KR20190017386A - A jetting valve - Google Patents

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KR20190017386A
KR20190017386A KR1020170102181A KR20170102181A KR20190017386A KR 20190017386 A KR20190017386 A KR 20190017386A KR 1020170102181 A KR1020170102181 A KR 1020170102181A KR 20170102181 A KR20170102181 A KR 20170102181A KR 20190017386 A KR20190017386 A KR 20190017386A
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Abstract

The present invention relates to a jetting valve measuring movement stroke of a discharge pestle unit in real time by including a contact type displacement sensor and a high-speed processor and always moving as much as the desired height by controlling the height at the same time based on the measured movement stoke. According to the present invention, the jetting valve controlling operation distance in real time by a closed loop includes: a nozzle unit discharging a fluid supplied from the outside; the discharge pestle unit repeatedly moving in a vertical direction by being inserted into the nozzle unit and discharging the fluid through the nozzle unit; a pestle operating unit connected to an upper end of the discharge pestle unit and repeatedly operating the discharge pestle unit in the vertical direction; a measurement sensor unit connected to the upper part of the discharge pestle unit and measuring the vertical movement stroke of the discharge pestle unit in real time; a piezoelectric actuator installed to be in contact with the pestle operating unit and vertically operating the pestle operating unit while vibrating by power supplied from the outside; and a control unit controlling the voltage of the power supplied to the piezoelectric actuator so that a vertical movement stroke value of the discharge pestle unit measured by the measurement sensor unit in real time always maintains a desired value.

Description

클로우즈 루프로 작동거리를 실시간으로 조절하는 젯팅 밸브{A JETTING VALVE}{A JETTING VALVE} that adjusts working distance in real time by a close loop.

본 발명은 젯팅 밸브에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 접촉식 변위 센서와 고속 프로세서를 구비하여 실시간으로 토출 공이부의 이동 스트로크를 측정하고 이를 바탕으로 동일 시간에 높이를 조절하여 항상 원하는 높이만 이동하는 젯팅 밸브에 관한 것이다. The present invention relates to a jetting valve, and more particularly, to a jetting valve having a contact type displacement sensor and a high-speed processor to measure a moving stroke of a part of a discharge hole in real time and adjust the height at the same time, Valve.

물, 기름, 레진 등의 액체 상태의 용액을 일정한 양으로 공급하는 디스펜서는 반도체 공정, 의료 분야 등 다양한 분야에 사용되고 있다. 특히 반도체 공정에는 언더필(underfill) 공정에 디스펜서가 많이 사용되며, 반도체 소자의 패키지 내부를 레진으로 채우는 용도로도 디스펜서가 많이 사용된다. LED 소자를 제조하는 공정에는 LED 소자에 형광물질과 레진이 혼합된 형광액을 LED 칩에 도포하는 공정에 디스펜서가 사용된다.BACKGROUND ART A dispenser for supplying a liquid in a liquid state such as water, oil, and resin is used in various fields such as a semiconductor process and a medical field. In particular, dispensers are often used in underfilling processes in semiconductor processes, and dispensers are also used in filling semiconductor devices with resin. In a process of manufacturing an LED device, a dispenser is used in a process of applying a fluorescent material mixed with a fluorescent material and a resin to an LED device on an LED chip.

이와 같은 디스펜서에는 용액을 공급받아 정확한 위치에 정량을 디스펜싱하는 펌프가 핵심 장치로 사용된다. 펌프의 구조에는 스크류 펌프, 리니어 펌프 등 다양한 종류가 존재한다. 최근에는 고속으로 디스펜싱 작업을 수행하기 위해서 반도체 공정 등에 압전 소자를 액츄에이터로 사용하는 압전 펌프가 개발되어 사용되고 있다.In such a dispenser, a pump is used as a key device for dispensing the solution at a precise position by receiving the solution. There are various types of pump structure such as screw pumps and linear pumps. Recently, a piezoelectric pump using a piezoelectric element as an actuator for a semiconductor process or the like has been developed and used to perform a dispensing operation at a high speed.

한국 등록특허공보 제1301107호(2013. 08. 14 등록)에는 상호 분리 가능하게 결합되는 펌프 몸체와 밸브 몸체를포함하는 압전 펌프가 개시되어 있다. 펌프 몸체에는 힌지 축이 설치되고, 가로 방향으로 연장되는 레버가 힌지축에 대해 회전 가능하게 설치된다. 밸브 몸체에는 수직 방향으로 연장되도록 형성된 밸브 로드가 끼워져 설치된다. 레버와 밸브 로드는 서로 연결되어, 레버가 힌지 축에 대해 회전하면 밸브 로드는 상하로 승강하게 된다.Korean Patent Registration No. 1301107 (registered on Mar. 08, 2013) discloses a piezoelectric pump including a pump body and a valve body that are detachably coupled to each other. A hinge shaft is provided on the pump body, and a lever extending in the transverse direction is rotatably mounted on the hinge shaft. A valve rod formed to extend in the vertical direction is fitted in the valve body. The lever and the valve rod are connected to each other, and when the lever rotates about the hinge axis, the valve rod ascends and descends up and down.

펌프 몸체에는 한 쌍의 압전 액츄에이터가 설치되어 레버를 힌지 축에 대해 회전시킨다. 한 쌍의 압전 액츄에이터는 전압을 인가하면 그 인가 전압의 전위에 따라 길이가 늘어나거나 줄어드는 구조의 압전 소자로 구성된다.A pair of piezoelectric actuators is installed on the pump body to rotate the lever about the hinge axis. The pair of piezoelectric actuators are constituted by piezoelectric elements having a structure in which the length is increased or decreased according to the potential of the applied voltage when a voltage is applied.

그런데 이러한 종래의 압전액츄에이터를 이용한 제팅 밸브는 온도 변화에 따른 테핏 스트록의 변화를 감지하거나 보완할 방법이 없는 문제점이 있다. However, such a conventional jetting valve using a piezoelectric actuator has a problem in that there is no way to detect or compensate for a change in the tip stick due to a temperature change.

본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 접촉식 변위 센서와 고속 프로세서를 구비하여 실시간으로 토출 공이부의 이동 스트로크를 측정하고 이를 바탕으로 동일 시간에 높이를 조절하여 항상 원하는 높이만 이동하는 젯팅 밸브를 제공하는 것이다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a jetting valve having a contact type displacement sensor and a high speed processor to measure a moving stroke of a part of a discharge hole in real time and adjust the height at the same time based on the moving stroke, will be.

전술한 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 클로우즈 루프로 작동거리를 실시간으로 조절하는 젯팅 밸브는, 외부에서 공급되는 용액을 토출하는 노즐부; 상기 노즐부에 삽입되어 상하 방향으로 반복 이동하며, 상기 노즐부를 통하여 용액을 토출시키는 토출 공이부; 상기 토출 공이부의 상단에 결합되어 설치되며, 상기 토출 공이부를 상하 방향으로 반복 구동시키는 공이 구동부; 상기 토출 공이부의 상부에 결합되어 설치되며, 상기 토출 공이부의 상하 이동 스트로크를 실시간으로 측정하는 측정 센서부; 상기 공이 구동부에 접촉하도록 설치되며, 외부에서 공급되는 전원에 의하여 진동하며 상기 공이 구동부를 상하 구동시키는 압전 액츄에이터; 상기 측정 센서부에서 실시간으로 측정되는 상기 토출 공이부의 상하 이동 스크로크 값이 항상 원하는 값을 유지하도록 상기 압전 액츄에이터에 공급되는 전원의 전압을 제어하는 제어부;를 포함한다. According to an aspect of the present invention, there is provided a jetting valve for adjusting a working distance in real time in a closed loop, comprising: a nozzle unit for discharging a solution supplied from the outside; A discharge hole inserted in the nozzle portion and repeatedly moved in the vertical direction, and discharging the solution through the nozzle portion; A driving part which is installed on the upper end of the discharging hole and which repeatedly drives the discharging hole in a vertical direction; A measurement sensor unit coupled to an upper portion of the discharge hole to measure a vertical stroke of the discharge hole in real time; A piezoelectric actuator installed in contact with the driving part to vibrate by a power source supplied from the outside and drive the driving part up and down; And a control unit for controlling a voltage of a power source supplied to the piezoelectric actuator so that the up / down scroll stroke value of the discharge hole measured in real time in the measurement sensor unit always maintains a desired value.

그리고 본 발명에서 상기 압전 액츄에이터는, 상기 압전 액츄에이터가 정확하게 상하 방향으로 진동하도록 안내하는 진동 가이드부를 가지는 구동 몸체 내에 설치되는 것이 바람직하다. In the present invention, it is preferable that the piezoelectric actuator is installed in a driving body having a vibration guide portion for guiding the piezoelectric actuator to vertically vibrate precisely.

또한 본 발명에서 상기 공이 구동부는, 상기 구동 몸체 내에서 상기 압전 액츄에이터의 하면에 일단이 접촉한 상태에서 수평 방향으로 설치되며, 상하 방향으로 반복 이동 가능하게 설치되어 상기 압전 액츄에이터의 상하 진동을 측부로 전달하는 전달 로드; 상기 전달 로드의 타단 하부에 접촉되도록 설치되며, 상기 전달 로드에 가해진 외력이 제거된 경우 상기 전달 로드를 초기 위치로 복원시키는 로드 복원부;를 포함하는 것이 바람직하다. Further, in the present invention, the ball driving unit may be installed horizontally in a state where one end of the ball is in contact with the lower surface of the piezoelectric actuator in the driving body, and is arranged to move in the vertical direction repeatedly, Forwarding load; And a rod restoring unit installed to be in contact with the lower end of the transfer rod and restoring the transfer rod to an initial position when an external force applied to the transfer rod is removed.

또한 본 발명에 따른 클로우즈 루프로 작동거리를 실시간으로 조절하는 젯팅 밸브에서, 상기 노즐부는 상기 구동 몸체의 하면에 체결되어 설치되며, 상기 밸브 공이부가 상하 이동가능하게 삽입되는 공이 삽입공이 상기 밸브 몸체에 설치되는 것이 바람직하다. In the jetting valve for adjusting the working distance in real time in the closed loop according to the present invention, the nozzle unit is installed on the lower surface of the driving body, and the ball is inserted into the valve body such that the valve can move up and down. .

또한 본 발명에서 상기 밸브 몸체에는, 상기 밸브 몸체에 설치되며, 상기 공이 삽입공 및 노즐부에 용액을 공급하는 용액 공급부;가 더 구비되는 것이 바람직하다. In the present invention, it is preferable that the valve body further includes a solution supply unit installed in the valve body, the solution supply unit supplying the solution to the insertion hole and the nozzle unit.

또한 본 발명에서 상기 측정 센서부는, 상기 전달 로드의 타단 상면에 결합되어 설치되며, 상기 전달 로드의 상하 방향 움직임과 함께 상하 방향으로 움직이는 측정 로드; 상기 측정 로드의 상측에 상기 측정 로드의 상하 움직 이동 스트로크를 실시간으로 측정하는 접촉식 변위 센서(LVDT : Linear Variable Differential Transformer);를 포함하는 것이 바람직하다. Further, in the present invention, the measurement sensor unit may include: a measurement rod coupled to an upper surface of the other end of the transfer rod, the measurement rod moving up and down with movement of the transfer rod; And a linear variable differential transformer (LVDT) for measuring a vertical movement stroke of the measurement rod in real time on the upper side of the measurement rod.

또한 본 발명에서 상기 제어부는, 클로우즈 루프로 구성되어 상기 접촉식 변위 센서에서 측정되는 상기 측정 로드의 상하 이동 스트로크 값을 동일 시간에 조절하여 항상 동일한 높이로 상기 측정 로드가 상하 이동하도록 제어하는 고속 프로세서를 구비하는 것이 바람직하다. In the present invention, the control unit may include a high-speed processor that is configured as a closed loop and controls the measurement rod to move up and down at the same height by adjusting the up and down stroke values of the measurement rod measured by the contact- .

본 발명의 젯팅 밸브는, 압전 액츄에이터를 구비하여 미세한 분사조절이 가능할 뿐만아니라, 온도 변화 등 환경 변화가 발생하는 경우에도 접촉식 변위 센서와 고속 프로세서를 구비하여 실시간으로 토출 공이부의 이동 스트로크를 측정하고 이를 바탕으로 동일 시간에 높이를 조절하므로 항상 원하는 높이로만 이동하도록 제어할 수 있는 현저한 효과를 달성할 수 있다. The jetting valve of the present invention has a piezoactuator and is capable of fine injection control. In addition, even when a change in environment such as a temperature change occurs, the jetting valve measures the moving stroke of the part in real time with a contact displacement sensor and a high- Based on this, the height is controlled at the same time, so that a remarkable effect that can be controlled so as to always move only to a desired height can be achieved.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 작동거리를 실시간으로 조절하는 젯팅 밸브의 구성을 도시하는 도면이다. FIG. 1 is a view showing a configuration of a jetting valve for adjusting a working distance in real time according to an embodiment of the present invention.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다. Hereinafter, a specific embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 실시예에 따른 클로우즈 루프로 작동거리를 실시간으로 조절하는 젯팅 밸브(100)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 노즐부(110), 토출 공이부(120), 측정 센서부(130), 압전 액츄에이터(140) 및 제어부(도면에 미도시)를 포함하여 구성될 수 있다. 1, the jetting valve 100 for adjusting the working distance in real time with the close loop according to the present embodiment includes a nozzle unit 110, a discharge hole 120, a measurement sensor unit 130, A piezoelectric actuator 140 and a control unit (not shown).

먼저 상기 노즐부(110)는 외부에서 공급되는 용액을 토출하는 구성요소이며, 필요에 따라 다양한 형상으로 변화될 수 있다. 구체적으로 상기 노즐부(110)는 도 1에 도시된 바와 같이, 밸브 몸체(150)에 설치되며, 상기 밸브 몸체(150)는 상기 구동 몸체(160)의 하면에 체결되어 설치되며, 이 밸브 몸체(150)에는 상기 토출 공이부(120)가 상하 이동가능하게 삽입되는 공이 삽입공(152)이 형성된다. 그리고 이 공이 삽입공(152)의 하부가 상기 노즐부(110)로 연통된다. First, the nozzle unit 110 is a component for discharging a solution supplied from the outside, and may be changed into various shapes as necessary. 1, the nozzle unit 110 is installed in a valve body 150. The valve body 150 is installed on a lower surface of the driving body 160, (150) is formed with an insertion hole (152) through which the discharge hole (120) is vertically movably inserted. The lower part of the insertion hole 152 is communicated with the nozzle unit 110.

또한 상기 밸브 몸체(150)에는 도 1에 도시된 바와 같이, 용액 공급부(170)가 더 구비된다. 이 용액 공급부(170)는 상기 밸브 몸체(150)에 설치되며, 상기 공이 삽입공(152) 및 노즐부(110)에 용액을 공급하는 구성요소이다. 상기 용액 공급부(170)와 상기 공이 삽입공(152) 사이에는 용액 이동로(도면에 미도시)가 형성되어, 상기 용액 공급부(170)로부터 공급된 용액이 상기 공이 삽입공(152)으로 이동될 수 있다. As shown in FIG. 1, the valve body 150 further includes a solution supply unit 170. The solution supply unit 170 is installed in the valve body 150 and is a component that supplies the solution to the insertion hole 152 and the nozzle unit 110. A solution transfer path (not shown) is formed between the solution supply part 170 and the insertion hole 152 so that the solution supplied from the solution supply part 170 is transferred to the insertion hole 152 .

다음으로 상기 토출 공이부(120)는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 노즐부(110)에 삽입되어 상하 방향으로 반복 이동하며, 상기 노즐부(110)를 통하여 용액을 토출시키는 구성요소이다. 즉, 상기 토출 공이부(120)는 상기 노즐부(110) 내에서 상하 방향으로 이동하면서 상기 노즐부(110) 내에 공급되는 용액을 외부로 토출시키는 것이다. 1, the discharging hole 120 is a component that is inserted into the nozzle unit 110 and repeatedly moved in the vertical direction, and discharges the solution through the nozzle unit 110. As shown in FIG. That is, the discharge hole portion 120 discharges the solution supplied into the nozzle portion 110 while moving in the vertical direction within the nozzle portion 110.

따라서 상기 토출 공이부(120)는 수직 방향으로 기립되어 설치되는 막대 형상을 가질 수 있으며, 그 하단은 상기 노즐부(110)의 형상에 따라 다양하게 변화될 수 있다. 또한 상기 토출 공이부(120)의 상부는 후술하는 공이 구동부(180)에 결합되어 상하 방향으로 구동된다. Accordingly, the discharge hole 120 may have a bar shape standing upright in a vertical direction, and a lower end thereof may be variously changed according to the shape of the nozzle portion 110. The upper part of the discharge hole 120 is coupled to a driving part 180 to be described later and driven in the vertical direction.

다음으로 상기 공이 구동부(180)는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 토출 공이부(120)의 상단에 결합되어 설치되며, 상기 토출 공이부(120)를 상하 방향으로 반복 구동시키는 구성요소이다. 즉, 상기 공이 구동부(180)는 후술하는 압전 액츄에이터(140)의 상하 이동 동력을 상기 토출 공이부(120)에 전달하여 상기 토출 공이부(120)를 상하 구동시키며, 1 동작의 토출 동작이 완료되면, 다시 상기 토출 공이부(120)를 원위치로 복원시키는 기능도 수행한다. Next, as shown in FIG. 1, the ball driving unit 180 is coupled to the upper end of the discharging hole 120, and the discharging hole repeatedly drives the discharging hole 120 in the vertical direction. That is, the ball driving unit 180 transmits the upward and downward movement power of the piezoelectric actuator 140, which will be described later, to the discharging hole 120, so that the discharging hole 120 drives the part 120 up and down. The discharge hole again functions to restore the part 120 to its original position.

이를 위하여 본 실시예에서 상기 공이 구동부(180)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 구체적으로 전달 로드(182)와 로드 복원부(184)를 포함하여 구성될 수 있다. 먼저 상기 전달 로드(182)는 상기 구동 몸체(160) 내에서 상기 압전 액츄에이터(140)의 하면에 일단이 접촉한 상태에서 수평 방향으로 설치되며, 상하 방향으로 반복 이동 가능하게 설치되어 상기 압전 액츄에이터(140)의 상하 진동을 측부로 전달하는 구성요소이다. To this end, as shown in FIG. 1, the ball driving unit 180 in the present embodiment may be specifically configured to include a transfer rod 182 and a rod restoring unit 184. First, the transfer rod 182 is horizontally installed in the driving body 160 in a state where one end thereof is in contact with the lower surface of the piezoelectric actuator 140, and the transfer rod 182 is installed to be movable in the vertical direction, 140 to the side.

다음으로 상기 로드 복원부(184)는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 전달 로드(182)의 타단 하부에 접촉되도록 설치되며, 상기 전달 로드(182)에 가해진 외력이 제거된 경우 상기 전달 로드(182)를 초기 위치로 복원시키는 구성요소이다. 상기 전달 로드(182)는 상기 압전 액츄에이터(140)의 길이방향 신장에 의하여 하측으로 이동되지만, 다시 원위치로 본원하는 것은 이 로드 복원부(184)에 의하여 이루어지는 것이다. 따라서 이 로드 복원부(184)는 탄성 본원력을 가지는 용수철 등으로 이루어질 수 있으며, 상기 전달 로드(182)에 가해진 외력이 제거되는 경우 상기 전달 로드(182)를 원위치로 복원시킨다. 1, when the external force applied to the transfer rod 182 is removed, the rod restorer 184 is installed to contact the lower end of the other end of the transfer rod 182, 182 to the initial position. Although the transfer rod 182 is moved downward by the longitudinal extension of the piezoelectric actuator 140, the load rod 184 is constructed by the rod restorer 184 in its original position. Therefore, the rod restorer 184 may be made of a spring or the like having elastic main force, and restores the transfer rod 182 to an original position when an external force applied to the transfer rod 182 is removed.

다음으로 상기 측정 센서부(130)는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 토출 공이부(120)의 상부에 결합되어 설치되며, 상기 토출 공이부(120)의 상하 이동 스트로크를 실시간으로 측정하는 구성요소이다. 본 실시예에서 상기 측정 센서부(130)는 상기 토출 공이부(120)의 상하 이동 스트로크를 실시간으로 매우 미세한 변화까지 포함하여 정확하게 측정할 수 있어야 하므로, 도 1에 도시된 바와 같이, 측정 로드(132)와 접촉식 변위 센서(134)를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다. 1, the measurement sensor unit 130 is installed on the upper part of the discharge port 120 and is configured to measure the up and down stroke of the discharge port 120 in real time Element. In this embodiment, the measurement sensor unit 130 must be able to accurately measure the up and down stroke of the discharging hole 120 in real time, including a very minute change, so that, as shown in FIG. 1, 132 and a contact type displacement sensor 134.

상기 측정 로드(132)는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 전달 로드(182)의 타단 상면에 결합되어 설치되며, 상기 전달 로드(182)의 상하 방향 움직임과 함께 상하 방향으로 움직이는 구성요소이다. 이 측정 로드(132)의 상부는 상기 접촉식 변위 센서(134) 내부에 삽입되어 상하 방향으로 이동한다. 그리고 상기 접촉식 변위 센서(134)는 상기 측정 로드(132)의 상측에 상기 측정 로드(132)의 일부가 삽입될 수 있도록 설치되며, 상기 측정 로드(132)의 상하 움직 이동 스트로크를 실시간으로 측정하는 구성요소이다. 접촉식 변위 센서(LVDT : Linear Variable Differential Transformer)는 일반적으로 알려진 구조의 접촉식 변위 센서가 사용될 수 있다. 1, the measurement rod 132 is coupled to the upper surface of the other end of the transmission rod 182 and is a component that moves up and down along with the upward and downward movement of the transmission rod 182. The upper part of the measurement rod 132 is inserted into the contact type displacement sensor 134 and moves in the vertical direction. The contact type displacement sensor 134 is installed on the upper side of the measurement rod 132 so that a part of the measurement rod 132 can be inserted thereinto and measures the vertical movement stroke of the measurement rod 132 in real time Lt; / RTI > A contact type displacement sensor (LVDT: Linear Variable Differential Transformer) can be used as a contact type displacement sensor having a generally known structure.

다음으로 상기 압전 액츄에이터(140)는 도 1에 도시된 바와 같이, 전달 로드(182)에 접촉하도록 설치되며, 외부에서 공급되는 전원에 의하여 진동하며 상기 전달 로드(132)를 경유하여 상기 토출 공이부(120)를 상하 구동시키는 구성요소이다. 이 압전 액츄에이터(140)는 일반적으로 피에조 액츄에이터(Piezo actuator)라고 불리우며, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 압전 액츄에이터(140)가 정확하게 상하 방향으로 진동하도록 안내하는 진동 가이드부(162)를 가지는 구동 몸체(160) 내에 설치되는 것이 바람직하다. 1, the piezoelectric actuator 140 is installed to be in contact with the transfer rod 182, and is vibrated by a power source supplied from the outside, and is connected to the piezoelectric actuator 140 via the transfer rod 132, (Not shown). 1, the piezoelectric actuator 140 is generally called a piezo actuator. The piezoelectric actuator 140 has a vibration guide portion 162 for guiding the piezoelectric actuator 140 to vertically oscillate precisely, And is preferably installed in the body 160.

다음으로 상기 제어부(도면에 미도시)는 상기 측정 센서부(130)에서 실시간으로 측정되는 상기 토출 공이부(120)의 상하 이동 스크로크 값이 항상 원하는 값을 유지하도록 상기 압전 액츄에이터(140)에 공급되는 전원의 전압을 제어하는 구성요소이다. 구체적으로 상기 제어부는 클로우즈 루프로 구성되어 상기 접촉식 변위 센서에서 측정되는 상기 측정 로드의 상하 이동 스트로크 값을 동일 시간에 조절하여 항상 동일한 높이로 상기 측정 로드가 상하 이동하도록 제어하는 고속 프로세서를 구비한다. Next, the control unit (not shown) controls the piezoelectric actuator 140 so that the up / down scroll stroke value of the discharge hole 120 measured in real time in the measurement sensor unit 130 is always maintained at a desired value. And is a component that controls the voltage of the supplied power source. Specifically, the control unit includes a high-speed processor configured as a closed loop and controlling the up and down stroke values of the measurement rod measured by the contact type displacement sensor at the same time so that the measurement rod moves up and down at the same height .

따라서 온도 변화 등의 외부 환경 변화에 의하여 상기 압전 액츄에이터(140)의 상하 이동 스트로크에 변화가 발생하더라도 이를 실시간으로 측정하고 이에 대한 전압 변화를 실시간으로 연산 및 제어하여 상기 측정 로드(132)의 상하 이동 스트로크 값이 항상 동일하도록 제어하는 것이다. Therefore, even if a change occurs in the vertical movement stroke of the piezoelectric actuator 140 due to a change in the external environment such as a temperature change, it is measured in real time, and the voltage change is calculated and controlled in real time, So that the stroke value is always the same.

100 : 본 발명의 일 실시예에 따른 클로우즈 루프로 작동거리를 실시간으로 조절하는 젯팅 밸브
110 : 노즐부 120 : 토출 공이부
130 : 측정 센서부 140 : 압전 액츄에이터
150 : 밸브 몸체 160 : 구동 몸체
170 : 용액 공급부 180 : 공이 구동부100: a jetting valve for adjusting a working distance in real time in a closed loop according to an embodiment of the present invention;
110: Nozzle part 120: Discharge hole part
130: Measurement sensor part 140: Piezoelectric actuator
150: valve body 160: drive body
170: solution supply unit 180:

Claims (7)

외부에서 공급되는 용액을 토출하는 노즐부;
상기 노즐부에 삽입되어 상하 방향으로 반복 이동하며, 상기 노즐부를 통하여 용액을 토출시키는 토출 공이부;
상기 토출 공이부의 상단에 결합되어 설치되며, 상기 토출 공이부를 상하 방향으로 반복 구동시키는 공이 구동부;
상기 토출 공이부의 상부에 결합되어 설치되며, 상기 토출 공이부의 상하 이동 스트로크를 실시간으로 측정하는 측정 센서부;
상기 공이 구동부에 접촉하도록 설치되며, 외부에서 공급되는 전원에 의하여 진동하며 상기 공이 구동부를 상하 구동시키는 압전 액츄에이터;
상기 측정 센서부에서 실시간으로 측정되는 상기 토출 공이부의 상하 이동 스크로크 값이 항상 원하는 값을 유지하도록 상기 압전 액츄에이터에 공급되는 전원의 전압을 제어하는 제어부;를 포함하는 클로우즈 루프로 작동거리를 실시간으로 조절하는 젯팅 밸브.A nozzle unit for discharging a solution supplied from outside;
A discharge hole inserted in the nozzle portion and repeatedly moved in the vertical direction, and discharging the solution through the nozzle portion;
A driving part which is installed on the upper end of the discharging hole and which repeatedly drives the discharging hole in a vertical direction;
A measurement sensor unit coupled to an upper portion of the discharge hole to measure a vertical stroke of the discharge hole in real time;
A piezoelectric actuator installed in contact with the driving part to vibrate by a power source supplied from the outside and drive the driving part up and down;
And a control unit for controlling a voltage of a power source supplied to the piezoelectric actuator so that the up / down scroll stroke value of the discharge hole measured in real time by the measurement sensor unit always maintains a desired value, Adjustable jetting valve. 제1항에 있어서, 상기 압전 액츄에이터는,
상기 압전 액츄에이터가 정확하게 상하 방향으로 진동하도록 안내하는 진동 가이드부를 가지는 구동 몸체 내에 설치되는 것을 특징으로 하는 클로우즈 루프로 작동거리를 실시간으로 조절하는 젯팅 밸브.The piezoelectric actuator according to claim 1,
Wherein the piezoelectric actuator is installed in a driving body having a vibration guide portion for guiding the piezoelectric actuator to vertically vibrate precisely. 제2항에 있어서, 상기 공이 구동부는,
상기 구동 몸체 내에서 상기 압전 액츄에이터의 하면에 일단이 접촉한 상태에서 수평 방향으로 설치되며, 상하 방향으로 반복 이동 가능하게 설치되어 상기 압전 액츄에이터의 상하 진동을 측부로 전달하는 전달 로드;
상기 전달 로드의 타단 하부에 접촉되도록 설치되며, 상기 전달 로드에 가해진 외력이 제거된 경우 상기 전달 로드를 초기 위치로 복원시키는 로드 복원부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 클로우즈 루프로 작동거리를 실시간으로 조절하는 젯팅 밸브.3. The apparatus according to claim 2,
A transfer rod installed in a horizontal direction in a state where one end of the piezoelectric actuator is in contact with a lower surface of the piezoelectric actuator in the driving body,
And a load restoring part installed to be in contact with the lower end of the other end of the transmission rod and restoring the transmission rod to an initial position when an external force applied to the transmission rod is removed, Adjustable jetting valve. 제3항에 있어서,
상기 노즐부는 상기 구동 몸체의 하면에 체결되어 설치되며, 상기 밸브 공이부가 상하 이동가능하게 삽입되는 공이 삽입공이 상기 밸브 몸체에 설치되는 것을 특징으로 하는 클로우즈 루프로 작동거리를 실시간으로 조절하는 젯팅 밸브.The method of claim 3,
Wherein the nozzle unit is installed on a lower surface of the driving body, and an insertion hole is formed in the valve body to allow the valve hole to be vertically movably inserted into the valve body. 제4항에 있어서, 상기 밸브 몸체에는,
상기 밸브 몸체에 설치되며, 상기 공이 삽입공 및 노즐부에 용액을 공급하는 용액 공급부;가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 클로우즈 루프로 작동거리를 실시간으로 조절하는 젯팅 밸브.5. The valve according to claim 4,
And a solution supply unit installed in the valve body, the solution supply unit supplying the solution to the insertion hole and the nozzle unit, wherein the solution supply unit adjusts the working distance in real time. 제4항에 있어서, 상기 측정 센서부는,
상기 전달 로드의 타단 상면에 결합되어 설치되며, 상기 전달 로드의 상하 방향 움직임과 함께 상하 방향으로 움직이는 측정 로드;
상기 측정 로드의 상측에 상기 측정 로드의 상하 움직 이동 스트로크를 실시간으로 측정하는 접촉식 변위 센서(LVDT : Linear Variable Differential Transformer);를 포함하는 것을 특징으로 하는 클로우즈 루프로 작동거리를 실시간으로 조절하는 젯팅 밸브.The apparatus according to claim 4,
A measuring rod installed on the upper surface of the other end of the transfer rod and moving in the vertical direction together with the vertical movement of the transfer rod;
And a linear variable differential transformer (LVDT) for measuring a vertical moving stroke of the measuring rod in real time on the upper side of the measuring rod. valve. 제6항에 있어서, 상기 제어부는,
클로우즈 루프를 구성되어 상기 접촉식 변위 센서에서 측정되는 상기 측정 로드의 상하 이동 스트로크 값을 동일 시간에 조절하여 항상 동일한 높이로 상기 측정 로드가 상하 이동하도록 제어하는 고속 프로세서를 구비하는 것을 특징으로 하는 클로우즈 루프로 작동거리를 실시간으로 조절하는 젯팅 밸브.7. The apparatus of claim 6,
And a high speed processor configured to adjust the up and down stroke values of the measuring rod measured by the contact type displacement sensor at the same time to control the measuring rod to move up and down at the same height at all times. A gating valve that adjusts the working distance in real time in a loop.
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