 장치(600)를 설명하기 위한 도면이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Figure 1 is an exemplary flow chart illustrating a method of evaluating the life of PFA (Perfluoroalkoxy) piping according to some embodiments.
2A and 2B are exemplary views for explaining a line configuration of a PFA pipe according to some embodiments.
Figure 3 is an exemplary flow chart illustrating a method of evaluating the life of PFA (Perfluoroalkoxy) piping according to some other embodiments.
4 is an exemplary flow chart illustrating the ion concentration compensation method according to some embodiments.
Figure 5 is an exemplary diagram for describing fine-tuning in accordance with some embodiments.
6 is an exemplary block diagram for explaining a pipe life evaluating apparatus according to some embodiments.
7 is a perspective view of a pipe life evaluating apparatus according to some embodiments.
Fig. 8 is a sectional view of the pipe life evaluating apparatus 600 of Fig. 7 taken along the AA 'direction and the yz plane.
Fig. 9 is a cross-sectional view of the pipe life evaluating apparatus 600 of Fig. 7 taken along the line BB 'in xy plane.
10 is a view for explaining a pipe life evaluating apparatus 600 according to some other embodiments.

도 1은, 몇몇 실시예들에 따른 PFA(Perfluoroalkoxy) 배관의 수명 평가 방법을 설명하기 위한 예시적인 순서도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Figure 1 is an exemplary flow chart illustrating a method of evaluating the life of PFA (Perfluoroalkoxy) piping according to some embodiments.

도 1을 참조하면, 먼저 PFA(Perfluoroalkoxy) 배관을 제공한다(S110). PFA 배관을 제공하는 것은, 예를 들어, 수명을 평가하고자 하는 PFA 배관을 해체하여 제공할 수 있다. 도 2a 및 도 2b를 참조하여, PFA 배관을 탈착하는 예시를 설명한다. Referring to FIG. 1, first, a PFA (Perfluoroalkoxy) pipe is provided (S110). Providing the PFA piping can be provided by, for example, disassembling the PFA piping for which the lifetime is to be evaluated. An example of detaching the PFA pipe will be described with reference to Figs. 2A and 2B.

도 2a 및 도 2b는, 몇몇 실시예들에 따른 PFA 배관의 라인 구성을 설명하기 위한 예시적인 도면이다.2A and 2B are exemplary views for explaining a line configuration of a PFA pipe according to some embodiments.

먼저 도 2a를 참조하면, PFA 배관의 수명 평가를 위한 전제조건으로서, 용액을 공급하는 PFA 배관을 병렬적으로 구성할 수 있다. 예를 들어, PFA 배관을 제1 및 제2 라인(205, 206)으로 구성할 수 있다.First, referring to FIG. 2A, as a precondition for evaluating the life of the PFA pipe, a PFA pipe for supplying the solution can be constructed in parallel. For example, the PFA pipe can be constituted by the first and second lines 205 and 206.

PFA 배관의 일반적인 사용에서는(200), 제1 및 제2 밸브(201, 202)를 열어둔 상태에서 용액을 공급할 수 있다. 그러나, PFA 배관의 수명 평가를 위해, 공급 라인에서 PFA 배관을 탈착해야 하는 경우(210), 제1 및 제2 밸브(201, 202)를 잠근 상태에서, 제1 라인(205)을 탈착하여 수명 평가에 이용할 수 있다. 이때, 제2 라인(206)을 통해 용액을 공급할 수 있으므로, 용액 공급의 중단 없이 본 발명의 몇몇 실시예들에 따른 수명 평가 방법을 수행할 수 있다. In general use of the PFA piping (200), the solution can be supplied with the first and second valves (201, 202) open. However, in order to evaluate the life of the PFA pipe, when the PFA pipe is to be detached from the supply line (210), the first and second valves (201, 202) It can be used for evaluation. At this time, since the solution can be supplied through the second line 206, the life evaluation method according to some embodiments of the present invention can be performed without stopping the supply of the solution.

도 2b를 참조하면, 도 2a와 마찬가지로 PFA 배관을 제1 및 제2 라인(225, 226)으로 구성할 수 있다.Referring to FIG. 2B, as in FIG. 2A, the PFA pipe may include first and second lines 225 and 226.

도 2a에서와는 달리, PFA 배관의 일반적인 사용에서는(220), 제1 및 제2 밸브(221, 222)를 잠그고, 제3 및 제4 밸브(223, 224)를 열어둔 상태에서 용액을 공급할 수 있다. 그러나, PFA 배관의 수명 평가를 위해, 공급 라인에서 PFA 배관을 탈착해야 하는 경우(230), 제1 및 제2 밸브(221, 222)를 열고, 제3 및 제4 밸브(223, 224)를 닫은 상태에서, 제2 라인(226)을 탈착하여 수명 평가에 이용할 수 있다. 이때, 제1 라인(225)을 통해 용액을 공급할 수 있으므로, 용액 공급의 중단 없이 본 발명의 몇몇 실시예들에 따른 수명 평가 방법을 수행할 수 있다. Unlike in FIG. 2A, in a typical use of a PFA tubing 220, the first and second valves 221 and 222 may be closed and the solution may be supplied with the third and fourth valves 223 and 224 open . However, in order to evaluate the life of the PFA pipe, when the PFA pipe is to be detached from the supply line 230, the first and second valves 221 and 222 are opened and the third and fourth valves 223 and 224 are opened In the closed state, the second line 226 can be detached and used for life evaluation. At this time, since the solution can be supplied through the first line 225, the life evaluation method according to some embodiments of the present invention can be performed without stopping the supply of the solution.

도 2a 및 도 2b에서, 용액 공급의 중단 없이 PFA 배관을 탈착하기 위한 PFA 배관의 라인 구성을 설명하였으나, 실시예들이 이에 제한되지는 않는다. 본 발명의 기술 분야에서, 통상의 지식을 가진 자라면 몇몇 실시예들을 조합하거나 변형함으로써 용액의 공급을 중단하지 않고, PFA 배관을 탈착할 수 있을 것이다.In FIGS. 2A and 2B, the line configuration of the PFA pipe for desorbing the PFA pipe without stopping the supply of the solution has been described, but the embodiments are not limited thereto. In the technical field of the present invention, those skilled in the art will be able to detach the PFA pipe without interrupting the supply of the solution by combining or modifying some embodiments.

다시 도 1을 참조하면, 탈착한 PFA 배관 내부에 이온화 용액을 제공한다(S120). 몇몇 실시예들에서, 이온화 용액이란, 액체상에서 일부 원자 또는 분자가 이온화되어 존재하는 화학 용액일 수 있다. 몇몇 실시에들에서, 이온화 용액은 강산(strong acid)이나, 강염기(strong base)일 수 있으나, 실시예들이 이에 제한되지는 않는다. 예를 들어, 이온화 용액은 NH4OH일 수 있다.Referring again to FIG. 1, an ionized solution is provided inside the desorbed PFA pipe (S120). In some embodiments, the ionizing solution may be a chemical solution in which some atoms or molecules in the liquid phase are ionized. In some embodiments, the ionizing solution may be a strong acid or a strong base, but the embodiments are not limited thereto. For example, an ionized solution may be NH 4 OH.

PFA 배관 외부에 초순수(DI water: Deionized water, UPW: Ultra Pure Water)를 제공한다(S130). 초순수는 물의 성분만을 함유하는 수질을 나타내는 순수 물을 의미하며 극도로 정제한 물을 의미한다.DI water (Deionized water) (UPW: Ultra Pure Water) is supplied to the outside of the PFA pipe (S130). Ultrapure water refers to pure water that represents water quality containing only water components and means highly purified water.

몇몇 실시예들에서, 일정 기간이 도과하면, 이온화 용액이 PFA 배관 내부로부터 PFA 배관 외부의 초순수로 투과(permeation)되기 때문에, 일정 기간이 도과한 초순수는 "수용액"으로 지칭한다. 따라서, 본 명세서에서, 수용액의 이온 농도는 PFA 배관 외부에 제공된 초순수의 농도 변화량일 수 있다.In some embodiments, after a certain period of time, since the ionizing solution is permeated from the inside of the PFA pipe to the ultra pure water outside the PFA pipe, the ultrapure water that has been in a certain period of time is referred to as "aqueous solution ". Therefore, in the present specification, the ion concentration of the aqueous solution may be the concentration change amount of the ultrapure water provided outside the PFA pipe.

PFA 배관 외부에 초순수를 제공한 시점으로부터 미리 정한 기간이 도과하면, PFA 배관 외부에서 수용액을 샘플링한다(S140). 몇몇 실시예들에서, 미리 정한 기간은 변동될 수 있고, 실험실의 환경에 따라 그 기간이 달라질 수 있다. 예를 들어, 상온에서 미리 정한 기간은 2주일 수 있고, 섭씨 60도의 환경에서는 이보다 짧을 수 있다. 예를 들어, PFA 배관 외부에 초순수를 제공하고, 2주 후 수용액의 일부를 샘플링할 수 있다. 그러나, 실시예들이 이에 제한되지는 않는다. When a predetermined period has elapsed from the point of time when the ultrapure water is supplied to the outside of the PFA pipe, the aqueous solution is sampled outside the PFA pipe (S140). In some embodiments, the predetermined period may be varied and the period may vary depending on the laboratory environment. For example, the predetermined period at room temperature may be two weeks, and may be shorter in an environment of 60 degrees Celsius. For example, ultra pure water may be provided outside the PFA pipe, and a portion of the aqueous solution may be sampled after 2 weeks. However, the embodiments are not limited thereto.

샘플링된 수용액의 이온 농도를 측정한다(S150). 샘플링된 수용액의 이온 농도 측정은 이온 크로마토그래피(ion chromatography)를 이용할 수 있으나, 실시예들이 이에 제한되지는 않는다. 샘플링된 수용액의 이온 농도는 ppm(part per million) 또는 ppb(part per billion) 단위일 수 있다. 샘플링된 수용액의 측정된 이온 농도를 검토하여(S160), PFA 배관의 수명 평가를 완료한다.The ion concentration of the sampled aqueous solution is measured (S150). The ion concentration of the sampled aqueous solution can be measured by ion chromatography, but the embodiments are not limited thereto. The ion concentration of the sampled aqueous solution may be in parts per million (ppm) or parts per billion (ppb). The measured ion concentration of the sampled aqueous solution is examined (S160) to complete the life evaluation of the PFA pipe.

예를 들어, 샘플링된 수용액의 측정된 이온 농도가 제1 기준치(A) 미만이면, PFA 배관의 평가 수명은 5년 이상일 수 있다(S162).For example, if the measured ion concentration of the sampled aqueous solution is less than the first reference value A, the evaluation life of the PFA pipe may be 5 years or more (S162).

예를 들어, 샘플링된 수용액의 측정된 이온 농도가 제1 기준치(A) 이상, 제2 기준치(B) 미만이면, 정밀 진단이 필요할 수 있다(S164). For example, if the measured ion concentration of the sampled aqueous solution is more than the first reference value A and less than the second reference value B, fine diagnosis may be required (S164).

예를 들어, 샘플링된 수용액의 측정된 이온 농도가 제2 기준치(B) 이상이면, 즉시 PFA 배관을 교체해야 할 수 있다(S166). For example, if the measured ion concentration of the sampled aqueous solution is equal to or higher than the second reference value B, the PFA pipe may be immediately replaced (S166).

도 3은, 다른 몇몇 실시예들에 따른 PFA(Perfluoroalkoxy) 배관의 수명 평가 방법을 설명하기 위한 예시적인 순서도이다.Figure 3 is an exemplary flow chart illustrating a method of evaluating the life of PFA (Perfluoroalkoxy) piping according to some other embodiments.

도 3의 과정 S310, S320, S330, S340, S350, 및 S360 은, 도 1의 과정 S110, S120, S130, S140, S150, 및 S160 과 동일할 수 있다. 이하에서는, 도 1에서 설명한 방법과 차이점을 위주로 설명한다.Steps S310, S320, S330, S340, S350, and S360 of FIG. 3 may be the same as steps S110, S120, S130, S140, S150, and S160 in FIG. Hereinafter, differences from the method described in Fig. 1 will be mainly described.

몇몇 실시예들에서, 미리 정한 기간이 도과한 후 수용액을 샘플링하고(S340), 샘플링된 수용액의 이온 농도를 측정하는 과정(S350)은 N회 반복될 수 있다(S352). 즉, 미리 정한 기간을 T라고할 때, 매 T 기간마다 수용액을 샘플링하고, 이온 농도를 측정할 수 있다. 매 T 기간마다 측정된 수용액의 이온 농도를 기반으로, PFA 배관의 수명을 평가할 수 있다(S360). In some embodiments, the aqueous solution is sampled after a predetermined period of time (S340), and the process of measuring the ion concentration of the sampled aqueous solution (S350) may be repeated N times (S352). That is, when the predetermined period is T, the aqueous solution can be sampled every T periods to measure the ion concentration. The lifetime of the PFA tubing can be evaluated based on the ion concentration of the aqueous solution measured every T period (S360).

예를 들어, 매 T 기간마다 측정된 수용액의 이온 농도를 평균한 것이, 제1 기준치 미만이면, PFA 배관의 평가 수명은 5년 이상일 수 있다(S362). For example, if the average ion concentration of the aqueous solution measured every T periods is less than the first reference value, the evaluation life of the PFA pipe may be 5 years or more (S362).

예를 들어, 매 T 기간마다 측정된 수용액의 이온 농도를 평균한 것이 제1 기준치(A) 이상, 제2 기준치(B) 미만이면, 정밀 진단이 필요할 수 있다(S364). For example, if the average of the ion concentrations of the aqueous solution measured every T periods is equal to or greater than the first reference value A and less than the second reference value B, fine diagnosis may be required (S364).

예를 들어, 매 T 기간마다 측정된 수용액의 이온 농도를 평균한 것이 제2 기준치(B) 이상이면, 즉시 PFA 배관을 교체해야 할 수 있다(S366). 그러나, 실시예들이 이에 제한되지는 않는다. 예를 들어, 매 T 기간마다 기준치가 달라질 수 있다. 예를 들어, 제1 측정 이온 농도가 제1 기준치 미만이고, 제1 측정 시점으로부터 T 기간이 도과한 후의 제2 측정 이온 농도가 제2 기준치 이상인 경우, PFA 배관의 평가 수명은 5년~10년일 수 있다. 이러한, 기준치는 실험실의 환경에 따라 달라질 수 있다.For example, if the average ion concentration of the aqueous solution measured every T period is equal to or greater than the second reference value B, the PFA pipe may be immediately replaced (S366). However, the embodiments are not limited thereto. For example, the reference value may be changed every T periods. For example, when the first measured ion concentration is less than the first reference value and the second measured ion concentration after the T period from the first measurement time exceeds the second reference value, the evaluation life of the PFA pipe is 5 to 10 years . These reference values may vary depending on the environment of the laboratory.

몇몇 실시예들에서, 매 T 기간마다 수용액을 샘플링하고, 수용액의 이온 농도를 측정할 때, 샘플링된 수용액은 이온 농도 측정 과정에서 오염되거나 소실될 수 있기 때문에, 샘플링된 수용액을 다시 수용액으로 추가하는 것은, 실험의 신뢰도와 정확도를 감소시킬 수 있다. 따라서, 샘플링되는 수용액의 양 만큼, 새로운 초순수를 수용액에 추가할 수 있다. In some embodiments, when sampling the aqueous solution every T periods and measuring the ion concentration of the aqueous solution, since the sampled aqueous solution may be contaminated or lost during the ion concentration measurement procedure, the sampled aqueous solution may be added again to the aqueous solution This can reduce the reliability and accuracy of the experiment. Therefore, new ultra pure water can be added to the aqueous solution by the amount of the aqueous solution to be sampled.

다시 말해, 매 T 기간마다 k ml의 수용액을 샘플링한다면, 샘플링 이후 k ml의 초순수를 추가할 필요가 있다. 그러나, 매 샘플링마다 새로운 초순수를 추가한다면, 수용액의 이온 농도는 원래의 이온 농도보다 낮아질 수 있다. 따라서, 원래 이온 농도를 보상하기 위한 계산이 필요할 수 있다. 이온 농도를 보상하기 위한 방법은 도 4를 참조하여 설명한다. In other words, if you sample k ml of aqueous solution every T periods, you need to add k ml of ultrapure water after sampling. However, if a fresh ultrapure water is added for every sampling, the ion concentration of the aqueous solution may be lower than the original ion concentration. Therefore, a calculation for compensating the original ion concentration may be necessary. A method for compensating the ion concentration will be described with reference to FIG.

도 4는, 몇몇 실시예들에 따른 이온 농도 보상 방법을 설명하는 예시적인 순서도이다. 4 is an exemplary flow chart illustrating the ion concentration compensation method according to some embodiments.

도 4를 참조하면, 초순수를 제공한 시점으로부터, 혹은 수용액을 샘플링하여 측정한 시점으로부터 T1 기간이 도과한 후 초순수 k ml를 샘플링할 수 있다(S410). 이후 수용액에, 샘플링된 수용액의 양 만큼 새로운 초순수를 추가할 수 있다. 즉, k ml 만큼의 새로운 초순수를 수용액에 추가한다(S420). 초순수를 제공한 시점으로부터, 혹은 수용액을 샘플링하여 측정한 시점으로부터 T2 기간이 도과한 후, 하기 수학식 1을 이용하여 T1~T2 기간 동안 증가된 수용액의 이온 농도를 계산할 수 있다(S430).Referring to FIG. 4, the ultrapure water k ml can be sampled after the period T 1 has elapsed from the point of time when the ultrapure water is supplied or the time when the sample is measured by sampling the aqueous solution (S410). Thereafter, fresh deionized water can be added to the aqueous solution as much as the amount of the sampled aqueous solution. That is, new ultrapure water of k ml is added to the aqueous solution (S420). The ion concentration of the aqueous solution increased during the period of T 1 to T 2 can be calculated from the point of time when the ultrapure water is provided or after the period of T 2 has elapsed from the time of measurement by sampling the aqueous solution, ).

[수학식 1][Equation 1]

Figure pat00001
Figure pat00001

여기에서, CT1~T2는 T1~T2 기간동안 증가한 수용액의 이온 농도, C1은 초순수를 제공한 시점으로부터, 혹은 수용액을 샘플링하여 측정한 시점으로부터 T1 기간이 도과한 후 샘플링된 수용액의 이온 농도, C2는 초순수를 제공한 시점으로부터, 혹은 수용액을 샘플링하여 측정한 시점으로부터 T2 기간이 도과한 후 샘플링된 수용액의 이온 농도, t는 수용액 전체의 부피, k은 초순수를 제공한 시점으로부터, 혹은 수용액을 샘플링하여 측정한 시점으로부터 T1 기간이 도과한 후 샘플링한 수용액의 부피이다.Here, C T1 to T 2 are ion concentrations of the aqueous solution increased during the period of T 1 to T 2 , C 1 is the concentration of the aqueous sampled solution after the period of T 1 from the point of providing the ultrapure water, C 2 is the ion concentration of the sampled aqueous solution after the period of T 2 has elapsed from the point of time when ultrapure water was provided or from the time of measurement by sampling the aqueous solution, t is the volume of the whole aqueous solution, and k is the ultrapure water Or the volume of the aqueous solution sampled after the period T 1 has elapsed from the point of time when the aqueous solution was sampled.

예를 들어, 전체 50ml의 수용액에서 1ml씩 샘플링하고, 첫번째 샘플링에서 10ppm의 이온 농도가 측정되었다고 가정한다. 첫번째 샘플링 이후, 초순수 1ml를 수용액에 추가한다. 그러면, 다시 50ml가 된 수용액의 이온 농도는, 10ppm*49/50=9.8ppm이 된다. 두번째 샘플링에서, 마찬가지로 1ml 샘플링하여 측정한 이온 농도가 20ppm 이라고 가정하면, 첫번째 샘플링에서부터 두번째 샘플링까지 증가한 이온 농도는 20ppm-9.8ppm=10.2ppm이 된다. 즉, 20ppm-10ppm*(50ml-1ml)/50ml가 된다. For example, assume that 1 ml of sample is sampled in a total of 50 ml of aqueous solution, and 10 ppm of ion concentration is measured at the first sampling. After the first sampling, 1 ml of ultrapure water is added to the aqueous solution. Then, the ion concentration of the aqueous solution which became 50 ml again becomes 10 ppm * 49/50 = 9.8 ppm. In the second sampling, assuming that the ion concentration measured by 1 ml sampling is 20 ppm, the ion concentration increased from the first sampling to the second sampling becomes 20 ppm-9.8 ppm = 10.2 ppm. That is, 20 ppm-10 ppm * (50 ml-1 ml) / 50 ml is obtained.

도 1 및 도 3에서, 수용액의 이온 농도가 제1 기준치(A) 이상이고, 제2 기준치(B) 미만일 때, 수명 평가를 위해 PFA 배관의 정밀 진단이 요구될 수 있다(S164, S364). 이하에서, 몇몇 실시예들에 따른 PFA 배관의 정밀 진단을 설명하기 위해 도 5를 참조하여 설명한다.1 and 3, when the ion concentration of the aqueous solution is equal to or greater than the first reference value A and less than the second reference value B, a precise diagnosis of the PFA pipe may be required for the life evaluation (S164, S364). Hereinafter, a detailed diagnosis of the PFA pipe according to some embodiments will be described with reference to Fig.

도 5는, 몇몇 실시예들에 따른 정밀 진단을 설명하기 위한 예시적인 도면이다.Figure 5 is an exemplary diagram for describing fine-tuning in accordance with some embodiments.

도 5를 참조하면, 정밀 진단을 하기 위해, PFA 배관의 단면의 크랙의 두께를 분석하여, PFA 배관의 수명을 측정할 수 있다. PFA 배관의 단면 분석을 위해, 예를 들어, PFA 배관의 일부를 잘라내거나, 탈착한 PFA 배관의 한쪽 측면의 단면을 현미경 또는 SEM(scanning electron microscope)을 통해 PFA 배관의 단면의 두께 및 크랙의 두께를 측정하거나, 버니어 캘리퍼스를 이용해 PFA 배관의 단면의 두께 및 크랙의 두께를 측정할 수 있다.Referring to FIG. 5, the life of the PFA pipe can be measured by analyzing the thickness of the crack on the cross section of the PFA pipe for precise diagnosis. In order to analyze the cross-section of the PFA pipe, for example, a part of the PFA pipe is cut off, or the cross-section of one side of the detached PFA pipe is observed through a microscope or a scanning electron microscope (SEM) Or the thickness of the cross section of the PFA pipe and the thickness of the crack can be measured using a vernier caliper.

우선, 열화율은 아래 수학식 2를 이용해 구할 수 있다. First, the deterioration rate can be obtained by using the following equation (2).

[수학식 2]&Quot; (2) "

Figure pat00002
Figure pat00002

여기에서, TT는 배관 단면의 전체 두께이고, NM은 크랙이 존재하지 않는 두께, 즉 정상부의 두께이고, Y는 실제 PFA 배관을 사용한 기간이다.Here, TT is the total thickness of the pipe cross section, NM is the thickness without cracks, that is, the thickness of the top portion, and Y is the period of using the actual PFA pipe.

상기 열화율로부터, 잔여 수명은 수학식 3을 이용하여 계산할 수 있다.From the deterioration rate, the remaining service life can be calculated using Equation (3).

[수학식 3]&Quot; (3) "

Figure pat00003
Figure pat00003

여기에서, NM은 정상부의 두께, MT는 PFA 배관의 최소 요구 두께이다. Where NM is the thickness of the top and MT is the minimum required thickness of the PFA pipe.

예를 들어, PFA 배관 단면의 전체 두께를 2mm, 정상부의 두께를 1.5mm, PFA 배관을 실제 사용한 기간을 5년이라 하고, PFA 배관의 최소 요구 두께를 0.5mm라고 가정한다. 이 가정하에서, 열화율은 (2-1.5)/5=0.1이 된다. 또한, 해당 PFA 배관의 잔여 수명은 (1.5-0.5)/0.1=10년이 된다. For example, assume that the total thickness of the PFA pipe section is 2 mm, the thickness of the top section is 1.5 mm, the actual use period of the PFA pipe is 5 years, and the minimum required thickness of the PFA pipe is 0.5 mm. Under this assumption, the degradation rate is (2-1.5) /5=0.1. In addition, the remaining life of the PFA pipe is (1.5-0.5) /0.1=10 years.

도 6은, 몇몇 실시예들에 따른 배관 수명 평가 장치를 설명하기 위한 예시적인 블록도이다. 6 is an exemplary block diagram for explaining a pipe life evaluating apparatus according to some embodiments.

도 6을 참조하면, 배관 수명 평가 장치(600)는 투과부(610), 이온 농도 측정부(620), 시스템 입/출력(630)을 포함할 수 있다.6, the pipe life evaluating apparatus 600 may include a transmission unit 610, an ion concentration measuring unit 620, and a system input / output unit 630.

투과부(610)의 내부에는 초순수가 제공될 수 있다. 또한, PFA 배관 내의 용액의 이온이 투과부(610)의 내부로 투과될 수 있다. 또한, 투과부(610)의 일부는 PFA 배관의 외부와 직접 맞닿아 있을 수 있다. 다시 말해서, 투과부(610)에 초순수가 제공되므로, 투과부(610)에 제공된 초순수는 PFA 배관의 외부와 직접 맞닿아 있을 수 있다. 투과부(610)의 내부는 예를 들어, PTFE(Polytetrafluoroethylene)코팅될 수 있다. PTFE는 내약품성이 뛰어나며, 높은 온도(325℃에서도 안정)에서 특성이 변화하지 않는다. 게다가, 불연성으로 내후성도 좋고, 비점착성으로 마모계수도 작으며, 무독성물질이다. Ultra pure water may be provided inside the transmissive portion 610. In addition, the ions of the solution in the PFA pipe can be transmitted to the inside of the transmission portion 610. In addition, a portion of the transmissive portion 610 may be in direct contact with the exterior of the PFA tubing. In other words, since the ultrapure water is provided to the transmitting portion 610, the ultrapure water provided to the transmitting portion 610 may directly contact the outside of the PFA pipe. The inside of the transmissive portion 610 may be coated with, for example, PTFE (Polytetrafluoroethylene). PTFE is excellent in chemical resistance and does not change in properties at high temperature (stable at 325 ° C). In addition, it is nonflammable, weatherable, non-tacky, low in wear coefficient, and non-toxic.

이온 농도 측정부(620)는, 투과부(610)에 제공되는 초순수, 또는 투과부(610)에 초순수를 제공한 시점으로부터 일정 기간이 지난 후의 초순수의 이온 농도를 측정할 수 있다. 이온 농도 측정부(620)는 이온 크로마토그래피를 이용하여 투과부(610) 에 제공되는 초순수, 또는 투과부(610)에 초순수를 제공한 시점으로부터 일정 기간이 지난 후의 초순수의 이온 농도를 측정할 수 있으나, 이에 제한되지는 않는다.The ion concentration measuring unit 620 can measure the ion concentration of the ultrapure water provided to the transmitting unit 610 or the ultrapure water after a certain period of time from the point of time when the ultrapure water is supplied to the transmitting unit 610. The ion concentration measuring unit 620 can measure the ion concentration of the ultrapure water supplied to the transmitting unit 610 or the ultrapure water after a certain period of time from the point of time when the ultrapure water is supplied to the transmitting unit 610 using ion chromatography, But is not limited thereto.

시스템 출력(630)은, 이온 농도 측정부(620)가 측정한 수용액의 이온 농도값을 배관 수명 평가 장치(600) 외부로 전송할 수 있다. 예를 들어, 시스템 출력(630)은, 이온 농도 측정부(620)가 측정한 수용액의 이온 농도값을 디스플레이 장치(640)로 전송할 수 있다. 또한, 예를 들어, 시스템 출력(630)은, 측정한 이온 농도값이 특정 기준을 초과하는 경우, 시스템 알람(650)으로 알람을 전송할 수 있다. 예를 들어, 측정한 이온 농도값이 특정 기준을 초과하여 알람이 발생한 경우, 사용자는 PFA 배관을 교체할 수 있다. 또는, 예를 들어, 측정한 이온 농도값이 특정 기준을 초과하여 알람이 발생한 경우, 사용자는 PFA 배관을 정밀 검진할 수 있다.The system output 630 can transmit the ion concentration value of the aqueous solution measured by the ion concentration measuring unit 620 to the outside of the pipe life evaluating apparatus 600. [ For example, the system output 630 can transmit the ion concentration value of the aqueous solution measured by the ion concentration measuring unit 620 to the display device 640. [ Also, for example, the system output 630 may send an alarm to the system alarm 650 if the measured ion concentration value exceeds a certain criterion. For example, if an alarm occurs when the measured ion concentration value exceeds a certain criterion, the user can replace the PFA pipe. Alternatively, for example, if an alarm occurs when the measured ion concentration value exceeds a certain criterion, the user can precisely check the PFA pipe.

비록, 도 6에서 디스플레이 장치(640)이 배관 수명 평가 장치(600) 외부에 존재하는 것으로 도시하였으나, 실시예들이 이에 제한되는 것은 아니다. 예를 들어, 디스플레이 장치(640)는 배관 수명 평가 장치(600)에 포함될 수 있다.Although the display device 640 is shown in FIG. 6 as existing outside the pipe life evaluation device 600, the embodiments are not limited thereto. For example, the display device 640 may be included in the pipe life evaluation device 600.

도 7은, 몇몇 실시예들에 따른 배관 수명 평가 장치의 사시도이다.7 is a perspective view of a pipe life evaluating apparatus according to some embodiments.

도 7을 참조하면, PFA 배관(601)을 둘러싸는 형태로 배관 수명 평가 장치(600)가 제공될 수 있다. 배관 수명 평가 장치(600)이 PFA 배관(601)을 둘러싸는 형태로 제공되는 것은, PFA 배관(601) 내부에 존재하는 이온화 용액의 이온은 PFA 배관(601) 외부 모든 방향으로 투과되는 성질에 기인할 수 있다. 그러나, 배관 수명 평가 장치(600)의 형태가 이러한 형태에 제한되는 것은 아니다. 예를 들어, 배관 수명 평가 장치(600)는 PFA 배관(601)의 하부에만 부착될 수 있다. Referring to FIG. 7, a pipe life evaluating apparatus 600 may be provided in a form surrounding the PFA pipe 601. The pipe life evaluating apparatus 600 is provided so as to surround the PFA pipe 601 because the ions of the ionizing solution existing in the PFA pipe 601 are permeated in all directions outside the PFA pipe 601 can do. However, the shape of the pipe life evaluating apparatus 600 is not limited to this form. For example, the pipe life evaluating apparatus 600 may be attached only to the lower portion of the PFA pipe 601.

도 8은, 도 7의 배관 수명 평가 장치(600)를 A-A' 방향, yz 평면으로 자른 단면도이다. Fig. 8 is a cross-sectional view of the pipe life evaluating apparatus 600 of Fig. 7 taken along the line A-A 'and the plane yz.

도 8을 참조하면, PFA 배관(601) 내부에는 이온화 용액이 흐를 수 있다. 또한, 투과부(610) 내부에는 초순수가 채워져 있을 수 있다. PFA 배관(601)의 외부는 투과부(610)와 직접 맞닿아 있을 수 있다. 다시 말해, PFA 배관(601)의 외부는 투과부(610)에 채워져 있는 초순수와 직접 맞닿아 있을 수 있다. 이로 인해, PFA 배관(601) 내부로 흐르는 이온화 용액은 투과부(610) 내부로 투과될 수 있다. 다시 말해서, PFA 배관(601) 내부의 이온화 용액은 투과부(610)의 초순수로 투과될 수 있다. Referring to FIG. 8, an ionizing solution may flow inside the PFA pipe 601. In addition, ultrapure water may be filled in the transmissive portion 610. The outside of the PFA pipe 601 may be in direct contact with the transmitting portion 610. In other words, the outside of the PFA pipe 601 may directly contact the ultrapure water filled in the transmitting portion 610. Therefore, the ionized solution flowing into the PFA pipe 601 can be permeated into the transmission portion 610. In other words, the ionizing solution in the PFA pipe 601 can be permeated into the ultra pure water of the transmission portion 610.

이때, 투과부(610) 내부에 존재하는 이온 농도 측정부(620)는, 투과된 이온을 검출하여, 투과부(610)의 이온 농도를 측정할 수 있다. 비록 도 8에서, 이온 농도 측정부(620)의 전부가 투과부(610)에 포함된 것으로 도시하였으나, 실시예들이 이에 제한되는 것은 아니다. 예를 들어, 이온 농도 측정 센서와 같은 이온 농도 측정부(620)의 일부만 투과부(610)에 포함되고, 투과부(610)에 포함되지 않은 나머지 이온 농도 측정부(620)는 투과부(610) 또는 배관 수명 평가 장치(600)의 외부에 존재할 수 있다. At this time, the ion concentration measuring unit 620 existing in the transmitting unit 610 can detect the transmitted ions and measure the ion concentration of the transmitting unit 610. Although all of the ion concentration measuring unit 620 is included in the transmitting unit 610 in FIG. 8, the embodiments are not limited thereto. For example, only a part of the ion concentration measuring unit 620 such as the ion concentration measuring sensor is included in the transmitting unit 610, and the remaining ion concentration measuring unit 620 not included in the transmitting unit 610 is included in the transmitting unit 610 or the pipe May be present outside the life evaluation apparatus 600.

비록 도 8에서, 투과부(610) 내부에 초순수가 가득 채워져 있고, PFA 배관(601)의 내부에 이온화 용액이 가득 채워져 있는 것으로 도시하였으나, 실시예들이 이에 제한되지는 않는다. PFA 배관(601) 내부에 흐르는 이온화 용액의 유량, 유압, 및 유속에 따라 다양한 변형이 가능할 것이다. Although it is shown in Fig. 8 that the permeable portion 610 is filled with the ultra pure water and the PFA pipe 601 is filled with the ionizing solution, the embodiments are not limited thereto. Various modifications will be possible depending on the flow rate, the hydraulic pressure, and the flow rate of the ionizing solution flowing in the PFA pipe 601.

도 9는, 도 7의 배관 수명 평가 장치(600)를 B-B' 방향, xy 평면으로 자른 단면도이다. Fig. 9 is a cross-sectional view of the pipe life evaluating apparatus 600 of Fig. 7 taken along line B-B 'and xy plane.

도 9를 참조하여, 앞서 설명한 내용과 차이점을 위주로 설명한다. 배관 수명 평가 장치(600)와 PFA 배관(601)의 접촉면은 완전 밀폐될 수 있다. 다시 말해서, 투과부(610) 내부에 채워진 초순수가 배관 수명 평가 장치(600) 외부로 새어나가는 것을 방지하기 위해, 배관 수명 평가 장치(600)와 PFA 배관(601)의 접촉면은 완전 밀폐될 수 있다. 또한, 투과부(610) 내부에 채워진 초순수가 오염되는 것을 방지하기 위해서, 배관 수명 평가 장치(600)와 PFA 배관(601)의 접촉면은 완전 밀폐될 수 있다. 배관 수명 평가 장치(600)와 PFA 배관(601)의 접촉면은 예를 들어, 오링(O-ring), 테플론, 및/또는 조인트 씰링을 이용할 수 있으나, 실시예들이 이에 제한되지는 않는다. 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진자는 다양한 방식을 통해, PFA 배관(601)과 수명 평가 장치(600)를 밀폐할 수 있을 것이다.With reference to FIG. 9, the differences from the above-described contents will be mainly described. The contact surface between the pipe life evaluating apparatus 600 and the PFA pipe 601 can be completely sealed. In other words, the contact surface between the pipe life evaluating apparatus 600 and the PFA pipe 601 can be completely sealed so as to prevent the ultrapure water filled in the permeable portion 610 from leaking out of the pipe life evaluating apparatus 600. Further, in order to prevent the ultrapure water filled in the permeable portion 610 from being contaminated, the contact surface between the pipe life evaluation device 600 and the PFA pipe 601 can be completely sealed. The contact surfaces of the piping life evaluation device 600 and the PFA pipe 601 may use, for example, O-rings, Teflon, and / or joint sealing, but the embodiments are not limited thereto. Those skilled in the art will be able to seal the PFA pipe 601 and the life evaluation device 600 through various methods.

도 10은, 다른 몇몇 실시예들에 따른 배관 수명 평가 장치(600)를 설명하기 위한 도면이다.10 is a view for explaining a pipe life evaluating apparatus 600 according to some other embodiments.

도 10을 참조하면, 몇몇 실시예들에서, 배관 수명 평가 장치(600)는 체결부(1010)를 포함할 수 있다. 다시 말해서, 몇몇 실시예들에 따른 배관 수명 평가 장치(600)는 탈부착이 가능할 수 있다. 도 10에서, 체결부(1010)를 클램프(clamp) 형식으로 도시한 것은, 몇몇 실시예들에 따른 배관 수명 평가 장치(600)의 탈/부착 속성을 설명하기 위함이며, 체결부(1010)가 클램프 형식에 제한되는 것은 아니다. Referring to FIG. 10, in some embodiments, the pipe life evaluating apparatus 600 may include a fastening portion 1010. In other words, the pipe life evaluating apparatus 600 according to some embodiments may be detachable. 10, the fastening portion 1010 is shown in a clamped form in order to explain the detaching / attaching property of the pipe life evaluating apparatus 600 according to some embodiments, and the fastening portion 1010 Clamp type is not limited.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 몇몇 실시예들을 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 제조될 수 있으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, It will be understood by those skilled in the art that the present invention may be embodied in other specific forms without departing from the spirit or essential characteristics thereof. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive.

600: 배관 수명 평가 장치 610: 투과부
620: 이온 농도 측정부 630: 시스템 출력
640: 디스플레이 장치 1010: 체결부600: pipe life evaluation device 610:
620: ion concentration measuring unit 630: system output
640: Display device 1010:

Claims (10)

PFA(Perfluoroalkoxy) 배관의 수명을 평가하기 위한 방법으로서,
수명을 평가하고자 하는 PFA 배관을 제공하고,
상기 PFA 배관 내부에 이온화 용액을 제공하고,
상기 PFA 배관 외부에 초순수(DI water: Deionized water)를 제공하고,
상기 초순수의 이온 농도 변화를 측정하는 것을 포함하되,
상기 초순수의 이온 농도 변화는 상기 이온화 용액이 상기 초순수로 투과(permeation)되는 것에 기인한 배관 수명 평가 방법.As a method for evaluating the life of a PFA (Perfluoroalkoxy) pipe,
Providing a PFA pipe to evaluate the service life,
Providing an ionizing solution in the PFA pipe,
DI water (Deionized water) is supplied to the outside of the PFA pipe,
And measuring the ion concentration change of the ultrapure water,
Wherein the change in ion concentration of the ultrapure water is caused by permeation of the ionizing solution to the ultrapure water. 제 1항에 있어서,
상기 초순수의 이온 농도 변화를 측정하는 것은, 미리 정한 주기로 상기 초순수의 이온 농도 변화를 N번 반복하여 측정하는 배관 수명 평가 방법..The method according to claim 1,
The measurement of the change in ion concentration of the ultrapure water is performed by repeating the ion concentration change of the ultrapure water N times repeatedly at a predetermined period. 제 1항에 있어서,
상기 초순수의 이온 농도 변화를 측정하는 것은, 상기 PFA 배관 외부에 초순수를 제공한 시점으로부터 미리 정한 기간이 지난 후, 상기 PFA 배관 외부에 제공된 초순수를 샘플링하여, 상기 초순수의 이온 농도를 측정하는 배관 수명 평가 방법.The method according to claim 1,
The measurement of the ion concentration change of the ultrapure water is performed by sampling the ultrapure water provided outside the PFA pipe after a predetermined period of time from the time when ultrapure water is supplied to the outside of the PFA pipe and measuring the ion concentration of the ultrapure water Assessment Methods. 제 1항에 있어서,
상기 PFA 배관 내/외부에 온도를 가하는 것을 더 포함하는 배관 수명 평가 방법.The method according to claim 1,
And adding a temperature to the inside / outside of the PFA pipe. 제 1항에 있어서,
상기 이온화 용액은 강산(strong acid)인 배관 수명 평가 방법.The method according to claim 1,
Wherein the ionized solution is a strong acid. 제 1항에 있어서,
상기 초순수의 이온 농도 변화량이,
미리 정한 제1 범위에 포함되면, 상기 PFA 배관을 교체하고,
상기 제1 범위와 다르고 미리 정한 제2 범위에 포함되면, 상기 PFA 배관을 정밀 진단하는 것을 더 포함하는 배관 수명 평가 방법.The method according to claim 1,
Wherein the ion concentration change amount of the ultra-
If the PFA pipe is included in the predetermined first range, the PFA pipe is replaced,
Further comprising precisely diagnosing the PFA pipe if the first range is included in a second range that is different from the first range. 제 6항에 있어서,
상기 정밀 진단은 상기 PFA 배관의 단면의 크랙의 두께를 측정하여, 상기 PFA 배관의 수명을 평가하는 것을 포함하는 배관 수명 평가 방법.The method according to claim 6,
Wherein the precise diagnosis includes measuring a thickness of cracks in a cross section of the PFA pipe to evaluate the life of the PFA pipe. PFA(Perfluoroalkoxy) 배관에 부착되어 상기 PFA 배관의 수명을 평가하는데 이용되는 수명 평가 장치로서,
내부에 초순수가 제공되는 투과부; 및
상기 투과부 내부에 제공된 초순수의 이온 농도를 측정하기 위한 이온 농도 측정부를 포함하되,
상기 PFA 배관 내부의 용액은 상기 투과부의 내부로 투과(permeation)되고,
상기 투과부 내부에 제공된 초순수는 상기 수명 평가 장치 외부로 배출되지 않는 배관 수명 평가 장치.A life evaluation device attached to a PFA (Perfluoroalkoxy) pipe to evaluate the life of the PFA pipe,
A permeable portion provided with deionized water therein; And
And an ion concentration measuring unit for measuring an ion concentration of the ultrapure water provided inside the transmitting unit,
The solution inside the PFA pipe is permeated into the inside of the permeable portion,
And ultrapure water provided in the permeable portion is not discharged to the outside of the life evaluation apparatus. 제 9항에 있어서,
상기 배관 수명 평가 장치는,
상기 PFA 배관에 탈부착 가능하게 하는 체결부를 더 포함하는 배관 수명 평가 장치.10. The method of claim 9,
The pipe life evaluating apparatus includes:
Further comprising a fastening portion for detachably attaching to the PFA pipe. 제 9항에 있어서,
상기 투과부의 내부는 PTFE(Polytetrafluoroethylene) 코팅된 배관 수명 평가 장치.10. The method of claim 9,
Wherein the inside of the permeable portion is coated with PTFE (Polytetrafluoroethylene).
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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