KR20190029304A - Manufacturing method of conductive thin film comprising carbon and conductive thin film comprising carbon manufactured by the same - Google Patents

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KR20190029304A KR1020170116700A KR20170116700A KR20190029304A KR 20190029304 A KR20190029304 A KR 20190029304A KR 1020170116700 A KR1020170116700 A KR 1020170116700A KR 20170116700 A KR20170116700 A KR 20170116700A KR 20190029304 A KR20190029304 A KR 20190029304A
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윤재혁
오준학
이창희
강호성
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Abstract

본 발명의 일 실시예는 탄소 원자로 이루어진 평면의 탄소 분자층을 2 이상 포함하는 탄소 구조체를 준비하는 단계; 기재의 일면과 상기 탄소 구조체의 일면이 대향되도록 상기 탄소 구조체를 위치시키는 단계; 상기 탄소 구조체의 일면과 상기 기재의 일면을 접하는 단계; 및 상기 탄소 구조체의 일면과 상기 기재의 일면 간에 마찰을 발생시켜, 상기 기재의 일면 상에 탄소 박막을 형성하는 단계;를 포함하고, 상기 탄소 분자층의 평면은 상기 탄소 구조체의 일면과 평행하는 것인 탄소 함유 전도성 박막의 제조 방법을 제공한다.One embodiment of the present invention provides a method of manufacturing a carbon nanotube, comprising: preparing a carbon structure comprising at least two planar carbon molecular layers made of carbon atoms; Positioning the carbon structure such that one side of the substrate and one side of the carbon structure face each other; Contacting one surface of the carbon structure with one surface of the substrate; And forming a carbon thin film on one surface of the substrate by causing friction between one surface of the carbon structure and one surface of the substrate, wherein the plane of the carbon molecular layer is parallel to one surface of the carbon structure Containing conductive thin film.

Description

탄소 함유 전도성 박막의 제조 방법 및 이에 의해 제조된 탄소 함유 전도성 박막{MANUFACTURING METHOD OF CONDUCTIVE THIN FILM COMPRISING CARBON AND CONDUCTIVE THIN FILM COMPRISING CARBON MANUFACTURED BY THE SAME}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a method for producing a carbon-containing conductive thin film, and a carbon-containing conductive thin film produced by the method. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0002]

본 발명은 탄소 함유 전도성 박막의 제조 방법 및 이에 의해 제조된 탄소 함유 전도성 박막에 관한 것이다.The present invention relates to a method for producing a carbon-containing conductive thin film and a carbon-containing conductive thin film produced thereby.

최근 터치 패널, 디스플레이 장치, 태양 전지 등 다양한 분야에서 투명 전극이 사용되고 있다. 투명 전극은 일반적으로 전도성 투명 박막을 포함하며, 전도성 투명 박막을 형성하기 위한 물질로 ITO(indium tin oxide), 탄소나노튜브(carbon nano tube, CNT), 그래핀(graphene) 등이 일반적으로 사용되고 있다.Recently, transparent electrodes have been used in various fields such as touch panels, display devices, and solar cells. The transparent electrode generally includes a conductive transparent thin film. Indium tin oxide (ITO), carbon nanotube (CNT), graphene, or the like is generally used as a material for forming a conductive transparent thin film .

다만, ITO의 경우 원자재인 인듐이 고가이며, ITO는 취성을 보유하고 있어 외부에서 전달되는 충격에 의해 쉽게 깨지는 단점이 있다. 탄소나노튜브 및 그래핀의 경우, 원자재의 비용이 상대적으로 비싸며, 기재 상에 전도성 투명 박막을 대면적으로 형성하기 위하여 Screen Print 기법을 이용하고 있으나, 기재 상에 일정한 두께 및 전도도를 보유하는 전도성 투명 박막을 형성하는 것이 용이하지 않고, 소재의 낭비가 많아 제조 비용이 증가되는 문제가 있다.However, in the case of ITO, the raw material indium is expensive, and ITO has brittleness, which is easily broken by external impact. In the case of carbon nanotubes and graphene, the cost of raw materials is relatively high, and the Screen Print technique is used to form a conductive transparent thin film on the substrate in a large area. However, the conductive transparent film having a constant thickness and conductivity on the substrate It is not easy to form a thin film, and a lot of material is wasted, resulting in an increase in manufacturing cost.

따라서, 기재 상에 대면적으로 전도성 박막을 형성할 수 있으며, 전도성 박막의 두께를 용이하게 조절할 수 있는 전도성 박막의 제조 기술이 필요한 실정이다.Therefore, there is a need for a technique for manufacturing a conductive thin film which can form a conductive thin film over a large area on a substrate and easily adjust the thickness of the conductive thin film.

본 명세서는 탄소 함유 전도성 박막의 제조 방법 및 이에 의해 제조된 탄소 함유 전도성 박막을 제공하고자 한다.The present specification intends to provide a method for producing a carbon-containing conductive thin film and a carbon-containing conductive thin film produced thereby.

본 발명의 일 실시예는 탄소 원자로 이루어진 평면의 탄소 분자층을 2 이상 포함하는 탄소 구조체를 준비하는 단계; 기재의 일면과 상기 탄소 구조체의 일면이 대향되도록 상기 탄소 구조체를 위치시키는 단계; 상기 탄소 구조체의 일면과 상기 기재의 일면을 접하는 단계; 및 상기 탄소 구조체의 일면과 상기 기재의 일면 간에 마찰을 발생시켜, 상기 기재의 일면 상에 탄소 박막을 형성하는 단계;를 포함하고, 상기 탄소 분자층의 평면은 상기 탄소 구조체의 일면과 평행하는 것인 탄소 함유 전도성 박막의 제조 방법을 제공한다.One embodiment of the present invention provides a method of manufacturing a carbon nanotube, comprising: preparing a carbon structure comprising at least two planar carbon molecular layers made of carbon atoms; Positioning the carbon structure such that one side of the substrate and one side of the carbon structure face each other; Contacting one surface of the carbon structure with one surface of the substrate; And forming a carbon thin film on one surface of the substrate by causing friction between one surface of the carbon structure and one surface of the substrate, wherein the plane of the carbon molecular layer is parallel to one surface of the carbon structure Containing conductive thin film.

본 발명의 다른 실시예는 본 발명의 일 실시예에 따른 방법으로 제조되는 탄소 함유 전도성 박막을 제공한다.Another embodiment of the present invention provides a carbon-containing conductive thin film produced by a method according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 탄소 구조체와 기재 간에 마찰을 발생시키는 간단한 공정을 통해, 탄소를 함유하는 전도성 박막을 용이하게 제조할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, a conductive thin film containing carbon can be easily manufactured through a simple process of generating friction between the carbon structure and the substrate.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 기재의 일면 상에 대면적의 탄소 박막을 용이하게 형성할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, it is possible to easily form a large-area carbon thin film on one surface of a substrate.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 탄소 구조체의 일면과 기재의 일면을 평행한 상태로 설정하고, 탄소 구조체의 일면과 기재의 일면 간에 마찰을 발생시킴으로써, 전도성이 우수한 탄소 박막을 기재의 일면 상에 형성할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, a carbon thin film having excellent conductivity is formed on one surface of a substrate by setting one surface of the carbon structure and one surface of the substrate to be parallel to each other and generating friction between one surface of the carbon structure and one surface of the substrate. .

본 발명의 일 실시예에 따르면, 탄소 함유 전도성 박막의 제조 비용을 절감할 수 있고, 제조 효율을 향상시킬 수 있다. According to one embodiment of the present invention, it is possible to reduce the manufacturing cost of the carbon-containing conductive thin film and improve the manufacturing efficiency.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 탄소 구조체와 기재를 위치시키는 것을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기재의 일면 상에 탄소 박막을 형성하는 것을 개략적으로 나타낸 도면이다.
FIG. 1 is a schematic view illustrating positioning of a carbon structure and a substrate according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a view schematically illustrating formation of a carbon thin film on one surface of a substrate according to an embodiment of the present invention. FIG.

명세서 전체에서 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있음을 의미한다. When an element is referred to as "including" an element throughout the specification, it is to be understood that the element may include other elements as well, without departing from the spirit or scope of the present invention.

또한, 본 명세서에서 어떤 부재가 다른 부재 "상에" 위치하고 있다고 할 때, 이는 어떤 부재가 다른 부재에 접해 있는 경우뿐 아니라 두 부재 사이에 또 다른 부재가 존재하는 경우도 포함한다.Further, when a member is referred to herein as being "on " another member, this includes not only when a member is in contact with another member but also when there is another member between the two members.

이하, 본 명세서에 대하여 더욱 상세하게 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail.

본 발명의 일 실시예는 탄소 원자로 이루어진 평면의 탄소 분자층을 2 이상 포함하는 탄소 구조체를 준비하는 단계; 기재의 일면과 상기 탄소 구조체의 일면이 대향되도록 상기 탄소 구조체를 위치시키는 단계; 상기 탄소 구조체의 일면과 상기 기재의 일면을 접하는 단계; 및 상기 탄소 구조체의 일면과 상기 기재의 일면 간에 마찰을 발생시켜, 상기 기재의 일면 상에 탄소 박막을 형성하는 단계;를 포함하고, 상기 탄소 분자층의 평면은 상기 탄소 구조체의 일면과 평행하는 것인 탄소 함유 전도성 박막의 제조 방법을 제공한다.One embodiment of the present invention provides a method of manufacturing a carbon nanotube, comprising: preparing a carbon structure comprising at least two planar carbon molecular layers made of carbon atoms; Positioning the carbon structure such that one side of the substrate and one side of the carbon structure face each other; Contacting one surface of the carbon structure with one surface of the substrate; And forming a carbon thin film on one surface of the substrate by causing friction between one surface of the carbon structure and one surface of the substrate, wherein the plane of the carbon molecular layer is parallel to one surface of the carbon structure Containing conductive thin film.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 탄소 구조체와 기재 간에 마찰을 발생시키는 간단한 공정을 통해, 탄소를 함유하는 전도성 박막을 용이하게 제조할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, a conductive thin film containing carbon can be easily manufactured through a simple process of generating friction between the carbon structure and the substrate.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 탄소 구조체는 탄소 원자로 이루어진 탄소 분자층을 2 이상 포함할 수 있다. 상기 탄소 분자층은 평면 형태일 수 있으며, 6개의 탄소 원자가 꼭지점을 이루는 육각형의 평면 단위체들이 반복되는 것일 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the carbon structure may include two or more carbon molecular layers composed of carbon atoms. The carbon molecular layer may be in a planar form, and hexagon planar units having six carbon atoms at apexes may be repeated.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 탄소 구조체는 일면으로부터 타면 방향으로 길게 연장된 막대 형태 또는 블록 형태일 수 있다. 또한, 상기 탄소 구조체의 일면은 원형, 삼각형, 사각형 등의 다각형일 수 있고, 또는 다른 적절한 형상을 가질 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the carbon structure may be in the shape of a rod or a block extending elongated from one surface to the other surface. In addition, one side of the carbon structure may be a polygonal shape such as a circle, a triangle, a square, or the like, or may have another appropriate shape.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 탄소 분자층의 평면은 상기 탄소 구조체의 일면과 평행할 수 있다. 상기 탄소 구조체에 포함되는 2 이상의 탄소 분자층 각각의 평면은 상기 탄소 구조체의 일면과 평행할 수 있다. 즉, 상기 2 이상의 탄소 분자층은 그 평면이 상기 탄소 구조체의 일면과 평행한 상태로, 상기 탄소 구조체의 일면으로부터 타면 방향을 따라 구비될 수 있다. 구체적으로, 상기 탄소 구조체의 일면으로부터 타면 방향을 따라 상기 2 이상의 탄소 분자층 각각이 적층되어 구비될 수 있다. 또한, 상기 탄소 분자층 각각은 서로 이격되어 구비될 수 있다. 탄소 분자층 각각이 서로 이격되어 있는 경우에도, 탄소 분자층 간에 반데르발스 힘(van der Waals force)에 의해 탄소 구조체의 형태가 유지될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the plane of the carbon molecular layer may be parallel to one surface of the carbon structure. The plane of each of the two or more carbon molecule layers included in the carbon structure may be parallel to one surface of the carbon structure. That is, the two or more carbon molecular layers may be provided along the other surface direction from one surface of the carbon structural body in a state where the plane thereof is parallel to one surface of the carbon structural body. Specifically, each of the two or more carbon molecular layers may be laminated on one surface of the carbon structural body along the other surface direction. The carbon molecular layers may be spaced apart from each other. Even when the carbon molecular layers are separated from each other, the shape of the carbon structure can be maintained by the van der Waals force between the carbon molecular layers.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 탄소 구조체는 0.5 이상 1 이하의 모스 경도를 가질 수 있다. 0.5 이상 1 이하의 모스 경도를 가지는 탄소 구조체를 사용함으로써, 기재의 일면 상에 탄소 박막을 보다 용이하게 형성할 수 있다. 탄소 구조체의 모스 경도가 전술한 범위를 벗어나는 경우, 상기 탄소 구조체와 상기 기재 사이에 마찰이 발생되는 과정에서, 상기 탄소 구조체가 파손되거나 또는 상기 기재의 일면 상에 탄소 박막이 형성되는 효율이 저하되는 문제가 발생될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the carbon structure may have a Mohs hardness of 0.5 or more and 1 or less. By using a carbon structure having a Mohs hardness of 0.5 or more and 1 or less, it is possible to more easily form the carbon thin film on one surface of the substrate. When the Mo hardness of the carbon structure is out of the above-mentioned range, in the process of friction between the carbon structure and the substrate, the carbon structure is broken or the efficiency of forming the carbon thin film on one surface of the substrate is decreased Problems can arise.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 기재는 전도성을 가질 수 있으나, 바람직하게는 전도성을 갖지 않을 수 있다. 또한, 상기 기재는 평탄도가 우수한 것을 사용할 수 있고, 상기 탄소 구조체의 경도에 적절히 대응할 수 있는 정도의 표면 거칠기를 가지는 기재를 사용할 수 있다. 즉, 상기 기재의 표면 거칠기는 상기 탄소 구조체의 경도에 따라 변경될 수 있다. 일 예로, 상기 기재의 표면 거칠기 Ra는 0.01 ㎛ 이상 10 ㎛ 이하일 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the substrate may have conductivity, but preferably it may not have conductivity. The substrate may be one having excellent flatness, and a substrate having a surface roughness capable of appropriately coping with the hardness of the carbon structure may be used. That is, the surface roughness of the substrate can be changed according to the hardness of the carbon structure. For example, the surface roughness Ra of the substrate may be 0.01 탆 or more and 10 탆 or less.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 기재는 유리 또는 수지 필름일 수 있다. 구체적으로, 상기 기재로 투명 유리, 불투명 유리, 표면 처리된 유리, 실리카 등을 사용할 수 있다. 또한, 상기 기재로 폴리이미드(polyimide), 폴리카보네이트(polycarbonate), 폴리우레탄(polyurethane), 폴리염화비닐(polyvinyl chloride), 폴리에틸렌테레프탈레이트(polyethylene terephthalate) 중 적어도 하나를 포함하는 수지 필름을 사용할 수 있다. 다만, 기재의 종류를 제한 것은 아니다.According to one embodiment of the present invention, the substrate may be glass or a resin film. Specifically, transparent glass, opaque glass, surface-treated glass, silica, or the like can be used as the substrate. In addition, a resin film containing at least one of polyimide, polycarbonate, polyurethane, polyvinyl chloride, and polyethylene terephthalate may be used as the base material . However, the type of substrate is not limited.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 기재의 일면과 상기 탄소 구조체의 일면이 대향되도록 상기 탄소 구조체를 위치시킬 수 있다. 구체적으로, 상기 기재의 일면과 상기 탄소 구조체의 일면이 실질적으로 평행이 되도록, 상기 탄소 구조체 또는 상기 기재를 위치시킬 수 있다. 본 명세서에서 “실질적으로 평행”한 것은 완전하게 평행한 상태를 의미할 수 있으며, 또한, 공정 상의 미소한 오차를 포함하는 평행한 상태를 의미할 수도 있다.According to an embodiment of the present invention, the carbon structure may be positioned such that one surface of the substrate and one surface of the carbon structure face each other. Specifically, the carbon structure or the substrate may be positioned such that one side of the substrate and one side of the carbon structure are substantially parallel. As used herein, " substantially parallel " may refer to a fully parallel state, and may also refer to a parallel state involving minor errors in the process.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 탄소 구조체와 기재를 위치시키는 것을 개략적으로 나타낸 도면이다. 구체적으로, 도 1은 2 이상의 탄소 분자층(110)을 포함하며, 탄소 분자층(110) 각각의 평면이 탄소 구조체(100)의 일면과 평행한 탄소 구조체(100)를 기재(200)의 일면과 평행하도록 위치시키는 것을 나타낸 도면이다.FIG. 1 is a schematic view illustrating positioning of a carbon structure and a substrate according to an embodiment of the present invention. 1 illustrates a carbon structural body 100 including two or more carbon molecular layers 110 and a plane of each of the carbon molecular layers 110 being parallel to one surface of the carbon structural body 100, As shown in Fig.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 기재의 일면과 상기 탄소 구조체의 일면이 대향된 상태, 즉 평행인 상태를 유지한 채로, 상기 기재의 일면과 상기 탄소 구조체의 일면을 접하게 할 수 있다. 상기 기재의 일면과 상기 탄소 구조체의 일면이 평행인 상태를 유지한 채로, 상기 기재를 이동시키거나 또는 상기 탄소 구조체를 이동시킬 수 있다.According to an embodiment of the present invention, one surface of the base material and one surface of the carbon structural body can be brought into contact with each other while maintaining a state in which one surface of the base material and one surface of the carbon structural body are opposed to each other. The substrate can be moved or the carbon structure can be moved while maintaining a state in which one surface of the substrate and one surface of the carbon structure are parallel to each other.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기재의 일면 상에 탄소 박막을 형성하는 것을 개략적으로 나타낸 도면이다. 구체적으로, 도 2는 탄소 구조체(100)의 일면과 기재(200)의 일면이 접하도록 하고, 기재(200)의 일면에 수직하는 방향(A)으로 탄소 구조체(100)를 가압한 상태로, 기재(200)를 기재(200)의 일면과 평행하는 방향(B)으로 이동시키며, 기재(200)의 일면 상에 탄소 박막(300)을 형성하는 것을 나타낸 도면이다.FIG. 2 is a view schematically illustrating formation of a carbon thin film on one surface of a substrate according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 shows a state in which the carbon structural body 100 is pressed in a direction A perpendicular to one surface of the substrate 200 such that one surface of the carbon structural body 100 is in contact with one surface of the substrate 200, The substrate 200 is moved in a direction B parallel to one surface of the substrate 200 and the carbon thin film 300 is formed on one surface of the substrate 200.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 탄소 구조체의 일면과 상기 기재의 일면 간에 마찰을 발생시켜, 상기 기재의 일면 상에 탄소 박막을 형성할 수 있다. 구체적으로, 상기 탄소 구조체의 일면과 상기 기재의 일면이 접한 상태로, 상기 기재를 상기 기재의 일면과 평행한 방향으로 이동시키거나 또는 상기 탄소 구조체를 상기 탄소 구조체의 일면과 평행한 방향으로 이동시켜, 상기 탄소 구조체의 일면과 상기 기재의 일면 간에 마찰을 발생시킬 수 있다. 상기 탄소 구조체의 일면과 상기 기재의 일면 간에 마찰이 발생되는 과정에서, 상기 탄소 구조체 내의 탄소 분자층이 상기 기재의 일면 상에 전사될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, a carbon film may be formed on one surface of the substrate by generating friction between one surface of the carbon structure and one surface of the substrate. Specifically, the substrate is moved in a direction parallel to the one surface of the substrate, or the carbon structure is moved in a direction parallel to one surface of the carbon structure in a state where one surface of the carbon structure is in contact with one surface of the substrate , Friction can be generated between one surface of the carbon structure and one surface of the substrate. The carbon molecular layer in the carbon structure may be transferred onto one surface of the substrate during the friction between one surface of the carbon structure and one surface of the substrate.

도 2를 참고하면, 상기 탄소 구조체(100)의 일면과 상기 기재(200)의 일면이 접한 상태에서, 상기 탄소 구조체(100)의 위치를 고정시키고 기재(200)의 일면 방향(A)으로 가압하며, 상기 기재(200)를 이동시킴으로써, 상기 마찰이 발생되는 과정에서 상기 탄소 구조체(100)가 부러지거나 파손되는 것을 억제하며, 기재(200)의 일면 상에 탄소 박막(300)을 용이하게 형성할 수 있다.2, the position of the carbon structure 100 is fixed while one surface of the carbon structure 100 is in contact with one surface of the substrate 200, and the carbon structure 100 is pressed The carbon structure 100 is prevented from being broken or broken in the process of generating the friction by moving the substrate 200 and the carbon film 300 is easily formed on one surface of the substrate 200 can do.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 탄소 구조체의 일면과 상기 기재의 일면이 접한 상태에서, 상기 탄소 구조체를 상기 기재의 일면 상에서 슬라이딩 시키거나 또는 상기 탄소 구조체의 일면 상에서 상기 기재를 슬라이딩 시키는 간단한 방법으로, 기재의 일면 상에 탄소 박막을 용이하게 형성할 수 있다. 또한, 상기 탄소 구조체의 일면의 단면적을 조절하여, 상기 기재 상에 형성되는 탄소 박막의 면적을 조절할 수 있다. 일 예로, 상기 탄소 구조체의 일면이 약 10 cm 이상 100 cm 이하의 폭을 가지는 것을 사용함으로써, 대략 수십 cm의 폭을 가지는 탄소 박막을 상기 기재의 일면 상에 형성할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, a simple method of sliding the carbon structure on one surface of the substrate or sliding the substrate on one surface of the carbon structure in a state where one surface of the carbon structure is in contact with one surface of the substrate , It is possible to easily form a carbon thin film on one surface of the substrate. Also, the area of the carbon thin film formed on the substrate can be controlled by controlling the cross-sectional area of one surface of the carbon structural body. For example, a carbon film having a width of about 10 cm to about 100 cm may be formed on one side of the substrate by using a carbon film having a width of about 10 cm to 100 cm.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 탄소 구조체의 일면과 상기 기재의 일면 간의 물리적인 마찰 또는 마모 현상을 통해, 상기 기재의 일면 상에 탄소 박막을 형성할 수 있으므로, 상기 탄소 구조체와 기재의 주변 분위기를 진공으로 형성하는 공정, 또는 탄소 구조체 및/또는 기재를 가열하는 공정이 필요 없어, 탄소 함유 전도성 박막의 제조 비용을 절감할 수 있고, 제조 효율을 향상시킬 수 있다. According to an embodiment of the present invention, a carbon thin film can be formed on one surface of the substrate through physical friction or abrasion between one surface of the carbon structure and one surface of the substrate. Therefore, It is possible to reduce the manufacturing cost of the carbon-containing conductive thin film and improve the manufacturing efficiency because the step of forming the surrounding atmosphere of the carbon-containing conductive material and / or the substrate is not necessary.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 기재의 일면과 상기 탄소 구조체의 일면이 평행함에 따라, 상기 탄소 구조체에 포함되는 탄소 분자층의 평면은 상기 기재의 일면과 평행할 수 있다. 상기 탄소 구조체에 포함되는 탄소 분자층의 평면과 상기 기재의 일면이 평행하도록 함으로써, 상기 탄소 구조체의 일면과 상기 기재의 일면 간에 마찰을 발생시키는 과정에서, 상기 탄소 구조체에 포함되는 상기 탄소 분자층이 손상되는 것을 억제하며, 그 구조를 유지한 채로 상기 탄소 분자층을 상기 기재의 일면 상에 안정적으로 전사시킬 수 있다. 상기 탄소 분자층이 상기 기재의 일면 상에 반복적으로 전사되는 과정을 거치면서, 상기 기재의 일면 상에 탄소 박막이 코팅될 수 있다. 이에 의해, 상기 기재의 일면 상에 전기 전도성이 우수하며, 균질한 품질을 보유하는 탄소 박막을 용이하게 형성할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, as the one surface of the substrate and the one surface of the carbon structure are parallel to each other, the plane of the carbon molecular layer included in the carbon structure may be parallel to one surface of the substrate. The carbon molecular layer included in the carbon structural body may be formed in the process of generating friction between one surface of the carbon structural body and one surface of the substrate by making the plane of the carbon molecular layer included in the carbon structural body parallel to the one surface of the substrate, And the carbon molecular layer can be stably transferred onto one surface of the substrate while maintaining the structure. The carbon thin film may be coated on one surface of the substrate while the carbon molecular layer is repeatedly transferred onto one surface of the substrate. As a result, a carbon thin film having excellent electrical conductivity and having a homogeneous quality can be easily formed on one surface of the substrate.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 탄소 구조체의 일면과 상기 기재의 일면을 접하는 단계는 상기 탄소 구조체에 1 kPa 이상 1,000 kPa 이하의 압력을 가하여, 상기 탄소 구조체의 일면과 상기 기재의 일면이 접하도록 할 수 있다. 구체적으로, 상기 탄소 구조체에 10 kPa 이상 1,000 kPa 이하, 50 kPa 이상 900 kPa 이하, 100 kPa 이상 850 kPa 이하, 200 kPa 이상 700 kPa 이하, 300 kPa 이상 500 kPa 이하, 350 kPa 이상 450 kPa 이하, 1 kPa 이상 900 kPa 이하, 50 kPa 이상 800 kPa 이하, 100 kPa 이상 700 kPa 이하, 150 kPa 이상 500 kPa 이하, 200 kPa 이상 450 kPa 이하, 250 kPa 이상 350 kPa 이하의 압력을 가할 수 있고, 보다 구체적으로 상기 탄소 구조체에 10 kPa 이상 100 kPa 이하, 100 kPa 이상 300 kPa 이하, 350 kPa 이상 500 kPa 이하, 900 kPa 이상 1,000 kPa 이하, 700 kPa 이상 850 kPa 이하, 500 kPa 이상 650 kPa 이하의 압력을 가할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the step of contacting one surface of the carbon structure with the one surface of the substrate may be performed by applying a pressure of 1 kPa or more and 1,000 kPa or less to the carbon structure, . Specifically, it is preferable that the carbon structure has a carbon structure of 10 kPa or more and 1,000 kPa or less, 50 kPa or more and 900 kPa or less, 100 kPa or more and 850 kPa or less, 200 kPa or more and 700 kPa or less, 300 kPa or more and 500 kPa or less, 350 kPa or more and 450 kPa or less, kPa or more and 900 kPa or less, 50 kPa or more and 800 kPa or less, 100 kPa or more and 700 kPa or less, 150 kPa or more and 500 kPa or less, 200 kPa or more and 450 kPa or less, 250 kPa or more and 350 kPa or less, more specifically, A pressure of not less than 10 kPa and not more than 100 kPa, not less than 100 kPa and not more than 300 kPa, not less than 350 kPa and not more than 500 kPa, not less than 900 kPa and not more than 1,000 kPa, not less than 700 kPa and not more than 850 kPa, and not less than 500 kPa but not more than 650 kPa have.

상기 탄소 구조체에 전술한 범위의 압력을 가하여 상기 탄소 구조체의 일면을 상기 기재의 일면에 접한 후, 상기 기재를 상기 탄소 구조체의 일면 상에서 슬라이딩시킴으로써, 상기 기재의 일면 상에 효과적으로 상기 탄소 박막을 형성할 수 있다. 상기 탄소 구조체에 가해지는 압력이 1 kPa 미만인 경우에는 상기 탄소 구조체의 일면과 상기 기재의 일면 간에 물리적인 마찰 또는 마모가 효과적으로 발생되기 어려워, 상기 기재의 일면 상에 상기 탄소 박막을 형성하는 효율이 저하되는 문제가 발생될 수 있다. 반면, 상기 탄소 구조체에 가해지는 압력이 1,000 kPa을 초과하는 경우, 상기 기재의 일면에 대한 상기 탄소 구조체의 누르는 힘이 과도하여, 탄소 구조체가 파손되거나 또는 상기 기재의 일면 상에 전사되는 상기 탄소 분자층의 구조가 변형되는 문제가 발생될 수 있다.The carbon thin film is effectively formed on one surface of the substrate by applying pressure in the above-described range to the carbon structure to contact one surface of the substrate with the one surface of the substrate, and then sliding the substrate on one surface of the carbon structure . When the pressure applied to the carbon structure is less than 1 kPa, physical friction or abrasion between one surface of the carbon structure and one surface of the substrate is difficult to be effectively generated, and the efficiency of forming the carbon film on one surface of the substrate is lowered A problem may arise. On the other hand, when the pressure applied to the carbon structure is more than 1,000 kPa, the pressing force of the carbon structure on one surface of the substrate is excessively excessive, so that the carbon structure is broken or the carbon molecules The structure of the layer may be deformed.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 탄소 박막의 두께는 10 nm 이상 400 nm 이하일 수 있다. 구체적으로, 상기 탄소 박막의 두께는 20 nm 이상 400 nm 이하, 350 nm 이상 350 nm 이하, 50 nm 이상 300 nm 이하, 70 nm 이상 250 nm 이하, 100 nm 이상 200 nm 이하, 10 nm 이상 350 nm 이하, 15 nm 이상 300 nm 이하, 20 nm 이상 250 nm 이하, 40 nm 이상 200 nm 이하, 50 nm 이상 150 nm 이하일 수 있고, 보다 구체적으로 상기 탄소 박막의 두께는 40 nm 이상 100 nm 이하, 150 nm 이상 250 nm 이하, 300 nm 이상 400 nm 이하일 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the thickness of the carbon thin film may be 10 nm or more and 400 nm or less. Specifically, the thickness of the carbon thin film is 20 nm or more and 400 nm or less, 350 nm or more and 350 nm or less, 50 nm or more and 300 nm or less, 70 nm or more and 250 nm or less, 100 nm or more and 200 nm or less, , More preferably not less than 15 nm but not more than 300 nm, more preferably not less than 20 nm but not more than 250 nm, more preferably not less than 40 nm and not more than 200 nm, more preferably not less than 50 nm and not more than 150 nm, 250 nm or less, and 300 nm or more and 400 nm or less.

상기 기재의 일면 상에 형성되는 상기 탄소 박막의 두께를 전술한 범위로 조절함으로써, 내구성 등의 기계적 물성 및 전도성이 우수한 탄소 박막을 포함하는 전도성 박막을 구현할 수 있다. 상기 기재의 일면 상에 형성되는 상기 탄소 박막의 두께가 10 nm 미만인 경우에는 상기 탄소 박막의 내구성이 급격히 저하되는 문제가 발생될 수 있다. 또한, 상기 기재의 일면 상에 형성되는 상기 탄소 박막의 두께가 400 nm를 초과하는 경우, 상기 탄소 박막을 포함하는 전도성 박막의 전도도가 저하되는 문제가 발생될 수 있다.By controlling the thickness of the carbon thin film formed on one surface of the substrate to the above-described range, it is possible to realize a conductive thin film including a carbon thin film having excellent mechanical properties such as durability and conductivity. When the thickness of the carbon thin film formed on one surface of the substrate is less than 10 nm, there may arise a problem that the carbon thin film has a drastically reduced durability. In addition, when the thickness of the carbon thin film formed on one surface of the substrate is more than 400 nm, the conductivity of the thin conductive film containing the carbon thin film may be deteriorated.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 기재의 일면과 상기 탄소 구조체의 일면 간에 마찰을 발생시키는 과정을 반복하는 정도를 조절하여, 상기 기재의 일면 상에 형성되는 탄소 박막의 두께를 조절할 수 있다. 구제척으로, 상기 탄소 구조체의 일면과 상기 기재의 일면이 접한 상태에서, 도 2와 같이, 기재(200)를 기재(200)의 일면에 평행한 방향(B)으로 슬라이딩시키는 과정을 반복하는 정도를 조절하여, 기재(200)의 일면 상에 형성되는 상기 탄소 박막(300)의 두께를 용이하게 제어할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the thickness of the carbon thin film formed on one surface of the substrate can be controlled by adjusting the degree of repetition of the process of generating friction between one surface of the substrate and one surface of the carbon structure. The degree of repetition of the process of sliding the base material 200 in the direction B parallel to one surface of the base material 200 as shown in FIG. 2 in a state where one surface of the above described carbon material is in contact with one surface of the base material, The thickness of the carbon thin film 300 formed on one side of the substrate 200 can be easily controlled.

따라서, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 기재의 일면 상에 형성되는 탄소 박막의 두께를 간단한 방법을 통해 제어할 수 있다.Therefore, according to one embodiment of the present invention, the thickness of the carbon thin film formed on one surface of the substrate can be controlled by a simple method.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 탄소 구조체는 흑연일 수 있다. 따라서, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 고가의 탄소나노튜브(carbon nano tube, CNT), 그래핀(graphene) 등을 사용하여 탄소 함유 전도성 박막을 제조하는 기존의 방법 대비, 상대적으로 가격이 저렴한 흑연을 사용하여 탄소 함유 전도성 박막을 구현할 수 있는 바, 전도성 박막의 제조 비용을 효과적으로 절감할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the carbon structure may be graphite. Therefore, according to an embodiment of the present invention, compared with the conventional method of manufacturing a carbon-containing conductive thin film using expensive carbon nanotube (CNT), graphene, or the like, By using graphite, a carbon-containing conductive thin film can be realized, which can effectively reduce the manufacturing cost of the conductive thin film.

본 발명의 일 실시예에 따른 탄소 함유 전도성 박막의 제조 방법은 상기 탄소 박막의 표면을 패터닝하는 단계를 더 포함할 수 있다. 상기 탄소 박막을 포함하는 전도성 박막은 투명할 수 있으며, 상기 탄소 박막을 포함하는 투명 전도성 박막은 디스플레이 장치, 태양 전지, 터치 패널의 전극으로 이용되거나 또는 투명 발열 장치의 발열층으로 사용될 수 있다. 상기 투명 전도성 박막을 다양한 분야에 적용하기 위하여, 상기 탄소 박막의 표면 상에 패턴 구조를 형성할 수 있다. 일 예로, CO2 레이저, Nd:YAG 레이저를 이용하여 상기 탄소 박막의 표면 상에 미리 설정된 형태의 패턴 구조를 형성할 수 있다.The method for fabricating a carbon-containing conductive thin film according to an embodiment of the present invention may further include patterning the surface of the carbon thin film. The conductive thin film including the carbon thin film may be transparent, and the transparent conductive thin film including the carbon thin film may be used as an electrode of a display device, a solar cell, a touch panel, or a heating layer of a transparent heat generating device. In order to apply the transparent conductive thin film to various fields, a pattern structure may be formed on the surface of the carbon thin film. For example, a pattern structure of a predetermined type can be formed on the surface of the carbon thin film using a CO2 laser or an Nd: YAG laser.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 탄소 박막에 4 V 이상 60 V 이하의 직류전압이 인가 시, 상기 탄소 박막은 20 ℃ 이상 100 ℃ 이하의 온도로 발열할 수 있다. 구체적으로, 상기 탄소 박막은 20 ℃ 이상 80 ℃ 이하, 40 ℃ 이상 70 ℃ 이하, 60 ℃ 이상 80 ℃ 이하, 80 ℃ 이상 100 ℃ 이하의 온도로 발열할 수 있다.따라서, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 4 V 이상 60 V 이하의 직류전압이 인가 시, 20 ℃ 이상 100 ℃ 이하의 온도로 발열할 수 있는 상기 탄소 박막을 포함하는 전도성 박막을 발열층으로 하는 투명 발열 장치를 제공할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, when a direct current voltage of 4 V to 60 V is applied to the carbon thin film, the carbon thin film may generate heat at a temperature of 20 ° C or more and 100 ° C or less. Specifically, the carbon thin film may generate heat at a temperature of 20 ° C. or more and 80 ° C. or less, 40 ° C. or more and 70 ° C. or less, 60 ° C. or more and 80 ° C. or less, or 80 ° C. or more and 100 ° C. or less. It is possible to provide a transparent heat generating device using a conductive thin film including the carbon thin film which can generate heat at a temperature of 20 ° C to 100 ° C when a direct current voltage of 4 V to 60 V is applied as a heat generating layer .

본 발명의 다른 실시예는 본 발명의 일 실시예에 따른 방법으로 제조되는 탄소 함유 전도성 박막을 제공한다.Another embodiment of the present invention provides a carbon-containing conductive thin film produced by a method according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 다른 실시예에 따른 탄소 함유 전도성 박막은 내구성 및 전도성이 우수한 탄소 박막을 포함하고 있어, 다양한 분야에 적용될 수 있다. 구체적으로, 상기 탄소 함유 전도성 박막은 투명한 것으로 투명 전도성 박막일 수 있고, 디스플레이 장치, 태양 전지, 터치 패널의 전극으로 이용되거나 또는 투명 발열 장치의 발열층으로 적용될 수 있다.The carbon-containing conductive thin film according to another embodiment of the present invention includes a carbon thin film having excellent durability and conductivity, and can be applied to various fields. Specifically, the carbon-containing conductive thin film is transparent and may be a transparent conductive thin film, and may be used as an electrode of a display device, a solar cell, a touch panel, or as a heating layer of a transparent heating device.

전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.It will be understood by those skilled in the art that the foregoing description of the present invention is for illustrative purposes only and that those of ordinary skill in the art can readily understand that various changes and modifications may be made without departing from the spirit or essential characteristics of the present invention. will be. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive. For example, each component described as a single entity may be distributed and implemented, and components described as being distributed may also be implemented in a combined form.

본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.The scope of the present invention is defined by the appended claims rather than the detailed description and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents are to be construed as being included within the scope of the present invention do.

100: 탄소 구조체
110: 탄소 분자층
200: 기재
300: 탄소 박막
100: carbon structure
110: Carbon molecular layer
200: substrate
300: carbon thin film

Claims (8)

탄소 원자로 이루어진 평면의 탄소 분자층을 2 이상 포함하는 탄소 구조체를 준비하는 단계;
기재의 일면과 상기 탄소 구조체의 일면이 대향되도록 상기 탄소 구조체를 위치시키는 단계;
상기 탄소 구조체의 일면과 상기 기재의 일면을 접하는 단계; 및
상기 탄소 구조체의 일면과 상기 기재의 일면 간에 마찰을 발생시켜, 상기 기재의 일면 상에 탄소 박막을 형성하는 단계;를 포함하고,
상기 탄소 분자층의 평면은 상기 탄소 구조체의 일면과 평행하는 것인 탄소 함유 전도성 박막의 제조 방법.
Preparing a carbon structure comprising at least two planar carbon molecular layers made of carbon atoms;
Positioning the carbon structure such that one side of the substrate and one side of the carbon structure face each other;
Contacting one surface of the carbon structure with one surface of the substrate; And
And forming a carbon thin film on one surface of the substrate by generating friction between one surface of the carbon structure and one surface of the substrate,
Wherein the plane of the carbon molecular layer is parallel to one surface of the carbon structure.
청구항 1에 있어서,
상기 탄소 박막의 두께는 10 nm 이상 400 nm 이하인 것인 탄소 함유 전도성 박막의 제조 방법.
The method according to claim 1,
Wherein the thickness of the carbon thin film is 10 nm or more and 400 nm or less.
청구항 1에 있어서,
상기 탄소 구조체의 일면과 상기 기재의 일면을 접하는 단계는 상기 탄소 구조체에 1 kPa 이상 1,000 kPa 이하의 압력을 가하여, 상기 탄소 구조체의 일면과 상기 기재의 일면이 접하도록 하는 것인 탄소 함유 전도성 박막의 제조 방법.
The method according to claim 1,
Wherein the step of contacting one surface of the carbon structure with the one surface of the substrate is performed by applying a pressure of 1 kPa or more and 1,000 kPa or less to the carbon structure so that one surface of the carbon structure is in contact with one surface of the substrate, Gt;
청구항 1에 있어서,
상기 탄소 구조체는 흑연인 것인 탄소 함유 전도성 박막의 제조 방법.
The method according to claim 1,
Wherein the carbon structure is graphite.
청구항 1에 있어서,
상기 기재는 유리 또는 수지 필름인 것인 탄소 함유 전도성 박막의 제조 방법.
The method according to claim 1,
Wherein the substrate is glass or a resin film.
청구항 1에 있어서,
상기 탄소 박막의 표면을 패터닝하는 단계를 더 포함하는 것인 탄소 함유 전도성 박막의 제조 방법.
The method according to claim 1,
Further comprising the step of patterning the surface of the carbon thin film.
청구항 1에 있어서,
상기 탄소 박막에 4 V 이상 60 V 이하의 직류전압이 인가 시, 상기 탄소 박막은 20 ℃ 이상 100 ℃ 이하의 온도로 발열하는 것인 탄소 함유 전도성 박막의 제조 방법.
The method according to claim 1,
Wherein the carbon thin film generates heat at a temperature of 20 ° C to 100 ° C when a direct current voltage of 4 V to 60 V is applied to the carbon thin film.
청구항 1에 따른 방법으로 제조되는 탄소 함유 전도성 박막.
A carbon-containing conductive thin film produced by the method according to claim 1.
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