KR20180120420A - 접을 수 있는 초박막 건식 접착 필름 및 이의의 제조방법 - Google Patents

접을 수 있는 초박막 건식 접착 필름 및 이의의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명에 따른 초박막 건식 접착 필름은, 흡착판을 갖는 미세섬모들과 절개홈들이 형성됨으로써, 두께가 매우 얇으면서 잘 구부러지거나 접힐 수 있기 때문에, 굴곡이 있는 곳에 접착이 보다 용이하고 하고, 접착력도 더욱 향상될 수 있다. 또한, 본 발명은 3개의 제1,2,3몰드층이 다단으로 적층 형성된 건식접착필름용 몰드를 제조하여 초박막 건식 접착 필름을 성형함으로써, 미세섬모와 절개홈의 성형이 동시에 가능한 이점이 있으며, 건식접착필름의 두께를 보다 얇게 만드는 데 제약을 받지 않는 이점이 있다.

Description

접을 수 있는 초박막 건식 접착 필름 및 이의의 제조방법{Uultra-thin, foldable and dry adhesive film and manufacturing method of the same}
본 발명은 접을 수 있는 초박막 건식 접착 필름 및 이의의 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 잘 구부러지고 접히도록 형성하여 굴곡이 있거나 울퉁불퉁한 표면에도 용이하게 접착할 수 있는 초박막 건식 접착 필름 및 이의의 제조방법에 관한 것이다.
1980년대 이후 최근까지 대부분의 산업부품이 소형화되어 가고 있으며, 이러한 추세에 따라 마이크로 또는 나노 크기의 구조물(이하, 미세 구조물)을 형성할 필요성이 대두되고 있다. 이러한 요구에 부응하여 신뢰성 있는 미세 구조물을 경제적이고 용이하게 형성하기 위한 다양한 기술들이 제시되고 있다.
미세 구조물을 형성하기 위한 대표적인 방법으로 나노임프린트 리소그래피(nanoimprint lithography) 기술이 알려져 있다. 상기 방법에 의하면, 강도가 큰 몰드를 사용함으로써 수 십 나노 크기의 작은 구조물을 만들 수 있는 장점이 있다.
그러나 강도가 큰 몰드를 사용하고 1900psi 강한 압력을 가하기 때문에, 음각 몰드 또는 다양한 크기의 패턴을 가지는 몰드를 사용하여 패턴을 형성하기가 쉽지 않고, 넓은 면적에 패턴을 형성하는 것 또한 쉽지 않다. 또한, 무엇보다 높은 종횡비의 구조물을 만들기가 어렵다는 단점이 있다.
이러한 문제점을 극복하기 위하여, 딱딱한 몰드가 아닌 상대적으로 부드럽고 탄성을 가진 몰드를 사용하는 다양한 소프트 리소그래피 기술이 개발되어 왔다. 그러한 기술로서, 미세접촉 프린팅(microcontact printing)이라는 방법을 예로 들 수 있다.
이 방법에 의하면 기판 상에 잔존 층이 전혀 없이 원하는 패턴을 만들 수 있다는 장점이 있다. 그러나 PDMS 같은 화학 물질을 묻히는 방법이기 때문에, 높은 종횡비의 구조물을 만들 수 없다는 단점이 있다.
이 외에도 소프트 리소그래피 기술의 일종으로 소위 MIMIC(Micromolding in capillaries)라 불리는 기술이 알려져 있다. 이 기술에 의하면, 패턴을 가지는 PDMS 몰드를 기판 상에 위치시킨 후, 몰드의 옆면으로부터 유체를 흘림으로써 마이크로 크기의 3차원 구조체를 형성할 수 있는 기술이다.
본 방법을 여러 층으로 반복하면 높은 3차원 구조물을 형성할 수 있다. 그러나 신뢰성 있는 미세 구조물을 형성하기 위해서는 여러 층의 몰드를 정밀하게 배열하여야 하기 때문에 공정이 어렵고 복잡하다. 이외에도 다양한 소프트 리소그래피 기술이 개발되었으나, 대부분의 소프트 리소그래피 기술은 강도가 약하고 탄성을 가지는 PDMS 몰드를 사용함에 따라 넓은 면적에 3차원 마이크로 구조물을 형성할 수 있다는 장점을 가지고 있으나, 나노 크기의 구조물을 만들기가 어렵다는 결정적인 한계를 가지고 있다.
대한민국등록특허 제10-0555324호
본 발명의 목적은, 마이크로 또는 나노 사이즈의 미세섬모들이 형성되고 잘 구부러지거나 접을 수 있는 초박막 건식 접착 필름 및 이의의 제조방법을 제공하는 데 있다.
본 발명에 따른 초박막 건식 접착 필름의 제조방법은, 접을 수 있도록 복수의 슬릿형상의 절개홈들이 형성된 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트 상에 돌출 형성되는 돌출부와 상기 돌출부의 선단에 형성된 흡착판을 포함하는 미세섬모들을 포함하는 초박막 건식 접착 필름을 제조하는 방법에 있어서, 웨이퍼 상에 리프트 오프 레지스트를 코팅하고 경화시켜, 제1몰드층을 형성하는 단계와; 상기 제1몰드층 상에 제1포토 레지스트를 코팅하고, 상기 돌출부들을 성형하기 위해 폴리머가 채워지는 관통홀들을 식각하여 제2몰드층을 형성하는 단계와; 상기 제2몰드층 상에 제2포토 레지스트를 코팅하고, 상기 관통홀들과 소정간격 이격된 위치에 상기 복수의 절개홈들을 성형하기 위한 리브 패턴을 남기고, 나머지 부분은 상기 폴리머가 채워지도록 폴리머 수용홈으로 식각하여 제3몰드층을 형성하는 단계와; 상기 관통홀을 통해 식각 용액을 유입하여, 상기 제1몰드층에 상기 관통홀과 연통되는 상기 흡착판의 형상을 식각하여, 상기 제1,2,3몰드층이 적층된 건식접착필름용 몰드를 제조하는 단계와; 상기 건식접착필름용 몰드에 상기 폴리머를 도포하여, 상기 흡착판을 갖는 상기 미세섬모들과 상기 절개홈들이 형성된 초박막 건식 접착 필름을 성형하는 단계와; 상기 건식접착필름용 몰드로부터 상기 초박막 건식 접착 필름을 분리하는 단계를 포함한다.
본 발명에 따른 초박막 건식 접착 필름은, 접을 수 있도록 복수의 슬릿형상의 절개홈들이 형성된 베이스 플레이트와; 상기 베이스 플레이트 상에 돌출 형성되는 돌출부와, 상기 돌출부의 선단에 형성된 흡착판을 포함하는 미세섬모들을 포함하고, 상기 절개홈들은, 상기 미세섬모들과 소정간격 이격된 위치에 형성되고, 상기 미세섬모들의 정렬 방향 중 일 방향에 평행한 방향으로 길게 형성된 복수의 제1절개홈들과, 상기 제1절개홈들의 길이 방향과 소정각도로 기울어진 방향으로 길게 형성된 복수의 제2절개홈들을 포함한다.
본 발명에 따른 초박막 건식 접착 필름은, 흡착판을 갖는 미세섬모들과 절개홈들이 형성됨으로써, 두께가 매우 얇으면서 잘 구부러지거나 접힐 수 있기 때문에, 굴곡이 있는 곳에 접착이 보다 용이하고 하고, 접착력도 더욱 향상될 수 있다.
또한, 본 발명은 3개의 제1,2,3몰드층이 다단으로 적층 형성된 건식접착필름용 몰드를 제조하여 초박막 건식 접착 필름을 성형함으로써, 미세섬모와 절개홈의 성형이 동시에 가능한 이점이 있으며, 건식접착필름의 두께를 보다 얇게 만드는 데 제약을 받지 않는 이점이 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 초박막 건식 접착 필름이 도시된 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 초박막 건식 접착 필름의 단면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 초박막 건식 접착 필름의 제조시 사용되는 건식 접착 필름용 몰드가 도시된 사시도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 초박막 건식 접착 필름의 제조방법이 도시된 도면이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 초박막 건식 접착 필름의 제조방법이 도시된 순서도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대해 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 초박막 건식 접착 필름이 도시된 사시도이다. 도 2는 도 1에 도시된 초박막 건식 접착 필름의 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 초박막 건식 접착 필름(100)은, 베이스 플레이트(120)에 복수의 미세섬모들(110)이 형성되고, 폴리머로 형성되어 신축성 및 유연성을 갖는 필름이다.
상기 초박막 건식 접착 필름(100)의 두께는 약 5㎛ 내지 100㎛ 이다.상기 초박막 건식 접착 필름(100)은, 제1,2,3몰드층(11)(12)(13)이 다단으로 적층되어 형성된 건식접착필름용 몰드(10)를 이용함으로써, 두께를 최소화시킬 수 있다. 상기 초박막 건식 접착 필름(100)의 두께가 얇을수록 굴곡진 곳에도 잘 접착될 수 있는 이점이 있다.
상기 베이스 플레이트(120)에는 상기 초박막 건식 접착 필름(100)을 접을 수 있도록 복수의 슬릿형상의 절개홈들(130)이 형성된다.
상기 절개홈들(130)은, 상기 베이스 플레이트(120)에서 소정의 깊이로 형성된 홈이다. 상기 절개홈들(130)은, 상기 초박막 건식 접착 필름(10)이 쉽게 구부러지거나 쉽게 접힐 수 있게 하는 역할을 한다. 상기 절개홈들(130)은, 상기 미세섬모들(110)사이에서 상기 미세섬모들(110)과 소정간격 이격된 위치에 길게 형성된 홈이다. 상기 절개홈(130)의 깊이는, 상기 베이스 플레이트(120)의 높이보다 작게 형성된다. 상기 절개홈(130)의 폭은 상기 미세섬모들(110)의 단면의 폭보다 작게 형성된다.
상기 절개홈(130)은, 복수의 방향으로 길게 형성되어, 상기 초박막 건식 접착 필름(10)이 복수의 방향으로 접어지거나 구부러질 수 있다. 본 실시예에서는, 상기 절개홈(130)은, 상기 미세섬모들(110)의 정렬 방향 중 일 방향에 평행한 방향으로 길게 형성된 제1절개홈(131)과, 상기 제1절개홈(131)의 길이 방향과 소정각도로 기울어진 방향으로 길게 형성된 제2절개홈(132)을 포함하는 것으로 예를 들어 설명한다. 상기 제1절개홈(131)은 복수개가 서로 평행하게 형성된다. 상기 절개홈(132)도 복수개가 서로 평행하게 형성된다. 상기 복수의 제1절개홈들(131)과 상기 복수의 제2절개홈들(132) 중 적어도 일부는 서로 교차하게 형성된다.
본 실시예에서는, 상기 절개홈(130)이 2개의 방향으로 형성된 것으로 예를 들어 설명하였으나, 이에 한정되지 않고 2개 이상의 방향으로 형성되는 것도 물론 가능하다. 또한, 상기 절개홈(130)은 단면이 사각형 형상인 것으로 예를 들어 설명하였으나, 이에 한정되지 않고 바닥면이 라운드지게 형성되거나 그 외 다양한 형상으로 형성될 수 있다.
상기 미세섬모들(110)은, 돌출부(111)와, 상기 돌출부(111)의 선단에서 상기 돌출부(111)보다 단면적이 확장되게 형성된 흡착판(112)을 포함한다. 상기 미세섬모들(110)은 서로 소정간격 이격되게 배치되며, 미리 설정된 패턴을 형성한다. 상기 미세섬모들은 마이크로 크기로 형성된다. 상기 흡착판(112)의 높이는 상기 돌출부(111)의 높이보다 낮게 형성된다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 초박막 건식 접착 필름의 제조시 사용되는 건식 접착 필름용 몰드가 도시된 사시도이다. 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 초박막 건식 접착 필름의 제조방법이 도시된 도면이다. 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 초박막 건식 접착 필름의 제조방법이 도시된 순서도이다.
도 3 내지 도 5를 참조하면, 건식접착필름용 몰드를 제조하여, 초박막 건식 접착 필름을 제조하는 방법을 살펴보면 다음과 같다.
먼저, 도 4a를 참조하면, 웨이퍼(1)상에 리프트 오프 레지스트(LOR) 10B 용액을 스핀 코팅하고 경화시켜 제1몰드층(11)을 형성한다.(S1)
상기 웨이퍼(1)는 실리콘 웨이퍼를 사용하는 것으로 예를 들어 설명한다.
상기 제1몰드층(11)의 두께는 스핀 코팅의 분당 회전수(rpm)를 통해 조절할 수 있다. 상기 제1몰드층(11)의 두께는 약 1㎛ 내지 2㎛이다.
도 4b를 참조하면, 상기 제1몰드층(11)위에 제1포토 레지스트를 코팅하여 제2몰드층(12)을 형성한다.(S2)
상기 제1포토 레지스트는 SU-8 포토레지스트를 사용하는 것으로 예를 들어 설명한다. 상기 제2몰드층(12)의 두께는 스핀 코팅의 분당 회전수(rpm)를 통해 조절할 수 있다. 상기 제2몰드층(12)의 두께는 약 5㎛ 내지 20㎛이다.
도 4c를 참조하면, 상기 제1포토 레지스트를 코팅한 후, 노광, 경화 및 식각을 통해 상기 돌출부(111)를 성형하기 위해 폴리머가 채워지는 관통홀들(12a)을 형성한다.(S3)
상기 관통홀들(12a)은 포토리소그래피 공정에 의해 상기 제2몰드층(12)에 형성된다. 상기 관통홀들(12a)의 높이는 상기 제2몰드층(12)의 높이와 동일하게 설정된다. 즉, 상기 관통홀들(12a)은, 상기 제2몰드층(12)을 높이방향으로 관통하여 형성된다.
도 4d를 참조하면, 상기 제2몰드층(12) 위에 제2포토 레지스트를 코팅하여 제3몰드층(13)을 형성한다.(S4)
상기 제2포토 레지스트는 SU-8 포토레지스트를 사용하는 것으로 예를 들어 설명한다. 상기 제2포토 레지스트는, 상기 제1포토 레지스트와 동일한 것이 사용되는 것으로 예를 들어 설명하나, 이에 한정되지 않고 서로 다른 것이 사용될 수도 있다. 상기 제3몰드층(13)의 두께는 스핀 코팅의 분당 회전수(rpm)를 통해 조절할 수 있다. 상기 제3몰드층(13)의 두께는 약 5㎛ 내지 50㎛이다.
도 4e를 참조하면, 상기 제3몰드층(13)에 상기 절개홈들(130)을 성형하기 위한 리브 패턴(13a)을 남기고, 나머지 부분은 상기 폴리머가 채워지도록 폴리머 수용홈(13b)으로 식각한다.(S5)
상기 제3몰드층(13)은, 상기 리브 패턴(13a)을 제외한 나머지 모든 부분이 식각된다. 상기 리브 패턴(13a)은, 상기 관통홀들(12a)과 소정간격 이격된 위치에 형성된다.
상기 리브 패턴(13a)은, 상기 절개홈들(130)에 대응되는 패턴으로 미리 설정된다. 상기 리브 패턴(13a)은, 상기 관통홀들(12a)과 소정간격 이격된 위치에 형성되고, 상기 관통홀들(12a)의 정렬 방향 중 일 방향과 평행한 방향으로 길게 형성된 복수의 제1리브들과, 상기 제1리브들과 소정각도로 경사진 방향으로 길게 형성된 복수의 제2리브들을 포함한다. 즉, 상기 제1리브들과 상기 제2리브들은 서로 다른 방향으로 형성되며, 서로 소정각도로 이격되게 형성된다. 또한, 상기 제1리브들 중 일부와 상기 제2리브들 중 일부는 서로 교차되게 형성되어, 다양한 방향으로 구부러지거나 접힐 수 있도록 한다. 다만, 이에 한정되지 않고, 상기 리브 패턴(13a)은 2개 이상의 방향으로 각각 길게 형성된 리브들을 포함할 수도 있다. 상기 리브 패턴(13a)의 높이는 상기 절개홈들(130)의 깊이로 설정되며, 상기 베이스 플레이트(120)의 높이보다는 낮게 설정된다.
상기 폴리머 수용홈(13b)은 상기 관통홀들(12a)과 연통되어, 추후 상기 폴리머가 채워진다.
상기와 같이, 상기 제1,2,3몰드층(11)(12)(13)이 다단으로 적층되고, 상기 관통홀(12a)과 상기 폴리머 수용홈(13b)이 형성된 이후, 상기 제2,3몰드층(12)(13)을 친수성으로 변화시키는 공정을 수행한다.(S6)
상기 제2,3몰드층(12)(13)을 형성하는 레지스트액은 소수성의 고분자 재료이므로, 친수성으로 변화시키기 위한 표면 처리를 실시한다.
상기 제2,3몰드층(12)(13)의 성질을 친수성으로 변화시키기 위해서는 상기 제2,3몰드층(12)(13)을 플라즈마 처리, 오존 처리 및 화학적 처리 중 어느 하나의 방법을 사용할 수 있다. 본 실시예에서는 상기 제2,3몰드층(12)(13)에 산소 플라즈마를 조사하여 표면처리하는 것으로 예를 들어 설명한다. 상기 제2,3몰드층(12)(13)에 상기 산소 플라즈마가 조사되면, 상기 제2,3몰드층(12)(13)이 산화되면서 표면 개질이 이루어져 상기 제2,3몰드층(12)(13)이 친수성으로 변화될 수 있다.
다만, 이에 한정되지 않고, 상기 제2,3몰드층(12)(13)은 친수성의 성질을 갖는 고분자 수지로 형성하여, 상기 제2,3몰드층(12)(13)을 친수성으로 변화시키는 표면처리공정을 생략하는 것도 가능하다.
상기와 같이, 상기 제2,3몰드층(12)(13)을 플라즈마 표면처리하여 친수성으로 변화시킴으로써, 후술하는 단계에서 상기 관통홀들(12a)을 통해 식각용액을 유입하여 상기 제1몰드층(11)에 상기 흡착판(112)에 대응되는 팁(11a)을 형성하는 것이 용이해질 수 있다. 상기 관통홀들(12a)은 수십 내지 수백 마이크로미터(㎛)의 미세한 크기이기 때문에 상기 식각용액의 유입이 어려우며, 상기 제2,3몰드층(12)(13)이 소수성의 성질을 갖고 있을 경우 식각용액이 잘 유입되지 않는다. 따라서, 본 발명에서는, 상기 제2,3몰드층(12)(13)을 플라즈마 표면처리하여 친수성으로 변화시킴으로써, 상기 식각용액이 균일하게 유입될 수 있으므로 식각이 용이해진다.
도 4f를 참조하면, 상기 제1몰드층(11)을 ??에칭(Wet etching)을 통해 일부분을 녹여 상기 미세섬모들(100)의 상기 흡착판(112)을 형성하기 위한 팁(11a)을 형성한다.(S7)
이 때, 상기 식각 용액을 상기 관통홀들(12a)을 통해 유입시켜 상기 제1몰드층(11)을 식각한다.
상기 식각용액은 예시적으로 AZ 400k를 사용한다. 상기 식각용액을 상기 제2몰드층(12)으로 공급하면, 상기 제2몰드층(12)의 상기 관통홀(12a)로 상기 식각용액이 유입된다. 상기 식각용액은 모든 상기 관통홀(12a)에 균일한 양으로 유입되며, 상기 식각용액에 의해 상기 제1몰드층(11)이 식각되면서 상기 관통홀(12a)과 연통되는 상기 팁(11a)이 형성된다. 상기 식각용액이 상기 관통홀(12a)에 유입되는 양을 조절하거나, 동일한 양의 식각용액이 유입될 때 상기 제1몰드층(11)이 식각되는 식각시간을 조절하여 상기 관통홀(12a)의 크기를 조절할 수 있다. 상기 관통홀 (12a)의 크기는 5 ㎛ 내지 200 ㎛ 범위 내에서 설정한다.
따라서, 3개의 상기 제1,2,3몰드층(11)(12)(13)이 다단으로 적층 형성된 상기 건식접착필름용 몰드(10)가 형성된다.(S8)
한편, 도 4f를 참조하면, 상기 건식접착필름용 몰드(10)의 표면을 코팅하는 단계를 더 포함할 수 있다.(S9)
후술될 공정에서 상기 팁(11a), 상기 관통홀 어레이(12a) 및 상기 폴리머 수용홈(13B)에 폴리머를 도포하여 경화시킨 후, 경화된 상기 폴리머를 상기 건식접착필름용 몰드로부터 분리해야 한다. 이 때, 친수성으로 변화된 건식접착필름용 몰드(10)는 경화된 상기 폴리머와 분리시킬 때 손상되는 등의 문제점이 발생될 수 있으므로, 상기 제1,2,3몰드층(11)(12)(13)의 표면을 코팅한다. 상기 코팅은 플라즈마 분사에 의해 이루어진다. 본 실시예에서는 옥타플루오로시클로부탄(C4F8)을 플라즈마 형태로 분사하는 것으로 예를 들어 설명한다.
이후, 도 4g를 참조하면, 상기 건식접착필름용 몰드(10)에 상기 폴리머(P)를 도포한 후 스핀 코팅한 후 경화시킨다.(S10)
상기 폴리머(P)는, 폴리디메틸실록산(PDMS; Polydimethylsiloxane) 또는 폴리우레탄 아크릴레이트(polyurethane acrylate), PEGDMA, PEG 중 어느 하나를 사용하거나 이외에 다른 폴리머를 사용할 수도 있다. 본 실시예에서는 폴리디메틸실록산을 사용하는 것으로 예를 들어 설명한다.
상기 스핀 코팅의 회전수는 50 내지 5000 rpm 범위로 설정된다.
상기 폴리머(P)의 도포시, 상기 제3몰드층(13)보다 더 높게 설정된 설정 높이까지 상기 폴리머(P)를 도포하여야 한다. 즉, 상기 폴리머(P)가 상기 리브 패턴(13a)을 덮도록 도포되어야, 상기 절개홈(130)이 형성된 상기 베이스 플레이트(120)가 형성될 수 있다.
도 4h를 참조하면, 상기 폴리머(P)를 경화시킨 후, 상기 폴리머(P)를 상기 건식접착필름용 몰드(10)로부터 분리하면, 상기 초박막 건식 접착 필름(100)이 완성된다.(S11)
상기 건식접착필름용 몰드(10)는 상기 옥타플루오로시클로부탄(C4F8)이 코팅됨으로써, 표면 에너지가 낮아져있기 때문에 상기 폴리머(P)와 분리시키는 과정에서 손상 없이 분리될 수 있다.
상기와 같은 방법으로 상기 건식접착필름용 몰드(10)를 제조함으로써, 상기 미세섬모(100)와 상기 절개홈(130)의 성형이 동시에 가능한 이점이 있다. 또한, 상기 건식접착필름용 몰드(10)는 제작이 용이하고, 재사용이 가능한 이점이 있다. 또한, 상기 건식접착필름용 몰드(10)는 보다 얇은 두께의 건식 접착 필름을 만드는데 용이하다.
또한, 상기와 같은 방법으로 제조된 상기 초박막 건식 접착 필름(100)은, 상기 흡착판(112)을 갖는 상기 미세섬모들(100)과 상기 절개홈들(130)이 형성된 필름이다. 따라서, 상기 초박막 건식 접착 필름(100)은 두께가 매우 얇고 잘 구부러지거나 접힐 수 있기 때문에, 보다 다양한 곳에 접착이 가능하고, 접착력이 보다 향상될 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
10: 건식접착필름용 몰드 11: 제1몰드층
11a: 팁 12: 제2몰드층
12a: 관통홀 13: 제3몰드층
13a: 리브 패턴 13b: 폴리머 수용홈
100: 초박막 건식 접착 필름 110: 미세섬모
111: 돌출부 112: 흡착판
120: 베이스 플레이트 130: 절개홈

Claims (10)

  1. 접을 수 있도록 복수의 슬릿형상의 절개홈들이 형성된 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트 상에 돌출 형성되는 돌출부와 상기 돌출부의 선단에 형성된 흡착판을 포함하는 미세섬모들을 포함하는 초박막 건식 접착 필름을 제조하는 방법에 있어서,
    웨이퍼 상에 리프트 오프 레지스트를 코팅하고 경화시켜, 제1몰드층을 형성하는 단계와;
    상기 제1몰드층 상에 제1포토 레지스트를 코팅하고, 상기 돌출부들을 성형하기 위해 폴리머가 채워지는 관통홀들을 식각하여 제2몰드층을 형성하는 단계와;
    상기 제2몰드층 상에 제2포토 레지스트를 코팅하고, 상기 관통홀들과 소정간격 이격된 위치에 상기 복수의 절개홈들을 성형하기 위한 리브 패턴을 남기고, 나머지 부분은 상기 폴리머가 채워지도록 폴리머 수용홈으로 식각하여 제3몰드층을 형성하는 단계와;
    상기 관통홀을 통해 식각 용액을 유입하여, 상기 제1몰드층에 상기 관통홀과 연통되는 상기 흡착판의 형상을 식각하여, 상기 제1,2,3몰드층이 적층된 건식접착필름용 몰드를 제조하는 단계와;
    상기 건식접착필름용 몰드에 상기 폴리머를 도포하여, 상기 흡착판을 갖는 상기 미세섬모들과 상기 절개홈들이 형성된 초박막 건식 접착 필름을 성형하는 단계와;
    상기 건식접착필름용 몰드로부터 상기 초박막 건식 접착 필름을 분리하는 단계를 포함하는 접을 수 있는 초박막 건식 접착 필름의 제조방법.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 리브 패턴은,
    상기 관통홀들과 소정간격 이격된 위치에 형성되고, 상기 관통홀들의 정렬 방향 중 일 방향에 평행하게 배치된 복수의 제1리브들과;
    상기 제1리브들과 소정각도로 경사진 방향으로 배치된 복수의 제2리브들을 포함하는 접을 수 있는 초박막 건식 접착 필름의 제조방법.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 제1리브들 중 일부와 상기 제2리브들 중 일부는 서로 교차되게 형성되는 접을 수 있는 초박막 건식 접착 필름의 제조방법.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 제2,3몰드층은 소수성의 고분자 재료로 형성되며,
    상기 제2몰드층의 관통홀을 통해 상기 식각 용액을 유입하기 이전에 플라즈마 처리, 오존 처리 및 화학적 처리 중 어느 하나의 방법으로 상기 제1,2,3몰드층을 표면 처리하여 친수성으로 변화시키는 단계를 더 포함하는 접을 수 있는 초박막 건식 접착 필름의 제조방법.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 제2,3몰드층은, 친수성의 성질을 갖는 소재로 형성된 접을 수 있는 초박막 건식 접착 필름의 제조방법.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 건식접착필름용 몰드에 상기 폴리머를 도포하기 이전에 상기 건식접착필름용 몰드를 옥타플루오로시클로부탄(C4F8)을 플라즈마 형태로 분사하여 코팅하는 단계를 더 포함하는 접을 수 있는 초박막 건식 접착 필름의 제조방법.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1,2,3몰드층은 각각 스핀 코팅에 의해 형성되며,
    상기 제1,2,3몰드층의 두께는 상기 스핀 코팅의 분당회전수(rpm)를 통해 다르게 조절하는 접을 수 있는 초박막 건식 접착 필름의 제조방법.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 건식접착필름용 몰드에 상기 폴리머를 도포시,
    상기 제3몰드층보다 더 높게 설정된 설정 높이까지 상기 폴리머를 도포하는 접을 수 있는 초박막 건식 접착 필름의 제조방법.
  9. 청구항 1에 있어서,
    상기 식각 용액은 AZ 400K이고,
    상기 폴리머는 폴리디메틸실록산(PDMS; Polydimethylsiloxane)과 폴리우레탄 아크릴레이트(polyurethane acrylate), PEGDMA, PEG 중 어느 하나를 사용하는 접을 수 있는 초박막 건식 접착 필름의 제조방법.
  10. 접을 수 있도록 복수의 슬릿형상의 절개홈들이 형성된 베이스 플레이트와;
    상기 베이스 플레이트 상에 돌출 형성되는 돌출부와, 상기 돌출부의 선단에 형성된 흡착판을 포함하는 미세섬모들을 포함하고,
    상기 절개홈들은, 상기 미세섬모들과 소정간격 이격된 위치에 형성되고, 상기 미세섬모들의 정렬 방향 중 일 방향에 평행한 방향으로 길게 형성된 복수의 제1절개홈들과, 상기 제1절개홈들의 길이 방향과 소정각도로 기울어진 방향으로 길게 형성된 복수의 제2절개홈들을 포함하는 접을 수 있는 초박막 건식 접착 필름.
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